KR100537870B1

KR100537870B1 - 컨택트 시트, 그 제조 방법, 그리고 그것을 구비한 소켓

Info

Publication number: KR100537870B1
Application number: KR10-2003-0097309A
Authority: KR
Inventors: 오치아이도시마사
Original assignee: 니뽄 가이시 가부시키가이샤
Priority date: 2002-12-27
Filing date: 2003-12-26
Publication date: 2005-12-21
Also published as: TW200414631A; US20040127073A1; TWI225721B; KR20040060789A; CN1275354C; JP2004221052A; US6926536B2; JP4213559B2; US20050223554A1; CN1512636A; US7263771B2

Abstract

전자 디바이스의 전극이 좁은 피치로 되어 있어도, 전극에 접촉하는 컨택트의 변위량을 확실하게 확보할 수 있는 동시에, 전기 저항을 작게 할 수 있다. 컨택트(8)는 복수의 전자 디바이스 사이에 설치됨으로써 복수의 전자 디바이스의 전극간을 도통시킨다. 복수의 관통 구멍(2)이 정렬 상태로 형성된 절연성 베이스 시트(1)와, 베이스 시트(1)에서의 각 관통 구멍(2)의 주위에 고정부(12)가 고정된 상태로 이 고정부(12)에 연달아 설치되어 있는 가동부(14)로부터 접촉부(13)가 탄성을 가진 외팔보로 되어 상기 관통 구멍(2) 부분에서 세워짐으로써, 전극간을 도통시키는 전도성 컨택트(11)로 이루어 지며, 고정부(12) 및 관통 구멍(2)에 할당되는 영역이 전극의 배열에 의해 구성되는 격자의 단위 격자 면적을 초과하는 면적으로 되어 있고, 가동부(14)는 관통 구멍(2)의 전 길이에 걸친 길이로 되어 있다.

Description

컨택트 시트, 그 제조 방법, 그리고 그것을 구비한 소켓{CONTACT SHEET, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND SOCKET INCLUDING THE SAME}

본 발명은 전극이 주변 또는 격자형으로 배열되어 형성되어 있는 집적회로, 배선기판, 케이블 등의 복수의 전자 디바이스를 서로 전기적으로 접속하기 위해서 이용되는 컨택트 시트와 그 제조 방법 및 컨택트 시트를 이용한 소켓에 관한 것이다.

컨택트 시트는 전류 경로의 단축화나 전기 저항의 저감화를 행하기 위해서, 집적회로나 배선기판 등의 전자 디바이스 사이에 개재하여 전자 디바이스 사이의 전극을 접속하도록 사용되고 있다. 이러한 컨택트 시트는 베이스 시트에 도전성 컨택트가 패키지 주변 또는 격자형으로 배치되어 구성되어 있다. 통상, 컨택트는 베이스 시트에 유지된 상태로 되어 있다. 또한, 전극과 접촉하는 컨택트의 접촉부는 스프링성이 부여되어 베이스 시트의 상하로 돌출되어 있고, 돌출된 단부가 전자 디바이스의 전극과 탄성적으로 접촉하여 전기적인 접속을 행하도록 되어 있다.

그런데, 최근의 고밀도·다핀화에 의해 전자 디바이스의 전극이 좁은 피치로 되어 있지만, 이 경우에도 안정된 전기적 접속을 얻기 위한 요건(변위, 하중)을 확보할 필요가 있다. 이 필요성에 대하여 종래에서는, 컨택트를 단순히 상사형(相似形)으로 함으로써 대응하고 있다.

그러나, 이 종래의 방법에서는, 컨택트(접촉부)가 짧아지고, 이것에 따라 전극과의 접촉시의 변위량도 작아지기 때문에, 전자 디바이스가 휘는 것을 흡수할 수 없다. 또한, 변위량을 확보하기 위해서 판의 폭을 희생하여 컨택트 길이를 확보하거나 판 두께를 얇게 하면, 스프링 하중이 작아지면서 저항도 커지기 때문에, 전극과의 전기적 접속을 충분히 확보할 수 없게 된다.

이러한 것으로부터, 종래에는, 컨택트의 양단부를 베이스 시트에 끼워 지지하는 동시에, 컨택트에 있어서의 전극과의 접촉부를 나선 형상으로 성형하고, 이 접촉부를 베이스 시트의 상하 방향으로 연장한 구조가 개발되어 있다(특허 문헌 1 참조).

또한, 양단이 베이스 시트에 끼워짐으로써 지지된 컨택트에 대하여, 중간 부분을 상하 방향으로 비틀어서 베이스 시트의 상하로 돌출하는 접촉부로 한 구조도 개발되어 있다(특허 문헌 2 참조).

[특허 문헌 1]

미국 특허 제5297967호 명세서

[특허 문헌 2]

미국 특허 제6328573B1호 명세서

그러나, 특허 문헌 1의 컨택트 시트에서는, 컨택트의 접촉부의 변위량을 확보할 수 있기 때문에, 전자 디바이스가 휘는 것을 흡수할 수 있는 반면, 도체 저항이 커지는 동시에 전극으로의 접촉 하중이 작아진다. 이 때문에, 전체적으로 전기 저항이 커지고, 고속화 및 인덕턴스의 저감화가 어려운 문제를 갖고 있다.

또한, 특허 문헌 2의 컨택트 시트와 같이, 접촉부를 비틀어도 변위량을 많게 할 수 없는 것에 덧붙여, 전극으로의 접촉 하중을 크게 할 수 없으며, 전기 저항이 불안정해지는 등의 어려운 문제가 있다.

본 발명은 이러한 종래의 문제점을 고려하여 이루어진 것으로, 컨택트의 변위량을, 보다 큰 전극 피치와 동일하게 확실하게 확보할 수 있는 동시에, 전기 저항을 작게 할 수 있고, 이에 따라, 전극의 피치가 좁아지는 것에 충분히 대응시킬 수 있는 컨택트 시트와 그 제조 방법 및 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 1의 발명의 컨택트 시트는, 복수의 전자 디바이스 사이에 설치됨으로써 복수의 전자 디바이스의 전극간을 도통시키는 컨택트 시트로서, 복수의 관통 구멍이 정렬 상태로 형성된 절연성 베이스 시트와, 베이스 시트에서의 각 관통 구멍 주위에 고정부가 고정되는 동시에 고정부에 가동부가 연달아 설치되어 있고, 이 가동부로부터 접촉부가 탄성을 가진 외팔보로 되어 상기 관통 구멍 부분에서 상기 베이스 시트의 한쪽 면으로부터 돌출한 후, 다른 쪽 면으로부터 세워짐으로써 형성되는 상기 전극간을 도통시키는 복수의 컨택트로 이루어지며, 상기 고정부 및 관통 구멍에 할당되는 영역이 상기 전극의 배열에 의해 구성되는 격자의 단위 격자 면적을 초과하는 면적으로 되어 있고, 상기 가동부는 상기 관통 구멍의 전 길이에 걸친 길이로 되어 있으며, 또한 상기 복수의 컨택트의 각 고정부는 2장의 상기 베이스 시트의 사이에 끼인 내측의 거의 동일 평면내에 위치하도록 상기 베이스 시트의 각각에 접착되어 있는 것을 특징으로 한다.

이 청구항 1의 발명에 있어서는, 고정부에 연달아 설치되어 있는 가동부로부터 탄성적으로 세워지는 접촉부가 전자 디바이스의 전극에 접촉함으로써, 전자 디바이스와의 도통을 행할 수 있다.

본 발명에서는, 컨택트의 고정부 및 베이스 시트의 관통 구멍을 합한 영역이 전자 디바이스의 전극 배열에 의해 구성되는 격자의 단위 격자 면적보다도 크게 되어 있음으로써, 관통 구멍을 크게 할 수 있고, 접촉부를 형성하기 위한 가동부가 이 관통 구멍의 전 길이에 걸친 길이로 되어 있기 때문에, 접촉부를 길게 할 수 있으며, 접촉부의 변위량(휨량)을 확보할 수 있다. 이에 따라, 전극의 피치가 좁아도, 양호하게 휘어 전자 디바이스가 휘는 것을 흡수할 수 있고, 전자 디바이스의 전극에 확실하게 접촉할 수 있다.

또한, 고정부 및 관통 구멍을 합한 영역이 단위 격자 면적보다도 크게 되어 있음으로써, 고정부를 크게 할 수 있기 때문에, 고정부에 지지되는 접촉부에 큰 탄성을 부여할 수 있다. 따라서, 전자 디바이스의 전극에 대한 접촉부의 접촉 하중을 크게 할 수 있기 때문에, 전기 저항을 작게 할 수 있고, 고속화 및 인덕턴스의 저감화에 대응할 수 있다.

청구항 2의 발명은 청구항 1에 기재한 컨택트 시트로서, 상기 고정부 및 관통 구멍에 할당되는 영역이 전극의 배열에 의해 구성되는 격자의 단위 격자 면적의 정수 배의 면적으로 되어 있는 것을 특징으로 한다.

이와 같이, 고정부 및 관통 구멍에 할당되는 영역을 단위 격자 면적의 정수 배의 면적으로 함으로써, 전자 디바이스의 전극에 양호하게 대응시키는 것이 가능해진다.

청구항 3, 청구항 4의 발명은 청구항 1 또는 2 기재의 컨택트 시트로서, 하나의 상기 관통 구멍 안에 폭 방향으로 인접하여 2개 이상의 상기 컨택트를 배치한 것을 특징으로 한다.

이와 같이 컨택트의 폭 방향에 있는 2개의 구멍을 하나로 통합함으로써, 연결 부분이 없어지는 분만큼 컨택트의 폭을 넓힐 수 있고, 스프링 하중을 크게 할 수 있으며, 보다 안정한 전기적 접속을 얻을 수 있다.

청구항 5의 발명은 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 기재한 컨택트 시트 2장을 각각 표리 반전시켜 서로 접합함으로써 구성한 것을 특징으로 한다.

본 발명에서는, 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 기재한 발명의 작용에 덧붙여, 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항의 컨택트 시트 2장을 각각 표리 반전하여 접합함으로써, 접촉부의 길이가 2배가 되기 때문에, 추가로 피치가 좁아지거나 복수의 전자 디바이스의 간격이 넓은 경우에도 충분한 변위량을 확보할 수 있고, 전자 디바이스의 전극간을 확실하게 도통시키는 것이 가능해진다.

청구항 6 발명의 컨택트 시트의 제조 방법은 복수의 전자 디바이스 사이에 설치됨으로써 복수의 전자 디바이스의 전극간을 도통시키는 컨택트 시트의 제조 방법으로서, 상기 전극의 수보다도 적은 관통 구멍이 정렬 상태로 형성된 절연성 베이스 시트에 대하여, 상기 관통 구멍을 합한 영역이 상기 전극의 배열에 의해 구성되는 격자의 단위 격자 면적을 초과하는 면적으로 되는 고정부와, 상기 관통 구멍의 전 길이에 걸친 길이를 가지며 고정부로부터 연달아 설치되어 있는 가동부를 갖는 도전성 컨택트를 형성하고, 상기 고정부를 각 관통 구멍 주위에 위치하도록 접합한 상태로 상기 가동부를 굽힘 가공함으로써 한쪽 면으로부터 돌출한 후, 다른 쪽 면으로부터 탄성을 갖고 세워지는 접촉부를 형성한 후, 상기 접촉부가 전자 디바이스의 전극에 대응하면서 동일한 측에 위치하도록 복수의 상기 베이스 시트를 어긋나게 하여 접합하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에서는, 베이스 시트의 관통 구멍의 크기와 합한 고정부의 영역을 단위 격자 면적보다도 크게 하면서 가동부를 상기 관통 구멍의 전 길이에 걸친 길이로 형성함으로써, 전극의 좁은 피치에 대응하면서 접촉부를 길게 할 수 있다. 이에 따라, 접촉부의 변위량을 확보하는 동시에, 전자 디바이스의 전극에 대한 접촉 하중을 크게 하여 전기 저항을 작게 한 컨택트 시트를 제조할 수 있다.

청구항 7의 발명의 컨택트 시트의 제조 방법은 청구항 6의 컨택트 시트 2장을 각각 표리 반전시켜 서로 접합함으로써 제작한 것을 특징으로 한다.

본 발명에서는, 청구항 6의 발명의 작용에 덧붙여, 청구항 6의 컨택트 시트 2장을 각각 표리 반전하여 접합함으로써, 접촉부의 길이가 2배가 되기 때문에, 추가로 피치가 좁아지거나, 복수의 전자 디바이스의 간격이 넓은 경우에도 충분한 변위량을 확보할 수 있고, 전자 디바이스의 전극간을 확실하게 도통시키는 것이 가능해진다.

청구항 8의 발명의 컨택트 시트의 제조 방법은 복수의 전자 디바이스 사이에 설치됨으로써 복수의 전자 디바이스의 전극간을 도통시키는 컨택트 시트의 제조 방법으로서, 상기 전극의 수보다도 적은 관통 구멍을 절연성 베이스 시트에 대하여 정렬 상태로 형성하는 공정과, 상기 관통 구멍을 합한 영역이 상기 전극의 배열에 의해 구성되는 격자의 단위 격자 면적을 초과하는 면적으로 되는 고정부가 상기 관통 구멍 각각의 주위에 대응시켜 복수 개 형성되는 동시에, 상기 관통 구멍의 전 길이에 걸친 길이의 가동부가 상기 고정부의 각각에 연달아 설치되도록 도전성의 금속 시트를 가공하는 공정과, 상기 고정부가 관통 구멍 주위에 위치하면서 상기 가동부가 관통 구멍을 향하도록 금속 시트와 베이스 시트를 접합한 상태로 상기 가동부를 굽힘 가공함으로써 한쪽 면으로부터 돌출한 후, 다른 쪽 면으로부터 탄성을 가지며 세워지는 접촉부를 형성하는 동시에, 고정부 및 접촉부를 단위로 한 각 컨택트로 분리하여 절단 피스로 하는 공정과, 상기 접촉부가 전자 디바이스의 전극에 대응하면서 동일한 측에 위치하도록 복수의 절단 피스를 어긋나게 하여 상기 전극에 대응한 수의 관통 구멍을 가진 다른 절연성 베이스 시트로 이루어지는 지지 시트에 접합하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에서는, 금속 시트에 대하여, 베이스 시트의 관통 구멍을 합한 영역이 격자의 단위 격자 면적을 초과하는 면적으로 되는 고정부를 형성함으로써, 접촉부가 좁은 피치에 대응 가능한 피치로 되는 동시에 접촉부를 길게 할 수 있다. 그리고, 이 접촉부를 세운 절단 피스를 어긋나게 하여 접합함으로써, 접촉부가 양호한 변위량을 가지면서 작은 전기 저항으로 전극에 접촉하는 것이 가능한 컨택트 시트를 제조할 수 있다.

청구항 9의 발명의 컨택트 시트의 제조 방법은 청구항 8에 있어서의 절단 피스를 어긋나게 하여 접합하는 공정 후, 이 접합 시트를 표리 반전시켜 서로 접합하는 공정을 더 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명에서는, 청구항 8 발명의 작용에 덧붙여, 접합 시트를 표리 반전시켜 접합함으로써, 접촉부가 표리 양면으로부터 돌출한 상태가 되기 때문에, 복수의 전자 디바이스 사이에서 전자 디바이스의 전극간을 확실하게 도통시키는 것이 가능해진다.

청구항 10, 청구항 11의 발명의 소켓은 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 기재한 컨택트 시트가 프레임내에 유지되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 소켓에서는, 변위량을 확보한 컨택트의 접촉부를 갖고 있기 때문에, 좁은 피치로 되어 있는 전자 디바이스의 전극에 확실하게 접촉할 수 있다.

본 발명의 컨택트 시트는 베이스 시트와 컨택트에 의해 구성된다. 베이스 시트로서는, 절연성 재료가 이용되고, 실리콘 고무, 합성 고무, 폴리이미드수지 등의 내열성 수지가 선택된다. 이 중, 가공성, 내구성 등의 관점에서는 폴리이미드수지가 양호하다. 이 베이스 시트의 두께는 10∼100㎛의 범위에서 적절하게 선택되고, 특히 25∼75㎛의 범위가 적합하다.

이것은 10㎛ 이하는 천공이나 취급이 곤란하고, 100㎛ 이상에서는 천공후의 남은 폭이 판 두께보다 작아져서 좁은 전극 피치에 대응할 수 없기 때문인 동시에, 특히 25∼75㎛은 표준품으로서 입수할 수 있어서 저렴하게 제작할 수 있기 때문이다.

컨택트는 베이스 시트에 고정되는 고정부와, 고정부에 연달아 설치되어 있는 가동부와, 가동부로부터 부분적으로 세워져 전자 디바이스의 전극과 접촉하여 도통을 행하는 접촉부에 의해 구성되어 있다. 이 경우, 접촉부는 가동부로부터 탄성을 가진 상태로 외팔보로 되어 세워져 있다. 컨택트의 재료로서는 도전성 재료가 이용되고, 예컨대, 베릴륨구리, 니켈베릴륨 등의 스프링성, 내피로성을 가진 재료가 선택된다. 또한, 컨택트의 두께는 5∼100㎛의 범위에서 적절하게 선택되는 것으로, 특히, 15∼85㎛이 양호하다.

이것은, 5㎛ 이하는 가공·취급이 곤란하고, 100㎛ 이상에서는 에칭에 의한 미세 가공을 할 수 없게 되어서, 좁은 전극 피치에 대응할 수 없기 때문인 동시에, 특히, 15㎛ 이하에서는 도통에 필요한 최저한의 스프링 하중을 확보할 수 없고, 85 ㎛이상에서는 스프링의 변위를 취할 수 없게 되어 하중도 대폭 높아지기 때문에 스프링으로서 적합하지 않은 것에 의한다.

이하, 본 발명을 도시하는 실시 형태에 의해 구체적으로 설명한다.

[제1 실시 형태]

도 1 내지 도 6은 본 발명의 제1 실시 형태를 제조 공정순으로 나타내고, 도 1은 베이스 시트의 가공 공정을, 도 2 및 도 3은 하나의 접합 시트를, 도 4는 다른 접합 시트를, 도 5는 제작되는 컨택트 시트를, 도 6은 접합 시트끼리의 접합 공정을 나타낸다.

베이스 시트(1)는 폴리이미드 필름으로 이루어지고, 도 1에 도시한 바와 같이, 베이스 시트(1)에는 복수의 관통 구멍(2)이 정렬 상태로 형성되어 있다. 이 관통 구멍(2) 및 후술하는 컨택트(11)의 고정부(12)에 할당되는 영역은 전자 디바이스의 전극(도시 생략)의 배열에 의해 형성되는 격자의 단위 격자 면적을 초과하는 면적으로 되도록 설정된다. 즉, 관통 구멍(2) 및 고정부(12)를 합한 면적이 단위 격자의 면적보다도 커지도록 설정되는 것이다.

도 1에 있어서, 부호 3은 전자 디바이스의 전극의 중심점을 나타내고 있고, 이 중심점(3)의 배열이 전자 디바이스의 전극의 배열이 되는 것이다. 전술한 단위 격자(4)는 최소수의 중심점(3)에 의해 구성되는 평면 형상에 의해 구성되는 것이다. 도시하는 형태에서는, 중심점(3)이 4개의 각부에 위치한 사각형이 최소 단위로 되어 있고, 이 최소 단위의 격자가 단위 격자(4)로 되어 있다. 관통 구멍(2) 및 고정부(12)에 할당되는 영역[즉, 관통 구멍(2) 및 고정부(12)를 합한 면적]은 이 단위 격자(4)의 면적 이상이 되도록 설정된다.

이 실시 형태에서는, 이 영역을 단위 격자(4)의 2배의 면적이 되도록 설정하는 것이다. 즉, 도 1에 있어서 경사 해칭으로 나타낸 영역(5)이 관통 구멍(2) 및 고정부(12)에 할당되는 영역이 된다. 관통 구멍(2)은 폭 방향이 1단위 격자(1피치), 길이가 2단위 격자(2피치)로 된 가로로 긴 직사각형이 되도록 형성되어 있다. 관통 구멍(2)의 형성에 앞서 베이스 시트(1)의 한 면에 대하여, 접착제를 5∼40㎛ 두께로 코팅하여 접착제층을 적층한다. 이 경우, 접착제로서는, 에폭시계, 이미드계, 아미드계, 그 밖의 내열성인 것을 사용할 수 있다.

접착제의 코팅 후에, 베이스 시트(1)를 펀칭함으로써, 복수의 관통 구멍(2)을 정렬 상태가 되도록 동시에 형성한다. 또, 관통 구멍(2)의 형성은 레이저광의 조사, 감광 필름을 이용한 에칭, 그 밖의 수단에 의해서도 행할 수 있다. 또한, 관통 구멍(2)을 형성한 후에, 접착제를 코팅하여 접착제층을 형성하여도 좋다. 또한, 관통 구멍(2)으로서는, 전술한 조건을 가지고 있으면 좋고, 삼각형, 정사각형, 다각형, 타원형, 그 밖의 형상으로 성형할 수 있다.

한편, 컨택트(11)는 금속 시트를 원재료로 하여 제작되는 것으로, 금속 시트에 대하여, 에칭 혹은 프레스를 행함으로써, 고정부(12) 및 가동부(14; 도 3 참조)를 가진 컨택트(11)가 제작된다. 이 제작 단계에 있어서, 인접하고 있는 컨택트(11)는 서로 연결되어 있고, 이에 따라, 이 단계에서는 컨택트(11)가 연속된 시트형으로 되어 있다. 이 금속 시트를 도 1에 도시하는 베이스 시트(1)에 접착한다. 접착은 베이스 시트(1)의 접착제층 형성면에 금속 시트를 중첩시켜 열 압착함으로써 행할 수 있다.

또, 고정부(12)는 전술한 관통 구멍(2)과의 상관 관계에 의해 그 면적이 설정되는 것이다. 즉, 관통 구멍(2) 및 고정부(12)에 할당되는 영역이 단위 격자(4)의 면적을 초과하는 면적이 되도록, 고정부(12)의 크기가 설정되는 것이다. 또한, 가동부(14)는 관통 구멍(2)의 전 길이에 걸친 길이가 되도록 형성되는 것이다. 이 가동부(14)를 부분적으로 굽힘 가공함으로써 접촉부(13)가 형성된다.

도 2는 베이스 시트(1)의 하면에 대하여, 금속 시트(A)를 접착한 상태를 도시한다. 금속 시트는 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 고정부(12)가 관통 구멍(2) 주위에 접합됨으로써, 가동부(14)가 관통 구멍(2)의 면내를 향한다. 접착에 있어서는, 도 2의 접착 상태에 덧붙여 금속 시트가 베이스 시트(1)의 상면에 위치하도록 접착하는 것이 행해진다(도 4 참조). 즉, 이 실시 형태에서는, 베이스 시트(1)의 하면에 금속 시트를 접착한 도 3에 도시하는 접합 시트(6) 및 베이스 시트(1)의 상면에 금속 시트를 접착한 도 4에 도시하는 접합 시트(7)의 2종류의 접착 시트가 제작된다.

다음에, 각각의 접합 시트(6, 7)에 대하여, 프레스를 행한다. 이 프레스에 의해 고정부(12) 및 가동부(14)를 단위로 한 컨택트(11)가 각각 독립하도록 분리된다. 또한, 각각의 컨택트(11)에 있어서의 접촉부(13)를 가동부(14)로부터 탄성적으로 세운다. 접촉부(13)의 굽힘 가공은, 도 6의 (a)에 도시한 바와 같이 가동부(14)로부터 탄성을 가진 외팔보로 되어 관통 구멍(2) 부분에서, 베이스 시트(1)의 한쪽 면(1a)으로부터 돌출한 후, 다른 쪽 면(1b)으로부터 세워지도록 행해진다. 이에 따라, 도 3 및 도 4에 도시하는 접합 시트(6, 7)가 제작된다. 접합 시트(6, 7)에 있어서의 세우는 것은 컨택트 시트의 접착면이 베이스 시트(1)의 상하면인가에 관계없이, 모든 접합 시트(6, 7)에 있어서 접촉부(13)가 동일 방향에 위치하도록 행해진다.

도 3에서의 접합 시트(6)에 있어서는, 컨택트(11)의 고정부(12)가 베이스 시트(1)의 하면에 고정되고, 도 4에 도시하는 접합 시트(7)에 있어서는, 고정부(12)가 상면에 고정되어 있다. 이들 접합 시트(6, 7)에 있어서, 접촉부(13)는 가동부(14)로부터 약 45° 각도로 경사 방향으로 세워져 있다. 접촉부(13)가 세워지는 방향의 선단측은 자유단으로 되어 있고, 이에 따라 접촉부(13)는 가동부(14)로부터 외팔보로 되어 연달아 설치되어 있다.

이 실시 형태에 있어서, 각 컨택트(11)에 있어서의 고정부(12)는 관통 구멍(2)의 일측 단부를 따라 コ자형으로 형성되어 있고, 접촉부(13)는 관통 구멍(2)의 내부에서 세워져 있다. 이 접촉부(13)는 길이 방향의 절결홈(13a)이 형성됨으로써 분리된 한 쌍의 다리부(13b, 13b)를 갖고 있고, 각각의 다리부(13b, 13b)의 선단 부분에 호형으로 만곡된 접촉 부분(13c, 13c)이 형성되어 있다. 하나의 컨택트(11)에 있어서의 접촉 부분(13c, 13c)은 쌍을 이루어 전자 디바이스의 전극에 접촉하도록 되어 있다.

다음에, 접합 시트(6, 7)를 어긋나게 하여 접합함으로써 도 5에 도시하는 컨택트 시트(8)를 제작한다. 이 경우, 도 6에 도시한 바와 같이, 접합 시트(7)는 고정부(12)가 베이스 시트(1)의 상면에 위치하고, 접합 시트(6)는 고정부(12)가 베이스 시트(1)의 하면에 위치하고 있으며, 접합 시트(7)에 대하여 접합 시트(6)를 상측으로부터 씌우도록 하여 중첩시킨다[도 6의 (a)]. 중첩시에는 접합 시트(7)의 각 컨택트(11)에 있어서의 접촉부(13)가 접착 시트(40)의 관통 구멍(41) 및 접합 시트(6)의 관통 구멍(2)을 관통하게 함으로써, 2개의 접합 시트(6, 7)의 접촉부(13)가 동일한 방향으로 돌출한 상태로 된다[도 6의 (b)]. 또한, 접촉부(13)가 전자 디바이스의 전극에 대응한 위치가 되도록 접합 시트(6, 7)의 위치를 어긋나게 한다. 또한, 2개의 접합 시트(6, 7)의 접합에 있어서는, 도 6의 (a)에 도시한 바와 같이, 전극에 대응하여 관통 구멍(41)이 형성된 접착 시트(40)를 이용하여 행함으로써, 확실하고 강고한 접합이 가능해진다.

이와 같이 제작된 컨택트 시트(8)에서는, 도 6의 (b)에 도시한 바와 같이, 접합 시트(6, 7)에 있어서의 각 고정부(12)는 2장의 베이스 시트(1) 사이에 끼인 내측의 거의 동일 평면(A)내에 위치하도록 베이스 시트(1)의 각각에 접착되어 있다. 또한, 접합 시트(6, 7)의 접촉부(13)가 각각 동일한 측으로 돌출되어 있기 때문에, 복수의 전자 디바이스의 전극에 남김없이 접촉할 수 있다.

이 실시 형태에 의해 제작된 컨택트 시트(8)에서는, 컨택트(11)의 고정부(12) 및 베이스 시트(1)의 관통 구멍(2)을 합한 영역이 단위 격자(4)의 면적보다도 크게 되어 있기 때문에, 관통 구멍(2)이 커지게 되고, 이 관통 구멍(2)의 전 길이에 걸친 길이로 되도록 가동부(14)를 길게 할 수 있다. 따라서, 가동부(14)를 굽힘 가공함으로써 형성되는 접촉부(13)도 길어진다. 이에 따라, 전자 디바이스의 전극이 좁은 피치로 되어 있어도, 접촉부(13)가 양호하게 휠 수 있기 때문에, 전자 디바이스가 휘는 등의 변형을 흡수하는 것이 가능해진다.

또한, 관통 구멍(2)에 관련하여 고정부(12)를 크게 할 수 있고, 외팔보 상태로 가동부(14)에 지지되는 접촉부(13)에 큰 탄성을 부여할 수 있다.

이 때문에, 접촉부(13)가 전자 디바이스의 전극에 대하여 큰 접촉 하중으로 접촉할 수 있어, 전기 저항이 작아진다.

또, 이 실시 형태에서는, 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 컨택트(11)의 길이 방향이 전자 디바이스의 전극(접점 3)의 배열과 동일한 방향으로 되어 있지만, 전극(중심점 3)을 비스듬하게(26∼45°) 연결하는 방향을 따라 배치하여도 좋다. 또한, 도 7에 도시한 바와 같이, 컨택트(11)의 길이 방향이 교대로 역방향이 되도록 설계할 수도 있다.

이 실시 형태에서는, 이상에 의해 제작된 도 5에 도시하는 컨택트 시트(8)를 표리 반전하여 서로 접합함으로써 도 8에 도시하는 컨택트 시트(50)를 제작할 수 있다. 이 때, 컨택트 시트(8)는 원료 소재로서의 접합 시트를 구성하고 있다. 접합에 있어서는, 도 6의 (a)에 도시하는 관통 구멍(41)과 동일한 관통 구멍이 형성된 접착 시트(40)를 통해 행할 수 있다. 이 컨택트 시트(50)는 상하 양방향에 접촉부(13)가 돌출하여 그 접촉부(13)의 길이가 2배로 되어 있다.

이와 같이 상하 양방으로부터 접촉부(13)가 돌출하고 있는 컨택트 시트를 2개의 전자 디바이스 사이에 삽입하여 사용한다. 이 삽입에 의해 접촉부(13)가 2개의 전자 디바이스의 전극에 접촉하기 때문에, 추가로 피치가 좁아지거나 복수의 전자 디바이스의 간격이 넓은 경우에도 충분한 변위를 확보할 수 있어, 2개의 전자 디바이스의 도통을 꾀하는 것이 가능해진다.

도 9는 이 실시 형태의 컨택트 시트를 이용한 소켓(30)을 도시한다. 소켓(30)은 컨택트 시트(8)와, 컨택트 시트(8)를 내부에 부착한 프레임(31)을 갖고 있다. 프레임(31)은 ABS수지, 폴리프로필렌, PEFK수지, PBT수지, PES수지 등의 수지 혹은 철계, 알루미늄계, 스테인레스계 등의 금속에 의해 평면 직사각형 혹은 정사각형으로 형성되어 있고, 접합 시트(8)를 긴장 상태로 유지하도록 작용한다. 컨택트 시트(8)를 프레임(31)에 부착하는 것은 접착, 끼워 넣기 혹은 컨택트 시트(8)를 금형내에 삽입한 상태에서의 사출 성형 등의 적절한 수단에 의해 행할 수 있다. 이러한 소켓(30)에서는, 프레임(31)에 의해 강도가 부여되고 있기 때문에, 실장이 용이하여 반복 사용에 견디는 것이 가능해진다.

(제2 실시 형태)

도 10 내지 도 14는 본 발명의 제2 실시 형태에 있어서의 컨택트 시트를 제조 공정순으로 도시하고 있다.

이 실시 형태에서는, 도 10의 해칭 영역(5)에 도시하는 바와 같이, 베이스 시트(1)에 정렬형으로 형성되는 관통 구멍(2)을 전자 디바이스의 전극(중심점 3)에 의해 구성되는 격자의 단위 격자(4)의 4배의 길이가 되도록 설정하고 있다. 또, 관통 구멍(2)의 폭은 단위 격자(4)의 1단위에 일치하고 있는 것이다. 관통 구멍(2)의 형성은 펀칭, 레이저 조사, 감광성 필름을 이용한 에칭 등에 의해 행할 수 있다. 또한, 베이스 시트(1)의 한 면에는 접착제층이 코팅되지만, 이 코팅은 관통 구멍(2)의 형성 전 또는 형성 후에 행할 수 있다.

한편, 금속 시트를 프레스 혹은 에칭에 의해 가공함으로써, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 복수의 컨택트가 서로 연결된 금속 시트를 제작한다. 이 금속 시트에서는, 관통 구멍(2)을 합한 영역이 전술한 단위 격자(4)의 4배 안에 들도록 고정부가 형성된다. 또한, 가동부(14)는 관통 구멍(2)의 전 길이에 걸친 길이로 되어 고정부에 연달아 설치되어 있다.

도 11은 이상에 의해 형성된 금속 시트를 절연성 베이스 시트(1)의 하면에 중첩시켜 열 압착에 의해 접합한 상태를 도시한다.

다음에, 베이스 시트(1) 및 금속 시트의 접합체로서의 접합 시트(15; 도 11 참조)에 대하여, 프레스를 행한다. 이 프레스에 의해 컨택트(11)가 개개로 독립하도록 분리하는 동시에, 각각의 컨택트(11)에 있어서의 접촉부(13)를 가동부(14)로부터 탄성적으로 세운다. 이 실시 형태에 있어서의 세우는 것은 도 12에 도시한 바와 같이, 접촉부(13)가 거의 직립 상태가 되도록 행한다.

이와 같이 세운 후, 접촉부(13)의 열에 일치하도록 하여 접합 시트(15)의 절단을 행한다. 도 13은 절단에 의해 제작된 절단 피스(16)를 나타낸다. 이 절단 피스(16)에 있어서는, 접합 시트(15)에서의 고정부의 고정 부분만을 남기는 것으로, 이 때문에 접합 시트(15)의 잔존 부분은 빗살형의 피스부(17)로 되어 있다. 각 컨택트(11)는 고정부가 피스부(17)의 하면에 접합된 상태로 접촉부(13)가 거의 직립형으로 세워져 있다.

다음에, 이상의 절단 피스(16)를 전자 디바이스의 전극에 대응한 수의 관통 구멍을 가진 다른 절연성 베이스 시트로 이루어지는 지지 시트(도시 생략)에 배열하여 접합함으로써, 이 실시 형태의 컨택트 시트(18)를 제작한다. 이 제작에 있어서는, 지지 시트의 상면에 접착제층을 형성한 후, 절단 피스(16)를 일렬로 배열하여 피스부(17)를 상기 지지 시트에 열 압착한다. 이 경우, 인접하는 피스부(17)는 서로 평행한 상태가 되도록 배열되고, 이에 따라 접촉부(13)가 정렬 상태로 상기 지지 시트로부터 기립한다. 또한, 컨택트(11)의 고정부는 지지 시트와 피스부(17)에 의해 끼워져 고정되고, 접촉부(13)는 외팔보로 되어 기립하고 있다.

따라서, 이러한 실시 형태에 있어서도, 접촉부(13)를 길게 할 수 있으므로, 전자 디바이스의 전극이 좁은 피치로 되어 있어도, 변위량을 확보할 수 있고, 전자 디바이스가 휘는 등의 변형을 흡수하는 것이 가능해진다. 또한, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 고정부를 크게 할 수 있기 때문에, 접촉부(13)가 큰 접촉 하중으로 전자 디바이스의 전극과 접촉할 수 있고, 전기 저항을 안정시킬 수 있다.

이 실시 형태에 있어서도, 이상에 의해 제작된 도 14에 도시하는 컨택트 시트(18)를 표리 반전하여 서로 접합할 수 있고, 이에 따라, 상하 양방향에 대하여 접촉부(13)가 돌출하고 있는 컨택트 시트(도시 생략)를 제작할 수 있다(도 8 참조). 이 때, 컨택트 시트(18)는 원료 소재로서의 접합 시트를 구성하고 있다. 이러한 구조의 컨택트 시트에서는, 2개의 전자 디바이스 사이에 삽입함으로써 접촉부(13)가 2개의 전자 디바이스의 전극에 접촉하기 때문에, 2개의 전자 디바이스의 도통을 꾀하는 것이 가능해진다.

또, 이 실시 형태에 있어서도 제1 실시 형태와 마찬가지로, 컨택트 시트(18)를 프레임에 유지시킴으로써 소켓을 제작할 수 있다.

(제3 실시 형태)

도 15 내지 도 18은 본 발명의 제3 실시 형태에 있어서의 컨택트 시트를 제조 공정순으로 도시하고 있다.

이 실시 형태에서는, 도 15에 도시한 바와 같이 전자 디바이스의 전극(중심점 3)에 의해 구성되는 격자의 단위 격자(4)에 대하여, 관통 구멍(2)을 4단위 격자분 크기의 정사각형으로 하는 것이다. 또한, 정사각형의 관통 구멍(2)에 있어서의 한 변은 2단위 격자의 치수로 하고 있다. 또, 격자가 정사각형이 아닌 경우는 관통 구멍은 직사각형이어도 좋다. 이러한 치수로 함으로써, 관통 구멍(2)의 형성을 용이하게 행하는 것이 가능해지는 동시에, 컨택트의 면적(폭)을 늘려서 스프링 하중을 높일 수 있다.

도 16은 금속 시트를 가공하여 컨택트(21)를 형성한 후, 베이스 시트(1)에 접합한 상태를 도시한다. 컨택트(21)는 고정부(도시생략) 및 고정부로부터 연달아 설치한 가동부(22)를 가지며, 고정부가 베이스 시트(1)의 관통 구멍(2) 주위 또는 한 변에 고정된다. 이것에 대하여, 가동부(22)는 관통 구멍의 전 길이에 걸친 길이를 가지며 형성된다. 또한, 이 실시 형태에서는, 하나의 관통 구멍(2)에 대하여 2개의 컨택트(21)가 배치되도록 되어 있고, 따라서, 도 16에 도시한 바와 같이, 2개의 가동부(22)가 하나의 관통 구멍(2)내에 위치하고 있다.

도 17은 도 16의 상태로부터 각 컨택트(21)가 독립되도록 분리시키는 동시에, 각각의 컨택트(21)의 가동부(22)를 C자형이 되도록 만곡시킴으로써 접촉부(23)를 형성한 접합 시트(25)를 도시한다. 이상의 도 15에서 도 17까지의 공정에 있어서는, 제1 실시 형태와 동일한 처리에 의해 행할 수 있다.

도 18은 2개의 접합 시트(25)를 중첩하여 접합시킨 상태를 도시한다. 2개의 접합 시트(25)는 접촉부(23)가 동일한 방향으로 돌출하는 동시에, 각각의 접촉부(23)가 전자 디바이스의 전극과 대응하도록 위치를 어긋나게 한 후 접합되며, 이 접합에 의해 이 실시 형태의 컨택트 시트(27)가 제작된다. 이러한 접합에 의해 하나의 관통 구멍(2)에 대하여, 2행 2열의 합계 4개의 컨택트(21)를 배치할 수 있다. 또, 도 18의 공정은 제1 실시 형태와 동일하게 하여 행할 수 있다.

이러한 실시 형태에서는, 제1 실시 형태와 동일한 작용 및 효과를 갖고 있지만, 관통 구멍(2)을 4단위 격자분으로 하고, 추가로 정사각형의 광폭으로 하고 있기 때문에, 관통 구멍(2)의 형성이 용이해지는 동시에, 접합 시트(25)의 중첩 및 어긋남이 용이해진다. 또한, 연결 부분이 없어지는 분만큼 각 컨택트(21)의 폭을 넓힐 수 있는 동시에, 스프링 하중도 크게 할 수 있고, 이에 따라 보다 안정한 전기적 접속을 얻을 수 있다.

또한, 이 실시 형태에 있어서도, 도 18에 도시하는 컨택트 시트(27)를 표리 반전하여 서로 접합하여, 상하 양방향에 대하여 접촉부(23)가 돌출하고 있는 컨택트 시트(도시 생략)를 제작할 수 있고, 이에 따라, 접촉부(23)가 2개의 전자 디바이스의 전극에 접촉하여, 2개의 전자 디바이스의 도통을 꾀하는 컨택트 시트로 할 수 있다.

또한, 이 실시 형태에 있어서도, 시트(25)를 프레임내에 설치함으로써 소켓을 제작하여도 좋다.

청구항 1의 발명에 따르면, 관통 구멍을 크게 하는 것이 가능함으로써, 접촉부를 길게 할 수 있으므로, 접촉부의 변위량(휨량)을 확보할 수 있고, 전극의 피치가 좁아도, 전자 디바이스가 휘는 것을 흡수할 수 있다.

또한, 접촉부에 큰 탄성을 부여할 수 있으므로, 전자 디바이스의 전극에 대한 접촉부의 접촉 하중을 크게 하여 전기 저항을 작게 할 수 있다.

청구항 2의 발명에 따르면, 청구항 1 발명의 효과에 덧붙여 고정부 및 관통 구멍에 할당되는 영역이 단위 격자 면적의 정수 배의 면적으로 되어 있기 때문에, 전자 디바이스의 전극에 양호하게 대응시키는 것이 가능해진다.

청구항 3, 청구항 4의 발명에 따르면, 청구항 1 또는 청구항 2에 기재한 발명의 효과에 덧붙여 컨택트의 폭을 넓힐 수 있는 동시에, 스프링 하중도 크게 할 수 있고, 이에 따라 보다 안정한 전기적 접속을 얻을 수 있다. 또, 천공 공정수도 저감할 수 있고, 나아가서는 비용의 절감화도 꾀할 수 있다.

청구항 5의 발명에 따르면, 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항의 발명의 효과에 덧붙여 추가로 큰 변위를 취할 수 있고, 보다 피치가 좁은 복수의 전자 디바이스 사이에서 전자 디바이스 전극간을 확실하게 도통시키는 것이 가능해진다.

청구항 6의 발명에 따르면, 전극의 좁은 피치에 대응하면서 접촉부를 길게 할 수 있고, 접촉부의 변위량을 확보할 수 있는 동시에, 전자 디바이스의 전극에 대한 접촉 하중을 크게 하여 전기 저항을 작게 한 컨택트 시트를 제조할 수 있다.

청구항 7의 발명에 따르면, 청구항 6의 발명의 효과에 덧붙여 추가로 큰 변위를 취할 수 있고, 보다 피치가 좁은 복수의 전자 디바이스 사이에서 전자 디바이스의 전극간을 확실하게 도통시키는 것이 가능해진다.

청구항 8의 발명에 따르면, 접촉부가 한층 더 좁은 피치에 대응 가능한 피치가 되는 동시에 길어지고, 접촉부가 양호한 변위량을 가지면서 작은 전기 저항으로 전극에 접촉하는 것이 가능한 컨택트 시트를 제조할 수 있다.

청구항 9의 발명에 따르면, 청구항 8의 발명의 효과에 덧붙여 추가로 큰 변위를 취할 수 있고, 보다 피치가 좁은 복수의 전자 디바이스 사이에서 전자 디바이스의 전극간을 확실하게 도통시키는 것이 가능해진다.

청구항 10, 청구항 11의 발명에 따르면, 컨택트 시트가 프레임에 유지되어 있기 때문에, 실장이 용이하고 반복 사용에 견디는 것이 가능해진다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태의 베이스 시트로의 가공을 도시한 사시도.

도 2는 베이스 시트와 금속 시트를 접합한 상태를 도시한 사시도.

도 3은 하나의 접합 시트를 도시한 사시도.

도 4는 다른 접합 시트를 도시한 사시도.

도 5는 제1 실시 형태에 의해 제작된 컨택트 시트의 사시도.

도 6은 제1 실시 형태에 있어서의 접합 시트끼리의 접합 공정을 나타내는 도면으로서, (a)는 접합전의 상태를, (b)는 접합후의 상태를 나타내는 도면.

도 7은 제1 실시 형태의 변형예로서의 컨택트 시트의 주요부 사시도.

도 8은 제1 실시 형태의 다른 변형예로서의 컨택트 시트의 측단면도.

도 9는 본 발명의 실시 형태의 소켓을 도시한 사시도.

도 10은 본 발명의 제2 실시 형태의 베이스 시트로의 가공을 도시한 사시도.

도 11은 제2 실시 형태의 컨택트의 가공을 도시한 사시도.

도 12는 제2 실시 형태의 컨택트를 세운 상태를 도시한 사시도.

도 13은 제2 실시 형태에 이용하는 절단 피스의 사시도.

도 14는 제2 실시 형태의 컨택트 시트를 도시한 사시도.

도 15는 본 발명의 제3 실시 형태의 베이스 시트로의 가공을 도시한 사시도.

도 16은 제3 실시 형태의 베이스 시트와 금속 시트를 접합한 상태를 도시한 사시도.

도 17은 제3 실시 형태의 컨택트를 세운 상태를 도시한 사시도.

도 18은 제3 실시 형태의 컨택트 시트를 도시한 사시도.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

1 : 베이스 시트(지지 시트)

2 : 관통 구멍

4 : 단위 격자

6 : 접합 시트

7 : 접합 시트

8 : 컨택트 시트(접합 시트)

11, 21 : 컨택트

12 : 고정부

13, 23 : 접촉부

14, 22 : 가동부

16 : 절단 피스

18 : 컨택트 시트(접합 시트)

25 : 접합 시트

27 : 컨택트 시트

30 : 소켓

31 : 프레임

A : 금속 시트

Claims

복수의 전자 디바이스 사이에 설치됨으로써 복수의 전자 디바이스의 전극간을 도통시키는 컨택트 시트로서,

복수의 관통 구멍이 정렬 상태로 형성된 절연성 베이스 시트와,

베이스 시트에 있어서의 각 관통 구멍 주위에 고정부가 고정되는 동시에 고정부에 가동부가 연달아 설치되어 있고, 이 가동부로부터 접촉부가 탄성을 가진 외팔보로 되어 상기 관통 구멍 부분에서 상기 베이스 시트의 한쪽 면으로부터 돌출한 후, 다른 쪽 면으로부터 세워짐으로써 형성되는 상기 전극간을 도통시키는 복수의 컨택트

로 이루어지며, 상기 고정부 및 관통 구멍에 할당되는 영역이 상기 전극의 배열에 의해 구성되는 격자의 단위 격자 면적을 초과하는 면적으로 되어 있고, 상기 가동부는 상기 관통 구멍의 전 길이에 걸친 길이로 되어 있으면서 상기 복수의 컨택트의 각 고정부는 2장의 베이스 시트 사이에 끼인 내측의 거의 동일 평면내에 위치하도록 상기 베이스 시트의 각각에 접착되어 있는 것을 특징으로 하는 컨택트 시트.
제1항에 있어서, 상기 고정부 및 관통 구멍에 할당되는 영역은 전극의 배열에 의해 구성되는 격자의 단위 격자 면적의 정수 배의 면적으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 컨택트 시트.
제1항에 있어서, 하나의 상기 관통 구멍 안에 폭 방향으로 인접하여 2개 이상의 상기 컨택트를 배치한 것을 특징으로 하는 컨택트 시트.
제2항에 있어서, 하나의 상기 관통 구멍 안에 폭 방향으로 인접하여 2개 이상의 상기 컨택트를 배치한 것을 특징으로 하는 컨택트 시트.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재한 컨택트 시트 2장을 각각 표리 반전시켜 서로 접합함으로써 구성한 것을 특징으로 하는 컨택트 시트.
복수의 전자 디바이스 사이에 설치됨으로써 복수의 전자 디바이스의 전극간을 도통시키는 컨택트 시트의 제조 방법으로서,

상기 전극의 수보다도 적은 관통 구멍이 정렬 상태로 형성된 절연성 베이스 시트에 대하여, 상기 관통 구멍을 합한 영역이 상기 전극의 배열에 의해 구성되는 격자의 단위 격자 면적을 초과하는 면적으로 되는 고정부와, 상기 관통 구멍의 전 길이에 걸친 길이를 가지며 고정부로부터 연달아 설치되어 있는 가동부를 갖는 도전성 컨택트를 형성하고, 상기 고정부를 각 관통 구멍 주위에 위치하도록 접합한 상태로 상기 가동부를 굽힘 가공함으로써 한쪽 면으로부터 돌출한 후, 다른 쪽 면으로부터 탄성을 가지며 세워지는 접촉부를 형성한 후, 상기 접촉부가 전자 디바이스의 전극에 대응하면서 동일한 측에 위치하도록 복수의 상기 베이스 시트를 어긋나게 하여 접합하는 것을 특징으로 하는 컨택트 시트의 제조 방법.
제6항의 컨택트 시트 2장을 각각 표리 반전시켜 서로 접합함으로써 제작한 것을 특징으로 하는 컨택트 시트의 제조 방법.
복수의 전자 디바이스 사이에 설치됨으로써 복수의 전자 디바이스의 전극간을 도통시키는 컨택트 시트의 제조 방법으로서,

상기 전극의 수보다도 적은 관통 구멍을 절연성 베이스 시트에 대하여 정렬 상태로 형성하는 동시에, 상기 전극에 대응한 수의 관통 구멍을 다른 절연성 베이스 시트에 대하여 정렬 상태로 형성하는 공정과,

상기 관통 구멍을 합한 영역이 상기 전극의 배열에 의해 구성되는 격자의 단위 격자 면적을 초과하는 면적으로 되는 고정부가 상기 관통 구멍 각각의 주위에 대응시켜 복수 개 형성되는 동시에, 상기 관통 구멍의 전 길이에 걸친 길이의 가동부가 상기 고정부의 각각에 연달아 설치되도록 도전성의 금속 시트를 가공하는 공정과,

상기 고정부가 관통 구멍 주위에 위치하면서 상기 가동부가 관통 구멍을 향하도록 금속 시트와 베이스 시트를 접합한 상태로 상기 가동부를 굽힘 가공함으로써 한쪽 면으로부터 돌출한 후, 다른 쪽 면으로부터 탄성을 갖고 세워지는 접촉부를 형성하는 동시에, 고정부 및 접촉부를 단위로 한 각 컨택트로 분리하여 절단 피스로 하는 공정과,

상기 접촉부가 전자 디바이스의 전극에 대응하면서 동일한 측에 위치하도록 복수의 절단 피스를 어긋나게 하여 상기 전극에 대응한 수의 관통 구멍을 가진 다른 절연성 베이스 시트로 이루어지는 지지 시트에 접합하는 공정

을 포함하는 것을 특징으로 하는 컨택트 시트의 제조 방법.
제8항에 있어서, 절단 피스를 어긋나게 하여 접합하는 공정 후, 이 접합 시트를 표리 반전하여 서로 접합하는 공정을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 컨택트 시트의 제조 방법.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재한 컨택트 시트가 프레임내에 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 소켓.
제5항에 기재한 컨택트 시트가 프레임내에 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 소켓.