KR100601208B1

KR100601208B1 - 방전 가공 장치

Info

Publication number: KR100601208B1
Application number: KR1020017000042A
Authority: KR
Inventors: 오카자키슈지; 나카지마요시오; 야마다겐지; 사노사다오
Original assignee: 가부시키가이샤 소딕
Priority date: 1999-07-08
Filing date: 2000-07-10
Publication date: 2006-07-19
Also published as: US6459063B1; DE60019895D1; EP1147842A4; KR20010071714A; EP1147842B1; CN1302242A; WO2001003871A1; CN1123419C; DE60019895T2; EP1147842A1; TW474843B

Abstract

Z축을 따라 이동 가능한 제 1 가동체(40, 42, 50)와, 볼 나사(34)와, 볼 나사를 회전시키는 모터(30)와, 제 1 가동체에 부착되며, 상기 볼 나사에 나사 결합되는 너트(35)와, 제 1 가동체에 상대적으로 Z축을 따라 이동 가능하며 공구 전극이 설치 가능한 제 2 가동체(10, 13) 및, 상기 제 2 가동체를 이동시키는 리니어 모터(71, 72, 73)를 포함하는, 가공편과 공구 전극 사이에 방전을 발생시키면서 공구 전극을 가공편을 향해 Z축을 따라 진행시킴으로써 가공편을 가공하는 방전 가공 장치가 제공된다. 리니어 모터는 제 1 가동체에 설치되며 고정자(73)와, 제 2 가동체에 부착된 이동자(71, 72)를 포함한다. 제 1 및 제 2 가동체는 각각의 전극 부착 장치(50, 13)를 포함한다.

가공편, 공구 전극, 제 1 가동체, 볼 나사, 모터, 너트, 제 2 가동체, 리니어 모터, 전극 부착 장치

Description

방전 가공 장치{Electric Discharge Machining Apparatus}

본 발명은 공구 전극과 도전성 가공편(workpiece) 사이에 방전을 발생시키면서 공구 전극을 가공편을 향해 진행시킴으로써 다양한 형상의 구멍을 가공편 중에 형성하는 방전 가공 장치에 관한 것이다.

방전 가공 장치는 경질의 도전성 가공편을 다양한 몰드로 정밀하게 가공하기 위해 널리 사용되고 있다. 가공편은 통상 가공조 내에 배치된 수평면 내에서 이동 가능한 테이블에 고정된다. 한편, 공구 전극은 수직으로 이동 가능한 퀼(quill)의 하단에 적당한 전극 홀더를 사용하여 부착된다. 공구 전극은 절삭이 용이한 재료, 예를 들면 구리나 흑연으로 제작된다. 가공편의 가공에 앞서, 가공조는 등유와 같은 유전성액으로 충전되며, 공구 전극은 가공편에 상당히 접근하여 위치 결정된다. 공구 전극과 가공편와의 간극은 갭(gap)이라 칭하며, 그 크기는 수μm 내지 수십μm 사이로 제어된다. 파워 펄스가 온 타임(ON-time) 중에 공구 전극과 가공편 사이에 인가되면, 갭 중의 유전성액의 절연 특성이 파괴되어 방전이 발생한다. 이러한 방전에 의한 열 때문에, 미세량의 가공편 재료가 증발하거나 용융하여 유전성액으로 흐른다. 온 타임이 종료하면, 파워 펄스 인가가 오프 타임(OFF-time) 동안 정지되어 갭 중의 유전성액의 절연 특성이 회복된다. 방전 가공 장치는 통상, 온 타임과 오프 타임을 1μsec 내지 수십msec 사이로 제어하여 파워 펄스를 반복하여 갭에 인가한다. 갭은 일정 크기로 유지되며, 공구 전극은 가공편 재료의 제거에 따라서, 서서히 가공편을 향해 하방으로 진행된다. 가공편에 상대적인 공구 전극의 위치를 결정하는 좌표계에서는, 가공편을 향하는 공구 전극의 이러한 진행의 직선적인 양을 나타내는 선은 제어의 관점에서, Z축이라 칭한다. 다수의 방전 가공 장치에서는, Z축 수치는 통상 공구 전극의 수직 방향 위치를 나타낸다. 방전 가공 장치는 공구 전극을 가공편에 접촉시키지 않고 가공편으로부터 미세량의 재료를 조금씩 제거할 수 있기 때문에, 양호한 거칠기의 면을 갖는 공동(cavity)이 양호한 정밀도로 가공편 중에 형성된다. 상기 공동은 형상이나 크기에 있어서 공구 전극에 상보적이기 때문에, 요구되는 공동의 형상에 따라 다양한 공구 전극이 사용된다. 큰 공동을 형성하기 위해서는 큰 전극이 필요하며, 100Kg 이상의 큰 공구 전극을 퀼에 현수할 수 있는 방전 가공 장치도 공지되어 있다.

가공편으로부터 제거된 파편을 갭으로부터 세정 제거하기 위해 갭을 경유하는 유전성액의 유동을 발생시키는 "플러싱(flushing)" 동작이 중요하다. 플러싱 동작은 가공편으로부터 제거된 파편과 공구 전극 사이에 발생하는 적합하지 않은 2차 방전을 방지하여 오프 타임 중의 유전성액의 절연 회복에 공헌한다. 숙련된 작업자는 신선한 유전성액을 갭으로 도입하거나 오염된 유전성액을 갭으로부터 흡인 하기 위한 구멍을 가공편의 가공 전에 공구 전극이나 가공편 중의 적당한 위치에 형성한다. 플러싱은 보다 신속하고 양호한 정밀도로 방전 가공을 행하기 위한 요건이지만, 요구되는 공동의 형상에 따라 갭 전체에 걸쳐 균일한 유동을 발생시키기 위해서는 숙련이 필요해진다. 경우에 따라서는, 플러싱용 구멍을 가공편 중에 형성하는 것이 적합하지 않으며, 게다가 이러한 구멍을 공구 전극 중에 형성하는 것이 제한되는 경우도 있다. 예를 들면, 작업자가 세장형 개구를 갖는 깊은 공동을 가공편 중에 형성할 경우, 리브 형상의 얇은 공구 전극이 사용된다. 이러한 공구 전극에 플러싱용 구멍을 형성하는 것은 곤란하기 때문에, 통상, 공구 전극의 측부로부터 유전성액을 갭을 향해 분사하는 분사 장치가 사용된다. 그렇지만, 분사 장치는 가공편 중에 형성되어 있는 공동이 깊어짐에 따라서, 오염된 유전성액을 갭으로부터 충분히 배제할 수 없게 된다. 이러한 불충분한 "플러싱" 동작을 보충하기 위해 "점프(jump)"라 칭하는 동작이 공지되어 있다. "점프"는 공구 전극을 주기적으로 Z축 방향으로 급속하게 상승시키고 급속하게 하강시켜 갭 중의 오염된 유전성액 대부분을 가공편 중의 공동으로부터 추출하는 동작이다. 종래, 점프 동작 중, 공구 전극은 수백mm/min의 속도로 이동한다. 공구 전극의 왕복 거리가 크면, 보다 많은 신선한 액이 갭으로 유입되어 보다 많은 오염된 액이 갭으로부터 배출된다. 적어도 가공편 중에 가공되어 있는 구멍의 깊이 이상으로 공구 전극을 상승시키는 것이 적합하다. 그렇지만, 점프 동작 중에는 가공편으로부터 재료의 제거가 행해지지 않기 때문에, 과도하게 빈번한 점프 동작은 재료 제거 속도를 저하시켜버린다. 재료 제거 속도를 저하시키지 않고 큰 이동량의 점프 동작을 행하기 때문에, 중력 가속도(1G)를 넘는 가속과 감속, 높은 속도로 공구 전극을 이동시키는 것이 적합하다.

본 발명의 목적은 얇은 공구 전극을 사용하여 깊은 공동을 가공하는 경우라도, 재료 제거 속도를 저하시키지 않고 가공편으로부터 제거된 파편을 효과적으로 갭으로부터 세정 제거할 수 있는 방전 가공 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 가능한 한 소형의 방전 가공 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 이하에 계속되는 설명 중에 부분적으로 서술되며, 발명을 실천함으로써, 당업자에게 부분적으로 분명해질 것이다.

상술한 목적을 달성하기 위해, 가공편과 공구 전극 사이에 방전을 발생시키면서 Z축을 따라 공구 전극을 가공편을 향해 진행시킴으로써 가공편을 가공하는 본 발명에 의한 방전 가공 장치는,

Z축을 따라 이동 가능한 제 1 가동체와,

볼 나사와,

상기 볼 나사를 회전시키는 모터와,

상기 제 1 가동체에 부착되며, 상기 볼 나사에 나사 결합되는 너트와,

상기 제 1 가동체에 상대적으로 Z축을 따라 이동 가능하며, 공구 전극이 부착 가능한 제 2 가동체 및,

상기 제 2 가동체를 이동시키는 리니어 모터(linear motor)를 포함한다.

적합하게는, 리니어 모터는 제 1 가동체에 부착된 고정자와, 제 2 가동체에 부착된 이동자를 포함한다.

적합하게는, 상기 제 1 가동체는 공구 전극이 부착 가능한 전극 부착 장치(electrode holder)를 포함한다.

적합하게는, 제 2 가동체는 제 1 가동체와 동축적으로 설치된다.

가공편과 공구 전극 사이에 방전을 발생시키면서 Z축을 따라 공구 전극을 가공편을 향해 진행시킴으로써 가공편을 가공하는 본 발명에 의한 방전 가공 장치는,

공구 전극이 부착 가능한 제 1 전극 부착 장치를 포함하며, Z축을 따라 이동 가능한 제 1 가동체와,

볼 나사와,

상기 볼 나사를 회전시키는 모터와,

공구 전극이 설치 가능한 제 2 전극 부착 장치를 포함하며, 상기 제 1 가동체에 상대적으로 Z축을 따라 이동 가능한 제 2 가동체 및,

상기 제 2 가동체를 이동시키는 리니어 모터를 포함한다.

따라서, 공구 전극은 제 1 및 제 2 전극 부착 장치 중 하나에 선택적으로 부착 가능하다. 적합하게는, 전극 부착 장치의 선택을 검출하는 검출 장치가 설치된다.

도 1은 본 발명의 방전 가공 장치의 한 실시예를 도시하는 측면에서 본 종단면도.

도 2는 도 1의 방전 가공 장치를 정면에서 본 종단면도.

도 3은 도 1의 방전 가공 장치를 A-A선을 따라 본 횡단면도.

도 4는 도 1의 방전 가공 장치를 B-B선을 따라 본 저면도.

도 5는 도 1의 방전 가공 장치의 측면도.

도 6은 도 1의 방전 가공 장치의 프레임의 하단을 확대하여 도시하는 단면도.

도 7은 도 1의 방전 가공 장치의 전극 검출 장치를 도시하는 단면도.

도 1, 도 2, 도 3, 도 4, 도 5, 도 6 및 도 7을 참조하여, 본 발명에 따른 방전 가공 장치의 한 실시예가 서술된다.

도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 로터리 인코더(31)와, 브레이크(32)를 구비한 교류 서보 모터(30)가 칼럼(1)에 고정되어 있다. 수직 방향으로 연장되는 볼 나사(34)는 서보 모터(30)에 의해 회전한다. 볼 나사(34)에 나사 결합되는 볼 나사 너트(35)는 프레임(40)에 부착되어 있다. 상기 프레임(40)은, 공구 전극 또는 전극 홀더가 부착 가능하며 Z축 방향으로 이동 가능한 가동체의 주요부를 구성하고 있다. 프레임(40)은 사각형 단면을 가지며 수직 방향으로 연장되어 있다. Z축 방향으로 이동 가능한 프레임(40)을 안내하는 한 쌍의 직동 베어링 레일(61)이 볼 나사 너트(35)에 대해 대향하도록 프레임(40)에 부착되어 있다. 칼럼(1)에 부착된 상측 및 하측 직동 베어링 블록(62)이 각각의 레일(61)에 결합되어 있다. 로터리 인코더(31)는 프레임(40)의 Z축 상의 위치를 나타내는 신호를 도시하지 않은 NC 장치로 피드백한다. NC 장치는 서보 모터(30)의 구동 장치로 이동 지령 신호를 공급한다. 도 1, 도 2 및, 도 5에 도시된 프레임(40)은 Z축의 상한에 위치되어 있다. 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 판(42)이 다수의 볼트(45)에 의해 프레임(40)의 하단에 부착되어 있다. 적당한 전극 부착 장치(50)가 판(42)에 탈착 가능하게 부착된다. 도 6에 명백하게 도시되어 있는 바와 같이, 절연판(41)이 프레임(40)과 판(42) 사이에 설치되며, 절연 부시(46)와 절연 워셔(47)가 판(42)과 볼트(45) 사이에 설치되어 있다. 볼트(45)를 삽입하기 위해 판(42) 중에 형성된 구멍은 절연 덮개(48)에 의해 차단되어 있다. 도 4에 명백하게 도시되어 있는 바와 같이, 판(42)은 개구(43)를 가지며, 전극 부착 장치(50)를 정확하게 판(42)에 부착하기 위한 다수의 블록(44)이 판(42)에 부착되어 있다. 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 큰 공구 전극 또는 전극 홀더를 부착할 수 있도록 T홈이 전극 부착 장치(50)에 형성되어 있다. 공구 전극에 전력을 전송하는 케이블은 전원으로부터 칼럼(1)에 설치된 단자 상자(도시 않음)를 통해 전극 부착 장치(50)에 접속되어 있다. 판(81)이 칼럼(1)으로부터 수평으로 연장되며, Z축 가동체가 관통하는 개구(82)가 판(81)에 형성되어 있다. 방진(防塵)용 벨로우즈(bellows)(83)가 판(81)과 판(42) 사이에 설치되어 있다. 서보 모터(30)와 프레임(40)을 둘러싸는 커버(9)가 칼럼(1)과 판(81)에 부착되어 있다. 가공편은 Z축에 수직인 직교하는 X, Y축 방향으로 이동 가능한 테이블(도시 않음) 상에 고정된다. 프레임(40)에 작용하는 중력을 평형화시키는 추(錘)(도시 않음)가 칼럼(1)의 후방에 설치되어 있다. 도 5에 도시되어 있는 바와 같이, 상기 추는 와이어(26)에 의해, 프레임(40)의 양 측면에 각각 설치된 행거(25)에 연결되어 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 에어 실린더 장치(28)가 칼럼(1)에 고정된 각각의 브래킷(29)에 부착된다. 에어 실린더 장치(28)는 피스톤 로드를 프레임(40)으로 가압함으로써, 프레임(40)을 칼럼(1)에 고정할 수 있다.

중공의 퀼(10)이 프레임(40)의 내부에 배치되어 있다. 상기 퀼(10)은, 공구 전극 또는 전극 홀더가 부착 가능하며 다른 1개의 Z축 방향으로 프레임(40)에 상대적으로 이동 가능한 가동체의 주요부를 구성하고 있다. 평행한 2개의 Z축의 이동량은 상이할 수도 있지만, 2개의 Z축은 중첩되는 것이 적합하다. 퀼(10)은 사각형 단면을 가지며 프레임(40)과 동축적으로 수직으로 연장되어 있다. 다른 1개의 Z축 방향으로 이동 가능한 퀼(10)을 안내하는 한 쌍의 직동 베어링 레일(63)이 퀼(10)에 부착되어 있다. 프레임(40)의 내면에 부착된 상측 및 하측 직동 베어링 블록(64)이 각각의 레일(63)에 결합되어 있다. 원통 형상의 스페이서(12)가 원판 형상의 절연판(11)을 개재하여 퀼(10)의 하단에 부착되어 있다. 작은 공구 전극 또는 전극 홀더를 유지하는 척(chuck)을 갖는 전극 부착 장치(13)가 퀼(10)과 동축적으로 스페이서(12)에 고정되어 있다. 공구 전극에 전력을 전송하는 케이블은 전원으로부터 칼럼(1)에 설치된 단자 상자(도시 않음)를 통해 전극 부착 장치(13)에 접속되어 있다. 전원은 단자 상자 중의 전환기에 의해, 전극 부착 장치(13, 50) 중 하나에 선택적으로 접속된다. 전극 부착 장치(13)는 공구 전극을 다른 1개의 Z축을 중심으로 회전시키는 서보 모터와, 높은 분해 성능을 가지고 공구 전극의 회전 각도를 산출할 수 있는 로터리 인코더를 포함하고 있다. 재료 제거 속도를 저하시키지 않고 큰 이동량의 점프 동작을 행하기 때문에, 다른 1개의 Z축 가동체는 2개의 리니어 모터에 의해 판(42)의 개구(43)를 통해 높은 가속도로 이동 가능하다. 리니어 모터의 고정자는 퀼(10)의 측면에 점착된 자석판(71)과, 상기 자석판(71)에 일렬로 배치된 다수의 영구 자석(72)을 포함한다. 각각의 영구 자석(72)은 토크의 맥동을 감소시키기 때문에, 수평 방향으로부터 약간 경사져 있다. 리니어 모터의 이동자는 코일과 요크(yoke)로 구성되는 전자석(73)을 포함한다. 2개의 리니어 모터의 각각의 구성 요소는 퀼(10)의 중심축선에 대해서 대칭으로 배치되어 있다. 전류가 전자석(73)의 코일에 흐르면, 고정자와 이동자 사이에 발생하는 추력에 의해 퀼(10)은 수직 방향으로 이동한다. 도 2에 명백하게 도시되어 있는 바와 같이, 2개의 전자석(73)은 각각 대향하는 영구 자석(72)과의 간극을 동일한 작은 크기로 유지하여 판(47)에 부착되어 있다. 판(47)은 퀼(10)에 형성된 창(windows)(46)에 수직으로 고정되어 있다. 퀼(10)에 작용하는 중력을 평형화시키는 평형력을 발생시키는 에어 실린더 장치(20)가 설치된다. 에어 실린더 장치(20)의 실린더(21)는 퀼(10)과 동축적으로 설치되어 있다. 실린더(21)의 상단은 프레임(10)에 고정되며, 로킹(locking) 장치(23)가 실린더(21)의 하단에 설치되어 있다. 피스톤 로드(22)의 한 단부는 실린더(21)의 내벽에 미끄럼 이동하는 피스톤(도시 않음)에 연결되며, 다른 단부는 적당한 커플링에 의해 퀼(10)의 상단에 연결되어 있다. 실린더(21)에 공급되는 공기의 압력은 공구 전극 등의 무게에 따라 조정 가능하다. 에어 실린더 장치(20)는 평형추 보다도 높은 응답성으로 퀼(10)의 1G 이상의 가속도에서의 이동에 추종할 수 있다. 에어 실린더 장치(20)는 피스톤 로드(22)가 관통하는 로킹 장치(23)를 포함하고 있다. 로킹 장치(23)는 정전 시에 피스톤 로드(22)를 파지함으로써 예기치 않은 공구 전극의 강하를 방지한다. 더욱이, 코일(10)의 Z축 방향 이동이 불필요할 때, 로킹 장치(23)는 퀼(10)을 프레임(10)에 고정한다. 리니어 스케일(65)이 퀼(10)의 4개 측면 중 리니어 모터의 이동자가 점착되어 있지 않은 1개 측면에 부착되어 있다. 퀼(10)의 다른 1개의 Z축 상의 위치를 판독하는 센서(66)가 프레임(40)의 내면에 설치되어 있다. 센서(66)는 퀼(10)의 다른 1개의 Z축 상의 위치를 나타내는 신호를 NC 장치로 피드백하며, NC 장치는 리니어 모터의 구동 장치로 이동 지령 신호를 공급한다. 구동 장치는 전자석(73)의 코일에 전류 신호를 공급한다.

공구 전극 형상에 따라, 2개의 전극 부착 장치(50, 13) 중 하나가 사용된다. 얇은 공구 전극을 사용하여 깊은 공동을 가공할 때에는, 전극 부착 장치(13)가 사용된다. 바꾸어 말하면, 효과적인 플러싱 동작을 기대할 수 없을 때, 리니어 모터에 의한 높은 가속도의 점프 동작이 불충분한 플러싱 동작을 크게 보조한다. 또한, 높은 가속도의 점프 동작이 불충분한 플러싱 동작 대신에, 가공편으로부터 제거된 파편을 효과적으로 갭으로부터 세정 제거한다. 그 외의 경우에는, 전극 부착 장치(50)가 사용된다. 따라서, 큰 중량의 공구 전극이 전극 부착 장치(13)에 부착 되는 것이 기대되지 않기 때문에, 리니어 모터는 과도하게 큰 추력을 발생시킬 필요가 없으며, 과도 발열에 의한 리니어 모터의 효율 저하가 생기지 않는다. 리니어 모터의 높은 가속도, 고속 성능을 충분히 발휘시키기 위해, 퀼(10)과, 전극 부착 장치(13)로 구성되는 다른 1개의 Z축 가동체는 가능한 한 경량화하는 것이 적합하다. 작업자는 NC 장치의 입력 장치를 사용하여 2개의 Z축 중 한쪽을 선택해도 된다. 도시된 실시예에서는, NC 장치는 전극 검출 장치(90)로부터의 신호에 의해 Z축 선택을 인식할 수 있다. 도 7에 도시된 바와 같이, 전극 검출 장치(90)는 하단이 판(42)의 하면으로부터 돌출되어 있는 핀(91)과, 상기 핀(91)을 하방으로 가압하는 스프링(92) 및, 상기 핀(91)의 상단에 대향하는 리미트 스위치(93)를 포함한다. 전극 부착 장치(50)가 판(42)에 부착되면, 핀(91)은 스프링(92)에 대항하여 리미트 스위치(93)의 액추에이터를 가압한다. 리미트 스위치(93)가 전극 부착 장치(50)의 사용을 나타내는 신호를 NC 장치로 전송하면, NC 장치는 단자 상자 중의 전환기를 제어하여 전원을 전극 부착 장치(50)에 접속한다. NC 장치는 더욱이, 로킹 장치(23)를 제어하여 퀼(10)을 프레임(40)에 고정한다. 전극 부착 장치(13)의 사용을 나타내는 신호가 리미트 스위치(93)로부터 NC 장치로 전송되면, 전원은 전극 부착 장치(13)에 접속된다. 더욱이, NC 장치는 에어 실린더 장치(28)를 제어하여 프레임(40)을 칼럼(1)에 고정하며, 서보 모터(30)의 브레이크(32)를 동작시킨다.

본 발명을 개시된 형태에 한정하는 것은 의도되어 있지 않다. 상술한 설명을 참조하여 다수의 개량 및 변경이 가능한 것은 분명하다. 예를 들면, 2개의 전 극 부착 장치(50, 13)가 설치되어 있지만, 다양한 크기의 공구 전극이 전극 부착 장치(13)에 부착 가능하면, 전극 부착 장치(50)는 생략된다. 그렇지만, 큰 중량의 공구 전극의 사용이 기대되는 경우, 실시예에 도시된 바와 같이 전극 부착 장치(13)를 경량으로 하기 위해 2개의 전극 부착 장치(50, 13)를 부착하는 것이 적합하다.

도시된 실시예는 발명의 본질과 그 사실적인 응용을 설명하기 위해 선택되었다. 발명의 범위는 첨부한 특허청구범위에 의해 정의된다.

Claims

가공편과 공구 전극 사이에 방전을 발생시키면서 Z축을 따라 상기 공구 전극을 상기 가공편을 향해 진행시킴으로써 가공편을 가공하는 방전 가공 장치에 있어서,

Z축을 따라 이동 가능한 제 1 가동체와,

볼 나사와,

상기 볼 나사를 회전시키는 모터와,

상기 제 1 가동체에 부착되며, 상기 볼 나사에 나사 결합되는 너트와,

상기 제 1 가동체에 상대적으로 Z축을 따라 이동 가능하며, 공구 전극이 부착 가능한 제 2 가동체 및,

상기 제 2 가동체를 이동시키는 리니어 모터를 포함하는 방전 가공 장치.
청구항 2은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 1 항에 있어서, 상기 리니어 모터는 상기 제 1 가동체에 부착된 고정자를 포함하는 방전 가공 장치.
청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 1 항에 있어서, 상기 제 1 가동체는 공구 전극이 부착 가능한 전극 부착 장치를 포함하는 방전 가공 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 가동체는 상기 제 1 가동체와 동축적으로 설치 되는 방전 가공 장치.
가공편과 공구 전극 사이에 방전을 발생시키면서 Z축을 따라 상기 공구 전극을 상기 가공편을 향해 진행시킴으로써 가공편을 가공하는 방전 가공 장치에 있어서,

Z축을 따라 이동 가능한 제 1 가동체와,

볼 나사와,

상기 볼 나사를 회전시키는 모터와,

상기 제 1 가동체에 부착되며, 상기 볼 나사에 나사 결합되는 너트와,

상기 제 1 가동체에 상대적으로 Z축을 따라 이동 가능하며, 공구 전극이 부착 가능한 제 2 가동체 및,

상기 제 1 가동체에 부착된 고정자와, 상기 제 2 가동체에 부착된 이동자를 포함하며, 상기 제 2 가동체를 이동시키는 리니어 모터를 포함하는 방전 가공 장치.
가공편과 공구 전극 사이에 방전을 발생시키면서 Z축을 따라 상기 공구 전극을 상기 가공편을 향해 진행시킴으로써 가공편을 가공하는 방전 가공 장치에 있어서,

공구 전극이 부착 가능한 제 1 전극 부착 장치를 포함하며, Z축을 따라 이동 가능한 제 1 가동체와,

볼 나사와,

상기 볼 나사를 회전시키는 모터와,

상기 제 1 가동체에 부착되며, 상기 볼 나사에 나사 결합되는 너트와,

공구 전극이 부착 가능한 제 2 전극 부착 장치를 포함하며, 상기 제 1 가동체에 상대적으로 Z축을 따라 이동 가능한 제 2 가동체 및,

상기 제 2 가동체를 이동시키는 리니어 모터를 포함하는 방전 가공 장치.
제 6 항에 있어서, 상기 제 1 전극 부착 장치는 상기 제 1 가동체로부터 탈착 가능하며, 상기 제 1 전극 부착 장치의 상기 제 1 가동체로의 부착을 검출하는 검출 장치를 포함하는 방전 가공 장치.