JP2000180807A - Inspection device for liquid crystal substrate - Google Patents

Inspection device for liquid crystal substrate

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JP2000180807A
JP2000180807A JP10356475A JP35647598A JP2000180807A JP 2000180807 A JP2000180807 A JP 2000180807A JP 10356475 A JP10356475 A JP 10356475A JP 35647598 A JP35647598 A JP 35647598A JP 2000180807 A JP2000180807 A JP 2000180807A
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JP
Japan
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inspection
probe
liquid crystal
crystal substrate
moving
Prior art date
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Pending
Application number
JP10356475A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshinobu Hasegawa
吉伸 長谷川
Kazuyoshi Miura
一佳 三浦
Yuzuru Togawa
譲 外川
Hiroaki Abo
博昭 阿保
Original Assignee
Micronics Japan Co Ltd
株式会社日本マイクロニクス
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Micronics Japan Co Ltd, 株式会社日本マイクロニクス filed Critical Micronics Japan Co Ltd
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Publication of JP2000180807A publication Critical patent/JP2000180807A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the inspection efficiency of a liquid crystal substrate by providing a first probe block for disconnection/shorting inspection (OS inspection), a second probe block for TEG inspection and a Z driving mechanism. SOLUTION: In an X mobile object 62, a first probe block for OS inspection 72 and a second probe block for TEG inspection 74 are assembled in the lowermost part of a U form part in a Y direction at an interval by Z driving mechanisms 76 and 78. At the time of OS-inspecting a liquid crystal substrate, the first probe block 72 is lowered to a position where a probe 80 is brought into contact with an electrode by the Z driving mechanism 76 and a probe 82 is raised to a position which is not brought into contact with the liquid crystal substrate by the Z driving mechanism 78. At the time of TEG-inspecting the liquid crystal substrate, the second probe block 74 is lowered to a position where the probe 82 is brought into contact with the electrode by he Z driving mechanism 78. The first probe block 72 is raised to the position where the probe 80 is not brought into contact with the liquid crystal substrate by the Z driving mechanism 76.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶基板を検査す
る装置に関し、特にTFTアレイ基板のTEG検査及び
オープンショート検査に好適な装置に関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an apparatus for inspecting a liquid crystal substrate, and more particularly to an apparatus suitable for a TEG inspection and an open short inspection of a TFT array substrate.
【0002】[0002]
【従来の技術】液晶表示パネル用ガラス基板、特に複数
のTFT(薄膜トランジスタ)を形成した基板(TFT
アレイ基板)は、一般に、液晶基板の表示部外に形成さ
れたTFTの検査すなわちテグ検査(TEG検査)と、
信号線、走査線、TFT、抵抗等、回路素子の断線及び
短絡を検査するOS検査すなわち断線・短絡検査(オー
プン・ショート検査)とをされる。この種の検査をする
装置は、一般に、TEG検査用のプローブユニット(又
は、プローブヘッド)と、OS検査用のプローブユニッ
ト(又は、プローブヘッド)を別々に用意しておき、検
査の種類に応じたプローブユニットを装着する構造にな
っている。
2. Description of the Related Art A glass substrate for a liquid crystal display panel, in particular, a substrate on which a plurality of TFTs (thin film transistors) are formed (TFT)
In general, an array substrate) includes a TFT inspection formed outside the display section of a liquid crystal substrate, that is, a TEG inspection (TEG inspection);
An OS inspection for inspecting disconnection and short circuit of a circuit element such as a signal line, a scanning line, a TFT, and a resistor, that is, an open / short inspection (open / short inspection) is performed. In general, a device for performing this type of inspection has a probe unit (or probe head) for TEG inspection and a probe unit (or probe head) for OS inspection separately prepared, and according to the type of inspection. The probe unit is configured to be mounted.
【0003】しかし、そのような検査装置では、TEG
検査のときはOS検査用のプローブユニットを取り外
し、その代わりTEG検査用のプローブユニットを装着
し、OS検査のときはTEG検査用のプローブユニット
を取り外し、その代わりOS検査用のプローブユニット
を装着しなければならないから、検査効率が低い。
However, in such an inspection apparatus, TEG
At the time of inspection, the probe unit for OS inspection is removed, and a probe unit for TEG inspection is mounted instead. At the time of OS inspection, the probe unit for TEG inspection is removed, and a probe unit for OS inspection is mounted instead. Inspection efficiency is low because it must be done.
【0004】[0004]
【解決しようとする課題】それゆえに、液晶基板のTE
G検査及びOS検査をする場合、検査効率を高めること
が重要である。
Therefore, the TE of the liquid crystal substrate is
When performing the G inspection and the OS inspection, it is important to increase the inspection efficiency.
【0005】[0005]
【解決手段、作用及び効果】本発明の検査装置は、検査
ステージに載置された液晶基板と平行な面内で互いに交
叉するX方向及びY方向のいずれか一方に間隔をおいて
並列的に配置された複数の支持体と、該支持体を前記X
方向及びY方向へ移動させるX・Y駆動装置と、各支持
体に配置された断線・短絡検査用の少なくとも1つの第
1のプローブブロックであって前記一方に配列された複
数のプローブを有する第1のプローブブロックと、前記
第1のプローブブロックから前記X方向及びY方向の他
方に間隔をおいて各支持体に配置されたテグ検査用の第
2のプローブブロックであって前記一方又は前記他方に
配列された複数のプローブを有する第2のプローブブロ
ックと、各プローブブロックを前記面と交叉するZ方向
へ移動させるZ駆動機構とを含む。
An inspection apparatus according to the present invention is provided in parallel with an interval in one of the X direction and the Y direction crossing each other in a plane parallel to a liquid crystal substrate mounted on an inspection stage. A plurality of supports arranged, and
An X / Y driving device for moving in the direction and the Y direction, and at least one first probe block for disconnection / short circuit inspection arranged on each support, and a plurality of probes arranged on one of the first and second probe blocks. A probe block, and a second probe block for Teg inspection arranged on each support at an interval from the first probe block in the other of the X direction and the Y direction, wherein the one or the other is And a Z drive mechanism for moving each probe block in the Z direction crossing the plane.
【0006】本発明の検査装置において、TEG検査時
は、第1のプローブブロックがZ駆動機構により液晶基
板の側に下げられ、第2のプローブブロックがZ駆動機
構により液晶基板から上昇される。これに対し、OS検
査時は、第2のプローブブロックがZ駆動機構により液
晶基板の側に下げられ、第1のプローブブロックがZ駆
動機構により液晶基板から上昇される。
In the inspection apparatus of the present invention, during the TEG inspection, the first probe block is lowered toward the liquid crystal substrate by the Z drive mechanism, and the second probe block is raised from the liquid crystal substrate by the Z drive mechanism. On the other hand, during the OS inspection, the second probe block is lowered toward the liquid crystal substrate by the Z drive mechanism, and the first probe block is raised from the liquid crystal substrate by the Z drive mechanism.
【0007】それゆえに、検査の種類の変更時に、プロ
ーブブロック及びプローブユニットを検査装置に取り付
け、取り外す作業が不要になり、検査効率が著しく向上
する。
Therefore, when the type of inspection is changed, the work of attaching and detaching the probe block and the probe unit to and from the inspection device becomes unnecessary, and the inspection efficiency is significantly improved.
【0008】前記X,Y駆動装置は、前記支持体を前記
一方に移動させる第1の駆動機構と、該第1の駆動機構
に支持されて前記支持体を前記他方に個々に移動させる
第2の駆動機構とを備えることができる。このようにす
れば、支持体を前記他方に個々に移動させることがきる
から、大きさが異なる複数種類の液晶基板の検査に共通
に使用することができるし、液晶基板に対するプローブ
ブロックの位置合わせを行うことができる。
The X, Y driving device comprises a first driving mechanism for moving the support to the one side, and a second driving mechanism supported by the first driving mechanism for individually moving the support to the other side. Drive mechanism. With this configuration, the support can be individually moved to the other side, so that the support can be commonly used for inspection of a plurality of types of liquid crystal substrates having different sizes, and the positioning of the probe block with respect to the liquid crystal substrate can be performed. It can be performed.
【0009】前記第1の駆動機構は、前記一方に伸びる
1以上の第1のガイドレールと、該ガイドレールに沿っ
て移動される移動体と、該移動体を移動させる1以上の
第1の駆動手段とを備え、前記第2の駆動機構は、前記
他方に伸びる1以上の第2のガイドレールであって前記
支持体を移動可能に受ける第2のガイドレールと、前記
支持体を前記他方に個々に移動させる第2の駆動手段と
を備えることができる。このようにすれば、支持体の移
動が正確になるから、液晶基板に対するプローブブロッ
クの位置合わせを正確に行うことができる。
The first driving mechanism includes one or more first guide rails extending to the one side, a moving body moved along the guide rail, and one or more first moving parts for moving the moving body. Driving means, wherein the second driving mechanism is one or more second guide rails extending to the other side, the second guide rails movably receiving the support, and the second drive mechanism is configured to transfer the support to the other side. And second driving means for individually moving the driving means. With this configuration, since the movement of the support becomes accurate, the positioning of the probe block with respect to the liquid crystal substrate can be performed accurately.
【0010】各支持体の中央に上方に開放するコ字状部
を形成し、各プローブブロックを前記Z駆動機構により
前記コ字状部の最下部に組み付けることができる。この
ようにすれば、プローブブロックをX・Y駆動機構及び
Z駆動機構の高さ内に配置することができ、装置の高さ
寸法を小さくすることができる。
A U-shaped portion which is open upward is formed at the center of each support, and each probe block can be assembled to the lowermost portion of the U-shaped portion by the Z drive mechanism. In this way, the probe block can be arranged within the height of the XY drive mechanism and the Z drive mechanism, and the height of the apparatus can be reduced.
【0011】前記液晶基板は矩形の複数の基板部であっ
て前記他方に対応する縁部に複数の電極を有する基板部
を備え、各第1のプローブブロックは前記基板部の前記
電極の数より少ないプローブを備えることができる。こ
の場合、移動体及び第1のプローブブロックはX・Y駆
動機構により基板部毎に基板部内で前記他方へ間欠的に
移動される。このため、多数取りの液晶基板であって
も、少なくとも前記他方における装置の寸法を小さくす
ることができる。
The liquid crystal substrate comprises a plurality of rectangular substrate portions having a plurality of electrodes at edges corresponding to the other, and each first probe block has a number of electrodes corresponding to the number of the electrodes on the substrate portion. Fewer probes can be provided. In this case, the moving body and the first probe block are intermittently moved to the other in the substrate unit for each substrate unit by the XY drive mechanism. For this reason, even if the liquid crystal substrate has a large number of components, at least the size of the other device can be reduced.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】図1から図5を参照するに、検査
装置10は、液晶パネルすなわち液晶表示パネル(LC
D)の長方形をした液晶基板12の検査に用いられる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring to FIGS. 1 to 5, an inspection apparatus 10 includes a liquid crystal panel, that is, a liquid crystal display panel (LC).
D) is used to inspect the rectangular liquid crystal substrate 12.
【0013】液晶基板12は、図6に示すように、LC
Dのためのガラス基板、特に多数のTFT(薄いフィル
ム状トランジスタ)を含む電気回路が形成されたTFE
アレイ基板であり、また後にLCDとして用いる矩形の
複数の基板部1a,1b,2a,2b,3a,3bを有
する複数取りの基板である。
[0013] As shown in FIG.
Glass substrate for D, especially TFE on which an electric circuit including a large number of TFTs (thin film transistors) is formed
It is an array substrate, and a multi-cavity substrate having a plurality of rectangular substrate portions 1a, 1b, 2a, 2b, 3a, 3b used later as an LCD.
【0014】画素駆動用の複数のTFTは各基板部内の
矩形の表示部内に形成されている。各基板部の対向する
一対の縁部は複数の電極が形成された電極エリア14と
されており、電極エリア14の外側はテグ検査(TEG
検査)用の1以上のTFTが形成されたTEGエリア1
6とされている。
A plurality of TFTs for driving pixels are formed in a rectangular display section in each substrate section. A pair of opposing edges of each substrate part is an electrode area 14 on which a plurality of electrodes are formed, and the outside of the electrode area 14 is a TEG inspection (TEG inspection).
TEG area 1 on which one or more TFTs for inspection) are formed
6.
【0015】図1及び図2に示すように、検査装置10
は、液晶基板の受け渡しをする受け渡し装置20と、未
検査の液晶基板及び検査済みの液晶基板を貯留するカセ
ット設置部(設置ステーション)22と、受け渡し装置
20が配置されたローダ・アンローダ部(受け渡しステ
ーション)24と、液晶基板を検査する検査部(検査ス
テーション)26とを含む。受け渡し装置20は、液晶
基板をカセット設置部22から検査部26に及びその逆
に搬送する。
As shown in FIG. 1 and FIG.
Are a transfer device 20 for transferring liquid crystal substrates, a cassette installation unit (installation station) 22 for storing untested liquid crystal substrates and inspected liquid crystal substrates, and a loader / unloader unit (transfer device) in which the transfer device 20 is arranged. Station 24 and an inspection unit (inspection station) 26 for inspecting the liquid crystal substrate. The transfer device 20 transports the liquid crystal substrate from the cassette setting unit 22 to the inspection unit 26 and vice versa.
【0016】図示の例では、カセット設置部22、ロー
ダ・アンローダ部24及び検査部26をローダ・アンロ
ーダ部24がカセット設置部22と検査部26との間と
なるように左右方向(X方向)に配置しているが、それ
らの部位22,24,26を前後方向(Y方向)に配置
してもよい。
In the illustrated example, the cassette mounting section 22, the loader / unloader section 24, and the inspection section 26 are moved in the horizontal direction (X direction) so that the loader / unloader section 24 is located between the cassette installation section 22 and the inspection section 26. However, these portions 22, 24, and 26 may be arranged in the front-rear direction (Y direction).
【0017】基板を貯留する複数のカセット28は、カ
セット設置部22のカセット設置台30の上に設置され
る。各カセット28は、液晶基板を水平に受けてその状
態に支持するように、ローダ・アンローダ部24の側に
開口する筐体内に上下方向に間隔をおいて形成された複
数の収納段(収納部)を有する。
A plurality of cassettes 28 for storing substrates are installed on a cassette installation table 30 of the cassette installation section 22. Each cassette 28 is provided with a plurality of storage steps (storage sections) formed at intervals in a vertical direction in a housing opened on the side of the loader / unloader section 24 so as to horizontally receive and support the liquid crystal substrate in that state. ).
【0018】液晶基板への通電に用いるプローブユニッ
ト32と、液晶基板をほぼ水平に支持しかつプローブユ
ニット32に押圧する検査ステージ34(図4及び図5
参照)と、位置決め用の光学顕微鏡36とは、検査部2
6に配置されている。検査ステージ34は、プローブユ
ニット32の下方に配置されている。光学顕微鏡36
は、プローブユニット32の上方をX方向へ伸びるレー
ル38にX方向へ移動可能に配置されている。
A probe unit 32 used to energize the liquid crystal substrate and an inspection stage 34 which supports the liquid crystal substrate substantially horizontally and presses against the probe unit 32 (FIGS. 4 and 5)
And the optical microscope 36 for positioning are connected to the inspection unit 2.
6. The inspection stage 34 is arranged below the probe unit 32. Optical microscope 36
Are arranged movably in the X direction on a rail 38 extending in the X direction above the probe unit 32.
【0019】受け渡し装置20は、1以上のハンド40
を上下方向(Z方向)に移動させると共に上下方向へ伸
びる軸線(θ軸線)の周りに回転させて、液晶基板をカ
セット28及び検査ステージ34に対して受け渡す既知
のロボットである。受け渡し装置20は、レール42上
をY方向へ移動される。
The delivery device 20 includes one or more hands 40
Is a known robot that moves the liquid crystal substrate in the vertical direction (Z direction) and rotates it around an axis (θ axis) extending in the vertical direction to transfer the liquid crystal substrate to the cassette 28 and the inspection stage 34. The transfer device 20 is moved on the rail 42 in the Y direction.
【0020】図3、図4及び図5に示すように、プロー
ブユニット32は、検査装置10の本体フレーム(図示
せず)にほぼ水平に配置された矩形の板状ベース44を
備える。ベース44は、矩形の開口46を中央に有して
おり、この開口46が検査ステージ34の上方となるよ
うに、本体フレームに組み付けられている。
As shown in FIGS. 3, 4 and 5, the probe unit 32 includes a rectangular plate-like base 44 disposed substantially horizontally on a main body frame (not shown) of the inspection apparatus 10. The base 44 has a rectangular opening 46 at the center, and is assembled to the main body frame such that the opening 46 is above the inspection stage 34.
【0021】ベース44には、矩形をした板状のY移動
体48がY方向へ移動可能に配置されている。Y移動体
48は、矩形の開口50を中央に有する。Y移動体48
は、また、開口46を間にしてY方向へ平行に伸びる状
態にベース44に配置された一対のY軸レールすなわち
ガイドレール52に受けられており、Y方向へ伸びる一
対のねじ棒54が回転されることによりY方向へ移動さ
れる。
On the base 44, a rectangular plate-shaped Y moving body 48 is disposed so as to be movable in the Y direction. The Y moving body 48 has a rectangular opening 50 at the center. Y moving body 48
Are received by a pair of Y-axis rails or guide rails 52 arranged on the base 44 in a state of extending in parallel in the Y direction with the opening 46 interposed therebetween, and a pair of screw rods 54 extending in the Y direction rotate. Is moved in the Y direction.
【0022】Y移動体48は、さらに、ガイドレール5
2に滑動可能に受けられた複数のレールガイド56と、
ねじ棒54に螺合された1以上のリードナット58とを
下側に有する。ねじ棒54は、ねじ棒毎にベース44に
設けられたステップモータのような駆動源60により同
期して回転される。ねじ棒54は、図示の例ではボール
ねじである。
The Y moving body 48 further includes a guide rail 5
A plurality of rail guides 56 slidably received in two,
One or more lead nuts 58 screwed to the threaded rod 54 are provided on the lower side. The screw rods 54 are synchronously rotated by a driving source 60 such as a step motor provided on the base 44 for each screw rod. The screw rod 54 is a ball screw in the illustrated example.
【0023】Y移動体48には、幅の狭い板状をした複
数(図示の例では、4つ)のX移動体62がX方向に間
隔をおいてX方向へ移動可能に配置されている。各X移
動体62は、上方に開放するコ字状部を中央に有してお
り、また後に説明するプローブブロック72,74の支
持体として作用する。X移動体62は、開口50を間に
してX方向へ平行に伸びる状態にY移動体48に配置さ
れた一対のX軸レールすなわちガイドレール64に共通
に受けられている。
On the Y moving body 48, a plurality of (four in the illustrated example) X moving bodies 62 having a narrow plate shape are arranged so as to be movable in the X direction at intervals in the X direction. . Each X moving body 62 has a U-shaped portion that opens upward at the center, and acts as a support for probe blocks 72 and 74 described later. The X moving body 62 is commonly received by a pair of X-axis rails, that is, guide rails 64 arranged on the Y moving body 48 so as to extend in parallel in the X direction with the opening 50 therebetween.
【0024】各X移動体62は、X方向へ伸びるねじ棒
66がY移動体48に配置されたステップモータのよう
な駆動源68により回転されることによりX方向へ移動
される。X移動体62は、さらに、複数のレールガイド
70においてガイドレール64に滑動可能に受けられて
おり、また1以上のリードナット71においてねじ棒6
6に螺合されている。ねじ棒66も、図示の例ではボー
ルねじである。
Each of the X moving bodies 62 is moved in the X direction by rotating a screw rod 66 extending in the X direction by a driving source 68 such as a step motor arranged on the Y moving body 48. The X moving body 62 is further slidably received on the guide rail 64 in the plurality of rail guides 70, and the screw rod 6 is mounted on one or more lead nuts 71.
6 is screwed. The screw rod 66 is also a ball screw in the illustrated example.
【0025】各X移動体62には、断線・短絡検査(O
S検査)用の第1のプローブブロック72及びテグ検査
(TEG検査)用の第2のプローブブロック74が、そ
れぞれ、ジャッキのようなZ駆動機構76及び78によ
り、コ字状部の最下部にY方向に間隔をおいて組み付け
られている。
Each X moving body 62 has a disconnection / short circuit inspection (O
A first probe block 72 for S inspection) and a second probe block 74 for Teg inspection (TEG inspection) are respectively located at the bottom of the U-shaped portion by Z driving mechanisms 76 and 78 such as jacks. Assembled at intervals in the Y direction.
【0026】第1のプローブブロック72は、液晶基板
12の電極エリア14に配置された電極の数より少ない
プローブ80を備える。これに対し、第2のプローブブ
ロック74は、液晶基板12のTEGエリア16に配置
された電極の数と同数のプローブ82を備える。
The first probe block 72 has a smaller number of probes 80 than the number of electrodes arranged in the electrode area 14 of the liquid crystal substrate 12. On the other hand, the second probe block 74 includes the same number of probes 82 as the number of electrodes arranged in the TEG area 16 of the liquid crystal substrate 12.
【0027】ベース44には、また、アライメント用の
一対のテレビカメラ84が液晶基板12に予め形成され
たアライメントマーク(図示せず)撮影するようにX方
向に間隔をおいて配置されている。
On the base 44, a pair of alignment television cameras 84 are arranged at intervals in the X direction so as to photograph alignment marks (not shown) formed in advance on the liquid crystal substrate 12.
【0028】検査装置10において、駆動源60が同期
して回転されると、Y移動体48がY方向に移動される
から、全てのX移動体62が同時にY方向に移動され
て、全てのプローブブロック72,74が同時にY方向
に移動される。それゆえに、図示の例では、Y移動体4
8、Y軸レール52、ねじ棒54及び駆動源60は、プ
ローブブロック72,74をY方向へ移動させるY駆動
機構として作用する。
In the inspection apparatus 10, when the driving source 60 is rotated synchronously, the Y moving bodies 48 are moved in the Y direction, so that all the X moving bodies 62 are simultaneously moved in the Y direction, and all the X moving bodies 62 are moved in the Y direction. The probe blocks 72 and 74 are simultaneously moved in the Y direction. Therefore, in the illustrated example, the Y moving body 4
8, the Y-axis rail 52, the screw bar 54, and the drive source 60 act as a Y drive mechanism for moving the probe blocks 72, 74 in the Y direction.
【0029】また、適宜な駆動源68が回転されると、
その駆動源68により回転されるねじ棒58と螺合する
X移動体62がX方向に移動されて、その移動体に配置
された第1及び第2のプローブブロック72,74が同
時にX方向へ移動される。それゆえに、図示の例では、
ガイドレール64、ねじ棒66及び駆動源68は、プロ
ーブブロック72,74をX方向へ移動させるX駆動機
構として作用する。
When the appropriate drive source 68 is rotated,
The X moving body 62 screwed with the screw rod 58 rotated by the driving source 68 is moved in the X direction, and the first and second probe blocks 72 and 74 arranged on the moving body are simultaneously moved in the X direction. Be moved. Therefore, in the illustrated example,
The guide rail 64, the screw rod 66, and the drive source 68 function as an X drive mechanism for moving the probe blocks 72, 74 in the X direction.
【0030】さらに、適宜なZ駆動機構76又は78が
駆動されると、そのZ駆動機構に組み付けられたプロー
ブブロック72又は74が上下方向に移動される。
Further, when an appropriate Z drive mechanism 76 or 78 is driven, the probe block 72 or 74 attached to the Z drive mechanism is moved in the vertical direction.
【0031】液晶基板12の検査に先立って、検査装置
10に対する液晶基板12のアライメントが行われる。
このアライメントは、液晶基板12に設けられたアライ
メントマーク(図示せず)をテレビカメラ84により撮
影して、アライメントマークがテレビカメラ84の視野
内の所定の位置になるように、液晶基板12を検査ステ
ージ34によりX方向及びY方向に2次元的に移動させ
ることにより行われる。
Prior to inspection of the liquid crystal substrate 12, alignment of the liquid crystal substrate 12 with respect to the inspection device 10 is performed.
This alignment is performed by photographing an alignment mark (not shown) provided on the liquid crystal substrate 12 with the television camera 84 and inspecting the liquid crystal substrate 12 so that the alignment mark is located at a predetermined position in the field of view of the television camera 84. This is performed by two-dimensionally moving the stage 34 in the X and Y directions.
【0032】また、液晶基板12の検査に先立って、プ
ローブブロック72,74に対する液晶基板12のアラ
イメントが行われる。このアライメントは、プローブ8
0又は82に対する液晶基板12の位置を光学顕微鏡3
6で目視しつつ、駆動源60,68によりX方向及びY
方向に2次元的に移動させることにより行われる。
Prior to the inspection of the liquid crystal substrate 12, the liquid crystal substrate 12 is aligned with the probe blocks 72 and 74. This alignment is based on probe 8
The position of the liquid crystal substrate 12 with respect to 0 or 82 is
6 and in the X and Y directions by the driving sources 60 and 68.
This is performed by moving two-dimensionally in the direction.
【0033】上記のようなアライメントをするとき、移
動体62を個々に移動させて液晶基板12に対するプロ
ーブブロック72,74の位置合わせを移動体62毎に
行うことができる。これにより、移動体62の移動が正
確になるから、液晶基板12に対するプローブブロック
72,74の位置合わせを正確に行うことができる。
When performing the above-described alignment, it is possible to move the moving bodies 62 individually and to position the probe blocks 72 and 74 with respect to the liquid crystal substrate 12 for each moving body 62. As a result, the movement of the movable body 62 becomes accurate, so that the positioning of the probe blocks 72 and 74 with respect to the liquid crystal substrate 12 can be performed accurately.
【0034】液晶基板12のOS検査をするとき、図7
に示すように、各第1のプローブブロック72はZ駆動
機構76によりプローブ80が電極エリアの電極に接触
する位置まで下げられ、第2のプローブブロック74は
Z駆動機構78によりプローブ82が液晶基板12に接
触しない位置に上げられる。
When the OS inspection of the liquid crystal substrate 12 is performed, FIG.
As shown in FIG. 7, each of the first probe blocks 72 is lowered by the Z drive mechanism 76 to a position where the probe 80 contacts the electrode in the electrode area, and the second probe block 74 is moved by the Z drive mechanism 78 so that the probe 82 12 can be raised to a position where it does not touch it.
【0035】これに対し、液晶基板12のTEG検査を
するとき、図8に示すように、各第2のプローブブロッ
ク74はZ駆動機構78によりプローブ82がTEGエ
リアの電極に接触する位置まで下げられ、第1のプロー
ブブロック72はZ駆動機構76によりプローブ80が
液晶基板12に接触しない位置に上げられる。
On the other hand, when performing the TEG inspection of the liquid crystal substrate 12, as shown in FIG. 8, each second probe block 74 is lowered by the Z drive mechanism 78 to a position where the probe 82 comes into contact with the electrode in the TEG area. Then, the first probe block 72 is raised by the Z drive mechanism 76 to a position where the probe 80 does not contact the liquid crystal substrate 12.
【0036】図9を参照して、検査装置10による液晶
基板12のTEG検査方法について説明する。
Referring to FIG. 9, a description will be given of a TEG inspection method of the liquid crystal substrate 12 by the inspection apparatus 10.
【0037】先ず、図9(A)に示すように、3つのプ
ローブブロック74のプローブ82が最初の基板部1
a,1bに設けられたTEGエリアの電極に接触するよ
うに、3つのプローブブロック74の位置が駆動源60
及び68とZ駆動機構78により調整される。このと
き、プローブブロック72はZ駆動機構76により上昇
されている。
First, as shown in FIG. 9A, the probes 82 of the three probe blocks 74
The positions of the three probe blocks 74 are set so as to contact the electrodes of the TEG areas provided on the drive sources 60a and 1b.
, 68 and the Z drive mechanism 78. At this time, the probe block 72 is raised by the Z drive mechanism 76.
【0038】次いで、液晶基板12が検査ステージ34
により上昇されて、その電極をプローブ80に押圧され
る。これにより3つのプローブブロック74のプローブ
82は、TEGエリアの電極に押圧される。この状態
で、3つのプローブブロック74のプローブ82に通電
されて、最初のTEGエリアのTEG検査が行われる。
Next, the liquid crystal substrate 12 is moved to the inspection stage 34.
And the electrode is pressed by the probe 80. As a result, the probes 82 of the three probe blocks 74 are pressed by the electrodes in the TEG area. In this state, the probes 82 of the three probe blocks 74 are energized, and the first TEG inspection of the TEG area is performed.
【0039】次いで、3つのプローブブロック74がZ
駆動機構78により上昇された後、3つのプローブブロ
ック74のプローブ82が図9(B)に示すように次の
TEGエリアの電極に接触するように、3つのプローブ
ブロック74の位置が駆動源60により基板部の配列ピ
ッチ分だけY方向へ移動される。
Next, the three probe blocks 74
After being raised by the driving mechanism 78, the positions of the three probe blocks 74 are set to the driving sources 60 so that the probes 82 of the three probe blocks 74 come into contact with the electrodes of the next TEG area as shown in FIG. Is moved in the Y direction by the arrangement pitch of the substrate portion.
【0040】このときのプローブブロック74と液晶基
板12との間の相対的な移動は、いわゆる面送りであ
る。そのような面送りは、液晶基板12を検査ステージ
34によりY方向へ移動させることにより、行ってもよ
い。
The relative movement between the probe block 74 and the liquid crystal substrate 12 at this time is a so-called surface feed. Such a surface feed may be performed by moving the liquid crystal substrate 12 in the Y direction by the inspection stage 34.
【0041】次いで、3つのプローブブロック74がZ
駆動機構78により下降されて、3つのプローブブロッ
ク74のプローブ82が次のTEGエリアの電極に接触
される。この状態で、3つのプローブブロック74のプ
ローブ82に通電されて、次のTEGUエリアのTEG
検査が行われる。
Next, the three probe blocks 74
The probe 82 of the three probe blocks 74 is moved down by the driving mechanism 78 and is brought into contact with the electrodes of the next TEG area. In this state, power is supplied to the probes 82 of the three probe blocks 74, and the TEGs in the next TEGU area are energized.
An inspection is performed.
【0042】以下同様に、3つのプローブブロック74
が、上昇され、面送りをされ、再度下降されて、図9
(C)に示す位置に配置された状態で、3つのプローブ
ブロック74のプローブ82による次のTEGエリアの
TEG検査が行われる。
Similarly, the three probe blocks 74
Is raised, surface-fed, and lowered again to obtain FIG.
The TEG inspection of the next TEG area is performed by the probes 82 of the three probe blocks 74 while being arranged at the position shown in FIG.
【0043】全てのTEGエリアのTEG試験が終了す
ると、第2のプローブブロック74を上昇させ、第1の
プローブブロック72を下降させた状態でのOS検査が
行われる。
When the TEG tests for all the TEG areas are completed, an OS test is performed with the second probe block 74 raised and the first probe block 72 lowered.
【0044】次に、図10を参照して、検査装置10に
よる液晶基板12のOS検査方法について説明する。
Next, a method of inspecting the OS of the liquid crystal substrate 12 by the inspection apparatus 10 will be described with reference to FIG.
【0045】先ず、図10(A)に示すように、プロー
ブ80が基板部1a,1bの対向する端部に設けられた
電極エリアの右端部の電極に接触するように、プローブ
ブロック72の位置が駆動源60及び68とZ駆動機構
76により調整される。このとき、プローブブロック7
4はZ駆動機構78により上昇されている。
First, as shown in FIG. 10A, the position of the probe block 72 is adjusted so that the probe 80 contacts the electrode at the right end of the electrode area provided at the opposite end of the substrate 1a, 1b. Is adjusted by the drive sources 60 and 68 and the Z drive mechanism 76. At this time, the probe block 7
4 is raised by the Z drive mechanism 78.
【0046】次いで、液晶基板12が検査ステージ34
により上昇されて、その電極をプローブ80に押圧され
る。これにより、プローブ80は、電極エリアの所定の
電極に押圧される。
Next, the liquid crystal substrate 12 is moved to the inspection stage 34.
And the electrode is pressed by the probe 80. As a result, the probe 80 is pressed against a predetermined electrode in the electrode area.
【0047】次いで、上記状態で各プローブブロック7
2が駆動源60によるピッチ送りによりY方向へ1ピッ
チ分ずつ同期して移動される。1ピッチとは、プローブ
80の配列領域のY方向における長さ寸法のことであ
る。これにより、各プローブブロック72は、基板部1
aをその右端から左端まで間欠的に移動されて、図10
(B)に示す位置に達する。各プローブブロック72が
移動されるとき、検査ステージ34又はZ駆動機構78
により液晶基板12とプローブ82とは互いに離され
る。各プローブブロック72の移動が停止している間、
各プローブブロック72に通電されて、OS検査が行わ
れる。
Next, in the above state, each probe block 7
2 is synchronously moved by one pitch in the Y direction by pitch feed by the drive source 60. One pitch is a length dimension in the Y direction of the arrangement region of the probe 80. As a result, each probe block 72 is
a is intermittently moved from its right end to its left end.
The position shown in (B) is reached. When each probe block 72 is moved, the inspection stage 34 or the Z drive mechanism 78
As a result, the liquid crystal substrate 12 and the probe 82 are separated from each other. While the movement of each probe block 72 is stopped,
Each probe block 72 is energized to perform an OS test.
【0048】次いで、液晶基板12が検査ステージ34
により下降された後、プローブブロック72が駆動源6
0により初期位置に戻されると共に、液晶基板12が検
査ステージ34により基板部の配列ピッチ分だけ移動さ
れる。このときの送りはいわゆる面送りである。この面
送りによりプローブ80と液晶基板12とは、プローブ
80が次の基板部の右端部の電極に接触可能の図10
(C)に示す位置関係に変更される。
Next, the liquid crystal substrate 12 is moved to the inspection stage 34.
After the probe block 72 is lowered by the
At 0, the liquid crystal substrate 12 is returned to the initial position, and the liquid crystal substrate 12 is moved by the inspection stage 34 by the arrangement pitch of the substrate unit. The feed at this time is a so-called surface feed. By this surface feed, the probe 80 and the liquid crystal substrate 12 are brought into contact with the electrode at the right end of the next substrate portion as shown in FIG.
The positional relationship is changed as shown in FIG.
【0049】次いで、液晶基板12が検査ステージ34
により上昇された後、プローブブロック72が駆動源6
0により同期してY方向へピッチ送りをされて、次の基
板部のOS検査が行われる。
Next, the liquid crystal substrate 12 is moved to the inspection stage 34.
After the probe block 72 is lifted by the
The pitch is fed in the Y direction in synchronization with 0, and the OS inspection of the next substrate portion is performed.
【0050】上記の動作を繰り返すことにより、液晶基
板12は全ての基板部のOS検査をされる。なお、OS
検査における面送りを、液晶基板12を検査ステージ3
4で移動させることにより行う代わりに、プローブブロ
ック72を駆動源60で移動させることにより行っても
よい。
By repeating the above operation, the OS inspection of the entire liquid crystal substrate 12 is performed. OS
For the surface feed in the inspection, the liquid crystal substrate 12 is moved to the inspection stage 3
Instead of moving the probe block 72 by moving the probe block 72, the probe block 72 may be moved by the driving source 60.
【0051】上記のようにTEG検査用のプローブブロ
ックとOS検査用のプローブブロックを備えると、検査
の種類を変更するときに、プローブブロック又はプロー
ブユニットを検査装置に取り付け、取り外す作業が不要
になり、検査効率が著しく向上する。また、プローブブ
ロック72,74をZ駆動機構76,78により移動体
62のコ字状部の最下部に組み付けるならば、プローブ
ブロック72,74をX・Y駆動機構及びZ駆動機構の
高さ内に配置することができ、装置の高さ寸法を小さく
することができる。
When the probe block for the TEG inspection and the probe block for the OS inspection are provided as described above, it is not necessary to attach and remove the probe block or the probe unit to and from the inspection apparatus when changing the type of inspection. Inspection efficiency is significantly improved. If the probe blocks 72, 74 are assembled to the lowermost portion of the U-shaped portion of the moving body 62 by the Z drive mechanisms 76, 78, the probe blocks 72, 74 are within the height of the XY drive mechanism and the Z drive mechanism. And the height of the device can be reduced.
【0052】本発明は、液晶基板を水平の状態で検査す
る装置のみならず、液晶基板を傾斜した状態で検査する
装置にも適用することができる。いずれの場合も、プロ
ーブブロックは、液晶基板とほぼ平行の面内で2次元的
に移動されると共に、液晶基板と交叉する方向へ移動さ
れる。
The present invention can be applied not only to an apparatus for inspecting a liquid crystal substrate in a horizontal state but also to an apparatus for inspecting a liquid crystal substrate in an inclined state. In either case, the probe block is moved two-dimensionally in a plane substantially parallel to the liquid crystal substrate, and is moved in a direction crossing the liquid crystal substrate.
【0053】本発明は、上記実施例に限定されない。例
えば、OS検査をTEG検査の前に行ってもよい。ま
た、6枚取りの液晶基板の検査装置のみならず、それ以
上の複数取りの液晶基板の検査装置にも適用することが
できる。本発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変
更することができる。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the OS inspection may be performed before the TEG inspection. Further, the present invention can be applied not only to an inspection apparatus for a six-panel liquid crystal substrate but also to an inspection apparatus for a multi-panel liquid crystal substrate. The present invention can be variously modified without departing from the gist thereof.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】本発明に係る検査装置の一実施例を示す平面図
である。
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of an inspection device according to the present invention.
【図2】図1に示す検査装置の正面図である。FIG. 2 is a front view of the inspection device shown in FIG.
【図3】図1に示す検査装置で用いるプローブユニット
の一実施例を示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view showing one embodiment of a probe unit used in the inspection apparatus shown in FIG.
【図4】図3における4−4線に沿って得た断面図であ
る。
FIG. 4 is a sectional view taken along line 4-4 in FIG. 3;
【図5】図4における5−5線に沿って得た断面図であ
る。
FIG. 5 is a sectional view taken along line 5-5 in FIG.
【図6】液晶基板の一実施例を示す図である。FIG. 6 is a view showing one embodiment of a liquid crystal substrate.
【図7】OS検査時のプローブブロックと液晶基板との
位置関係を説明するための図であって、(A)は平面
図、(B)は正面図である。
FIGS. 7A and 7B are diagrams for explaining a positional relationship between a probe block and a liquid crystal substrate during an OS inspection, wherein FIG. 7A is a plan view and FIG.
【図8】TEG検査時のプローブブロックと液晶基板と
の位置関係を説明するための図であって、(A)は平面
図、(B)は正面図である。
8A and 8B are diagrams for explaining a positional relationship between a probe block and a liquid crystal substrate during a TEG inspection, wherein FIG. 8A is a plan view and FIG. 8B is a front view.
【図9】TEG検査時のプローブブロックと液晶基板と
の位置関係を説明するための図である。
FIG. 9 is a diagram for explaining a positional relationship between a probe block and a liquid crystal substrate during a TEG inspection.
【図10】OS検査時のプローブブロックと液晶基板と
の位置関係を説明するための図である。
FIG. 10 is a diagram for explaining a positional relationship between a probe block and a liquid crystal substrate during an OS inspection.
【符号の説明】[Explanation of symbols]
10 検査装置 12 液晶基板 14 電極エリア 16 TEGエリア 20 受け渡し装置 22 カセット設置部 24 ローダ・アンローダ部 26 検査部 28 カセット 32 プローブユニット 34 検査ステージ 36 光学顕微鏡 44 ベース 48 Y移動体 52,64 ガイドレール 54,66 ねじ棒 56,70 リードガイド 58,71 リードナット 60 Y方向用の駆動源 62 X移動体(支持体) 68 X方向用の駆動源 72,74 第1及び第2のプローブブロック 76,78 Z駆動機構 80,82 プローブ 84 テレビカメラ 1a〜1c,2a〜2c 基板部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inspection apparatus 12 Liquid crystal board 14 Electrode area 16 TEG area 20 Delivery apparatus 22 Cassette installation part 24 Loader / unloader part 26 Inspection part 28 Cassette 32 Probe unit 34 Inspection stage 36 Optical microscope 44 Base 48 Y moving body 52, 64 Guide rail 54 , 66 Screw rod 56, 70 Lead guide 58, 71 Lead nut 60 Y direction drive source 62 X moving body (support) 68 X direction drive source 72, 74 First and second probe blocks 76, 78 Z drive mechanism 80, 82 Probe 84 Television camera 1a-1c, 2a-2c Substrate
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 外川 譲 東京都武蔵野市吉祥寺本町2丁目6番8号 株式会社日本マイクロニクス内 (72)発明者 阿保 博昭 東京都武蔵野市吉祥寺本町2丁目6番8号 株式会社日本マイクロニクス内 Fターム(参考) 2G014 AA02 AA03 AB21 AC10 2G032 AA00 AF02 AF03 AF04 2G036 AA22 AA26 AA27 BA33 CA03 CA12 2H088 EA02 FA13 FA17 FA27 FA30 HA08  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Joe Togawa 2-6-8 Kichijoji Honcho, Musashino City, Tokyo Inside Micronics Co., Ltd. (72) Inventor Hiroaki Abo 2-6-8 Kichijoji Honcho, Musashino City, Tokyo No. F term in Japan Micronics Co., Ltd. (reference) 2G014 AA02 AA03 AB21 AC10 2G032 AA00 AF02 AF03 AF04 2G036 AA22 AA26 AA27 BA33 CA03 CA12 2H088 EA02 FA13 FA17 FA27 FA30 HA08

Claims (5)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】 検査ステージに載置された液晶基板と平
    行な面内で互いに交叉するX方向及びY方向のいずれか
    一方に間隔をおいて並列的に配置された複数の支持体
    と、該支持体を前記X方向及びY方向へ移動させるX・
    Y駆動装置と、各支持体に配置された断線・短絡検査用
    の少なくとも1つの第1のプローブブロックであって前
    記一方に配列された複数のプローブを有する第1のプロ
    ーブブロックと、前記第1のプローブブロックから前記
    X方向及びY方向の他方に間隔をおいて各支持体に配置
    されたテグ検査用の第2のプローブブロックであって前
    記一方又は前記他方に配列された複数のプローブを有す
    る第2のプローブブロックと、各プローブブロックを前
    記面と交叉するZ方向へ移動させるZ駆動機構とを含
    む、液晶基板の検査装置。
    A plurality of supports arranged in parallel at intervals in one of an X direction and a Y direction crossing each other in a plane parallel to a liquid crystal substrate mounted on an inspection stage; X · for moving the support in the X and Y directions
    A Y drive device, at least one first probe block for disconnection / short circuit inspection arranged on each support, and a first probe block having a plurality of probes arranged on one of the first and second probe blocks; A second probe block for a Teg inspection arranged on each support at an interval in the other of the X direction and the Y direction from the probe block, and having a plurality of probes arranged in the one or the other. An inspection apparatus for a liquid crystal substrate, comprising: a second probe block; and a Z drive mechanism for moving each probe block in a Z direction crossing the plane.
  2. 【請求項2】 前記X・Y駆動装置は、前記支持体を前
    記一方に移動させる第1の駆動機構と、該第1の駆動機
    構に支持されて前記支持体を前記他方に個々に移動させ
    る第2の駆動機構とを備える、請求項1に記載の検査装
    置。
    2. The XY drive device comprises: a first drive mechanism for moving the support to the one side; and a support mechanism supported by the first drive mechanism for individually moving the support to the other side. The inspection device according to claim 1, further comprising a second drive mechanism.
  3. 【請求項3】 前記第1の駆動機構は、前記一方に伸び
    る1以上の第1のガイドレールと、該ガイドレールに沿
    って移動される移動体と、該移動体を移動させる1以上
    の第1の駆動手段とを備え、前記第2の駆動機構は、前
    記他方に伸びる1以上の第2のガイドレールであって前
    記支持体を移動可能に受ける第2のガイドレールと、前
    記支持体を前記他方に個々に移動させる第2の駆動手段
    とを備える、請求項3に記載の検査装置。
    3. The first drive mechanism includes one or more first guide rails extending to the one side, a moving body moved along the guide rail, and one or more first guide rails moving the moving body. And a second driving mechanism, wherein the second driving mechanism comprises: a second guide rail extending to the other one of the second guide rails, the second guide rail movably receiving the support; The inspection apparatus according to claim 3, further comprising a second driving unit that individually moves the other.
  4. 【請求項4】 各支持体は上方に開放するコ字状部を中
    央に有し、各プローブブロックは前記Z駆動機構により
    前記コ字状部の最下部に組み付けられている、請求項
    1,2又は3に記載の検査装置。
    4. The support according to claim 1, wherein each support has a U-shaped portion which opens upward, and each probe block is assembled to a lowermost portion of the U-shaped portion by the Z drive mechanism. The inspection device according to 2 or 3.
  5. 【請求項5】 前記液晶基板は矩形の複数の基板部であ
    って前記他方に対応する縁部に複数の電極を有する基板
    部を備え、各第1のプローブブロックは前記基板部の前
    記電極の数より少ないプローブを備える、請求項1から
    4のいずれか1項に記載の検査装置。
    5. The liquid crystal substrate includes a plurality of rectangular substrate portions having a plurality of electrodes at edges corresponding to the other, and each first probe block includes a plurality of rectangular electrodes. The inspection device according to any one of claims 1 to 4, further comprising less than a number of probes.
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