KR100727724B1

KR100727724B1 - 접속용 기판, 접속 구조, 접속 방법, 전기 광학 장치 및전자 기기

Info

Publication number: KR100727724B1
Application number: KR1020050070703A
Authority: KR
Inventors: 도모나가 고바야시
Original assignee: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date: 2004-08-05
Filing date: 2005-08-02
Publication date: 2007-06-13
Also published as: CN1744375B; TW200618233A; TWI280651B; CN1744375A; JP2006073994A; US20060027909A1; KR20060049043A; US7544897B2

Abstract

접속용 기판은, 제 1 도전부와, 절연층과, 제 2 도전부를 갖고, 상기 제 1 도전부와 상기 제 2 도전부가 절연층을 사이에 두고 대향하여 마련되고, 상기 제 1 도전부 및 상기 제 2 도전부 중 어느 한쪽의 상기 도전부의 단부가, 다른 쪽의 상기 도전부의 단부 및 상기 절연층의 단부로부터 연장되어 마련되어 있다.

Description

접속용 기판, 접속 구조, 접속 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기{CONNECTING SUBSTRATE, CONNECTING STRUCTURE, CONNECTION METHOD, ELECTRO OPTICAL DEVICE, AND ELECTRONIC APPARATUS}

도 1은 본 발명의 액정 표시 장치를 모식적으로 나타내는 사시도,

도 2(a), 도 2(b)는 실시예 1의 마이크로 스트라이프 라인의 구조를 나타내는 도면,

도 3(a), 도 3(b)는 동 마이크로 스트라이프 라인과 TFT 어레이 기판의 접속 구조를 나타내는 평면도 및 단면도,

도 4는 마이크로 스트라이프 라인의 형성 방법을 나타내는 평면도,

도 5(a), 도 5(b)는 실시예 2의 마이크로 스트라이프 라인과 TFT 어레이 기판의 접속 구조를 나타내는 평면도 및 단면도,

도 6(a), 도 6(b)는 실시예 3의 마이크로 스트라이프 라인과 TFT 어레이 기판의 접속 구조를 나타내는 평면도 및 단면도,

도 7(a), 도 7(b)는 실시예 4의 마이크로 스트라이프 라인의 구조를 나타내는 도면,

도 8(a), 도 8(b)는 동 마이크로 스트라이프 라인과 TFT 어레이 기판의 접속 구조를 나타내는 평면도 및 단면도,

도 9는 실시예 5의 복수의 마이크로 스트라이프 라인과 TFT 어레이 기판의 접속 구조를 나타내는 단면도,

도 10(a)∼도 10(d)는 동 접속 구조의 각 층의 단면 구조를 나타내는 도면,

도 11는 실시예 6의 마이크로 스트라이프 라인끼리의 접속 구조를 나타내는 단면도,

도 12는 실시예 6의 변형예의 마이크로 스트라이프 라인끼리의 접속 구조를 나타내는 단면도,

도 13은 본 발명의 전자 기기의 일례를 나타내는 사시도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

100 : 액정 표시 장치 10 : 마이크로 스트라이프 라인

본 발명은 접속용 기판, 접속 구조, 접속 방법 및 전자 기기에 관한 것이다.

본원은 2004년 8월 5일에 출원된 일본국 특허 출원 제2004-228995호 및 2005년 5월 30일에 출원된 일본국 특허 출원 제2005-157057호에 대하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.

종래부터, 플렉서블 기판을 액정 패널에 접속하는 경우, 플렉서블 기판 상에 형성된 배선과, 플렉서블 기판의 배선에 대응하는 액정 패널 상의 위치에 형성된 전극 단자를 전기적으로 접속함으로써, 플렉서블 기판에 탑재된 구동용 IC 등으로부터의 신호를 액정 패널측에 전송하는 방법이 이용되고 있다.

그런데, 최근, 액정 표시 장치 등의 전자 기기는, 정보량의 증대, 처리 속도의 향상 등으로 인해, 동작 주파수가 고주파화되는 경향이 있고, 대용량이면서 고속으로 신호를 전송하는 것이 요구되고 있다. 이러한 상황 하에서, 상술한 바와 같은 플렉서블 기판에 형성한 배선과 액정 패널 상에 형성된 전극 단자를 접속하는 방법에서는, 전송하는 신호의 고주파화에 따라서, 인덕터 성분 등으로 인한 특성 임피던스의 부정합이 플렉서블 기판의 배선에 발생하고, 이에 따라 전송하는 신호가 열화되어 버린다고 하는 문제가 있었다.

그래서, 상술한 바와 같은, 고주파의 신호를 전송하는 수단으로서, 마이크로 스트라이프 라인, 스트라이프 라인 등이 널리 이용되고 있다. 마이크로 스트라이프 라인이란, 예컨대, 회로 기판의 능동면에 신호선을 형성함과 동시에, 절연층을 거쳐 신호선에 대향시켜 플랫 형상의 그라운드선을 형성한 것으로서, 소망하는 임피던스 특성을 설정할 수 있는 구조를 갖고 있다. 또한, 스트라이프 라인이란, 예컨대 회로 기판 내층에 신호선을 형성함과 동시에, 절연층을 사이에 두고 신호선을 플랫 그라운드선으로 유지하는 구조로, 소망하는 임피던스 특성을 설정할 수 있는 구조를 갖고 있다.

이러한, 스트라이프 라인을 이용한 접속 구조로서는, 스트라이프 라인의 단말부에 신호선을 노출시키는 절단부를 마련하고, 이 노출된 신호선을 소망하는 기 판에 접촉시켜, 스트라이프 라인과 기판을 접속하는 구조가 개시되어 있다(예컨대, 일본국 특허 공개 평성6-325836호 공보).

그러나, 일본국 특허 공개 평성6-325836호 공보에 개시된 접속 구조에서는, 스트라이프 라인을 구성하는 신호선을 접속하는 기판의 능동면에 접속하고, 접속하는 기판의 이면에 그라운드선을 접속하고 있다. 그 때문에, 접속 공정에서 기판의 양면에 대하여 처리하여 상기 스트라이프 라인을 접속해야만 된다. 또한, 스트라이프 라인을 기판에 접속할 때는, 스트라이프 라인의 신호선과 기판의 표면에 형성되는 전극 단자, 그라운드선과 기판의 이면에 형성되는 전극 단자를 각각 위치 정렬하여 접속해야만 한다. 이와 같이, 일본국 특허 공개 평성6-325836호 공보에 개시된 접속 구조에서는 접속 공정이 복잡해지는 문제가 있었다. 또한, 일본국 특허 공개 평성6-325836호 공보와 같은 접속 구조에서는, 마이크로 스트라이프 라인, 스트라이프 라인 등의 기판의 표리, 또는 기판이 다른 내층에 형성되어 있는 신호선과 플랫 그라운드선을 접속하는 경우를 고려하고 있지 않아, 이후 신호가 고속화된 경우, 배선의 인덕터 성분이 문제가 될 것으로 생각된다.

본 발명은, 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은, 마이크로 스트라이프 라인, 스택드 페어 라인, 스트라이프 라인 등의 임피던스 제어 배선과 접속되는 기판의 접속 공정의 간략화 및 고속으로 양질의 신호를 전송할 수 있는 접속용 기판, 접속 구조, 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공하는 데 있다.

본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해서, 제 1 도전부와, 절연층과, 제 2 도전부를 갖고, 상기 제 1 도전부와 상기 제 2 도전부가 절연층을 사이에 두고 대향하여 마련되고, 상기 제 1 도전부 및 상기 제 2 도전부 중 어느 한쪽의 상기 도전부의 단부가, 다른 쪽의 상기 도전부의 단부 및 상기 절연층의 단부로부터 연장되어 마련되어 있는 접속용 기판을 제공한다.

본 발명의 접속용 기판은, 제 1 도전부와 제 2 도전부와 이들 도전부 사이에 유지된 절연층을 구비한, 이른바 마이크로 스트라이프 라인 구조를 갖는 전송 매체이다. 그리고, 상기 제 1 도전부 및 제 2 도전부 중 어느 한쪽 도전부는, 기준 전위를 정하는 도전부로서 기능하고 있다.

본 발명에 있어서, 제 1 기판과 제 2 기판의 접속 수단으로서, 이른바 마이크로 스트라이프 라인을 사용하고 있다. 따라서, 마이크로 스트라이프 라인의 제 1 도전부 또는 제 2 도전부 중 어느 한쪽의 두께, 폭, 및 절연층의 두께를 조정함으로써, 제 1 도전부 또는 제 2 도전부에 발생하는 특성 임피던스를 제어할 수 있다. 또한, 마이크로 스트라이프 라인의 제 1 도전부 또는 제 2 도전부 중 어느 한쪽은, 다른 도전부 및 절연층보다 연장되어 형성되어 있다. 따라서, 제 1 기판과 제 2 기판을 접속했을 때, 제 1 기판의 능동면에서, 마이크로 스트라이프 라인의 제 1 도전부 또는 제 2 도전부 중, 신호 배선의 접속부까지 특성 임피던스를 정합시킬 수 있다. 이에 따라, 신호 파형의 만곡화를 억제할 수 있어, 보다 고속으로 양질의 신호를 전송할 수 있다.

또한 본 발명은, 기판과, 제 1 도전부와, 제 2 도전부를 갖고, 상기 제 1 도전부와 상기 제 2 도전부가 상기 기판을 사이에 두고 대향하여 마련되고, 상기 제 1 도전부 및 상기 제 2 도전부 중 어느 한쪽의 상기 도전부의 단부가, 다른 쪽의 상기 도전부의 단부 및 상기 기판의 단부로부터 연장되어 마련되어 있는 접속용 기판을 제공한다.

본 발명에 있어서, 제 1 기판과 제 2 기판의 접속 수단으로서, 상기 마이크로 스트라이프 라인을 사용하고 있다. 따라서, 마이크로 스트라이프 라인의 제 1 도전부 또는 제 2 도전부 중 어느 한쪽의 두께, 폭, 및 절연층의 두께를 조정함으로써, 제 1 도전부 또는 제 2 도전부에 발생하는 특성 임피던스를 제어할 수 있다. 이에 따라, 신호 파형의 만곡화를 억제할 수 있어, 보다 고속으로 양질의 신호를 전송할 수 있다.

또한 본 발명에 있어서, 상기 제 1 도전부 및 제 2 도전부 중 어느 한쪽이 상기 기판 상에 플랫 형상으로 마련되어 있더라도 좋다.

이러한 구성에 의하면, 기판 상에 플랫 형상으로 마련되기 때문에, 제 1 도전부 및 제 2 도전부 중 어느 한쪽을 예컨대, 스트라이프 형상 등으로 형성할 필요가 없고, 제조 공정의 생략화를 도모할 수 있다.

또한 본 발명은, 신호 배선과, 절연체와, 그라운드선을 갖고, 상기 신호 배선과 상기 그라운드선이 상기 절연체을 사이에 두고 대향하여 마련되고, 상기 그라운드선의 단부가 상기 신호 배선의 단부 및 상기 절연체의 단부로부터 연장되어 마련되어 있는 접속용 기판을 제공한다.

그라운드선의 단부가 신호선의 단부보다 연장되어 마련되어 있기 때문에, 연장되어 마련된 그라운드선의 단부까지, 신호선의 인덕터 성분, 콘덴서 성분 등에 의한 특성 임피던스를 정합할 수 있다. 따라서, 인덕터 성분 등에 의해 발생하는 신호 파형의 만곡화를 억제할 수 있다. 이 결과, 보다 고속으로 양질의 신호를 전송할 수 있고, 고선명이면서 신호 응답성의 향상을 도모할 수 있기 때문에, 표시 품질의 향상을 도모할 수 있다.

본 발명은, 제 1 기판과, 제 2 기판과, 상기 제 2 기판의 한쪽 면에 마련된 제 1 도전부와, 상기 제 2 기판의 다른 쪽 면에 제 1 도전부의 단부 및 상기 제 2 기판의 단부보다 연장되어 마련된 제 2 도전부와, 상기 제 1 기판의 능동면 또는 상기 제 2 기판의 상기 제 1 도전부 또는 상기 제 2 도전부에 마련된 제 1 볼록부와, 상기 제 1 볼록부보다 높게 마련된 제 2 볼록부를 구비하고, 상기 제 1 도전부와 상기 제 1 볼록부가 접속되고, 상기 제 2 도전부와 상기 제 2 볼록부가 접속되어 있는 접속 구조를 제공한다.

제 2 기판에 마련된 제 2 도전부는 제 1 도전부보다 연장되고, 제 1 기판 또는 제 2 기판의 도전부에 마련된 제 2 볼록부는 제 1 볼록부보다 높게 마련되어 있다. 그 때문에, 제 1 기판의 능동면에 제 1 도전부와 제 2 도전부의 양 도전부를 동시에 접속할 수 있다. 이에 따라, 접속 공정에서, 제 2 기판의 한쪽 면(편면)만을 처리함으로써 제 1 기판에 접속할 수 있다. 또한, 제 1 기판의 한쪽 면에 제 2 기판을 접속하기 때문에, 제 1 및 제 2 도전부를 제 1 기판의 제 1 및 제 2 볼록부의 각각에 접속할 때의 위치 정렬이, 제 1 기판의 양면에 대하여 실행하는 경우와 비교하여 용이해진다. 또한, 제 2 기판의 제 2 도전부는 제 1 도전부 및 절연층으로부터 연장되어 형성되어 있다. 따라서, 제 1 기판과 제 2 기판을 접속했을 때, 제 1 기판의 능동면에서, 마이크로 스트라이프 라인의 제 2 도전부의 연장되는 단부까지, 특성 임피던스를 정합시킬 수 있다. 이에 따라, 신호 파형의 만곡화를 억제할 수 있어, 보다 고속으로 양질의 신호를 전송할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 제 1 볼록부의 높이와 상기 제 2 볼록부의 높이가 거의 같게 형성되어 있더라도 좋다.

이러한 구성에 의하면, 제 1 볼록부와 제 2 볼록부를 동일 공정에 의해 형성할 수 있다. 따라서, 제조 공정이 간략화되기 때문에, 제조 시간을 단축할 수 있는 동시에, 제조 비용을 억제할 수 있다.

본 발명은, 제 1 기판과, 제 2 기판과, 상기 제 2 기판의 한쪽 면에 마련된 제 1 도전부와, 상기 제 2 기판의 다른 쪽 면에 마련된 제 2 도전부와, 상기 제 1 기판의 능동면 또는 상기 제 2 기판의 상기 제 1 도전부 또는 상기 제 2 도전부에 마련된 제 1 볼록부 및 제 2 볼록부를 구비하고, 상기 제 1 도전부와 상기 제 1 볼록부가 접속되고, 상기 제 2 기판의 두께 방향의 관통 구멍에 충전된 도전체를 거쳐서 상기 제 2 도전부와 상기 제 2 볼록부가 전기적으로 접속되어 있는 접속 구조를 제공한다.

이러한 구성에 의하면, 제 2 기판의 제 1 도전부 및 제 2 도전부 중 어느 한쪽을 연장하여 형성할 필요가 없기 때문에, 제조 공정이 용이해진다. 또한, 제 2 기판의 두께 방향의 관통 구멍에 충전된 도전체를 거쳐서 제 2 도전부와 제 2 볼록 부가 접속되어 있기 때문에, 제 1 기판의 능동면에 제 1 도전부와 제 2 도전부의 양 도전부를 동시에 접속할 수 있다. 이에 따라, 접속 공정에서, 제 2 기판의 한쪽 면(편면)만을 처리함으로써 제 1 기판에 접속할 수 있다. 또한, 제 2 기판의 제 2 도전부는, 제 1 도전부보다 연장되어 있기 때문에, 제 2 기판의 제 2 도전부의 단부까지, 인덕터 성분, 콘덴서 성분 등에 의한 특성 임피던스를 정합할 수 있다. 따라서, 제 2 기판측에서 공급되는 소정 신호를, 특성 임피던스의 부정합에 의해 발생하는 신호 파형의 만곡화로부터 억제할 수 있다. 이 결과, 보다 고속으로 양질의 신호를 전송할 수 있어, 고선명이면서 고휘도로 표시 품질의 향상을 도모할 수 있다.

또한 본 발명에 있어서, 상기 접속 구조는 상기 제 1 기판의 한쪽 면에 마련된 제 3 도전부와, 상기 제 1 기판의 다른 쪽 면에 마련되고, 제 1 도전부의 단부 및 상기 제 1 기판의 단부보다 연장된 제 4 도전부를 더 갖고, 상기 제 3 도전부가 상기 제 2 기판에 마련된 상기 제 1 도전부와 접속되고, 상기 제 4 도전부가 상기 제 2 기판에 마련된 제 2 도전부와 접속되어 있더라도 좋다.

이러한 구성에 의하면, 제 1 기판과 제 2 기판을 접속하는 양 배선을, 이른바 마이크로 스트라이프 라인 구조를 갖는 배선으로 할 수 있다. 그 때문에, 제 1 기판의 제 3 도전부 및 제 4 도전부, 제 2 기판의 제 1 도전부 및 제 2 도전부의 인덕턴스 성분, 콘덴서 성분 등에 의한 특성 임피던스를 제 1 기판의 제 3 및 제 4 도전부가 접속되는 전자 부품까지 정합시킬 수 있다. 따라서, 제 2 기판측에만 마이크로 스트라이프 라인 구조를 갖는 배선을 이용한 경우와 비교하여, 보다 고속으 로 양질의 신호를 전송할 수 있어, 표시 품질이 향상된 전기 광학 장치를 제공할 수 있다.

본 발명은, 상기 제 1 기판 상에 복수의 상기 접속용 기판이 적층되어 있더라도 좋다. 이러한 구성에 의하면, 상기 접속용 기판(마이크로 스트라이프 라인)을 복수 적층한 경우에도, 마이크로 스트라이프 라인의 제 1 도전부 또는 제 2 도전부 중 어느 한쪽은, 다른 도전부 및 절연층보다 연장되어 형성된다. 따라서, 연장된 도전부의 단부까지 특성 임피던스를 정합시킬 수 있다. 이에 따라, 신호 파형의 만곡화를 억제할 수 있어, 보다 고속으로 양질의 신호를 전송할 수 있다.

또한 본 발명은, 제 2 기판의 한쪽 면에 제 1 도전부를 마련하는 공정과, 상기 제 2 기판의 다른 쪽 면에 상기 제 1 도전부 및 상기 제 2 기판의 단부보다 연장된 제 2 도전부를 마련하는 공정과, 제 1 기판의 능동면 또는 상기 제 2 기판의 상기 제 1 도전부 또는 상기 제 2 도전부에 제 1 볼록부를 마련함과 동시에, 상기 제 1 볼록부보다 높게 제 2 볼록부를 마련하는 공정과, 상기 제 1 도전부와 상기 제 1 볼록부를 접속하여, 상기 제 2 도전부와 상기 제 2 도전부를 접속하는 공정을 포함하는 접속 방법을 제공한다.

이러한 접속 방법에 의하면, 접속 공정에서, 제 2 기판의 한쪽 면(편면)을 처리하여 제 1 기판에 접속할 수 있다. 또한, 제 1 기판의 한쪽 면(편면)에 대하여 제 2 기판을 접속하기 때문에, 제 1 기판의 양면에 접속하는 경우와 비교하여, 접속 시의 위치 정렬이 용이해진다. 또한 제 1 기판 상에 연장되어 마련된 제 2 기판의 제 1 또는 제 2 도전부의 단부까지, 제 1 또는 제 2 도전부의 인덕터 성분, 콘덴서 성분 등에 의한 특성 임피던스를 정합할 수 있다. 따라서, 제 2 기판측으로부터 공급되는 소정 신호를, 상기 인덕터 성분 등에 의해 발생하는 소정 신호 파형의 만곡화를 억제할 수 있다. 이 결과, 보다 고속으로 양질의 신호를 전송할 수 있어, 표시 품질의 향상을 도모할 수 있다.

본 발명은, 상기 접속 구조를 구비하는 전기 광학 장치이다. 또한, 본 발명은, 상기 전기 광학 장치를 구비하는 전자 기기이다. 본 발명에 의하면, 고선명이면서 고휘도로 표시 품질이 우수한 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시예에 관하여 도면을 참조하여 설명한다. 또, 이하의 설명에 이용하는 각 도면에서는, 각 부재를 인식 가능한 크기로 하기 때문에, 각 부재의 축척을 적절히 변경하고 있다.

(실시예 1)

(액정 표시 장치)

도 1은 본 실시예의 액정 표시 장치(100)의 구성을 모식적으로 나타내는 사시도이다. 도 1에 도시하는 바와 같이 액정 표시 장치(100)는, 액정 패널(110)과, 이 액정 패널(110)에 접속되는 플렉서블 기판(123)(제 2 기판)을 구비하고 있다.

액정 패널(110)은, 복수의 스위칭 소자 및 배선 등(도시 생략)이 형성되는 TFT 어레이 기판(111)(제 1 기판)과, 이 TFT 어레이 기판(111)에 대향하여 배치되는 대향 기판(112)을 구비하고 있다. 그리고, TFT 어레이 기판(111)과 대향 기판 (112) 사이에는, 액정(도시 생략)이 봉입되어 있다.

TFT 어레이 기판(111)은, 대향 기판(112)보다 큰 기판을 사용하고 있고, TFT 어레이 기판(111)과 대향 기판(112)을 대향하여 배치한 경우에, TFT 어레이 기판(111)의 주연부가 연장되도록 접합되어 있다. 본 실시예에서는, 이 TFT 어레이 기판(111)이 연장된 영역을 연장 영역(114)이라 한다.

TFT 어레이 기판(111)에는, 스위칭 소자인 복수의 TFT, TFT에 접속되는 화소 전극 등이 형성되어 있다. 상기 TFT는 주사선 등의 배선에 접속되고, 이들 배선이 연장 영역(114)에 라우팅되어 형성되어 있다. 그리고, 이들 배선은, 연장 영역(114)에 형성되는 복수의 돌기 형상 전극(도시 생략)을 거쳐서 플렉서블 기판(123)에 접속되어 있다.

플렉서블 기판(123)은, 무연 땜납, 이방성 도전막(Anisotropic Conductive Film : 이하 ACF라 칭함) 등을 거쳐서 TFT 어레이 기판(111)의 연장 영역(114)에 접속되어 있다. 구체적으로는, 플렉서블 기판(123)에 형성되는 마이크로 스트라이프 라인(10)과, TFT 어레이 기판(111)의 마이크로 스트라이프 라인(10)에 대응하는 위치에 형성되는 돌기 형상 전극이 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 플렉서블 기판(123) 상에는 전자 부품인 IC 또는 LSI 등의 액정 구동용 소자(35)가 탑재되어 있다. 본 실시예에 있어서, 액정 구동용 소자(35)는 후술하는 마이크로 스트라이프 라인(10)의 신호선(14)과 접속되기 때문에, 도 1에 도시하는 바와 같이 플렉서블 기판(123)의 이면에 탑재되어 있다. 이와 같이, 액정 구동용 소자(35)로부터 마이크로 스트라이프 라인(10)을 거쳐서, 제어 신호, 영상 신호 등의 소정 신호가 TFT 어레이 기판(111)에 형성되는 배선에 공급되어, 액정 구동용의 구동 신호가 각 화소에 출력되게 되어 있다.

(마이크로 스트라이프 라인의 구조)

이하에, 본 실시예에 따른 마이크로 스트라이프 라인(10)의 구조에 대하여 도 2(a), 도 2(b)를 참조하여 설명한다. 도 2(a)는 본 실시예에 따른 마이크로 스트라이프 라인(10)의 구조를 나타낸 사시도이다. 또한, 도 2(b)는 도 2(a)의 A-A`선에 따른 단면도이다. 또, 이하의 설명에 있어서, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 TFT 어레이 기판(111)의 접속측을 단지 접속측 또는 단부로서 설명하고 있다.

도 2(a)에 도시하는 바와 같이 마이크로 스트라이프 라인(10)은, 그라운드선(12)과, 이 그라운드선(12)에 대향하여 배치 형성된 신호선(14)(제 1 도전부)과, 그라운드선(12)(제 2 도전부)과 신호선(14)이 사이에 유지된 절연층(16)을 구비하고 있다.

절연층(16)은 본 실시예에서 플렉서블 기판(123)을 구성하고 있다. 이 플렉서블 기판(123)을 구성하는 절연층(16)은, 폴리이미드를 사용한 폴리이미드 필름으로 구성되고, 구부릴 수 있는 유연성을 가진 프린트 기판으로 되어있다. 이와 같이, 마이크로 스트라이프 라인(10)은 플렉서블 기판(123)의 TFT 어레이 기판(111)의 접속측의 일 단부에 형성되어 있다.

그라운드선(12)은 기준 전위를 정하는 배선으로서, 플렉서블 기판(123)인 절연층(16)의 상측 면에, 도 1에 나타내는 플렉서블 기판(123)의 접속측에 플랫 형상 으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 상기 그라운드선(12)은 직사각형 형상으로 얇게 형성되고, 그라운드선(12)의 두께는 예컨대 전송되는 신호의 파장보다 작아지도록 형성되어 있다.

또한, 도 2(a), 도 2(b)에 도시하는 바와 같이 그라운드선(12)의 TFT 어레이 기판(111)의 접속측의 일 단부는, 신호선(14) 및 절연층(16)의 접속측의 단부보다 연장되어 형성되어 있다. 여기서, 신호선(14)을 연장시키는 길이는 500㎛ 이하인 것이 바람직하다.

신호선(14)은 플렉서블 기판(123)인 절연층(16)의 하측 면에 상기 그라운드선(12)과 대향하여, 도 2(a)에 나타내는 마이크로 스트라이프 라인(10)의 평면에서 보아 짧은 변 방향을 따라 스트라이프 형상으로 복수 형성되어 있다. 이 신호선(14)은 상기 그라운드선(12)과 같이, 가늘고 또한 얇은 선 형상으로 형성되고, 그라운드선(12)의 두께 및 폭은 전송되는 신호의 파장보다 작도록 형성되어 있다. 또한, 신호선(14)은 상기 절연층(16)과 단부가 거의 겹쳐 형성되어 있고, 플랫 형상으로 형성된 그라운드선(12)을 절연층(16) 및 신호선(14)의 단부로부터 연장시키는 구조로 되어있다. 또한, 신호선(14)은, 플렉서블 기판(123)에 탑재되는 액정 구동용 소자(35)로부터 출력되는 고주파 신호를 TFT 어레이 기판(111)에 공급한다. 한편, 신호선(14)의 다른 쪽 단부는, 플렉서블 기판(123)의 이면에 탑재되는 액정 구동용 소자(35)의 접속 단자부에 접속되어 있다.

본 실시예에 의하면, 플렉서블 기판(123)과 TFT 어레이 기판(111)의 접속 수단으로서, 상기 마이크로 스트라이프 라인(10)을 사용하고 있다. 따라서, 마이크 로 스트라이프 라인(10)의 신호선(14)의 두께, 폭, 및 절연층(16)의 두께를 고려함으로써, 신호선(14)에 발생하는 특성 임피던스를 제어할 수 있다.

또한, 그라운드선(12)은 플렉서블 기판(123)의 상측 면에 플랫 형상으로 형성되기 때문에, 후술하는 실시예와 같이 그라운드선(12)을 스트라이프 형상 등으로 형성할 필요가 없고, 제조 공정의 생략화를 도모할 수 있다.

(마이크로 스트라이프 라인(플렉서블 기판)과 TFT 어레이 기판의 접속 구조)

도 3(a), 도 3(b)는 상기 도 1에 나타낸 파선 부분을 확대한 도면이다. 또, 이하의 설명에서는, 마이크로 스트라이프 라인과 TFT 어레이 기판의 접속 구조에 대하여 상세히 설명하고, 그 밖의 TFT 어레이 기판에 형성되어 있는 배선 등의 설명은 생략한다.

도 3(a)는 플렉서블 기판과 TFT 어레이 기판의 접속 부분을 상측 면에서 나타낸 확대도이다. 도 3(b)는 도 3(a), 도 3(b)의 D-D`선에 따른 단면도이다.

도 3(a)에 도시하는 바와 같이, TFT 어레이 기판(111)의 연장 영역(114)에는, 접속되는 마이크로 스트라이프 라인(10)의 신호선(14)의 단부의 위치에 대응하여, 신호선용 돌기 형상 전극(30)이 복수 형성되어 있다. 또한, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12)의 단부의 위치에 대응하여, 그라운드선용 돌기 형상 전극(28)이 복수 형성되어 있다. 이들 각 돌기 형상 전극은, 스트라이프 형상으로 형성된 그라운드선(12) 및 신호선(14)의 각각에 대응하여, 연장 영역(114)의 접속측의 긴 변을 따라 형성되어 있다. 또한, 그라운드선용 돌기 형상 전극(28)과 신호선용 돌기 형상 전극(30)은, 서로 접촉하지 않도록 그라운드선(12)이 신호선(14)으로부터 연장되는 거리의 범위 내에서 간격을 두고 형성되어 있다.

상기 그라운드선용 돌기 전극(28)은 그라운드선용 전극 단자(24)와 그라운드선용 범프(18)(제 2 볼록부)로 구성되고, 마찬가지로, 신호선용 돌기 전극(30)은 신호선용 전극 단자(26)와 신호선용 범프(20)(제 1 볼록부)로 구성되어 있다. 그라운드선용 전극 단자(24) 및 신호선용 전극 단자(26)는 Al 등의 금속으로 형성되어 있다. 또한, 신호선용 범프(20) 및 그라운드선용 범프(18)는 Au, Cu, 땜납, Ni 등의 금속 등에 의해 반구 형상으로 형성되어 있다. 또, 상기 그라운드선용 범프(18) 및 신호선용 범프(20)는 반구 형상으로 한정되지 않고, 원추 사다리꼴 형상, 각추 사다리꼴 형상, 원주 형상, 각주 형상 등의 각종 형상을 적용할 수 있다.

본 실시예에서 특징적인 점은, 그라운드선용 범프(18)가 신호선용 범프(20)의 높이보다 높게 형성되어 있는 점이다. 구체적으로는, 그라운드선용 범프(18)는, 신호선용 범프(20), 신호선(14) 및 절연층(16)의 각각의 높이를 합친 높이 정도로 형성되어 있다. 이와 같이 그라운드선용 범프(18)를 형성함으로써, TFT 어레이 기판(111)의 연장 영역에 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12)과 신호선(14)을 TFT 어레이 기판(111)의 연장 영역에 동시에 접속할 수 있게 되어 있다.

도 3(a), 도 3(b)에 도시하는 바와 같이 플렉서블 기판(123)에 형성된 마이크로 스트라이프 라인(10)은, TFT 어레이 기판(111)의 연장 영역(114) 상에 접속되어 있다. 구체적으로는, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 연장되어 형성된 그라운 드선(12)은, 연장 영역(114)에 형성된 그라운드선용 돌기 형상 전극(28)과 전기적으로 접속되어 있다. 마찬가지로, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 신호선(14)은 연장 영역(114)에 형성된 신호선용 돌기 형상 전극(30)과 전기적으로 접속되어 있다. 마이크로 스트라이프 라인(10)과 돌기 형상 전극의 접속은, ACF, NCP(비도전성 페이스트) 또는 돌기 형상 전극의 선단부에 마련된 무연 땜납 등을 사용함으로써 전기적으로 접속시키는 것이 바람직하다.

또, 본 실시예에서, 상기 그라운드선용 범프(18)를 그라운드선(12)의 접속측 단부의 하측 면(접속면)에 형성하고, TFT 어레이 기판(111)에 형성되는 그라운드선용 전극 단자(24)와 상기 접합재에 의해 전기적으로 접속하는 것도 바람직하다. 마찬가지로, 상기 신호선용 범프(20)를 신호선(14)의 접속측 단부의 하측 면(접속면)에 형성하고, TFT 어레이 기판(111)에 형성되는 신호선용 전극 단자(26)와 상기 접합재에 의해 전기적으로 접속하는 것도 바람직하다.

이상 설명한 마이크로 스트라이프 라인(10)을 사용하여 TFT 어레이 기판(111)의 연장 영역(114)에 접속한 경우, 도 3(a), 도 3(b)에 도시하는 바와 같이 플랫 형상으로 형성된 복수의 그라운드선(12)은, 플렉서블 기판(123)의 접속측의 변에 대하여 수직 방향으로 연장된 구조로 되어있다.

본 실시예에 의하면, 플렉서블 기판(123)에 형성된 그라운드선(12)은 신호선(14)보다 연장되고, TFT 어레이 기판(111)에 형성된 그라운드선용 범프(18)는 신호선용 범프(20)보다 높게 형성되어 있다. 그 때문에, TFT 어레이 기판(111)의 능동면에 그라운드선(12)과 신호선(14)의 양 배선을 동시에 접속할 수 있다. 이것에 의해, 접속 공정에서, 플렉서블 기판(123)의 능동면(편면)만을 처리함으로써 TFT 어레이 기판(111)에 접속할 수 있다.

또한, TFT 어레이 기판(111)의 능동면(편면)에, 플렉서블 기판(123)을 접속하고 있다. 따라서, 그라운드선(12) 및 신호선(14)을 TFT 어레이 기판(111)의 그라운드선용 돌기 형상 전극(28) 및 신호선용 돌기 형상 전극(30)의 각각에 접속할 때의 위치 정렬이, TFT 어레이 기판(111)의 양면에 대하여 실행하는 경우와 비교하여 용이해진다.

또한, 플렉서블 기판(123)의 그라운드선(12)은, 신호선(14) 및 절연층(16)보다 연장되어 형성되어 있다. 따라서, 플렉서블 기판(123)과 TFT 어레이 기판(111)을 접속했을 때, TFT 어레이 기판(111)의 능동면에서, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12)의 연장되는 단부까지, 신호선(14)의 인덕터 성분, 콘덴서 성분 등에 의한 특성 임피던스를 정합시킬 수 있다. 이에 따라, 신호 파형의 만곡화를 억제할 수 있어, 보다 고속으로 양질의 신호를 전송할 수 있다.

(마이크로 스트라이프 라인과 TFT 어레이 기판의 접속 방법)

이하에, 우선, 그라운드선용 범프(18) 및 신호선용 범프(20)의 형성 방법에 대하여 설명한다.

우선, Al로 형성된 그라운드선용 패드 및 신호선용 패드를, 표면의 습윤성 향상 및 잔류물을 제거하기 위해서 처리액에 침지한다. 다음에, 수산화 나트륨 베이스의 알칼리성 수용액을 소정 가온한 속에 침지하여, 표면의 산화막을 제거한다. 다음에, ZnO를 함유한 아연 치환 욕조 내에 침지하여, Al로 형성된 그라운드선용 패드 및 신호선용 패드 표면을 Zn으로 치환한다. 그 후, 그라운드선용 패드 및 신호선용 패드를 초산 수용액에 침지하여 Zn을 박리한다. 그리고, 두 번째 아연 치환 욕조 내에 침지하여, 치밀한 Zn 입자를 Al 표면에 석출시킨다. 다음에, 무전해 Ni 도금 욕조에 침지하여 Ni 도금을 형성한다. 이 때, 그라운드선용 범프(18)는 신호선용 범프(20)보다 높아지도록 형성한다. 이 그라운드선용 범프(18) 및 신호선용 범프(20)의 형성 방법으로서는, 예컨대, 신호 배선용 범프(20)와, 그라운드 배선용 범프(18)를 소정 시간 성장시키고, 그 후, 도금 레지스트 등에 의해, 신호 배선용 범프 상에 레지스트를 도포하여, 그라운드 배선용 범프(18)만을 성장시키는 방법 등이 있다. 이렇게 하여, 플렉서블 기판(123)인 절연층(16), 이 절연층(16)의 하측 면에 형성되는 신호선(14) 및 신호선용 범프(20)의 각각의 높이보다 높아지도록 형성한다.

최후에, 상기 그라운드선용 범프(18) 및 신호선용 범프(20)를 치환 Au 도금 욕조 내에 침지하여, 상기 범프의 Ni 표면을 Au로 한다. 이렇게 하여, Al로 형성되는 그라운드선용 패드 및 신호선용 패드 상에 Ni-Au 범프(그라운드선용 범프(18) 및 신호선용 범프(20))를 형성한다. 또한, Ni-Au 도금 범프 상에 무연 땜납을 스크린 인쇄나 디핑 등에 의해 형성하는 것도 바람직하다.

계속하여, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 형성 방법에 대하여 도 4를 참조하여 설명한다.

도 4는 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12)을 신호선(14) 등으 로부터 연장시켜 형성하는 방법을 나타낸 도면이다.

우선, 도 4에 도시하는 바와 같이 직사각형 형상의 개구부(8)가 형성되어 있는 플렉서블 기판(123)을 준비한다. 이 플렉서블 기판(123)에 형성되는 개구부(8)는, 예컨대, 그라운드선(12)의 짧은 변의 길이보다 길게 형성된 긴 변(8a)과, 그라운드선(12)을 연장시키는 길이보다 길게 형성된 짧은 변(8b)으로 구성되어 있다.

다음에, 상기 플렉서블 기판(123)의 상측 면에 동박을 부착한다. 이 동박의 막 두께는 예컨대 18㎛∼35㎛ 정도이다. 이 때, 동박은 플렉서블 기판(123)에 형성되는 개구부(8)의 긴 변(도 4에서 좌변)으로부터, 동박의 선단부가 연장되도록 부착된다. 이 동박의 연장되어 부착된 선단부가, 상술한 그라운드선(12)의 연장되는 부분에 대응하고 있다.

다음에, 플렉서블 기판(123)에 부착된 동박의 플랫에 포토 레지스트를 도포하고, 포토리소그래피법에 의해 노광, 현상하여, 동박을 소정 형상으로 패터닝한다. 본 실시예에서는, 상기 동박을 플랫 형상으로 패터닝하여, 그라운드선(12)을 형성한다.

마찬가지로 해서, 플렉서블 기판(123)의 하측 면에 동박을 부착한다. 이 때에, 동박의 변(12a)이 플렉서블 기판(123)에 형성되는 개구부의 긴 변(8a)(도 4중좌변)으로부터 연장되도록 플렉서블 기판(123)에 부착한다. 그리고, 붙인 동박을 포토리소그래피법에 의해, 노광, 현상하여, 스트라이프 형상으로 패터닝한다. 이와 같이, 상기 동박을 스트라이프 형상으로 패터닝함으로써, 플렉서블 기판(123)의 하측 면에 선 형상의 신호선(14)을 형성한다(도 4에는 도시 생략).

다음에, 도 4에 도시하는 바와 같이 상기 플렉서블 기판(123)의 상측 면에 형성한 그라운드선(12)이, 절연층(16) 및 신호선(14)의 TFT 어레이 기판(111)측의 단부보다 연장되도록, 플렉서블 기판(123)을 도면 내의 일점쇄선을 따라 절단한다. 이에 따라, 그라운드선(12)이 절연층(16) 및 신호선(14)의 단부보다 연장될 수 있다.

이상, 설명한 바와 같은 공정에 의해, 본 실시예에서의 마이크로 스트라이프 라인(10)을 형성한다.

다음에, 상기 공정에 의해 형성한 플렉서블 기판(123)의 마이크로 스트라이프 라인(10)을 본딩 장치(도시 생략)를 이용하여 TFT 어레이 기판(111)에 접속한다. 여기서, 본딩 장치에 탑재되는 헤드는, 진공 흡착 기구 및 가열 기구 등을 구비하고 있다.

본딩 장치는, 상기 플렉서블 기판(123)을 흡착 유지하고, TFT 어레이 기판(111)의 연장 영역(114)에 형성되는 돌기 형상 전극 상까지 플렉서블 기판(123)을 이동시킨다. ·그리고, 마이크로 스트라이프 라인(10)을 연장 영역(114)에 형성되는 돌기 형상 전극에 대하여 위치 정렬하여 접속시켜, 가열, 가압을 행한다. 여기서, 접합재로서는, 상술한 바와 같이, 그라운드선용 범프(18) 및 신호선용 범프(20) 상에 형성한 무연 땜납, 또는 ACF, ACP(이방성 도전 페이스트), 기타 접합재를 적절히 이용할 수 있다.

이것에 의해, 플렉서블 기판(123)의 연장되어 형성된 그라운드선(12)과 TFT 어레이 기판(111)의 신호선용 돌기 전극보다 높게 형성된 그라운드선용 돌기 전극 을 전기적으로 접속시킬 수 있고, 마찬가지로, 신호선(14)과 TFT 어레이 기판(111)의 신호선용 돌기 전극을 전기적으로 접속시킬 수 있다.

또, 상기 마이크로 스트라이프 라인(10)과 TFT 어레이 기판(111)의 접속에는, Au-Au, Au-Sn, 등에 의한 금속 접합을 적용하더라도 좋다. 전극에 이들 재료를 마련하고, 압력만, 열만, 초음파 진동만, 또는 초음파 진동 및, 그것들을 복합적으로 인가하여 양자를 접합한다. 양자가 접합되면, 진동이나 열에 의해 전극에 마련된 재료가 확산하여 금속 접합이 형성된다.

(실시예 2)

이하에, 본 실시예에 대하여 도 5(a), 도 5(b)를 참조하여 설명한다.

상기 실시예 1에서는, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12)을 연장하여 형성하고, 또한 신호선용 돌기 형상 전극(30)보다 높게 형성한 그라운드선용 돌기 형상 전극(28)을 TFT 어레이 기판(111)의 연장 영역(114) 또는 플렉서블 기판(123) 측의 그라운드선(12), 신호선(14)에 형성하여, 이들을 전기적으로 접속하고 있었다. 이에 대하여, 본 실시예에서는, 그라운드선(12)의 단부의 위치에 대응하는 절연층(16)에 그라운드선(12)으로부터 신호선(14)을 향하여 비아를 형성하고, TFT 어레이 기판(111)에 형성한 그라운드선용 돌기 형상 전극(28)과 전기적으로 접속하는 점에서 다르다. 또, 그 밖의 마이크로 스트라이프 라인(10)의 기본 구성은 상기 실시예 1과 마찬가지고, 공통의 구성 요소에는 동일한 부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다.

도 5(a)는 플렉서블 기판과 TFT 어레이 기판의 접속 부분을 상측 면에서 나타낸 확대도이다. 도 5(b)는 도 5(a)의 C-C`선에 따른 단면도이다.

도 5(a), 도 5(b)에 도시하는 바와 같이 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12), 신호선(14) 및 이들 사이에 유지된 절연층(16)은, TFT 어레이 기판(111)측의 단부가 겹치도록 하여 형성되어 있다. 또한, 도 5(b)에 도시하는 바와 같이 절연층(16)의 하측 면에 형성된 신호선(14)은, 그라운드선(12) 및 절연층(16)의 단부보다 짧아져 있고, 절연층(16)의 하측 면의 단부를 노출시키도록 형성되어 있다. 절연층(16)의 노출된 부분에는, 그라운드선(12)과 그라운드선용 범프(18)를 중계하여 접속하는 중계층(13)이 형성되어 있다. 신호선(14)과 중계층(13)은 간격을 두고 형성되고, 신호선(14)과 중계층(13)을 절연하도록 패터닝 형성되어 있다. 또, 상기 중계층(13)을 형성할 때는, 신호선(14)의 접속측의 단부를 중계층(13)과 신호선(14)에 간격부를 두고 패터닝함으로써 형성하고 있다.

중계층(13)과 그라운드선(12) 사이에 유지되는 절연층(16)에는, 그라운드선(12)측으로부터 신호선(14)측을 향하여, 소정의 어스펙트비를 갖는 비아(22)가 형성되어 있다. 이 비아(22) 내부에는, 전해 도금법 등에 의해 Cu, Au 등의 도전 재료가 충전되어, 그라운드선(12)과 중계층(13)을 전기적으로 접속하게 되어 있다.

이러한 구조를 갖는 마이크로 스트라이프 라인(10)이, 도 5(a), 도 5(b)에 도시하는 바와 같이 TFT 어레이 기판(111)의 연장 영역(114) 상에 접속되어 있다. 구체적으로는, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 연장되어 형성된 그라운드선(12)은, 절연층(16)에 형성된 비아(22) 및 중계층(13)을 거쳐서, 연장 영역(114)에 형 성된 그라운드선용 돌기 형상 전극(28)과 전기적으로 접속되어 있다. 마찬가지로, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 신호선(14)은, 연장 영역(114)에 형성된 신호선용 돌기 형상 전극(30)과 전기적으로 접속되어 있다.

본 실시예에 의하면, 플렉서블 기판(123)의 신호선(14)을 그라운드선(12)의 중계층(13)과 신호선(14)으로 분할하여 형성하고 있다. 이에 따라, 포토리소그래피법에 의해, 그라운드선(12)을 중계층(13)과 신호선(14)으로 분할하여 패터닝할 수 있다. 따라서, 상술한 바와 같은 플렉서블 기판(123)의 그라운드선(12)을 연장시켜 형성하는 경우와 비교하여 제조 공정이 용이해진다.

또, 플렉서블 기판(123)의 그라운드선(12)은 신호선(14)보다 연장되어 있기 때문에, 접속측의 그라운드선(12)의 단부까지, 인덕터 성분, 콘덴서 성분 등에 의한 특성 임피던스를 정합할 수 있다.

(실시예 3)

이하에, 본 실시예에 대하여 도 6(a), 도 6(b)를 참조하여 설명한다. 상기 실시예 1 및 2에서는, 플렉서블 기판(123)과 TFT 어레이 기판(111)을 접속할 때, ·플렉서블 기판(123)측에 형성한 마이크로 스트라이프 라인(10)과, TFT 어레이 기판(111)측의 배선에 접속된 전극 단자를 접속하고 있었다. 이에 대하여, 본 실시예에서는, TFT 어레이 기판(111)측의 배선에 관해서도 마이크로 스트라이프 라인(38)을 사용하고 있는 점에서 다르다. 또, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 기본 구성은 상기 실시예 2와 마찬가지기 때문에, 공통의 구성 요소에는 동일한 부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다.

도 6(a)는 플렉서블 기판과 TFT 어레이 기판(111)의 접속 부분을 상측 면에서 나타낸 확대도이다. 도 6(b)는 도 6(a)의 E-E`선에 따른 단면도이다.

도 6(a), 도 6(b)에 도시하는 바와 같이 TFT 어레이 기판(111)측의 마이크로 스트라이프 라인(38)을 구성하는 그라운드선(32)(제 4 도전부)은, TFT 어레이 기판(111)의 능동면의 연장 영역(114)에 플랫 형상으로 형성되어 있다. 또한, 신호선(34)(제 3 도전부)은, TFT 어레이 기판(111)의 능동면의 연장 영역(114)에, 연장 영역(114)의 짧은 변 방향에 따라 스트라이프 형상으로 복수 형성되어 있다.

그라운드선(32)은 절연층(36)의 상측 면에 형성되고, 신호선(34)은 절연층(36)의 하측 면에 형성되어 있고, 신호선(34)의 하측 면은 TFT 어레이 기판(111)의 능동면과 접촉하고 있다. 그리고, TFT 어레이 기판(111)측의 마이크로 스트라이프 라인(38)의 그라운드선(32) 및 신호선(34)은, 플렉서블 기판(123)측의 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12) 및 신호선(14)의 각각의 위치에 겹치도록 형성되어 있다. 또한, 플렉서블 기판(123)측의 마이크로 스트라이프 라인(38)의 신호선(34)은, 상기 실시예 1과는 달리, 절연층(36) 및 그라운드선(32)의 접속측의 단부보다 연장되어 형성되어 있다.

도 6(b)에 도시하는 바와 같이 마이크로 스트라이프 라인(38)의 그라운드선(32)의 접속측의 단부 상에는, 그라운드선용 범프(18)가 형성되어 있다. 또한, 신호선(34)의 접속측의 단부 상에는, 그라운드선용 범프(18)가 형성된 위치와 같은 높이가 되도록 신호선용 범프(20)가 형성되어 있다. 구체적으로, 신호선용 범프 (20)의 높이는, 마이크로 스트라이프 라인(38)의 절연층(36), 그라운드선(32) 및 그라운드선(32) 상에 형성되는 그라운드선용 범프(18)의 각각의 두께를 합친 정도의 높이이다.

또, 그라운드선용 범프(18) 및 신호선용 범프(20)는, 상술한 바와 같이, 플렉서블 기판(123)측에 형성되는 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12) 및 신호선(14)의 각각에 형성하는 것도 바람직하다. 또한, 도 6(a), 도 6(b)에 나타내는 그라운드선(12, 32)을 신호선으로 하고, 신호선(14, 34)을 그라운드선으로 하는 것도 가능하다.

이러한 구조를 갖는 TFT 어레이 기판(111)측의 마이크로 스트라이프 라인(38)은, 접속되는 플렉서블 기판(123)에 형성된 마이크로 스트라이프 라인(10)과 전기적으로 접속되어 있다. 구체적으로는, 도 6(a), 도 6(b)에 도시하는 바와 같이 플렉서블 기판(123)측의 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12)은, 절연층(16)에 형성된 비아(22) 및 중계층(13)을 거쳐서, TFT 어레이 기판(111)에 형성된 그라운드선용 범프(18)와 전기적으로 접속되어 있다. 마찬가지로, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 신호선(14)은, 연장 영역(114)에 형성된 신호선용 범프(20)를 거쳐서, TFT 어레이 기판(111)측의 마이크로 스트라이프 라인(38)의 신호선(34)과 전기적으로 접속되어 있다.

본 실시예에 의하면, TFT 어레이 기판(111)과 플렉서블 기판(123)을 마이크로 스트라이프 라인(10, 32)에 의해 접속할 수 있다. 그 때문에, 플렉서블 기판(123)측의 마이크로 스트라이프 라인(10)으로부터 TFT 어레이 기판(111)측의 마이 크로 스트라이프 라인(38)까지 특성 임피던스를 정합시킬 수 있다. 따라서, 플렉서블 기판(123)측에만 마이크로 스트라이프 라인(10)을 이용한 경우와 비교하여, TFT 어레이 기판(111)측에도 마이크로 스트라이프 라인(38)을 이용하고 있기 때문에, 보다 고속으로 양질의 신호를 전송할 수 있다.

또한, 플렉서블 기판(123)측에서는 그라운드선(12)이 연장된 마이크로 스트라이프 라인(10)을 이용하고, TFT 어레이 기판(111)측에서는 신호선(14)이 연장된 마이크로 스트라이프 라인(38)을 이용하고 있다. 그 때문에, TFT 어레이 기판(111)측의 능동면에 마이크로 스트라이프 라인(10)의 신호선(14)과 그라운드선(12)을 동시에 접속할 수 있다.

(실시예 4)

이하에, 본 실시예에 대하여 도 7(a), 도 7(b)를 참조하여 설명한다. 상기 실시예 1∼3에서는, 플렉서블 기판(123)에 형성하는 그라운드선(12)을 플랫 형상으로 형성하고 있었다. 이에 대하여, 본 실시예에서는, 플렉서블 기판(123)에 형성하는 그라운드선(12)을 스트라이프 형상으로 형성하는 점에서 다르다. 또, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 기본 구성은 상기 실시예 1∼3과 마찬가지기 때문에, 공통의 구성 요소에는 동일한 부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다.

(마이크로 스트라이프 라인의 구조)

이하에, 본 실시예에서의 마이크로 스트라이프 라인(10)의 구조에 대하여 도 7(a), 도 7(b)를 참조하여 설명한다. 도 7(a)는 본 실시예에서의 마이크로 스트라이프 라인(10)의 구조를 나타낸 사시도이다. 또한, 도 7(b)는 도 7(a)의 A-A`선에 따른 단면도이다. 또, 이하의 설명에 있어서, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 TFT 어레이 기판(111)의 접속측을 간단히 접속측 또는 단부로서 설명하고 있다.

도 7(a)에 도시하는 바와 같이 마이크로 스트라이프 라인(10)은, 그라운드선(12)과, 이 그라운드선(12)에 대향하여 배치 형성된 신호선(14)(제 1 도전부)과, 그라운드선(12)(제 2 도전부)과 신호선(14) 사이에 유지된 절연층(16)을 구비하고 있다.

본 실시예에서, 그라운드선(12)은, 기준 전위를 정하는 배선이며, 플렉서블 기판(123)인 절연층(16)의 상측 면에, 도 7(a)에 나타내는 마이크로 스트라이프 라인(10)의 평면에서 보아 짧은 변 방향을 따라 스트라이프 형상으로 복수 형성되어 있다. 이 그라운드선(12)은 가늘고 또한 얇은 선 형상으로 형성되고, 그라운드선(12)의 두께 및 폭은 전송되는 신호의 파장보다 작아지도록 형성되어 있다.

또한, 도 7(a), 도 7(b)에 도시하는 바와 같이 그라운드선(12)의 TFT 어레이 기판(111)의 접속측의 일 단부는, 신호선(14) 및 절연층(16)의 접속측의 단부보다 연장되어 형성되어 있다. 여기서, 신호선(14)을 연장시키는 길이는 500㎛ 이하인 것이 바람직하다. 한편, 그라운드선(12)의 다른 쪽 단부는, 도 1에 나타내는 플렉서블 기판(123)의 이면에 탑재되는 액정 구동용 소자(35)의 접속 단자부에 접속되어 있다.

본 실시예에 의하면, 플렉서블 기판(123)과 TFT 어레이 기판(111)의 접속 수 단으로서, 상기 마이크로 스트라이프 라인(10)을 사용하고 있다. 따라서, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 신호선(14)의 두께, 폭, 및 절연층(16)의 두께를 고려함으로써, 신호선(14)에 발생하는 특성 임피던스를 제어할 수 있다.

도 8(a), 도 8(b)는 상기 도 7(a), 도 7(b)에 나타낸 파선 부분을 확대한 도면이다. 또, 이하의 설명에서는, 마이크로 스트라이프 라인과 TFT 어레이 기판의 접속 구조에 대하여 상세히 설명하고, 그 밖의 TFT 어레이 기판에 형성되어 있는 배선 등의 설명은 생략한다. 또한, 신호선용 돌기 형상 전극 등은, 상기 실시예 1∼3과 동일한 구성 요소이기 때문에 설명은 생략한다.

도 8(a)는 플렉서블 기판과 TFT 어레이 기판의 접속 부분을 상측 면에서 나타낸 확대도이다. 도 8(b)는 도 8(a), 도 8(b)의 B-B`선에 따른 단면도이다.

도 8(a)에 도시하는 바와 같이 TFT 어레이 기판(111)의 연장 영역(114)에는, 접속되는 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12)의 단부의 위치에 대응하여, 그라운드선용 돌기 형상 전극(28)이 복수 형성되어 있다. 이 그라운드선용 돌기 형상 전극(28)은, 스트라이프 형상으로 형성된 그라운드선(12)의 각각에 대응하여, 연장 영역(114)의 접속측의 긴 변을 따라 형성되어 있다. 또한, 그라운드선용 돌기 형상 전극(28)과 신호선용 돌기 형상 전극(30)은 서로 접촉하지 않도록, 그라운드선(12)이 신호선(14)으로부터 연장되는 거리의 범위 내에서 간격을 두고 형성되어 있다.

상기 그라운드선용 돌기 전극(28)은 그라운드선용 전극 단자(24)와 그라운드선용 범프(18)(제 2 볼록부)로 구성되어 있다. 그라운드선용 전극 단자(24)는 Al 등의 금속으로 형성되어 있다. 또한, 그라운드선용 범프(18)는, Au, Cu 등의 금속 등에 의해 반구 형상으로 형성되어 있다. 또, 상기 그라운드선용 범프(18)는, 반구 형상으로 한정되지 않고, 원추 사다리꼴 형상, 각추 사다리꼴 형상, 원주 형상, 각추 형상 등의 각종 형상을 적용하는 것이 가능하다.

도 8(a), 도 8(b)에 도시하는 바와 같이 플렉서블 기판(123)에 형성된 마이크로 스트라이프 라인(10)은, TFT 어레이 기판(111)의 연장 영역(114) 상에 접속되어 있다. 구체적으로는, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 연장하여 형성된 그라운드선(12)은, 연장 영역(114)에 형성된 그라운드선용 돌기 형상 전극(28)과 전기적으로 접속되어 있다. 마찬가지로, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 신호선(14)은 연장 영역(114)에 형성된 신호선용 돌기 형상 전극(30)과 전기적으로 접속되어 있다. 마이크로 스트라이프 라인(10)과 돌기 형상 전극의 접속은, ACF 또는 돌기 형 상 전극의 선단부에 마련한 무연 땜납 등을 사용함으로써 전기적으로 접속시키는 것이 바람직하다.

이상 설명한 마이크로 스트라이프 라인(10)을 사용하여 TFT 어레이 기판(111)의 연장 영역(114)에 접속한 경우, 도 8(a), 도 8(b)에 도시하는 바와 같이 스트라이프 형상으로 형성된 복수의 그라운드선(12)은, 플렉서블 기판(123)의 접속측의 변에 대하여 수직 방향으로 연장된 구조로 되어 있다.

본 실시예에 의하면, 플렉서블 기판(123)과 TFT 어레이 기판(111)을 접속했을 때, TFT 어레이 기판(111)의 능동면에서, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12)의 연장되는 단부까지, 신호선(14)의 인덕터 성분, 콘덴서 성분 등에 의한 특성 임피던스를 정합시킬 수 있다. 이에 따라, 신호 파형의 만곡화를 억제할 수 있어, 보다 고속으로 양질의 신호를 전송할 수 있다.

또, 본 실시예의 그라운드선(12)을 스트라이프 형상으로 형성한 마이크로 스트라이프 라인(10)은, 상기 실시예 2 또는 3에 적용하는 것도 가능하다.

(실시예 5)

이하에, 본 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

도 9는 다층의 마이크로 스트라이프 라인과 플렉서블 기판의 접속 구조를 나타내는 단면도이다. 또한, 도 10(a)∼도 10(d)는 도 9에 나타내는 다층의 플렉서블 기판의 단면도이며, 상세하게는 도 10(a)는 도 9의 F-F'선에 따른 단면도, 도 10(b)는 도 9의 G-G'선에 따른 단면도, 도 10(c)는 도 9의 H-H'선에 따른 단면도, 도 10(d)는 도 9의 I-I'선에 따른 단면도이다. 또, 본 실시예에서는, 마이크로 스트라이프 라인을 3층 적층한 경우의 예에 대하여 설명하고, 1층째의 마이크로 스트라이프 라인을 제 1 마이크로 스트라이프 라인(80)이라 칭하고, 2층째의 마이크로 스트라이프 라인을 제 2 마이크로 스트라이프 라인(82)이라 칭하고, 3층째의 마이크로 스트라이프 라인을 제 3 마이크로 스트라이프 라인(84)이라 칭한다.

도 9에 도시하는 바와 같이 제 1 마이크로 스트라이프 라인(80)을 구성하는 절연층(53)의 상측 면에는 그라운드선(54)이 형성됨과 동시에, 하측 면에는 신호선(52)이 형성되어 있다. 그라운드선(54)은 절연층의 단부(53a) 및 신호선의 단부(52a)보다 연장하여 형성되어 있다.

제 1 마이크로 스트라이프 라인(80) 상에는 제 2 마이크로 스트라이프 라인(82)이 적층되어 있다. 제 2 마이크로 스트라이프 라인(82)의 절연층(55)은 절연층의 단부(55a)가 제 1 마이크로 스트라이프 라인(80)의 절연층의 단부(53a) 상에 위치하도록 적층된다. 이 절연층(55)의 상측 면에는 신호선(56)이 형성됨과 동시에, 하측 면에는 그라운드선(54)이 형성되어 있다. 신호선(56)은, 그라운드선의 단부(54a) 및 절연층의 단부(55a)보다 연장하여 형성되어 있다. 또, 제 2 마이크로 스트라이프 라인(82)의 그라운드선(54)은, 제 1 마이크로 스트라이프 라인(80)의 그라운드선(54)과 공통의 그라운드선이 이용된다.

또한, 제 2 마이크로 스트라이프 라인(82) 상에는, 제 3 마이크로 스트라이프 라인(84)이 적층되어 있다. 제 3 마이크로 스트라이프 라인(84)의 절연층(57)은, 절연층의 단부(57a)가 제 2 마이크로 스트라이프 라인(82)의 절연층의 단부 (55a) 상에 위치하도록 적층된다. 제 3 마이크로 스트라이프 라인(84)의 절연층(57)의 상측 면에는 그라운드선(58)이 형성됨과 동시에, 하측 면에는 신호선(56)이 형성되어 있다. 그라운드선(58)은, 신호선(56)의 단부(56a) 및 절연층의 단부(57a)보다 연장하여 형성되어 있다. 또, 제 3 마이크로 스트라이프 라인(84)의 신호선(56)은, 제 2 마이크로 스트라이프 라인(82)의 신호선(56)과 공통의 신호선이 이용된다. 또한, 제 3 마이크로 스트라이프 라인(84)의 절연층(57) 상측 면에 신호선을 형성하고, 하측 면에 그라운드선을 형성하더라도 좋다. 이 경우에는, 3층째는 마이크로 스트라이프 라인 구조를 구성하지 않는다.

상술한 1층째, 2층째, 및 3층째의 마이크로 스트라이프 라인(80, 82, 84)은 3층으로 이루어지는 플렉서블 기판에 실장되어, 각 플렉서블 기판의 배선과 전기적으로 접속된다. 이하에 플렉서블 기판의 단면 구조에 대하여 설명한다. 또, 제 1 마이크로 스트라이프 라인(80)에 대응하는 1층째의 플렉서블 기판을 제 1 플렉서블 기판(60)이라 칭하고, 제 2 마이크로 스트라이프 라인(82)에 대응하는 2층째의 플렉서블 기판을 제 2 플렉서블 기판(62)이라 칭하고, 제 3 마이크로 스트라이프 라인(84)에 대응하는 3층째의 플렉서블 기판을 제 3 플렉서블 기판(64)이라 칭한다.

제 1 마이크로 스트라이프 라인(80)이 접속되는 제 1 플렉서블 기판(60)의 상측 면에는 신호선(50)이 형성됨과 동시에, 하측 면에는 그라운드선(61)이 형성되어 있다. 신호선(50)은, 도 10(a)에 도시하는 바와 같이 다른 중계층과 접촉하지 않도록, 제 1 마이크로 스트라이프 라인(80)의 신호선의 단부(52a)까지 라우팅되어 형성된다. 또, 본 실시예에서 신호선(50)의 선단부(50a)는, 평면에서 보아 원형 형상의 신호선용 전극 단자로 되어있다. 제 1 플렉서블 기판(60)의 신호선(50) 상에는, 도 9에 도시하는 바와 같이 신호선용 범프(51)가 형성되어 있다. 이에 따라, 제 1 마이크로 스트라이프 라인(80)의 신호선(52)과 제 1 플렉서블 기판(60)의 신호선(50)이, 신호선용 범프(51)를 거쳐서 전기적으로 접속된다.

제 1 플렉서블 기판(60)의 그라운드선(61)은, 도 10(b)에 도시하는 바와 같이 플렉서블 기판(60)의 하측 면에 플랫 형상으로 형성되어 있다. 제 1 마이크로 스트라이프 라인(80)의 그라운드선의 단부(54a)에 대응하는 플렉서블 기판(60) 상측 면의 위치에는 중계층(66)이 형성되어 있다. 이 중계층(66)은, 도 9 및 도 10(b)에 도시하는 바와 같이 상기 신호선(50)과 동층, 동일 재료, 동일 공정에 의해 평면에서 보아 원형 형상으로 형성된다. 중계층(66) 상에는 상기 신호선용 범프(51)보다 높게 연장된 그라운드선용 범프(67)가 형성되고, 중계층(66)의 하층에는 플렉서블 기판(60)을 관통하는 비아(72)가 형성되어 있다. 이에 따라, 제 1 마이크로 스트라이프 라인(80)의 그라운드선(54)과 플렉서블 기판(60)의 그라운드선(61)이 그라운드선용 범프(67), 중계층(66) 및 비아(72)를 거쳐서 전기적으로 접속된다.

제 2 마이크로 스트라이프 라인(82)이 접속되는 제 2 플렉서블 기판(62)의 상측 면에는 그라운드선(61)이 형성됨과 동시에, 하측 면에는 신호선(63)이 형성되어 있다. 또, 제 2 플렉서블 기판(62)의 그라운드선(61)은, 제 1 플렉서블 기판(60)의 그라운드선(61)과 공통의 그라운드선이 이용된다.

신호선(63)은, 도 10(c)에 도시하는 바와 같이 다른 중계층과 접촉하지 않도 록 제 2 마이크로 스트라이프 라인(82)의 신호선의 단부(56a)까지 라우팅되어 형성되어 있다. 또, 본 실시예에서 신호선의 선단부(63a)는, 평면에서 보아 원형 형상의 신호선용 전극 단자로 되어있다.

제 2 마이크로 스트라이프 라인(82)의 신호선의 단부(56a)에 대응하는 플렉서블 기판(60) 상의 위치에는 제 1 중계층(68)이 형성되어 있다. 이 제 1 중계층(68)은, 도 9 및 도 10(b)에 도시하는 바와 같이 상기 신호선(50)과 동층, 동일 재료, 동일 공정에 의해 평면에서 보아 원형 형상으로 형성된다. 제 1 중계층(68) 상에는 상기 그라운드선용 범프(67)보다 높게 연장된 신호선용 범프(69)가 형성되고, 제 1 중계층(70)의 하층에는 제 1 플렉서블 기판(60)을 관통하는 제 1 비아(73)가 형성되어 있다. 또한, 도 9에 도시하는 바와 같이 제 2 플렉서블 기판(62)의 그라운드선(61)과 동층에는 제 2중계층(74)이 형성되고, 제 2중계층(74)에 대응하는 하층에는 제 2 플렉서블 기판(62)을 관통하는 제 2 비아(81)가 형성되어 있다. 제 2 중계층(74)은, 도 10(b)에 도시하는 바와 같이 플랫 형상으로 형성되는 그라운드선(61)의 일부에 평면에서 보아 원형 형상으로 형성되어 있다. 또한, 제 2 중계층(74)의 외주에는 그라운드선(61)을 고리 형상으로 관통하는 공극부가 형성되어, 제 2 중계층(74)과 그라운드선(74)의 절연성이 확보되어 있다. 이에 따라, 제 2 마이크로 스트라이프 라인(82)의 신호선(56)과 제 2 플렉서블 기판(62)의 신호선(63)이, 신호선용 범프(69), 제 1 중계층(68), 제 1 비아(73), 제 2 중계층(74) 및 제 2 비아(81)을 거쳐서 전기적으로 접속된다.

제 3 마이크로 스트라이프 라인(84)이 접속되는 제 3 플렉서블 기판(64)의 상측 면에는 신호선(63)이 형성됨과 동시에, 하측 면에는 그라운드선(65)이 형성되어 있다. 또, 제 3 플렉서블 기판(64)의 신호선(63)은 제 2 플렉서블 기판(62)의 신호선(63)과 공통의 그라운드선이 이용된다.

제 3 플렉서블 기판(64)의 그라운드선(65)은, 도 10(d)에 도시하는 바와 같이 플렉서블 기판(64)의 하측 면에 플랫 형상으로 형성되어 있다. 제 3 마이크로 스트라이프 라인(84)의 그라운드선의 단부(58a)에 대응하는 제 1 플렉서블 기판(60) 상의 위치에는 제 1 중계층(70)이 형성되어 있다. 이 제 1 중계층(70)은 도 10(a)에 도시하는 바와 같이 상기 신호선(50)과 동층, 동일 재료, 동일 공정에 의해 평면에서 보아 원형 형상으로 형성된다. 제 1 중계층(70) 상에는 상기 신호선용 범프(69)보다 높게 형성된 그라운드용 범프(71)가 형성되고, 제 1 중계층(70)의 하층에는 제 1 플렉서블 기판(60)을 관통하는 제 1 비아(75)가 형성된다. 또한, 도 10(b)에 도시하는 바와 같이 제 2 그라운드선(61)과 동층에는 제 2 중계층(76)이 형성되고, 제 2 중계층(76)의 하층에는 제 2 플렉서블 기판(62)을 관통하는 제 2 비아(83)가 형성되어 있다. 제 2 중계층(76)은, 도 10(b)에 도시하는 바와 같이 플랫 형상으로 형성되는 그라운드선(61)의 일부에 평면에서 보아 원형 형상으로 형성되어 있다. 또한, 제 2 중계층(76)의 외주에는 그라운드선(61)을 고리 형상으로 관통하는 공극부가 형성되어, 제 2 중계층(76)과 그라운드선(61)의 절연성이 확보되어 있다. 또한, 제 2 플렉서블 기판(62)의 신호선(63)과 동층에는 도 10(c)에 도시하는 바와 같이 신호선(63)과 접촉하지 않도록 제 3 중계층(77)이 평면에서 보아 원형 형상으로 형성되고, 제 3 중계층(77)의 하층에는 제 3 플렉서블 기판(64) 을 관통하는 제 3 비아(78)가 형성되어 있다. 이에 따라, 제 3 마이크로 스트라이프 라인(84)의 그라운드선(58)과 제 3 플렉서블 기판(64)의 그라운드선(65)이, 그라운드선용 범프(71), 제 1 중계층(70), 제 1 비아(75), 제 2 중계층(76), 제 2 비아(83), 제 3 중계층(77) 및 제 3 비아(78)를 거쳐서 전기적으로 접속된다.

본 실시예에 의하면, 다층으로 마이크로 스트라이프 라인을 적층시킨 경우에도, 각 마이크로 스트라이프 라인의 그라운드선을 연장시킴으로써, 각 마이크로 스트라이프 라인의 그라운드선의 연장되는 단부까지, 신호선의 인덕터 성분, 콘덴서 성분 등에 의한 특성 임피던스를 정합시킬 수 있다. 이에 따라, 신호 파형의 만곡화를 억제할 수 있어, 보다 고속으로 양질의 신호를 전송할 수 있다.

(실시예 6)

도 11은 마이크로 스트라이프 라인(10, 38)끼리를 접속한 경우의 단면 구조를 나타내는 도면이다.

상측의 마이크로 스트라이프 라인(10)은, 플랫 형상으로 형성된 절연층(16)과, 절연층(16)의 하측 면에 형성된 신호선(14)과, 절연층(16)의 상측 면에 형성된 그라운드선(12)으로 구성되다. 신호선(14)은 절연층의 단부(16a) 및 신호선의 단부(14a)보다 연장하여 형성되어 있다.

하측의 마이크로 스트라이프 라인(38)은, 상기 마이크로 스트라이프 라인(10)과 같이 플랫 형상으로 형성된 절연층(36)과, 절연층(36)의 상측 면에 형성된 그라운드선(32)과, 절연층(36)의 하측 면에 형성된 신호선(34)으로 구성된다. 마 이크로 스트라이프 라인(10)의 신호선의 단부(14a)에 대응하는 절연층(36) 상의 위치에는 중계층(26)이 형성되어 있다. 중계층(26) 상에는 신호선용 범프(20)가 형성되고, 중계층(26)의 하층에는 절연층(36)을 관통하는 비아(22)가 형성되어 있다. 이에 따라, 상측의 마이크로 스트라이프 라인(10)의 신호선(14)과 하측의 마이크로 스트라이프 라인(38)의 신호선(22)은 신호선용 범프(20), 중계층(26), 및 비아(22)를 거쳐서 전기적으로 접속된다.

하측의 마이크로 스트라이프 라인(38)의 그라운드선(32)은, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선의 단부(12a)에 대응하는 위치까지 라우팅되어 형성되어 있다. 그리고, 그라운드선(32) 상에는, 신호선용 범프(20)보다 높게 연장된 그라운드선용 범프(18)가 형성되어 있다. 이에 따라, 상측의 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12)과 하측의 마이크로 스트라이프 라인(38)의 그라운드선(32)은 그라운드선용 범프(18)를 거쳐서 전기적으로 접속된다.

본 실시예와 같이, 마이크로 스트라이프 라인끼리를 서로 접속시킨 경우에도, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12)을 연장시킴으로써, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12)의 연장되는 단부까지, 신호선(14)의 인덕터 성분, 콘덴서 성분 등에 의한 특성 임피던스를 정합시킬 수 있다. 이에 따라, 신호 파형의 만곡화를 억제할 수 있어, 보다 고속으로 양질의 신호를 전송할 수 있다.

(실시예 6의 변형예)

이하, 본 실시예의 변형예에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

또, 마이크로 스트라이프 라인의 기본 구성은 상기 실시예 6과 마찬가지고, 공통의 구성 요소에는 동일한 부호를 부여하고, 상세한 설명은 생략한다.

도 12는 마이크로 스트라이프 라인(10, 38)끼리를 접속한 경우의 단면 구조를 나타내는 도면이다.

본 실시예에서는, 하측의 마이크로 스트라이프 라인(38)의 그라운드선(32) 상에 형성되는 그라운드선용 범프(18)의 높이가, 중계층(26) 상에 형성되는 신호선용 범프(20)의 높이와 대략 같아지도록 형성되어 있다. 중계층(26)의 높이와 동층에 형성되는 그라운드선(32)의 높이는 대략 같기 때문에, 중계층(26) 및 그라운드선용 범프(18)를 합친 높이와 그라운드선(34) 및 신호선용 범프(20)를 합친 높이는 대략 같아진다. 또한, 그라운드선용 범프(18) 및 신호선용 범프(20)는 대략 같은 높이로 형성되기 때문에, 통상의 기판 형성 공정에 의해 동시에 형성된다. 또, 상기 그라운드선용 범프(18)와 신호선용 범프(20) 대신에, 땜납 페이스트를 이용하여도 좋다.

본 실시예에서는, 상기 실시예와 달리, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 상측 면의 높이와 비교해서 그라운드선(32) 상측 면의 높이가 낮게 되어 있다. 그 때문에, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12)과, 마이크로 스트라이프 라인(38)의 그라운드선(32)을 접속하는 경우에는, 도 12에 도시하는 바와 같이 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12)을 연직 방향으로 만곡시킨다. 이에 따라, 그라운드선(12)과 그라운드선용 범프(18)가 전기적으로 접속된다.

본 실시예에 의하면, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12)을 만곡시켜 연장시킨 경우에도, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12)의 연장되는 단부까지, 신호선(14)의 인덕터 성분, 콘덴서 성분 등에 의한 특성 임피던스를 정합시킬 수 있다. 이에 따라, 신호 파형의 만곡화를 억제할 수 있어, 보다 고속으로 양질의 신호를 전송할 수 있다.

또, 본 실시예는, 마이크로 스트라이프 라인(10, 38)끼리를 서로 접속시킨 경우에 대하여 설명했지만, 마이크로 스트라이프 라인(10, 38)의 한쪽에 상술한 플렉서블 기판을 이용한 경우에도 적용하는 것이 가능하다.

(전자 기기)

다음에, 상술한 구조를 갖는 마이크로 스트라이프 라인(10)을 이용하여, 플렉서블 기판(123)과 TFT 어레이 기판(111)을 접속한 전기 기기의 일례인 액정 표시 장치에 대하여 설명한다. 도 13은 액정 표시 장치를 모식적으로 나타내는 사시도이다. 상술한 마이크로 스트라이프 라인(10)은, 액정 표시 장치(1200)의 개체 내부에 배치되어 있다. 도 13에 있어서, 부호 1201은 표시부, 부호 1202는 액정 표시 장치 본체, 부호 1203은 스피커를 나타내고 있다. 상기 마이크로 스트라이프 라인(10)을 이용하는 것에 의해, 고속으로 양질의 신호를 전송할 수 있어, 표시 품질이 우수한 액정 표시 장치를 제공할 수 있다.

또, 상술한 구조를 갖는 마이크로 스트라이프 라인(10)은, 액정 표시 장치 이외에도 여러 가지의 전자 기기에 적용할 수 있다. 예컨대, 액정 프로젝터, 멀티 미디어 대응의 퍼스널 컴퓨터(PC) 및 엔지니어링 워크 스테이션(EWS), 페이저, 워드 프로세서, 뷰 파인더형 또는 모니터 직시형의 비디오 테이프 레코더, 전자 수첩, 전자 계산기, 카 네비게이션 장치, POS 단말, 터치 패널을 구비한 장치 등의 전자 기기에 적용하는 것이 가능하다.

또, 본 발명의 기술 범위는, 상술한 실시예로 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서, 상술한 실시예에 여러가지의 변경을 가한 것을 포함한다.

예컨대, 상기 실시예 1 및 2에서는, 마이크로 스트라이프 라인(10)의 그라운드선(12)을 절연층(16) 및 신호선(14)의 단부로부터 연장시키도록 형성하고 있었다. 이에 대하여, 신호선(14)을 절연층(16) 및 그라운드선(12)의 단부로부터 연장시키도록 형성하는 것도 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 그라운드선(12)의 단부까지 임피던스의 정합을 도모할 수 있다.

이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 설명했지만, 본 발명은 이들 실시예로 한정되지 않는다. 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서, 구성의 부가, 생략, 치환, 및 그 밖의 변경이 가능하다. 본 발명은 상술한 설명에 의해 한정되지 않고, 첨부의 특허청구범위에 의해서만 한정된다.

상술한 본 발명에 의하면, 마이크로 스트라이프 라인, 스택드 페어 라인, 스 트라이프 라인 등의 임피던스 제어 배선과 접속되는 기판의 접속 공정의 간략화 및 고속으로 양질의 신호를 전송할 수 있는 접속용 기판, 접속 구조, 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공할 수 있다.

Claims

제 1 도전부와,

절연층과,

제 2 도전부

를 갖고,

상기 제 1 도전부와 상기 제 2 도전부가 절연층을 사이에 두고 대향하여 마련되고,

상기 제 1 도전부 및 상기 제 2 도전부 중 어느 한쪽의 상기 도전부의 단부가, 다른 쪽의 상기 도전부의 단부 및 상기 절연층의 단부로부터 돌출 연장되어 마련되어 있는

접속용 기판.
제 1 항에 있어서,

상기 제 1 도전부 및 제 2 도전부 중 어느 한쪽은 상기 기판 상에 플랫 형상으로 마련되어 있는 접속용 기판.
기판과,

제 1 도전부와,

제 2 도전부

를 갖고,

상기 제 1 도전부와 상기 제 2 도전부가 상기 기판을 사이에 두고 대향하여 마련되고,

상기 제 1 도전부 및 상기 제 2 도전부 중 어느 한쪽의 상기 도전부의 단부가, 다른 쪽의 상기 도전부의 단부 및 상기 기판의 단부로부터 돌출 연장되어 마련되어 있는

접속용 기판.
제 3 항에 있어서,

상기 제 1 도전부 및 제 2 도전부 중 어느 한쪽은, 상기 기판 상에 플랫 형상으로 마련되어 있는 접속용 기판.
신호 배선과,

절연체와,

그라운드선을 갖고,

상기 신호 배선과 상기 그라운드선이 상기 절연체를 사이에 두고 대향하여 마련되고,

상기 그라운드선의 단부가 상기 신호 배선의 단부 및 상기 절연체의 단부로부터 돌출 연장되어 마련되어 있는

접속용 기판.
제 1 기판과,

제 2 기판과,

상기 제 2 기판의 한쪽 면에 마련된 제 1 도전부와,

상기 제 2 기판의 다른 쪽 면에 제 1 도전부의 단부 및 상기 제 2 기판의 단부보다 돌출 연장되어 마련된 제 2 도전부와,

상기 제 1 기판의 능동면 또는 상기 제 2 기판의 상기 제 1 도전부 또는 상기 제 2 도전부에 마련된 제 1 볼록부와,

상기 제 1 볼록부보다 높게 마련된 제 2 볼록부

를 구비하고,

상기 제 l 도전부와 상기 제 1 볼록부가 접속되고, 상기 제 2 도전부와 상기 제 2 볼록부가 접속되어 있는

접속 구조.
제 6 항에 있어서,

상기 제 1 볼록부의 높이와 상기 제 2 볼록부의 높이는 동일하게 형성되어 있는 접속 구조.
제 6 항에 있어서,

상기 제 1 기판의 한쪽 면에 마련된 제 3 도전부와,

상기 제 1 기판의 다른 쪽 면에 마련되고, 제 1 도전부의 단부 및 상기 제 1 기판의 단부보다 돌출 연장된 제 4 도전부

를 더 갖고,

상기 제 3 도전부는 상기 제 2 기판에 마련된 상기 제 1 도전부와 접속되고, 상기 제 4 도전부는 상기 제 2 기판에 마련된 제 2 도전부와 접속되어 있는

접속 구조.
제 6 항에 있어서,

상기 제 1 기판 상에 복수의 상기 접속용 기판이 적층되어 있는 접속 구조.
제 1 기판과,

제 2 기판과,

상기 제 2 기판의 한쪽 면에 마련된 제 1 도전부와,

상기 제 2 기판의 다른 쪽 면에 마련된 제 2 도전부와,

상기 제 1 기판의 능동면 또는 상기 제 2 기판의 상기 제 1 도전부 또는 상기 제 2 도전부에 마련된 제 1 볼록부 및 제 2 볼록부

를 구비하고,

상기 제 1 도전부와 상기 제 1 볼록부가 접속되고, 상기 제 2 기판의 두께 방향의 관통 구멍에 충전된 도전체를 통해 상기 제 2 도전부와 상기 제 2 볼록부가 전기적으로 접속되어 있는

접속 구조.
제 10 항에 있어서,

상기 제 1 기판의 한쪽 면에 마련된 제 3 도전부와,

상기 제 1 기판의 다른 쪽 면에 마련되고, 상기 제 1 도전부의 단부 및 상기 제 1 기판의 단부보다 돌출 연장된 제 4 도전부

를 더 갖고,

상기 제 3 도전부는 상기 제 2 기판에 마련된 상기 제 1 도전부와 접속되고, 상기 제 4 도전부는 상기 제 2 기판에 마련된 상기 제 2 도전부와 접속되어 있는

접속 구조.
제 10 항에 있어서,

상기 제 1 기판 상에 복수의 상기 접속용 기판이 적층되어 있는 접속 구조.
제 1 기판을 제공하는 공정과,

제 2 기판의 한쪽 면에 제 1 도전부를 마련하는 공정과,

상기 제 2 기판의 다른 쪽 면에 상기 제 1 도전부 및 상기 제 2 기판의 단부보다 돌출 연장된 제 2 도전부를 마련하는 공정과,

상기 제 1 기판의 능동면 또는 상기 제 2 기판의 상기 제 1 도전부 또는 상기 제 2 도전부에 제 1 볼록부를 마련하고, 또한 상기 제 1 볼록부보다 높게 제 2 볼록부를 마련하는 공정과,

상기 제 1 도전부와 상기 제 1 볼록부를 접속하고, 상기 제 2 도전부와 상기 제 2 볼록부를 접속하는 공정

을 포함하는 접속 방법.
청구항 6에 기재된 접속 구조를 구비하는 전기 광학 장치.
청구항 10에 기재된 접속 구조를 구비하는 전기 광학 장치.
청구항 14에 기재된 전기 광학 장치를 구비하는 전자 기기.
청구항 15에 기재된 전기 광학 장치를 구비하는 전자 기기.