TW526404B

TW526404B - Push-type scheduling for semiconductor fabrication

Info

Publication number: TW526404B
Application number: TW090104209A
Authority: TW
Inventors: Raymond Browning
Original assignee: Canon Kk
Priority date: 2000-02-28
Filing date: 2001-02-23
Publication date: 2003-04-01
Also published as: KR100426757B1; EP1128246A2; US6714830B2; EP1128246A3; DE60141055D1; EP1128246B1; US20030158618A1; KR20010085714A; JP2001332464A

Description

526404 A7 __B7_ 五、發明說明（1 ) 發明領域本發明有關於半導體生產線控制。更特定地說’本發明的半導體生產線使work-in-process ( W I P )排隊在一再入瓶頸處理節點（例如photo-lithographer )之前’此控制在發現淸出一條通過所有後續處理節點而回到再入程序的路線（tra」ect〇ry )並保留後續處理節點供路線所用以後，用一推型方法把W I P送到後續處理節點供處理。發明背景半導體製造通常在一再入式生產線中進行，此再入式生產線是由若干處理節點構成的網路。因單W I P被這些節點之至少一節點（通常是光學石版印刷）處理多次，故稱生產線爲再入式。因對進入等待再入節點的隊伍的 W I P缺少控制，再入節點經常變成在處理網路中的瓶頸。此瓶頸造成生產線的無效率，這無效率抬高生產線的擁有及運作成本。又，跟隨光學石版印刷節點的後續處理節點能降低生產線的效率。這些後續處理節點進行若干製造功能，例如 r, ! 植入、蝕刻、計量、氧化、等等。因對真的w I p及這些 [ 後續處理節點只有小量控制，能在生產業線中形成次要瓶 ξ 頸，造成進一步無效率。又，在這些節點的各式處理機器 ' 的再加工及設定時間能進一步降低效率。 ! J 這些無效率抬高整個網路的擁有及運作成本。因此，匕使瓶頸程序的使用率最大，並減少次要瓶頸，能改善網路本纸張&度適用中國國家標準（CNSM4規格（210x 297公釐） -4- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ---訂---------線 526404 A7 ___B7_____ 五、發明說明（2 ) 的整體產能並把擁有成本降到最低。不幸地，發展這樣的生產線的最佳的行程能是極複雜的，因所涉的步驟的量及這些步驟的可能的組合。基於在發展一行程時的複雜計算，對行程的即時調整能是極困難的。已有一些努力要解決此問題並提高生產線的產能。舉例而言，美國專利5 8 8 9 6 7 3號「 Manufactoring Method and System for Dynamic Dispatching of Integrated Circuit Lots」揭示積體電路晶圓lots的動態dispatching方法。依該專利，計算在lithography機下游的機器的負載因素以決定有最低估計負載値的機器·。然後給該機器最高的優先並在lithography程序後把晶圓產品dispatch到該機器。因此，美國專利5 8 8 9 6 7 3號處理在lithography 程序以後產品要去的機器的選擇，以確保每一下游機器有足夠負載。然而，此方法不保證每一下游機器在收到產品時立即予以處理。結果，次要的瓶頸仍可能發生。美國專利 5 4 4 6 6 7 1 「Look-Ahead Method for

Maintaining Optimum Queued Quantities of In-Prooess Parts a t a M a n u f a c t u r i n g B o 111 e n e c k」揭示減少次要的瓶頸的另一企圖。依此專利，一 Look-Ahead方法監視在工廠中的所有潛在瓶頸處理節點中排隊的產品。把一旗狀態設在每一潛在瓶頸程序的隊伍，以避免啓動產品，直到在瓶頸程序的隊伍降到工廠管理人員決定的足夠低點。因此，減少在瓶頸隊伍的產品堆積。本纸張&度適用中國國家標準（CNSM4規格（210 X 297公t ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線一 526404 A7 ___ B7 _ 五、發明說明（3 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 然而，像美國專利5 8 8 9 6 7 3號，美國專利 5 4 4 6 6 7 1號的方法不證節點在收到產品時立即予以處理。因此，以此方法，次要瓶頸仍存在，只是減少在瓶頸隊伍的產品的量。處理瓶頸隊伍的重要性特別被顯示在半導體製程中。通常，在半導體製造廠中，藉一連串的處理節點處理初始產品（例如晶圓）而得到半導體成品。每一處理節點進行不同處理工作。舉例而言，製造設備可能包含一連串處理節點，每一節點專於進行石版印刷、植入、蝕刻、計量或氧化。通過每一程序的處理可能與任何只被拜訪一次的程序或處理節點連線。替代地，可能有一連串迴路，在其中，一晶圓多次通過相同處理節點。以確定的順序設定若干處理節點時，線性模式是生產線的典型，但在依產品而只在需要時用若干處理節點時，迴路模式是典型。在後例中，若用一機器超過一次，則處理中的產品可能再入初步生產線。在本發明中，一可能生產方法有關於若干處理節點的網路，對處理的順序或完成工作所需的程序的量無限制。；又，對網路的入口或出口的量或型式無限制。在一例中，

: 通過η節點的孤立的網路的路徑對等於涵蓋N個頂點及N (N〜丨）條邊的完整指向圖的若干路徑。從一節點經多 - 個節點到另一節點之動態路徑被稱爲路線T ( j ，t 〇，、在其中，j是一組節點且h是一組到達時刻。在一連串處理節點中，至少一型處理節點將是瓶頸。本纸張&度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇χ 297公t ) -6 - 526404 A7 ____B7____ 五、發明說明（4 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 瓶頸可能因若干理由而存在。舉例而言，在該節點進行的工作的長度可能大於其他節點，或可能多次拜訪該節點。又，瓶頸處理器的成本及/或運作瓶頸處理器的成本可能極貴，因而限制可能用在網路中的處理器的量。因此，把瓶頸程序的使用率加到最大，能把運作處理網路的成本降至最低。亦即，改善瓶頸程序的產能能改善整體網路的產能而減整體網路擁有成本。然而，_在較不貴的處理器的極低使用率的情形中，只改善瓶頸程序的產能，可能不減整體網路擁有成本。許多製造網路是有限資源排序網路，在其中，藉考慮在系統中的工作的最大量，把工作加到系統。能在Xiuli 、Chen 等人的、' Queuing Networks 々（ 1 999) Wiley，219 頁中找到有限資源排序網路的描述。在這些條件下，可能把到達時刻定義如下： λ(η)=〇，對 η^Μ (1) 當n — 1 (Μ是正整數），λ (η)是正的且有限的；。在此例中，Μ是系統能維持的工作的量。系統的靜態分佈或在系統中的工作的平均値是以在系 Γ ; 統的多個節點的靜態分佈的邊界的分佈決定：； _ .V Ν 、 /T(n)=cn7Tj(nj)，對[ 本纸張义度適用中國國家標準（CNSM4規格（210 x 297公f ) 526404 B7 五、發明說明（5 ) 吾人可能期待在有多個處理節點的系統的每一節點的靜態分佈的形將是Poisson，因此，這些處理節點的結合分佈的形也將是P 〇 1 s s ο η。設在一運作系統中若干平衡速率等式維持，且個別節點的產能因此等於到達速率，個別節點的產能可有關於隊伍長度或工作量。假設到達速率是 Poisson分佈，使用因素（節點j的ρ」）與在該節點的工量的平均量（η ^ )之關係如下： η. (3 ) P j = ~77 (刀/ +1) 在其中，平均使用率是6 6 % _，在每一節點的工作的平均量是2。因此，爲使網路的總平均使用率是6 6 %，依等式（2) ’網路平均需要2 η個工作。然而，既然在每一節點的到達時刻是Ρ◦ 1 s s ο η程序，在每一節點須有一緩衝區。舉例而言，若在每一節點平均有兩個工作，則在該時間的八分之一，在每一節點將有四個工作排隊等待處理，並有1 : 1 0 0的機會有1 0個工作排隊。在產品隊伍中的緩衝是網路的管理的重要部分。緩衝區能是中央緩衝區（亦即在處理後，這些工作回到一緩衝區），或緩衝區能散佈在各處理節點，取決於它們被用到的真正可能性。緩衝區的分佈的細節取決於工作處理的處理時間及行程的混合。所選的緩衝原則還將考慮移動處理的工作的困難度及時間限制。對線性模式及再入式模式，緩衝區的分佈及產品到一處理節點的行程的安排能是複雜本紙張义度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公餐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

F -----訂--------- 526404 A7 _____B7___ 五、發明說明（6 ) 問題且能大幅增加處理時間及勞工成本。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 上述之處理節點的使用率的計算假設在處理設備上的工作無設定時間。換言之，處理節點在怠機時能在一件工作到達時立即予以處理。若此條件不真’則設備的使用率降。即使設定與前一件工作同時進行，則這是真的。在此例中，使用率降得迅速，除非增加等待的工作的平均量。若設定時間近似處理時間，則節點平均須有四件工作’一件在處理而另一件在設定，以達到6 0 - 7 0 %使用率。因此，即使有同時設定時間的網路增加W I P及緩衝區問題。這些問題無一般解決方法，且特定解決方法需要大量計算且無助於擁有因素成本。因此，在瓶頸程序的緩衝是網路的產能及系統的產能的決定程序。因此，改善此程序，有助於網路的擁有的較低成本。發明槪述本發明處理上述之問題而提供對一條生產線的控制，此生產線使work-in-process ( W I P )排隊在一再入瓶頸：處理節點之前。本發明用一推型方法把W I P從瓶頸程序 ! 送到後續處理節點，在確認淸出一條通過全部處理節點而 ; 回到再入處理節點或到出口的路線，並保留此有空的路線

J - 給關心的w I P。 ! ^ 在一觀點中，本發明可能被用一生產線（例如半導體 ; 生產線）中，在其中，產品（例如一片晶圓或一匣晶圓）本纸張又度適用中國國家標準（CNSM4規格（210 x 297公釐） 526404 A7 _______B7__ 五、發明說明（7 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 被排在p r e -石版印刷隊伍中，等處理。爲提供生產線的更高使用率’決定一條通過在瓶頸處理節點（石版印刷 )以後的全部處理節點的路線存在，以控制通過生產線的產品的流程。一旦發現一條有空的路線，則保留後續處理節點給有空的路線及關心的W I P。隨後，從再入的隊伍選一 W I P給有空的路線，然後，開始有空的路線。有空的路線包括一路線回到隊伍或到達生產線的出口。結果’被選到的W I P在到達每一處理節點時立即被處理。因此，大致避免次要瓶頸產生，因在每一*節點已預留產品處理，且產品不必等節點變成有空。因此，本發明提供生產線的更局使用率及次要瓶頸的減少。在本發明的另一觀點中，有多個W I P適合它們的路線的開始’依一排隊原則（例如工作的優先順序），從這些 W I P 選一 w I P。本發明可能被實施在上述之方法或設備中。本發明一設備控制一條生產線，生產線使W I p排隊在一再入瓶頸程序之前。此設備可能包括一記憶體以存可執行的步驟，還有一處理器以執行這些可執行的步驟，在其中，這些可 ^ 執行的步驟包括：決定一條有空的路線；保留節點給有空 V 的路線。 f J 本發明的其他實施包括若干電腦能執行的步驟或電腦 • 能讀的媒體’此媒體存這些電腦能執行的步驟的執行所用：的碼（c 〇 d e )，在其中’這些可執行的步驟包括：決定一；條有空的路線；保留節點給有空的路線。本紙張賴巾關家鮮（CNS)A4祕（21G X 297公复)---- 526404 A7 _______B7____ 五、發明說明（8 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在另一觀點中，本發明可能是處理工作的行程安排的方法，由通過多個處理節點的網路的若干處理步驟組成。在描述此方法以先，須定義一瓶頸處理節點，且在瓶頸節點須有產品緩衝區能用。因此，首先完成定義一節點或節點型，定義它是主要瓶頸程序，或是在多節點處理網路中設定瓶頸程序所用的程序。一旦定義瓶頸節點，安排一產品緩衝區在瓶頸節點以容納一隊伍。爲開始本方法，從隊伍選一產品來處理。可能依某個排隊原則選此產品，例如在隊伍中的工作的優先順序。然而’在瓶頸程序開始處理此產品以先，決定是否淸出一條通過所有在瓶頸節點以後處理此產品所需的處理節點的路線。路線可能走向下一瓶頸處理節點緩衝區，或走向網路的出口。一旦找到一條有空的路線，保留後續處理節點給這些路線。可能立即（immediately.)或及時（in time )保留路線。在保留後續處理節點以後，啓用此路線並開始用瓶頸程序處理選到的產品。最後’把產品送回瓶頸處理節點隊伍或送到網路的出口，取決於產品的處理的狀態。上述之方法顯明本發明的觀念。首先，確定保留一條 ί 回到瓶頸緩衝區或到網路的出口的路線。其次，造成瓶頸 J 程序的更佳負載。在保證一條到前瓶頸緩衝區的路線時，；本方法確保在網路的任何總負載中瓶頸緩衝區都有良好的 • 負載。確保瓶頸程序有良好負載，就確保網路在任何處理 ^ 器的耝合都以更高速運作。 I紙張&㈣种關家鮮（CNSM4娜（21Gx297公爱)^ΊΊΓ-*--- 526404

五、發明說明（9 ) 圖式簡沭圖1 A描繪本發明的多節點處理網路。圖1 B描繪在圖J A的一個處理網路的多個元件之間的通訊。圖1 C描繪一個產品通過圖1 A的網路的一條可能的路線。圖2描繪通過本發明的處理網路的產品流通的一例。圖3描繪在本發明的一個處理網路的各部分之間的通訊。圖4描繪在本發明的各處理節點之間的產品流程及通訊。圖5是一流程圖，描繪本發明的處理步驟。符號說明 10 0 工作到達程序 10 1 W I P緩衝區 . 10 1 隊伍 1〇2 處理節點 1 0 2 A 塗/顯影軌道機構 1 0 2 B 石版印刷程序 10 3 處理節點 10 4 處理節點 10 5 處理節點 10 6 處理節點本纸張K度適用中國國家標準（CNSM4規格（210 X 297公t (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線 _ 526404 A7 B7 五、發明說明（1〇 ) 1 〇 7 處理節點 1 〇 8 處理節點 1 〇 9 出口 1 1 1 排程器 1 1 2 程序控制中心 1 1 3 產品追蹤機構 1 1 4 輸送帶 1 1 5 產品流閘 1 2 5 網路 1 3 〇多節點處理網路 1 5 〇計算系統 1 5 1 計算系統 1 5 2 §十算系統 1 5 3 計算系統 1 5 4 計算系統 1 5 5 計算系統 1 6 6 空檔狀態 1 6 8 訊號 2 5 〇通訊網路 3 5 1 排程器詳述 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

n H ϋ ϋ ϋ m 一口、I I in n HI I 圖1 A描繪本發明的多節點處理網路1 3 0。如圖 1 A所示，此網路包括處理設備的網路1 2 5，網路本纸張丈度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 13- 526404 A7 _____B7 _ _ 五、發明說明（11 ) 1 2 5與一排程器（scheduler ) 1 1 1及一程序控制中心 1 1 2通訊。以下將詳細描述排程器1 1 1 ，但槪略地說，排程器1 1 1可能是一電腦容納的可由電腦執行以安排產品通過網路1 2 5的行程的步驟。程序控制中心1 1 2 宜爲一計算系統，它包括一軟體應用程式以控制產品通過一生產設備的流程。應用程式宜用.在網路1 2 5中的各電腦及感應器提供的回饋控制產品在網路1 2 5中從一處理節點到另一處理節點的流程。就此而言，網路1 2 5可能包括若干感應器（未被描繪）以指示在任何指定的時刻產品在網路1 2 5中的位置。又，在網路中的每一節點（例如處理節點1 0 2到 1〇8 )可能有一電腦系統以控制該處理節點。在圖1 A 中，標號1 5 0到1 5 5表示控制處理節點1 0 3到 1〇8的計算系統。計算系統1 5…tT到1 5 5都提供回饋給程序控制中心1 1 2 ，程序控制中心1 1 2用這些回饋控制產品通過網路1 2 5的流程，稍後將予以詳描。如圖1 A所示，處理節點1 2 5可能包括工作到達程序1〇〇，W I P緩衝區1〇1 ，處理節點1〇2到： 1 0 8。這些處理節點有至少一個是瓶頸處理節點1 0 2 ! 。工作到達程序1 0 0宜是控制新產品進到網路的流程的 r ; 任何步驟。就此而言，工作到達程序1 0 0的一項重要功 - 能是使待處理的新產品通過網路到w I P緩衝區1 0 1 。 ] 以下將更詳細描述新產品進到網路的過程。然而，工作到 ; 達程序宜自動化，以一電腦控制新產品從工作到達程序 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -------訂·-------- 本纸張坨度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -T4- 526404 五、發明說明（12 ) 1 〇〇進到w I p緩衝區1 〇 1的流程。然而，還可能用手動程序。舉例而言，工作到達程·序1 0 0可能是一台機器，供操作者用以傳送新產品的。舉例而言，工作到達程序1 0 0可能以視覺方式指示操作者新產品將從工作到達程序1 0 0到W I P緩衝區1 〇 1。一旦收到指示，操作者可能押一個按鈕（舉例而言），把所要的新產品送入 w I P緩衝區1 0 1。 ^工作到達程序1 0 〇還從W I P緩衝區1 0 1接收回饋。就此而言，工作到達程序1 0 0及W I P緩衝區 1 0 1彼此通訊，直接或透過一中央處理站，例如程序控制中心1 1 2。回饋可能包括各種因素，例如W I P緩衝區1 0 1容納的W I P的定數。用此回饋，決定工作到達 f壬序1 0 0是否釋放新產品給W I P緩衝區]_ 〇 1。舉例而言，W I P緩衝區1 0 2可能最多容納5 0個產品。當 w I P緩衝區1 0 1容納的產品的量落到5 0以下，工作到達程序1 0 0可能釋放新產品給W I P緩衝區1 0 1。可能以數個方式之任一控制新產品釋放。舉例而言，工作到達程序1 0 0可能維持全部工作，直到接到指示，在w I P緩衝區1 0 1中的產品的量小於一臨界値，例如 5 0。在此例中，W I P緩衝區1 0 1可能把在產品的量上的回饋直接送到工作到達程序1 0 0 ，或先到中央處理站而後回中央處理站送到工作到達程序1 0 0。替代地，工作到達程序1 〇〇可能進行w I P緩衝區1 0 1的定期查詢’以決定產品量是否落到5 0以下。不論方法爲何，本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ------訂---------· 526404 經齊那智慧財.4笱員工消費合it吐印沒 A7 B7___ 五、發明說明（13 ) 都藉工作到達程序1 〇〇把新產品送入w I Ρ緩衝區 10 1° 一旦產品從工作到達程序1 〇〇送到w I Ρ緩衝區 1 0 1 ，就從w I ρ緩衝區1 〇 1選一產品供處理。以下將更詳細描述選擇程序及選到的產品的啓動。如圖1 Α所示，網路可能容納處理節點1 0 2到 1 0 8 °在一半導體處理網路中，這些節點可能包括石版印刷、植入、蝕刻、計量及氧化。然而，在一產品通過網路回W I P緩衝區的過程中，未必用到每個節點。舉例而言’處理節點1 〇 3及1 0 4是重複的節點，執行相同處理功能’就不會在一趟中用到這兩個節點。在此例中，在一產品的處理中，只用處理節點1 〇 3或處理節點1 0 4 。因此，在圖1 A中，可能在把一產品送回W I P緩衝區 1 0 1接受進一步處理或出口程序1 〇 9以先，用處理節點102 ，1〇3及106予以處理。也在圖1 A的網路中的是輸送帶1 1 4，把產品從一處理節點送到另一處理節點，因此形成一條生產線。然而 ’應注意輸送帶不是唯一能把產品從一節點送到另一節點的裝置。就此而言，若從一處理節點到另一處理節點的距離禁止輸送帶的使用，則可能以人工把產品從一節點送到另一節點。舉例而言，一個處理節點在另一建築物時，就須如此。在此例中，一操作者可能把產品從一建築物送到另一建築物。在此例中，一旦在下一處理節點收到一產品，操作者最可能須以手工把產品送入處理節點以開始處理本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -16- --------------------訂---------線 41^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 526404 A7 ___B7_·_ 五、發明說明（彳4 ) 〇圖1 A顯示輸送帶1 1 4直接走入每個處理節點，但此描繪是簡化的。實際上，在一處理節點完成一產品的處理時，產品繼續移到處理產品所需的下一處理節點。然而，產品未必直接進到處理立即發生的處理節點。取代地，在用一節點處理產品以先，經常須把產品設定在節點中。這可能需要一操作者以人工把產品放入一固定工具以便處理產品。又，操作者可能須先淸除任何先前設定並輸入新設定。然而，爲簡單，圖1 A假設進到每個處理節點的產品自動設定，且每一處理節點包括任何固定站。設定程序的一例可能是在瓶頸處理節點1 0 2的塗/ 顯影軌道機構（未被描繪）。在圖1 A中，瓶頸處理節點 1 0 2包括一塗/顯影軌道機構。在一晶圓第一次從 W I P緩衝區1 〇 1被送到瓶頸處理節點1 〇 2時，它首先進到一塗/顯影軌道機構而被塗以抗蝕物，然後，暴露在石版印刷程序中。暴露在石版印刷程序中以後，晶圓進到塗/顯影軌道機構而使暴露的抗蝕物顯影。因此，產品不直接進到石版印刷程序，欲先通過一設定程序。圖1 A的網路可能還包括產品追蹤機構1 1 3及產品流閘1 1 5。就此而言，產品追蹤機構1 1 3可能追蹤通過網路的產品的移動，並提供回饋給程序控制中心1 1 2 。以此方式，程序控制中心1 1 2能維持產品的連續狀態。又’程序控制中心1 1 2能用造就資訊以操作產品流閘 1 1 5。就此而言，基於從追蹤機構而來的回饋，程序控 H氏張汶度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公餐) -竹- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣 ----訂---------線一 526404 A7 ___B7_ 五、發明說明（15 ) 制中心1 1 2能自動控制流閘1 1 5而指引產品通過網路 0 如圖1 A所示，程序控制中心1 1 2能控制產品以任何順序通過處理節點1 〇 2到1 〇 8。舉例而言，產品可能從瓶頸處理節點1 〇 2走到處理節點丨〇 3 ，然後到處理節點1 0 6 ’然後回到節點1 0 3以接受進一步處理， | 並在最後離開網路或回來以接受另一次石版印刷。因此，圖1 C顯示產品可能走的一條路線，如雙線箭頭所示，連接各處理節點。印圖1 C所示，產品可能從工作到達程序1 〇〇通咼 W I P緩衝區1 〇 1，瓶頸處理節點1 〇 2，處理節點 1〇3 ，處理節點1 0 4，處理節點1 〇 6 ，處理節點 1 0 8，並回到W I P緩衝區1 0 1。以下更詳細描述圖 1 C所示的網路及流程的控制。爲控制網路，至少在網路的一些元件之間需要通訊。圖1 B描繪一種安排，允許網路的各零件透過通訊網路 2 5 0通訊。通訊網路2 5 0可能是區域網路（local area network ，縮寫爲L A N )。在此系統中，每個處理節點可 : 能包括一電腦以控制每個處理節點的運作，例如圖1 A所示的電腦1 5 0到1 5 5。以此方式’每個處理節點可能 r ；個別被程式化而以數値控制程序運作。因此，藉與程序控 - 制中心1 1 2通訊，這些控制這些處理節點的電腦能提供；處理節點的狀態指示’亦即處理節點忙不忙，或若它忙’ 則何時有空。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣

------訂·-------I 本纸張义度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇χ 297公t ) -IF- 526404 A7 ____B7 ___ 五、發明說明（16 ) 又，輸送帶1 1 4，產品流鬧1 1 5 ’追蹤設備 1 1 3連到網路而與程序控制中心1 1 2通訊。藉與程序控制中心1 1 2通訊，程序控制中心1 1 2可能自動控制這些機構。因此，使在處理網路中的全部處理設備連到一通訊網路，自動控制產品流。雖然圖1 B描繪連到通訊網路的各式處理設備，例如 L A N，還可能用其他通訊形式。舉例而言，一處理節點 i 可能提供一視覺指示：在那節點的產品的處理已完成。此視覺指示可能是一旗或電子指示，.例如光或蜂鳴。一旦收到指示，操作者可能以人工從處理設定移走產品’把它放在一輸送帶並以人工壓一開關以操作輸送帶而把產品送到下一處理節點。因此，雖然網路完全自動化時最有效率’ 卻可能用一些人工作業且本發明可能被用在這樣系統中。圖2描繪產品通過半導體處理網路的流程。如圖2所示，產品被送入一 W I P緩衝區1 0 1而後進到石版印刷節點1 0 2。在圖2中，標號1 2 5到1 3 0表示未處理的幾匣晶圓。然而，隊伍還可能容維個別晶圓而非在匣內的晶圓。晶圓首先從W I P緩衝區1 0 1傳到石版印刷節 ! 點1 2 0。然而，晶圓可能不立即‘進到石版印刷程序。替 ^ 代地，保持箱可能被放在石版印刷節點以承接晶圓。在這 • 情形中，可能需要操作者以人工設定。在這樣情形中，操 : 作者可能從保持箱移走晶圓並進行晶圓的設定以供處理。；在進到石版印刷程序1 0 2 B以先，產品通過塗/顯；影軌道機構1 〇 2 A。在塗/顯影軌道機構1 〇 2 A中’ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本纸張又度適用中國國家標準（CNSW規格（210 X 297公釐） -19- 526404 A7 ____ B7_ 五、發明說明（17 ) 晶圓被塗以抗蝕物。在被塗以抗蝕物以，晶圓進到石版印刷程序1 0 2 B以曝光。在石版印刷中曝光以後，晶圓回到塗/顯影軌道機構1 〇 2 A以顯影。一旦完成在石版印刷節點1 〇 2中的石版印刷程序，晶圓隨後傳到在目前處理路線中所需的任何後續節點。就此而言’晶圓可能藉處理節點予以處理以進行植入、計量、氧化及/或蝕刻。因此，雖然圖2只顯示單後續處理節 \ 點1 0 3 ，實際處理卻可能藉多個處理節點來進行。像石版印刷節點，若需操作者以人工設定，則這些後續節點還可能有若干保持箱，在產品到達時予以容納。在完成任何後續程序以後，產品回到W I P緩衝區 1 0 1或到出口 1 0 9。用上述的追蹤到的狀態，排程器 1 1 1決定產品回到W I P緩衝區1 〇 1或到出口 1 〇 9 ，取決於晶圓需要額外石版印刷及/或後續處理或處理已完成。圖3描繪在控制本發明的生產線的各元件之間的通訊所用的可能系統。在圖3中，一排程器1 1 1被用以控制在網路中的產品的移動。排程器1 1 1可能是被寫在電腦 ; 程式中的電腦能執行的步驟，電子設備或任何手段，只要 ^ 能做與設備的空檔’產品及其優先順序的決定。如圖3所 f ；示，W I P追蹤系統1 1 3與排程器1 1 1通訊。如上述 ; ，通訊可能透過一 L A N ’直接通訊（例如有線或無線通、訊）或任何其他通訊手段。如參考圖2所述，W I P系統 1 1 3與排程器1 1 1通訊，使W I P追蹤系統1 1 3提本纸張义度適用中國國家標準（CNSM4規格（21〇χ 297公餐） f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} »衣 -------訂---------線 526404 A7 ____B7 ____ 五、發明說明（18 ) 供每個產品的指示資訊給排程器1 1 1。排程器隨後用此資訊決定產品的優先順序。排隊程序1 0 1也與排程器1 1 1通訊。排隊程序 1 0 1容納等著用網路予理的產品。排隊程序1 0 1提供與在隊伍中的產品的量及那個產品在隊伍中有關的資訊及有關於在隊伍中的產品的其他資訊給排程器1 1 1。排程器1 1 1用此資訊決定在隊伍中的產品的優先順序並提供 ] 指示給隊伍：將把新產品從工作到達程序1 〇〇到W I P 緩衝區1 0 1 (舉例而言）。排程器1 1 1還提供與那個產品將從隊伍被釋放到石版印刷程序有關的資訊。以此方式，排程器1 1 1與排隊程序1 0 1通訊以控制進、出隊伍的產品的移動。在節點1 0 3及排程器1 1 1之間的通訊也被顯示在圖3中。就此而言，爲了簡單，圖3描繪一個節點與排程器1 1 1通訊。然而，實際上，在網1中的全部處理節點能與排程器1 1 1通訊。因此，爲了簡短，將只討論一個處理節點。處理節點1 0 3與排程器1 1 1通訊，以指示處理節點是否有空，處理節點從忙碌變成有空的狀態變化或處理節點從忙碌變成有空所需的時間。如參考圖1 B所討論，處理節點的狀態的通訊可能透過L A N，視覺訊號或其他手段，以傳送狀態變化。在處理節點與排程器之間的通訊允許本發明決定是否已淸出一條通過在瓶頸處理節點以後的全部後續節點或回到隊伍或離開網路的路線。爲讓排程器1 1 1做此決定’ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ------訂---------線本纸張汶度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇χ 297公釐） ^21- 526404 A7 _______B7 _ 五、發明說明（19 ) 排程器1 1 1從處理節點獲得與其空檔有關的回饋。如上述’處理節點提供與其是否有空，從沒空變成有空的狀態變化或它們將變成有空的預估時程有關的回饋給排程器。用此資訊，排程器3 5 1稍後能決定處理在隊伍中的產品所需的處理節點是否全部有空以形成一條路線讓產品通過網路’或處理節點何時變成有空以形成一條路線。 I 又’一旦排程器1 1 1爲一產品找到一條路線，就保 I - 留此路線通過的處理節點。「保留」表示排程器保留在處理一個特定產品需的路線中的每個處理節點。以此方式，一旦啓用此路線’將保留每一處理節點，以處理被選到的產品。排程器1 1 1不必直接與每個處理節點通訊以提供一個被保留的指示。如上簡述，可能立即或及時保留此路線。若排程器 1 1 1決定一條路線有空，且能立即啓用此路線（例如石版印刷節點不忙著處理另一產品），則啓用此路線。然而，若排程器1 1 1找到一條路線，但因其節點之一目前處理另一個產品（舉例而言）而不能.立即啓用此路線，則及時保留此路線。「及時保留」表示稍後在目前沒空的節點 ; 變成有空時保留。 ’ _ 3還描繪在排程器1 1 1與程序控制系統1 1 2之間的通訊。如參考圖1 A所述，程序控制系統1 1 2的一功能是控制產品通過網路從一處理節點到另一處理節點的；移動。一旦排程器1 1 1找到一條路線並保留處理節點，且其隨後變成啓用路線的時刻’排程器1 1 1提供指示給 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -------訂--------- __ 本纸張义度適用中國國家標準（CNSM4規格（210 X 297公4 ) -22- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 526404 A7 ___________ B7 五、發明說明（20 ) 程序控制系統1 1 2以啓用路線，程序控制系統1 1 2因此控制產品通過網路的移動及處理。圖4描繪在本發明的處理網路中的各部分之間的通訊及產品移動。在圖4中，實線指示產品移動，虛線指示通訊。產品初始被放在工作到達程序1 〇〇中，並如參考圖 1 A所述移動隊伍1 〇 1 ，被留在·該處，直到找到一條路線。就此而言，如參考圖3所述，排程器1 1做出路線決定。亦即，後續處理節點1 〇 3與排程器1 1 1通訊，以提供其空檔狀態1 6 6。用處理節點的狀態，若排程器 1 1 1爲在隊伍中的至少一個產品找到一條路線，則排程器1 1 1爲此路線保留後續處理節點。然而，將啓用此路線日寸’排程器1 1 1提供一個訊號1 6 8給隊伍1 0 1以啓用此路線。然而，若此路線因包括未來有空的處理節點而不能立即被啓用，則排程器1 1 1在啓用時刻來到時送訊號1 6 8到隊伍1 〇 1。一旦啓用此路線，產品從隊伍1 〇 1移到再入程序 1 0 2。在半導體生產線中，再入程序可能是石版印刷程序。再入程序1 0 2完成處理產品時，產品移到處理產品所需的每個後續處理節點1 〇 3。爲了簡單，圖4只顯示一個後續處理節點1 〇 3。然而，像圖2的描述，後續處理節點1 0 3可能是多道程序。在用後續處理節點1 〇 3處理以後，產品移動依賴排程器1 1 1決定的路線。就此而言，在決定路線時，排程器1 1 1沐定路線是否把產品送回到隊伍接受其他處理或本紙張尺度適用中國國孓標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------靈--------訂---------線# (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印泣 526404 A7 ----- 五、發明說明（21 ) 產品已完成。如參考圖3所述’排程器從w I P追蹤機構接收回饋以追蹤每個產品完成的處理趟數。用此資訊，排程器1 1 1能決定目前路線是否最後一趟，亦即產品在此趟後是否完成，或產品是否需要其他處理。當排程器 1 1 1決定此路線是最後一趟，產品移到出口程序1 〇 9 。然而’當排程器1 1 1決定此路線不是最後一趟，產品在被後續處理節點1 〇 3處理以後回到隊伍1 〇 1 ◦ \vP 5是流程圖，描繪本發明的生產線的控制步驟。圖 5的步驟可能被實施成電腦程式，電子設備或任何其他手段。這些步驟被存在電腦能讀的媒體，電腦（例如圖1 A 的排程器1 1 1 )能從此媒體讀取並執行這些步驟。簡g之’這些步驟決定一條路線，爲此路線保留處理節點，並啓用此路線。程序開始時，把產品送到再入程序的隊伍。如圖5所示，在步驟S 5 0 1 ，決定隊伍是否滿的。做此決定時，考慮隊伍的特性（例如尺寸，亦即在隊伍中的產品的量）及隊伍能容納的產品的量的固定限制。舉例而言，依隊伍能容納的產品的量的最大値，指派固定限制給它。此程序決定多少產品在隊伍中並把它與固‘定値相比。當決定隊伍是滿的，流程走到步驟S 5 0 3。然而，當決定隊伍不是滿的，在步驟S 5 0 2 ，一個新產品被加到隊伍。把新產品加到隊伍，直到隊伍尺寸超過固定限制，在此時，爲在隊伍中的產品進行路線計算’稍後予以描述。一旦至少一處理節點變成有空，每個有空的處理節點本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -24- --------!t--------訂---------線_ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 526404 A7 __B7 五、發明說明（22 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 依其在處理網路中的優先順序被分類（步驟s 5 〇 4 )。舉例而言’可能依據那些節點須在其他節點以先被用到，把這些節點分類。舉例而言，圖1 C的處理節點1 〇 3及 1 0 4可能都有空。在處理網路中，需要處理節點1 〇 4 處理的產品可能須先用處理節點1 〇 3予以處理。因此，處理節點1 0 3比處理節點1 〇 4獲得更高的優先順序，因先用到它。當每個處理節點變成有空，或指示它何時將變成有空，則排程器依它們在處理網路中的優先順序予以分類。經濟部智慧財查局員工消費合itfi-印沒在把有空的處理節點分類後，決定在隊伍中有無產品在其下一趟通過網路時需要有空的處理節點處理。舉例而言’處理節點1 〇 3及1 0 4可能有空。若在隊伍中有產品在其下一趟通過網路時只需要處理節點1 〇 3及/或 1 0 4處理’就能配對。然而，若處理節點1 〇 3及 1 0 4有空，但在隊伍中的每個產品在其下一趟通過網路時需要處理節點1 〇 3 ，1 0 4及1 0 6處理，則不能配對，因處理節點1 〇 6沒空。請記住，本發明找到一個產品在其下一趟通過網路時所需的處·理節點（包括再入處理節點）連成的路線。因此，若處理產品所需的每個處理節點都沒空，則不能配對。不能配對時，流程走到步驟 S 5 0 6。然而，若不能配對，則進行另一調查迴路，以依據有空的處理節點（包括可能在前次調查迴路以後變成有空的處理節點）重複分類。再次，在步驟S 5 0 5 ，做一個決定，把有空的處理節點與在隊伍中的產品配對。調 -25- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 526404 A7 ______ B7 五、發明說明（23 ) 查迴路繼續，直到能配對，在該點，流程走到步驟 S 5 〇 6。年/.驟S 5 0 6 ，一旦能配對，依優先順序把已配對的在隊伍中的產品分類。排程器爲選到的路線保留每個處理節點。可能爲立即路徑或及時路線保留處理節點。路線是立即或及時，依賴處理設備立即有空或在未來某時刻（ t )將變成有空。接下來，在步驟S 5 0 9 ，決定再入處理節點的優先順序。舉例而言，可能依據所要的結果，決定再入處理節點的優先順序。舉例而言，一個網路可能容納多於一個石版印刷機，每個石版印刷機能處理晶圓的一層。因此，把優先順序給能產生最佳結果的機器。然而，未必選有最高優先順序的機器。舉例而言，若想用的機器沒空，則用任何其他機器執行該程序，但得到較差的結果。在步驟S 5 1 0，爲再入處理節點決定一設定程序是否有空。若設定程序或再入節點的再入程序有空，則在步驟S 5 1 1啓用選到的產品所用的路線。若無設定程序或再入程序有空，則進行另一調查迴路。一旦在步驟S 5 1 1啓用選到的產品所用的路線，程序回到步驟S 5 0 1以再次決定在隊伍中的產品的量。以下描述對在圖1 C所示的路線中的產品的控制。依此描述，吾人假設在隊伍中的全部晶圓等待第一趟處理，亦即先前未被處理。又，假設在第一趟及第二趟，每一晶圓都將被處理節點1 〇 3 ’ 1 0 4 ’ 1 0 6及 --------丨— ！曹--------訂---------線參 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） -26- 經濟部智逢財查咼員工消費合作钍印製 526404 A7 ---------— B7__ 五、發明說明（24 ) 1〇8處理。處理開始時’若干匣容納的若干批晶圓被送入工作到连程序1 0 0。舉例而言，如圖2所示，匣1 2 5到 1 3 〇可能被送入工作到達程序1 〇〇。通常以人工把這些晶圓送入工作到達程序1 〇〇。回到圖1C ’並用圖5的步驟S501及S502 ，把晶圓從工作到達程序；[〇〇送到w I p緩衝區1 〇 1 ，直到在隊伍中的晶圓的量達到一預定的限制，例如1 〇批。可能藉程序控制中心1 1 2控制此上貨程序。一旦在隊伍中的晶圓的批數達到限制（1 〇 )，程序控制中心 1 1 2命令工作到達程序1 〇〇停止把晶圓送入隊伍。排程器1 1 1決定是否爲在隊伍i 〇 1中的每批晶圓淸出一條路線通過全部處理節點並·回到隊伍1 〇 1或到出 □程序1 0 9。如上述，排程器1 1 1從節點1 〇 3到 1〇8接收與其空檔有關的回饋。因此，除了在隊伍 1〇1中的晶圓’沒其他晶圓的網路中。因此，在隊伍 1 0 1中的每片晶圓等第一趟處理，排程器1 1 1就爲每片晶圓決定處理節點103，104，106及109是否有空。請記住，處理節點1 〇 3，1 0 4，1 0 6及 1 0 8是晶圓的第一趟處理所需的節點。一旦決定這些處理節點有空，排程器1 1 1決定有一條路線供在隊伍 1 0 1中的每片晶圓所用。在處理中的下一步驟是排程器_ 1 1 1決定那一片晶圓將用路線。請記住，依據完成處理所需的處理步驟的量提 ------------·--------tr---------線Φ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -27- 526404 A7 - B7 五、發明說明（25 ) 供優先順序給晶圓。然而，在本例中，全部晶圓有相同優先順序，因它全等待第一趟處理。因此，排程器1 1 1將選1 0片晶圓的任一片來處理，可能選從工作到達程序 1 0 0進到隊伍1 0 1的第一片晶圓。、一旦排程器1 1 1爲路線選一片晶圓，排程器1 1 1 V’ 保留處理節點1〇3 ，1〇4 ，1 0 6及1 0 8 (選到的晶圓的第一趟處理所需的節點）。一旦保留處理節點，排程器1 1 1決定瓶頸處理節點1 0 · 2是否有空成爲立即路線。在此例中，瓶頸程序1 0 2目前不處理任何晶圓，因此有一條立即路線。因此，排程器送一個訊號到隊伍 1〇1及程序控制中心1 2 ，以釋放選到的晶圓，並把它送到瓶頸處理節點1 0 2 (石版印刷）。然後，程序控制中心1 1 2開始控制處理程序，操作隊伍1 0 1 ，輸送帶1 1 4及閘1 1 5而把選到的晶圓移到處理節點1 0 2。到處理節點1 0 2以先，晶圓可能通過追蹤機構 1 1 3。追蹤機構1 1 3可能是掃瞄設備而掃瞄晶圓的條碼，藉此獲得晶圓的序號。然後，追蹤機構1 1 3把晶圓識別資訊傳到排程器1 1 1。如上述，排程器1 1 1用此資訊爲在隊伍中的每片晶圓指派優先順序。如上述，瓶頸節點1 0 2可能要求操作者以人工設定。然而，就本例而言，假設自動設定，且一旦到達處理節點1 0 2 ’晶圓自動設定且石版印刷程序開始。在第一晶圓開始處理以後，排程器1 1 1爲留在隊伍本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -28- ------------蒙--------訂---------線· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 526404

五、發明說明（26 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作吐_印製 1 0 1中的每片晶圓計算路線。在此情形中，既已保留處理節點103 ，1〇4 ’ 1〇6及108 ，排程器111 可能決定它們有空且排程器1 1 1因此將不爲在隊伍中的任何產品找一條路線。然而’處理節點1 〇 3，1 〇 4，1 0 6及1 0 8都可能指示排程器1 1 1它們將在一時段（t )變成有空。如此’排程器可能在時段（t )爲在隊伍1 〇 1中的每片晶圓找到一條路線。在此例中，將及時保留一條路線。亦即’排程器1 1 1將送一個保留訊.號給第二片晶圓所用的路線的每個處理節點，以致在時段（t )保留第二片晶圓所用的路線的每個處理節點。因此，一旦時段（t )到了 ’排程器1 1 1送一個訊號到隊伍1 〇 1 ，以在處理節點 1 〇 2變成有空時，啓用第二片晶圓的路線。程序繼續，排程器1 1 1爲在隊伍中的每片晶圓計算路線。然而，當第一晶圓在完成第一趟以後回到隊伍，排程器1 1 1再爲在隊伍中的晶圓（包括第一片晶圓）計算路線。將更詳細描述此情形。一 f第一片晶圓回到隊伍1 0 1 ’排程器1 1 1以上述之方式計算一條路線。然而，若爲隊伍中一片以晶圓找到一條路線，則排程器1 1 1保留此路線給有最高優先順序的晶圓。在此例中，第一片晶圓的處理完成時，其他晶圓的處理尙未開始。因此，排程器1 1 1指派一個較高的優先順序給第一片晶圓，先保留該路線給第一片晶圓，才保留一條路線給有較低優先順序的晶圓。因此，當處理節 --------------------訂---------線·^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） -29- 526404 A7 ------------ ---Β7____ 五、發明說明（27 ) 點1 0 2變成有空，排程器1 1 1送一個訊號到隊伍 1 〇 1 ，爲第一片晶圓啓用路線。從上例能看到，排程器與在網路1 2 5中的各個處理設備通訊，並控制產品在處理設備中的移動。通常’在隊伍中沒產品開始被處理，直到找到一條路線並爲此路線保留節點；因此，大幅避免在處理網路中的次要瓶頸。又，大幅強化瓶頸程序的使用率，因排.程器提供更佳上貨行程 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 逐齊^皆逢材查苟藥!.肖費釜泎i:p-^ 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -30 -

Claims

526404 A8 B8 C8 _ D8 六、申請專利範圍 1 · 一種生產線控制方法，此生產線把w I p排在一個再入瓶頸處理節點之前，此方法包括下列步驟：決定是否有一條路線空出，.讓w I P之一通過在瓶頸處理節點以後的全部處理節點；及在有路線空出時，爲選到的w I P保留後續處理節點。 2 .如申請專利範圍第1項所述之方法，其中，瓶頸處理節點是石版印刷處理節點。 3 ·如申請專利範圍第1項所述之方法，其還包括：在保留後續處理節點以後，爲選到的W I P啓用有空的路線。 4 ·如申請專利範圍第1項所述之方法，其中，有空的路線包括一條回到再入節點或到生產線的出口的路線。 5 ·如申請專利範圍第1項所述之方法，其中，多個 W I P有一條有空的路線。聲 1 6 ·如申請專利範圍第5項所述之方法，其還包括：在保留後續處理節點以後，爲選到的W I P啓用有空的路線，依據一個排隊原則，爲有空的路線選W I P。 7 ·如申請專利範圍第6項所述之方法，其中，排隊原則是在隊伍中的工作的優先順序。 8 種生產線控制裝置，此生產線把W I P排在個再入瓶頸處理節點之前，此裝置包括：一個記憶體，有一個區存若干能執行的步驟；及理行這些能執行的步驟； -31 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 526404 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 _其中，這些能執行的步驟包括：鲁決定是否有一條路線空出在瓶頸處理節點^^氣轉全理節點；及 ♦在有路線空出時，爲選到的理節點。 9 ·如申請專利範圍第8項所述之裝置，其中，處理節點是石版印刷處理節點。 1 0 ·如申g靑專利範圍第8項所述之裝置，其執步驟還有在保留後續處理節點以後，爲選到的w I p 有空的路線。讓W I p之 P保留後續處瓶頸行的啓用 •如申請專利範圍第8項所述之 &，其中，有空的路線包括一條回到再入節點或到生產屢的出口的路線個W I 1 2 ·如申請專利範圍第8項所述之 P有一條有空的路線。其中，多如申請專利範圍第1 2項所述之#=£，其執行 I：. ...rV ------------------------訂---------線 l>y/ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)_ ϊα s 的步驟 Ρ啓用 W I ρ 1 ^ '如申請專利範圍第1 3項所述之，其中排隊原還包括：在保留後續處理節點以後，#達!到的W 有空的路線，依據一個排隊原則，爲有:¾的路線選 1:1 g隊伍中的工作的優先順序 w I ρ 的步驟 5 腦能執行而控制生產線的步驟，此生產線把排個再入瓶頸處理節點之前，這些電腦能執行包括：表紙張尺/定適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） -32- 526404 σ 1 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍決疋是否有一條路線空出，讓w I ρ之一通過在瓶頸處理節點以後的全部處理節點；及在有路線空出時，爲選到的.W I Ρ保留後續處理節點。 1 6 ·如申請專利範圍第1 5項所述之電腦能執行的步驟’其中’瓶頸處理節點是石版印刷處理節點。 1 7 ·如申請專利範圍第1 5項所述之電腦能執行的步驟’其還包括：在保留後續處理節點以後，爲選到的W I Ρ啓用有空的路線。 1 8 ·如申請專利範圍第1 5項所述之電腦能執行的步驟’其中’有空的路線包括一條回到再入節點或到生產線的出口的路線。 1 9 ·如申請專利範圍第1 5項所述之電腦能執行的步驟，其中，多個W I Ρ有一條有空的路線。 2 0 ·如申請專利範圍第1 9項所述之電腦能執行的步驟’其還包括：在保留後續處理節點以後，爲選到的W I Ρ啓用有空的路線，依據一個排隊原則，爲有空的路線選 W I Ρ。 2 1 ·如申請專利範圍第2 0項所述之電腦能執行的步驟，其中，排隊原則是在隊伍中的工作的優先順序。 2 2 · —種電腦能讀的媒體，其貯存電腦能執行而控制生產線的步驟，此生產線把W I . Ρ排在一個再入瓶頸處理節點之前，其包含：決定程式，其決定是否有一條路線空出，讓W I Ρ 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -33 - --------------------訂---------線 41^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) $ κ〇 i 丨才 I 526404 B8 C8 ______ D8 六、申請專利範圍之一通過在瓶頸處理節點以後的全部處理節點；及保留程式，其在有路線空出時，爲選到的w I P保留後續處理節點。 2 3 ·如申請專利範圍第2 2項所述之電腦能讀的媒體’其中，瓶頸處理節點是石版印刷處理節點。 2 4 ·如申請專利範圍第2 2項所述之電腦能讀的媒體’其還包含一程式能在保留後續處理節點以後，爲選到的W I P啓用有空的路線。 2 5 ·如申請專利範圍第2 2項所述之電腦能讀的媒體’其中，有空的路線包括一條回到再入節點或到生產線的出口的路線。 2 6 ·如申請專利範圍第2 2 .項所述之電腦能讀的媒體’其中’多個w I P有一條有空的路線。 2 7 ·如申請專利範圍第2 6項所述之電腦能讀的媒體’其還包含一程式能在保留後續處理節點以後，爲選到的W I P啓用有空的路線，依據一個排隊原則，爲有空的路線選W I p。 2 8 ·如申請專利範圍第2 7項所述之電腦能讀的媒體’其中，排隊原則是在隊伍中的工作的優先順序。 2 9 ·如申請專利範圍第1項所述之方法，其中，路線可能是立即保留或即時保留。 3 0 ·如申請專利範圍第8項所述之裝置，其中，路線可能是立即保留或即時保留。 3 1 ·如申請專利範圍第1 5項所述之電腦能執行的本纸張又度適用中國國家標準（cnS)A4規格（210 χ297公釐） -34- --------------------訂---------線# (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 526404 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍步驟，其中，路線可能是立即保留或即時保留。 3 2 .如申請專利範圍第2 2 ·項所述之電腦能讀的媒體，其中，路線可能是立即保留或即時保留。泰纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） -35 - --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)