JP2002239843A - 放電加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来のリニアモータをＺ軸のサーボ制御送り、
及び上昇、下降のストロークの大きいジャンプ往復移動
に使用した放電加工の送り装置のものでは、高速応答性
で、高速移動のリニアモータの性能を発揮することがで
きず、形彫り放電加工機の性能向上に寄与させることが
できなかった。 【解決手段】垂直方向に移動可能なクイルと、該クイル
下端に設けられた工具電極が取り付けられる電極取付装
置と、前記クイルの軸芯に関して対称な両側面に取り付
けられたリニアモータの各移動子と、該リニアモータの
各移動子のそれぞれに向かい合うように設けられるリニ
アモータの各固定子と、前記クイルの側面でクイルを垂
直方向に案内する１組の直線案内装置と、前記クイルの
荷重と釣り合いを取るエアシリンダと、前記移動子と固
定子とからなるリニアモータは、永久磁石を列状に配置
した磁石板と、ヨークとヨークに巻かれたコイルを含む
電機子との組み合わせから成り、前記電機子には冷却液
が流通する冷却管が設けられた構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、工具電極と導電性
のワークピースの間に放電を発生させつつ工具電極をワ
ークピースへ向けて送ることによって種々の形状の穴を
ワークピース中に形作る放電加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】放電加工装置（Ｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｄｉ
ｓｃｈａｒｇｅ ＭａｃｈｉｎｉｎｇＡｐｐａｒａｔｕ
ｓ）は、硬い導電性のワークピースをモールドやダイへ
精密に加工するために広く使用されている。ワークピー
スは加工槽内に配置されたテーブルに固定され、銅やグ
ラファイトの工具電極は垂直に移動可能なクイルあるい
はラムに工具ホルダを用いて取り付けられる。加工槽は
灯油のような誘電性液で満たされ、工具電極はワークピ
ースに非常に接近して位置決めされる。工具電極とワー
クピースとの隙間はギャップ（放電間隙）と呼ばれ、そ
のサイズは、数μｍから数十μｍである。オンタイムの
間パワーパルスが工具電極とワークピース間に印加され
ると、ギャップ中の誘電性液の絶縁特性が破壊され放電
が発生する。この放電による熱のため、微量のワークピ
ース材料が蒸発するあるいは溶融して誘電性液に流され
る。オンタイムが終了すると、ギャップ中の誘電性液の
絶縁特性を回復するためパワーパルスの印加がオフタイ
ムの間停止される。放電によってクレータ状の微細な穴
がワークピースの表面に残る。放電加工装置は、通常、
オンタイムとオフタイムを１μｓｅｃ〜数１０ｍｓｅｃ
の間で制御してパワーパルスを繰り返しギャップに印加
する。放電加工装置は工具電極をワークピースへ向かっ
てＺ軸に沿って降下させギャップを一定のサイズに維持
する。工具電極はワークピースに接触することなくワー
クピースから微量の材料を除去できるので、良好な粗さ
の面をもつ、形状において工具電極に相補的な窪みが精
度よくワークピース中に形作られる。このような放電加
工装置は、走行するワイヤ電極を使用するワイヤ放電加
工機（Ｗｉｒｅ ＥＤＭ）と区別して、形彫放電加工機
（Ｓｉｎｋｅｒ ＥＤＭ）と呼ばれる。

【０００３】ワークピースから除去された破片をギャッ
プから洗い流すためギャップを経由する誘電性液の流れ
を作り出す“フラッシング”動作が、放電加工には重要
である。フラッシング動作は、ワークピースから除去さ
れた破片と工具電極との間に発生する望ましくない２次
放電を防止しオフタイム中の確実な絶縁の回復に貢献す
る。熟練の作業者は、加工前に、新鮮な誘電性液をギャ
ップへ送り込んだり汚れた誘電性液をギャップから吸引
するための穴を工具電極やワークピース中の適当な位置
に形成する。工具電極のサイズや形状に因りそのような
穴の形成が制限される場合、作業者は誘電性液をギャッ
プへ向けて噴射する噴射装置を適当な位置に配置する。
フラッシングは、より速くより精度良く放電加工を行う
ための鍵であるけれども、ギャップのすべてにわたって
均一な流れを作り出すためには熟練が必要となる。

【０００４】工具電極を周期的にＺ軸に沿って急速に上
昇させ急速に下降させてギャップ中の汚れた誘電性液の
ほとんどをワークピース中の窪みから追い出す、“ジャ
ンプ”と呼ばれる動作が知られている。ジャンプ動作
中、従来、工具電極は数百ｍｍ／ｍｉｎの速度で移動す
る。工具電極の往復距離が大きければ、より多くの新鮮
な液がギャップへ流れ込みより多くの汚れた液がギャッ
プから排出される。少なくともワークピース中に加工さ
れている穴の深さ以上に工具電極を上昇させることが望
ましい。しかしながら、ジャンプ動作中は加工が中断し
ワークピースから材料の除去が行われないため、過度に
頻繁なジャンプ動作は材料除去速度を低下させてしま
う。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、材料
除去速度を低下させることなく、ワークピースから除去
された破片を効果的にギャップから洗い流すことのでき
る放電加工装置を提供することである。また、本発明の
別の目的は、高い熟練を必要とすることなく、ワークピ
ースから除去された破片を効果的にギャップから洗い流
すことのできる放電加工装置を提供することである。そ
して、前述の目的を達成するために本発明は、工具電極
の送りを、高応答、高加減速で、高速度に精度良く行な
い得る送り装置を備えた放電加工装置を提供することに
ある。さらに、その他の本発明の目的は、以下に続く説
明の中に部分的に述べられ、発明を実践することによ
り、当業者に部分的に明らかになるであろう。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前述の本発明の目的は、
（１）ワークピースと工具電極との間に放電を発生させ
ながら工具電極をワークピースへ向けて垂直方向に移動
させることによってワークピースを加工する放電加工装
置において、垂直方向に移動可能なクイルと、該クイル
下端に設けられた工具電極が取り付けられる電極取付装
置と、前記クイルの軸芯に関して対称な両側面に取り付
けられたリニアモータの各移動子と、該リニアモータの
各移動子のそれぞれに向かい合うように設けられるリニ
アモータの各固定子と、前記クイルの側面でクイルを垂
直方向に案内する１組の直線案内装置と、前記クイルの
荷重と釣り合いを取るエアシリンダと、前記移動子と固
定子とからなるリニアモータは、永久磁石を列状に配置
した磁石板と、ヨークとヨークに巻かれたコイルを含む
電機子との組み合わせから成り、前記電機子には冷却液
が流通する冷却管が設けられていることを特徴とする放
電加工装置とすることにより達成される。

【０００７】また、前述の本発明の目的は、（２）前記
クイルは、その中心に垂直方向に延びる穴を有し、全体
として中空の柱状体に構成されていることを特徴とする
前記（１）に記載の放電加工装置とすることにより達成
される。

【０００８】また、前述の本発明の目的は、（３）前記
エアシリンダが前記クイルの穴に挿設した状態でクイル
に連結されており、ピストンロッドがコラムに連結され
てクイルをコラムに保持させて成ることを特徴とする前
記（２）に記載の放電加工装置とすることにより達成さ
れる。

【０００９】また、前述の本発明の目的は、（４）前記
エアシリンダに精密レギュレータから所定の制御された
圧力気体が供給されるように構成されて成ることを特徴
とする前記（１）、（２）または（３）に記載の放電加
工装置とすることにより達成される。

【００１０】また、前述の本発明の目的は、（５）前記
クイルが、コラム前面に取り付けられた枠体により垂直
方向移動可能に取り囲み保持され、前記１組の直線案内
装置がコラム前面とクイルの後壁面間に、リニアモータ
がクイル両側面と枠体の両側壁とに設けられて成ること
を特徴とする前記（１）、（２）、（３）または（４）
に記載の放電加工装置とすることにより達成される。

【００１１】また、前述の本発明の目的は、（６）前記
１組の直線案内装置が、前記リニアモータが設けられた
クイル両側面と直交する両側面部に設けられて成ること
を特徴とする前記（１）、（２）、（３）または（４）
に記載の放電加工装置とすることにより達成される。

【００１２】また、前述の本発明の目的は、（７）前記
クイルが、密度４ｇ／ｃｍ^３以下のセラミックスまたは
軽合金から製作されたものであることを特徴とする前記
（１）、（２）、（３）、（４）、（５）または（６）
に記載の放電加工装置とすることにより達成される。

【００１３】また、前述の本発明の目的は、（８）前記
クイルの垂直方向の直線移動位置を検出するように、ク
イルとコラムまたは枠体に取り付けられたリニアスケー
ルとセンサからなる直線位置検出装置と、該検出装置の
検出フィードバック信号を受け電機子コイルへ制御信号
を出力する駆動装置とを備えて成ることを特徴とする前
記（１）、（２）、（３）、（４）、（５）、（６）ま
たは（７）に記載の放電加工装置とすることにより達成
される。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、具
体的に図示した複数の異なる実施の形態により詳細に説
明する。図１乃至図４は、本発明の第１の実施の形態の
説明図で、図１は第１の実施の形態の送り装置を搭載し
た形彫放電加工機の全体構成を、要部の一部を透視図と
して示した斜視図、図２は、クイルを駆動する装置を図
１のＡ−Ａ線に沿って見た横断平面図、図３は、同じく
図１のＢ−Ｂ線に沿って見た縦断左側面図、また図４
は、同じく図１のＣ−Ｃ線に沿って見た縦断正面図であ
る。

【００１５】図１中にイラストされているように、コラ
ム２はベッド１の背後に配置され、移動体３がＹ軸の方
向に摺動可能にベッド１に設けられている。サドル４は
Ｙ軸に直交するＸ軸の方向に摺動可能に移動体３に設け
られている。誘電性液で満たされる加工槽５はサドル４
に設けられている。ワークピース（イラストされていな
い）は、加工槽５中に配置されたテーブル（イラストさ
れていない）に固定されている。ワークピースの近くに
位置決めされる工具電極６は、電極取り付け装置９に取
り付けられる。電極取り付け装置９はＺ軸方向に移動可
能な中空のクイル８の下端に固定されている。材料除去
速度を低下させることなく大きい移動量のジャンプ動作
を行うため、放電加工装置は、重力加速度（１Ｇ）を超
える加速と減速、１０ｍ／ｍｉｎ以上の速度で工具電極
６を精度良く移動することを可能にする。

【００１６】図２中に詳細に示されるように、クイル８
は外形がほぼ正方形の横断面を有する。電極取り付け装
置９および工具電極６は、図３および図４中に示される
ように、クイル８の中心軸ＱＣと同軸に配置されている
ので、工具電極６は精度良く移動できる。列状の永久磁
石片１１と１３とが中心軸ＱＣに関して対称に四角柱状
のクイル８の軸芯に対称な両側壁に移動方向に列状に配
置されている。

【００１７】駆動により送り移動させられるクイル８
は、高い加速を得るため高い剛性を保ちつつクイル８を
軽量化することに注意が払われている。クイル８は、そ
の中心に垂直方向に延びる円筒形の穴８ａを有し、４ｇ
／ｃｍ^３以下の密度を有する。それは、好ましくは、小
さい熱膨張係数と大きなヤング率を有するセラミックス
から成る。特に、３．２ｇ／ｃｍ^３の密度、３．０〜
３．１×１０^６ｋｇｆ／ｃｍ^２のヤング率、４．５〜
５．０ＭＰａ・ｍ^１／２の破壊靭性を有する窒化珪素
（Ｓｉ_３Ｎ_４）セラミックスが選ばれる。

【００１８】セラミックスクイルの製造方法の一例が簡
単に述べられる。まず、酸化アルミニウム（Ａｌ
_２Ｏ_３）、二酸化珪素（ＳｉＯ_２）又は窒化アルミニウ
ム（ＡｌＮ）の焼結助剤が窒化珪素（Ｓｉ_３Ｎ_４）の粒
子に添加される。その混合物は、例えばアイソスタティ
ックプレス法により中空の四角柱へ成形される。その成
形体は、常圧焼結法および雰囲気加圧焼結法によって焼
結される。

【００１９】また、クイル８は、軽金属と４０体積％以
上のセラミックスとの複合材料から成ってもよい。軽金
属は、アルミニウムやマグネシウムおよびそれらの合金
を含む。セラミックスは、炭化珪素（ＳｉＣ）セラミッ
クス、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）セラミックスお
よび窒化珪素（Ｓｉ_３Ｎ_４）セラミックスを含む。

【００２０】また、アルミニウム合金と５５体積％の酸
化アルミニウムセラミックスの複合材料は、２．９５ｇ
／ｃｍ^３の密度、２．０×１０^６ｋｇｆ／ｃｍ^２のヤン
グ率および１０．５ＭＰａ・ｍ^１／２の破壊靭性を有す
る。アルミニウム合金と５５体積％の酸化アルミニウム
セラミックスの複合材料は、３．００ｇ／ｃｍ^３の密
度、２．６５×１０^６ｋｇｆ／ｃｍ^２のヤング率および
１０．０ＭＰａ・ｍ^{１／ ２}の破壊靭性を有する。このよ
うな複合材料は、例えば、溶融した軽金属を７００〜８
００Ｃ°の窒素中でセラミックス焼結体に浸透させるこ
とによって作られる。

【００２１】永久磁石片１１と１３とは、それらの間に
良好な磁気回路を形成するため、鉄のような軟磁性材か
ら成るできるだけ薄い磁石板１２と１４とに配置され
る。クイル８と磁石板との間になんらの部材も設けられ
ていない。イラストされた実施例では、２列の永久磁石
１１が配置された磁石板１２がクイル８の一方の側壁へ
貼り付けられ、２列の永久磁石１３が配置された磁石板
１４がクイル８の他方の側壁へ貼り付けられている。

【００２２】クイル８の垂直の移動を案内するため、２
本のリニアモーションボールベアリングレール２１が互
いに平行にコラム２の前面２ａに取り付けられている。
レール２１に係合する上側および下側ベアリングブロッ
ク２２と２３が、クイル８の後壁に取り付けられてい
る。

【００２３】永久磁石１１と１３に向い合う電機子固定
子１０と１５を支持する枠体７が、コラム２の前面２ａ
にクイル８を囲むように取り付けられている。図２およ
び図４中に示されるように、励磁コイルとヨークから成
る電機子固定子１０と１５が、クイル８の中心軸に関し
て対称となるように板７ｄと７ｅのそれぞれの垂直面に
取り付けられる。板７ｄと７ｅは枠体７の両側壁に形成
された窓７ａと７ｂに嵌め込み固定されている。板７ｄ
と７ｅに積層の珪素鋼板から成るヨーク３１と４１がそ
れぞれ取り付けられ、電気子コイル３２と４２がヨーク
３１と４１のそれぞれの移動方向に並ぶ磁極歯に巻かれ
ている。ヨーク３１と永久磁石１１との隙間と、ヨーク
４１と永久磁石１３との隙間は同じサイズになるよう調
整されている。例えば、これら２つの隙間は、板７ｄと
７ｅに設けられた多数の押しねじと引きねじによって同
じサイズに調整される。その結果、２つのリニアモータ
の移動子と固定子の間に発生する各磁気的な吸引力が相
互に相殺される。

【００２４】工具電極６を取り付けたクイル８は、放電
加工中ジャンプ運動が設定されていると、１Ｇ以上の加
減速で、数１０ｍ／ｍｉｎ以上の高速移動で、上昇と下
降を頻繁に繰り返させられる高負荷作動で、発熱が避け
られず、冷却液が通るいくつかの管３３と４３が、ヨー
ク３１と４１のそれぞれの中に形成された穴に挿入され
ている。

【００２５】そして、この実施例の場合、リニアスケー
ル５１はクイル８の前壁に取り付けられ、クイル８の位
置を読み取るセンサ５２が枠体７の前壁７ｃの内側に設
けられている。リニアモータの駆動装置（図示されてい
ない）はセンサ５２の検出信号を受け取り電機子コイル
３２と４２へ制御信号を供給する。

【００２６】そして、本発明は、クイル８のリニアモー
タによる高応答、高加減速での高速移動を可能とするた
め、１Ｇ以上の加速度で移動を可能とすべくクイル８の
荷重とのつりあいをとるシリンダ６１が設けられる。機
械をコンパクトにするため、この実施例ではシリンダ６
１は中心軸ＱＣと同軸に穴８ａ中に配置され、その上端
はフランジ６４によってクイル８に固定されている。シ
リンダ６１はクイル８の直近に設けられているので、そ
の高い応答性が確保される。ピストンロッド６３は一端
でピストン６２へ接続され、その他端で連結板６５へ接
続されている。水平に延びる連結板６５はコラム２に固
定されている。ピストン６２より上のシリンダ６１内に
形成された上室６１ａの空気圧は精密エアレギュレータ
によって一定値に維持されている。シリンダ６１によ
り、コイル３２と４２に供給される電力はクイル８の静
止中には節約される。

【００２７】そして更に、特に磁性粉塵の浸入を防ぐた
めいくつかの蛇腹がクイル８と枠体７との隙間に設けら
れている。

【００２８】しかして、クイル８を案内する装置やリニ
アスケール５１の位置は、前述図２、図３および図４中
にイラストされた実施例に限定されない。例えば、本発
明の第２の実施の形態である図５中にイラストされるよ
うに、クイル８の垂直な移動を案内し、ラジアルモーシ
ョンを抑制するクロスローラベアリング２３がクイル８
の前壁と枠体７の前壁７ｃの間に追加的に設けられるこ
とが好ましい。この場合、リニアスケール５１がクイル
８の後壁に設けられクイル８の位置を検出するセンサ５
２がコラム２の前面２ａに設けられてもよい。

【００２９】また、本発明の第３の実施の形態である図
６および図７中に示されるように、ヨーク３１と４１
が、板８ｂと８ｃを用いて、クイル８の両側壁に取り付
けられてもよい。この場合、ヨーク３１に向い合う永久
磁石１１が貼り付けられた磁石板１２が、板７ｄを用い
て枠体７に支持される。ヨーク４１に向い合う永久磁石
１３が貼り付けられた磁石板１４は、板７ｅを用いて枠
体７に支持される。冷却管３３と４３から延びる撓みホ
ースや、コイル３２と４２から延びる電力線は、ケーブ
ルキャリア７１と７２へ接続される。なお、この場合、
図７にイラストされているように、ヨーク３１と４１と
はクイル８の上端側に偏奇させて設け、ストローク高さ
を大きくさせないのが良い。

【００３０】図８、図９、図１０、図１１および図１２
を参照して、本発明による放電加工装置の第４の実施の
形態が述べられる。上述の図１、図２、図３、図４、図
５、図６および図７中と同様の要素には、同じ参照番号
が与えられ、その説明が省略される。

【００３１】一列の永久磁石１６と１７がそれぞれ貼り
付けられた磁石板１２と１４が、４角柱状のクイル８の
前壁と後壁にそれぞれ取り付けられている。図１１中に
示されるように、個々の永久磁石１６と１７は、トルク
の脈動を減少させるため、水平方向からわずかに傾いて
磁石板１２と１４に貼り付けられている。クイル８は、
軽量化のため中心軸ＱＣと同軸の４角柱状の穴８ａを有
する。クイル８を案内するリニアクロスローラガイド２
４と２５が、クイル８の両側面と枠体７との間に設けら
れている。図１０中に良く示されるように、クイル８の
荷重のつりあいをとるシリンダ６１は、ヨーク４１が取
り付けられた板７ｅとコラム２との間に、コラム等の固
定部に固定して設けられている。ピストンロッド６３は
連結板６５を用いてクイル８へ接続されている。

【００３２】図１２を参照して、クイル８を駆動する力
が詳細に説明される。図中の参照符号ＧＣＬは、永久磁
石列１６と１７が対称に配置される中心線を示してい
る。永久磁石列１７とヨーク３１との間に発生する推力
ＦＡと永久磁石列１６とヨーク４１との間に発生する推
力ＦＢの合成力ＴＦは、クイルの中心線ＧＣＬに重な
る。リニアクロスローラガイド２４と２５は、それぞれ
の案内面において、その案内力が中心線ＧＣＬに重なる
ように配置されている。したがって、垂直方向以外の力
は、クイル８を案内するリニアクロスローラガイド２４
と２５に作用しない。こうして、軽量のクイル８は、高
い加速で精度良く垂直方向に移動できる。

【００３３】次に、本発明の放電加工装置の適用が有効
な１加工例につき説明する。底面で１．０ｍｍの厚さと
３８ｍｍの幅、各側面で１°の傾きをもつリブ状のグラ
ファイト工具電極を使用してワークピース中に深さ７０
ｍｍの穴を加工した。この時、オンタイムは１００μｓ
ｅｃ、オフタイムは１４０μｓｅｃ、電流波高値は９３
Ａ、平均ギャップ電圧は５５Ｖ、無負荷電圧は１２０
Ｖ、“ジャンプ”速度は、３０ｍ／ｍｉｎ、１サイクル
の“ジャンプ”時間はストローク約５０ｍｍにおいてな
お約０．２４ｓｅｃに設定された。ワークピースの材質
は、日本工業規格のＳＫＤ１１であった。“フラッシン
グ”は行われなかったにもかかわらず、加工速度はほぼ
一定に維持され加工は１３５分で終了した。

【００３４】

【発明の効果】本発明によれば、下方先端に工具電極取
付装置を取り付けたクイルを精度良く垂直方向に高応
答、高加減速で、高速に送り移動させることができ、こ
のため電極ジャンプに際し、熟練を要せず、従って加工
速度を低下させずに、ワークピースから除去された破片
を効果的にギャップから洗い流す電極ジャンプが行なわ
れて、放電加工機の加工性能を格段に向上させられる。

【００３５】本発明を開示されたフォームに限定するこ
とは意図されていない。上述の記述を参照して多くの改
良及びバリエーションが可能であることは明らかであ
る。例えば、クイル８の横断面は、正方形に限定されな
い。それは、例えば、長方形でもよく、図１３中に示さ
れるように互いに平行な２つの垂直面を有する形状であ
れば良い。イラストされた実施例は、発明の本質とその
実用的な応用を説明するために選ばれた。発明の範囲
は、添付の特許請求の範囲によって定義される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の送り装置を搭載し
た形彫放電加工機の全体構成を、要部の一部を透視図と
して示した斜視図。

【図２】同じく、第１の実施の形態のクイルを駆動する
装置を図１のＡ−Ａ線に沿って見た横断平面図。

【図３】同じく、図１のＢ−Ｂ線に沿って見た縦断左側
面図。

【図４】同じく、図１のＣ−Ｃ線に沿って見た縦断正面
図。

【図５】本発明の第２の実施の形態のクイルを駆動する
装置を、前記図２と同様にＡ−Ａ線に沿って見た横断平
面図。

【図６】本発明の第３の実施の形態のクイルを駆動する
装置を、前記図２と同様にＡ−Ａ線に沿って見た横断平
面図。

【図７】同じく、前記図４と同様にＣ−Ｃ線に沿って見
た縦断正面図。

【図８】本発明の第４の実施の形態の送り装置を搭載し
た放電加工機を前記図１と同様に全体構成として示した
斜視図。

【図９】同じく、図２と同様クイルを駆動する装置を図
８のＡ−Ａ線に沿って見た横断平面図。

【図１０】同じく、図８のＢ−Ｂ線に沿って見た縦断左
側面図。

【図１１】同じく、クイルの軸送り機構と駆動する装置
の外形斜視図。

【図１２】図５、または図９と図１０のクイル軸送り機
構において、クイルに作用する推力を示す斜視図。

【図１３】本発明のさらに他の実施の形態のクイルおよ
びその駆動装置を、前記図１または図８のＡ−Ａ線に沿
って見た横断平面図。

【符号の説明】

１ ：ベッド ２ ：コラム ３ ：移動体 ４ ：サドル ５ ：加工槽 ６ ：工具電極 ７ ：枠体 ７ａ、７ｂ：窓 ７ｄ、７ｅ：板 ７ｃ ：前壁 ８ ：クイル ８ａ ：穴 ９ ：電極取付装置 １０、１５：電機子 １１、１３、１６、１７：永久磁石片 １２、１４：磁石板 ２１ ：レール ２２、２３：ベアリングブロック ２４、２５：クロスローラガイド ３１、４１：ヨーク ３２、４２：コイル ３３、４３：冷却管 ５１ ：リニアスケール ５２ ：センサ ６１ ：シリンダ ６２ ：ピストン ６３ ：ピストンロッド ６４ ：フランジ ６５ ：連結板 ７１、７２：ケーブルキャリア

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１３年１１月１６日（２００１．１１．
１６）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】 明細書

【発明の名称】 放電加工装置

【特許請求の範囲】

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、工具電極と導電性
のワークピースの間に放電を発生させつつ工具電極をワ
ークピースへ向けて送ることによって種々の形状の穴を
ワークピース中に形作る放電加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】放電加工装置（Ｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｄｉ
ｓｃｈａｒｇｅ ＭａｃｈｉｎｉｎｇＡｐｐａｒａｔｕ
ｓ）は、硬い導電性のワークピースをモールドやダイへ
精密に加工するために広く使用されている。ワークピー
スは加工槽内に配置されたテーブルに固定され、銅やグ
ラファイトの工具電極は垂直に移動可能なクイルあるい
はラムに工具ホルダを用いて取り付けられる。加工槽は
灯油のような誘電性液で満たされ、工具電極はワークピ
ースに非常に接近して位置決めされる。工具電極とワー
クピースとの隙間はギャップ（放電間隙）と呼ばれ、そ
のサイズは、数μｍから数十μｍである。オンタイムの
間パワーパルスが工具電極とワークピース間に印加され
ると、ギャップ中の誘電性液の絶縁特性が破壊され放電
が発生する。この放電による熱のため、微量のワークピ
ース材料が蒸発するあるいは溶融して誘電性液に流され
る。オンタイムが終了すると、ギャップ中の誘電性液の
絶縁特性を回復するためパワーパルスの印加がオフタイ
ムの間停止される。放電によってクレータ状の微細な穴
がワークピースの表面に残る。放電加工装置は、通常、
オンタイムとオフタイムを１μｓｅｃ〜数１０ｍｓｅｃ
の間で制御してパワーパルスを繰り返しギャップに印加
する。放電加工装置は工具電極をワークピースへ向かっ
てＺ軸に沿って降下させギャップを一定のサイズに維持
する。工具電極はワークピースに接触することなくワー
クピースから微量の材料を除去できるので、良好な粗さ
の面をもつ、形状において工具電極に相補的な窪みが精
度よくワークピース中に形作られる。このような放電加
工装置は、走行するワイヤ電極を使用するワイヤ放電加
工機（Ｗｉｒｅ ＥＤＭ）と区別して、形彫放電加工機
（Ｓｉｎｋｅｒ ＥＤＭ）と呼ばれる。

【０００３】ワークピースから除去された破片をギャッ
プから洗い流すためギャップを経由する誘電性液の流れ
を作り出す“フラッシング”動作が、放電加工には重要
である。フラッシング動作は、ワークピースから除去さ
れた破片と工具電極との間に発生する望ましくない２次
放電を防止しオフタイム中の確実な絶縁の回復に貢献す
る。熟練の作業者は、加工前に、新鮮な誘電性液をギャ
ップへ送り込んだり汚れた誘電性液をギャップから吸引
するための穴を工具電極やワークピース中の適当な位置
に形成する。工具電極のサイズや形状に因りそのような
穴の形成が制限される場合、作業者は誘電性液をギャッ
プへ向けて噴射する噴射装置を適当な位置に配置する。
フラッシングは、より速くより精度良く放電加工を行う
ための鍵であるけれども、ギャップのすべてにわたって
均一な流れを作り出すためには熟練が必要となる。

【０００４】工具電極を周期的にＺ軸に沿って急速に上
昇させ急速に下降させてギャップ中の汚れた誘電性液の
ほとんどをワークピース中の窪みから追い出す、“ジャ
ンプ”と呼ばれる動作が知られている。ジャンプ動作
中、従来、工具電極は数百ｍｍ／ｍｉｎの速度で移動す
る。工具電極の往復距離が大きければ、より多くの新鮮
な液がギャップへ流れ込みより多くの汚れた液がギャッ
プから排出される。少なくともワークピース中に加工さ
れている穴の深さ以上に工具電極を上昇させることが望
ましい。しかしながら、ジャンプ動作中は加工が中断し
ワークピースから材料の除去が行われないため、過度に
頻繁なジャンプ動作は材料除去速度を低下させてしま
う。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、材料
除去速度を低下させることなく、ワークピースから除去
された破片を効果的にギャップから洗い流すことのでき
る放電加工装置を提供することである。また、本発明の
別の目的は、高い熟練を必要とすることなく、ワークピ
ースから除去された破片を効果的にギャップから洗い流
すことのできる放電加工装置を提供することである。そ
して、前述の目的を達成するために本発明は、工具電極
の送りを、高応答、高加減速で、高速度に精度良く行な
い得る送り装置を備えた放電加工装置を提供することに
ある。さらに、その他の本発明の目的は、以下に続く説
明の中に部分的に述べられ、発明を実践することによ
り、当業者に部分的に明らかになるであろう。

【０００６】しかして、本発明者等は、上記目的を達す
るための形彫り放電加工機用の送り機構として、駆動源
にリニアモータを使用した図１乃至図４、及び図５に示
す送り機構を、平成１０年１１月１７日付け出願の平成
１０年特許願第３２７，３１６号として先に提案した。
そして、本発明は、この先発明の改良に係り、その構成
等は多く符合しているので、以下その構成、作動、及び
問題点等につき上記図を参照して説明する。

【０００７】図１乃至図４は、上記先発明の第１の実施
の形態の説明図で、図１は第１の実施の形態の送り装置
を搭載した形彫放電加工機の全体構成を、要部の一部を
透視図として示した斜視図、図２は、クイルを駆動する
装置を図１のＡ−Ａ線に沿って見た横断平面図、図３
は、同じく図１のＢ−Ｂ線に沿って見た縦断左側面図、
また図４は、同じく図１のＣ−Ｃ線に沿って見た縦断正
面図である。

【０００８】図１中にイラストされているように、コラ
ム２はベッド１の背後に配置され、移動体３がＹ軸の方
向に摺動可能にベッド１に設けられている。サドル４は
Ｙ軸に直交するＸ軸の方向に摺動可能に移動体３に設け
られている。誘電性液で満たされる加工槽５はサドル４
に設けられている。ワークピース（イラストされていな
い）は、加工槽５中に配置されたテーブル（イラストさ
れていない）に固定されている。ワークピースの近くに
位置決めされる工具電極６は、電極取り付け装置９に取
り付けられる。電極取り付け装置９はＺ軸方向に移動可
能な中空のクイル８の下端に固定されている。材料除去
速度を低下させることなく大きい移動量のジャンプ動作
を行うため、放電加工装置は、重力加速度（１Ｇ）を超
える加速と減速、１０ｍ／ｍｉｎ以上の速度で工具電極
６を精度良く移動することを可能にする。

【０００９】図２中に詳細に示されるように、クイル８
は外形がほぼ正方形の横断面を有する。電極取り付け装
置９および工具電極６は、図３および図４中に示される
ように、クイル８の中心軸ＱＣと同軸に配置されている
ので、工具電極６は精度良く移動できる。列状の永久磁
石片１１と１３とが中心軸ＱＣに関して対称に四角柱状
のクイル８の軸芯に対称な両側壁に移動方向に列状に配
置されている。

【００１０】駆動により送り移動させられるクイル８
は、高い加速を得るため高い剛性を保ちつつクイル８を
軽量化することに注意が払われている。クイル８は、そ
の中心に垂直方向に延びる円筒形の穴８ａを有し、４ｇ
／ｃｍ^３以下の密度を有する。それは、好ましくは、小
さい熱膨張係数と大きなヤング率を有するセラミックス
から成る。セラミックスとしては、Ａｌ_２Ｏ_３等の酸化
物系のものの外に、非酸化物系のＳｉＣ、特に、３．２
ｇ／ｃｍ^３の密度、３．０〜３．１×１０^６ｋｇｆ／ｃ
ｍ^２のヤング率、４．５〜５．０ＭＰａ・ｍ^１／２の破
壊靭性を有する窒化珪素（Ｓｉ_３Ｎ_４）セラミックスが
選ばれる。

【００１１】永久磁石片１１と１３とは、それらの間に
良好な磁気回路を形成するため、鉄のような軟磁性材か
ら成るできるだけ薄い磁石板１２と１４とに配置され
る。クイル８と磁石板との間になんらの部材も設けられ
ていない。イラストされた実施例では、２列の永久磁石
１１が配置された磁石板１２がクイル８の一方の側壁へ
貼り付けられ、２列の永久磁石１３が配置された磁石板
１４がクイル８の他方の側壁へ貼り付けられている。

【００１２】クイル８の垂直の移動を直線に案内するた
め、２本のリニアモーションボールベアリングレール２
１が互いに平行にコラム２の前面２ａに取り付けられて
いる。レール２１に係合する上側および下側ベアリング
ブロック２２と２３が、クイル８の後壁に取り付けられ
ている。

【００１３】永久磁石１１と１３に向い合う電機子固定
子１０と１５を支持する枠体７が、コラム２の前面２ａ
にクイル８を囲むように取り付けられている。図２およ
び図４中に示されるように、励磁コイルとヨークから成
る電機子固定子１０と１５が、クイル８の中心軸に関し
て対称となるように板７ｄと７ｅのそれぞれの垂直面に
取り付けられる。板７ｄと７ｅは枠体７の両側壁に形成
された窓７ａと７ｂに嵌め込み固定されている。板７ｄ
と７ｅに積層の珪素鋼板から成るヨーク３１と４１がそ
れぞれ取り付けられ、電機子コイル３２と４２がヨーク
３１と４１のそれぞれの移動方向に並ぶ磁極歯に巻かれ
ている。ヨーク３１と永久磁石１１との隙間と、ヨーク
４１と永久磁石１３との隙間は同じサイズになるよう調
整されている。例えば、これら２つの隙間は、板７ｄと
７ｅに設けられた多数の押しねじと引きねじによって同
じサイズに調整される。その結果、２つのリニアモータ
の移動子と固定子の間に発生する各磁気的な吸引力が相
互に相殺される。

【００１４】工具電極６を取り付けたクイル８は、放電
加工中ジャンプ運動が設定されていると、１Ｇ以上の加
減速で、数１０ｍ／ｍｉｎ以上の高速移動で、上昇と下
降を頻繁に繰り返させられる高負荷作動で、発熱が避け
られず、冷却液が通るいくつかの管３３と４３が、ヨー
ク３１と４１のそれぞれの中に形成された穴に挿入され
ている。

【００１５】そして、この実施例の場合、リニアスケー
ル５１はクイル８の前壁に取り付けられ、クイル８の位
置を読み取るセンサ５２が枠体７の前壁７ｃの内側に設
けられている。リニアモータの駆動装置（図示されてい
ない）はセンサ５２の検出信号を受け取り電機子コイル
３２と４２へ制御信号を供給する。

【００１６】そして、この先発明のものは、クイル８の
リニアモータによる高応答、高加減速での高速移動を可
能とするため、１Ｇ以上の加速度で移動を可能とすべく
クイル８の荷重とのつりあいをとるシリンダ６１がエア
バランサとして設けられる。機械をコンパクトにするた
め、この実施例ではシリンダ６１は中心軸ＱＣと同軸に
穴８ａ中に配置され、その上端はフランジ６４によって
クイル８に固定されている。シリンダ６１はクイル８の
直近に設けられているので、その高い応答性が確保され
る。ピストンロッド６３は一端でピストン６２へ接続さ
れ、その他端で連結板６５へ接続されている。水平に延
びる連結板６５はコラム２に固定されている。ピストン
６２より上のシリンダ６１内に形成された上室６１ａの
空気圧は精密エアレギュレータによって一定値に維持さ
れている。シリンダ６１により、コイル３２と４２に供
給される電力はクイル８の静止中には節約される。

【００１７】そして更に、特に磁性粉塵の浸入を防ぐた
めいくつかの蛇腹がクイル８と枠体７との隙間に設けら
れている。

【００１８】しかして、クイル８を案内する装置やリニ
アスケール５１の位置は、前述図２、図３および図４中
にイラストされた実施例に限定されない。例えば、後述
する先発明の第2の実施の形態である図５中にイラスト
されるように、クイル８の垂直な移動を案内し、ラジア
ルモーションを抑制するクロスローラベアリング２３が
クイル８の前壁と枠体７の前壁７ｃの間に追加的に設け
られることが好ましい。この場合、リニアスケール５１
がクイル８の後壁に設けられクイル８の位置を検出する
センサ５２がコラム２の前面２ａに設けられてもよい。

【００１９】以上のように、前述図１〜４の先発明のも
のは、そのリニアモータの配置構成やエアバランサの付
設等により、例えば特開平５ー１０４，３３２号公報や
同８−３０９，６２０号公報などに記載された公知の、
リニアモータ使用の放電加工機の欠点を或る程度克服で
きたとしても、電極６、取付装置９、リニアモータの移
動子、及び、直線案内などを取り付けたクイル８を含む
軸送り移動部がコラム２及び枠体７の大きさ及び剛性に
対し、或る程度大型及び/又は高重量になると、直線案
内装置２１，２２へのラジアル荷重を含む負荷が著増
し、駆動により発熱し、高い加速と減速での高応答及び
バランスのよいスムーズな高速移動を実現することは、
実際上困難なものであった。従って、本発明はかかる先
発明の欠点を解決しようとするものである。

【００２０】

【課題を解決するための手段】前述の本発明の目的は、
（１）ワークピースと工具電極との間に放電を発生させ
ながら工具電極をワークピースへ向けて垂直方向に移動
させることによってワークピースを加工する放電加工装
置において、垂直方向に移動可能にコラム前部に保持さ
れたクイルと、該クイル下端に設けられた工具電極が取
り付けられる電極取付装置と、前記クイルの軸芯に関し
て対称な背向する両側面に取り付けられたリニアモータ
の各移動子と、該リニアモータの各移動子のそれぞれに
向かい合うように、クイル保持の固定部に設けられるリ
ニアモータの各固定子と、前記リニアモータの移動子を
取り付けたクイルの両側面に交叉する両側面と該両側面
に向かい合うクイル保持の固定部とに夫々取り付けられ
た垂直方向の直線案内装置と、前記クイルの荷重と釣り
合いを取るエアシリダと、前記移動子と固定子とからな
るリニアモータは、永久磁石を列状に配置した磁石版
と、ヨークとヨークに巻かれたコイルを含む電機子との
組み合わせから成り、前記電機子には冷却液が流通する
冷却管が設けられている放電加工装置とすることにより
達成される。

【００２１】また、前述の本発明の目的は、（２）前記
クイルは、その中心に垂直方向に延びる穴を有し、全体
として中空の柱状体に構成されている前記（１）に記載
の放電加工装置とすることにより達成される。

【００２２】また、前述の本発明の目的は、（３）前記
エアシリンダが前記クイルの穴に挿設した状態でクイル
に連結されており、ピストンロッドがコラムに連結され
てクイルをコラムに保持させて成る前記（２）に記載の
放電加工装置とすることにより達成される。

【００２３】また、前述の本発明の目的は、（４）前記
１組の直線案内装置が、リニアクロスローラガイドであ
って、前記リニアモータが設けられたクイル両側面と直
交する両側面部に設けられて成る前記（１）、（２）、
または（３）に記載の放電加工装置とすることにより達
成される。

【００２４】また、前述の本発明の目的は、（５）前記
クイルが、密度４g／ｃｍ^３以下のセラミックスから製
作された前記（１）、（２）、（３）または（４）に記
載の放電加工装置とすることにより達成される。

【００２５】また、前述の本発明の目的は、（６）前記
クイルの垂直方向の直線移動位置を検出するように、ク
イルとコラムまたは枠体に取り付けられたリニアスケー
ルとセンサからなる直線位置検出装置と、該検出装置の
検出フィードバック信号を受け電機子コイルへ制御信号
を出力する駆動装置とを備えて成る前記（１）、
（２）、（３）、（４）または（５）に記載の放電加工
装置とすることにより達成される。

【００２６】

【発明の実施の形態】図６、図７、図８、図９、および
図１０を参照して、本発明による放電加工装置の実施の
形態が述べられる。本発明の実施例を示す図６は前述図
１に、図７は前述図２に、また図８は前述図３と図４に
夫々対応して、夫々互いに同様な要素、構成からなり、
また、図９及び図１０も同様な要素から成るものである
ので、図中の同様の要素には、同じ参照番号が与えら
れ、その説明が省略される。

【００２７】一列の永久磁石１６と１７がそれぞれ貼り
付けられた磁石板１２と１４が、４角柱状のクイル８の
前壁と後壁にそれぞれ取り付けられている。図９及び図
１０中に示されるように、個々の永久磁石１６と１７
は、トルクの脈動を減少させるため、水平方向からわず
かに傾いて磁石板１２と１４に貼り付けられている。ク
イル８は、軽量化のため中心軸ＱＣと同軸の４角柱状の
穴８ａを有する。クイル８を案内するリニアクロスロー
ラガイド２４と２５が、図６及び図７から明らかなよう
に、クイル８のリニアモータを設けた背向する両側面と
交叉する両側面と枠体７との間に垂直方向に沿って設け
られている。また、図８中に良く示されるように、クイ
ル８の荷重のつりあいをとるシリンダ６１は、ヨーク４
１が取り付けられた板７ｅとコラム２との間に、コラム
等の固定部に固定して設けられている。ピストンロッド
６３は連結板６５を用いてクイル８へ接続されている。

【００２８】図１０を参照して、クイル８を駆動する力
が詳細に説明される。図中の参照符号ＧＣＬは、永久磁
石列１６と１７が対称に配置される中心線を示してい
る。永久磁石列１７とヨーク３１との間に発生する推力
ＦＡと永久磁石列１６とヨーク４１との間に発生する推
力ＦＢの合成力ＴＦは、クイルの中心線ＧＣＬに重な
る。リニアクロスローラガイド２４と２５は、それぞれ
の案内面において、その案内力が中心線ＧＣＬに重なる
ように配置されている。したがって、垂直方向以外の力
は、クイル８を案内するリニアクロスローラガイド２４
と２５に作用しない。こうして、クイル８は、大型電極
６等の負荷により、大型及び／又は或る程度偏荷重で高
重量となっても、高い加速で精度良く垂直方向に移動で
きる。

【００２９】次に、本発明の放電加工装置の適用が有効
な１加工例につき説明する。底面で１．０ｍｍの厚さと
３８ｍｍの幅、各側面で１°の傾きをもつリブ状のグラ
ファイト工具電極を使用してワークピース中に深さ７０
ｍｍの穴を加工した。この時、オンタイムは１００μｓ
ｅｃ、オフタイムは１４０μｓｅｃ、電流波高値は９３
Ａ、平均ギャップ電圧は５５Ｖ、無負荷電圧は１２０
Ｖ、“ジャンプ”速度は、３０ｍ／ｍｉｎ、１サイクル
の“ジャンプ”時間はストローク約５０ｍｍにおいてな
お約０．２４ｓｅｃに設定された。ワークピースの材質
は、日本工業規格のＳＫＤ１１であった。“フラッシン
グ”は行われなかったにもかかわらず、加工速度はほぼ
一定に維持され加工は１３５分で終了した。

【００３０】

【発明の効果】本発明によれば、下方先端に工具電極取
付装置を取り付けたクイルを精度良く垂直方向に高応
答、高加減速で、高速に送り移動させることができ、こ
のため電極ジャンプに際し、熟練を要せず、従って加工
速度を低下させずに、ワークピースから除去された破片
を効果的にギャップから洗い流す電極ジャンプが行なわ
れて、放電加工機の加工性能を格段に向上させられる。

【００３１】本発明を開示されたフォームに限定するこ
とは意図されていない。上述の記述を参照して多くの改
良及びバリエーションが可能であることは明らかであ
る。例えば、クイル８の横断面は、正方形に限定されな
い。それは、例えば、長方形でもよく、図２中に示され
るように円形状であっても良い。イラストされた実施例
は、発明の本質とその実用的な応用を説明するために選
ばれた。発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によって
定義される。

【図面の簡単な説明】

【図１】先に提案した発明の実施の形態の送り装置を搭
載した形彫放電加工機の全体構成を、要部の一部を透視
図として示した斜視図。

【図２】同じく、図１の実施の形態のクイルを駆動する
装置を図１のＡ−Ａ線に沿って見た横断平面図。

【図３】同じく、図１のＢ−Ｂ線に沿って見た縦断左側
面図。

【図４】同じく、図１のＣ−Ｃ線に沿って見た縦断正面
図。

【図５】図１の実施の形態のクイルを駆動する装置の付
加変更例を、前記図２と同様にＡ−Ａ線に沿って見た横
断平面図。

【図６】本発明の実施の形態の送り装置を搭載した放電
加工機を前記図１と同様に全体構成として示した斜視
図。

【図７】同じく、図２と同様クイルを駆動する装置を図
６のＡ−Ａ線に沿って見た横断平面図。

【図８】同じく、図６のＢ−Ｂ線に沿って見た縦断左側
面図。

【図９】同じく、クイルの軸送り機構と駆動する装置の
外形斜視図。

【図１０】図５、または図６乃至図９のクイル軸送り機
構において、クイルに作用する推力を示す斜視図。

【符号の説明】 １ ：ベッド ２ ：コラム ３ ：移動体 ４ ：サドル ５ ：加工槽 ６ ：工具電極 ７ ：枠体 ７ａ、７ｂ：窓 ７ｄ、７ｅ：板 ７ｃ ：前壁 ８ ：クイル ８ａ ：穴 ９ ：電極取付装置 １０、１５：電機子 １１、１３、１６、１７：永久磁石片 １２、１４：磁石板 ２１ ：レール ２２、２３：ベアリングブロック ２４、２５：クロスローラガイド ３１、４１：ヨーク ３２、４２：コイル ３３、４３：冷却管 ５１ ：リニアスケール ５２ ：センサ ６１ ：シリンダ ６２ ：ピストン ６３ ：ピストンロッド ６４ ：フランジ ６５ ：連結板

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【図２】

【図５】

【図６】

【図３】

【図４】

【図７】

【図８】

【図９】

【図１０】

フロントページの続き (31)優先権主張番号 特願平11−57209 (32)優先日 平成11年３月４日(1999．3．4) (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (72)発明者 関 陽一 石川県加賀市宮町カ１−１株式会社ソディ ック加賀事業所内 Ｆターム(参考） 3C059 AA01 AB01 DE04

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークピースと工具電極との間に放電を
   発生させながら工具電極をワークピースへ向けて垂直方
   向に移動させることによってワークピースを加工する放
   電加工装置において、 垂直方向に移動可能なクイルと、 該クイル下端に設けられた工具電極が取り付けられる電
   極取付装置と、 前記クイルの軸芯に関して対称な両側面に取り付けられ
   たリニアモータの各移動子と、 該リニアモータの各移動子のそれぞれに向かい合うよう
   に設けられるリニアモータの各固定子と、 前記クイルの側面でクイルを垂直方向に案内する１組の
   直線案内装置と、 前記クイルの荷重と釣り合いを取るエアシリンダと、 前記移動子と固定子とからなるリニアモータは、永久磁
   石を列状に配置した磁石板と、ヨークとヨークに巻かれ
   たコイルを含む電機子との組み合わせから成り、 前記電機子には冷却液が流通する冷却管が設けられてい
   ることを特徴とする放電加工装置。
2. 【請求項２】 前記クイルは、その中心に垂直方向に延
   びる穴を有し、全体として中空の柱状体に構成されてい
   ることを特徴とする前記請求項１に記載の放電加工装
   置。
3. 【請求項３】 前記エアシリンダが前記クイルの穴に挿
   設した状態でクイルに連結されており、ピストンロッド
   がコラムに連結されてクイルをコラムに保持させて成る
   ことを特徴とする前記請求項２に記載の放電加工装置。
4. 【請求項４】 前記エアシリンダに精密レギュレータか
   ら所定の制御された圧力気体が供給されるように構成さ
   れて成ることを特徴とする前記請求項１、２または３に
   記載の放電加工装置。
5. 【請求項５】 前記クイルが、コラム前面に取り付けら
   れた枠体により垂直方向移動可能に取り囲み保持され、
   前記１組の直線案内装置がコラム前面とクイルの後壁面
   間に、リニアモータがクイル両側面と枠体の両側壁とに
   設けられて成ることを特徴とする前記請求項１、２、３
   または４に記載の放電加工装置。
6. 【請求項６】 前記１組の直線案内装置が、前記リニア
   モータが設けられたクイル両側面と直交する両側面部に
   設けられて成ることを特徴とする前記請求項１、２、３
   または４に記載の放電加工装置。
7. 【請求項７】 前記クイルが、密度４ｇ／ｃｍ^３以下の
   セラミックスまたは軽合金から製作されたものであるこ
   とを特徴とする前記請求項１、２、３、４、５または６
   に記載の放電加工装置。
8. 【請求項８】 前記クイルの垂直方向の直線移動位置を
   検出するように、クイルとコラムまたは枠体に取り付け
   られたリニアスケールとセンサからなる直線位置検出装
   置と、該検出装置の検出フィードバック信号を受け電機
   子コイルへ制御信号を出力する駆動装置とを備えて成る
   ことを特徴とする前記請求項１、２、３、４、５、６ま
   たは７に記載の放電加工装置。