KR100402169B1 - 다층구조광정보매체 - Google Patents

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유미꼬 안자이
겐찌 이또
요시또 쯔노다
마사히꼬 다까하시
히사에 사사끼
가즈히꼬 나까노
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닛폰콜롬비아 가부시키가이샤
가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
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Abstract

광디스크, 광테이프, 광카드 등의 광정보매체에 관한 것으로서, 평면적으로 고기록밀도이고 또한 3차원적인 기록재생이 가능하고, 저렴하게 제작가능한 다층구조 광정보매체를 제공하기 위해, 평면정보영역을 각각 2면∼4면 마련한 제1 및 제2 기판을 제1 및 제2 기판이 각각 바깥쪽으로 위치하도록 배치된 구조를 갖고, 제1 및 제2 기판의 두께를 각각 0.52mm이상, 0.65mm이하로 한 다층구조 광정보매체는 예를 들면 각각의 기판 또는 투명한 물질층의 표면에 마련된 오목볼록과 그 위에 마련된 반사층으로 이루어지고, 기판에서 가장 떨어진 위치의 평면정보영역은 반투명막으로 바꾸어서 반사층을 갖고, 기판에서 가장 떨어진 위치의 평면정보영역은 기록층과 기록층상에 마련된 반사층으로 이루어지는 것이어도 좋다.
이러한 것에 의해 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 효과가 있다.

Description

다층구조 광정보매체{MULTI-LAYER STRUCTURE PHOTO INFORMATION MEDIA}
본 발명은 광디스크, 광테이프, 광카드 등의 광정보매체에 관한 것이다. 이 광정보매체에는 컴팩트디스크(CD), 레이저디스크(LD), 디지탈비디오디스크(DVD) 등의 재생전용형의 광디스크, 전자계산기용 등의 추기형 또는 소거가능형 광디스크 등도 포함된다.
종래, 광정보매체의 고기록밀도화의 방법은 2차원적인 정보매체평면상의 기록밀도를 향상시키는 것이었다. 그러나, 장치의 소형화의 요청으로부터 정보매체의 크기는 제한되고, 또 광의 회절한계에 의해 기록가능한 마크의 크기도 제한되므로, 평면상에서의 고밀도화에는 한계가 있다.
그래서, 더욱 고밀도화하는 방법으로서 깊이 방향을 포함한 3차원적인 기록재생방법이 검토되었다. 예를 들면, 일본국 특허공개공보 소화 59-127237호에는 다층의 기록층을 갖는 디스크의 각 기록층에 광을 집광하고, 기록재생을 실행하는 것이 기재되어 있다. 그러나, 이 실시예에서는 구체적인 정보매체의 구조가 설명되어 있지 않아 신뢰성이 있는 기록은 곤란하다.
또, 예를 들면 일본국 특허 공개공보 소화60-202545호에는 다층의 기록층을갖는 디스크의 각 층에 회전한계의 광스폿을 형성하기 위한 정보매체의 두께에 대해서 기재되어 있다. 그러나, 이 실시예에 있어서도 저렴하게 제작가능한 정보매체의 구조가 명료하게 설명되어 있지 않다.
또, 예를 들면 일본국 특허 공개 공보 소화54-130902호에는 다층의 정보층을 갖는 디스크가 기재되어 있다. 그러나, 이 디스크는 신호대잡음비(S/N)을 상승시키는 것이 곤란하고, 또 각 정보층의 평면적인 기록 밀도를 높게 하는 것이 곤란하였다.
또, 광정보매체는 기록, 재생용 광빔의 입사면과 동일한 면으로부터의 반사광을 검지하기 위해 광빔의 반사층을 마련할 필요가 있다. 이 반사층에 사용하는 금속으로서는 알루미늄, 금 등의 고반사율을 갖는 금속을 사용하는 것이 종래부터 알려져 있고, 컴택트디스크 독본(나까시마 헤이따로, 오가와 히로시, 공저, 음사 pp. 12 및 pp. 84, 소화 57년 11월 25일 발행) 등에 개시되어 있다.
이 반사층에 사용하는 금속 중, 저코스트라는 점에서 Al 또는 Al합금이 적합하다. 그러나, 종래의 Al 또는 Al합금의 단일적인 박막을 반사층으로서 사용하면, 잡음이 많고 S/N이 충분히 크지 않으므로, 선기록밀도를 어느 정도 이상 크게 할 수 없어 대용량의 광정보매체를 제공하는 것이 곤란하였다.
또, 2차원적으로 다층의 기록밀도를 향상시키기 위해 보다 단파장의 재생용 광빔을 갖는 정보재생 장치가 사용된다. 그러나, 이와 같은 정보재생장치에 다층구조의 정보매체를 적용했을 때의 문제에 대해서는 어떠한 종래예에 있어서도 검토되어 있지 않다.
본 발명의 제1 목적은 평면적으로 고기록밀도이고 또한 3차원적인 기록재생이 가능하고, 저렴하게 제작가능한 다층구조 광정보매체를 제공하는 것이다.
본 발명의 제2 목적은 저렴하고 S/N을 충분히 높게 할 수 있고, 또한 선기록밀도를 충분히 높게 할 수 있는 반사막을 갖는 광정보매체 또는 다층구조 광정보매체를 제공하는 것이다.
본 발명의 제3 목적은 재생용 광빔의 파장이 보다 짧은 고기록밀도매체용 정보재생장치를 사용해도 재생신호강도가 저하하지 않는 다층구조 광정보매체를 제공하는 것이다.
상기 제1 목적은 제1 기판상에 평면정보영역을 2면∼4면을 갖는 제1 광정보매체와 제2 기판상에 평면정보영역을 2면∼4면을 갖는 제2 광정보매체를 상기 제1 및 제2 기판이 각각 바깥쪽으로 위치하도록 배치한 구조를 갖고, 상기 제1 및 제2 기판의 두께는 0.52mm이상, 0.65mm이하인 다층구조 광정보매체에 의해서 달성된다.
기판의 두께를 상기의 범위로 하는 것에 의해 파장700nm이하의 단파장 반도체 레이저를 사용하고, 0.6이상의 개구수가 큰 대물렌즈를 사용해도 허용할 수 있는 광디스크의 기울기를 종래와 거의 동일하게 할 수 있으므로, 집광스폿영역을 작게 할 수 있어 고기록밀도로 할 수 있다.
본 발명의 다층구조 광정보매체는 기판상의 평면정보영역의 수가 2면인 경우는 기판의 두께를 0.52mm이상, 0.65mm이하로, 기판상의 평면정보영역의 수가 3면인 경우는 기판의 두께를 0.52mm이상, 0.62mm이하로, 기판상의 평면정보영역의 수가 4면인 경우는 기판의 두께를 0.52mm이상, 0.59mm이하로 하는 것이 바람직하다.
본 발명의 다층구조 광정보매체의 평면정보영역 중, 각 기판에 각각 가장 가까운 위치에 배치된 평면정보영역은 각각의 기판표면에 마련된 오목볼록과 이 오목볼록상에 마련된 반투명막으로 구성할 수 있다.
또, 평면정보영역의 적어도 하나는 각 기판상에 각각 정보를 재생하기 위한 광빔에 투명한 물질의 층을 마련하고, 그 표면의 오목볼록과 그 위에 마련된 반투명막으로 구성할 수 있다.
또, 각 광정보매체상에 마련된 평면정보영역 중, 각각의 기판에서 가장 떨어진 위치에 배치된 평면정보영역은 재생전용이어도 좋고, 기록가능한 것이어도 좋다. 전자의 경우, 평면정보영역은 광빔에 투명한 물질의 층상에 마련된 오목볼록과 그 위에 마련된 반사층으로 구성할 수 있다. 또, 후자인 경우, 기록층과 그 위에 마련된 반사층으로 구성할 수 있다. 또, 그 이외의 평면정보영역은 재생전용의 평면정보영역으로 한다.
즉, 본 발명의 다층구조 광정보매체는 평면정보영역이 모두 재생전용이어도 좋고, 각 기판상의 평면정보영역 중, 기판과 가장 반대측의 평면정보영역만이 기록가능하여 다른 평면정보영역이 재생전용이어도 좋다. 전자의 경우는 기판과 가장 반대측의 평면정보영역만은 반사층을 갖고, 다른 평면정보영역은 반투명층을 갖는 것으로 한다. 또, 후자인 경우에는 기록가능한 평면정보영역만은 반사층을 갖고, 다른 평면정보영역은 반투명층을 갖는 것으로 한다.
상기의 투명한 물질의 두께를 30㎛이상, 80㎛이하, 보다 바람직하게는 30㎛이상, 60㎛이하로 하는 것과 기판의 두께를 기판상의 평면정보영역의 수에 따라서상기의 범위로 하는 것에 의해 평면정보영역간의 크로스토오크가 없어 수차에 의한 잡음상승을 억제해서 재생할 수 있다.
또, 각각의 기판에서 그 기판상에 마련되어 있는 각 평면정보영역을 구성하는 반투명막 또는 반사막에 집광해서 측정한 반사율은 10%이상, 50%이하인 것이 바람직하다. 또, 상기 각 반사율의 값은 20%이내의 차에서 동일한 즉, ±10% 이내인 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 어떠한 평면정보영역을 재생해도 조정없이 안정하게 서보를 제어할 수 있다.
또, 상기 반투명막은 유전체 또는 금속으로 형성하고, 반사층은 금속으로 형성하는 것이 바람직하다. 여기서, 유전체는 규소, 규소질화물, 규소산화물, 게르마늄, 게르마늄산화물, 게르마늄질화물, 아연황화물, 알루미늄질화물 중 적어도 한 종류이고, 금속은 알루미늄, 알루미늄합금, 금, 금합금, 은, 은합금, 동, 동합금 중 적어도 한 종류인 것으로 한다.
제1 및 제2 광정보매체를 하나로 하고 다층구조 광정보매체로 할 때, 접착제로 접착하면 용이하게 실행할 수 있다. 접착제에는 핫멜트접착제를 사용할 수 있다. 또, 접착제층에 기포가 혼입하지 않도록 자외선경화수지나 반응성 접착제를 사용하여 진공중에서도 접착할 수 있다. 접착제층에 기포가 혼입하지 않도록 접착하는 것에 의해 광정보매체의 기계특성이 현격히 향상한다. 또, 자외선경화수지를 사용하면, 접착하기 전의 단일판에 자외선경화수지층 등의 보호코팅을 하지 않고 접착이 가능하다. 반응성접착제로서는 에폭시계접착제, 실리콘계접착제 등을 사용할 수 있다.
또, 상기 제2 목적은 재생용 광빔을 반사하는 반사층을 적어도 갖는 광정보매체에 있어서, 상기 반사층은 그 막두께방향으로 산소 및 질소로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 한 종류의 원소의 농도가 높은 영역을 갖는 광정보매체에 의해서 또는 재생용 광빔을 반사하는 반사층을 적어도 갖는 광정보매체에 있어서, 상기 반사층은 적어도 2층의 금속층으로 이루어지고, 각 금속층 사이에 질화물 및 산화물로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 한 종류의 화합물의 중간층을 갖는 광정보매체에 의해서 달성된다.
전자에 있어서의 반사층으로서 또 후자에 있어서의 금속층으로서 Al 또는 Al합금을 사용하는 것이 바람직하다. Al 또는 Al합금을 사용하는 것에 의해 반사막을 저렴하게 제조할 수 있다. Al합금은 그 평균 조성이 일반식 (Al)100-x(A)x(단, x는 원자%로 0.1≤x≤30의 값으로서, A로 나타내지는 원소는 Si, Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Zn, Ga, Ge, Y, Zr, Nb, Mo, Ru, Rh, Pd, Cd, In, Sn, Sb, Te, La, Hf, Ta, W, Re, Os, Ir, Pt, Tl, Pb, Bi, Au, Ag 및 Cu로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 원소)로 나타내지는 것이 좋다. x는 원자%로 0.5≤x≤15의 범위의 값인 것이 보다 바람직하고, 1≤x≤10의 범위의 값인 것이 가장 바람직하다. A로 나타내지는 원소가 Ti, Zr 또는 Hf인 것이 저 잡음인 점에서 바람직하다.
반사층의 막두께는 20nm이상, 500nm이하인 것이 바람직하다. 반사층의 막두께가 20nm이상이면 반사층으로서의 역할을 충분히 발휘할 수 있고, 500nm이하이면 내환경성 및 소거가능형 광정보매체에서의 기록감도가 양호하다.
반사층중의 산소 및 질소로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 한 종류의 원소의 농도가 높은 영역은 막두께방향으로 1곳 이상 마련되어 있으면 좋다, 너무 많이 마련할 때에는 제조공정이 복잡하게 되므로 2곳 정도 이하가 좋다.
또, 반사층중의 질화물 및 산화물로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 한 종류의 화합물의 중간층은 1층 이상이면 좋지만, 너무 많이 마련할 때에는 제조공정이 복잡하게 되므로, 2층 정도 이하가 좋다.
반사층의 형성방법은 스퍼터링(rf, DC, 마그네트론, 등), 증착(통전가열증착, 전자빔증착, 이온빔증착 등), 이온플레이팅 중 어느 하나를 적절히 선택하면 좋다.
또, 반사층의 형성은 (1) 반사층의 막제조도중에 산소가스 또는 질소가스 또는 그 양자를 도입하고, (2) 반사층의 막제조를 중단해서 대기에 노출시킨 후 막제조를 계속하고, (3) 반사층의 막제조 도중에 원하는 금속의 질화물 및 산화물 중 적어도 한 종류의 화합물을 스퍼터 또는 증착하는 등의 방법에 의해 실행할 수 있다.
이와 같은 반사층은 상술한 2면∼4면의 평면정보영역을 갖는 기판의 기판에서 가장 떨어진 위치의 평면정보영역에 적용할 수 있다. 이 기판의 2개를 기판이 각각 바깥쪽으로 위치하도록 배치해서 일체화하고, 다층구조 광정보매체로 하면 좋다.
상기 제3 목적은 서로 대향해서 배치된 제1 및 제2 기판 사이에 접속된 광빔에 의해 정보를 재생하는 제1 및 제2 평면정보영역이 배치되고, 상기 광빔이 입사하는 상기 제1 기판측에 배치된 상기 제1 평면정보영역은 상기 제1 기판표면에 마련된 오목볼록과 그 위에 마련된 반투명막으로 구성되고, 상기 제2 기판측에 배치된 상기 제2 평면정보영역은 상기 광빔에 투명한 물질층의 표면에 마련된 오목볼록과 그 위에 마련된 반사층으로 구성되고, 상기 제1 기판의 두께는 0.52mm∼0.65mm의 범위이고, 상기 반투명막은 적어도 3층의 유전체로 이루어지고, 또한 서로 접하는 2층의 유전체는 그 광학정수가 다른 다층구조 광정보매체에 의해 달성된다.
여기서, 광학정수라고 하는 것은 복소굴절율(n*=n-i ·k)에 있어서의 n(굴절율)과 k(감쇠계수)를 의미하는 것이다. 어느 유전체의 광학정수를 바꾸기 위해서는 그 조성을 바꾸거나, 조성비를 바꾸고, 결정구조를 바꾸는 등의 방법을 취하면 좋다.
이 다층구조 광정보매체의 상기 제1 평면정보영역은 리라이트 가능한 기록층과 그 기록층의 광빔이 입사하는 측과 반대측에 마련된 반사층으로 이루어지는 것이어도 좋다.
이 다층구조 광정보매체에 있어서, 제1 기판의 제2 기판측과 반대측의 표면에서 반사층의 제1 기판측의 표면까지의 거리는 0.57mm이상, 0.66mm이하인 것이 바람직하다. 또, 투명한 물질층의 두께는 30㎛∼80㎛의 범위인 것이 바람직하고, 30㎛∼60㎛의 범위인 것이 보다 바람직하다. 이것에 의해 평면정보영역 사이의 크로스토오크가 작고, 집속한 레이저광의 수차도 작으므로, 잡음상승을 억제해서 정보를 재생할 수 있다.
상기 반투명층은 Si, Ce의 산화물, La의 산화물, Si의 산화물, In의 산화물,Al의 산화물, Ge의 산화물, Pb의 산화물, Sn의 산화물, Ta의 산화물, Sc의 산화물, Y의 산화물, Ti의 산화물, Zr의 산화물, V의 산화물, Nb의 산화물, Cr의 산화물, W의 산화물, Zn의 황화물, Ga의 황화물, In의 황화물, Sb의 황화물, Ge의 황화물, Sn의 황화물, Pb의 황화물, Mg의 플루오르화물, Ce의 플루오르화물, Ca의 플루오르화물, Si의 질화물, Al의 질화물, Ta의 질화물, B의 질화물로 이루어지는 군에서 선택된 적어도 한 종류의 재료인 것이 바람직하다.
이들의 유전체 중, 황화물에서는 아연황화물이 굴절률이 적당한 크기이고 층이 안정한 점에서 바람직하다. 질화물에서는 굴절율이 적당한 크기이고, 층이 견고한 점에서 규소질화물, 알루미늄질화물, 탄탈질화물이 바람직하다. 산화물에서 바람직한 것은 규소산화물, 알루미늄산화물, 탄탈산화물, 게르마늄산화물, 스칸듐산화물, 티탄산화물, 이트륨산화물, 지르코늄산화물, 세륨산화물, 인듐산화물 또는 주석 산화물이다. 혼합물 중에서는 아연황화물과 규소산화물의 혼합물은 파장400nm이하의 단파장에서도 감쇠 계수가 거의 0이어서 광흡수가 없고, 굴절률이 큰 범위에서 자유롭게 설정할 수 있는 점이 바람직하다.
상기의 반투명막 및 반사층은 제1 기판측에서 측정한 반사율이 모두 20%∼50%의 범위에 있는 것이 바람직하고, 또 반사율의 값은 10%이내의 차에서 일치하는 것이 바람직하다.
또, 상기 제3 목적은 제1 기판상에 평면정보영역을 2면∼4면을 갖는 제1 광정보매체와 제2 기판상에 평면정보영역을 2면∼4면을 갖는 제2 광정보매체를 상기 제1 및 제2 기판이 각각 바깥쪽으로 위치하도록 배치한 구조를 갖고, 상기 제1 및제2 기판의 두께는 각각 0.52mm이상. 0.65mm이하이고, 상기 제1 및 제2 기판상의 상기 평면정보영역 중, 각각 기판에서 가장 떨어진 위치의 평면정보영역을 제외한 다른 평면정보영역은 반투명막을 갖고, 상기 반투명 막은 적어도 3층의 유전체로 이루어지고 또한 서로 접하는 2층의 유전체는 그 광학정수가 다른 다층구조 광정보매체에 의해 달성된다.
상기 반투명층과 기판상에 마련된 오목볼록에 의해 상기 평면정보영역이 구성된다. 또, 상기 반투명층과 광빔에 투명한 물질층에 마련된 오목볼록에 의해 상기 평면정보영역이 구성된다.
투명한 물질층의 두께는 30㎛∼80㎛의 범위인 것이 바람직하고, 30㎛∼60㎛의 범위인 것이 보다 바람직하다. 또, 제1 기판의 제2 기판측과 반대측의 표면에서 제1 기판상에 마련된 반사층의 제1 기판측의 표면까지의 거리는 0.57mm이상, 0.66mm이하인 것이 바람직하다. 제2 기판의 경우도 마찬가지이다. 이것에 의해 평면정보영역 사이의 크로스토오크가 작고 집속한 레이저광의 수차도 작으므로, 잡음상승을 억제해서 정보를 재생할 수 있다.
상기 각 기판상에 마련된 상기 반투명층 및 상기 반사층은 각각의 기판측에서 측정한 반사율이 모두 20%∼50%의 범위에 있는 것이 바람직하다. 어떠한 평면정보영역에도 서보를 안정하게 제어할 수 있지만, 50%초과에서는 서보의 자동이득제어의 범위에서 벗어나므로, 이득제어의 전환이 필요하게 된다. 25%이상, 40%이하로 하는 것이 자동이득제어의 전환없이 어느 평면정보영역에도 안정하게 서보를 제어할 수 있는 점에서 바람직하다.
또, 반사율의 값은 모두 10%이내의 차에서 일치하는 것이 바람직하다. 포커스점프시, 어떠한 평면정보영역을 재생해도 조정없이 안정하게 서보를 제어할 수 있다.
이 반투명층의 적절한 재료는 상기한 경우와 동일하다.
이하, 본 발명을 실시예에 따라서 상세히 설명한다.
＜실시예 1＞
제1도에 본 발명의 제1 실시예의 다층구조 광정보매체의 단면의 확대도를 도시한다. 직경120mm, 두께0.58mm의 디스크형상 폴리 카보네이트판의 표면에 사출성형법에 의해서 정보를 오목볼록(광학적위상피트)으로서 형성한 기판(1)을 제작하였다. 상기 기판(1)상에 아르곤중에 질소를 5% 혼입한 가스를 사용해서 규소를 고주파마그네트론 스퍼터링장치에 의해 스퍼터링하고, 광학정수(n*)가 n*=3.00-0.12i에서 규소와 규소질화물의 혼합물로 이루어지는 반투명층(2)를 55nm형성하고, 제1 재생전용의 평면정보영역을 구성하였다.
다음에, 자외선경화수지를 사용해서 정보를 스탬퍼에서 전사하는 광중합법(2P법)에 의해서 정보를 오목볼록으로 해서 형성한 자외선경화수지층(3)을 40㎛의 두께로 형성하였다. 여기서는 스템퍼로서 플라스틱으로 제작한 투명한 틀을 사용하고, 틀측에서 자외선을 입사하였다. 또, 아르곤가스를 사용한 스퍼터링법에 의해서 금으로 이루어지는 반사층(4)를 50nm형성하고, 제2 재생전용의 평면정보영역을 구성하였다. 그 위에, 자외선경화수지층을 10㎛의 두께로 스핀코팅한 후, 자외선을 조사해서 경화시켜 보호층(5)로 하여 광정보매체A를 제작하였다.
마찬가지로 해서, 오목볼록을 표면에 형성한 기판(1')상에 규소와 규소질화물의 혼합물로 이루어지는 반투명층(2')를 형성해서 제3 재생전용의 평면정보영역을 구성하고, 또 표면에 오목볼록을 가진 자외선경화수지층(3')와 금으로 이루어지는 반사층(4')에 의해 제4 재생전용의 평면정보영역을 형성하고, 또 자외선경화수지로 이루어지는 보호층(5')를 형성해서 또 다른 하나의 광정보매체B를 제작하였다. 제1, 제2, 제3, 제4 재생 전용의 평면정보영역은 각각 다른 정보를 갖고 있다.
이와 같이 해서 제작한 광정보매체A 및 B를 기판(1) 및 (1')가 바깥쪽으로 되도록 해서 접착제층(6)으로 접착하여 다층구조 광정보매체C를 제작하였다. 여기서는 광정보매체A의 보호층(5)상에 실리콘계 반응성접착제를 50㎛의 두께로 스핀코팅한 후, 광정보매체B를 진공중에서 기포가 들어가지 않도록 해서 접착하였다.
상기와 같이 해서 제작한 다층구조 광정보매체C를 광디스크 드라이브(반도체레이저 파장635nm, 대물렌즈개구수(NA) 0.6)에 의해 재생평가하였다. 디스크를 선속도 또는 각속도를 일정하게 회전시키고, 임의의 반경위치에 반도체레이저로부터의 연속광을 광헤드 중의 대물렌즈로 기판(1) 또는 (1')를 통해서 각 평면정보영역에 집광하였다. 광정보매체A측에서 재생하는 경우에는 제1 재생전용의 평면정보영역 또는 제2 재생전용의 평면정보영역에 집광하고, 또 광정보매체B 측에서 재생하는 경우에는 제3 재생전용의 평면정보영역 또는 제4 재생전용의 평면정보영역에 집광하고, 트랙킹을 실행하면서 각 평면정보영역의 반사면에 촛점이 오도록 자동초점맞춤을 해서 반사광의 강약을 검출하는 것에 의해서 재생하였다.
상기의 다층구조 광정보매체C를 선속도를 3.3m/s로 회전시키고, 재생광레벨을 매체면상0.5mW로 하고, 피트깊이80nm, 마크길이0.45㎛, 마크피치0.8㎛, 트랙피치0.74㎛의 위상피트열로 이루어지는 데이타를 재생한 결과, 제1∼제4의 어떠한 재생전용의 평면정보영역을 재생해도 측정분해능 밴드폭30kHz에서 반송파대잡음비(C/N) 53.0dB, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N) 25.0dB의 재생신호출력이 얻어졌다.
이 때의 인접하는 평면정보영역으로부터의 면간크로스토오크는 -40.5dB이었다.
여기서, 다층구조 광정보매체C에서는 광정보매체A 또는 B중의 기판(1) 또는 (1')측에서 본 규소와 규소질화물의 혼합물로 이루어지는 반투명층(2) 또는 (2') 및 금으로 이루어지는 반사층(4) 또는 (4')에서의 반사율을 상기 광헤드에 의해 측정한 결과, 모두 30%이었다.
상기의 다층구조 광정보매체C의 기판(1)의 판두께를 변화시킨 경우, 제1, 제2 재생전용의 평면정보영역에서의 신호대잡음비(S/N)은 표1과 같이 변화하였다.
여기서, 기판(1)의 판두께가 0.52mm미만 또는 0.64mm 초과인 경우는 구면수차에 의한 잡음증가 때문에 신호대잡음비(S/N)이 24dB미만으로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 하회하였다.
또, 상기와 같이 기판의 두께를 종래의 1.2mm에서 약 1/2로 얇게 하는 것에 의해 보다 고밀도기록에 대응하기 위해 파장635nm의 단파장 반도체레이저, 개구수가 0.6으로 큰 대물렌즈를 사용한 경우에도 허용할 수 있는 광디스크의 기울기를를 9mrad로 종래와 동일하게 할 수 있어 종래의 컴팩트디스크(파장780nm, NA0.45)와 동일한 저렴한 광학계를 사용할 수 있었다.
또, 상기의 다층구조 광정보매체C의 기판(1')의 판두께를 변화시킨 경우, 제3, 제4 재생전용의 평면정보영역에서의 신호대잡음비(S/N)은 각각 표1의 제1,제2 재생전용의 평면정보영역과 마찬가지로 변화하였다.
상기의 다층구조 광정보매체C에 있어서, 자외선경화수지층(3)의 두께를 변화시킨 경우, 제2 재생전용의 평면정보영역에서의 신호대잡음비(S/N) 및 제2 재생전용의 평면정보영역에서의 제1 재생전용의 평면정보영역으로부터의 재생신호의 면간크로스토오크는 표2와 같이 변화하였다.
여기서, 자외선경화수지층(3)의 두께가 30㎛미만인 경우는 면간크로스토오크가 -30dB 초과로 크게되는 것에 의한 잡음증가 때문에 에러 없이 정보를 재생할 수 없었다.
단, 자외선경화수지층(3)의 두께가 60㎛초과인 경우는 층간 점프시의 포커스의 인입이 불충분하고 서보가 불안정하게 되어 안정한 층간점프를 할 수 없었다.
단, 상기의 다층구조 광정보매체C의 기판(1)의 판두께를 0.65㎛로 두껍게 한 경우에도 자외선경화수지층(3)의 두께를 변화시켰을 때, 제2 재생전용의 평면정보영역에서의 신호대잡음비(S/N)는 표3과 같이 변화하였다.
즉, 기판(1)의 판두께를 0.65mm로 두껍게 한 경우에도 자외선경화수지층(3)의 두께가 30㎛이면 S/N이 24dB, 면간크로스토오크가 -30dB로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있었다.
상기 다층구조 광정보매체C에 있어서는 기판(1)측에서 각 평면정보영역에 집광해서 측정한 기판으로부터의 각 평면정보영역의 반사율을 변화시킨 경우, 제1, 제2 재생전용의 평면정보영역에서의 신호대잡음비(S/N)은 표4와 같이 변화하였다.
여기서, 제1 재생전용의 평면정보영역의 반사율이 50%를 초과하면, 제2 재생전용의 평면정보영역의 반사율이 10%미만으로 되었다. 또, 제1 및 제2 재생전용의 평면정보영역의 반사율이 10%미만으로 되면, 디스크잡음 증가때문에 신호대잡음비(S/N)가 24dB미만으로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 하회하였다.
또, 제1 재생전용의 평면정보영역과 제2 재생전용의 평면정보영역에서의 반사율의 차가 20%이하, 즉 ±10%이내 일때에는 제1 재생전용의 평면정보영역과 제2 재생전용의 평면정보영역 사이에서 층간점프한 후, 조정없이 안정하게 서보가 제어되었지만, 20%초과일 때에는 층간점프 후에 서보의 이득조정이 필요하였다.
상기의 다층구조 광정보매체C의 기판(1')측에서 각 평면정보영역에 집광해서 측정한 각 평면정보영역의 반사율을 변화시킨 경우, 제3, 제4 재생전용의 평면정보영역에서의 신호대잡음비(S/N)은 각각 표4의 제1, 제2 재생전용의 평면정보영역에서의 결과와 동일하게 변화하였다.
상기의 다층구조 광정보매체C의 반투명층(2) 및 (2')로서 본 실시예에서 사용한 규소와 규소질화물의 혼합물 이외에 다른 유전체 또는 금속을 사용해도 기판(1) 또는 (1')에서 제1 또는 제3 재생전용의 평면정보영역에 집광해서 측정한 평면정보영역의 반사율이 대략 30%로 되도록 적층하는 것에 의해 본 실시예와 동일한 결과가 얻어졌다. 상기 유전체로서 규소, 규소질화물, 규소산화물, 게르마늄, 게르마늄산화물, 게르마늄질화물, 아연 황화물, 알루미늄질화물 중 적어도 하나를, 상기 금속으로서 알루미늄, 알루미늄합금, 금, 금합금, 은, 은합금, 동, 동합금 중 적어도 하나를 사용해도 본 실시예와 동일한 결과가 얻어졌다.
상기의 다층구조 광정보매체C의 반사층(4) 및 (4')로서 본 실시예에서 사용한 금 이외에 금합금, 은, 은합금, 동, 동합금 등의 다른 금속층을 사용해도 본 실시예와 동일한 결과가 얻어졌다.
상기의 다층구조 광정보매체C의 접착제층(6)으로서 본 실시예에서 사용한 실리콘계 반응성 접착제 이외에 에폭시계 반응성 접착제를 사용해도 본 실시예와 동일한 결과가 얻어졌다. 또, 핫멜트접착제를 사용하는 것에 의해 저코스트로 접착할 수 있고, 자외선경화수지를 사용하는 것에 의해 접착하기 전의 단일판에 자외선경화수지 등의 보호층(5) 및 (5')를 코팅하지 않고 접착해도 본 실시예와 동일한 결과가 얻어졌다.
본 실시예에 사용한 기판으로서 사출성형법에 의해 제작한 폴리카보네이트기판 이외에 사출성형법에 의해 제작한 폴리올레핀 기판 또는 PMMA기판을 사용해도 또 유리 또는 수지기판 등의 표면에 광중합법에 의해 평면정보영역을 갖는 자외선경화수지층을 형성한 기판을 사용해도 본 실시예와 동일한 결과가 얻어졌다.
＜실시예 2＞
제2도에 본 발명의 제2 실시예의 광정보매체의 단면의 확대도를 도시한다. 직경120mm, 두께0.56mm의 디스크형상 폴리카보네이트판의 표면에 사출성형법에 의해서 정보를 오목볼록(광학적위상피트)으로서 형성한 기판(7)을 제작하였다. 고주파마그네트론 스퍼터링 장치에 의해 이 기판(7)상에 아르곤중에 질소를 6% 혼입한 가스를 사용해서 규소를 스퍼터링하고, 광학정수(n*)가 n*=2.45-0.04i에서 규소와 규소질화물의 혼합물로 이루어지는 반투명층(8)을 65nm형성하고, 제1 재생전용의 평면정보영역을 구성하였다.
다음에, 자외선경화수지를 사용해서 오목볼록을 스템퍼에서 전사하는 광중합법(2P법)에 의해서 정보를 오목볼록으로 해서 형성한 자외선경화수지층(9)를 40㎛의 두께로 형성하였다. 여기서는 스텝퍼로서 니켈 합금으로 제작한 금형을 사용하고, 기판측에서 자외선을 입사하였다. 그 위에, 상기 스퍼터링 장치에 의해 아르곤중에 질소를 5% 혼입한 가스를 사용해서 규소를 스퍼터링하고, 광학정수(n*)가 n*=3.00-0.12i에서 규소와 규소 질화물의 혼합물로 이루어지는 반투명층(10)을55nm형성하고, 제2 재생전용의 평면정보영역을 구성하였다.
그 위에 또 한번 자외선경화수지를 사용해서 오목볼록을 스템퍼에서 전사하는 광중합법(2P법)에 의해서 정보를 오목볼록으로 해서 형성한 자외선경화수지층(11)을 40㎛의 두께로 형성하였다. 그 위에 아르곤 가스를 사용한 스퍼터링법에 의해서 금으로 이루어지는 반사층(12)를 50nm형성하고, 제3 재생전용의 평면정보영역을 구성하였다. 또, 자외선경화수지층을 10㎛의 두께로 스핀코팅한 후, 자외선을 조사해서 경화시켜 보호층(13)으로 하고 광정보매체D를 제작하였다.
마찬가지로 해서 기판(7')상에 제4, 제5 및 제6 재생전용의 평면정보영역을 갖는 다른 하나의 광정보매체E를 제작하였다. 광정보매체D 및 E가 각각 기판이 바깥쪽으로 되도록 해서 접착제층(14)로 접착하고, 다층구조 광정보매체F를 제작하였다. 여기서는 광정보매체D의 보호층(13)상에 에폭시계 반응성 접착제를 50㎛의 두께로 스핀코팅한 후, 광정보매체E를 진공중에서 기포가 들어가지 않도록 해서 접착하였다.
상기와 같이 해서 제작한 다층구조 광정보매체F를 광디스크 드라이브(반도체 레이저 파장635nm, 대물렌즈개구수(NA) 0.6)에 의해 재생평가하였다. 디스크를 선속도 또는 각속도를 일정하게 회전시키고, 임의의 반경위치에 반도체레이저로부터의 연속광을 광헤드 중의 대물렌즈로 기판(7) 또는 (7')를 통해서 각 평면정보영역에 집광하였다. 상기의 다층구조 광정보매체F를 선속도를 3.3m/s로 회전시키고, 재생광레벨을 매체면상0.8mW로 하고, 피트깊이80nm, 마크길이0.45㎛, 마크피치 0.8㎛, 트랙피치 0.74㎛의 위상피트열로 이루어지는 데이타를 재생한 결과, 제1, 제3,제4, 제6 재생전용의 평면정보영역을 재생하면, 측정분해능 밴드폭30kHz에서 반송파대잡음비(C/N) 52.7dB, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N) 24.7dB의 재생신호출력이 얻어졌다. 또, 제2, 제5 재생전용의 평면정보영역을 재생하면, 측정분해능밴드폭 30kHz에서 반송파대잡음비(C/N) 25.2dB, 주파수대역 9MHz에서 신호대잡음비(S/N) 25.2dB의 재생신호출력이 얻어졌다.
이 때의 인접하는 평면정보영역으로부터의 면간크로스토오크는 -40.5dB이었다.
여기서, 상기 다층구조 광정보매체F에서는 광정보매체D 또는 E의 기판측에서 본 제1∼제6 재생전용의 평면정보영역에서의 반사율을 상기 광헤드에 의해 측정한 값은 어떠한 재생전용의 평면정보영역의 반사율도 모두 18%이었다.
상기의 다층구조 광정보매체F의 기판(7)의 판두께를 변화시킨 경우 제1, 제2, 제3 재생전용의 평면정보영역에서의 신호대잡음비(S/N)는 표5와 같이 변화하였다.
여기서, 기판(7)의 판두께가 0.52mm미나 또는 0.60mm초과인 경우는 구면수차에 의한 잡음증가 때문에 신호대잡음비(S/N)가 24dB미만으로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 하회하였다.
단, 기판(7)의 판두께를 0.62㎛로 뚜껍게한 경우에도 자외선경화수지층(9) 및 (11)의 두께가 모두 30㎛이면, 제1, 제2, 제3 재생전용의 평면정보영역에서의 S/N은 각각 25dB, 24.5dB, 24dB이고, 각 평면정보영역에서의 면간크로스토오크가 -30dB로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있었다.
＜실시예 3＞
제3도에 본 발명의 제3 실시예의 광정보매체의 단면의 확대도를 도시한다. 직경120mm, 두께0.54mm의 디스크 형상 폴리카보네이트판의 표면에 사출성형법에 의해서 정보를 오목볼록(광학적위상피트)으로서 형성하고, 기판(15)를 제작하였다.상기 기판상에 고주파마그네트론 스퍼터링 장치에 의해 아르곤중에 질소를 7% 혼입한 가스를 사용해서 규소를 스퍼터링하고, 광학정수(n*)가 n*=2.25-0.02i에서 규소와 규소질화물의 혼합물로 이루어지는 반투명층(16)을 70nm형성하고, 제1 재생전용의 평면정보영역을 구성하였다.
다음에, 자외선경화수지를 사용해서 오목볼록을 스템퍼에서 전사하는 광중합법(2P법)에 의해서 정보를 오목볼록으로 해서 형성한 자외선경화수지층(17)을 40㎛의 두께로 형성하였다. 여기서는 스템퍼로서 플라스틱으로 제작한 투명한 틀을 사용하고, 틀측에서 자외선을 입사하였다. 그 위에 상기 스퍼터링 장치에 의해 아르곤중에 질소를 6% 혼입한 가스를 사용해서 규소를 스펴터링하고, 광학정수(n*)가 n*=2.45-0.04i에서 규소와 규소질화물의 혼합물로 이루어지는 반투명층(18)을 65nm형성하고, 제2 재생전용의 평면정보영역을 구성하였다.
그 위에 다시 한번 자외선경화수지를 사용해서 오목볼록을 스템퍼에서 전사하는 광중합법(2P법)에 의해서 정보를 오목볼록으로 해서 형성한 자외선경화수지층(19)를 40㎛의 두께로 형성하였다. 또, 그 위에 상기 스퍼터링 장치에 의해 아르곤중에 질소를 5% 혼입한 가스를 사용해서 규소를 스퍼터링하고, 광학정수(n*)가 n*=3.00-0.12i에서 규소와 규소 질화물의 혼합물로 이루어지는 반투명층(20)을 55nm형성하고, 제3 재생전용의 평면정보영역을 구성하였다.
그 위에 다시 한번 자외선경화수지를 사용해서 오목볼록을 스템퍼에서 전사하는 광중합법(2P법)에 의해서 정보를 오목볼록으로 해서 형성한 자외선경화수지층(21)를 40㎛의 두께로 형성하였다. 그 위에 아르곤가스를 사용한스퍼터링 법에 의해서 알루미늄-티탄합금(Al97Ti3)으로 이루어지는 반사층(22)을 50nm 형성하고, 제4 재생전용의 평면정보영역을 구성하고, 광정보매체G를 제작하였다.
마찬가지로 해서, 기판(15')상에 제5∼제8 재생전용의 평면정보영역을 갖는 다른 하나의 광정보매체H를 제작하였다. 광정보매체G 및 H를 각각 기판이 바깥쪽으로 되도록 해서 접착제층(23)으로 접착하고, 다층 구조 광정보매체I를 제작하였다. 여기서는 광정보매체G의 반사층(22)상에 자외선경화수지를 적하한 후, 광정보매체H를 접착하고 회전하면서 수지중의 기포를 밀어내어 40㎛의 두께로 한 후, 자외선을 조사해서 경화하여 접착하였다.
상기와 같이 제작한 다층구조 광정보매체I를 광디스크 드라이브(반도체레이저 파장635nm, 대물렌즈개구수(NA) 0.6)에 의해 재생평가하였다. 디스크를 선속도 또는 각속도를 일정하게 회전시키고, 임의의 반경위치에 반도체 레이저로부터의 연속광을 광헤드 중의 대물렌즈로 기판(15) 또는 (15')를 통해서 각 평면정보영역에 집광하였다. 상기의 다층구조 광정보매체I를 선속도를 3.3m/s로 회전시키고, 재생광레벨을 매체면상1.0mW로 하고, 피트깊이80nm, 마크길이0.45㎛, 마크피치0.8㎛, 트랙피치0.74㎛의 위상피트열로 이루어지는 데이타를 재생한 결과, 제1, 제4, 제5, 제8의 재생전용의 평면정보영역을 재생하면, 측정분해능 밴드폭30kHz에서 반송파대잡음비(C/N) 52.3dB, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비 (S/N) 24.3dB의 재생신호출력이 얻어졌다. 또, 제2, 제3, 제6, 제7의 재생전용의 평면정보영역을 재생하면,측정분해능 밴드폭30kHz에서 반송파대잡음비(C/N) 53dB, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N) 25dB의 재생신호출력이 얻어졌다.
이 때의 인접하는 평면정보영역으로부터의 면간크로스토오크는 -40.5dB이었다. 여기서, 상기 다층구조 광정보매체I에서는 광정보매체G 또는 H의 기판측에서 본 제1∼제6의 재생전용의 평면정보영역에서의 반사율을 상기 광헤드에 의해 측정한 값은 어떠한 재생전용의 평면정보영역에서도 13%이었다.
상기의 다층구조 광정보매체I에 있어서, 기판(15)의 판두께를 변화시킨 경우, 제1, 제2, 제3, 제4의 재생전용의 평면정보영역에서의 신호대잡음비(S/N)은 표6과 같이 변화하였다.
여기서, 기판(7)의 판두께가 0.52mm미만 또는 0.56mm 초과인 경우는 구면수차에 의한 잡음증가 때문에 신호대잡음비(S/N)이 24dB미만으로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 하회하였다.
단, 기판(7)의 판두께를 0.59㎛로 두껍게 한 경우에도 자외선경화수지층(17), (19) 및 (21)의 두께가 모두 30㎛이면, 제1, 제2, 제3, 제4 재생전용의 평면정보영역에서의 S/N은 각각 25.1dB, 25.0dB, 24.5dB, 24dB이고, 각 평면정보영역에서의 면간크로스토오크가 -30dB로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있었다.
＜실시예 4＞
제4도에 본 발명의 제4 실시예에 사용한 광정보매체의 단면의 확대도를 도시한다. 직경120mm, 두께0.58mm의 디스크형상 폴리카보네이트 판의 표면에 사출성형법에 의해서 정보를 오목볼록(광학적위상피트)으로서 형성한 기판(24)를 제작하였다. 상기 기판(24)상에 아르곤중에 질소를 6% 혼입한 가스를 사용해서 규소를 고주파마그네트론 스퍼터링 장치에 의해 스퍼터링하고, 광학정수(n*)가 n*=2.45-0.04i에서 규소와 규소 질화물의 혼합물로 이루어지는 반투명층(25)를 65nm형성하고, 제1 재생전용의 평면정보영역을 구성하였다.
다음에, 자외선경화수지를 사용해서 오목볼록을 스템퍼에서 전사하는 광중합법(2P법)에 의해서 트랙킹용의 트랙피치1.48㎛, U형상(랜드폭, 그루브폭 모두 0.74㎛)의 안내홈과 어드레스정보 등의 프리피트를 형성한 자외선경화수지층(26)을 40㎛의 두께로 형성하였다. 여기서는 스템퍼로서 플라스틱으로 제작한 투명한 틀을 사용하고, 틀측에서 자외선을 입사하였다. 그 위에, 고주파마그네트론 스퍼터링법에 의해 상변화형기록층과 반사층으로 이루어지는 제1의 리라이트 가능한 평면정보영역(27)을 구성하였다.
상변화형기록층 및 반사층으로서는 기판측에서 차례대로 (ZnS)80(SiO2)20의 박막, Ge21Sb25Te54의 박막, (ZnS)80(SiO2)20의 박막, Al97Ti3의 박막을 각각 130nm, 25nM, 25nm, 70nm 형성한 4층 구조로 하였다.
또, 자외선경화수지층을 10㎛의 두께로 스핀코팅한 후, 자외선을 조사해서 경화시켜 보호층(28)을 형성하고, 광정보매체J를 제작하였다.
마찬가지로 해서 제2 재생전용의 평면정보영역과 제2 리라이트 가능한 평면정보영역을 갖는 다른 하나의 광정보매체K를 제작하였다.
이와 같이 해서 제작한 광정보매체J 및 K를 기판이 바깥쪽으로 되도록해서 접착제층(29)로 접착하고, 다층구조 광정보매체L을 제작하였다.
여기서는 광정보매체J의 보호층(28)상에 실리콘계 반응성접착제를 50㎛의 두께로 스핀코팅한 후, 광정보매체K를 진공중에서 기포가 들어가지 않도록해서 접착하였다.
상기와 같이 제작한 다층구조 광정보매체L을 광디스크 드라이브(반도체레이저 파장635nm, 대물렌즈개구수(NA) 0.6)에 의해 기록/소거/재생 평가하였다.
우선, 다층구조 광정보매체L을 선속도 또는 각속도를 일정하게 회전시키고, 임의의 반경위치에 반도체 레이저로부터의 연속광을 광헤드 중의 대물렌즈로 기판을 통해서 제1 또는 제2 재생전용의 평면정보영역에 집광하고, 트랙킹을 실행하면서 각 정보면상에 촛점이 오도록 자동 초점 맞춤을 해서 반사광의 강약을 검출하는 것에 의해서 재생하였다.
상기의 다층구조 광정보매체L을 선속도 3.3m/s에서 회전시키고, 재생광레벨을 디스크면상0.5mW로 하고, 피트깊이80nm, 마크길이0.45㎛, 마크피치0.9㎛, 트랙피치0.74㎛의 위상피트열로 이루어지는 데이타를 재생한 결과, 제1 및 제2의 어떠한 재생전용의 평면정보영역을 재생해도 측정분해능 밴드폭30kHz에서 반송파대잡음비(C/N) 53.0dB, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N) 25.0dB의 재생신호출력이 얻어졌다. 이 때의 인접하는 평면정보영역으로부터의 면간크로스토오크는 -40.5dB이었다. 여기서, 상기 다층구조 광정보매체L에서는 광정보매체J 또는 K의 기판측에서 본 규소와 규소질화물의 혼합물로 이루어지는 반투명층에서의 반사율을 상기 광헤드에 의해 측정한 결과 18%이었다.
다음에, 제1 또는 제2 리라이트 가능한 평면정보영역에 집광하고, 트랙킹을 실행하면서 각 상변화형 기록층에 촛점이 오도록 자동촛점 맞춤을 해서 정보를 기록/소거/재생하였다. 상변화형 기록층에서의 제작직후의 상태에서의 기판에서 측정한 반사율을 8%로 낮으므로, 선속도3.3m/s, 디스크면상6mW 상당의 레이저광으로 전면초기화한 결과, 반사율을 5%에서 18%로 상승하였다. 상기 다층구조 광정보매체L을 선속도3.3m/s로 회전시키고, 임의의 반경위치에 반도체 레이저로부터의 연속광을 기록이 실행되지 않는 저파워레벨로 유지해서 U형상의 안내 홈의 홈사이 (랜드부) 또는 홈상(그루브부)에 광스폿의 중심이 항상 일치하도록 헤드를 구동하였다. 랜드부, 그루브부의 양쪽에 기록하는 것에 의해 기록용량을 2배로 할 수 있다. 여기서, 안내홈의 깊이를 λ/6n(λ:레이저파장, n:기판의 굴절률, 70nm)으로 하는 것에 의해 인접하는 홈사이 또는 홈상으로부터의 크로스토오크 신호를 -30dB이하로억제할 수 있었다. 이와 같이 트랙킹을 실행하면서 또 상변화형 기록층상에 촛점이 오도록 자동촛점맞춤을 해서 1빔에 의한 오버라이트로 기록과 소거를 동시에 실행하였다. 1빔에 의한 오버라이트는 레이저 파워를 결정화를 일으키는 중간파워레벨(소거레벨)과 비정질화를 일으키는 고파워레벨(기록레벨) 사이에서 변화시키는 것에 의해 실행하였다. 비정질화의 고파워 레벨과 결정화의 중간파워 레벨 사이의 파워비는 1:0.3∼ 1:0.8의 범위가 바람직하였다. 이것에 의해 이미 기록되어 있는 부분에 대해서 실행해도 기록되어 있던 정보가 새로이 기록한 정보로 리라이트된다.
재생광레벨을 연속광1.0mW로 하고, 레이저 파워를 결정화에 의한 중간파워 레벨6.0mW와 비정질화에 의한 고파워레벨11.0mW 사이에서 변화시키는 것에 의해 정보를 오버라이트하고, 반사광의 강약을 검출해서 정보를 재생하고, 재생신호를 평가하였다. 여기서는 마크길이0.5㎛, 마크피치1㎛의 신호와 마크길이1.8㎛, 마크피치3.6㎛를 교대로 오버라이트하였다. 전자의 신호를 오버라이트한 경우, 측정분해능 밴드폭30kHz에서 반송파대잡음비53.0dB, 원신호의 소거비30dB의 재생신호출력이 얻어진다. 또, 후자의 신호를 오버라이트한 경우, 측정분해능 밴드폭 30kHz에서 반송파대잡음비58.0dB, 원신호의 소거비30dB의 재생신호출력이 얻어졌다. 이 때의 반송파대잡음비1dB의 저하까지의 리라이트 가능회수는 10만회 이상이었다.
상변화형 기록층중의 기록막조성으로서는 상기 조성비 이외의 Ge-S b-Te계, 다른 조성의 Ge-Sb-Te-M(M은 금속원소)계 , Ge-Te-Se계 , Ge-Te-Sb-Se계, In-Se계, In-Se-Tl계, In-Se-M(M은 금속원소)계 , In-Sb-Te계, In-Sb-Se계, Ga-Sb계, Sn-Sb-Se계 및 Sn-Sb-Se-Te계 등을 사용해도 동일한 결과가 얻어졌다. 또 상기의 결정,비정질간 상변화를 이용한 것 이외에 결정, 결정간 상변화를 이용한 In-Sb계 등을 사용해도 동일한 결과가 얻어졌다.
상기 다층구조 광정보매체L의 상변화형 기록층과 반사층을 기판측에서 차례로 질화규소, Tb-Fe-Co, 질화규소, Al97Ti3의 박막을 각각 60 nm, 20nm, 15nm, 50nm 형성한 4층 구조로 한 광자기 기록층으로 바꾼 다층구조 광정보매체M에 대해서 제1 또는 제2의 리라이트 가능한 평면정보영역에 집광하고, 트랙킹을 실행하면서 각 광자기 기록층에 촛점이 오도록 자동촛점맞춤을 해서, 정보를 기록/소거/재생하였다. 다층구조 광정보매체L과 마찬가지로 선속도 3.3m/s로 회전시키고, 임의의 반경위치에 반도체 레이저로부터의 연속광을 기록이 실행되지 않는 저파워레벨로 유지해서 U형상 안내홈의 홈사이 (랜드부) 또는 홈상(그루브부)에 광스폿의 중심이 항상 일치 하도록 헤드를 구동하였다. 랜드부, 그루브부의 양쪽에 기록하는 것에 의해 기록용량을 2배로 할 수 있었다. 여기서, 안내홈의 깊이를 λ/6n( λ:레이저파장, n:기판의 굴절률, 70nm)으로 하는 것에 의해 인접하는 홈사이 또는 홈상으로부터의 크로스토오크 신호를 -30dB이하로 억제할 수 있었다. 이와 같이 트랙킹을 실행하면서 또 광자기기록층상에 촛점이 오도록 자동촛점맞춤을 하고, 광자기기록층의 초기화 자화의 방향과 반대의 방향으로 자장을 걸면서 레이저광을 조사해서 기록하였다. 소거는 기록과 반대 방향으로 자장을 걸면서 연속광을 조사해서 실행하였다.
재생은 카회전 각의 방향을 차동검출법에 의해 반사광의 강약으로 변환해서 검출해서 실행하였다. 여기서는 재생광레벨을 연속광1.0mW, 기록레이저 파워를 8mW로 하고, 마크길이0.5㎛, 마크피치1㎛의 신호와 마크길이1.8㎛, 마크피치 3.6㎛를 각각 소거한 후 기록하였다. 이 때, 전자의 신호를 기록한 경우, 측정분해능 밴드폭30kHz에서 반송파대잡음비53.0dB의 재생신호출력이 얻어졌다. 또, 후자의 신호를 기록한 경우, 측정분해능 밴드폭30kHz에서 반송파대잡음비58.0dB의 재생신호 출력이 얻어졌다. 이 때의 반송파대잡음비1dB 저하까지의 리라이트 가능회수는 100만회 이상이었다.
또, 상기 다층구조 광정보매체L, M의 한면의 재생전용의 평면정보영역의 수를 2면 또는 3면으로 해서 리라이트 가능한 평면정보영역보다 기판측에 형성해도 모든 재생전용의 평면정보영역에서의 정보를 에러 없이 재생할 수 있어 리라이트 가능한 평면정보영역에서의 리라이트도 10만회 이상 가능하였다.
＜실시예 5＞
제5도에 본 발명의 제5 실시예의 광정보매체의 단면의 확대도를 도시한다. 직경120mm, 두께0.6mm의 디스크형상 폴리카보네이트판의 표면에 사출성형법에 의해서 정보를 오목볼록(광학적위상피트)으로서 형성한 기판(31)을 제작하였다. 상기 기판(31)상에 아르곤가스를 사용해서 고주파마그네트론 스퍼터링 장치를 사용한 스퍼터링법에 의해 Al반사층(32)를 형성하였다. 그 위에 자외선경화수지를 적하한 후 두께0.6mm의 디스크 형상 폴리카보네이트 보호판(34)를 접착하고, 회전하면서 수지중의 기포를 밀어 내어 40㎛의 두께의 접착층(33)으로 한 후, 자외선을 조사해서 경화하여 접착하고 광정보매체N을 제작하였다. 여기서, Al반사층(32)는 다음의 조건에서 제작하였다. 우선, Al을 순수한 아르곤가스를 사용해서 40nm의 막을 제조한곳에서 일단 방전을 멈추고, 계속해서 아르곤중에 질소를 10% 혼입한 가스를 사용해서 5nm의 막을 제조하여 또 방전을 멈추고, 또 순수한 아르곤가스를 사용해서 40nm의 막을 제조하였다.
또, 종래구조와의 비교를 위해 반사층(32)만 Al을 순수한 아르곤가스를 사용해서 연속해서 85nm의 막을 제조한 종래구조의 광정보매체0를 제작하였다.
제6도에 광정보매체N의 반사층의 깊이방향의 조성분석을 오제분광법에 의해 실행한 결과를 도시한다. 광정보매체N에서는 막두께의 중앙부에 질소의 고농도층이 존재하였다.
제7도a, 제7도b에 광정보매체N 및 0의 반사층의 단면을 주사전자현미경 (SEM)에 의해 관찰한 결과를 모식도로서 도시한다. 제7도b에 도시한 바와 같이 종래의 광정보매체O에서는 반사층의 하부에서 상부까지 결정성장이 계속되고, 결정간의 입자경계도 마찬가지로 반사층의 하부에서 상부까지 연결되어 있던 것에 대해 제7도a에 도시한 바와 같이 광정보매체N에서는 결정성장이 반사층의 도중에서 중단되고, 결정간의 입자경계도 반사층의 도중에서 중단되어 반사층은 2개의 결정구조체로 되어 있었다.
상기와 같이 제작한 광정보매체N 및 O를 광디스크 드라이브(반도체 레이저 파장635nm, 대물렌즈개구수(NA) 0.6)에 의해 재생평가하였다. 상기 각 광정보매체를 선속도 또는 과속도를 일정하게 회전시키고, 임의의 반경위치에 반도체 래이저로부터의 연속광을 광헤드중의 대물렌즈로 기판(31)을 통해서 정보를 갖는 면에 집광하고, 트랙킹을 실행하면서 정보를 갖는 면상에 촛점이 오도록 자동촛점맞춤을해서 반사광의 강약을 검출하는 것에 의해서 재생하였다. 상기의 각 광정보매체를 선속도 3.3m/s로 회전시키고, 재생광레벨을 매체면상0.3mW로 하고, 피트깊이80nm, 마크길이0.4㎛, 마크피치0-8㎛, 트랙피치0.74㎛의 위싱피트 열로 이루어지는 데이타를 재생한 결과, 주파수대역9MHz에서의 신호대잡음비(S/N)은 다음과 같은 결과였다.
여기서, 광정보매체O의 경우는 잡음증가 때문에 신호대잡음비(S/N)이 22dB로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 하회하였다.
상기의 광정보매체N의 Al반사층(32)의 제작중에 사용한 아르곤중에 혼입한 질소 대신에 산소 또는 질소와 산소의 혼합가스를 사용해도 동일한 결과가 얻어졌다.
또, 상기의 광정보매체N의 Al반사층(32)의 작성을 순수한 아르곤가스를 사용하고, 스퍼터링법에 의해 Al을 40nm의 막을 제조한 곳에서 일단 중단해서 대기에 노출시키고, 또 스퍼터링법에 의한 막의 제조를 계속해서 Al막을 40nm 제조한 경우도 동일한 결과가 얻어졌다.
또, 상기 광정보매체N의 Al반사층(32)의 작성을 순수한 아르곤가스를 사용해서 스퍼터링법에 의해 Al막을 40nm 제조한 곳에서 AlN 또는 Al2O3를 스퍼터해서 5nm의 막을 제조하고, 또 계속해서 Al막을 40nm 제조한 경우도 동일한 결과가 얻어겼다.
상기의 광정보매체N의 반사층(32)의 제작에 사용한 Al 대신에 Al-Ti 합금을 사용한 광정보매체P에 대해서 Ti함유량을 변화시켜 쓸 때, 광정보매체P의 신호대잡음비는 다음과 같이 변화하였다.
여기서, Ti함유량이 30% 초과한 경우는 신호대잡음비(S/N)이 23dB로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 하회하였다. 상기 Al-Ti합금반사막을 사용한 광정보매체P에서는 Al반사막을 사용한 광정보매체N에 비해 내산화성이 양호하였다.
상기의 광정보매체P의 반사층제작에 사용한 Al-Ti합금 대신에 다른 Al-A(A로 나타내지는 원소는 Si, Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Zn, Ga, Ge, Y, Zr, Nb, Mo, Ru, Rh, Pd, Cd, In, Sn, Sb, Te, La, Hf, Ta, W, Re, Os, Ir, Pt, Tl, Pb,Bi, Au, Ag 및 Cu 중 적어도 1원소)로 나타내지는 합금을 사용해도 표8과 거의 동일한 결과가 얻어졌다.
상기 A로 나타내지는 원소 중 Ti에서는 내산화성인 점에서 우수하고 Zr 및 Hf에서는 저잡음인 점에서 우수하다.
상기 광정보매체N중의 반사층(32)중의 질소의 고농도층이 2층 이상 존재해도 본 실시예중의 광정보매체N과 동일한 결과가 얻어졌다.
상기 광정보매체N중의 반사층(32)의 층막두께가 20nm이상 500nm이하의 경우는 매체의 반사율이 광정보매체의 어느 부분에서도 균일하고 저잡음이며 또한 내환경성도 양호하여 광정보매체N과 동일한 재생특성이 얻어졌다. 한편, 반사층(32)의 층막두께가 20nm미만으로 얇은 경우에는 메체의 반사율이 불균일하고 잡음이 상승하여 S/N이 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 하회하였다. 또, 반사층(32)의 층막두께가 500nm초과로 두꺼운 경우에는 내환경성이 저항하고, 온도 -20℃와 60℃ 사이에서 사이클시험을 반복하면, 잡음이 상승해서 S/N이 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 하회하였다.
본 실시예에 사용한 기판으로서 사출성형법에 의해 제작한 폴리카보네이트 기판 이외에 사출성형법에 의해 제작한 폴리올레핀 기판 또는 PMMA기판을 사용해도 또 유리 또는 수지기판 등의 표면에 광중합법(2P법)에 의해 정보면을 갖는 자외선경화수지층을 형성한 기판을 사용해도 본 실시예와 동일한 결과가 얻어졌다.
＜실시예 6＞
제8도에 본 발명의 제6 실시예의 다층구조 광정보매체의 단면의 확대도를 도시한다. 직경120mm, 두께0.58mm의 디스크형상 폴리카보네이트판의 표면에 사출성형법에 의해서 정보를 광학적위상피트로서 형성한 기판(35)를 제작하였다. 상기 기판(35)상에 아르곤중에 질소를 5% 혼입한 가스를 사용해서 규소를 고주파마그네트론 스퍼터링 장치에 의해 스퍼터링하고, 광학정수(n*)가 n*=3.00-0.12i에서 규소와 규소 질화물의 혼합물로 이루어지는 반투명층(36)을 55nm형성하고, 제1 재생전용의 평면정보영역을 구성하였다.
다음에, 자외선경화수지를 사용해서 오목볼록을 스템퍼에서 전사하는 광중합법(2P법)에 의해서 정보를 광학적 위상피트로서 형성한 자외선경화수지층(37)을 40℃의 두께로 형성하였다. 여기서는 스템퍼로서 플라스틱으로 제작한 투명한 틀을 사용하고, 틀측에서 자외선을 입사하였다. 그 위에, 아르곤가스를 사용한 스퍼터링법에 의해서 Al반사층(38)을 형성하고, 제2 재생전용의 평면정보영역을 형성하였다. 여기서, 반사층(38)은 다음의 조건에서 제작하였다. 우선, Al을 순수한 아르곤가스를 사용해서 40nm의 막을 제조한 곳에서 일단 방전을 멈추고, 계속해서 아르곤중에 산소를 10% 혼입한 가스를 사용해서 5nm의 막을 제조하여 또 방전을 멈추고, 또 순수한 아르곤가스를 사용해서 40nm의 막을 제조하였다.
또, 반사층(38)상에 자외선경화수지층을 10㎛의 두께로 스핀코팅한 후, 자외선을 조사해서 경화시켜 보호층(39)를 형성하고, 광정보매체Q1을 제작하였다. 마찬가지로해서 광정보매체Q2를 제작하였다.
광정보매체Q1 및 Q2를 각각 기판이 바깥쪽으로 되도록 해서 접착제층(40)으로 접착하고, 다층구조 광정보매체Q를 제작하였다. 여기서는 광정보매체Q1의 보호층(39)상에 실리콘계 반응성 접착제를 50㎛의 두께로 스핀코팅 한 후 광정보매체Q2를 진공중에서 기포가 들어가지 않도록 해서 접착하였다.
또, 비교를 위해 반사층(38)만을 Al을 순수한 아르곤가스를 사용해서 연속하여 85nm의 막을 제조한 다층구조 광정보매체R을 제작하였다.
상기와 같이 제작한 다층구조 광정보매체Q 및 R을 광디스크 드라이브(반도체레이저 파장635nm, 대물렌즈개구수(NA) 0.6)에 의해 재생평가하였다. 상기 다층구조 광정보매체를 선속도 또는 각속도를 일정하게 회전시키고, 임의의 반경위치에 반도체 레이저로부터의 연속광을 광헤드 중의 대물렌즈로 기판(35)를 통해서 각 평면정보영역에 집광하였다. 트랙킹을 실행하면서 각 정보를 갖는 면상에 촛점이 오도록 자동촛점맞춤을 해서 반사광의 강약을 검출하는 것에 의해서 재생하였다. 상기의 다층구조 광정보매체Q 및 R을 선속도 3.3m/s로 회전시키고, 재생광레벨을 매체면상0.5mW로 하고, 피트깊이80nm, 마크길이0.44㎛, 마크피치0.88㎛, 트랙피치0.74㎛의 위상피트열로 이루어지는데이타(데이타비트길이0.275㎛, 8-15변조에서의 3Tw(Tw:검출창폭)의 반복신호)를 재생한 결과, 다층구조 광정보매체Q에서는 어떠한 재생전용의 평면정보영역을 재생해도 측정분해능 밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N) 25.0dB의 재생신호출력이 얻어졌다.
이 때의 인접하는 평면정보영역으로부터의 면간크로스토오크는 -40.5dB이었다.
여기서, 상기 다층구조 광정보매체Q에서는 기판(35)측에서 본 규소와 규소 질화물의 혼합물로 이루어지는 반투명층(36) 및 Al반사층(38)에서의 반사율을 상기광헤드에 의해 측정한 값은 모두 30%이었다.
한편, 다층구조 광정보매체R에서는 어떠한 재생전용의 평면정보영역을 재생해도 측정분해능 밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N)이 잡음이 크므로, 22.0dB로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 하회하였다.
상기 다층구조 광정보매체Q의 한쪽면의 재생전용의 평면정보영역의 수가 3면 및 4면이어도 기판과 가장 반대측의 재생전용의 평면정보영역에만 산소 또는 질소 중 적어도 하나의 고농도층을 적어도 1층 함유하는 반사층을 형성하고, 다른 재생전용의 평면정보영역에는 반투명층을 형성했을 때, 어떠한 평면정보영역에서도 광헤드에 의해 측정한 반사율이 평면정보영역의 수가 3면인 경우는 18%, 평면정보영역의 수가 4면인 경우는 13%로 되도록 하면, 상기 다층구조 광정보매체Q의 각 재생전용의 평면정보영역의 재생특성과 동일한 결과가 얻어졌다.
상기의 광정보매체Q1의 Al반사층(38)의 제작시에 사용한 아르곤중에 혼입한 산소 대신에 질소 또는 질소와 산소의 혼합가스를 사용해도 동일한 결과가 얻어졌다.
또, 상기의 광정보매체Q1의 Al반사층(38)의 제작시에 순수한 아르곤 가스를 사용하고 스퍼터링법에 의해 Al막을 40nm 제조한 곳에서 일단 중단해서 대기에 노출시키고, 또 스퍼터링법에 의한 막의 제조를 계속해서 Al막을 40nm 제조한 경우도 동일한 결과가 얻어졌다.
또, 상기의 광정보매체Q1의 Al반사층(38)의 제작시에 순수한 아르곤 가스를사용하고 스퍼터링법에 의해 Al막을 40nm 제조한 곳에서 AlN 또는 Al2O3를 스퍼터해서 5nm의 막을 제조하고, 또 계속해서 Al을 40nm의 막을 제조한 경우도 동일한 결과가 얻어졌다.
＜실시예 7＞
제9도에 본 발명의 제7 실시예의 광정보매체의 단면의 확대도를 도시한다. 직경120mm, 두께0.6mm의 디스크형상 폴리카보네이트판의 표면에 사출성형법에 의해 트랙킹용의 나선형 상의 U형 홈을 랜드폭, 그루브폭 모두 0.74㎛, 홈깊이 72nm으로 되도록 형성한 레플리카기판(41) 상에 고주파마그네트론 스퍼터링 장치를 사용해서 우선 원자수비로 (ZnS)80(SiO2)20의 조성의 하부유전체층(42)를 130nm의 막두께로 형성하였다. 계속해서, 동일 스퍼터링장치내에서 원자%로 Ge21Sb26Te53의 조성의 기록층(43)을 25nm의 막두께로 형성하였다. 또, 동일 스퍼터링장치내에서 (ZnS)80(SiO2)20조성의 상부 유전체층(44)를 25nm의 막두께로 형성하였다. 그 위에 동일 스퍼터링 장치내에서 원자%로 Al97Ti3을 주성분으로 하는 반사층(45)를 85nm의 막두께로 형성하였다. 여기서, 상기 반사층(45)는 다음의 조건에서 제작하였다. 아르곤 가스를 사용해서 우선 Al97Ti3을 40nm 제작한 곳에서 일단 방전을 멈추고, 계속해서 Al2O3막을 5nm 제조한 곳에서 또 방전을 멈추고, 또 Al97Ti3막을 40nm의 제조하였다. 상기 반사층(45)상에 자외선경화수지층을 10㎛의 두께로 스핀코팅한 후, 자외선을 조사해서 경화시킨 보호층(46)을 형성하고 광정보매체S1을 제작하였다.
마찬가지로 해서 광정보매체S2를 제작하였다. 이 광정보매체S1 및 S2를 각각 기판이 바깥쪽으로 되도록 해서 접착제층(47)로 접착하고, 다층구조 광정보매체S를 제작하였다. 여기서는 광정보매체S1의 보호층(46)상에 실리콘계 반응성접착제를 50㎛의 두께로 스핀코팅 한 후, 광정보매체S2를 진공중에서 기포가 들어가지 않도록해서 접착하였다.
또, 비교를 위해 반사층(45)만을 Al97Ti3을 순수한 아르곤가스를 사용해서 연속해서 85nm의 막을 제조한 반사층으로 한 다층구조 광정보매체T를 제작하였다.
상기와 같이 제작한 다층구조 광정보매체S 및 T를 기록용 광빔의 조사를 받아서 형상변화를 수반하지 않고 원자배열변화가 생겨서 광학정수가 변화하는 상변화형의 리라이트 가능한 광정보매체로서 사용하고, 광디스크 드라이브(반도체레이저 파장650nm, 매체면상 최대파워18mW, 대물렌즈개구수(NA) 0.6)에 의해 기록/소거/재생특성을 평가하였다.
상기 다층구조 광정보매체의 제작직후의 상태는 비정질이고 매체반사율은 8%로 낮으므로, 선속도5.6m/s, 매체면상18mW 상당의 레이저 광으로 전면초기화한 결과, 반사율은 8%에서 34%로 상승하였다.
상기 다층구조 광정보매체S 및 T를 선속도6.6m/s로 회전시키고, 임의의 반경위치에 반도체레이저로부터의 연속광을 기록이 실행되지 않는 저파워레벨로 유지해 서 조사하고, 반사광을 검출하는 것에 의해서 재생하고, U형상 안내홈의 홈사이 (랜드부) 또는 홈상(그루브부)에 광스풋의 중심이 항상 일치하도록 헤드를 구동하였다. 랜드부, 그루브부의 양쪽에 기록하는 것에 의해 기록용량을 2배로 할 수 있다. 여기서, 안내 홈의 깊이를 약 λ/6n(λ:레이저파장, n:기판의 굴절율, 70nm)으로 하는 것에 의해 인접하는 홈사이 또는 홈상으로부터의 크로스토오크신호를 -30dB이하로 억제할 수 있었다. 기록/소거는 랜드부와 그루브부의 양쪽에 1빔에 의한 오버라이트로 기록과 소거를 동시에 실행하였다. 1빔에 의한 오버라이트는 레이저 파워를 결정화를 일으키는 중간파워레벨과 비정질화를 일으키는 고파워레벨 사이에서 변화시키는 것에 의해 실행하였다. 비정질화의 고파워레벨과 결정화의 중간파워레벨의 사이의 파워비는 1:0.4∼ 1:0.8의 범위가 특히 바람직하였다.
1빔 오버라이트에 의해 이미 기록되어 있는 부분에 대해서 실행해도 기록되어 있던 정보가 새로이 기록한 정보에 리라이트할 수 있었다.
상기 다층구조 광정보매체 S 및 T에 대해서 선속도 6.6m/s로 하고, 재생광레벨을 1.0mW로 해서 레이저파워를 결정화에 의한 중간파워레벨(매체면상)과 비정질화에 의한 고파워레벨(매체면상) 사이에서 변화시키는 것에 의해 정보의 기록을 실행하였다. 이렇게 해서 기록한 트랙상에서 트랙킹과 자동촛점맞춤을 실행하면서 기록 및 소거가 실행되지 않는 재생광레벨의 매체면상1.0mW의 연속광을 조사하고 이 반사광의 강약을 검출해서 정보를 재생하였다.
여기서는 데이타비트길이0.275㎛, 8-15변조에서의 16T의 반복신호(1.41MHz, 듀티50%)와 3T의 반복신호(7.5MHz, 듀티50%)를 22.5MHz, 듀티50%의 멀티펄스로 분할하고 고파워레벨16mW와 중간파워레벨9mW 사이에서 기록용 레이저광을 변조하는 것에 의해 오버라이트하였다. 우선, 8-15변조에서의 16T의 반복신호를 기록한 결과, 기록용 레이저 광 조사부의 반사율은 34%에서 12%로 변화하였다. 여기서, 측정대역분해능(Resolution Band Width) 30kHz에서 반송파대잡음비를 측정한 결과, 다층구조 광정보매체S에서는 60dB의 재생신호출력이 얻어진 것에 비해 다층구조 광정보매체T에서는 57dB였다. 또, 8-15변조에서의 3T의 반복신호를 오버라이트한 결과, 측정대역30kHz에서의 반송파대잡음비는 다층구조 광정보매체S에서는 54dB의 재생신호출력이 얻어진 것에 비해 다층구조 광정보매체T에서는 51dB이었다.
상기 다층구조 광정보매체S의 리라이트 가능회수는 10만회 이상으로 양호하였다.
상기 다층구조 광정보매체S는 내산화성에도 매우 우수하고, 60℃ 상대 습도 95%의 조건하에 3000시간 방치해도 레이터광에 대한 매체반사율 또는 투자율의 변화는 없었다. 또, 미리 선속도 5.6m/s이고 8-15변조에서의 3T의 반복신호를 오버라이트한 다층구조 광정보매체S를 60℃ 상대 습도95%의 조건하에 3000시간 방치해도 재생신호출력으로서는 재생신호변조도 및 반송파대잡음비 모두 변화는 반경되지 않았다.
상기의 다층구조 광정보매체S의 반사층(45) 대신에 Al97Ti3을 순수한 아르곤가스를 사용해서 40nm의 막을 제조한 곳에서 일단 방전을 멈추고, 계속해서 아르곤중에 질소를 10% 혼입한 가스를 사용해서 5nm의 막을 제조하여 또 방전을 멈추고, 또 순수한 아르곤가스를 사용해서 40nm의 막을 제조한 반사층을 사용해도 동일한 결과가 얻어졌다. 또, 상기 반사층제작중에 사용한 아르곤중에 혼입한 질소 대신에산소, 또는 질소와 산소의 혼합가스를 사용해도 동일한 결과가 얻어졌다.
또, 상기의 다층구조 광정보매체S의 반사층(45)의 작성시에 순수한 아르곤가스를 사용하고 스퍼터링법에 의해 Al97Ti3을 40nm의 막을 제조한 곳에서 일단 중단해서 대기에 노출시키고, 또 스퍼터링법에 의한 막의 제조를 계속해서 Al97Ti3을 40nm의 막을 제조한 경우에도 동일한 결과가 얻어졌다.
또, 상기의 다층구조 광정보매체S의 반사층(45)의 작성시에 순수한 아르곤가스를 사용하고 스퍼터링법에 의해 Al97Ti3을 40nm의 막을 제조한 곳에서 Al2O3대신 AlN을 스퍼터링해서 5nm의 막을 제조하고, 또 계속해서 Al97Ti3을 40nm의 막을 제조한 경우에도 동일한 결과가 얻어졌다.
또, 상기의 다층구조 광정보매체S의 반사층제작에 사용한 Al-Ti합금 대신에 다른 Al-A(A로 나타내지는 원소는 Si, Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Zn, Ga, Ge, Y, Zr, Nb, Mo, Ru, Rh, Pd, Cd, In, Sn, Sb, Te, La, Hf, Ta, W, Re, Os, Ir, Pt, Tl, Pb, Bi, Au, Ag 및 Cu 중 적어도 1원소)로 나타내지는 합금을 사용해도 상기의 결과와 거의 동일한 결과가 얻어졌다.
상기 A로 나타내지는 원소 중 Ti에서는 내산화성인 점에서 우수하고, Zr 및 Hf에서는 저잡음인 점에서 우수하다.
상기 반사층(45)의 층막두께가 20nm이상 500nm이하인 경우는 매체의 반사율이 광정보매체의 어떠한 부분에서도 균일하고 저 잡음이며 또한 내환경성도 양호하여 다층구조 광정보매체S와 동일한 재생특성이 얻어졌다. 한편, 반사층(45)의 층막두께가 20nm미만으로 얇은 경우에는 매체의 반사율이 불균일하고 잡음이 4dB 상승하였다. 또, 반사층(45)의 층막두께가 500nm초과로 두꺼운 경우에는 기록감도가 저하하여 기록파워가 20%이상 상승함과 동시에 내환경성이 저하하고, 온도 -20℃와 60℃ 사이에서 사이클시험을 반복하면 잡음이 4dB이상 상승하였다.
본 실시예의 광정보매체의 일부분에 미리 기판상에 오목볼록 형상의 광학적위상피트로서 피트깊이80nm, 마크길이0.44㎛, 마크피치0.88㎛, 트랙피치0.74㎛의 위상피트열로 이루어지는 데이타(데이타비트길이0.275 ㎛, 8-15변조에서의 3Tw(Tw:검출창폭)의 반복신호)를 혼재시켜도 소위 ROM-RAM 혼재형의 광정보매체로서 모든 정보를 에러 없이 재생할 수 있었다.
본 실시예에 사용한 기판으로서 사출성형법에 의해 제작한 폴리카보네이트 기판 이외에 사출성형법에 의해 제작한 폴리올레핀 기판 또는 PMMA기판을 사용해도 또 유리 또는 수지기판 등의 표면에 광중합법(2P법)에 의한 정보를 오목볼록으로서 마련한 자외선경화수지층을 형성한 기판을 사용해도 본 실시예와 동일한 결과가 얻어졌다.
＜실시예 8＞
제10도에 본 발명의 제8 실시예의 광정보매체의 단면의 확대도를 도시한다. 직경120mm, 두께0.6mm의 디스크형상 폴리카보네이트판의 표면에 사출성형법에 의해서 트랙킹용의 나선형상의 U형 홈을 랜드폭, 그루브폭 모두 0.74㎛, 홈깊이72nm으로 되도록 형성한 레플리카기판(48) 상에 고주파마그네트론 스퍼터링 장치를 사용해서 우선 질화규소의 하부유전체층(49)를 60nm의 막두께로 형성하였다. 계속해서동일 스퍼터링장치내에서 원자%로 Tb28Fe62Co10의 조성의 기록층(50)을 20nm의 막두께로 형성하였다. 또, 동일 스퍼터링 장치내에서 질화규소의 상부유전체층(51)을 15nm의 막두께로 형성하였다. 그 위에 동일 스퍼터링장치내에서 원자%로 Al97Zr3을 주성분으로 하는 반사층(52)를 85nm의 막두께로 형성하였다. 여기서, 상기 반사층(52)는 다음의 조건에서 제작하였다. 아르곤가스를 사용해서 우선 Al97Zr3의 막을 40nm 제조한 곳에서 일단 방전을 멈추고, 계속해서 AlN의 막을 5nm 제조한 곳에서 또 방전을 멈추고, 또 Al97Zr3막을 40nm 제조하였다. 상기 반사층(52)상에 자외선경화수지층을 10㎛의 두께로 스핀코팅한 후, 자외선을 조사해서 경화시킨 보호층(53)을 형성하고 광정보매체U1을 제작하였다.
마찬가지로 해서 광정보매체U2를 제작하고, 광정보매체U1 및 U2를 각각 기판이 바깥쪽으로 되도록 해서 접착제층(24)로 접착하고 다층구조 광정보매체U를 제작하였다. 여기서는 광정보매체U1의 보호층(53)상에 실리콘계 반응성 접착제를 50㎛의 두께로 스핀코팅한 후, 광정보매체U2를 진공중에서 기포가 들어가지 않도록해서 접착하였다.
또, 비교를 위해 반사층(52)만을 Al97Zr3를 순수한 아르곤가스를 사용해서 연속해서 85nm의 막을 제조한 반사층으로 한 다층구조 광정보매체V를 제작하였다.
상기와 같이 제작한 다층구조 광정보매체U 및 V를 광자기형의 리라이트 가능한 광정보매체로서 사용하여 광디스크 드라이브(반도체레이저파장 650nm, 매체면상최대파워12mW, 대물렌즈개구수(NA) 0.6)에 의해 기록/소거/재생특성을 평가하였다. 상기 다층구조 광정보매체U 및 V를 선속도6.6m/s로 회전시키고, 임의의 반경위치에 반도체레이저로부터의 연속광을 기록이 실행되지 않는 저파워레벨로 유지해서 조사하고 반사광을 검출하는 것에 의해서 재생하고, U형상 안내홈의 홈사이(랜드부) 또는 홈상(그루브부)에 광스폿의 중심이 항상 일치하도록 헤드를 구동하였다. 이와 같이 헤드를 구동하면서 광자기층의 초기화자화의 방향과 반대방향으로 자장을 걸면서 레이저광을 조사해서 기록하였다. 소거는 기록과 반대방향으로 자장을 걸면서 연속광을 조사해서 실행하였다. 재생은 카회전각의 방향을 차동검출법에 의해 반사광의 강약으로 변환해서 검출해서 실행하였다. 랜드부, 그루브부의 양쪽에 기록하는 것에 의해 기록용량을 2배로 할 수 있다. 여기서, 안내홈의 깊이를 약 λ/6n(λ:레이저 파장, n:기판의 굴절률, 70nm)으로 하는 것에 의해 인접하는 홈사이 또는 홈상으로부터의 크로스토오크 신호를 -30dB 이하로 억제할 수 있었다.
상기 다층구조 광정보매체U 및 V에 대해서 선속도6.6m/s로 하고, 재생광레벨을 1.0mW로 해서 레이저파워를 기록파워레벨(매체면상)과 재생고파워레벨(매체면상) 사이에서 변화시키는 것에 의해 정보의 기록을 실행하였다. 이렇게해서 기록한 트랙상에서 트랙킹과 자동촛점맞춤을 실행하면서 기록 및 소거가 실행되지 않는 재생광레벨의 매체면상1.0mW의 연속광을 조사하고 이 반사광의 강약을 검출해서 정보를 재생하였다. 여기서는 데이타비트길이0.275㎛, 8-15변조에서의 16T의 반복신호(1.41MHz, 듀티50%)와 3T의 반복신호(7.5MHz, 듀티50%)를 22.5MNz, 듀티50%의 멀티펄스로 분할하고, 기록파워레벨9mW와 재생파워레벨1mW 사이에서 한방향으로 200 Oe의 자장을 걸면서 레이저 광을 변조하는 것에 의해 기록하였다.
또, 소거파워레벨9mW의 연속레이저광을 기록과 반대방향으로 200 Oe의 자장을 걸면서 조사하는 것에 의해 소거하였다. 우선, 8-15변조에서의 16T의 반복신호를 기록하고, 측정대역분해능30kHz에서 반송파대잡음비를 측정한 결과, 다층구조 광정보매체U에서는 60dB의 재생신호출력이 얻어진 것에 비해 다층구조 광정보매체V에서는 57dB이었다. 일단, 데이타를 소거한 후, 8-15변조에서의 3T의 반복신호를 기록한 결과, 측정대역 30kHz에서의 반송파대잡음비는 다층구조 광정보매체U에서는 54dB의 재생신호출력이 얻어진 것에 비해 다층구조 광정보매체V에서는 51dB이었다.
상기 다층구조 광정보매체V의 리라이트 가능회수는 100만회 이상으로 양호하였다.
상기의 다층구조 광정보매체V의 반사층(52) 대신에 Al97Zr3을 순수한 아르곤가스를 사용해서 40nm의 막을 제조한 곳에서 일단 방전을 멈추고, 계속해서 아르곤중에 질소를 10% 혼합한 가스를 사용해서 5nm의 막을 제조해서 또 방전을 멈추고, 또 순수한 아르곤가스를 사용해서 40 nm의 막을 제조한 반사층을 사용해도 동일한 결과가 얻어졌다.
또, 상기 반사층(52)의 제작시에 아르곤중에 혼합한 질소 대신에 산소 또는 질소와 산소의 혼합가스를 사용해도 동일한 결과가 얻어졌다.
또, 상기 반사층(52)의 제작시에 순수한 아르곤가스를 사용하고 스퍼터링법에 의해 Al97Zr340nm의 막을 제조한 곳에서 일단 중단하여 대기에 노출시키고, 또스퍼터링법에 의한 막의 제조를 계속해서 Al97Zr3을 40nm의 막을 제조한 경우도 동일한 결과가 얻어졌다.
또, 상기 반사층(52)의 제작시에 순수한 아르곤가스를 사용하고 스퍼터링법에 의해 Al97Zr3막을 40nm 제조한 곳에서 AlN 대신에 Al2O3를 스퍼터해서 5nm의 막을 제조하고, 또 계속해서 Al97Zr3막을 40nm 제조한 경우도 동일한 결과가 얻어졌다.
또, 상기 다층구조 광정보매체V의 반사층(52)의 제작시에 사용한 Al-Zr 합금 대신에 다른 Al-A(A로 나타내지는 원소는 Si, Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Zn, Ga, Ge, Y, Zr, Nb, Mo, Ru, Rh, Pd, Cd, In, Sn, Sb, Te, La, Hf, Ta, W, Re, Os, Ir, Pt, Tl, Pb, Bi, Au, Ag 및 Cu중 적어도 1원소)로 나타내지는 합금을 사용해도 상기의 결과와 거의 동일한 결과가 얻어졌다.
상기 A로 나타내지는 원소 중, Ti에서는 내산화성인 점에서 우수하고, Zr 및 Hf에서는 저잡음인 점에서 우수하였다.
상기 반사층(52)의 층막두께가 20nm이상 500nm이하의 경우는 매체의 반사율이 광정보매체의 어떠한 부분에서도 균일하고 저 잡음이며 또한 내환경성도 양호하여 다층구조 광정보매체V와 동일한 재생특성이 얻어졌다. 한편, 반사층(52)의 층막두께가 20nm미만으로 얇은 경우에는 매체의 반사율이 분균일하고 잡음이 4dB 상승하였다. 또, 반사층(52)의 층막두께가 500nm초과로 두꺼운 경우에는 기록감도가 저하하고, 기록파워가 20% 이상 상승함과 동시에 내환경성이 저하하여 온도 -20℃ 와 60℃ 사이에서 사이클시험을 반복하면, 잡음이 4dB이상 상승하였다.
본 실시예의 광정보매체의 일부분에 미리 기판상에 오목볼록형상의 광학적 위상피트로서 피트깊이80nm, 마크길이0.44㎛, 마크피치0.88㎛, 트랙피치0.74㎛의 위상피트열로 이루어지는 데이타(데이타비트길이0.275㎛, 8-15변조에서의 3Tw(Tw:검출창폭)의 반복신호)를 혼재시켜도 소위 ROM-RAM 혼재형의 광정보매체로서 모든 정보를 에러 없이 재생할 수 있었다.
본 실시예에 사용한 기판으로서 사출성형법에 의해 제작한 폴리카보네이트기판 이외에 사출성형법에 의해 제작한 폴리올레핀 기판 또는 PMMA기판을 사용해도 또 유리 또는 수지기판 등의 표면에 광중합법(2P법)에 의해 정보를 오목볼록으로 해서 마련한 자외선경화수지층을 형성한 기판을 사용해도 본 실시예와 동일한 결과가 얻어졌다.
＜실시예 9＞
제11도에 본 발명의 제9 실시예의 광정보매체의 단면의 확대도를 도시한다. 직경120mm, 두께0.6mm의 디스크 형상 폴리카보네이트판의 표면에 사출성형법에 의해서 트랙핑용0.74㎛피치의 나선형상 홈을 형성한 레플리카기판(55)상에 색소로 이루어지는 기록층(56)으로서 회전도포법블 사용해서 색소의 일종인 시아닌을 70nm의 두께로 도포하였다. 다음에, 고주파마그네트론 스퍼터링 장치를 사용해서 원자%로 Al97Hf3을 주성분으로 하는 반사층(57)을 85nm의 막두께로 형성하였다. 여기서, 상기 반사층(57)은 이하의 조건에서 제작하였다. 아르곤가스를 사용해서 우선 Al97Hf3막을 40nm 제조한 곳에서 일단 방전을 멈춰 일단 대기중에 노출시키고, 또 Al97Hf3막을40nm 제조하였다.
상기 반사층(57)상에 자외선경화수지층을 10㎛의 두께로 스핀코팅한 후, 자외선을 조사해서 경화시킨 보호층(58)을 형성하고 광정보매체W1을 제작하였다.
마찬가지로 해서 광정보매체W2를 제작하였다. 광정보매체W1 및 W2를 각각 기판을 바깥쪽으로 되도록 해서 접착제층(59)로 접착하고 다층구조 광정보매체W를 제작하였다. 여기서는 광정보매체W1의 보호층(58)상에 에폭시계 반응성 접착제를 50㎛의 두께로 스핀코팅한 후, 광정보매체W2를 진공중에서 기포가 들어가지 않도록 해서 접착하였다.
또, 비교를 위해 반사층(57)만 Al97Hf3을 순수한 아르곤가스를 사용하여 연속해서 85nm의 막을 제조한 반사층으로 바꾼 다층구조 광정보매체X를 제작하였다.
상기한 바와 같이 제작한 다층구조 광정보매체W 및 X를 기록용광빔의 조사를 받아서 형상변화하는 색소로 이루어지는 추기형으로서 사용하고, 기록/재생평가를 광디스크 드라이브(기록/재생장치)에 의해 상기 다층구조 광정보매체를 일정선속도로 회전시키고 실시예8과 마찬가지로 해서 실행하였다.
상기 다층구조 광정보매체W 및 X의 선속도를 6.6m/s로 하고, 재생광레벨을 1.0mW로 해서 레이저파워를 재생광레벨과 열변형에 의한 기록파워레벨(매체면상)11mW 사이에서 변화시키는 것에 의해 정보의 기록을 실행하였다. 이렇게 해서 기록한 트랙상에서 트랙킹과 자동촛점맞춤을 실행하면서 기록 및 소거가 실행되지 않는 재생광레벨의 매체면상1.0mW의 연속광을 조사하고, 이 반사광의 강약을 검출해서 정보를 재생하였다. 여기서는 데이타비트길이0.275㎛, 8-1변조에서의 16T의 반복신호(1.41MHz, 듀티50%)와 37의 반복신호(7.5MHz, 듀티50%)를 22.5MHz, 듀티50%의 멀티펄스로 분할하고, 기록파워레벨11mW와 재생파워레벨1mW 사이에서 기록용레이저광을 변조하는 것에 의해 기록하였다. 우선, 16T의 반복신호를 기록한 결과, 기록용레이저 광조사부의 반사율을 71%에서 24%로 변화하였다. 여기서, 측정대역분해능30kHz에서 반송파대잡음비를 측정한 결과, 다층구조 광정보매체W에서는 60dB의 재생신호출력이 얻어진 것에 비해 다층구조 광정보매체 X에서는 57dB이었다. 또, 8-15변조에서의 3T의 반복신호를 기록한 결과, 측정대역30kHz에서의 반송파대잡음비는 다층구조 광정보매체W에서는 54dB의 재생신호출력이 얻어진 것에 비해 다층구조 광정보매체X에서는 51dB이었다.
다층구조 광정보매체W의 기록층(56)의 시아닌 대신에 다른 색소인 푸탈로시아닌색소, 폴리메틴색소, 나프토키논계 색소, 로다민염료, 아즈레늄색소, 큰 고리형상 아자아누렌계 색소 중 적어도 하나를 주성분으로 해서 사용해도 동일한 결과가 얻어졌다.
＜실시예 10＞
본 발명의 제10 실시예의 광정보매체의 단면의 확대도는 제5도에 도시한 것과 동일하다. 직경120mm, 두께0.6mm의 디스크형상 폴리카보네이트판의 표면에 사출성형법에 의해서 정보를 오목볼록(광학적위상피트)로서 형성한 기판(31)을 제작하였다. 상기 기판(31)상에 아르곤가스를 사용해서 고주파마그네트론 스퍼터링장치를 사용한 스퍼터링법에 의해 알루미늄 반사층(32)를 형성하였다. 그 위에 자외선경화수지제를 적하한 후 두께 0.6mm의 디스크형상 폴리카보네이트 보호판(34)를 접착하고, 회전하면서 수지중의 기포를 밀어 내어 40㎛ 두께의 접착층(33)으로 한 후, 자외선을 조사해서 경화하여 접착하고, 광정보매체Y를 제작하였다. 여기서, 알루미늄 반사층(32)는 다음의 조건에서 제작하였다. 우선, 수순한 아르곤가스를 사용해서 알루미늄의 막을 40nm 제조한 곳에서 일단 방전을 멈추고, 또 계속해서 알루미늄의 막을 40nm 제조하였다.
또, 비교를 위해 반사층(32)만 알루미늄을 순수한 아르곤가스를 사용하여 연속해서 80nm의 막을 제조한 종래구조의 광정보매체Z를 제작하였다.
제12도a, b에 광정보매체Y 및 Z의 반사층의 단면을 주사전자현미경(SEM)에 의해 관찰한 결과를 모식적으로 도시한다. 광정보매체Z에서는 제12도b에 도시한 바와 같이 반사층의 하부에서 상부까지 결정 성장이 계속되고, 결정간의 입자경계도 마찬가지로 반사층의 하부에서 상부까지 연결되어 있던 것에 비해 광정보매체Y에서는 제12도a에 도시한 바와 같이 결정성장이 반사층의 도중에서 중단하고, 결정간의 입자경계도 반사층의 도중에서 중단되어 있다.
상기와 같이 제작한 광정보매체Y 및 Z를 광디스크 드라이브(반도체레이저 파장635nm, 대물렌즈개구수(NA) 0.6)에 의해 재생평가하였다. 디스크를 선속도 또는 각속도를 일정하게 회전시키고, 임의의 반경위치에 반도체레이저로부터의 연속광을 광헤드 중의 대물렌즈로 기판(31)을 통해서 정보면에 집광하고 트랙킹을 실행하면서 정보면상에 촛점이 오도록 자동촛점맞춤을 해서 반사광의 강약을 검출하는 것에 의해서 재생하였다. 상기의 광정보매체Y를 선속도 3.3m/s로 회전시키고, 재생광레벨을 매체면상0.3mw로 하고, 피트깊이80nm, 마크길이0.4㎛, 마크피치0.8㎛, 트랙피치0.74㎛의 위상피트열로 이루어지는 데이타(데이타비트길이0.25㎛, 8-15변조에서의 3Tw(Tw:검출창폭)의 반복신호)를 재생한 결과, 광정보매체Y에서는 각 정보면의 어떠한 재생전용정보면을 재생해도 측정분해능밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서의 신호대잡음비(S/N) 25.0dB의 재생신호출력이 얻어졌다. 여기서, 광정보매체Y의 기판(31)측에서 본 반사층(32)에서의 반사율을 상기 광헤드에 의해 측정한 결과, 85%이었다,
한편, 광정보매체Z에서는 측정분해능밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서의 신호대잡음비(S/N)이 잡음이 크므로 22.0dB로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 하회하였다.
상기 광정보매체Y의 반사층(32)가 3층 이상의 알루미늄반사층으로 형성되는 것으로 해도 본 실시예의 광정보매체Y와 동일한 결과가 얻어졌다.
상기 광정보매체Y의 반사층(32)의 층막두께가 20nm이상 500nm이하의 경우는 매체의 반사율이 광정보매체의 어떠한 부분에서도 균일하고 저잡음이며 또한 내환경성도 양호하여 광정보매체Y와 동일한 재생특성이 얻어졌다. 한편, 반사층(32)의 층막두깨가 20nm미만으로 얇은 경우에는 매체의 반사율이 불균일이고 잡음이 상승하여 S/N이 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24db를 하회하였다. 또, 반사층(32)의 층막두께가 500nm초과로 두꺼운 경우에는 내환경성이 저하하고, 온도-20℃와 60℃ 사이에서 사이클시험을 반복하면 잡음이 상승해서 S/N이 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 하회하였다.
본 실시예에 사용한 기판으로서 사출성형법에 의해 제작한 폴리카보네이트 기판 이외에 사출성형법에 의해 제작한 플라롤레핀 기판 또는 PMMA 기판을 사용해도 또 유리 또는 수지기판 등의 표면에 광중합법(2P법)에 의해 정보를 오목볼록으로 해서 마련한 자외선경화수지층를 형성한 기판을 사용해도 본 실시예와 동일한 결과가 얻어졌다.
＜실시예 11＞
본 발명의 제11 실시예의 광정보매체의 단면의 확대도는 제8도에 도시한 것과 동일하다. 직경120mm, 두께0.58mm의 디스크형상 폴리카보네이트판의 표면에 사출성형법에 의해서 정보를 오목볼록(광학적위상피트)로서 형성한 기판(35)를 제작하였다. 이 기판(35)상에 아르곤중에 질소를 5% 혼입한 가스를 사용해서 규소를 고주파마그네트론 스퍼터링 장치에 의해 스퍼터링하고, 광학정수(n*)이 n*=3.00-0.12i에서 규소와 규소질화물의 혼합물로 이루어지는 반투명층(36)을 55nm형성하고 제1 재생전용의 평면정보영역을 구성하였다.
다음에, 자외선경화수지를 사용해서 오목볼록을 스탬퍼에서 전사하는 광중합법(2P법)에 의해서 정보를 오목볼록으로 해서 형성한 자외선경화수지층(37)을 40㎛의 두께로 형성하였다. 여기서는 스탬퍼로서 플라스틱으로 제작한 투명한 틀을 사용하고 틀측에서 자외선을 입사하였다. 그 위에 아르곤가스를 사용한 스퍼터링법에 의해서 알루미늄 반사층(38)을 형성하고 제2 재생전용의 평면정보영역을 구성하였다. 여기서, 알루미늄 반사층(38)은 다음의 조건에서 제작하였다. 우선, 순수한 아르곤가스를 사용해서 알루미늄의 막을 40nm 제조한 곳에서 일단 방전을 멈추고, 또계속해서 알루미늄의 막을 40nm 제조하였다.
또, 알루미늄 반사층(38)상에 자외선경화수지층을 10㎛의 두께로 스핀코팅한 후, 자외선을 조사해서 경화시켜 보호층(39)를 형성하고, 광정보매체α1을 제작하였다. 마찬가지로 해서 광정보매체α2를 제작하고, 광정보매체α1 및 α2를 각각 기판이 바깥쪽으로 되도록 해서 접착제층(40)으로 접착하고, 다층구조 광정보매체α를 제작하였다. 여기서는 광정보매체α1의 보호층(39)상에 실리콘계 반응성 접착제를 50㎛의 두께로 스핀코팅 한 후, 광정보매체α2를 진공중에서 기포가 들어가지 않도록 해서 접착하였다.
또, 비교를 위해 반사층(38)만을 순수한 아르곤가스를 사용해서 알루미늄을 연속해서 80nm의 막을 제조한 다층구조 광정보매체β를 제작하였다.
상기와 같이 제작한 다층구조 광정보매체α 및 β를 광디스크 드라이브(반도체레이저 파장635nm, 대물렌즈개구수(NA) 0.6)에 의해 재생평가하였다. 디스크를 선속도 또는 각속도를 일정하게 회전시키고, 임의의 반경위치에 반도체레이저로부터의 연속광을 광헤드 중의 대물렌즈로 기판(35)를 통해서 각 평면정보영역에 집광하였다. 트랙킹을 실행하면서 각 평면정보영역의 정보를 갖는 면에 촛점이 오도록 자동촛점맞춤을 해서 반사광의 강약을 검출하는 것에 의해 재생하였다.
상기의 다층구조 광정보매체α 및 β를 선속도를 3.3m/s로 회전시키고, 재생광레벨을 매체면상0.5mW로 하고, 피트깊이80nm, 마크길이0.44㎛, 마크피치0.88㎛, 트랙피치0.74㎛의 위상피트열로 이루어지는 데이타(데이타비트길이0.275㎛, 8-15변조에서의 3Tw(Tw:검출창폭)의 반복신호)를 재생한 결과, 다층구조 광정보매체α에서는 어떠한 재생전용의 평면정보영역을 재생해도 측정분해능 밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N) 25.0dB의 재생신호출력이 얻어졌다. 이 때의 인접하는 평면정보영역으로부터의 면간크로스토오크는 -40.5dB이었다. 여기서, 상기 다층구조 광정보매체α의 기판(35)에서 본 규소와 규소질화물의 혼합물로 이루어지는 반투명층(36) 및 반사층(38)에서의 반사율을 상기 광헤드에 의해 측정한 결과 모두 30%이었다.
한편, 다층구조 광정보매체β의 어떠한 재생전용의 평면정보영역을 재생해도 측정분해능 밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N)이 잡음이 크므로, 22.0dB로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 하회하였다.
상기 광정보매체α1 및 α2의 재생전용의 평면정보영역의 수가 3면 및 4면 이어도 각 기판과 가장 반대 측의 재생전용의 평면정보영역에만 적어도 2층의 알루미늄으로 이루어지는 반사층을 형성하고, 다른 재생전용의 평면정보영역에는 반투명층을 어떠한 평면정보영역에서의 광헤드에 의해 측정한 반사율이 평면정보영역의 수가 3면인 경우는 18%, 평면정보영역의 수가 4면인 경우는 13%로 되도록 형성하는 것에 의해 본 실시예중의 다층구조 광정보매체α에서의 각 재생전용의 평면정보영역의 재생특성과 동일한 결과가 얻어졌다.
또, 광정보매체α1 및 α2의 각 기판과 가장 반대 측의 평면정보영역을 리라이트 가능한 기록층, 예를 들면 상변화형 기록층, 광자기형 기록층 또는 열변형형 기록층과 그 위에 마련된 적어도 2층의 알루미늄으로 이루어지는 반사층으로 해도 각 재생전용의 평면정보영역의 재생특성은 다층구조 광정보매체α에서의 각 재생전용의 평면정보영역의 재생특성과 거의 동일한 결과가, 또 기록층의 기록, 재생특성도 양호한 결과가 각각 얻어졌다.
＜실시예 12＞
제13도에 본 발명의 제12 실시예의 다층구조 광정보매체의 단면의 확대도를 도시한다. 우선, 직경120mm, 두께0.58mm의 디스크형상 폴리카보네이트판의 표면에 사출성형법에 의해서 정보를 오목볼록(광학적위상피트)로서 형성한 기판(61)를 제작하였다. 이 기판(61)상에 고주파 마그네트론 스퍼터링법에 의해 아르곤가스를 사용해서 (ZnS)80(SiO2)20(몰%)층을 60nm, SiO2층을 85nm, (ZnS)80(SiO2)20층을 60nm의 두께로 계속해서 막을 제조한 3층의 유전체층으로 이루어지는 반투명층(62)를 형성하고 제1 재생전용의 평면정보영역을 구성하고, 광정보매체1을 제작하였다.
다음에, 동일한 폴리카보네이트판의 표면에 사출성형법에 의해서 상기와 다른 정보를 오목볼록으로 해서 형성한 기판(65)를 제작하였다. 이 기판(65)상에 고주파마그네트론 스퍼터링법에 의해 아르곤가스를 사용해서 Ag층을 50nm의 막을 제조하여 반사층(64)로 한 광정보매체2를 제작하였다.
이렇게 해서 제작한 광정보매체1 및2를 기판(61) 및 (65)가 바깥쪽으로 되도록 해서 자외선경화수지층으로 이루어지는 투명접착제층(63)으로 접착하고, 다층구조 광정보매체를 제작하였다. 여기서는 광정보매체1의 반투명층(62)상에 자외선경화수지를 적하한 후에 광정보매체2를 기포가 들어가지 않도록 40㎛의 두께로 해서 접착하고, 광정보매체1의 측에서 자외선을 조사해서 경화시켰다. 이투명접착제층(63)의 기판(65)측의 오목볼록과 상기 반사층(64)에 의해 제2 재생전용의 평면정보영역이 구성된다.
또, 비교를 위해 광정보매체1의 반투명층(62)가 고주파마그네트론 스퍼터링법에 의해 아르곤중에 질소를 5% 혼입한 가스를 사용해서 막을 제조하였다. 규소와 규소질화물의 혼합몰층의 1층의 유전체층인 광정보매체 δ1을 작성하였다. 마찬가지로 광정보매체1의 반투명층(62)가 고주파마그네트론 스퍼터링법에 의해 아르곤가스를 사용해서 막을 제조한 두께16nm의 Ag의 1층의 금속층인 광정보매체 ε1을 작성하였다. 광정보매체 δ1과 광정보매체2에서 다층구조 광정보매체 δ을, 광정보매체 ε1과 광정보매체2에서 다층구조 광정보매체 ε를 제작하였다.
상기와 같이 제작한 다층구조 광정보매체, δ 및 ε를 광디스크 드라이브A(레이저 파장650nm, 대물렌즈개구수(NA) 0.6), 광디스크 드라이브B(레이저 파장532nm, 대물렌즈개구수(NA) 0.6) 및 광디스크 드라이브C(레이저 파장415nm, 대물렌즈개구수(NA) 0.6)에 의해 재생평가하였다. 여기서, 상기 드라이브A는 레이저 파장이 긴 통상 기록밀도매체용 재생장치이고, 드라이브B 및 드라이브C는 레이저 파장이 보다 짧은 고밀도매체용 재생장치이다.
상기 각 다층구조 광정보매체를 선속도 또는 각속도를 일정하게 회전시키고, 임의의 반경 위치에 반도체 레이저로부터의 연속광을 광헤드 중의 대물렌즈로 기판(61)을 통해서 제1 또는 제2 재생전용의 평면정보영역에 집광하고, 트랙킹을 실행하면서 각 정보를 갖는 면상에 촛점이 오도록 자동촛점맞춤을 해서 반사광의강약을 검출하는 것에 의해서 재생하였다.
상기의 다층구조 광정보매체, δ 및 ε에 대해서 광디스크 드라이브A, B 및 C를 사용해서 일정 선속도 3.8m/s로 회전시키고, 재생광레벨을 매체면상0.5mW로 하고, 피트깊이80nm, 마크길이0.44㎛, 마크피치0.88㎛, 트랙피치0.74㎛의 위상피트열로 이루어지는 데이타를 재생하였다. 상기 각 다층구조 광정보매체의 제1 및 제2 재생전용의 평면정보영역의 정보를 재생하고, 측정분해능 밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N)을 측정하였다. 제1 및 제2 재생전용의 평면정보영역의 정보를 재생한 결과를 각각 표11 및 표12에 도시한다.
또, 기판(61)측에서 본 반투명층 및 반사층의 반사율을 상기 광헤드에 의해 측정한 결과를 각각 표11 및 표12의 괄호안에 나타낸다.
여기서, 다층구조 광정보매체에서는 제1, 제2 재생전용의 평면정보영역 중 어느 쪽에서도 광디스크 드라이브A, B, C 중 어느 재생장치를 사용해도 30%이상의 반사율과 25dB이상의 S/N이 얻어졌다.
그러나, 다층구조 광정보매체 δ에서는 광디스크 드라이브C를 사용했을 때, 신호대잡음비(S/N)이 24dB미만으로 되고, 또 다층구조 광정보매체 ε에서는 광디스크 드라이브B를 사용하여 제1 재생전용의 평면정보영역을 재생했을 때 및 광디스크 드라이브C를 사용하여 제1 및 제2 재생전용의 평면정보영역을 재생했을 때에 신호대잡음비(S/N)이 24dB 미만으로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 하회하였다.
상기 다층구조 광정보매체의 투명 접착제층(63)의 두께를 30㎛로 하고, 기판(61)의 판두께를 변화시킨 경우, 광디스크 드라이브A를 사용하고, 제1 및 제2 재생전용의 평면정보영역에서의 신호대잡음비(S/N)를 측정한 결과를 표13에 도시한다.
기판(61)의 판두께가 0.52mm미만 또는 0.65mm 초과인 경우에는 구면수차에 의한 잡음증가 때문에 제1 또는 제2 재생전용의 평면정보영역 중 어느 쪽인가의 신호대잡음비(S/N)이 24dB미만으로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 하회하였다.
또, 다층구조 광정보매체의 기판(61)의 판두께를 0.52mm로 하고, 투명접착제층(63)의 두께를 변화시켜서 기판(61)의 표면(다층구조 광정보매체의 바깥쪽면)에서 제2 평면정보영역까지의 두께를 변화시킨 경우, 광디스크 드라이브A를 사용하여 제2 재생전용의 평면정보영역에서의 신호대잡음비(S/N)를 측정한 결과를 표14도에 도시 한다.
여기서, 기판(61)의 표면에서 제2 재생전용의 평면정보영역까지의 두께가 0.68mm초과인 경우는 구면수차에 의한 잡음증가 때문에 신호대잡음비(S/N)이 24dB미만으로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 하회하였다.
상기의 다층구조 광정보매체에 있어서 투명접착제층(63)의 두께를 변화시킨 경우, 제2 재생전용의 평면정보영역에서의 제1 재생전용의 평면정보영역으로부터의 재생신호의 면간크로스토오크는 표15와 같이 변화하였다.
여기서, 투명접착제층(63)의 두께가 30㎛미만인 경우는 면간크로스토오크가 -30dB를 초과하여 크게 되는 것에 의한 잡음증가 때문에 에러 없이 정보를 재생할 수 없었다.
또, 투명접착제층(63)의 두께가 80㎛ 초과인 경우는 층간점프시의 포커스의 인입이 불충분하고 서보가 불안정하게 되어 안정한 층간점프를 할 수 없었다. 투명접착제층(63)의 두께가 70㎛ 이하인 경우는 층간 점프시의 포커스의 인입을 충분히 안정하게 실행할 수 있어 안정한 층간점프가 가능하였다.
또, 제1 재생전용의 평면정보영역과 제2 재생전용의 평면정보영역에서의 반사율의 차가 10%이하일 때에는 재생전용의 평면정보영역과 제2 재생전용의 평면정보영역 사이에서 층간점프한 후 조정없이도 안정하게 서보가 제어되었지만, 10% 초과일 때에는 층간점프후에 서보의 이득조정이 필요하였다.
상기의 다층구조 광정보매체의 반투명층(62)로서 본 실시예에서 사용한(ZnS)80(SiO2)20층, SiO2층 이외에 적어도 3층의 유전체층을 적층하고, 서로 접하는 2층의 광학정수가 다르도록 하면 좋다. 이와 같이 해서 파장400nm∼650nm 사이에서 제1 또는 제2 재생전용의 평면정보영역에 집광해서 측정한 기판측으로부터의 반사율을 20%이상 50%이하로 되도록 할 수 있다.
상기 유전체층이 Ce, La, Si, In, Al, Ge, Pb, Sn, Ta, Sc, Y, Ti, Zr, V, Nb, Cr 및 W로 이루어지는 군에서 선택된 원소의 산화물, Zn, Ga, In, Sb, Ge, Sn, Pb로 이루어지는 군에서 선택된 원소의 황화물, Mg, Ce, Ca로 이루어지는 군에서 선택된 원소의 플루오르화물, Si, Al, Ta, B로 이루어지는 군에서 선택된 원소의 질화물 또는 Si 또는 이들의 혼합물이어도 제1 또는 제2 재생전용의 평면정보영역에서의 신호대잡음비(S/N)가 24dB 이상으로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있었다.
상기 다층구조 광정보메체의 반사층(64)로서 본 실시예에서 사용한 Ag 이외에 알루미늄, 알루미늄합금, 은합금 등의 금속층을 사용해도 본 실시예와 동일한 결과가 얻어졌다. 단, 알루미늄, 알루미늄 합금을 사용할 때에는 상술한 바와 같이 반사층중에 산소 또는 질소 중의 적어도 하나의 농도가 높은 영역을 마련하는 등의 구조를 취하는 것이 필요하다. 또, 금, 금합금, 동, 동합금 등의 금속층을 사용하면 광디스크 드라이브A(레이저파장650nm) 및 광디스크 드라이브B(레이저 파장532nm)에서는 본 실시예와 동일한 결과가 얻어졌지만, 광디스크 드라이브C(레이저파장415nm)에서는 반사층(64)의 반사율이 저하하므로, 제1 또는 제2 재생전용의 평면정보영역에서의 신호대잡음비(S/N)이 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 하회하였다.
상기의 다층구조 광정보매체의 투명 접착제층(63)으로서 본 실시예에서 사용한 자외선경화수지 이외에 실리콘계 반응성 접착제, 에폭시계 반응성접착제를 사용해도 본 실시예와 동일한 결과가 얻어졌다.
본 실시예에 사용한 기판으로서 사출성형법에 의해 제작한 폴리카보네이트 기판 이외에 사출성형법에 의해 제작한 폴리올레핀 기판 또는 PMMA 기판을 사용해도 또 유리 또는 수지기판 등의 표면에 광중합법(2P법)에 의해 정보를 오목볼록으로서 마련한 자외선경화수지층을 형성한 기판을 사용해도 본 실시예와 동일한 결과가 얻어졌다.
＜실시예 13＞
제14도에 본 발명의 제13 실시예의 광정보매체의 단면의 확대도를 도시한다. 우선, 직경120mm, 두께0.58mm의 디스크형상 폴리카보네이트 판의 표면에 사출성형법에 의해서 정보를 오목볼록(광학적위사피트)으로서 형성한 기판(66)을 제작하였다. 상기 기판(66)상에 고주파마그네트론 스퍼터링법에 의해 아르곤가스를 사용해서 ZnS층을 57nm, SiO2층을 85nm, ZnS층을 57nm의 두께로 계속해서 막을 제조한 3층의 유전체층으로 이루어지는 반투명층(67)을 형성하고, 제1 재생전용의 평면정보영역을 구성하였다.
다음에, 자외선경화수지를 사용해서 오목볼록을 스탬퍼에서 전사하는 광중합법(2P법)에 의해서 정보를 오목볼록으로 해서 형성한 자외선경화수지층(68)을 40㎛의 두께로 형성하였다. 여기서는 스탬퍼로서 플라스틱으로 제작한 투명한 틀을 사용하고, 틀측에서 자외선을 입사하였다. 그 위에 아르곤가스를 사용한 스퍼터링법에 의해서 은으로 이루어지는 반사층(69)를 50nm형성하고, 제2 재생전용의 평면정보영역을 마련하였다. 또, 자외선경화수지를 10㎛의 두께로 스핀코팅한 후, 자외선을 조사해서 경화시켜 보호층(70)을 형성하고, 광정보매체 ζ1을 제작하였다.
마찬가지로 해서 기판(66')상에 반투명층(67'), 자외선 경화수지층(68'), 반사층(69'), 자외선 경화수지로 이루어지는 보호층(70')를 형성하고, 제3 및 제4 재생전용의 평면정보영역을 갖는 다른 하나의 광정보매체 ζ2를 제작하였다.
이와 같이 제작한 팡정보매체 ζ1 및 ζ2를 기판(66) 및 (66')이 바깥쪽으로 되도록 해서 접착제층(71)로 접착하고, 다층구조 광정보매체 ζ을 제작하였다. 여기서는 광정보매체 ζ1의 보호층(70)상에 실리콘계 반응성 접착제를 50㎛의 두께로 스핀코팅한 후, 광정보매체 ζ2를 진공중에서 기포가 들어가지 않도록 해서 접착하고 다층구조 광정보매체 ζ를 제작하였다.
상기의 다층구조 광정보매체 ζ에 대해서 상기의 광디스크 드라이브 A, B 및 C를 사용해서 일정선속도3.8m/s로 회전시키고, 재생광레벨을 매체면상0.5mW로 하고, 피트깊이80nm, 마크길이0.44㎛, 마크피치0.88㎛, 트랙피치0.74㎛의 위상피트열로 이루어지는 데이타를 재생하였다. 상기 각 다층구조 광정보매체의 제1, 제2, 제3 및 제4 재생전용의 평면정보영역의 정보를 재생하고, 측정분해능 밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N)를 측정하였다. 어떠한 재생전용의 평면정보영역도 황디스크 드라이브 A, B, C의 어떤 재생장치를 사용해도 30%이상의 반사율과 25dB이상의 S/N이 얻어져 에러 없이 정보를 재생할 수 있었다.
상기의 다층구조 광정보매체 ζ의 기판(66), (66')의 두께를 0.56mm으로 하고, 제2 재생전용의 평면정보영역을 마련한 자외선경화수지층(68), (68')상에는 반사층이 아닌 3층의 유전체층으로 이루어지는 반투명층을 형성하고, 또 그 위에 2P법에 의해 40㎛ 두께의 자외선경화수지층을 형성하고, 그 위에 반사층을 형성해서 제5 및 제6 재생전용의 평면정보영역을 구성한 다층구조 광정보매체을 제작하였다. 여기서는 반투명층으로서 Si3O4층을 65nm, SiO2층을 85nm, Si3O4층을 65nm의 두께로 계속해서 막을 제조한 3층의 유전체층을 사용하였다. 다층구조 광정보매체은 한면에 재생전용의 평면정보영역을 3면, 양면 합쳐서 6면의 재생전용의 평면정보영역을 갖고 있다.
상기의 다층구조 광정보매체에 대해서 광디스크 드라이브 A, B 및 C를 사용해서 일정선속도3.8m/s로 회전시키고, 재생광레벨을 매체면상0.5mW로 하고, 피트깊이80nm, 마크길이0.42㎛, 마크피치0.88㎛, 트랙피치0.74㎛의 위상피트열로 이루어지는 데이타를 재생하였다. 상기 각 다층구조 광정보매체 중의 제1, 제2, 제3, 제4, 제5 및 제6 재생전용의 평면정보영역을 재생하고, 측정분해능 밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N)를 측정하였다. 어떠한 재생전용의 평면정보영역도 광디스크 드라이브 A, B, C 중 어떤 재생장치를 사용해도 30%이상의 반사율과 25dB이상의 S/N이 얻어져 에러 없이 정보를 재생할 수 있었다.
＜실시예 14＞
직경120mm, 두께0.58mm의 디스크형상 폴리카르네이트판의 표면에 사출성형법에 의해서 정보를 오목볼록(광학적위상피트)으로서 형성한 기판을 제작하였다. 상기 기판상에 고주파마그네트론 스퍼터링법에 의해 아르곤가스를 사용해서 (ZnS)80(SiO2)20(몰%)층을 60nm, SiO2층을 85nm, (ZnS)80(SiO2)20층을 60nm의 두께로 계속해서 막을 제조한 3층의 유전체층으로 이루어지는 반투명층을 형성하고, 제1 재생전용의 평면정보영역을 구성하여 광정보매체 θ1을 제작하였다.
다음에, 직경120mm, 두께0.6mm의 디스크형상 폴리카보네이트판의 표면에 사출성형법에 의해서 트랙킹용의 나선형상 U형홈을 랜드폭, 그루브폭 모두 0.74㎛, 홈깊이72nm으로 되도록 형성한 레플리카기판을 작성하였다. 이 기판상에 고주파마그네트론 스퍼터링 장치를 사용해서 우선 Ag막을 80nm 제조하고 반사층으로 하였다. 또, 동일 스퍼터링장치 내에서 (ZnS)80(SiO2)20의 조성의 제1 유전체층을 130nm의 막두께로 형성하고, 계속해서 원자%로 Ge21Sb26Te53의 조성의 기록막을 25nm의 막 두께로 형성하고, 계속해서 (ZnS)80(SiO2)20의 조성의 제2 유전체층을 25nm의 막두께로 형성하여 상변화형 기록층으로 하고, 제2 평면정보영역을 구성하고, 광정보매체 θ2를 제작하였다.
이와 같이 해서 제작한 광정보매체 θ1 및 θ2를 각각의 기판이 바깥쪽으로 되도록 해서 자외선경화수지로 이루어지는 투명접착체층으로 접착하고, 다층구조 광정보매체 θ를 제작하였다. 여기서는 광정보매체 θ1의 반투명층상에 자외선경화수지를 적하한 후에 광정보매체 θ2를 기포가 들어가지 않도록 하면서 40㎛의 두께로 해서 접착하고, 광정보매체 θ1 측에서 자외선을 조사해서 경화시켰다.
상기와 같이 제작한 광정보매체 θ를 실시예12에서 사용한 것과 동일한 광디스크 드라이브A에 의해 기록/재생평가하고, 광디스크 드라이브B 및 광디스크 드라이브C에 의해 재생평가하였다. 여기서, 상기 드라이브A는 레이저파장이 긴 통상기록밀도매체용 평가장치이고, 드라이브B 및 드라이브 C는 레이저파장이 보다 짧은 고밀도매체용 평가장치이다. 상기 다층구조 광정보매체를 선속도 또는 각속도를 일정하게 회전시키고, 임의의 반경위치에 반도체레이저로부터의 연속광을 광헤드 중의 대물렌즈로 광정보매체 θ1의 기판을 통해서 각 평면정보영역에 집광하고, 트랙킹을 실행하면서 자동촛점맞춤을 하고 반사광의 강약을 검출하는 것에 의해 재생하였다.
우선, 상기 다층구조 광정보매체 θ의 제1 재생전용의 평면정보영역에 레이저광을 집광하고, 광디스크 드라이브A, B 및 C를 사용해서 평가하였다. 일정선속도3.8m/s로 회전시키고, 재생광레벨을 매체면상1.0mW로 하고 피트깊이80nm, 마크길이0.44㎛, 마크피치0.88㎛, 트랙피치0.74㎛의 위상피트열로 이루어지는 데이타를 재생하고, 측정분해능밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N)를 측정한 결과를 표16에 도시한다.
어떠한 광디스크 드라이브를 사용해도 신호대잡음비(S/N)이 24dB이상으로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 상회하였다.
다음에, 상기 제2 평면정보영역에 레이저광을 집광하고, 광디스크 드라이브A를 사용해서 트랙킹을 실행하면서 자동촛점맞춤을 해서 정보를 기록/소거/재생하였다. 일정선속도3.8m/s로 회전시키고, 임의의 반경 위치에 반도체 레이저로부터의 연속광을 기록이 실행되지 않는 저파워레벨로 유지해서 U형상 안내홈의 홈사이(랜드부) 또는 홈상(그루브부)에 광스폿의 중심이 항상 일치하도록 헤드를 구동하였다. 랜드부, 그루브부의 양쪽에 기록하는 것에 의해 기록용량을 2배로 할 수 있다.
여기에 1빔에 의한 오버라이트로 기록과 소거를 동시에 실행하였다.
1빔에 의한 오버라이트는 레이저 파워를 결정화를 일으키는 중간파워레벨(소거레벨)과 비정질화를 일으키는 고파워레벨(기록레벨) 사이에서 변화시키는 것에 의해 실행하였다. 비정질화의 고파워레벨과 결정화의 중간파워레벨 사이의 파워비는 1:0.3∼1:0.8의 범위가 바람직하였다.
이것에 의해 이미 기록되어 있는 부분에 대해서 실행해도 기록되어 있던 정보가 새로이 기록한 정보에 리라이트된다.
재생광레벨을 연속광1.0mW로 하고, 레이저 파워를 결정화에 의한 중간파워레벨7.0mW과 비정질화에 의한 고파워레벨16.0mW 사이에서 변화시키는 것에 의해 정보를 오버라이트하고, 반사광의 강약을 검출해서 정보를 재생하고, 재생신호를 평가하였다. 여기서는 마크길이0.5㎛, 마크피치1㎛의 신호와 마크길이1.8㎛, 마크피치3.6㎛를 교대로 오버라이트하였다. 전자의 신호를 오버라이트한 경우, 측정분해능 밴드폭30kHz에서 반송파대잡음비53.0dB, 원신호의 소거비30dB의 재생신호출력이 얻어졌다. 또, 후자의 신호를 오버라이트한 경우, 측정분해능 밴드폭 30kHz에서 반송파대잡음비58.0dB, 원신호의 소거비30dB의 재생신호출력이 얻어졌다. 이 때의 반송파대잡음비1dB 저하까지의 리라이트 가능회수는 10만회 이상이었다.
다음에, 상기 제2 평면정보영역에 기록한 마크길이0.5㎛, 마크피치1㎛의 신호를 광디스크 드라이브A, B 및 C에서 재생평가하였다. 측정분해능 밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N)을 측정한 결과를 표17에 도시한다.
어떠한 광디스크 드라이브를 사용해도 신호대잡음비(S/N)이 24dB이상으로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 상회하였다.
상기 상변화형 기록층의 기록막조성으로서는 상기의 조성비 이외의 Ge-Sb-Te계, 다른 조성의 Ge-Sb-Te-M(M은 금속원소)계, Ge-Te-Se계, Ge-Te-Sb-Se계, In-Se계, In-Se-Tl계, In-Se-M(M은 금속원소)계, In-Sb-Te계, In-Sb-Se계, Ga-Sb계, Sn-Sb-Se계 또는 Sn-Sb-Se-Te계 등을 사용해도 동일한 결과가 얻어졌다. 또, 상기의 결정, 비정질간 상변화를 시용한 것 이외에 결정, 결정간 상변화를 이용한 In-Sb계 등을 사용해도 동일한 결과가 얻어졌다.
상기 다층구조 광정보매체 θ중의 상변화형 기록층인 제2 평면정보영역을 기판측에서 차례로 질화규소, Tb-Fe-Co, 질화규소의 박막을 각각 60nm, 20nm, 15nm 형성한 3층구조로 한 광자기형 기록층으로 바꾼 다층구조 광정보매체 ι에 대해서 다층구조 광정보매체 θ와 마찬가지로 광디스크 드라이브A에 의해 기록/재생평가하고, 광디스크 드라이브B 및 광디스크 드라이브C에 의해 재생평가하였다.
우선, 상기 다층구조 광정보매체 ι중의 제1 재생전용의 평면정보영역에 레이저광을 집광하고, 광디스크 드라이브A, B 및 C를 사용해서 평가하였다. 일정선속도3.8m/s로 회전시키고, 재생광레벨을 매체면상1.0mW로 하고, 피트깊이80nm, 마크길이0.44㎛, 마크피치0.88㎛, 트랙피치0.74㎛의 위상피트열로 이루어지는 데이타를 재생하고, 측정분해능밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N)를 측정하였다.
상기 다층구조 광정보매체 θ중의 제1 재생전용의 평면정보영역에서의 결과와 아주 동일한 결과를 나타내고, 어떠한 광디스크 드라이브를 사용해도 신호대잡음비(S/N)가 24dB 이상으로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 상회하였다.
다음에, 상기 다층구조 광정보매체 ι의 제2 평면정보영역에 레이저 광을 집광하고, 광디스크 드라이브A에 의해 광자기층의 초기화자화의 방향과 반대방향으로 자장을 걸면서 레이저광을 조사해서 기록하였다. 소거는 기록과 반대방향으로 자장을 걸면서 연속광을 조사해서 실행하였다. 재생은 카회전각의 방향을 차동검출법에 의해 반사광의 강약으로 변환해서 검출해서 실행하였다. 여기서는 재생광레벨을 연속광1.0mW, 기록레이저 파워를 12mW로 하고, 마크길이0.5㎛, 마크피치1㎛의 신호와 마크길이1.8㎛, 마크피치3.6㎛를 각각 소거한 후 기록하였다.
이 때, 전자의 신호를 기록한 경우, 측정분해능 밴드폭 30kHz에서 반송파대잡음비53.0dB의 재생신호출력이 얻어졌다. 또, 후자의 신호를 기록한 경우, 측정분해능 밴드폭30kHz에서 반송파대잡음비58.0dB의 재생신호출력이 얻어졌다. 이 때의 반송파대잡음비1dB 저하까지의 리라이트 가능회수는 100만회 이상이었다.
다음에, 상기 광디스크 드라이브A에서 상기 다층구조 광정보매체 ι의 제2 평면정보영역에 기록한 마크길이0.5㎛, 마크피치1㎛의 신호를 광디스크 드라이브A, B 및 C에서 재생평가하였다. 측정분해능 밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N)를 측정한 결과를 표18에 도시한다.
어떠한 광디스크 드라이브를 사용해도 신호대잡음비(S/N)이 24dB 이상으로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 상회하였다.
상기 다층구조 광정보매체 θ의 상변화형 기록층을 시아닌색소로 이루어지는 박막을 회전도포법에 의해 70nm형성한 열변형형 기록층으로 변환한 다층구조 광정보매체 κ에 대해서 다층구조 광정보메체 θ와 마찬가지로 광디스크 드라이브A에 의해 기록/재생평가하고, 광디스크 드라이브B 및 광디스크 드라이브C에 의해 재생평가하였다.
우선, 상기 다층구조 광정보매체 κ의 제1 재생전용의 평면정보영역에 레이저광을 집광하고, 광디스크 드라이브A, B 및 C를 사용해서 평가하였다. 일정선속도3.8m/s로 회전시키고, 재생광레벨을 매체면상1.0mW로 하고, 피트깊이80nm, 마크길이0.44㎛, 마크피치0.88㎛, 트랙피치0.74㎛의 위상피트열로 이루어지는 데이타를 재생하고, 측정분해능밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N)를 측정하였다. 상기 다층구조 광정보매체 θ의 제1 평면정보영역에서의 결과와 아주 동일한 결과를 나타내고, 어떠한 광디스크 드라이브를 사용해도신호대잡음비(S/N)이 24dB 이상으로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 상회하였다.
다음에, 상기 다층구조 광정보매체 κ의 제2 평면정보영역에 레이저 광을 집광하고, 광디스크 드라이브A에 의해 레이저광을 조사해서 기록하였다. 재생은 재생광의 열변형 부분에서의 회절에 의한 반사광의 강약을 검출해서 실행하였다. 여기서는 재생광레벨을 연속광1.0mW, 기록레이저 파워를 14mW로 하고, 마크길이0.5㎛, 마크피치1㎛의 신호를 기록하였다. 이 때, 측정분해능 밴드폭30kHz에서 반송파대잡음비53.0dB의 재생신호출력이 얻어졌다.
다음에, 상기 광디스크 드라이브A에서 상기 다층구조 광정보매체 κ의 제2 평면정보영역에 기록한 마크길이0.5㎛, 마크피치1㎛의 신호를 광디스크 드라이브A, B 및 C에서 재생평가하였다. 측정분해능 밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N)를 측정한 결과를 표19에 도시한다.
어떠한 광디스크 드라이브를 사용해도 신호대잡음비(S/N)이 24dB 이상으로 되어 에러 없이 정보를 재생할 수 있는 최저레벨의 24dB를 상회하였다.
상기 다층구조 광정보매체 κ의 열변형형 기록층으로서 시아닌색소 대신에 다른 색소인 프탈로시아닌색소, 폴리메틴색소, 나프토키논계 색소, 로다민염료, 아즈레늄색소, 큰 고리형상 아자아누렌계 색소 중 적어도 하나를 주성분으로 해서 사용해도 동일한 결과가 얻어졌다.
＜실시예 15＞
실시예 13의 광정보매체 θ1, θ2의 자외선경화수지층(68), (68')(제14도) 대신에 각각 트랙킹용의 트랙피치 1.48㎛, U형상(랜드폭, 그루브폭 모두 0.74㎛)의 안내홈과 어드레스정보 등의 프리피트를 형성한 자외선경화수지층을 반사층(69), (69') 대신에 기록가능한 기록층 및 반사층을 형성한 광정보매체를 제작하였다. 우선, 기록층으로서 기판측에서 차례로 (ZnS)80(SiO2)20, Ge21Sb25Te54, (ZnS)80(SiO2)20의 박막을 각각 130nm, 25nm, 25nm 형성해서 상변화형 기록층으로 하고, 다음에 반사층으로서 Ag의 박막을 70nm형성하고, 광정보매체 λ1, λ2를 제작하였다. 이 광정보매체 λ1, λ2를 실시예 13과 동일하게 접착해서 다층구조 광정보매체 λ를 제작하였다.
상기와 마찬가지로 기록층으로서 기판측에서 차례로 질화규소, Tb-Fe-Co, 질화규소의 박막을 각각 60nm, 20nm, 15nm형성해서 광자기형 기록층으로 하고, 또 반사층으로서 Ag의 박막을 50nm형성하고, 광정보매체 μ1, μ2를 제작하였다. 이 광정보매체 μ1, μ2를 마찬가지로 접착해서 다층구조 광정보매체 μ를 제작하였다.
또, 상기와 마찬가지로 기록층으로서 기판측에 프타로시아닌색소의 박막을60nm형성해서 열변형형 기록층으로 하고, 또 반사층으로서 Ag의 박막을 70nm형성하고, 광정보매체1,2를 제작하였다. 이 광정보매체1,2를 마찬가지로 접착해서 다층구조 광정보매체를 제작하였다.
상기와 같이 제작한 다층구조 광정보매체 λ, μ 및를 상기의 광디스크 드라이브A에 의해 기록하고, 광디스크 드라이브A, B 및 C에 의해 재생평가하였다. 여기서, 상기 광디스크 드라이브A는 레이저파장이 긴 통상기록밀도매체용 평가장치이고, 광디스크 드라이브B 및 C는 레이저 파장이 보다 짧은 고밀도매체용 평가장치이다.
상기 다층구조 광정보매체 λ, μ 및를 선속도3.8m/s 일정하게 회전시키고, 임의의 반경위치에 반도체 레이저로부터의 연속광을 광헤드중의 대물렌즈로 각각의 기판을 통해서 제1 및 제2 재생전용의 평면정보영역에 집광하고, 트랙킹을 실행하면서 자동촛점맞춤을 하고, 반사광의 강약을 검출하는 것에 의해서 재생하였다. 재생광레벨을 디스크면상1.0mW로 하고, 피트깊이80nm, 마크길이0.44㎛, 마크피치0.88㎛, 트랙피치0.74㎛의 위상피트열로 이루어지는 데이타를 재생하고, 측정분해능 밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N)을 측정하였다. 어떠한 다층구조 광정보매체의 재생전용의 평면정보영역도 광디스크 드라이브A, B, C의 어떤 재생장치를 사용해도 15% 이상의 반사율과 24.7dB이상의 S/N이 얻어져 에러 없이 정보를 재생할 수 있었다.
다음에, 상기 다층구조 광정보매체 λ, μ 및의 기록층에 레이저 광을 집광하고, 광디스크 드라이브A를 사용해서 트랙킹을 실행하면서 자동촛점맞춤을 해서 정보를 기록하였다. 일정선속도3.8m/s로 회전시키고, 임의의 반경위치에 반도체레이저로부터의 연속광을 기록이 실행되지 않는 저파워레벨로 유지해서 U형상 안내홈의 홈사이(랜드부) 또는 홈상(그루브부)에 광스폿의 중심이 항상 일치 하도록 헤드를 구동하였다. 랜드부, 그루브부의 양쪽에 기록하는 것에 의해 기록용량을 2배로 할 수 있다.
다층구조 광정보매체 λ에서는 광디스크 드라이브A에 의해 재생광레벨을 연속광1.0mW로 하고, 레이저 파워를 결정화에 의한 중간파워 레벨7.0mW와 비정질화에 의한 고파워레벨16.0mW 사이에서 변화시키는 것에 의해 정보를 오버라이트하고, 반사광의 강약을 검출해서 정보를 재생하고, 재생신호를 평가하였다. 여기서는 마크길이0.5㎛, 마크피치1㎛의 신호와 마크길이1.8㎛, 마크피치3.6㎛를 교대로 오버라이트 하였다. 전자의 신호를 오버라이트한 경우, 측정분해능 밴드폭 30kHz에서 반송파대잡음비53.0dB, 원신호의 소거비30dB의 재생신호출력이 얻어졌다. 또, 후자의 신호를 오버라이트한 경우, 측정분해능 밴드폭30kHz에서 반송파대잡음비58.0dB, 원신호의 소거비30dB의 재생신호출력이 얻어졌다. 이 때의 반송파대잡음비1dB의 저하까지의 리라이트 가능회수는 10만회 이상이었다.
다음에, 상기와 같이 광디스크 드라이브A에서 기록한 마크길이0.5㎛, 마크피치1㎛의 신호를 광디스크 드라이브A, B 및 C에서 재생평가하였다. 측정분해능 밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N)을 측정하였다. 어떠한 기록층도 광디스크 드라이브A, B, C의 어떤 재생장치를 사용해도 15% 이상의 반사율과 24.7dB이상의 S/N이 얻어져 에러 없이 정보를 재생할 수 있었다.
다층구조 광정보매체 μ에서는 광디스크 드라이브A에 의해 광자기층의 초기화 자화의 방향과 반대방향으로 자장을 걸면서 레이저광을 조사해서 기록하였다. 소거는 기록과 반대방향으로 자장을 걸면서 연속광을 조사해서 실행하였다. 재생은 카회전각의 방향을 차동검출법에 의해 반사광의 강약으로 변환해서 검출해서 실행하였다.
여기서는 재생광레벨을 연속광1.0mW, 기록레이저 파워를 12mW로 하고, 마크길이0.5㎛, 마크피치1㎛의 신호와 마크길이1.8㎛, 마크피치3.6㎛를 각각 소거한 후 기록하였다. 이 때, 전자의 신호를 기록한 경우, 측정분해능 밴드폭30kHz에서 반송파대잡음비53.0dB의 재생신호출력이 얻어졌다. 또, 후자의 신호를 기록한 경우, 측정분해능 밴드폭30kHz에서 반송파대잡음비58.0dB의 재생신호출력이 얻어졌다. 이 때의 반송파대잡음비1dB 저하까지의 리라이트 가능회수는 100만회 이상이었다.
다음에, 상기와 같이 광디스크 드라이브A에서 기록한 마크길이0.5㎛, 마크피치1㎛의 신호를 광디스크 드라이브A, B 및 C에서 재생평가하였다. 측정분해능 밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N)를 측정하였다. 어떠한 기록층도 광디스크 드라이브A, B, C의 어떤 재생장치를 사용해도 15% 이상의 반사율과 24.1dB이상의 S/N이 얻어져 에러 없이 정보를 재생할 수 있었다.
다층구조 광정보매체에서는 광디스크 드라이브A에 의해 레이저 광을 조사해서 기록하였다. 재생은 재생광의 열변형 부분에서의 회절에 의한 반사광의 강약을 검출해서 실행하였다. 여기서는 재생광레벨을 연속광1.0mW, 기록레이저 파워를 14mW로 하고, 마크길이0.5㎛, 마크피치1㎛의 신호를 기록한 경우, 측정분해능밴드폭30kHz에서 반송파대잡음비53.0dB 재생신호출력이 얻어졌다.
다음에, 상기와 같이 광디스크 드라이브A, B 및 C에서 재생평가하였다. 측정분해능 밴드폭30kHz, 주파수대역9MHz에서 신호대잡음비(S/N)를 측정하였다. 어느쪽의 기록층도 광디스크 드라이브A, B, C의 어떤 재생장치를 사용해도 15% 이상의 반사율과 24.1dB이상의 S/N이 얻어져 에러 없이 정보를 재생할 수 있었다.
제1도는 본 발명의 제1 실시예의 다층구조 광정보매체의 단면도.
제2도는 본 발명의 제2 실시예의 다층구조 광정보매체의 단면도.
제3도는 본 발명의 제3 실시예의 다층구조 광정보매체의 단면도.
제4도는 본 발명의 제4 실시예의 다층구조 광정보매체의 단면도.
제5도는 본 발명의 제5 실시예의 광정보매체의 단면도.
제6도는 오제분광법에 의해 조사한 제5 실시예의 광정보매체의 반사층중의 질소농도의 막두께방향의 분포도.
제7도a는 본 발명의 제5 실시예의 광정보매체의 반사층의 단면의 SEM관찰결과의 모식도.
제7도b는 종래의 광정보매체의 반사층의 단면의 SEM관찰결과의 모식도.
제8도는 본 발명의 제6 실시예의 다층구조 광정보매체의 단면도.
제9도는 본 발명의 제7 실시예의 다층구조 광정보매체의 단면도.
제10도는 본 발명의 제8 실시예의 다층구조 광정보매체의 단면도.
제11도는 본 발명의 제9 실시예의 다층구조 광정보매체의 단면도.
제12도a는 본 발명의 제10 실시예의 광정보매체의 반사층의 단면의 SEM관찰결과의 모식도.
제12도b는 비교예의 광정보매체의 반사층의 단면의 SEM관찰결과의 모식도.
제13도는 본 발명의 제12 실시예의 다층구조 광정보매체의 단면도.
제14도는 본 발명의 제13 실시예의 다층구조 광정보매체의 단면도.

Claims (20)

  1. 2개의 기록층을 갖고,
    상기 2개의 기록층은 제1 정보를 갖는 반투명층과 제2 정보를 갖는 반사층으로 구성되고, 상기 반투명층은 기판과 상기 반사층 사이에 있고,
    상기 2개의 기록층은 투명층을 거쳐서 형성되고,
    상기 투명층의 두께가 30∼80㎛이며,
    상기 2개의 기록층은 각각 상기 기판측에서 입사한 반사광의 반사율이 10% 이상 50%이하이고, 상기 2개의 기록층의 반사율의 차가 10%이내인 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 2개의 기록층은 리드전용층과 리라이트가능층인 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  3. 2개의 기판을 갖고,
    상기 2개의 기판의 각각에 2개의 기록층을 갖고,
    상기 2개의 기록층은 제1 정보를 갖는 반투명층과 제2 정보를 갖는 반사층으로 구성되고, 상기 반투명층은 상기 기판과 상기 반사층 사이에 있고,
    상기 2개의 기록층은 투명층을 거쳐서 형성되고,
    상기 투명층의 두께가 30∼80㎛이고,
    상기 2개의 기록층은 각각 상기 기판측에서 입사한 반사광의 반사율이 20%이상 50%이하이고, 상기 2개의 기록층의 반사율의 차가 10%이내이고,
    상기 2개의 기판이 바깥쪽으로 되도록 대향해서 배치된 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  4. 제3항에 있어서,
    각각의 기판에 마련된 상기 2개의 기록층이 각각 기판측에서 리드전용층, 리라이트 가능층의 순으로 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  5. 제3항에 있어서,
    각각의 기판의 두께가 대략 0.6mm인 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  6. 제1항에 있어서,
    모든 기록층이 재생전용층인 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 투명층은 자외선경화수지층인 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  8. 기판상에 2개의 정보면을 갖고,
    상기 2개의 정보면은 제1 정보를 갖는 반투명층과 제2 정보를 갖는 반사층으로 구성되고, 상기 반투명층은 상기 기판과 상기 반사층 사이에 있고,
    상기 정보면 사이에 투명층이 마련되고, 상기 투명층의 두께가 30㎛이상 60㎛이하이고,
    상기 2개의 정보면은 각각 상기 기판측에서 입사한 반사광의 반사율이 10%이상 50%이하이고, 상기 2개의 정보면의 반사율의 차가 10%이내이고,
    상기 기판의 두께가 0.52mm이상 0.65mm이하인 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  9. 기판상에 3개의 정보면을 갖고, 상기 각 정보면 사이에 투명층이 마련되고, 상기 각 투명층의 두께가 각각 30㎛이상 60㎛이하이고,
    상기 3개의 정보면은 제1 정보면 및 제2 정보면을 갖는 반투명층과 제3 정보면을 갖는 반사층으로 구성되고, 상기 반투명층은 상기 기판과 상기 반사층 사이에 있고,
    상기 3개의 정보면은 각각 상기 기판측에서 입사한 반사광의 반사율이 20% 이상 50%이하이고, 상기 반사율의 차가 10%이내이고,
    상기 기판의 두께가 0.52mm이상 0.65mm이하인 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  10. 기판상에 4개의 정보면을 갖고, 상기 각 정보면 사이에 투명층이 마련되고, 상기 각 투명층의 두께가 각각 30㎛이상 60㎛이하이고,
    상기 4개의 정보면은 제1 정보면, 제2 정보면 및 제3 정보면을 갖는 반투명 층과 제4 정보면을 갖는 반사층으로 구성되고, 상기 반투명층은 상기 기판과 상기 반사층 사이에 있고,
    상기 4개의 정보면은 각각 상기 기판측에서 입사한 반사광의 반사율이 20%이상 50%이하이고, 상기 반사율의 차가 10%이내이고,
    상기 기판의 두께가 0.52mm이상 0.59mm이하인 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 기판에서 가장 떨어진 정보면만이 기록가능하고, 다른 정보면은 재생전용인 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  12. 2개의 기판을 갖고,
    상기 2개의 기판의 각각에 2개의 정보면을 갖고,
    상기 2개의 정보면은 제1 정보면을 갖는 반투명층과 제2 정보면을 갖는 반사층이고,
    상기 2개의 정보면 사이에 투명층이 마련되고, 상기 투명층의 두께가 30㎛이상 60㎛이하이고,
    상기 2개의 정보면은 각각 상기 기판면측에서 입사한 반사광의 반사율이 20%이상 50%이하이고, 상기 2개의 정보면의 반사율의 차가 10%이내이고,
    상기 2개의 기판은 각각 두께가 0.52mm이상 0.65mm이하이고,
    상기 2개의 기판이 바깥쪽으로 되도록 대향해서 배치된 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  13. 2개의 기판을 갖고,
    상기 2개의 기판의 각각에 3개의 정보면을 갖고,
    상기 3개의 정보면은 제1 정보면 및 제2 정보면을 갖는 반투명층과 제3 정보면을 갖는 반사층으로 구성되고, 상기 반투명층은 상기 기판과 상기 반사층 사이에 있고,
    상기 3개의 정보면 사이의 각각에 투명층이 마련되고, 상기 각 투명층의 두께가 각각 30㎛이상 60㎛이하이고,
    상기 3개의 정보면은 각각 상기 기판면측에서 입사한 반사광의 반사율이 20%이상 50%이하이고, 상기 반사율의 차가 10%이내이고,
    상기 2개의 기판은 각각 두께가 0.52mm이상 0.62mm이하이고,
    상기 2개의 기판이 바깥쪽으로 되도록 대향해서 배치된 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  14. 2개의 기판을 갖고,
    상기 2개의 기판의 각각에 4개의 정보면을 갖고,
    상기 4개의 정보면은 제1 정보면, 제2 정보면 및 제3 정보면을 갖는 반투명 층과 제4 정보면을 갖는 반사층으로 구성되고, 상기 반투명층은 상기 기판과 상기 반사층 사이에 있고,
    상기 4개의 정보면 사이의 각각에 투명층이 마련되고, 상기 각 투명층의 두께가 각각 30㎛이상 60㎛이하이고,
    상기 4개의 정보면은 각각 상기 기판면측에서 입사한 반사광의 반사율이 20%이상 50%이하이고, 상기 반사율의 차가 10%이내이고,
    상기 2개의 기판은 각각 두께가 0.52mm이상 0.59mm이하이고,
    상기 2개의 기판이 바깥쪽으로 되도록 대향해서 배치된 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 2개의 기판이 대향해서 배치되기 전의 각 기판의 가장 떨어진 정보면만이 기록가능하고, 다른 정보면은 재생전용인 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 기록가능한 정보면에 상변화형 기록층을 형성하고, 다른 재생전용의 정보면상에 반투명층이 마련된 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 기록가능한 정보면에 광자기형 기록층을 형성하고, 다른 재생전용의 정보면상에 반투명층이 마련된 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 반투명층이 유전체 또는 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  19. 제8항에 있어서,
    상기 투명층은 자외선경화수지층인 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
  20. 제8항에 있어서,
    상기 기판이 폴리카보네이트인 것을 특징으로 하는 다층구조 광기록매체.
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