JPH01130132A - アクティブマトリクス基板 - Google Patents

アクティブマトリクス基板

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JPH01130132A
JPH01130132A JP62288651A JP28865187A JPH01130132A JP H01130132 A JPH01130132 A JP H01130132A JP 62288651 A JP62288651 A JP 62288651A JP 28865187 A JP28865187 A JP 28865187A JP H01130132 A JPH01130132 A JP H01130132A
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JP
Japan
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lines
signal lines
matrix substrate
active matrix
short circuit
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Yojiro Matsueda
洋二郎 松枝
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Seiko Epson Corp
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Seiko Epson Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はアクティブマトリクス基板の構成に関する。
〔従来の技術〕
従来のアクティブマトリクス基板は「日経エレクトロニ
クス　１９８４年　８月１０日号　Ｐ。
２１１−２４０Ｊに、示されるようなものであった。第
２図はその代表的な構成を示す図であり、マトリクス状
の信号ａｘ、、ｘ、、ｘ、及び走査ＩＣＹ、、Ｙ、、Ｙ
ｓと、それらの交点に配置されるＴＦＴ１２及び画素電
極１３とから成る。この基板状通で配線間の短絡や配線
の断線を検出するには、それぞれの信号線と走査線上に
設けられた駆動用パッド１４にプローブ針１５を接触さ
せる必要がある。
〔発明が解決しよう°とする問題点〕
しかし、前述の従来技術には以下に述べるような問題点
がある。すなわち、高精細な画面を得るために画素数を
増加させると前述のプローブ針の数が増大し、ピッチは
小さくなり、−枚のプローブカードで構成するのはほと
んど不可能となる。
一方、高精細になれば歩留まりは低下するため、検査を
欠かすことはできない。
本発明はこのような問題点を解決するものであり、その
目的とするところは、多数のプローブ針を接触させずに
短時間で正確に配線間の短絡や配線の断線を検出できる
ようなアクティブマトリクス基板を実現することにある
。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明のアクティブマトリクス元板は、絶縁基板上に、
ＴＦＴによって構成される検査回路を有し、信号線及び
走査線の全数または一部が前記検査回路に接続され、前
記検査回路は切断して分ばてきることを特徴とする。
〔作用〕
本発明の上記の構成によれば、信号線や走査線に直接プ
ローブ針を接触させる代わりに、検査回路を用いて配線
間の短絡や配線の断線を短時間で正確に検出することが
できる。
〔実施例〕
第１図は本発明の一実施例゛を示すアクティブマトリク
ス基板の平面図の例である。Ｘ１＊Ｘ１＊Ｘ、は信号線
、Ｙ、、Ｙ、、Ｙ、は走査線で、それらの交点にＴＦＴ
２と画素′ｒｒＬ極３とか配置されている。本実施例に
おいては信号線と走査線がそれぞれ検査回路７及び８に
接続されているので、信号線と走査線間の短絡や隣接ラ
イン間の短絡等を短時間で正確に検出できる。必要に応
じで短絡部分をレーザートリミングにより切断した後、
ダイシングライン６にそってグイシングして検査回路７
，８を分離する。このアクティブマトリクス基板と数μ
ｍの空間を介して対向基板を向かい合わせて固定し、そ
の空間に液晶を封入する。そして、駆動用パッド４にド
ライバーＩＣを実装するとアクティブマトリクスパネル
となる。断線や、修正によって切断された部分について
は、配線の終端部に、外部から信号を与えることで修正
できる。
第３図は他のアクティブマトリクス基板の平面図の例で
ある。この例では１本おきに駆動用ノ（ラド４があり、
奇数列の信号線は上側、偶数列の信号線は下側のドライ
バーで駆動する。同様に奇数行の走査線は左側、偶数行
の走査線は右側のドライバーで駆動する。２はＴＦＴ１
３は画素電極、６はダイシングラインで７．８，９．１
０は検査回路である。この例では配線の両端に検査回路
があるので、配線の断線についても検出できる。例えば
信号線に関しては７と９の検査回路を、走査線に関して
は８と１０の検査回路を同時に動作させて断線及び隣接
ライン間の短絡を検出できる。
信号線と走査線間の短絡については７または９の検査回
路と、８または１０の検査回路の組み合わせで検出でき
る。一方、この例では検査回路に冗長性を持たせである
ため、仮にいずれかの検査回路に不良を生じても、反対
側の検査回路が正常であれば短絡に関する不良は検出で
きる。
第４図は、信号線と画素ＴＦＴに冗長性を持たせたアク
ティブマトリクス基板の平面図の例であり、不良部分を
検出、修正することにより無欠陥の画面を得ることがで
き、キャラクタなどのデータ表示用に適している。信号
ａＸ、とＸ、、Ｘ。
トＸａ　、　　Ｘ、トＸｓ　、　Ｘｓ　Ｍ　−１トＸｚ
　Ｍトハ対になっており、各画素電極３は２つのＴＦＴ
２を介して対をなす信号線に接続されている。走査線Ｙ
１．Ｙ−、Ｙｓ　、ＹＮはそれぞれ左右の検査回路８，
１０に接続され、駆動用パッド４は１本おきに配置され
ている。この例では奇数番目の信号線は検査回路７に、
偶数番目の信号線は検査回路８に接続されているが、検
査回路にも冗長性を持たせて各信号線の両端を検査回路
７及び８に接続することもできる。不良部分を検出した
後、走査線と短絡している信号線は、短絡部分の前後で
信号線を切断し、電極間の短絡したＴＦＴは配線から切
断する。ダイシングライン６にそって検査回路７，８，
９．１０を分離した後、対をなす信号線には同じ信号が
与えられるようにドライバーＩＣを実装する。具体的に
は、対をなす信号線の入出力端がドライバーを実装する
際に短絡されるようにする。例えば信号１！Ｘ、、！−
Ｘ、はドライバーの；Ｉ！装される上側の駆動用パッド
４で短絡され駆動されるが、ドライバーの実装されない
下側の修正用パッド５も短絡しておけば、この２本の信
号線の巾で１ケ所の断線があっても不良とならずにすむ
。したがって重連のように短絡部の上下で信号線を切断
しても不良とはならない。また、各画素のＴＦＴのうち
片方のＴＦＴを切断しても、もう一方のＴＦＴが正常で
あれば正規の信号を与えることができるため画素欠陥と
ならない。この例では信号線と画素ＴＦＴに冗長性を持
たせたが、同様に走査線と画素ＴＦＴに冗長性を持たせ
ることもできる。
第５図は検査回路の例であり、シフトレジスタ２１とス
イッチ２２によって走査線または信号線を１本ずつ選択
できる。この検査回路を２つ同時に用いて、片方の入出
力端子２３に適当な信号を与え、もう一方の入出力端子
２３に検出器を接続して不良部分のアドレスを求めるこ
とができる。
第６図（ａ）は走査線と信号線間の短絡部分を、第６図
（ｂ）は配線の断線部分を、第６図（Ｃ）は隣接ライン
間の短絡部分を求める具体的な方法の例を示す図である
。
〔発明の効果〕
以上述べたように本発明のアクティブマトリクス基板は
、信号線や走査線に直接プロービングすることなく配線
間の短絡や断線を短時間で正確に検出することができる
。しかも検査回路は同一基板上にＴＦＴで構成するため
、工程数は増やすことなく作製することができる。また
検査回路の占める面積は小さいため、チップ面積の増加
も２〜５％程度と少ない。一方、高精細な画面を得るた
めには画素数と画素密度の増大が必須だが、従来の方法
では、プローブカードの値段が非常に高価なものとなり
、また微細なピッチでプローブピンを配置するのは極め
て困難であったが、本発明はこのような制約もな（簡単
に高精細化が可能である。しかも、パッドにピンを接触
させることがないため、実装パッドに傷がついて信頼性
を低下させることもない。
このように本発明によれば、短時間で正確に不良部分を
検出することができ、低コストで高精細なアクティブマ
トリクス基板が実現できる。
【図面の簡単な説明】
第１図、第３図、第４図はアクティブマトリクス基板の
平面図。 第２図は従来のアクティブマトリクス基板の構造と検査
方法を示す図。 第５図は検査回路の構成を示す図。 第６図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は不良部分の検出方法を
示す図。 ２．１２・・・ＴＦＴ ３．１３・・・画素電極 ４．１４・・・駆動用パッド ５・・・修正用パッド ６・・・ダイシングライン ７．８，９．１０・・・検査回路 以　　上 出願人　セイコーエプソン株式会社 ／亭馬ｊｔＥ用１マツＹ　　ツタ　Ｔロ゛フ゛（ヤＸ１
．×１．Ｘｉ　　−−−−４す（、色菜Ｙ、Ｙエ　Ｙ３
−−−−受玉、壕 ゾ　　っ　１−７１ ’Ｉ＋、Ｘｘ、Ｘ１．ＸＨ−−−−＾５号４はＹ’＋　
、　Ｙ、、　４　　ＹＡ／　−−−−ｉｆ！朱芋３瓢 葛　ヂ図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）絶縁基板上に、複数の信号線、走査線、及びそれ
    らの交点に設けられた薄膜トランジスタ（以下ＴＦＴと
    略記）と画素電極とを備えて成るアクティブマトリクス
    基板において、前記絶縁体基板上にＴＦＴによって構成
    される検査回路を有し、前記信号線及び走査線の全数ま
    たは一部が前記検査回路に接続され、前記検査回路は切
    断して分離できることを特徴とする、アクティブマトリ
    クス基板。
  2. （２）前記検査回路は、シフトレジスタとスイッチある
    いはシフトレジスタのみで構成され、前期信号線および
    走査線の線間短絡や断線を検出することを特徴とする特
    許請求の範囲第１項記載のアクティブマトリクス基板。
  3. （３）前記画素電極１個に対して複数のＴＦＴが接続さ
    れ、前記ＴＦＴと前記画素電極間、前記ＴＦＴと前記信
    号線間、前記ＴＦＴと前記走査線間のいずれかの接続部
    を必要に応じで独立に切断できるように構成した事を特
    徴とする特許請求の範囲第２項記載のアクティブマトリ
    クス基板。
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