JP2004108921A - Inspection device for substrate to be inspected - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネルや有機EL等の被検査基板の通電試験をする検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
四角形の辺を有する液晶表示パネルや有機EL等の表示用基板は、一般に、仕様書通りに製造されたか否かの通電試験を目視点灯検査又は自動点灯検査によりされる。
【0003】
点灯検査装置には、被検査基板としての表示用基板を水平に維持した状態で行うものと、被検査基板を傾斜させた状態で行うものとがある。特に、目視点灯検査においては、良否の確認を容易にすることから、被検査基板を傾斜させた状態で検査する装置が好まれている。
【0004】
本発明者らは、上記点に鑑み、また検査ステージに対する被検査基板の着脱の容易性の面から、被検査基板を検査ステージに水平の状態で着脱し、検査ステージを傾斜させて被検査基板を傾斜状態にして検査する発明をした(特許文献1参照)。
【0005】
この検査装置においては、被検査基板を検査ステージに水平の状態に載せ、その被検査基板を検査ステージに設けられた吸着溝に吸着して被検査基板を検査ステージに維持させ、検査ステージを傾斜させて被検査基板を斜めの状態に載置する。この種の検査装置においては、生産性を高めるために、検査の高速化が望まれており、そのためには、検査ステージを水平状態と傾斜状態とに高速度で変位させることが不可欠となる。
【0006】
【特許文献1】
特願2002−96596号公報
【0007】
【解決しようとする課題】
しかし、上記の検査装置では、検査ステージを水平状態から傾斜状態に高速度で変位させると、吸着溝による被検査基板の吸着力が小さいことから、検査ステージ上における被検査基板の高速変位に起因して被検査基板自体に生じる慣性力により、被検査基板が検査ステージから外れてしまうことがあり、検査時間全体の短縮化が難しい。
【0008】
本発明の目的は、被検査基板を高速度で変位させても、被検査基板がその慣性力で検査ステージから外れることを防止することにある。
【0009】
【解決手段、作用、効果】
本発明に係る被検査基板の検査装置は、被検査基板を受ける第1の位置と被検査基板を検査する第2の位置であって前記第1の位置と異なる第2の位置とに選択的に変位可能の検査ステージと、前記検査ステージに受けられた被検査基板を前記検査ステージに解除可能に押圧すべく前記検査ステージに配置された1以上の基板押えとを含む。前記基板押えは、前記検査ステージが少なくとも前記第1の位置から第2の位置に変位する間、被検査基板を前記検査ステージに押圧し、かつ、検査ステージが前記第2の位置に変位された後に前記検査ステージへの被検査基板の押圧を解除して、被検査基板の配置領域外に待避される押え部材を備える。
【0010】
検査ステージは、第1の位置において被検査基板を受け、次いで第2の位置に変位され、第2の位置において被検査基板の検査が行われた後、再び第1の位置に変位される。
【0011】
検査ステージが第1の位置から第2の位置に変位される間、検査ステージに配置された被検査基板は、基板押えの押え部材により検査ステージに押圧されて、移動不能とされている。これにより、検査ステージが第1の位置から第2の位置に高速度で変位しても、その変位中及びその直後に、被検査基板は検査ステージから外れるおそれがない。その結果、検査ステージの変位速度を速くして、1つの被検査体の検査に要する時間を短縮することができる。
【0012】
前記基板押えは、押え部材の他に、さらに、前記検査ステージに配置された支持ベースと、前記支持ベースと平行に及び互いに交差する第1及び第2の方向のいずれか一方に間隔をおいた複数のリンクアームであって前記第1及び第2の方向の他方へ伸びる軸線の周りに揺動可能に前記支持ベースに支持されており、前記押え部材を前記第1及び第2の方向の他方へ伸びる軸線の周りに枢軸的に支持する複数のリンクアームと、前記押え部材を、これが前記被検査基板を検査ステージに押圧する押圧位置と前記被検査基板の配置領域外に待避する待避位置とに選択的に変位させる駆動手段とを含むことができる。そのようにすれば、基板押えの構造が簡単になり、またサイズも小さくなる。その結果、基板押え全体の慣性力が小さくなり、その分、検査ステージの変位時間を短縮することができる。
【0013】
前記検査ステージの前記第1の位置は、前記第2の位置に対し前記第1及び第2の方向の一方へ伸びる軸線の周りに角度的に変位した位置としてもよい。
【0014】
前記検査ステージは、前記第1の位置において水平とされて、前記第2の位置において傾斜されるようにしてもよい。そのようにすれば、検査ステージが水平のときに被検査基板を検査ステージに対し着脱し、検査ステージが傾斜しているときに被検査基板を検査することとすることができるから、被検査基板の着脱が容易になるにもかかわらず、検査しやすい状態で目視検査をすることができ、検査効率が向上する。
【0015】
前記検査ステージは矩形の前記被検査基板を受けるべく平面視で四角形の形状を有し、前記基板押えは、前記被検査基板の複数の隅角部を個々に押圧するように、複数備えられていてもよい。そのようにすれば、被検査基板を検査ステージに確実に押圧することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
図1を参照するに、検査装置10は、長方形の液晶表示パネルを被検査基板12とする目視点灯検査装置として用いられる。図1において、紙面に垂直の方向が検査装置の左右方向(X方向)、右方側が検査装置の前方側、左方側が検査装置の後方側、左右方向が検査装置の前後方向(Y方向)、上下方向が検査装置の上下方向(Z方向)となる。
【0017】
検査装置10は、図示しないフレームに水平に設置される板状の支持体14と、その支持体14から上方へ伸びる支柱16と、左右方向へ水平に伸びる支持軸18により支柱16に角度的に回転可能に支持された検査ステージ20と、検査ステージ20を支持軸18の軸線の周りに揺動させる駆動機構22とを含む。
【0018】
検査ステージ20は、駆動機構22により支持軸18の軸線の周りに角度的に回転されて、被検査基板12を水平の状態で検査ステージ20に対し着脱する水平の第1の位置と、受けた被検査基板12を傾斜した状態で検査する傾斜した第2の位置とに選択的に変位される。
【0019】
駆動機構22は、検査ステージ20を、支持軸18を中心とするほぼ四半の円板に形成された扇形の従動歯車24と、従動歯車24に噛み合う駆動歯車26と、駆動歯車26を往復回転させる駆動機構28とを備えている。
【0020】
従動歯車24は、支持軸18に支持されている。駆動歯車26は支持体14上に組み付けられたブラケット30に左右方向へ伸びる軸線の周りに回転可能に支持されている。駆動機構28は、支持体14に設置されており、また電動機、回転式ソレノイド等の駆動源を含む。
【0021】
検査ステージ20は、従動歯車24に組み付けられた板状のベース32と、ベース32の上に組み付けられた支持ステージ34と、支持ステージ34の上に取り付けられかつバックライトユニットを収容しているチャックトップ36とを備えている。
【0022】
支持ステージ34は、チャックトップ36を左右方向及び前後方向に移動させると共に、上下方向(受けた基板に垂直の方向)へ伸びるθ軸線の周りに角度的に回転させる、X,Y,θステージに構成されている。
【0023】
図2及び図3に示すように、チャックトップ36は、バックライトユニットを収容しているケース(図示せず)に上蓋38を取り付け、上蓋38の上に被検査基板12を受ける矩形のフレーム40を取り外し可能に取り付けている。
【0024】
上蓋38は、被検査基板12より大きい長方形の形状を有しており、また、受けた被検査基板12よりやや小さい長方形の領域をバックライトユニットからの光の通過を許す表示領域42とし、その外側を吸着領域44としている。
【0025】
上蓋38は、また、バックライトユニットを収容しているケース(図示せず)に取り付けるボルト用の貫通穴46を各隅角部に、位置決め穴48を対向する長手方向の各辺の中央近傍にそれぞれ有している。
【0026】
上蓋38は、図示しないケースから上方へ伸びる位置決めピン(図示せず)を位置決め穴48に受け入れた状態で、貫通穴46に通されるボルト(図示せず)によりケースに組み付けられている。
【0027】
フレーム40は、被検査基板12の吸着領域44を真空的に吸着する1以上の吸着溝50(図4(B)参照)を長方形の4つの辺に対応する各縁部に有している。フレーム40は、図示しない複数のねじ部材により上蓋38に取り外し可能に取り付けられている。
【0028】
検査ステージ20は、フレーム40に対する被検査基板12の着脱時には図1(A)に示す第1の位置に変位されて維持され、受けた被検査基板12の検査時には図1(B)に示す第2の位置に変位されて維持される。
【0029】
図2及び図3を参照するに、上蓋38の上面には、被検査基板12の隣り合う縁部を受ける2組のストッパ52と、被検査基板12をストッパ52の組に押圧する複数のプッシャー54と、4つの基板押え56とが配置されている。
【0030】
図示の例では、長方形の隣り合う1組の長辺及び短辺に対応する各箇所に2つのストッパ52が長辺及び短辺の方向に間隔をおいて設けられている。また、他の長辺に対応する箇所に2つのプッシャー54が他の長辺の方向に間隔をおいて設けられており、他の短辺に対応する箇所に1つのプッシャー54が他の短辺の中央付近に設けられている。
【0031】
各組のストッパ52は、被検査基板12の対応する縁部が当接するように、対応する縁部の方向に間隔をおいている。
【0032】
各プッシャー54は、エアーシリンダやソレノイドのような駆動機構58のロッドのような可動子に押圧部材60を取り付けており、駆動機構58の伸張により押圧部材60を前進させて被検査基板12を押圧部材60でストッパ52に押し、駆動機構58の収縮により押圧部材60を後退させるように、駆動機構58において上蓋38に取り付けられている。
【0033】
フレーム40は、被検査基板12の吸着領域44を残して外側に開放する複数の切欠部を、ストッパ52及び押圧部材60の配置位置に有している。
【0034】
図4及び図5に示すように、各基板押え56は、上蓋38に取り付けられた一対の支持ベース62と、支持ベース62に前後方向又は左右方向に間隔をおいて揺動可能に支持された2組のリンクアーム64と、2組のリンクアーム64に左右方向又は前後方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能(揺動可能)に支持された板状の押え部材66と、リンクアーム64を揺動させる駆動機構68とを含む。
【0035】
ストッパ52及び押圧部材60の上端は、検査ステージ20に受けられた被検査基板12の下面より高く、その被検査基板12の上面の高さ位置未満とされている。
【0036】
両支持ベース62は、左右方向に間隔をおいている。各組のリンクアーム64は、前後方向に間隔をおいて上下方向へ伸びており、また左右方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に下端部において両支持ベース62に取り付けられている。
【0037】
押え部材66は、受けられた被検査基板12と平行の状態(水平の状態)で揺動(変位)可能にリンクアーム64に組み付けられている。押え部材66は、例えば、ゴム板のような弾性板を金属板のような板部材に装着した押えパッドを用いており、また弾性板が被検査基板12に当接するように、リンクアーム64に取り付けられている。
【0038】
駆動機構68は、図示の例では、前後方向に伸縮するエアーシリンダを用いており、ピストンロッドの先端部においてリンクアーム64に枢軸的に連結されており、シリンダにおいて支柱70に枢軸的に連結されている。駆動機構68として、エアーシリンダの代わりに、ソレノイドやリニアモータのような他の伸縮機構、回転源とラックとピニオンとを用いた機構等、他の機構を用いてもよい。
【0039】
各基板押え56は、被検査基板12の隅角部を押え部材66で押圧するように、上蓋38に設置されている。4つの基板押え56を用いる代わりに、被検査基板12のうち、検査ステージ20の揺動中心から遠い縁部側を押えるように1又は2つ用いてもよい。
【0040】
各組のリンクアーム64は、押え部材66を被検査基板12と平行の状態で揺動可能に支持する平行リンク機構を支持ベース62及び押え部材66と共同して形成している。リンクアーム64は、押え部材66を被検査基板12と平行の状態で揺動可能に支持することができるならば、4つに限定されない。
【0041】
各基板押え56は、これを平面的に見たとき、駆動機構68の伸縮にともなって、検査ステージ20に受けられた被検査基板12の配置領域の外となる図5(A)に示す待避位置と、その被検査基板12の隅角部を検査ステージ20に押圧する図5(B)に示す押圧位置とに変位される。
【0042】
検査装置10は、以下の手順で被検査基板12を測定する。
【0043】
図1(A)に示すように、検査装置10は、検査ステージ20を駆動機構22により水平に制御する。このとき、図5(A)に示すように、各基板押え56は、押え部材66を待避位置に待避させている。また、プッシャー54は、押圧部材60を後退させている。
【0044】
この状態で、被検査基板12が受け渡しロボットにより検査ステージ20に搬送され、検査ステージ20に載置される。このとき、被検査基板12は、ストッパ52に乗り上げないようにフレーム40に載せられる。
【0045】
次いで、各プッシャー54の駆動機構58が押圧部材60を前進させる。これにより、被検査基板12は、隣り合う縁部をストッパ52に当接されて、検査ステージ20に対し位置決められる。
【0046】
次いで、吸着溝50が真空引きされて、被検査基板12が検査ステージ20に吸着される。
【0047】
次いで、図5(B)に示すように、各基板押え56の押え部材66が駆動機構68により押え位置に変位されて、被検査基板12の上面(目視される面)の隅部を破損しない程度に押圧する。これにより、被検査基板12は、吸着溝50による吸着力と基板押え56とによる押圧力とが重畳的に作用するから、検査ステージ20に確実に保持される。
【0048】
次いで、図1(B)に示すように、検査ステージ20が第2の位置に変位されて、傾斜される。これにより、被検査基板12も傾斜される。このとき、被検査基板12が慣性力により図1において右方(検査装置の前面側)に変位しようとする。しかし、この変位は、被検査基板12が基板押え56により検査ステージ20に押圧されていることにより、阻止される。
【0049】
次いで、被検査基板12とプローブユニット(図示せず)との位置合わせが行われる。この位置合わせは、検査ステージ20を支持ステージ34によりX,Y方向に二次元的に変位されると共に、θ軸線の周りに角度的に回転させることにより、行うことができる。プローブユニットは、図1(B)において、被検査基板12の斜め右上に配置されている。
【0050】
次いで、基板押え56の押え部材66が図5(A)に示す待機位置に戻される。しかし、被検査基板12は、吸着溝50に吸着されていることと、ストッパ52及び押圧部材60により挟持されていることとから、検査ステージ20に対して変位しない。
【0051】
その後、プローブユニットが被検査基板12の側に斜め下方に移動されて、プローブユニットのプローブが被検査基板12の電極に押圧される。この際、押え部材66が待機位置に待避しているから、プローブユニットのプローブは被検査基板12の電極に確実に押圧され、基板押え56はプローブユニットの移動を妨げない。
【0052】
上記状態で、バックライトユニットが点灯されると共に、被検査基板12に通電されて、被検査基板12の点灯状態を目視して、被検査基板12の良否を判定する目視点灯検査が行われる。
【0053】
目視点灯検査は、被検査基板12が図1(B)に示すように斜めとされた状態で行われる。このため、被検査基板12の良否の確認が、被検査基板が水平の状態で目視点灯検査をする装置に比べ、容易になる。
【0054】
検査が終了すると、被検査基板12に対し斜め上方に移動されて被検査基板12から離され、検査ステージ20が図1(A)に示すように、元の第1の位置に戻される。検査ステージ20を第1の位置に戻す間、被検査基板12を基板押え56の押え部材66により検査ステージ20に押圧していてもよい。
【0055】
その後、検査済みの被検査基板12は、吸着溝への吸着と、ストッパ52及び押圧部材60による挟持とを解除され、受け渡しロボットにより検査ステージ20から取り去られる。
【0056】
検査装置10においては、検査ステージ20が第1の位置から第2の位置に変位される間、検査ステージ20上の被検査基板12が押え部材66により検査ステージ20に押圧されて、移動不能に維持されるから、検査ステージ20が第1の位置から第2の位置に高速度で変位しても、その変位中及びその直後において、被検査基板12が検査ステージ20から外れるおそれがない。その結果、検査ステージ20の変位速度を速くして、1つの被検査体の検査に要する時間を短縮することができる。
【0057】
プッシャー54による被検査基板12の押圧は、被検査基板12を吸着溝50に吸着した後、押え部材66により被検査基板12を押圧した後、被検査基板12が待機位置に戻された後等、適宜な時期に解除してもよい。
【0058】
被検査基板12としては、液晶表示パネルの代わりに、有機EL等の他の被検査基板としてもよい。また、検査ステージ20に対する被検査基板12の受け渡しを受け渡しロボットで行う代わりに、人手により行ってもよい。さらに、検査ステージを第1及び第2の位置に選択的に変位させる機構として、図示の例の代わりに、回転源、リードスクリュー、リードナット、リンク等を用いた機構や、シリンダ機構、リニアモータ等の直線運動機構等、他の機構を用いてもよい。
【0059】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る被検査基板の検査装置の側面図であって、(A)は検査ステージを水平位置にした状態を示す図、(B)は検査ステージを傾斜位置にした状態を示す図である。
【図2】図1に示す検査装置の検査ステージの外観斜視図である。
【図3】図2に示す検査ステージの平面図である。
【図4】図2に示す基板押えの拡大図であって、(A)は平面図、(B)は正面図、(C)は側面図である。
【図5】図4に示す基板押えの拡大斜視図であであって、(A)は基板押えが待機位置に待避されている状態を示す図、(B)は基板押えが押え位置に変位されている状態を示す図である。
【符号の説明】
10 検査装置
12 被検査基板
20 検査ステージ
22 検査ステージ用の駆動機構
32 ベース
34 支持ステージ
36 チャックトップ
62 支持ベース
64 リンクアーム
66 押え部材
68 駆動機構[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an inspection apparatus for conducting a current test on a substrate to be inspected such as a liquid crystal display panel or an organic EL.
[0002]
[Prior art]
In general, a display substrate such as a liquid crystal display panel or an organic EL having a rectangular side is subjected to a visual lighting test or an automatic lighting test for an energization test to determine whether or not it has been manufactured according to specifications.
[0003]
There are two types of lighting inspection devices: one in which the display substrate as the substrate to be inspected is kept horizontal, and the other in which the substrate to be inspected is inclined. In particular, in the visual lighting inspection, an apparatus that inspects a substrate to be inspected in an inclined state is preferred because it facilitates checking of quality.
[0004]
In view of the above points, the inventors of the present invention attach and detach the substrate to be inspected to and from the inspection stage in a horizontal state, and tilt the inspection stage to allow the substrate to be inspected to be detached from the inspection stage. The invention was made in which the inspection was performed in a tilted state (see Patent Document 1).
[0005]
In this inspection apparatus, the substrate to be inspected is placed horizontally on an inspection stage, the substrate to be inspected is sucked into suction grooves provided in the inspection stage, the substrate to be inspected is maintained on the inspection stage, and the inspection stage is tilted. Then, the substrate to be inspected is placed in an oblique state. In this type of inspection apparatus, it is desired to increase the speed of inspection in order to increase productivity. For this purpose, it is essential to displace the inspection stage between a horizontal state and an inclined state at a high speed.
[0006]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Application No. 2002-96596
[Problem to be solved]
However, in the above-described inspection apparatus, when the inspection stage is displaced from the horizontal state to the inclined state at a high speed, the suction force of the inspection target substrate by the suction groove is small. Then, the substrate to be inspected may come off the inspection stage due to the inertial force generated in the substrate to be inspected itself, and it is difficult to shorten the entire inspection time.
[0008]
An object of the present invention is to prevent a substrate to be inspected from being detached from an inspection stage due to its inertial force even when the substrate to be inspected is displaced at a high speed.
[0009]
[Solutions, actions, and effects]
The inspection apparatus for a substrate to be inspected according to the present invention selectively selects a first position for receiving the substrate to be inspected and a second position for inspecting the substrate to be inspected, the second position being different from the first position. A test stage that can be displaced to a predetermined position, and one or more substrate holders disposed on the test stage to releasably press the substrate to be tested received by the test stage against the test stage. The substrate presser presses a substrate to be inspected against the inspection stage while the inspection stage is displaced at least from the first position to the second position, and the inspection stage is displaced to the second position. A pressing member is provided which releases the pressing of the substrate to be inspected to the inspection stage later and is evacuated outside the area where the substrate to be inspected is arranged.
[0010]
The inspection stage receives the substrate to be inspected at the first position, is then displaced to the second position, is inspected at the second position, and is again displaced to the first position.
[0011]
While the inspection stage is displaced from the first position to the second position, the substrate to be inspected disposed on the inspection stage is pressed by the inspection stage by the pressing member of the substrate holder and is immovable. Thus, even when the inspection stage is displaced from the first position to the second position at a high speed, the substrate to be inspected does not come off the inspection stage during the displacement and immediately thereafter. As a result, the displacement speed of the inspection stage can be increased, and the time required for inspecting one inspection object can be reduced.
[0012]
In addition to the pressing member, the substrate press is further provided with a support base disposed on the inspection stage and an interval in one of first and second directions parallel to and intersecting with the support base. A plurality of link arms supported by the support base so as to be swingable around an axis extending in the other of the first and second directions, and the pressing member is configured to move the holding member in the other of the first and second directions; A plurality of link arms pivotally supported around an axis extending to, a pressing position where the pressing member presses the substrate to be inspected against an inspection stage, and a retracting position where the pressing member retracts out of the arrangement area of the substrate to be inspected. And driving means for selectively displacing the driving means. By doing so, the structure of the substrate holder is simplified and the size is reduced. As a result, the inertia force of the entire substrate holder is reduced, and the displacement time of the inspection stage can be shortened accordingly.
[0013]
The first position of the inspection stage may be a position that is angularly displaced relative to the second position about an axis extending in one of the first and second directions.
[0014]
The inspection stage may be horizontal at the first position and inclined at the second position. By doing so, the substrate to be inspected can be attached to and detached from the inspection stage when the inspection stage is horizontal, and the substrate to be inspected can be inspected when the inspection stage is inclined. Despite the ease of attachment and detachment, visual inspection can be performed in a state where inspection is easy, and inspection efficiency is improved.
[0015]
The inspection stage has a rectangular shape in plan view to receive the rectangular substrate to be inspected, and a plurality of substrate holders are provided so as to individually press a plurality of corners of the substrate to be inspected. You may. By doing so, the substrate to be inspected can be reliably pressed against the inspection stage.
[0016]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Referring to FIG. 1, an
[0017]
The
[0018]
The
[0019]
The
[0020]
The driven
[0021]
The
[0022]
The
[0023]
As shown in FIGS. 2 and 3, the
[0024]
The
[0025]
The
[0026]
The
[0027]
The
[0028]
The
[0029]
Referring to FIGS. 2 and 3, on the upper surface of the
[0030]
In the illustrated example, two
[0031]
The
[0032]
Each
[0033]
The
[0034]
As shown in FIGS. 4 and 5, each
[0035]
The upper ends of the
[0036]
Both support bases 62 are spaced apart in the left-right direction. Each set of
[0037]
The holding
[0038]
In the illustrated example, the
[0039]
Each
[0040]
In each set of
[0041]
Each of the
[0042]
The
[0043]
As shown in FIG. 1A, the
[0044]
In this state, the substrate to be inspected 12 is transported to the
[0045]
Next, the
[0046]
Next, the
[0047]
Next, as shown in FIG. 5B, the pressing
[0048]
Next, as shown in FIG. 1B, the
[0049]
Next, alignment between the substrate to be inspected 12 and a probe unit (not shown) is performed. This alignment can be performed by displacing the
[0050]
Next, the pressing
[0051]
Thereafter, the probe unit is moved obliquely downward toward the substrate to be inspected 12, and the probes of the probe unit are pressed against the electrodes of the substrate to be inspected 12. At this time, since the pressing
[0052]
In the above state, the backlight unit is turned on and the board under
[0053]
The visual lighting inspection is performed in a state where the substrate to be inspected 12 is inclined as shown in FIG. For this reason, it is easier to check the quality of the substrate to be inspected 12 as compared with an apparatus that performs a visual lighting inspection in a state where the substrate to be inspected is horizontal.
[0054]
When the inspection is completed, the substrate is moved obliquely upward with respect to the substrate to be inspected 12 and separated from the substrate to be inspected 12, and the
[0055]
Thereafter, the inspected
[0056]
In the
[0057]
The push of the
[0058]
The substrate to be inspected 12 may be another substrate to be inspected such as an organic EL instead of the liquid crystal display panel. Further, instead of performing the transfer of the substrate to be inspected 12 to the
[0059]
The present invention is not limited to the above embodiments, and can be variously modified without departing from the gist thereof.
[Brief description of the drawings]
1A and 1B are side views of an inspection apparatus for a substrate to be inspected according to the present invention, in which FIG. 1A shows a state in which the inspection stage is in a horizontal position, and FIG. 1B shows a state in which the inspection stage is in an inclined position. FIG.
FIG. 2 is an external perspective view of an inspection stage of the inspection apparatus shown in FIG.
FIG. 3 is a plan view of the inspection stage shown in FIG.
FIG. 4 is an enlarged view of the substrate holder shown in FIG. 2, wherein (A) is a plan view, (B) is a front view, and (C) is a side view.
5A and 5B are enlarged perspective views of the substrate retainer shown in FIG. 4, wherein FIG. 5A shows a state in which the substrate retainer is retracted to a standby position, and FIG. FIG.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記検査ステージに受けられた被検査基板を前記検査ステージに解除可能に押圧すべく前記検査ステージに配置された1以上の基板押えとを含み、
前記基板押えは、前記検査ステージが少なくとも前記第1の位置から第2の位置に変位する間、被検査基板を前記検査ステージに押圧し、かつ、検査ステージが前記第2の位置に変位された後に前記検査ステージへの被検査基板の押圧を解除して、被検査基板の配置領域外に待避される押え部材を備える、被検査基板の検査装置。An inspection stage selectively displaceable to a first position for receiving the substrate to be inspected and a second position for inspecting the substrate to be inspected, the second position being different from the first position;
One or more substrate holders disposed on the inspection stage to releasably press the substrate to be inspected received by the inspection stage against the inspection stage,
The substrate presser presses a substrate to be inspected against the inspection stage while the inspection stage is displaced at least from the first position to the second position, and the inspection stage is displaced to the second position. An inspection apparatus for inspecting a substrate to be inspected, comprising: a pressing member which releases the pressing of the substrate to be inspected to the inspection stage later and is evacuated outside the arrangement area of the substrate to be inspected.
前記検査ステージに配置された支持ベースと、
前記支持ベースと平行に及び互いに交差する第1及び第2の方向のいずれか一方に間隔をおいた複数のリンクアームであって前記第1及び第2の方向の他方へ伸びる軸線の周りに揺動可能に前記支持ベースに支持されており、前記押え部材を前記第1及び第2の方向の他方へ伸びる軸線の周りに枢軸的に支持する複数のリンクアームと、
前記押え部材を、これが前記被検査基板を検査ステージに押圧する押圧位置と前記被検査基板の配置領域外に待避する待避位置とに選択的に変位させる駆動手段とを含む、請求項1に記載の検査装置。The substrate holder further includes:
A support base arranged on the inspection stage,
A plurality of link arms spaced in one of first and second directions parallel to and intersecting with the support base and swinging about an axis extending in the other of the first and second directions; A plurality of link arms movably supported by the support base and pivotally supporting the holding member about an axis extending in the other of the first and second directions;
2. The driving device according to claim 1, further comprising a driving unit configured to selectively displace the pressing member between a pressing position where the pressing member presses the substrate to be inspected against an inspection stage and a retracting position where the pressing member retracts outside the area where the substrate to be inspected is disposed. Inspection equipment.
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