JP2003004588A - Test device for display board - Google Patents

Test device for display board

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JP2003004588A
JP2003004588A JP2001183147A JP2001183147A JP2003004588A JP 2003004588 A JP2003004588 A JP 2003004588A JP 2001183147 A JP2001183147 A JP 2001183147A JP 2001183147 A JP2001183147 A JP 2001183147A JP 2003004588 A JP2003004588 A JP 2003004588A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
inspection
stage
transfer
guide
Prior art date
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Pending
Application number
JP2001183147A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yutaka Kosaka
裕 小坂
Shinji Fujiwara
慎治 藤原
Isao Ueki
勲 植木
Original Assignee
Micronics Japan Co Ltd
株式会社日本マイクロニクス
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Micronics Japan Co Ltd, 株式会社日本マイクロニクス filed Critical Micronics Japan Co Ltd
Priority to JP2001183147A priority Critical patent/JP2003004588A/en
Publication of JP2003004588A publication Critical patent/JP2003004588A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make it possible to read and photograph alignment marks even in the case the kind of board to be tested is changed. SOLUTION: The test device two-dimensionally moves a video camera for photographing the alignment mark in a plane parallel to the board supported on a test stage and a camera stage of a test station in first and second directions crossing each other. A head for reading identifying codes, which are arranged in a carrying station, can also be two-dimensionally moved in the carrying station by using a head stage.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
ような表示用基板の検査をする装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for inspecting a display substrate such as a liquid crystal display panel.
【0002】[0002]
【従来の技術】液晶表示用パネルのような表示用基板
は、一般に、点灯検査のような通電試験をされる。その
ような試験すなわち検査は、検査すべき基板を受け渡し
装置に載せ、受け渡し装置において基板の粗アライメン
トをし、その基板を測定ステージすなわち検査ステージ
に渡し、その検査ステージにおいて検査装置に対し基板
の精密アライメントをし、その後基板に通電することに
より行われる。測定済みすなわち検査済みの基板は、検
査ステージから同じ又は他の受け渡し装置に渡され、そ
の受け渡し装置から除去される。
2. Description of the Related Art A display substrate such as a liquid crystal display panel is generally subjected to a current test such as a lighting test. Such a test or inspection is performed by placing a substrate to be inspected on a transfer device, performing rough alignment of the substrate on the transfer device, and passing the substrate to a measurement stage, that is, an inspection stage. The alignment is performed, and then the substrate is energized. The measured or inspected substrate is passed from the inspection stage to the same or another delivery device and removed from the delivery device.
【0003】上記のような表示用基板の検査において
は、検査すべき基板を特定する識別子と、プローブユニ
ットに対する精密アライメントをするためのアライメン
トマークを予め基板に形成しておき、実際の検査に先立
って識別子を読み取って検査後にその基板の良否をその
識別子と共に記録又は記憶し、またアライメントマーク
を読み取って検査装置に対する基板の精密アライメント
をすることが行われる。
In the inspection of the display substrate as described above, an identifier for identifying the substrate to be inspected and an alignment mark for precise alignment with the probe unit are formed on the substrate in advance, and prior to the actual inspection. After the inspection, the quality of the substrate is recorded or stored together with the identifier by reading the identifier, and the alignment mark is read to perform precise alignment of the substrate with the inspection device.
【0004】基板は、粗アライメントによりアライメン
トマークがこれを撮影するビデオカメラの視野内に入る
ように検査装置に対して位置決められ、精密アライメン
トにより基板の電極がプローブユニットの接触子に確実
に接触するように検査装置特にプローブユニットに対し
て位置決められる。
The substrate is positioned with respect to the inspection device by the coarse alignment so that the alignment mark is within the field of view of the video camera for photographing the alignment mark, and the electrode of the substrate is surely brought into contact with the contact of the probe unit by the fine alignment. Thus, it is positioned with respect to the inspection device, in particular the probe unit.
【0005】[0005]
【解決しようとする課題】しかし、従来の検査装置で
は、識別子用の読み取りヘッドと、アライメントマーク
用のビデオカメラとを、受け渡し装置や検査ステージが
配置された本体又は該本体に装着されたプローブユニッ
トに組み付けているため、読み取りヘッド及びビデオカ
メラを、同じ種類の基板、特に大きさが同じ基板に用い
ることはできるが、異なる種類の基板、特に大きさが異
なる基板に共通に用いることができない。
However, in the conventional inspection apparatus, the read head for the identifier and the video camera for the alignment mark are provided in the main body on which the transfer device or the inspection stage is arranged, or the probe unit attached to the main body. Since the read head and the video camera can be used on the same type of substrate, particularly, the same size substrate, the read head and the video camera cannot be commonly used on different types of substrates, especially, different size substrates.
【0006】すなわち、読み取りヘッド及びビデオカメ
ラに対する基板の識別子及びアライメントマークの位置
が基板の種類によって異なるにもかかわらず、従来の検
査装置では、読み取りヘッド及びビデオカメラの位置が
固定であるから、検査すべき基板の種類が変更される
と、識別子及びアライメントマークがそれぞれ読み取り
ヘッド及びビデオカメラの視野から外れてしまい、その
結果識別子を読み取ることができないし、アライメント
マークを撮影することができない。
That is, in the conventional inspection apparatus, the positions of the read head and the video camera are fixed even though the positions of the substrate identifier and the alignment mark with respect to the read head and the video camera are different depending on the type of the substrate. When the type of substrate to be changed is changed, the identifier and the alignment mark are out of the visual fields of the read head and the video camera, respectively, and as a result, the identifier cannot be read and the alignment mark cannot be photographed.
【0007】このため、従来では、検査装置に対するア
ライメントマーク及び識別子の位置が異なる基板に変更
されるたびに、新たな基板上のアライメントマーク及び
識別子に対するビデオカメラ及び読み取りヘッドの設定
を手作業で行っており、それらを正確に設定することが
難しかった。特に、アライメントマークに対するビデオ
カメラの設定が不正確であると、基板の電極がプローブ
ユニットの接触子に正確に接触しない、という不都合を
きたす。
Therefore, conventionally, every time the position of the alignment mark and the identifier on the inspection apparatus is changed to a different substrate, the video camera and the read head are manually set for the alignment mark and the identifier on the new substrate. And it was difficult to set them accurately. In particular, if the setting of the video camera with respect to the alignment mark is incorrect, the electrodes of the substrate do not come into accurate contact with the contacts of the probe unit.
【0008】本発明の目的は、検査すべき基板の種類が
変更されても、アライメントマークをそれぞれ読み取り
可能及び撮影可能にすることにある。
An object of the present invention is to make it possible to read the alignment mark and photograph the alignment mark even if the type of the substrate to be inspected is changed.
【0009】[0009]
【解決手段、作用、効果】本発明に係る検査装置は、検
査ステーション及び移載ステーションを備える本体と、
表示用基板を受けるべく前記検査ステーションに配置さ
れた検査ステージと、該検査ステージに受けられた基板
のアライメントマークを撮影する1以上のビデオカメラ
と、該ビデオカメラを前記検査ステージに受けられた基
板と平行の面内で互いに交差する第1及び第2の方向に
二次元的に移動させるカメラステージとを含む。
An inspection apparatus according to the present invention includes a main body including an inspection station and a transfer station,
An inspection stage arranged at the inspection station to receive a display substrate, one or more video cameras for photographing alignment marks of the substrate received by the inspection stage, and a substrate received by the inspection stage by the video camera And a camera stage that is two-dimensionally moved in first and second directions intersecting each other in a plane parallel to.
【0010】検査すべき基板の種類が変更されると、ビ
デオカメラは、新たな基板のアライメントマークがビデ
オカメラの視野に入るように、受けられた基板と平行の
面内でカメラステージにより二次元的に移動される。そ
の結果、検査すべき基板の種類が変更されても、識別子
を読み取ることができるし、アライメントマークを撮影
することができる。
When the type of substrate to be inspected is changed, the video camera uses a two-dimensional camera stage in a plane parallel to the received substrate so that the alignment mark of the new substrate is in the field of view of the video camera. Will be moved. As a result, even if the type of substrate to be inspected is changed, the identifier can be read and the alignment mark can be photographed.
【0011】前記カメラステージは、前記第2の方向に
間隔をおいて前記第1の方向へ平行に伸びる一対の第1
のガイドと、前記第1の方向に間隔をおいて前記第2の
方向へ伸びると共に前記第1の方向へ移動可能に前記第
1のガイドに結合された一対の第2のガイドであってそ
れぞれが複数の前記ビデオカメラを前記第2の方向に間
隔をおいて及び前記第2の方向へ移動可能に支持する一
対の第2のガイドと、該両第2のガイドをそれらが前記
第1の方向において相寄り相離れる方向へ移動させる第
1の駆動機構と、前記ビデオカメラを前記第2の方向に
おいて相寄り相離れる方向へ移動させる第2の駆動機構
とを含むことができる。そのようにすれば、簡単な機構
でビデオカメラを二次元的に移動させることができる
し、基板に形成された複数のアライメントマークを複数
のビデオカメラにより個々に撮影することができる。
The camera stage has a pair of first first portions which are spaced apart in the second direction and extend parallel to the first direction.
And a pair of second guides that are coupled to the first guide so as to extend in the second direction at intervals in the first direction and to be movable in the first direction. A pair of second guides for supporting a plurality of the video cameras at a distance in the second direction and movably in the second direction; A first drive mechanism for moving the video camera in a direction closer to each other and a second drive mechanism for moving the video camera in a direction closer to each other in the second direction. By doing so, the video camera can be moved two-dimensionally with a simple mechanism, and the plurality of alignment marks formed on the substrate can be individually photographed by the plurality of video cameras.
【0012】検査装置は、さらに、表示用基板の受け渡
しをすべく前記移載ステーションに配置された受け渡し
装置と、該受け渡し装置に受けられた基板に形成されて
いる識別子を読み取る読み取りヘッドと、該読み取りヘ
ッドを前記受け渡し装置に受けられた基板と平行の面内
で互いに交差する第3及び第4の方向に二次元的に移動
させるヘッドステージとを含むことができる。そのよう
にすれば、検査すべき基板の種類が変更されると、読み
取りヘッドは、新たな基板の識別子が読み取りヘッドの
視野に入るように、受けられた基板と平行の面内でヘッ
ドステージにより二次元的に移動される。その結果、検
査すべき基板の種類が変更されても、識別子を読み取る
ことができる。
The inspection apparatus further includes a transfer device arranged at the transfer station to transfer the display substrate, a reading head for reading an identifier formed on the substrate received by the transfer device, A head stage for moving the reading head two-dimensionally in third and fourth directions intersecting each other in a plane parallel to the substrate received by the delivery device. That way, when the type of substrate to be inspected is changed, the read head will be moved by the head stage in a plane parallel to the received substrate so that the identifier of the new substrate is in the field of view of the read head. It is moved two-dimensionally. As a result, the identifier can be read even if the type of board to be inspected is changed.
【0013】前記ヘッドステージは、前記第4の方向に
間隔をおいて前記第3の方向へ平行に伸びる一対の第3
のガイドと、前記第4方向へ伸びると共に前記第3ガイ
ドに前記第3の方向へ移動可能に結合された第4のガイ
ドであって前記読み取りヘッドを前記第4の方向へ移動
可能に支持する第4のガイドと、前記第4のガイドを前
記第3の方向へ移動させる第3の駆動機構と、前記読み
取りヘッドを前記第4の方向へ移動させる第4の駆動機
構とを含むことができる。そのようにすれば、簡単な機
構で読み取りヘッドを二次元的に移動させることができ
る。
The head stage is a pair of third head stages which are spaced apart in the fourth direction and extend parallel to the third direction.
And a fourth guide that extends in the fourth direction and is movably coupled to the third guide in the third direction and supports the read head movably in the fourth direction. A fourth guide, a third drive mechanism for moving the fourth guide in the third direction, and a fourth drive mechanism for moving the read head in the fourth direction can be included. . By doing so, the read head can be moved two-dimensionally with a simple mechanism.
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】図1から図9を参照するに、検査
装置10は、液晶を封入した長方形の液晶表示パネルを
測定すべき基板12とする目視点灯検査装置として用い
られる。基板12は、図示の例では、長方形の隣り合う
辺のそれぞれに複数の電極を備えている。
1 to 9, an inspection device 10 is used as a visual lighting inspection device in which a rectangular liquid crystal display panel containing liquid crystal is used as a substrate 12 to be measured. In the illustrated example, the substrate 12 includes a plurality of electrodes on each of adjacent sides of the rectangle.
【0015】検査装置10は、前面上部が上向きの傾斜
面とされた本体14を含む。本体14は、複数のチャン
ネル部材を組み立てた本体フレームと、該本体フレーム
に取り外し可能に取り付けられた複数のパネルとにより
筐体の形に形成されている。
The inspection apparatus 10 includes a main body 14 whose upper front surface is an upwardly inclined surface. The main body 14 is formed in a housing shape by a main body frame in which a plurality of channel members are assembled and a plurality of panels detachably attached to the main body frame.
【0016】本体14の傾斜面の左右方向(図1におい
て左右方向であり、以下「Y方向」という。)における
一方側の領域は基板12の測定ステーションすなわち検
査ステーションとされており、検査ステーションのY方
向における他方の領域は未検査及び測定済みの基板のた
めの中継ステーションとされている。
An area on one side of the inclined surface of the main body 14 in the left-right direction (which is the left-right direction in FIG. 1 and hereinafter referred to as "Y direction") is a measurement station of the substrate 12, that is, an inspection station. The other area in the Y direction serves as a relay station for untested and measured substrates.
【0017】図示してはいないが、未検査の基板及び検
査済みの基板を水平の状態に収納するための複数のカセ
ットは、中継ステーションの後方(前後方向は、図1に
おいて、紙面に垂直の方向であり、以下「X方向」とい
う。)に間隔をおいたカセットステーションに設置され
ている。
Although not shown, a plurality of cassettes for accommodating uninspected substrates and inspected substrates in a horizontal state are provided at the rear of the relay station (the front-back direction is perpendicular to the paper surface in FIG. 1). Direction, and is hereinafter referred to as "X direction").
【0018】未検査の基板用カセットと空のカセットと
はカセットステーションにY方向に間隔をおいて配置さ
れている。基板12を中継ステーションからカセットス
テーションに又はその逆に移す移載用のロボットは、X
方向における中継ステーションとカセットステーション
との間の移載ステーションに配置されている。
The uninspected substrate cassette and the empty cassette are arranged in the cassette station with a space in the Y direction. The transfer robot that transfers the substrate 12 from the relay station to the cassette station or vice versa is
It is located at the transfer station between the relay station and the cassette station in the direction.
【0019】測定用のプローブユニット16と測定ステ
ージすなわち検査ジ18とは検査ステーションに配置さ
れており、受け渡し装置20は中継ステーションに配置
されている。本体14は、矩形をした第1及び第2の開
口をそれぞれ検査ステーション及び中継ステーションに
あって前面上部の上向き傾斜面に有している。
The probe unit 16 for measurement and the measuring stage, that is, the inspection jig 18 are arranged in the inspection station, and the transfer device 20 is arranged in the relay station. The main body 14 has first and second rectangular openings at the inspection station and the relay station, respectively, on the upper inclined surface of the front surface.
【0020】以下の説明においては、検査ステージ18
に受けられた基板と垂直の軸線及び受け渡し装置20に
受けられた基板と垂直の軸線のいずれも「Z軸線」とい
い、Z軸線の方向を「Z方向」といい、検査ステージ1
8に受けられた基板と平行の面内でY方向と直角の方向
及び受け渡し装置20に受けられた基板との面内でY方
向と直角の方向いずれも、「X‘方向」という。
In the following description, the inspection stage 18
The axis line perpendicular to the substrate received by the transfer device 20 and the axis line perpendicular to the substrate received by the transfer device 20 are both referred to as the "Z axis line", and the direction of the Z axis line is referred to as the "Z direction".
Both the direction orthogonal to the Y direction in the plane parallel to the substrate received by 8 and the direction orthogonal to the Y direction in the plane of the substrate received by the transfer device 20 are referred to as “X ′ direction”.
【0021】図示の例では、基板12が矩形の隣り合う
辺のそれぞれに複数の電極を備えることから、プローブ
ユニット16は矩形の隣り合う辺に個々に対応された2
つのプローブ組立体を備えている。各プローブ組立体
は、基板12の電極に押圧される複数の接触子を備える
複数のプローブブロック22を矩形の板状ベース24に
一方向に間隔をおいて組み付けている。
In the illustrated example, since the substrate 12 is provided with a plurality of electrodes on each of the adjacent sides of the rectangle, the probe units 16 correspond to the two adjacent sides of the rectangle.
Equipped with two probe assemblies. In each probe assembly, a plurality of probe blocks 22 having a plurality of contacts pressed against the electrodes of the substrate 12 are assembled to a rectangular plate-shaped base 24 at intervals in one direction.
【0022】各プローブ組立体は、プローブブロック2
2の配置方向が対応する辺の方向となるように、本体1
4の第1の開口を形成する縁部に板状ベース24におい
て組み付けられている。プローブ組立体は、基板の電極
が配置された辺と同数備えられる。しかし、プローブブ
ロック22を本体14に直接組み付けてもよい。
Each probe assembly includes a probe block 2
The main body 1 so that the arrangement direction of 2 is the direction of the corresponding side.
The plate-shaped base 24 is assembled to the edge portion forming the first opening 4. The probe assemblies are provided in the same number as the sides of the substrate on which the electrodes are arranged. However, the probe block 22 may be directly assembled to the main body 14.
【0023】移載用のロボットは、移載ステーションを
Y方向へ平行に伸びる一対のガイドレールに移動可能に
支持させており、またモータ及び該モータにより回転さ
れるリードスクリューを備えるロボット移動機構により
Y方向の適宜な位置へ移動されて、カセット及び受け渡
し装置20に対し基板12を水平の状態で受け渡しかつ
搬送する。
In the transfer robot, the transfer station is movably supported by a pair of guide rails extending parallel to the Y direction, and a robot moving mechanism equipped with a motor and a lead screw rotated by the motor. The substrate 12 is moved to an appropriate position in the Y direction, and the substrate 12 is delivered and conveyed in a horizontal state to the cassette and the delivery device 20.
【0024】各ロボットは、二股状の一対のハンドをハ
ンド駆動機構により変位させて基板の受け渡しをする公
知の装置である。基板12は、ロボットにより長手方向
をハンドの長手方向と一致させた状態及び水平の状態で
搬送及び移載される。
Each robot is a known device that transfers a substrate by displacing a pair of forked hands with a hand drive mechanism. The substrate 12 is transported and transferred by a robot in a state where its longitudinal direction is aligned with the longitudinal direction of the hand and in a horizontal state.
【0025】ロボットによるカセット及び受け渡し装置
20に対する基板の受け渡しは、表示用基板を一方のア
ームに受け取るとともに、他方のアームに受けている表
示用基板をカセット又は受け渡し装置20に渡すよう
に、ロボット及び受け渡し装置20を制御することによ
り、行われる。
When the substrate is transferred to the cassette and the transfer device 20 by the robot, the display substrate is received by one arm and the display substrate received by the other arm is transferred to the cassette or the transfer device 20. This is performed by controlling the delivery device 20.
【0026】測定ステージ18は、図2に示すように、
基板12を解放可能に吸着するチャックトップ26と、
チャックトップ26を移動させる駆動ステージ28とを
含む。駆動ステージ28によるチャックトップ26の移
動は、チャックトップ26に受けた基板12と直交する
Z軸線の周りの角度的な回転と、受けた基板12と平行
の面内におけるX‘方向及びY方向への二次元的な移動
と、Z方向への移動とを含む。
The measuring stage 18, as shown in FIG.
A chuck top 26 for releasably adsorbing the substrate 12,
And a drive stage 28 for moving the chuck top 26. The movement of the chuck top 26 by the drive stage 28 is performed by rotating the chuck top 26 around the Z axis orthogonal to the substrate 12 received by the chuck top 26 and in the X ′ direction and the Y direction in a plane parallel to the received substrate 12. 2D movement and movement in the Z direction.
【0027】検査ステージ18と受け渡し装置20との
間の基板12に搬送は、図6に示す搬送装置30により
行われる。搬送装置30は、受け渡し装置20と検査ス
テージ18との間を往復移動される複数対の挟持部材3
2を一対のアーム34にY方向に間隔をおいて支持させ
ている。挟持部材32は、アーム34に配置された挟持
部材移動機構36により相寄り相離れる方向へ同期して
移動される。
The transfer to the substrate 12 between the inspection stage 18 and the transfer device 20 is performed by the transfer device 30 shown in FIG. The transfer device 30 includes a plurality of pairs of holding members 3 that are reciprocally moved between the delivery device 20 and the inspection stage 18.
2 are supported by a pair of arms 34 at intervals in the Y direction. The sandwiching member 32 is synchronously moved in a direction in which the sandwiching member moving mechanism 36 arranged on the arm 34 shifts toward and away from each other.
【0028】搬送装置30は、挟持部材32を相寄る方
向へ移動させて基板12を挟持部材32で傾斜した状態
に挟持してその状態で搬送し、また挟持部材32を相離
れる方向へ移動させて基板を解放する。これにより、搬
送装置30は検査ステージ18及び受け渡し装置20に
対する基板12の受け渡しをする。
The carrying device 30 moves the holding members 32 in a direction toward each other, holds the substrate 12 in an inclined state with the holding members 32, and conveys it in that state, and also moves the holding members 32 in directions away from each other. Release the substrate. As a result, the transfer device 30 transfers the substrate 12 to and from the inspection stage 18 and the transfer device 20.
【0029】受け渡し装置20は、図6から図8に示す
ように、ワークテーブル40と、未検査又は測定済みの
基板12をロボットに対し水平の状態に挟むようにワー
クテーブル40に配置された複数の芯出し具42と、ワ
ークテーブル40を芯出し具42に挟まれた基板12に
垂直のZ軸線の方向へ移動させる移動機構44と、ワー
クテーブル40をY方向へ伸びる枢軸線の周りに角度的
に回転させる駆動機構46とを含む。
As shown in FIGS. 6 to 8, the transfer device 20 includes a work table 40 and a plurality of work tables 40 arranged so as to sandwich the untested or measured substrate 12 in a horizontal state with respect to the robot. Centering tool 42, a moving mechanism 44 for moving the work table 40 in the direction of the Z axis perpendicular to the substrate 12 sandwiched by the centering tool 42, and an angle about the axis of the work table 40 extending in the Y direction. And a drive mechanism 46 for rotating the same.
【0030】ワークテーブル40は、芯出し具42に挟
まれた基板12と平行な面内を仮想的な円の半径方向へ
伸びる複数のアーム48を支持機構50に支持させ、ロ
ボット及び搬送装置30に対し芯出し具42と共同して
基板12の受け渡しをする昇降テーブル52をこれがア
ーム48の中央に位置するように支持機構50に配置し
ている。
The work table 40 has a support mechanism 50 supporting a plurality of arms 48 extending in a radial direction of a virtual circle in a plane parallel to the substrate 12 sandwiched by the centering tool 42, and the robot and the transfer device 30. On the other hand, an elevating table 52 for delivering the substrate 12 in cooperation with the centering tool 42 is arranged on the support mechanism 50 so that it is located at the center of the arm 48.
【0031】図示の例では、4つのアーム48が十字状
に組み合わされており、各アーム48に芯出し具42が
配置されており、アーム48の交差部に昇降テーブル5
2が配置されている。
In the illustrated example, four arms 48 are combined in a cross shape, a centering tool 42 is arranged on each arm 48, and the lifting table 5 is provided at the intersection of the arms 48.
2 are arranged.
【0032】図示してはいないが、支持機構50は、ア
ーム48を基板12に垂直のZ軸線の周りに角度的に回
転させる回転機構と、昇降テーブル52をZ軸線の方向
に移動させる昇降機構すなわち変位機構とを備えてい
る。昇降テーブル52は、円板状に形成されており、ま
た基板12を解放可能に吸着する複数の吸着パッド54
を上面に有している。
Although not shown, the support mechanism 50 includes a rotating mechanism for angularly rotating the arm 48 around a Z axis perpendicular to the substrate 12 and a lifting mechanism for moving the lifting table 52 in the Z axis direction. That is, it has a displacement mechanism. The lifting table 52 is formed in a disk shape, and also has a plurality of suction pads 54 that releasably suction the substrate 12.
On the upper surface.
【0033】アーム48は支持機構50の回転機構の出
力軸56(図6参照)に組み付けられており、支持機構
50は移動機構44に支持されている。昇降テーブル5
2は、支持機構50の変位機構に支持されており、その
変位機構により、芯出し具42よりもZ方向に進出する
位置と、Z方向において芯出し具42とほぼ同じになる
後退する位置とに選択的に変位される。
The arm 48 is attached to the output shaft 56 (see FIG. 6) of the rotation mechanism of the support mechanism 50, and the support mechanism 50 is supported by the moving mechanism 44. Lifting table 5
2 is supported by a displacement mechanism of the support mechanism 50, and by the displacement mechanism, a position to be advanced in the Z direction from the centering tool 42 and a position to be retracted to be substantially the same as the centering tool 42 in the Z direction. Is selectively displaced.
【0034】各芯出し具42は、図示しない駆動機構に
より相寄り相離れる方向(仮想的な円の半径方向)へ同
期して移動されて、基板12の把持及びその解放をす
る。そのような芯出し具42は、例えば、板状のブロッ
ク58をアーム48に配置されたガイドレール60にア
ーム48の長手方向へ移動可能に結合させ、基板12の
端面に当接される一対のローラ62をブロックにZ軸線
の周りに回転可能に支持させたものを用いることができ
る。
Each of the centering tools 42 is moved by a drive mechanism (not shown) in a synchronized manner in a direction in which they approach each other (radial direction of an imaginary circle) to hold and release the substrate 12. In such a centering tool 42, for example, a plate-shaped block 58 is movably coupled to a guide rail 60 arranged on the arm 48 in the longitudinal direction of the arm 48, and a pair of abutting parts are brought into contact with the end surface of the substrate 12. It is possible to use the roller 62 supported by a block so as to be rotatable around the Z axis.
【0035】移動機構44は、支持機構50を平面コ字
状の受け部材64の内側に、Z方向へ伸びる相対的移動
可能に嵌合されたガイドレール66及びガイド68によ
りZ方向へ移動可能に組み付けている。受け部材64に
は、Y方向へ同軸的に伸びる一対の枢軸70が組み付け
られており、枢軸70により駆動機構46に支持されて
いる。枢軸70は受け部材64から互いに反対方向へ伸
びている。
The moving mechanism 44 enables the supporting mechanism 50 to move in the Z direction by means of a guide rail 66 and a guide 68 which are fitted inside the planar U-shaped receiving member 64 so as to be relatively movable and extend in the Z direction. It is assembled. A pair of pivots 70 extending coaxially in the Y direction are assembled to the receiving member 64, and are supported by the drive mechanism 46 by the pivots 70. The pivots 70 extend from the receiving member 64 in opposite directions.
【0036】受け部材64は、受け部材64にZ方向へ
伸びる状態に組み付けられたリードスクリュー72と、
リードスクリュー72に螺合されかつ支持機構50に組
み付けられた1以上のリードナット74と、リードスク
リュー72をその軸線の周りに回転させる電動機76と
を含むZ軸駆動機構により、Z方向へ移動される。
The receiving member 64 includes a lead screw 72 attached to the receiving member 64 so as to extend in the Z direction,
It is moved in the Z direction by a Z-axis drive mechanism including one or more lead nuts 74 screwed to the lead screw 72 and assembled to the support mechanism 50, and an electric motor 76 that rotates the lead screw 72 around its axis. It
【0037】上記のような移動機構44において、リー
ドスクリュー72が電動機76によりZ軸線の周りに回
転されると、リードナット74がZ方向に移動されるか
ら、支持機構50がZ方向へ移動される。これにより、
ワークテーブル40はZ方向へ移動される。
In the moving mechanism 44 as described above, when the lead screw 72 is rotated around the Z axis by the electric motor 76, the lead nut 74 is moved in the Z direction, so that the support mechanism 50 is moved in the Z direction. It This allows
The work table 40 is moved in the Z direction.
【0038】駆動機構46は、移動機構44の枢軸70
をY方向に間隔をおいた一対のブラケットすなわちベー
ス78に、移動機構44が両ベース78の間となるよう
に、枢軸運動可能に個々に支持している。両ベース78
は、検査装置10のフレームに据え付けられて、受け渡
し装置20全体を支持している。一方のベース78は上
方に開放するコ字状の形状を有しており、図示していな
い他方のベース78はL字状の形状を有している。
The drive mechanism 46 includes a pivot 70 of the moving mechanism 44.
Are individually supported by a pair of brackets or bases 78 spaced in the Y direction so that the moving mechanism 44 is between the bases 78 so as to be pivotally movable. Both bases 78
Is mounted on the frame of the inspection device 10 and supports the entire transfer device 20. One base 78 has a U-shape that opens upward, and the other base 78 (not shown) has an L-shape.
【0039】駆動機構46は、また、回転可能に一方の
ベース78に配置されてX方向へ伸びるリードスクリュ
ー80と、リードスクリュー80をこれの軸線の周りに
回転させる電動機82と、リードスクリュー80に螺合
されたリードナット84と、リードナット84にY方向
へ伸びる軸線の周りに枢軸運動可能に連結された第1の
リンク86と、移動機構44の一方の枢軸70に組み付
けられた第2のリンク88とを含む。
The drive mechanism 46 also includes a lead screw 80 that is rotatably disposed on one of the bases 78 and extends in the X direction, an electric motor 82 that rotates the lead screw 80 about its axis, and a lead screw 80. The lead nut 84 screwed together, the first link 86 pivotally connected to the lead nut 84 about an axis extending in the Y direction, and the second link 86 attached to one pivot shaft 70 of the moving mechanism 44. And link 88.
【0040】リードナット84は、第1のリンク86を
枢軸90により組み付けている組み付け部92を有して
いる。第1及び第2のリンク86及び88は、互いに滑
動可能に結合されたガイドレール94及びガイド96に
より、相対的に移動可能に連結されている。リードナッ
ト84の移動方向は、ベース78に取り付けられた一対
のガイドレール98により、X方向に規制されている。
The lead nut 84 has an assembly portion 92 to which the first link 86 is assembled by the pivot 90. The first and second links 86 and 88 are relatively movably connected by a guide rail 94 and a guide 96 which are slidably coupled to each other. The moving direction of the lead nut 84 is regulated in the X direction by a pair of guide rails 98 attached to the base 78.
【0041】駆動機構46において、リードスクリュー
80が電動機82により回転されて、リードナット84
がX方向へ移動されると、第1のリンク86が枢軸90
の軸線の周りに角度的に回転され、第1のリンク96に
滑動可能に結合された第2のリンク88が枢軸70の軸
線の周りに角度的に回転される。これにより、移動機構
44が枢軸70の軸線の周りに角度的に回転されるか
ら、移動機構44に支持されているワークテーブル40
がY方向へ伸びる軸線(実際には、枢軸70の軸線)の
周りに角度的に回転される。
In the drive mechanism 46, the lead screw 80 is rotated by the electric motor 82 to move the lead nut 84.
Is moved in the X direction, the first link 86 moves the pivot 90
Angularly rotated about the axis of the first link 96 and slidably coupled to the first link 96, the second link 88 rotates angularly about the axis of the pivot 70. As a result, the moving mechanism 44 is angularly rotated about the axis of the pivot 70, so that the work table 40 supported by the moving mechanism 44 is rotated.
Is angularly rotated about an axis extending in the Y direction (actually, the axis of the pivot 70).
【0042】検査装置10は、また、基板12に形成さ
れているアライメントマークを撮影する複数のビデオカ
メラ100と、基板に形成されている識別子を読み取る
読み取りヘッド102と、ビデオカメラ100を検査ス
テージ18に受けられた基板12と平行の面内で互いに
直交するX‘方向及びY方向へ二次元的に移動させるカ
メラステージ104と、読み取りヘッド102を受け渡
し装置20に受けられた基板12と平行の面内でX‘方
向及びY方向へ二次元的に移動させるヘッドステージ1
06とを含む。
The inspection apparatus 10 also includes a plurality of video cameras 100 for photographing alignment marks formed on the substrate 12, a read head 102 for reading an identifier formed on the substrate, and the inspection stage 18 for the video camera 100. The camera stage 104 that is two-dimensionally moved in the X ′ direction and the Y direction that are orthogonal to each other within a plane parallel to the substrate 12 received by the reading head 102, and a plane parallel to the substrate 12 received by the transfer device 20. Head stage 1 for two-dimensionally moving in the X'direction and the Y direction inside
06 and.
【0043】アライメントマークは、基板12の電極か
ら所定の位置に形成されている。図示の例では、十字状
のアライメントマークが基板の複数の隅角部の各々に形
成されている。使用に際しては、基板上におけるアライ
メントマークの位置に対応するビデオカメラ100が用
いられて、対応するアライメントマークを撮影する。
The alignment mark is formed at a predetermined position from the electrode of the substrate 12. In the illustrated example, a cross-shaped alignment mark is formed on each of the plurality of corner portions of the substrate. In use, the video camera 100 corresponding to the position of the alignment mark on the substrate is used to photograph the corresponding alignment mark.
【0044】識別子は、算用数字のような文字であり、
基板12の所定の箇所に目視可能に形成されている。読
み取りヘッド102は、目視可能の識別子を撮影するビ
デオカメラである。
The identifier is a character such as an arithmetic number,
It is formed on a predetermined portion of the substrate 12 so as to be visible. The read head 102 is a video camera that captures a visible identifier.
【0045】カメラステージ104は、X‘方向に間隔
をおいてY方向へ平行に伸びるようにベース板108に
配置された一対の第1のガイド110と、Y方向に間隔
をおいてX’方向へ伸びていると共にY方向へ移動可能
に第1のガイド110に結合された一対の第2のガイド
112と、両第2のガイド112をこれらが相寄り相離
れるようにY方向へ移動させる一対の第1の駆動機構1
14と、各ビデオカメラ100をこれらが相寄り相離れ
るようにX‘方向へ移動させる第2の駆動機構116と
を含む。
The camera stage 104 has a pair of first guides 110 arranged on the base plate 108 so as to extend in parallel with the Y direction at intervals in the X'direction, and an X'direction at intervals in the Y direction. A pair of second guides 112 extending to the first guide 110 and movably in the Y direction, and a pair of second guides 112 that move the second guides 112 in the Y direction so that they are offset from each other. First drive mechanism 1
14 and a second drive mechanism 116 for moving each video camera 100 in the X ′ direction so that they are offset from each other.
【0046】ベース板108は、本体14の第1の開口
に一致する矩形の開口118を有する。各第2のガイド
112は、2つのビデオカメラ100をY方向に間隔を
おいて及びX‘方向へ移動可能に支持している。
The base plate 108 has a rectangular opening 118 which coincides with the first opening of the body 14. Each of the second guides 112 supports the two video cameras 100 at intervals in the Y direction and movably in the X ′ direction.
【0047】各第1の駆動機構114は、ジャッキのよ
うに、第2のガイド112をY方向における任意な位置
に移動させてその位置に解除可能に維持することができ
る機構である。
Each first drive mechanism 114 is a mechanism that can move the second guide 112 to an arbitrary position in the Y direction and can be releasably maintained at that position, like a jack.
【0048】各第2の駆動機構116は、第2のガイド
112に組み付けられた一対のプーリ120に無端ベル
ト122を巻掛け、無端ベルト122にビデオビカメラ
100を組み付け具126により結合し、一方のプーリ
122を電動機124により回転させることにより無端
ベルト122を移動させてビデオカメラ100をX‘方
向へ移動させる。
Each second drive mechanism 116 wraps the endless belt 122 around the pair of pulleys 120 assembled to the second guide 112, connects the video camera 100 to the endless belt 122 with the assembling tool 126, and The endless belt 122 is moved by rotating the pulley 122 of No. 2 by the electric motor 124 to move the video camera 100 in the X ′ direction.
【0049】ヘッドステージ106は、X‘方向に間隔
をおいてY方向へ平行に伸びるようにベース板130に
配置された一対の第3のガイド132と、X’方向へ伸
びていると共に第3のガイド132にY方向へ移動可能
に結合された第4のガイド134と、第4のガイド13
4をY方向へ移動させる第3の駆動機構136と、読み
取りヘッド102をX‘方向へ移動させる第4の駆動機
構138とを含む。第4の駆動機構138は、第4のガ
イド134内に収納されており、したがって図示されて
いない。
The head stage 106 has a pair of third guides 132 arranged on the base plate 130 so as to extend in parallel with each other in the Y direction at intervals in the X'direction, and with the third guide 132 extending in the X'direction. The fourth guide 134, which is movably coupled to the guide 132 in the Y direction, and the fourth guide 13.
It includes a third drive mechanism 136 for moving 4 in the Y direction and a fourth drive mechanism 138 for moving the read head 102 in the X ′ direction. The fourth drive mechanism 138 is housed within the fourth guide 134 and is therefore not shown.
【0050】ベース板130は、本体14の第2の開口
に一致する矩形の開口140を有する。各第4のガイド
134は、読み取りヘッド102をX‘方向へ移動可能
に支持している。第1及び第2の駆動機構による移動方
向と、第3及び第4の駆動機構136及び138とは、
一致していなくてもよい。
The base plate 130 has a rectangular opening 140 that coincides with the second opening of the body 14. Each fourth guide 134 supports the read head 102 so as to be movable in the X ′ direction. The moving directions of the first and second drive mechanisms and the third and fourth drive mechanisms 136 and 138 are
It does not have to match.
【0051】第3及び第4の駆動機構136及び138
は、ぞれぞれ、ジャッキのように、第4のガイド134
及び読み取りヘッド102をX‘方向及びY方向におけ
る任意な位置に移動させてその位置に解除可能に維持す
ることができる機構である。Z方向における読み取りヘ
ッド102の高さ調整は、Z調整機構142により調整
することができる。
Third and fourth drive mechanisms 136 and 138
Each has a fourth guide 134, like a jack.
And a mechanism capable of moving the reading head 102 to an arbitrary position in the X ′ direction and the Y direction and maintaining the position in a releasable manner. The height adjustment of the read head 102 in the Z direction can be adjusted by the Z adjustment mechanism 142.
【0052】次に、検査装置10の動作を説明する。Next, the operation of the inspection device 10 will be described.
【0053】先ず、ロボットが、一方のハンドを空のカ
セットに向けて一方のハンドに受けている検査済みの基
板を空のカセットに渡し、他方のハンドを未測定の基板
を収納しているカセットに向けてそのカセット内の未測
定の基板12を他方のハンドにより水平に取り出す。こ
の時点において、未測定の基板12はその長手方向をハ
ンドの長手方向(X方向)とされており、また受け渡し
装置20はワークテーブル40及び検査済みの基板を水
平所状態に維持している。
First, the robot directs one hand to an empty cassette, passes the inspected substrate received by one hand to the empty cassette, and the other hand the cassette containing the unmeasured substrate. The unmeasured substrate 12 in the cassette is horizontally taken out by the other hand. At this point, the unmeasured substrate 12 has its longitudinal direction set to the longitudinal direction (X direction) of the hand, and the transfer device 20 maintains the work table 40 and the inspected substrate in a horizontal position.
【0054】次いで、受け渡し装置20の昇降テーブル
52がロボットのハンド上方となる位置まで上昇され
る。この状態でロボットの一方のハンドが昇降テーブル
52の下方に突き出され、昇降テーブル52が二股状の
ハンドの間を通っての一方のハンドに下方となる位置ま
で下降される。これにより、検査済みの基板12が受け
渡し装置20からロボットの一方のハンドに渡される。
Then, the lifting table 52 of the delivery device 20 is lifted to a position above the robot hand. In this state, one hand of the robot is projected below the elevating table 52, and the elevating table 52 is moved down between the bifurcated hands to a position where it is below one hand. As a result, the inspected substrate 12 is delivered from the delivery device 20 to one hand of the robot.
【0055】次いで、ロボットの一方のハンドが後退さ
れ、ロボットの他方のハンドが昇降テーブル52の上方
に突き出され、昇降テーブル52が二股状のハンドの間
を通って他方のハンドの上方となる位置まで上昇され
る。これにより、基板12は、その長手方向をX方向と
された水平の状態で、他方のハンドから昇降テーブル5
2に渡されて吸着パッド54に吸着される。
Then, one hand of the robot is retracted, the other hand of the robot is projected above the lifting table 52, and the lifting table 52 passes between the bifurcated hands and is above the other hand. Is raised up to. As a result, the substrate 12 is moved horizontally from the other hand in the horizontal state with its longitudinal direction being the X direction.
2 and is adsorbed to the adsorption pad 54.
【0056】次いで、ロボットは、他方のハンド40を
後退させると共に、一方のハンドを空のカセット側に移
動させて、検査済みの基板を空のカセットに渡す。
Next, the robot retracts the other hand 40 and moves one hand to the empty cassette side to transfer the inspected substrate to the empty cassette.
【0057】次いで、昇降テーブル52が芯出し具42
とほぼ同じ高さ位置に下げられる。しかし、芯出し具4
2は、昇降テーブル52の下降開始までの間に、基板1
2をローラ62により形成される空間内に受け入れるこ
とができる位置に移動されている。
Next, the lifting table 52 is attached to the centering tool 42.
Can be lowered to almost the same height as. However, the centering tool 4
2 is the substrate 1 before the start of lowering of the lifting table 52.
2 has been moved to a position where it can be received in the space formed by the rollers 62.
【0058】次いで、芯出し具42が相寄る方向へ同期
して移動される。これにより、芯出し具42は、ローラ
62を基板12の端面に当接させ、基板12を相手の芯
出し具42に向けて押す。これにより、基板12は、こ
れと平行の面内で二次元的に移動されて、受け渡し装置
20に対する粗アライメントをされると共に、芯出し具
42の相互作用により水平の姿勢に挟まれる。粗アライ
メントは、基板12の中央をワークテーブル40やアー
ム48の中央と一致させる、いわゆる芯出しである。
Then, the centering tool 42 is synchronously moved in the direction toward each other. As a result, the centering tool 42 brings the roller 62 into contact with the end surface of the substrate 12 and pushes the substrate 12 toward the partner centering tool 42. As a result, the substrate 12 is two-dimensionally moved in a plane parallel to the substrate 12 to be roughly aligned with the delivery device 20, and is sandwiched in a horizontal posture by the interaction of the centering tool 42. The rough alignment is so-called centering in which the center of the substrate 12 is aligned with the centers of the work table 40 and the arm 48.
【0059】粗アライメント時、基板12は、昇降テー
ブル52による吸着から解放されて、昇降テーブル52
から噴射される圧縮空気により昇降テーブル52からわ
ずかに浮上された状態で、昇降テーブル52に対して移
動される。このため、粗アライメント時、基板12が受
け渡し装置20に対し二次元的に移動されても、基板1
2の損傷が防止される。
At the time of rough alignment, the substrate 12 is released from the suction by the lifting table 52, and the lifting table 52 is released.
It is moved with respect to the lifting table 52 in a state of being slightly levitated from the lifting table 52 by the compressed air injected from. Therefore, even when the substrate 12 is two-dimensionally moved with respect to the transfer device 20 during the rough alignment, the substrate 1
2 damage is prevented.
【0060】また、粗アライメント時、基板12はその
端面をローラ62に当接させてそのローラ62を回転さ
せつつ、ブロック66に対し変位されるから、たとえ基
板12が二次元的に移動されても、基板12の移動が円
滑になる。
During rough alignment, the substrate 12 is displaced with respect to the block 66 while the end face of the substrate 12 is brought into contact with the roller 62 to rotate the roller 62, so that the substrate 12 is moved two-dimensionally. Also, the movement of the substrate 12 becomes smooth.
【0061】粗アライメントが終了すると、基板12が
再度昇降テーブル52に吸着された状態で、受け渡し装
置20のアーム48がZ軸線の周りに90度回転され
る。これにより、受けられている基板12は、その長手
方向が搬送装置30による基板12の搬送方向(Y方
向)となるように、方向を変更される。このとき、基板
12は芯出し具42に挟まれかつ昇降テーブル52に吸
着されているから、芯出し具42や昇降テーブル52に
対して変位しない。
When the rough alignment is completed, the arm 48 of the transfer device 20 is rotated 90 degrees around the Z-axis while the substrate 12 is again attracted to the lifting table 52. As a result, the direction of the substrate 12 being received is changed so that the longitudinal direction thereof is the transport direction (Y direction) of the substrate 12 by the transport device 30. At this time, since the substrate 12 is sandwiched by the centering tool 42 and adsorbed by the elevating table 52, it is not displaced with respect to the centering tool 42 or the elevating table 52.
【0062】次いで、ワークテーブル40及び移動機構
44が駆動機構46により枢軸70の軸線の周りに60
度回転される。これにより、芯出し具42に挟まれかつ
昇降テーブル52に吸着されている基板12は水平線に
対し60度傾斜した斜めの姿勢に変更される。このと
き、ガイドレール94及びガイド96は、結合された状
態で、相対的に滑動する。
Then, the work table 40 and the moving mechanism 44 are moved around the axis of the pivot 70 by the driving mechanism 46.
Is rotated once. As a result, the substrate 12 sandwiched by the centering tool 42 and adsorbed to the elevating table 52 is changed to an oblique posture inclined by 60 degrees with respect to the horizontal line. At this time, the guide rail 94 and the guide 96 slide relatively in the coupled state.
【0063】この状態において、基板12の上面に形成
されている識別子が、図6に示すように、本体14に組
み付けられた読み取りヘッド102により撮影される。
この時点においては、基板12が受け渡し装置20に対
して芯出しをされているから、識別子は、正確に撮影さ
れ、読み取りヘッド102の出力信号を処理する回路に
おいて正確に読み取られ、メモリに記憶される。識別子
は、その基板の検査結果の記録及び記憶の際に利用され
る。しかし、識別子をモニタに表示し、作業者がモニタ
の画面を確認して、識別子を記録してもよい。
In this state, the identifier formed on the upper surface of the substrate 12 is photographed by the reading head 102 mounted on the main body 14 as shown in FIG.
At this point, since the substrate 12 is centered with respect to the transfer device 20, the identifier is accurately photographed, accurately read by the circuit that processes the output signal of the read head 102, and stored in the memory. It The identifier is used when recording and storing the inspection result of the board. However, the identifier may be displayed on the monitor and the operator may check the screen of the monitor and record the identifier.
【0064】次いで、挟持部材32が中継ステーション
に移動され、Z方向における基板12の位置が同方向に
おける挟持部材32の位置と一致するように、ワークテ
ーブル40が移動機構44により搬送装置30に向けて
Z方向へ突出される。
Next, the holding member 32 is moved to the relay station, and the work table 40 is directed to the transfer device 30 by the moving mechanism 44 so that the position of the substrate 12 in the Z direction coincides with the position of the holding member 32 in the same direction. Is projected in the Z direction.
【0065】次いで、挟持部材32が相寄る方向へ移動
されて基板12を挟持し、アーム48が移動機構44に
より元の位置に戻される。これにより、基板12は受け
渡し装置20から挟持部材32に斜めの姿勢で渡され
る。
Next, the holding member 32 is moved in the direction in which the holding members 32 approach each other to hold the substrate 12, and the arm 48 is returned to its original position by the moving mechanism 44. As a result, the substrate 12 is delivered from the delivery device 20 to the holding member 32 in an oblique posture.
【0066】上記の後、受け渡し装置20は、検査済み
基板を搬送装置40から斜めに受けるべく待機する。ま
た、搬送装置30は、未測定の基板を検査ステーション
に搬送し、その基板を検査ステージ18に斜めの状態で
渡す。
After the above, the transfer device 20 stands by to receive the inspected substrate from the transfer device 40 obliquely. Further, the transfer device 30 transfers an unmeasured substrate to the inspection station and transfers the substrate to the inspection stage 18 in an inclined state.
【0067】未測定の基板が検査ステーションに搬送さ
れると、検査ステージ18は、チャックトップ26を駆
動ステージ28によりZ方向に突出させて、未測定の基
板をチャックトップ26に吸着し、挟持部材32が離れ
る方向へ移動された後にチャックトップ26を所定の位
置に戻す。
When the unmeasured substrate is conveyed to the inspection station, the inspection stage 18 causes the chuck top 26 to project in the Z direction by the drive stage 28 to adsorb the unmeasured substrate to the chuck top 26, and the holding member. After the 32 is moved away, the chuck top 26 is returned to its predetermined position.
【0068】次いで、挟持部材32が検査ステーション
から他の箇所へ移動されると、基板に形成されている各
アライメントマークが対応するビデオカメラ100によ
り撮影される。
Next, when the holding member 32 is moved from the inspection station to another place, each alignment mark formed on the substrate is photographed by the corresponding video camera 100.
【0069】テレビカメラ100の出力信号は、処理回
路に供給されて、画像処理をされる。検査装置10は、
画像処理の結果を基に、各アライメントマークが対応す
るビデオカメラ100の視野内の所定に位置となるよう
に、検査ステージ18の駆動ステージ28を駆動させ
る。これにより、未検査の基板の精密アライメントが行
われる。
The output signal of the television camera 100 is supplied to a processing circuit for image processing. The inspection device 10 is
Based on the result of the image processing, the drive stage 28 of the inspection stage 18 is driven so that each alignment mark is located at a predetermined position within the field of view of the corresponding video camera 100. As a result, precise alignment of the uninspected substrate is performed.
【0070】しかし、精密アライメントは、ビデオカメ
ラ100の出力信号をモニタに再生し、作業者がそのモ
ニタの画面を監視しつつ、各アライメントマークが対応
するビデオカメラ100の視野内の所定に位置となるよ
うに、検査ステージ18の駆動ステージ28を駆動させ
てもよい。
However, in the precision alignment, the output signal of the video camera 100 is reproduced on the monitor, and while the operator monitors the screen of the monitor, each alignment mark corresponds to a predetermined position within the visual field of the video camera 100. The drive stage 28 of the inspection stage 18 may be driven so that
【0071】精密アライメントが終了すると、検査装置
10は、チャックトップ26を再度Z方向に突出させ
て、基板の電極をプローブユニットの接触子に押圧し、
その状態で基板に通電して検査を開始する。
When the precision alignment is completed, the inspection apparatus 10 causes the chuck top 26 to project again in the Z direction and presses the electrode of the substrate against the contact of the probe unit,
In that state, the board is energized to start the inspection.
【0072】検査が終了すると、搬送装置30の挟持部
材32がチャックトップ26の上方へ移動され、チャッ
クトップ26が挟持部材32の高さ位置に斜めに上昇さ
れ、挟持部材32が検査済みの基板を挟み、チャックト
ップ26が検査済みの基板を解放すると共に所定の高さ
位置に斜めに下降される。これにより、検査済みの基板
がチャックトップ26から挟持部材32に斜めの姿勢で
渡される。
When the inspection is completed, the holding member 32 of the transfer device 30 is moved above the chuck top 26, the chuck top 26 is obliquely raised to the height position of the holding member 32, and the holding member 32 is inspected. The chuck top 26 releases the inspected substrate while sandwiching it, and is obliquely lowered to a predetermined height position. As a result, the inspected substrate is passed from the chuck top 26 to the holding member 32 in an oblique posture.
【0073】次いで、挟持部材32が検査ステーション
から中継ステーションに移動される。中継ステーション
においては、受け渡し装置46のワークテーブル40が
挟持部材32の高さ位置に斜めに上昇されて、昇降テー
ブル52で基板を吸着すると共に、芯出し具42が相寄
る方向へ移動されて基板を挟み、挟持部材32が基板を
解放する。これにより、検査済みの基板が挟持部材32
から受け渡し装置20に渡される。
Next, the holding member 32 is moved from the inspection station to the relay station. In the relay station, the work table 40 of the transfer device 46 is obliquely raised to the height position of the sandwiching member 32, the substrate is sucked by the elevating table 52, and the centering tool 42 is moved in the direction toward each other to move the substrate. And the holding member 32 releases the substrate. As a result, the inspected substrate holds the clamping member 32.
Is delivered to the delivery device 20.
【0074】次いで、挟持部材32がワークテーブル4
0と対応する位置から離され、ワークテーブル40が所
定の高さ位置まで斜めに下降され、ワークテーブルが6
0度逆転される。これにより、検査済みの基板が水平の
姿勢に変更される。
Next, the holding member 32 is attached to the work table 4
The work table 40 is separated from the position corresponding to 0, and the work table 40 is obliquely lowered to a predetermined height position.
Reversed 0 degrees. As a result, the inspected substrate is changed to the horizontal posture.
【0075】次いで、ロボットと受け渡し装置20との
間で、既に述べてステップにより、検査済みの基板と未
検査の基板との受け渡しが行われる。
Next, the inspected substrate and the uninspected substrate are transferred between the robot and the transfer device 20 by the steps already described.
【0076】検査装置10において、検査すべき基板の
種類が変更されると、ビデオカメラ100及び読み取り
ヘッド102は、新たな基板のアライメントマーク及び
識別子がそれぞれビデオカメラ及100び読み取りヘッ
ド102の視野に入るように、カメラステージ104及
びヘッドステージ106により二次元的に移動される。
その結果、検査すべき基板の種類が変更されても、アラ
イメントマークを撮影することができるし、識別子を読
み取ることができる。
When the type of the substrate to be inspected is changed in the inspection apparatus 10, the video camera 100 and the read head 102 have the alignment marks and identifiers of the new substrate in the visual fields of the video camera 100 and the read head 102, respectively. It is two-dimensionally moved by the camera stage 104 and the head stage 106 so as to enter.
As a result, even if the type of substrate to be inspected is changed, the alignment mark can be photographed and the identifier can be read.
【0077】図4及び図5は、駆動機構114,116
によりビデオカメラ100を相寄る方向へ移動させる状
態を示す。読み取りヘッド102は駆動機構136,1
38により同様に移動させることができる。
4 and 5 show drive mechanisms 114 and 116.
Shows a state in which the video camera 100 is moved in a direction toward each other. The read head 102 has a driving mechanism 136,1.
It can also be moved by 38.
【0078】上記の実施例では、共通の移載ステーショ
ンにおいて未検査の基板と検査済みの基板の移載を行っ
ているが、ローダ用の移載ステーションとアンローダ用
の移載ステーションを設けて、各移載ステーションに受
け渡し装置を配置し、それらの受け渡し装置に対し、受
け渡し装置毎のロボット又は共通のロボットにより基板
の受け渡しをしてもよい。
In the above embodiment, the uninspected substrate and the inspected substrate are transferred in the common transfer station. However, a transfer station for loader and a transfer station for unloader are provided, A transfer device may be arranged in each transfer station, and a substrate for each transfer device or a common robot may transfer the substrate to each transfer device.
【0079】識別子は、算用数字のような文字の代わり
に、バーコードであってもよい。この場合、読み取りヘ
ッドとして、ビデオカメラのようなセンサヘッドを用い
てもよいし、バーコード読み取りヘッドを用いてもよ
い。後者の場合、読み取りヘッドとして、ビデオカメラ
を用いてもよい。この場合のビデオカメラ及びアライメ
ントマーク用のビデオカメラ100として、CCDライ
ンセンサのように複数の検出素子を一列に配置したライ
ンセンサを用いてもよく、この場合ラインセンサは検出
素子の配列方向と直角の方向へ移動される。
The identifier may be a bar code instead of a character such as an arithmetic number. In this case, a sensor head such as a video camera or a bar code reading head may be used as the reading head. In the latter case, a video camera may be used as the read head. As the video camera and the video camera 100 for the alignment mark in this case, a line sensor in which a plurality of detection elements are arranged in a line like a CCD line sensor may be used, and in this case, the line sensor is perpendicular to the array direction of the detection elements. Is moved in the direction of.
【0080】本発明は上記実施例に限定されない。たと
えば、本発明は、目視検査装置用の受け渡し装置のみな
らず、自動検査装置、EL表示基板の検査装置、表示パ
ネル用のガラス基板の検査装置等、他の検査装置用の受
け渡し装置にも適用することができる。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the present invention is applied not only to a delivery device for a visual inspection device, but also to a delivery device for another inspection device such as an automatic inspection device, an EL display substrate inspection device, and a glass substrate inspection device for a display panel. can do.
【0081】本発明は、上記実施例に限定されず、その
趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the invention.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図1】本発明に係る検査装置の一実施例を示す図であ
る。
FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of an inspection apparatus according to the present invention.
【図2】図1における2−2線に沿って得た断面図であ
る。
FIG. 2 is a sectional view taken along line 2-2 in FIG.
【図3】図1の検査装置におけるカメラステージの断面
図である。
3 is a cross-sectional view of a camera stage in the inspection device of FIG.
【図4】図1の検査装置におけるカメラステージの拡大
図である。
4 is an enlarged view of a camera stage in the inspection device of FIG.
【図5】カメラステージの動作を説明するための図であ
る。
FIG. 5 is a diagram for explaining the operation of the camera stage.
【図6】図1における6−6線に沿って得た断面図であ
る。
6 is a cross-sectional view taken along line 6-6 in FIG.
【図7】図1の検査装置で用いる受け渡し装置の一実施
例を示す平面図である。
7 is a plan view showing an embodiment of a transfer device used in the inspection device of FIG. 1. FIG.
【図8】図7に示す受け渡し装置の正面図である。8 is a front view of the delivery device shown in FIG. 7. FIG.
【図9】図1の検査装置で用いるヘッドステージの一実
施例を示す図である。
9 is a diagram showing an embodiment of a head stage used in the inspection apparatus of FIG.
【符号の説明】[Explanation of symbols]
10 検査装置 12 表示用基板 14 本体 16 プローブユニット 18 検査ステージ 20 受け渡し装置 30 搬送装置 100 ビデオカメラ 102 読み取りヘッド 104 カメラステージ 106 ヘッドステージ 108 ベース板 110,112 第1及び第2のガイド 114,116 第1及び第2の駆動機構 130 ベース板 132,134 第3及び第4のガイド 136,138 第3及び第4の駆動機構 10 Inspection device 12 Display substrate 14 body 16 probe units 18 Inspection stage 20 Delivery device 30 carrier 100 video camera 102 read head 104 camera stage 106 head stage 108 Base plate 110,112 First and second guides 114,116 First and second drive mechanisms 130 base plate 132,134 Third and fourth guides 136, 138 Third and fourth drive mechanisms
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G09F 9/00 352 G09F 9/00 352 5G435 (72)発明者 植木 勲 東京都武蔵野市吉祥寺本町2丁目6番8号 株式会社日本マイクロニクス内 Fターム(参考) 2F069 AA03 AA17 AA93 BB13 CC06 DD12 GG04 GG07 GG12 GG45 GG58 GG62 HH30 JJ07 JJ13 JJ22 MM04 MM24 MM32 2G014 AA13 AB21 AB59 AC09 AC15 2G051 AA90 AB20 AC15 CA03 CA04 CD04 2G086 EE10 2H088 FA11 FA30 MA20 5G435 AA17 AA19 BB12 KK05 KK09 KK10 Front page continuation (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI theme code (reference) G09F 9/00 352 G09F 9/00 352 5G435 (72) Inventor Isao Ueki 2-6-8 Kichijojihonmachi, Musashino-shi, Tokyo Japan Micronics Co., Ltd. F-term (reference) 2F069 AA03 AA17 AA93 BB13 CC06 DD12 GG04 GG07 GG12 GG45 GG58 GG62 HH30 JJ07 JJ13 JJ22 MM04 MM24 MM32 2G014 AA13 AB21 AB59 AC20 CA08 FA20 CA08 CA20 2 5G435 AA17 AA19 BB12 KK05 KK09 KK10

Claims (4)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】 検査ステーション及び移載ステーション
    を備える本体と、表示用基板を受けるべく前記検査ステ
    ーションに配置された検査ステージと、該検査ステージ
    に受けられた基板のアライメントマークを撮影する1以
    上のビデオカメラと、該ビデオカメラを前記検査ステー
    ジに受けられた基板と平行の面内で互いに交差する第1
    及び第2の方向に二次元的に移動させるカメラステージ
    とを含む、表示用基板の検査装置。
    1. A main body having an inspection station and a transfer station, an inspection stage arranged in the inspection station for receiving a display substrate, and one or more images of alignment marks of the substrate received by the inspection stage. A video camera and a first crossing each other in a plane parallel to the substrate received by the inspection stage
    And a camera stage that moves two-dimensionally in a second direction.
  2. 【請求項2】 前記カメラステージは、前記第2の方向
    に間隔をおいて前記第1の方向へ平行に伸びる一対の第
    1のガイドと、前記第1の方向に間隔をおいて前記第2
    の方向へ伸びると共に前記第1の方向へ移動可能に前記
    第1のガイドに結合された一対の第2のガイドであって
    それぞれが複数の前記ビデオカメラを前記第2の方向に
    間隔をおいて及び前記第2の方向へ移動可能に支持する
    一対の第2のガイドと、該両第2のガイドをそれらが前
    記第1の方向において相寄り相離れる方向へ移動させる
    第1の駆動機構と、前記ビデオカメラを前記第2の方向
    において相寄り相離れる方向へ移動させる第2の駆動機
    構とを含む、請求項1に記載の検査装置。
    2. The camera stage includes a pair of first guides spaced apart in the second direction and extending in parallel to the first direction, and the second stage spaced apart in the first direction.
    A pair of second guides that are coupled to the first guide and extend in the first direction and are movable in the first direction, each of the plurality of video cameras being spaced apart in the second direction. And a pair of second guides that are movably supported in the second direction, and a first drive mechanism that moves the second guides in a direction in which the second guides are close to each other in the first direction. The inspection device according to claim 1, further comprising a second drive mechanism that moves the video camera in a direction in which the video camera shifts in the second direction.
  3. 【請求項3】 さらに、表示用基板の受け渡しをすべく
    前記移載ステーションに配置された受け渡し装置と、該
    受け渡し装置に受けられた基板に形成されている識別子
    を読み取る読み取りヘッドと、該読み取りヘッドを前記
    受け渡し装置に受けられた基板と平行の面内で互いに交
    差する第3及び第4の方向に二次元的に移動させるヘッ
    ドステージとを含む、請求項1又は2に記載の検査装
    置。
    3. A transfer device arranged at the transfer station for transferring a display substrate, a read head for reading an identifier formed on the substrate received by the transfer device, and the read head. 3. The inspection apparatus according to claim 1, further comprising: a head stage that moves two-dimensionally in third and fourth directions that intersect each other in a plane parallel to the substrate received by the delivery device.
  4. 【請求項4】 前記ヘッドステージは、前記第4の方向
    に間隔をおいて前記第3の方向へ平行に伸びる一対の第
    3のガイドと、前記第4方向へ伸びると共に前記第13
    ガイドに前記第3の方向へ移動可能に結合された第4の
    ガイドであって前記読み取りヘッドを前記第4の方向へ
    移動可能に支持する第4のガイドと、前記第4のガイド
    を前記第3の方向へ移動させる第3の駆動機構と、前記
    読み取りヘッドを前記第4の方向へ移動させる第4の駆
    動機構とを含む、請求項3に記載の検査装置。
    4. The head stage includes a pair of third guides that are spaced apart in the fourth direction and extend parallel to the third direction, and the head stage extends in the fourth direction and the thirteenth direction.
    A fourth guide movably coupled to the guide in the third direction, the fourth guide supporting the read head movably in the fourth direction, and the fourth guide including the fourth guide. The inspection apparatus according to claim 3, further comprising a third drive mechanism for moving the read head in the third direction, and a fourth drive mechanism for moving the read head in the fourth direction.
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