KR100578008B1 - 광학적 정보 기록 매체와 그 제조 방법, 이 매체를 이용한정보의 기록 방법 및 기록 장치 - Google Patents

광학적 정보 기록 매체와 그 제조 방법, 이 매체를 이용한정보의 기록 방법 및 기록 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 광학적 정보 기록 매체는, 투명 기판과, 투명 기판 상에 설치된 다층막을 포함하고 있다. 이 다층막은 투명 기판에 가까운 측으로부터 순서대로, 적어도, 광 빔의 조사에 의해 광학적으로 검출가능한 서로 상이한 2 이상의 상태간에서 변화하는 기록층과, 광 흡수층을 포함하고, 이 기록층은 식 Gex(BiySb1-y)2Tex+3(단, x≥ 5 또한 0<y≤1)으로 표시되는 재료를 주성분으로 한다. 이러한 기록층을 포함하는 다층막은, 투명 기판 상에 이 투명 기판에 가까운 측으로부터 순서대로 배치된 제1 정보층∼제N 정보층(N은 2 이상의 정수)을 포함하는 다층 기록 매체에도 적용할 수 있고, 이 경우는 제1 정보층∼제N 정보층의 적어도 하나를 상기 다층막과 동일한 구성으로 한다.

Description

광학적 정보 기록 매체와 그 제조 방법, 이 매체를 이용한 정보의 기록 방법 및 기록 장치{OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM AND MANUFACTURING METHOD THEREOF, INFORMATION RECORDING METHOD USING THE SAME, AND RECORDING APPARATUS}
도 1은 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 일구성예의 단면도,
도 2는 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 일구성예의 단면도,
도 3은 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 일구성예의 단면도,
도 4는 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 일구성예의 단면도,
도 5는 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 기록 재생 장치의 일례의 개략도,
도 6은 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 기록 재생에 이용하는 기록 펄스 파형의 일예의 개략도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 투명 기판 2 : 하측 유전체층
3 : 기록층 4 : 상측 유전체층
5 : 광 흡수층 6 : 반사층
7 : 보호 기판 8 : 레이저 광
9 : 대물 렌즈 10 : 하측 계면층
11 : 상측 계면층 12 : 분리층
13 : 제1 정보층 14 : 제2 정보층
15 : 제N 정보층 16 : 레이저 다이오드
17 : 하프 미러 18 : 모터
19 : 광학적 정보 기록 매체 20 : 포토 디텍터
21 : 다층막
본 발명은 기판 상에 형성된 박막에, 레이저 등의 고 에너지 광 빔을 조사함으로써, 정보 신호를 기록·재생할 수 있는 광학적 정보 기록 매체와 그 제조 방법, 기록 방법 및 기록 장치에 관한 것이다.
기판 상에 형성한 칼코겐 재료 등의 박막에 레이저 광을 조사하여 국소적인 가열을 행하고, 조사 조건의 차이에 따라 광학 정수(굴절율(n), 소쇠(消衰) 계수(k))가 상이한 비정질상(相)과 결정상과의 사이에서 상 변화시키는 것이 가능하다. 이는 이미 널리 알려져 있고, 이 현상을 응용한, 소위 상변화 방식의 광학적 정보 기록 매체의 연구 개발·상품화가 활발히 행해지고 있다.
상변화 방식의 광학적 정보 기록 매체에서는, 레이저 출력을 기록 레벨과 소거 레벨의 적어도 2개의 파워 레벨 사이에서 정보 신호에 따라 변조하여 정보 트랙 상에 조사함으로써, 기존의 신호를 소거하면서, 동시에 새로운 신호를 기록하는 것이 가능하다.
이와 같은 광학적 정보 기록 매체에서는, 기록층 이외에, 반복 기록할 때의 기록층의 증발이나 기판의 열 변형을 방지하고, 광학적 간섭 효과에 의해 기록층의 광 흡수율이나 광학적 변화를 향상시키는 등의 목적으로, 내열성이 우수한 유전체 재료 등으로 이루어지는 보호층을 기록층의 레이저 광 입사측인 투명 기판에 가까운 측(하측) 및 투명 기판과 반대측(상측)에 설치하고, 또한 입사광을 효율적으로 사용해, 냉각 속도를 향상시켜 비정질화되기 쉽게 하는 등의 목적으로 금속·합금 재료 등으로 이루어지는 반사층을 기록층에 대해 투명 기판과 반대측에 설치하는 것이 일반적이다.
기록층과 유전체층과의 사이에 계면층(예를 들면, 일본국 특개평 제5-217211호 공보 및 국제공개 제97/34298호 팜플렛 참조)을 설치하는 것이 제안되어 있다. 계면층은 기록층의 결정화를 촉진하여, 소거 특성을 향상시키는 작용을 하고, 기록층과 유전체 보호층의 사이의 원자·분자의 상호 확산을 방지하여, 반복 기록에서의 내구성을 향상시키는 작용 등을 갖고, 또한 기록층과의 사이에 박리나 부식을 발생시키지 않는 환경 신뢰성도 겸하는 것이 바람직하다.
또한, 기록층이 결정인 경우와 비정질인 경우와의 광 흡수율의 비를 조정하여, 오버라이트 시에 마크 형상이 왜곡되지 않도록 함으로써 소거율을 높이고, 또한, 기록층이 결정인 경우와 비정질인 경우와의 반사율의 차이를 크게 하여, C/N비를 크게 하는 등의 목적으로, 굴절율이 높고, 적절히 광을 흡수하는 재료층을, 상 측 유전체층과 반사층의 사이에 설치하는 것도 제안되어 있다(예를 들면, 일본국 특개 제2000-215516호 공보 참조).
이와 같은 광학적 정보 기록 매체의 1매당 축적할 수 있는 정보량을 늘리기 위한 기본적인 수단으로서, 레이저 광의 파장을 짧게 하는, 또는 이를 집광하는 대물 렌즈의 개구수를 크게 함으로써 레이저 광의 스폿 직경을 작게 하고, 기록면 밀도를 향상시키는 방법이 있다. 최근의 주류는 기록형 DVD(Digital Versatile Disk)로 대표되는 바와 같이, 파장 660㎚·개구수 0.6 정도의 광학계를 이용하는 것이다. 나아가, 실용화의 단계에 가까워지는 파장 400㎚ 근방의 청색 레이저 다이오드를 적용하고, 또한 개구수를 0.85 정도까지 높이는 것도 검토되고 있다. 이와 같이 개구수를 높게 하면, 광학적 정보 기록 매체의 틸트에 대한 허용폭이 작아지므로, 레이저 광 입사측의 투명 기판의 두께를 기록형 DVD의 0.6㎜에서 0.1㎜ 정도로 얇게 하는 것도 함께 제안되어 있다.
또한, 매체 1매당 취급할 수 있는 정보량을 늘리기 위해서 정보를 기록 재생하는 층을 다수 적층한 다층 구조의 기록 매체(이하, 다층 기록 매체라고 한다.)도 제안되어 있다. 이러한 다층 기록 매체는 레이저 광원에 가까운 측의 정보층이 광을 흡수하므로, 레이저 광원으로부터 먼 측의 정보층에는 감쇠된 레이저 광으로 기록·재생을 행하게 되고, 기록시에는 감도 저하가, 재생시에는 반사율·진폭 저하가 문제가 된다. 따라서, 다층 기록 매체에서는 레이저 광원으로부터 가까운 측의 정보층은 투과율을 높게, 레이저 광원으로부터 먼 측의 정보층은 반사율, 반사율차 및 감도를 높게 하여, 한정된 레이저 파워로 충분한 기록 재생 특성이 얻어지도록 할 필요가 있다.
광학적 정보 기록 매체에서는, 상기한 바와 같이 기록 밀도를 높이는 것이 중요한데, 나아가 기록 속도를 높이는 것도, 대량의 데이터를 단시간에 취급하기 위해 중요하다. 고속 기록에 대응하기 위해서는 기록층의 결정화 속도를 높일 필요가 있다. 대표적인 기록 재료인 Ge-Sb-Te, 그 중에서도 특히 GeTe-Sb2Te3 근방의 조성(Ge-Sb-Te 3성분계 상태도에서의 GeTe-Sb2Te3 라인 근방의 조성(a composition in the vicinity of GeTe-Sb2Te3 line in the triangular phase diagram of Ge, Sb and Te)에서는, Ge의 일부를 Sn으로 치환함으로써 결정화 속도가 향상되는 것을 알 수 있다.
상술한 바와 같이, 신규로 개발되는 기록 재생 장치의 기록 속도는 보다 고속화되는 경향이 있어, 매체도 이에 대응한 것이 요구된다. 이와 동시에, 저속으로밖에 기록할 수 없는 기존의 드라이브와의 호환성을 확보하기 위해서는, 같은 매체에서 저속으로도 기록할 수 있을 필요가 있다. 매체가 고속 기록에 대응하기 위해서는, 상술한 바와 같이 결정화 속도가 빠른 기록층을 사용할 필요가 있는데, 이를 저속에서의 기록에 이용하면, 결정화 속도가 너무 빠르게 된다. 즉, 비정질이 형성되기 어렵고, 마크가 커지기 어렵기 때문에 신호 진폭이 저하한다는 문제가 생긴다. 특히, 상기한 바와 같이 Ge의 일부를 Sn으로 치환한 경우에는 결정-비정질 사이의 광학 정수의 변화가 작아져, 신호 진폭의 저하를 조장할 가능성이 있다.
본 발명의 광학적 정보 기록 매체는 투명 기판과, 상기 투명 기판 상에 설치된 다층막을 포함하고, 상기 다층막이 상기 투명 기판에 가까운 측으로부터 순서대로, 적어도, 광 빔의 조사에 의해 광학적으로 검출 가능한 서로 상이한 2 이상의 상태 간에서 변화하는 기록층과, 광 흡수층을 포함하고, 상기 기록층이 식 Gex(BiySb1-y)2Tex+3(단, x≥ 5 또한 0<y≤1)으로 표시되는 재료를 주 성분으로 하는 것을 특징으로 한다.
본 명세서에서, 주성분이란, 80 원자% 이상을 차지하는 성분을 말한다.
본 발명은 다른 측면에서, 투명 기판 상에, 상기 투명 기판에 가까운 측으로부터 순서대로, 적어도, 광 빔의 조사에 의해 광학적으로 검출 가능한 서로 상이한 2 이상의 상태 간에서 변화하는 기록층과, 광 흡수층을 포함하는 다층막을 포함하는 광학적 정보 기록 매체를 제조하는 방법으로서, 상기 기록층을, 식 Gex(BiySb1-y)2Tex+3(단, x≥ 5 또한 0<y≤1)으로 표시되는 재료를 주 성분으로 하도록 성막(成膜)하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 본 발명의 광학적 정보 기록 매체에의 정보의 기록 방법 및 기록 장치를 제공한다. 본 발명에 의한 정보의 기록 방법은 투명 기판 상에, 이 투명 기판에 가까운 측으로부터 순서대로, 적어도, 광 빔의 조사에 의해 광학적으로 검출 가능한 서로 상이한 2 이상의 상태 간에서 변화하는 기록층과, 광 흡수층을 포함하는 다층막을 포함하는 광학적 정보 기록 매체에의 정보의 기록 방법으로서, 상기 기록층이, 식 Gex(BiySb1-y)2Tex+3(단, x≥ 5 또한 0<y≤1)으로 표시되는 재료를 주 성분으로 하여, 상기 매체를 회전시키면서, 상기 매체의 선속도가 높아질수록 발광 파워의 시간 적분을 최대 발광 파워로 나눈 값이 높아지도록 설정한 레이저 파워 변조 펄스 파형을 이용하여 상기 정보를 기록하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 정보 기록 장치는 투명 기판 상에, 상기 투명 기판에 가까운 측으로부터 순서대로, 적어도, 광 빔의 조사에 의해 광학적으로 검출 가능한 서로 상이한 2 이상의 상태 간에서 변화하는 기록층과, 광 흡수층을 포함하는 다층막을 포함하는 광학적 정보 기록 매체에 정보를 기록하는 장치로서, 상기 기록층이, 식 Gex(BiySb1-y)2Tex+3(단, x≥ 5 또한 0<y≤1)으로 표시되는 재료를 주성분으로 하여, 상기 매체를 회전시키면서, 상기 매체의 선속도가 높아질수록 발광 파워의 시간 적분을 최대 발광 파워로 나눈 값이 높아지도록 설정한 레이저 파워 변조 펄스 파형을 이용하여 상기 정보를 기록하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명의 기록 방법 및 기록 장치는, 정보의 기록에 전후하여 또는 기록과 함께 정보의 재생을 행하는 기록 재생 방법, 정보의 기록 기구와 함께 재생 기구를 구비한 기록 재생 장치를 포함한다.
본 발명의 광학적 정보 기록 매체는, 식 Gex(BiySb1-y)2Tex+3으로 표시되는 재료를 주성분으로 하는 기록층과 광 흡수층이 조합된 다층막을 포함하고 있으므로, 넓은 선속도 범위에서 양호한 기록 재생 특성을 얻을 수 있다.
이 광학적 정보 기록 매체는 투명 기판 상에, 상기 투명 기판에 가까운 측으로부터 순서대로 배치된 제1 정보층∼제N 정보층(N은 2 이상의 정수)을 포함하는 다층 기록 매체여도 되고, 이 경우는 제1 정보층∼제N 정보층의 적어도 하나를 상기 다층막으로 한다. 이와 같이 다수의 정보층을 설치하는 경우, 특별히 한정되지 않지만, 상기에 설명한 다층막의 구성을, 적어도 투명 기판으로부터 가장 멀리 배치되는 정보층(제N 정보층)에 적용하는 것이 바람직하다. 투명 기판으로부터 멀리 배치되는 정보층일수록 고감도일 것이 요구되는데, 상기 다층막을 적용함으로써 양호한 감도가 얻어지기 때문이다.
상기 광학적 정보 기록 매체에서는, 광 흡수층의 굴절율을 n1, 상기 광 흡수층의 소쇠 계수를 k1로 하면, 3≤n1≤6, 또한, 1≤k1≤4인 것이 바람직하다. 또한, 광 흡수층은 Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Mn, Os, Ga, In, C, Si, Ge, Sn, Pb, Sb 및 Bi에서 선택되는 적어도 1개의 원소를 포함하는 것이어도 되고, 이 경우는 Si 및 Ge에서 선택되는 적어도 1개의 원소를 포함하는 것이 바람직하다. 이상과 같은 광 흡수층은 굴절율이 높고, 적절히 광을 흡수하므로, 효과적으로 넓은 선속도 범위에서의 양호한 C/N비 및 소거율을 얻을 수 있다.
상기 광학적 정보 기록 매체에서는, 다층막이 기록층에 대해 투명 기판에 가까운 측에 배치된 하측 유전체층을 더 포함하는 것이 바람직하다. 하측 유전체층의 막 두께는 135㎚ 이하가 바람직하다. 얇은 하측 유전체층은 매체의 제조 비용 삭감에 유리하다. 하측 유전체층의 막 두께의 하한에 특별히 제한은 없지만, 하측 유전체층은 5㎚ 이상이 바람직하다. 또한, 하측 유전체층의 막 두께를 d, 하측 유 전체층의 굴절율을 n2, 기록 또는 재생을 행하는 광 빔의 파장을 λ로 하면, n2d≤7λ/16이 성립하는 것이 바람직하고, 0<n2d≤3λ/16 또는 λ/4≤n2d≤7λ/16이 성립하면 더욱 좋다.
상기 광학적 정보 기록 매체에서는, 다층막이, 기록층에 대해 투명 기판과 반대측에 배치된 상측 유전체층을 더 포함하는 것이 바람직하다. 상측 유전체층의 막 두께는 15㎚이상 80㎚이하, 특히 25㎚이상 60㎚이하가 바람직하다.
상기 광학적 정보 기록 매체는, 하측 유전체층과 기록층 간에, 하측 계면층을 더 포함하고 있어도 되고, 기록층과 상측 유전체층과의 사이에, 상측 계면층을 더 포함하고 있어도 된다. 계면층을 형성하면, 소거 특성이나 반복 기록 특성의 개선이 용이해 진다. 하측 계면층 및 상측 계면층에서 선택되는 적어도 한쪽은, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W 및 Si에서 선택되는 적어도 1종의 산화물을 포함하는 재료, 바람직하게는 주성분으로 하는 재료로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 광학적 정보 기록 매체에서, 다층막이, 광 흡수층에 대해 투명 기판과 반대측에 배치된 반사층을 더 포함하고 있어도 된다.
본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법에서는, 기록층과 광 흡수층을 포함하는 다층막을 형성할 때, 식 Gex(BiySb1-y)2Tex+3으로 표시되는 재료를 주성분으로 하도록 기록층을 성막하므로, 넓은 선속도 범위에서 양호한 기록 재생 특성을 갖는 광학적 정보 기록 매체를 얻을 수 있다.
이 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법에서는, 투명 기판 상에, 이 투명 기판에 가까운 측으로부터 순서대로 배치된 제1 정보층∼제N 정보층(N은 2 이상의 정수)을 포함하는 다층 기록 매체를 제조하는 경우에도 적용할 수 있다. 이 경우는, 제1 정보층∼제N 정보층의 적어도 하나를 상기 다층막으로 하도록 성막한다.
상기 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법에서는, 다층막을 성막할 때, 기록층에 대해 투명 기판에 가까운 측에 배치되도록 하측 유전체층을 성막하는 것이 바람직하고, 이 하측 유전체층의 막 두께는 135㎚ 이하로 하는 것이 바람직하다. 또, 하측 유전체층의 막 두께의 하한에 특별히 제한은 없지만, 하측 유전체층은 5㎚ 이상이 바람직하다.
본 발명의 정보의 기록 방법 및 기록 장치에 의하면, 본 발명의 광학적 정보 기록 매체에 대해, 보다 넓은 선속도 범위에서의 양호한 기록 재생 특성을 유지할 수 있다. 또한, 본 발명의 광학적 정보 기록 매체가 제1 정보층∼제N 정보층을 포함하는 다층 기록 매체의 경우라도, 마찬가지의 효과가 얻어진다.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1∼도 4는 각각 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 일구성예의 부분 단면도이다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태의 광학적 정보 기록 매체에는, 투명 기판(1) 상에 다층막(21) 및 보호 기판(7)이 이 순서대로 설치되어 있다. 다층막(21)은 투명 기판(1)에 가까운 측으로부터 하측 유전체층(2), 기록층(3), 상측 유전체층(4), 광 흡수층(5) 및 반사층(6)이 이 순서대로 설치되어 구성되어 있다. 이 광학적 정보 기록 매체에 대해, 투명 기판(1)의 측에서 레이저 광(8)을 대물 렌즈(9)에서 집광하고, 기록층(3)에 조사하여 기록 재생을 행한다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 다층막(21)에 대해서는 하측 유전체층(2)과 기록층(3)과의 사이에 하측 계면층(10)을, 기록층(3)과 상측 유전체층(4)과의 사이에 상측 계면층(11)을, 어느 한쪽 또는 양쪽에 설치해도 된다.
투명 기판(1)의 재료로는, 레이저 광(8)의 파장에서 대략 투명한 것이 바람직하고, 폴리카보네이트 수지, 폴리메틸메타크릴레이트 수지, 폴리올레핀 수지, 노보넨(norbornene)계 수지, 자외선 경화성 수지, 유리, 혹은 이들을 적절히 조합한 것 등을 이용할 수 있다. 또한, 투명 기판(1)의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 0.01mm∼1.5㎜ 정도의 것을 이용할 수 있다.
하측 유전체층(2) 및 상측 유전체층(4)의 재료로는, 예를 들면, Y, Ce, Ti, Zr, Nb, Ta, Co, Zn, A1, Si, Ge, Sn, Pb, Sb, Bi, Te 등의 산화물, Ti, Zr, Nb, Ta, Cr, Mo, W, B, A1, Ga, In, Si, Ge, Sn, Pb 등의 질화물, Ti, Zr, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Si 등의 탄화물, Zn, Cd 등의 황화물, 셀렌화물 또는 텔루르화물, Mg, Ca, La 등의 희토류 등의 플루오르화물, C, Si, Ge 등의 단체(單體), 혹은 이들 혼합물을 이용할 수 있다. 그 중에서도 특히 대략 투명하고 열전도율이 낮은 재료, 예를 들면 ZnS와 SiO2의 혼합물이 바람직하다. 하측 유전체층(2) 및 상측 유전체층(4)은 필요에 따라 상이한 재료·조성의 것을 이용해도 되고, 동일한 재료·조성의 것을 이용하는 것도 가능하다. 여기서, 상측 유전체층(4)의 막 두께는 15㎚ 이상 80㎚ 이하인 것이 바람직하고, 또한 25㎚ 이상 60㎚ 이하인 것이 보다 바람직하다. 상측 유전체층(4)의 막 두께가 너무 얇으면 기록층(3)과 반사층(6)과의 사이의 거리 가 너무 가까워 반사층(6)의 냉각 효과가 강해지고, 기록층(3)으로부터의 열 확산이 커져 기록 감도가 저하하고, 또한, 기록층(3)이 결정화되기 어려워진다. 반대로, 상측 유전체층(4)이 너무 두꺼우면 기록층(3)과 반사층(6) 사이의 거리가 너무 떨어져 반사층(6)의 냉각 효과가 약해지고, 기록층(3)으로부터의 열 확산이 작아져 기록층(3)이 비정질화되기 어렵기 때문이다.
하측 계면층(10) 및 상측 계면층(11)의 재료로는, 하측 유전체층(2) 및 상측 유전체층(4)의 재료로서 상기에 든 것 중에, 그 역할을 하는 것이 몇 개 존재한다. 예를 들면 Ge, Si 등을 베이스로 한 질화물, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W 및 Si 등의 산화물 또는 이들 복합 산화물을 이용할 수 있고, 그 중에서도 특히 Ti, Zr, Hf, V, Nb 및 Ta 등의 산화물을 베이스로 하여, Cr, Mo 및 W 등의 산화물을 첨가한 것은 내습성의 면에서 뛰어나고, 또한 Si 등의 산화물을 첨가한 것은 소거율을 보다 높게 할 수 있다. 하측 계면층(10) 및 상측 계면층(11)의 막 두께는 특별히 한정되지 않지만, 너무 얇으면 계면층으로서의 효과를 발휘할 수 없게 되고, 너무 두꺼우면 기록 감도 저하 등으로 이어지므로, 예를 들면 0.2㎚ 이상 20㎚ 이하인 것이 바람직하다. 하측 계면층(10)과 상측 계면층(11)은 어느 한쪽을 설치하는 것만으로도 상기 효과를 발휘하는데, 양쪽을 설치하는 것이 보다 바람직하고, 양쪽을 설치하는 경우는 필요에 따라 상이한 재료·조성의 것을 이용해도 되고, 동일한 재료·조성의 것을 이용해도 된다.
기록층(3)의 재료는 식 Gex(BiySb1-y)2Tex+3(x, y는 상기에 동일)으로 표시되는 것이 바람직하다. 기록층(3)에서는, x≥5로 함으로써 반사율 및 반사율 변화를 크게할 수 있다. x의 상한에 특별히 제한은 없지만, 바람직하게는 x≤50이다. y는 보다 바람직하게는 0.1≤y≤ 0.9이다. 기록층(3)에는, 결정화 속도, 열 전도율 또는 광학 정수 등의 조정, 혹은 반복 내구성, 내열성 또는 환경 신뢰성의 향상 등의 목적으로, Sn, In, Ga, Zn, Cu, Ag, Au, Cr 혹은 추가의 Ge, Bi, Sb, Te 등의 금속, 반금속 또는 반도체 원소, 또는 O, N, F, C, S, B 등의 비금속 원소로부터 선택되는 1개 또는 다수의 원소를, 필요에 따라 기록층(3) 전체의 20원자% 이하, 바람직하게는 10원자% 이하, 특히 바람직하게는 5원자% 이하의 범위로 적절히 첨가해도 된다.
상기 원소를 포함하는 경우, 기록층의 재료는 식(Gex(BiySb1-y)2Tex+3)1-zAz로 표시될 수 있다. 단지, x, y, z는 각각 x≥5, 0<y≤1, 0≤z≤0.2(바람직하게는 0≤z≤0.1, 보다 바람직하게는 0≤z≤0.05)의 범위에 있는 수값이고, A는 Sn, In, Ga, Zn, Cu, Ag, Au, Cr, Ge, Bi, Sb, Te, O, N, F, C, S 및 B로부터 선택되는 적어도 1종의 원소이다.
기록층(3)의 막 두께는 2㎚ 이상 20㎚ 이하로 하면, 충분한 C/N비를 얻을 수 있다. 기록층(3)이 2㎚ 미만인 막 두께에서는 충분한 반사율 및 반사율 변화가 얻어지지 않으므로 C/N비가 낮고, 또한, 20㎚를 초과하는 막 두께에서는 기록층(3)의 박막면 내의 열 확산이 크기 때문에 고밀도 기록에서 C/N비가 낮아진다. 또한, 기록층(3)의 막 두께는 4㎚ 이상 14㎚ 이하인 것이 보다 바람직하다.
광 흡수층(5)에는 기록층(3)이 결정인 경우와 비정질인 경우와의 광 흡수율의 비를 조정하여, 오버라이트 시에 마크 형상이 왜곡되지 않도록 함으로써 특히 고 선속에서의 소거율을 높이고, 또한, 기록층(3)이 결정인 경우와 비정질인 경우의 반사율의 차이를 크게 하여, C/N비를 크게 하는 등의 목적으로, 굴절율이 높고, 적절히 광을 흡수하는 것이 요구된다. 그래서, 광 흡수층(5)에는 예를 들면, 굴절율 n1이 3 이상 6 이하, 소쇠 계수 k1이 1 이상 4 이하, 보다 바람직하게는 n1이 3 이상 5 이하, k1이 1.5 이상 3 이하인 재료를 이용하면 된다. 또한, 광 흡수층(5)으로서, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Mn, Os, Ga, In, C, Si, Ge, Sn, Pb, Sb 및 Bi로부터 선택되는 적어도 1개의 원소를 포함하는 재료를 이용해도 된다. 구체적으로는 Ge-Cr, Ge-Mo, Si-Cr, Si-Mo, Si-W 등의 비정질인 Ge 합금 및 Si 합금, 혹은 Ti, Zr, Nb, Ta, Cr, Mo, W, SnTe, PbTe 등의 결정성 금속, 반금속 및 반도체 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 이들 중에서도 Si 및 Ge에서 선택되는 적어도 1개의 원소를 포함하는 재료가 바람직하고, 특히 Si를 베이스로 한 재료는 Ge에 비해 융점이 높으므로 내열성이 양호하고, 열 전도율도 높으므로 C/N비가 커져, 보다 바람직하다.
상기의 기록층(3)과 광 흡수층(5)을 조합하여 이용함으로써, 넓은 선속도 범위에서 C/N비도 소거율도 높게 유지할 수 있다.
또한, 이러한 다층막을 포함하는 광학적 정보 기록 매체를 제조할 때는, 제조 비용의 면에서 각 층의 막 두께는 얇은 쪽이 바람직하다. 그 중에서도, 가장 성막에 시간이 걸리는 층을 얇게 하는 것은 다층막의 각 층을 별실에서 동시에 병행하여 성막하는 데다, 쓸데없는 시간을 생략하여 효율을 높일 수 있으므로, 보다 바람직하다. 예를 들면 DVD-RAM 등의 경우는 레이저 광을 입사시키는 측의 기판과 기록층과의 사이의 하측 유전체층의 막 두께가 150㎚ 정도로 두꺼워, 성막에 가장 시간이 걸린다. 그런데, 이 하측 유전체층의 막 두께를 얇게 하면 반사율 및 반사율 변화가 저하하여, 실용적인 기록 매체로서 알맞지 않으므로, 단순히 얇게 하는 것은 곤란하다. 또한, 하측 유전체층을 얇게 하는 것에 의한 반사율 저하는, 상측 유전체층의 막 두께를 얇게 함으로써 보충할 수도 있지만, 상측 유전체층의 막 두께가 너무 얇으면 기록층과 반사층 간의 거리가 너무 가까워져 반사층의 냉각 효과에 의해 기록층으로부터의 열 확산이 커져 기록 감도가 저하하고, 또한, 기록층이 결정화되기 어려우므로 바람직하지 않다. 이러한 문제에 대해서도, 본 실시 형태와 같은 막 구성의 광학적 정보 기록 매체에서는 하측 유전체층(2)의 막 두께를 얇게 해도 충분한 반사율 및 반사율 변화가 얻어지고, 실용적인 정보 기록 매체로서의 특성을 만족시킬 수 있다. 예를 들면, 파장 660㎚에서 ZnS와 SiO2를 각각 80분자%와 20분자%씩 혼합한 유전체층 재료를 하측 유전체층(2)으로서 이용하는 경우, 종래 150㎚ 정도의 막 두께였던 것이 135㎚ 이하, 나아가 125㎚ 이하까지 얇게 할 수 있다. 단, 이 막 두께(d)의 범위는 유전체 재료의 굴절율 n2 및 파장 λ에 의존하므로, 일반적으로는 n2d≤7λ/16인 것이 바람직하고, 또한 0<n2d≤3λ/16 또는 λ/4≤n2d≤7λ/16인 것이 보다 바람직하다.
반사층(6)의 재료로는 예를 들면 Au, Ag, Cu, Al, Ni, Cr 혹은 이들을 베이스로 한 합금 재료를 이용한다. 그 중에서도 특히 Ag 합금은 열전도율 및 반사율이 높고, 또한 Al 합금도 비용면에서 바람직하다. 또한, 반사층(6)은 다수의 층을 조합하여 이용해도 된다.
또, 상기의 다층막은 오제(Auger) 전자 분광법, X선 광전자 분광법 또는 2차 이온 질량 분석법 등의 방법(예를 들면 응용 물리학회/박막·표면 물리 분과학회편 「박막 제작 핸드북」共立 출판 주식회사, 1991년 등)에 의해 각 층의 재료 및 조성을 조사하는 것이 가능하다. 본원의 실시예에서는 각 층의 타겟 재료 조성과 실제로 형성된 박막의 조성이 대략 동등한 것을 확인했다. 단, 성막 장치, 성막 조건 또는 타겟의 제조 방법 등에 따라서, 타겟 재료 조성과 실제로 형성된 박막의 조성이 상이한 경우도 있다. 이와 같은 경우에는, 미리 조성의 차이를 보정하는 보정 계수를 경험 조항으로부터 구하여, 소망의 조성의 박막이 얻어지도록 타겟 재료 조성을 결정하는 것이 바람직하다.
보호 기판(7)의 재료로는, 투명 기판(1)의 재료로서 든 것과 동일한 것을 이용할 수 있는데, 투명 기판(1)과 상이한 재료로 해도 되고, 레이저 광(8)의 파장에서 반드시 투명하지 않아도 된다. 또한, 보호 기판(7)의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 0.01㎜∼3.0㎜ 정도의 것을 이용할 수 있다.
또, 도 1 및 도 2에 도시한 광학적 정보 기록 매체의 다층막(21)에는, 하측 유전체층(2), 상측 유전체층(4) 및 반사층(6)(도 2의 경우는 또한 하측 계면층(10) 및 상측 계면층(4))도 설치되어 있지만, 적어도 기록층(3)과 광 흡수층(5)이 설치 되어 있으면 된다.
또한, 이상에서 설명한 도 1 및 도 2에 도시한 광학적 정보 기록 매체는 1개의 정보층만을 포함하는 매체인데, 본 실시 형태의 광학적 정보 기록 매체는 도 3 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 투명 기판(1)과 보호 기판(7)과의 사이에 분리층(12)을 통해 다수의 정보층이 설치된 다층 기록 매체여도 된다. 도 3에는 2층의 정보층(제1 정보층(13) 및 제2 정보층(14))이 설치된 구성예가 도시되어 있고, 도 4에는 3층 이상의 정보층(제1 정보층(13), 제2 정보층(14), … 및 제N 정보층(15)(도 4에 도시하는 구성예에서 N은 3이상의 정수))이 설치된 구성예가 도시되어 있다. 이러한 다층 기록 매체의 경우, 적어도 어느 하나의 정보층이 도 1 또는 도 2에 도시한 다층막(21)의 구조와 같을 필요가 있다. 이 광학적 정보 기록 매체의 각 정보층에 대해, 투명 기판(1) 측으로부터 레이저 광(8)을 대물 렌즈(9)에서 집광하고, 조사하여 기록 재생을 행한다. 또한, 다수 설치된 정보층은, 투명 기판(1)으로부터 멀리 배치되는 것일수록 도달하는 레이저 광량이 감소하므로, 기록 감도를 높게 형성할 필요가 있다. 그래서, 다층 기록 매체의 경우는, 적어도, 투명 기판(1)으로부터 가장 멀리 배치되는 정보층(도 3에서는 제2 정보층(14), 도 4에서는 제N 정보층(15))을 다층막(21)과 동일한 구조로 하는 것이 바람직하다. 다층막(21)에 의하면 고감도를 얻을 수 있기 때문이다.
분리층(12)으로는 자외선 경화성 수지 등을 이용할 수 있다. 분리층(12)의 두께는 제1 정보층(13) 및 제2 정보층(14)중 어느 한쪽을 재생할 때에 다른 쪽으로부터의 크로스토크가 작아지도록, 적어도 대물 렌즈(9)의 개구수(NA)와 레이저 광(8)의 파장(λ)에 의해 결정되는 초점 심도 이상의 두께인 것이 바람직하고, 또한, 모든 정보층이 집광 가능한 범위에 들어가는 두께일 것도 필요하다. 예를 들면, 분리층(12)의 두께는 λ= 660㎚, NA= 0.6의 경우는 10㎛ 이상 100㎛ 이하, λ= 405㎚, NA= 0.85의 경우는 5㎛ 이상 50㎛ 이하인 것이 바람직하다. 단, 층간 크로스토크를 저감할 수 있는 광학계가 개발되면 분리층(12)의 두께는 상기보다 얇게 할 수 있을 가능성도 있다.
제1 정보층(13)은 30% 이상의 투과율을 갖는 것이 바람직하지만, 개서형 뿐만 아니라, 추기형 또는 재생 전용형의 어느 쪽 정보층으로 하는 것도 가능하다.
또, 도 1∼도 4에 도시한 상기 광학적 정보 기록 매체 2매를, 각각의 보호 기판(8)측을 대향시켜 맞붙이고, 양면 구조로 함으로써, 매체 1매당 축적할 수 있는 정보량을 또한 2배로 할 수 있다.
상기의 각 박막은 예를 들면 진공 증착법, 스퍼터링법, 이온 플레이팅법, CVD(Chemical Vapor Deposition)법, MBE(Molecular Beam Epitaxy)법 등의 기상 박막 퇴적법에 의해 형성할 수 있다.
투명 기판(1) 상에 상기 박막층이나 분리층(12)을 순차 형성한 후에 보호 기판(7)을 형성 또는 맞붙여도 되고, 반대로 보호 기판(7) 상에 각 층을 순서대로 형성한 후에 투명 기판(1)을 형성 또는 맞붙여도 된다. 그 중에서도 특히, 후자는 투명 기판(1)이 0.4㎜ 이하와 같이 얇은 경우에 적합하다. 그 경우, 레이저 광 안내용의 홈인 그루브나 어드레스 신호 등의 요철 패턴은 보호 기판(7) 및 분리층(12)의 표면 상에 형성, 즉 스탬퍼 등의 미리 소망의 요철 패턴이 형성된 것 으로부터 전사될 필요가 있다. 이 때, 특히 분리층(12)과 같이 그 층 두께가 얇고, 통상 이용되는 인젝션법이 곤란한 경우는, 2P법(photo-polymerization법)을 이용할 수 있다.
상기 광학적 정보 기록 매체의 기록층(3)은 일반적으로, 성막한 채로의 상태에서는 비정질 상태이므로, 레이저 광 등으로 어닐함으로써 결정 상태로 하는 초기화 처리를 실시함으로써 완성 디스크로 되어, 기록 재생을 행할 수 있다.
도 5에, 본 발명의 기록 장치의 일예로서, 광학적 정보 기록 매체의 기록 재생을 행하는 기록 재생 장치의 최소한 필요한 장치 구성의 일예의 개략도를 도시한다. 레이저 다이오드(16)를 나간 레이저 광(8)은 하프 미러(17) 및 대물 렌즈(9)를 통해, 모터(18)에 의해서 회전되는 광학적 정보 기록 매체(디스크)(19) 상에 포커싱된다. 정보의 재생은 매체(19)로부터의 반사광을 포토 디텍터(20)에 입사시키고, 신호를 검출함으로써 행해진다.
정보 신호의 기록을 행할 때는, 레이저 광(8)의 강도를 다수의 파워 레벨 사이에서 변조한다. 레이저 강도를 변조하는 레이저 광 강도 변조 수단으로는, 반도체 레이저의 구동 전류를 변조하여 행하는 전류 변조 수단을 이용해도 되고, 전기 광학 변조기, 음향 광학 변조기 등의 수단을 이용해도 된다. 기록 마크를 형성하는 부분에 대해서는 피크 파워(P1)의 단일 사각형 펄스라도 되지만, 특히 긴 마크를 형성하는 경우는 과잉의 열을 감소시켜, 마크 폭을 균일하게 할 목적으로, 도 6에 도시하는 바와 같이 피크 파워(P1) 및 바텀(bottom) 파워(P3)(단, P1>P3)와의 사이에서 변조된 다수의 펄스 열로 이루어지는 기록 펄스열을 이용한다. 또한, 최 후 마지막 펄스 후에 냉각 파워(P4)의 냉각 구간을 설치해도 좋다. 마크를 형성하지 않는 부분에 대해서는, 바이어스 파워(P2)(단, P1> P2)로 일정하게 유지한다.
기록 마크를 형성하기 위한 레이저 파워 변조 펄스 파형을, 그 발광 파워의 시간 적분을 최대 발광 파워로 나눈 값이 고 선속도일수록 크게 함으로써, 보다 넓은 선속도 범위에서 양호한 기록 재생 특성을 유지할 수 있다. 발광 파워의 시간 적분을 최대 발광 파워로 나눈 값을 크게 한다는 것은, 구체적으로는 예를 들면 도 6에 도시하는 펄스 파형에서, 피크 파워(P1)의 각 펄스의 일부 또는 모든 폭을 넓게 하던지, 또는, 파워 레벨(P3)을 높게 함으로써 실현할 수 있고, 특히 고 선속도에서의 소거율 향상에 효과가 있다.
여기서, 기록할 마크의 길이, 나아가 마크 전후의 스페이스의 길이 등의 각 패턴에 의해서 마크 에지 위치가 고르지 않아, 지터 증대의 원인이 되는 경우가 있다. 본 발명의 광학적 정보 기록 매체의 기록 방법에서는, 이를 방지하여, 지터를 개선하기 위해서, 상기 펄스열의 각 펄스의 위치 또는 길이를 패턴마다 에지 위치가 맞춰지도록 필요에 따라 조정하고, 보상하는 것도 가능하다.
본 발명에서는 정보의 기록시에 2이상의 모드를 적용하고, 이 2 이상의 모드에 따라 상이한 2 이상의 선속도로 매체를 회전시키고, 이 2 이상의 선속도에 따라 상이한 2 이상의 레이저 파워 변조 펄스 파형을 이용하고, 또한 이 2 이상의 레이저 파워 변조 펄스 파형을, 상기 선속도가 높을수록 발광 파워의 시간 적분을 최대 발광 파워로 나눈 값이 높아지도록 설정해도 된다.
(실시예)
이하, 실시예에 의해 본 발명을 더 구체적으로 설명하는데, 이하의 실시예는 본 발명을 한정하는 것은 아니다.
[실시예 1]
실시예 1에서는, 도 2에 도시하는 구성의 광학적 정보 기록 매체를 제작했다. 투명 기판으로서, 폴리카보네이트 수지로 이루어지고, 직경 12㎝, 두께 0.6㎜, 그루브 피치 1.23㎛, 그루브 깊이 약 55㎚의 기판을 준비했다. 이 투명 기판의 그루브가 형성된 표면 상에, (ZnS)80(SiO2)20으로 이루어지는 막 두께 130㎚의 하측 유전체층, (ZrO2)25(SiO2)25(Cr2O3)50으로 이루어지는 막 두께 2㎚의 하측 계면층, 다양한 재료 조성으로 이루어지는 막 두께 9㎚의 기록층, (ZrO2)25(SiO2)25(Cr2O3)50으로 이루어지는 막 두께 2㎚의 상측 계면층, (ZnS)80(SiO2)20으로 이루어지는 막 두께 40㎚의 상측 유전체층, CrSi2로 이루어지는 막 두께 25㎚의 광 흡수층, Ag98Pd1Cu1로 이루어지는 막 두께 80㎚의 반사층의 각 층을 스퍼터링법에 의해 순차 적층했다. 하측 유전체층에 이용한 재료의 굴절율 n은 2.1이다.
기록층으로는 (표 1)에 표시하는 대로, Ge40Sb8Te52(디스크(1))와, 그 Ge의 일부를 Sn으로 치환한 것(디스크(2∼5)) 및 그 Sb의 일부를 Bi로 치환한 것(디스크(6∼9))을 이용했다. 또, (표 1)에는 디스크(6∼9)의 기록층에 이용한 재료를 식 Gex(BiySb1-y)2Tex+3으로 표기한 경우의 x, y의 값도 표시하고 있다.
<표 1>
Figure 112004012738245-pat00001
각 층의 성막에는, 기록층에 대해서는 Ar-N2 혼합 가스(N2 분압 약 3%)를, 그 이외에 대해서는 Ar만을 스퍼터 가스로서 흐르게 하면서 성막했다.
이렇게 해서 형성된 다층 박막면 상에 자외선 경화성 수지를 통해 폴리카보네이트 수지로 이루어지는 보호 기판을 맞붙이고, 자외선 광을 조사하여 경화시켰다. 이 디스크의 투명 기판측에서 레이저 광으로 어닐함으로써 기록층 전체 면을 초기화했다.
이들 디스크를 선속도 8.2m/s(기준 클록 T= 17.1ns) 및 선속도 20.5m/s(기준 클록 T= 6.9ns)의 2조건으로 회전시키고, 파장 660㎚·NA 0.6의 광학계를 이용하여 측정을 행했다. 어느 쪽 선속도에 있어서도, 그루브 및 랜드에 3T 신호와 11T 신호를 교대로 11회 기록하고, 3T 신호가 기록된 상태에서 이 트랙을 재생하여 그 C/N비를 스펙트럼 애널라이저로 측정했다. 그리고, 그 위에 11T 신호를 1회 기록했을 때의 소거율, 즉 3T 신호 진폭의 감쇠비를 스펙트럼 애널라이저로 측정했다.
신호를 기록할 때의 레이저 변조 파형은 어느 쪽 선속도에 있어서도, 3T 신호인 경우는 폭 1.5T(파워 레벨(P1))의 단일 사각형 펄스로 하고, 11T 신호의 경우는 폭 1.5T의 선두 펄스와 이에 연속되는 폭 0.5T의 8개의 서브 펄스로 이루어지는 펄스열(파워 레벨(P1))로 하고, 각 펄스 간(파워 레벨(P3))의 폭도 0.5T로 했다. 마크를 기록하지 않은 부분에서는 파워 레벨(P2)의 연속광으로 했다. 선속도 8.2m/s의 경우는 P3= P2, 선속도 20.5m/s의 경우는 P3= P2+1mW로 했다. 각 파워 레벨의 결정 방법으로는, 기록 파워 레벨(P1)은 C/N비가 45dB를 넘는 파워의 하한값의 1.5배, 파워 레벨(P2)은 소거율이 20dB를 넘는 파워 범위의 중앙값, 재생 파워 레벨(P5)은 1.0mW로 했다.
이상의 조건에서, 각 디스크의 C/N비와 소거율을 측정한 결과를 (표 1)에 도시한다. 또, C/N비 및 소거율은 각 디스크 모두 그루브와 랜드에서 큰 차이가 없었지만, (표 1)에는 낮은 쪽의 값을 표시하고 있다.
기록층이 Ge-Sb-Te로 이루어지는 디스크(1)에서는 8.2m/s에서 양호한 C/N비 및 소거율이 얻어지는데, 20.5m/s에서는 소거율이 나쁘고, 기록층의 결정화 속도가 불충분한 것을 알 수 있다. 기록층이 Ge의 일부를 Sn으로 치환한 Ge-Sn-Sb-Te로 이루어지는 디스크(2∼5)에서는 Sn량이 5원자%로부터 20원자%까지 증가함에 따라서 결정화 속도가 빠르게 되므로 20.5m/s에서의 소거율은 향상되지만, 한편으로 8.2m/s에서는 비정질화가 되기 어려우므로 C/N비가 저하되어, 2개의 선속도로 양호한 기록 재생 특성을 동시에 실현할 수 없다. 이에 대해, 기록층이 Sb의 일부를 Bi로 치환한 Ge-Sn-Sb-Te로 이루어지는 디스크(6∼9)에서는 Bi량을 불과 2∼8원자%로 늘리는 것만으로 20.5m/s에서 충분한 소거율이 얻어지고, 8.2m/s에서의 C/N비도 충분히 높은 값을 유지한다.
이상의 결과로부터, Si 합금 등으로 이루어지는 광 흡수층과 Ge-Sb-Bi-Te계 재료로 이루어지는 기록층을 함께 이용함으로써, 넓은 선속도 범위에서 양호한 기록 재생 특성이 얻어지는 것을 알았다.
[실시예 2]
실시예 1의 디스크 3 및 디스크 7의 하측 유전체층의 막 두께를 100㎚∼150㎚의 범위로 바꾼 디스크를 실시예 1과 마찬가지의 방법으로 제작하고, 실시예 1과 마찬가지의 평가를 행했다. 그 결과를 (표 2)에 나타낸다.
<표 2>
Figure 112004012738245-pat00002
또한, 본 실시예의 각 디스크에 대해서는, 그루브가 없는 경면(鏡面) 부분에서의 반사율을 측정하고 있으므로, 함께 표 2에 표시한다.
표 2에 의하면, 실시예 1의 디스크(3)의 하측 유전체층의 막 두께를 바꾼 디스크(10∼15)는, 하측 유전체층의 막 두께가 140㎚ 근방에서 반사율이 최대로 되는데, 130㎚ 이하에서는 반사율이 15%를 넘지 않는다. 이에 대해, 실시예 1의 디스크(7)의 하측 유전체층의 막 두께를 바꾼 디스크(16∼21)는, 하측 유전체층의 막 두께를 100㎚까지 얇게 해도 반사율 15% 이상을 확보할 수 있다. 또한, 그 C/N비 및 소거율은 8.2m/s 및 20.5m/s중 어느 선속도에서나 충분한 값이고, 그 중에서도 120㎚∼130㎚에서 특히 양호한 결과를 나타내고 있다.
이상의 결과에서, Si 합금 등으로 이루어지는 광 흡수층과 Ge-Sb-Bi-Te계 재료로 이루어지는 기록층을 함께 이용하고, 또한 하측 유전체층을 135㎚ 이하로 함으로써, 넓은 선속도 범위에서, 보다 양호한 기록 재생 특성이 얻어지는 것을 알았다.
이상에서 설명한 대로, 본 발명에 의하면, 고밀도이고 또한 넓은 선속도 범위에서 양호한 기록 재생 특성이 얻어져, 저가로 제조할 수 있는 기록 매체와 그 제조 방법, 기록 방법 및 기록 장치를 제공할 수 있다.
또, 발명의 상세한 설명의 항에서 행한 구체적인 실시 형태 또는 실시예는 어디까지나 본 발명의 기술 내용을 명확하게 하는 것으로서, 그와 같은 구체예에만 한정하여 협의로 해석되어야 되는 것이 아니라, 본 발명의 정신과 다음에 기재하는 특허 청구의 범위 내에서, 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.

Claims (24)

  1. 투명 기판과, 상기 투명 기판 상에 설치된 다층막을 포함하고, 상기 투명 기판측으로부터 광 빔이 조사되는 광학적 정보 기록 매체로서,
    상기 다층막이, 상기 투명 기판에 가까운 측으로부터 순서대로, 적어도, 상기 광 빔의 조사에 의해 광학적으로 검출 가능한 서로 상이한 2 이상의 상태 간에서 변화하는 기록층과, 광 흡수층을 포함하고,
    상기 기록층이, 식 Gex(BiySb1-y)2Tex+3(단, x≥ 5 또한 0<y≤1)으로 표시되는 재료를 주 성분으로 하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 투명 기판 상에, 상기 투명 기판에 가까운 측으로부터 순서대로 배치된 제1 정보층∼제N 정보층(N은 2 이상의 정수)을 포함하고,
    상기 제1 정보층∼제N 정보층의 적어도 하나가 상기 다층막인 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 광 흡수층의 굴절율을 n1, 상기 광 흡수층의 소쇠 계수를 k1으로 하면, 3≤n1≤6, 또한 1≤k1≤4인 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 광 흡수층이, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Mn, Os, Ga, In, C, Si, Ge, Sn, Pb, Sb 및 Bi에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 광 흡수층이, Si 및 Ge에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 다층막이, 상기 기록층에 대해 상기 투명 기판에 가까운 측에 배치된 하측 유전체층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 하측 유전체층의 막 두께가 135㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 하측 유전체층의 막 두께를 d, 상기 하측 유전체층의 굴절율을 n2, 기록 또는 재생에 이용하는 광 빔의 파장을 λ로 하면, n2d≤7λ/16인 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  9. 제 8 항에 있어서, 0<n2d≤3λ/16 또는 λ/4≤n2d≤7λ/16인 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  10. 제 6 항에 있어서, 상기 다층막이, 상기 하측 유전체층과 상기 기록층과의 사이에, 하측 계면층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 하측 계면층이, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W 및 Si에서 선택되는 적어도 1종의 산화물을 주성분으로 하는 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  12. 제 1 항에 있어서, 상기 다층막이, 상기 광 흡수층에 대해 상기 투명 기판과 반대측에 배치된 상측 유전체층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 상측 유전체층의 막 두께가 15㎚ 이상 80㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 상측 유전체층의 막 두께가 25㎚ 이상 60㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  15. 제 12 항에 있어서, 상기 다층막이, 상기 기록층과 상기 상측 유전체층과의 사이에 상측 계면층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 상측 계면층이, Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W 및 Si에서 선택되는 적어도 1종의 산화물을 주성분으로 하는 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  17. 제 1 항에 있어서, 상기 다층막이, 상기 광 흡수층에 대해 상기 투명 기판과 반대측에 배치된 반사층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체.
  18. 투명 기판과, 상기 투명 기판 상에 설치된 다층막을 포함하고, 상기 투명 기판측으로부터 광 빔이 조사되며, 상기 다층막이 상기 투명 기판에 가까운 측으로부터 순서대로, 적어도, 상기 광 빔의 조사에 의해 광학적으로 검출 가능한 서로 상이한 2 이상의 상태간에서 변화하는 기록층과, 광 흡수층을 포함하는 광학적 정보 기록 매체를 제조하는 방법으로서,
    상기 기록층을, 식 Gex(BiySb1-y)2Tex+3(단, x≥ 5 또한 0<y≤1)으로 표시되는 재료를 주성분으로 하도록 성막(成膜)하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법.
  19. 제 18 항에 있어서, 상기 투명 기판 상에, 상기 투명 기판에 가까운 측으로부터 순서대로 배치된 제1 정보층∼제N 정보층(N은 2 이상의 정수)을 포함하는 광학적 정보 기록 매체를 제조하는 방법에 있어서,
    상기 제1 정보층∼제N 정보층의 적어도 하나를, 상기 다층막으로 하도록 성막하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법.
  20. 제 18 항에 있어서, 상기 다층막에서, 상기 기록층에 대해 상기 투명 기판에 가까운 측에 배치되는 하측 유전체층을, 막 두께가 135㎚ 이하로 되도록 성막하는 것을 특징으로 하는 광학적 정보 기록 매체의 제조 방법.
  21. 투명 기판과, 상기 투명 기판 상에 설치된 다층막을 포함하고, 상기 투명 기판측으로부터 광 빔이 조사되며, 상기 다층막이 상기 투명 기판에 가까운 측으로부터 순서대로, 적어도, 상기 광 빔의 조사에 의해 광학적으로 검출 가능한 서로 상이한 2 이상의 상태간에서 변화하는 기록층과, 광 흡수층을 포함하는 광학적 정보 기록 매체로의 정보 기록 방법으로서,
    상기 기록층이, 식 Gex(BiySb1-y)2Tex+3(단, x≥ 5 또한 0<y≤1)으로 표시되는 재료를 주성분으로 하고,
    상기 매체를 회전시키면서, 상기 매체의 선속도가 높아질수록 발광 파워의 시간 적분을 최대 발광 파워로 나눈 값이 높아지도록 설정한 레이저 파워 변조 펄스 파형을 이용하여 상기 정보를 기록하는 것을 특징으로 하는 정보의 기록 방법.
  22. 제 21 항에 있어서, 상기 광학적 정보 기록 매체가, 상기 투명 기판 상에, 상기 투명 기판에 가까운 측으로부터 순서대로 배치된 제1 정보층∼제N 정보층(N은 2 이상의 정수)을 포함하고, 상기 제1 정보층∼제N 정보층의 적어도 하나가 상기 다층막인 것을 특징으로 하는 정보의 기록 방법.
  23. 제 1 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 기재된 광학적 정보 기록 매체에 정보를 기록하기 위한 정보의 기록 장치로서,
    상기 광학적 정보 기록 매체를 회전시킬 수 있는 모터와,
    레이저 광을 출사하는 광원과,
    상기 레이저 광의 강도를 변조 가능하게 하는 레이저 광 강도 변조 수단을 포함하고,
    상기 레이저 광 강도 변조 수단은 상기 레이저 광을 상기 광학적 정보 기록 매체의 선속도가 높아질수록 상기 레이저 광의 발광 파워의 시간 적분을 최대 발광 파워로 나눈 값이 높아지도록 설정된 레이저 파워 변조 펄스 파형으로 변조 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 정보의 기록 장치.
  24. 제 23 항에 있어서, 상기 광학적 정보 기록 매체가, 상기 투명 기판 상에, 상기 투명 기판에 가까운 측으로부터 순서대로 배치된 제1 정보층∼제N 정보층(N은 2 이상의 정수)을 포함하고, 상기 제1 정보층∼제N 정보층의 적어도 하나가 상기 다층막인 것을 특징으로 하는 정보의 기록 장치.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4180980B2 (ja) * 2003-06-10 2008-11-12 本田技研工業株式会社 半導体装置
JPWO2006025162A1 (ja) * 2004-08-30 2008-05-08 松下電器産業株式会社 光学的情報記録媒体およびその製造方法
JP2006079795A (ja) * 2004-09-13 2006-03-23 Tdk Corp 光記録媒体
CN1922673A (zh) * 2004-11-10 2007-02-28 松下电器产业株式会社 信息记录介质及其制造方法
JP4996610B2 (ja) * 2006-09-01 2012-08-08 パナソニック株式会社 光学的情報記録媒体
KR100807230B1 (ko) * 2006-09-27 2008-02-28 삼성전자주식회사 상변화 물질층 및 이를 포함하는 상변화 메모리 장치
US8435620B2 (en) * 2011-09-09 2013-05-07 Ritek Corporation Optical recording medium and recording material for the same
CN103117070A (zh) * 2013-01-08 2013-05-22 南京邮电大学 基于氮化铜薄膜的一次写入型双面光盘及其制造方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR890001037A (ko) * 1987-06-11 1989-03-18 에리마사요시 정보의 기록 및 삭제 방법
JPH0428587A (ja) * 1990-05-24 1992-01-31 Ricoh Co Ltd 光情報記録媒体
JPH08306073A (ja) * 1995-04-28 1996-11-22 Victor Co Of Japan Ltd 光ディスク
KR970071563A (ko) * 1996-04-13 1997-11-07 구자홍 상변화형 광기록매체 및 그의 제조방법
JP2000149325A (ja) * 1998-11-09 2000-05-30 Sony Corp 光記録媒体及びその製造方法
KR20010020233A (ko) * 1998-02-24 2001-03-15 이데이 노부유끼 광 기록 매체

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2596478B2 (ja) 1991-03-20 1997-04-02 非酸化物ガラス研究開発株式会社 書換え形光情報記録媒体
JP3129497B2 (ja) 1992-02-03 2001-01-29 株式会社リコー 相変化型光記録媒体
KR0153033B1 (ko) * 1993-06-18 1998-12-15 가나이 쯔또무 정보기록용 박막 및 정보기록매체
WO1995026550A1 (fr) 1994-03-25 1995-10-05 Toray Industries, Inc. Support d'enregistrement optique
DE69529442T2 (de) 1994-09-22 2003-11-20 Ricoh Kk Informationsaufzeichnungsverfahren und -vorrichtung
DE19521832A1 (de) 1995-06-16 1996-12-19 Bosch Gmbh Robert Druckmeßvorrichtung
EP0825595B1 (en) 1996-03-11 2004-07-28 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical data recording medium, method of producing the same and method of reproducing/erasing record
GB2336463B (en) 1998-04-16 2000-07-05 Ricoh Kk Optical recording method for a rewritable phase-change optical recording medium
EP1038294A2 (en) * 1998-06-18 2000-09-27 Koninklijke Philips Electronics N.V. Rewritable optical information medium
TW448443B (en) 1998-08-05 2001-08-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Optical information storage media and production method as well as the storage reproducing method and device
JP3853543B2 (ja) 1998-08-05 2006-12-06 松下電器産業株式会社 光学的情報記録媒体とその製造方法、その記録再生方法および記録再生装置
JP2000137928A (ja) 1998-10-30 2000-05-16 Ricoh Co Ltd 光記録媒体および光記録方法
JP2000298875A (ja) * 1999-02-13 2000-10-24 Sony Corp 光記録媒体
JP3848507B2 (ja) 1999-10-29 2006-11-22 株式会社リコー 光記録装置、光記録方法およびその方法をコンピュータに実行させるプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
CN1194348C (zh) 2000-11-30 2005-03-23 日本胜利株式会社 光记录媒体
JP2002312979A (ja) 2001-04-12 2002-10-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学情報記録媒体
DE60207676T2 (de) 2001-12-18 2006-09-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma Informationsaufzeichnungsmedium und Verfahren zu dessen Herstellung
US20030161257A1 (en) * 2002-02-27 2003-08-28 Kabushiki Kaisha Toshiba Optical disk and method of producing the same
KR100906056B1 (ko) 2002-03-19 2009-07-03 파나소닉 주식회사 정보 기록매체와 그 제조 방법
JP4181490B2 (ja) * 2003-03-25 2008-11-12 松下電器産業株式会社 情報記録媒体とその製造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR890001037A (ko) * 1987-06-11 1989-03-18 에리마사요시 정보의 기록 및 삭제 방법
JPH0428587A (ja) * 1990-05-24 1992-01-31 Ricoh Co Ltd 光情報記録媒体
JPH08306073A (ja) * 1995-04-28 1996-11-22 Victor Co Of Japan Ltd 光ディスク
KR970071563A (ko) * 1996-04-13 1997-11-07 구자홍 상변화형 광기록매체 및 그의 제조방법
KR20010020233A (ko) * 1998-02-24 2001-03-15 이데이 노부유끼 광 기록 매체
JP2000149325A (ja) * 1998-11-09 2000-05-30 Sony Corp 光記録媒体及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
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US7074471B2 (en) 2006-07-11
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