KR100785631B1 - 광학식 변위 센서의 센서 헤드 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 광원이 되는 발광부와, 발광부로부터의 광을 계측 대상물에 대해 경사시킨 투광 광축에 따라 조사하는 투광용 광학계와, 계측 대상물로부터의 반사광을 투광 광축의 경사 방위와 반대측의 방위로 대칭적으로 경사시킨 수광 광축에 따라 받아들이는 수광용 광학계와, 수광용 광학계를 통하여 받아들여진 반사광을 수광하여 광전 변환하는 수광 소자를 케이스에 수용하여 이루어지고,상기 케이스는,발광부와 투광용 광학계를 수용하며, 또한 투광창이 개설된 투광측 블록과,수광용 광학계와 수광 소자를 수용하며, 또한 수광창이 개설된 수광측 블록과,투광측 블록과 수광측 블록을 일체적으로 결합하는 결합 부재를 가지며,또한, 투광측 블록과 수광측 블록 사이에서, 계측 대상물상의 광 조사점의 거의 바로 위에 상당하는 위치에는, 상하 방향으로 연통하는 빈 곳이 마련되어 있고,그것에 의해, 이 빈 곳 내에, 디스펜서의 직선형상 노즐을 상하로 관통시켜서 배치함에 의해, 노즐 선단과 거의 그 바로 아래의 계측 대상물의 표면의 갭을 계측 가능하게 되며,상기 투광측 블록은, 발광부나 투광용 광학계를 구성하는 부품이 실장되는 투광측 기판과, 이 투광측 기판에 실장된 부품을 포위하며, 또한 투광창이 개설된 투광측 커버로 이루어지고,상기 수광용 블록은, 수광용 광학계나 수광 소자를 구성하는 부품이 실장되는 수광측 기판과, 이 수광측 기판에 실장된 부품을 포위하며, 또한 수광창이 개설된 수광측 커버로 이루어지고,또한, 투광측 기판과 결합 부재와 수광측 기판은 1장의 평판형상 지지 플레이트에 겸용되어 있으며,상기 지지 플레이트에는, 상기 빈 곳과 인접하는 위치에, 피측정 대상물상의 광 조사점을 면하는 창으로서 기능하는 노치부가 형성되어 있고,상기 지지 플레이트와 반대측의 영역은 개방되어 있는 것을 특징으로 하는 광학식 변위 센서의 센서 헤드.
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- 제 1항에 있어서,지지 플레이트에는, 디스펜서에 부착하기 위한 부착구가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 광학식 변위 센서의 센서 헤드.
- 제 1항에 있어서,투광창의 개설면과 수광창의 개설면은 서로 대칭적으로 경사하는 경사면으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 광학식 변위 센서의 센서 헤드.
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