KR20110086668A - 정보 기록 매체, 기록 장치, 재생 장치 및 재생 방법 - Google Patents

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KR20110086668A
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시게루 후루미야
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파나소닉 주식회사
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Abstract

정보를 기록할 수 있는 N개(N은 N≥3의 정수)의 정보층을 갖고, 레이저광이 조사됨으로써, 각 정보층으로의 정보의 기록 및 상기 각 정보층에 기록된 정보의 재생이 행해지는 정보 기록 매체로서, 상기 N개의 정보층은, 레이저광 입사측으로부터 차례로 배치된 제 N 정보층, 제 N-1 정보층, 제 N-2 정보층 ㆍㆍㆍ 제 2 정보층, 제 1 정보층을 포함하고, 상기 제 N 정보층의 반사율은 RN이고, 제 M 정보층(M은 N>M≥1을 만족시키는 모든 정수)의 반사율은 RM이며, 상기 제 N 정보층에 기록된 정보의 재생시에 상기 제 N 정보층에 조사하는 레이저광의 상한 재생 파워는 PrNmax이고, 상기 제 M 정보층에 기록된 정보의 재생시에 상기 제 M 정보층에 조사하는 레이저광의 상한 재생 파워는 PrMmax이고, 하기의 식(1), (2):
RN>RM ㆍㆍㆍ (1)
PrNmax<PrMmax ㆍㆍㆍ(2)
를 동시에 만족시키고 있는 정보 기록 매체.

Description

정보 기록 매체, 기록 장치, 재생 장치 및 재생 방법{INFORMATION RECORDING MEDIUM, RECORDING DEVICE, REPRODUCTION DEVICE, AND REPRODUCTION METHOD}
본 발명은 정보 기록 매체에 관한 것으로, 특히, 레이저광의 조사에 의해서 정보의 기록 및 기록된 정보를 재생하는 정보층을 3개 이상 구비한 정보 기록 매체, 이 정보 기록 매체에 기록을 행하는 기록 장치, 이 정보 기록 매체의 재생을 행하는 재생 장치, 및, 이 정보 기록 매체를 재생하는 재생 방법에 관한 것이다.
최근, 레이저광의 조사에 의해서 정보의 기록, 소거, 리라이팅, 재생을 행할 수 있는 정보 기록 매체가 널리 연구 개발ㆍ상품화되고 있다. 이러한 정보 기록 매체는, 상변화형(phase-changeable) 기록 재료 등의 박막으로 이루어지는 기록층을 포함하는 정보층을 구비한다. 정보를 기록하는 경우, 기록층에 레이저광을 조사하여, 국소적인 가열을 행함으로써, 조사 조건의 차이에 따른 광학 정수가 상이한 영역을 형성한다. 예컨대, 레이저광의 조사에 의해서 발생하는 열에 의해, 기록층의 상변화 재료를 결정상(crystalline phase)과 비정질상(amorphous phase) 사이에서 상태 변화시켜서, 정보를 기록한다. 구체적으로는, 예컨대, 기록해야 할 정보에 의해서 변조된 신호에 근거하는 길이로 나타내어지는 스페이스 및 마크의 조합을 기록층의 트랙 상에 형성한다.
상변화 기록 재료를 기록층에 이용하는 정보 기록 매체 중, 상변화가 가역적인 것에 의해, 정보의 소거나 리라이팅이 가능한 리라이팅형 정보 기록 매체의 경우, 일반적으로 기록층의 초기 상태는 결정상이다. 정보를 기록하는 경우, 고파워의 레이저광을 조사함으로써 기록층의 일부를 용융하고, 그 후, 급속히 냉각함으로써, 레이저광이 조사된 부분을 비정질상으로 한다. 정보를 소거하는 경우에는, 기록시에 비해서 저파워의 레이저광을 조사함으로써 기록층의 일부의 온도를 상승시키고, 그 후, 천천히 냉각함으로써, 레이저광이 조사된 부분을 결정상으로 한다. 또한, 고파워와 저파워로 파워 변조시킨 레이저광을 기록층에 조사함으로써, 기록되어 있는 정보를 소거하면서 새로운 정보를 기록하는 것, 즉 리라이팅이 가능하다.
정보의 소거 또는 리라이팅을 고속으로 행하기 위해서는, 단시간에 비정질상을 결정상으로 변화시킬 필요가 있다. 즉, 리라이팅형 정보 기록 매체에 있어서, 높은 소거 성능을 실현하기 위해서는, 기록층에 결정화 속도가 빠른 상변화 재료를 이용하는 것이 필요해진다. 또한, 가역적 상변화가 발생하지 않는 재료를 기록층에 이용한 추기형(write-once) 정보 기록 매체에서는, 정보의 리라이팅은 불가능하고, 1번만 정보를 기록할 수 있다.
정보 기록 매체에 기록된 정보의 재생은, 결정상과 비정질상 사이의 반사율의 차이에 근거하는 반사광의 광량 변화를 검출하는 것에 의해 행한다. 구체적으로는, 어떤 일정한 재생 파워로 설정한 레이저광을 정보 기록 매체에 조사하여, 정보 기록 매체로부터의 반사광의 강도를 신호로서 검출함으로써 행해진다. 반사광의 강도는, 정보 기록 매체의 반사율과 레이저광의 재생 파워의 곱에 비례한다. 일반적으로, 반사광의 강도가 클수록, 정보의 재생 신호 품질이 높아지기 때문에, 재생 파워는 높은 것이 바람직하다.
그러나, 리라이팅형 정보 기록 매체나 추기형 정보 기록 매체 등의 기록가능한 정보 기록 매체를 재생하는 경우, 재생 파워가 지나치게 높으면, 정보 기록 매체에 형성된 기록층의 마크나 스페이스의 부분의 상태에 변화가 생겨서, 얻어지는 재생 신호의 품질이 열화한다. 즉, 정보 기록 매체에 형성된 마크나 스페이스 등에 나타내어진 정보가 열화한다. 이 때문에, 재생시에 있어서 정보 기록 매체에 조사하는 레이저광의 에너지, 환언하면, 재생 파워가 지나치게 높아지지 않도록 설정된다(특허 문헌 1 참조). 재생에 의한 정보의 열화가 발생하기 어려운 것을, 재생 내구 성능이라고 부른다. 이하, 재생에 의해서 정보가 열화하지 않는 상한의 재생 파워를 상한 재생 파워라고 부른다. 재생 내구 성능이 높은 정보 기록 매체일수록 상한 재생 파워는 높다. 상한 재생 파워는 정보층마다 정해지고, 각 정보층이 구비하는 특성의 하나이다.
최근, 정보 기록 매체를 대용량화하기 위한 기술로서, 다양한 기술이 검토되고 있다. 예컨대, 2개의 정보층을 구비하는 리라이팅형 정보 기록 매체를 이용하여, 그 한쪽에서 입사하는 레이저광에 의해서 2개의 정보층을 기록ㆍ재생하는 기술이 보고되어 있다(특허 문헌 2, 특허 문헌 3 참조). 이 기술에 의하면, 2개의 정보층을 이용함으로써, 정보 기록 매체의 기록 용량을 2배로 할 수 있다.
한쪽에서 입사하는 레이저광에 의해서 2개의 정보층을 기록 및 재생하는 정보 기록 매체에 있어서, 입사측으로부터 먼 정보층(이하, 제 1 정보층)의 기록 및 재생은 입사측에 가까운 정보층(이하, 제 2 정보층)을 투과한 레이저광에 의해서 행해진다. 이 때문에, 제 2 정보층의 투과율이 낮으면, 제 1 정보층으로 도달하는 레이저광의 에너지가 감쇠한다. 또한, 제 1 정보층으로부터의 반사광은 다시 제 2 정보층을 투과하기 때문에, 제 1 정보층으로부터의 반사광은 더욱 감쇠하여, 반사광의 강도가 저하되어 버린다. 이 때문에, 반사광에 근거하는 재생 신호의 품질이 저하된다.
제 2 정보층에 있어서의 광의 감쇠를 고려하여, 보다 강한 레이저광으로 제 1 정보층에 정보를 기록하는 것도 생각된다. 그러나, 이 경우, 보다 강한 파워의 레이저광을 제 1 정보에 조사할 필요가 있고, 레이저광의 파워가 기록 장치의 한계를 넘는 경우는, 바람직한 기록을 할 수 없게 되어, 기록의 품질이 악화된다. 또한, 이 경우, 제 2 정보층에는 보다 강한 레이저광이 감쇠하지 않고 조사된다. 따라서, 레이저광 입사측에 가장 가까운 정보층은 재생에 의한 신호의 열화가 생기기 쉬워서, 재생 내구 성능을 양호하게 하는 것이 어려운 경향이 있다.
이 때문에, 제 2 정보층은 가능한 한 높은 투과율을 가지는 것이 바람직하다. 또한, 대용량화를 위해서 정보층의 수를 늘려, 예컨대 3개 또는 4개의 정보층을 구비한 정보 기록 매체를 실현하기 위해서는, 입사측의 정보층(제 3 정보층, 또는 제 4 정보층)의 투과율을 더욱 높일 필요가 있다. 특히, 레이저광 입사측에 가장 가까운 정보층은, 그 정보층보다 레이저 광입사측으로부터 먼 정보층으로 기록 재생을 하는 경우에 레이저광이 투과한다. 이 때문에, 레이저 광입사측에 가장 가까운 정보층의 투과율은 가능한 한 높은 쪽이 바람직하다. 기록 재료는 일반적으로 소광 계수가 크기 때문에, 높은 투과율을 갖게 하기 위해서는 레이저광 입사측의 정보층의 기록층의 두께는 얇은 쪽이 바람직하다.
재생 내구 성능에 관한 이러한 경향은, 리라이팅형 정보 기록 매체 및 추기형 기록 매체 중 어느 쪽에도 적합하다. 리라이팅형 정보 기록 매체의 경우, 상술한 바와 같이 기록층의 소거 성능도 고려할 필요가 있다. 이 때문에, 소거 성능과 재생 내구 성능이 양립하도록 기록층 등을 조정할 필요가 있다.
[선행기술문헌]
[특허문헌]
특허 문헌 1: 일본 특허 공개 제2001-14679호 공보
특허 문헌 2: 일본 특허 공개 제2000-36130호 공보
특허 문헌 3: 국제 공개 제03/025922호 팜플렛
그러나, 리라이팅형의 정보 기록 매체의 경우, 일반적으로 상변화 재료로 이루어지는 기록층이 얇아질수록, 결정화 속도는 느려진다. 그 때문에, 비정질상으로부터 결정상으로의 상변화가 생기기 어렵게 되어, 정보의 소거 성능이 악화된다. 이 점에서, 레이저 광입사측에 가까운 정보층의 기록층을 레이저 광입사측으로부터 먼 정보층의 기록층에 비해서 두껍게 하고, 또한, 결정화 속도를 빠르게 하도록 상변화 재료를 선택하는 경우도 있다. 단, 결정화 속도가 빨라지면, 재생 내구 성능이 악화되기 때문에, 결정화 속도는 지나치게 빠르게 해서는 안된다.
한편, 기록가능한 정보 기록 매체에 있어서, 정보층에 포함되는 기록층의 두께가 얇아지면, 정보층의 특성이 저하된다. 예컨대, 리라이팅형 정보 기록 매체의 경우, 기록층의 두께가 얇아지면, 소거 성능과 재생 내구 성능의 양립이 곤란하게 된다. 그 때문에, 3개 이상의 정보층을 구비한 정보 기록 매체에서는, 높은 투과율이 요구되는 레이저광 입사측에 가장 가까운 측의 정보층에 있어서, 정보의 재생을 고품질로 행할 수 없다고 하는 과제를 갖고 있었다.
본 발명은, 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 3개 이상의 정보층을 구비한 정보 기록 매체에 있어서, 그 모든 정보층에 있어서 정보의 재생을 고품질로 행할 수 있는 정보 기록 매체를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 그 정보 기록 매체에 적합한 기록 장치, 재생 장치 및 재생 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 정보 기록 매체는, 정보를 기록할 수 있는 N개(N은 N≥3의 정수)의 정보층을 갖고, 레이저광이 조사됨으로써, 각 정보층으로의 정보의 기록 및 상기 각 정보층에 기록된 정보의 재생이 행해지는 정보 기록 매체로서, 상기 N개의 정보층은, 레이저광 입사측으로부터 차례로 배치된 제 N 정보층, 제 N-1 정보층, 제 N-2 정보층 ㆍㆍㆍ 제 2 정보층, 제 1 정보층을 포함하고, 상기 제 N 정보층의 반사율은 RN이고, 제 M 정보층(M은 N>M≥1을 만족시키는 모든 정수)의 반사율은 RM이고, 상기 제 N 정보층에 기록된 정보의 재생시에 상기 제 N 정보층에 조사하는 레이저광의 상한 재생 파워는 PrNmax이고, 상기 제 M 정보층에 기록된 정보의 재생시에 상기 제 M 정보층에 조사하는 레이저광의 상한 재생 파워는 PrMmax이고, 하기의 식(1), (2):
Figure pct00001
를 동시에 만족시키고 있다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 제 N 정보층의 상기 반사율 RN과, 상기 제 N-1 정보층의 상기 반사율 RN -1이, 하기의 식(3):
Figure pct00002
을 만족시키고 있다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 제 N 정보층의 상기 반사율 RN과 상기 상한 재생 파워 PrNmax와의 곱 RN×PrNmax는, 제 N-1 정보층의 반사율 RN -1과 상한 재생 파워 PrN -1 max와의 곱 RN -1×PrN -1 max와 같다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 제 N 정보층 및 제 N-1 정보층의 각각은, 적어도, 반사층과 제 1 유전체층과, 레이저광의 조사에 의해서 상변화를 일으킬 수 있는 기록층과, 제 2 유전체층을 포함하고, 상기 제 2 유전체층, 상기 기록층, 상기 제 1 유전체층 및 상기 반사층은, 상기 레이저광 입사측으로부터 이러한 순서로 배치되어 있으며, 상기 제 2 유전체층, 상기 기록층, 상기 제 1 유전체층 및 상기 반사층은, 상기 제 N 정보층과 상기 제 N-1 정보층에서 각각 동일한 재료로 이루어진다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 제 N 정보층 및 제 N-1 정보층의 각각은, 상기 반사층의 상기 레이저광 입사측과 반대측에 위치하는 투과율 조정층을 더 포함하고, 상기 투과율 조정층은 제 N 정보층과 제 N-1 정보층과 동일한 재료로 이루어진다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 N은 3이다.
본 발명의 재생 장치는, 상기 어느 하나에 기재된 정보 기록 매체 기록된 정보를 재생하는 재생 장치로서, 상기 제 N 정보층에 기록된 정보를 재생 파워 PrN(PrN≤PrNmax)로 재생하고, 상기 제 N-1 정보층에 기록된 정보를 재생 파워 PrN -1(PrN-1≤PrN -1 max)로 재생한다.
본 발명의 기록 장치는, 상기 어느 하나에 기재된 정보 기록 매체에 정보를 기록하는 기록 장치로서, 상기 정보 기록 매체에 상기 레이저광을 조사하는 것에 의해 정보를 기록한다.
본 발명의 재생 방법은, 상기 어느 하나에 기재된 정보 기록 매체에 기록된 정보를 재생하는 정보 기록 매체의 재생 방법으로서, 상기 제 N 정보층에 기록된 정보를 재생 파워 PrN(PrN≤PrNmax)로 재생하는 공정과, 상기 제 N-1 정보층에 기록된 정보를 재생 파워 PrN -1(PrN -1≤PrN -1 max)로 재생하는 공정을 포함하고, 상기 제 N 정보층의 상기 반사율 RN과 상기 재생 파워 PrN과의 곱 RN×PrN은, 상기 제 N-1 정보층의 상기 반사율 RN -1과 상기 재생 파워 PrN -1과의 곱 RN -1×PrN -1과 같다.
소정의 바람직한 실시형태에 있어서, 상기 레이저광의 파장 λ가 400nm 내지 410nm의 범위이고, 상기 레이저광을 상기 각 정보층에 집속시키기 위해서 사용하는 대물 렌즈의 개구수 NA가 0.84 내지 0.86의 범위이다.
본 발명의 정보 기록 매체에 의하면, 제 N 정보층의 반사율 RN을 다른 정보층의 반사율 반사율 RM보다 높임으로써, 제 N 정보층의 재생 파워를 낮게 하더라도, 제 N 정보층에 있어서 고품질의 정보의 재생을 실현할 수 있다. 그에 따라, 제 N 정보층의 상한 재생 파워를, 다른 정보층의 상한 재생 파워보다 내린 구성을 채용할 수 있어, 설계의 자유도가 높아진다. 이 때문에, 투과율을 중시한 설계를 하는 것이 허용되어, 제 N 정보층의 투과율을 종래보다 높게 할 수 있게 되고, 제 1 정보층으로부터 제 N-1 정보층으로 도달하는 레이저광의 강도를 높일 수 있다. 그 결과, 제 1 정보층으로부터 제 N-1 정보층까지의 각 정보층에 있어서도 고품질의 정보의 재생을 실현할 수 있다.
또한, 본 발명의 정보 기록 매체의 재생 방법에 의하면, 제 N 정보층의 반사율과 재생 파워와의 곱이 제 N-1 정보층의 반사율과 재생 파워와의 곱과 같기 때문에, 제 N 정보층의 재생 파워를 제 N-1 정보층의 재생 파워보다 작게 해도, 제 N 정보층에 있어서 고품질의 정보의 재생을 실현할 수 있다.
도 1(a)는 본 발명에 따른 정보 기록 매체의 일실시형태를 나타내는 부분 단면도이고, (b)는 각 정보층에 있어서의 반사율을 설명하기 위한 모식도,
도 2는 도 1에 나타내는 정보 기록 매체의 구성을 구체적으로 나타내는 부분 단면도,
도 3은 본 발명에 따른 기록 재생 장치의 일실시형태를 나타내는 개략적인 블록도,
도 4는 도 3에 나타내는 기록 재생 장치를 이용하여 도 1에 나타내는 정보 기록 매체에 정보를 기록하는 경우에 이용하는 기록 펄스 파형의 일례를 나타내는 개략도.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명에 따른 정보 기록 매체, 기록 장치, 재생 장치 및 재생 방법의 실시형태를 설명한다. 이하의 실시형태는 일례이며, 본 발명은 이하의 실시형태에 한정되지 않는다. 또한, 이하의 실시형태에서는, 중복된 설명을 반복함에 따른 장황성을 배제하기 위해서, 동일한 구성요소에는 동일한 참조부호를 붙이고, 그 구성요소의 설명을 생략하는 경우가 있다.
(제 1 실시형태)
본 발명에 따른 정보 기록 매체의 일실시형태를 설명한다. 도 1(a)는, 본 발명의 일실시형태인 정보 기록 매체(11)의 부분 단면도이다. 정보 기록 매체(11)는 N개의 정보층을 갖고 있고, 기록 장치나 재생 장치에 있어서, 대물 렌즈(32)에 의해서 집속된 레이저광(31)이 조사됨으로써, 각 정보층으로 정보를 기록하고, 또한, 각 정보층에 기록된 정보가 재생된다. N은 N≥3을 만족시키는 정수이다. 본 실시형태에서는 N은 3이다. 그러나, N은 4 이상이어도 좋다.
도 1(a)에 나타내는 바와 같이, 정보 기록 매체(11)에 있어서, N개의 정보층은, 레이저광(31)의 입사측 F로부터 차례로 배치된 제 3 정보층(43), 제 2 정보층(42) 및 제 1 정보층(41)을 포함하고 있다. 즉, 레이저광(31)의 입사측 F로부터 차례로 제 N 정보층, 제 N-1 정보층, 제 N-2 정보층 ㆍㆍㆍㆍ, 제 2 정보층 및 제 1 정보층이 배치된다. 제 N 정보층 이외의 제 1 정보층으로부터 제 N-1 정보층 또는 1번째로부터 N번째를 총칭하여 제 M 정보층 또는 M번째라고 부른다. M은 N>M≥1을 만족시키는 모든 정수이다.
또한, 본원 명세서에 있어서, 「정보층」이란, 정보를 기록할 수 있는 구조를 구비한 층상(層狀)의 구조체를 의미한다. 정보층의 구체적인 구조는, 이하에서 구체적으로 설명한다. N개의 정보층은, 레이저광(31)의 입사측 F로부터 가장 먼 정보층으로부터 레이저광(31)의 입사측 F에 걸쳐서, L0층, L1층 ㆍㆍㆍL(N-1)층이라고도 불린다.
바람직하게는, 정보 기록 매체(11)는, 제 2 정보층(42)과 제 3 정보층(43) 사이에 배치된 분리층(28), 제 1 정보층(41)과 제 2 정보층(42) 사이에 배치된 분리층(22) 및 기판(21)을 더 포함하고 있다. 분리층(22, 28)을 사이에 두고서 적층된 3개의 정보층은, 제 1 정보층(41)이 기판(21) 측으로 되도록 기판(21)에 지지되어 있다. 정보 기록 매체(11)는 제 3 정보층(43)보다도 레이저광(31)의 입사측 F에 배치된 투명층(23)을 포함하는 것이 더욱 바람직하다.
기록 장치나 재생 장치에 있어서, 대물 렌즈(32)와 정보 기록 매체(11)의 각 정보층과의 거리를 조절함으로써, 투명층(23)을 투과한 레이저광(31)이 정보의 기록 또는 재생을 행하는 정보층에 소정의 크기의 빔스폿을 형성하도록 집속시켜서, 그 정보층에 정보를 기록하고, 또한, 그 정보층에 기록된 정보를 재생한다.
레이저광(31)의 파장 λ가 짧을수록, 대물 렌즈(32)에 의해서 작은 빔스폿을 형성하도록 레이저광(31)을 집속시킬 수 있다. 그러나, 파장 λ가 지나치게 짧으면, 투명층(23) 등에 있어서의 레이저광(31)의 광흡수가 커진다. 그 때문에, 레이저광(31)의 파장 λ는 350nm~450nm의 범위 내인 것이 바람직하다.
정보 기록 매체(11)에 있어서, 제 3 정보층(43)보다 기판(21)에 가까운 쪽에 있는 정보층에 도달하는 레이저광은, 그 정보층으로부터 레이저광(31) 입사측 F의 정보층을 투과하는 것에 의해 감쇠해 버린다. 그 때문에, 제 1 정보층(41) 및 제 2 정보층(42)은 높은 기록 감도를 구비하고 있는 것이 바람직하다. 또한, 제 2 정보층(42) 층 및 제 3 정보층(43)은 높은 투과율을 구비하고 있는 것이 바람직하다.
기판(21)은 원반 형상을 갖고, 제 1 정보층(41)으로부터 투명층(23)까지의 각 층을 지지한다. 기판(21)의 제 1 정보층(41) 측의 표면에는, 레이저광(31)을 유도하기 위한 안내 홈이 형성되어 있어도 좋다. 기판(21)의 제 1 정보층(41) 측에 대하여 반대쪽 R의 면은, 평활한 것이 바람직하다. 기판(21)은 폴리카보네이트 수지, 폴리메틸메타크릴레이트 수지, 폴리올레핀 수지, 노보넨계 수지, 유리, 또는 이것들을 적절히 조합한 것 등의 재료에 의해서 형성되어 있다. 특히 폴리카보네이트 수지는 전사성ㆍ양산성이 우수하고, 저비용이기 때문에, 기판(21)의 재료로서 바람직하다.
분리층(22, 28)은, 정보 기록 매체(11)에 있어서, 기판(21)에 지지되는 제 1 정보층(41), 제 2 정보층(42) 및 제 3 정보층(43)의 정보 기록 매체(11)의 두께 방향에서의 높이(위치)를 조정하기 위해서 마련되어 있다. 각 정보층의 위치를 조정함으로써, 레이저광(31)을 대물 렌즈(32)에서 원하는 정보층에만 집광시키고, 그 밖의 정보층에 있어서는 레이저광(31)이 발산한 상태로 할 수 있으며, 이에 의해, 복수의 정보층을 구비하고 있더라도, 원하는 정보층에서만의 정보의 기록 및 재생이 가능해진다. 즉, 분리층(22, 28)은 정보 기록 매체(11)에서의 포커스 위치를 조정한다.
분리층(22, 28)의 두께는, 대물 렌즈(32)의 개구수 NA와 레이저광(31)의 파장 λ에 의해 결정되는 초점 심도 이상인 것이 바람직하다. 한편, 분리층(22, 28)이 지나치게 두꺼우면, 정보 기록 매체(11)의 레이저광(31) 입사측 F로부터 제 1 정보층(41)까지의 거리가 길어진다. 이 때문에, 정보 기록 매체(11)가 레이저광(31)에 대하여 경사되었을 때의 코마 수차가 커져서, 제 1 정보층(41)에 정확하게 레이저광(31)을 집광시키기 어렵게 된다. 즉, 코마 수차 저감의 관점에서는, 분리층(22, 28)은 얇은 쪽이 바람직하다. 가령, λ=405nm, NA=0.85로 한 경우에는, 분리층(22, 28)의 두께는 5㎛~50㎛의 범위 내인 것이 바람직하다.
분리층(22, 28)은 레이저광(31)의 파장에 있어서의 광흡수가 작은 것이 바람직하다. 분리층(22, 28)의 레이저광(31) 입사측 F에는, 레이저광(31)을 유도하기 위한 안내 홈이 형성되어 있어도 좋다. 분리층(22, 28)은 폴리카보네이트 수지, 폴리메틸메타크릴레이트 수지, 폴리올레핀 수지, 노폴렌계 수지, 자외선 경화성 수지, 지효성 열경화 수지, 유리, 또는 이것들을 적절히 조합한 재료 등에 의해서 형성할 수 있다.
투명층(23)은 제 3 정보층(43)보다도 레이저광(31) 입사측 F에 위치하고 있어, 제 3 정보층(43)을 보호한다. 레이저광(31)의 파장에 있어서의 광흡수가 작은 것이 바람직하다. 투명층(23)은 폴리카보네이트 수지, 폴리메틸메타크릴레이트 수지, 폴리올레핀 수지, 노보넨계 수지, 자외선 경화성 수지, 지효성 열경화 수지, 유리, 또는 이것들을 적절히 조합한 재료에 의해서 형성할 수 있다. 또한, 이것들의 재료로 이루어지는 시트를 투명층(23)에 사용할 수 있다.
투명층(23)이 지나치게 얇으면 제 3 정보층(43)을 보호하는 기능을 충분히 발휘할 수 없게 된다. 또한, 지나치게 두꺼우면, 분리층(22, 28)과 마찬가지로, 정보 기록 매체(11)의 레이저광(31) 입사측으로부터 제 1 정보층(41)까지의 거리가 길어진다. 이 때문에, 정보 기록 매체(11)가 레이저광(31)에 대하여 경사되었을 때의 코마 수차가 커져서, 제 1 정보층(41)에 정확하게 레이저광(31)을 집광시키기 어렵게 된다. 가령, NA=0.85로 한 경우에는, 투명층의 두께는 5㎛~150㎛의 범위 내인 것이 바람직하고, 40㎛~110㎛의 범위인 것이 보다 바람직하다.
본 실시형태의 정보 기록 매체는, N개의 정보층의 전부에 있어서 고품질의 정보 재생을 실현하기 위해서, N개의 정보층 중, 가장 레이저광(31)의 입사측 F에 위치하는 정보층, 즉, 제 N 정보층의 반사율을 다른 정보층보다 높게 설정하고, 또한, 제 N 정보층의 상한 재생 파워를 다른 정보층보다 작게 한다.
구체적으로는 도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 제 N 정보층의 반사율을 RN, 제 M 정보층(M은 N>M≥1을 만족시키는 정수)의 반사율을 RM이라고 한 경우, N>M≥1을 만족시키는 모든 정수 M에 대해서, 하기 식(1)의 관계를 만족시키고 있다.
Figure pct00003
여기서 반사율 RN 및 반사율 RM은, 정보 기록 매체(11)를 구성한 상태에 있어서, 레이저광(31)의 입사측 F로부터 정보 기록 매체(11)에 입사한 광이, 각각, 제 N 정보층 및 제 M 정보층에 있어서 반사하여, 정보 기록 매체(11)의 레이저광(31)의 입사측 F로 출사한 경우의 입사광의 광량에 대한 출사광의 광량의 비율에 의해서 정의된다. 제 N 정보층 및 제 M 정보층 단독의 상태에 있어서의 반사율이 아니다.
또한, 도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 제 N 정보층에 기록된 정보의 재생시에 제 N 정보층에 조사하는 레이저광의 상한 재생 파워는 PrNmax이고, 제 M 정보층에 기록된 정보의 재생시에 제 M 정보층에 조사하는 레이저광의 상한 재생 파워는 PrMmax이며, N>M≥1을 만족시키는 모든 정수 M에 대해서, 하기의 식(2)의 관계를 만족시키고 있다.
Figure pct00004
종래의 정보 기록 매체에서는, 각 정보층에 있어서의 재생 성능 등의 특성을 동일하게 하기 위해, 각 정보층의 반사율이나 상한 재생 파워는 동일한 값으로 설정되어 있었다. 이에 반하여, 본 실시형태의 정보 기록 매체(11)에서는, 상술한 바와 같이 제 N 정보층의 반사율 RN을 다른 정보층(제 M 정보층)의 반사율 RM보다 높임으로써, 제 N 정보층의 재생 파워를 낮게 하더라도, 반사광의 광량을 증대시킬 수 있다. 따라서, 제 N 정보층에 있어서, 고품질의 정보의 재생을 실현할 수 있다. 또한, 제 N 정보층의 재생 파워를 낮게 함으로써, 레이저광이 입사하기까지 다른 정보층을 투과하는 일이 없기 때문에, 강도의 감쇠가 없는 레이저광이 입사하는 제 N 정보층에 기록된 정보의 열화를 억제할 수 있다. 또한, 제 N 정보층의 상한 재생 파워를 다른 정보층보다 낮게 함으로써, 제 N 정보층의 기록층은 높은 재생 내구 성능을 구비하고 있지 않아도 되기 때문에, 기록층의 재료를 선택할 때의 자유도가 높아지고, 설계의 자유도도 높아진다. 이 때문에, 투과율을 중시한 설계를 하는 것이 허용되어, 제 N 정보층의 투과율을 종래보다 높게 하는 것이 가능해지고, 제 1 정보층으로부터 제 N-1 정보층으로 도달하는 레이저광의 강도를 높이는 것도 할 수 있다. 따라서, 제 1 정보층으로부터 제 N-1 정보층에 있어서도 품질의 정보의 재생을 실현할 수 있다.
바람직하게는, 제 N 정보층의 반사율 RN과, 제 N-1 정보층의 반사율 RN -1이, 하기의 식(3)을 만족시키고 있다.
Figure pct00005
이에 의해, 제 N 정보층의 반사율 RN을 제 N-1 정보층의 반사율 RN -1과 비교해서 충분히 크게 할 수 있어, 제 N 정보층의 재생 파워를 낮게 하더라도, 제 N 정보층으로부터의 반사광의 광량을 충분히 크게 할 수 있다. 따라서, 보다 확실하게, 제 N 정보층에 있어서 고품질의 정보의 재생을 실현할 수 있다.
제 N 정보층의 반사율 RN과 상한 재생 파워 PrNmax와의 곱 RN×PrNmax는, 제 N-1 정보층의 반사율 RN -1과 상한 재생 파워 PrN -1 max와의 곱 RN -1×PrN -1 max와 같은 것이 바람직하다. 여기서 같음이란, 2개의 곱이 완전히 일치하는 경우뿐만 아니라, ±5% 정도의 범위 내에서 일치하는 경우를 포함한다. 구체적으로는, 이하의 식(4)의 관계가 성립하는 경우를 말한다.
Figure pct00006
이러한 관계를 만족시키는 경우, 제 N 정보층으로부터의 반사광과 제 N-1 정보층으로부터의 반사광의 광량이 거의 같게 된다. 이 때문에, 제 N 정보층에 기록된 정보를 재생한 경우에 얻어지는 재생 신호와, 제 N-1 정보층 정보에 기록된 정보를 재생한 경우에 얻어지는 재생 신호의 품질을 동일한 정도로 할 수 있다.
도 2는 도 1의 각 정보층을 더욱 구체적으로 나타낸 정보 기록 매체(11)의 부분 단면도이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 제 1 정보층(41)은, 바람직하게는, 제 2 유전체층(418), 기록층(416), 제 1 유전체층(414) 및 반사층(412)을 포함한다. 제 2 유전체층(418), 기록층(416), 제 1 유전체층(414) 및 반사층(412)은, 레이저광(31)의 입사측 F로부터 이러한 순으로 배치되어 있다.
도 2에는 나타내고 있지 않지만, 필요에 따라, 반사층(412)과 제 1 유전체층(414) 사이에 반사층측 계면층(413)을 마련해도 좋다. 마찬가지로, 제 1 유전체층(414)과 기록층(416) 사이에 제 1 계면층(415)을 마련해도 좋고, 제 2 유전체층(418)과 기록층(416) 사이에 제 2 계면층(417)을 마련해도 좋다.
제 2 정보층(42)은, 바람직하게는, 제 2 유전체층(428), 기록층(426), 제 1 유전체층(424), 반사층(422) 및 투과율 조정층(421)을 포함한다. 제 2 유전체층(428), 기록층(426), 제 1 유전체층(424), 반사층(422) 및 투과율 조정층(421)은, 레이저광(31)의 입사측 F로부터 이러한 순으로 배치되어 있다.
도 2에는 나타내고 있지 않지만, 필요에 따라, 반사층(422)과 제 1 유전체층(424) 사이에 반사층측 계면층(423)을 마련해도 좋다. 마찬가지로, 제 1 유전체층(424)과 기록층(426) 사이에 제 1 계면층(425)을 마련해도 좋고, 제 2 유전체층(428)과 기록층(426) 사이에 제 2 계면층(427)을 마련해도 좋다.
제 3 정보층(43)은, 바람직하게는, 제 2 유전체층(438), 기록층(436), 제 1 유전체층(434), 반사층(432) 및 투과율 조정층(431)을 포함한다. 제 2 유전체층(438), 기록층(436), 제 1 유전체층(434), 반사층(432) 및 투과율 조정층(431)은, 레이저광(31)의 입사측 F로부터 이러한 순으로 배치되어 있다.
도 2에는 나타내고 있지 않지만, 필요에 따라, 반사층(432)과 제 1 유전체층(434) 사이에 반사층측 계면층(433)을 마련해도 좋다. 마찬가지로, 제 1 유전체층(434)과 기록층(436) 사이에 제 1 계면층(435)을 마련해도 좋고, 제 2 유전체층(438)과 기록층(436) 사이에 제 2 계면층(437)을 마련해도 좋다.
다음에, 제 1 정보층(41)을 구성하는 각 층에 대해서 설명한다. 기록층(416)은, 레이저광(31)의 조사에 의해서 결정상과 비정질상 사이에서 가역적인 상변화를 일으키는 재료로 이루어진다. 기록층(416)의 재료로서, (Ge-Sn)Te, GeTe-Sb2Te3, (Ge-Sn)Te-Sb2Te3, GeTe-Bi2Te3, (Ge-Sn)Te-Bi2Te3, GeTe-(Sb-Bi)2Te3, (Ge-Sn)Te-(Sb-Bi)2Te3, GeTe-(Bi-In)2Te3, (Ge-Sn)Te-(Bi-In)2Te3, Sb-Te, Sb-Ge, (Gb-Te)-Ge, Sb-In, (Sb-Te)-In, Sb-Ga 및 (Sb-Te)-Ga 중 어느 하나를 포함하는 재료를 이용할 수 있다. 기록층(416)에 있어서 비정질상의 부분은, 기록시의 레이저광조사에 의해서 용이하게 결정상으로 변화할 수 있는 것 및 레이저광 비조사시에는 결정상으로 변화하지 않는 것이 바람직하다.
기록층(416)은 지나치게 얇으면 충분한 반사율, 반사율 변화 및 소거율이 얻어질 수 없게 된다. 또한, 기록층(416)이 지나치게 두꺼우면 열용량이 커지기 때문에 기록 감도가 저하된다. 그 때문에, 기록층(416)의 두께는 5nm~15nm의 범위 내인 것이 바람직하고, 8nm~12nm의 범위 내인 것이 보다 바람직하다.
반사층(412)은, 기록층(416)에 흡수되는 광량을 늘린다고 하는 광학적인 기능과, 기록층(416)에서 발생한 열을 확산시킨다고 하는 열적인 기능을 가진다. 반사층(412)의 재료에는 Ag, Au, Cu, 및 Al로부터 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함한 재료를 이용할 수 있다. 예컨대, Ag-Cu, Ag-Ga-Cu, Ag-Pd-Cu, Ag-Nd-Au, AlNi, AlCr, Au-Cr, Ag-In 등의 합금을 이용할 수 있다. 특히 Ag 합금은 열전도율이 크기 때문에 반사층(412)의 재료로서 바람직하다. 반사층(412)은 두꺼울수록 열확산 기능이 높지만, 지나치게 두꺼우면 열확산 기능이 지나치게 높아서 기록층(416)의 기록 감도가 저하된다. 그 때문에, 반사층(412)의 두께는 30nm~200nm의 범위 내인 것이 바람직하고, 70nm~140nm인 것이 보다 바람직하다.
제 1 유전체층(414)은 기록층(416)과 반사층(412) 사이에 위치하고, 기록층(416)으로부터 반사층(412)으로의 열확산을 조절하는 열적인 기능 및 반사율이나 흡수율 등을 조절하는 광학적인 기능을 가진다. 제 1 유전체층(414)의 재료로서는, 예컨대, ZrO2, HfO2, ZnO, SiO2, SnO2, Cr2O3, TiO2, In2O3, Ga2O3, Y2O3, CeO2, DyO2 등의 산화물, ZnS, CdS 등의 황화물, SiC 등의 탄화물의 단체, 또는 이것들의 혼합물, 예컨대 ZrO2-SiO2, ZrO2-SiO2-Cr2O3, ZrO2-SiO2-Ga2O3, HfO2-SiO2-Cr2O3, ZrO2-SiO2-In2O3, ZnS-SiO2, SnO2-SiC를 이용할 수 있다. 특히 ZnS-SiO2는 제 2 유전체층의 재료로서 우수하다. ZnS-SiO2는 성막 속도가 빠르고, 투명하며, 기계 특성 및 내습성이 양호하다는 특징을 갖는다.
제 1 유전체층(414)은 지나치게 두꺼우면 반사층(412)의 냉각 효과가 약해져서, 기록층(416)으로부터의 열확산이 작아져 버리기 때문에, 기록층(416)이 비정질화하기 어렵게 되어 버린다. 또한, 제 1 유전체층(414)이 지나치게 얇으면, 반사층(412)의 냉각 효과가 강해져서, 기록층(416)으로부터의 열확산이 커져 감도가 저하되어 버린다. 그 때문에, 제 1 유전체층(414)의 두께는 2nm~40nm의 범위 내인 것이 바람직하고, 8nm~30nm의 범위 내인 것이 보다 바람직하다.
반사층측 계면층(413)은, 제 1 유전체층(414)의 재료에 의해서, 반사층(412)이 부식 또는 파괴되는 것을 방지하는 기능을 가진다. 구체적으로는 반사층(412)에 Ag를 포함한 재료를 이용하고, 또한, 제 1 유전체층(414)에 S를 포함한 재료(예컨대 ZnS-SiO2)를 이용했을 때, Ag가 S와 반응함으로써 부식되어 버리는 것을 방지한다.
반사층측 계면층(413)의 재료로서는, Ag 이외의 금속, 예컨대 Al, 또는 Al 합금을 이용할 수 있다. 또한, S를 포함하지 않는 유전체 재료, 예컨대, ZrO2, HfO2, ZnO, SiO2, SnO2, Cr2O3, TiO2, In2O3, Ga2O3, Y2O3, CeO2, DyO2 등의 산화물, SiC 등의 탄화물의 단체, 또는 이것들의 혼합물, 예컨대 ZrO2-SiO2, ZrO2-SiO2-Cr2O2, ZrO2-SiO2-Ga2O2, HfO2-SiO2-Cr2O3, ZrO2-SiO2-In2O3, SnO2-SiC를 반사층측 계면층(413)의 재료로서 이용할 수 있다. 또는 C 등을 이용할 수 있다.
반사층측 계면층(413)은 지나치게 두꺼우면 제 1 유전체(414)의 열적 및 광학적인 기능을 방해하고, 또한, 지나치게 얇으면 반사층(412)의 부식, 파괴를 방지하는 기능이 저하된다. 그 때문에, 반사층측 계면층(413)의 두께는 1nm~100nm의 범위 내인 것이 바람직하고, 5nm~40nm의 범위 내인 것이 보다 바람직하다.
제 1 계면층(415)은, 반복 기록에 의해서 제 1 유전체층(414)과 기록층(416) 사이에서 발생하는 물질 이동을 방지하는 기능을 가진다. 제 1 계면층(415)은, 기록시에 녹지 않을 정도의 고융점을 가지고, 기록층(416)과의 밀착성이 좋은 재료에 의해서 구성되는 것이 바람직하다. 제 1 계면층(415)의 재료로서는, 예컨대, ZrO2, HfO2, ZnO, SiO2, SnO2, Cr2O3, TiO2, In2O3, Ga2O3, Y2O3, CeO2, DyO2 등의 산화물, ZnS, CdS 등의 황화물, SiC 등의 탄화물의 단체, 또는 이것들의 혼합물, 예컨대 ZrO2-SiO2, ZrO2-SiO2-Cr2O3, ZrO2-SiO2-Ga2O3, HfO2-SiO3-Cr2O3, ZrO2-SiO2-In2O3, ZnS-SiO2, SnO2-SiC를 이용할 수 있다. 또는 C 등을 이용할 수 있다. 특히, 기록층(416)과의 밀착성이 우수하기 때문에, Ga2O3, ZnO, In2O3 등이 제 1 계면층(415)의 재료로서 특히 바람직하다.
제 1 계면층(415)이 지나치게 얇으면, 계면층으로서의 효과를 발휘할 수 없게 되고, 지나치게 두꺼우면 제 1 유전체층(414)의 열적 및 광학적인 기능을 방해해 버린다. 그 때문에, 제 1 계면층(415)의 두께는 0.3nm~15nm의 범위 내인 것이 바람직하고, 1nm~8nm의 범위 내인 것이 보다 바람직하다.
제 2 유전체층(418)은 기록층(416)에 대하여 레이저광 입사측 F에 있고, 기록층(416)의 부식, 변형 등을 방지하는 기능과, 반사율이나 흡수율 등을 조정하는 광학적인 기능을 가진다. 제 2 유전체층(418)에는, 제 1 유전체층(414)과 동일한 재료를 이용할 수 있다. 특히 ZnS-SiO2는 제 2 유전체층의 재료로서 우수하다. ZnS-SiO2는 성막 속도가 빠르고, 투명하며, 기계 특성 및 내습성이 양호하기 때문이다.
제 2 유전체층(418)이 지나치게 얇으면, 기록층(416)의 부식, 변형 등을 방지하는 기능이 저하된다. 또한, 제 2 유전체층(418)의 두께는, 매트릭스(Matrix)법에 근거하는 계산에 의해, 기록층(416)이 결정상인 경우와 비정질상인 경우의 반사 광량의 변화가 커지는 조건을 만족하도록 엄밀히 결정할 수 있고, 제 2 유전체층(418)의 두께는 20nm~80nm의 범위 내인 것이 바람직하다.
제 2 계면층(417)은, 제 1 계면층(415)과 마찬가지로, 반복 기록에 의해서 제 2 유전체층(418)과 기록층(416) 사이에서 발생하는 물질 이동을 방지하는 기능을 가진다. 따라서, 제 1 계면층(415)과 동일한 성능을 가지는 재료인 것이 바람직하다.
제 2 계면층(417)의 두께는 제 1 계면층(415)과 마찬가지로 0.3nm~15nm의 범위 내인 것이 바람직하고, 1nm~8nm의 범위 내인 것이 보다 바람직하다.
상술한 반사층(412), 제 1 유전체층(414), 기록층(416) 및 제 2 유전체층(418), 또한 필요에 따라 반사층측 계면층(413), 제 1 계면층(415) 및 제 2 계면층(417)을 부가하는 것에 의해서 정보층(41)은 구성된다.
다음에, 제 2 정보층(42)을 구성하는 각 층에 대해서 설명한다. 기록층(426)에는, 제 1 정보층(41)의 기록층(416)과 동일한 재료를 이용할 수 있다. 기록층(426)의 두께는, 제 2 정보층(42)의 투과율을 높게 하기 위해서, 10nm 이하인 것이 바람직하고, 4nm~8nm의 범위인 것이 보다 바람직하다.
반사층(422)은 제 1 정보층(41)의 반사층(412)과 동일한 기능을 가진다. 구체적으로는, 기록층(426)에 흡수되는 광량을 늘린다고 하는 광학적인 기능과, 기록층(426)에서 발생한 열을 확산시킨다고 하는 열적인 기능을 가진다. 그 때문에, 반사층(422)에는, 제 1 정보층(41)의 반사층(412)과 동일한 재료를 이용할 수 있다. 특히 Ag 합금은 열전도율이 크기 때문에 반사층(422)의 재료로서 바람직하다.
반사층(422)의 두께는, 제 2 정보층(42)의 투과율을 높게 하기 위해서, 20nm 이하인 것이 바람직하고, 3nm~14nm인 것이 보다 바람직하다. 반사층(422)의 두께가 상기 범위에 있는 것에 의해, 반사층(422)의 광학적 및 열적인 기능이 충분하게 된다.
제 1 유전체층(424)은 제 1 정보층(41)의 제 1 유전체층(414)과 동일한 기능을 가진다. 구체적으로는, 기록층(426)으로부터 반사층(422)으로의 열확산을 조절하는 열적인 기능과, 반사율이나 흡수율 등을 조절하는 광학적인 기능을 가진다. 그 때문에, 제 1 유전체층(424)에는, 제 1 정보층(41)의 제 1 유전체층(414)의 재료와 동일한 재료를 이용할 수 있다.
제 1 유전체층(424)의 두께는, 광학적 및 열적인 기능이 충분하게 되도록, 1nm~40nm의 범위 내인 것이 바람직하고, 4nm~30nm의 범위 내인 것이 보다 바람직하다.
제 2 유전체층(428)은 제 1 정보층(41)의 제 2 유전체층(418)과 동일한 기능을 가진다. 구체적으로는, 기록층(426)의 부식, 변형 등을 방지하는 기능과, 반사율이나 흡수율 등을 조정하는 광학적인 기능을 가진다. 그 때문에, 제 2 유전체층(428)에는, 제 1 정보층(41)의 제 2 유전체층(418)의 재료와 동일한 재료를 이용할 수 있다. 제 2 유전체층(428)의 두께는, 매트릭스법에 근거하는 계산에 의해, 기록층(426)이 결정상인 경우와 비정질상인 경우의 반사 광량의 변화가 커지는 조건을 만족하도록 엄밀히 결정할 수 있다.
투과율 조정층(421)은 유전체로 이루어지고, 제 2 정보층(42)의 투과율을 조절하는 기능을 가진다. 이 투과율 조정층(421)에 의해서, 기록층(426)이 결정상인 경우의 제 2 정보층(42)의 투과율 Tc(%)와, 기록층(426)이 비정질상인 경우의 제 2 정보층(42)의 투과율 Ta(%)를 모두 높게 할 수 있다.
투과율 조정층(421)의 재료로서는, TiO2, ZrO2, HfO2, ZnO, Nb2O5, Ta2O5, Al2O3, SiO2, Cr2O3, CeO2, Ga2O3, Bi2O3 등의 산화물, 또한, Ti-N, Zr-N, Nb-N, Ge-N, Cr-N, Al-N 등의 질화물, 또한, ZnS 등 황화물의 단체, 또는 이것들의 혼합물을 이용할 수 있다. 투과율 조정층(421)의 굴절률 nt와 소광 계수 kt는, 투과율 Tc 및 Ta를 높이기 위해서, nt≥2.4, 또한, kt≤0.1인 것이 바람직하다. 그 때문에, 상술한 재료 중, TiO2 또는 TiO2를 포함하는 재료를 이용하는 것이 보다 바람직하다. 이들 재료는 굴절률이 크고(nt=2.6~2.8), 소광 계수가 작다(kt=0.0~0.1). 따라서, 이들 재료를 이용하여 형성한 투과율 조정층(421)은 제 2 정보층(42)의 투과율을 효과적으로 높인다.
투과율 조정층(421)의 두께가 대략 λ/8nt(단, λ은 레이저광(31)의 파장 λ, nt는 투과율 조정층(491)의 재료의 굴절률)일 때, 투과율 Tc 및 Ta를 효과적으로 높일 수 있다. 가령, λ=405nm, nt=2.6으로 한 경우에는, 투과율 조정층(491)의 두께는 반사율 등 다른 조건도 고려해서, 5nm~36nm의 범위 내인 것이 바람직하다.
반사층측 계면층(423), 제 1 계면층(425) 및 제 2 계면층(427)은, 각각 제 1 정보층(41)의 반사층측 계면층(413), 제 1 계면층(415) 및 제 2 계면층(417)과 동일한 기능을 가지고, 제 1 정보층(41)이 대응하는 층을 구성하는 재료와 동일한 재료를 이용하여 형성할 수 있다.
제 3 정보층(43)을 구성하는 각 층은 제 2 정보층을 구성하는 대응하는 층과 동등한 기능을 가지고, 동일한 재료를 이용할 수 있다. 구체적으로는, 제 3 정보층(43)의 제 2 유전체층(438), 기록층(436), 제 1 유전체층(434), 반사층(432) 및 투과율 조정층(431)은, 제 2 정보층(42)의 제 2 유전체층(428), 기록층(426), 제 1 유전체층(424), 반사층(422) 및 투과율 조정층(421)을 구성하는 재료와 동일한 재료에 의해서 형성되어 있는 것이 바람직하다.
정보 기록 매(11)가, 상기 식(1) 내지 (4)를 만족시키도록, 제 1 정보층(41), 제 2 정보층 및 제 3 정보층(43)에 포함되는 각 층, 분리층(22), 분리층(28), 및 투명층(23)을 구성하는 재료를 상술한 것 중에서 선택하고, 또한, 상술한 바람직한 두께의 범위로부터 적절한 값을 결정한다. 이와 같이, 정보 기록 매체(11)는, 예컨대, 공지된 리라이팅형 2층상법 기록 매체와 동일한 설계 방법을 이용함으로써 설계할 수 있다.
정보 기록 매체(11)는 이하에 설명하는 방법에 의해서 제조할 수 있다. 우선, 기판(21)(두께는 예컨대 1.1mm) 상에 제 1 정보층(41)을 적층한다. 제 1 정보층(41)은 다층막으로 이루어지지만, 그것들의 각 층은, 순차적으로 스퍼터링함으로써 형성할 수 있다. 또한, 기판(21)의 재료에 따라서는, 기판(21)은 높은 흡습성을 가지기 때문에, 필요에 따라, 스퍼터링을 하기 전에 수분을 제거하는 기판 어닐링 공정을 실시해도 좋다.
각 층은, 각 층을 구성하는 재료의 스퍼터링 타겟을 Ar 가스, Kr 가스 또는 Xe 가스 등의 희가스 분위기 중 또는 희가스와 반응 가스(산소 가스 및 질소 가스로부터 선택되는 적어도 하나의 가스)와의 혼합 가스 분위기 중에서 스퍼터링함으로써 형성할 수 있다. 스퍼터링 방법으로서는 DC 스퍼터링법과 RF 스퍼터링법을 필요에 따라 구분해서 사용한다. 통상은 DC 스퍼터링법이 성막 속도를 높이기 때문에 바람직하다. 그러나, 유전체 재료 등 도전성이 낮은 재료는 DC 스퍼터링법으로는 스퍼터링할 수 없는 경우가 있어, 이 경우에는, RF 스퍼터링법에 의해서 각 층이 형성된다. 또한, 유전체 재료이더라도 도전성이 높은 재료나, 스퍼터링 타겟 제작시에 연구하여 도전성을 높인 재료의 스퍼터링 타겟을 사용하는 경우에는 DC 스퍼터링법이나 펄스 DC 스퍼터링법을 채용할 수 있다.
스퍼터링에 의해서 성막되는 각 층의 조성은, 본래의 스퍼터링 타겟을 구성하는 재료의 조성과 완전하게는 일치하지 않는 경우가 있다. 예컨대, 산화물의 경우, 스퍼터링에 의해서 산소 결손이 일어나기 쉽다. 그 경우, 반응 가스로서 산소 가스를 이용함으로써 산소 결손을 보충할 수 있다. 스퍼터링 타겟을 구성하는 재료의 조성은, 스퍼터링에 의해서 성막된 막이 소망하는 조성으로 되도록 결정된다. 또한, 스퍼터링 타겟 및 스퍼터링에 의해서 성막된 막은, 예컨대 X선 마이크로 분석기로 분석하여 조성을 확인할 수 있다.
정보 기록 매체(11)의 제조는, 구체적으로는, 먼저, 기판(21) 상에 반사층(412)을 성막한다. 반사층(412)은, 반사층(412)을 구성하는 금속 또는 합금으로 이루어지는 스퍼터링 타겟을 희가스 분위기 중 또는 희가스와 반응 가스와의 혼합 가스 분위기 중에서 DC 스퍼터링함으로써 형성할 수 있다.
계속해서, 필요에 따라 반사층(412) 상에 반사층측 계면층(413)을 성막한다. 반사층측 계면층(413)은 반사층측 계면층(413)을 구성하는 재료로 이루어지는 스퍼터링 타겟을 희가스 분위기 중 또는 희가스와 반응 가스와의 혼합 가스 분위기 중에서 스퍼터링함으로써 형성할 수 있다. 반사층측 계면층(413)의 재료가, 금속 등 도전성이 높은 재료인 경우는, DC 스퍼터링법을 이용하고, 산화물 등 도전성이 낮은 재료인 경우는, RF 스퍼터링법을 이용하면 좋다.
계속해서, 반사층측 계면층(413) 상에 또는 반사층(412) 상에 제 1 유전체층(414)을 성막한다. 제 1 유전체층(414)은 제 1 유전체층(414)을 구성하는 재료로 이루어지는 스퍼터링 타겟을 희가스 분위기 중 또는 희가스와 반응 가스와의 혼합 가스 분위기 중에서 주로 RF 스퍼터링법에 의해 스퍼터링함으로써 형성할 수 있다. RF 스퍼터링법을 사용하는 것은, 제 1 유전체층(414)을 구성하는 재료가 도전성이 낮은 것이 많아, DC 스퍼터링이 적합하지 않기 때문이다.
계속해서, 필요에 따라, 제 1 유전체층(414) 상에 제 1 계면층(415)을 성막한다. 제 1 계면층(415)은 제 1 계면층(415)을 구성하는 재료로 이루어지는 스퍼터링 타겟을 희가스 분위기 중 또는 희가스와 반응 가스와의 혼합 가스 분위기 중에서 주로 RF 스퍼터링함으로써 형성할 수 있다.
계속해서, 제 1 계면층(415) 상에 또는 제 1 유전체층(414) 상에 기록층(416)을 성막한다. 기록층(416)은, 기록층(416)을 구성하는 재료로 이루어지는 스퍼터링 타겟을 희가스 분위기 중에서 주로 DC 스퍼터링함으로써 형성할 수 있다.
계속해서, 필요에 따라, 기록층(416) 상에 제 2 계면층(417)을 성막한다. 제 2 계면층(417)은 제 2 계면층(417)을 구성하는 재료로 이루어지는 스퍼터링 타겟을 희가스 분위기 중 또는 희가스와 반응 가스와의 혼합 가스 분위기 중에서 주로 RF 스퍼터링함으로써 형성할 수 있다.
계속해서, 제 2 계면층(417) 상에 또는 기록층(416) 상에 제 2 유전체(418)를 성막한다. 제 2 유전체층(418)은, 제 2 유전체층(418)을 구성하는 재료로 이루어지는 스퍼터링 타겟을 희가스 분위기 중 또는 희가스와 반응 가스와의 혼합 가스 분위기 중에서 주로 RF 스퍼터링함으로써 형성할 수 있다.
이렇게 하여, 기판(21) 상에 제 1 정보층(41)을 적층하고, 그 후, 제 1 정보층(41) 상에 분리층(22)을 형성한다. 분리층(22)은 자외선 경화 수지(예컨대 아크릴계 수지 및 에폭시계 수지) 또는 지효성 열경화 수지를 제 1 정보층(41) 상에 도포하고, 다음에 전체를 회전시켜서 수지를 균일하게 연장하며(스핀 코팅), 그 후, 이 수지를 경화시킴으로써 형성할 수 있다. 또한, 분리층(22)이 레이저광(31)의 안내 홈을 구비하는 경우, 안내 홈은, 홈이 형성된 기판(틀)을 경화 전의 수지에 밀착시키고, 그 상태로 전체를 회전시켜서 스핀 코팅하여, 수지를 경화시킨 후, 기판(틀)을 벗김으로써 형성할 수 있다.
제 1 정보층(41)의 기록층(416)은, 통상, 성막한 채로의 상태(as-depo의 상태)에서는 비정질 상태이다. 따라서, 필요에 따라 레이저광을 조사하여, 기록층(416)을 결정화하는 초기화 공정을 행해도 좋다.
계속해서, 분리층(22) 상에 제 2 정보층(42)을 형성한다. 구체적으로는, 먼저 분리층(22) 상에 투과율 조정층(421)을 성막한다. 투과율 조정층(421)은 투과율 조정층(421)을 구성하는 재료로 이루어지는 스퍼터링 타겟을 희가스 분위기 중 또는 희가스와 반응 가스와의 혼합 가스 분위기 중에서 RF 스퍼터링법 또는 DC 스퍼터링법에 의해 스퍼터링함으로써 형성할 수 있다.
계속해서, 투과율 조정층(421) 상에 반사층(422)을 성막한다. 반사층(422)은 제 1 정보층(41)의 반사층(412)과 동일한 방법으로 형성할 수 있다.
계속해서, 필요에 따라 반사층(422) 상에 반사층측 계면층(423)을 성막한다. 반사층측 계면층(423)은 제 1 정보층(41)의 반사층측 계면층(413)과 동일한 방법으로 형성할 수 있다.
계속해서, 반사층측 계면층(423) 상에 또는 반사층(422) 상에 제 1 유전체층(424)을 성막한다. 제 1 유전체층(424)은 제 1 정보층(41)의 제 1 유전체층(414)과 동일한 방법으로 형성할 수 있다.
계속해서, 필요에 따라, 제 1 유전체층(424) 상에 제 1 계면층(425)을 성막한다. 제 1 계면층(425)은 제 1 정보층(41)의 제 1 계면층(415)과 동일한 방법으로 형성할 수 있다.
계속해서, 제 1 계면층(425) 상에 또는 제 1 유전체층(424) 상에 기록층(426)을 성막한다. 기록층(426)은 제 1 정보층(41)의 기록층(416)과 동일한 방법으로 형성할 수 있다.
계속해서, 필요에 따라, 기록층(426) 상에 제 2 계면층(427)을 성막한다. 제 2 계면층(427)은 제 1 정보층의 제 2 계면층(417)과 동일한 방법으로 형성할 수 있다.
계속해서, 제 2 계면층(427) 상에 또는 기록층(426) 상에 제 2 유전체(428)를 성막한다. 제 2 유전체층(428)은 제 1 정보층의 제 2 유전체층(418)과 동일한 방법으로 형성할 수 있다.
이렇게 하여, 분리층(22) 상에 제 2 정보층(42)을 적층하고, 그 후, 제 2 정보층(42) 상에 분리층(28)을 형성한다. 분리층(28)은 분리층(22)과 동일한 방법에 의해 형성할 수 있다.
또한, 제 2 유전체층(428)을 성막한 후, 또는 분리층(28)을 형성한 후, 필요에 따라 레이저광을 조사하여 기록층(426)을 결정화하는 초기화 공정을 행해도 좋다.
계속해서, 분리층(28) 상에 제 3 정보층(43)을 적층한다. 구체적으로는, 분리층(28) 상에, 투과율 조정층(431), 반사층(432), 제 1 유전체층(434), 기록층(436) 및 제 2 유전체층(438)을 이러한 순서로 성막한다. 이때, 필요에 따라 반사층(432)과 제 1 유전체층(434) 사이에 반사층측 계면층(433)을 성막해도 좋다. 제 1 유전체층(434)과 기록층(436) 사이에 제 1 계면층(435)을 성막해도 좋다. 제 2 유전체층(438)과 기록층(436) 사이에 제 2 계면층(437)을 성막해도 좋다. 이들 각 층은, 제 2 정보층(42)의 각 층과 동일한 방법으로 형성할 수 있다.
이렇게 하여, 분리층(28) 상에 제 3 정보층(43)을 적층하고, 그 후, 제 3 정보층(43) 상에 투명층(23)을 형성한다.
투명층(23)은 제 3 정보층(43) 상에 자외선 경화성 수지(예컨대, 아크릴계 수지 및 에폭시계 수지) 또는 지효성 열경화 수지를 도포하여 스핀 코팅한 후, 이 수지를 경화시킴으로써 형성할 수 있다. 또한, 투명층(23)은 원반 형상의 폴리카보네이트 수지, 폴리메틸메타크릴레이트 수지, 폴리올레핀 수지, 노보넨계 수지, 또는 유리 등으로 이루어지는, 원반 형상의 판 또는 시트를 이용해서 형성해도 좋다. 이 경우, 투명층(23)은, 제 3 정보층(43) 상에 자외선 경화성 수지 또는 지효성 열경화성 수지를 도포하고, 도포한 수지에 판 또는 시트를 밀착시키고 나서 스핀 코팅한 후, 경화성 수지를 경화시킴으로써 형성할 수 있다. 다른 방법으로서, 판 또는 시트에 점착성(viscous)의 수지를 미리 균일하게 도포하고, 그 다음에 판 또는 시트를 제 2 유전체층(438)에 밀착시킬 수도 있다.
또한, 제 2 유전체층(438)을 성막한 후, 또는 투명층(23)을 형성한 후, 필요에 따라 레이저광을 조사하여 기록층(426)을 결정화하는 초기화 공정을 행해도 좋다.
이상과 같이 하여, 정보 기록 매체(11)를 제조할 수 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서는, 정보층을 구성하는 각 층의 성막 방법으로서 스퍼터링법을 이용하였다. 그러나, 이것에 한정되지 않고, 진공 증착법, 이온 플레이팅법, MBE(Molecular Beam Epitaxy)법 등을 이용하는 것도 가능하다.
또한, 본 실시형태에서는 3개의 정보층을 구비하는 정보 기록 매체(11)에 대해서 설명했지만, 정보층의 수가 4개 이상인 경우도 동일한 방법으로 제조할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는 기록층(416, 426, 436)은 결정상과 비정질상 사이에서 가역적인 상변화를 일으키는 층이며, 정보 기록 매체(11)는 리라이팅형 광기록 매체이었다. 그러나, 정보 기록 매체(11)는 추기형 광기록 매체이어도 좋고, 그 경우, 기록층(416, 426, 436)은 비가역의 변화를 일으키는 층이어도 좋다. 비가역의 변화를 일으키는 층의 재료로서는, 예컨대 Te-O-Pd 등을 이용할 수 있다. 그 경우, 제 1 정보층(41)의 기록층(416)의 두께는 10nm~50nm의 범위 내인 것이 바람직하고, 제 2 정보층(42)의 기록층(426) 및 제 3 정보층의 기록층(436)의 두께는 6nm~30nm의 범위 내인 것이 바람직하다.
(제 2 실시형태)
이하, 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 기록 장치, 재생 장치 및 정보 기록 매체의 재생 방법의 실시형태를 설명한다. 본 실시형태에서는, 제 1 실시형태에서 설명한 정보 기록 매체(11)에 정보를 기록하는 기록 장치 및 정보 기록 매체(11)에 기록된 정보를 재생하는 재생 장치 및 재생 방법을 설명한다.
도 3은 본 실시형태의 기록 장치 및 재생 장치이기도 한 기록 재생 장치의 구성의 일례를 나타내는 개략도이다. 도 3에 나타내는 기록 재생 장치는, 레이저 다이오드(501)와, 하프 미러(503)와, 대물 렌즈(504)와, 모터(505)와 포토 디텍터(507)를 구비하고 있다.
모터(505)는 정보 기록 매(11)를 회전 구동하기 위한 구동부로서, 정보 기록 매체(11)를 탑재하여 회전시킨다. 레이저 다이오드(501)는 레이저광(502)을 출사시키는 광원이다. 레이저 다이오드(501)로부터 출사한 레이저광(502)은 하프 미러(503)를 투과하여, 대물 렌즈(504)에 의해서 정보 기록 매체(11)를 향해서 집광된다.
정보 기록 매체(11)에 기록된 정보를 재생하는 경우에는, 레이저광(502)의 반사광을 포토 디텍터(507)에서 검출한다. 구체적으로는, 대물 렌즈(504)와 정보 기록 매체(11)의 거리를 조정함으로써, 재생해야 할 정보가 기록된 정보층에 레이저광(502)을 집속시키고, 그 정보층에 형성된 안내 홈을 집속한 레이저광(502)으로 주사한다. 정보층에 있어서 반사한 레이저광(502)의 반사광을 하프 미러(503)에 의해서 포토 디텍터(507)로 유도하여 포토 디텍터(507)에서 반사광을 검출한다. 재생시에, 레이저 다이오드(501)의 구동 전류에 고주파 전류를 중첩하여, 레이저광(502)을 출사시켜도 좋다. 이와 같이 본 실시형태의 기록 재생 장치는, 정보 기록 매체(11)의 각 기록층에 레이저광(502)을 조사하고, 각 기록층으로부터의 반사광을 검출하여 정보를 재생한다.
이때, 정보층에 기록된 정보, 즉, 기록 마크나 스페이스의 열화를 억제하기 위해서, 정보층에 조사하는 레이저광(502)의 강도를 상한 재생 파워 이하로 설정한다. 제 1 실시형태에서 설명한 바와 같이, 정보 기록 매체(11)가 N개의 정보층을 갖는 경우, 제 N 정보층에 조사하는 레이저광의 상한 재생 파워는 PrNmax이고, N>M≥1의 관계를 만족시키는 모든 정수 M에 대하여, 제 M 정보층에 조사하는 레이저광의 상한 재생 파워는 PrMmax이다. PrNmax와 PrMmax는, PrNmax<PrMmax의 관계를 만족시키고 있다.
실제로 각 정보층에 기록된 정보를 재생하는 경우의 레이저광(502)의 재생 파워는 상술한 상한 재생 파워 이하이다. 구체적으로는, 제 N 정보층에 기록된 정보를 재생하는 경우의 재생 파워 PrN은, PrN≤PrNmax의 관계를 만족시키고 있다. 또한, 제 M 정보층에 기록된 정보를 재생하는 경우의 재생 파워 PrM은, PrM≤PrMmax의 관계를 만족시키고 있다. 따라서, M=N-1인 경우, 제 N-1 정보층에 기록된 정보를 재생하는 경우의 재생 파워 PrN - 1는, PrN -1≤PrN -1 max의 관계를 만족시키고 있다.
제 1 실시형태에서 설명한 바와 같이, 제 N 정보층의 반사율 RN 및 N>M≥1의 관계를 만족시키는 임의의 정수 M에 대하여, 제 M 정보층의 반사율 RM은, RN>RM의 관계를 만족시키고 있다. 따라서, M=N-1인 경우, 제 N-1 정보층의 반사율 RN -1은 RN>RN-1의 관계를 만족시키고 있다. 또한, 이때, 제 N 정보층의 반사율 RN과 재생 파워 PrN과의 곱 RN×PrN은, 제 N-1 정보층의 반사율 RN -1과 재생 파워 PrN - 1와의 곱 RN-1×PrN -1과 같아지도록 재생 파워가 설정된다. 여기서 같음이란, 2개의 곱이 완전히 일치하는 경우뿐만 아니라, ±5% 정도의 범위에서 일치하는 경우를 포함한다. 구체적으로는, 이하의 식(5)의 관계가 성립하는 경우를 말한다.
Figure pct00007
이러한 조건을 만족시킴으로써, 제 N 정보층을 재생하는 경우에 얻어지는 반사광과 제 N-1 정보층을 재생하는 경우에 얻어지는 반사광의 강도가 거의 일치하여, 재생 신호의 품질의 불균일성을 억제할 수 있다. 또한, 제 N 정보층의 반사율 RN을 다른 정보(제 M 정보층)의 반사율 RM보다 높임으로써, 제 N 정보층의 재생 파워를 낮게 하더라도, 반사광의 광량을 증대시킬 수 있다. 따라서, 제 N 정보층에 있어서 고품질의 정보의 재생을 실현할 수 있다. 또한, 제 N 정보층의 재생 파워를 낮게 함으로써, 레이저광이 입사하기까지 다른 정보층을 투과하는 일이 없어, 따라서, 강도의 감쇠가 없는 레이저광이 입사하는 제 N 정보층에 있어서의 기록된 정보의 열화를 억제할 수 있다. 또한, 제 N 정보층의 재생 파워를 낮게 함으로써, 제 N 정보층의 기록층은 높은 재생 내구 성능을 구비하고 있지 않아도 되기 때문에, 기록층의 재료를 선택할 때의 자유도가 높아진다. 이 때문에, 보다 투과율이 높은 재료를 선택하는 것도 가능해져, 제 1 정보층으로부터 제 N-1 정보층으로 도달하는 레이저광의 강도를 높일 수도 있다. 따라서, 제 1 정보층으로부터 제 N-1 정보층에 있어서도 고품질의 정보의 재생을 실현할 수 있다.
정보 기록 매체(11)에 정보를 기록하는 경우, 기록해야 할 정보에 의해서 변조된 변조 신호를 생성하고, 변조 신호에 의해서 레이저광(502)의 강도를 복수의 파워 레벨 사이에서 변조시킨다. 레이저 강도를 변조하는 수단으로서는, 반도체 레이저의 구동 전류를 변조해서 행하는 전류 변조 수단을 이용할 수 있다. 기록 마크를 형성하는 부분에 대해서는, 피크 파워 Pp의 단일 직사각형 펄스를 사용할 수 있다. 또는, 특히 긴 마크를 형성하는 경우는, 지나친 열을 줄이고, 마크폭을 균일하게 하는 목적으로, 도 4에 나타내는 바와 같이 피크 파워 Pp 및 바텀 파워 Pb(단, Pp>Pb) 사이에서 변조된 복수의 펄스열로 이루어지는 기록 펄스열을 사용할 수 있다. 또한, 최후미의 펄스의 뒤에 냉각 파워 Pc의 냉각 구간을 마련해도 좋다. 마크를 형성하지 않는 부분에 대해서는, 바이어스 파워 Pe(단, Pp>Pe)로 일정하게 유지한다. 이렇게 해서 본 실시형태의 기록 재생 장치는, 기록 신호에 따라, 정보 기록 매체의 각 정보층에 레이저광(502)을 조사하여 정보를 기록한다.
또한, 대물 렌즈(504)의 개구수 NA는, 레이저광(502)의 스폿 직경을 0.4㎛~0.7㎛의 범위 내로 조정하기 위해서, 0.5~1.1의 범위 내인 것이 바람직하고, 0.6~0.9의 범위 내인 것이 보다 바람직하다. 레이저광(502)의 파장 λ는 350nm~450nm의 범위 내인 것이 바람직하다. 정보를 기록할 때의 정보 기록 매체(506)의 선속도는, 재결정화가 일어나기 어렵고, 또한 충분한 소거 성능이 얻어지는 3m/s~40m/s의 범위 내인 것이 바람직하고, 6m/s~30m/s의 범위 내인 것이 보다 바람직하다. 정보 기록 매체(506)의 종류 등에 따라서, 여기서 예시하고 있지 않은 파장, 대물 렌즈의 개구수, 및 선속도를 사용해도 좋은 것은 말할 필요도 없다. 예컨대, 레이저광(502)의 파장 λ는 650~670nm이더라도 좋다.
이러한 기록 재생 장치를 이용하여, 정보 기록 매체(11)의 성능을 평가할 수 있다. 이하에서는, 1층당의 용량을 25GB로 한 BD 규격에 의한 기록 방법에 준한 평가 방법과, 최단 마크 길이를 짧게 함으로써, 1층당의 용량을 33.4GB로 높인 기록 방법에 의한 평가 방법의 양쪽을 설명한다. 기록 재생시에 사용하는 레이저광(502)의 파장 λ는 400nm 내지 410nm의 범위이며, 대물 렌즈(504)의 NA는 0.84 내지 0.86의 범위이다. 정보 기록 매체(11)의 종류 등에 따라, 1층당의 용량을 여기서 예시하고 있지 않은 용량으로 하는 기록 방법을 이용한 평가 방법이더라도 좋다.
정보 기록 매체(11)의 기록 성능은, 레이저광(502)을 0~Pp(mW)의 사이에서 파워 변조하여, (1-7) 변조 방식에 의해 마크 길이가 2T로부터 8T까지의 랜덤 신호를 기록하고, 기록 마크의 전단 사이, 및 후단 사이의 지터(마크 위치의 오차)를 시간 간격 분석기로 측정함으로써 평가할 수 있다. 또한, 지터값이 작을수록 기록 성능이 좋다. 또한, 기록 파워 Pp, Pb, Pc 및 Pe는 전단 사이, 및 후단 사이의 지터의 평균값이 최소로 되도록 결정된다. 이때의 최적 Pp을 기록 감도로 한다. 여기서, 1층당의 용량이 25GB인 경우, 2T 마크 길이 및 8T 마크 길이는 각각, 0.149㎛ 및 0.596㎛로 된다. 또한, 1층당의 용량이 33.4GB인 경우, 2T 마크 길이 및 8T 마크 길이는 각각, 0.112㎛ 및 0.447㎛로 된다.
또한, 정보 기록 매체(11)의 신호 강도에 대한 성능은, 레이저광(502)을 0~Pp(mW)의 사이에서 파워 변조하여, 마크 길이가 2T와 9T의 신호를 동일한 트랙에 연속 10회 교대로 기록하고, 마지막으로 2T 신호를 오버라이팅한 경우의 2T 신호의 주파수에서의 신호 진폭(carrier level)과 잡음 진폭(noise level)의 비(CNR(Carrier to Noise Ratio))를 스펙트럼 분석기로 측정함으로써 평가할 수 있다. CNR가 클수록 신호 강도가 강하다. 여기서, 1층당의 용량이 25GB인 경우, 9T 마크 길이는 0.671㎛로 된다. 또한, 1층당의 용량이 33.4GB인 경우, 9T 마크 길이는 0.503㎛로 된다.
또한, 정보 기록 매체(11)의 소거 성능은, 레이저광(502)을 0~Pp(mW)의 사이에서 파워 변조하여, 2T 신호와 9T 신호를 동일한 트랙에 연속 10회 교대로 기록하고, 11회째에 2T 신호를 오버라이팅한 경우의 2T 신호의 신호 진폭과, 또한 그 후 9T 신호를 오버라이팅한 경우의 2T 신호의 신호 진폭의 차이를, 2T 신호의 소거율로서 스펙트럼 분석기로 측정하는 것에 의해 평가할 수 있다. 또한, 소거율이 클수록 소거 성능이 좋다.
또한, 정보 기록 매체(11)의 상한 재생 파워는 재생광 열화에 의해 평가한다. 여기서, 재생광 열화는 신호를 기록한 트랙에 재생광(재생 파워 Pr)을 소정의 횟수(예컨대 100만회) 조사했을 때의 지터 또는 에러 레이트의 악화량으로 정의한다. 재생 파워가 높아질수록 재생광 열화는 증대한다. 재생 열화가 허용치를 넘지 않는 최대의 파워가 상한 재생 파워로 된다.
(실시예)
이하, 본 발명에 따른 정보 기록 매체의 실시예를 구체적으로 설명한다.
본 실시예에서는, 도 1 및 도 2에 나타내는 정보 기록 매체(11)를 제작하고, 제 3 정보층(43)에 있어서의 기록층(436)의 두께 및 제 2 유전체(438)의 두께를 변경했을 때의, 제 1 정보층(41), 제 2 정보층(42) 및 제 3 정보층(43)의 각 정보층의 기록 특성 및 재생 특성을 조사하였다. 측정 항목은 제 3 정보층의 소거율, 각 정보층의 반사율 및 상한 재생 파워이다. 제 1 정보층(41) 및 제 2 정보층(42)은, 예컨대, 공지된 리라이팅형의 2층 정보 기록 매체와 동일한 구조를 채용할 수 있다.
각 정보층의 반사율이란, 제 1 실시형태에서 설명한 바와 같이, 적층 상태에 있어서의 반사율이다. 구체적으로는, 대상으로 하는 정보층에 도달하는 레이저광, 및, 대상으로 하는 정보층에서 반사한 반사광이, 대상으로 하는 정보층보다 레이저광(31) 입사측에 있는 다른 정보층을 투과함으로써 발생하는 감쇠를 포함한 값이다.
샘플은 이하와 같이 해서 제조하였다. 먼저, 기판(21)으로서, 레이저광(31)을 유도하기 위한 안내 홈(깊이 20nm, 트랙 피치 0.32㎛)이 형성된 폴리카보네이트 기판(직경 120mm, 두께 1.1mm)을 준비하였다.
기판(21) 상에, 반사층(412)으로서 Ag-Pd-Cu 층(두께: 80nm), 제 1 유전체층(414)으로서 (ZrO2)50(In2O3)50층(두께: 25nm), 기록층으로서 (GeTe)97(Bi2Te3)3층(두께: 10nm), 제 2 계면층(417)(도시하지 않음)으로서 (ZrO2)50(Cr2O3)50층(두께: 5nm), 제 2 유전체층(418)으로서 (ZnS)80(SiO2)20층(두께: 60nm)을 순차적으로 스퍼터링법에 의해서 적층하였다.
각 층을 스퍼터링에 의해서 형성하는 성막 장치는, 각각 반사층(412)을 성막하기 위한 Ag-Pd-Cu 합금 스퍼터링 타겟, 제 1 유전체층(414)을 성막하기 위한 (ZrO2)50(In2O3)50 스퍼터링 타겟, 기록층(416)을 성막하기 위한 (GeTe)97(Bi2Te3)3 스퍼터링 타겟, 제 2 계면층(417)을 성막하기 위한 (ZrO2)50(Cr2O3)50 스퍼터링 타겟, 제 2 유전체층(418)을 성막하기 위한 (ZnS)80(SiO2)20 스퍼터링 타겟을 구비한다. 스퍼터링 타겟의 형상은 모두 직경 100mm, 두께 6mm이다.
반사층(412)의 성막은, Ar 가스 분위기에서 압력을 0.3Pa로 하고, DC 전원을 이용하여, 투입 파워 100W에서 행하였다. 제 1 유전체층(404)의 성막은, Ar 가스 분위기에서 압력을 0.1Pa로 하고, RF 전원을 이용하여, 투입 파워 200W에서 행하였다. 기록층(406)의 성막은, Ar 가스 분위기에서 압력을 0.2Pa로 하고, DC 전원을 이용하여, 투입 파워 50W에서 행하였다. 제 2 계면층(407)의 성막은, Ar 가스 분위기에서 압력을 0.1Pa로 하고, RF 전원을 이용하여, 투입 파워 200W에서 행하였다. 제 2 유전체층(408)의 성막은, Ar 가스 분위기에서 압력을 0.1Pa로 하고, RF 전원을 이용하여 투입 파워 400W에서 행하였다.
다음에, 제 2 유전체층(418) 상에 자외선 경화성 수지를 도포하고, 그 위에 안내 홈(깊이 20nm, 트랙 피치 0.32㎛)을 형성한 기판을 덮어서 밀착 회전시킴으로써, 균일한 수지층을 형성하고, 수지를 경화시킨 후에 기판을 벗겼다. 이에 의해, 레이저광(31)을 유도하는 안내 홈이 제 2 정보층(42) 측에 형성된, 두께 25㎛의 분리층(22)을 형성할 수 있었다.
그 후, 분리층(22) 위에, 투과율 조정층(421)으로서 TiO2층(두께: 20nm), 반사층(422)으로서 Ag-Pd-Cu층(두께: 10nm), 제 1 유전체층(424)으로서 (ZrO2)50(In2O3)50층(두께: 15nm), 기록층(426)으로서 (GeTe)96(Bi2Te3)4층(두께: 7nm), 제 2 계면층(427)(도시하지 않음)으로서 (ZrO2)50(Cr2O3)50층(두께: 5nm), 제 2 유전체층(428)으로서 (ZnS)80(SiO2)20층(두께: 40nm)을 순차적으로 스퍼터링법에 의해서 적층하였다.
이들 층을 스퍼터링에 의해 형성하는 성막 장치는, 각각 투과율 조정층(421)을 성막하기 위한 TiO2 스퍼터링 타겟, 반사층(422)을 성막하는 Ag-Pd-Cu 합금 스퍼터링 타겟, 제 1 유전체층(424)을 성막하기 위한 (ZrO2)50(In2O3)50 스퍼터링 타겟, 기록층(426)을 성막하기 위한 (GeTe)97(Bi2Te3)3 스퍼터링 타겟, 제 2 계면층(427)을 성막하기 위한 (ZrO2)50(Cr2O3)50 스퍼터링 타겟, 제 2 유전체층(428)을 성막하기 위한 (ZnS)80(SiO2)20 스퍼터링 타겟을 구비한다. 스퍼터링 타겟의 형상은 모두 직경 100mm, 두께 6mm이다.
투과율 조정층(421)의 성막은, Ar와 산소의 혼합 가스 분위기(전체에 대해 3% 비율의 산소 가스)에서 압력을 0.3Pa로 하여 RF 전원을 이용하고, 투입 파워 400W에서 행하였다. 반사층(422)의 성막은, Ar 가스 분위기에서 압력을 0.3Pa로 하여 DC 전원을 이용하고, 투입 파워 100W에서 행하였다. 제 1 유전체층(424)의 성막은, Ar 가스 분위기에서 압력을 0.1Pa로 하여 RF 전원을 이용하고, 투입 파워 200W에서 행하였다. 기록층(426)의 성막은, Ar 가스 분위기에서 압력을 0.2Pa로 하여 DC 전원을 이용하고, 투입 파워 50W에서 행하였다. 제 2 계면층(427)의 성막은, Ar 가스 분위기에서 압력을 0.1Pa로 하여 RF 전원을 이용하고, 투입 파워 200W에서 행하였다. 제 2 유전체층(428)의 성막은, Ar 가스 분위기에서 압력을 0.1Pa로 하여 RF 전원을 이용하고, 투입 파워 400W에서 행하였다.
다음에, 제 2 유전체층(428) 상에 자외선 경화 수지를 도포하고, 그 위에 안내 홈(깊이 20nm, 트랙 피치 0.32㎛)을 형성한 기판을 덮어서 밀착 회전시킴으로써, 균일한 수지층을 형성하고, 수지를 경화시킨 후에 기판을 벗겼다. 이에 의해, 레이저광(31)을 유도하는 안내 홈이 제 3 정보층(43) 측에 형성된, 두께 16㎛의 분리층(28)을 형성할 수 있었다.
그 후, 분리층(28) 위에, 투과율 조정층(431)으로서 TiO2층(두께: 30nm), 반사층(432)으로서 Ag-Pd-Cu층(두께: 8nm), 제 1 유전체층(434)으로서 (ZrO2)50(In2O3)50층(두께: 10nm), 기록층(436)으로서 (GeTe)96(Bi2Te3)4층, 제 2 계면층(437)(도시하지 않음)으로서 (ZrO2)50(Cr2O3)50층(두께: 5nm), 제 2 유전체층(438)으로서 (ZnS)80(SiO2)20층을 순차적으로 스퍼터링법에 의해서 적층하였다.
이들 각 층을 스퍼터링에 의해 형성하는 성막 장치는, 각각 투과율 조정층(431)을 성막하기 위한 TiO2 스퍼터링 타겟, 반사층(432)을 성막하는 Ag-Pd-Cu 합금 스퍼터링 타겟, 제 1 유전체층(434)을 성막하기 위한 (ZrO2)50(In2O3)50 스퍼터링 타겟, 기록층(436)을 성막하기 위한 (GeTe)96(Bi2Te3)4 스퍼터링 타겟, 제 2 계면층(437)을 성막하기 위한 (ZrO2)50(Cr2O3)50 스퍼터링 타겟, 제 2 유전체층(438)을 성막하기 위한 (ZnS)80(SiO2)20 스퍼터링 타겟을 구비한다. 스퍼터링 타겟의 형상은 모두 직경 100mm, 두께 6mm이다.
투과율 조정층(431)의 성막은, Ar와 산소의 혼합 가스 분위기(전체에 대해 3% 비율의 산소 가스)에서 압력을 0.3Pa로 하여 RF 전원을 이용하고, 투입 파워 400W에서 행하였다. 반사층(432)의 성막은, Ar 가스 분위기에서 압력을 0.3Pa로 하여 DC 전원을 이용하고, 투입 파워 100W에서 행하였다. 제 1 유전체층(434)의 성막은, Ar 가스 분위기에서 압력을 0.1Pa로 하여 RF 전원을 이용하고, 투입 파워 200W에서 행하였다. 기록층(436)의 성막은, Ar 가스 분위기에서 압력을 0.2Pa로 하여 DC 전원을 이용하고, 투입 파워 50W에서 행하였다. 제 2 계면층(437)의 성막은, Ar 가스 분위기에서 압력을 0.1Pa로 하여 RF 전원을 이용하고, 투입 파워 200W에서 행하였다. 제 2 유전체층(438)의 성막은, Ar 가스 분위기에서 압력을 0.1Pa로 하여 RF 전원을 이용하고, 투입 파워 400W에서 행하였다.
마지막으로, 자외선 경화성 수지를 제 2 유전체층(438) 상에 도포하여 회전시켜서, 균일한 수지층을 형성한 후, 자외선을 조사하여 수지를 경화시킴으로써, 두께 59㎛의 투명층(23)을 형성하였다. 그 후, 기록층(416), 기록층(426) 및 기록층(436)을 레이저광으로 결정화시키는 초기화 공정을 행하였다. 이상과 같이 해서, 제 3 정보층의 43 기록층(436)의 두께 및 제 2 유전체층(438)의 두께가 상이한 복수의 샘플을 제조하였다.
이렇게 해서 얻어진 샘플에 대해서, 도 3에 나타내는 기록 재생 장치를 이용하여, 정보 기록 매체(11)의 각 정보층의 반사율, 상한 재생 파워, 및 제 3 정보층의 소거율을 측정하였다. 레이저광(31)의 파장은 405nm, 대물 렌즈(32)의 개구수 NA는 0.85로 하였다. 또한, 1층당의 용량을 33.4GB로 하는 기록 방법에 의해 기록을 실시하고, 최단 마크 길이(2T)는 0.112㎛로 하였다. 또한, 기록시 및 측정시의 샘플의 선속도는 7.36m/s로 하였다.
각 샘플에 있어서의 제 3 정보층(43)의 기록층(436)의 두께, 제 2 유전체층(438)의 두께, 제 3 정보층(43)의 소거 성능을 표 1에 나타낸다. 소거 성능에 대해서는, 소거율이 25dB 이상을 「○」, 25dB 미만을 「×」로 표시하였다.
소거율이 25dB 이상이면, 비트 오류율을 1.0×10-5 이하로 하는 것이 가능하게 되어, 정보를 처리하는 단위인 심볼의 오류율(심볼 에러 레이트)이 2.0×10-4를 하회하는 값으로 된다. 심볼의 오류율이 2.0×10-4이면, 실용상 문제가 되지 않는 레벨이다.
Figure pct00008
또한, 각 샘플에 있어서의 제 3 정보층(43)의 기록층(436)의 두께, 제 2 유전체층(438)의 두께, 제 1 정보층(41)의 재생 성능을 표 2에 나타낸다. 재생 성능은, 반사율과 상한 재생 파워를 먼저 조사하여, 반사율과 상한 재생 파워의 곱을 반사 광량으로 정의하고, 반사 광량이 2.2 이상을 「○」, 2.2 미만을 「×」로 하였다. 반사 광량이 2.2 이상이면, 반사 광량이 2.2 이상이면, 정보의 재생 신호 품질을 실용상 문제가 없는 레벨로 유지할 수 있다.
Figure pct00009
또한, 각 샘플에 있어서의 제 3 정보층(43)의 기록층(436)의 두께, 제 2 유전체층(438)의 두께, 제 2 정보층(42)의 재생 성능을 표 3에 나타낸다. 재생 성능은, 반사율과 상한 재생 파워를 먼저 조사하여, 반사율과 상한 재생 파워의 곱을 반사 광량으로 정의하고, 반사 광량이 2.2 이상을 「○」, 2.2 미만을 「×」로 하였다.
Figure pct00010
또한, 각 샘플에 대해서, 제 3 정보층(43)의 기록층(436)의 두께, 제 2 유전체층(438)의 두께, 제 3 정보층(43)의 재생 성능을 (표 4)에 나타낸다. 재생 성능은, 반사율과 상한 재생 파워를 먼저 조사하여, 반사율과 상한 재생 파워의 곱을 반사 광량으로 정의하고, 반사 광량이 2.2 이상을 「○」, 2.2 미만을 「×」로 하였다.
Figure pct00011
이상의 결과를 정리하여, 각 샘플에 있어서의, 제 3 정보층(43)의 기록층(436)의 두께, 제 2 유전체층(438)의 두께, 각 정보층의 재생 성능 및 제 3 정보층의 소거 성능을 기초로 한 종합 평가를 표 5에 나타낸다. 종합 평가는, 상기의 평가 항목에 있어서, 하나라도 「×」로 평가된 샘플은 「×」로 평가하고, 상기의 평가 항목에 있어서, 전부 「○」로 평가된 샘플은 「◎」로 평가하였다.
종합 평가에 있어서, 「◎」로 평가된 샘플은 실제로 사용가능한 것을 의미하고, 「×」로 평가된 매체는 실제로 사용불가능한 것을 의미한다.
Figure pct00012
또한, 이상의 결과를 이용하여, 각 샘플에 있어서의 각 층의 반사율, 상한 재생 파워, 반사 광량, 종합 평가를 정리하여 표 6에 나타낸다.
Figure pct00013
표 1 내지 표 6에 나타내어지는 바와 같이, 레이저광(31)의 입사측에 가장 가까운 제 3 정보층(43)의 반사율이 다른 정보층보다 높고, 또한, 제 3 정보층(43)의 상한 재생 파워가 다른 정보층보다 낮을 때에, 정보 기록 매체(11)의 제 1 정보층 내지 제 3 정보층의 전부에 있어서 양호한 특성이 얻어지고 있다.
이와 같이, 제 3 정보층의 반사율을 높게 함으로써, 제 3 정보층의 재생 파워를 낮게 하더라도, 제 3 정보층에 있어서의 고품질의 정보의 재생을 실현할 수 있다. 그에 따라, 제 3 정보층의 상한 재생 파워를, 다른 정보층의 상한 재생 파워보다 내린 구성을 채용할 수 있다. 이 때문에, 제 3 정보층에 대해서는, 투과율을 중시한 설계를 하는 것이 허용된다. 즉, 제 3 정보층의 재생 파워가 비교적 낮아지기 때문에, 제 3 정보층은 높은 재생 내구성을 실현할 필요가 없어, 실용적인 재생 내구성을 갖으면서, 제 3 정보층의 투과율을 종래보다 높게 하는 것이 가능해진다. 그 결과, 제 3 정보층의 투과율을 높임으로써, 제 1 정보층 및 제 2 정보층에 도달하는 레이저광의 광량을 높여서, 제 1 정보층 및 제 2 정보층의 각 정보층에 있어서 고품질의 정보의 재생을 실현할 수 있다.
또한, 제 2 정보층(42)의 반사율에 대한, 제 3 정보층(43)의 반사율의 비가 1.2 이상일 때, 제 3 정보층에 있어서의 반사 광량을 충분히 높일 수 있고, 정보 기록 매체(11)의 제 1 정보층 내지 제 3 정보층의 전부에 있어서 양호한 특성이 얻어지고 있다.
또한, 제 3 정보층(43)의 반사 광량과 제 2 정보층(42)의 반사 광량이 같을 때, 제 3 정보층 및 제 2 정보층을 재생한 경우의 재생 신호의 품질의 불균일성을 억제할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는 제 2 정보층(42)의 기록층(426)과, 제 3 정보층(43)의 기록층(436)으로 동일한 재료를 사용했지만, 결정화 속도를 조정하기 위해서 상이한 재료를 사용해도 좋다.
또한, 상기 실시형태 및 실시예에서 언급한 재료 및 막 두께는 본 발명을 실현하기 위한 여러 가지의 재료 및 막 두께의 일례이고, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 상기 실시형태 및 실시예에서 언급한 재료 이외의 재료를 이용해도 좋고, 또한, 상기 실시형태 및 실시예에서 언급한 각 층의 두께 이외의 두께로 설정해도 좋다.
산업상의 이용가능성
본 발명의 정보 기록 매체 및 그 재생 방법은, 3개 이상의 정보층을 구비하는 정보 기록 매체에 있어서의 정보의 재생을 고품질화하기 위해서 유용하다.
11: 정보 기록 매체, 21: 기판, 22: 분리층, 23: 투명층, 28: 분리층, 31: 레이저광, 32: 대물 렌즈, 40: 정보층, 41: 제 1 정보층, 42: 제 2 정보층, 43: 제 3 정보층, 402: 반사층, 403: 반사층측 계면층, 404: 제 1 유전체층, 405: 제 1 계면층, 406: 기록층, 407: 제 2 계면층, 408: 제 2 유전체층, 412: 반사층, 413: 반사층측 계면층, 414: 제 1 유전체층, 415: 제 1 계면층, 416: 기록층, 417: 제 2 계면층, 418: 제 2 유전체층, 421: 투과율 조정층, 422: 반사층, 423: 반사층측 계면층, 424: 제 1 유전체층, 425: 제 1 계면층, 426: 기록층, 427: 제 2 계면층, 428: 제 2 유전체층, 431: 투과율 조정층, 432: 반사층, 433: 반사층측 계면층, 434: 제 1 유전체층, 435: 제 1 계면층, 436: 기록층, 437: 제 2 계면층, 438: 제 2 유전체층, 501: 레이저 다이오드, 502: 레이저광, 503: 하프 미러, 504: 대물 렌즈, 505: 모터, 506: 정보 기록 매체, 507: 포토 디텍터

Claims (8)

  1. 정보를 기록할 수 있는 N개(N은 N≥3의 정수)의 정보층을 갖고, 레이저광이 조사됨으로써, 각 정보층으로의 정보의 기록 및 상기 각 정보층에 기록된 정보의 재생이 행해지는 정보 기록 매체로서,
    상기 N개의 정보층은, 레이저광 입사측으로부터 차례로 배치된 제 N 정보층, 제 N-1 정보층, 제 N-2 정보층 ㆍㆍㆍ 제 2 정보층, 제 1 정보층을 포함하고,
    상기 제 N 정보층의 반사율은 RN이고, 제 M 정보층(M은 N>M≥1을 만족시키는 모든 정수)의 반사율은 RM이며,
    상기 제 N 정보층에 기록된 정보의 재생시에 상기 제 N 정보층에 조사하는 레이저광의 상한 재생 파워는 PrNmax이고, 상기 제 M 정보층에 기록된 정보의 재생시에 상기 제 M 정보층에 조사하는 레이저광의 상한 재생 파워는 PrMmax이고, 하기의 식(1), (2):
    Figure pct00014

    를 동시에 만족시키고 있는
    정보 기록 매체.

  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 N 정보층의 상기 반사율 RN과, 상기 제 N-1 정보층의 상기 반사율 RN-1이, 하기의 식(3):
    Figure pct00015

    를 만족시키고 있는 정보 기록 매체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 N 정보층의 상기 반사율 RN과 상기 상한 재생 파워 PrNmax와의 곱 RN×PrNm ax는, 제 N-1 정보층의 반사율 RN -1과 상한 재생 파워 PrN -1 max와의 곱 RN -1×PrN -1max와 같은 정보 기록 매체.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 N은 3인 정보 기록 매체.

  5. 청구항 1에 기재된 정보 기록 매체 기록된 정보를 재생하는 재생 장치로서,
    상기 제 N 정보층에 기록된 정보를 재생 파워 PrN(PrN≤PrNmax)로 재생하고,
    상기 제 N-1 정보층에 기록된 정보를 재생 파워 PrN -1(PrN -1≤PrN -1 max)로 재생하는
    재생 장치.
  6. 청구항 1에 기재된 정보 기록 매체에 정보를 기록하는 기록 장치로서,
    상기 정보 기록 매체에 상기 레이저광을 조사하는 것에 의해 정보를 기록하는 기록 장치.
  7. 청구항 1에 기재된 정보 기록 매체에 기록된 정보를 재생하는 정보 기록 매체의 재생 방법으로서,
    상기 제 N 정보층에 기록된 정보를 재생 파워 PrN(PrN≤PrNmax)으로 재생하는 공정과,
    상기 제 N-1 정보층에 기록된 정보를 재생 파워 PrN - 1(PrN-1≤PrN-1max)으로 재생하는 공정
    을 포함하고,
    상기 제 N 정보층의 상기 반사율 RN과 상기 재생 파워 PrN과의 곱 RN×PrN은, 상기 제 N-1 정보층의 상기 반사율 RN -1과 상기 재생 파워 PrN -1과의 곱 RN -1×PrN -1과 같은
    정보 기록 매체의 재생 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 레이저광의 파장 λ가 400nm 내지 410nm의 범위이고,
    상기 레이저광을 상기 각 정보층에 집속시키기 위해서 사용하는 대물 렌즈의 개구수 NA가 0.84 내지 0.86의 범위인
    정보 기록 매체의 재생 방법.
KR1020107021218A 2008-11-26 2009-11-19 정보 기록 매체, 기록 장치, 재생 장치 및 재생 방법 KR20110086668A (ko)

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