KR100784274B1

KR100784274B1 - Apparatus For Inspecting Of Display Panel

Info

Publication number: KR100784274B1
Application number: KR1020050105047A
Authority: KR
Inventors: 마사유끼 안자이; 히데키 이께우찌; 유타카 코사카
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2004-11-08
Filing date: 2005-11-03
Publication date: 2007-12-11
Also published as: JP2006133099A; KR20060049154A; TW200615637A; TWI314659B

Abstract

본 발명에 따른 표시용 패널의 검사장치는, 검사 스테이지를 변위시킴으로써, 좌우의 시야각 검사를 가능하게 하기 위한 것이다. 상기 검사장치는, 표시용 패널을 받는 검사 스테이지와, 상기 검사 스테이지를 지지하는 베이스 프레임과, 검사 스테이지를 상기 베이스 프레임에 대하여 상하방향으로 연장하는 제1 축선 주위로 회전시키는 제1 회전기구와, 검사 스테이지를 베이스 프레임에 대하여 수평방향으로 연장하는 제2 축선 주위로 회전시키는 제2 회전기구를 포함한다.The inspection apparatus for a display panel according to the present invention is for enabling left and right viewing angle inspection by displacing the inspection stage. The inspection apparatus includes an inspection stage receiving a display panel, a base frame supporting the inspection stage, a first rotating mechanism for rotating the inspection stage about a first axis extending in the vertical direction with respect to the base frame; And a second rotating mechanism for rotating the inspection stage about a second axis extending horizontally relative to the base frame.

표시용 패널, 검사장치, 검사 스테이지, 회전기구 Display panel, inspection device, inspection stage, rotating mechanism

Description

Inspection device for display panel {Apparatus For Inspecting Of Display Panel}

도1은 본 발명에 따른 검사장치의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing one embodiment of an inspection apparatus according to the present invention.

도2는 도1에 나타낸 검사장치의 측면도로서 검사 스테이지를 위를 향하게 한 상태로 나타낸다.FIG. 2 is a side view of the inspection apparatus shown in FIG. 1, with the inspection stage facing up. FIG.

도3은 도1에 나타낸 검사장치의 측면도로서 검사 스테이지를 비스듬히 위로 향하게 한 상태로 나타낸다.FIG. 3 is a side view of the inspection apparatus shown in FIG. 1, with the inspection stage turned obliquely upward.

도4는 도1에 나타낸 검사장치의 평면도로서 검사 스테이지를 정면을 향하게 한 상태로 나타낸다.FIG. 4 is a plan view of the inspection apparatus shown in FIG. 1, with the inspection stage facing the front.

도5는 도1에 나타낸 검사장치의 평면도로서 검사 스테이지를 비스듬히 왼쪽을 향하게 한 상태로 나타낸다.FIG. 5 is a plan view of the inspection apparatus shown in FIG. 1, showing the inspection stage in an oblique left direction.

도6은 도1에 나타낸 검사장치의 평면도로서 검사 스테이지를 비스듬히 오른쪽으로 향하게 한 상태로 나타낸다.FIG. 6 is a plan view of the inspection apparatus shown in FIG. 1, with the inspection stage turned obliquely to the right.

도7은 전기적 접속장치의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.7 is a perspective view showing one embodiment of the electrical connection device.

도8은 도7에 나타낸 전기적 접속장치의 평면도이다.8 is a plan view of the electrical connection device shown in FIG.

도9는 도7에 나타낸 전기적 접속장치의 정면도이다.9 is a front view of the electrical connection device shown in FIG.

도10은 도8에서의 10-10선 단면도이다.FIG. 10 is a cross-sectional view taken along line 10-10 in FIG. 8.

도11은 접촉자 유닛의 한 실시예를 나타내는 사시도이다.11 is a perspective view showing one embodiment of a contact unit.

도12는 도11에 나타낸 접촉자 유닛의 평면도이다.12 is a plan view of the contact unit shown in FIG.

도13은 도12에서의 13-13선 단면도이다.FIG. 13 is a sectional view along the 13-13 line in FIG.

도14는 접촉자 유닛의 동작을 설명하기 위한 도면으로, (A)는 제1 이동 블록이 후퇴위치에 있을 때의 도면, (B)는 제1 이동 블록이 전진종료시기 및 후퇴개시시기에 있을 때의 도면, (C)는 제1 이동 블록이 전진위치에 있을 때의 도면이다.14 is a view for explaining the operation of the contact unit, (A) is a view when the first moving block is in the retracted position, (B) is when the first moving block is in the forward end time and the retreat start time (C) is a diagram when the first moving block is in the forward position.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *Description of the main symbols in the drawings

10: 검사장치 12: 표시용 패널10: inspection device 12: display panel

14: 검사 스테이지 16: 베이스 프레임(base frame)14: inspection stage 16: base frame

18: 제1 회전기구 20: 제2 회전기구18: first rotating mechanism 20: second rotating mechanism

22: 받음 영역 24: 기대(基台)22: receiving zone 24: expectation

26: 이동대 28: 이동기구26: movable table 28: moving mechanism

34: 볼나사 36: 너트34: Ball screw 36: Nut

40: 이동기구의 구동원 42: 베이스 부재40: drive source of moving mechanism 42: base member

44: 지주 46: 제1 회전기구의 구동원44: prop 46: drive source of the first rotary mechanism

50: 추축(樞軸) 110: 전기적 접속장치50: axis 110: electrical connection device

116: 지지대 118: 스테이지 본체116: support 118: stage body

120: 백라이트 유닛 134: 설치 베이스(제1 베이스)120: backlight unit 134: mounting base (first base)

136: 프로브 베이스(제2 베이스) 138: 접촉자 유닛136: probe base (second base) 138: contactor unit

140, 44: 개구 142: 패널 받이140, 44: Opening 142: Panel receiving

146: 광 확산판 150: 위치 결정 핀146: light diffuser plate 150: positioning pin

152: 스토퍼 핀 154: 푸셔152: stopper pin 154: pusher

160: 베이스 판 162: 제1 이동 블록160: base plate 162: first moving block

164: 제2 이동 블록 166: 접촉자 블록164: second moving block 166: contactor block

168: 가이드 레일 170: 가이드168: guide rail 170: guide

발명의 분야Field of invention

본 발명은 액정표시패널과 같은 표시용 패널을 검사하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for inspecting a display panel such as a liquid crystal display panel.

발명의 배경Background of the Invention

액정표시패널이나 유리판상과 같은 표시용 패널은, 이것이 사양서 대로 작동하는지 아닌지의 통전시험 즉 검사가 된다.A display panel such as a liquid crystal display panel or a glass plate is subjected to an energization test, that is, inspection whether or not this works according to the specification.

이러한 종류의 검사장치의 하나로서, 표시용 패널을 받는 검사 스테이지를 수평방향으로 연장하는 축선 주위로 각도적으로 회전시켜, 표시용 패널을 수평상태 와 경사상태로 선택적으로 놓을 수 있도록 한 것이 있다(일본 특개2004-108921호 공보).One of these types of inspection apparatus is that the inspection stage receiving the display panel is rotated angularly around an axis extending in the horizontal direction so that the display panel can be selectively placed in a horizontal state and an inclined state ( Japanese Patent Laid-Open No. 2004-108921).

상기 종래의 검사장치에 있어서, 검사 스테이지는, 판상의 베이스와, 상기 베이스 위에 설치된 지지 스테이지와, 지지 스테이지 위에 설치되어 표시용 패널을 받는 워크 테이블 즉 지지대를 포함한다.In the above-mentioned conventional inspection apparatus, the inspection stage includes a plate-shaped base, a support stage provided on the base, and a work table provided on the support stage to receive a display panel, that is, a support stand.

지지 스테이지는, 지지대를, 이것에 받은 표시용 패널과 평행한 면내에서 이차원적으로 이동시킴과 동시에, 그 표시용 패널에 수직인 방향으로 이동시키고, 게다가 그 표시용 패널에 수직인 축선 주위로 각도적으로 회전시킨다. 이에 의해, 지지대에 받아진 표시용 패널이 통전용 프로브에 대하여 이동되어 위치 결정된다.The support stage moves the support stand two-dimensionally in a plane parallel to the display panel received thereon, and moves the support stand in a direction perpendicular to the display panel, and also an angle around an axis perpendicular to the display panel. Rotate the enemy. Thereby, the display panel received by the support stand is moved and positioned with respect to the electricity supply probe.

검사장치에 있어서는, 표시용 패널을 좌우방향으로부터 비스듬히 관찰하여 그 표시용 패널에 의해 표시되는 화상을 눈으로 볼 수 있는 시야각의 검사를 하는 일이 있다.In the inspection apparatus, the display panel may be viewed obliquely from the left and right directions and the viewing angle at which the image displayed by the display panel may be visually inspected may be inspected.

그러나 상기와 같은 시야각 검사 시, 종래의 검사장치에서는, 표시용 패널을 통전용 프로브에 대하여 이동할 수 있는데 불과하기 때문에, 육안 점등검사의 경우에는, 작업자가 검사장치에 대하여 좌우로 이동해야 하고, 비디오카메라를 이용하는 자동검사의 경우에는, 비디오카메라를 검사 스테이지에 대하여 좌우로 이동시켜야 한다.However, at the time of viewing angle inspection as described above, in the conventional inspection apparatus, since the display panel can only be moved with respect to the power supply probe, in the case of visual lighting inspection, the operator must move from side to side with respect to the inspection apparatus. In the case of automatic inspection using a camera, the video camera should be moved left and right with respect to the inspection stage.

본 발명의 목적은, 검사 스테이지를 변위시킴으로써, 좌우의 시야각 검사를 가능하게 하기 위한 것이다.An object of the present invention is to enable left and right viewing angle inspection by displacing the inspection stage.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다. 이하 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below. Hereinafter, the content of the present invention will be described in detail.

본 발명에 따른 검사장치는, 표시용 패널을 받는 검사 스테이지와, 상기 검사 스테이지를 지지하는 베이스 프레임과, 상기 검사 스테이지를 상기 베이스 프레임에 대하여 상하방향으로 연장하는 제1 축선 주위로 회전시키는 제1 회전기구를 포함한다.An inspection apparatus according to the present invention includes a inspection stage receiving a display panel, a base frame supporting the inspection stage, and a first rotation of the inspection stage about a first axis extending in the vertical direction with respect to the base frame. It includes a rotating mechanism.

검사 스테이지를 제1 회전기구에 의해 제1 축선 주위로 각도적으로 회전시키면, 검사 스테이지가 이것에 받아진 표시용 패널과 함께 좌우방향으로 각도적으로 회전된다.When the inspection stage is rotated angularly around the first axis by the first rotating mechanism, the inspection stage is angularly rotated in the horizontal direction along with the display panel received therein.

상기의 결과, 육안검사의 경우에는 작업자가 검사장치에 대하여 좌우로 이동하지 않고, 또 자동검사의 경우에는 비디오카메라를 검사 스테이지에 대하여 좌우로 이동시키지 않고, 좌우 시야각의 검사를 할 수 있다.As a result of the above, in the case of visual inspection, the operator does not move from side to side with respect to the inspection apparatus, and in the case of automatic inspection, the left and right viewing angles can be inspected without moving the video camera from side to side with respect to the inspection stage.

검사장치는, 상기 검사 스테이지를 상기 베이스 프레임에 대하여 수평방향으로 연장하는 제2 축선 주위로 회전시키는 제2 회전기구를 더 포함할 수 있다. 그와 같이 하면, 표시용 패널을 수평 및 경사의 어느 상태에서도 검사할 수 있다. 또, 육안검사의 경우에는 작업자가 검사장치에 대하여 상하로 이동하지 않고, 또 자동검사의 경우에는 비디오카메라를 검사 스테이지에 대하여 상하로 이동시키지 않고, 상하 시야각의 검사를 할 수 있다.The inspection apparatus may further include a second rotating mechanism for rotating the inspection stage about a second axis extending in the horizontal direction with respect to the base frame. By doing so, the display panel can be inspected in any of the horizontal and inclined states. In the case of visual inspection, the operator does not move up and down with respect to the inspection apparatus, and in the case of automatic inspection, the vertical viewing angle can be inspected without moving the video camera up and down with respect to the inspection stage.

상기 제1 회전기구는 상기 베이스 프레임에 지지되어 있어도 좋고, 또 상기 제2 회전기구는 상기 제1 회전기구에 지지되어 있어도 좋고, 게다가 상기 검사 스테이지는 상기 제1 또는 제2 회전기구를 사이에 두고 상기 베이스 프레임에 지지되어 있어도 좋다. 그와 같이 하면, 제2 회전기구를 베이스 프레임에 지지시키고, 제1 회전기구를 제2 회전기구에 지지시킨 경우에 비해, 제1 축선 주위에서의 검사 스테이지의 회전 범위가 좁아진다.The first rotating mechanism may be supported by the base frame, and the second rotating mechanism may be supported by the first rotating mechanism, and the inspection stage is provided with the first or second rotating mechanism interposed therebetween. It may be supported by the base frame. By doing so, compared with the case where the 2nd rotating mechanism is supported by the base frame and the 1st rotating mechanism is supported by the 2nd rotating mechanism, the rotation range of the inspection stage around a 1st axis line becomes narrow.

상기 베이스 프레임은, 프레임에 설치되는 기대(基台)와, 상기 제2 축선과 교차하는 수평방향으로 이동 가능하게 지지된 이동대(移動台)와, 상기 이동대를 상기 기대에 대하여 이동시키는 이동기구를 갖출 수 있다.The base frame includes a base mounted on the frame, a movable base supported to be movable in a horizontal direction crossing the second axis, and a movement for moving the movable base relative to the base. Can be equipped with a mechanism.

상기 제1 회전기구는, 상기 제1 축선 주위로 회전 가능하게 상기 베이스 프레임에 배치된 베이스 부재와, 상기 베이스 부재를 상기 베이스 프레임에 대하여 상기 제1 축선 주위로 회전시키는 제1 구동원과, 상기 베이스 부재에서 상기 제2 축선 방향으로 간격을 두고 일어서는 한 쌍의 지주로서 상기 검사 스테이지를 상기 제2 축선 주위로 회전 가능하게 지지하는 지주를 포함할 수 있다.The first rotating mechanism includes a base member disposed on the base frame to be rotatable around the first axis, a first drive source for rotating the base member about the first axis about the base frame, and the base A pair of struts that stand up at intervals in the second axis direction from the member may include struts that rotatably support the inspection stage about the second axis.

상기 제2 회전기구는, 상기 검사 스테이지를 상기 제2 축선 주위로 회전시키기 위해 한 쪽의 상기 지주의 상부에 지지된 제2 구동원을 포함할 수 있다.The second rotating mechanism may include a second drive source supported on one side of the post for rotating the inspection stage about the second axis.

상기 이동기구는, 상기 이동대의 이동방향으로 연장하는 상태로 상기 기대에 회전 가능하게 지지된 볼나사와, 상기 볼나사에 결합되어 상기 이동대에 설치된 너트와, 상기 볼나사를 이것의 축선 주위로 회전시키는 제3 구동원을 포함할 수 있 다.The moving mechanism includes a ball screw rotatably supported on the base in a state extending in the moving direction of the moving table, a nut coupled to the ball screw and installed on the moving table, and the ball screw around its axis. It may include a third drive source to rotate.

상기 검사 스테이지는, 상기 제1 회전기구에 의해 회전되는 스테이지 본체와, 상기 스테이지 본체에 배치된 지지대와, 상기 지지대에 배치된 전기적 접속장치로서 복수의 접촉자 유닛을 갖춘 전기적 접속장치를 포함할 수 있고, 또 상기 지지대 및 상기 전기적 접속장치의 어느 한 쪽은, 검사해야 할 표시용 패널을 받는 패널 받이를 갖출 수 있다. 그와 같이 하면, 전기적 접속장치를 지지대와 함께 제1 축선 주위로 각도적으로 회전시킬 수 있다.The inspection stage may include a stage main body rotated by the first rotating mechanism, a support disposed on the stage main body, and an electrical connection device having a plurality of contact units as an electrical connection device disposed on the support. In addition, either of the support and the electrical connection device may be provided with a panel support receiving a display panel to be inspected. In this way, the electrical connection device can be rotated angularly around the first axis along with the support.

상기 스테이지 본체는, 상기 지지대를 최소한 이차원적으로 이동시킬 수 있다.The stage body can move the support at least two-dimensionally.

상기 전기적 접속장치는, 제1 개구를 갖는 판상의 제1 베이스와, 상기 제1 베이스에 배치된 판상의 제2 베이스와, 상기 제2 베이스에 배치된 복수의 접촉자 유닛을 포함할 수 있고, 또 상기 제2 베이스는, 표시용 패널을 받는 패널 받이로서 상기 제1 개구와 마주보는 사각형의 제2 개구를 형성하는 패널 받이를 갖추고 있어도 좋다.The electrical connecting device may include a plate-shaped first base having a first opening, a plate-shaped second base disposed on the first base, and a plurality of contact units disposed on the second base, The said 2nd base may be provided with the panel receiver which receives the panel for display, and forms the 2nd opening of the square which faces the said 1st opening.

상기 전기적 접속장치는, 상기 패널 받이에 받아진 표시용 패널의 가장자리가 접할 수 있게 상기 제2 베이스에 배치된 복수의 스토퍼 핀과, 상기 패널 받이에 받아진 표시용 패널을 상기 스토퍼 핀을 향해 누르도록, 상기 제2 베이스에 배치된 복수의 푸셔를 더 포함할 수 있다. 그와 같이 하면, 패널 받이에 받아진 표시용 패널이 전기적 접속장치에 대하여, 용이하게 위치 결정된다.The electrical connection device includes a plurality of stopper pins disposed on the second base such that the edges of the display panel received by the panel receiver are in contact with each other, and the display panel received by the panel receiver toward the stopper pin. It may further include a plurality of pushers disposed in the second base. By doing so, the display panel received by the panel receiver is easily positioned with respect to the electrical connection device.

각 접촉자 유닛은, 상기 패널 받이에 받아진 표시용 패널의 전극에 개방 가 능하게 접촉되는 복수의 접촉자를 갖는 접촉자 블록을 갖출 수 있다.Each contact unit may be provided with a contact block having a plurality of contacts openably contacting the electrodes of the display panel received by the panel receiver.

이하의 설명에서는, 검사 스테이지에 받아진 표시용 패널의 두께방향을 상하방향 또는 Z방향이라 하고, 그 패널에 대한 접촉자의 침선쪽(패널쪽)을 아래쪽이라 하고, 그 패널에 평행한 수평의 직각 좌표에서의 두 방향을 X방향 및 Y방향이라 한다. 그러나 검사 시에는, 그 패널의 두께방향을 경사 또는 횡방향으로 해도 좋고, 상하방향을 반대로 하여 사용해도 좋다.In the following description, the thickness direction of the display panel received by the inspection stage is referred to as the vertical direction or the Z direction, and the needle needle side (the panel side) of the contact with respect to the panel is referred to as the bottom, and the horizontal right angle parallel to the panel. The two directions in the coordinates are called the X direction and the Y direction. However, at the time of inspection, the thickness direction of the panel may be inclined or transverse, or may be used with the vertical direction reversed.

도1∼도6을 참조하면, 검사장치(10)는, 뒤에 도7 내지 도14에 나타낸 검사 스테이지와 관련하여 설명하는 표시용 패널(12)의 통전시험(통전검사)에 이용된다. 표시용 패널(12)은, 사각형의 형상을 갖고 있고, 또 사각형의 각 변의 몇 개에 대응하는 가장자리의 각각에 복수의 전극을 갖춘다.1 to 6, the inspection apparatus 10 is used for an energization test (current conduction inspection) of the display panel 12 described later in connection with the inspection stages shown in FIGS. The display panel 12 has a rectangular shape and includes a plurality of electrodes on each of edges corresponding to some of the sides of the square.

도시한 예에서는, 표시용 패널(12)은, 액정을 봉입한 액정표시패널이고, 또 서로 이웃하는 두 가장자리의 각각에 복수의 전극을 대응하는 가장자리의 길이방향으로 간격을 두고 갖고 있다. 이 때문에, 검사장치(10)는 액정표시패널의 점등검사에 이용된다.In the example of illustration, the display panel 12 is a liquid crystal display panel which enclosed the liquid crystal, and has a some electrode spaced in the longitudinal direction of the corresponding edge at each of two adjacent edges. For this reason, the test | inspection apparatus 10 is used for the lighting test of a liquid crystal display panel.

도1∼도4를 참조하면, 검사장치(10)는, 표시용 패널(12)을 받는 검사 스테이지(14)와, 검사 스테이지(14)를 지지하는 베이스 프레임(16)과, 검사 스테이지(14)를 베이스 프레임(16)에 대하여 상하방향으로 연장하는 제1 축선 주위로 회전시키는 제1 회전기구(18)와, 검사 스테이지(14)를 베이스 프레임(16)에 대하여 수평방향으로 연장하는 제2 축선 주위로 회전시키는 제2 회전기구(20)를 포함한다.1 to 4, the inspection apparatus 10 includes an inspection stage 14 that receives the display panel 12, a base frame 16 that supports the inspection stage 14, and an inspection stage 14. ) Is rotated about a first axis extending in the up and down direction with respect to the base frame 16, and a second rotating mechanism 18 extending in the horizontal direction with respect to the base frame 16. And a second rotating mechanism 20 for rotating around the axis.

검사 스테이지(14)는, 나중에 상세하게 설명하지만, 표시용 패널(12)을 받는 받음 영역(22)을 갖고 있다.Although the inspection stage 14 is demonstrated in detail later, it has the receiving area | region 22 which receives the display panel 12. As shown in FIG.

베이스 프레임(16)은, 판상의 기대(24)를 검사장치(10)의 하우징 프레임에 설치하고, 복수의 결합구(25)에 의해 간격을 둔 상태로 결합된 판상의 한 쌍의 이동대(26)를 기대(24)에 상기 제2 축선과 교차하는 수평방향으로 이동 가능하게 지지시키고, 이동대(26)를 이동기구(28)에 의해 기대(24)에 대하여 상기 제2 축선과 교차하는 수평방향으로 이동시키는 구조로 되어 있다.The base frame 16 is provided with a plate-shaped base 24 on the housing frame of the inspection apparatus 10, and a pair of plate-shaped moving tables coupled in a spaced state by a plurality of coupling holes 25 ( 26 is supported on the base 24 so as to be movable in a horizontal direction intersecting the second axis, and the movable table 26 is intersected with the second axis with respect to the base 24 by the moving mechanism 28. The structure moves in the horizontal direction.

기대(24)는, 이것의 윗면에, 한 쌍의 레일(30)을, 이들이 이동대(26)의 이동방향과 직교하는 방향(제1 축선 방향)으로 간격을 두고 이동대(26)의 이동방향으로 연장하도록 설치하고 있다.The base 24 moves the pair of rails 30 on the upper surface thereof at intervals in a direction (first axis direction) in which they are orthogonal to the moving direction of the movable table 26. It is installed so that it may extend in a direction.

이동대(26)는, 레일(30)과, 이들 레일(30)에 이동 가능하게 결합된 복수의 가이드(32)에 의해, 기대(24)에 이동 가능하게 결합되어 있다. 가이드(32)는 아래쪽 이동대(26)의 아래면에 설치되어 있다.The movable table 26 is movably coupled to the base 24 by the rail 30 and the plurality of guides 32 movably coupled to these rails 30. The guide 32 is attached to the lower surface of the lower movable stand 26.

이동기구(28)는, 볼나사(34)를 이것이 이동대(26)의 이동방향으로 연장하는 상태로 기대(24)에 회전 가능하게 지지시키고, 볼나사(34)에 결합된 너트(36)를 이동대(26)의 아래면에 설치하고 있다.The moving mechanism 28 supports the ball screw 34 to be rotatably supported on the base 24 in a state in which it extends in the moving direction of the moving table 26, and the nut 36 coupled to the ball screw 34. Is installed on the lower surface of the movable table 26.

볼나사(34)는, 이것의 길이방향에서의 양 단부에 있어서, 기대(24)로부터 볼나사(34)의 길이방향으로 간격을 두고 일어서는 한 쌍의 지지편(片)(38)에 의해, 기대(24)에 회전 가능하게 지지되어 있고, 또 한쪽 지지편(38)에 설치된 전동기와 같은 구동원(40)에 의해, 자신의 축선 주위로 회전된다.The ball screw 34 is formed by a pair of support pieces 38 which are spaced apart from the base 24 in the longitudinal direction of the ball screw 34 at both ends in the longitudinal direction thereof. The base 24 is rotatably supported, and is rotated around its own axis by a drive source 40 such as an electric motor provided on one support piece 38.

제1 회전기구(18)는, 상기 제1 축선 주위로 회전 가능하게 위쪽 이동대(26)에 배치된 판상의 베이스 부재(42)와, 베이스 부재(42)로부터 상기 제2 축선 방향으로 간격을 두고 일어서는 한 쌍의 지주(44)와, 베이스 부재(42)를 지주(44)와 함께 이동대(26)에 대하여 상기 제1 축선 주위로 회전시키는 전동기와 같은 구동원(46)을 포함한다.The first rotating mechanism 18 is spaced apart from the base member 42 in the plate-like base member 42 disposed on the upper movable table 26 so as to rotate around the first axis in the second axis direction. It includes a pair of struts 44 and a drive source 46 such as an electric motor that rotates the base member 42 together with the struts 44 about the movable table 26 about the first axis.

베이스 부재(42)는 축 부재(48)에 의해 이동대(26)에 회전 가능하게 지지되어 있고, 지주(44)는 베이스 부재(42)에 이동이 불가능하게 설치되어 있다. 구동원(46)은, 베이스 부재(42)의 아래쪽에 설치되어 있고, 또 축 부재(48)를 사이에 두고 베이스 부재(42)를 상기 제1 축선 주위로 회전시킨다.The base member 42 is rotatably supported on the movable table 26 by the shaft member 48, and the support 44 is provided on the base member 42 so as not to be movable. The drive source 46 is provided below the base member 42, and rotates the base member 42 around the first axis line with the shaft member 48 interposed therebetween.

검사 스테이지(14)는, 이것의 상기 제1 축선 방향에서의 각 단부로부터 바깥쪽으로 돌출하는 한 쌍의 추축(50)에 의해 양 지주(44)의 상단부에 회전 가능하게 지지되어 있다. 구동원(46)은 한쪽 추축(50)을 사이에 두고 검사 스테이지(14)를 상기 제1 축선 주위로 회전시킨다.The test | inspection stage 14 is rotatably supported by the upper end of both support | pillars 44 by the pair of spindle 50 which protrudes outward from each edge part in the said 1st axial direction of this. The drive source 46 rotates the inspection stage 14 around the first axis with one axis 50 interposed therebetween.

제2 회전기구(20)는, 한쪽 추축(50)을 사이에 두고 검사 스테이지(14)를 상기 제2 축선 주위로 회전시키도록 한쪽 지주(44)의 상부에 지지되어 있고, 또 전동기와 같은 구동원을 포함한다.The second rotating mechanism 20 is supported on the upper side of the one support 44 so as to rotate the inspection stage 14 around the second axis line with one axis 50 therebetween, and a drive source such as an electric motor. It includes.

검사장치(10)에 있어서, 검사 스테이지(14)를 제1 회전기구(18)에 의해 제1 축선 주위로 각도적으로 회전시키면, 검사 스테이지(14)가 도4, 도5 또는 도6에 나타낸 바와 같이, 정면을 향한 상태, 비스듬히 오른쪽을 향한 상태 또는 비스듬히 왼쪽을 향한 상태로 회전된다. 이 때문에, 그들 어느 상태에 있어서도, 패널(12)의 점등검사를 할 수 있고, 패널(12)의 수도(受渡)를 할 수 있다.In the inspection apparatus 10, when the inspection stage 14 is rotated angularly around the first axis by the first rotating mechanism 18, the inspection stage 14 is shown in FIGS. 4, 5 or 6. As shown, it is rotated to face to the front, obliquely to the right or obliquely to the left. For this reason, in any of these states, the panel 12 can be inspected for lighting, and the panel 12 can also be turned on.

상기의 결과, 육안검사의 경우에는 작업자가 검사장치에 대하여 좌우로 이동하지 않고, 또 자동검사의 경우에는 비디오카메라를 검사 스테이지에 대하여 좌우로 이동시키지 않고, 좌우 시야각의 검사를 할 수 있다. 또 비스듬히 오른쪽을 향하는 각도 및 비스듬히 왼쪽을 향하는 각도는 모두 목적에 따라 선택할 수 있다.As a result of the above, in the case of visual inspection, the operator does not move from side to side with respect to the inspection apparatus, and in the case of automatic inspection, the left and right viewing angles can be inspected without moving the video camera from side to side with respect to the inspection stage. In addition, the oblique rightward angle and the oblique leftward angle can be selected according to the purpose.

또, 검사장치(10)에 있어서, 검사 스테이지(14)를 제2 회전기구(20)에 의해 제2 축선 주위로 각도적으로 회전시키면, 검사 스테이지(14)가 도2, 도3 또는 도4에 나타낸 바와 같이, 위를 향하는 상태, 비스듬히 위 또는 아래를 향하는 상태 또는 정면을 향하는 상태로 회전된다. 이 때문에, 그들 어느 상태에 있어서도, 패널(12)의 점등검사를 할 수 있고, 패널(12)의 수도를 할 수 있다. 또 비스듬히 위 또는 아래를 향하는 각도는 모두 목적에 따라 선택할 수 있다.In the inspection apparatus 10, when the inspection stage 14 is rotated angularly around the second axis by the second rotating mechanism 20, the inspection stage 14 is shown in Figs. 2, 3 or 4. As shown in, it is rotated in an upward facing state, obliquely facing upwards or downwards, or in a front facing state. For this reason, in any of these states, the panel 12 can be inspected for lighting, and the panel 12 can also be inspected. In addition, the angles obliquely upward or downward can be selected according to the purpose.

상기의 결과, 육안검사의 경우에는 작업자가 검사장치에 대하여 상하로 이동하지 않고, 또 자동검사의 경우에는 비디오카메라를 검사 스테이지에 대하여 상하로 이동시키지 않고, 상하 시야각의 검사를 할 수 있다.As a result of the above, in the case of visual inspection, the operator does not move up and down with respect to the inspection apparatus, and in the case of automatic inspection, the vertical viewing angle can be inspected without moving the video camera up and down with respect to the inspection stage.

게다가, 검사장치(10)에 의하면, 제1 및 제2 회전기구(18 및 20)를 작동시켜, 검사 스테이지(14)를, 제1 축선 주위에서의 정면 향함, 비스듬히 오른쪽 향함 및 비스듬히 왼쪽 향함과, 제2 축선 주위에서의 위쪽 향함, 비스듬히 위 또는 아래쪽 향함 및 정면 향함을 임의로 조합시킨 상태로 둘 수 있다.In addition, according to the inspection apparatus 10, the first and second rotation mechanisms 18 and 20 are operated to bring the inspection stage 14 into a front facing, oblique right facing and obliquely left facing around the first axis. , May be in any combination of an upward facing, obliquely upward or downward facing and a front facing around the second axis.

도4∼도14를 참조하여, 검사 스테이지의 실시예에 대해서 설명한다.With reference to FIGS. 4-14, the Example of an inspection stage is demonstrated.

검사 스테이지(14)는, 지지대(116)를 스테이지 본체(118) 위에 설치하고, 지 지대(116)에 백라이트 유닛(120)을 배치하고, 전기적 접속장치(110)를 지지대(116)에 지지하고 있다.The inspection stage 14 installs the support 116 on the stage main body 118, arranges the backlight unit 120 on the support 116, and supports the electrical connection device 110 to the support 116. have.

지지대(116)는, 사각형 판의 형상을 갖는 지지 베이스(122)와 사각형의 판의 형상을 갖는 받음 베이스(124)를, 이들이 상하방향으로 간격을 두고 평행하는 상태로, 복수의 지주(126)에 의해 설치하고 있다.The support base 116 has a plurality of struts 126 in a state in which the support base 122 having the shape of a rectangular plate and the receiving base 124 having the shape of a rectangular plate are parallel to each other at intervals in the vertical direction. I install it.

받음 베이스(124)는, 이것의 중앙영역을 두께방향으로 관통하는 개구(128)(도10 참조)에 의해, 틀 형상으로 형성되어 있다. 이에 의해, 개구(128)를 사이에 두고 위쪽으로 개방하는 공간이 지지대(116)에 형성되어 있다.The receiving base 124 is formed in frame shape by the opening 128 (refer FIG. 10) which penetrates the center area | region in this thickness direction. Thereby, the space which opens upwards through the opening 128 is formed in the support stand 116. As shown in FIG.

스테이지 본체(118)는, 지지대(116)를, X, Y 및 Z의 세방향으로(삼차원적으로) 변위시킴과 동시에, Z방향으로 연장하는 θ축선 주위로 각도적으로 회전시킨다.The stage main body 118 displaces the support base 116 in three directions (three-dimensionally) of X, Y, and Z, and rotates it angularly around the (theta) axis extended in a Z direction.

백라이트 유닛(120)은, 백색 전구나 백색 형광등과 같은 복수의 백라이트(130)를 위쪽으로 개방하는 수납용기(132)에 수용하고 있다(도10 참조). 수납용기(132)는, 지지대(116)의 상기 공간에 배치되고, 지지 베이스(122)에 설치되어 있다.The backlight unit 120 accommodates a plurality of backlights 130 such as a white light bulb and a white fluorescent lamp, which are opened upwardly (see FIG. 10). The storage container 132 is disposed in the space of the support base 116 and is provided in the support base 122.

전기적 접속장치(110)는, 받음 베이스(124) 위에 설치되는 사각형의 판상을 한 설치 베이스(134)와, 설치 베이스(134) 위에 사각형으로 배치된 4개의 프로브 베이스(136)와, 서로 이웃하는 2개의 프로브 베이스(136)에 배치된 복수의 접촉자 유닛(138)을 포함한다.The electrical connection device 110 includes a rectangular plate-shaped mounting base 134 installed on the receiving base 124, four probe bases 136 arranged in a square shape on the mounting base 134, and adjacent to each other. It includes a plurality of contact units 138 disposed on two probe bases 136.

도10에 나타낸 바와 같이, 설치 베이스(134)는, 받음 베이스(124)의 개구 (128)와 서로 유사한 사각형의 개구(140)를 중앙에 갖고 있다. 개구(140)는 설치 베이스(134)의 두께방향으로 관통하고 있다.As shown in Fig. 10, the mounting base 134 has a rectangular opening 140 similar to the opening 128 of the receiving base 124 at the center. The opening 140 penetrates in the thickness direction of the installation base 134.

도7 내지 도10에 나타낸 바와 같이, 프로브 베이스(136)는 긴 판의 형상을 갖고 있고, 또 표시용 패널(12)을 받는 패널 받이(142)를 상부에 갖추고 있다. 패널 받이(142)는 사각형의 단면형상을 갖는 소위 각주상을 한 장척(長尺)부재의 형상을 하고 있고, 또 대응하는 프로브 베이스(136)의 폭방향에서의 일단부를 대응하는 프로브 베이스(136)의 길이방향으로 연장하고 있다.As shown in FIGS. 7-10, the probe base 136 has the shape of an elongate plate, and has the panel receiving part 142 which receives the display panel 12 at the upper part. The panel support 142 has a shape of a long, rectangular member having a rectangular cross-sectional shape, and also has a probe base 136 corresponding to one end in the width direction of the corresponding probe base 136. Extend in the longitudinal direction of the

프로브 베이스(136)는, 4개의 프로브 베이스 및 4개의 패널 받이(142)가 개구(140)와 마주보는 개구(144)를 함께 형성하도록, 설치 베이스(134)에 놓여 있다. 개구(144)는, 개구(128 및 140)와 서로 유사한 사각형의 형상을 갖는다.The probe base 136 is placed on the mounting base 134 such that the four probe base and the four panel receivers 142 together form an opening 144 facing the opening 140. The opening 144 has a rectangular shape similar to the openings 128 and 140.

전기적 접속장치(110)로서 조립된 상태에 있어서, 패널 받이(142)의 개구(144)쪽 가장자리는, 개구(144)를 함께 형성하는 가장자리로서 작용한다. 개구(128 및 140)는 같은 크기를 갖지만, 개구(144)는 개구(128 및 140)보다 작다.In the state assembled as the electrical connection device 110, the edge of the opening 144 of the panel support 142 acts as an edge which forms the opening 144 together. The openings 128 and 140 have the same size, but the openings 144 are smaller than the openings 128 and 140.

개구(144)는, 패널 받이(142)에 지지된 광 확산판(146)에 의해 폐쇄되어 있다. 광 확산판(146)은, 백라이트(130)로부터의 빛을 확산시켜 표시용 패널(12)의 배면에 조사한다.The opening 144 is closed by the light diffusion plate 146 supported by the panel receiver 142. The light diffusion plate 146 diffuses light from the backlight 130 and irradiates the back surface of the display panel 12.

전기적 접속장치(110)는, 프로브 베이스(136) 및 설치 베이스(134)를 그들의 위쪽으로부터 관통하여 받음 베이스(124)에 결합된 복수의 나사(148)에 의해, 개구(140 및 144)가 개구(128)와 마주보도록, 받음 베이스(124) 위에 분리 가능하게 설치되어 있다.The electrical connection device 110 has openings 140 and 144 opened by a plurality of screws 148 coupled to the receiving base 124 through the probe base 136 and the mounting base 134 from above thereof. It is detachably installed on the receiving base 124 so as to face 128.

전기적 접속장치(110)는, 받음 베이스(124), 설치 베이스(134) 및 프로브 베이스(136)에 끼워 넣어진 복수의 위치 결정 핀(150)에 의해, 받음 베이스(124)에 상대적 위치 결정이 되어 있다. 그들 위치 결정 핀(150)은, 받음 베이스(124), 설치 베이스(134) 및 프로브 베이스(136)의 어느 하나에 고정되어 있다.The electrical connection device 110 is positioned relative to the receiving base 124 by a plurality of positioning pins 150 inserted into the receiving base 124, the mounting base 134, and the probe base 136. It is. These positioning pins 150 are fixed to any of the receiving base 124, the mounting base 134, and the probe base 136.

서로 이웃하는 2개의 프로브 베이스(136)의 각각은, 표시용 패널(12)의 가장자리가 접할 수 있는 복수의 스토퍼 핀(152)을 설치하고 있다. 서로 이웃하는 다른 2개의 프로브 베이스(136)의 각각은, 표시용 패널(12)을 마주보는 스토퍼 핀(152)을 향해 누르는 1 이상의 푸셔(154)가 설치해 있다.Each of the two probe bases 136 adjacent to each other is provided with a plurality of stopper pins 152 which the edges of the display panel 12 can contact. Each of the two other probe bases 136 adjacent to each other is provided with one or more pushers 154 pressed against the stopper pins 152 facing the display panel 12.

도시한 예에서는, 서로 이웃하는 2개의 프로브 베이스(136)의 각 패널 받이(142)에 2개의 스토퍼 핀(152)이 패널 받이(142)의 길이방향으로 간격을 두고 설치되어 있고, 서로 이웃하는 다른 2개의 프로브 베이스(136)의 각각에 하나의 푸셔(154)가 설치되어 있다.In the illustrated example, two stopper pins 152 are provided on each panel support 142 of two probe bases 136 which are adjacent to each other at intervals in the longitudinal direction of the panel support 142. One pusher 154 is provided in each of the other two probe bases 136.

각 스토퍼 핀(152)은, 이것이 대응하는 패널 받이(142)로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로, 대응하는 패널 받이(142)에 설치되어 있다. 이에 의해, 표시용 패널(12)의 가장자리는, 표시용 패널(12)이 푸셔(154)에 의해 눌림으로써, 스토퍼 핀(152)에 접하게 된다.Each stopper pin 152 is provided in the corresponding panel support 142 in a state where it protrudes upward from the corresponding panel support 142. As a result, the edge of the display panel 12 comes into contact with the stopper pin 152 when the display panel 12 is pushed by the pusher 154.

각 푸셔(154)는, 도14(A), (B) 및 (C)에 나타낸 예에서는, 솔레노이드 기구나 실린더 기구와 같이 왕복 운동을 하는 푸쉬 기구(156)와, 푸쉬 기구(156)에 의해 표시용 패널(12)에 대하여 왕복 이동되는 푸쉬 편(片)(158)을 갖추고 있고, 푸쉬 기구(156)에 있어서 프로브 베이스(136)에 설치되어 있다.In each of the pushers 154 shown in Figs. 14 (A), (B) and (C), the push mechanism 156 and the push mechanism 156 reciprocate like the solenoid mechanism and the cylinder mechanism. The push piece 158 which reciprocates with respect to the display panel 12 is provided, and it is provided in the probe base 136 in the push mechanism 156. As shown in FIG.

푸쉬 기구(156)는, 그 출력축(157)의 이동방향이 좌우방향이 되도록, 프로브 베이스(136)에 설치되어 있고, 또 상하방향으로 연장하는 지지 핀(161)을 출력축(157)의 선단에 설치하고, 지지 핀(161)의 상단에 푸쉬 편(158)을 설치하고 있다.The push mechanism 156 is provided on the probe base 136 so that the movement direction of the output shaft 157 is in the left-right direction, and a support pin 161 extending in the up-down direction at the tip of the output shaft 157. It installs and the push piece 158 is provided in the upper end of the support pin 161.

각 푸셔(154)는, 푸쉬 편(158)이 표시용 패널(12)을 향해 전진됨으로써, 그 표시용 패널(12)을 스토퍼 핀(152)을 향해 누르고, 그에 의해 스토퍼 핀(152)과 함께 표시용 패널(12)을 파지(把持)한다.Each pusher 154 advances the display panel 12 toward the stopper pin 152 by pushing the push piece 158 toward the display panel 12, thereby stopping the stopper pin 152 together with the stopper pin 152. The display panel 12 is gripped.

푸쉬 편(158)이 표시용 패널(12)에 대하여 후퇴되면, 각 푸셔(154)는, 스토퍼 핀(152)과 함께 한 표시용 패널(12)의 파지를 해제한다.When the push piece 158 is retracted with respect to the display panel 12, each pusher 154 releases the holding of the display panel 12 together with the stopper pin 152.

푸셔(154)가 배치된 프로브 베이스(136)의 패널 받이(142)는, 푸셔(154)의 선단측 부분을 받아들이는 요흠부(凹欠部)(159)를 갖고 있다.The panel support 142 of the probe base 136 on which the pusher 154 is disposed has a recess 159 that receives a tip side portion of the pusher 154.

요흠부(159)는, 푸쉬 기구(156) 쪽으로 개방하여 상하방향으로 연장하는 홈이고, 또 푸쉬 편(158)이 푸쉬 기구(156)에 의해 전진된 때, 지지 핀(161)을 받아들인다.The recessed part 159 is a groove which opens toward the push mechanism 156 and extends up and down, and receives the support pin 161 when the push piece 158 is advanced by the push mechanism 156.

푸셔(154)는, 푸쉬 편(158)을 정확하고 확실하게 이동시키는 가이드를 갖추고 있어도 좋다. 또, 다른 타입의 푸셔를 이용해도 좋다.The pusher 154 may be provided with the guide which moves the push piece 158 correctly and reliably. Alternatively, other types of pushers may be used.

각 접촉자 유닛(138)은, 도11 내지 도13에 나타낸 바와 같이, 나사에 의해 프로브 베이스(136)에 설치된 베이스 판(160)과, 패널 받이(142)에 대하여 전진 및 후퇴 가능하게 베이스 판(160)에 놓인 제1 이동 블록(162)과, 패널 받이(142)에 받아진 표시용 패널(12)에 대하여 경사진 방향으로 이동 가능하게 제1 이동 블록(162)에 배치된 제2 이동 블록(164)과, 제2 이동 블록(164)에 지지된 접촉자 블록 (166)을 포함한다.As shown in FIGS. 11 to 13, each contact unit 138 includes a base plate 160 provided on the probe base 136 by screws, and a base plate (1) capable of advancing and retracting with respect to the panel support 142. The first moving block 162 placed on the 160 and the second moving block disposed on the first moving block 162 so as to be movable in an inclined direction with respect to the display panel 12 received by the panel support 142. 164 and a contact block 166 supported by the second moving block 164.

제1 이동 블록(162)의 이동방향은 패널 받이(142)에 받아진 표시용 패널(12)과 평행한 제1 방향이고, 제2 이동 블록(164)의 이동방향은 그 표시용 패널(12)에 대하여 경사져 비스듬히 상하방향으로 연장하는 제2 방향이다.The moving direction of the first moving block 162 is a first direction parallel to the display panel 12 received by the panel receiving 142, and the moving direction of the second moving block 164 is the display panel 12. It is a 2nd direction inclined with respect to () and obliquely extended up and down.

베이스 판(160)은, 이 위에 가이드 레일(168)을 이것이 X 또는 Y방향으로 연장하는 상태로 설치하고, 가이드(170)를 가이드 레일(168)에 미끄러져 움직일 수 있게 끼워서 결합시키고, 가이드(170)에 제1 이동 블록(162)을 지지시키고 있다.The base plate 160 installs the guide rail 168 on the guide rail 168 in the state where it extends in the X or Y direction, and slides the guide 170 to the guide rail 168 so as to be movable. The first moving block 162 is supported by 170.

베이스 판(160)에는, 2조(組)의 스토퍼(174, 176)가 제1 이동 블록(162)의 이동방향으로 간격을 둔 상태로 설치되어 있다. 스토퍼(174, 176)는, 도시한 예에서는, 베이스 판(160)에 직립으로 설치되어 있고, 또 스토퍼(174, 176)의 조(組)마다 제1 이동 블록(162)을 사이에 두고 제1 이동 블록(162)의 이동방향과 직교하는 방향으로 간격을 두고 있다.Two sets of stoppers 174 and 176 are provided in the base plate 160 in a state spaced apart in the moving direction of the first moving block 162. In the illustrated example, the stoppers 174 and 176 are installed upright on the base plate 160, and the stoppers 174 and 176 are provided with the first moving block 162 interposed therebetween for each pair of stoppers 174 and 176. The space | interval is spaced in the direction orthogonal to the moving direction of the 1 moving block 162. FIG.

제1 이동 블록(162)은, 도시하지 않은 구동기구에 의해, 나중에 설명하는 접촉자(172)가 표시용 패널(12)의 전극에 접촉하는 전진위치와, 접촉자(172)가 표시용 패널(12)로부터 떨어져 후퇴하는 대기위치 즉 후퇴위치로 이동된다.The first moving block 162 is a forward mechanism in which a contactor 172, which will be described later, contacts the electrode of the display panel 12 by a driving mechanism (not shown), and the contactor 172 is the display panel 12. Is moved to the standby position, i.e., the retracted position.

상기와 같은 이동기구로서, 잭(jack)식 구동기구, 솔레노이드 구동기구 등, 제1 방향에서의 제1 이동 블록(162)의 위치를 조정 가능한 것을 이용할 수 있다.As the above moving mechanism, a jack type drive mechanism, a solenoid drive mechanism, or the like, which can adjust the position of the first moving block 162 in the first direction, can be used.

제1 이동 블록(162)은, 이것이 전진위치로 전진한 때에, 스토퍼(174)에 접하여 제1 이동 블록(162)의 전진을 제한하는 제한 블록(178)을 각 측부에 갖추고 있다.Each of the first moving blocks 162 includes a limiting block 178 on each side that contacts the stopper 174 and restricts the advance of the first moving block 162 when it moves forward.

제2 이동 블록(164)은, 이것이 제1 이동 블록(162)과 함께 전진한 때에, 스토퍼(176)에 접하는 2조의 회전체(180)를 갖추고 있다. 각 조의 회전체(180)는, 제2 이동 블록(164)으로부터 제1 이동 블록(162)의 측방을 제2 이동 블록(164)이 후퇴하는 방향으로 연장하는 스토퍼 암(182)의 후단부에, 수평방향으로 연장하는 축선 주위로 회전 가능하게 설치되어 있다.The 2nd moving block 164 is equipped with two sets of rotating bodies 180 which contact the stopper 176 when this advances with the 1st moving block 162. As shown in FIG. Each set of the rotating bodies 180 is provided at the rear end portion of the stopper arm 182 extending from the second moving block 164 to the side of the first moving block 162 in the direction in which the second moving block 164 retreats. And rotatable around an axis extending in the horizontal direction.

제1 이동 블록(162)이 전진위치 및 후퇴위치로 이동된 것을, 각각 베이스 판(160)에 배치된 센서(도시하지 않음)로 검출해도 좋다.You may detect that the 1st moving block 162 was moved to the forward position and the retracted position by the sensor (not shown) arrange | positioned at the base board 160, respectively.

제1 이동 블록(162)의 선단면(즉, 패널 받이(142)쪽 면)은, 패널 받이(142)쪽 만큼 패널 받이(142)로부터 위쪽으로 멀어지도록, 표시용 패널(12)에 대하여 경사진 비스듬히 아래를 향하는 경사면(184)으로 되어 있다. 제1 이동 블록(162)은 경사면(184)을 따라 비스듬히 상하방향으로 연장하는 가이드 레일(186)을 경사면(184)에 설치하고 있다.The distal end surface of the first movable block 162 (ie, the side face of the panel receiver 142) is tilted relative to the display panel 12 such that the front end face of the first movable block 162 is separated from the panel receiver 142 upward by the side of the panel receiver 142. The inclined surface 184 faces the picture obliquely downward. The first moving block 162 is provided on the inclined surface 184 with a guide rail 186 extending obliquely along the inclined surface 184 in the vertical direction.

제2 이동 블록(164)은, 가이드 레일(186)에 이동 가능하게 끼워진 가이드(188)에 의해, 제1 이동 블록(162)에 설치되어 있다. 스토퍼 암(182)은, 제2 이동 블록(164)에 나사로 고정되어 있다.The 2nd moving block 164 is attached to the 1st moving block 162 by the guide 188 inserted so that the movement to the guide rail 186 is possible. The stopper arm 182 is fixed to the second moving block 164 with a screw.

각 조의 회전체(180)는, 스토퍼(176)에 접촉하여 회전하면서 경사면(184)의 경사방향으로 이동하도록, 상하방향으로 간격을 두고 있다. 각 회전체(180)는, 도시한 예에서는, 스토퍼 암(182)에 장착된 롤러이지만, 볼과 같은 다른 부재여도 좋다.The rotary bodies 180 of the pairs are spaced in the vertical direction so as to move in the inclined direction of the inclined surface 184 while rotating in contact with the stopper 176. Each rotating body 180 is a roller attached to the stopper arm 182 in the illustrated example, but may be another member such as a ball.

제1 이동 블록(162)은, 경사면(184)에 경사면(184)과 직각으로 설치된 지지 부(190)와, 지지부(190)로부터 경사면(184)과 평행하게 비스듬히 위쪽으로 연장하는 로드(192)를 더 갖춘다.The first moving block 162 includes a support portion 190 installed on the inclined surface 184 at a right angle with the inclined surface 184, and a rod 192 extending obliquely upward from the support portion 190 in parallel with the inclined surface 184. Equipped with more.

제2 이동 블록(164)은, 로드(192)를 이것의 상부로부터 받아들이는 구멍(194)을 갖추고 있고, 또 로드(192)에 배치된 압축 코일 스프링과 같은 탄성체(196)에 의해, 제1 이동 블록(162)으로부터 멀어지도록 제2 방향으로 힘이 가해지고 있다.The second moving block 164 has a hole 194 that receives the rod 192 from the top thereof, and is provided by the elastic body 196 such as a compression coil spring disposed in the rod 192. Force is applied in the second direction away from the moving block 162.

각 접촉자(172)는, 포고핀 타입 또는 스프링핀 타입의 프로브이고, 접촉자 블록(166)을 관통하여 연장하고 있다. 접촉자(172)는, 표시용 패널(12)의 전극의 배열과 같은 배열로 배치되어 있고, 또 접촉자 블록(166)에 설치된 배선기판(도시하지 않음)과, 상기 배선기판에 설치된 커넥터(도시하지 않음)와, 상기 커넥터에 접속된 플렉시블(flexible) 인쇄배선판(도시하지 않음)을 사이에 두고, 검사장치의 전기회로에 전기적으로 접속된다.Each contact 172 is a pogo pin type or a spring pin type probe, and extends through the contact block 166. The contacts 172 are arranged in the same arrangement as that of the electrodes of the display panel 12, and are provided with a wiring board (not shown) provided in the contact block 166 and a connector provided with the wiring board (not shown). And a flexible printed wiring board (not shown) connected to the connector are electrically connected to the electrical circuit of the inspection apparatus.

접촉자(172)의 선단과 표시용 패널(12)과의 평행도나 높이 위치는, 접촉자 유닛(138)마다 조정할 수 있다. 이 때문에, 그와 같은 평행도나 높이 위치의 조정작업이 용이해지고, 표시용 패널(12)과 접촉자(172)와의 사이에 콘택트 벗어남이 생길 우려가 저감된다.The parallelism and the height position of the tip of the contactor 172 and the display panel 12 can be adjusted for each contactor unit 138. For this reason, the adjustment work of such a parallel degree and a height position becomes easy, and the possibility of contact deviation between the display panel 12 and the contactor 172 is reduced.

이어서, 도14를 참조하여 검사장치의 동작을 설명한다.Next, the operation of the inspection apparatus will be described with reference to FIG.

대기시, 제1 이동 블록(162)은, 도14(A)에 나타낸 바와 같이, 패널 받이(142)로부터 제1 방향으로 멀어진 대기위치로 후퇴되어 있다. 이 때문에, 제2 이동 블록(164)은, 패널 받이(142) 상의 표시용 패널(12)로부터 후퇴되어 있음과 동시 에, 탄성체(196)에 의해 비스듬히 위쪽으로 힘을 받아 표시용 패널(12)로부터 위쪽으로 멀어져 있다.At the time of waiting, as shown in FIG. 14 (A), the first moving block 162 is retracted to the standby position away from the panel receiver 142 in the first direction. For this reason, the second moving block 164 is retracted from the display panel 12 on the panel support 142 and at the same time, the display panel 12 receives an upward upward force by the elastic body 196. Away from upwards.

대기상태에 있어서는, 제1 및 제2 이동 블록(162, 164) 및 접촉자 블록(166)이 패널 받이(142)로의 표시용 패널(12)의 배치영역으로부터 X방향 또는 Y방향으로 멀어져 있기 때문에, 표시용 패널(12)을 패널 받이(142)에 대하여 용이하게 탈착할 수 있다.In the standby state, since the first and second moving blocks 162 and 164 and the contact block 166 are far from the arrangement area of the display panel 12 to the panel receiver 142 in the X direction or the Y direction, The display panel 12 can be easily detached from the panel support 142.

푸셔(154)는, 표시용 패널(12)을 패널 받이(142)에 대하여 탈착할 때, 푸쉬 편(158)을, 패널 받이(142)로부터 X방향 또는 Y방향으로 멀어지도록 후퇴시키고 있다.The pusher 154 retracts the push piece 158 away from the panel receiver 142 in the X or Y direction when the display panel 12 is detached from the panel receiver 142.

상기 상태에 있어서, 표시용 패널(12)이 패널 받이(142)에 놓여지면, 푸셔(154)는, 푸쉬 편(158)을 표시용 패널(12)을 향해 전진시킨다. 이에 의해, 패널 받이(142) 위의 표시용 패널(12)은, 스토퍼 핀(152)에 눌리고, 패널 받이(142)에 대하여 소정의 상태로 위치 결정된다. 이 때문에, 패널 받이(142)에 받아진 표시용 패널(12)을 전기적 접속장치(110)에 대하여 용이하게 위치 결정할 수 있다.In this state, when the display panel 12 is placed on the panel receiver 142, the pusher 154 advances the push piece 158 toward the display panel 12. Thereby, the display panel 12 on the panel support 142 is pressed by the stopper pin 152, and is positioned with respect to the panel support 142 in a predetermined state. For this reason, the display panel 12 received by the panel support 142 can be easily positioned with respect to the electrical connection device 110.

푸셔(154)의 푸쉬 편(158)이 전진되었을 때, 푸셔(154)의 지지 핀(161)은 패널 받이(142)의 요흠부(159)에 받아들여진다. 이 때문에, 패널 받이(142)가 존재함에도 불구하고, 푸쉬 편(158)의 이동 범위는 작아서 좋다.When the push piece 158 of the pusher 154 is advanced, the support pin 161 of the pusher 154 is received by the recess 159 of the panel receiver 142. For this reason, although the panel support 142 exists, the movement range of the push piece 158 may be small.

검사시, 제1 이동 블록(162)이 구동기구(도시하지 않음)에 의해 패널 받이(142)를 향해 전진된다. 도14(B)에 나타낸 바와 같이, 제1 이동 블록(162)의 전진종료시기에, 제2 이동 블록(164)의 회전체(180)가 스토퍼(176)에 접촉한다. 이에 의해, 제2 이동 블록(164)의 전진이 저지되고, 그 상태로 제1 이동 블록(162)이 더 전진된다.In inspection, the first moving block 162 is advanced toward the panel receiver 142 by a driving mechanism (not shown). As shown in Fig. 14B, at the end of the forward movement of the first moving block 162, the rotating body 180 of the second moving block 164 contacts the stopper 176. As a result, the advancement of the second moving block 164 is prevented, and the first moving block 162 is further advanced in that state.

제1 이동 블록(162)의 더한 전진에 의해, 제2 이동 블록(164)이 탄성체(196)의 힘에 저항하여 제1 이동 블록(162)에 대하여 제2 방향으로 후퇴된다. 이 때, 제2 이동 블록(164)은, 제1 이동 블록(162)이 패널 받이(142)에 접근하면 할수록 접촉자 블록(166)이 표시용 패널(12) 쪽으로 변위하도록 하강된다. 이 때, 회전체(180)는, 스토퍼(176)에 접촉하여 회전하면서 하강한다.By further advancing of the first moving block 162, the second moving block 164 is retracted with respect to the force of the elastic body 196 in the second direction with respect to the first moving block 162. At this time, the second moving block 164 is lowered so that the contact block 166 is displaced toward the display panel 12 as the first moving block 162 approaches the panel support 142. At this time, the rotating body 180 descends while rotating in contact with the stopper 176.

도14(C)에 나타낸 바와 같이, 제1 이동 블록(162)이 전진위치까지 전진되면, 제한 블록(178)이 스토퍼(174)에 접함으로써, 정지된다. 이에 의해, 제2 이동 블록(164) 및 접촉자 블록(166)은, 접촉자(172)가 표시용 패널(12)의 전극에 눌린 상태로, 하강이 정지된다.As shown in Fig. 14C, when the first moving block 162 is advanced to the advanced position, the limit block 178 is stopped by contacting the stopper 174. As a result, the lowering of the second moving block 164 and the contact block 166 is stopped while the contact 172 is pressed against the electrode of the display panel 12.

상기 상태로, 표시용 패널(12)에 통전되고, 점등검사가 행해진다. 검사가 종료하면, 전기적 접속장치(110)는, 상기와 반대로 동작하여 도14(A)에 나타낸 상태로 되돌아간다. 이 상태에 있어서, 표시용 패널(12)의 교환이 행해진다.In this state, the display panel 12 is energized and the lighting test is performed. When the inspection is finished, the electrical connection device 110 operates in the reverse manner to the above and returns to the state shown in Fig. 14A. In this state, the display panel 12 is replaced.

점등검사시, 광 확산판(146)이 패널 받이(142)에 설치되어 있기 때문에, 검사해야 할 표시용 패널(12)이 광 확산판(146)의 가까이에 받아지고, 그 결과 광 확산판(146)에서 확산된 빛이 표시용 패널(12)에 효과적으로 조사된다.In the lighting inspection, since the light diffusion plate 146 is provided in the panel support 142, the display panel 12 to be inspected is received near the light diffusion plate 146, and as a result, the light diffusion plate ( Light diffused from the 146 is effectively irradiated to the display panel 12.

제1 이동 블록(162)의 전진종료시기 및 후퇴 개시 시, 제1 이동 블록(162)의 이동로를 사이로 한 2조의 회전체(180)가 조마다 스토퍼(176)의 2곳에 접촉하면서 회전 이동하기 때문에, 제2 방향으로의 제2 이동 블록(164)의 이동이 안정하고 원 활해진다.At the end of the forward movement of the first moving block 162 and the start of the retreat, the two sets of the rotating bodies 180 interposed between the moving paths of the first moving block 162 contact the two stoppers 176 for each group and rotate. Therefore, the movement of the second moving block 164 in the second direction is stable and smooth.

상기와 같이 검사장치(10)에 있어서는, 패널 받이(142)를 이동시키지 않고, 표시용 패널(12)을 패널 받이(142)에 대하여 탈착할 수 있고, 제1 이동 블록(162)을 X방향 또는 Y방향으로 이동시키는 것만으로, 접촉자(172)를 이것이 표시용 패널(12)에 접촉하는 위치와 표시용 패널(12)로부터 멀어지는 위치로 변위시킬 수 있다. 그 결과, 표시용 패널(12)을 패널 받이(142)에 대하여 탈착하는 시간이 단축된다.In the inspection apparatus 10 as described above, the display panel 12 can be detached from the panel receiver 142 without moving the panel tray 142, and the first moving block 162 is moved in the X direction. Alternatively, only by moving in the Y direction, the contactor 172 can be displaced to a position where it contacts the display panel 12 and a position away from the display panel 12. As a result, the time for detaching the display panel 12 from the panel receiver 142 is shortened.

검사해야 할 표시용 패널을 크기가 다른 다른 표시용 기판으로 변경할 때, 전기적 접속장치(110)는, 새로운 표시용 패널(12)에 적합한 것으로 변경된다. 따라서, 검사 스테이지(14)를 교환하지 않고, 다른 크기의 표시용 패널의 검사가 가능해진다. 또, 패널 받이(142)는 이미 서술한 받음 영역(22)을 형성하고 있다.When the display panel to be inspected is changed to another display substrate having a different size, the electrical connection device 110 is changed to one suitable for the new display panel 12. Therefore, the inspection panel 14 can be inspected without changing the inspection stage 14. In addition, the panel receiver 142 forms the reception region 22 described above.

전기적 접속장치(110)는, 접촉자 유닛(138)을 프로브 베이스(136)에 설치하고, 프로브 베이스(136)를 설치 베이스(134)에 설치하여, 미리 완성한 전기적 접속장치에 설치해 두고, 크기가 다른 표시용 패널을 검사할 때는, 전기적 접속장치를 조립된 상태로 교환하는 것만으로 되기 때문에, 교환 작업이 보다 용이해진다.The electrical connection device 110 is provided with the contactor unit 138 to the probe base 136, the probe base 136 to the mounting base 134, and installed in a previously completed electrical connection device, the size is different When inspecting the display panel, it is only necessary to replace the electrical connection device in an assembled state, so that the replacement operation becomes easier.

전기적 접속장치는, 상기와 같이 교환 가능한 것일 필요는 없고, 프로브 베이스(136)를 설치 베이스(134)에 대하여 X방향 및 Y방향으로 이동시킴으로써 검사해야 할 표시용 패널의 크기에 적합하게 해도 좋고, 또 교환 불가능한 것, 예를 들어 단일 종류의 표시용 패널 전용의 것이어도 좋다.The electrical connection device need not be replaceable as described above, and may be adapted to the size of the display panel to be inspected by moving the probe base 136 in the X direction and the Y direction with respect to the mounting base 134, It may also be non-exchangeable, for example a single type of display panel.

본 발명은, 액정표시패널뿐만 아니라, 그와 같은 유리기판, 유기 EL 등, 다 른 표시용 패널의 검사장치에도 적용할 수 있다.The present invention can be applied not only to liquid crystal display panels, but also to inspection apparatuses of other display panels such as glass substrates and organic ELs.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and various changes can be made without departing from the spirit thereof.

본 발명은, 검사 스테이지를 변위시킴으로써, 좌우의 시야각 검사를 가능하게 하는 발명의 효과를 갖는다.This invention has the effect of the invention which enables the left-right viewing angle inspection by displacing the inspection stage.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications and variations of the present invention can be readily used by those skilled in the art, and all such variations or modifications can be considered to be included within the scope of the present invention.

Claims

An inspection stage receiving a display panel, a base frame supporting the inspection stage, a first rotating mechanism for rotating the inspection stage about a first axis extending in the vertical direction with respect to the base frame, and the inspection stage A second rotating mechanism rotating around a second axis extending in a horizontal direction with respect to the base frame, the first rotating mechanism being supported by the base frame, and the second rotating mechanism being the first rotating mechanism. And the inspection stage is supported by the base frame via the first or second rotating mechanism.

delete

2. The base frame according to claim 1, wherein the base frame includes a base mounted on the frame, a movable table supported to be movable in a horizontal direction crossing the second axis line, and a moving mechanism for moving the movable table relative to the base. Inspection device for display panel, characterized in that provided.

The said 1st rotating mechanism is a base member arrange | positioned at the said base frame so that rotation about the said 1st axis, and the agent which rotates the said base member about the said 1st axis about the said base frame is carried out. A display panel comprising: a first drive source, and a pair of struts which stand apart from the base member in the second axis direction and support the inspection stage rotatably around the second axis. Inspection device.

6. An inspection apparatus for a display panel according to claim 5, wherein said second rotating mechanism includes a second drive source supported on one of said pillars to rotate said inspection stage about said second axis. .

The said moving mechanism is a ball screw rotatably supported by the said base in the state extended in the moving direction of the said movable table, the nut couple | bonded with the said ball screw and installed in the said movable table, The said ball screw And a third drive source for rotating the rotation around this axis.

8. The inspection stage according to any one of claims 1 to 7, wherein the inspection stage includes a stage main body rotated by the first rotating mechanism, a support disposed on the stage main body, and an electrical connection device disposed on the support. An electrical connection device having a contactor unit of

Either of the said support stand and the said electrical connection device is equipped with the panel board which receives the display panel to be inspected, The display panel inspection apparatus characterized by the above-mentioned.

The display panel inspection apparatus according to claim 8, wherein the stage main body moves the support on at least a surface including the support.

The said electrical connector is a plate-shaped 1st base which has a 1st opening, the plate-shaped 2nd base arrange | positioned at the said 1st base, and the some contact unit arrange | positioned at the said 2nd base. Including,

And said second base is a panel receiving receiving panel for display, and includes a panel receiving forming a second rectangular opening facing the first opening.

The display device according to claim 10, wherein the electrical connection device comprises a plurality of stopper pins disposed on the second base such that the edges of the display panel received by the panel holder are in contact with each other, and the display panel received by the panel holder. And a plurality of pushers disposed in the second base so as to be pressed toward the stopper pins.

The display panel inspection apparatus according to claim 10, wherein each contact unit has a contact block provided with a plurality of contacts openably contacting the electrodes of the display panel received by the panel receiver.