KR100751848B1 - 전기 광학 장치 - Google Patents

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KR100751848B1
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다카아키 하야시
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세이코 엡슨 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 기판에 형성된 검사를 위한 검사 회로를 주위의 환경으로부터 보호할 수 있는 전기 광학 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
투명 기판(2)의 표시 영역(3)내에는 복수의 화소(4)가 형성되어 있다. 밀봉 기판(21)은 투명 기판(2)에 설치한 접착 영역(Z1)에 접합된다. 표시 영역(3)과 접착 영역(Z1) 사이의 투명 기판(2)에는 상측 및 하측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b), 좌측 및 우측 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)가 형성된다. 또한, 투명 기판(2)의 네 모서리(邊)에는 검사 회로부(8a, 8b,9a, 9b)에 전기적으로 접속되는 검사용의 각 외부 단자(10 내지 13 및 15 내지 20)가 형성되어 있다.
투명 기판, 데이터 선 제어용 검사 회로부, 외부 단자, 전기 광학 장치, 밀봉 기판, 접착 영역, 표시 영역

Description

전기 광학 장치{ELECTRO-OPTICAL DEVICE}
도 1은 본 발명의 유기 EL 디스플레이의 사시도.
도 2는 유기 EL 디스플레이의 요부 단면도.
도 3은 유기 EL 디스플레이의 전기적 구성을 설명하기 위한 전기 회로도.
도 4는 화소 회로를 설명하기 위한 전기 회로도.
도 5는 주사선 제어용 검사 회로부를 설명하기 위한 전기 회로도.
도 6은 데이터 선 제어용 검사 회로부의 다른 예를 설명하기 위한 전기 회로도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
1…전기 광학 장치로서의 유기 EL 디스플레이
2…기판으로서의 투명 기판
3…표시 영역
4…화소
4R…적색용 화소 회로
4G…녹색용 화소 회로
4B…청색용 화소 회로
5…데이터 선 외부 단자
6…주사선 외부 단자
7…전기 광학 소자로서의 유기 일렉트로루미네선스 소자
8a…상측 데이터 선 제어용 검사 회로부
8b…하측 데이터 선 제어용 검사 회로부
9a…좌측 주사선 제어용 검사 회로부
9b…우측 주사선 제어용 검사 회로부
10…검사 모드 신호 외부 단자
11…적색용 검사 데이터 외부 단자
12…녹색용 검사 데이터 외부 단자
13…청색용 검사 데이터 외부 단자
15…선택 신호 외부 단자
16…클록 신호 외부 단자
17…적색용 검사 전원선 외부 단자
18…녹색용 검사 전원선 외부 단자
19…청색용 검사 전원선 외부 단자
20…접지용 외부 단자
21…밀봉 기판
33R, 33G, 33B…발광층
L0…검사 모드 신호 공급선
L1…적색용 검사 데이터 신호 공급선
L2…녹색용 검사 데이터 신호 공급선
L3…청색용 검사 데이터 신호 공급선
L4…검사 모드 신호 공급선
L5…선택 신호 공급선
L6…클록 신호 공급선
Lr, Lg, Lb…데이터 선
Ly…주사선
Sm, Sy…선택 신호
SR…시프트 레지스터
Z1…접착 영역
Dr, Dg, Db…데이터 신호
Dmr…적색용 검사 데이터 신호
Dmg…녹색용 검사 데이터 신호
Dmb…청색용 검사 데이터 신호
MD…검사 모드 신호
Q3, Q4…게이트 트랜지스터
본 발명은 전기 광학 장치에 관한 것이다.
최근, 전기 광학 장치, 예를 들면, 유기 일렉트로루미네선스 디스플레이는 표시 화상의 고정밀화, 화면의 대형화 등을 동반하여 화소 회로의 증대, 화소 회로를 구성하는 배선 패턴이나 전극 패턴의 미세화가 요구되고 있다. 그 때문에, 유기 일렉트로루미네선스 디스플레이(유기 EL 디스플레이)의 각 제조 공정에서, 복잡한 고도의 기술이 요구되고 있다. 이에 따라, 이 유기 EL 디스플레이의 성능·신뢰성을 보증하기 위해서, 출하 전의 각 제조 공정에서 각종(예를 들면, 전체 등(燈)검사 등)의 검사도 더 중요해지고 있다. 그리고, 이 각종 검사를 행하기 위한 검사 회로를 기판에 복수의 화소 회로와 함께 설치하고 있다(예를 들면, 특허문헌 1, 2).
특허문헌 1에서는 기판 위의 전기 광학 소자를 보호하기 위한 밀봉 부재를 밀봉 부재의 장치부가 기판 위에 형성된 검사 회로와 오버랩하듯이 장착하고, 장치의 소형을 도모하고 있다. 또한, 특허문헌 2에서는 검사 회로를 구성하는 트랜지스터 소자를 밀봉재에 의한 밀봉 영역(밀봉재가 기판에 접착하는 영역)에 배치하여, 밀봉 영역이라고 하는 뎃 스페이스(debt space)의 이용 효율을 도모하고 있다.
[특허문헌 1]일본국 공개특허 제2004-200034호 공보
[특허문헌 2]일본국 공개특허 평10-214065호 공보
그러나, 상기 양쪽 검사 회로 모두, 밀봉 부재와 서로 겹치는 부분에 형성했기 때문에, 밀봉 부재에 의한 보호를 충분히 받을 수 없었다. 또한, 양쪽 검사 회로 모두, 밀봉 부재의 접착면과 대치하기 때문에, 어느 정도의 힘이 밀봉 부재에 가해졌을 때, 상기 힘이 검사 회로에 직접 가해지기 때문에, 상기 검사 회로를 손상시킬 우려가 있었다.
본 발명은 상기 문제점을 해소하기 위해서 이루어진 것으로서, 그 목적은 기판에 형성된 검사를 위한 검사 회로를 주위의 환경으로부터 보호할 수 있는 전기 광학 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 전기 광학 장치는 기판의 표시 영역에, 복수의 주사선, 복수의 데이터 선, 이 주사선과 데이터 선의 교차부에 대응하여 설치된 전기 광학 소자를 포함하는 복수의 단위 회로를 형성하는 동시에, 상기 표시 영역에 형성한 복수의 화소 회로의 전기 광학 소자를 밀봉하는 밀봉 부재를 상기 기판에 접착한 전기 광학 장치에서, 상기 기판과 상기 밀봉 부재를 접착하는 접착 영역과 상기 표시 영역의 사이에 검사 회로를 형성했다.
본 발명의 전기 광학 장치에 의하면, 기판에 형성되는 검사 회로는 밀봉 부재에 완전히 내포되기 때문에, 외부의 습기, 산소 등으로부터 완전히 보호된다. 또한, 검사 회로는 직접 밀봉 부재의 접착면과 대치하지 않는 표시 영역과 접착 영역의 사이에 형성되어 있기 때문에, 밀봉 부재에 가해진 힘, 예를 들면, 기판에 밀봉 부재를 접착할 때 밀봉 부재를 기판에 맞닿는 힘이 접착면을 통하여 직접 가해지지 않는다. 따라서, 검사 회로는 어떤 원인으로 밀봉 부재에 가해진 힘에 의해 손상될 위험은 적다. 또한, 예를 들면, 밀봉 부재를 스테인리스 등의 금속성의 밀봉 부재로 하면, 외부의 전기적 노이즈가 밀봉 부재에서 완전히 차단되기 때문에, 검사 회로는 전기적 노이즈에 의해 오동작하지 않는다.
이 기재된 전기 광학 장치에서, 상기 검사 회로는 상기 복수의 데이터 선 각각에 검사 데이터 신호를 공급하는 데이터 선 제어용 검사 회로부 및 상기 복수의 주사선 각각에 검사용의 선택 신호를 선택적으로 공급하기 위한 주사선 제어용 검사 회로부의 적어도 어느 한쪽을 구비할 수도 있다.
이 전기 광학 장치에 의하면, 데이터 선 제어용 검사 회로부 및 주사선 제어용 검사 회로부의 적어도 어느 한쪽을 구비한 전기 광학 장치는 그 구비한 검사 회로부가 주위의 환경(습기, 산소, 외력)으로부터 보호된다.
이 전기 광학 장치에서, 상기 데이터 선 제어용 검사 회로부는 검사 모드 신호를 공급하는 검사 모드 신호 공급선과, 검사 데이터 신호를 공급하는 검사 데이터 신호 공급선과, 상기 검사 데이터 신호 공급선과 상기 복수의 데이터 선 각각의 사이에 설치되어, 상기 검사 모드 신호에 의거하여 상기 검사 데이터 신호를 각각 대응하는 상기 데이터 선에 공급하는 트랜지스터를 구비할 수도 있다.
이 전기 광학 장치에 의하면, 상기 데이터 선 제어용 검사 회로부를 검사 모드 신호 공급선, 검사 데이터 신호 공급선 및 트랜지스터와 같은 최소한의 회로 구성으로 형성했기 때문에, 표시 영역과 접착 영역의 사이에 상기 검사 회로부를 형성할 수 있다.
이 전기 광학 장치에서, 상기 검사 모드 신호 공급선 및 상기 검사 데이터 신호 공급선은 각각 상기 기판의 네 모서리(邊) 중 어느 것인가의 모서리부에 형성한 검사용 외부 단자와 전기적으로 접속할 수도 있다.
이 전기 광학 장치에 의하면, 검사용 외부 단자는 각 데이터 선의 연장선상의 기판 한 변에 형성된 데이터 선의 외부 단자로부터, 벗어난 상기 기판의 모서리부(邊部)에 형성된다. 그 때문에, 기판의 사이즈를 크게 하지 않고도, 상기 검사용 외부 단자 사이즈를 크게 할 수 있다.
이 전기 광학 장치에 의하면, 각 색의 전기 광학 소자에 대한 검사가 가능해진다.
이 전기 광학 장치에서, 상기 주사선 제어용 검사 회로부는 검사용의 선택 신호를 공급하는 선택 신호 공급선과, 검사용의 클록 신호를 공급하는 클록 신호 공급선과, 검사 모드 신호를 공급하는 검사 모드 신호 공급선과, 상기 복수의 데이터 선의 각각에 대응하여 설치되고, 상기 선택 신호를 상기 클록 신호에 응답하여 일방(一方)으로부터 타방(他方)으로 시프트하여 대응하는 주사선에 출력하는 시프트 레지스터를 구비하며, 상기 검사 모드 신호에 의거하여, 상기 선택 신호를 주사선으로 공급하는 트랜지스터를 구비할 수도 있다.
이 전기 광학 장치에 의하면, 주사선 제어용 검사 회로부를 선택 신호 공급선, 클록 신호 공급선, 검사 모드 신호 공급선, 시프트 레지스터 및 트랜지스터와 같은, 최소한의 회로 구성으로 형성했기 때문에, 표시 영역과 접착 영역의 사이에 상기 검사 회로부를 형성할 수 있다.
이 전기 광학 장치에서, 상기 선택 신호 공급선, 상기 클록 신호 공급선 및 상기 검사 모드 신호 공급선은 각각 상기 기판의 네 모서리 중 어느 것인가의 모서리부에 형성한 검사용 외부 단자와 전기적으로 접속할 수도 있다.
이 전기 광학 장치에 의하면, 선택 신호 공급선, 클록 신호 공급선 및 검사 모드 신호 공급선의 검사용 외부 단자는 각 주사선의 연장선상의 기판 한 변에 형성된 주사선의 외부 단자로부터, 벗어난 상기 기판의 모서리부에 형성된다. 그 때문에, 기판의 사이즈를 크게 하지 않고, 검사용 외부 단자의 사이즈를 크게 할 수 있다.
본 발명의 전기 광학 장치는 기판의 표시 영역에, 각각 선택 신호가 공급되는 복수의 주사선, 각각 데이터 신호가 공급되는 복수의 데이터 선, 이들 주사선과 데이터 선의 교차부에 대응하여 설치된 전기 광학 소자를 포함하는 복수의 단위 회로를 형성하고, 상기 표시 영역에 인접한 위치에 검사 회로를 형성하는 동시에, 상기 표시 영역에 형성한 복수의 단위 회로를 밀봉하는 밀봉 부재를 상기 기판에 접착한 전기 광학 장치에서, 상기 검사 회로를 위한 검사용 외부 단자를 상기 밀봉 부재와 상기 기판을 접착하는 접착 영역보다 외측에서 상기 기판의 코너부에 형성했다.
이 전기 광학 장치에 의하면, 검사용 외부 단자는 각 주사선 및 각 데이터 선의 연장선상의 기판 한 변에서 벗어난 상기 기판의 코너부에 형성된다. 그 때문에, 기판의 사이즈를 크게 하지 않고도 상기 검사용 외부 단자 사이즈를 크게 할 수 있다. 또한, 밀봉 영역보다 외측에 형성되어 있기 때문에, 밀봉 부재를 접착시킨 후에도 검사가 가능하다.
이 전기 광학 장치에서, 상기 복수의 주사선 각각에 전기적으로 접속되어, 상기 선택 신호가 공급시키는 복수의 선택 신호 입력 단자와, 상기 복수의 데이터 선 각각에 전기적으로 접속되어, 상기 데이터 신호가 공급되지만 공급시키는 복수의 데이터 신호 입력 단자를 가지고, 상기 복수의 선택 신호 입력 단자는 상기 기판의 제 1 변에 설치되고, 상기 복수의 데이터 신호 입력 단자는 상기 기판의 상기 제 1 변과는 다른 제 2 변에 설치되며, 상기 검사용 외부 단자는 상기 기판의 상기 제 1 변과 상기 제 2 변이 교차하는 코너부에 형성했다.
이 전기 광학 장치에 의하면, 제 1 변과 제 2 변이 교차하는 기판의 코너부는 제 1 변에 형성된 선택 신호 입력 단자 및 제 2 변에 형성된 데이터 신호 입력 단자가 형성되지 않는다. 따라서, 검사용 외부 단자는 기판의 사이즈를 크게 하지 않고도 상기 검사용 외부 단자 사이즈를 크게 할 수 있다.
본 발명의 전기 광학 장치는 기판의 표시 영역에, 각각 선택 신호가 공급되는 복수의 주사선, 각각 데이터 신호가 공급되는 복수의 데이터 선, 이들 주사선과 데이터 선의 교차부에 대응하여 설치된 전기 광학 소자를 포함하는 복수의 단위 회로를 형성하고, 상기 표시 영역에 인접한 위치에 검사 회로를 형성한 전기 광학 장치에서, 상기 표시 영역에 형성한 복수의 단위 회로를 밀봉하는 밀봉 부재와 상기 기판을 접착하는 접착 영역을 갖고 있고, 얼라인먼트 마크와 겸용하는 상기 검사 회로를 위한 복수의 검사용 외부 단자를 상기 접착 영역보다 외측에 형성했다.
본 발명의 전기 광학 장치에 의하면, 기판 위에 검사용 외부 단자를 형성한 시점에서, 상기 검사용 외부 단자를 얼라인먼트 마크로서 사용할 수 있기 때문에, 예를 들면, 복수의 전기 광학 소자를 제조하는 공정에서의 얼라인먼트 작업에 이용할 수 있다. 또한, 밀봉 부재에 의한 밀봉 영역보다 외측에 검사용 외부 단자를 형성했기 때문에, 밀봉 부재를 기판 위에 부착할 때의 얼라인먼트 작업에도 이용할 수 있다.
이 전기 광학 장치에서, 상기 복수의 검사용 외부 단자는 상기 기판의 코너부에 형성할 수도 있다.
이 전기 광학 장치에 의하면, 코너부에 형성했기 때문에, 외부 단자로서의 사이즈를 크게 할 수 있고, 프로브와의 접속이 용이해지는 동시에, 얼라인먼트 마크로서도 사이즈가 커지기 때문에, 밀봉 부재를 기판에 부착할 때, 정밀도가 높은 얼라인먼트 작업을 용이하게 행할 수 있다.
이 전기 광학 장치에서, 상기 복수의 검사용 외부 단자는 상기 기판의 각 코너부에 형성되어, 각 코너부의 모서리를 따라 배치 형성할 수도 있다.
이 전기 광학 장치에 의하면, 복수의 검사용 외부 단자는 코너부의 변을 따라 배치 형성했기 때문에, 복수의 서로 인접하는 검사용 외부 단자의 배치 관계에서, 보다 정밀도가 높은 얼라인먼트가 가능해진다.
이 전기 광학 장치에 의하면, 각 색의 전기 광학 소자에 대한 검사가 가능해지는 동시에, 전기 광학 소자를 제조하는 공정에서 검사용 외부 단자를 얼라인먼트 마크로서 이용할 수 있다.
이 전기 광학 장치에서, 상기 전기 광학 소자는 일렉트로루미네선스 소자일 수도 있다.
이 전기 광학 장치에 의하면, 일렉트로루미네선스 소자의 검사가 가능해지는 동시에, 일렉트로루미네선스 소자를 제조하는 공정에서 검사용 외부 단자를 얼라인 먼트 마크로서 이용할 수 있다.
이 전기 광학 장치에 의하면, 유기 일렉트로루미네선스 소자의 검사가 가능해지는 동시에, 유기 일렉트로루미네선스 소자를 제조하는 공정, 예를 들면, 액적토출 장치를 이용하여 제조하는 경우의 검사용 외부 단자를 얼라인먼트 마크로서 이용할 수 있다.
이 전기 광학 장치에서, 상기 표시 영역에는 적색의 광을 출사하는 복수의 전기 광학 소자, 녹색의 광을 출사하는 복수의 전기 광학 소자, 청색의 광을 출사하는 복수의 전기 광학 소자가 형성되어, 상기 검사 회로의 신호 공급선은 적색의 광을 출사하는 전기 광학 소자를 위한 검사 데이터 신호를 공급하는 적색용 검사 데이터 신호 공급선과, 녹색의 광을 출사하는 전기 광학 소자를 위한 검사 데이터 신호를 공급하는 녹색용 검사 데이터 신호 공급선과, 청색의 광을 출사하는 전기 광학 소자를 위한 검사 데이터 신호를 공급하는 청색용 검사 데이터 신호 공급선을 가질 수도 있다.
이 전기 광학 장치에서, 상기 전기 광학 소자는 일렉트로루미네선스 소자일 수도 있다.
이 전기 광학 장치에 의하면, 일렉트로루미네선스 소자의 검사를 행할 수 있다.
이 전기 광학 장치에서, 상기 일렉트로루미네선스 소자는 발광층이 유기 발광 재료로 구성되어 있을 수도 있다.
이 전기 광학 장치에 의하면, 유기 일렉트로루미네선스 소자의 검사를 행할 수 있다.
이하, 본 발명의 전기 광학 장치를 구체화한 일 실시예를 도면에 따라 설명한다. 도 1은 유기 EL 디스플레이의 사시도이고, 도 2는 그 유기 EL 디스플레이의 요부 단면도이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 전기 광학 장치로서의 유기 EL 디스플레이(1)는 사각 형상의 투명 기판(2)을 구비하고 있다. 투명 기판(2)은 본 실시예에서는 무 알칼리 글래스 기판으로 형성되어 있다.
투명 기판(2)의 표면(소자 형성면)(2a)에는 2점쇄선으로 둘러싸인 대략 사각 형상의 표시 영역(3)이 형성되어 있다. 표시 영역(3)에는 도 1에 나타낸 바와 같이, m×n개의 화소(4)가 매트릭스 형상으로 형성되어 있다. 상세하게 설명하면, 표시 영역(3)에는 1행당 m개의 화소(4)그룹이 n행, 또한, 1열당 n개의 화소(4)그룹이 m행 형성되어 있다.
각 화소(4)는 도 3에 나타낸 바와 같이, 적색의 광을 출사하는 적색용의 유기 EL 소자(7)(도 4 참조)를 갖는 적색용 화소 회로(4R), 녹색의 광을 출사하는 녹색용의 유기 EL 소자(7)(도 4 참조)를 갖는 녹색용 화소 회로(4G) 및 청색의 광을 출사하는 청색용의 유기 EL 소자(7)(도 4 참조)를 갖는 청색용 화소 회로(4B)의 3종류의 화소 회로로 구성되어 있다. 단위 회로로서의 적색, 녹색 및 청색용 화소 회로(4R, 4G, 4B)는 행 방향을 따라 적색용 화소 회로(4R), 녹색용 화소 회로(4G), 청색용 화소 회로(4B)의 순으로 배치되어 있다. 즉, 각 화소 회로(4R, 4G, 4B)는 행 방향을 따라서는 적색용 화소 회로(4R), 녹색용 화소 회로(4G), 청색용 화소 회 로(4B), 적색용 화소 회로(4R), 녹색용 화소 회로(4G), …의 순으로 반복하여 배치되어 있다. 또한, 열 방향을 따라서는 같은 색의 화소 회로(4R, 4G, 4B)가 배치되어 있다.
표시 영역(3)에는 각 열 방향으로 배치된 각 색의 화소 회로(4R, 4G, 4B)에 대응하여 데이터 선(Lr, Lg, Lb)이 각각 열 방향을 따라 형성되어, 그 열 방향의 같은 색의 화소 회로(4R, 4G, 4B)에 데이터 신호(Dr, Dg, Db)를 각각 공급한다. 또한, 각 행 방향에 반복 배치된 각 색의 화소 회로(4R, 4G, 4B)에 대응하여 복수의 주사선(Ly)이 각각 행 방향을 따라 형성되어, 행 방향의 각 화소 회로(4R, 4G, 4B)에 선택 신호(Sy)(도 4 참조)를 각각 공급한다. 즉, 각 화소 회로(4R, 4G, 4B)는 각각 대응하는 각 데이터 선(Lr, Lg, Lb)과 각 주사선(Ly)의 교차부에 형성되어 있다.
열 방향으로 형성한 각 데이터 선(Lr, Lg, Lb)의 상하 양 단부(兩端部)는 투명 기판(2)의 상하 양 단부까지 연장 돌출 형성되어, 투명 기판(2)의 상하 양측 모서리에서 좌우 모서리부(코너부)를 제외한 가장자리에 형성한 데이터 선 외부 단자(5)에 전기적으로 접속되어 있다. 각 데이터 선(Lr, Lg, Lb)에 대응하여 형성된 데이터 신호 입력 단자로서의 데이터 선 외부 단자(5)는 동박 등으로 형성되는 단자로서, 투명 기판(2)의 제 2 측 모서리에서의 상측 모서리 및 하측 모서리를 따라 동등한 피치로 표면(소자 형성면)(2a)에 배열 형성되어 있다.
그리고, 각 상하 양측의 각 데이터 선 외부 단자(5)는 도시하지 않은, 본체가 폴리이미드 수지로 형성되어 있는 데이터 선용의 플렉시블 기판에 형성한 복수 의 접속 단자(도시 생략)와, 소위 이방성 도전막(ACF) 방식에 의해 전기적으로 접속되게 되어 있다. 플렉시블 기판에는 데이터 선 구동용 IC칩이 실장되어, 그 데이터 선 구동용 IC칩으로부터 각 화소 회로(4R, 4G, 4B)에 공급하는 데이터 신호(Dr, Dg, Db)가 출력된다. 그리고, 본 실시예에서는 각 데이터 선(Lr, Lg, Lb)은 상하 양측부에서부터 대응하는 데이터 선 외부 단자(5)를 통하여 동일한 내용의 데이터 신호(Dr, Dg, Db)가 동기하여 공급된다.
한편, 행 방향으로 형성한 복수의 주사선(Ly)의 좌우 양 단부는 투명 기판(2)의 좌우 양 단부까지 연장 돌출 형성되고, 투명 기판(2)의 좌우 양측 모서리에서 상하 모서리부(코너부)를 제외한 가장자리에 형성한 주사선 외부 단자(6)에 전기적으로 접속되어 있다. 각 주사선(Ly)에 대응하여 형성된 선택 신호 입력 단자로서의 주사선 외부 단자(6)는 동박(銅箔) 등으로 형성되는 단자로서, 투명 기판(2)의 제 1 측 모서리로서의 좌측 모서리 및 우측 모서리를 따라 동등한 피치로 표면(소자 형성면)(2a)에 배열 형성되어 있다.
그리고, 각 좌우 양측의 각 주사선 외부 단자(6)는 도시하지 않은, 본체가 폴리이미드 수지로 형성되어 있는 주사선용의 플렉시블 기판에 형성한 복수의 접속 단자와, 이방성 도전막(ACF) 방식에 의해 전기적으로 접속되게 되어 있다. 플렉시블 기판에는 주사선 구동용 IC칩이 실장되어, 그 주사선 구동용 IC칩으로부터 각 주사선(Ly)으로 선택 신호(Sy)가 출력된다. 그리고, 본 실시예에서는 각 주사선(Ly)은 좌우 양 단부측에서부터 대응하는 주사선 외부 단자(6)를 통하여 선택 신호(Sy)가 동기하여 공급된다.
또한, 표시 영역(3)에는 각 열 방향으로 배치된 각 색의 화소 회로(4R, 4G, 4B)에 대응하여 복수의 전원선(Lvr, Lvg, Lvb)이 각각 열 방향을 따라 형성되고, 열 방향의 같은 색의 화소 회로(4R, 4G, 4B)에 대응하는 구동 전압(Vr, Vg, Vb)(도 4 참조)을 공급한다. 그리고, 복수의 전원선(Lvr, Lvg, Lvb)의 상하 양단은 각각 행 방향을 따라 형성된 대응하는 공통 전원선(Lcr, Lcg, Lcb)에 전기적으로 접속되어 있다.
상측에 형성한 공통 전원선(Lcr, Lcg, Lcb)의 좌측부는 투명 기판(2)의 좌단부까지 각각 연장 돌출 형성되어, 투명 기판(2)의 좌측 상부 모서리(코너부)에 형성한 적색용, 녹색용, 청색용의 검사용 전원선 외부 단자(17, 18, 19)에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 하측에 형성한 공통 전원선(Lcr, Lcg, Lcb)의 우측부는 투명 기판(2)의 우단부까지 각각 연장 돌출 형성되어, 투명 기판(2)의 우측 하부 모서리부(코너부)에 형성한 적색용, 녹색용, 청색용의 검사용 전원선 외부 단자(17, 18, 19)에 전기적으로 접속되어 있다. 적색용, 녹색용, 청색용의 검사용 전원선 외부 단자(17, 18, 19)는 검사용 외부 단자로서, 출하전에 행해지는 검사시에, 검사 장치(도시 생략)로부터 구동 전압(Vr, Vg, Vb)이 공급된다. 또한, 적색용, 녹색용, 청색용의 검사용 전원선 외부 단자(17, 18, 19)는 동박 등으로 형성되는 단자이다. 이 검사용의 외부 단자(17 내지 19)는 각각 모서리부에 설치되고, 수도 적기 때문에, 상기 데이터 선 외부 단자(5), 상기 주사선 외부 단자(6) 등보다 큰 사이즈로 형성되어 있다.
한편, 상측에 형성한 공통 전원선(Lcr, Lcg, Lcb)의 좌측부 및 하측에 형성 한 공통 전원선(Lcr, Lcg, Lcb)의 우측부는 데이터 선 외부 단자(5)와 인접하여 형성한 도시하지 않은 공통 전원선 외부 단자와 전기적으로 접속되어 있다. 도시하지 않은 공통 전원선 외부 단자는 데이터 선 외부 단자(5)와 동일한 방법으로 형성되고, 데이터 선용의 플렉시블 기판에 형성된 전원 공급용의 접속 단자와 전기적으로 접속된다. 그리고, 본 실시예에서는 각각의 전원선(Lvr, Lvg, Lvb)에 공급하는 구동 전압(Vr, Vg, Vb)을 데이터 선용 플렉시블 기판에 형성한 접속 단자로부터 출력하게 되어 있다. 따라서, 전원선(Lvr, Lvg, Lvb)은 상하 양 단부측에서부터 대응하는 공통 전원선(Lcr, Lcg, Lcb)을 통하여 구동 전압(Vr, Vg, Vb)이 공급된다.
도 4는 화소(4)를 구성하는 적색용 화소 회로(4R), 녹색용 화소 회로(4G) 및 청색용 화소 회로(4B)의 회로 구성을 나타낸다. 설명의 편의상, 적색용 화소 회로(4R)에 관하여 설명하고 다른 화소 회로(4G, 4B)에 대해서는 생략한다.
적색용 화소 회로(4R)는 구동 트랜지스터(Q1), 스위칭 트랜지스터(Q2) 및 유지 커패시터(C1)를 각각 구비하고 있다. 구동 트랜지스터(Q1) 및 스위칭 트랜지스터(Q2)는 도전형이 N채널의 박막 트랜지스터(TFT)로 구성되어 있다. 구동 트랜지스터(Q1)는 소스가 적색의 광을 출사하는 전기 광학 소자로서 유기 EL 소자(7)의 양극에 접속되고, 드레인이 대응하는 전원선(Lvr)에 접속되어 있다. 구동 트랜지스터(Q1)의 게이트는 유지 커패시터(C1)가 접속되어 있다. 그 유지 커패시터(C1)의 타단은 전원선(Lvr)에 접속되어 있다.
스위칭 트랜지스터(Q2)는 게이트가 주사선(Ly)에 접속되어 있다. 또한, 스위칭 트랜지스터(Q2)는 드레인이 데이터 선(Lr)에 접속되고, 소스가 구동 트랜지스 터(Q1)의 게이트 및 유지 커패시터(C1)의 일단과 접속되어 있다.
이와 관련하여, 녹색용 화소 회로(4G)에서, 구동 트랜지스터(Q1)의 드레인이 전원선(Lvg)에 접속되는 동시에, 스위칭 트랜지스터(Q2)의 드레인이 데이터 선(Lg)에 접속된다. 또한, 녹색용 화소 회로(4G)의 유기 EL 소자(7)는 녹색의 광을 출사하는 유기 EL 소자이다. 동일하게, 청색용 화소 회로(4B)에서, 구동 트랜지스터(Q1)의 드레인이 전원선(Lvb)에 접속되는 동시에, 스위칭 트랜지스터(Q2)의 드레인이 데이터 선(Lb)에 접속된다. 또한, 청색용 화소 회로(4B)의 유기 EL 소자(7)는 청색의 광을 출사하는 유기 EL 소자이다.
그리고, 주사선(Ly)에 선택 신호(Sy)가 소정 기간 출력되면, 적색용 화소 회로(4R), 녹색용 화소 회로(4G) 및 청색용 화소 회로(4B)의 스위칭 트랜지스터(Q2)가 소정 기간 온(on)하여 데이터 선(Lr, Lg, Lb)을 통하여 데이터 신호(Dr, Dg, Db)가 각각 공급된다. 그러면, 데이터 신호(Dr, Dg, Db)가 스위칭 트랜지스터(Q2)를 통하여 유지 커패시터(C1)에 각각 공급된다. 각 화소 회로(4R, 4G, 4B)의 유지 커패시터(C1)는 데이터 신호(Dr, Dg, Db)에 대응한 전하량을 축적하여 유지한다. 또한, 각 화소 회로(4R, 4G, 4B)의 구동 트랜지스터(Q1)의 게이트 단자의 전위는 데이터 신호(Dr, Dg, Db)에 의해 밀어 올려져, 구동 트랜지스터(Q1) 드레인/소스에 데이터 신호(Dr, Dg, Db)에 따른 구동 전류(Ir, Ig, Ib)를 각각 유기 EL 소자(7)에 공급한다. 이 구동 전류(Ir, Ig, Ib)는 유지 커패시터(C1)에 축적된 데이터 신호(Dr, Dg, Db)에 따른 전하량에 상대한 값이 된다.
즉, 구동 트랜지스터(Q1)는 데이터 신호(Dr, Dg, Db)에 응답하여 도통하고, 그 도통 상태가 유지되어 각 유기 EL 소자(7)에 구동 전류(Ir, Ig, Ib)를 공급한다. 그러면, 이 타이밍에서 각 화소 회로(4R, 4G, 4B)의 유기 EL 소자(7)가 각각 데이터 신호(Dr, Dg, Db)에 상대한 휘도로 발광한다.
이와 같이, 표시 영역(3)에 매트릭스 형상으로 배치 형성된 각 화소 회로(4R, 4G, 4B)로 이루어진 각 화소(4)는 도 3에서, 상측의 주사선(Ly)으로부터 하측의 주사선(Ly)으로 순서대로 선택 신호(Sy)가 소정 기간 출력된다. 그리고, 선택 신호(Sy)가 출력된 주사선(Ly) 위의 선택된 각 화소(4)(화소 회로(4R, 4G, 4B))에 대하여 일제히 데이터 신호(Dr, Dg, Db)가 데이터 선(Lr, Lg, Lb)을 통하여 공급되어, 그 선택된 주사선(Ly) 위의 선택된 각 화소(4)(화소 회로(4R, 4G, 4B)) 중의 유기 EL 소자(7)는 발광한다. 즉, 최상측의 주사선(Ly) 위의 각 화소(4)로부터 순서대로 최하측의 주사선(Ly) 위의 각 화소(4)가 발광 제어되어, 1프레임의 화상이 소위 선 순차로 표시 영역(3)에 표시되게 되어 있다.
도 2는 화소 회로(4R, 4G, 4B)의 각 유기 EL 소자(7)의 구조를 나타내는 유기 EL 디스플레이(1)의 요부 단면도이다. 또한, 설명의 편의상, 도 2에서, 적색의 광을 출사하는 유기 EL 소자(7)를 적색용 유기 EL 소자(7R), 녹색의 광을 출사하는 유기 EL 소자(7)를 녹색용 유기 EL 소자(7G), 청색의 광을 출사하는 유기 EL 소자(7)를 청색용 유기 EL 소자(7B)로 표기하고 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 각 유기 EL 소자(7R, 7G, 7B)는 투명 기판(2)의 소자 형성면(2a)에 형성된 회로 형성층(2b) 위에 형성되어 있다. 이 회로 형성층(2b)은 표시 영역(3)에 형성되는 상기 각 화소 회로(4R, 4G, 4B)를 구동시키기 위 한 구동 트랜지스터(Q1) 등과 같은 회로 소자나, 표시 영역(3)의 외측에 형성되는 후기하는 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b) 및 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)를 구성하는 회로 소자의 일부 또는 전부가 형성된 층이다.
또한, 회로 형성층(2b) 위의 표시 영역(3)에 대응한 영역에는 각 유기 EL 소자(7R, 7G, 7B)를 매트릭스 형상으로 구획하는 뱅크(B)가 형성되어 있다. 각 뱅크(B)에 의해 구획된 오목 형상 영역의 각 저면에는 양극(31)(화소 전극 혹은 개별 전극)이 형성되어 있다. 본 실시예에서는 양극(31)은 투명 전극으로서, 광 투과성을 갖는 도전성 재료인 인듐―주석 화합물(ITO)로 구성되어 있다.
각 양극(31)은 대응하는 구동 트랜지스터(Q1)와 컨택트홀(H)을 통하여 전기적으로 접속되어 있다. 각 양극(31) 위에는 본 실시예에서는 정공 수송층(32), 발광층(33R, 33G, 33B)의 순으로 적층되어 이루어지는 기능층(34)이 형성되어 있다. 발광층(33R)은 적색의 광을 출사하는 유기 발광 재료로 구성된 발광층이며, 발광층(33G)은 녹색의 광을 출사하는 유기 발광 재료로 구성된 발광층이며, 발광층(33B)은 청색의 광을 출사하는 유기 발광 재료로 구성된 발광층이다.
기능층(34) 상부 전체 면에 걸쳐서 공통 전극으로서의 음극(35)이 형성되어 있다. 음극(35)은 알루미늄막으로 형성되어 있다. 음극(35) 전체 면을 덮듯이 보호막(36)이 형성되어 있다. 그리고, 상기한 양극(31), 기능층(34) 및 음극(35)이 적층되어, 각 유기 EL 소자(7(7R,7G,7B))가 구성된다.
그리고, 각 유기 EL 소자(7(7R,7G,7B))로부터 출사한 광은 투명 전극의 양극(31)을 통하여 도 2의 하측으로 출사된다. 또한, 음극(35)을 향하여 출사된 광은 알루미늄막으로 이루어지는 음극(35)에서 반사되어, 양극(31)을 통하여 하측으로 출사된다. 따라서, 본 실시예의 유기 EL 디스플레이(1)는 보텀 에미션형의 디스플레이이다.
도 1에서, 상기 표시 영역(3)에 인접하는 상하 양측의 투명 기판(2)의 소자 형성면(2a)에는 데이터 선용 검사 회로로서의 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b)가 행 방향으로 형성되어 있다. 상측 및 하측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b)는 도 3에 나타낸 바와 같이, 각각 각 데이터 선(Lr, Lg, Lb)에 대응하여 게이트 트랜지스터(Q3)가 설치되어 있다. 게이트 트랜지스터(Q3)는 도전형이 N채널의 박막 트랜지스터(TFT)로 구성되어 있다. 각 게이트 트랜지스터(Q3)의 게이트는 행 방향을 따라 형성된 검사 모드 신호 공급선(LO)에 각각 전기적으로 접속되어 있다. 그리고, 검사 모드 신호 공급선(L0)에 검사를 위한 고전위(H레벨) 검사 모드 신호(MD)가 공급되면, 각 게이트 트랜지스터(Q3)가 일제히 온 한다.
각 게이트 트랜지스터(Q3)의 소스는 각각 대응하는 데이터 선(Lr, Lg, Lb)에 접속되어 있다. 각 게이트 트랜지스터(Q3)로서 소스가 적색용의 데이터 선(Lr)에 접속된 각 게이트 트랜지스터(Q3)는 그 드레인이 행 방향을 따라 형성된 적색용 검사 데이터 신호 공급선(L1)에 각각 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 각 게이트 트랜지스터(Q3)로서 소스가 녹색용의 데이터 선(Lg)에 접속된 각 게이트 트랜지스터(Q3)는 그 드레인이 행 방향을 따라 형성된 녹색용 검사 데이터 신호 공급선에 각각 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 각 게이트 트랜지스터(Q3)로서 소스가 청색용의 데이터 선(Lb)에 접속된 각 게이트 트랜지스터(Q3)는 그 드레인이 행 방향 을 따라 형성된 청색용 검사 데이터 신호 공급선(L3)에 각각 전기적으로 접속되어 있다.
상측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a)의 각 공급선(L0, L1, L2, L3)은 모두 인접하여 형성되고, 그 우측부는 투명 기판(2)의 네 모서리 중의 우측 상부 모서리까지 연장 돌출 형성되어 있다. 그리고, 검사 모드 신호 공급선(L0)은 투명 기판(2)의 우측 상부 모서리부(코너부)에 형성한 검사 모드 신호 외부 단자(10)에 전기적으로 접속되어 있다. 적색용 검사 데이터 신호 공급선(L1)은 투명 기판(2)의 우측 상부 모서리부(코너부)에 형성한 적색용 검사 데이터 외부 단자(11)에 전기적으로 접속되어 있다. 녹색용 검사 데이터 신호 공급선(L2)은 투명 기판(2)의 우측 상부 모서리부(코너부)에 형성한 녹색용 검사 데이터 외부 단자(12)에 전기적으로 접속되어 있다. 청색용 검사 데이터 신호 공급선(L3)은 투명 기판(2)의 우측 상부 모서리부(코너부)에 형성한 청색용 검사 데이터 외부 단자(13)에 전기적으로 접속되어 있다.
하측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8b)의 각 공급선(L0, L1, L2, L3)도 동일하게, 모두 인접하여 형성되고, 그 좌측부는 투명 기판(2)의 네 모서리 중의 좌측 하부 모서리부까지 연장 돌출 형성되어 있다. 그리고, 상측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a)와 동일하게, 검사 모드 신호 공급선(L0)은 검사 모드 신호 외부 단자(10)에, 적색용 검사 데이터 신호 공급선(L1)은 적색용 검사 데이터 외부 단자(11)에, 녹색용 검사 데이터 신호 공급선(L2)은 녹색용 검사 데이터 외부 단자(12)에, 청색용 검사 데이터 신호 공급선(L3)은 청색용 검사 데이터 외부 단자(13)에 전기적으로 접속되어 있다.
상측 및 하측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b)의 각 공급선(L0, L1, L2, L3)에 각각 접속된 외부 단자(10 내지 13)는 동박 등으로 형성되는 단자이다. 또한, 이들 외부 단자(10 내지 13)는 각각 모서리부에 설치되고, 수도 적기 때문에, 상기 데이터 선 외부 단자(5), 상기 주사선 외부 단자(6) 등보다 큰 사이즈 로 형성되어 있다.
이들 외부 단자(10 내지 13)는 검사용 외부 단자이며, 출하 전에 행해지는 검사시에, 검사 장치로부터 검사 모드 신호(MD), 검사 데이터 신호(Dmr, Dmg, Dmb)가 공급된다. 그리고, 검사 모드 신호 외부 단자(10)로부터 검사를 위한 검사 모드 신호(MD)가 공급되어 있는 상태에서, 각 검사 데이터 외부 단자(10 내지 13)에 각각 검사 데이터 신호(Dmr, Dmg, Dmb)가 각각에 공급되면, 게이트 트랜지스터(Q3)를 통하여 각각 대응하는 각 데이터 선(Lr, Lg, Lb)에 각각 검사 데이터 신호(Dmr, Dmg, Dmb)가 공급된다.
도 1에서, 상기 표시 영역(3)에 인접하는 좌우 양측의 투명 기판(2)의 소자 형성면(2a)에는 주사선용 검사 회로로서의 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)가 열 방향으로 형성되어 있다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 좌측 및 우측 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)는 각각 각 주사선(Ly)에 대응하여 게이트 트랜지스터(Q4) 및 시프트 레지스터(SR)가 설치되어 있다.
게이트 트랜지스터(Q4)는 도전형이 N채널의 박막 트랜지스터(TFT)로 구성되어 있다. 각 게이트 트랜지스터(Q4)의 게이트는 열 방향을 따라 형성된 검사 모드 신호 공급선(L4)에 각각 전기적으로 접속되어 있다. 검사 모드 신호 공급선(L4)의 일단은 상기 검사 모드 신호 공급선(L0)에 접속되어 있다. 따라서, 검사 모드 신호 공급선(L4)에 검사를 위한 H레벨의 검사 모드 신호(MD)가 공급되면, 각 게이트 트랜지스터(Q4)가 일제히 온 한다. 각 게이트 트랜지스터(Q4)는 소스가 대응하는 주사선(Ly)에 각각 접속되고, 드레인이 대응하는 시프트 레지스터(SR)에 각각 접속되어 있다.
각 시프트 레지스터(SR)는 직렬로 접속되어, 최상측의 주사선(Ly)에 대응하는 시프트 레지스터(SR)가 선택 신호 공급선(L5)에 접속되어 있다. 그리고, 최상측의 주사선(Ly)에 대응하는 시프트 레지스터(SR)에는 선택 신호 공급선(L5)으로부터 공급되는 검사를 위한 H레벨의 선택 신호(Sm)가 입력된다. 각 시프트 레지스터(SR)는 열 방향을 따라 형성된 클록 신호 공급선(L6)에 각각 전기적으로 접속되어, 클록 신호 공급선(L6)으로부터 공급되는 클록 신호(CL)를 입력한다.
그리고, 최상측의 시프트 레지스터(SR)에 입력된 H레벨의 선택 신호(Sm)는 클록 신호(CL)에 응답하여 상측의 시프트 레지스터(SR)로부터 하측의 시프트 레지스터(SR)로 시프트된다. 따라서, 선택 신호(Sm)가 시프트하여 입력된 시프트 레지스터(SR)는 그 H레벨의 선택 신호(Sm)를 다음 클록 신호(CL)의 발생까지 게이트 트랜지스터(Q4)를 통하여 대응하는 주사선(Ly)에 출력한다. 따라서, 클록 신호(CL)에 동기하여 시프트하는 선택 신호(Sm)에 의해, 상측의 주사선(Ly)으로부터 순서대로 하측의 주사선(Ly)으로 주사선(Ly)이 선택된다.
좌측 주사선 제어용 검사 회로부(9a)의 공급선(L5)의 단부는 투명 기판(2)의 네 모서리 중의 좌측 상부 모서리부까지 연장 돌출 형성되어 있다. 그리고, 선택 신호 공급선(L5)은 투명 기판(2)의 좌측 상부 모서리부(코너부)에 형성한 선택 신호 외부 단자(15)에 전기적으로 접속되어 있다. 클록 신호 공급선(L6)은 투명 기판(2)의 네 모서리 중의 좌측 하부 모서리부(코너부)에 형성한 클록 신호 외부 단자(16)에 전기적으로 접속되어 있다.
우측 주사선 제어용 검사 회로부(9b)의 공급선(L5)의 단부는 투명 기판(2)의 네 모서리 중의 우측 상부 모서리까지 연장 돌출 형성되어 있다. 그리고, 선택 신호 공급선(L5)은 투명 기판(2)의 우측 상부 모서리부(코너부)에 형성한 선택 신호 외부 단자(15)에 전기적으로 접속되어 있다. 클록 신호 공급선(L6)은 투명 기판(2)의 네 모서리 중의 우측 하부 모서리부(코너부)에 형성한 클록 신호 외부 단자(16)에 전기적으로 접속되어 있다.
좌측 및 우측 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)의 선택 신호 외부 단자(15) 및 클록 신호 외부 단자(16)는 동박 등으로 형성되는 단자이다. 또한, 선택 신호 외부 단자(15) 및 클록 신호 외부 단자(16)는 각각 모서리부에 설치되고, 수도 적기 때문에, 상기 데이터 선 외부 단자(5), 상기 주사선 외부 단자(6) 등보다 큰 사이즈로 형성되어 있다.
이들 외부 단자(15,16)는 검사용 외부 단자이며, 출하전에 행해지는 검사시에, 검사 장치로부터 선택 신호(Sm), 클록 신호(CL)가 각각 공급된다. 그리고, 각 게이트 트랜지스터(Q4)가 온 하고, 선택 신호 외부 단자(15)로부터 선택 신호(Sm)가 공급된 상태에서, 클록 신호 외부 단자(16)에 클록 신호(CL)가 공급되어, 각 주 사선(Ly)에 대하여 순서대로 선택 신호(Sm)를 공급하게 되어 있다.
도 1에서, 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b) 및 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)를 둘러싸는 영역의 외측에서 검사용의 상기 각 외부 단자(5, 6, 10 내지 13, 15, 16, 17 내지 19, 20)의 내측 투명 기판(2)의 소자 형성면(2a)에는 밀봉 부재로서 밀봉 기판(21)의 접착 영역(Z1)이 설치되어 있다. 밀봉 기판(21)은 스테인리스제로서, 그 투명 기판(2)측의 면에는 수용 오목부(22)가 오목하게 설치되고, 그 사각 고리 형상으로 형성된 바깥 둘레(23)가 접착면이 되어 접착 영역(Z1)에서 접착제로 투명 기판(2)에 부착되어 있다. 이 때, 도 2에 나타낸 바와 같이, 접착 영역(Z1)과 표시 영역(3)의 사이에, 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)(데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b)도 동일)가 형성된다. 따라서, 투명 기판(2)은 외부 단자(5, 6, 10 내지 13, 15, 16, 17 내지 19, 20)를 제외하고, 각 검사 회로부(8a, 8b,9a, 9b) 및 표시 영역(3)에 형성된 각 화소 회로(4R, 4G, 4B)가 밀봉 기판(21)의 수용 오목부(22)에 내포되어 밀봉된다. 그 결과, 각 화소 회로(4R, 4G, 4B), 각 검사 회로부(8a, 8b,9a, 9b)는 밀봉 기판(21)에 의해 습도나 산소 등으로부터 보호된다.
상기 검사용의 각 외부 단자(10 내지 13, 15 내지 19, 20)는 밀봉 기판(21)(밀봉 기판(21)에 의해 밀봉되는 밀봉 영역)보다 외측의 투명 기판(2)의 네 모서리부(코너부)에 분배 형성되어 있다. 이와 관련하여, 도 1에 나타낸 바와 같이, 좌측 상부 모서리부에는 선택 신호 외부 단자(15) 및 각 검사용 전원선 외부 단자(17, 18, 19)가 배치되고, 좌측 하부 모서리부에는 검사 모드 신호 외부 단자(10), 클록 신호 외부 단자(16) 및 각 검사 데이터 외부 단자(11 내지 13)가 각각 배치되어 있다. 또한, 우측 하부 모서리부에는 클록 신호 외부 단자(16) 및 각 검사용 전원선 외부 단자(17, 18, 19)가 배치되고, 우측 상부 모서리에는 검사 모드 신호 외부 단자(10), 선택 신호 외부 단자(15) 및 각 검사 데이터 외부 단자(11 내지 13)가 각각 배치되어 있다. 또한, 좌측 상부 모서리부 및 우측 하부 모서리부는 검사 장치의 접지용 프로브와 접속되는 검사용 외부 단자로서의 접지 외부 단자(20)가 각각 형성되고, 이 접지 외부 단자(20)는 각 화소 회로(4R, 4G, 4B)의 유기 EL 소자(7)의 음극과 전기적으로 접속되어 있다. 그리고, 본 실시예에서는 각 모서리도 5개의 검사용 외부 단자를 각각 코너를 따라 직각으로 배열 형성하고, 상기 밀봉 기판(21)을 투명 기판(2)에 접착할 때의 얼라인먼트 마크로 삼고 있다.
다음에, 상기한 바와 같이 구성된 유기 EL 디스플레이(1)의 검사 방법에 대해서 설명한다. 유기 EL 디스플레이(1)는 출하 전에, 검사 장치를 사용하여 휘점(輝点) 검사, 암점(暗点) 검사를 행하게 되어 있다.
우선, 투명 기판(2)의 각 모서리부에 형성한 각 외부 단자(10 내지 13 및 15 내지 20)는 각각 대응하는 검사 장치의 프로브에 접속한다. 즉, 검사 모드 신호 외부 단자(10)는 검사 모드 신호(MD)를 공급하는 프로브에 접속한다. 적색용 검사 데이터 외부 단자(11)는 적색용 검사 데이터 신호(Dmr)를 공급하는 프로브에 접속한다. 녹색용 검사 데이터 외부 단자(12)는 녹색용 검사 데이터 신호(Dmg)를 공급하는 프로브에 접속한다. 청색용 검사 데이터 외부 단자(13)는 청색용 검사 데이터 신호(Dmb)를 공급하는 프로브에 접속한다. 또한, 선택 신호 외부 단자(15)는 선택 신호(Sm)를 공급하는 프로브에 접속한다. 클록 신호 외부 단자(16)는 클록 신호(CL)를 공급하는 프로브에 접속한다. 또한, 적색용, 녹색용, 청색용의 각 검사용 전원선 외부 단자(17, 18, 19)는 각각 구동 전압(Vr, Vg, Vb)을 공급하는 프로브에 접속한다. 접지 외부 단자(20)는 접지(그라운드) 프로브에 접속한다.
그리고, 검사 장치는 각 구동 전압(Vr, Vg, Vb)을 각각 적색용, 녹색용, 청색용의 각 검사용 전원선 외부 단자(17, 18, 19)에 공급하고 있는 상태에서, 검사 모드 신호 외부 단자(10)에 H레벨의 검사 모드 신호(MD)를 출력한다. 그러면, 상측 및 하측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b)의 게이트 트랜지스터(Q3) 및 좌측 및 우측 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)의 게이트 트랜지스터(Q4)가 일제히 온 한다. 이 상태에서, 선택 신호 외부 단자(15)에 H레벨의 선택 신호(Sm)를 출력하는 동시에, 적색, 녹색, 청색용 검사 데이터 외부 단자(11, 12, 13)에 적색, 녹색, 청색용 검사 데이터 신호(Dmr, Dmg, Dmb)를 출력한다.
그 결과, 최상측의 주사선(Ly)이 선택되고, 그 선택된 주사선(Ly) 위의 각 화소 회로(4R, 4G, 4B)는 각각 적색, 녹색, 청색용 검사 데이터 신호(Dmr, Dmg, Dmb)가 데이터 선(Lr, Lg, Lb)을 통하여 공급되어 유지되고, 적색, 녹색, 청색용 검사 데이터 신호(Dmr, Dmg, Dmb)에 의거하여 유기 EL 소자(7)는 발광한다.
그리고, 이후, 클록 신호 외부 단자(16)에 클록 신호(CL)를 공급할 때마다, 상기 선택 신호(Sm)를 시프트 레지스터(SR)에 시프트시켜, 각 주사선(Ly) 위의 각 화소 회로(4R, 4G, 4B)의 유기 EL 소자(7)를 동일하게 발광시킨다. 그리고, 최하측의 주사선(Ly)을 선택하여 그 주사선(Ly) 위의 각 화소 회로(4R, 4G, 4B)의 유기 EL 소자(7)를 발광시키면, 표시 영역(3)의 모든 화소 회로(4R, 4G, 4B)가 적색, 녹색, 청색용 검사 데이터 신호(Dmr, Dmg, Dmb)에 의거하는 휘도로 발광하게 된다.
그리고, 이 표시 영역(3)의 표시 상태를 보고 결함이 있는 화소(4)를 검사한다. 예를 들면, 암점 검사를 할 경우에는 검사 장치는 각 유기 EL이 가장 밝은 휘도로 발광하는 적색, 녹색, 청색용 검사 데이터 신호(Dmr, Dmg, Dmb)를 각 화소 회로(4R, 4G, 4B)에 공급하여, 각 화소(4)를 가장 밝은 휘도로 발광시키게 한다. 이 상태에서, 표시 영역(3)내에 발광하지 않는 결함이 있는 화소(4)를 검사한다.
휘점 검사를 할 경우에는 검사 장치는 각 유기 EL을 발광시키지 않는 적색, 녹색, 청색용 검사 데이터 신호(Dmr, Dmg, Dmb)를 각 화소 회로(4R, 4G, 4B)에 각각 공급하여 표시 영역(3)중의 각 화소(4)를 발광시키지 않도록 한다. 이 상태에서, 표시 영역(3)내에서 발광하고 있는 결함이 있는 화소(4)를 검사한다.
상기한 바와 같이, 본 실시예에 의하면, 이하의 효과가 있다.
(1) 본 실시예에 의하면, 투명 기판(2)의 네 모서리에 형성한 검사용의 각 외부 단자(10 내지 13 및 15 내지 20)에, 검사 장치의 프로브를 닿게 하는 것만으로, 암점 검사, 휘점 검사 등의 결함 화소의 검사를 행할 수 있다. 또한, 밀봉 기판(21)(밀봉 기판(21)에 의해 밀봉되는 밀봉 영역)보다 각 외부 단자가 외측의 코너부에 형성되어 있기 때문에, 밀봉 기판(21)을 부착시킨 후에도 검사가 가능해진다.
(2) 본 실시예에 의하면, 검사용의 각 외부 단자(10 내지 13 및 15 내지 20)을 투명 기판(2)의 네 모서리에 형성했다. 즉, 외부 단자(10 내지 13 및 15 내지 20)는 각 데이터 선(Lr, Lg, Lb) 및 각 주사선(Ly)의 연장선상의 투명 기판(2)의 한 변에 형성된 각 데이터 선(Lr, Lg, Lb) 및 각 주사선(Ly)의 외부 단자(5, 6)로부터 벗어난 공간적으로 여유가 있는 투명 기판(2)의 모서리부에 형성된다. 따라서, 투명 기판(2)의 사이즈(액자 부분)를 크게 하지 않고, 검사용의 각 외부 단자(10 내지 13 및 15 내지 20)의 사이즈를 외부 단자(5, 6)의 사이즈보다 크게 할 수 있다. 그리고, 검사용의 각 외부 단자(10 내지 13 및 15 내지 20)의 사이즈를 크게 할 수 있기 때문에, 각 외부 단자(10 내지 13 및 15 내지 20)에 대하여 용이하면서 단시간에 검사 장치의 프로브를 정밀도가 좋게 접속할 수 있다.
(3) 본 실시예에 의하면, 검사용의 외부 단자(10 내지 13 및 15 내지 20)를 밀봉 기판(21)의 외측에 형성하여 상기 밀봉 기판(21)을 투명 기판(2)에 부착시킬 때의 얼라인먼트 마크로 했다. 따라서, 밀봉 기판(21)을 투명 기판(2)에 부착시키는 것만을 위한 얼라인먼트 마크를 형성하는 영역을 확보할 필요가 없어지는 동시에, 제조 공정을 그 분량만큼 생략할 수 있다. 또한, 검사용의 외부 단자(10 내지 13 및 15 내지 20)를 각각 네 모서리부(코너부)를 따라 직각으로 배열 형성했기 때문에, 정밀도가 좋게 밀봉 기판(21)을 투명 기판(2)에 부착시킬 수 있다.
또한, 검사용의 외부 단자(10 내지 13 및 15 내지 20)는 유기 EL 소자(7R, 7G, 7B)의 기능층(34)을 형성하기 전에 이미 형성할 수 있기 때문에, 잉크젯 방식으로 유기 EL 소자(7R, 7G, 7B)의 기능층(34)을 형성할 때의 얼라인먼트 마크로서도 이용할 수 있다. 요점은, 검사용의 외부 단자(10 내지 13 및 15 내지 20)가 형성된 후에 행해지는 각종의 제조 공정의 얼라인먼트 마크로서 이용할 수 있다는 것 이다.
(4) 본 실시예에 의하면, 검사 회로, 즉 상측 및 하측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b) 및 좌측 및 우측 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)를 밀봉 기판(21)의 수용 오목부(22)에 내포되는 위치에 형성했다. 따라서, 각 검사 회로부(8a, 8b,9a, 9b)는 외부의 습기, 산소 등으로부터 완전히 보호된다. 또한, 각 검사 회로부(8a, 8b,9a, 9b)는 직접 밀봉 기판(21)의 접착면과 대치하지 않는 접착 영역(Z1)의 내측(표시 영역(3)과 접착 영역(Z1)의 사이)에 형성되어 있기 때문에, 밀봉 기판(21)에 가해진 힘, 예를 들면, 기판(2)에 밀봉 기판(21)을 접착할 때 밀봉 기판(21)을 투명 기판(2)에 접촉하는 힘이 접착면을 통하여 직접 가해지지 않는다. 따라서, 각 검사 회로부(8a, 8b, 9a, 9b)는 어떤 원인에서 밀봉 기판(21)에 가해진 힘에 의해 손상될 우려를 줄일 수 있다.
(5) 본 실시예에 의하면, 밀봉 기판(21)을 스테인리스로 형성했다. 따라서, 밀봉 기판(21)에 의해 외부의 전자적 노이즈가 밀봉 부재에서 완전히 차단되기 때문에, 각 검사 회로부(8a, 8b, 9a, 9b)는 전자적 노이즈에 의해 오동작되는 경우가 없다.
(6) 본 실시예에 의하면, 상측 및 하측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b)는 각 데이터 선(Lr, Lg, Lb)에 대하여 설치한 게이트 트랜지스터(Q3)만으로 구성했기 때문에, 회로 규모도 작아지고 그만큼 표시 영역(3)을 크게 할 수 있다. 또한, 회로 규모가 작아지기 때문에, 상측 및 하측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b)를 밀봉 기판(21)의 수용 오목부(22)에 내포시키는 것이 용이해진다.
(7) 본 실시예에 의하면, 좌측 및 우측 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)는 주사선(Ly)에 대하여 설치한 게이트 트랜지스터(Q4)와 시프트 레지스터(SR)만으로 구성했기 때문에, 회로 규모도 작아지고 그만큼 표시 영역(3)을 크게 할 수 있다. 또한, 회로 규모가 작아지기 때문에, 좌측 및 우측 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)를 밀봉 기판(21)의 수용 오목부(22)에 내포시키는 것이 용이해진다.
또한, 발명의 실시예는 상기 실시예에 한정되는 것이 아니고, 아래와 같이 실시할 수도 있다.
○상기 실시예에서는 각 유기 EL 소자(7R, 7G, 7B)를 발광시켜 행하는 검사 회로였지만, 이에 한정되는 것이 아니고, 구동 트랜지스터(Q1), 배선 등 그 외의 검사 대상의 검사 회로에 응용할 수도 있다.
○상기 실시예에서는 검사용의 외부 단자(10 내지 13 및 15 내지 20)는 모두 검사 장치로부터의 신호를 입력하기 위한 입력 단자였지만, 검사 장치에 신호를 출력하는 출력 단자일 수도 있다.
○상기 실시예에서는 상측 및 하측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b)는 1개의 주사선(Ly)이 선택되었을 때, 모든 데이터 선(Lr, Lg, Lb)에 대하여 일제히 적색용, 녹색용, 청색용의 각 검사 데이터 신호(Dmr, Dmg, Dmb)가 각각 출력되게 구성했다. 이를 도 6에 나타낸 상측 및 하측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b)로 변경하여 실시할 수도 있다.
도 6에서, 상측 및 하측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b)는 각 데이터 선(Lr, Lg, Lb)에 대응하여 시프트 레지스터(SR1)가 설치되어 있다. 각 게이트 트 랜지스터(Q3)의 게이트는 각각 대응하는 시프트 레지스터(SR1)에 접속되어 있다.
각 시프트 레지스터(SR1)는 직렬로 접속되어, 최좌측의 데이터 선(Lr)에 대응하는 시프트 레지스터(SR)가 선택 신호 공급선(L41)에 접속되어 있다. 그리고, 최좌측의 시프트 레지스터(SR1)에는 선택 신호 공급선(L41)으로부터 공급되는 검사를 위한 H레벨의 선택 신호(Sm1)가 입력된다. 각 시프트 레지스터(SR1)는 행 방향을 따라 형성된 클록 신호 공급선(L42)에 각각 전기적으로 접속되어, 클록 신호 공급선(L42)으로부터 공급되는 클록 신호(CL1)를 입력한다. 또한, 선택 신호 공급선(L41) 및 클록 신호 공급선(L42)은 투명 기판(2)의 모서리부에 형성한 검사용의 외부 단자(41, 42)에 전기적으로 접속되어 있다.
그리고, 최좌측의 시프트 레지스터(SR1)에 입력된 H레벨의 선택 신호(Sm1)는 클록 신호(CL1)에 응답하여 좌측의 시프트 레지스터(SR)로부터 우측의 시프트 레지스터(SR1)로 시프트된다. 따라서, 선택 신호(Sm1)가 시프트하여 입력된 시프트 레지스터(SR1)는 그 H레벨의 선택 신호(Sm1)를 다음 클록 신호(CL1)의 발생까지 대응하는 게이트 트랜지스터(Q3)만 온 상태로 한다. 따라서, 클록 신호(CL1)를 적절히 제어함으로써, 데이터 선(Lr, Lg, Lb) 중의 1개를 선택하여 그 선택된 데이터 선에만 검사 데이터 신호를 공급하여 검사를 행할 수 있다.
○ 상기 실시예에서는 밀봉 부재로서의 밀봉 기판(21)을 스테인리스(금속)로 형성했지만 글래스 기판에 수용 오목부를 형성하는 등, 밀봉 부재 본래의 기능을 하는 것이면 재료는 어떤 재료이어도 된다.
○ 상기 실시예에서는 검사 모드 신호 외부 단자(10) 및 검사 모드 신호 공 급선(L0)은 상측 및 하측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b), 좌측 및 우측 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b) 공통으로 설치했지만, 독립으로 설치할 수도 있다.
○ 상기 실시예에서는 좌측 및 우측 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)에서, 게이트 트랜지스터(Q4)를 설치했지만, 이를 생략하고 실시할 수도 있다.
○ 상기 실시예에서는 상측 및 하측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b)의 2개의 검사 회로를 설치했지만, 어느 한쪽만을 설치한 것에 응용할 수도 있다.
○ 상기 실시예에서는 좌측 및 우측 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)의 2개의 검사 회로를 설치했지만 어느 한쪽만을 설치한 것에 응용할 수도 있다.
○ 상기 실시예에서는 상측 및 하측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b)는 각각 양측으로부터 공통인 데이터 선(Lr, Lg, Lb)에 검사 데이터 신호(Dmr, Dmg, Dmb)를 공급하게 했다. 예를 들면 이를 상측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a)는 홀수번째의 데이터 선에 데이터 신호를, 하측 데이터 선 제어용 검사 회로부(8b)는 짝수번째의 데이터 선에 데이터 신호를 각각 출력하게 실시할 수도 있다.
○ 상기 실시예에서는 좌측 및 우측 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)는 각각 양측으로부터 공통의 주사선(Ly)을 선택하게 했다. 예를 들면 이를 좌측 주사선 제어용 검사 회로부(9a)는 홀수번째의 주사선(Ly)을, 우측 주사선 제어용 검사 회로부(9b)는 짝수번째의 주사선(Ly)을 각각 선택하게 실시할 수도 있다. 상기 실시예에서는 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b)와 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)를 설치했지만, 예를 들면, 데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b)만, 반 대로 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)만 설치한 것에 응용할 수도 있다.
○ 상기 실시예에서는 검사용 외부 단자는 모든 모서리의 코너부에 구체화했지만, 어느 하나의 코너부일 수도 있다.
○ 상기 실시예에서는 각 유기 EL 소자(7R, 7G, 7B)를 발광시켜 행하는 검사 회로였지만, 이에 한정되는 것이 아니고, 구동 트랜지스터(Q1), 배선 등 그 외의 검사 대상의 검사 회로에 응용할 수도 있다.
○ 상기 실시예에서는 검사용의 외부 단자(10 내지 13 및 15 내지 20)는 모든 검사 장치로부터 신호를 입력하기 위한 입력 단자였지만, 검사 장치에 신호를 출력하는 출력 단자일 수도 있다.
○ 상기 실시예에서는 전기 광학 장치를 유기 EL 디스플레이(1)의 보텀 에미션형으로 구체화했지만, 톱 에미션형일 수도 있다.
○ 접착 영역(Z1)과 음극(35)(전기 광학 장치의 공통 전극)을 형성한 영역 사이에, 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)(데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b)도 동일)가 형성될 수도 있다. 이와 같이 함으로써, 각 검사 회로부(8a, 8b, 9a, 9b)와 전기 광학 소자로서의 유기 일렉트로루미네선스 소자(7)는 외부의 습기, 산소 등으로부터 완전히 보호된다. 또한, 주사선 제어용 검사 회로부(9a, 9b)(데이터 선 제어용 검사 회로부(8a, 8b)도 동일)를 덮도록, 음극(전기 광학 소자의 공통 전극)에 형성할 수도 있다. 이와 같이 함으로써, 외부의 전자적 노이즈가 밀봉 부재로 완전히 차단되기 때문에, 각 검사 회로부(8a, 8b, 9a, 9b)는 전자적 노이즈에 의해 오동작되는 경우가 없다.
○ 또한, 도 2에서는 보호막(36)은 음극(35)(전기 광학 소자의 공통 전극) 위를 덮게 형성했지만, 각 검사 회로부(8a, 8b, 9a, 9b)를 덮도록 보호막(36)을 형성할 수도 있다. 따라서, 각 검사 회로부(8a, 8b, 9a, 9b)와 전기 광학 소자로서의 유기 일렉트로루미네선스 소자(7)와 음극(35)은 외부의 습기, 산소 등으로부터 완전히 보호되는 동시에, 각 검사 회로부(8a, 8b, 9a, 9b)는 어떤 원인에서 밀봉 기판(21)에 가해진 힘에 의해 손상될 우려를 줄일 수 있다. 또한, 각 검사 회로부(8a, 8b, 9a, 9b)를 덮게 보호막을 형성하는 동시에, 접착 영역(Z1)과 보호막(36)이 접하게 보호막을 형성하는 것이 바람직하다. 따라서, 각 검사 회로부(8a, 8b, 9a, 9b)와 전기 광학 소자로서의 유기 일렉트로루미네선스 소자(7)와 음극(35)은 외부의 습기, 산소 등으로부터 완전히 보호된다.
○ 상기 실시예에서는 전기 광학 장치를 유기 EL 디스플레이(1)로 구체화했지만, 이에 한정되는 것이 아니고, 예를 들면, 액정 모니터 등일 수도 있고, 또는 평면 형상의 전자 방출 소자를 구비하고, 동일 소자로부터 방출된 전자에 의한 형광물질의 발광을 이용한 전계 효과형 표시 장치(FED나 SED등)일 수도 있다. 동일하게, 전기 광학 소자로서는 유기 일렉트로루미네선스 소자, 액정, 전자 방출 소자일 수도 있다.
이상의 설명에 따르면, 본 발명은 밀봉 부재에 의한 보호를 충분히 받을 수 있게 하여, 검사 회로를 주위 환경으로부터 보호할 수 있는 전기 광학 장치를 제공할 수 있다.

Claims (11)

  1. 기판의 표시 영역에, 복수의 주사선, 복수의 데이터 선, 이들 주사선과 데이터 선의 교차부에 대응하여 설치된 전기 광학 소자를 포함하는 복수의 단위 회로를 형성하는 동시에, 상기 표시 영역에 형성한 복수의 화소 회로의 전기 광학 소자를 밀봉하는 밀봉 부재를 상기 기판에 접착한 전기 광학 장치에 있어서,
    상기 기판과 상기 밀봉 부재를 접착하는 접착 영역과 상기 표시 영역의 사이에, 검사 회로를 형성한 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 검사 회로는 상기 복수의 데이터 선의 각각에 검사 데이터 신호를 공급하는 데이터 선 제어용 검사 회로부 및 상기 복수의 주사선의 각각에 검사용의 선택 신호를 선택적으로 공급하기 위한 주사선 제어용 검사 회로부의 적어도 어느 한쪽을 구비한 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 데이터 선 제어용 검사 회로부는,
    검사 모드 신호를 공급하는 검사 모드 신호 공급선과,
    검사 데이터 신호를 공급하는 검사 데이터 신호 공급선과,
    상기 검사 데이터 신호 공급선과 상기 복수의 데이터 선의 각각의 사이에 설 치되어, 상기 검사 모드 신호에 의거하여 상기 검사 데이터 신호를 각각 대응하는 상기 데이터 선에 공급하는 트랜지스터
    를 구비한 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 검사 모드 신호 공급선 및 상기 검사 데이터 신호 공급선은 각각 상기 기판의 네 모서리 중 어느 것인가의 모서리부에 형성한 검사용 외부 단자와 전기적으로 접속된 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 주사선 제어용 검사 회로부는,
    검사용의 선택 신호를 공급하는 선택 신호 공급선과,
    검사용의 클록 신호를 공급하는 클록 신호 공급선과,
    검사 모드 신호를 공급하는 검사 모드 신호 공급선과,
    상기 복수의 데이터 선의 각각에 대응하여 설치되어, 상기 선택 신호를 상기 클록 신호에 응답하여 일방(一方)으로부터 타방(他方)으로 시프트하여 대응하는 주사선에 출력하는 시프트 레지스터
    를 구비하고, 상기 검사 모드 신호에 의거하여, 상기 선택 신호를 주사선에 공급하는 트랜지스터를
    구비한 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 선택 신호 공급선, 상기 클록 신호 공급선 및 상기 검사 모드 신호 공급선은 각각 상기 기판의 네 모서리 중 어느 것인가의 모서리부에 형성한 검사용 외부 단자와 전기적으로 접속된 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  7. 기판의 표시 영역에, 각각 선택 신호가 공급되는 복수의 주사선, 각각 데이터 신호가 공급되는 복수의 데이터 선, 이들 주사선과 데이터 선의 교차부에 대응하여 설치된 전기 광학 소자를 포함하는 복수의 단위 회로를 형성하고, 상기 표시 영역에 인접한 위치에 검사 회로를 형성하는 동시에, 상기 표시 영역에 형성한 복수의 단위 회로를 밀봉하는 밀봉 부재를 상기 기판에 접착한 전기 광학 장치에 있어서,
    상기 복수의 주사선의 각각에 전기적으로 접속되어, 상기 선택 신호가 공급되는 복수의 선택 신호 입력 단자와,
    상기 복수의 데이터 선의 각각에 전기적으로 접속되어, 상기 데이터 신호가 공급되는 복수의 데이터 신호 입력 단자를 가지며,
    상기 복수의 선택 신호 입력 단자는 상기 기판의 제 1 변(邊)에 설치되고,
    상기 복수의 데이터 신호 입력 단자는 상기 기판의 상기 제 1 변과는 다른 제 2 변(邊)에 설치되고,
    상기 검사 회로를 위한 검사용 외부 단자를, 상기 밀봉 부재와 상기 기판을 접착하는 접착 영역보다 외측으로서, 상기 기판의 상기 제 1 변과 상기 제 2 변이 교차하는 코너부에 형성한 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  8. 삭제
  9. 기판의 표시 영역에, 각각 선택 신호가 공급되는 복수의 주사선, 각각 데이터 신호가 공급되는 복수의 데이터 선, 이들 주사선과 데이터 선의 교차부에 대응하여 설치된 전기 광학 소자를 포함하는 복수의 단위 회로를 형성하고, 상기 표시 영역에 인접한 위치에 검사 회로를 형성한 전기 광학 장치에 있어서,
    상기 표시 영역에 형성한 복수의 단위 회로를 밀봉하는 밀봉 부재와 상기 기판을 접착하는 접착 영역을 갖고 있고,
    얼라인먼트 마크와 겸용하는 상기 검사 회로를 위한 복수의 검사용 외부 단자를, 상기 접착 영역보다 외측에 형성한 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 복수의 검사용 외부 단자는 상기 기판의 코너부에 형성한 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 복수의 검사용 외부 단자는 상기 기판의 각 코너부에 형성되고, 각 코너부의 변을 따라 배치 형성한 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
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