JP2002016127A - Chuck top - Google Patents

Chuck top

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JP2002016127A
JP2002016127A JP2000195758A JP2000195758A JP2002016127A JP 2002016127 A JP2002016127 A JP 2002016127A JP 2000195758 A JP2000195758 A JP 2000195758A JP 2000195758 A JP2000195758 A JP 2000195758A JP 2002016127 A JP2002016127 A JP 2002016127A
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JP
Japan
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display panel
chuck
inspection
panel
probe
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000195758A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kamihito Oishi
上人 尾石
Yutaka Kosaka
裕 小坂
Yoshiyuki Ando
由行 安藤
Isao Ueki
勲 植木
Original Assignee
Micronics Japan Co Ltd
株式会社日本マイクロニクス
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Micronics Japan Co Ltd, 株式会社日本マイクロニクス filed Critical Micronics Japan Co Ltd
Priority to JP2000195758A priority Critical patent/JP2002016127A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To securely attract the edge of a display panel to a suction groove. SOLUTION: A chuck top includes a base member having one or above grooves opened to a panel receiving face for sucking the panel receiving face receiving the display panel and the display panel so that they can be released and a plurality of pusher mechanisms pressing the edge of the display panel received by the panel receiving face to the panel receiving face so that it can be released.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
ような表示用パネルを受けるチャックトップに関する関
し、特に表示用パネルの通電試験を行う検査装置に用い
られるチャックトップに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chuck top for receiving a display panel such as a liquid crystal display panel, and more particularly, to a chuck top used for an inspection apparatus for conducting a current test of a display panel.
【0002】[0002]
【従来の技術】四角形の隣り合う2つの辺に対応する縁
部のそれぞれに複数の電極を配置した液晶表示パネルの
ような表示用パネルは、一般に、仕様書通りに製造され
たか否かの通電試験をされる。この種の通電試験は、一
般に、表示用パネルの電極に押圧される接触子を有する
複数のプローブを備えた1以上のプローブユニットと、
検査すべき表示用パネルを受ける検査ステージ(測定ス
テージ)とを本体に配置した検査装置(プローバ)を用
いて行われる。
2. Description of the Related Art A display panel such as a liquid crystal display panel in which a plurality of electrodes are arranged at edges corresponding to two adjacent sides of a quadrangle is generally used to determine whether or not it has been manufactured according to specifications. Take the test. This type of energization test generally includes one or more probe units including a plurality of probes having contacts pressed against electrodes of a display panel,
The inspection is performed using an inspection apparatus (prober) in which an inspection stage (measurement stage) for receiving a display panel to be inspected is arranged on the main body.
【0003】プローブユニットは、針先を接触子とする
ニードルタイプのプローブ(プローブ針)、及び、電気
絶縁性のフィルムの一方の面に形成された複数の配線の
先端部又はその先端部に形成された突起電極を接触子と
するフィルム状プローブ(プローブ要素)のいずれか一
方又は双方をプローブとしている。
A probe unit has a needle-type probe (probe needle) having a needle tip as a contact, and a plurality of wires formed on one surface of an electrically insulating film or a plurality of wires formed on the tip. Either one or both of the film-like probes (probe elements) using the projected electrode as a contact is used as a probe.
【0004】検査ステージは、四角形の表示用パネルを
受けて解除可能に真空吸着するチャックトップを備えて
いる。チャックトップは、表示用パネルを受けるパネル
受け面と、受けた表示用パネルを吸着する吸着溝とを有
する。吸着溝は、パネル受け面に開放しており、また吸
引源に接続されることにより表示用パネルの縁部を吸着
する。表示用パネルの各電極は、プローブの接触子に押
圧され、その状態で通電される。
[0006] The inspection stage has a chuck top that receives a square display panel and vacuum-releasably releasably receives the display panel. The chuck top has a panel receiving surface for receiving the display panel, and a suction groove for sucking the received display panel. The suction groove is open to the panel receiving surface, and sucks an edge of the display panel by being connected to a suction source. Each electrode of the display panel is pressed by a contact of the probe and is energized in that state.
【0005】しかし、この種の従来のチャックトップ
は、表示用パネルをチャックトップに載せ、その状態で
吸着溝を吸引源に接続するにすぎないため、表示用パネ
ルの縁部の反りにより、表示用パネルの縁部とチャック
トップのパネル受け面との間に隙間が存在すると、表示
用パネルの縁部が吸着溝に吸着されず、したがって表示
用パネルがわずかな振動によりチャックトップに対し変
位してしまう。
However, in this kind of conventional chuck top, the display panel is mounted on the chuck top, and the suction groove is simply connected to the suction source in that state. Therefore, the display panel is warped by the edge of the display panel. If there is a gap between the edge of the display panel and the panel receiving surface of the chuck top, the edge of the display panel will not be attracted to the suction groove, and the display panel will be displaced with respect to the chuck top by slight vibration. Would.
【0006】[0006]
【解決しようとする課題】上記のように、表示用パネル
がチャックトップに対し変位すると、表示用パネルの電
極とプローブの接触子との相対的位置が変化するから、
電極と接触子が正しく接触せず、その結果正しい検査を
行うことができない。
As described above, when the display panel is displaced with respect to the chuck top, the relative position between the electrode of the display panel and the contact of the probe changes.
The electrode and the contact do not contact correctly, so that a correct test cannot be performed.
【0007】それゆえに、表示用パネルのためのチャッ
クトップにおいては、表示用パネルの縁部が吸着溝に確
実に吸着されることが重要である。
Therefore, in a chuck top for a display panel, it is important that the edge of the display panel is securely sucked into the suction groove.
【0008】[0008]
【解決手段、作用及び効果】本発明に係るチャックトッ
プは、表示用パネルを受けるパネル受け面を有するベー
ス部材であって前記表示用パネルを解除可能に吸着すべ
く前記パネル受け面に開放する1以上の吸着溝を有する
ベース部材と、前記パネル受け面に受けられた表示用パ
ネルの縁部を前記パネル受け面に解除可能に押圧する複
数のプッシャー機構とを含む。
A chuck top according to the present invention is a base member having a panel receiving surface for receiving a display panel, and is opened to the panel receiving surface to releasably adsorb the display panel. It includes a base member having the above-mentioned suction groove, and a plurality of pusher mechanisms for releasably pressing the edge of the display panel received on the panel receiving surface against the panel receiving surface.
【0009】表示用パネルは、パネル受け面に受けられ
た後、縁部をプッシャー機構によりパネル受け面に押圧
される。これにより、たとえ表示用パネルの縁部とチャ
ックトップのパネル受け面との間に隙間が存在していて
も、その隙間はプッシャー機構による押圧力により消滅
する。その結果、表示用パネルの縁部が吸着溝に確実に
吸着され、チャックトップに対する表示用パネルの変位
が防止される。
After the display panel is received on the panel receiving surface, the edge is pressed against the panel receiving surface by the pusher mechanism. Thus, even if a gap exists between the edge of the display panel and the panel receiving surface of the chuck top, the gap disappears due to the pressing force of the pusher mechanism. As a result, the edge of the display panel is reliably sucked into the suction groove, and the displacement of the display panel with respect to the chuck top is prevented.
【0010】前記パネル受け面と交差する方向へ伸びる
軸線を有するシリンダ及びこれに受け入れられたピスト
ンを有するスイングシリンダ機構であって前記ピストン
が流体により前記シリンダに対し前記軸線の周りに角度
的に回転しつつ前記軸線の方向へ移動するスイングシリ
ンダ機構と、前記ピストンの移動にともなって前記表示
用パネルの縁部を前記パネル受け面に解除可能に押圧す
べく前記シャフトの先端部に組み付けられた弾性変形可
能の押えアームとを備えることができる。そのようにす
れば、プッシャー機構が簡略になる。
A swing cylinder mechanism having a cylinder having an axis extending in a direction intersecting the panel receiving surface and a piston received therein, the piston being angularly rotated about the axis with respect to the cylinder by a fluid. A swing cylinder mechanism that moves in the direction of the axis while the piston moves, and a resilient mechanism that is attached to the tip of the shaft to releasably press the edge of the display panel against the panel receiving surface. And a deformable holding arm. This simplifies the pusher mechanism.
【0011】前記押えアームは、前記ピストンの変位と
共に変位するように前記ピストンの先端部に組み付けら
れた、弾性変形可能の板状アームと、該板状アームの先
端部に配置されて前記表示用パネルの縁部に押圧される
弾性ゴム板とを備えることができる。そのようにすれ
ば、表示用パネルの縁部が板状アーム及びゴム板の弾性
変形によりパネル受け面に確実に押圧され、表示用パネ
ルがチャックトップに確実に吸着される。
The holding arm is attached to the distal end of the piston so as to be displaced with the displacement of the piston, and is an elastically deformable plate-like arm. An elastic rubber plate pressed against the edge of the panel. By doing so, the edge of the display panel is reliably pressed against the panel receiving surface by the elastic deformation of the plate-like arm and the rubber plate, and the display panel is reliably attracted to the chuck top.
【0012】前記ピストンは、前記表示用パネルの縁部
を前記ゴム板により前記パネル受け面に押圧したとき、
前記板状アームが撓む状態に前記シリンダに受け入れら
れてもよい。そのようにすれば、板状アームがより大き
く弾性変形するから、表示用パネルの縁部がパネル受け
面により確実に押圧され、表示用パネルがチャックトッ
プにより確実に吸着される。
When the edge of the display panel is pressed against the panel receiving surface by the rubber plate,
The plate arm may be received in the cylinder in a bent state. In this case, since the plate-like arm is more elastically deformed, the edge of the display panel is reliably pressed by the panel receiving surface, and the display panel is reliably sucked by the chuck top.
【0013】四角形の対向する一対の辺のそれぞれに1
以上のプッシャー機構が備えられていてもよい。また、
前記四角形は長方形であり、前記一対の辺は長方形の短
辺であってもよい。さらに、前記ベース部材は四角形の
開口を有しており、前記吸着溝は前記開口の周りに形成
されていてもよい。
Each of a pair of opposing sides of the rectangle has one
The above pusher mechanism may be provided. Also,
The square may be a rectangle, and the pair of sides may be short sides of the rectangle. Further, the base member may have a rectangular opening, and the suction groove may be formed around the opening.
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】図1から図7を参照するに、後に
詳細に説明するチャックトップ34は、検査装置10に
利用される。検査装置10は、液晶を封入した液晶表示
パネルを検査すべき表示用パネル12とする目視点灯検
査装置として用いられる。表示用パネル12は、長方形
の平面形状を有しており、また図示してはいないが長方
形の対向する2つの長辺(X辺)とそれら両辺の間の1
つの短辺(Y辺)とにそれぞれ複数の電極を有する。し
かし、表示用パネルの電極が形成される辺は、表示用パ
ネルの種類により異なる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring to FIGS. 1 to 7, a chuck top 34, which will be described in detail later, is used in an inspection apparatus 10. FIG. The inspection apparatus 10 is used as a visual lighting inspection apparatus in which a liquid crystal display panel in which liquid crystal is sealed is used as a display panel 12 to be inspected. The display panel 12 has a rectangular planar shape, and although not shown, two opposing long sides (X sides) of the rectangle and one between the two long sides.
Each of the two short sides (Y sides) has a plurality of electrodes. However, the side on which the electrodes of the display panel are formed differs depending on the type of the display panel.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】検査装置10は、長尺の複数のチ
ャンネル部材を組み立てた本体フレームと、該本体フレ
ームに取り外し可能に取り付けられた複数のパネルとに
より、筐体の形に形成された本体14を含む。本体12
の前面上部は、斜め上向きの傾斜面部16とされてい
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An inspection apparatus 10 is formed in a housing shape by a main body frame in which a plurality of long channel members are assembled, and a plurality of panels detachably attached to the main body frame. A body 14 is included. Body 12
Is formed as an obliquely upward inclined surface portion 16.
【0016】図1に示すように、本体14は、表示用パ
ネル12の検査部(すなわち、測定部)20とされた左
側領域と、表示用パネル12の受け渡しのためのローダ
部22とされた右側領域とに分けられている。本体14
は、表示用パネル12の形状に類似した長方形の開口2
4及び26を傾斜面部16にあって検査部20及びロー
ダ部22にそれぞれ有し、また後に詳細に説明する遮光
板28をローダ部22に有する。
As shown in FIG. 1, the main body 14 has a left area serving as an inspection section (ie, a measurement section) 20 of the display panel 12 and a loader section 22 for delivering the display panel 12. It is divided into the right area. Body 14
Is a rectangular opening 2 similar to the shape of the display panel 12.
The inspection section 20 and the loader section 22 are provided on the inclined surface section 16, respectively, and the light shielding plate 28, which will be described in detail later, is provided on the loader section 22.
【0017】図3から図8に示すように、本体12内に
は、検査ステージ(測定ステージ)30が配置されてい
る。検査ステージ30は、表示用パネル12を本体14
の傾斜面部16とほぼ平行の斜め上向きの状態に受けた
状態で、搬送ステージ32により検査部20とローダ部
22とに選択的に移動される。表示用パネル12は、そ
の長手方向を左右方向とした状態に、検査ステージ30
に受けられる。検査ステージ30への表示用パネル12
の受け渡しは、作業者によりローダ部22において行わ
れる。
As shown in FIGS. 3 to 8, an inspection stage (measurement stage) 30 is disposed in the main body 12. The inspection stage 30 connects the display panel 12 to the main body 14.
The transfer stage 32 is selectively moved to the inspection unit 20 and the loader unit 22 in a state of being received obliquely upward substantially parallel to the inclined surface unit 16. The display panel 12 is placed on the inspection stage 30 such that the longitudinal direction thereof is the left-right direction.
Can be received. Display panel 12 for inspection stage 30
Is carried out by the operator in the loader section 22.
【0018】以下、説明を簡略にし、かつ、容易に理解
し得るようにするために、検査ステージ30に受けられ
た表示用パネル12と平行の面内における左右方向及び
斜め上下の方向(斜め前後方向)をそれぞれX方向及び
Y方向といい、その表示用パネル12に垂直の方向をZ
方向という。また、X方向、Y方向及びZ方向へ伸びる
軸線を、それぞれ、X軸線、Y軸線及びZ軸線という。
In the following, in order to simplify the description and facilitate understanding, the horizontal direction and the oblique vertical direction (oblique front and rear) in a plane parallel to the display panel 12 received by the inspection stage 30 will be described. Directions) are called an X direction and a Y direction, respectively, and the direction perpendicular to the display panel 12 is Z direction.
It is called direction. The axes extending in the X, Y, and Z directions are referred to as an X axis, a Y axis, and a Z axis, respectively.
【0019】検査ステージ30は、表示用パネル12を
受けるチャックトップ34と、チャックトップ34が組
み付けられたバックライトユニット36と、チャックト
ップ34及びバックライトユニット36を表示用パネル
12と平行の面内で二次元的に移動させると共にZ軸線
の周りに角度的に回転させるアライメントステージ38
とを備える。検査ステージ30及び搬送ステージ32に
ついては、後に詳細に説明する。
The inspection stage 30 includes a chuck top 34 for receiving the display panel 12, a backlight unit 36 to which the chuck top 34 is attached, and a chuck top 34 and the backlight unit 36 which are arranged in a plane parallel to the display panel 12. Alignment stage 38 that moves two-dimensionally and rotates angularly around the Z axis
And The inspection stage 30 and the transport stage 32 will be described later in detail.
【0020】図1から図4に示すように、検査部20に
は、複数の検査(測定)用プローブユニット40と、各
プローブユニット40に個々に対応されて対応するプロ
ーブユニット40をZ方向に移動させるZ移動装置42
とが傾斜面部16の開口24に配置されている。プロー
ブユニット40は、表示用パネル12の辺のうち、電極
が設けられた辺に対応する箇所のそれぞれに配置されて
いる。
As shown in FIGS. 1 to 4, the inspection unit 20 includes a plurality of inspection (measurement) probe units 40 and a corresponding probe unit 40 corresponding to each probe unit 40 in the Z direction. Z moving device 42 for moving
Are arranged in the opening 24 of the inclined surface portion 16. The probe unit 40 is disposed at each of the sides of the display panel 12 corresponding to the side where the electrodes are provided.
【0021】図示の例では、プローブユニット40及び
Z移動装置42は、長方形の対向する2つの長辺(X
辺)及び1つの短辺(Y辺)に配置されている。また、
他の短辺(Y辺)にもZ移動装置42が配置されてい
る。しかし、プローブユニット40及びZ移動装置42
は、検査すべき表示用パネル12の電極の配置位置及び
検査の種類に応じて、1つの辺、隣り合う2つの辺又は
3つの辺に配置される。
In the example shown in the figure, the probe unit 40 and the Z moving device 42 have two long sides (X
Side) and one short side (Y side). Also,
The Z moving device 42 is arranged on the other short side (Y side). However, the probe unit 40 and the Z moving device 42
Are arranged on one side, two adjacent sides or three sides depending on the arrangement position of the electrodes of the display panel 12 to be inspected and the type of inspection.
【0022】各プローブユニット40は、複数のプロー
ブブロック44を矩形の板状プローブベース46に取り
付け、プローブベース46を移動装置42に備えられた
板状の可動テーブル(ベースプレート)48の上に配置
している。可動テーブル48については、移動装置42
と共に、後に詳細に説明する。
In each probe unit 40, a plurality of probe blocks 44 are mounted on a rectangular plate-like probe base 46, and the probe base 46 is arranged on a plate-like movable table (base plate) 48 provided in the moving device 42. ing. For the movable table 48, the moving device 42
This will be described later in detail.
【0023】各プローブブロック44は、その下側に並
列的に組み付けられた複数のプローブを有する。各プロ
ーブは、先端を接触子とするポゴピンタイプのプロー
ブ、針先を接触子とするニードルタイプ又はブレードタ
イプのプローブ(プローブ針)、若しくは、電気絶縁性
のフィルムの一方の面に形成された複数の配線の先端部
又はこの先端部に形成された突起電極を接触子とするフ
ィルム状プローブ(プローブ要素)である。そのような
各プローブブロックの1つとして、特開平10−132
853号公報に記載されている公知のものを用いること
ができる。
Each probe block 44 has a plurality of probes assembled in parallel below it. Each probe may be a pogo pin type probe having a contact at the tip, a needle type or blade type probe (probe needle) having a needle tip as a contact, or a plurality of probes formed on one surface of an electrically insulating film. A film-shaped probe (probe element) using the tip of the wiring or the protruding electrode formed at the tip as a contact. One of such probe blocks is disclosed in JP-A-10-132.
Known ones described in No. 853 can be used.
【0024】X辺に配置されたプローブユニット40の
各プローブベース46は、少なくともプローブブロック
44が可動テーブル48から本体14内に突出するよう
に、X方向へ伸びるリニアガイド50によりX方向へ移
動可能に可動テーブル48に組み付けられていると共
に、X駆動機構52によりX方向における位置を調整さ
れる。
Each probe base 46 of the probe unit 40 arranged on the X side can be moved in the X direction by a linear guide 50 extending in the X direction so that at least the probe block 44 projects from the movable table 48 into the main body 14. The X drive mechanism 52 adjusts the position in the X direction.
【0025】各リニアガイド50は、X方向へ伸びるガ
イドレールと、該ガイドレールにこれの長手方向へ移動
可能に嵌合されたスライドガイドとを備える市販されて
いる一般的なリニアガイドである。図示の例では、ガイ
ドレールは可動テーブル48に組み付けられており、ス
ライドガイドはプローブベース46に組み付けられてい
る。しかし、ガイドレールをプローブベース46に組み
付け、スライドガイドを可動テーブル48に組み付けて
もよい。
Each linear guide 50 is a commercially available general linear guide having a guide rail extending in the X direction and a slide guide fitted to the guide rail so as to be movable in the longitudinal direction. In the illustrated example, the guide rail is mounted on the movable table 48, and the slide guide is mounted on the probe base 46. However, the guide rail may be assembled to the probe base 46 and the slide guide may be assembled to the movable table 48.
【0026】Y辺に配置された各プローブユニット40
は、少なくともプローブブロック44が可動テーブル4
8から本体14内に突出するように、プローブベース4
6においてスペーサ46aにより可動テーブル48に組
み付けられている。
Each probe unit 40 arranged on the Y side
Is that at least the probe block 44 is
Probe base 4 so as to project from
At 6, it is assembled to the movable table 48 by the spacer 46 a.
【0027】各X駆動機構52は、X軸モータ54を可
動テーブル48に組み付け、X方向へ伸びるリードスク
リュー56をX軸モータ54に結合させ、リードナット
58をプローブベース46に組み付けると共に、リード
スクリュー56に螺合させている。
Each X drive mechanism 52 includes an X-axis motor 54 mounted on the movable table 48, a lead screw 56 extending in the X direction connected to the X-axis motor 54, a lead nut 58 mounted on the probe base 46, and a lead screw 56.
【0028】各X駆動機構52は、リードスクリュー5
6をX軸モータ54により回転させて、リードスナット
58をX方向へ移動させることにより、プローブベース
46を可動テーブル48に対してX方向へ変位させる。
これにより、長方形の短辺に配置されたプローブユニッ
ト40の接触子に対する長辺に配置されたプローブユニ
ット40の接触子の位置を調整することができる。
Each X drive mechanism 52 includes a lead screw 5
The probe base 46 is displaced in the X direction with respect to the movable table 48 by rotating the lead nut 6 in the X direction by rotating the 6 by the X-axis motor 54.
Thereby, the position of the contact of the probe unit 40 arranged on the long side with respect to the contact of the probe unit 40 arranged on the short side of the rectangle can be adjusted.
【0029】Y辺に配置されたプローブユニット40
は、その長手方向の各端部にテレビカメラ60を有して
おり、またX辺に配置された各プローブユニット40
は、Y辺に配置されたプローブユニット40の側と反対
の側の端部にテレビカメラ60を有している。
Probe unit 40 arranged on Y side
Has a television camera 60 at each end in the longitudinal direction, and each probe unit 40 arranged on the X side.
Has a television camera 60 at an end opposite to the side of the probe unit 40 arranged on the Y side.
【0030】各テレビカメラ60は、表示用パネル12
に形成されているアライメントマークを撮影するよう
に、プローブベース46に配置されている。テレビカメ
ラ60の出力信号は、表示用パネル12とプローブユニ
ット40との相対的な位置決め(アライメント)に用い
られる。位置決めは、表示用パネル12のアライメント
マークがテレビカメラ60の視野内の所定の座標位置に
なるように、表示用パネル12を検査ステージ30のア
ライメントステージ38により移動させることにより行
われる。
Each television camera 60 is connected to the display panel 12.
Is arranged on the probe base 46 so as to photograph the alignment mark formed on the probe base 46. The output signal of the television camera 60 is used for relative positioning (alignment) between the display panel 12 and the probe unit 40. The positioning is performed by moving the display panel 12 by the alignment stage 38 of the inspection stage 30 so that the alignment mark of the display panel 12 is located at a predetermined coordinate position within the field of view of the television camera 60.
【0031】各Z移動装置42は、前記した可動テーブ
ル48のほかに、さらに、可動テーブル48を本体14
に装着している一対のリニアガイド62と、可動テーブ
ル48を第1の方向へ移動させるZ移動機構64とを備
える。
Each of the Z moving devices 42 includes a movable table 48 in addition to the movable table 48 described above.
And a Z-movement mechanism 64 for moving the movable table 48 in the first direction.
【0032】各可動テーブル48は、長方形の対応する
辺の方向に伸びる板状部材から形成されており、またリ
ニアガイド62及びZ移動機構64により本体14の傾
斜面部16と平行に支持されている。
Each movable table 48 is formed of a plate-like member extending in the direction of the corresponding side of the rectangle, and is supported by the linear guide 62 and the Z moving mechanism 64 in parallel with the inclined surface 16 of the main body 14. .
【0033】各リニアガイド62は、Z方向へ伸びるガ
イドレール66と、ガイドレール66にZ方向へ移動可
能に嵌合されたスライドガイド68とを含む一般的なリ
ニアガイドである。ガイドレール66は開口24を形成
する面に組み付けられており、スライドガイド68は可
動テーブル48に組み付けられている。
Each linear guide 62 is a general linear guide including a guide rail 66 extending in the Z direction and a slide guide 68 fitted to the guide rail 66 so as to be movable in the Z direction. The guide rail 66 is mounted on the surface forming the opening 24, and the slide guide 68 is mounted on the movable table 48.
【0034】各Z移動機構64は、開口24を形成する
面に配置された中空モータ70と、中空モータ70の中
空部に螺合されたリードスクリュー72とにより形成す
ることができる。中空モータ70はその回転軸線がZ方
向へ伸びるように傾斜面部16に組み付けられており、
リードスクリュー72はZ方向へ伸びるように可動テー
ブル48に回転可能に組み付けられている。
Each Z moving mechanism 64 can be formed by a hollow motor 70 disposed on the surface forming the opening 24 and a lead screw 72 screwed into the hollow portion of the hollow motor 70. The hollow motor 70 is mounted on the inclined surface 16 so that the rotation axis extends in the Z direction.
The lead screw 72 is rotatably mounted on the movable table 48 so as to extend in the Z direction.
【0035】待機時、検査ステージ30の移動時及び検
査ステージ30への表示用パネル12の受け渡し時、Z
移動機構64は、各プローブユニット40を検査ステー
ジ30及びそれに受けられた表示用パネル12から離し
ている。
During standby, when moving the inspection stage 30 and when transferring the display panel 12 to the inspection stage 30, Z
The moving mechanism 64 separates each probe unit 40 from the inspection stage 30 and the display panel 12 received thereon.
【0036】しかし、検査ステージ30が表示用パネル
12を受けた状態で、検査部20に移動され、その状態
で表示用パネル12とプローブユニット40との位置決
めをするとき、Z移動機構64はプローブユニット40
を1回以上検査ステージ30に接近させる。
However, when the inspection stage 30 is moved to the inspection unit 20 with the display panel 12 received and the positioning of the display panel 12 and the probe unit 40 is performed in this state, the Z movement mechanism 64 uses the probe. Unit 40
Is brought closer to the inspection stage 30 at least once.
【0037】また、上記位置決めが終了すると、Z移動
機構64は、プローブユニット40を検査ステージ30
に向けて移動させて、プローブの接触子を表示用パネル
12の電極に押圧する。この状態で通電試験が行われ
る。
When the positioning is completed, the Z moving mechanism 64 moves the probe unit 40 to the inspection stage 30.
To press the contact of the probe against the electrode of the display panel 12. An energization test is performed in this state.
【0038】通電試験が終了すると、Z移動機構64
は、プローブユニット40を検査ステージ30に対して
Z方向へ移動させて、待機位置に待避させる。
When the energization test is completed, the Z moving mechanism 64
Moves the probe unit 40 in the Z direction with respect to the inspection stage 30 and retracts the probe unit 40 to the standby position.
【0039】図1に示すように、操作盤74が本体14
の近傍に配置されており、また目視検査の補助装置とし
て用いる光学顕微鏡76と、自動点灯検査装置の場合に
テレビカメラのような撮像装置により撮影した表示用パ
ネル12の画像を映し出すために用いられるテレビジョ
ン受像機(モニタ)78とが配置されている。
As shown in FIG. 1, the operation panel 74 is
And an optical microscope 76 used as an auxiliary device for visual inspection, and in the case of an automatic lighting inspection device, used for displaying an image of the display panel 12 taken by an imaging device such as a television camera. A television receiver (monitor) 78 is provided.
【0040】操作盤74は、作業者が、プローブのオー
バードライブ量、電極と接触子との接触圧等の検査条件
の設定、検査ステージ及びプローブユニットの作動開始
指令、表示用パネルの電極とプローブの接触子との相対
的な位置決め指令等の制御指令の入力をし、それにより
検査装置10を作動させるためのものである。
The operation panel 74 allows the operator to set the inspection conditions such as the overdrive amount of the probe, the contact pressure between the electrode and the contact, the operation start command of the inspection stage and the probe unit, the electrode of the display panel and the probe This is for inputting a control command such as a relative positioning command with respect to the contactor, and thereby operating the inspection apparatus 10.
【0041】図1及び図11に示すように、検査部20
には、また、少なくとも電極と接触子とを再度接触させ
て再度検査をする再接触指令を発生する複数の再接触指
令スイッチ80,82,84,86が開口24の近傍に
設けられている。
As shown in FIG. 1 and FIG.
In addition, a plurality of re-contact command switches 80, 82, 84, 86 for generating a re-contact command for causing at least the electrode and the contact to come into contact again and to perform the inspection again are provided near the opening 24.
【0042】再接触指令スイッチ80は、電極と接触子
との相対的な位置決めを再度行わせた後に、再度接触指
令を発生する。スイッチ80が操作されると、検査装置
10は、電極と接触子を再度接触させて、再度通電試験
を行う。したがって、その表示用パネルが良品と判定さ
れる可能性が高くなり、良品を不良品と判定される可能
性が低くなる。
The re-contact command switch 80 generates a contact command again after the relative positioning between the electrode and the contact is performed again. When the switch 80 is operated, the inspection device 10 makes the electrode and the contactor come into contact again, and performs the energization test again. Therefore, the possibility that the display panel is determined as a non-defective product is increased, and the possibility that the non-defective product is determined as a defective product is reduced.
【0043】再接触指令スイッチ82は、電極と接触子
との相対的な位置決めを再度行わせかつ電極と接触子と
の相対的な接触圧を増加した後に、電極と再度接触指令
を発生する。スイッチ82が操作されると、検査装置1
0は、電極と接触子との相対的な位置決めを再度行った
後に、電極と接触子を再度接触させて、再度通電試験を
行う。したがって、その表示用パネルが良品と判定され
る可能性がより高くなり、良品を不良品と判定される可
能性がより低くなる。
The re-contact command switch 82 generates a contact command again with the electrode after causing the relative positioning of the electrode and the contact to be performed again and increasing the relative contact pressure between the electrode and the contact. When the switch 82 is operated, the inspection device 1
In the case of 0, after the relative positioning between the electrode and the contact is performed again, the electrode and the contact are brought into contact again, and the energization test is performed again. Therefore, the possibility that the display panel is determined as a non-defective product is higher, and the possibility that the non-defective product is determined as a defective product is lower.
【0044】再接触指令スイッチ84は、第2のスイッ
チと、電極と接触子との相対的な位置決めを再度行わせ
かつ表示用パネル12をプローブユニット40に対しX
方向に変位させた後に、再度接触指令を発生する。スイ
ッチ84が操作されると、検査装置10は、電極と接触
子との相対的な位置決めを再度行い、表示用パネル12
をプローブユニット40に対しX方向に所定量変位させ
た後に、電極と接触子を再度接触させて、再度通電試験
を行う。したがって、その表示用パネルが良品と判定さ
れる可能性がより高くなり、良品を不良品と判定される
可能性がより低くなる。
The re-contact command switch 84 causes the second switch and the relative positioning of the electrode and the contact to be performed again, and moves the display panel 12 to the probe unit 40 in the X direction.
After the displacement in the direction, the contact command is generated again. When the switch 84 is operated, the inspection apparatus 10 performs the relative positioning between the electrode and the contact again, and the display panel 12
Is displaced by a predetermined amount with respect to the probe unit 40 in the X direction, the electrodes are brought into contact with the contacts again, and the current test is performed again. Therefore, the possibility that the display panel is determined as a non-defective product is higher, and the possibility that the non-defective product is determined as a defective product is lower.
【0045】再接触指令スイッチ86は、電極と接触子
との相対的な位置決めを再度行わせかつ表示用パネルを
プローブユニットに対しY方向に変位させた後に、再度
接触指令を発生する。スイッチ86が操作されると、検
査装置10は、電極と接触子との相対的な位置決めを再
度行い、表示用パネル12をプローブユニット40に対
しY方向に所定量変位させた後に、電極と接触子を再度
接触させて、再度通電試験を行う。したがって、その表
示用パネルが良品と判定される可能性がより高くなり、
良品を不良品と判定される可能性がより低くなる。
The re-contact command switch 86 generates a contact command again after the relative positioning between the electrode and the contact is performed again and the display panel is displaced in the Y direction with respect to the probe unit. When the switch 86 is operated, the inspection apparatus 10 performs relative positioning of the electrode and the contact again, displaces the display panel 12 by a predetermined amount with respect to the probe unit 40 in the Y direction, and then makes contact with the electrode. The contact is made again, and the energization test is performed again. Therefore, the possibility that the display panel is determined to be good is higher,
There is a lower possibility that a non-defective product is determined as a defective product.
【0046】スイッチ80,82,84,86の操作
は、これらのスイッチが本体の検査部近傍に設けられて
いるから、制御盤74を操作して上記のような指令を発
生する場合に比べ、極めて容易である。したがって、再
接触指令を容易に入力可能とすることができる。
The operation of the switches 80, 82, 84, and 86 is different from the case where the control panel 74 is operated and the above-mentioned command is generated, since these switches are provided near the inspection section of the main body. Extremely easy. Therefore, it is possible to easily input a re-contact command.
【0047】再接触指令スイッチによる上記動作を実行
するために、検査装置10は、例えば、プローブユニッ
ト40がZ移動装置42により検査ステージ30から離
された後に、スイッチ80,82,84,86のいずれ
が圧下されたを確認し、圧下されたスイッチに応じて上
記動作を実行する。
In order to execute the above-mentioned operation by the re-contact command switch, the inspection apparatus 10, for example, switches the switches 80, 82, 84, 86 after the probe unit 40 is separated from the inspection stage 30 by the Z moving device 42. After confirming which one has been lowered, the above operation is executed according to the switch that has been lowered.
【0048】図3から図9に示すように、チャックトッ
プ34は、表示用パネル12を解除可能に真空吸着する
ワークテーブル(すなわち、真空チャック)である。チ
ャックトップ34は、バックライトユニット36からの
光が表示用パネル12に達することを許す矩形の開口9
0を有すると共に、表示用パネル12を真空的に吸着す
る複数の吸着溝92を開口90の周りに有する。
As shown in FIGS. 3 to 9, the chuck top 34 is a work table (that is, a vacuum chuck) for removably holding the display panel 12 by vacuum. The chuck top 34 has a rectangular opening 9 that allows light from the backlight unit 36 to reach the display panel 12.
0, and a plurality of suction grooves 92 around the opening 90 for sucking the display panel 12 in a vacuum.
【0049】開口90の上端は、ガラス板のような透明
板94により閉塞されている(図9参照)。透明板94
は、チャックトップ34自体の上端面と共に、表示パネ
ル12を受けるパネル受け面96とされている。各吸着
溝92は、パネル受け面96に開放されている。図示の
例では、チャックトップ34は、仮想的な矩形の隣り合
う2つの辺に個々に対応されて対応する辺に沿って伸び
る2つの吸着溝92を有している。
The upper end of the opening 90 is closed by a transparent plate 94 such as a glass plate (see FIG. 9). Transparent plate 94
Is a panel receiving surface 96 for receiving the display panel 12 together with the upper end surface of the chuck top 34 itself. Each suction groove 92 is open to the panel receiving surface 96. In the illustrated example, the chuck top 34 has two suction grooves 92 respectively corresponding to two adjacent sides of a virtual rectangle and extending along the corresponding sides.
【0050】しかし、仮想的な矩形の、1つ、3つ又は
4つの辺に個々に対応されて対応する辺に沿って伸び
る、1つ、3つ又は4つの吸着溝92を有していてもよ
い。また、各辺の吸着溝は、その辺の方向に連続してい
てもよいし、複数に分割されていてもよい。さらに、複
数の吸着溝を各辺に複数列に設けていてもよい。
However, the virtual rectangle has one, three, or four suction grooves 92 individually corresponding to one, three, or four sides and extending along the corresponding side. Is also good. Further, the suction groove on each side may be continuous in the direction of the side, or may be divided into a plurality. Further, a plurality of suction grooves may be provided in a plurality of rows on each side.
【0051】バックライトユニット36は、チャックト
ップ34に受けられた表示用パネル12をその背後から
照明する機能を有しており、したがって箱状のケース内
に白色ランプのような1以上の光源を収容している。
The backlight unit 36 has a function of illuminating the display panel 12 received on the chuck top 34 from behind, so that one or more light sources such as white lamps are provided in a box-shaped case. Accommodating.
【0052】図6及び図7に示すように、チャックトッ
プ34とバックライトユニット36とは、複数の支柱9
8によりZ方向に隔てられて、両者の間に空間100を
形成している。遮光板28は、組み付け具102(図7
参照)により本体14の内側に片持ち梁状に組み付けら
れており、またZ方向における空間100の位置にあっ
て表示用パネル12と平行に維持されている。
As shown in FIGS. 6 and 7, the chuck top 34 and the backlight unit 36 are
8, a space 100 is formed therebetween in the Z direction. The light shielding plate 28 is attached to the mounting tool 102 (FIG. 7).
(See FIG. 2), and is mounted in a cantilever shape inside the main body 14, and is maintained parallel to the display panel 12 at the position of the space 100 in the Z direction.
【0053】遮光板28は、検査ステージ30がローダ
部22に移動されるときローダ部22近傍において空間
100に受け入れられ始め、検査ステージ30がローダ
部22に完全に位置されたとき図6から図8に示すよう
に空間100に完全に受け入れられる。
The light shielding plate 28 starts to be received in the space 100 near the loader section 22 when the inspection stage 30 is moved to the loader section 22, and when the inspection stage 30 is completely positioned on the loader section 22, the light shielding plate 28 is shown in FIG. As shown in FIG.
【0054】また、遮光板28は、検査ステージ30が
ローダ部22から離され始めるとき空間100から離さ
れ始め、検査ステージ30がローダ部22から完全に離
されることにより空間100から完全に離される。
The light-shielding plate 28 starts to be separated from the space 100 when the inspection stage 30 starts to be separated from the loader unit 22, and is completely separated from the space 100 by completely separating the inspection stage 30 from the loader unit 22. .
【0055】これにより、検査ステージ30がローダ部
22に移動されていると、バックライトユニット36か
らチャックトップ34に向かう光は遮光板28により遮
断される。これに対し、検査ステージ30がローダ部2
2から完全に離されると、バックライトユニット36か
らの光は遮光板28により遮断されることなく、チャッ
クトップ34に向かう。このため、チャックトップ34
に対する表示用パネル12の着脱時に、バックライトユ
ニット36を消灯させなくても、バックライトユニット
36からの光は本体14の外に指向されることを防止さ
れて、作業者はバックライトユニット36からの強い光
にさらされることを防止される。
Thus, when the inspection stage 30 is moved to the loader section 22, light from the backlight unit 36 toward the chuck top 34 is blocked by the light shielding plate 28. On the other hand, the inspection stage 30 is
2, the light from the backlight unit 36 goes to the chuck top 34 without being blocked by the light shielding plate 28. For this reason, the chuck top 34
When the display panel 12 is attached to or detached from the user, the light from the backlight unit 36 is prevented from being directed to the outside of the main body 14 even if the backlight unit 36 is not turned off. Exposure to strong light is prevented.
【0056】アライメントステージ38は、X,Y,Z
の3つの軸線のうち、2つの軸線(X,Y軸線)の方向
への平行移動と、残りの1つの軸線(Z軸線)の周りの
角度的回転を回転移動テーブルに与える2軸平行・1軸
旋回テーブル装置である。そのような装置は、例えば、
特開平11−245128号公報に記載されている。
The alignment stage 38 includes X, Y, Z
Of two axes (X, Y axes) and an angular rotation about the remaining one axis (Z axis) of the three axes of the above two axes parallel / one for giving to the rotary movement table. It is an axis turning table device. Such devices are, for example,
It is described in JP-A-11-245128.
【0057】2軸平行・1軸旋回テーブル装置をアライ
メントテーブル38として検査ステージ30に用いる
と、回転移動テーブルをZ軸線の周りに角度的に回転さ
せるθステージと、回転移動テーブルをY軸線の方向へ
移動させるYステージと、回転移動テーブルをX軸線の
方向へ移動させるXステージとをアライメントステージ
として用いた検査ステージに比べ、Z軸線方向における
検査ステージの高さ寸法が著しく小さくなる。
When a two-axis parallel / single-axis turning table device is used as the alignment table 38 for the inspection stage 30, a θ stage for rotating the rotary table angularly around the Z axis and a Y-axis direction for the rotary table. The height dimension of the inspection stage in the Z-axis direction is significantly smaller than that of an inspection stage that uses, as alignment stages, a Y-stage for moving the rotary stage and an X-stage for moving the rotary table in the X-axis direction.
【0058】搬送ステージ32は、本体14内に斜め上
向きに配置された支持板104に配置されており、また
アライメントステージ38を支持している。
The transfer stage 32 is disposed on a support plate 104 disposed obliquely upward in the main body 14 and supports the alignment stage 38.
【0059】図5,図8及び図9に示すように、検査ス
テージ30は、また、表示用パネル12をチャックトッ
プ34に対して位置決める2組のストッパ106と、表
示用パネル12をストッパ106に押圧する複数の第1
のプッシャー機構108と、表示用パネル12の縁部を
パネル受け面96に解除可能に押圧する複数の第2のプ
ッシャー機構110とを有する。ストッパ106並びに
第1及び第2のプッシャー機構108及び110は、い
ずれも、チャックトップ34に配置されている。
As shown in FIGS. 5, 8 and 9, the inspection stage 30 also includes two sets of stoppers 106 for positioning the display panel 12 with respect to the chuck top 34, and the display panel 12 Press multiple first
And a plurality of second pusher mechanisms 110 that releasably press the edge of the display panel 12 against the panel receiving surface 96. The stopper 106 and the first and second pusher mechanisms 108 and 110 are both arranged on the chuck top 34.
【0060】一方の組のストッパ106は、表示用パネ
ル12の下端面を受けるようにY方向に間隔をおいて、
パネル受け面96にねじ部材により取り付けられてい
る。このため、チャックトップ34に載置された表示用
パネル12は、パネル受け面96が傾斜していても、下
端面が一方のストッパ106に当接し、それによりチャ
ックトップ34から落下することを防止される。
One set of stoppers 106 is spaced apart in the Y direction so as to receive the lower end face of the display panel 12.
It is attached to the panel receiving surface 96 by a screw member. For this reason, even if the panel receiving surface 96 is inclined, the lower end surface of the display panel 12 placed on the chuck top 34 abuts against one of the stoppers 106, thereby preventing the display panel 12 from dropping from the chuck top 34. Is done.
【0061】これに対し、他方の組のストッパ106
は、表示用パネル12の左右方向における一方の端面を
受けるようにX方向に間隔をおいて、パネル受け面96
にねじ部材により取り付けられている。
On the other hand, the other set of stoppers 106
The panel receiving surface 96 is spaced apart in the X direction so as to receive one end surface of the display panel 12 in the left-right direction.
Are attached by screw members.
【0062】図示の例では、X辺及びY辺のそれぞれに
1つの第1のプッシャー機構108が設けられている。
X辺の第1のプッシャー機構108は、X方向におい
て、一方の組のストッパ106と反対側(上方側)に配
置されている。Y辺の第1のプッシャー機構108は、
X方向において、他方の組のストッパ106と反対側に
配置されている。
In the illustrated example, one first pusher mechanism 108 is provided on each of the X side and the Y side.
The first pusher mechanism 108 on the X side is arranged on the opposite side (upper side) of one set of the stoppers 106 in the X direction. The first pusher mechanism 108 on the Y side is
In the X direction, it is arranged on the side opposite to the other set of stoppers 106.
【0063】図5及び図10に示すように、各第1のプ
ッシャー機構108は、チャックトップ34に支持され
た逆転可能の回転機構112と、回転機構112により
表示用パネル12に垂直の方向(Z方向)へ伸びる軸線
の周りに角度的に回転されて表示用パネル12を押す揺
動体114とを備える。
As shown in FIGS. 5 and 10, each first pusher mechanism 108 includes a reversible rotating mechanism 112 supported by the chuck top 34 and a direction perpendicular to the display panel 12 by the rotating mechanism 112 ( And a rocking body 114 that is angularly rotated about an axis extending in the Z direction) and pushes the display panel 12.
【0064】各回転機構112は、その出力回転軸がZ
方向へ伸びるように、チャックトップ34に支持されて
いる。各回転機構112として、回転式のシリンダ機
構、回転式のソレノイド機構、電動機等を用いることが
できる。
Each rotation mechanism 112 has an output rotation axis Z
It is supported by the chuck top 34 so as to extend in the direction. As each rotation mechanism 112, a rotary cylinder mechanism, a rotary solenoid mechanism, an electric motor, or the like can be used.
【0065】各揺動体114は、一端部において回転機
構112の出力回転軸に取り付けられたアーム116
と、アーム116の他端部にチャックトップ34のパネ
ル受け面からZ方向へわずかに突出する状態に取り付け
られたピン118とで構成することができる。
Each oscillating body 114 has an arm 116 attached at one end to an output rotating shaft of a rotating mechanism 112.
And a pin 118 attached to the other end of the arm 116 so as to slightly project from the panel receiving surface of the chuck top 34 in the Z direction.
【0066】各第1のプッシャー機構108は、回転機
構112が一方向へ所定の角度回転することにより、揺
動体114が一方向に所定角度回転されて、表示用パネ
ル12を対応するストッパ106に押す。これにより、
表示用パネル12は、検査ステージ30に対して位置決
められて、その状態に維持される。
Each of the first pusher mechanisms 108 rotates the swinging body 114 by a predetermined angle in one direction when the rotation mechanism 112 rotates by a predetermined angle in one direction, and moves the display panel 12 to the corresponding stopper 106. Push. This allows
The display panel 12 is positioned with respect to the inspection stage 30, and is maintained in that state.
【0067】回転機構112が所定の角度逆転される
と、各第1のプッシャー機構108は、揺動体114が
所定角度逆回転されて、対応するストッパ106への表
示用パネル12の押圧を解除する。
When the rotation mechanism 112 is reversed by a predetermined angle, the first pusher mechanism 108 releases the pressing of the display panel 12 against the corresponding stopper 106 by rotating the swinging body 114 by the predetermined angle. .
【0068】図5及び図9に示すように、各第2のプッ
シャー機構110は、パネル受け面96と交差する方向
へ伸びる軸線(Z軸線)を有するシリンダ126及びこ
れに受け入れられたピストン128を有するシリンダ機
構120と、シリンダ機構120のピストン128に先
端部に組み付けられた板状アーム122と、板状アーム
122の先端部に配置されたゴム板124とを備える。
As shown in FIGS. 5 and 9, each second pusher mechanism 110 includes a cylinder 126 having an axis (Z axis) extending in a direction intersecting with the panel receiving surface 96 and a piston 128 received by the cylinder 126. A cylinder mechanism 120 includes a plate-shaped arm 122 attached to a tip of a piston 128 of the cylinder mechanism 120, and a rubber plate 124 disposed at a tip of the plate-shaped arm 122.
【0069】シリンダ機構120は、そのピストン12
8が流体によりシリンダ126に対し軸線の周りに角度
的に回転しつつその軸線の方向へ移動するスイングシリ
ンダ機構である。図示の例では、X方向における両端部
のそれぞれに2つのシリンダ機構120がY方向に間隔
をおいて配置されている。
The cylinder mechanism 120 has its piston 12
A swing cylinder mechanism 8 moves in the direction of the axis while rotating angularly around the axis with respect to the cylinder 126 by the fluid. In the illustrated example, two cylinder mechanisms 120 are arranged at both ends in the X direction at an interval in the Y direction.
【0070】板状アーム122は、弾性変形可能の板バ
ネから製作されており、また一端においてピストン12
8の上端部に装着されている。ゴム板124は、シリコ
ーンゴムのように弾性変形可能の材料から製作されてお
り、また表示パネル12の縁部に当接可能に板状アーム
122の他端部下面に装着されている。
The plate-like arm 122 is made of an elastically deformable leaf spring, and has a piston 12 at one end.
8 is attached to the upper end. The rubber plate 124 is made of an elastically deformable material such as silicone rubber, and is mounted on the lower surface of the other end of the plate arm 122 so as to be able to contact the edge of the display panel 12.
【0071】図9(A)に示すように、ピストン128
がシリンダ126から突出していると、板状アーム12
2が表示用パネル12からX方向及びZ方向に離されて
いる。
As shown in FIG. 9A, the piston 128
Is protruding from the cylinder 126, the plate-like arm 12
2 are separated from the display panel 12 in the X direction and the Z direction.
【0072】図9(A)に示す状態において、ピストン
128がシリンダ126内に後退されると、ピストン1
28が下降されつつその軸線の周りに角度的に回転され
るから、板状アーム122が図9(B)に示すように回
転されつつ下降されて、ゴム板124が表示用パネル1
2の縁部の上方に移動される。
When the piston 128 is retracted into the cylinder 126 in the state shown in FIG.
9B, the plate-shaped arm 122 is lowered while being rotated as shown in FIG. 9B, so that the rubber plate 124 is moved downward.
2 is moved above the edge.
【0073】ピストン128がシリンダ126内にさら
に後退されると、板状アーム122が図9(C)に示す
ようにさらに下降されて、ゴム板124が表示用パネル
12の縁部に当接する。
When the piston 128 is further retracted into the cylinder 126, the plate arm 122 is further lowered as shown in FIG. 9C, and the rubber plate 124 contacts the edge of the display panel 12.
【0074】ピストン128がシリンダ126内にさら
に後退されると、板状アーム122が図9(D)に示す
ようにさらに下降されるから、ゴム板124が表示用パ
ネル12の縁部をパネル受け面96に押圧する。この状
態において、板状アーム122は弾性変形によりわずか
に撓み、ゴム板124は弾性変形する。
When the piston 128 is further retracted into the cylinder 126, the plate arm 122 is further lowered as shown in FIG. 9 (D), so that the rubber plate 124 receives the edge of the display panel 12 from the panel. Press against surface 96. In this state, the plate arm 122 is slightly bent by the elastic deformation, and the rubber plate 124 is elastically deformed.
【0075】上記の結果、表示用パネル12の縁部がX
方向一端部に位置する吸着溝92の開放部に押圧されて
密着するから、その吸着溝92又は全ての吸着溝92が
吸引源に接続されることにより、表示用パネル12の縁
部はその吸着溝92又は全ての吸着溝92に吸着され、
その状態に安定に維持される。
As a result, the edge of the display panel 12 is X
When the suction groove 92 or all of the suction grooves 92 are connected to a suction source, the edge of the display panel 12 is pressed by the suction groove 92 or the opening of the suction groove 92 located at one end in the direction. Adsorbed in the groove 92 or all the suction grooves 92,
It is stably maintained in that state.
【0076】表示用パネル12の縁部の押圧を解除する
とき、各第2のプッシャー機構110は、ピストン12
8がシリンダ126から突出されることにより、上記と
逆に作動される。
When the pressing of the edge of the display panel 12 is released, each second pusher mechanism 110
8 is protruded from the cylinder 126 to operate in reverse.
【0077】吸着溝92は、検査ステージ30が表示用
パネルを受けたときから、検査が終了して、検査ステー
ジ30がローダ部22に達するまでの間は、吸引源に接
続される。しかし、検査ステージ30に対する表示用パ
ネルの着脱時には、吸着溝92は、吸引源から切り離さ
れる。
The suction groove 92 is connected to a suction source from when the inspection stage 30 receives the display panel to when the inspection is completed and the inspection stage 30 reaches the loader section 22. However, when the display panel is attached to or detached from the inspection stage 30, the suction groove 92 is separated from the suction source.
【0078】第1のプッシャー機構108は、表示用パ
ネル12と検査ステージの相対的な位置決めを行うとき
だけ、表示用パネル12をストッパ106に押する。ま
た、第2のプッシャー機構110は、表示用パネル12
を吸着溝92に吸着させるときだけ、表示用パネル12
の縁部をパネル受け面96に押圧する。しかし、第1及
び第2のプッシャー機構108及び110のいずれも、
それ以外のときにも表示用パネルを押圧するようにして
もよい。
The first pusher mechanism 108 pushes the display panel 12 against the stopper 106 only when positioning the display panel 12 relative to the inspection stage. The second pusher mechanism 110 is connected to the display panel 12.
Only when the display panel 12 is sucked into the suction groove 92.
Is pressed against the panel receiving surface 96. However, both the first and second pusher mechanisms 108 and 110
At other times, the display panel may be pressed.
【0079】しかし、検査ステージ30に対する表示用
パネルの着脱時には、全ての吸着溝92は吸引源から切
り離され、全ての第1のプッシャー機構108はストッ
パ106への表示用パネル12の押圧を解除し、全ての
各第2のプッシャー機構110はパネル受け面96への
表示用パネル12の押圧を解除する。
However, when the display panel is attached to or detached from the inspection stage 30, all the suction grooves 92 are separated from the suction source, and all the first pusher mechanisms 108 release the pressing of the display panel 12 against the stopper 106. All the second pusher mechanisms 110 release the pressing of the display panel 12 against the panel receiving surface 96.
【0080】検査装置10において、検査ステージ30
がローダ部22に位置するとき、検査済みの表示用パネ
ル12が検査ステージ30から除去され、未検査の表示
用パネル12が検査ステージ30に配置される。この受
け渡し作業は、人手により行われる。
In the inspection apparatus 10, the inspection stage 30
Is located on the loader unit 22, the inspected display panel 12 is removed from the inspection stage 30, and the uninspected display panel 12 is placed on the inspection stage 30. This delivery work is performed manually.
【0081】表示用パネル12の受け渡し作業が終了す
ると、検査装置10は、本体12の検査部20に備えら
れた開始スイッチ(図示せず)が操作されることによ
り、以下の動作を開始する。
When the delivery of the display panel 12 is completed, the inspection device 10 starts the following operation by operating a start switch (not shown) provided in the inspection unit 20 of the main body 12.
【0082】先ず、表示用パネル12が第1のプッシャ
ー機構108によりストッパ96に押圧されて、検査ス
テージ30に対する表示用パネルの位置決めが行われ
る。
First, the display panel 12 is pressed by the stopper 96 by the first pusher mechanism 108, and the display panel is positioned with respect to the inspection stage 30.
【0083】次いで、表示用パネル12の縁部が第2の
プッシャー機構110によりパネル受け面96に押圧さ
れると共に、全ての吸着溝92が吸引源に接続される。
これにより、表示用パネル12は検査ステージ30に保
持される。
Next, the edge of the display panel 12 is pressed against the panel receiving surface 96 by the second pusher mechanism 110, and all the suction grooves 92 are connected to the suction source.
Thus, the display panel 12 is held on the inspection stage 30.
【0084】次いで、検査ステージ30が検査部20に
移動され、検査部20においてプローブユニット40に
対して位置決められる。このアライメントのとき、表示
用パネル12は、チャックトップ34及びバックライト
ユニット36がアライメントステージ38により移動さ
れることにより、プローブユニット40に対して移動さ
れる。また、各プローブユニット40がZ移動装置42
により検査ステージ30に対し1回以上移動される。
Next, the inspection stage 30 is moved to the inspection section 20 and positioned in the inspection section 20 with respect to the probe unit 40. During this alignment, the display panel 12 is moved relative to the probe unit 40 by the chuck stage 34 and the backlight unit 36 being moved by the alignment stage 38. Further, each probe unit 40 is a Z moving device 42.
Is moved once or more with respect to the inspection stage 30.
【0085】次いで、各プローブユニット40がZ移動
装置42により検査ステージ30に向けて移動されて、
プローブの接触子が表示用パネル12の電極に押圧され
る。この状態で、表示用パネルに通電されて、作業者に
よる目視点灯検査が行われる。
Next, each probe unit 40 is moved toward the inspection stage 30 by the Z moving device 42,
The contact of the probe is pressed against the electrode of the display panel 12. In this state, electricity is supplied to the display panel, and a visual lighting test is performed by the operator.
【0086】検査の結果、不良であると、いずれかの再
接触指令スイッチが圧下されることにより、少なくとも
アライメントが再度行われた後、接触子と電極とが再接
触されて再検査が行われる。
As a result of the inspection, if any defect is found, any one of the re-contact command switches is pressed down, so that at least the alignment is performed again, and then the contact and the electrode are re-contacted to perform the re-inspection. .
【0087】検査が終了すると、各プローブユニット4
0がZ移動装置42により検査ステージ30から離され
た後、検査ステージ30がローダ部22に向けて移動さ
れる。
When the inspection is completed, each probe unit 4
After 0 is separated from the inspection stage 30 by the Z moving device 42, the inspection stage 30 is moved toward the loader unit 22.
【0088】上記工程は、表示用パネル12毎に繰り返
される。
The above steps are repeated for each display panel 12.
【0089】検査装置10は、プローブユニット40を
表示用パネル12に対しZ方向に個々に移動させるか
ら、表示用パネル12とプローブユニット40とをZ方
向へ相対的に移動させる移動機構を検査ステージ30に
設ける必要がなく、したがってZ方向における検査ステ
ージ30の高さ寸法が小さくなり、プローブユニット3
0に対する表示用パネル12の位置が安定する。
Since the inspection apparatus 10 moves the probe unit 40 individually in the Z direction with respect to the display panel 12, a moving mechanism for relatively moving the display panel 12 and the probe unit 40 in the Z direction is provided by an inspection stage. The inspection unit 30 does not need to be provided on the probe unit 30, so that the height of the inspection stage 30 in the Z direction is reduced.
The position of the display panel 12 with respect to 0 is stabilized.
【0090】また、各プローブユニット40が対応する
移動装置42により表示用パネル12に対しZ方向に移
動されるから、移動装置42によるZ方向へのプローブ
ユニット40の移動量をプローブユニット40毎に設定
することができ、したがって、全てのプローブを共通の
プローブベース46に配置した場合に比べ、プローブ相
互間のオーバードライブ量及び針圧の差を小さくするこ
とができる。
Further, since each probe unit 40 is moved in the Z direction with respect to the display panel 12 by the corresponding moving device 42, the moving amount of the probe unit 40 in the Z direction by the moving device 42 is set for each probe unit 40. Therefore, the difference between the overdrive amount and the stylus pressure between the probes can be reduced as compared with the case where all the probes are arranged on the common probe base 46.
【0091】さらに、各プローブユニット40が複数の
プローブブロック40をプローブベース46に配置し
て、オーバードライブ及び針圧をプローブプローブベー
ス46毎に設定すると、オーバードライブ及び針圧をプ
ローブブロック44毎に設定する場合に比べ、オーバー
ドライブ及び針圧の設定作業が容易になる。
Further, when each probe unit 40 arranges a plurality of probe blocks 40 on the probe base 46 and sets overdrive and stylus pressure for each probe probe base 46, overdrive and stylus pressure are set for each probe block 44. The setting work of overdrive and stylus pressure is easier than in the case of setting.
【0092】これに対し、表示用パネルの電極を検査ス
テージによりプローブの接触子に押圧する従来の検査装
置では、プローブの接触子の高さ位置が正確に一致して
いないと、オーバードライブが不足するプローブが存在
することになる。その結果、そのプローブの接触子と表
示用パネルの電極との接触圧(針圧)が不足し、正確な
試験結果を得ることができない。
On the other hand, in the conventional inspection device in which the electrodes of the display panel are pressed against the contacts of the probe by the inspection stage, the overdrive is insufficient if the height positions of the contacts of the probe do not exactly match. Probe to be present. As a result, the contact pressure (needle pressure) between the contact of the probe and the electrode of the display panel becomes insufficient, and an accurate test result cannot be obtained.
【0093】これを防止すべく全てのプローブが所定の
値以上のオーバードライブを受けるようにすると、大き
な押圧力が必要になるし、オーバードライブが過剰にな
るプローブが存在することになる。その結果、プローブ
が短命になるし、表示用パネルの電極を損傷するおそれ
がある。
If all the probes are subjected to an overdrive exceeding a predetermined value in order to prevent this, a large pressing force is required, and some probes have an excessive overdrive. As a result, the life of the probe is shortened, and the electrodes of the display panel may be damaged.
【0094】検査装置10によれば、Z移動装置42を
プローブユニット40側に配置しているのみならず、プ
ローブユニット40毎に配置しているから、従来の検査
装置による上記の問題が解決される。
According to the inspection device 10, since the Z moving device 42 is arranged not only on the probe unit 40 side but also for each probe unit 40, the above-mentioned problem of the conventional inspection device can be solved. You.
【0095】本発明は、表示用パネルの受け渡しを人手
により行う装置用のチャックトップのみならず、搬送ロ
ボットのような自動化装置を用いて行う装置用のチャッ
クトップにも適用することができる。また、本発明は、
目視検査を人の肉眼により行う目視点灯装置用のチャッ
クトップのみならず、撮像装置、画像処理装置等を用い
て自動的に行う自動点灯検査装置用のチャックトップに
も適用することができるし、自動検査及び目視検査の両
者を選択的に行うことができる装置用のチャックトップ
にも適用することができる。さらに、本発明は、表示用
パネルを斜めにした状態で検査する装置用のチャックト
ップのみならず、表示用パネルをほぼ水平にした状態で
検査する装置用のチャックトップのような他の形式の装
置にも適用することができる。
The present invention can be applied not only to a chuck top for an apparatus for manually transferring display panels, but also to a chuck top for an apparatus using an automated apparatus such as a transfer robot. Also, the present invention
It can be applied not only to a chuck top for a visual lighting device that performs a visual inspection with the naked eye of a person, but also to a chuck top for an automatic lighting inspection device that automatically performs using an imaging device, an image processing device, and the like. The present invention can also be applied to a chuck top for an apparatus capable of selectively performing both an automatic inspection and a visual inspection. Further, the present invention is not limited to a chuck top for an apparatus for inspecting a display panel in an oblique state, as well as other types of chuck tops for an apparatus for inspecting a display panel in an almost horizontal state. It can also be applied to devices.
【0096】本発明は、液晶を封入した液晶表示パネル
のみならず、薄膜トランジスタを形成したガラス基板、
プラスマ表示パネルのように、液晶表示パネル以外の表
示パネル等、他の表示用パネルの検査装置用のチャック
トップにも適用することができる。さらに、検査装置用
のチャックトップのみならず、表示用パネルを処理する
他の装置用のチャックトップにも適用することができ
る。
The present invention is applicable not only to a liquid crystal display panel in which liquid crystal is sealed, but also to a glass substrate on which a thin film transistor is formed.
Like the plasma display panel, the present invention can be applied to a chuck top for an inspection device of another display panel such as a display panel other than the liquid crystal display panel. Further, the present invention can be applied not only to a chuck top for an inspection apparatus but also to a chuck top for another apparatus for processing a display panel.
【0097】本発明は、上記実施例に限定されない。本
発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更すること
ができる。
The present invention is not limited to the above embodiment. The present invention can be variously modified without departing from the gist thereof.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図1】本発明に係るチャックトップの一実施例を利用
する検査装置の一例を示す正面図
FIG. 1 is a front view showing an example of an inspection apparatus using one embodiment of a chuck top according to the present invention.
【図2】図1に示す検査装置の検査部の詳細を示す図FIG. 2 is a diagram showing details of an inspection unit of the inspection apparatus shown in FIG.
【図3】図2における3−3線に沿って得た断面図FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line 3-3 in FIG. 2;
【図4】図2における4−4線に沿って得た断面図FIG. 4 is a sectional view taken along line 4-4 in FIG. 2;
【図5】図1に示す検査装置の検査ステージであってチ
ャックトップの一実施例を用いた検査ステージの詳細を
示す図
FIG. 5 is a view showing details of an inspection stage of the inspection apparatus shown in FIG. 1, which uses one embodiment of the chuck top.
【図6】検査ステージの配置状態を示す概略的な断面図FIG. 6 is a schematic sectional view showing an arrangement state of an inspection stage.
【図7】図6における7−7線に沿って得た断面図FIG. 7 is a sectional view taken along line 7-7 in FIG. 6;
【図8】図7に示す状態における検査ステージの図8 is a view of an inspection stage in the state shown in FIG. 7;
【図9】第2のプッシャー機構の動作を説明するための
FIG. 9 is a view for explaining the operation of the second pusher mechanism.
【図10】第1のプッシャー機構の一実施例を示す図FIG. 10 is a diagram showing one embodiment of a first pusher mechanism.
【図11】再接触指令スイッチを示す図FIG. 11 is a diagram showing a re-contact command switch;
【符号の説明】[Explanation of symbols]
10 検査装置 12 表示用パネル 14 本体 16 傾斜面部 20 検査部 22 ローダ部 24,26 本体の開口 30 検査ステージ 32 搬送ステージ 34 チャックトップ 36 バックライトユニット 38 アライメントステージ 40 プローブユニット 42 Z移動装置 44 プローブブロック 46 プローブベース 110 プッシャー機構 120 シリンダ機構(スイングシリンダ機構) 122 板状アーム 124 ゴム板 126 シリンダ 128 ピストン DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inspection apparatus 12 Display panel 14 Main body 16 Inclined surface part 20 Inspection part 22 Loader part 24, 26 Opening of main body 30 Inspection stage 32 Transport stage 34 Chuck top 36 Backlight unit 38 Alignment stage 40 Probe unit 42 Z movement device 44 Probe block 46 Probe base 110 Pusher mechanism 120 Cylinder mechanism (swing cylinder mechanism) 122 Plate arm 124 Rubber plate 126 Cylinder 128 Piston
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G09F 9/00 352 G01R 31/28 K 5G435 (72)発明者 安藤 由行 東京都武蔵野市吉祥寺本町2丁目6番8号 株式会社日本マイクロニクス内 (72)発明者 植木 勲 東京都武蔵野市吉祥寺本町2丁目6番8号 株式会社日本マイクロニクス内 Fターム(参考) 2G011 AA15 AB06 AB07 AB08 AC14 AE01 AF07 2G014 AA02 AB20 AC10 2G032 AA00 AB01 AE01 AE03 AE04 AF02 AF04 AL03 2H088 FA11 FA17 FA30 MA20 5F031 CA05 HA24 HA27 LA15 MA33 5G435 AA17 BB06 BB12 KK05 KK10Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat II (Reference) G09F 9/00 352 G01R 31/28 K 5G435 (72) Inventor Yoshiyuki Ando 2-6-8 Kichijoji Honmachi, Musashino City, Tokyo No. Within Japan Micronics Co., Ltd. (72) Inventor Isao Ueki 2-6-8 Kichijoji Honcho, Musashino-shi, Tokyo F-term within Japan Micronics Co., Ltd. (Reference) AA00 AB01 AE01 AE03 AE04 AF02 AF04 AL03 2H088 FA11 FA17 FA30 MA20 5F031 CA05 HA24 HA27 LA15 MA33 5G435 AA17 BB06 BB12 KK05 KK10

Claims (7)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】 表示用パネルを受けるパネル受け面を有
    するベース部材であって前記表示用パネルを解除可能に
    吸着すべく前記パネル受け面に開放する1以上の吸着溝
    を有するベース部材と、前記パネル受け面に受けられた
    表示用パネルの縁部を前記パネル受け面に解除可能に押
    圧する複数のプッシャー機構とを含む、チャックトッ
    プ。
    A base member having a panel receiving surface for receiving a display panel, the base member having one or more suction grooves opened to the panel receiving surface so as to releasably adsorb the display panel; A plurality of pusher mechanisms for releasably pressing an edge of the display panel received on the panel receiving surface against the panel receiving surface.
  2. 【請求項2】 各プッシャー機構は、前記パネル受け面
    と交差する方向へ伸びる軸線を有するシリンダ及びこれ
    に受け入れられたピストンを有するスイングシリンダ機
    構であって前記ピストンが流体により前記シリンダに対
    し前記軸線の周りに角度的に回転しつつ前記軸線の方向
    へ移動するスイングシリンダ機構と、前記ピストンの移
    動にともなって前記表示用パネルの縁部を前記パネル受
    け面に解除可能に押圧すべく前記シャフトの先端部に組
    み付けられた弾性変形可能の押えアームとを備える、請
    求項1に記載のチャックトップ。
    2. Each of the pusher mechanisms includes a cylinder having an axis extending in a direction intersecting with the panel receiving surface, and a swing cylinder mechanism having a piston received by the cylinder. A swing cylinder mechanism that rotates in the direction of the axis while rotating angularly around the shaft; and a shaft of the shaft to releasably press an edge of the display panel against the panel receiving surface with movement of the piston. The chuck top according to claim 1, further comprising an elastically deformable pressing arm assembled to the distal end.
  3. 【請求項3】 前記押えアームは、前記ピストンの変位
    と共に変位するように前記ピストンの先端部に組み付け
    られた、弾性変形可能の板状アームと、該板状アームの
    先端部に配置されて前記表示用パネルの縁部に押圧され
    る弾性ゴム板とを備える、請求項2に記載のチャックト
    ップ。
    3. An elastically deformable plate-shaped arm assembled to a tip of the piston so as to be displaced with the displacement of the piston, and the pressing arm is disposed at the tip of the plate-shaped arm. The chuck top according to claim 2, further comprising: an elastic rubber plate pressed against an edge of the display panel.
  4. 【請求項4】 前記ピストンは、前記表示用パネルの縁
    部を前記ゴム板により前記パネル受け面に押圧したと
    き、前記板状アームが撓む状態に前記シリンダに受け入
    れられる、請求項3に記載のチャックトップ。
    4. The piston according to claim 3, wherein when the edge of the display panel is pressed against the panel receiving surface by the rubber plate, the plate arm is bent and received by the cylinder. Chuck top.
  5. 【請求項5】 四角形の対向する一対の辺のそれぞれに
    1以上のプッシャー機構が備えられている、請求項1か
    ら4のいずれか1項に記載のチャックトップ。
    5. The chuck top according to claim 1, wherein one or more pusher mechanisms are provided on each of a pair of opposing sides of the quadrangle.
  6. 【請求項6】 前記四角形は長方形であり、前記一対の
    辺は長方形の短辺である、請求項5に記載のチャックト
    ップ。
    6. The chuck top according to claim 5, wherein the square is a rectangle, and the pair of sides is a short side of the rectangle.
  7. 【請求項7】 前記ベース部材は四角形の開口を有して
    おり、前記吸着溝は前記開口の周りに形成されている、
    請求項1から6のいずれか1項に記載のチャックトッ
    プ。
    7. The base member has a rectangular opening, and the suction groove is formed around the opening.
    The chuck top according to any one of claims 1 to 6.
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