KR100695739B1 - 광학적 정보 기록 매체와 그 제조 방법, 및 그 기록 재생방법 - Google Patents

광학적 정보 기록 매체와 그 제조 방법, 및 그 기록 재생방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 광학적 정보 기록 매체는 레이저광 입사측으로부터, 제1 보호막, 제1 계면막, 레이저광 조사에 의해 광학 특성이 가역적으로 변화하는 기록막, 제2 계면막, 제2 보호막, 및 반사막을 이 순서로 포함하는 정보층이 적어도 1개 형성되어 있으며, 제1 계면막은 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W 및 Si 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물을 함유하며, 제2 계면막은 탄소 또는 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W 및 Si 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 탄화물을 함유하는 것을 특징으로 하고 있다.

Description

광학적 정보 기록 매체와 그 제조 방법, 및 그 기록 재생 방법{Optical information recording medium and method for manufacturing the same, and method for recording/reproducing the same}
도 1은 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 구성예를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 다른 구성예를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 또한 다른 구성예를 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 기록 재생에 이용하는 레이저광의 변조 파형의 일례를 나타내는 파형도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1, 2, 3 : 광학적 정보 기록 매체 4 : 대물 렌즈
11 : 투명 기판 12 : 정보층
13 : 보호 기판 14 : 제1 보호막
15 : 제1 계면막 16 : 기록막
17 : 제2 계면막 18 : 제2 보호막
19 : 반사막 21 : 제1 정보층
22 : 분리층 23 : 제2 정보층
P1 : 피크 파워 P2 : 바이어스 파워
P3 : 보텀 파워 P4 : 냉각 파워
본 발명은 기판 상에 형성된 박막에 레이저광 등의 고에너지 빔을 조사함으로써, 신호 품질이 높은 정보 신호를 기록·재생 할 수 있는 광학적 정보 기록 매체와 그 제조 방법, 및 그 기록 재생 방법에 관한 것이다.
종래, 기판 상에 형성한 칼코겐 재료 등으로 이루어지는 박막에 레이저광을 조사해서 국소적인 가열을 행하여, 조사 조건의 차이에 의해 광학 정수(굴절률(n), 소멸 계수(k))가 다른 비정질상과 결정상 사이에서 상변화시키는 것이 가능한 것은 이미 널리 알려져 있다. 최근, 이 현상을 응용하여, 칼코겐 재료 등으로 이루어지는 박막을 기록막으로서 이용한 소위 상변화 방식의 광학적 정보 기록 매체의 연구 개발이 왕성히 행하여지고 있다.
상변화 방식의 광학적 정보 기록 매체에 있어서는, 예를 들면, 정보 신호에 따라서 기록 레벨과 소거 레벨의 적어도 2개의 파워 레벨 간에서 변조시킨 레이저광을 정보 트랙에 조사함으로써, 기존의 신호를 소거하면서, 동시에 새로운 신호를 기록하는 것이 가능하다.
이러한 광학적 정보 기록 매체에 있어서는, 기록막에 다른 막(기록막 이외의 막)을 적층한 다층막 구조를 이용하는 것이 일반적이다. 다른 막으로서, 예를 들면, 유전체 재료 등으로 이루어지는 보호막이나, 금속·합금 재료 등으로 이루어지는 반사막 등을 적층하는 경우가 많다.
유전체 재료 등으로 이루어지는 보호막의 작용으로서는, 예를 들면, 다음과 같은 것이 있다.
1) 기록막을 외부로부터의 기계적인 손상으로부터 보호하는 작용
2) 신호의 리라이팅을 반복해 행한 경우에 일어나는 기판 표면의 열변형, 기록막의 찢어짐, 및 기록막 구성 물질의 증발 등의 열적인 손상을 저감하여, 반복 리라이팅 횟수를 증가시키는 작용
3) 다중 반사에 의한 간섭 효과를 이용하여 광학적 변화를 증대시키는 작용
4) 기록막에 대한 외부 기체로부터의 영향을 차단하고, 기록막의 화학적인 변화를 방지하는 작용
보호막에 이상과 같은 기능을 갖게 하기 위해서, 보호막을 구성하는 재료로서, Al2O3, TiO2, SiO2 등의 산화물, Si3N4 나 AlN 등의 질화물, Si-O-N 등의 산질화물, ZnS 등의 황화물, SiC 등의 탄화물, 혹은 이들 화합물의 혼합물(예를 들면 ZnS-SiO2) 등의 재료가 제안되어, 사용되고 있다. 특히 혼합물 ZnS-SiO2는 유전체 재료 중에서도 상당히 열전도율이 작은 부류에 속하므로, 레이저광 등에 의해 기록을 행할 때에 발생하는 열확산을 충분히 억제할 수 있고, 기록 감도를 향상시킬 수 있다. 또, 혼합물 ZnS-SiO2로 이루어지는 막은 내부 응력이 작으므로 두꺼운 막을 형성하여도 균열이 발생하기 어렵고, 또한 상변화 재료로 이루어지는 기록막과의 접착성이 높으므로 레이저광 조사를 반복해도 벗겨지기 어려운 등의 이유로, 가장 많이 이용되고 있다.
또한, 기록막과 보호막 사이에 계면막을 형성하는 것이 제안되고 있다. 계면막의 작용으로서는, 예를 들면 다음과 같은 것이 있다.
1) 기록막의 결정화를 촉진시키고, 소거 특성을 향상시키는 작용
2) 기록막과 보호막 사이의 물질 상호 확산을 방지하고, 반복 기록에 있어서의 내구성을 향상시키는 작용
또한, 계면막에는 기록막과의 사이에 박리를 발생시키지 않는 것이나, 부식을 발생시키지 않는 등의 환경 신뢰성도 겸비하고 있는 것이 바람직하다.
이러한 계면막의 재료로서는, 예를 들면 Si나 Ge 질화물이 기록막의 결정화 촉진 효과 및 물질 확산 방지 효과에 있어서 매우 뛰어나다(예를 들면, 일본국 특개평 5-217211호 공보 및 국제공개 번호 WO97/34298 참조). 그 중에서도 특히, Ge-N을 주성분으로서 함유하며, 또한 Cr 등이 첨가된 재료를 이용해서 형성된 계면막은 고온 고습 조건하에 있어서도 기록막으로부터 박리하기 어렵다. 따라서, 이러한 재료는 계면막 형성용으로서 가장 어울리는 재료의 1개이다.
이러한 광학적 정보 기록 매체에 축적할 수 있는 정보량을 늘리기 위한 기본적인 수단으로서, 레이저광의 스팟 직경을 작게 해서 기록면 밀도를 향상시키는 방법이 있다. 레이저광의 스팟 직경은 레이저광의 파장을 짧게 함으로써, 또는 레이저광을 집광하기 위한 대물 렌즈의 개구수를 크게 함으로써, 작게 할 수 있다. 최 근에는, 실용화 단계에 근접해 있는 파장 400㎚ 근방의 청색 레이저 다이오드를 광학적 정보 기록 매체의 기록 재생을 행하는 광학계에 적용하고, 또한 광학계 대물 렌즈의 개구수를 크게 하는(예를 들면, DVD-RAM(DVD-Random Access Memory) 등에서 이용되고 있는 0.60으로부터 0.85 정도까지 크게 한다) 것으로, 레이저 스팟 직경을 작게 해서 기록면 밀도를 향상시키는 것이 제안되고 있다. 이렇게 렌즈 개구수를 크게 하면, 광학적 정보 기록 매체의 틸트에 대한 허용 폭이 작아지기 때문에, 레이저광 입사측의 투명 기판의 두께를 DVD-RAM 등의 0.6㎜로부터 0.1㎜ 정도로 얇게 하는 것도 더불어 제안되고 있다.
또한, 광학적 정보 기록 매체 1개당으로 취급할 수 있는 정보량을 증가시키기 위해서, 정보를 기록 재생하기 위한 층(이하, 본 명세서에 있어서는 정보층으로 칭한다)을 다수 적층한 다층 구조의 광학적 정보 기록 매체(이하, 본 명세서에 있어서는 다층 기록 매체로 칭한다)도 제안되고 있다. 이러한 다층 기록 매체에 있어서는, 레이저 광원에 가까운 쪽에 배치된 정보층이 레이저광을 흡수하기 때문에, 레이저 광원으로부터 먼 쪽에 배치된 정보층은 감쇠한 레이저광에 의해 기록 재생이 행하여지게 되고, 기록시에는 감도 저하가, 재생시에는 반사율·진폭 저하가 문제가 된다. 따라서, 다층 기록 매체에 있어서는, 레이저 광원으로부터 가까운 쪽에 배치되는 정보층의 투과율을 높게 할 필요가 있고, 한편, 레이저 광원으로부터 먼 쪽에 배치되는 정보층은 반사율, 반사율차(기록막이 결정상인 경우의 반사율과 기록막이 비정질상인 경우의 반사율의 차이), 및 감도를 높게 해서, 한정된 레이저 파워로 충분한 기록 재생 특성이 얻어지도록 할 필요가 있다.
또, 청색 레이저 및 개구수가 높은 대물 렌즈를 이용한 경우, 레이저광의 에너지 밀도가 높아지기 때문에, 정보층에 포함되는 기록막이 재생시에 레이저광을 흡수함으로써 기록 마크의 일부가 소실해 버리는 재생광 열화라는 현상이 보다 일어나기 쉬워진다. 그래서, 정보층에 포함되는 기록막 이외의 막, 예를 들면 상술의 계면막에 빛을 적당하게 흡수시킴으로써 기록막의 광흡수를 감소시켜, 재생광 열화를 일으키기 어렵게 하는, 즉 재생광 내구성을 높이는 것이 추정된다.
그렇지만, 이 방법에 따르면 반사율 변화가 작아져 버려, C/N비 등의 신호 품질을 저하시키는 것에 이어진다는 문제가 발생한다.
본 발명의 제1 광학적 정보 기록 매체는 레이저광 입사측으로부터 제1 보호막, 제1 계면막, 레이저광 조사에 의해 광학 특성이 가역적으로 변화하는 기록막, 제2 계면막, 제2 보호막, 및 반사막을 이 순서로 포함하는 정보층이 적어도 1개 형성되어 있으며, 상기 제1 계면막이 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W 및 Si 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물을 함유하며, 상기 제2 계면막이 탄소 또는 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W 및 Si 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 탄화물을 함유하는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 제2 광학적 정보 기록 매체는 레이저광 입사측으로부터 제1 보호막, 레이저광 조사에 의해 광학 특성이 가역적으로 변화하는 기록막, 계면막, 제2 보호막, 및 반사막을 이 순서로 포함하는 정보층이 적어도 1개 형성되어 있으며, 상기 계면막이 탄소 또는 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W 및 Si 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 탄화물을 함유하며, 또한 막 두께가 0.3㎚ 이상 3㎚ 미만인 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 기록 재생 방법은 본 발명의 제1 또는 제2 광학적 정보 기록 매체에 대하여 기록 재생을 행하는 방법에 있어서, 파장 450㎚ 이하, 또한 렌즈 개구수 0.8 이상의 광학계를 이용해서 기록 재생을 행하는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 제1 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법은 제1 기판 상에 적어도 1개의 정보층을 형성하고, 또한 상기 정보층 상에 제2 기판을 형성하는 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법에 있어서, 상기 정보층이 적어도, 유전체 재료로 이루어지는 제1 보호막과, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W 및 Si 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물을 함유하는 제1 계면막과, 레이저광 조사에 의해 광학 특성이 가역적으로 변화하는 기록막과, 탄소 또는 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W 및 Si 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 탄화물을 함유하는 제2 계면막과, 유전체 재료로 이루어지는 제2 보호막을 이 순서 또는 반대 순서로 성막함으로써 형성되고 있는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 제2 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법은 제1 기판 상에 적어도 1개의 정보층을 형성하고, 또한 상기 정보층 상에 제2 기판을 형성하는 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법에 있어서, 상기 정보층이 적어도, 유전체 재료로 이루어지는 제1 보호막과, 레이저광 조사에 의해 광학 특성이 가역적으로 변화하는 기록 막과, 탄소 또는 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W 및 Si 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 탄화물을 함유하며, 또한 막 두께가 0.3㎚ 이상 3㎚ 미만인 계면막과, 유전체 재료로 이루어지는 제2 보호막을 이 순서 또는 반대 순서로 성막함으로써 형성되고 있는 것을 특징으로 하고 있다.
(실시 형태)
본 발명의 제1 및 제2 광학적 정보 기록 매체에 따르면, 레이저광이 단파장으로, 또한 렌즈 개구수가 높은 광학계를 이용한 정보의 기록 재생에 있어서도, 양호한 신호 품질과 재생광 내구성을 얻을 수 있다.
본 발명의 제1 광학적 정보 기록 매체에 있어서는, 상기 제1 계면막이 Ti, Zr, Hf, V, Nb, 및 Ta 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물과, Cr, Mo, 및 W 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물의 혼합물을 함유하는 것이 바람직하고, 또한, 상기 혼합물이 Cr, Mo, 및 W 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물을 5mol% 이상 80mol% 이하(바람직하게는 10mol% 이상 70mol% 이하, 보다 바람직하게는 20mol% 이상 50mol% 이하) 함유하는 것이 바람직하다. 또, 상기 혼합물이 Si 산화물을 더 함유하는 것이 보다 바람직하고, Si 산화물이 상기 혼합물에 대하여 5mol% 이상 60mol% 이하(보다 바람직하게는 10mol% 이상 40mol% 이하) 함유되는 것이 보다 바람직하다. 보다 높은 신호 품질이 얻어지고, 또한, 기록막과 제1 계면막 사이에 박리가 발생하기 어려워지는 등의 환경 신뢰성도 얻어지기 때문이다.
본 발명의 제1 및 제2 광학적 정보 기록 매체가 레이저광 입사측으로부터 순차로 적층된 제1 정보층∼제n 정보층(n은 2 이상의 자연수)을 포함하는 다층 구조 의 광학적 정보 기록 매체인 경우는, 상기 제1 정보층∼제n 정보층의 적어도 1개(바람직하게는 제n 정보층)를 상기 정보층과 마찬가지로 하는 것이 바람직하다. 이것에 따르면, 다층 구조의 광학적 정보 기록 매체의 경우에서도, 레이저광이 단파장으로, 또한 렌즈 개구수가 높은 광학계를 이용한 정보의 기록 재생에 있어서, 양호한 신호 품질과 재생광 내구성을 얻을 수 있다.
본 발명의 제1 및 제2 광학적 정보 기록 매체에 있어서, 상기 반사막은 Al 또는 Al 합금으로 이루어지는 제1 막과 Ag 합금으로 이루어지는 제2 막이 레이저광 입사측으로부터 이 순서로 적층되어 형성되고 있는 것이 바람직하다. 보다 높은 신호 품질을 얻기 때문이다.
본 발명의 제1 및 제2 광학적 정보 기록 매체에 있어서, 상기 기록막이 Ge-Sb-Te계 합금막, Ge-Sn-Sb-Te계 합금막, Ag-In-Sb-Te계 합금막, In-Ge-Sb-Te계 합금막, 및 Ag-In-Ge-Sb-Te계 합금막 중에서 선택되는 어느 1개로 이루어지는 것이 바람직하다. 보다 높은 신호 품질을 얻기 때문이다.
본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 기록 재생 방법에 따르면, 신호 품질이 높은 고밀도 기록 및 재생이 가능해진다.
본 발명의 제1 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법에 따르면, 제1 기판을 레이저광 입사측에 배치되는 투명 기판으로 하면, 제1 보호막, 제1 계면막, 기록막, 제2 계면막, 제2 보호막의 순서로 성막해서 정보층을 형성하고, 그 후 제2 기판(이 경우는, 레이저광 입사측과 반대측에 배치되는 보호 기판)을 형성함으로써, 본 발명의 제1 광학적 정보 기록 매체를 형성할 수 있다. 한편, 제1 기판을 보호 기판 으로 하면, 정보층의 성막 순서를 반대로 해서 형성하고, 그 후 제2 기판(이 경우는 투명 기판)을 형성함으로써, 본 발명의 제1 광학적 정보 기록 매체를 형성하는 것도 가능하다.
본 발명의 제2 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법에 따르면, 제1 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법의 경우와 마찬가지로, 레이저광 입사측에 배치되는 투명 기판 상에 정보층을 형성하고, 그 후에 레이저광 입사측과 반대측에 배치되는 보호 기판을 형성함으로써, 혹은, 보호 기판 상에 정보층을 형성하고, 그 후에 투명 기판을 형성함으로써, 본 발명의 제2 광학적 정보 기록 매체를 제작할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1은 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 일구성예를 나타내는 단면도이다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 본 발명의 광학적 정보 기록 매체(1)에 있어서는, 투명 기판(11) 상에 1개의 정보층(12)이 형성되고, 또한 보호 기판(13)이 형성되어 있다. 이 광학적 정보 기록 매체(1)에 대하여, 대물 렌즈(4)로 집광된 레이저광을 투명 기판(11)측으로부터 조사함으로써, 정보의 기록 재생이 행하여진다. 정보층(12)은 레이저광 입사측으로부터, 제1 보호막(14), 제1 계면막(15), 기록막(16), 제2 계면막(17), 제2 보호막(18), 및 반사막(19)이 이 순서로 형성되어 구성되고 있다. 이 광학적 정보 기록 매체(1)에 대하여, 투명 기판(11)측으로부터, 레이저광을 대물 렌즈(4)로 집광해서 조사함으로써, 정보의 기록 재생을 행한다.
또, 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 다른 구성예가 도 2에 도시되고 있 다. 도 2에 도시하는 광학적 정보 기록 매체(2)에 있어서는, 투명 기판(11) 상에 제1 정보층(21), 분리층(22), 제2 정보층(23), 및 보호 기판(13)이 이 순서로 형성되어 있다. 대물 렌즈(4)로 집광된 레이저광은 투명 기판(11)측으로부터 입사된다. 2개의 정보층 중, 레이저광 입사측의 투명 기판(11)으로부터 멀리에 배치되어 있는 제2 정보층(23)의 막 구성은 도 1에 도시한 광학적 정보 기록 매체(1)의 정보층(12)과 마찬가지이다. 한편, 투명 기판(11) 상에 배치된 제1 정보층(21)에 대해서도, 광학적 정보 기록 매체(1)의 정보층(12)과 마찬가지의 막 구성으로 할 수 있다. 단, 이 경우는, 제1 정보층(21)에 있어서 충분한 투과율이 얻어지도록, 반사막의 막 두께를 예를 들면 20㎚ 이하 정도로 얇게 하는, 반사막을 생략하는, 또는 굴절률이 높은(굴절률 2.2 이상 정도의) 광학 간섭막을 반사막의 레이저광 입사측과 반대인 면에 형성하는 것 등이 바람직하다. 이 광학적 정보 기록 매체(2)의 각 정보층(21, 23)에 대하여, 투명 기판(11)측으로부터, 레이저광을 대물 렌즈(4)로 집광해서 조사함으로써, 정보의 기록 재생을 행한다. 한편, 이 광학적 정보 기록 매체(2)는 다층 기록 매체 중 정보층이 2개 형성된 예이지만, 또한 추가의 정보층을, 분리층을 개재하여 형성해도 된다. 그때, 추가한 정보층의 막 구성을 광학적 정보 기록 매체(1)의 정보층(12)과 마찬가지로 해도 된다.
투명 기판(11)의 재료로서는, 레이저광의 파장에 있어서 대략 투명한 것이 바람직하고, 폴리카보네이트, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리올레핀, 노보넨계 수지, 자외선 경화형 수지, 유리, 혹은 이들을 적당히 조합시킨 것 등을 이용할 수 있다. 또, 투명 기판(11)의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 0.01∼1.5㎜ 정도인 것을 이용할 수 있다.
제1 보호막(14) 및 제2 보호막(18)의 재료로서는, 예를 들면, Y, Ce, Ti, Zr, Nb, Ta, Co, Zn, Al, Si, Ge, Sn, Pb, Sb, Bi, 및 Te 등 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물, Ti, Zr, Nb, Ta, Cr, Mo, W, B, Al, Ga, In, Si, Ge, Sn, 및 Pb 등 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 질화물, Ti, Zr, Nb, Ta, Cr, Mo, W, 및 Si 등 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 탄화물, Zn 또는 Cd 등의 황화물, 셀렌화물 또는 텔루화물, Mg 또는 Ca 등의 불화물, C, Si, 및 Ge 등 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 단체, 혹은 이들 혼합물을 이용할 수 있다. 그 중에서도 특히, 대략 투명하고 열전도율이 낮은 재료인 ZnS와 SiO2의 혼합물 등이 바람직하다.
제1 계면막(15)의 재료로서는, 예를 들면 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W 및 Si 등 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물, 또는 이들 산화물을 혼합시킨 혼합물(복합 산화물)을 함유하는 것을 이용한다. 제1 계면막(15)의 재료는 이들 산화물 또는 혼합물을 주성분으로서 함유하고 있는 것이 바람직하다. 여기서, 주성분이란 적어도 80mol% 이상의 조성 비율인 것을 나타내고 있지만, 다른 성분의 영향을 배제하기 위해서는 90mol% 이상인 것이 바람직하고, 95mol% 이상인 것이 보다 바람직하다.
그 중에서도 특히, Ti, Zr, Hf, V, Nb 및 Ta 등 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물을 베이스로 하여, Cr, Mo 및 W 등 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물을 첨가한 혼합물은 내습성의 면에서 뛰어나고, 또한 Si 등의 산화물을 첨가한 혼합물은 소거율을 보다 높게 할 수 있으므로 바람직하다. 혼합물이 Ti, Zr, Hf, V, Nb 및 Ta 등 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물과, Cr, Mo 및 W 등 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물로 이루어지는 경우는, Cr, Mo 및 W 등 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물의 혼합물에 대한 함유량을 예를 들면 5mol% 이상 80mol% 이하(바람직하게는 10mol% 이상 70mol% 이하, 보다 바람직하게는 20mol% 이상 50mol% 이하)로 할 수 있다. 또, 제1 계면막(15)의 막 두께는 특별히 한정되지 않지만, 지나치게 얇으면 계면막으로서의 효과를 발휘할 수 없게 되고, 지나치게 두꺼우면 기록 감도 저하로 이어지기 때문에, 제1 보호막(14)보다도 얇고, 예를 들면 1㎚ 이상 20㎚ 이하인 것이 바람직하다.
제2 계면막(17)의 재료로서는, 예를 들면 탄소 또는 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W 및 Si 등 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 탄화물을 이용할 수 있다. 제2 계면막(17)의 막 두께는 높은 재생광 내구성 및 큰 반사율 변화에 따른 양호한 신호 품질을 얻기 위해서, 0.3㎚ 이상 3㎚ 미만인 것이 바람직하다. 제2 계면막(17)의 막 두께를 이 범위 내로 하는 것이면, 제1 계면막(15)은 반드시 상기 산화물계 재료가 아니어도 되고, 생략하는 것도 가능하다. 도 3은 제2 계면막(17)의 막 두께를 0.3㎚ 이상 3㎚ 미만의 범위 내로 해서 제1 계면막(15)을 생략한 정보층(31)을 포함하는 광학적 정보 기록 매체(3)의 구성을 나타내는 단면도이다.
기록막(16)의 재료로서는, 예를 들면 Te 및 Sb을 함유하는 칼코겐 재료로 이루어지는 박막, 즉 Ge-Sb-Te계 합금 박막, Ge-Sn-Sb-Te계 합금 박막, 혹은 Sb-Te의 공정(共晶) 조성을 베이스로서 In, Ge, Au, Ag 등을 첨가한 합금 박막 등을 이용할 수 있다.
기록막(16)의 막 두께는 2㎚ 이상 20㎚ 이하로 하면, 충분한 C/N비를 얻을 수 있다. 기록막(16)이 2㎚ 미만인 막 두께에서는 충분한 반사율 및 반사율 변화가 얻어지지 않기 때문에 C/N비가 낮고, 또, 20㎚를 초과하는 막 두께에서는 기록막(16)의 박막면 내의 열확산이 크기 때문에 고밀도 기록에 있어서 C/N비가 낮아져 버린다.
또, 기록막(16)에는 열전도율·광학 정수 등의 조정, 혹은 내열성·환경 신뢰성 향상 등의 목적으로, O, N, F, C, S, 및 B 중에서 선택되는 1개 또는 다수의 원소를 필요에 따라서 기록막(16) 전체의 10at% 이내의 조성 비율의 범위에서 적당히 첨가해도 된다.
반사막(19)의 재료로서는, 예를 들면, Au, Ag, Cu, Al, Ni, Pd, Pt, Bi, Sb, Sn, Zn, 또는 Cr 등의 금속이나, 혹은 이들 합금 재료를 이용할 수 있다. 또, 반사막(19)은 다수의 막을 조합시켜서 구성되어 있어도 된다. 예를 들면, 레이저광 입사측으로부터, Al 또는 Al 합금으로 이루어지는 막(제1 막)과, 열전도율이 높은 Ag 합금으로 이루어지는 막(제2 막)을 이 순서로 형성할 수도 있다. 한편, 레이저광 입사측에 형성되는 제1 막은 제2 막보다도 소멸 계수(k)가 크다. 이러한 반사막(19)을 이용함으로써, 방열 효과와 보다 큰 반사율 및 반사율 변화를 양립할 수 있다.
한편, 상기한 바와 같은 다층 박막은 오제 전자 분광법, X선 광전자 분광법, 및 2차 이온 질량 분석법 등의 방법(예를 들면 응용물리 학회/박막·표면물리분과 학회편 「박막 제작 핸드북」공립출판 주식회사, 1991년 등 참조)에 의해, 각 막의 재료 및 조성을 조사하는 것이 가능하다.
보호 기판(13)의 재료로서는, 투명 기판(11)과 마찬가지의 재료를 이용할 수도 있지만, 투명 기판(11)과는 다른 재료로 해도 되고, 이용하는 레이저광의 파장에 있어서 투명하지 않아도 된다. 또, 보호 기판(13)의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 0.01∼3.0㎜ 정도인 것을 이용할 수 있다.
또, 다층 기록 매체인 광학적 정보 기록 매체(2)의 경우, 제1 정보층(21)로서는, 적어도 30% 이상의 투과율이 필요하지만, 리라이트형 정보층 뿐만 아니라, 추기형(追記形) 또는 재생 전용형의 어느 정보층으로 하는 것도 가능하다.
또, 다층 기록 매체인 광학적 정보 기록 매체(2)의 경우, 분리층(22)의 재료로서는, 자외선 경화형 수지 등을 이용할 수 있다. 분리층(22)의 두께는 제1 정보층(21) 및 제2 정보층(23)의 어느 한 쪽을 재생할 때에 다른 쪽으로부터의 크로스 토오크가 작아지도록, 적어도 대물 렌즈(4)의 개구수(NA)와 레이저광의 파장(λ)에 의해 결정되는 초점 심도 이상의 두께인 것이 필요하고, 또, 모든 정보층이 집광 가능한 범위로 들어가도록 기록 매체 전체의 두께를 억제하는 것도 필요하다. 예를 들면, λ=405㎚, NA=0.85의 경우는, 분리층(22)의 두께는 적어도 5㎛ 이상 50㎛ 이하인 것이 필요하다.
또, 도 1∼도 3에 도시한 광학적 정보 기록 매체(1∼3) 2매를 각각의 보호 기판(13)측을 대향시켜서 접합하여, 양면 구조로 함으로써, 기록 매체 1매당 축적할 수 있는 정보량을 또한 2배로 할 수 있다.
다음에, 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법에 대해서 설명한다.
광학적 정보 기록 매체를 구성하고 있는 상기 각 박막은 예를 들면 진공 증착법, 스퍼터링법, 이온 플레이팅법, CVD(Chemical Vapor Deposition)법, MBE(Molecular Beam Epitaxy)법 등의 기상 박막 증착법에 의해 형성할 수 있다.
예를 들면, 광학적 정보 기록 매체(1)의 경우는, 투명 기판(11) 상에 제1 보호막(14), 제1 계면막(15), 기록막(16), 제2 계면막(17), 제2 보호막(18), 및 반사막(19)을 순서로 성막하고, 그 후, 보호 기판(13)을 형성 또는 접합함으로써 제작할 수 있다. 또, 반대로, 보호 기판(13) 상에 반사막(19), 제2 보호막(18), 제2 계면막(17), 기록막(16), 제1 계면막(15), 및 제1 보호막(14)을 순서로 성막하고, 그 후, 투명 기판(11)을 형성 또는 접합해도 된다. 그 중에서도 특히, 후자의 방법은 투명 기판(11)의 두께가 0.4㎜ 이하 정도와 같이 얇은 경우에 적합하다. 이렇게 투명 기판(11)이 얇은 경우는, 레이저광 안내용 홈인 그루브나 어드레스 신호 등의 요철 패턴은 보호 기판(13)의 표면 상에 형성하는 것이 바람직하다. 이러한 요철 패턴이 형성된 보호 기판(13)은 스탬퍼 등의 미리 소망의 요철 패턴이 형성된 전사용 기판을 이용해서 전사에 의해 형성된다.
또, 광학적 정보 기록 매체(2)의 경우는, 투명 기판(11) 상에 제1 정보층(21)을 형성하고, 그 후, 제1 정보층(21) 상에 자외선 경화형 수지 등을 도포해서 경화시킴으로써 분리층(22)을 형성한다. 또, 이 분리층(22)의 표면에 그루브나 어드레스 신호 등의 요철 패턴을 형성하는 경우는, 제1 정보층(21) 상에 자외선 경화형 수지 등을 도포하고, 또한 그 위에 미리 소망의 요철 패턴이 형성된 전 사용 기판을 포개서 요철 패턴을 전사하고, 자외선 경화형 수지를 경화시킨 후에 전사용 기판을 박리한다. 다음에, 이렇게 형성된 분리층(22) 상에 제2 정보층(23)으로서 광학적 정보 기록 매체(1)의 정보층(12)과 마찬가지로 다층막을 형성하고, 그 후, 보호 기판(13)을 형성 또는 접합시킨다. 이러한 방법에 의해, 다층 기록 매체를 형성할 수 있다. 한편, 광학적 정보 기록 매체(1)의 경우와 마찬가지로, 보호 기판(13) 상에 각 박막 및 분리층을 순차로 형성한 후, 제1 정보층(21)을 형성하고, 또한 투명 기판(11)을 접합하는 방법을 이용하는 것도 가능하다.
또, 보호 기판(13)이나 분리층(22)의 표면에 요철 패턴을 형성할 때, 특히 분리층(22)과 같이 그 층 두께가 얇고, 보통 이용되고 있는 인젝션법이 곤란한 경우는, 2P법(photo-polymerization법)을 이용하는 것도 가능하다.
다음에, 본 발명의 광학적 정보 기록 매체에 대하여 정보 신호를 기록하는 방법에 대해서 설명한다.
본 발명의 광학적 정보 기록 매체에 정보 신호의 기록을 행할 때에는, 레이저광의 강도를 다수의 파워 레벨 간에서 변조한다. 레이저광의 강도를 변조하는 수단으로서는, 반도체 레이저의 구동 전류를 변조하는, 혹은 전기 광학 변조기나 음향 광학 변조기 등을 이용하는 것 등이다. 기록 마크를 형성하는 부분에 대하여는, 피크 파워(P1)의 단일 직사각형 펄스를 이용해도 되지만, 특히 긴 마크를 형성하는 경우는, 과잉의 열을 줄이고, 마크 폭을 균일하게 할 목적으로, 도 4 에 도시하는 바와 같이 피크 파워(P1) 및 보텀 파워(P3)(단, P1>P3) 사이에서 변조된 다수 펄스의 열로 이루어지는 기록 펄스 열을 이용하는 것이 바람직하다. 또, 최후 부 분의 펄스 후에 냉각 파워(P4)를 인가하는 냉각 구간을 형성해도 된다. 기록 마크를 형성하지 않는 부분에 대하여는, 바이어스 파워(P2)(단, P1>P2)로 일정하게 유지한다.
적어도 2개 이상 다른 선속도에 있어서 마크를 기록할 때에는, P3/P1 또는 P3/P2가 선속도가 높은 경우일수록 커지도록, 각 파워 레벨을 설정하는 것이 바람직하다. 그렇게 함으로써, 고온 조건하에서 보존한 경우에, 기록한 마크의 신호 진폭이 작아지는 것, 및 기록한 마크가 소거하기 어려워지는 것을 방지할 수 있다.
여기서, 기록하는 기록 마크 길이, 또한 그 전후의 스페이스 길이 등의 각 패턴에 의해 마크 에지 위치에 불균일이 발생하여, 지터 증대의 원인이 되는 일이 있다. 상기한 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 기록 방법에서는 이것을 방지하여, 지터를 개선하기 위해서, 상기 펄스 열의 각 펄스의 위치 또는 길이를 패턴마다 에지 위치가 가지런하도록 필요에 따라서 조정하여, 보상할 수도 있다.
(실시예)
이하, 실시예에 의해 본 발명을 더욱 구체적으로 설명한다. 한편, 이하의 실시예는 본 발명을 한정하는 것은 아니다.
(실시예 1∼5 및 비교예 1∼13)
실시예 1∼5는 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 기록 재생 특성, 그 중에서도 특히 C/N비, 소거율, 및 재생광 내구성의 계면막 재료에 대한 의존성을 나타내는 것이다.
실시예 1∼5 및 비교예 1∼13의 광학적 정보 기록 매체로서, 도 1에 도시한 광학적 정보 기록 매체(1)를 제작했다. 보호 기판(13)으로서는, 폴리카보네이트로 이루어지는 직경 약 12㎝, 두께 약 1.1㎜, 그루브 피치 0.32㎛, 그루브 깊이 약 20㎚인 기판을 이용했다.
이 보호 기판(13)의 그루브가 형성된 표면 상에 정보층(12)을 구성하는 박막을 순서로 성막했다. 여기서는, 각 박막을 스퍼터링법으로 형성했다. 우선, 보호 기판(13) 상에 Ag-Pd-Cu(원자수비 98 : 1 : 1) 타겟을 이용해서 Ar 가스를 유통시키면서 막 두께 80㎚의 Ag-Pd-Cu 막을 형성하고, 또한, Al 타겟을 이용해서 Ar 가스를 유통시키면서 막 두께 5㎚의 Al 막을 형성했다. 이 Ag-Pd-Cu 막 및 Al 막을 반사막(19)으로 했다. 다음에, 혼합물 ZnS-SiO2 타겟(ZnS: 80mol%, SiO2: 20mol%)을 이용하여, Ar 가스를 유통시키면서 막 두께 15㎚의 제2 보호막(18)을 형성했다. 다음에, 소정 조성의 타겟을 이용해서 막 두께 5㎚의 제2 계면막(17)을 형성했다. 제2 계면막(17)의 형성에 이용한 타겟의 조성은 각 실시예 및 비교예에 있어서 다르다. 다음에, Ge-Sb-Te계 타겟(원자수비 45 : 4 : 51)을 이용하여, Ar 및 N2 가스(유량비 98 : 2)를 유통시키면서 막 두께 10㎚의 기록막(16)을 형성했다. 다음에, 소정 조성의 타겟을 이용해서 막 두께 5㎚의 제1 계면막(15)을 형성했다. 제1 계면막(15)의 형성에 이용한 타겟의 조성은 각 실시예 및 비교예에 있어서 다르다. 다음에, 혼합물 ZnS-SiO2 타겟(ZnS: 80mol%, SiO2: 20mol%)을 이용하여, Ar 가스를 유통시키면서 막 두께 55㎚의 제1 보호막(14)을 스퍼터링법에 의해 이 순서로 적층했다. 이렇게 형성된 정보층(12)의 표면 상(제1 보호막(14) 상)에 자외선 경화형 수지를 통하여, 폴리카보네이트로 이루어지는 두께 약 0.09㎜, 직경 약 12㎝의 시트를 접합하여, 그 후, 자외선을 조사해서 자외선 경화형 수지를 경화시킴으로써, 두께 약 0.1㎜의 투명 기판(11)을 제작했다.
여기서, 각 실시예 및 각 비교예의 광학적 정보 기록 매체에 있어서의 제1 계면막(15) 및 제2 계면막(17)에는 여러 가지 재료를 이용했다. 계면막으로서 이용한 재료(계면막 재료), 및 그 성막 조건(타겟 조성 및 스퍼터링 가스 조성)을 표 1에 나타낸다. 한편, 스퍼터링법에 의해 형성된 각 막의 조성을 오제 전자 분광법에 의해 분석한 결과, 형성된 막의 조성은 타겟의 조성과 대략 같은 것이 확인되었다.
(표 1)
Figure 112003008966736-pat00001
또, 실제로 제작한 실시예 1∼5 및 비교예 1∼13의 광학적 정보 기록 매체에 대해서, 제1 및 제2 계면막에 이용한 계면막 재료와, 평가 결과(C/N, 소거비, 및 상한 재생 파워)를 표 2에 나타낸다. 한편, C/N, 소거율, 및 상한 재생 파워의 구체적인 평가 방법은 다음과 같다.
각 광학적 정보 기록 매체의 그루브, 다시 말해 레이저광 입사측으로부터 보아서 볼록해져 있는 부분에 대하여, 파장 405㎚·렌즈 개구수 0.85의 광학계를 이용하고, 선속도 4.5m/s로 회전시키면서, 12.2㎒ 및 3.3㎒의 단일 신호를 교호로 기록했다. 기록에 이용한 펄스 파형은 피크 파워(P1) 및 바이어스 파워(P2) 사이에서 변조된 직사각형 펄스로, 12.2㎒ 신호의 경우는 펄스 폭 13.7㎱의 단일 펄스, 3.3㎒ 신호의 경우는 20.5㎱의 선두 펄스와 이것에 이어지는 폭 및 간격 모두 6.9㎱의 8개의 서브 펄스로 이루어지는 펄스 열로 했다.
이 조건으로, 미기록의 트랙에 12.2㎒ 및 3.3㎒ 신호를 교호로 합계 10회 기록을 행하고, 그 위에 12.2㎒ 신호를 기록한 경우의 C/N을 스펙트럼 애널라이저로 측정했다. 또한, 그 위에 3.3㎒ 신호를 기록하여, 소거율, 즉 12.2㎒ 진폭의 감쇠비를 마찬가지로 스펙트럼 애널라이저로 측정했다. P1은 진폭이 최대보다 3㏈ 낮아지는 파워의 1.3배의 값, P2는 소거율이 25㏈을 초과하는 파워 범위의 중심값을 설정 파워로 했다. 어느 광학적 정보 기록 매체에 대하여도, 설정 파워는 P1이 4.5∼5.5㎽, P2가 2.0∼2.5㎽인 범위 내였다. 그리고, 상기 설정 파워로 12.2㎒ 신호를 기록한 트랙을, 재생 파워를 바꿔서 연속 재생하여, C/N의 변화를 측정했다. 1만 회전하는 사이에 C/N의 저하가 0.3㏈ 이내인 것을 기준으로서 상한의 재생 파워(상한 재생 파워)를 구했다. 이상과 같이 해서 구한 각 광학적 정보 기록 매체의 설정 파워에 있어서의 C/N, 소거율, 및 상한 재생 파워를 다음과 같이 평가 했다.
(C/N 평가)
◎: 54㏈ 이상
Figure 112003008966736-pat00002
: 52㏈ 이상 54㏈ 미만
△: 50㏈ 이상 52㏈ 미만
×: 50㏈ 미만
(소거율 평가)
◎: 33㏈ 이상
Figure 112003008966736-pat00003
: 30㏈ 이상 33㏈ 미만
△: 27㏈ 이상 30㏈ 미만
×: 27㏈ 미만
(상한 재생 파워 평가)
◎: 0.5㎽ 이상
Figure 112003008966736-pat00004
: 0.4㎽ 이상 0.5㎽ 미만
△: 0.3㎽ 이상 0.4㎽ 미만
×: 0.3㎽ 미만
(표 2)
Figure 112003008966736-pat00005
이 평가 결과에 의하면, 제1 계면막 및 제2 계면막에 Ge-Cr-N을 이용한 비교예 1의 기록 매체는 C/N 및 소거율은 충분하지만, 상한 재생 파워가 낮고 불충분했다.
비교예 2∼4의 기록 매체는 제1 계면막을 탄소 또는 탄화물로 한 것이며, 비교예 1의 경우보다도 상한 재생 파워가 비약적으로 향상하지만, C/N은 낮아져 버렸다. 또, 비교예 5∼7의 기록 매체는 제2 계면막을 탄소 또는 탄화물로 한 것이며, 상한 재생 파워는 충분히 높지만, C/N에 대해서는, 비교예 2∼4의 경우보다 약간 향상했지만, 역시 불충분했다.
비교예 8∼10의 기록 매체는 제1 계면막을 산화물로 한 것이며, C/N은 비교예 1의 경우보다도 더욱 향상했다. 그렇지만, 상한 재생 파워에 대해서는, 비교예 1의 경우보다도 약간 향상하지만, 역시 불충분했다. 또, 비교예 11∼13의 기록 매체는 제2 계면막을 산화물로 한 것이며, 비교예 8∼10의 경우와 마찬가지로 높은 C/N이 얻어지지만, 상한 재생 파워가 낮았다.
이것에 대하여, 실시예 1∼5의 기록 매체는 제1 계면막을 산화물, 제2 계면막을 탄소 또는 탄화물로 한 것이며, 충분한 C/N 및 소거율이 얻어지고, 상한 재생 파워도 매우 높았다. 그 중에서도, 제1 계면막으로서, ZrO2와 Cr2O3의 혼합물에 또한 SiO2를 첨가한 재료를 이용한 실시예 3∼5의 기록 매체는 보다 높은 소거율이 얻어졌다.
이상과 같이, 기록막에 대하여 레이저광 입사측과 반대측에 배치되는 제2 계면막에 탄소 또는 탄화물을 이용함으로써 상한 재생 파워가 향상하고, 또한, 기록막에 대하여 레이저광 입사측에 배치되는 제1 계면막에 산화물을 이용함으로써 충분한 C/N 및 소거율이 얻어지고, 상한 재생 파워가 더욱 향상하는 것을 알 수 있었다.
(실시예 6∼11 및 비교예 14∼19)
실시예 6∼11은 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 기록 재생 특성, 그 중에서도 특히 C/N비, 소거율, 및 재생광 내구성의 제2 계면막의 막 두께에 대한 의존성을 나타내는 것이다.
비교예 5의 광학적 정보 기록 매체와 마찬가지의 구성에 있어서, 제2 계면막의 막 두께를 각각 변화시킨 실시예 6∼11 및 비교예 14∼19의 광학적 정보 기록 매체를 비교예 5와 마찬가지의 방법으로 제작했다. 또한, 제작된 실시예 6∼11 및 비교예 14∼19의 광학적 정보 기록 매체에 대하여, 마찬가지의 방법으로 평가를 행했다. 각 광학적 정보 기록 매체에 있어서의 제2 계면막의 막 두께 및 평가 결과를 표 3에 나타낸다.
(표 3)
Figure 112003008966736-pat00006
이 평가 결과에 의하면, 제2 계면막, 즉 기록막에 대하여 레이저광 입사측과 반대측에 배치되는 계면막의 두께가 두꺼울수록, 상한 재생 파워가 높아지는 것을 알 수 있었다. 그렇지만, 제2 계면막의 두께가 3.0 이상이 되면, C/N은 낮아졌다. 또, 소거율 및 상한 재생 파워를 높이기 위해서는, 제2 계면막의 막 두께를 0.3㎚ 이상으로 하는 것이 필요한 것도 확인되었다. 따라서, 제2 계면막의 막 두께를 0.3㎚ 이상 3㎚ 미만으로 하면, 제1 계면막의 재료에 산화물을 이용하지 않는 경우 에서도, C/N, 소거율, 및 상한 재생 파워의 모두를 만족하는 것이 가능한 것이 확인되었다.
발명의 상세한 설명의 항에 있어서 행한 구체적인 실시 형태 또는 실시예는 어디까지나, 본 발명의 기술 내용을 밝히는 것이며, 그러한 구체예만에 한정해서 협의로 해석되어야 하는 것은 아니며, 본 발명의 정신과 다음에 기재하는 특허 청구의 범위 내에서, 여러 가지 변경해서 실시할 수 있는 것이다.
이상과 같이, 본 발명에 따르면, 단파장 또한 렌즈 개구수가 높은 광학계에 의한 기록 재생에 있어서도 재생광 내구성이 높고, 또한 신호 품질이 양호한 광학적 정보 기록 매체와 그 기록 재생 방법을 제공할 수 있다.

Claims (15)

  1. 레이저광 입사측으로부터 제1 보호막, 제1 계면막, 레이저광 조사에 의해 광학 특성이 가역적으로 변화하는 기록막, 제2 계면막, 제2 보호막, 및 반사막을 이 순서로 포함하는 정보층이 적어도 1개 형성되어 있으며,
    상기 제1 계면막이 Ti, Zr, Hf, V, Nb, 및 Ta 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물과, Cr, Mo, 및 W 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물의 혼합물을 함유하며,
    상기 제2 계면막이 탄소 또는 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W 및 Si 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 탄화물을 함유하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  2. 제1항에 있어서, 레이저광 입사측으로부터 순차로 적층된 제1 정보층∼제n 정보층(n은 2 이상의 자연수)을 포함하는 다층 구조의 광학적 정보 기록 매체에 있어서, 상기 제1 정보층∼제n 정보층의 적어도 1개가 상기 정보층인 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  3. 제2항에 있어서, 적어도 상기 제n 정보층이 상기 정보층인 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 혼합물이 Cr, Mo, 및 W 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물을 5mol% 이상 80mol% 이하 함유하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  6. 제1항에 있어서, 상기 혼합물이 Si 산화물을 더 함유하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  7. 제6항에 있어서, 상기 혼합물이 Si 산화물을 5mol% 이상 60mol% 이하 함유하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제1항에 있어서, 상기 반사막은 Al 또는 Al 합금으로 이루어지는 제1 막과 Ag 합금으로 이루어지는 제2 막이 레이저광 입사측으로부터 이 순서로 적층되어 형성되고 있는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  12. 제1항에 있어서, 상기 기록막이 Ge-Sb-Te계 합금막, Ge-Sn-Sb-Te계 합금막, Ag-In-Sb-Te계 합금막, In-Ge-Sb-Te계 합금막, 및 Ag-In-Ge-Sb-Te계 합금막 중에서 선택되는 어느 1개로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  13. 제1항 기재의 광학적 정보 기록 매체에 대하여 기록 재생을 행하는 방법에 있어서, 파장 450㎚ 이하, 또한 렌즈 개구수 0.8 이상의 광학계를 이용해서 기록 재생을 행하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체의 기록 재생 방법.
  14. 제1 기판 상에 적어도 1개의 정보층을 형성하고, 또한 상기 정보층 상에 제2 기판을 형성하는 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법에 있어서,
    상기 정보층이 적어도, 유전체 재료로 이루어지는 제1 보호막과, Ti, Zr, Hf, V, Nb, 및 Ta 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물과, Cr, Mo, 및 W 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 산화물의 혼합물을 함유하는 제1 계면막과, 레이저광 조사에 의해 광학 특성이 가역적으로 변화하는 기록막과, 탄소 또는 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W 및 Si 중에서 선택되는 적어도 1개의 원소 탄화물을 함유하는 제2 계면막과, 유전체 재료로 이루어지는 제2 보호막을 이 순서 또는 반대 순서로 성막함으로써 형성되고 있는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법.
  15. 삭제
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