KR100618355B1 - 전방 말단 연장부 및 내부 기판 버퍼를 갖춘 기판수송기를 구비한 기판 처리 장치 - Google Patents

전방 말단 연장부 및 내부 기판 버퍼를 갖춘 기판수송기를 구비한 기판 처리 장치 Download PDF

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Abstract

기판 수송 챔버(31)에 연결된 다수의 기판 처리 모듈들(14)을 구비한 기판 처리 장치(10). 기판 수송 챔버(31)는 하우징(13) 및 기판 수송기구(22)를 구비한다. 하우징(13)은 기판 처리 모듈들(14)을 위해 메인 수송 챔버 내부로 출입구를 갖춘 실질적으로 밀폐된 메인 수송 챔버(31)를 형성한다. 기판 수송기구(22)는 수송 챔버(31)내에 이동가능하도록 위치한 기판 홀더(29)를 구비한다. 하우징(13)은 로드로크들(16)에 연결된 전방 말단(28) 연장부(30)를 포함한다. 전방 말단(28) 연장부(30)는, 하우징(13)에 직접 연결되고 메인 수송 챔버(31)의 일부인 전방 말단(28) 연장부(30)에 위치한, 정렬기(32), 냉각기(36) 및 버퍼(34)를 구비한다.

Description

전방 말단 연장부 및 내부 기판 버퍼를 갖춘 기판 수송기를 구비한 기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS HAVING A SUBSTRATE TRANSPORT WITH A FRONT END EXTENSION AND AN INTERNAL SUBSTRATE BUFFER}
본 발명은 기판 처리, 특히, 기판 수송기에 의한 기판의 이동과 관련이 있다.
미국 특허 제 5,013,385 호 및 제 5,512,320 호에는 메인(main) 진공 수송 챔버를 구비한 기판 수송기에 부착된 기판 처리 모듈이 소개되어 있다. 기판 냉각 모듈을 메인 수송 챔버 외부에서 기판 수송기의 측면에 부착하는 것은 공지의 기술이다. 기판 정렬기를 메인 수송 챔버 외부에서 기판 수송기에 부착하는 것은 공지의 기술이다. 메인 수송 챔버 외부에서 공기중의 로드/언로드 섹션 내부에 기판 버퍼를 제공하는 것은 공지의 기술이다. 기판 처리 모듈의 청소 동작중에 모듈의 기판 척(chuck)을 덮기 위해 모듈 내부에서 기판들을 사용하는 것 역시 공지의 기술이다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 기판 처리 장치는 메인 섹션 및 기판 처리 모듈들을 포함하여 제공된다. 메인 섹션은 프레임 및 프레임에 연결된 기판 수송기구 를 구비한다. 프레임은 그 내부에 실질적으로 밀폐된 메인 환경 챔버를 형성한다. 기판 수송기구는 메인 챔버내에 위치한 이동가능한 암(arm) 결합체 및 이동가능한 암 결합체에 연결된 기판 홀더를 구비한다. 기판 수송기구는 기판을 기판 처리 모듈에 삽입하고 기판을 기판 처리 모듈로부터 제거하는데 응용된다. 메인 섹션은 다수의 기판들을 수용하는 데 응용된, 메인 챔버에 위치한 기판 버퍼 스테이션을 더 포함하며, 다수의 기판들이 메인 챔버 내부에서 버퍼 스테이션에 저장된다.
본 발명의 일방법에 따르면, 기판 처리 장치에서 기판을 이동하는 방법이 제공된다. 기판들은 모형 또는 청소용 기판을 포함한다. 기판 처리 장치는 기판 처리 모듈들에 연결된 실질적으로 밀폐된 메인 수송 챔버 및 기판을 수송 챔버와 기판 처리 모듈들 사이로 이동시키기 위한 로봇을 구비한다. 본 방법은, 청소용 기판을 기판 처리 모듈들 중 첫 번째 모듈에 삽입하고; 청소용 기판이 첫 번째 모듈 내부에 있는 동안, 첫 번째 기판 처리 모듈에서 청소 동작을 수행하고; 청소용 기판을 첫 번째 기판 처리 모듈에서 제거하며; 청소용 기판을 수송 챔버내에 위치한 버퍼 스테이션에 저장하는 단계들로 구성된다. 저장 단계는 적어도 하나의 다른 기판과 함께 청소용 기판을 버퍼 스테이션에 저장한다. 대안적 방법에서는, 모형 기판이 청소후에 버퍼 스테이션에 저장되기 보다는 메인 수송 챔버 외부로 이동될 수도 있다. 또한, 본 방법은 모형 기판이 첫 번째 기판 처리 모듈에 삽입되기 전에 모형 기판을 버퍼 스테이션에 저장하는 것을 포함할 수 있다.
본 발명의 또다른 실시예에 따르면, 기판 처리 장치를 위한 기판 수송기가 제공된다. 기판 수송기는 프레임, 수송 기구 및 기판 버퍼 스테이션으로 구성된다. 프레임은 메인 수송 챔버 및 메인 수송 챔버와 프레임상의 로드로크 장착구역사이에 위치한 두개의 접근 통로를 구비한다. 수송기구는 프레임에 연결되며, 메인 수송 챔버내에 이동할 수 있도록 위치한 기판 홀더를 구비한다. 기판 버퍼 스테이션은 메인 수송 챔버 내부의 프레임에 연결된다. 기판 버퍼 스테이션은 두개의 접근 통로사이에 직접 위치한다. 기판들은 접근 통로를 통한 기판들의 이동을 방해하지 않은채, 두개의 접근 통로 바로 사이에서 버퍼 스테이션내에 저장될 수 있다.
본 발명의 또다른 방법에 따르면, 기판 처리 장치내의 기판 처리 모듈을 청소하는 방법이 제공된다. 기판 처리 장치는 기판 처리 모듈들에 연결된 메인 수송 챔버 및 메인 수송 챔버와 기판 처리 모듈들 사이로 기판을 이동시키기 위한 로봇을 구비한다. 본 방법은, 기판이 기판 처리 모듈내부에 있는 동안 상기 모듈내에서 첫 번째 청소 동작을 수행하고; 청소된 기판 처리 모듈에서 상기 기판을 제거하고;청소된 기판 처리 모듈이 다른 기판들을 처리하는 동안 상기 기판을 메인 수송 챔버에 저장하며; 이어서, 두 번째 청소 동작을 위해 상기 기판을 기판 처리 모듈들 중 하나에 삽입하는 단계들로 구성된다. 첫 번째 청소 동작에서 사용된 기판은, 다수의 기판 처리 모듈 청소 동작들을 하는 사이에, 메인 수송 챔버 외부로 이동되지 않는다.
본 발명의 또다른 실시예에 따르면, 하우징, 기판 수송기구 및 선택적으로 적어도 하나의 기판 취급기를 하우징에 직접 연결하는 수단을 포함하는, 기판 처리 장치를 위한 기판 수송기가 제공된다. 하우징은 실질적으로 밀폐된 메인 수송 챔버를 특징으로 하며, 하우징의 측면에 메인 수송 챔버 내부로의 출입구를 갖춘다. 기 판 수송기구는 하우징에 연결되며 메인 수송 챔버내에 이동 가능하도록 위치한 기판 홀더를 구비한다. 홀더는 기판 수송 기구에 의해 하우징내의 출입구를 통해서 이동될 수 있다. 선택적으로 연결하는 수단은 기판 취급기를 하우징상의 상이한 두 대안적 위치중 한 곳에서 하우징에 연결할 수 있다. 기판 취급기는 상이한 두 대안적 위치중 한 곳에서 메인 수송 챔버 내부에 위치한다.
본 발명의 또다른 실시예에 따르면, 하우징 및 하우징에 연결된 기판 수송기구를 포함하는, 기판 처리 장치를 위한 기판 수송기가 제공된다. 하우징은 실질적으로 밀폐된 메인 수송 챔버를 특징으로 하며, 하우징의 측면에 메인 수송 챔버 내부로의 출입구를 갖춘다. 기판 수송 기구는 메인 기판 수송 챔버내에 이동이 가능하도록 위치한 기판 홀더를 구비한다. 홀더는 기판 수송 기구에 의해 하우징내의 출입구를 통해서 이동될 수 있다. 프레임은 약 80도의 일반적인 외향 확장 웨지(wedge) 모양으로 연장된 전방 말단 연장부를 구비한다. 하우징상의 로드로크 장착 구역으로부터 메인 수송 챔버의 중앙 구역내로, 적어도 하나의 기판 접근 통로가 전방 말단 연장부를 통해 연장된다.
전술한 사항 및 본 발명의 다른 특징들이 수반된 도면들과 연결되어 후술된다.
도 1은 본 발명의 특징을 구현한 기판 처리 장치의 평면도.
도 2는 도 1에 도시된 장치의 메인 섹션의 투시도.
도 3은 두개의 로드로크에 부착된 도 2에 도시된 메인 섹션의 전방 말단부의 개략도.
도 4는 도 2에 도시된 메인 섹션 내부의 버퍼 스테이션의 부분 절개 투시도.
도 5a는 올려진 상태의 냉각기의 개략적인 단면도.
도 5b는 내려진 상태의 냉각기의 개략적인 단면도.
도 6은 청소용 기판을 이동시키는 방법의 블록도.
도 7은 수송기구에 의한 다양한 위치로의 가능한 이동을 도시한 흐름도.
도 8은 메인 수송 챔버 내부의 기판 취급기의 대안적 실시예의 개략도.
도 1에 따르면, 본 발명의 특징들을 구현한 기판 처리 장치(10)의 개략적인 평면도가 도시되어 있다. 본 발명이 도면에 도시된 단일한 실시예를 따라 서술되겠지만, 본 발명은 다른 많은 대안적 형태의 실시예들로 구현될 수 있음이 인지되어야 한다. 또한, 임의의 적당한 크기, 모양 또는 형태의 소자들이나 재료들도 사용될 수 있다.
장치(10)는 메인 섹션(12), 기판 처리 모듈(14), 기판 로드로크 모듈(16) 및 대기부(atmospheric section)(17)를 포함한다. 대기부(17)는 기판 카세트를 수용하는 수단 및 로드로크(16) 내외부로 기판을 이동시키기 위한 로봇(미도시)을 포함한다. 대안적 실시예에서는, 수동 및/또는 자동 컴퓨터로 제어되는 임의의 적당한 기판 적재 시스템이 기판을 로드로크(16)에 적재하는데 사용될 수 있다.
도 2에 따르면, 메인 섹션(12)의 투시도가 도시되어 있다. 덮개(24)는 서술 목적상 올려진 위치로 도시되어 있다. 정상적인 동작중에는, 덮개(24)는 닫히고 프레임(18) 상부에 밀봉된다. 메인 섹션(12)은 하우징(13) 및 기판 수송기구(22)를 구비한 기판 수송기이다. 하우징(13)은 도어 섹션(20)을 구비한 다수의 측면 구멍을 갖춘 프레임(18)을 구비한다. 모듈들(14,16)은 도어 섹션(20)에 연결된다. 도어 섹션(20)은 출입구를 열고 닫기 위한 이동가능한 도어 기구들(23)을 갖춘 출입구(21)를 구비한다. 기판 처리 모듈(14) 및 로드로크 모듈(16)은 주지의 기술이다. 기판(S)은 반도체 웨이퍼, 평판 디스플레이 기판 또는 임의의 다른 형태의 기판이 될 수도 있다. 기판 수송기구(22)는 기판(S)을 모듈들(14,16) 간에 이동시키기 위해 제공된다. 기판 수송기구(22)는 구동 섹션(25), 이동가능한 암 섹션(27) 및 두 개의 기판 홀더(29)를 구비한다. 홀더(29)는 기판(S)을 모듈들(14,16) 내외부로 이동시키기 위한 출입구(21)를 통해 모듈들(14,16) 내외부로 이동될 수 있다. 유사한 기판 수송기구가 PCT 특허 국제공개 WO 94/23911 호에 서술되어 있으며, 그 전체내용이 참고문헌으로써 본 명세서에 인용된다. 하지만, 임의의 적당한 형태의 기판 수송기구도 사용될 수 있다. 하우징(13)은 이동가능한 상부 덮개(24) 및 덮개 이동 크랭크(26)를 포함한다. 하우징(13)의 전방 말단부(28)는 연장 섹션(30)을 구비한다. "전방 말단부"라는 용어는 단지 서술 목적상 사용되었다. 연장 섹션은 하우징상의 임의의 측면에 위치될 수 있으며, 로드로크쪽 및 로드로크로부터의 통로로부터 이격될 수도 있으며/혹은, 다수의 연장 섹션으로 구성될 수도 있다. 연장 섹션(30)은 기판 수용 버퍼(34) 및 두 개의 기판 취급기를 보유하고 있다. 도시된 실시예에서는, 기판 취급기중 하나는 기판 정렬기(32)이고 다른 하나는 기판 냉각기(36)이다. 대안적 실시예에서는, 기판 취급기는 기판 기체제거/예열기, 기판 가열/냉각기 조합, 복수의 기판 가열기,냉각기 또는 가열/냉각기, 또는 임의의 적당한 형태의 기판 취급기를 포함한다. 전방 연장 섹션(30)은 도 1의 각(C)으로 도시된 약 80도의 경로로 프레임(18)의 전방을 향해 연장된 일반적인 외향 확장 웨지 모양을 취한다. 하지만, 임의의 적당한 각(C)이라도 제공될 수 있으며 전방 말단부 연장 섹션을 위한 다른 모양도 제공될 수 있다. 80도 웨지 모양은, 근처의 기판 처리 모듈들(14)이 도시된 바와 같은 각을 이루어 배치될 수 있도록 하기 위해, 선택되었다. 이것은 모든 기판 처리 모듈들이 메인 섹션(12)에 대해 능률적인 위치 및 공간에 오도록 방향을 정하는데 도움을 준다. 전방 연장 섹션(30)은 프레임(18)의 나머지부와 일체로서 형성되어 프레임의 나머지부에서 제거될 수 없는 것이 바람직하다. 하지만, 대안적 실시예에서는 전방 연장 섹션이 프레임(18)의 나머지부에 착탈식으로 연결된 개별적 부분이 될 수도 있다. 소망되는 바는 두 챔버 사이에 이동가능한 도어가 필요없이 전방 연장 섹션(30)이 메인 챔버(31)와 일체로 된 챔버를 구비하는 것이다. 대안적 실시예에서는, 만약 기판 취급기(32,36) 및/또는 버퍼(34)가 메인 챔버(31)내부에 있다면, 전방 연장 섹션(30)은 제공될 필요가 없다. 전방 연장 섹션(30)의 일반적인 길이(D)는 수송기구(22)의 이동가능한 암 섹션(27)이 연장 섹션(30)을 통해 로드로크(16) 내부로 통행할 수 있을 정도로 충분히 짧다. 하지만, 일반적인 길이(D)는 정렬기(32), 버퍼(34) 및 냉각기(36)를 장착하기에는 충분히 길다. 하우징(13)은 내부에 메인 수송 챔버(31)를 형성한다. 메인 수송 챔버(31)는 내부에 이동가능한 암 섹션(27)을 구비하며, 출입구(21)는 챔버(31)의 외부 둘레에 위치에 있다. 챔버(31)는 실질적으로 밀폐된 환경으로 유지된다. 출입구(21)에 있는 도어들은 모듈들(14,16)에 대해 기판들을 삽입하고 제거하기 위해서 일시적으로 개방될 수 있다. 메인 챔버(31)는 진공으로 유지되는 것이 바람직하다. 하지만, 메인 챔버(31)는 대안적으로 불활성 기체로 채워질 수도 있다.
도 3에 따르면, 전방 연장 섹션(30)은 메인 챔버(31)의 일부인 전방 말단 챔버(31a)를 구비한다. 프레임(18)은 프레임의 전방 말단에 두개의 로드로크 장착 구역(90,91)을 구비한다. 전방 말단 챔버(31a)는 로드로크(16)로부터 메인 챔버(31)의 중앙 구역까지 두개의 기판 접근 통로(E,F)를 형성한다. 버퍼(34)는 전방 말단 챔버(31a)내에서 두개의 접근 통로(E,F) 사이에 직접 위치한다. 대안적 실시예에서는, 만약 하나의 접근 통로만이 챔버(31a)를 통해 제공되거나 두 개의 접근 통로가 각자 바로 옆에 위치해 있고 버퍼가 접근 통로중 오직 하나의 통로 옆에만 위치하는 것처럼, 버퍼(34)가 두개의 접근 통로(E,F)사이에 직접 위치하지 않고서도 전방 말단 챔버(31a)내에 위치할 수 있다.
버퍼(34)는 정렬기(32)와 냉각기(36) 사이에 직접 위치한다. 버퍼는 수송기구(22)가 기판(들)을 모듈들(14,16)중 하나의 내부로 이동시키기를 기다리는 동안 하나 이상의 기판들을 수용할 수 있다. 하지만, 버퍼(34)가 제공될 필요는 없다.
도 4에 따르면, 버퍼(34)의 투시도가 도시되어 있다. 본 실시예에서는, 버퍼(34)는 간격을 둔 적층 배열을 취하는 여섯개의 기판을 수용하는데 응용된다. 하지만, 대안적 실시예들에서는, 버퍼가 여섯개의 기판보다 적거나 많은 기판을 수용하는데 응용될 수 있다. 도시된 실시예에서는, 버퍼(34)는 일정한 간격을 가진 두 개의 스탠드(92,93)를 갖춘 정적 버퍼 스테이션이다. 외팔보 지지 암(94)은 각자를 향해 스탠드(92,93)로부터 안쪽으로 연장되어 있다. 지지 암(94)은 기판을 지지하기 위해 그 상부측에 받침대를 구비한다. 대안적 실시예에서는,버퍼에 기판들을 저장하기 위해 다른 배열이 제공될 수 있다. 버퍼는, 예를 들면, 승강기를 갖추고 이동이 가능할 수도 있다. 하지만, 바람직한 실시예에서는, 버퍼는 필요에 따라 접근이 용이하도록 정적이다. 기판 수송기구(22)는 이동가능한 암 섹션(27) 및 홀더(29)를 수직으로 이동시키는데 응용된다. 그럼으로써, 기판 수송기구(22)는 여섯개의 다른 층을 가진 도 4에 도시된 버퍼(34)내의 기판 수용 구역안으로 기판을 삽입하거나 그 구역으로부터 기판을 제거할 수 있다. 홀더(29)는 기판을 집거나 떨어뜨리기 위해 두개의 스탠드(93,94) 사이로 단지 연장된다. 버퍼(34)는 두개의 접근 통로(E,F) 외부에 위치해 있으며, 중요한 것은, 정렬기(32) 및 냉각기(36)의 적절한 동작을 방해하지 않는다는 것이다. 정렬기(32)는 공지기술로서 기판들을 정렬하기 위해 사용된다. 본 실시예에서, 정렬기(32)는 프레임(18)의 상부 표면(38)의 구멍을 통해 프레임(18)안으로 삽입된 모듈화된 드롭-인(drop-in) 유닛이다. 네 개의 나사(40)는 정렬기(32)의 장착 플랜지(41)를 프레임(18)에 고정시키는데 사용된다. 정렬기(32)는 챔버(31a)에 위치한 이동가능한 부분 내지 기판 지지대(32')를 구비한다. 기판들은 지지대(32')상에 배치되며 기판의 방향을 정하거나 기판을 정렬하기 위해 지지대(32')와 함께 회전한다. 정렬기의 이동가능한 지지대가 챔버(31)에 위치해 있기 때문에, 정렬기는 메인 수송 챔버(31) 외부로 기판을 이동하지 않고서도 기판을 정렬할 수 있다. 크랭크(26)는 플레이트(42)를 따라 프레임(18)에 장착된다. 플레이트(42)는 버퍼 상방에 위치된다. 플레이트(42)는 사용자가 버퍼로의 접근을 확보할 수 있도록 프레임(18)으로부터 제거될 수 있다. 대안적 실시예에서는, 버퍼 및/또는 하나 또는 그 이상의 기판 취급기가 메인 챔버(31)에 위치될 수 있으며, 반드시 연장부 챔버(31a)에 위치될 필요는 없다. 하지만, 전방 연장부(30)의 사용은, 그것이 버퍼 및 두 개의 기판 취급기를 갖춘 메인 섹션(12)에 대해 이전에는 여의치 않았던 작은 족적을 제공하기 때문에, 바람직하다. 이러한 작은 족적은 장치(10)가 제작 공장의 바닥상에서 더 적은 공간을 차지할 수 있도록 하고, 그럼으로써 제작자의 비용을 절약할 수도 있고 더 큰 종래 기술상의 장치보다는 주어진 바닥 공간에 더 많은 장치(10)를 위치시킬 수 있도록 해준다. 연장부 챔버(31a) 및/또는 챔버(31)의 임의의 다른 부분은 두 개 이상의 기판 취급기를 구비할 수 있다.
도 5a에 따르면, 냉각기(36)는 상부 유닛(44) 및 하부 유닛(46)으로 구성된다. 하부 유닛(46)은 받침대(50) 및 냉각제 통로(52)를 갖춘 열 전달 플레이트(48)로 구성된다. 플레이트(48)는 대강 도시된 밸브(54)에 의해 진공 원천에 연결되어 있다. 플레이트(48)는 뒤채움(backfill) 밸브(56) 및 충진 밸브(58)에 의해 불활성 기체(60) 원천에 역시 연결되어 있다. 뒤채움 밸브(56) 및 충진 밸브(58)는 그 사이에 기체 계량 구역을 형성하는 도관(57)을 구비한다. 도관들(62,64)은 열 전달 플레이트(48)의 상부 표면까지 연장되어 있다.
상부 유닛 또는 포핏(poppet)기구(44)는 상부 표면(38)의 구멍(66)을 통해 프레임(18) 내부로 삽입된 모듈화된 드롭-인 유닛이다. 이때, 네 개의 나사들은 장착 플랜지(68)를 프레임(18)에 고정시키는데 사용된다. 장착 플랜지(68)는 정렬기의 장착 플랜지(41)와 크기 및 모양이 같다. 프레임(18), 정렬기(32) 및 냉각기(36)는 프레임(18)이 두 개의 위치 A 및 B(도 1에 도시)에서 정렬기(32) 또는 냉각기를 받아들일 수 있도록 구성되었다. 그럼으로써, 메인 섹션(12)이 두 개의 정렬기 또는 두 개의 냉각기를 구비하거나, 정렬기 및 냉각기가 서로 반대 측면에 위치될 수 있다. 이러한 모듈화된 구성은 제작자가 특정한 필요에 따라 상대적으로 용이하게 장치를 배열할 수 있도록 해준다. 냉각기 및/또는 정렬기가 메인 섹션(12)에서 필요없다면, 밀봉 플레이트들(미도시)은 냉각기 및/또는 정렬기 대신에 프레임(18)에만 연결되면 족하다. 다른 중요한 장점은, 드롭-인 결합 때문에, 정렬기(32)의 상부 및 냉각기(36)의 상부 유닛(44)은 단지 네 개의 장착 나사를 제거함으로써 메인 섹션(12)의 상부면으로부터 용이하게 제거될 수 있다는 것이다. 이것은, 웨이퍼가 깨져서 깨진 웨이퍼를 청소하기 위한, 정렬기 및 냉각기 내부로의 신속하고 용이한 접근을 보장한다. 상부 유닛(44)은 덮개(70), 프레임(72) 및 이동 지지대(74)를 포함한다. 프레임(72)은 정적으로 프레임(18)에 연결되어 있다. 이동 지지대(74)는 구동 섹션(76) 및 하부 지지대(78)를 포함한다.
도 5b에 따르면, 구동 섹션(76)은 이동 지지대(74)를 상하로 이동하기 위해, 수압기나 기압기에 의해, 프레임(72)에 대해 상대적으로 상하로 이동될 수 있다. 도 5a는 기판을 적재하거나 내려놓기 위한 올려진 상태의 지지대(74)를 도시하고 있다. 도 5b는 기판을 냉각하기 위한 내려진 상태의 지지대(74)를 도시하고 있다. 하부 지지대(78)는 기판 지지 암(80), 밀봉부(82) 및 통로구멍(84)을 구비한다. 도 5a에 도시된 올려진 위치에서는, 기판(S)이 수송기구(22)에 의해 암들(80) 상에 적재되거나 암들(80) 상으로부터 제거될 수 있다. 도 5b의 내려진 위치에서는, 수송기구(22)가 로드로크 모듈(16) 내부로 연장되기 위해 통로구멍(84)을 통해 통행할 수 있다. 하부 지지대(78)가 내려지면, 밀봉부(82)는 하부 유닛(46)의 상부 표면과 결합하여 소형 밀폐 챔버(86)를 형성한다. 기판(S)은 챔버(86)내의 지지대(50)상에 배치된다. 이 때, 불활성 기체는 기판(S)의 기체 지원 냉각을 위해 챔버(86) 내부로 인입된다. 대안적 실시예에서는, 다른 형태의 냉각기들이 제공될 수도 있고, 또는, 예를들어 독립적인 냉각기 모듈이 프레임(18)에 부착되거나 냉각기가 필요가 없다면, 전방 연장 섹션(30)내에 냉각기가 제공될 필요가 없다.
공지된 기술에서 처럼, 기판 처리 챔버들은 주기적으로 청소 동작을 수행할 필요가 있다. 예를 들어, CVD(화학적 증기 성막법,Chemical Vapor Disposition) 기판 처리 모듈 및 스퍼터링을 사용하는 것들과 같은 PVD(물리적 증기 성막법, Physical Vapor Disposition) 기판 처리 모듈은 주기적으로 청소될 필요가 있다. 이것은 모형, 시험 또는 제물용 기판으로도 역시 알려진 청소용 기판을 모듈내의 기판 척상에 배치하여 청소 동작을 수행하는 것으로 구성된다. CVD 모듈에 대한 청소 동작은, 자가 청소 오븐과 유사하게, CVD 챔버를 구워서 깨끗하게 할 수 있는 매우 높은 온도를 사용하는 것으로 구성된다. 청소용 기판은, 모듈내의 기판 척을 보호하기 위해, 상기 청소 동작중에 기판 처리 모듈내에 배치된다.
본 발명은 청소 동작들 사이에 청소용 기판들을 저장하기 위해 버퍼(34)를 사용한다. 바람직한 실시예에서는, 버퍼(34)는 메인 섹션(12)에 직접 연결된 처리 모듈(14)들 각각에 대해 청소용 기판을 수용한다. 바람직하게는, 각 청소용 기판은 모듈들(14)중 하나와 함께 사용될 뿐이다. 그럼으로써, 각각의 모듈(14)이 몇 차례의 청소 동작을 거쳤는지에 근거하여 각각의 청소용 기판이 교체되어야만 할 경우에 계산이 상대적으로 용이하다. 하지만, 대안적 실시예에서는, 청소용 기판의 갯수는 모듈(14)의 총 갯수보다 적을수도 있으며 청소용 기판들은 하나의 모듈(14)이상에서 사용될 수도 있다.
도 6에 따르면, 청소용 기판을 이동시키는 방법이 서술될 것이다. 청소용 기판들은, 첫째, 메인 섹션(12) 내부에 적재된다. 이러한 초기 적재는 수동으로 할 수도 있고 컴퓨터 제어를 갖춘 로봇에 의해 이동될 수도 있다. 상기 기판은, 예를 들면 장치(10)의 시동 시점에서, 기판 처리 모듈들(14)중 하나에 직접 삽입될 수 있으며, 또는 필요할 때까지 버퍼(34)에 저장될 수도 있다. 블록(100)에 의해 지적된 바대로 청소가 되기 위해 상기 기판이 기판 처리 모듈중 하나에 삽입된 후에, 블록(102)에 의해 지적된 바대로 청소 동작이 수행된다. 청소 동작이 완결되면, 기판은 블록(104)에서 지적된 바대로 모듈에서 제거되며, 블록(106)에서 지적된 바대로 버퍼(34)에 저장된다. 이 때, 새롭게 청소된 기판 처리 모듈은 블록(108)에서 지적된 바대로 기판들을 처리하는데 사용된다. 기판 처리 모듈이 다시 청소될 필요가 있다면, 블록(110)에서 지적된 바대로 100-108 단계들이 반복된다. 이러한 동일한 처리과정은 주기적인 청소를 요하는 각각의 기판 처리 모듈들에 대해서 반복될 것이다. 물론, 몇몇의 처리 모듈들은 다른 모형/청소 기판들과 함께 동시에 청소될 수도 있다. 한 개의 모형/청소 기판이 다수의 기판 처리 모듈을 청소하는데 역시 사용될 수 있다. 버퍼(34)는, 청소용 기판들을 저장하는 것과 함께, 모듈들(14), 정렬기(32) 및/또는 냉각기(36)중에 처리 기판들이 위치하는 사이에 정규 처리 기판들을 저장하는데 역시 사용될 수 있다. "정규 처리 기판"이라는 용어는 적어도 어느 한 부분이 결과적으로 최종 제품에 사용될 기판을 의미하기 위해 쓰였졌다. "청소용 기판"이라는 용어는 정규 처리 기판과는 다른 기판임을 의미하기 위해 쓰였다. 청소용 기판은 처리 모듈들의 청소에 사용되는 데만 국한될 필요는 없으며, 추가적 및/또는 대안적 기능들을 위해 사용될 수도 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 버퍼(34)는 청소용 기판(Sco) 및 정규 처리 기판(Sp) 양쪽을 모두 수용할 수 있다. 처리 기판(Sp)은, 보통은 그 수용 구역 내에 있던 청소용 기판이 청소 동작에 사용되고 있는 동안에, 비어 있는 수용 구역에 저장될 수 있다. 대안적 방법으로, 버퍼(34)는 전체 청소용 기판을 위한 수용 구역에 추가하여 정규 처리 기판을 위한 수용 구역을 미리 지정할 수도 있다. 그럼으로써, 버퍼는 청소용 기판들 및 정규 처리 기판들을 동시에 모두 수용할 수 있다.
도 7에 따르면, 다양한 스테이션들 사이에 기판의 가능한 이동경로들을 도시한 개략도가 도시되어 있다. 상기 지적한 바와 같이, 버퍼(34)는 제공될 필요가 없다. 그러므로, 버퍼는 점선으로 도시되어 있다. 장치(10)는, 또한, 운영상 다른 장비(10')에 연속하여 연결될 수 있다. G는 메인 섹션(12)을 이탈하지 않은 채 장치(10)안에서 기판이 할 수 있는 모든 이동을 지적하고 있다. 단순히 적절하게 장치 컴퓨터 제어기를 프로그램함으로써, G에서 실선으로 연결된 임의의 적당한 기판의 경로가 제공될 수 있다. 예를 들면, 처리 기판은 첫 번째 기판 처리 모듈에서 처리되고, 정렬기로 이동되며, 추가 처리를 위해 두 번째 처리 모듈로 이동될 수 있다. 다른 예에서는, 처리 기판이 첫 번째 기판 처리 모듈에서 처리되고, 냉각을 위해 냉각기로 이동되며, 그리고 나서 다른 기판 처리 모듈로 이동되거나 정렬기를 거쳐 다른 모듈로 이동되거나, 또는 단지 로드로크로 귀환될 수도 있다. 가능한 기판 이동의 변수들은 수없이 많다. 하지만, 본 발명에 따르면, 챔버(31)를 이탈하지 않은채, 기판들은 정렬기(32), 버퍼(34) 및 냉각기(36)로 이동될 수 있다. 챔버(31) 내부에는 스테이션들이 추가 또는 감축되어 제공될 수도 있다. 그럼으로써, 추가되거나 감축된 상태의 가능한 경로 및 이동 순서가 챔버(31)에 제공될 수 있다.
도 8에 따르면, 기판 취급기의 대안적 실시예가 연장부가 아닌 메인 수송 챔버(31) 내부에 위치된 채로 도시되어 있다. 취급기(120)는 기판에 대한 이중 열 전달 유닛이다. 취급기(120)는 이동가능한 기판 지지대(122), 하부 열전달 부재(124), 상부 열전달 부재(126) 및 구동장치(128)를 구비한다. 구동장치(128)는 지지대(122)를 상하로 이동시키는데 응용된다. 지지대(122)의 하부는 기판(S1)을 지지하기 위해 지지암(130)을 구비한다. 지지대(122)의 상부는 두 번째 기판(S2)을 지지하기 위해 받침대(132)를 구비한다. 지지대(122)는 올려진 상태로 도시되어 있다. 이러한 상태에서는, 기판 홀더(29)가 기판(S1)을 직접 지지암(130)상에 배치하거나, 기판(S1)을 지지암(130)에서 제거할 수 있다. 두 번째 기판(S2)은 지지대(122) 및 상부 열전달 부재(126)에 의해 형성된 밀폐 챔버(134)에 위치한다. 지지대(122)가 구동장치(128)에 의해 내려진 상태로 이동하면, 기판(S1)은 지지대(122) 및 하부 열전달 부재(124)에 의해 형성된 챔버(136)내에 밀봉된다. 내려진 상태에서는, 두 번째 기판(S2)은 기판 홀더(29)에 의해 받침대(132)상에 삽입되거나 제거될 수 있다. 두 개의 열전달 부재는 냉각 플레이트가 되거나 가열 플레이트가 되거나, 또는 하나는 가열 플레이트 하나는 냉각 플레이트의 조합이 될 수도 있다. 대안적 실시예에서는, 둘 이상의 기판에 동시에 열전달을 공급하기 위한 크기 및 모양을 취할 수도 있다. 열전달 유닛들은 또한 가열기/냉각기 유닛의 조합이 될 수도 있다. 하지만, 본 실시예의 독특한 특징들 중 하나는, 기판 홀더(29)가 메인 수송 챔버를 이탈하지 않은 채 유닛내로 삽입될 수 있도록 해주는 단일 유닛내에서, 복수의 기판들이 냉각 및/또는 가열될 수 있다는 것이다. 유닛(120)은 하우징(13)에 직접 연결되어 있으며, 이동가능한 지지대(122)는, 적어도 부분적으로, 메인 수송 챔버 내부에 위치된다. 하나의 기판은, 다른 기판이 유닛(120)에 남아 있는 동안, 유닛(120)에 삽입되거나 유닛으로부터 제거될 수 있다.
전술한 사항은 단지 본 발명의 예증일뿐임이 이해되어야 한다. 본 발명에 대한 다양한 대안 및 변형이 본 발명의 범위를 벗어나지 않은채 당업자에 의해 고안될 수 있다. 따라서, 본 발명은 후술할 청구항의 사상영역에 합치하는 그러한 모든 대안, 변형 및 변화를 포용하도록 해석되어야 한다.

Claims (52)

  1. 기판 처리 장치에 있어서,
    프레임 및 상기 프레임에 연결된 기판 수송기구를 구비하며, 상기 프레임은 실질적으로 밀폐된 메인 환경 챔버를 그 내부에 형성하고, 상기 기판 수송기구는 상기 메인 챔버 내에 위치한 이동가능한 암 결합체 및 상기 이동가능한 암 결합체에 연결된 기판 홀더를 구비하는 메인 섹션; 및,
    상기 프레임에 연결된 기판 처리 모듈들을 포함하며, 상기 수송기구는 기판들을 상기 기판 처리 모듈들내에 삽입 및 상기 기판들을 상기 기판 처리 모듈들로부터 제거하는데 응용되며,
    상기 메인 섹션은, 다수의 기판들을 수용하는데 응용되고 상기 메인 챔버내에 위치한 기판 버퍼 스테이션을 더 포함하며, 다수의 기판들은 상기 메인 챔버 내부에서 상기 버퍼 스테이션에 저장되며, 상기 버퍼 스테이션은 상기 프레임에 정적으로 연결된 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼 스테이션은 상기 복수의 기판들을 적층 배열로 수용하는데 응용되는 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 메인 섹션은 상기 메인 챔버와 상기 메인 섹션에 연결된 두개의 로드로크 사이에 두개의 접근 통로를 구비하며, 상기 버퍼 스테이션은 상기 두개의 접근 통로 사이에 직접 위치하는 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 수송기구는 상기 버퍼 스테이션의 서로 다른 층에 기판들을 삽입하고 제거하기 위해 상기 기판 홀더를 수직으로 이동시키는 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 프레임은 상기 버퍼 스테이션 바로 위에 위치한 덮개 이동기구를 갖춘 이동가능한 덮개를 구비한 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 메인 섹션은 로드로크에 부착된 연장 섹션을 갖춘 전방 말단부를 구비하며, 상기 버퍼 스테이션은 상기 연장 섹션에 위치한 기판 취급 유닛옆에서 상기 연장 섹션에 위치한 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 기판 취급 유닛은 기판 정렬기인 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 기판 취급 유닛은 기판 냉각기인 장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 연장 섹션은 두 개의 기판 취급 유닛을 포함하는 장치.
  10. 기판 처리 장치에서 기판들을 이동시키는 방법에 있어서,
    상기 기판들은 청소용 기판을 포함하고, 상기 기판 처리 장치는 적어도 하나의 기판 처리 모듈에 연결된 실질적으로 밀폐된 수송 챔버 및 상기 수송 챔버와 상기 적어도 하나의 상기 기판 처리 모듈사이로 기판들을 이동시키기 위한 로봇을 구비하며, 상기 방법은:
    상기 청소용 기판을 상기 적어도 하나의 기판 처리 모듈중 하나의 첫 번째 모듈내에 삽입하고;
    상기 청소용 기판이 상기 첫 번째 모듈 내부에 있는 동안, 상기 첫 번째 기판 처리 모듈에서 청소 동작을 수행하고;
    상기 청소용 기판을 상기 첫 번째 기판 처리 모듈로부터 제거하며;
    상기 청소용 기판을 상기 수송 챔버에 위치한 버퍼 스테이션에 저장하며, 상기 저장 단계는 상기 청소용 기판을 적어도 하나의 다른 기판과 함께 상기 버퍼 스테이션에 저장하는 단계들을 포함하는 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 청소용 기판을 상기 버퍼 스테이션에 저장하는 상기 단계는, 상기 메인 수송 챔버에 직접 연결된 전체 기판 처리 모듈 개수 이상의 다수의 전체 기판들을 상기 버퍼 스테이션에 저장하는 것을 포함하는 방법.
  12. 제 10 항에 있어서,
    청소 동작중인 상기 기판 처리 모듈들에 위치하지 않는 기판을, 상기 기판이 상기 기판 처리 모듈들 중 하나의 모듈에서 처리가 된 후에, 상기 버퍼 스테이션에 일시적으로 저장하는 것을 더 포함하는 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 저장 단계는, 상기 청소용 기판 및 각각의 청소 동작중인 상기 기판 처리 모듈들 중 어디에도 위치하지 않는 다른 기판을 모두 동시에 상기 버퍼 스테이션에 저장하는 방법.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 청소용 기판을 오직 상기 첫 번째 기판 처리 모듈에만 삽입하고 상기 각각의 기판 처리 모듈들의 청소중에 다른 기판 처리 모듈들에는 삽입하지 않는 것을 더 포함하는 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    각 기판 처리 모듈은 상기 버퍼에 저장된 자신의 각각의 청소용 기판을 구비하며, 각 청소용 기판은 다른 기판 처리 모듈이 아닌 각자의 기판 처리 모듈 내부에만 삽입되도록 하는 방법.
  16. 제 10 항에 있어서,
    상기 기판 처리 모듈들에서 처리될 예정인 기판들을, 상기 버퍼 스테이션 바로 옆의 출입 통로를 따라서, 상기 수송 챔버 내부로 삽입하는 것을 더 포함하는 방법.
  17. 제 10 항에 있어서,
    상기 버퍼 스테이션 옆의 정렬기에서 기판들을 정렬하는 것을 더 포함하는 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 버퍼 스테이션 옆에 위치한 냉각기에서 기판을 냉각하는 것을 더 포함하는 방법.
  19. 제 10 항에 있어서,
    기판을 상기 버퍼 스테이션 옆에 위치한 냉각기에서 냉각하는 것을 더 포함 하는 방법.
  20. 기판 처리 장치를 위한 기판 수송기에 있어서, 상기 기판 수송기는:
    메인 수송 챔버 및 상기 메인 수송 챔버와 프레임상의 로드로크 장착 구역들 사이의 두 개의 접근 통로를 구비한 프레임;
    상기 프레임에 연결되어 있고 상기 메인 수송 챔버내에 이동가능하도록 위치한 기판 홀더를 구비한 수송기구; 및,
    상기 메인 수송 챔버 내부에서 상기 프레임에 연결되어 있는 기판 버퍼 스테이션을 포함하며, 상기 기판 버퍼 스테이션은 상기 두개의 접근 통로 사이에 직접 위치하며,
    기판들은, 상기 접근 통로를 통한 기판들의 상기 이동을 방해하지 않은 채, 상기 두 개의 접근 통로 바로 사이에서 상기 버퍼 스테이션내에 저장될 수 있는 기판 수송기.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 접근 통로들 중 하나는 그 접근 통로에서 기판들을 정렬하기 위해 상기 프레임에 장착된 정렬기를 구비하며, 상기 정렬기는 상기 버퍼 스테이션 옆에 위치한 기판 수송기.
  22. 제 20 항에 있어서,
    상기 접근 통로들 중 하나는 기판들을 냉각하기 위해 상기 프레임에 장착된 냉각기를 구비하며, 상기 냉각기는 상기 버퍼 스테이션 옆에 위치한 기판 수송기.
  23. 제 20 항에 있어서,
    상기 버퍼 스테이션 옆으로 기판을 이동시키기 위한 상기 두개의 접근 통로에서 상기 프레임에 장착된 두 개의 기판 취급 유닛을 더 포함하는 기판 수송기.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 두 개의 기판 취급 유닛은 상기 두 개의 접근 통로에서, 서로 상호교환될 수도 있도록, 상기 프레임에 장착되며, 상기 프레임상의 상기 두개의 기판 취급 유닛의 상기 배열은 선택적으로 배열될 수 있는 기판 수송기.
  25. 제 24 항에 있어서,
    상기 두 개의 기판 취급 유닛은 정렬기 및 냉각기를 포함하는 기판 수송기.
  26. 제 20 항에 있어서,
    상기 프레임은 상기 프레임의 전방을 향해 약 80도의 경로를 따라 연장된 전방 말단 연장부를 구비하며, 상기 버퍼 스테이션 및 두개의 접근 통로는 상기 전방 말단 연장부에 위치하는 기판 수송기.
  27. 기판 처리 장치에서 기판 처리 모듈들을 청소하는 방법에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는 상기 기판 처리 모듈들에 연결된 메인 수송 챔버 및 상기 메인 수송 챔버 와 상기 기판 처리 모듈들 사이로 기판을 이동시키기 위한 로봇을 구비하며, 상기 방법은:
    상기 기판 처리 모듈들 중 하나의 모듈에서, 기판이 상기 모듈 내부에 있는 동안에, 첫 번째 청소 동작을 수행하고;
    상기 기판을 상기 청소된 기판 처리 모듈로부터 제거하고;
    상기 청소된 기판 처리 모듈이 다른 기판들을 처리하는 동안, 상기 기판을 상기 메인 수송 챔버 내부에 저장하며;
    이어서, 두 번째 청소 동작을 위해, 상기 기판을 상기 기판 처리 모듈들 중 하나의 모듈에 삽입하며, 상기 첫 번째 청소 동작에서 사용된 상기 기판은, 상기 기판에 의한 다수의 기판 처리 모듈 청소 동작들 사이에, 상기 메인 수송 챔버 밖으로 이동되지 않는 단계들을 포함하는 방법.
  28. 제 27 항에 있어서,
    상기 기판은, 상기 기판 처리 모듈들 중, 청소 동작 중인 하나의 모듈에 삽입될 뿐이며, 각각의 청소 동작중에 있는 다른 기판 처리 모듈에 삽입되지 않는 방법.
  29. 제 27 항에 있어서,
    상기 저장 단계는 상기 메인 수송 챔버 내부에 위치한 정적 다중-기판 수용 버퍼내에 상기 기판을 저장하는 것을 포함하는 방법.
  30. 제 29 항에 있어서,
    상기 저장 단계는, 각각의 기판 처리 모듈내의 청소 동작들을 위해 상기 버퍼로부터 제공되고 사용되는 하나의 기판과 함께, 다수의 기판들을 상기 버퍼내에 수용하는 방법.
  31. 제 29 항에 있어서,
    상기 저장 단계는, 각각의 청소 동작중인 상기 기판 처리 모듈들 중 어느 모듈에도 위치하지 않는 다른 기판과 함께, 상기 기판을 상기 버퍼내에 저장하는 방법.
  32. 기판 처리 장치를 위한 기판 수송기에 있어서, 상기 기판 수송기는:
    실질적으로 밀폐된 메인 수송 챔버를 구비한 하우징;
    상기 하우징에 연결되고, 상기 수송 챔버내에 이동가능하도록 위치한 기판 홀더를 구비한 기판 수송 기구; 및,
    상기 하우징상의 두개의 서로 다른 상호교환가능한 양자택일적 위치에서, 적어도 하나의 기판 취급기를 상기 하우징에 연결하는 수단을 포함하며, 상기 기판 취급기는 상기 메인 수송 챔버 내부에 위치하며,
    상기 하우징의 측면에는 상기 메인 수송 챔버 내부로의 출입구를 갖추며, 상기 홀더는 상기 기판 수송기구에 의해 상기 하우징의 상기 출입구를 통해서 이동이 가능한 기판 수송기.
  33. 제 32 항에 있어서,
    상기 기판 취급기는 기판 정렬기인 기판 수송기.
  34. 제 32 항에 있어서,
    상기 기판 취급기는 기판 냉각기인 기판 수송기.
  35. 제 32 항에 있어서,
    선택적으로 연결하는 상기 수단은 두 개의 기판 취급기를 상기 두개의 서로 다른 위치에 연결하기 위한 수단을 포함하는 기판 수송기.
  36. 제 35 항에 있어서,
    상기 두 개의 기판 취급기는 서로 다른 종류의 기판 취급기이고, 서로 다른 배열을 제공하기 위해서, 상기 서로 다른 위치에서 상기 하우징에 상호교환이 가능하도록 장착될 수 있는 기판 수송기.
  37. 기판 처리 장치를 위한 기판 수송기에 있어서, 상기 기판 수송기는:
    실질적으로 밀폐된 메인 수송 챔버를 구비한 하우징; 및,
    상기 하우징에 연결되고, 상기 수송 챔버내에 이동가능하도록 위치한 기판 홀더를 구비한 기판 수송 기구를 포함하며,
    상기 하우징의 측면에는 상기 메인 수송 챔버 내부로의 출입구를 갖추며, 상기 홀더는 상기 기판 수송기구에 의해 상기 하우징내의 상기 출입구를 통해서 이동이 가능하며,
    상기 프레임은 약 80도의 경로를 따라서 일반적인 외향 확장 웨지 모양으로써 연장된 전방 말단 연장부를 구비하며, 상기 하우징의 로드로크 장착 구역으로부터 상기 메인 수송 챔버의 중앙 구역내로 적어도 하나의 기판 접근 통로가 상기 전방 말단 연장부를 통해 연장되어 있는 기판 수송기.
  38. 제 37 항에 있어서,
    상기 전방 말단 연장부의 전방 말단부는 이격된 두개의 로드로크 장착 구역을 구비하는 기판 수송기.
  39. 제 37 항에 있어서,
    상기 전방 말단 연장부의 상기 기판 접근 통로에서 상기 하우징에 직접 연결된 적어도 하나의 기판 취급 유닛을 더 포함하는 기판 수송기.
  40. 제 39 항에 있어서,
    상기 전방 말단 연장부는 이격된 두 개의 기판 접근 통로를 상기 연장부를 통해서 구비하며, 상기 두개의 기판 접근 통로는 상기 하우징에 의해서 상기 메인 수송 챔버의 일부로써 단일하게 형성되는 기판 수송기.
  41. 제 37 항에 있어서,
    상기 전방 말단 연장부에 위치한 기판 버퍼 스테이션을 더 포함하는 기판 수송기.
  42. 제 41 항에 있어서,
    상기 버퍼 스테이션은 다수의 기판들을 수용하기 위한 크기와 형태를 취하는 기판 수송기.
  43. 기판 처리 장치에서 기판들을 이동시키는 방법에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는 출입구에 의해 적어도 하나의 기판 처리 챔버에 연결된 수송 챔버 및 상기 수송 챔버와 상기 기판 처리 챔버사이로 기판을 이동시키기 위한 로봇을 구비하며, 상기 방법은:
    상기 수송 챔버에 위치한 버퍼 스테이션내에 모형 기판을 저장하며, 상기 저장 단계는 상기 모형 기판을 적어도 하나의 다른 기판과 함께 상기 버퍼 스테이션에 동시에 저장하는 것을 포함하며;
    상기 모형 기판을, 상기 적어도 하나의 다른 기판이 상기 버퍼 스테이션에 남아 있는 동안에, 상기 로봇에 의해 상기 버퍼 스테이션으로부터 상기 기판 처리 챔버내로 이동시키는 단계들을 포함하는 방법.
  44. 제 43 항에 있어서,
    상기 모형 기판이 상기 기판 처리 챔버 내부에 위치하는 동안에, 상기 기판 처리 챔버를 청소하는 것을 더 포함하는 방법.
  45. 기판 처리 장치에서 기판들을 이동시키는 방법에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는 출입구에 의해 기판 처리 챔버에 연결된 진공 수송 챔버 및 상기 수송 챔버와 상기 기판 처리 챔버사이로 기판들을 이동시키기 위한 로봇을 구비하며, 상기 방법은:
    모형 기판을 상기 로봇에 의해 상기 기판 처리 챔버로부터 상기 수송 챔버에 위치한 기판 버퍼 스테이션으로 이동시키며;
    상기 모형 기판을 이미 상기 버퍼 스테이션에 있는 적어도 하나의 다른 기판과 함께 상기 기판 버퍼 스테이션에 저장하며, 상기 로봇은 상기 기판들을 개별적으로 상기 버퍼 스테이션 내외부로 이동시키기 위해 상기 진공 수송 챔버 내부의 상기 버퍼 스테이션의 서로 다른 층들에 접근하는 단계들을 포함하는 방법.
  46. 기판 수송기 및 상기 기판 수송기에 연결된 기판 처리 챔버들을 구비한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 기판 수송기는:
    메인 수송 챔버를 형성하는 하우징;
    상기 하우징에 연결되고 상기 메인 수송 챔버내에 이동가능하도록 위치한 기판 홀더를 구비한 로봇; 및,
    상기 하우징에 직접 연결되어 있고 상기 메인 수송 챔버 내부에 위치한 이동가능한 부분을 구비한 기판 냉각기를 포함하며, 상기 냉각기는 기판들을 냉각시키기 위해 적어도 두 개의 냉각 구역을 구비하며,
    하나의 기판은 다른 기판이 상기 냉각기에 남아 있는 동안에 상기 냉각기로부터 상기 메인 수송 챔버내로 직접 제거될 수 있는 기판 처리 장치.
  47. 기판 수송기 및 상기 기판 수송기에 연결된 기판 처리 챔버들을 구비한 기판 처리 장치에 있어서, 상기 기판 수송기는:
    메인 수송 챔버를 형성하는 하우징;
    상기 하우징에 연결되고 상기 메인 수송 챔버내에 이동가능하도록 위치한 기판 홀더를 구비한 로봇; 및,
    상기 하우징에 직접 연결되고 상기 메인 수송 챔버 내부에 위치한 이동가능한 부분을 구비한 기판 가열기를 포함하며,
    상기 로봇은 상기 기판 홀더를 상기 메인 수송 챔버 외부로 이동시키지 않은 채 상기 기판 홀더상의 기판을 상기 이동가능한 부분상으로 이동시킬 수 있고, 상기 기판 가열기는 다수의 기판들을 수용하기 위한 크기 및 모양을 취하며, 상기 로봇은 상기 기판들을 한번에 하나씩 상기 가열기내에 삽입 및 상기 가열기로부터 제거하는 기판 처리 장치.
  48. 제 47 항에 있어서,
    상기 기판 가열기는 기판 가열기 및 냉각기 조합의 일부인 기판 처리 장치.
  49. 삭제
  50. 기판 처리 방법에 있어서,
    메인 챔버와 연통하는 제1 서브챔버 및 제2 서브챔버와 선택적으로 밀봉되게 수직으로 이동가능한 결합상태로서, 상기 메인 챔버 내에 배치된 수직으로 이동가능한 부재를 포함하는 로드로크 모듈을 제공하는 단계;
    상기 로드로크 모듈에 외부 환경과 연결되는 외부 제1 게이트 밸브 및 장치 취급 장치와 연결되는 최내부 제2 게이트 밸브를 제공하는 단계;
    제1 기판을 제공하고 이것을 상기 수직으로 이동가능한 부재 상의 제1 수용 수단에 장착하고 상기 제1 기판을 상기 제1 및 제2 서브챔버들 중의 한 서브챔버 내로 이동시키도록 상기 수직으로 이동가능한 부재를 이동시키는 단계; 및
    상기 메인 챔버 및 상기 제1 기판이 위치해 있는 상기 제1 및 제2 챔버들 중의 다른 하나에 진공을 가하는 단계를 포함하는 기판 처리 방법.
  51. 로크 모듈에 있어서,
    제1 게이트 밸브 및 대향하여 배치된 제2 게이트 밸브를 갖는 챔버를 포함하고;
    상기 메인 챔버에는 수직으로 이동가능한 부재가 배치되고;
    상기 메인 챔버는 상기 수직으로 이동가능한 부재에 의해 각각 분리되는 상부 서브챔버와 하부 서브챔버와 또한 연통하며,
    상기 수직으로 이동가능한 부재는 상기 제1과 제2 서브챔버의 각각을 형성하는 개구를 과연장하도록 만들어져 상기 수직 부재가 이동되는 방향에서 서브챔버와 밀봉 결합을 하게 하는 로크 모듈.
  52. 클러스터 툴에 있어서,
    중앙 처리 챔버의 외부 경계와 내부 경계 사이로 기판이 선택적으로 통과되게 하는 게이트 밸브를 각각이 갖는 측면들에 의해 정의되는 다각형 형상의 중앙 처리 부재;
    선택 진공 전달시 상기 중앙 처리 챔버의 상기 측면들 중의 하나와 연결되는 적어도 하나의 처리 모듈;
    선택된 진공 전달시 상기 중앙 처리 장치의 상기 측면들 중의 하나와 연결되는 적어도 하나의 로드로크 모듈;
    각각 상기 중앙 처리 장치와 연결되는 것으로, 기판이 외부 환경으로부터 상기 로드로크 모듈을 통과되게 상기 로드로크 모듈에 연결되는 제1 게이트 밸브 및 제2 게이트 밸브를 포함하며,
    상기 로크 모듈은 주어진 높이를 갖는 메인 챔버에 의해 분리되는 상부 서브챔버와 하부 서브챔버를 포함하고 상기 메인 챔버는 상기 상부 및 하부 서브챔버 중 어느 하나와 각기 각각 연결되는 제1 및 제2 대향면을 갖는 수직으로 이동가능한 부재를 가져 상부와 하부 위치 사이의 상기 수직으로 이동가능한 부재의 이동이 각각 상부 서브챔버 또는 하부 서브챔버 중 하나와 밀봉 결합을 하게 하는 클러스터 툴.
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