KR100622791B1 - Ｃｏｆ용 오토핸들러와 ｃｏｆ 촬상용 조명장치 및 방법 - Google Patents

Ｃｏｆ용 오토핸들러와 ｃｏｆ 촬상용 조명장치 및 방법 Download PDF

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후루타미스히로
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요코가와 덴키 가부시키가이샤
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Abstract

COF 촬상시에, 광의 반사량을 억제하고, 또한, 난반사를 방지하여, 화상처리 가능한 안정된 COF의 화상이 얻어지는 오토핸들러를 제공한다.
COF(1)를 공급릴(11)로부터 측정부(2)를 경유하여 수용릴(12)까지 반송하는 COF용 오토핸들러는, 측정부(2)에 COF(1) 촬상용의 조명장치(7)를 구비하고, 또한 측정부(2)의 COF(1)의 배면에 맞접하는 푸셔플레이트(2a)의 면에 광흡수 색에 의한 흑색의 표면부(2b)를 갖는다. 그리고, 조명장치(7)는, LED조명과 같은 산란광을 발하는 중앙조명부(7a) 및 측방조명부(7b)를 갖는다. 측방조명부(7b)는, COF(1)의 표면에 대하여 예각인 입사각으로, COF(1) 표면에 산란광을 조사한다.

Description

ＣＯＦ용 오토핸들러와 ＣＯＦ 촬상용 조명장치 및 방법{AUTOHANDLER FOR COF AND LIGHTING DEVICE FOR COF PHOTOGRAPHING AND METHOD FOR THE SAME}
도 1은, 본 발명을 적용한 일실시형태로서의, 촬상장치 및 조명장치를 갖는 COF용 오토핸들러의 구성을 나타내는 개략 정면도.
도 2는, 도 1의 측정부 및 조명장치 부분을 나타내는 개략확대도.
도 3은, 도 1 및 도 2의 조명장치에 의한 조명광의 반사상태를 나타내는 개략도.
도 4는, COF의 일반적인 구성예를 나타낸 개략평면도.
도 5는, 촬상장치 및 조명장치를 갖는 선행개발 기술에 의한 COF용 오토핸들러의 구성을 나타내는 개략정면도.
도 6은, 도 5의 조명장치에 의한 조명광의 반사상태를 나타낸 개략도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1. COF 1a. 리드
1b. IC칩 Ic. 테스트패드
1d. 레지스트(resist) 1e. 위치결정 마크
2. 푸셔(측정부) 2a. 푸셔플레이트(pusher plate)
2b. 흑색표면부(광흡수 색부) 3. 프로브 카드
4. 테스트헤드(test head) 4a. 구멍부
5. 카메라유닛(촬상장치) 6. 증명장치.
7. 조명장치 7a. 중앙조명부
7b. 측방조명부 11. 공급릴
12. 수용릴 13. 스프로켓(sprocket)
14. 스프로켓(sprocket) 15. 펀치(분류부)
본 발명은, COF(Chip on film)을 시험, 분류하는 오토핸들러에 관한 것이다.
띠형상의 테이프 캐리어에 실장된 IC디바이스를 IC테스터와 접속시켜 IC디바이스의 전기적 특성을 측정하고 분류하는 TAB(Tape Automated Bonding : 데이프 자동본딩)용 오토핸들러와 마찬가지로, COF용 오토핸들러는, 띠형상의 필름 캐리어에 실장한 IC디바이스를 반송하고, IC테스터로부터의 분류신호에 따라, IC디바이스를, 예를 들면, 양품, 불량품으로 분류하는 장치이다.
여기서, COF는, 종래의 TAB와 비교하여, 하기의 특징을 갖고 있다.
(1) TAB에 사용되는 테이프 캐리어의 두께는 75㎛ 이상인 것에 대하여, COF에 사용되는 필름 캐리어의 두께는 40㎛ 이하로 얇고, 반투명의 것이다.
(2) TAB에서는 패턴 이면으로부터의 실장이 주류인 것에 대하여, COF에 있어서는, IC칩의 실장되는 면과 패턴면이 동일하다.
(3) TAB에서는 절곡 창에서의 단락이 있는 것에 대하여, COF는, 절곡용의 창이 없어, 이면에서의 전기적인 단락이 없다.
이와 같은 특징을 갖는 COF는, 예를 들면 LCD(액정 디스플레이)의 구동용 IC 등에 이용되고 있다.
도 4는, COF의 일반적인 구성예를 나타낸 것으로, 1은 COF, 1a는 리드, 1b는 IC칩, 1c는 테스트패드, 1d는 레지스트, 1e는 위치결정마크이다.
COF(1)에 있어서, 리드(1a)에 의해 IC칩(1b)과 테스트패드(1c)가 전기적으로 접속되어 있다.
또, IC칩(1b)의 주변에는, 리드(1a)와 IC칩(1b)을 보호하기 위한 레지스트(1d)와 위치결정마크(1e)가 형성되어 있다.
도 5는, 선행개발기술에 의한 촬상장치 및 조명장치를 갖는 COF용 오토핸들러의 구성을 나타내는 개략정면도이며, 2는 푸셔(측정부), 2a는 푸셔플레이트, 3은 프로브카드, 4는 테스트헤드, 4a는 구멍부, 5는 카메라유닛(촬상장치), 6은 조명장치, 11은 공급릴, 12는 수용릴, 13과 14는 스프로켓, 15는 펀치(분류부)이다.
이 COF용 오트핸들러는, 구체적으로는, COF(1)를 공급릴(11)로부터, 푸셔(2), 펀치(15)를 경유하여, 수용릴(12)까지 반송하고, 실장한 IC디바이스[IC칩(1b)]를 분류한다.
예를들면, IC디바이스는, 불량품을 펀치(15)에 의해 펀칭 처리하는 것에 의해 분류된다.
또, 공급릴(11) 및 수용릴(12)의 근방에 있어서, COF(1)가 일정 이상 이완되 면, 그 이완은 도시되지 않은 광센서에 의해 검출된다.
그리고, 그 검출된 이완 정도에 따라 스프로켓(13, 14)이 각각 구동되는 것에 의해, COF(1)의 일정 이상의 이완이 제거된다.
그리고, 푸셔(2)에 있어서, COF(1)는 프로브카드(3)에 차단되는 일 없이 조명장치(6)에 의해 조명되며, 그 화상이 카메라유닛(5)에 의해 촬상된다.
여기서, 푸셔플레이트(2a)는, COF(1)의 이면에 밀착하여, COF(1)를 평탄하게 유지하고 있다.
또, 카메라유닛(5) 및 조명장치(6)는, 테스트헤드(4)에 대하여, 푸셔(2)와는 반대측에 배치되어 있으며, 테스트헤드(4)의 중앙의 구멍부(4a)를 통하여 조명, 촬상한다.
즉, COF(1)에 대하여 거의 평행하게 되도록 배치된 카메라유닛(5)에 의해, 조명장치(6)에 의해 조사된 COF(1)가 테스트헤드(4) 중앙의 구멍부(4a)를 통하여, COF(1) 표면의 위치결정마크(1e)나 테스트패드(1c), 리드(1a)가 촬상된다.
촬상후에는, 도시하지 않은 화상처리장치에 있어서, 미리 등록되어 있는 위치결정마크의 화상데이터와, 현재의 화상테이터의 위치결정마크(1e)의 위치관계가 계산되며, 그 차만큼 푸셔(2)가 이동되어, 프로브카드(3)와 COF(1)의 위치가 맞추어진다.
그러나, 조명시에 있어서, 반투명의 COF(1)는 광을 투과하기 때문에, COF(1)의 표면에서 반사되는 광과 COF(1)의 이면에 위치하는 푸셔플레이트(2a)의 표면에 서 반사되는 광이 교착하여, 도 6에 나타낸 바와 같은, 난반사가 발생한다.
이 난반사가 발생하고 있는 상태로 COF(1)를 촬상하면, COF(1)의 패턴은, 그 이면측의 푸셔플레이트(2a)의 표면과 섞여있는 상태로 되어, 눈으로도 확인할 수 없는 상태가 된다.
따라서, 화상처리장치에 있어서도, 특정 패턴의 등록, 검출이 되기 힘들었다.
본 발명의 과제는, 오토핸들러에 있어서, COF 촬상시에, 광 반사량을 억제하고, 또한, 난반사를 방지하며, 화상처리 가능한 안정된 COF의 화상이 도입되도록 하는 것에 있다.
이상의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 제 1의 측면에 의하면, 이 COF용 오토핸들러는, COF를 공급릴로부터 측정부를 경유하여 수용릴까지 반송하고, 측정부에 COF의 촬상용 조명장치를 구비하는 COF용 오토핸들러로서, 상기 측정부의 상기 COF의 배면에 맞접하는 면을 광흡수 색부로 한 것이다.
이 COF용 오토핸들러에 의하면, 오토핸들러의 측정부에 있어서, 촬상시의 조명광이 COF배면에 맞접하는 면의 광흡수 색으로 되는 흑색의 표면부에서 흡수되므로, 측정부 표면에서의 반사광이 미소한 것으로 된다.
따라서, 광의 반사량을 억제하고, 화상처리 가능한 안정된 COF화상을 도입할 수가 있다.
본 발명의 제 2의 측면에 의하면, 이 COF용 오토핸들러는, COF를 공급릴로부 터 측정부를 경유하여 수용릴까지 반송하고, 측정부에 COF의 촬상용 조명장치를 구비하는 COF용 오토핸들러로서, 상기 촬상용 조명장치는, 상기 COF의 표면에 대하여 예각인 입사각으로, 상기 COF 표면에 광을 조사하는 조명부를 갖는 것이다.
이 COF용 오토핸들러에 의하면, 오토핸들러의 측정부에 있어서, 예각인 입사각으로 조사된 조명광은, COF 표면과 측정부 표면에서 예각인 출사각으로 반사되어 예각인 경사방향으로 빠지기 때문에, COF 표면 및 측정부 표면에서의 반사광은 촬상장치에는 직접 돌아가지 않는다.
따라서, 광의 반사량을 억제하여, 화상처리 가능한 안정된 COF 화상을 도입할 수가 있다.
상기 제 2의 측면에 의한 COF용 오토핸들러에 있어서, 상기 촬상용 조명장치는 산란광을 조사하도록 하여도 된다.
이와 같은 COF용 오토핸들러에 의하면, 상기 촬상용 조명장치는 산란광을 COF 표면에 조사하므로, 난반사를 방지할 수 있어, 보다 안정된 COF화상을 도입할 수가 있다.
본 발명의 제 3의 측면에 의하면, 이 COF 촬상용 조명장치는, 상기 COF 표면에 대하여 예각인 입사각으로 조사하는 조명부를 갖는다.
상기 제 3의 측면에 의한 COF 촬상용 조명장치는, 산란광을 조사하도록 하여도 된다.
본 발명의 제 4의 측면에 의하면, 이 COF 촬상용 조명방법은, 상기 COF 표면에 대하여 예각인 입사각으로, COF 표면에 광을 조사하는 것이다.
상기 제 4의 측면에 의한 COF 촬상용 조명방법은, 상기 COF 표면에 대하여 예각인 입사각으로, COF 표면에 산란광을 조사하여도 된다.
(실시예)
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 상세히 설명한다.
도 1은, 본 발명을 적용한 일실시형태로서의, 촬상장치 및 조명장치를 갖는 COF용 오토핸들러의 구성을 나타내는 개략 정면도이다.
또, 도 2는, 도 1의 측정부 및 조명장치 부분을 나타내는 개략 확대도이다.
이들 도 1 및 도 2에 있어서, 1은 COF, 2는 푸셔(측정부), 2a는 푸셔플레이트, 3은 프로브카드, 4는 테스트헤드, 4a는 구멍부, 5는 카메라유닛(촬상장치), 7은 조명장치, 11은 공급릴, 12는 수용릴, 13 및 14는 스프로켓, 15는 펀치(분류부)이다.
여기서, COF(1)는, 띠형상의 필름 캐리어에 복수개의 IC칩(1b)이 소정의 간격으로 실장된 것이다.
공급릴(11)에는, 측정전의 IC칩(1b)이 실장된 COF(1)가 권취되어 있다.
스프로켓(13, 14)은 연동하여, 릴형상으로 권취된 COF(1)를, 공급릴(11)로부터, 푸셔(2), 펀치(15)를 경유하여, 수용릴(12)까지 순차반송한다.
펀치(15)는, 예를 들면, 푸셔(2)의 측정결과에 기초하여 불량품의 IC칩(1b)에 펀칭처리하는 것에 의해, 양품과 불량품으로 자동적으로 선별한다.
수용릴(12)은, 측정후의 IC칩(1b)이 실장된 COF(1)를 권취한다.
또, 공급릴(11) 및 수용릴(12)의 근방에 있어서, COF(1)가 일정 이상 이완되 면, 그 이완은 도시하지 않는 광센서에 의해 검출된다.
그리고, 그 검출된 이완에 따라 스프로켓(13, 14)이 각각 구동되는 것에 의해, COF(1)의 일정 이상의 이완됨이 제거된다.
IC칩(1b)의 전기특성을 측정하는 푸셔(2)에는, 그 하면에, COF(1)의 종류에 따라 제작된 푸셔플레이트(2a)가 장착되어 있다.
또, 이 푸셔플레이트(2a)는, COF(1)의 이면에 밀착하여, COF(1)를 평탄하게 유지한다.
푸셔플레이트(2a)의 COF(1)의 이면에 평탄하게 밀착하는 부분은, 예를 들면 흑색 도금이 시행된 흑색표면부(2b)를 갖고 있다.
이 흑색표면부(2b)는, 광의 반사를 방지하는 광흡수기능을 갖고 있다.
그리고, 조명장치(7)는, 푸셔(2)에 대하여 테스트헤드(4)의 바로 앞에 배치되어 있으며, 예를 들면, LED조명과 같은 산란광을 발하는 중앙조명부(7a) 및 측방조명부(7b)를 갖고 있다.
이 때, 푸셔플레이트(2a)의 하방에는, 프로브카드(3)가 배치되어 있으며, 이 프로브카드(3)는, 도시하지 않은 IC테스터에 접속되어 있다.
그리고, 이들 중앙조명부(7a) 및 측방조명부(7b)는, 도시한 바와 같이, 프로브카드(3)와 테스트헤드(4) 사이에 배치되며, 프로브카드(3)에 차단되지 않는 위치로부터 산란광을 COF(1)를 조사한다.
특히, 중앙조명부(7a)의 양측의 측방조명부(7b)는, COF(1)의 표면에 대하여 예각으로 산란광을 상기 COF 표면에 조사하는 배치로 되어 있다.
이와 같이 조명장치(7)에 의해 조명된 COF(1)는, 카메라유닛(5)에 의해 촬상된다.
그리고, 도시하지 않은 화상처리장치에 있어서, 미리 등록되어 있는 위치결정마크의 화상데이터와 현재의 화상데이터의 위치결정마크(1e)의 위치관계가 계산되며, 그 차만큼 푸셔(2)가 이동되어, 프로브카드(3)와 COF(1)의 위치가 맞추어진다.
푸셔(2)가, 위치를 맞춘 COF(1)의 IC칩(1b)을 누르면, IC칩(1b)과 프로브카드(3)가 전기적으로 접속되며, 그 접속된 IC칩(1b)이 IC테스터에 의해 시험된다.
이상과 같이 COF용 오토핸들러에 있어서, 흑색표면부(2b)를 갖는 푸셔플레이트(2a)와, COF(1)의 표면에 대하여 예각인 입사각으로 산란광을 COF 표면에 조사하는 측방조명부(7b)를 갖는 조명장치(7)를 구비한 것에서, 푸셔(측정부)(2)에서의 COF 촬상에 있어서 이하의 작용효과가 얻어진다.
푸셔(측정부)(2)에 있어서, 푸셔플레이트(2a)의 흑색표면부(2b)에 의해 배면을 평탄하게 밀착 유지한 COF(1)가, 조명장치(7)의 LED조명과 같은 산란광에 의해 조사된 상태로, 카메라유닛(5)에 의해 양호하게 촬상된다.
즉, 조명장치(7)의 중앙조명부(7a) 및 측방조명부(7b)로부터 각각 조사된 산란광은, 반투명의 COF(1)를 투과하여 푸셔플레이트(2a)에 도달하지만, 그 흑색표면부(2b)에서 흡수된다.
이 때문에, 도 1 및 도 2의 조명장치에 의한 조명광의 반사상태를 나타내는 개략도인 도 3에 화살표로 나타내는 바와 같이, 푸셔플레이트(2a) 표면에서의 반사 광은, COF(1) 표면의 레지스트(1d) 및 위치결정마크(1e)에서의 반사광과 마찬가지로, 미소한 반사광으로 된다.
그리고, 측방조명부(7b)로부터 조사된 산란광은, 도 3에 화살표로 나타내는 바와 같이, COF(1) 표면과 푸셔플레이트(2a) 표면에서 COF(1) 표면에 대하여 예각인 출사각으로 반사되고, 예각인 경사방향으로 나온다.
따라서, 반사된 산란광은, 푸셔플레이트(2a) 표면에 대하여 직각 방향의 카메라유닛(5)에는 직접 돌아가지 않는다.
이상의 결과, 도 3에 작은 화살표로 나타내는 바와 같이, COF(1) 표면의 위치결정마크(1e)로 대표되는 광택면에서 반사된 산란광 만이 카메라유닛(5)으로 돌아간다.
따라서, 난반사가 생기지 않기 때문에, 카메라유닛(5)에 의해 COF(1) 표면의 위치결정마크(1e)를 포함하여 촬상하고, 촬상한 위치결정마크(1e)를 포함한 화상을, 도시하지 않은 화상처리장치에 도입하는 것에 의해, 선명한 화상을 얻을 수가 있다.
그 결과, 화상처리장치에 있어서, 미리 등록되어 있는 위치결정마크의 화상데이터와 현재의 화상데이터의 위치결정마크(1e)의 위치관계를 계산하고, 그 계산결과에 기초하여 푸셔(2)를 움직이므로서, 프로브카드(3)와 COF(1)를 정확히 위치결정할 수가 있다.
또, 마찬가지로, COF(1)의 테스트패드(1c)와 프로브카드(3)에 배치된 프로브 의 초기의 위치맞춤도 정확히 할 수 있다.
또한, 푸셔플레이트(2a)의 흑색표면부(광흡수 색부)(2b)의 형성, 조명장치(7)의 산란광용의 광원, 그 측방조명부(7b)의 배치각도 등에 대해서는, 실시형태에 한정되지 않고 임의인 것은 물론이다.

Claims (7)

  1. COF를 공급릴로부터 측정부를 경유하여 수용릴까지 반송하고, 측정부에 COF의 촬상용 조명장치를 구비하는 COF용 오토핸들러로서,
    상기 측정부의 상기 COF의 배면에 맞접하는 면이 광흡수 색부를 갖는 것을 특징으로 하는 COF용 오토핸들러.
  2. COF를 공급릴로부터 측정부를 경유하여 수용릴까지 반송하고, 측정부에 COF의 촬상용 조명장치를 구비하는 COF용 오토핸들러로서,
    상기 촬상용 조명장치는 상기 COF의 표면에 대하여 예각인 입사각으로, 상기 COF 표면에 광을 조사하는 조명부를 갖는 것을 특징으로 하는 COF용 오토핸들러.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 촬상용 조명장치가 산란광을 조사하는 것을 특징으로 하는 COF용 오토핸들러.
  4. COF를 촬상할 때에 사용되는 조명장치로서,
    상기 COF 표면에 대하여 예각인 입사각으로, 상기 COF 표면에 광을 조사하는 조명부를 갖는 것을 특징으로 하는 COF 촬상용 조명장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    산란광을 조사하는 것을 특징으로 하는 COF 촬상용 조명장치.
  6. COF를 촬상할 때의 조명방법으로서,
    상기 COF 표면에 대하여 예각인 입사각으로, 상기 COF 표면에 광을 조사하는 것을 특징으로 하는 COF 촬상용 조명방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 COF 표면에 대하여 예각인 입사각으로, 상기 COF 표면에 산란광을 조사하는 것을 특징으로 하는 COF 촬상용 조명방법.
KR1020020003530A 2001-01-29 2002-01-22 Ｃｏｆ용 오토핸들러와 ｃｏｆ 촬상용 조명장치 및 방법 KR100622791B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

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