KR100411570B1 - 다색액정표시장치의제조방법 - Google Patents

다색액정표시장치의제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100411570B1
KR100411570B1 KR1019960009266A KR19960009266A KR100411570B1 KR 100411570 B1 KR100411570 B1 KR 100411570B1 KR 1019960009266 A KR1019960009266 A KR 1019960009266A KR 19960009266 A KR19960009266 A KR 19960009266A KR 100411570 B1 KR100411570 B1 KR 100411570B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
color filter
electroless plating
film
forming
display device
Prior art date
Application number
KR1019960009266A
Other languages
English (en)
Other versions
KR960035105A (ko
Inventor
미쯔루 수기노야
츠토무 마쯔히라
토시히코 하라지리
Original Assignee
세이코 인스트루먼트 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세이코 인스트루먼트 가부시키가이샤 filed Critical 세이코 인스트루먼트 가부시키가이샤
Publication of KR960035105A publication Critical patent/KR960035105A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100411570B1 publication Critical patent/KR100411570B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133512—Light shielding layers, e.g. black matrix

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

본 발명은 칼라필터가 도포된 다색 액정표시장치의 제조방법에 관한 것으로써, 쉐이딩 재료가 고중합체로 제조된 칼라필터 및 기판상에 무전해도금에 의해 형성되므로, 스크린으로 부터 반사된 외부광을 제거하는 고화질의 다색 액정표시장치가 간단한 방법으로 제조된다.

Description

다색 액정표시장치의 제조방법
본 발명은 칼라필터가 적용되는 다색 액정표시장치의 제조방법에 관한것으로써, 특히 간단한 매트릭스형 다색 액정표시장치뿐만 아니라, 고화질 구동 매트릭스형 다색 액정표시장치에 적합한 칼라필터기판을 간단하게 제조할 수 있는 다색 액정표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
제 3A도 및 제 3B도는 종래의 다색 액정표시장치의 단면도 및 정면도이다. 도면에 있어서, (31)은 유리기판, (32)는 스퍼터링에 의해 유리기판에 형성되고 격자형태로 패턴화된 크롬(Cr) 등올 제조된 쉐이딩막을 나타낸다. (33)은 광감지수지와 안료등을 혼합하여 얻어진 막을 패터닝함으로써 형성되는 칼라필터이다. 일반적인 칼라필터 제조방법으로는 염색기법, 전착법, 전달기법 등이 알려져 있다.
(34)는 칼라필터(33)상에 형성되는 유기고중합체로 제조되는 보호막이다. (35)는 스퍼터링, 이온도금에 의해 보호막상에 형성되는 액정을 구동하기 위하여 ITO로 제조되는 투명전극이다. (36)은 투명전극(37) 및 박막 트랜지스터(38)가 형성되는 제 2기판이다. 상기 칼라필터기판(31)과 박막 트랜지스터기판(36)은 그들 사이가 충전제(sealant)(39)에 의해 일정한 갭이 유지된 상태에서 결합되어 있다. 상기 갭에는 액정(40)이 충전되어 있으므로 다색 액정표시장치가 제조될 수 있는 것이다.
다색 액정표시장치는 박막 트랜지스터의 스위칭 특성 때문에 우수하게 형성될 수 있으며, 칼라필터 픽셀들간의 갭부위가 크롬(Cr) 금속에 의해 광으로부터 차폐되어 있기 때문에, 유용하지 않게 광이 누설되는 일이 없다. 따라서, 고화질의 다색 액정표시장치가 얻어질 수 있다.
제 4A도 및 제 4B도는 종래의 또 다른 다색 액정표시장치의 단면도 및 정면도이다. 도면에 있어서, (41)은 유리기판, (42)는 ITO등으로 제조되고 스트라이프 형태로 패턴화된 투명전극이다. (43)은 다음과 같은 방법으로 형성되는 칼라필터이다. 기판은 고중합체 및 안료가 함유된 용액에 투입되고, 전압은 칼라필터(43)가 스트라이프형상의 패턴에 일치하여 전착에 의해 투명전극(42)상에 배치되도록 투명전극들에 각각 인가된다. (44)는 다음과 같은 방법으로 얻어지는 쉐이딩막이다. 흑색안료가 첨가된 포토레지스트가 칼라필터상에 코팅되고, 이 포토레지스트는 포토마스크로써의 칼라필터들과 함께 기판의 후면으로부터 노출됨으로써 쉐이딩막(44)은 자체 얼라인먼트로 칼라필터들간의 갭상에만 형성된다. (45)는 유기 고중합체로 제조되어 칼라필터(43)상에 형성되는 보호막이다. (46)은 액정을 구동시키기 위해 ITO로 제조되어 스퍼터링, 이온도금에 의해 형성되고 패턴화되는 투명막이다. (47)은 투명전극(48)이 스트라이프 형태로 형성되는 제 2 유리기판이다. 칼라필터기판(41) 및 대향기판(47)은 충전제(49)에 의해 그들간에 일정한 갭이 유지되는 상태로 결합되며, 이 갭에는 액정(50)이 충전되어 다색 액정표시장치가 형성된다. 다색 액정표시장치는, 간단한 자체 얼라인먼트 공정에 의해 칼라필터들간의 갭을 광으로 부터 차폐시킨다.
상술한 바와 같은 제 3도의 다색 액정표시장치에 있어서, 쉐이딩막이 크롬(Cr)을 이용한 진공스퍼터링기법에 의해 형성되므로 그 같은 형성과정이 간단하지 못하고, 원가절감이 곤란한 문제점이 있다.
또한, 쉐이딩막이 금속으로 제조되기 때문에 광을 완전하게 차폐할 수는 있지만 외부광이 역으로 반사되게 된다. 이는 스크린이 반사광에 의해 번쩍거리는 결점을 유발하게 된다. 이와 같은 결점을 해소하기 위해서 제 4도에 도시한 바와 같이, 카본 따위의 흑색 안료가 함유된 광감지 재료로 쉐이딩막을 제조하는 방안이 강구되어 있다. 그러나, 이 경우 쉐이딩율이 금속의 경우처럼 높지가 않다. 또한, 크롬산화물 및 크롬으로 구성된 2층(layer) 쉐이딩막이 제안되어 있다. 그러나, 이와 같은 막 형성방법은 진공스퍼터링이 2회 행해져야 하므로, 그 제조공정이 매우 복잡해진다.
반면에, 제 4도에 도시한 전착에 의한 칼라필터 형성방법은 비교적 간편한 칼라필터 제조방법이다. 그러나, 동일 칼라의 픽셀들이 전착에 의한 칼라필터 형성방법에 의해 전기적인 도전체로 제조되기 때문에, 근본적으로 정방형의 독립된 픽셀들이 형성되지는 않으나, 제 4B도에 도시한 바와 같이 스트라이프 형상의 칼라필터들이 형성된다. 이같은 상황하에서 칼라필터들과 기판의 측면 스트라이프 전극간의 교차점인 독립적인 정방형 부위상의 픽셀에 소정전압이 공급되기 때문에, 쉐이딩막이 픽셀의 측방향내에 있는 칼라필터들간의 갭부에 형성되더라도, 스트라이프를 따라 종으로 배열된 픽셀에 평행한 갭은 이 갭에 형성된 칼라필터들과 함께 광으로 부터 완전히 차폐되지 않는다. 이는 표류광(stray light)의 제거와 높은 콘트라스트를 얻는데 있어서 커다란 장애가 된다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위한 것으로써, 본 발명의 목적은 다색 액정표시장치의 픽셀외주면이 간단한 방법에 의해 광으로 부터 차폐되고, 시각적 콘트라스트를 개선시킴과 동시에 화질을 개선시킬 수 있는 다색액정표시장치의 제조방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은,
1) 기판상에 유기고중합체로 제조되는 칼라필터를 형성하는 단계 ;
2) 칼라필터가 무전해도금에 의해 형성된 기판상에 주로 금속이 함유되는 박막을 형성하는 단계 ;
3) 쉐이딩막을 형성하기 위해 주로 금속이 함유되는 박막을 패터닝하여 칼라필터기판을 제조하는 단계로 구성된 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명에 따르면, 다색표시장치내 픽셀의 외주면이 매우 간단한 방법으로 광으로 부터 완전히 차폐되며, 광이 상기 픽셀들의 외주면으로 부터 누설되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 광택을 발하지 않고 외부광에 의한 번쩍거림이 방지되도록 무전해도금 및 후처리 배합이 조정된다. 이는 표류광이 제거되고 화질 및 콘트라스트가 개선된 다색 액정표시장치를 제공하는 근거가 된다.
또한, 본 발명은,
1) 기판상에 복수의 투명전극을 형성하는 단계 ;
2) 상기 투명전극상에 전착에 의해 고중합체로 제조된 칼라필터들을 형성하는 단계 ;
3) 상기 칼라필터들간의 갭 상에 고중합체로 제조된 쉐이딩막을 형성하는 단계 ;
4) 상기 칼라필터 혹은 상기 쉐이딩막 상에 무전해도금에 의해 주로 금속이 함유되는 박막을 형성하는 단계 ;
5) 제 2 쉐이딩막을 형성하기 위해 주로 금속이 함유되는 박막을 패터닝하여 칼라필터기판을 제조하는 단계로 구성된 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명에 따르면, 다색표시장치의 픽셀의 외주면이 매우 간단한 방법으로 광으로 부터 완전히 차폐되므로 픽셀외주면으로 부터 광이 누설되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 표시장치의 외주면에 있어서, 칼라필터 혹은 쉐이딩막이 고중합체 및 무광택으로 제조되기 때문에 무전해도금의 금속광택을 발하지 않음으로써 외부광에 의한 번쩍거림을 방지할 수 있다. 그 결과, 표류광이 제거되고, 화질 및 콘트라스트가 개선된 다색 액정표시장치가 제공될 수 있는 것이다.
본 발명의 주요 특징은, 박막이 무전해도금에 의해 칼라필터상에 형성된다는데 있다. 유리를 통해 입사되는 외부광이 칼라필터 및, 이 칼라필터상에 형성되는 쉐이딩막과 결합된 보호막을 통해 쉐이딩막에 입사되기 때문에, 이 쉐이딩막이 금속광택을 발하는 성질이 있다 하더라도 전반사(entire reflectance)되는 것은 억제할 수 있다. 또한, 무전해도금은 단순히 기판을 용액에 투입함으로써 막이 형성되고, 스퍼터링기법에서와 같은 진공장비를 필요로 하지 않는 간편한 방법이다.
또한, 무전해도금에 의해 고중합체로 제조된 쉐이딩막과 같이 전작칼라필터 및 수지상에 금속쉐이딩막을 형성함으로써 유리를 통해 입사되는 광이 칼라필터 및, 고중합체로 제조된 쉐이딩막에 의해 흡수되므로 반사율이 현저히 저하된다. 무전해도금은 기판상에 막이 형성되도록 용액에 금속이온을 환원 및 침적하는 방법으로써, 화학적 환원제를 사용한 방법을 통상적으로 무전해도금이라 일컫는다. 무전해도금을 형성하는데 필요한 몇가지 조건은 다음과 같다.
(1) 용액내 금속이온을 감소시키는 환원제의 산화환원전위는 그 금속의 평형전위 보다 현저히 낮도록 감소시킨다(금속 침적 공정).
(2) 도금용액은 각각의 성분들의 혼합상태가 변화없이 유지되는 상태에서는 반응하지는 않으나, 촉매작용하는 표면에 최초 접촉될 때는 반응한다(도금용액은 안정화됨).
(3) 반응감소율은 용액의 pH 및 온도 조정에 의해 제어될 수 있다(도금율의 조정).
(4) 환원되고 침적된 금속은 촉매작용을 한다(도금막의 두께 증가).
(5) 환원제의 산화는 도금 반응의 진행을 방해하지 않는다(도금용액의 수명이 연장된다).
상기 조건들을 만족하는 금속들로는, 강한 촉매작용을 하는 주기율표 VIII 그룹의 금속(예를들어, 니켈, 코발트, 팔라듐등), 그 금속들의 합금, 촉매작용은 약하나 상대적으로 전위가 높은 Ib 류에 속하는 금속(구리, 은, 금)들을 들 수 있다. 사용되는 환원제는 도금금속의 종류 및 도금막의 특성에 따라 선택된다. 즉, 니켈 혹은 코발트의 도금에 있어서는 차아인산염, 수소화붕소 화합물, 혹은 환원력이 강한 히드라진(hydrazine) 화합물을 사용하는 반면에, 구리, 은 혹은 금의 도금에 있어서는 포름알데히드, 로셀염, 포도당 혹은, 환원력이 약한 다른 유기 화학물을 사용한다.
기본적인 무전해도금실(bath)의 구조는, 금속염, 환원제, pH 조정기, 버퍼, 아세틸화 반응기, 안정기 및 개선제(improving agent)로 구성된다. 하나의 일례를들면 니켈도금에 있어서, 금속염은 황산니켈, 질산니켈, 탄산니켈, 시안화니켈, 니켈 암모늄 술페이트이다. 환원제는, 소듐 히포포스파이트, 소듐 피포슬페이드, 소듐 술퍼 다이옥사이드, 히드라지늄 클로라이드, 히드로퀴논, 포르말린 등이다. 버퍼로는 초산, 부탄산 혹은 주석산 따위의 알칼리염이 사용된다. 유기 고중합체 따위의 비도전체가 베이스보디일 경우 표면을 활성화시키기 위해 촉매에 의한 전처리가 필요하다. 니켈도금의 경우에, 이 전처리는 대략 1%의 염화주석 용액과, 대략 0.1%의 팔라듐 클로라이드 내에 베이스보디를 투입시키는 방법으로 행해진다.
무전해 도금 공정은, 이후 니켈도금의 경우와 함께 상술될 것이다.
1) 클리닝
2) 표면에 주석과 팔라듐 촉매 접착
3) 무용부위(useless portion)상의 촉매 제거
4) 니켈도금
5) 열처리(annealing)
도금시 금속양이온과 환원제의 음이온 비가 막의 특성을 결정한다. 니켈도금의 경우, 도금막은 순수한 니켈로 제조되는 것이 아니라, 환원제로 사용되는 인과, 주석과, 촉매로 사용되는 팔라듐이 막의 내부에 인입된다. 또한, 이 도금막은 금속적으로 광택을 발하거나 혹은, Ni2+/H2PO2 -의 값을 갖는 흑색 화합물이 된다. 본 발명에 있어서, 무전해 도금막이 다색표시장치용 쉐이딩막에 적용되므로 간단하고, 광학적으로 가변되어 표시장치에 최적 상태로 작용하는 쉐이딩막을 얻을 수 있다.또한, 본 발명에 있어서, 무전해 도금막이 전착 및 고중합체로 제조된 쉐이딩막에 적용되므로, 간단하고 반사율이 낮아 표시장치에 최적상태로 작용하는 쉐이딩막을 얻을 수 있다.
이하, 본 발명의 일실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.
＜실시예 1＞
제 1도는 본 발명의 다색 액정표시장치의 단면도이다. 제 1도에 있어서, (1)은 유리기판, (2)는 ITO등으로 제조되어, 스트라이프형상으로 패턴화된 투명전극이다. (3)은 고중합체 및 안료로 제조되어 픽셀과 형상이 동일하도록 전착에 의해 상기 투명전극(2)상에 형성된 칼라필터이다. (4)는 유기 고중합체로 제조되어 상기 칼라필터(3)상에 코팅된 보호막이다. (5)는 주로 니켈이 함유되어 무전해 도금막으로 형성된 쉐이딩막이다. 이들 엘레멘트들은 칼라필터기판을 구성하는 요소들이다. (6)은 액정을 구동하기 위해 ITO로 제조되며, 저온 스퍼터링기법, 이온도금 등에 의해 상기 칼라필터기판상에 형성된 투명전극이다.
제 5도는 상기 칼라필터기판을 제조하는 방법을 도시한 것으로써, 제 5A도 내지 제 5E도는 단면도, 제 5A'도 내지 제 5E'도는 정면도이다,
제 5A도 및 제 5A'도에 있어서, 참조번호 51은 스트라이프형상으로 투명전극(52)을 형성하도록 ITO가 스퍼터링 및 기타 처리에 의해 형성되고 패턴화된 유리기판이다. 제 5B도 및 제 5B'도에 있어서, 칼라필터(53)는 폴리에스터수지 혹은 아크릴 수지 및, 안료로 구성된 레드(red), 그린(green) 및 블루(blue) 용액에 각각 투명전극(52)을 반복적으로 에너지화 함으로써 전착에 의해 투명전극(52)상에 형성된다.
제 5C도 및 제 5C'도에 있어서, 아크릴 수지로 제조된 보호막(54)은 방적기(spinner) 등에 의해 칼라필터(53)상에 형성된다.
제 5D도 및 제 5D'도에 있어서, 주로 니켈이 함유된 무전해 도금막(55)은 테이블 1의 공정으로 칼라필터기판상에 형성된다.
제 5E도 및 제 5E'도에 있어서, 포토레지스트는 무전해 도금막상에 코팅되어 제조되며, 노출 및 개량공정후 염화철 용액에 에칭되어 쉐이딩막(56)이 형성된다. 이 예에서 쉐이딩막은 인, 팔라듐, 주석 등이 혼합된 니켈로 제조된다. 제 1도로되돌아가서, 다색표시장치의 제조방법을 설명한다. 픽셀 투명전극(8)과 박막 트랜지스터(9)가 형성된 칼라필터기판 및 제 2 유리기판(7)은 그들간에 충전제(10)에 의해 소정 갭이 유지되는 상태에서 결합되며, 이 갭에는 액정(11)이 충전되어 다색 액정표시장치를 형성한다.
이와 같이 제조된 다색 액정표시장치는 픽셀의 전체 외주면이 광으로부터 완전히 차폐되며, 간단한 방법으로 제조됨에도 불구하고 광으로 인한 박막 트랜지스터의 어떠한 특성도 악화시키지 않고 고화질을 얻을 수 있다. 또한, 금속막이 유리에 직접 접촉되지 않으므로 반사를 억제하며 스크린 상에 반사되는 광량이 감소된다.
(실시예 2)
실시예 2에 있어서는, 무전해도금이 칼라필터기판에 코팅되는 실시예 1에 사용된 보호막(4)이 필요없이 직접 칼라필터상에 적용된다. 실시예 2에 있어서, 각 칼라필터들간의 갭들이 유리로 되어 있으므로 무용부의 촉매 제거 공정은 무전해도금공정에 적용되지 않으나, 이 무전해도금은 기판의 전면 및 후면 전체에 적용된다. 또한, 사용된 소듐 히포포스파이트의 량이 2% 증가되고, 실시예 1과 동일방법으로 다색 액정표시장치가 제조된다.
실시예 2에 있어서, 기판의 전후면에 막이 취부되고, 이들 면들은 에칭되어야 한다. 그러나, 무전해도금에 의해 침적된 막이 금속광택을 발하지 않고 흑색재료로 제조되기 때문에 쉐이딩막의 반사율이 저하되고, 외부광이 스크린으로 부터 반사되지 않으며, 실시예 1에서 얻어지는 효과이외에 우수한 화질이 얻어진다.
(실시예 3)
실시예 3에 있어서, 실시예 1에 따른 무전해도금 공정에 사용되는 화학물질은 황산코발트, 소듐 히포포스파이트 및 주석산나트륨 용액들이고, 쉐이딩막은 주로 코발트가 함유된 무전해 도금막으로 제조된다.
또한, 다색표시장치는 실시예 1의 방법과 동일한 방법으로 제조된다. 그 결과, 실시예 1과 동일한 효과가 얻어진다.
(실시예 4)
실시예 4에 있어서, 실시예 1에 따른 무전해도금 공정에 사용되는 화학물질은 황산구리, 로첼염, 수산화나트륨 및 포르말린의 용액이고, 쉐이딩막은 주로 구리가 함유된 무전해 도금막으로 제조된다. 또한, 다색표시장치는 실시예 1과 동일한 방법으로 제조된다. 그 결과, 실시예 1과 동일한 효과가 얻어진다.
(실시예 5)
실시예 5에 있어서, 실시예 1에 따른 무전해도금 공정에 사용되는 화학물질은 액체은(질산, 암모니아수)과, 환원용액(포르말데히드 수)이고, 상기 액체은 과 환원액내에 연속으로 주입된 후, 쉐이딩막은 산소대기 상태에서 열처리하여 주로 산화은을 포함하는 무전해 도금막으로 제조된다.
다색표시장치는 실시예 1과 동일한 방법으로 제조된다. 그 결과, 실시예 1과 동일한 효과가 얻어진다. 그 결과, 실시예 5에 있어서, 무전해도금에 의해 침적된 막이 주로 산화은이 함유된 흑색재료로 제조됨과 동시에 금속광택을 발하지 않으므로, 쉐이딩막의 반사율이 저하되고, 외부광이 스크린으로 부터 반사되지 않으며 실시예 1의 효과이외에도 우수한 화질이 얻어진다.
(실시예 6)
제 2도는 본 발명의 다색 액정표시장치의 단면도이다.
제 2도에 있어서, 참조번호 21은 유리기판, (22)는 ITO등으로 제조되며 스트라이프형상으로 패턴화된 투명전극이다. (23)은 고중합체 및 안료로 제조되며 픽셀과 동일 형상이 되도록 전착에 의해 상기 투명전극(22)상에 형성된 칼라필터이다. (24)는 흑색안료 및 유기 고중합체로 제조된 쉐이딩막으로써 다음과 같은 방법으로 형성된다. 흑색안료가 첨가된 포토레지스트가 칼라필터(23)상에 코팅되며, 이 포토레지스트는 포토마스크로써의 칼라필터와 함께 기판의 후면으로 부터 노출됨으로써 자체 얼라인먼트에 의해 칼라필터간의 갭 상에만 쉐이딩막(24)이 형성된다. (25)는 주로 니켈이 함유된 무전해 도금막이 형성된 제 2쉐이딩막이다. 제 2쉐이딩막(25)이 패터닝에 의해 형성되면, 유기수지로 제조된 절연보호막(26)이 제 2 쉐이딩막(25)상에 형성된다. (27)은 액정을 구동하기 위하여 ITO로 제조되며, 저온 스퍼터링, 이온도금등에 의해 칼라필터기판상에 형성된 투명전극이다. 이 투명전극(27)은 패터닝에 의해 상기 절연보호막(26)상에 형성된다. 제 6A도 및 제 6A'도는 상술한 칼라필터 제조방법의 단면도 및 정면도이다. 제 6A도 및 제 6A'도에 있어서, 참조번호 61은 ITO가 스퍼터링에 의해 형성되고 스트라이프형상으로 투명전극(62)을 형성하도록 패턴화된 유리기판이다. 제 6B도 및 제 6B'도에 있어서, 칼라필터(63)가 폴리에스터수지 혹은 아크릴 수지 및, 안료로 구성된 레드(red), 그린(green) 및 블루(blue) 용액에 각각 투명전극(62)을 반복적으로 에너지화함으로써 전착에 의해 투명전극(62)상에 형성된다. 제 6C도 및 제 6C'도에 있어서, 흑색안료로 구성된 혼합막과 네거티브레지스트는 방적기(Spinner)등에 의해 칼라필터(63) 상에 형성되며, 이 네거티브레지스트는 포토마스크로써의 칼라필터와 함께 기판의 후면으로부터 노출되어 고중합체로 제조된 쉐이딩막(64)을 형성한다. 제 6D도 및 제 6D'도에 있어서, 주로 니켈이 함유된 무전해 도금막(65)은 테이블 2의 공정에 의해 칼라필터기판상에 형성된다.
제 6E도에 있어서, 포토레지스트가 무전해 도금막상에 코팅되며, 노출 및 개량공정 후 염화철 용액에 에칭되어 제 2쉐이딩막(56)이 형성된다. 실시예 6에 있어서, 상기 쉐이딩막은 인, 팔라듐, 주석등이 혼합된 니켈로 제조된다. 제 2도로 되돌아가서 다색표시장치 제조방법을 상술한다. 투명전극(29)이 형성된 칼라필터기판과 제 2 유리기판(28)은 그들간에 충전제(210)에 의해 일정한 갭이 유지되는 상태에서 결합되며, 이 갭에는 액정(211)이 충전되어 다색 액정표시장치가 형성된다.
이같이 제조된 다색 액정표시장치는 간단한 방법으로 제조됨에도 불구하고, 픽셀 외주면 전체가 광으로 부터 완전히 차폐되며 높은 콘트라스트를 얻을 수 있고 고화질이 얻어진다. 또한, 고중합체로 제조된 칼라필터와 쉐이딩막이 금속막과 유리사이에 존재하므로 반사율이 저하되고 스크린으로 부터 광이 반사되지 않는다.
(실시예 7)
실시예 7에 있어서, 실시예 6에 따른 무전해도금 공정중 무전해도금 스텝에 사용된 화학물질은 황산코발트, 소듐 히포포스파이트 및 주석산 나트륨 용액이고, 쉐이딩막은 주로 코발트가 함유된 무전해 도금막으로 제조된다.
다색표시장치는 실시예 6과 동일한 방법으로 제조된다. 그 결과, 실시예 6과 동일한 효과가 얻어진다.
(실시예 8)
실시예 8에 있어서, 실시예 6에 따른 무전해도금 공정중 무전해도금 스텝에 사용된 화학물질은, 황산구리, 로체염, 수산화나트륨 및 포르말린 용액이고, 쉐이딩막은 주로 구리가 함유된 무전해 도금막으로 제조된다.
다색표시장치는 실시예 6과 동일한 방법으로 제조된다. 그 결과, 실시예 6과 동일한 효과가 얻어진다.
(실시예 9)
실시예 9에 있어서, 실시예 6에 따른 무전해도금 공정중 무전해도금 스텝에사용된 화학물질은 액체은(질산, 암모니아수) 및 환원용액(포름알데히드수)이고, 이 액체은 및 환원용액에 투입된 후에 쉐이딩막은 산소대기내에서의 열처리에 의해 주로 산화은이 함유된 무전해 도금막으로 제조된다.
다색표시장치는 실시예 6과 동일한 방법으로 제조된다. 그 결과, 실시예 6과 동일한 효과가 얻어진다.
실시예를 참조하여 상술한 바와 같이, 본 발명의 다색 액정표시장치 제조방법은,
1) 기판상에 유기고중합체로 제조된 칼라필터를 형성하는 단계 ;
2) 칼라필터가 무전해 도금에 의해 형성된 기판상에 주로 금속이 함유된 박막을 형성하는 단계 ;
3) 쉐이딩막을 형성하도록 주로 금속이 함유된 박막을 패터닝하여 칼라필터기판을 제조하는 단계로 구성되어 있다.
그 결과, 다색 표시장치의 픽셀 외주면은 매우 간단한 방법에 의해 광으로 부터 완전히 차폐되므로 픽셀 외주면으로 부터 광이 누설되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 표시장치의 시각적 콘트라스트가 개선된다. 또한, 본 발명에 따른 칼라필터가 적용되는 다색 액정표시장치 제조방법은,
1) 기판상에 복수의 투명 전극을 형성하는 단계 ;
2) 상기 투명전극상에 전착에 의해 고중합체로 제조된 칼라필터를 형성하는 단계 ;
3) 상기 칼라필터들 간의 갭상에 고중합체로 제조된 쉐이딩막을 형성하는 단계 ;
4) 상기 칼라필터 혹은 상기 쉐이딩막 상에 무전해 도금에 의해 주로 금속이 함유되는 박막을 형성하는 단계 ;
5) 제 2 쉐이딩막을 형성하도록 주로 금속이 함유되는 상기 박막을 패터닝하여 칼라필터기판을 제조하는 단계로 구성되어 있다.
그 결과, 다색표시장치의 픽셀 외주면은 매우 간단한 방법에 의해 광으로 부터 완전히 차폐되므로 픽셀 외주면으로 부터 광이 누설되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 표시장치의 시각적 콘트라스트가 개선된다. 또한, 고중합체로 제조된 쉐이딩막 및, 칼라필터들이 표시면쪽에 존재하게 되므로 금속광택에 의한 반사작용이 발생치 않게 되어, 외부광의 번쩍거림에 의한 표시기능의 저하를 방지하게 된다. 따라서, 다색액정표시장치는 표류광 및 스크린으로 부터 반사된 광을 제거함과 동시에 화질이 개선된다.
제 1도는 본 발명의 다색 액정표시장치의 단면도,
제 2A도는 본 발명의 다색 액정표시장치의 단면도,
제 2B도는 본 발명의 다색 액정표시장치의 정면도,
제 3A도는 종래의 다색 액정표시장치의 단면도,
제 3B도는 종래의 다색 액정표시장치의 정면도,
제 4A도는 종래의 다색 액정표시장치의 단면도,
제 4B도는 종래의 다색 액정표시장치의 정면도,
제 5도는 본 발명의 칼라필터기판의 제조공정도,
제 6도는 본 발명의 칼라필터기판의 제조공정도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 유리기판 2 : 투명전극
3 : 칼라필터 4 : 보호막
5 : 쉐이딩막

Claims (6)

  1. 기판상에 스트라이프 형상의 칼라필터를 형성하는 단계 ;
    상기 칼라필터의 착색층간의 간격을 메우도록 칼라필터상에 보호막을 형성하는 단계 ;
    상기 보호막 상에 무전해 도금막을 형성하는 단계 ; 및
    상기 칼라필터의 상측에 형성된 상기 무전해 도금막의 적어도 일부를 남기고, 화소부에 형성된 상기 무전해 도금막을 제거하여 쉐이딩막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다색 액정표시장치 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 무전해 도금막은 광 비반사 및 광흡수성질을 갖는 것을 특징으로 하는 다색 액정표시장치 제조방법.
  3. 기판상에 스트라이프 형상의 칼라필터를 형성하는 단계 ;
    흑색안료를 포함한 네가티브 레지스트를, 상기 칼라필터를 덮도록 도포하는 단계 ;
    상기 칼라필터를 포토마스크로 하여 기판 배면으로부터 노광하고, 상기 칼라필터의 간격을 메우도록 제1 쉐이딩막(흑색안료를 포함한 네가티브 레지스트)을 형성하는 단계 ;
    그 위 표면에 무전해 도금막을 형성하는 단계 ;
    상기 무전해 도금막 상에 포토레지스트를 형성하는 단계 ; 및
    상기 칼라필터의 상측에 형성된 상기 무전해 도금막의 적어도 일부를 남기고, 화소부에 형성된 상기 무전해 도금막을 제거하여, 무전해 도금막으로 제 2 쉐이딩막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다색 액정표시장치 제조방법.
  4. 제 1항 또는 제 3항에 있어서, 상기 무전해 도금막 내에 주로 함유된 금속은 니켈, 코발트, 구리 또는 은중에서 선택된 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 다색 액정표시장치 제조방법.
  5. 제 3항에 있어서, 상기 기판상에 스트라이프 형상의 칼라필터를 형성하는 단계는,
    상기 기판상에 복수의 전극을 형성하는 단계와, 전착에 의해 상기 전극상에 고중합체 및 안료를 형성하도록 전극에 선별적으로 전기를 인가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다색 액정표시장치 제조방법.
  6. 제3항에 있어서, 상기 무전해 도금막은 광 비반사 및 광흡수성질을 갖는 것을 특징으로 하는 다색 액정표시장치 제조방법.
KR1019960009266A 1995-03-29 1996-03-29 다색액정표시장치의제조방법 KR100411570B1 (ko)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP95-72127 1995-03-29
JP7212795 1995-03-29
JP25152995 1995-09-28
JP95-251529 1995-09-28
JP95-319380 1995-12-07
JP31938095A JPH09152507A (ja) 1995-03-29 1995-12-07 多色液晶表示装置の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960035105A KR960035105A (ko) 1996-10-24
KR100411570B1 true KR100411570B1 (ko) 2004-04-28

Family

ID=27300869

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960009266A KR100411570B1 (ko) 1995-03-29 1996-03-29 다색액정표시장치의제조방법

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6061109A (ko)
EP (1) EP0735402A1 (ko)
JP (1) JPH09152507A (ko)
KR (1) KR100411570B1 (ko)
TW (1) TW475082B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200447737Y1 (ko) * 2008-02-15 2010-02-16 신기화 천정용 조명등 투광판

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6208404B1 (en) * 1996-05-16 2001-03-27 Tryonics Corporation Black matrix
US6387801B1 (en) * 2000-11-07 2002-05-14 Megic Corporation Method and an apparatus to electroless plate a metal layer while eliminating the photoelectric effect
DE10125673A1 (de) * 2001-05-25 2002-12-05 Aeg Ges Moderne Inf Sys Mbh LCD-Zelle
US7382238B2 (en) * 2004-03-01 2008-06-03 Sensys Networks, Inc. Method and apparatus for operating and using wireless vehicular sensor node reporting vehicular sensor data and/or ambient conditions
JP2006323150A (ja) * 2005-05-19 2006-11-30 Mitsubishi Electric Corp 液晶表示装置及びその製造方法
US7508084B2 (en) * 2005-10-19 2009-03-24 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. CMOS image sensor
JP2011085625A (ja) * 2009-10-13 2011-04-28 Toppan Printing Co Ltd カメラモジュール及びその製造方法
JP5720887B2 (ja) * 2011-03-30 2015-05-20 ソニー株式会社 表示装置および電子機器
CN103941462A (zh) * 2013-12-31 2014-07-23 厦门天马微电子有限公司 一种彩膜基板及其制造方法、显示装置
US9869026B2 (en) * 2014-07-15 2018-01-16 Rohm And Haas Electronic Materials Llc Electroless copper plating compositions

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0312604A (ja) * 1989-06-09 1991-01-21 Seiko Epson Corp カラーフィルター上の電極形成法
JPH06109909A (ja) * 1992-09-28 1994-04-22 Toppan Printing Co Ltd カラーフィルターの製造方法
JPH06273610A (ja) * 1993-03-24 1994-09-30 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルタの製造方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5305154A (en) * 1987-01-28 1994-04-19 Nissha Printing Co., Ltd. Color filter with a porous activated film layer having dyes fixed in the minute pores to form a color pattern
JPS63231315A (ja) * 1987-03-19 1988-09-27 Sanyo Electric Co Ltd 遮光膜の形成方法
JPH01147524A (ja) * 1987-12-04 1989-06-09 Seiko Instr & Electron Ltd 電気光学装置
US5213850A (en) * 1989-03-24 1993-05-25 Nippon Paint Co., Ltd. Process for plating a metallic deposit between functional pattern lines on a substrate
JPH04269714A (ja) * 1991-02-25 1992-09-25 Seiko Instr Inc 多色表示装置の製造方法
JP2598342B2 (ja) * 1991-02-26 1997-04-09 セイコー電子工業株式会社 多色表示装置の製造方法
US5631753A (en) * 1991-06-28 1997-05-20 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Black matrix base board and manufacturing method therefor, and liquid crystal display panel and manufacturing method therefor
FR2697922B1 (fr) * 1992-11-12 1995-09-22 Gold Star Co Procede de fabrication d'un filtre de couleurs pour un ecran a cristaux liquides.
JPH07294725A (ja) * 1994-03-01 1995-11-10 Seiko Instr Inc カラーフィルター及び多色液晶表示装置の製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0312604A (ja) * 1989-06-09 1991-01-21 Seiko Epson Corp カラーフィルター上の電極形成法
JPH06109909A (ja) * 1992-09-28 1994-04-22 Toppan Printing Co Ltd カラーフィルターの製造方法
JPH06273610A (ja) * 1993-03-24 1994-09-30 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルタの製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200447737Y1 (ko) * 2008-02-15 2010-02-16 신기화 천정용 조명등 투광판

Also Published As

Publication number Publication date
JPH09152507A (ja) 1997-06-10
EP0735402A1 (en) 1996-10-02
KR960035105A (ko) 1996-10-24
TW475082B (en) 2002-02-01
US6061109A (en) 2000-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100411570B1 (ko) 다색액정표시장치의제조방법
CA2340083C (en) Reversible electrochemical mirror (rem) with improved electrolytic solution
US7255980B2 (en) Black matrix, method for preparing the same, and flat panel display and electromagnetic interference filter using the same
US5495354A (en) Method of producing a color filter for a liquid crystal display by depositing metal black matrices on a transparent insulating substrate and forming color elements therebetween
WO1999032930A1 (en) Reversible electrochemical mirror
JP2001527226A (ja) 高い光透過性を有する電着セル
US6208404B1 (en) Black matrix
US5439582A (en) Process for producing multicolor display
US5777780A (en) Electrochromic device and method for manufacturing the same
DE4311173A1 (de) Verfahren zur stromlosen Abscheidung eines Metalls über einer Halbleiteroberfläche
US4738869A (en) Photoselective electroless plating method employing UV-absorbing substrates
JPH10206889A (ja) アクティブマトリクス型液晶表示装置及びその製造方法
KR20060008534A (ko) 신규 블랙 매트릭스, 그 제조방법 및 그를 이용한평판표시소자 및 전자파차폐 필터
JPH06130214A (ja) 液晶用ガラス基板、ｔｆｔ液晶用カラーフィルター、プロジェクション用ｔｆｔ液晶表示装置、カラーｔｆｔ液晶表示装置
KR100555896B1 (ko) 플라즈마 디스플레이 패널의 금속 버스 전극 제조방법
JP2001249211A (ja) カラーフィルタおよびその製造方法
JP2021089324A (ja) 調光フィルム
WO1998014824A1 (de) Elektrochromer spiegel und verfahren zum herstellen eines elektrochromen spiegels
JP3883238B2 (ja) カラーフィルター、カラー液晶表示装置およびそれらの製造方法
US5227044A (en) Process for producing multicolor display
CN218886364U (zh) 一种带导电环的电致变色组件
JP3048221B2 (ja) ブラックマトリクスの形成方法
JPH10239704A (ja) 反射型液晶表示装置およびその製造方法
US5751106A (en) Fluorescent display tube
JPH06235811A (ja) カラーフィルタの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20081126

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee