KR100426757B1 - 반도체 제조를 위한 생산 라인 제어 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조 라인에서의 포토리소그래피 디바이스와 같이, 재-진입 병목 처리 노드에 앞서, 워크-인-프로세스(WIP)를 대기시키는 생산 라인에 대해 제어한다. 각 WIP에 대하여, 클리어 궤도(cleared trajectory)가 상기 병목 처리 노드에 후순하는 모든 처리 노드들에 대하여 이용가능한지 여부를, 재-진입 노드 또는 생산 라인의 출구로 회귀하는지를 판정한다. 클리어 궤도가 이용가능하면, 후속 처리 노드들이 WIP에 대하여 보전된다. 그 후, WIP는 노드들이 미리 예약되었기 때문에, 다운 스트림 처리 노드에서 이차적 병목을 크게 피할 수 있는 결과를 갖고, 처리 흐름으로 주입된다. 하나 이상의 WIP에 대해 클리어 궤도가 이용가능하면, 작업 흐름(workflow)으로의 주입을 위한 하나의 WIP의 선택은, 대기 또는 선택 처리에 기초된 우선 순위에 기초되어 만들어질 수 있다.

Description

반도체 제조를 위한 생산 라인 제어 방법 및 장치{PUSH-TYPE SCHEDULING FOR SEMICONDUCTOR FABRICATION}

본 발명은 반도체 제조를 위한 생산 라인의 제어에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 (포토-리소그래피 장치 등의) 재진입 병목 처리 노드(re-entrance bottleneck processing node) 전에, 워크-인-프로세스(work-in-process; WIP)를 큐잉시키는(queue) 반도체 생산 라인에 대한 제어에 관한 것으로, 이와 같은 제어는 재-진입 프로세스로 회귀하는 모든 후속 처리 노드를 통한 클리어 궤도(trajectory)가 이용가능한지를 판정하고, 그 궤도에 대하여 후속 처리 노드가 예약된 후에, 처리를 위해 WIP를 후속 처리 노드로 전송하는 푸쉬-형(push-type) 방법을 이용한다.

반도체 제조는 일반적으로, 처리 노드 네트워크로 구성된 재-진입 생산 라인에서 행해진다. 생산 라인은 단일 WIP가 처리 노드들 중 적어도 하나, 일반적으로 포토리소그래피 노드에 의해 복수회 처리되는 재-진입(re-entrant)형이다. 재-진입 노드에 대해 대기행렬에 들어가는 WIP에 대한 제어의 부족으로, 재-진입 노드는 종종, 처리 네트워크에서 병목 현상(bottleneck)을 겪는다. 병목 현상으로 인해 생산 라인의 이용 효율이 저하되고, 이러한 효율의 저하는 생산 라인의 소유권 및 동작 쌍방 모두의 비용을 증대시키는 결과를 초래한다.

또한, 포토리소그래피 노드 다음의 후속 처리 노드는 생산 라인의 효율성을 감소시킬 수 있다. 이들 후속 처리 노드는 주입, 에칭, 계측(metrology), 산화물 형성 등과 같은 제조 기능을 행한다. 실제 WIP와, 이들 후속 처리 노드들에 대한 작은 규모의 제어가 이루어질 때, 이차적 병목 현상이 생산 라인에서 형성될 수 있어, 비효율성을 보다 심화시킬 것이다. 또한, 노드에서의 여러 처리 장치의 리-툴링(re-tooling) 및 셋업 시간으로 인해 비효율성이 더 증가할 수 있다.

이들 비효율성은 전체 네트워크의 소유권 및 동작 비용을 증가시킨다. 따라서, 이차적 병목을 감소시킬 뿐 아니라, 병목 처리 활용을 최대화함으로써, 네트워크의 처리량을 전체적으로 향상시키고, 소유권 비용을 최소화할 수 있다.

그러나, 불행히도, 이러한 생산 설비에 대한 최적의 스케쥴을 개발하는 것은, 연관된 많은 단계들과, 이들 단계들 간의 가능한 조합으로 인해 매우 복잡해질 수 있다. 스케쥴을 개발하는 데 포함된 복잡한 계산 때문에, 스케쥴에 대한 실시간의 조정은 매우 어려워질 수 있다.

이 문제를 해결하고, 생산 라인의 처리량을 증가시키기 위해 상당한 노력이 이루어졌다. 예를 들어, "Manufacturing Method And System For Dynamic Dispatching of Integrated Circuit Wafer Lots"라는 명칭의 미국 특허 번호 5,889,673호가 집적 회로 웨이퍼 롯트(lot)(제품)의 동적 송출 방법을 이용한다. 이 특허에 따르면, 리소그래피 장치의 하류측(downstream)에 있는 장치, 즉 하행(descendent) 장치의 로딩 계수를 계산하여, 추정 로딩 값이 최소인 장치를 판정한다. 그리고, 그 장치에는 최고의 우선 순위를 부여하고, 리소그래피 처리 이후 그 장치에 웨이퍼 롯트가 송출된다.

따라서, 미국 특허 번호 5,889,673호의 방법에서는 하류측의 각 장치가 적절히 로딩되는 것을 보장하기 위해, 리소그래피 처리 이후 어느 장치에 그 제품이 보내졌는지에 대한 선택에 대해 다루고 있다. 그러나, 이 방법은 하류측의 장치에 제품이 도달하는 즉시 그 장치에 의해 제품이 처리될 것이라고 보장하지 못한다. 그 결과, 이차적 병목 현상이 여전히 존재하기 쉽다.

이차적 병목을 줄이기 위한 다른 시도가, "Look-Ahead Method For Maintaining Optimun Queued Quantities of In-Process Parts At A Manufacturing Bottleneck"이라는 명칭의 미국 특허 번호 5,446,671호에 설명되어 있다. 이 특허에 따르면, 룩-어헤드(look-ahead) 방법은, 공장내의 병목 현상 가능성이 있는 모든 처리 노드에서 대기되는 제품을 모니터링한다. 공장 관리 담당자가 병목 처리에서의 대기행렬이 충분히 낮은 포인트로 내려갔다고 판정할 때까지 제품 이동의 개시를 방지하기 위해, 각각의 잠재적인 병목 처리에서의 대기행렬에 플래그 상태를 설정한다. 따라서, 병목 대기행렬에서 제품의 축적이 감소된다.

그러나, 미국 특허 번호 5,889,673와 마찬가지로, 미국 특허 번호 5,446,671도 처리 노드에서 제품의 수신 즉시 모든 처리 노드를 통해 제품이 처리될 것을 보장하지는 못한다. 따라서, 이러한 방법으로도, 단지 병목 대기행렬(bottleneck queue)에서의 제품의 양이 감소되었을 뿐, 이차적 병목 현상은 여전히 존재한다.

병목 대기행렬에 대하여 대처하는 것의 중요성은 특히 반도체를 제조하는 과정에서 나타난다. 일반적으로, 반도체 제조 설비에서 반도체는 1매의 웨이퍼와 같은 초기 제품에 의해 제조되고, 이는 완성된 제품을 형성하기 위해 일련의 처리 노드를 거쳐 처리된다. 일련의 각 처리 노드는 일반적으로, 상이한 처리 태스크를 행한다. 예를 들어, 제조 설비는 각 노드가 각각 리소그래피, 주입, 에칭, 계측(metrology), 산화물 형성을 행하도록 지정되는 일련의 처리 노드들을 포함할 수 있다. 각 프로세스를 통한 처리는, 임의의 특정 프로세스 또는 처리 노드를 제품이 단 한 번만 통과하는 선형적인 것일 수 있다. 대안적으로, 웨이퍼가 동일한 처리 노드를 복수회 통과하는 일련의 루프가 있을 수 있다. 선형 모델은 처리 노드 또는 프로세스가 규정된 순서로 착수되는 제조 생산 라인의 전형인 반면, 루프 모델은 제품에 따라 필요할 때마다 처리 노드가 사용되는 생산 라인 전형이다. 후자의 경우, 처리되어질 제품은 하나의 장치가 일 회 이상 사용된다면 개념적 생산 라인(conceptual production line)으로 재진입될 것이다.

본 발명에서, 하나의 가능한 생산 방법은 하나의 작업을 끝마치는데 필요한 처리의 순서 또는 프로세스의 수에 어떠한 제한도 갖지 않는 처리 노드의 일반적 네트워크에 관한 것이다. 또한, 네트워크에서 입구 또는 출구 노드의 갯수나 종류에 대해 어떠한 제한도 없다. 제한적인 경우, n개의 노드로 구성된 단독 네트워크를 통한 경로는 N개의 꼭지점 및 N(N-1)개의 모서리를 갖는 완전유향(完全有向) 그래프(다이그래프; digraph)를 커버하는 복수의 경로와 등가이다. 복수의 노드를 통해서 하나의 규정된 노드에서 다른 규정된 노드로 향하는 동적 경로를 궤도(trajectory) T()라 하고, 여기서 j는 순서화된 노드 집합이고,는 도착 시간의 집합이다.

일련의 처리 노드에서, 적어도 하나의 처리 노드 타입이 일반적으로 병목 현상이 될 것이다. 병목 현상은 여러가지 이유로 존재한다. 예를 들어, 그 노드에서 행해질 태스크의 길이는 수 회 재처리되어질 수 있는 다른 처리 또는 노드보다 길 것이다. 또한, 병목 프로세서의 비용 및/또는 병목 프로세서를 동작시키는 비용은 매우 비싸서, 네트워크에 도입될 이들 프로세서의 갯수를 제한하게 된다. 따라서, 병목 처리의 활용을 최대화함으로써, 처리 네트워크를 동작시키는 비용이 약간이나마 최소화될 수 있었다. 즉, 병목 처리의 처리율(throughput)을 향상시킴으로써, 전체적으로 네트워크의 처리율을 증가시킬 수 있어서, 전체 네트워크의 소유권 비용을 감소시킬 수 있다. 그러나, 예를 들어, 보다 비용이 적게드는 프로세서의 이용이 극히 저조한 경우에는, 병목 처리의 처리율만을 개선시키는 것으로 전체 네트워크의 소유권 비용을 저감시킬 수 없을 것이다.

많은 제조 네트워크는 시스템내의 작업의 최대 수를 고려함으로써 그 시스템에 작업이 추가되는 유한 소스 대기행렬 네트워크이다. 유한 소스 대기행렬 네트워크의 설명은 Xiuli chen 등의 "Queuing Network"(1999), Wiley, p219에서 알 수 있다. 이러한 상황 하에, 도착율은 다음과 같이 정의될 수 있다.

M이 양의 정수일 때, nM-1에 대하여은 양수이고 유한하다. 이러한 경우, M은 시스템이 보유할 수 있는 작업의 갯수이다.

시스템의 정상 분포(stationary distribution), 즉 시스템내의 평균 작업 갯수는 시스템 노드에서의 정상 분포의 주변 분포(marginal distribution)에 의해 결정된다.

, 여기서

복수의 처리 노드를 갖는 시스템의 각 노드에서의 정상 분포는 쁘아송(Poisson) 형태로 근사될 수 있고, 따라서 모든 처리 노드의 결합 분포(joint distribution) 또한 쁘아송 형태일 것이다. 연산 시스템에서 평균율 방정식이 성립하며, 개별 노드의 처리율이 도착율과 같다고 가정하면, 개별 노드의 처리율은 대기행렬의 길이나 작업 수에 관계될 수 있다. 도착율에 대한 쁘아송 분포를 가정하면, 임의의 노드 j에서의 이용율는 수학식 3에 의해 그 노드에서의 평균 작업 수에 관계될 수 있다.

각 노드에 대해 66%의 평균 이용율이 요구되는 경우, 각 노드에서의 평균 작업 수는 2이어야 한다. 따라서, 수학식 2로부터 네트워크의 총 평균 이용율이 66%가 되기 위하여, 네트워크는 평균 2n개의 작업을 필요로 한다. 그러나, 각 노드에서의 도착이 쁘아송 프로세스이기 때문에, 각 노드에서는 버퍼가 이용되어야 한다. 예를 들어, 각 노드에서 평균 2개의 작업이 존재한다면, 1/8 시간에 대하여, 임의의 노드에서 처리되어질 4개의 작업들을 갖는 대기행렬이 존재할 것이며, 10개의 작업들이 대기행렬에 유지될 찬스(chance)는 1:100이다.

제품 대기행렬의 버퍼링은 네트워크를 관리하는 중요 부분이다. 버퍼링은, 여러 처리 노드의 실제 이용율에 따라서, 중앙 버퍼에 의해 달성되거나, 즉 처리후에 작업들이 1개의 버퍼에 회귀되거나, 또는 여러 처리 노드에 분산되어도 좋다. 버퍼 분포의 상세한 것은 처리 시간 및 작업 처리의 스케쥴의 조합에 의한다. 버퍼링 규칙을 선택하는 것은 또한, 처리되어진 작업을 이동시키는 데의 어려움 및 시간의 제한을 고려할 것이다. 선형 모델 및 재-진입 모델 양쪽 모두에 있어서, 처리 노드로의 이러한 버퍼링 분배 및 제품의 전달 스케쥴링은 복잡한 문제일 수 있고, 처리 시간과 노동 비용을 상당히 증대시킬 수 있다.

상기 처리 노드의 이용율 계산은, 처리 설비에 있어서 작업에 대한 셋업 시간이 존재하지 않는다고 가정한다. 즉, 아이들(idle)일 때, 처리 노드는 작업이 도달하면 처리를 즉시 시작할 수 있다. 이러한 조건이 성립되지 않으면, 설비의 이용율이 떨어진다. 셋업 시간이 이전 작업 처리와 동시에 행해질 수 있을 때에도 그러하다. 이러한 경우, 대기 작업의 평균 수가 증가하지 않으면, 이용율이 급속히 떨어진다. 셋업 시간이 처리 시간과 유사하다면, 60-70%의 이용율을 달성하기 위해, 노드 중 하나는 동작하고, 그와 동시에 다른 하나는 셋업하는 평균 4개의 작업을 가져야만 한다. 따라서, 병행 셋업 시간을 갖는 네트워크에서도, 워크 인 프로세스 및 버퍼링 문제 둘 다 증가한다. 이들 문제에 대한 일반적인 해결 방법은 존재하지 않으며, 특정 해결 방법이 계산적으로 강화되고 있으나, 소유권에 있어서의 비용에 적용되지는 못한다.

따라서, 병목 처리에서의 버퍼링(또는 대기행렬)은 네트워크의 처리율과 시스템의 용량성 둘 다를 결정하는 하나의 프로세스이다. 따라서, 이 프로세스를 향상시키면, 네트워크의 소유권 비용 절감을 용이하게 할 것이다.

본 발명은 재-진입 병목 처리 노드 이전에 워크-인-프로세스(WIP)를 큐잉시키는 생산 라인에 대한 제어를 제공하는 것에 의해, 상기 문제점에 대처한다. 본 발명은, 재-진입 처리 노드로 복귀하기 전에 또는 출구로 나가기 전에 모든 처리 노드를 통과하는 클리어 궤도(cleared trajectory)가 존재하는지를 확인하고, 문제의 WIP에 대해서 클리어 궤도를 예약한 후에, 병목 처리에서 다음 처리 노드로 WIP를 전송하는 푸쉬-형 방법을 이용한다.

일면으로, 본 발명은 반도체 생산 라인과 같은 생산 라인 관계에서 구체화될 것이고, 1매의 웨이퍼 또는 웨이퍼의 카셋트(cassette)와 같은 제품이 리소그래피 이전의 대기행렬(pre-lithography queue)의 대기 처리에서 큐잉된다. 생산 라인을 보다 효율적으로 이용하기 위해, 생산 라인을 통한 제품의 흐름은, 병목 처리 노드(리소그래피)에 후속하는 모든 처리 노드를 통해 클리어 궤도가 이용가능한지를 결정함으로써 제어된다. 일단 클리어 궤도를 발견하면, 클리어 궤도와 해당 WIP를 위하여 후속 처리 노드가 예약된다. 그 후, 그 궤도에 대한 재-진입 대기행렬로부터 WIP가 선택되고, 궤도는 시작된다. 궤도가 바람직하게는, 생산 라인의 대기행렬 또는 생산 라인의 출구로 회귀하는 궤도를 포함한다.

상기의 결과로서, 궤도에 대해 선택된 WIP는 각 노드에 의한 제품의 수신시, 생산 라인에서 각 처리 노드를 통해 처리된다. 따라서, 제품 처리가 각 노드에서 미리-확보되어서, 통상 제품이 이용하게 되는 노드에 대하여 대기할 필요가 없기 때문에, 이차적 병목을 대폭 회피할 수 있다. 따라서, 본 발명은 생산 라인을 보다 효율적으로 이용하고 이차적 병목을 감소시키는 데에 그 목적이 있다.

복수의 WIP가 각각의 궤도의 기동을 인정하는 본 발명의 다른 면에서는, 작업의 우선순위 등과 같은 대기행렬 규칙에 기초하여 복수의 WIP 중 1개의 WIP가 선택된다.

본 발명은 상기의 방법 및 장치에서 구체화된다. 본 발명에 따른 장치는 재-진입 병목 처리에 우선하여 WIP를 큐잉시키는 생산 라인을 제어한다. 이 장치는 실행가능한 처리 단계를 저장하기 위한 메모리와, 그 실행가능한 처리 단계를 실행하기 위한 프로세서를 포함할 수 있으며, 실행가능한 처리 단계는 상기의 방법에 실질적으로 대응하는 궤도에 대한 클리어 궤도 판정 단계 및 처리 노드 예약 단계를 포함한다.

본 발명의 또 다른 실시예는 컴퓨터-실행가능 프로세스 단계, 또는 컴퓨터-실행가능 프로세스 단계를 행하기 위한 코드가 저장된 컴퓨터-판독 가능 매체를 포함하고, 그 처리 단계는 상기의 방법에 실질적으로 대응하는 클리어 궤도 판정 단계 및 처리 노드 예약 단계를 포함한다.

또 다른 면에서, 본 발명은 복수의 처리 노드로 구성된 네트워크를 통해 복수의 처리 단계를 포함하는 처리 작업을 스케쥴링하는 방법일 수 있다. 이 방법을 설명하기에 앞서, 병목 처리 노드가 규정되어야 하고, 제품 버퍼는 병목 노드에서 이용가능해야 한다. 따라서, 주요 병목 처리이거나, 또는 다중-노드 처리 네트워크에서 병목 처리를 설정하는 데 사용되는 처리의 노드 또는 노드 타입을 규정하는 것이 우선 달성된다. 일단 병목 노드가 규정되면, 제품 버퍼는 대기행렬을 수용하기 위한 병목 노드상에서 배치된다.

이 방법을 시작하기 위해, 처리되어질 대기행렬로부터 제품이 선택된다. 제품은 대기행렬 작업의 우선 순위와 같은 어떠한 대기 순서에 기초를 두어 선택될 수 있다. 그러나, 병목 처리에 의한 그 제품의 처리 이전에, 제품 처리에 필요한 병목 노드에 후속하는 모든 처리 노드를 통하여 클리어 궤도가 존재하는가에 대하여 판정이 이루어져야 한다. 궤도는 다음 병목 처리 노드 버퍼를 향하거나, 또는 네트워크 출구를 향할 수 있다. 일단 클리어 궤도를 발견하면, 그 궤도에 대하여 후속 처리 노드가 예약된다. 궤도는 즉시 기동을 위해 예약되거나 또는 적정한 시간에 예약될 수 있다. 후속 처리 노드들이 예약된 후, 궤도가 기동되고, 병목 처리에 의해 선택된 제품의 처리가 시작된다. 최종적으로, 제품은 그 제품에 대한 처리 상태에 따라 병목 노드 대기행렬 또는 네트워크의 출구로 회귀된다.

본 발명의 2개의 개념은 상술된 방법으로부터 분명해질 것이다. 첫째, 병목 버퍼로 회귀하거나 또는 네트워크의 출구로 향하는 보증된 경로가 예약된다. 둘째, 병목 처리의 로딩이 보다 적절하게 될 수 있다. 이전 병목 버퍼로의 경로를 보장할 때, 본 발명은 병목 처리가 임의의 전체 네트워크 로딩에 대하여 로딩이 잘 이루어진다는 것을 보장한다. 병목 처리가 잘 로딩되었다는 것을 보장함으로써, 네트워크가 임의의 프로세서의 조합에 대하여 보다 효율적인 속도로 동작한다는 것을 보장할 수 있다.

본 발명의 성질을 빨리 이해하기 위해 이러한 간략한 요약이 제공되었다.첨부된 도면과 연결하여 본 발명의 바람직한 실시예의 하기 상세한 설명을 참조함으로써, 본 발명을 보다 완전하게 이해할 수 있을 것이다.

도 1a는 본 발명에 따른 멀티-노드 처리 네트워크를 도시한 도.

도 1b는 도 1a의 처리 네트워크의 소자들 간의 통신을 도시하는 도.

도 1c는 도 1a의 네트워크를 통한 하나의 가능한 생산 처리 경로를 도시한 도.

도 2는 본 발명에 따른 처리 네트워크를 통한 생산 순서의 일례를 도시한 도.

도 3은 본 발명에 따른 처리 네트워크의 여러 부분들 간의 통신을 도시한 도.

도 4는 본 발명에 따른 생산 순서 및 처리 노드들 간의 통신을 도시한 도.

도 5는 본 발명에 따른 처리 단계들을 도시한 순서도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100 : 작업 도달 처리

101 : WIP 버퍼(대기행렬)

111 : 스케쥴러

112 : 프로세스 제어 센터

130 : 멀티-노드 네트워크

도 1a는 본 발명에 따른 멀티-노드 처리 네트워크(130)를 도시한다. 도 1a에 도시된 바와 같이, 네트워크는 스케쥴러(111) 및 프로세스 제어 센터(112)와 통신하는 처리 설비(125)의 네트워크를 포함할 수 있다. 스케쥴러(111)는 하기에 자세히 설명되겠지만, 요약해보자면, 스케쥴러(111)는 네트워크(125)를 통해 제품의 흐름을 스케쥴링하기 위해, 컴퓨터에 포함된 컴퓨터-실행가능 프로세스 단계일 수 있다. 프로세스 제어 센터(112)는 바람직하게는, 제조 생산 설비를 통해 제품의 순서를 제어하기 위한 소프트웨어 응용 프로그램을 포함한 계산 시스템이다. 응용 프로그램은 바람직하게는, 네트워크(125)내의 여러 컴퓨터 및 감지기들에 의해 제공된 피드백을 이용한 네트워크(125)내에서, 하나의 처리 노드에서 다음 처리 노드로 생산 순서를 제어한다. 이점에 있어서는, 네트워크(125)는 임의의 주어진 시간에 네트워크(125)내의 제품 위치를 가리키는 감지기들(도시되지 않음)을 포함할 수 있다.

또한, 처리 노드들(102 내지 108)과 같은 네트워크내의 각 처리 노드에는 그 처리 노드를 제어하기 위한 컴퓨터 시스템이 제공된다. 도 1a에서, 참조 번호(150 내지 155)는 각각의 처리 노드들(103 내지 108)을 각각 제어하는 계산 시스템을 나타낸다. 하기에 자세히 설명되겠지만, 프로세스 제어 센터(112)에 피드백을 제공하는 각 계산 시스템들(150 내지 155)은 네트워크(125)를 통해 생산 순서를 제어하기 위해 프로세스 제어 센터(112)에 의해 이용된다.

도 1a에 도시된 바와 같이, 처리 네트워크(125)는 작업 도달 처리(100), WIP 버퍼(대기행렬)(101), 및 복수의 처리 노드들(102 내지 108)을 포함할 수 있다. 작업 도달 처리(100)는 바람직하게는, 네트워크로의 새로운 제품의 흐름을 제어하는 임의의 프로세스이다. 이점에 있어서는, 작업 도달 처리(100)의 하나의 중요 기능은 네트워크를 통해 WIP 버퍼(대기행렬)(101)로 처리되어질 새로운 제품을 제공하는 것이다. 새로운 제품이 네트워크로 공급되어지는 처리에 대한 보다 자세한 설명은 하기에 설명될 것이다. 작업 도달 처리(100)는 바람직하게는, 자동화되어 있어서, 컴퓨터가 작업 도달 처리(100)에서 WIP 버퍼(대기행렬)(101)로의 새로운 제품 흐름을 제어한다. 그러나, 수동 처리 또한 도입될 수 있다. 예를 들어, 작업 도달 처리(10)는 동작자에게, 새로운 제품이 작업 도달 처리(100)에서 WIP 버퍼(대기행렬)(101)로 로딩되어질 것임을 가시적으로 지시할 수 있다. 그 지시를 수신하면, 동작자는 예를 들어, 새로운 제품을 통과하게 하는 버튼을 누름으로써, 필요한 새로운 제품을 WIP 버퍼(대기행렬)(101)로 로딩할 것이다.

작업 도달 처리(100)는 또한, 바람직하게는 WIP 버퍼(대기행렬)(101)로부터 피드백을 수신한다. 이 점에 있어서는, 작업 도달 처리(100) 및 WIP 버퍼(대기행렬)(101)는 바람직하게는, 직접 또는 프로세스 제어 센터(112)와 같은 중앙 처리국을 통하여 서로 통신한다. 피드백은 WIP 버퍼(101)내에 포함된 고정된 갯수의 WIP와 같은 여러 요소들을 포함할 수 있다. 피드백을 이용하여, 작업 도달 처리(100)가 새로운 제품을 WIP 버퍼(대기행렬)(101)로 배출하는지에 대한 판정이 이루어진다. 예를 들어, WIP 버퍼(대기행렬)(101)는 고정 한도인 50개의 제품으로 설정될 수 있다. WIP 버퍼(대기행렬)(101)내에 포함된 제품 수가 50개 이하로 떨어지면, 그 후 작업 도달 처리(100)는 새로운 제품을 WIP 버퍼(대기행렬)(101)로 배출할 수 있다.

새로운 제품의 배출은 여러 방법 중 어느 하나에 의해 제어될 수 있다. 예를 들어, 작업 도달 처리(100)는 WIP 버퍼(대기행렬)(101)내의 제품 갯수가 50과 같은 임계 레벨 이하라는 지시를 수신할 때까지, 모든 작업을 보유할 수 있다. 이러한 경우, WIP 버퍼(대기행렬)(101)는 작업 도달 처리(100)에 직접 제품의 수를 피드백하거나, 정보를 작업 도달 처리(100)에 통과시킬 중앙 처리국에 제품의 수를 피드백할 것이다. 또 다른 방법으로, 작업 도달 처리(100)는 WIP 버퍼(101)에 주기적 질문을 행하여서, 제품 수가 50개 이하로 떨어졌는지를 판정한다. 이러한 방법과 상관없이, WIP 버퍼(대기행렬)(101)로의 새로운 제품의 흐름은 작업 도달 처리(100)를 통해 행해진다.

일단 제품이 작업 도달 처리(100)에서 WIP 버퍼(대기행렬)(101)로 공급되었다면, WIP 버퍼(대기행렬)(101)내의 하나의 제품이 처리를 위해 선택된다. 자세한 선택 과정 및 처리를 위해 선택된 제품의 시작은 하기에 상세히 논의될 것이다.

도 1a에 도시된 바와 같이, 네트워크는 처리 노드들(102내지 108)을 포함할 수 있다. 반도체 처리 네트워크에서, 이들 노드들은 리소그래피, 주입, 에칭, 계측, 및 산화물 형성을 포함할 수 있다. 그러나, 모든 노드가 통상, 네트워크를 통해 WIP 버퍼(대기행렬)로 회귀하는 어느 하나의 경로로 이용되지는 않는다. 이것은 예를 들어, 처리 노드들(103 및 104)은 각각이 동일한 처리 기능을 행하는 중복 노드인 경우가 존재할 수 있다. 이러한 경우, 처리 노드(103) 또는 처리 노드(104)가 제품 처리에 이용될 수 있다. 따라서, 도 1a에서, 선택된 제품이 추가 처리를 위해 WIP 버퍼(대기행렬)(101) 또는 출구(exit) 처리(109)로 회귀되기 전에, 처리 노드들(102, 103, 및 106)에 의해 처리될 수 있다.

또한, 하나의 처리 노드에서 다른 처리 노드로 제품을 이송하여, 생산 라인을 형성하는 운반 장치(114)가 도 1a의 네트워크에 도시되었다. 그러나, 운반 장치는 하나의 노드에서 다른 노드로 제품을 운송하는 수단만이 있지는 않다는 것을 주지해야만 한다. 이점에 있어서는, 하나의 처리 노드에서 다른 처리 노드까지의 물리적 거리가 운반 장치의 사용을 제한한다면, 그 제품은 하나의 노드에서 다음 노드까지 수동으로 운송되어야만 할 것이다. 이것은, 예를 들어, 하나의 처리 노드가 상이한 건물내에 위치될 수 있는 경우일 것이다. 이러한 경우, 부분 운전자(part mover) 또는 촉진자(expediter)와 같은 동작자(operator)가 하나의 건물에서 다른 건물로 제품을 운송할 것이다. 이러한 경우, 일단 제품이 다음 처리 노드에 수신되었다면, 동작자는 주로, 처리를 시작하기 위해 그 제품을 수동으로 처리 노드에 로딩해야만 할 것이다.

도 1a는 각 처리 노드로 직접 이동하는 운반 장치(114)를 도시하였으나, 이러한 묘사는 간략하게 나타내려는 목적일 뿐이다. 실제로, 제품 처리는 하나의 처리 노드에서 완성되었으면, 그 제품은 제품을 처리하기 위해 필요한 다음 처리 노드로 이동한다. 그러나, 그 제품은 처리가 즉시 개시되면 처리 노드로 직접 이동할 필요는 없다. 오히려, 제품이 노드에 의해 처리되기 전에, 그 제품은 보통 그 노드에서 셋업되어야만 한다. 일반적으로, 이것은 제품이 처리되기 위해 지그(jig) 또는 보유 기구(holding tool)로 수동으로 위치시키는 동작자를 필요로 할 것이다. 또한, 동작자는 임의의 이전 설정을 제로화하고, 새로운 설정을 함으로써, 처리 노드를 셋업해야만 할 것이다. 그러나, 간략함을 위해, 도 1a는 각 처리 노드로의 제품의 흐름이 자동적으로 설정되고, 임의의 보유국(holding station)에는 각 처리 노드의 일반적인 묘사가 포함되어있다고 가정한다.

셋업 처리의 하나의 예는, 병목 처리 노드(102)에서 코팅/현상(coat/develope) 추적 메커니즘(도시되지 않음)일 수 있다. 도 1a에서, 병목 처리 노드(102)의 일반적인 묘사로, 코팅/현상 추적 메커니즘이 포함된다. WIP 버퍼(101)에서 병목 처리 노드(102)로 웨이퍼가 우선 보내지면, 웨이퍼는 코팅/현상 추적 메커니즘에 들어가고, 리소그래피 처리로 노출되기 전에 그 웨이퍼에는 레지스트로 코팅이 이루어진다. 리소그래피 처리에서 노출된 후, 웨이퍼는 코팅/현상 추적 메커니즘으로 다시 들어가서, 노출된 레지스트를 현상한다. 따라서, 제품은 리소그래피 처리로 직접 이동하지는 않지만, 셋업 처리를 통해 첫번째로 통과한다.

도 1a의 네트워크는 또한, 제품 추적 메커니즘(113) 및 제품 흐름 게이트(115)를 포함할 수 있다. 이점에 있어서는, 제품 추적 메커니즘(113)은 네트워크를 통해 제품의 흐름을 추적하고, 프로세스 제어 센터(112)로 피드백을 한다. 이 방법에서, 프로세스 제어 센터(112)는 제품의 연속적인 상태를 유지할 수 있다. 또한, 프로세스 제어 센터(112)는 제품 흐름 게이트(115)를 동작하기 위해 추적 정보를 이용할 수 있다. 이점에 있어서는, 추적 메커니즘으로부터의 피드백에 기초를 두어, 프로세스 제어 센터(112)는 제품 흐름 게이트(115)를 자동 제어하여, 네트워크를 통해 제품을 지정할 수 있다.

도 1a에서 쉽게 알 수 있는 바와 같이, 프로세스 제어 센터(112)는 사실상 임의의 순서로, 처리 노드들(102 내지 108) 중 어느 하나의 처리 노드를 통해, 제품의 흐름을 제어할 수 있다. 제품의 흐름은 예를 들어, 병목 처리 노드(102)에서 처리 노드(104), 그 후 처리 노드(106), 그리고 그 후 처리 노드(103)(필요하다면)로 회귀하여서 보다 심화된 처리를 하고, 최종적으로 네트워크로 나가거나, 다른 리소그래피 처리로 회귀한다. 따라서, 도 1c는 여러 처리 노드들를 연결하는 이중 라인 화살표에 의해 지시된 바와 같이 제품에 대한 하나의 가능한 경로를 나타낸다.

도 1c에 도시된 바와 같이, 제품은 WIP 버퍼(대기행렬)(101)를 통해 작업 도달 처리(100)에서, 병목 처리 노드(102), 처리 노드(103), 처리 노드(104), 처리 노드(106), 처리 노드(108)로 이동하고, WIP 버퍼(101)로 회귀한다. 도 1c에 도시된 네트워크의 제어 및 그 흐름에 대해서는 하기에 보다 자세히 설명될 것이다.

네트워크를 제어하기 위해, 네트워크의 적어도 몇 개의 구성요소 간의 통신이 필요하다. 도 1b는 네트워크의 각 구성요소들이 통신 네트워크(250)를 통해 통신하게 할 수 있는 구성을 도시한 다이어그램을 도시하였다. 통신 네트워크(250)는 예를 들어, 로컬 영역 네트워크(LAN)일 수 있다. 이러한 시스템에서, 각 처리 노드들은 도 1a에 도시된 컴퓨터(150 내지 155)와 같이, 각 처리 노드의 동작을 제어하기 위한 컴퓨터를 포함할 수 있다. 이러한 방식으로, 각 처리 노드는 개별적으로 프로그램화되어서, 수치(numerical) 제어 처리에 의해 개별적으로 동작할 수 있다. 따라서, 프로세스 제어 센터(112)와의 통신에 의해, 처리 노드들을 제어하는 컴퓨터들은 처리 노드들의 상태, 즉 처리 노드가 작업으로 바쁜지(busy), 처리에 이용이 가능한지, 또는 현재 바쁘면 언제 이용가능할 지에 대해 나타낼 수 있다.

또한, 운반 장치(114), 제품 흐름 게이트(115), 추적 디바이스(113)가 네트워크로 연결되어, 프로세스 제어 센터(112)와 통신할 수 있다. 프로세스 제어 센터(112)와의 통신에 의해, 이들 메커니즘들은 프로세스 제어 센터(112)에 의해 자동적으로 동작될 수 있다. 따라서, 통신 네트워크에 연결된 처리 네트워크내의 모든 처리 설비를 갖고, 제품의 흐름이 자동 제어된다.

도 1b는 LAN과 같은 통신 네트워크에 연결된 여러 처리 장비를 도시하였으나, 다른 통신 형태 또한 도입될 수 있다. 예를 들어, 처리 노드는 그 노드내의 제품 처리가 완료되었음을 가시적으로 지시할 수 있다. 가시적 지시는 예를 들어, 라이트(light) 또는 버저(buzzer)와 같은 플래그 또는 전자 지시자일 수 있고, 이것은 동작자에 제공될 것이다. 지시를 수신받았을 때, 동작자는 처리 셋업으로부터 제품을 수동으로 제거하고, 제품을 운반 장치에 올려놓을 것이고, 운반 장치를 동작시키기 위해 스위치를 수동으로 눌러서, 그 제품을 다음 처리 노드로 보낸다. 따라서, 완전히 자동화된다면 네트워크는 훨씬 더 효율적일 것이지만, 적어도 약간의 수동 동작이 필요해서, 본 발명 또한 이러한 시스템에 수동 동작을 도입할 것이다.

도 2는 반도체 처리 네트워크를 통한 제품의 흐름을 나타내는 예를 도시한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 리소그래피 노드(102) 이전에 WIP 버퍼(대기행렬)(101)에 제품이 포함된다. 도 2에서, 참조 번호(125 내지 130)는 미처리된 웨이퍼의 카셋트를 나타낸다. 그러나, 대기행렬은 또한, 카셋트내의 웨이퍼 이외에도 개별 웨이퍼를 포함할 수 있다. 웨이퍼는 우선, WIP 버퍼(대기행렬)(101)에서 리소그래피 노드(102)로 이동한다. 그러나, 웨이퍼는 리소그래피 처리로 즉시 진입하지는 않을 것이다. 그 보다는 웨이퍼를 수신하기 위해 홀딩 빈(holding bin)이 리소그래피 노드에 제공될 수 있다. 이것은, 동작자에 의한 수동 셋업이 필요한 경우일 것이다. 이러한 경우, 동작자는 홀딩 빈으로부터 웨이퍼를 이동시키고, 처리를 위해 웨이퍼의 셋업을 행할 것이다.

리소그래피 처리(102B)에 진입하기 전에, 제품(웨이퍼들)은 코팅/현상 추적 메커니즘(102A)을 통과한다. 코팅/현상 추적 메커니즘(102A)에서, 웨이퍼에는 레지스트가 코팅된다. 레지스트로 코팅된 이후, 웨이퍼는 노출을 위해 리소그래피 처리(102B)로 진입한다. 리소그래피 처리에서의 노출 후, 웨이퍼는 현상을 위해 코팅/현상 추적 메커니즘(102A)으로 회귀한다.

리소그래피 노드(102)에서 리소그래피 처리의 완료시, 웨이퍼는 네트워크를 통해 현재 필요한 임의의 후속 처리 노드(들)(103)로 통과한다. 이점에 있어서는, 주입, 계측, 산화물 형성, 및/또는 에칭을 행하는 처리 노드에 의해 웨이퍼가 처리될 수 있다. 따라서, 도 2는 단일 후속 처리 노드(103)만을 나타내지만, 실제 처리는 복수의 처리 노드에 의해 행해질 수 있다. 리소그래피 노드와 유사하게, 이들 후속 노드들은 또한, 수동 동작 셋업이 필요하면 그것이 노드에서 수신될 때, 제품을 포함하기 위한 홀딩 빈을 가질 수 있다.

임의의 후순위 처리가 완료된 후, 제품(웨이퍼)은 그 후, WIP 버퍼(대기행렬)(101) 또는 출구(109)로 회귀한다. 상술된 추적 상태를 이용하여, 스케쥴러(111)는 웨이퍼가 추가 리소그래피 및/또는 후순위 처리를 필요로하는지 또는 웨이퍼 처리가 완료되었는지에 따라, 제품이 WIP 버퍼(대기행렬)(101) 또는 출구(109)로 회귀하는지를 판정한다.

도 3은 본 발명에 따른 생산 라인을 제어하는 여러 구성요소 간의 통신을 위한 하나의 가능한 시스템을 도시한다. 도 3에서, 스케쥴러(111)는 네트워크내의 제품의 흐름을 제어하는 데 이용된다. 스케쥴러(111)는 컴퓨터 프로그램, 전자 디바이스, 또는 임의의 수단에서 구체화되는 컴퓨터-실행가능 프로세스 단계일 것이며, 장비의 이용 가능성, 처리되어질 제품, 및 제품 우선 순위에 대한 판정이 처리될 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, WIP 추적 시스템(113)은 스케쥴러(111)와 통신한다. 전술된 바와 같이, 통신은 로컬 영역 네트워크, 유선 또는 무선 통신과 같은 직접적인 통신, 또는 임의의 다른 통신 수단일 수 있다. 도 2에 대하여 논의된 바와 같이, WIP 추적 시스템(113)과 스케쥴러(111)는, WIP 추적 시스템(113)이 스케쥴러(111)에 각 제품의 식별 정보를 제공하도록 통신한다. 스케쥴러는 그 후, 이러한 정보를 이용하여, 제품의 우선 순위를 결정한다.

또한, 스케쥴러(111)와의 통신은 대기행렬 처리(101)이다. 대기행렬 처리(101)는 네트워크를 통해 제품 대기 처리를 포함한다. 대기행렬 처리(101)는 대기행렬 내에 포함된 제품의 수에 대한 정보 및 어느 제품이 대기행렬에 있는지에 대한 식별에 관한 정보와 대기 행렬의 제품에 대한 기타 정보를 스케쥴러(111)에 제공한다. 스케쥴러(111)는 이러한 정보를 이용하여, 대기행렬내의 제품의 우선 순위를 결정하고, 새로운 제품이 예를 들어, 작업 도달 처리(100)에서 WIP 버퍼(대기행렬)(101)로 로딩될 것인지에 대하여 대기행렬에 지시한다. 스케쥴러(111)는 대기행렬 처리(101)에, 대기행렬내의 제품이 대기행렬로부터 배출되어, 리소그래피 처리로 보내진다는 정보를 제공한다. 이러한 식으로, 스케쥴러(111)와 대기행렬 처리(101)는 서로 통신하여, 제품이 대기행렬로 들어가고 나가는 것에 대하여 제어한다.

또한, 처리 노드(103)와 스케쥴러(111)와의 통신이 도 3에 도시되었다. 이점에 있어서는, 도 3은 간략한 목적으로, 스케쥴러(111)와 통신하는 단일 처리 노드를 도시한다. 그러나, 실제로, 네트워크내의 모든 처리 노드들은 스케쥴러(111)와 통신할 것이다. 따라서, 설명의 편의상, 단일 처리 노드만이 논의될 것이다. 처리 노드(103)는 스케쥴러(111)와 통신하여, 임의 순간의 처리 노드의 이용가능성, 처리 노드의 상태의 이용불가에서 이용가능으로의 변화, 또는 처리 노드가 이용불가능한 상태에서 이용가능한 상태로 변화하는 데 예상되는 시간을 지시한다. 도 1b에 논의된 바와 같이, 처리 노드 상태는 로컬 영역 네트워크, 실제 신호, 또는 다른 수단을 통해 통신이 이루어져서, 상태 변화를 전달할 것이다.

처리 노드와 스케쥴러 간의 통신은 본 발명을, 클리어 궤도가 병목 처리 노드에 후속하는 모든 처리 노드를 통해 이용가능하고, 대기행렬로 회귀하거나 네트워크로 나가는지를 판정할 수 있게 한다. 스케쥴러(111)가 이러한 판정을 내리게 하기 위해, 스케쥴러(111)는 처리 노드들로부터 그들이 이용가능한 상태라는 것을 피드백받는다. 논의된 바와 같이, 처리 노드들은 처리 노드들이 현재 이용가능한지 여부, 이용불가능한 상태에서 이용가능한 상태로의 변화, 또는 그들이 이용가능하게 될 예상 시간 프레임을 스케쥴러에 피드백한다. 이러한 정보를 사용하여, 스케쥴러(351)는 그 후, 대기행렬내의 제품을 처리하는 데 필요한 모든 처리 노드들이 현재 제품의 궤도에 대해 네트워크를 통하여 이용가능한지, 또는 처리 노드들이 궤도에 대해 언제 이용가능할지를 판정할 수 있다.

또한, 일단 스케쥴러(111)가 제품에 대한 클리어 궤도를 발견하면, 처리 노드들은 스케쥴러(111)내에서 그 궤도에 대하여 예약된다. "궤도에 대하여 예약됨"이란 말은, 스케쥴러가 특정 제품을 처리하기 위해, 클리어 궤도내에서 각 처리 노드를 예약한다는 것을 의미한다. 이러한 방식으로, 일단 궤도가 시작되면, 각 처리 노드는 선택된 제품을 처리하기 위해 예약될 것이다. 스케쥴러(111)는 예약된 지시를 제공하기 위해 각 처리 노드와 직접 통신할 필요는 없다.

상기에서 간략히 논의된 바와 같이, 궤도는 즉각적이거나, 또는 적합한 시간(in time)에 예약될 수 있다. 즉, 스케쥴러(111)가 클리어 궤도가 이용가능하고, 그 궤도가 즉시 시작될 것(예를 들어, 리소그래피 노드는 다른 제품을 처리하는 데 바쁘지 않음)이라고 판정하면, 그 궤도가 개시된다. 그러나, 만일 스케쥴러(111)가 클리어 궤도를 발견하였으나, 그 궤도가 예를 들어, 노드들 중의 하나가 현재 다른 제품을 처리하고 있기 때문에 즉시 시작될 수 없다면, 그 궤도는 적합한 시간에 예약될 것이다. "적합한 시간에 예약됨"이란 말은, 현재 이용불가능한 노드가 이용가능해지면, 궤도가 예약되어서 미래의 어떤 시간에 시작될 것이라는 의미이다.

도 3은 또한, 스케쥴러(111)와 프로세스 제어 시스템(112)과의 통신을 도시한다. 도 1a에 대해 논의된 바와 같이, 프로세스 제어 시스템(112)의 하나의 기능은 네트워크를 통한, 하나의 처리 노드에서 다른 처리 노드로의 제품의 흐름을 제어하는 것이다. 일단 스케쥴러(111)가 클리어 궤도를 발견하고, 그 처리 노드를 예약하였으며, 그 후 그 궤도를 시작할 수 있는 시간이 되었다면, 스케쥴러(111)는 그 궤도를 시작하기 위해 프로세스 제어 시스템(112)에 지시를 내려서, 프로세스 제어 시스템(112)은 네트워크를 통해 제품의 이동 및 처리를 제어할 수 있다.

도 4는 본 발명에 따른, 다양한 처리 네트워크 부분간의 통신 및 제품 흐름의 예를 도시한다. 도 4에서, 실선은 제품 흐름을 가리키는 반면, 점선은 통신을 나타낸다. 제품은 처음에 작업 도달 처리(100)에 포함되고, 도 1a에 논의된 바와 같이, 대기행렬(101)로 지나가서, 클리어 궤도가 발견될 때까지, 그 제품은 유지된다. 이점에 있어서는, 스케쥴러(111)는 도 3에 대하여 논의된 바와 같이, 클리어 궤도 판정을 행한다. 즉, 후속 처리 노드(103)는 스케쥴러(111)와 통신을 하여, 그 이용가능한 상태(166)를 제공한다. 처리 노드의 상태를 이용하여, 스케쥴러(111)가 대기행렬내의 제품 중 적어도 하나에 대하여 클리어 궤도를 발견하였다면, 스케쥴러(111)는 그 궤도에 대하여 후속 처리 노드를 예약할 수 있다. 그 후, 그 궤도가 시작될 때, 스케쥴러(111)는 대기행렬(101)에 신호(168)를 보내어서, 그 궤도를 시작한다. 그러나, 예를 들어, 클리어 궤도가 처리 노드의 미래의 이용가능성에 기초되기 때문에, 궤도가 즉시 시작될 수 없다면, 스케쥴러(111)는 시작 시간이 되면, 대기행렬(101)에 신호(168)를 전송한다.

일단 궤도가 시작되었다면, 제품은 대기행렬(101)에서 재-진입 처리(102)로 이동한다. 다시, 반도체 생산 라인에서, 재-진입 처리는 리소그래피 처리일 수 있다. 재-진입 처리(102)가 제품 처리를 완료하였다면, 그 후 제품은 그 제품을 처리하는 데 필요한 후속 처리 노드(103) 각각으로 이동한다. 도 4에서, 후속 처리 노드(103)는 편의상 단일 처리로서 도시되었다. 그러나, 도 2의 설명과 유사하게, 후속 처리 노드들(103)은 복수의 처리일 수 있다.

후속 처리 노드들(103)에 의해 처리된 후, 제품의 흐름은 스케쥴러(111)에 의해 그 제품에 대하여 판정된 궤도에 따른다. 이점에 있어서는, 클리어 궤도 판정을 행할시, 스케쥴러(111)는 그 궤도가 추가 처리에 대하여 그 제품을 대기행렬로 회귀시킬지 또는 그 제품이 완료될 것인지 여부를 판정한다. 도 3에 대하여 상기 도시된 바와 같이, 스케쥴러는 WIP 추적 메커니즘으로부터의 피드백을 수신하여, 각 제품이 완료된 처리 경로 수를 추적한다. 이 정보를 이용하여, 스케쥴러(111)는 현재의 궤도가 네트워크를 통한 최종 경로인지, 즉 제품이 그 경로 후에 완료될 것인지의 여부, 또는 제품이 추가 처리를 필요로하는지 여부를 판정할 수 있다. 스케쥴러(111)가 그 궤도가 최종 경로라고 판정한 경우, 후속 처리 노드(111)에 의해 처리된 이후, 제품은 출구 처리(109)로 이동한다. 그러나, 스케쥴러(111)가 그 궤도가 최종 경로가 아니고, 제품이 추가 처리를 필요로한다고 판정하는 경우, 그 제품은 후속 처리 노드(103)에 의해 처리된 이후, 대기행렬(101)로 회귀한다.

도 5는 본 발명에 따라 생산 라인을 제어하기 위한 처리 단계를 도시한 순서도이다. 도 5의 처리 단계는 컴퓨터 프로그램, 전자 디바이스, 또는 그 처리 단계를 동작시킬 수 있는 임의의 다른 수단으로서 포함될 수 있다. 바람직하게는, 처리 단계는, 도 1a의 스케쥴러(111)와 같이 컴퓨터가 그 처리 단계를 판독하고 실행시킬 수 있는 컴퓨터-판독가능 매체상에 저장된다.

간단히 말하면, 처리 단계는 클리어 궤도 판정을 행하고, 그 클리어 궤도에 대하여 처리 노드들을 예약하고, 그 궤도를 시작한다.

처리는 제품을 재-진입 처리의 대기행렬로 로딩함으로써 시작한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 단계 S501에서 대기행렬이 채워졌는지(full) 여부에 대하여 판정이 행해진다. 이 판정은 순간 사이즈, 즉 임의의 시점에서 대기행렬에 존재할 수 있는 제품의 수에 대한 일정한 한계와 관련하여, 대기행렬내의 제품의 갯수와 같은 대기행렬의 특성을 고려함으로써, 행해질 수 있다. 예를 들어, 대기행렬에는 대기행렬이 보유할 수 있는 제품의 최대 갯수에 기초하는 일정한 한계의 사이즈가 할당된다. 처리는 대기행렬내에 얼마나 많은 제품이 들어가 있는지를 판정하여, 그것을 상기 일정한 한계와 비교한다. 대기행렬이 채워져있다고 판정되는 경우, 단계 S503으로 진행한다. 그러나, 대기행렬이 채워져있지 않다고 판정되는 경우, 단계 S502에서 대기행렬내에 새로운 제품이 더해진다. 새로운 제품은 보다 자세히 설명되는 바와 같이, 대기행렬내의 제품에 대하여 궤도 계산이 행해지는 어떠한 시간에, 대기행렬 크기가 일정한 한계를 초과할 때까지 대기행렬에 더해진다.

궤도 계산은 단계 S503 내지 S505를 포함하여, 몇 개의 단계를 포함할 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 임의의 처리 노드들이 이용가능한지 여부에 대하여 판정이 행해진다. 이 판정은 여러 방법으로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 스케쥴러에 의해 반복된 폴링 루프(polling loop)가 행해져서, 각 처리 노드들이 이용가능한지 여부를 결정할 것이다. 또 다른 방법으로, 도 3 및 도 4에 대하여 상기 논의된 바와 같이, 각 처리 노드들은 그들 노드들의 유효한 상태에 대하여 주기적으로 스케쥴러에 피드백해줄 수 있다. 이용가능한지를 가리키는 데 사용되는 방법에 관계 없이, 처리 노드가 이용가능하지 않다면, 적어도 하나의 처리 노드가 이용가능해질 때까지 판정 처리를 계속한다.

일단 적어도 하나의 처리 노드가 이용가능해지면, 이용가능한 각 처리 노드들은 처리 네트워크내에서 그들 우선 순위에 기초하여 저장된다(단계 S504). 예를 들어, 처리 노드들은 노드들이 임의의 다른 노드에 우선하여 처리될 것이 요구되는지에 기초하여 분류될 수 있다. 예를 들어, 도 1c의 처리 노드들(103 및 104)은 둘 다 이용가능할 수 있다. 처리 네트워크에서, 처리 노드(104)에 의한 처리를 필요로 하는 제품은 우선, 처리 노드(103)에 의해 처리될 필요가 있을 수 있다. 따라서, 처리 노드(103)에는 이 처리 노드가 우선 사용되어질 필요가 있기 때문에, 처리 노드(104)보다 높은 우선 순위가 주어진다. 각 처리 노드가 이용가능해지거나, 또는 이용가능해질 때에 관한 지시를 제공하며, 스케쥴러는 처리 네트워크에서 이들 우선 순위에 기초하여 처리 노드들을 분류한다.

이용가능한 처리 노드들이 분류된 후, 대기행렬내에 포함된 임의의 제품이 이용가능한 처리 노드들과 부합하는지 여부를 판정한다(단계 S505). 즉, 대기행렬내의 임의의 제품이 네트워크를 통해, 그들의 다음 경로에서 처리하기 위해 이용가능한 처리 노드를 필요로하는지 여부를 판정한다. 예를 들어, 처리 노드들(103 및 104)은 이용가능할 수 있다. 대기행렬내에 포함된 임의의 제품이 처리 노드(103 및/또는 104)에 의해서만 네트워크를 통해 그들의 다음 경로에서 처리될 필요가 있다면, 부합이 발견될 것이다. 그러나, 처리 노드들(103 및 104)이 이용가능하지만, 대기행렬내의 각 제품이 처리 노드(103, 104, 및 106)에 의해 네트워크를 통해 그들의 다음 경로에서 처리될 필요가 있다면, 처리 노드(106)가 이용가능하지 않기 때문에, 부합이 발견되지 않을 것이다. 본 발명이 재-진입 처리 노드를 포함해서, 네트워크를 통해 다음 경로에서 선택된 제품을 처리하기 위해 필요한 모든 처리 노드에 대한 클리어 궤도를 발견했다고 생각해보자. 따라서, 선택된 제품을 처리하기 위한 각각의 그리고 모든 처리 노드가 이용가능하지 않다면, 어떠한 부합도 발견되지 않을 것이다. 부합이 발견되는 경우, 단계 S506으로 진행할 것이다. 그런, 부합이 발견되지 않는다면, 이전 폴링 루프 때문에 이용가능해질 수 있는 임의의 처리 노드들을 포함하여, 우선 순위에 기초를 둔 이용가능한 처리 노드들의 분류(sorting)를 반복하기 위해 다른 폴링 루프가 행해진다. 다시, 이용가능한 처리 노드가 대기행렬내의 제품과 부합하는지에 대하여, 단계 S505에서 판정이 행해진다. 폴링 루프는 단계 S506으로 진행하는 시점에서, 부합이 발견될 때까지 계속한다.

단계 S506에서, 일단 적어도 하나의 부합이 발견되면, 부합이 발견된 대기행렬내의 제품은 그들의 우선 순위에 기초를 두어 분류된다. 즉, 하나 이상의 부합이 발견되면, 스케쥴러는 부합이 발견되었던 제품 각각에, 우선 순위를 정해준다. 우선 순위는 제품이 완성되는 것과 가장 가까운 점, 즉, 제품이 네트워크로 빠져나가는 것과 가장 가까운 점에 기초될 수 있다. 그 후, 다음 경로에서 그 제품을 처리하고, 대기행렬로 회귀하거나 또는 네트워크로 나가는 데 필요한 각 처리 노드에 대한 궤도(S507)에 대하여 최고 우선 순위를 갖는 제품이 선택된다.

제품이 단계 S507에서 궤도에 대하여 선택된 이후, 선택된 제품을 처리하는 데 필요한 처리 노드들은 단계 S508에서 그 궤도에 대해 예약된다. 스케쥴러는 제품 그 자체 내에서 선택된 제품의 궤도에 대해 각 처리 노드를 예약한다. 처리 노드들은 즉시 또는 적합한 시간에 궤도에 대해 예약될 수 있다. 처리 장비가 궤도를 시작하는 데 즉시 이용가능한지, 또는 적합한 시간(t)에 그 궤도에 대해 이용가능해질지에 따라, 즉시 또는 적합한 시간에 예약될 수 있다.

다음으로, 재-진입 처리 노드들은 단계 S509에서 우선 순위가 매겨진다. 예를 들어, 소망된 결과에 기초하여, 재-진입 처리 노드들의 우선 순위가 매겨질 수 있다. 예를 들어, 하나 이상의 리소그래피 장치는 웨이퍼의 특정 층을 처리하도록 우선 지정된 각 장치를 갖고, 네트워크에 포함될 수 있다. 따라서, 최상의 결과를 얻을 수 잇는 장치에 우선 순위를 지정해주는 것이 바람직하다. 그러나, 최고 우선 순위를 갖는 장치가 항상 선택되는 것은 아니다. 예를 들어, 소망의 장치가 이용가능하지 않으면, 임의의 다른 장치가 보다 덜 바람직한 결과를 내며, 그 처리를 행할 수 있다.

단계 S510에서, 임의의 재-진입 처리 노드에 대한 셋업 처리 또는 재-진입 처리 노드 그 자체가 이용가능한지 여부에 대하여 판정이 행해진다. 임의의 재-진입 노드의 셋업 처리 또는 재-진입 처리가 이용가능하다면, 선택된 제품의 궤도는 단계 S511에서 시작된다. 어떠한 셋업 처리 또는 재-진입 처리도 이용가능하지 않다면, 다른 폴링 루프가 행해진다.

일단 선택된 제품의 궤도가 단계 S511에서 시작되면, 그 처리는 단계 S501로 회귀하여, 다시 대기행렬내의 제품 수를 판정한다.

이제, 도 1c에 도시된 궤도에 따라 특정 제품에 대한 제어에 관한 설명이 주어질 것이다.

이 설명에 관하여, 대기행렬내의 모든 웨이퍼들은 제1 처리 경로-즉, 이전에는 제품이 처리되지 않았음-를 대기한다고 가정한다. 또한, 네트워크를 통한 제1 경로 및 제2 경로에서, 각 웨이퍼는 처리 노드들(103, 103, 106, 및 108)에 의해 각각 처리될 것이라고 가정한다.

처음으로 처리를 시작할 때, 카셋트에 포함된 웨이퍼 배치(batch)는 작업 도달 처리(100)로 로딩된다. 예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이, 카셋트(125 내지 130)는 작업 도달 처리(100)로 로딩될 수 있다. 웨이퍼 배치는 일반적으로, 동작자에 의해 수동으로 로딩된다.

도 1c로 되돌아가서, 도 5의 단계 S501 및 S502를 이용하여, 대기행렬에 로딩된 복수의 웨이퍼들이 소정의 한계, 예를 들어 10 배치(batches)에 다다를 때가지, WIP 버퍼(대기행렬)(101)는 작업 도달 처리로부터 웨이퍼 배치를 갖고 로딩된다. 로딩 처리는 프로세스 제어 센터(112)에 의해 제어될 수 있다. 일단 로딩된 웨이퍼의 수가 한계(10개)에 다다르면, 프로세스 제어 센터(112)는 작업 도달 처리(100)에, 웨이퍼 배치를 대기행렬(101)에 로딩하는 것을 중지하라고 명령한다.

스케쥴러(111)는 모든 처리 노드에 대해 클리어 궤도가 존재하고, 대기행렬(101)내의 10개의 웨이퍼 배치 각각에 대하여 대기행렬(101)로 회귀할 지, 또는 출구 처리(109)로 갈 것인지에 대하여 판정한다. 이전에 논의되었던 바와 같이, 스케쥴러(111)는 처리 노드들(103 내지 108) 각각으로부터, 그들의 이용가능한 상태에 대한 피드백을 수신한다. 본 발명의 예에서, 처리 노드들 중 어떠한 것이 사용되지 않았고, 따라서 모든 처리 노드들이 이용가능하다고 가정될 것이다. 따라서, 대기행렬(101)내의 웨이퍼를 제외하고는 네트워크에 어떠한 웨이퍼도 없다. 따라서, 대기행렬(101)내의 각 웨이퍼는 네트워크를 통해 제1 처리 경로를 대기하기 때문에, 각 웨이퍼에 대하여, 스케쥴러(111)는 처리 노드들(103, 104, 106, 및 108)이 이용가능한지에 대해 판정한다. 처리 노드들(103, 104, 106, 및 108)은 제1 경로상의 웨이퍼를 처리하기 위해 필요한 노드라고 생각한다. 처리 노드들이 이용가능하다고 판정시, 스케쥴러(111)는 대기행렬(101)내의 각 웨이퍼에 대하여 클리어 궤도가 이용가능하다고 판정한다.

처리에서의 다음 단계는 대기행렬(101)내의 어떤 웨이퍼가 클리어 궤도를 위해 선택될 것인지를 스케쥴러(111)가 판정하는 것이다. 도 5의 논의로부터, 웨이퍼에는 처리를 완료하기 위해 필요되었던 처리 단계 수에 기초되어 우선 순위가 주어진다는 것을 생각한다. 그러나, 본 발명의 예에서, 웨이퍼들 모두 제1 처리 경로를 대기하기 때문에, 모든 웨이퍼들은 동일한 우선 순위를 갖는다. 따라서, 스케쥴러(111)는 작업 도달 처리(100)로부터 대기행렬(101)로 로딩된 제1 웨이퍼를 선택함으로써, 처리용으로, 10개의 웨이퍼들 중 임의의 하나를 처리할 것이다.

일단 스케쥴러(111)가 클리어 궤도에 대한 웨이퍼를 선택하였다면, 스케쥴러(111)는 처리 노드들(103, 104, 106, 및 108)(네트워크를 통해 현재의 제1 경로에서 선택된 웨이퍼를 처리하기 위해 필요한 처리 노드들)을 예약한다. 일단 처리 노드들이 예약되면, 스케쥴러(111)는 병목 처리 노드(102)가 순간 궤도에 대해 이용가능한지에 대해 판정한다. 본 발명의 예에서, 현재 어떠한 웨이퍼도 병목 처리(102)에 의해 처리되지 않았고, 따라서 즉시 궤도(immediate trajectory)가 이용가능하다. 따라서, 스케쥴러(111)는 대기행렬(101)에 신호를 전송하고, 프로세스 제어 센터(112)에 선택된 웨이퍼를 해제하도록 신호를 전송하고, 그것을 병목 처리 노드(102)(리소그래피)에 전송한다.

프로세스 제어 센터(112)는 그 후, 대기행렬(101), 운반 장치(114), 게이트(115) 등을 동작시킴으로써, 처리를 제어하기 시작하여, 선택된 웨이퍼를 처리 노드(102)로 이동시킨다.

처리 노드(101)에 진입하기 전에, 웨이퍼는 추적 매커니즘(113)을 통과할 수 있다. 추적 매커니즘(113)은 웨이퍼의 바코드를 스캔하여, 웨이퍼의 일련 번호를 취득하는 스캐닝 디바이스일 수 있다. 추적 매커니즘(113)은 그 후, 스케쥴러(111)상으로, 웨이퍼 식별 정보를 전달한다. 이전에 논의되었던 바와 같이, 스케쥴러(111)는 이 정보를 이용하여, 대기행렬내의 각 웨이퍼에 대하여 우선 순위를 지정한다.

이전에 논의되었던 바와 같이, 병목 노드(102)는 동작자에 의해 수동 셋업을 필요로할 수 있다. 그러나, 본 발명의 예에서, 셋업은 자동화되었고, 처리 노드(102)에 다다를 시, 웨이퍼는 자동적으로 셋업되고, 리소그래피 처리가 시작된다고 가정될 것이다.

제1 웨이퍼가 처리를 시작한 후, 스케쥴러(111)는 그 후, 대기행렬(101)내에 남아있는 각 웨이퍼에 대하여 클리어 궤도 판정을 계산한다. 이 경우, 처리 노드들(103, 104, 106, 및 108)이 예약되었기 때문에, 스케쥴러(111)는 그들이 이용불가능하다고 판정할 수 있고, 따라서 스케쥴러(111)는 대기행렬내의 임의의 제품에 대한 클리어 궤도를 발견할 수 없을 것이다.

그러나, 처리 노드들(103, 104, 106, 및 108) 각각은 스케쥴러(111)에, 그들이 시간(t)에서 이용가능해질 것임을 지시할 수 있다. 스케쥴러(111)는 그 후, 대기행렬(101)내의 각 웨이퍼에 대하여 시간(t)에서 클리어 궤도를 발견할 수 있다. 이러한 경우, 클리어 궤도는 적합한 시간에 예약될 것이다. 즉, 스케쥴러(111)는 궤도를 위해 선택된 제2 웨이퍼에 대한 처리 노드 각각에, 예약 신호(reserve signal)를 전송하여서, 각 처리 노드들은 시간(t)에서 제2 웨이퍼의 궤도에 대하여 예약될 것이다. 따라서, 시간(t)가 될 때, 스케쥴러(111)는 처리 노드(102)가 이용가능하면 제2 웨이퍼의 궤도를 시작하도록 대기행렬(101)에 신호를 전송한다.

처리는 스케쥴러와 함께, 대기행렬내의 각 웨이퍼에 대한 클리어 궤도 판정을 계속 계산한다. 그러나, 제1 웨이퍼가 제1 처리 통과의 완료에 이어 대기행렬로 회귀하면, 스케쥴러(111)는 다시, 제1 웨이퍼를 포함하여, 대기행렬내의 웨이퍼에 대한 클리어 궤도 판정을 계산한다. 이제 이 상황을 보다 상세히 설명할 것이다.

일단 제1 웨이퍼가 대기행렬(101)로 회귀하면, 스케쥴러(111)는 상술된 바와 동일한 방식으로, 클리어 궤도 판정을 계산한다. 그러나, 클리어 궤도가 대기행렬(101)내의 하나 이상의 웨이퍼에 대하여 발견되었다면, 스케쥴러(111)는 최고 우선 순위를 갖고, 웨이퍼에 대한 궤도를 예약한다. 이 경우, 제1 웨이퍼는 하나의 처리 경로를 완료하는 반면, 대기행렬(101)내의 웨이퍼의 나머지 모두는 전혀 처리되지 않는다. 따라서, 스케쥴러(111)는 제1 웨이퍼에 더 높은 우선 순위를 할당하고, 그 결과, 임의의 낮은 우선 순위를 갖는 웨이퍼에 대하여 클리어 궤도를 예약하기 전에, 제1 웨이퍼에 대한 클리어 궤도를 예약한다. 따라서, 처리 노드(102)가 이용가능해지면, 스케쥴러(111)는 제1 웨이퍼에 대한 궤도를 시작하도록, 대기행렬(101)에 신호를 전송한다.

상기 예로부터 쉽게 알 수 있는 바와 같이, 스케쥴러는 네트워크(125)내의 다양한 처리 장비들과 통신하고, 그 결과 처리 설비에서의 제품의 흐름을 제어한다. 보통, 대기행렬내의 어떠한 제품도, 클리어 궤도 판정이 발견되고, 처리 노드가 그 궤도에 대해 예약될 때까지 처리를 시작하지 않는다. 이 때문에, 처리 네트워크내의 이차적 병목을 크게 피할 수 있다. 또한, 스케쥴러에 의해 보다 최적화한 로딩 스케쥴이 제공되기 때문에, 병목 처리의 활용을 크게 향상시킬 수 있다.

본 발명은 특정의 예시적 실시예들로 설명되었다. 본 발명은 상술된 실시예에 한하지 않으며, 본 발명의 정신 및 범위에 벗어나지 않고, 기술에서의 보통의 숙련자에 의해 여러 변화 및 수정이 이루어질 수 있음을 이해해야할 것이다.

본 발명에 의해 처리 네트워크내의 이차적 병목을 크게 피할 수 있다. 또한, 스케쥴러에 의해 보다 최적화한 로딩 스케쥴이 제공되기 때문에, 병목 처리의 활용을 크게 향상시킬 수 있다.

Claims (32)

1. 재-진입 병목(re-entrant bottleneck) 처리 노드 이전에 WIP(Work In Process)를 큐잉(queue)시키는 생산 라인을 제어하기 위한 방법에 있어서,

   상기 재-진입 병목 처리 노드에 후순하는 모든 후속 처리 노드들을 통하여, 선택된 하나의 WIP에 대해 클리어 궤도(cleared trajectory)가 이용가능한지 여부를 판정하는 단계- 상기 후속 처리 노드에 의한 처리는 상기 생산 라인을 통해 상기 WIP의 다음 경로(pass)에서 상기 선택된 하나의 WIP에 필요로 됨 -와,

   상기 판정 단계에서 클리어 궤도가 이용가능하다고 판정된 경우에, 상기 선택된 하나의 WIP의 처리를 위해 상기 후속 처리 노드들 각각을 예약하는 단계- 상기 예약 단계는 상기 후속 처리 노드 각각을 상기 클리어 궤도에서 상기 선택된 하나의 WIP 처리에 대하여는 이용가능하고 선택되지 않은 WIP에 대하여는 이용불가능한 것으로 유지함 -

   를 포함하는 생산 라인 제어 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 병목 처리 노드는 포토리소그래피 처리 노드인 방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 후속 처리 노드들이 예약된 후, 상기 선택된 WIP에 대하여 상기 클리어 궤도를 기동(起動)하는 단계를 더 포함하는 방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 클리어 궤도 판정은 상기 재-진입 노드로 회귀(back to)하는 궤도 또는 상기 생산 라인의 출구(exit)로 향하는 궤도를 포함하는 방법.
5. 제1항에 있어서, 복수의 WIP들이 클리어 궤도를 갖는 방법.
6. 제5항에 있어서, 상기 후속 처리 노드들이 예약된 후, 상기 선택된 WIP에 대하여 상기 클리어 궤도를 기동하는 단계를 더 포함하고,

   상기 클리어 궤도에 대해 선택되는 WIP는 대기행렬 규칙(queuing discipline)에 기초하여 선택되는 방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 대기행렬 규칙은 대기행렬에서의 작업들의 우선 순위인 방법.
8. 재-진입 병목 처리 노드 이전에 WIP(Work In Process)를 큐잉시키는 생산 라인을 제어하기 위한 장치에 있어서,

   실행가능한 프로세스 단계들을 저장하기 위한 영역을 포함하는 메모리와,

   상기 실행가능한 프로세스 단계들을 실행하기 위한 프로세서를 포함하고,

   상기 실행가능한 프로세스 단계들은,

   (a) 상기 재-진입 병목 처리 노드에 후순하는 모든 후속 처리 노드들을 통하여, 선택된 하나의 WIP에 대해 클리어 궤도가 이용가능한지 여부를 판정하는 단계- 상기 후속 처리 노드에 의한 처리는 상기 생산 라인을 통해 상기 WIP의 다음 경로에서 상기 선택된 하나의 WIP에 필요로 됨 -와,

   (b) 상기 판정 단계에서 클리어 궤도가 이용가능하다고 판정된 경우에, 상기 선택된 하나의 WIP의 처리를 위해 상기 후속 처리 노드들 각각을 예약하는 단계- 상기 예약 단계는 상기 후속 처리 노드 각각을 상기 클리어 궤도에서 상기 선택된 하나의 WIP 처리에 대하여는 이용가능하고 선택되지 않은 WIP에 대하여는 이용불가능한 것으로 유지함 -

   를 포함하는 생산 라인 제어 장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 병목 처리 노드는 포토리소그래피 처리 노드인 장치.
10. 제8항에 있어서, 상기 후속 처리 노드들이 예약된 후, 상기 선택된 WIP에 대하여 상기 클리어 궤도를 기동하는 단계를 더 포함하는 장치.
11. 제8항에 있어서, 상기 클리어 궤도 판정은 상기 재-진입 노드로 회귀하는 궤도 또는 상기 생산 라인의 출구로 향하는 궤도를 포함하는 장치.
12. 제8항에 있어서, 복수의 WIP들이 클리어 궤도를 갖는 장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 후속 처리 노드들이 예약된 후, 상기 선택된 WIP에 대하여 상기 클리어 궤도를 기동하는 단계를 더 포함하고,

    상기 클리어 궤도에 대해 선택된 상기 WIP는 대기행렬 규칙에 기초하여 선택되는 장치.
14. 제13항에 있어서, 상기 대기행렬 규칙은 대기행렬에서의 작업의 우선 순위인 장치.
15. 재-진입 병목 처리 노드 이전에 WIP를 큐잉시키는 생산 라인을 제어하기 위한 컴퓨터-실행가능 프로세스에 있어서,

    상기 재-진입 병목 처리 노드에 후순하는 모든 후속 처리 노드들을 통하여, 선택된 하나의 WIP에 대해 클리어 궤도가 이용가능한지 여부를 판정하는 단계- 상기 후속 처리 노드에 의한 처리는 상기 생산 라인을 통해 상기 WIP의 다음 경로에서 상기 선택된 하나의 WIP에 필요로 됨 -와,

    상기 판정 단계에서 클리어 궤도가 이용가능하다고 판정된 경우에, 상기 선택된 하나의 WIP의 처리를 위해 상기 후속 처리 노드들 각각을 예약하는 단계- 상기 예약 단계는 상기 후속 처리 노드 각각을 상기 클리어 궤도에서 상기 선택된 하나의 WIP 처리에 대하여만 이용가능하고 선택되지 않은 WIP에 대하여는 이용불가능한 것으로 유지함 -

    를 포함하는 컴퓨터-실행가능 프로세스.
16. 제15항에 있어서, 상기 병목 처리 노드는 포토리소그래피 처리 노드인 컴퓨터-실행가능 프로세스.
17. 제15항에 있어서, 상기 후속 처리 노드들이 예약된 후, 상기 선택된 WIP에 대하여 상기 클리어 궤도를 기동하는 단계를 더 포함하는 컴퓨터-실행가능 프로세스.
18. 제15항에 있어서, 상기 클리어 궤도 판정은 상기 재-진입 노드로 회귀하는 궤도 또는 상기 생산 라인의 출구로 향하는 궤도를 포함하는 컴퓨터-실행가능 프로세스.
19. 제15항에 있어서, 복수의 WIP들이 클리어 궤도를 갖는 컴퓨터-실행가능 프로세스.
20. 제19항에 있어서, 상기 후속 처리 노드들이 예약된 후, 상기 선택된 WIP에 대하여 상기 클리어 궤도를 기동하는 단계를 더 포함하고,

    상기 클리어 궤도에 대하여 선택된 WIP는 대기행렬 규칙에 기초하여 선택되는 컴퓨터-실행가능 프로세스.
21. 제20항에 있어서, 상기 대기행렬 규칙은 대기행렬에서의 작업의 우선 순위인 컴퓨터-실행가능 프로세스.
22. 재-진입 병목 처리 노드 이전에 WIP를 큐잉시키는 생산 라인을 제어하는 컴퓨터-실행가능 프로세스 단계들을 행하기 위한 코드가 저장된 컴퓨터-판독가능 매체에 있어서,

    상기 재-진입 병목 처리 노드에 후순하는 모든 후속 처리 노드들을 통하여, 선택된 하나의 WIP에 대해 클리어 궤도가 이용가능한지 여부를 판정하는 단계에 대한 코드- 상기 후속 처리 노드에 의한 처리는 상기 생산 라인을 통해 상기 WIP의 다음 경로에서 상기 선택된 하나의 WIP에 필요로 됨 -와,

    상기 판정 단계에서 클리어 궤도가 이용가능하다고 판정된 경우에, 상기 선택된 하나의 WIP의 처리를 위해 상기 후속 처리 노드들 각각을 예약하는 단계에 대한 코드- 상기 예약 단계는 상기 후속 처리 노드 각각을 상기 클리어 궤도에서 상기 선택된 하나의 WIP 처리에 대하여는 이용가능하고 선택되지 않은 WIP에 대하여는 이용불가능한 것으로 유지함 -

    를 포함하는 컴퓨터-판독가능 매체.
23. 제22항에 있어서, 상기 병목 처리 노드는 포토리소그래피 처리 노드인 컴퓨터-판독가능 매체.
24. 제22항에 있어서, 상기 후속 처리 노드들이 예약된 후, 상기 선택된 WIP에 대하여 상기 클리어 궤도를 기동하기 위한 코드를 더 포함하는 컴퓨터-판독가능 매체.
25. 제22항에 있어서, 상기 클리어 궤도 판정은 상기 재-진입 노드로 회귀하는 궤도 또는 상기 생산 라인의 출구로 향하는 궤도를 포함하는 컴퓨터-판독가능 매체.
26. 제22항에 있어서, 복수의 WIP들은 클리어 궤도를 갖는 컴퓨터-판독가능 매체.
27. 제26항에 있어서, 상기 후속 처리 노드들이 예약된 후, 상기 선택된 WIP에 대하여 상기 클리어 궤도를 기동하기 위한 코드를 더 포함하고,

    상기 클리어 궤도에 대하여 선택된 WIP는 대기행렬 규칙에 기초하여 선택되는 컴퓨터-판독가능 매체.
28. 제27항에 있어서, 상기 대기행렬 규칙은 대기행렬에서의 작업의 우선 순위인 컴퓨터-판독가능 매체.
29. 제1항에 있어서, 상기 궤도는 즉각적이거나, 또는 적합한 시간에 예약될 수 있는 생산 라인 제어 방법.
30. 제8항에 있어서, 상기 궤도는 즉각적이거나, 또는 적합한 시간에 예약될 수 있는 장치.
31. 제15항에 있어서, 상기 궤도는 즉각적이거나, 또는 적합한 시간에 예약될 수 있는 컴퓨터-실행가능 프로세스.
32. 제22항에 있어서, 상기 궤도는 즉각적이거나, 또는 적합한 시간에 예약될 수 있는 컴퓨터-판독가능 매체.