JP2002228712A - Ｃｏｆ用オートハンドラとｃｏｆ撮像用照明装置及び方法 - Google Patents
Ｃｏｆ用オートハンドラとｃｏｆ撮像用照明装置及び方法Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 5
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 33
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 26
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 13
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 101100000339 Arabidopsis thaliana ABCG11 gene Proteins 0.000 description 5
- 101150058882 COF1 gene Proteins 0.000 description 5
- 101100328842 Dictyostelium discoideum cofA gene Proteins 0.000 description 5
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 オートハンドラにおいて、ＣＯＦ撮像の際
に、光の反射量を押さえ、更には、乱反射を防止し、画
像処理可能な安定したＣＯＦの画像が取り込めるように
する。 【解決手段】 ＣＯＦ１を供給リール１１から測定部２
を経て収容リール１２まで搬送し、測定部２にＣＯＦ１
の撮像用照明装置７を備えるＣＯＦ用オートハンドラに
おいて、測定部２のＣＯＦ１の背面に当接するプッシャ
ープレート２ａの面を光吸収色による黒色の表面部２ｂ
とする。そして、照明装置７は、ＬＥＤ照明のような散
乱光を発する中央照明部７ａ及び側方照明部７ｂを有し
ている。側方照明部７ｂは、ＣＯＦ１の表面に対し鋭角
な入射角をもって照射する。
に、光の反射量を押さえ、更には、乱反射を防止し、画
像処理可能な安定したＣＯＦの画像が取り込めるように
する。 【解決手段】 ＣＯＦ１を供給リール１１から測定部２
を経て収容リール１２まで搬送し、測定部２にＣＯＦ１
の撮像用照明装置７を備えるＣＯＦ用オートハンドラに
おいて、測定部２のＣＯＦ１の背面に当接するプッシャ
ープレート２ａの面を光吸収色による黒色の表面部２ｂ
とする。そして、照明装置７は、ＬＥＤ照明のような散
乱光を発する中央照明部７ａ及び側方照明部７ｂを有し
ている。側方照明部７ｂは、ＣＯＦ１の表面に対し鋭角
な入射角をもって照射する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＯＦ（Chip on
film）を試験・分類するオートハンドラに関する。
film）を試験・分類するオートハンドラに関する。
【０００２】
【従来の技術】ＣＯＦ用オートハンドラは、周知のＴＡ
Ｂ（Tape Automated Bonding）用オートハンドラと同
様、テープ上に実装したＩＣデバイスを搬送し、ＩＣテ
スタからの分類信号に従って、ＩＣデバイスを、例え
ば、良品、不良品に分類する装置である。ここで、ＣＯ
Ｆは、従来のＴＡＢと比較し、下記の特徴を備えてい
る。 （１）ＴＡＢのテープ厚さは７５ｕｍ以上であったのに
対し、ＣＯＦは、テープの厚さが４０ｕｍ以下で薄く半
透明なものがある。 （２）ＴＡＢではパターン裏面よりの実装が主流であっ
たのに対し、ＣＯＦは、ＩＣチップ実装とパターン面が
同一である。 （３）ＴＡＢでは折り曲げ窓での短絡があったのに対
し、ＣＯＦは、折り曲げ用の窓が無く、裏面での電気的
な短絡がない。 このような特徴を備えるＣＯＦは、例えば、ＬＣＤ（液
晶ディスプレイ）の駆動用ＩＣ等に利用されている。
Ｂ（Tape Automated Bonding）用オートハンドラと同
様、テープ上に実装したＩＣデバイスを搬送し、ＩＣテ
スタからの分類信号に従って、ＩＣデバイスを、例え
ば、良品、不良品に分類する装置である。ここで、ＣＯ
Ｆは、従来のＴＡＢと比較し、下記の特徴を備えてい
る。 （１）ＴＡＢのテープ厚さは７５ｕｍ以上であったのに
対し、ＣＯＦは、テープの厚さが４０ｕｍ以下で薄く半
透明なものがある。 （２）ＴＡＢではパターン裏面よりの実装が主流であっ
たのに対し、ＣＯＦは、ＩＣチップ実装とパターン面が
同一である。 （３）ＴＡＢでは折り曲げ窓での短絡があったのに対
し、ＣＯＦは、折り曲げ用の窓が無く、裏面での電気的
な短絡がない。 このような特徴を備えるＣＯＦは、例えば、ＬＣＤ（液
晶ディスプレイ）の駆動用ＩＣ等に利用されている。
【０００３】図４はＣＯＦの一般な構成例を示したもの
で、１はＣＯＦ、１ａはリード、１ｂはＩＣチップ、１
ｃはテストパッド、１ｄはレジスト、１ｅは位置決めマ
ークである。ＣＯＦ１において、リード１ａでＩＣチッ
プ１ｂとテストパッド１ｃが電気的接続され、ＩＣチッ
プ１ｂの周辺には、リード１ａとＩＣチップ１ｂを保護
するためのレジスト１ｄと位置決めマーク１ｅが形成さ
れている。
で、１はＣＯＦ、１ａはリード、１ｂはＩＣチップ、１
ｃはテストパッド、１ｄはレジスト、１ｅは位置決めマ
ークである。ＣＯＦ１において、リード１ａでＩＣチッ
プ１ｂとテストパッド１ｃが電気的接続され、ＩＣチッ
プ１ｂの周辺には、リード１ａとＩＣチップ１ｂを保護
するためのレジスト１ｄと位置決めマーク１ｅが形成さ
れている。
【０００４】図５は従来のＣＯＦ用オートハンドラと撮
像装置及び照明装置の概略構成を正面から示したもの
で、２はプッシャー（測定部）、２ａはプッシャープレ
ート、３はプローブカード、４はテストヘッド、４ａは
穴部、５はカメラユニット（撮像装置）、６は照明装
置、１１は供給リール、１２は収容リール、１３と１４
はスプロケット、１５はパンチ（分類部）である。この
ＣＯＦ用オートハンドラは、具体的には、ＣＯＦ１を供
給リール１１から測定部（プッシャー）２、分類部（パ
ンチ）１５に搬送し、収容リール１２まで搬送して、実
装したＩＣデバイス（ＩＣチップ１ｂ）を分類する。例
えば、不良品はパンチ１５による穴あけ処理により分類
される。なお、供給リール１１及び収容リール１２の近
傍において、ＣＯＦ１が一定以上たるむと、図示しない
光センサにより検出され、それぞれスプロケット１３・
１４が必要に応じ駆動されることで、ＣＯＦ１の一定以
上のたるみが取り除かれる。
像装置及び照明装置の概略構成を正面から示したもの
で、２はプッシャー（測定部）、２ａはプッシャープレ
ート、３はプローブカード、４はテストヘッド、４ａは
穴部、５はカメラユニット（撮像装置）、６は照明装
置、１１は供給リール、１２は収容リール、１３と１４
はスプロケット、１５はパンチ（分類部）である。この
ＣＯＦ用オートハンドラは、具体的には、ＣＯＦ１を供
給リール１１から測定部（プッシャー）２、分類部（パ
ンチ）１５に搬送し、収容リール１２まで搬送して、実
装したＩＣデバイス（ＩＣチップ１ｂ）を分類する。例
えば、不良品はパンチ１５による穴あけ処理により分類
される。なお、供給リール１１及び収容リール１２の近
傍において、ＣＯＦ１が一定以上たるむと、図示しない
光センサにより検出され、それぞれスプロケット１３・
１４が必要に応じ駆動されることで、ＣＯＦ１の一定以
上のたるみが取り除かれる。
【０００５】そして、測定部（プッシャー）２におい
て、ＣＯＦ１はプローブカード３に遮られることなく照
明装置６により照明され、その画像がカメラユニット５
により撮像される。ここで、プッシャープレート２ａ
は、ＣＯＦ１の裏面に密着し、ＣＯＦ１を平坦に保持し
ている。また、カメラユニット５及び照明装置６は、プ
ッシャー２に対しテストヘッド４の対向側に配置されて
おり、テストヘッド４の中央の穴部４ａを通して照明・
撮像される。すなわち、ＣＯＦ１に対してほぼ平行とな
るように配置されたカメラユニット５によって、照明装
置６により照射されたＣＯＦ１がテストヘッド４中央の
穴部４ａを通してＣＯＦ１表面の位置決めマーク１ｅや
テストパッド１ｃ、リード１ａが撮像される。撮像後
は、図示しない画像処理装置において、予め登録されて
いる位置決めマーク１ｅの画像データと、現在の画像デ
ータの位置決めマーク１ｅの位置関係を計算し、その差
分だけプッシャー２を動かし、プローブカード３とＣＯ
Ｆ１を位置決めする。
て、ＣＯＦ１はプローブカード３に遮られることなく照
明装置６により照明され、その画像がカメラユニット５
により撮像される。ここで、プッシャープレート２ａ
は、ＣＯＦ１の裏面に密着し、ＣＯＦ１を平坦に保持し
ている。また、カメラユニット５及び照明装置６は、プ
ッシャー２に対しテストヘッド４の対向側に配置されて
おり、テストヘッド４の中央の穴部４ａを通して照明・
撮像される。すなわち、ＣＯＦ１に対してほぼ平行とな
るように配置されたカメラユニット５によって、照明装
置６により照射されたＣＯＦ１がテストヘッド４中央の
穴部４ａを通してＣＯＦ１表面の位置決めマーク１ｅや
テストパッド１ｃ、リード１ａが撮像される。撮像後
は、図示しない画像処理装置において、予め登録されて
いる位置決めマーク１ｅの画像データと、現在の画像デ
ータの位置決めマーク１ｅの位置関係を計算し、その差
分だけプッシャー２を動かし、プローブカード３とＣＯ
Ｆ１を位置決めする。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、照明時におい
て、半透明のＣＯＦ１は光を透過するため、その表面と
裏面のプッシャープレート２ａで反射する光が交錯し、
図６に示したように、乱反射が発生する。この乱反射の
状態を撮像すると、ＣＯＦ１のパターンは、その裏面側
のプッシャープレート２ａの表面と混じりあった状態と
なり、目視でも確認できない状態となる。従って、画像
処理装置においても、特定のパターンの登録、検出がで
きなかった。
て、半透明のＣＯＦ１は光を透過するため、その表面と
裏面のプッシャープレート２ａで反射する光が交錯し、
図６に示したように、乱反射が発生する。この乱反射の
状態を撮像すると、ＣＯＦ１のパターンは、その裏面側
のプッシャープレート２ａの表面と混じりあった状態と
なり、目視でも確認できない状態となる。従って、画像
処理装置においても、特定のパターンの登録、検出がで
きなかった。
【０００７】本発明の課題は、オートハンドラにおい
て、ＣＯＦ撮像の際に、光の反射量を押さえ、更には、
乱反射を防止し、画像処理可能な安定したＣＯＦの画像
が取り込めるようにすることである。
て、ＣＯＦ撮像の際に、光の反射量を押さえ、更には、
乱反射を防止し、画像処理可能な安定したＣＯＦの画像
が取り込めるようにすることである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決すべく
請求項１記載の発明は、例えば、図１及び図２に示すよ
うに、ＣＯＦ１を供給リール１１から測定部２を経て収
容リール１２まで搬送し、測定部２にＣＯＦ１の撮像用
照明装置７を備えるＣＯＦ用オートハンドラにおいて、
前記測定部２の前記ＣＯＦ１の背面に当接する面を光吸
収色部２ｂとしたことを特徴とする。
請求項１記載の発明は、例えば、図１及び図２に示すよ
うに、ＣＯＦ１を供給リール１１から測定部２を経て収
容リール１２まで搬送し、測定部２にＣＯＦ１の撮像用
照明装置７を備えるＣＯＦ用オートハンドラにおいて、
前記測定部２の前記ＣＯＦ１の背面に当接する面を光吸
収色部２ｂとしたことを特徴とする。
【０００９】請求項１記載の発明によれば、オートハン
ドラの測定部において、撮像時の照明光がＣＯＦ背面に
当接する面の光吸収色となる黒色の表面部で吸収される
ので、測定部表面での反射光が微小なものとなる。従っ
て、光の反射量を押さえて、画像処理可能な安定したＣ
ＯＦ画像が取り込めるようになる。
ドラの測定部において、撮像時の照明光がＣＯＦ背面に
当接する面の光吸収色となる黒色の表面部で吸収される
ので、測定部表面での反射光が微小なものとなる。従っ
て、光の反射量を押さえて、画像処理可能な安定したＣ
ＯＦ画像が取り込めるようになる。
【００１０】請求項２記載の発明は、例えば、図１及び
図２に示すように、ＣＯＦ１を供給リール１１から測定
部２を経て収容リール１２まで搬送し、測定部２にＣＯ
Ｆ１の撮像用照明装置７を備えるＣＯＦ用オートハンド
ラにおいて、前記撮像用照明装置７は前記ＣＯＦ１の表
面に対する入射角が鋭角な照明部７ｂを有することを特
徴とする。
図２に示すように、ＣＯＦ１を供給リール１１から測定
部２を経て収容リール１２まで搬送し、測定部２にＣＯ
Ｆ１の撮像用照明装置７を備えるＣＯＦ用オートハンド
ラにおいて、前記撮像用照明装置７は前記ＣＯＦ１の表
面に対する入射角が鋭角な照明部７ｂを有することを特
徴とする。
【００１１】請求項２記載の発明によれば、オートハン
ドラの測定部において、鋭角な入射角をもった照明光が
ＣＯＦ表面と測定部表面とで鋭角な斜め方向に抜けるの
で、ＣＯＦ表面及び測定部表面での反射光は撮像装置に
は直接戻らない。従って、光の反射量を押さえて、画像
処理可能な安定したＣＯＦ画像が取り込めるようにな
る。
ドラの測定部において、鋭角な入射角をもった照明光が
ＣＯＦ表面と測定部表面とで鋭角な斜め方向に抜けるの
で、ＣＯＦ表面及び測定部表面での反射光は撮像装置に
は直接戻らない。従って、光の反射量を押さえて、画像
処理可能な安定したＣＯＦ画像が取り込めるようにな
る。
【００１２】請求項３記載の発明は、請求項２記載のＣ
ＯＦ用オートハンドラであって、前記撮像用照明装置７
は散乱光を照射することを特徴とする。
ＯＦ用オートハンドラであって、前記撮像用照明装置７
は散乱光を照射することを特徴とする。
【００１３】請求項３記載の発明によれば、請求項２記
載の撮像用照明装置による散乱光の照射によって、乱反
射を防止でき、より安定したＣＯＦ画像が取り込める。
載の撮像用照明装置による散乱光の照射によって、乱反
射を防止でき、より安定したＣＯＦ画像が取り込める。
【００１４】請求項４記載の発明は、ＣＯＦを撮像する
際に用いる照明装置であって、前記ＣＯＦ表面に対する
入射角が鋭角な照明部を有することを特徴とする。
際に用いる照明装置であって、前記ＣＯＦ表面に対する
入射角が鋭角な照明部を有することを特徴とする。
【００１５】請求項５記載の発明は、請求項４記載のＣ
ＯＦ撮像用照明装置であって、散乱光を照射することを
特徴とする。
ＯＦ撮像用照明装置であって、散乱光を照射することを
特徴とする。
【００１６】請求項６記載の発明は、ＣＯＦを撮像する
際の照明方法であって、前記ＣＯＦ表面に対し鋭角な入
射角を照射することを特徴とする。
際の照明方法であって、前記ＣＯＦ表面に対し鋭角な入
射角を照射することを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を詳細に説明する。まず、図１及び図２におい
て、１はＣＯＦ、２はプッシャー（測定部）、２ａはプ
ッシャープレート、３はプローブカード、４はテストヘ
ッド、４ａは穴部、５はカメラユニット（撮像装置）、
７は照明装置、１１は供給リール、１２は収容リール、
１３・１４はスプロケット、１５はパンチ（分類部）で
ある。本発明は、プッシャープレート２ａ及び照明装置
７に変更を施したものである。
の形態を詳細に説明する。まず、図１及び図２におい
て、１はＣＯＦ、２はプッシャー（測定部）、２ａはプ
ッシャープレート、３はプローブカード、４はテストヘ
ッド、４ａは穴部、５はカメラユニット（撮像装置）、
７は照明装置、１１は供給リール、１２は収容リール、
１３・１４はスプロケット、１５はパンチ（分類部）で
ある。本発明は、プッシャープレート２ａ及び照明装置
７に変更を施したものである。
【００１８】すなわち、プッシャー２には、ＣＯＦ１の
種類に応じて製作されたプッシャープレート２ａが装着
されている。このプッシャープレート２ａのＣＯＦ１の
裏面に平坦に密着する部分は、例えば、黒色メッキが施
された黒色表面部２ｂとなっている。すなわち、この黒
色表面部２ｂは、光の反射を防止する光吸収機能を有し
ている。
種類に応じて製作されたプッシャープレート２ａが装着
されている。このプッシャープレート２ａのＣＯＦ１の
裏面に平坦に密着する部分は、例えば、黒色メッキが施
された黒色表面部２ｂとなっている。すなわち、この黒
色表面部２ｂは、光の反射を防止する光吸収機能を有し
ている。
【００１９】そして、照明装置７は、プッシャー２に対
しテストヘッド４の手前側に配置されており、例えば、
ＬＥＤ照明のような散乱光を発する中央照明部７ａ及び
側方照明部７ｂからなる。これら中央照明部７ａ及び側
方照明部７ｂは、図示のように、プローブカード３とテ
ストヘッド４の間に配置され、プローブカード３に遮ら
れない位置でＣＯＦ１を照射する。特に、中央照明部７
ａの両側の側方照明部７ｂは、ＣＯＦ１の表面に対して
浅い角度（鋭角）で照射する配置となっている。
しテストヘッド４の手前側に配置されており、例えば、
ＬＥＤ照明のような散乱光を発する中央照明部７ａ及び
側方照明部７ｂからなる。これら中央照明部７ａ及び側
方照明部７ｂは、図示のように、プローブカード３とテ
ストヘッド４の間に配置され、プローブカード３に遮ら
れない位置でＣＯＦ１を照射する。特に、中央照明部７
ａの両側の側方照明部７ｂは、ＣＯＦ１の表面に対して
浅い角度（鋭角）で照射する配置となっている。
【００２０】以上のようにＣＯＦ用オートハンドラにお
いて、黒色表面部２ｂを有するプッシャープレート２ａ
と、ＣＯＦ１の表面に対して鋭角に照射する側方照明部
７ｂを有する照明装置７とを備えたことで、測定部（プ
ッシャー）２でのＣＯＦ撮像時に以下の作用効果が得ら
れる。測定部（プッシャー）２において、プッシャープ
レート２ａの黒色表面部２ｂにより背面を平坦に密着保
持されたＣＯＦ１が、照明装置７のＬＥＤ照明のような
散乱光により照射された状態で、カメラユニット５によ
り良好に撮像される。
いて、黒色表面部２ｂを有するプッシャープレート２ａ
と、ＣＯＦ１の表面に対して鋭角に照射する側方照明部
７ｂを有する照明装置７とを備えたことで、測定部（プ
ッシャー）２でのＣＯＦ撮像時に以下の作用効果が得ら
れる。測定部（プッシャー）２において、プッシャープ
レート２ａの黒色表面部２ｂにより背面を平坦に密着保
持されたＣＯＦ１が、照明装置７のＬＥＤ照明のような
散乱光により照射された状態で、カメラユニット５によ
り良好に撮像される。
【００２１】すなわち、照明装置７の中央照明部７ａ及
び側方照明部７ｂからそれぞれ照射された散乱光は、半
透明のＣＯＦ１を通過してプッシャープレート２ａに達
するが、その黒色表面部２ｂで吸収される。このため、
プッシャープレート２ａ表面での反射光は、図３に矢印
で示したように、ＣＯＦ１表面のレジスト１ｄ及び位置
決めマーク１ｅでの反射光と同様、微小な反射光とな
る。そして、側方照明部７ｂから照射された散乱光は、
図３に矢印で示したように、ＣＯＦ１表面とプッシャー
プレート２ａ表面とで鋭角な斜め方向に抜け、プッシャ
ープレート２ａ表面に対し直角方向のカメラユニット５
には直接戻らない。以上の結果、図３に小さな矢印で示
したように、ＣＯＦ１表面の位置決めマーク１ｅで代表
される光沢面で反射した散乱光のみがカメラユニット５
に戻るだけとなる。
び側方照明部７ｂからそれぞれ照射された散乱光は、半
透明のＣＯＦ１を通過してプッシャープレート２ａに達
するが、その黒色表面部２ｂで吸収される。このため、
プッシャープレート２ａ表面での反射光は、図３に矢印
で示したように、ＣＯＦ１表面のレジスト１ｄ及び位置
決めマーク１ｅでの反射光と同様、微小な反射光とな
る。そして、側方照明部７ｂから照射された散乱光は、
図３に矢印で示したように、ＣＯＦ１表面とプッシャー
プレート２ａ表面とで鋭角な斜め方向に抜け、プッシャ
ープレート２ａ表面に対し直角方向のカメラユニット５
には直接戻らない。以上の結果、図３に小さな矢印で示
したように、ＣＯＦ１表面の位置決めマーク１ｅで代表
される光沢面で反射した散乱光のみがカメラユニット５
に戻るだけとなる。
【００２２】従って、カメラユニット５によりＣＯＦ１
表面の位置決めマーク１ｅを含んで撮像し、その位置決
めマーク１ｅを含んだ画像を図示しない画像処理装置に
取り込んで、乱反射が生じない鮮明な画像が得られる。
その結果、画像処理装置において、予め登録されている
位置決めマーク１ｅの画像データと現在の画像データの
位置決めマーク１ｅの位置関係を計算後、その差分だけ
プッシャー２を動かしてプローブカード３とＣＯＦ１を
正確に位置決めできる。また、同様に、ＣＯＦ１のテス
トパッド１ｃとプローブカード３のプローブの初期の位
置合わせも正確にできる。
表面の位置決めマーク１ｅを含んで撮像し、その位置決
めマーク１ｅを含んだ画像を図示しない画像処理装置に
取り込んで、乱反射が生じない鮮明な画像が得られる。
その結果、画像処理装置において、予め登録されている
位置決めマーク１ｅの画像データと現在の画像データの
位置決めマーク１ｅの位置関係を計算後、その差分だけ
プッシャー２を動かしてプローブカード３とＣＯＦ１を
正確に位置決めできる。また、同様に、ＣＯＦ１のテス
トパッド１ｃとプローブカード３のプローブの初期の位
置合わせも正確にできる。
【００２３】なお、プッシャープレート２ａの黒色表面
部（光吸収色部）２ｂの形成、照明装置７の散乱光用の
光源、その側方照明部７ｂの配置角度等については、実
施形態に限らず任意であることは勿論である。
部（光吸収色部）２ｂの形成、照明装置７の散乱光用の
光源、その側方照明部７ｂの配置角度等については、実
施形態に限らず任意であることは勿論である。
【００２４】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、ＣＯＦ背
面に当接する面の光吸収色による黒色の表面部で照明光
を吸収して、測定部表面での反射光を微小にできるた
め、光の反射量を押さえて安定したＣＯＦ画像の取り込
みが可能になる。請求項２記載の発明によれば、ＣＯＦ
表面と測定部表面で照明光を鋭角な斜め方向に反射させ
て、反射光を撮像装置に直接戻らなくできるため、光の
反射量を押さえて安定したＣＯＦ画像の取り込みが可能
になる。請求項３記載の発明によれば、請求項２記載の
発明により得られる効果に加え、撮像用照明装置による
散乱光による照射により乱反射を防止して、より安定し
たＣＯＦ画像を撮像できる。従って、本発明によれば、
オートハンドラにおいて、乱反射が生じない鮮明なＣＯ
Ｆ画像を得て、プローブカードとＣＯＦを正確に位置決
めできる。
面に当接する面の光吸収色による黒色の表面部で照明光
を吸収して、測定部表面での反射光を微小にできるた
め、光の反射量を押さえて安定したＣＯＦ画像の取り込
みが可能になる。請求項２記載の発明によれば、ＣＯＦ
表面と測定部表面で照明光を鋭角な斜め方向に反射させ
て、反射光を撮像装置に直接戻らなくできるため、光の
反射量を押さえて安定したＣＯＦ画像の取り込みが可能
になる。請求項３記載の発明によれば、請求項２記載の
発明により得られる効果に加え、撮像用照明装置による
散乱光による照射により乱反射を防止して、より安定し
たＣＯＦ画像を撮像できる。従って、本発明によれば、
オートハンドラにおいて、乱反射が生じない鮮明なＣＯ
Ｆ画像を得て、プローブカードとＣＯＦを正確に位置決
めできる。
【図１】本発明を適用した一例としてのＣＯＦ用オート
ハンドラと撮像装置及び照明装置の概略構成を正面から
見た模式図である。
ハンドラと撮像装置及び照明装置の概略構成を正面から
見た模式図である。
【図２】図１の測定部及び照明装置部分の拡大図であ
る。
る。
【図３】図１及び図２の照明装置による照明光の反射状
態を示した図である。
態を示した図である。
【図４】ＣＯＦの一般な構成例を示した平面図である。
【図５】従来のＣＯＦ用オートハンドラと撮像装置及び
照明装置の概略構成を正面から見た模式図である。
照明装置の概略構成を正面から見た模式図である。
【図６】図５の照明装置による照明光の反射状態を示し
た図である。
た図である。
１ ＣＯＦ １ａ リード １ｂ ＩＣチップ １ｃ テストパッド １ｄ レジスト １ｅ 位置決めマーク ２ プッシャー（測定部） ２ａ プッシャープレート ２ｂ 黒色表面部（光吸収色部） ４ テストヘッド ４ａ 穴部 ５ 撮像装置 ７ 照明装置 ７ａ 中央照明部 ７ｂ 側方照明部 １１ 供給リール １２ 収容リール １５ パンチ（分類部）
Claims (6)
- 【請求項１】ＣＯＦを供給リールから測定部を経て収容
リールまで搬送し、測定部にＣＯＦの撮像用照明装置を
備えるＣＯＦ用オートハンドラにおいて、 前記測定部の前記ＣＯＦの背面に当接する面を光吸収色
部としたことを特徴とするＣＯＦ用オートハンドラ。 - 【請求項２】ＣＯＦを供給リールから測定部を経て収容
リールまで搬送し、測定部にＣＯＦの撮像用照明装置を
備えるＣＯＦ用オートハンドラにおいて、 前記撮像用照明装置は前記ＣＯＦの表面に対する入射角
が鋭角な照明部を有することを特徴とするＣＯＦ用オー
トハンドラ。 - 【請求項３】前記撮像用照明装置は散乱光を照射するこ
とを特徴とする請求項２記載のＣＯＦ用オートハンド
ラ。 - 【請求項４】ＣＯＦを撮像する際に用いる照明装置であ
って、 前記ＣＯＦ表面に対する入射角が鋭角な照明部を有する
ことを特徴とするＣＯＦ撮像用照明装置。 - 【請求項５】散乱光を照射することを特徴とする請求項
４記載のＣＯＦ撮像用照明装置。 - 【請求項６】ＣＯＦを撮像する際の照明方法であって、 前記ＣＯＦ表面に対し鋭角な入射角を照射することを特
徴とするＣＯＦ撮像用照明方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001020478A JP4380926B2 (ja) | 2001-01-29 | 2001-01-29 | Ｃｏｆ用オートハンドラ |
| TW090131729A TW571376B (en) | 2001-01-29 | 2001-12-20 | Auto handler for COF and lighting system and method for COF image pickup |
| KR1020020003530A KR100622791B1 (ko) | 2001-01-29 | 2002-01-22 | Ｃｏｆ용 오토핸들러와 ｃｏｆ 촬상용 조명장치 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001020478A JP4380926B2 (ja) | 2001-01-29 | 2001-01-29 | Ｃｏｆ用オートハンドラ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002228712A true JP2002228712A (ja) | 2002-08-14 |
| JP4380926B2 JP4380926B2 (ja) | 2009-12-09 |
Family
ID=18886178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001020478A Expired - Lifetime JP4380926B2 (ja) | 2001-01-29 | 2001-01-29 | Ｃｏｆ用オートハンドラ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4380926B2 (ja) |
| KR (1) | KR100622791B1 (ja) |
| TW (1) | TW571376B (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004074858A1 (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-02 | Nhk Spring Co., Ltd. | チップ実装用テープの検査方法及び検査に用いるプローブユニット |
| WO2008132934A1 (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Advantest Corporation | Ｔｃｐハンドリング装置 |
| WO2008132935A1 (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Advantest Corporation | Ｔｃｐハンドリング装置 |
-
2001
- 2001-01-29 JP JP2001020478A patent/JP4380926B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2001-12-20 TW TW090131729A patent/TW571376B/zh not_active IP Right Cessation
-
2002
- 2002-01-22 KR KR1020020003530A patent/KR100622791B1/ko active IP Right Grant
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004074858A1 (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-02 | Nhk Spring Co., Ltd. | チップ実装用テープの検査方法及び検査に用いるプローブユニット |
| KR100751584B1 (ko) * | 2003-02-21 | 2007-08-27 | 니혼 하츠쵸 가부시키가이샤 | 칩 실장용 테이프의 검사 방법 및 검사에 이용하는 프로브유닛 |
| WO2008132934A1 (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Advantest Corporation | Ｔｃｐハンドリング装置 |
| WO2008132935A1 (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Advantest Corporation | Ｔｃｐハンドリング装置 |
| JPWO2008132935A1 (ja) * | 2007-04-19 | 2010-07-22 | 株式会社アドバンテスト | Ｔｃｐハンドリング装置 |
| JPWO2008132934A1 (ja) * | 2007-04-19 | 2010-07-22 | 株式会社アドバンテスト | Ｔｃｐハンドリング装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20020063503A (ko) | 2002-08-03 |
| TW571376B (en) | 2004-01-11 |
| KR100622791B1 (ko) | 2006-09-13 |
| JP4380926B2 (ja) | 2009-12-09 |
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