KR100512805B1 - 레이저 가공장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 편향거울에 의해 편향된 레이저광을 피가공물상에 집광하기 위한 주사렌즈를 구비하고, 상기 편향거울과 상기 주사렌즈를 사용함으로써 편향영역내의 복수의 위치에 레이저광을 조사하여 가공을 행하는 레이저 가공장치에 있어서,상기 편향영역내의 복수의 다른 측정위치에 조사되는 레이저광의 에너지를 측정하는 에너지 측정수단, 및상기 에너지 측정수단에 의하여 측정된 측정치에 기초하여 상기 주사렌즈의 오염을 검지하기 위한 검지수단을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
- 제1항에 있어서, 에너지 측정수단은, 피가공물을 배치하고 이동하는 구동 테이블에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
- 제1항에 있어서, 각 측정위치에서의 측정치를 사전에 설정된 허용치와 비교하는 비교수단을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
- 제3항에 있어서, 측정치와 사전에 설정된 허용치를 기저로 하여 알람출력을 인출하는 알람 발생수단을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
- 제1항에 있어서, 에너지 측정을 사전에 결정된 스케줄에서 실시하는 스케줄수단을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
- 제1항에 있어서, 측정치를 기억하는 기억수단을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
- 제1항에 있어서, 측정된 레이저광의 에너지 측정치를 그래프로 표시하는 표시수단을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
- 제2항에 있어서, 에너지 측정수단은, 구동 테이블의 피가공물을 배치하는 배치면에 오목부를 설치하고 그 오목부내에 내설되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
- 제1항에 있어서, 에너지 측정수단에는 촛점이탈 상태에서 레이저광이 조사되도록 주사렌즈의 높이위치를 조정하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
- 제1항에 있어서, 에너지 측정수단은, 레이저광 수광부에 대해서 가동식의 보호커버를 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
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