KR100571025B1

KR100571025B1 - 방전 가공 장치

Info

Publication number: KR100571025B1
Application number: KR1020007005908A
Authority: KR
Inventors: 호사카아키오; 사노사다오; 세키요이치
Original assignee: 소딕 가부시키가이샤
Priority date: 1998-11-17
Filing date: 1999-11-17
Publication date: 2006-04-14
Also published as: ES2288045T3; EP1108490A1; EP1108490B1; CA2311745A1; US6353199B1; EP1775051A2; CA2311745C; AU730266B2; CN1445039A; HK1056521A1; EP1775051A3; WO2000029161A1; KR20010040282A; AU1182000A; CN1099935C; DE69936655D1; EP1108490A4; HK1034220A1; DE69936655T2; CN1236885C

Abstract

수직 방향으로 이동 가능한 퀼(8)과, 퀼의 축심에 관하여 대칭으로 퀼에 장착된 적어도 1 쌍의 리니어 모터의 이동자와, 1 쌍의 이동자에 마주대하는 1 쌍의 리니어 모터의 고정자를 포함하는 방전 가공 장치. 공구 전극(6)이 장착되는 전극장착 장치(9)는 퀼과 동축에 퀼의 하단에 장착된다. 바람직하게는 1 쌍의 이동자는 각각, 퀼에 장착된 자석판(12, 14)과 자석판에 배치된 열형상의 영구 자석(11, 13, 15, 16)을 포함하며, 1 쌍의 고정자는 각각, 요크(31,41)와 요크에 감겨진 코일(32,42)을 포함한다. 퀼은 수직 방향으로 연장되는 구멍(8a)을 그의 중심에 갖고, 퀼의 하중의 균형을 잡는 에어 실린더(61)가 그의 구멍에 배치된다. 퀼은 4g/cm³이하의 밀도를 갖고, 예를 들면, 질화규소(Si₃N₄) 세라믹스 또는 경금속과 40체적% 이상의 세라믹스와의 복합재료로 이루어진다.

퀼, 리니어 모터의 이동자, 자석판, 공구전극, 요크, 코일

Description

방전 가공 장치{Electric discharge machining apparatus}

본 발명은 공구 전극과 도전성 워크 피스의 사이에 방전을 발생시키면서 공구 전극을 워크 피스를 향해 이송함으로써 여러가지 형상의 구멍을 워크 피스 내에 형성하는 방전 가공 장치에 관한 것이다.

방전 가공 장치(Electric Discharge Machining Apparatus)는 딱딱한 도전성 워크 피스를 몰드나 다이로 정밀하게 가공하기 위해서 광범위하게 사용되고 있다. 워크 피스는 가공 조 내에 배치된 테이블에 고정되어, 구리나 흑연의 공구 전극은 수직으로 이동 가능한 퀼(quill) 또는 램에 공구 홀더를 사용하여 장착된다. 가공 조는 등유와 같은 유전성 액으로 채워지고, 공구 전극은 워크 피스에 대단히 접근하여 위치 결정된다. 공구 전극과 워크 피스와의 간극은 갭이라고 하며, 그의 사이즈는 수 μm 내지 수십 μm 이다. 온 타임 동안 파워 펄스가 공구 전극과 워크 피스 사이에 인가되면, 갭 내의 유전성 액의 절연 특성이 파괴되어 방전이 발생한다. 이 방전에 의한 열로 인해, 미량의 워크 피스 재료가 증발하거나 또는 용융하여 유전성 액으로 흐르게 된다. 온 타임이 종료하면, 갭 내의 유전성 액의 절연 특성을 회복하기 위해서 파워 펄스의 인가가 오프 타임 동안 정지된다. 방전에 의해 크레이터형상의 미세한 구멍이 워크 피스의 표면에 남는다. 방전 가공 장치는 통상적으로, 온 타임과 오프 타임을 1μsec 내지 수십 msec 사이에서 제어하여 파워 펄스를 반복하여 갭에 인가한다. 방전 가공 장치는 공구 전극을 워크 피스를 향해 Z축을 따라 강하시켜 갭을 일정한 사이즈로 유지한다. 공구 전극은 워크 피스에 접촉하지 않게 워크 피스로부터 미량의 재료를 제거할 수 있으므로, 양호한 거친 면을 갖으며, 형상에 있어서 공구 전극에 상호 보완적인 구덩이가 정밀도 양호하게 워크 피스 중에 형성된다. 이러한 방전 가공 장치는 주행하는 와이어 전극을 사용하는 와이어 EDM(Wire EDM)과 구별하여, 싱커 EDM(Sinker EDM)라고 한다.

워크 피스로부터 제거된 파편을 갭으로부터 씻어내기 위해 갭을 경유하는 유전성 액의 흐름을 만들어내는 "플래싱" 동작이, 방전 가공에서는 중요하다. 플래싱동작은 워크 피스로부터 제거된 파편과 공구 전극과의 사이에 발생하는 바람직하지 않은 2차 방전을 방지하여 오프 타임 중의 확실한 절연의 회복에 공헌한다. 숙련된 작업자는 가공 전에, 신선한 유전성 액을 갭으로 보내주거나 오염된 유전성 액을 갭으로부터 흡인하기 위한 구멍을 공구 전극이나 워크 피스 중의 적당한 위치에 형성한다. 공구 전극의 사이즈나 형상과 관련하여 이와 같은 구멍의 형성이 제한되는 경우, 작업자는 유전성 액을 갭을 향해 분사하는 분사 장치를 적당한 위치에 배치한다. 플래싱은 보다 빠르게 보다 정밀도 양호하게 방전 가공을 행하기 위한 열쇠이지만, 갭의 전부에 걸쳐서 균일한 흐름을 만들어내기 위해서는 숙련이 필요하게 된다. 공구 전극을 주기적으로 Z축을 따라 급속하게 상승시키고 급속하게 하강시키어 갭 내의 오염된 유전성 액의 대부분을 워크 피스 중의 구덩이로부터 추방하는 "점프"라고 하는 동작이 알려져 있다. 점프 동작 중, 종래, 공구 전극은 수백 mm/min의 속도로 이동한다. 공구 전극의 왕복 거리가 크면, 보다 많은 신선한 액이 갭으로 유입되어 보다 많은 오염된 액이 갭으로부터 배출된다. 적어도 워크 피스 중에 가공되어 있는 구멍의 깊이 이상으로 공구 전극을 상승시키는 것이 바람직하다. 그렇지만, 점프 동작 중은 워크 피스로부터 재료의 제거가 행하여지지 않기 때문, 과도하게 빈번한 점프 동작은 재료 제거 속도를 저하시킨다.

본 발명의 목적은 재료 제거 속도를 저하시키지 않고, 워크 피스로부터 제거된 파편을 효과적으로 갭으로부터 씻어낼 수 있는 방전 가공 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 높은 숙련을 필요로 하지 않으며, 워크 피스로부터 제거된 파편을 효과적으로 갭으로부터 씻어낼 수 있는 방전 가공 장치를 제공하는 것이다.

그 밖의 본 발명의 목적은 이하에 계속되는 설명 중에 부분적으로 기술되며, 발명을 실천함으로써, 당업자에게 부분적으로 분명해지게 될 것이다.

상술의 목적을 달성하기 위해서, 워크 피스와 공구 전극과의 사이에 방전을 발생시키면서 공구 전극을 워크 피스를 향해 수직 방향으로 이동시킴으로써 워크 피스를 가공하는 본 발명의 방전 가공 장치는

수직 방향으로 이동 가능한 퀼과,

퀼과 동축에 퀼의 하단에 장착된, 공구 전극이 장착되는 전극 설치 장치와,

퀼의 축심에 관해서 대칭으로 퀼에 장착된 적어도 1 쌍의 리니어 모터의 이 동자와,

1 쌍의 이동자의 각각에 마주대하는 1 쌍의 리니어 모터의 고정자를 포함한다.

바람직하게는 1 쌍의 이동자는 퀼에 장착된 자석판과 자석판에 배치된 열형상의 영구 자석을 포함하며, 1 쌍의 고정자는 요크와 요크에 감겨진 코일을 포함한다.

보다 바람직하게는 퀼은 수직 방향으로 연장되는 구멍을 그의 중심에 갖고, 퀼의 하중의 균형을 잡는 에어 실린더가 그의 구멍에 배치된다.

또한, 워크 피스와 공구 전극과의 사이에 방전을 발생시키면서 공구 전극을 워크 피스로 향해 수직 방향으로 이동시킴으로써 워크 피스를 가공하는 본 발명의 방전 가공 장치는

4g/cm³이하의 밀도를 갖는 수직 방향으로 이동 가능한 퀼과,

퀼의 하단에 장착된, 공구 전극을 고정하는 전극 설치 장치와,

퀼에 장착된 리니어 모터의 이동자와,

이동자에 마주대하는 리니어 모터의 고정자를 포함한다.

도 1은 본 발명의 방전 가공 장치의 일실시예를 도시하는 사시도이다.

도 2는 퀼을 구동하는 장치를 도 1의 A-A 선을 따라서 본 횡단면도이다.

도 3은 퀼을 구동하는 장치를 도 1의 B-B 선을 따라서 본 종단면도이다.

도 4는 퀼을 구동하는 장치를 도 1의 C-C 선을 따라서 본 종단면도이다.

도 5는 퀼을 안내하는 장치의 다른 일례를 도 1의 A-A 선을 따라서 본 횡단면도이다.

도 6은 퀼을 구동하는 장치의 다른 일례를 도 1의 A-A 선을 따라서 본 횡단면도이다.

도 7은 퀼을 구동하는 장치의 다른 일례를 도 1의 C-C 선을 따라서 본 종단면도이다.

도 8은 본 발명의 방전 가공 장치의 다른 실시예를 도시하는 사시도이다.

도 9는 퀼을 구동하는 장치를 도 8의 A-A 선을 따라서 본 횡단면도이다.

도 10은 퀼을 구동하는 장치를 도 8의 B-B 선을 따라서 본 종단면도이다.

도 11은 퀼을 구동하는 도 8의 장치를 도시하는 사시도이다.

도 12는 도 8의 퀼에 작용하는 추력을 도시하는 사시도이다.

도 13은 방전 가공 장치의 퀼의 다른 일례를 도시하는 횡단면도이다.

도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 발명에 의한 방전 가공 장치의 일실시예가 기술된다.

도 1 중에 도시된 바와 같이, 컬럼(2)은 베드(1)의 배후에 배치되고, 이동체(3)가 Y축 방향으로 활주 이동 가능하게 베드(1)에 설치되어 있다. 새들(4)은 Y축에 직교하는 X축 방향으로 활주 이동 가능하게 이동체(3)에 설치되어 있다. 유전성 액으로 채워지는 가공 조(5)는 새들(4)에 설치되어 있다. 워크 피스(도시되지 않음)는 가공 조(5)내에 배치된 테이블(도시되지 않음)에 고정되어 있다. 워 크 피스의 가까이에 위치 결정된 공구 전극(6)은 전극 장착 장치(9)에 장착된다. 전극 장착 장치(9)는 Z축 방향으로 이동 가능한 중공의 퀼(8)의 하단에 고정되어 있다. 재료 제거 속도를 저하시키지 않고 이동량이 큰 점프 동작을 행하기 위해서, 방전 가공 장치는 중력 가속도(1G)를 초과하는 가속과 감속, 10m/min 이상의 속도로 공구 전극(6)을 양호한 정밀도로 이동하는 것을 가능하게 한다. 도 2 중에 도시되는 바와 같이, 퀼(8)은 정사각형의 횡단면을 갖는다. 전극 장착 장치(9) 및 공구 전극(6)은 도 3 및 4 중에 도시되는 바와 같이, 퀼(8)의 중심축(QC)과 동축으로 배치되어 있으므로, 공구 전극(6)은 양호한 정밀도로 이동할 수 있다. 열형상의 영구 자석편이 중심축(QC)에 관하여 대칭으로 사각 기둥 모양의 퀼(8)의 양 측벽에 배치되어 있다. 높은 가속을 얻기 위해서 높은 강성을 유지하면서 퀼(8)을 경량화하는 것에 주의가 기울여지고 있다. 퀼(8)은 그의 중심에 수직 방향으로 연장되는 원통형 구멍(8a)을 갖으며, 4g/cm³이하의 밀도를 갖는다. 이것은 바람직하게는 작은 열팽창 계수와 큰 영율을 갖는 세라믹스로 이루어진다. 특히, 3.2g/cm³의 밀도, 3.0 내지 3.1×10⁶kgf/cm²의 영율, 4.5 내지 5.OMPa·m^1/2의 파괴 인성을 갖는 질화규소(Si₃N₄) 세라믹스가 선택된다. 세라믹 퀼의 제조방법의 일례가 간단하게 기술된다. 우선, 산화알루미늄(A1₂0₃), 이산화규소(SiO₂) 또는 질화알루미늄(AlN)의 소결 조제가 질화규소(Si₃N₄)의 입자에 첨가된다. 이러한 혼합물은 예를 들면 아이소스태틱 프레스법에 의해 중공의 사각기둥으로 성형된다. 그의 성형체는 상압 소결법 및 분위기 가압 소결법에 의해서 소결된다. 퀼(8)은 경금속과 40 체적% 이상의 세라믹스와의 복합 재료로 이루어져도 된다. 경금속은 알루미늄이나 마그네슘 및 그들의 합금을 포함한다. 세라믹스는 탄화규소(SiC) 세라믹스, 산화알루미늄(Al₂0₃) 세라믹스 및 질화규소(Si₃N₄) 세라믹스를 포함한다. 알루미늄 합금과 55체적%의 산화알루미늄 세라믹스의 복합 재료는 2.95g/cm³의 밀도, 2.0× 10⁶kgf/cm²의 영율 및 10.5MPa·m^1/2의 파괴 인성을 갖는다. 알루미늄 합금과 55체적%의 산화알루미늄 세라믹스의 복합 재료는 3.00g/cm³의 밀도, 2.65×10⁶kgf/cm²의 영율 및 10.0MPa·m^1/2의 파괴 인성을 갖는다. 이러한 복합 재료는 예를 들면, 용융한 경금속을 700 내지 800℃의 질소 중에서 세라믹스 소결체에 침투시킴으로써 만들어진다. 영구 자석편은 그들 사이에 양호한 자기 회로를 형성하기 위해서 철과 같은 연자성 재료로 이루어지는 가능한 한 얇은 자석판에 배치된다. 퀼(8)과 자석판과의 사이에 하등의 부재도 설치되어 있지 않다. 예시된 실시예에서는 2열의 영구 자석(11)이 배치된 자석판(12)이 퀼(8)의 한쪽의 측벽으로 접착되고, 2열의 영구 자석(13)이 배치된 자석판(14)이 퀼(8)의 다른쪽 측벽으로 접착되어 있다. 퀼(8)의 수직 이동을 안내하기 위해서, 2개의 리니어 모션 볼 베어링 레일(21)이 서로 평행하게 컬럼(2)의 앞면(2a)에 장착되어 있다. 레일(21)에 결합하는 위쪽 및 아래쪽 베어링 블록(22, 23)이 퀼(8)의 뒷벽에 장착되어 있다. 영구 자석(11, 13)에 마주대하는 고정자를 지지하는 틀본체(7)가 컬럼(2)의 앞면(2a)에 장착되어 있다. 도 2 및 4 중에 도시되는 바와 같이, 여자 코일과 요크로 이루어지는 고정자가, 퀼(8)의 중심축에 관해서 대칭이 되도록 판(7d, 7e)의 각각의 수직면에 장착된다. 판(7d, 7e)은 틀본체(7)의 양측벽에 형성된 창(7a, 7b)에 고정되어 있다. 판(7d, 7e)에 적층의 규소 강판으로 이루어지는 요크(31, 41)가 각각 장착되고, 전기자 코일(32, 42)이 요크(31, 41)의 각각의 자극 이에 감겨져 있다. 요크(31)와 영구 자석(11)과의 간극과, 요크(41)와 영구 자석(31)과의 간극은 동일한 사이즈가 되도록 조정되어 있다. 예를 들면, 이들 2개의 간극은 판(7d, 7e)에 설치된 다수의 가압 나사와 인출 나사에 의해 동일한 사이즈로 조정된다. 그 결과, 리니어 모터의 이동자와 고정자의 사이에 발생하는 자기적인 흡인력이 상쇄된다. 냉각액이 통과하는 몇개의 관(33, 43)이 요크(31, 41)의 각각의 속에 형성된 구멍에 삽입되어 있다. 리니어 스케일(51)은 퀼(8)의 앞벽에 장착되고, 퀼(8)의 위치를 판독하는 센서(52)가 틀 본체(7)의 앞벽(7c)의 안쪽에 설치되어 있다. 리니어 모터의 구동 장치(도시되어 있지 않음)는 센서(52)의 검출 신호를 수신하여 전기자 코일(32, 42)로 제어 신호를 공급한다. 1G 이상의 가속도로 이동 가능한 퀼(8)의 하중의 균형을 잡는 실린더(61)가 설치된다. 기계를 컴팩트하게 하기 위해서, 실린더(61)는 중심축(QC)과 동축으로 구멍(8a) 속에 배치되고 그의 상단은 플랜지(64)에 의해서 퀼(8)에 고정되어 있다. 실린더(61)는 퀼(8)의 부근에 설치되어 있기 때문에, 그의 높은 응답성이 확보된다. 피스톤 로드(63)는 일단에서 피스톤(62)으로 접속되고, 다른 단에서 연결판(65)으로 접속되어 있다. 수평으로 연장되는 연결판(65)은 컬럼(2)에 고정되어 있다. 피스톤(62)보다 위의 실린더(61)내에 형성된 상측실(66)의 공기압은 정밀 에어 레귤레이터에 의해서 일정치로 유지되어 있다. 실린더(61)에 의해, 코일(32, 42)에 공급되는 전력은 퀼(8)의 정지 중에는 절약된다. 가루 먼지의 침입을 방지하기 위해서 몇개의 주름상자가 퀼(8)과 틀본체(7)와의 간극에 설치되어 있다.

퀼(8)을 안내하는 장치나 리니어 스케일(51)의 위치는 도 2 내지 도 4 중에 도시된 실시예에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 5 중에 도시되는 바와 같이, 퀼(8)이 수직인 이동을 안내하는 크로스 롤러 베어링(23)이 퀼(8)의 앞벽과 틀본체(7)의 앞벽(7c)의 사이에 추가적으로 설치되는 것이 바람직하다. 리니어 스케일(51)이 퀼(8)의 뒷벽에 설치되어 퀼(8)의 위치를 검출하는 센서(52)가 컬럼(2)의 앞면(2a)에 설치되어도 된다.

도 6 및 도 7 중에 도시되는 바와 같이, 요크(31, 41)가 판(8b, 8c)을 사용하여, 퀼(8)의 양측벽에 장착되어도 된다. 이 경우, 요크(31)에 마주대하는 영구 자석(11)이 장착된 자석판(12)이, 판(7d)을 사용하여 틀본체(7)에 지지된다. 요크(41)에 마주대하는 영구 자석(13)이 장착된 자석판(14)은 판(7e)을 사용하여 틀본체(7)에 지지된다. 냉각관(33, 43)으로부터 연장되는 가요성 호스나, 코일(32, 42)로부터 연장되는 전력선은 단자(71, 72)로 접속된다.

도 8 내지 도 12를 참조하여, 본 발명에 의한 방전 가공 장치의 다른 실시예가 기술된다. 도 1 내지 도 7 중과 동일한 요소에는 동일한 참조 번호가 주어지며, 그의 설명이 생략된다.

일렬의 영구 자석(15, 16)이 각각 접착된 자석판(12, 14)이 4각 기둥 모양의 퀼(8)의 앞벽과 뒷벽에 각각 접착되어 있다. 도 11 중에 도시되는 바와 같이, 개개의 영구 자석은 토크의 맥동을 감소시키기 위해서, 수평방향에서 약간 기울여 자석판에 접착되어 있다. 퀼(8)은 경량화를 위해 중심축(QC)과 동축의 4각 기둥 모양의 구멍(8a)을 갖는다. 퀼(8)을 안내하는 리니어 크로스 롤러 가이드(24, 25)가 퀼(8)의 양측면과 틀본체(7)와의 사이에 설치되어 있다. 도 10 중에 도시되는 바와 같이, 퀼(8)의 하중의 균형을 잡는 실린더(61)는 요크(41)가 장착된 판(7e)과 컬럼(2)과의 사이에 설치되어 있다. 피스톤 로드(63)는 연결판(65)을 사용하여 퀼(8)로 접속되어 있다. 도 12를 참조하여, 퀼(8)을 구동하는 힘이 상세하게 설명된다. 도면 중의 참조부호 GCL은 영구 자석열(15, 16)이 대칭으로 배치되는 중심선을 나타내고 있다. 영구 자석열(15)과 요크(31)와의 사이에 발생하는 추력(FA)과 영구 자석열(16)과 요크(41)와의 사이에 발생하는 추력(FB)의 합성력(TF)은 퀼의 중심선(GCL)에 겹친다. 리니어 크로스 롤러 가이드(24, 25)는 각각의 안내면에 있어서, 그의 안내력이 중심선(GCL)에 겹치도록 배치되어 있다. 따라서, 수직방향이외의 힘은 퀼(8)을 안내하는 리니어 크로스 롤러 가이드(24, 25)에 작용하지 않는다. 이렇게 해서, 경량의 퀼(8)은 높은 가속으로 정밀도 양호하게 수직방향으로 이동할 수 있다.

저면에서 1.0mm의 폭과 38mm의 길이, 각 측면에서 1도의 경사를 갖는 리브형상의 흑연 공구 전극을 사용하여 워크 피스 중에 깊이 70mm의 구멍을 가공하였다. 이 때, 온 타임은 100μsec, 오프 타임은 140μsec, 전류 파고치는 93A, 평균 갭 전압은 55V, 무부하 전압은 120V, "점프" 속도는 30m/min, 1 사이클의 "점프" 시간은 0.24sec로 설정되었다. 워크 피스의 재질은 일본 공업 규격의 SKD11이었다. "플래싱"은 행하여지지 않았음에도 불구하고, 가공 속도는 거의 일정하게 유지되고 가공은 135분으로 종료하였다.

본 발명을 개시된 형태에 한정하는 것이 아니다. 상기의 기술된 것을 참조하여 많은 개량 및 변형이 가능함은 물론이다. 예를 들면, 퀼(8)의 횡단면은 정사각형에 한정되지 않는다. 이것은 예를 들면, 직사각형이라도 가능하고, 도 13 중에 도시되는 바와 같이 서로 평행인 2개의 수직면을 갖는 형상이면 된다.

도시된 실시예는 발명의 본질과 그의 실용적인 응용을 설명하기 위해서 선택되었다. 발명의 범위는 첨부의 특허청구의 범위에 의해서 정의된다.

Claims

워크 피스와 공구 전극과의 사이에 방전을 발생시키면서 공구 전극을 워크 피스로 향하여 수직 방향으로 이동시킴으로써 워크 피스를 가공하는 방전 가공 장치에 있어서,

수직 방향으로 이동 가능한 퀼과,

퀼과 동축에 퀼의 하단에 장착된, 공구 전극이 장착되는 전극 장착 장치와,

퀼의 축심에 관해서 대칭으로 퀼에 장착된 1 쌍이상의 리니어 모터의 이동자와,

1 쌍의 이동자의 각각에 마주대하는 1 쌍의 리니어 모터의 고정자를 포함하는 방전 가공 장치.
청구항 2은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 1 항에 있어서,

상기 1 쌍의 이동자는 퀼에 접착된 자석판과 자석판에 배치된 열형상의 영구 자석을 포함하며, 1 쌍의 고정자는 요크와 요크에 감겨진 코일을 포함하는 방전 가공 장치.
청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 1 항에 있어서,

상기 퀼은 사각 기둥 모양인 방전 가공 장치.
청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 1 항에 있어서,

상기 퀼은 그의 중심에 수직 방향으로 연장되는 구멍을 갖는 방전 가공 장치.
청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 3 항에 있어서,

퀼의 제 1 측면에서 퀼을 안내하는 제 1 안내 장치를 추가로 포함하며, 1 쌍의 이동자는 제 1 측면에 인접하는 퀼의 양측면에 각각 장착되는 방전 가공 장치.
청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 1 항에 있어서,

퀼의 하중의 균형을 잡는 에어 실린더를 추가로 포함하는 방전 가공 장치.
청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 4 항에 있어서,

퀼의 구멍에 배치되어 퀼의 하중의 균형을 잡는 에어 실린더를 추가로 포함하는 방전 가공 장치.
청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 5 항에 있어서,

제 1 측면에 마주대하는 퀼의 측면에서 퀼을 안내하는 제 2 안내 장치를 추가로 포함하는 방전 가공 장치.
청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 1 항에 있어서,

1쌍의 이동자는 요크와 요크에 감겨진 코일을 포함하며, 1 쌍의 고정자는 퀼에 접착된 자석판과 자석판에 배치된 열형상의 영구 자석을 포함하는 방전 가공 장치.
청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 1 항에 있어서,

상기 퀼은 4g/cm³이하의 밀도를 갖는 방전 가공 장치.
청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 10 항에 있어서,

상기 퀼은 세라믹스로 이루어지는 방전 가공 장치.
청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 11 항에 있어서,

상기 퀼은 질화규소(Si₃N₄) 세라믹스로 이루어지는 방전 가공 장치.
청구항 13은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 10 항에 있어서,

상기 퀼은 경금속과 40 체적% 이상의 세라믹스와의 복합 재료로 이루어지는 방전 가공 장치.
워크 피스와 공구 전극과의 사이에 방전을 발생시키면서 공구 전극을 워크 피스로 향해 수직 방향으로 이동시킴으로써 워크 피스를 가공하는 방전 가공 장치 에 있어서,

4g/cm³이하의 밀도를 갖는 수직 방향으로 이동 가능한 퀼과,

퀼의 하단에 장착된, 공구 전극을 고정하는 전극 설치 장치와,

퀼에 장착된 리니어 모터의 이동자와,

이동자에 마주대하는 리니어 모터의 고정자를 포함하는 방전 가공 장치.
제 14 항에 있어서,

상기 퀼은 세라믹스로 이루어지는 방전 가공 장치.
청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 15 항에 있어서,

상기 퀼은 질화규소(Si₃N₄) 세라믹스로 이루어지는 방전 가공 장치.
제 14 항에 있어서,

상기 퀼은 경금속과 40체적% 이상의 세라믹스와의 복합 재료로 이루어지는 방전 가공 장치.