JPH11240252A - 光記録媒体 - Google Patents

光記録媒体

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JPH11240252A
JPH11240252A JP10341132A JP34113298A JPH11240252A JP H11240252 A JPH11240252 A JP H11240252A JP 10341132 A JP10341132 A JP 10341132A JP 34113298 A JP34113298 A JP 34113298A JP H11240252 A JPH11240252 A JP H11240252A
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JP
Japan
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dielectric layer
layer
recording
silicon oxide
recording medium
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JP10341132A
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Jiro Yoshinari
次郎 吉成
Masanori Kosuda
正則 小須田
Hiroshi Shinkai
浩 新開
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TDK Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 Ge−Sb−Te系の相変化型光記録媒体に
おいて、オーバーライト可能回数を増大させる。 【解決手段】 基体上に相変化型の記録層を有し、この
記録層が、Ge、SbおよびTeを主成分とし、Agお
よびAuの少なくとも1種を合計で0.2〜2.5原子
%(2.5原子%を含まず)含有する光記録媒体。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、相変化型の光記録
媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、高密度記録が可能で、しかも記録
情報を消去して書き換えることが可能な光記録媒体が注
目されている。書き換え可能型の光記録媒体のうち相変
化型のものは、レーザー光を照射することにより記録層
の結晶状態を変化させて記録を行い、このような状態変
化に伴なう記録層の反射率変化を検出することにより再
生を行うものである。相変化型の光記録媒体は、駆動装
置の光学系が光磁気記録媒体のそれに比べて単純である
ため、注目されている。
【0003】相変化型の記録層には、結晶質状態と非晶
質状態とで反射率の差が大きいこと、非晶質状態の安定
度が比較的高いことなどから、Ge−Sb−Te系等の
カルコゲナイト系材料が用いられることが多い。
【0004】相変化型光記録媒体において情報を記録す
る際には、記録層が融点以上まで昇温されるような高パ
ワー(記録パワー)のレーザー光を照射する。記録パワ
ーが加えられた部分では記録層が溶融した後、急冷さ
れ、非晶質の記録マークが形成される。一方、記録マー
クを消去する際には、記録層がその結晶化温度以上であ
ってかつ融点未満の温度まで昇温されるような比較的低
パワー(消去パワー)のレーザー光を照射する。消去パ
ワーが加えられた記録マークは、結晶化温度以上まで加
熱された後、徐冷されることになるので、結晶質に戻
る。したがって、相変化型光記録媒体では、単一の光ビ
ームの強度を変調することにより、オーバーライトが可
能である。
【0005】相変化型光記録媒体では、通常、記録層の
両側に誘電体層が形成されている。これらの誘電体層に
は、 1)レーザー光照射による熱履歴に対し、記録層や基板
などを保護できること、 2)各層の界面で反射してくる光の干渉効果を利用して
再生信号を増幅できること、 3)各誘電体層の熱伝導率等を適当に調整することによ
り、記録・消去特性を調整できることなどが求められ
る。
【0006】このような条件を満足する誘電体層とし
て、屈折率の高いZnSを主成分とするものが用いられ
ることが多い。例えば、特開昭63−103453号公
報には、ZnSとSiO2との混合物からなる誘電体層
を有する光学式情報記録部材が記載されている。同公報
では、記録時の照射パワーに対する感度の上昇と、誘電
体材料の記録消去の繰り返し回数の増大とを効果として
おり、感度の上昇は誘電体層の熱定数の最適化によるも
ので、記録消去の繰り返し回数の増大は、記録および消
去に要するレーザーパワーの低下によるものとしてい
る。同公報では、SiO2/(ZnS+SiO2)が10
〜30モル%のときに、記録および消去に要するレーザ
ーエネルギーが最も少なくてすむので好ましいとしてい
る。
【0007】Ge−Sb−Te系等の記録層を有する相
変化型光記録媒体では、オーバーライトの繰り返しによ
り、消去率の低下やジッターの上昇などが生じてC/N
が低下するため、数千回程度以上のオーバーライトは不
可能である。オーバーライトによるC/N劣化の原因と
しては、 a)記録層構成材料の記録トラック方向への流動による
記録層厚さの変化、 b)隣接する誘電体層との間での元素拡散による記録層
の組成変化、 c)誘電体層の歪みや破損、 d)記録層−誘電体層界面や誘電体層−反射層界面にお
ける剥離などが挙げられる。
【0008】誘電体層の歪みや破損を防ぐための提案
は、例えば特開平2−64937号公報に記載されてい
る。同公報には、記録層の片面または両面に耐熱保護層
を設け、さらに、耐熱保護層の少なくとも片面に、耐熱
保護層よりも体積弾性率の小さい保護層を設けること
で、耐熱保護層の歪みや破れを抑えて繰り返し記録特性
を向上させることが記載されている。同公報では、体積
弾性率の小さい保護層を構成する材料としてMoS2
ZnS、ZnSe等が、耐熱保護層を構成する材料とし
て炭化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウムが挙げら
れている。同公報の実施例2では、記録層の両側にSi
x層を20nmの厚さに設け、さらにこの両側に、Zn
Sをレーザー入射側に100nm、反対側に200nmの厚
さに設けている。そして、この構成により、数万回の良
好な繰り返し記録特性が得られた旨の記載がある。な
お、この実施例では、SiNx層により、ZnSからな
る保護層から記録層への元素拡散が抑えられることにな
ると考えられる。
【0009】しかし、本発明者らが同公報の実施例と同
様な膜構成で追試を行ったところ、オーバーライト可能
回数は1万回程度にすぎなかった。
【0010】記録層の流動や偏析を抑えるための提案
は、例えば特開平8−127176号公報に記載されて
いる。同公報には、Ge−Sb−Te系の相変化型の記
録膜に、Cr、Ag、Ba、Co、Ni、PtSi、S
r、Au、Cd、Cu、Li、Mo、Mn、Zn、A
l、Fe、Pb、Na、Cs、Ga、Pd、Bi、S
n、Ti、V、Inおよびランタノイド元素からなる群
から選ばれた少なくとも一つの元素Xを添加し、記録膜
中に、相変化成分よりも高い融点をもつ高融点成分を析
出させることにより、記録・消去時の記録膜の流動・偏
析を防止でき、105回を超えるオーバーライトが可能
となる旨の記載がある。同公報の実施例では、元素Xと
してCr、Cu、Cr+Tl、Cr+NまたはCr+S
eを用いており、元素Xの添加量はすべて3原子%以上
となっている。そして、流動・偏析を防ぐための高融点
金属相を析出させるために、初期化を数百回行ってい
る。
【0011】しかし、同公報に記載されているように数
百回の初期化が必要であると、製造に際してコストアッ
プを招くため、好ましくない。
【0012】なお、上記特開平8−127176号公報
には、Agを添加した例も記載されているが、この例に
おいてAgが添加されているのは記録膜ではなく、超解
像再生のためのマスク層である。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、Ge
−Sb−Te系の相変化型光記録媒体において、オーバ
ーライト可能回数を増大させることである。
【0014】
【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
(1)〜(13)の本発明により達成される。 (1) 基体上に相変化型の記録層を有し、この記録層
が、Ge、SbおよびTeを主成分とし、AgおよびA
uの少なくとも1種を合計で0.2〜2.5原子%
(2.5原子%を含まず)含有する光記録媒体。 (2) 記録層の下側および上側にそれぞれ記録層と接
する第1誘電体層および第2誘電体層を有し、第2誘電
体層上に金属からなる反射層を有し、第1誘電体層が、
基体側に誘電体層1aを、記録層側に誘電体層1bをそ
れぞれ含み、誘電体層1aが硫化亜鉛および酸化ケイ素
を主成分とし、誘電体層1bが窒化ケイ素および/また
は窒化ゲルマニウムを主成分とするか、酸化ケイ素を主
成分とするか、硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成分とす
るか、酸化クロムを主成分とするものであり、誘電体層
1bが硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成分とするとき、
これらをそれぞれZnSおよびSiO2に換算して求め
た酸化ケイ素含有率[SiO2/(ZnS+SiO2)]
が40モル%以上であり、第2誘電体層が、硫化亜鉛お
よび酸化ケイ素を主成分とするか、酸化ケイ素を主成分
とするか、希土類酸化物を主成分とするか、窒化ゲルマ
ニウムを主成分とする上記(1)の光記録媒体。 (3) 記録層の下側および上側にそれぞれ記録層と接
する第1誘電体層および第2誘電体層を有し、第2誘電
体層上に金属からなる反射層を有し、第1誘電体層が、
基体側に誘電体層1aを、記録層側に誘電体層1bをそ
れぞれ含み、誘電体層1aが硫化亜鉛および酸化ケイ素
を主成分とし、誘電体層1bが窒化ケイ素および/また
は窒化ゲルマニウムを主成分とするか、酸化ケイ素を主
成分とするか、硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成分とす
るか、酸化クロムを主成分とするものであり、誘電体層
1bが硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成分とするとき、
これらをそれぞれZnSおよびSiO2に換算して求め
た酸化ケイ素含有率[SiO2/(ZnS+SiO2)]
が40モル%以上であり、第2誘電体層が、記録層側に
誘電体層2aを、反射層側に誘電体層2bをそれぞれ含
み、誘電体層2aが、硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成
分し、かつ、誘電体層2bが、酸化ケイ素または希土類
酸化物を主成分とするか、誘電体層2aが、窒化ケイ素
および/または窒化ゲルマニウムを主成分とするか、酸
化クロムを主成分とし、かつ、誘電体層2bが、誘電体
層2aよりも熱伝導率の低い誘電体材料を主成分とする
上記(1)の光記録媒体。 (4) 誘電体層1bの厚さが0.5〜40nmである上
記(2)または(3)の光記録媒体。 (5) 誘電体層1bが、窒化ケイ素を主成分とし、か
つ、厚さが0.5〜5nm(ただし5nmを含まず)である
上記(3)の光記録媒体。 (6) 硫化亜鉛および酸化ケイ素をそれぞれZnSお
よびSiO2に換算して酸化ケイ素含有率[SiO2
(ZnS+SiO2)]を求めたとき、誘電体層1aの
酸化ケイ素含有率が2〜40モル%(40モル%を含ま
ず)である上記(2)〜(5)のいずれかの光記録媒
体。 (7) 記録層の下側および上側にそれぞれ記録層と接
する第1誘電体層および第2誘電体層を有し、記録再生
光波長における媒体の光吸収率を、記録層の結晶質部で
Acとし、非結晶質部でAaとしたとき、 Ac/Aa≧0.9 であり、第1誘電体層が、基体側に誘電体層1aを、記
録層側に誘電体層1bをそれぞれ含み、誘電体層1b
が、窒化ゲルマニウムおよび/または窒化ケイ素を主成
分とし、誘電体層1aが、硫化亜鉛および酸化ケイ素を
主成分とし、第2誘電体層のうち少なくとも記録層に接
して存在する領域が、窒化ゲルマニウムおよび/または
窒化ケイ素を主成分とするか、希土類酸化物を主成分と
するか、酸化ケイ素を主成分とするか、硫化亜鉛および
酸化ケイ素を主成分とするものであり、前記領域が硫化
亜鉛および酸化ケイ素を主成分とするものである場合、
硫化亜鉛および酸化ケイ素をそれぞれZnSおよびSi
2に換算して求めた酸化ケイ素含有率[SiO2/(Z
nS+SiO2)]が40モル%以上である上記(1)
の光記録媒体。 (8) 誘電体層1bの厚さが0.5〜40nmである上
記(7)の光記録媒体。 (9) 誘電体層1bが、窒化ケイ素を主成分とし、か
つ、厚さが0.5〜5nm(ただし5nmを含まず)である
上記(7)の光記録媒体。 (10) 硫化亜鉛および酸化ケイ素をそれぞれZnS
およびSiO2に換算して酸化ケイ素含有率[SiO2
(ZnS+SiO2)]を求めたとき、誘電体層1aの
酸化ケイ素含有率が2〜40モル%(40モル%を含ま
ず)である上記(7)〜(9)のいずれかの光記録媒
体。 (11) 第2誘電体層上に反射層を有し、この反射層
が、金属から構成された厚さ40nm以下のものである
か、SiまたはGeから構成された厚さ80nm以下のも
のである上記(7)〜(10)のいずれかの光記録媒
体。 (12) 反射層上に第3誘電体層を有する上記(1
1)の光記録媒体。 (13) 記録層の平均結晶粒径が20〜150nmであ
る上記(1)〜(12)のいずれかの光記録媒体。
【0015】
【作用および効果】本発明では、上記したようにGe−
Sb−Te系の相変化型記録層にAgおよび/またはA
uを所定量添加することにより、オーバーライト可能回
数を増大させる。具体的には、通常のオーバーライトを
10万回以上行っても、十分なC/Nを維持することが
可能となる。この場合の通常のオーバーライトとは、光
記録媒体評価装置を用いた通常の条件でのオーバーライ
トであり、記録マークが完全に重なるとは限らない比較
的ランダムなものである。また、本発明では、実際の光
ディスク駆動装置でのオーバーライトにより近く、より
厳しい条件での評価試験、すなわち、同一の信号を記録
マークが完全に重なるようにオーバーライトする試験に
おいても、100回以上のオーバーライトが特性劣化な
く可能である。さらに本発明では、前記特開平8−12
7176号公報に記載された提案と異なり、初期化を数
百回行う必要はなく、通常の相変化型光記録媒体と同様
に初期化は1回だけで済む。
【0016】次に、記録層の下側および上側にそれぞれ
設ける第1誘電体層および第2誘電体層の好ましい構成
の作用効果について説明する。本発明の光記録媒体は、
通常、後述する反射型構造の媒体または後述する吸収率
補正構造の媒体に適用される。
【0017】図1に、反射型構造における好ましい態様
の構成例を示す。この光記録媒体は、基体2上に、第1
誘電体層31、相変化型の記録層4、第2誘電体層3
2、金属からなる反射層5を有し、第1誘電体層31
が、基体2側に誘電体層1aを、記録層4側に誘電体層
1bをそれぞれ含むものである。
【0018】誘電体層1aは、硫化亜鉛と酸化ケイ素と
の混合物を主成分とするものであり、誘電体層1bは、
この混合物以外の誘電体材料を主成分とするか、主成分
がこの混合物ではあるが、硫化亜鉛の含有率が相対的に
低いものである。このような構成とすることにより、オ
ーバーライトの繰り返しによるジッターの増大が小さく
なるので、オーバーライト可能回数は十分に多くなる。
オーバーライト可能回数が増大する理由は明らかではな
いが、誘電体層1aと記録層4との間に誘電体層1bを
設けたことで、誘電体層1aからのZnやSの拡散によ
る記録層4の組成変化が抑制されたことなどによると考
えられる。
【0019】図1に示す構造において、第2誘電体層3
2は記録層4からの熱流出の経路となっている。第2誘
電体層32を通過する熱は反射層5により速やかに放散
されるため、第2誘電体層32の温度上昇は第1誘電体
層31よりも小さくなる。このため、第2誘電体層32
からのZnやSの拡散は第1誘電体層31に比べ少な
い。また、第2誘電体層32には、反射層5との界面お
よび記録層4との界面における剥離のしにくさや熱伝導
のよさが要求される。このような理由から、本発明の好
ましい態様では第2誘電体層32の主成分を硫化亜鉛と
酸化ケイ素との混合物から構成する。この混合物は体積
弾性率が低いため、剥離が生じにくい。また、前記混合
物は熱伝導性が低いため、第2誘電体層を薄くできると
いう利点もある。しかし、高パワーで記録する必要があ
る場合には第2誘電体層も高温となるため、記録層への
ZnやSの拡散が生じやすい。そこで、この態様では、
必要に応じ、第2誘電体層の主成分を酸化ケイ素、希土
類酸化物または窒化ゲルマニウムとし、第2誘電体層3
2によるZnやSの影響を防ぐ。
【0020】ただし、記録層に接して酸化ケイ素層また
は希土類酸化物層を設けると、記録層の結晶化速度が速
くなるので、結晶化速度を抑える必要のある場合には、
図2に示すように第2誘電体層を2層構造とし、酸化ケ
イ素または希土類酸化物からなる誘電体層2bと記録層
4との間に、硫化亜鉛と酸化ケイ素との混合物からなる
誘電体層2aを設ける構成とすればよい。この構成とす
ることにより、記録層の結晶化速度を抑制することがで
きる。また、この構成の場合、誘電体層2aは薄くても
十分な効果を発揮するので、誘電体層2aを設けること
による記録層への悪影響(ZnやSの拡散)は、ほとん
どない。なお、後述するように、記録層にAgおよび/
またはAuを添加すると結晶化速度が低下するので、誘
電体層の組成選択による結晶化速度の上昇を、記録層へ
のAgおよび/またはAuの添加量を制御することによ
り抑えることもできる。
【0021】また、図2に示す構造において、誘電体層
2aの主成分を窒化ケイ素および/もしくは窒化ゲルマ
ニウムまたは酸化クロムとする構成も本発明に包含され
る。この場合、誘電体層2bの主成分を、誘電体層2a
よりも熱伝導率の低い誘電体材料とする。窒化ケイ素、
窒化ゲルマニウムおよび酸化クロム、特に窒化ケイ素お
よび酸化クロムは熱伝導率が高いため、これらの化合物
からなる誘電体層を記録層に接して設ければ、記録層面
内方向への熱の拡散が良好となり、記録マーク拡大によ
る記録マーク検出感度の向上が可能となる。しかし、第
2誘電体層全体をこれらの化合物から構成した場合、記
録層から第2誘電体層を介した反射層への放熱が進みす
ぎてしまう。この場合、第2誘電体層を著しく厚くすれ
ば、反射層への放熱を抑制することができるが、その場
合には媒体全体としての光学的設計が困難になってしま
う。そのため、これらの化合物を第2誘電体層に用いる
場合には、図2に示すように第2誘電体層32を2層構
造とし、記録層4に接する誘電体層2aの主成分を、熱
伝導率の高い上記化合物から構成し、反射層5側の誘電
体層2bの主成分を、誘電体層2aよりも熱伝導率の低
い化合物から構成する。
【0022】図3および図4に、吸収率補正構造におけ
る好ましい態様の構成例を示す。この構成における第1
誘電体層31は、図1に示す第1誘電体層31と同じ構
成であるため、図1に示す構成例と同様に、記録層4に
悪影響を与えるZnやSの拡散が抑えられる。また、図
3における第2誘電体層32および図4における誘電体
層2aは、主成分が、窒化ゲルマニウムおよび/または
窒化ケイ素であるか、希土類酸化物であるか、酸化ケイ
素であるか、酸化ケイ素含有率の高いZnS−SiO2
であるため、ZnやSが第2誘電体層32から記録層4
に拡散することがないか、拡散を抑えることができる。
【0023】ところで、前記特開平2−64937号公
報の実施例にしたがい、記録層の両側にSiNx層を設
けて追試を行った結果、前述したようにオーバーライト
可能回数は1万回程度にすぎず、本発明の効果に比べ劣
るものとなった。この理由は明らかではないが、記録層
の両側のSiNx層に発生する大きな応力が隣接する層
との界面の機械的特性を悪化させ、剥離を生じさせるた
めと考えられる。また、本発明者らの研究では、基体と
記録層との間に存在するSiNx層が厚すぎると、高温
・高湿環境下で保存したときにSiNx層が剥離してし
まうことがわかった。
【0024】また、特開平6−195747号公報に
は、基板上に、ZnS−SiO2層、Si34層、記録
層、ZnS−SiO2層、反射層が順に積層された光デ
ィスクが記載されている。この光ディスクは、記録層と
基板側のZnS−SiO2層との間にSi34層を有す
る点については、本発明の光記録媒体の好ましい態様と
同じである。
【0025】しかし、同公報には、記録層にAgおよび
/またはAuを添加する旨の記載はない。また、同公報
記載の発明の目的は、短波長光源の使用下、あるいはデ
ィスク高速回転下でも消去率を低下させない、というも
のであり、本発明の目的とは異なる。同公報では前記目
的を達成するために、Si34層を記録層の結晶化を促
進する層として利用しているが、本発明者らの研究によ
れば、Si34層を結晶化促進のために利用する場合の
好ましい厚さは、本発明の好ましい態様において限定す
る誘電体層1bの厚さ範囲を上回る。したがって、Si
34層を同公報記載の目的を達成し得る厚さにすると、
本発明の効果であるオーバーライト可能回数の向上が不
十分となる。また、本発明における誘電体層1bに相当
するSi34層が厚すぎると、Si34層と基板との間
に存在するZnS−SiO2層が相対的に薄くなって高
C/Nが得られなくなる。また、本発明における誘電体
層1bに相当するSi34層が厚すぎると、高温・高湿
環境下で保存した場合に、層間で剥離が生じてしまうと
いう問題も生じる。なお、同公報にはSi34層の厚さ
についてはいっさい記載されていない。また、同公報に
は、Si34に替えて窒化ゲルマニウムを用いてもよい
旨の記載もない。
【0026】また、特開平4−52188号公報には、
透明基板、第1保護層、記録薄膜、第2保護層、反射層
が順次形成された相変化型光記録媒体が記載されてい
る。この媒体は、記録薄膜がTe−Ge−Sbからな
り、記録薄膜の少なくとも一方の面にGeNからなる窒
化物層が形成され、第1保護層および第2保護層がZn
S−SiO2からなる点については、本発明の好ましい
態様と同じである。
【0027】しかし、同公報には、記録層にAgおよび
/またはAuを添加する旨の記載はない。また、同公報
記載の発明は、記録薄膜の全面を結晶化させるための初
期化の際に、窒化物層を溶融させて記録薄膜と混合さ
せ、記録薄膜中に窒素を含有させることを目的とする。
記録薄膜中に窒素を含有させるのは、記録・消去の繰り
返しに伴う保護層の脈動によって記録薄膜材料が基板の
案内溝に沿って移動することを防ぐためである。したが
って、初期化後、同公報記載の媒体に記録・消去を行う
際には、窒化物層は存在しないか、例え存在しても組成
が著しく変化していることになるので、本発明における
誘電体層1bと同等の効果、すなわち、ZnやSの拡散
に対するバリア層としての効果は得られない。また、溶
融させることにより初期化した記録薄膜は、粒径150
nmを超える粗大な結晶粒からなり、その後の記録・消去
の繰り返しにより結晶粒が徐々に微細化していくことに
なる。すなわち、記録・消去の繰り返しによって原子移
動が生じる。したがって、記録・消去を繰り返したとき
に記録薄膜内で偏析が生じ、安定した特性が得られない
という問題がある。これに対し本発明では、初期化の際
に記録層を固相で結晶化するため、誘電体層1bがバリ
ア層としての働きを失わない。また、固相初期化後の記
録層の平均結晶粒径は20〜150nm程度であり、記録
・消去を繰り返した後の結晶粒径に近いため、安定した
記録・消去が可能である。しかも、同公報の実施例にお
いて実際に作製されている光記録媒体は、本発明の好ま
しい態様とは異なり、記録薄膜と第1保護層との間では
なく記録薄膜と第2保護層との間に窒化物層を設けたも
のなので、例え溶融初期化後に窒化物層が存在していた
としても、本発明の好ましい態様による効果は実現しな
い。
【0028】ところで、Ge−Sb−Te系の相変化型
記録層にAgまたはAuを添加することは、前記した特
開平8−127176号公報に記載されているように、
既に知られている。
【0029】しかし、前記特開平8−127176号公
報では、前述したように数百回の初期化が必要である点
で実用的ではない。また、同公報には、Crを添加した
実施例しか記載されていない。実際に本発明者らが、同
公報の記載に基づいてGe−Sb−Te系相変化型記録
層にCrを3原子%添加し、ただし、初期化は1回だけ
として記録を試みたところ、結晶化速度が著しく低いた
めにオーバーライトが不可能であった。また、Cr含有
率を本発明で限定するAgおよびAuの合計含有率であ
る2.5原子%未満とした場合でも、初期化が1回だけ
では結晶化速度が著しく低く、オーバーライトは不可能
であった。
【0030】前記特開平8−127176号公報のほか
にも、例えば、特開平1−112538号公報には、G
eTe−Ag2Te−Sb2Te3擬三元系合金からなる
記録層を有する光学式情報記録媒体が記載されている。
同公報に記載された効果は、結晶化温度が高く、結晶化
速度が大きく、かつ、記録感度のよい光ディスクを提供
できる、というものである。同公報の実施例では、記録
層の両側にZnSからなる耐熱保護層を設けている。
【0031】しかし、同公報にはオーバーライトに関す
る効果については記載されておらず、本発明の好ましい
態様における誘電体層の構成についての記載もない。ま
た、同公報には、記録層中のAg含有率が2.5原子%
以上のとき、高い結晶化温度、大きな結晶化速度、良好
な記録感度を同時に満たす旨の記載があるが、本発明者
らの実験によれば、Ag含有率が高くなるほど結晶化速
度が低下して消去しにくくなる。実際、同公報の図5に
は、Agの含有率が2.5原子%である場合、十分な結
晶化(消去)を行うためにはレーザーパワーを10mWと
高くし、かつ0.1マイクロ秒を上回る長時間のレーザ
ー照射を行う必要があることが示されている。これに対
し本発明では、高転送レート媒体への適用を考慮して、
同公報における限定範囲を下回るAg含有率を選択し
た。
【0032】また、特開平1−211249号公報に
は、一般式 [(TexSb1-x1-yGey1-zz で示される光学記録膜を有する光学記録媒体が記載され
ている。前記一般式において、Mは、Au、Pd、N
i、Pt、Cu、Ag、Co、PbおよびBiの少なく
とも1種であり、 0.3≦x≦0.9、 0<y≦0.2、 0<z≦0.2 である。すなわち、同公報には、Ge−Sb−Te系組
成にAuおよび/またはAgを添加する旨が記載されて
いる。同公報に記載された効果は、記録膜の結晶化速度
が速く、情報を高速、高密度に記録することができ、か
つ記録、消去感度に優れる上、非晶質の安定性がよい光
記録媒体が提供できる、というものである。
【0033】しかし、同公報の実施例で用いている元素
MはAuおよびPdだけであり、Agの実施例はない。
また、実施例における元素Mの添加量は10原子%以上
となっている。同公報に記載された効果は結晶化速度の
向上であるが、本発明者らの実験によれば、Auを10
原子%以上添加すると結晶化速度が遅くなりすぎ、オー
バーライトが不可能となってしまう。また、同公報の実
施例には、記録膜に接して誘電体層を設けた旨の記載も
ない。
【0034】また、特開平1−245440号公報に
は、一般式 GeXTeYSbZab で示される情報記録用薄膜が記載されている。前記一般
式において、X、Y、Z、a、bはそれぞれ原子百分率
であって、 0≦X≦18、 45≦Y≦70、 11≦Z≦54、 0≦a≦20、 0≦b≦20、 1≦a+b≦20 であり、Aは、Tl、ハロゲン元素およびアルカリ金属
元素の少なくとも1種、Bは、Co、Fe、Ni、S
c、Ti、V、Cr、Mn、Cu、Zn、Y、Zr、N
b、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd、Hf、T
a、W、Re、Os、Ir、Pt、Auの少なくとも1
種である。すなわち、同公報には、Ge−Sb−Te系
組成にAuおよび/またはAgを添加する旨が記載され
ている。同公報に記載された効果は、製造プロセスが簡
単で、再現性がよく、記録・再生特性がよく、かつ長期
間安定な情報記録用部材を得ることができ、記録の書き
換えも多数回(実施例では3×105回以上)可能であ
る、というものである。
【0035】しかし、同公報の実施例で使用している添
加元素は、TlおよびCoだけであり、AgやAuは用
いていない。本発明では、Agおよび/またはAuを用
いることにより、前述したような記録マークが完全に重
なるオーバーライトを繰り返した場合にも十分な耐久性
が得られるが、同公報における評価基準の詳細は不明で
ある。また、同公報では、情報用記録薄膜の両側にZn
S層を設けており、この点は本発明の好ましい態様とは
異なる。
【0036】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。
【0037】図1、図2の構成(反射型構造) 本発明の光記録媒体の好ましい構成例を、図1および図
2にそれぞれ示す。これらの光記録媒体は、基体2表面
側に、第1誘電体層31、記録層4、第2誘電体層3
2、反射層5および保護層6をこの順に設けた片面記録
型(単板型)媒体である。なお、この片面記録型媒体を
2枚用い、保護層6が内側になるように接着層により接
着した両面記録型の媒体にも、本発明は適用できる。ま
た、上記片面記録型媒体と保護基体とを接着層により接
着した媒体にも、本発明は適用できる。
【0038】図1および図2にそれぞれ示す光記録媒体
は、反射層5が比較的厚い金属層であり、後述する吸収
率補正構造の媒体とは異なるものである。本明細書で
は、このような媒体を反射型構造の媒体という。なお、
反射型構造の媒体は、後述するAc/Aaが0.9未満
のものである。
【0039】基体 本発明の光記録媒体では基体2を通して記録層4に光ビ
ームが照射されるので、基体2は、用いる光ビームに対
して実質的に透明である材質、例えば、樹脂やガラスな
どから構成されることが好ましい。樹脂としては、アク
リル樹脂、ポリカーボネート、エポキシ樹脂、ポリオレ
フィン等を用いればよい。基体の形状および寸法は特に
限定されないが、通常、ディスク状とし、厚さは0.5
〜3mm程度、直径は50〜360mm程度とする。基体の
表面には、トラッキング用やアドレス用等のために、グ
ルーブ等の所定のパターンが必要に応じて設けられる。
【0040】本発明の光記録媒体は、特に高密度記録に
適し、特に、グルーブとランドとの両方を記録トラック
とする構成(ランド・グルーブ記録)に適する。この場
合の記録トラックピッチは、通常、0.3〜1.0μm
程度とすることが好ましい。
【0041】第1誘電体層31、第2誘電体層32 第1誘電体層31は、記録層の酸化を防ぎ、また、記録
時に記録層から基体に伝わる熱を遮断して基体を保護す
る。第2誘電体層32は、記録層を保護すると共に、記
録後、記録層に残った熱の放出を調整するために設けら
れる。また、両誘電体層を設けることにより、変調度を
向上させることができる。
【0042】第1誘電体層31の構成は特に限定されな
いが、オーバーライト可能回数をさらに多くするために
は、好ましくは図示するような2層構造とする。
【0043】図1および図2にそれぞれ示す第1誘電体
層31中には、基体2側に誘電体層1aが存在し、記録
層4側に誘電体層1bが存在する。誘電体層1aは、硫
化亜鉛および酸化ケイ素を主成分とする。誘電体層1a
の酸化ケイ素含有率は、2〜40モル%(40モル%を
含まず)、好ましくは10〜30モル%である。誘電体
層1aの酸化ケイ素含有率が高すぎると、屈折率が小さ
くなりすぎて高C/Nが得られにくくなる。一方、酸化
ケイ素含有率が低すぎると、オーバーライト可能回数が
少なくなってしまう。誘電体層1aは均質であってもよ
く、酸化ケイ素含有率が段階的または連続的に変化する
傾斜組成構造であってもよい。
【0044】誘電体層1bは、窒化ケイ素および/また
は窒化ゲルマニウムを主成分とするか、酸化ケイ素を主
成分とするか、硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成分とす
るか、酸化クロムを主成分とし、好ましくは、窒化ケイ
素および/または窒化ゲルマニウムを主成分とするか、
酸化クロムを主成分とし、より好ましくは、窒化ケイ
素、窒化ゲルマニウムまたは酸化クロムだけから構成さ
れ、さらに好ましくは、窒化ゲルマニウムまたは酸化ク
ロムだけから構成される。窒化ケイ素の組成は特に限定
されず、例えばSix1-x(x=0.35〜0.55)
とすればよい。また、窒化ゲルマニウムの組成も特に限
定されず、例えばGex1-x(x=0.35〜0.5
5)とすればよい。また、酸化クロムの組成も特に限定
されず、例えばCrx1-x(x=0.30〜0.50)
とすればよい。一方、硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成
分とする場合、酸化ケイ素含有率は40モル%以上、好
ましくは45モル%以上である。誘電体層1bの酸化ケ
イ素含有率が低すぎると、ZnやSの拡散を十分に抑え
ることができなくなり、オーバーライト可能回数が少な
くなってしまう。
【0045】第2誘電体層32は、単層構造(図1参
照)としてもよく、前述したように、必要に応じて積層
構造(図2参照)としてもよい。単層構造とする場合、
第2誘電体層は、硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成分と
するか、酸化ケイ素を主成分とするか、希土類酸化物を
主成分とするか、窒化ゲルマニウムを主成分とすること
が好ましい。また、積層構造とする場合、誘電体層2a
が、硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成分し、かつ、誘電
体層2bが、酸化ケイ素または希土類酸化物を主成分と
する組み合わせとするか、誘電体層2aが、窒化ケイ素
および/または窒化ゲルマニウムを主成分とするか、酸
化クロムを主成分とし、かつ、誘電体層2bが、誘電体
層2aよりも熱伝導率の低い誘電体材料を主成分とする
組み合わせとすることが好ましい。この場合の熱伝導率
の低い誘電体材料としては、硫化亜鉛と酸化ケイ素との
混合物が好ましい。この混合物中における酸化ケイ素含
有率は、好ましくは2モル%以上、より好ましくは2〜
60モル%である。
【0046】第2誘電体層32が硫化亜鉛および酸化ケ
イ素を主成分とする単層構造である場合、酸化ケイ素含
有率は、好ましくは2モル%以上、より好ましくは40
モル%以上である。第2誘電体層32の酸化ケイ素含有
率が低すぎると、第2誘電体層32から記録層へのZn
やSの拡散の影響が大きくなる。
【0047】第2誘電体層を2層構造とし、硫化亜鉛お
よび酸化ケイ素を主成分とする誘電体層2aを設ける場
合、誘電体層2aの酸化ケイ素含有率は5〜60モル%
とすることが好ましい。誘電体層2aの酸化ケイ素含有
率が低すぎると、誘電体層2aから記録層へのZnやS
の拡散の影響が大きくなり、酸化ケイ素含有率が高すぎ
ると、誘電体層2aを設けることによる効果が不十分と
なる。
【0048】第2誘電体層32に用いる希土類元素は特
に限定されず、例えばCe、La、Y、Pr、Nd、P
m、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、T
m、Yb、Lu等の少なくとも1種を用いればよいが、
好ましくはCe、La、Yの少なくとも1種を用いる。
【0049】なお、酸化ケイ素を含有する各誘電体層が
それぞれ満足すべき、あるいは満足することが好ましい
上記酸化ケイ素含有率は、層の平均値としてだけでな
く、層全体を通して満足される必要がある。
【0050】本明細書における酸化ケイ素含有率は、硫
化亜鉛および酸化ケイ素をそれぞれZnSおよびSiO
2に換算して、SiO2/(ZnS+SiO2)により求
めた値である。すなわち、蛍光X線分析などにより求め
たS量、Zn量、Si量に基づいて決定する。なお、例
えばSに対しZnが過剰であった場合や、Znに対しS
が過剰であった場合には、過剰なZnやSは、他の化合
物(ZnO等)として含有されているか、遊離状態で存
在しているものと考え、ZnS含有率算出の際にはZn
およびSのうち少ないほうに合わせる。
【0051】第1誘電体層31の厚さは、好ましくは3
0〜300nm、より好ましくは50〜250nmである。
第1誘電体層をこのような厚さとすることにより、記録
に際しての基体損傷を効果的に防ぐことができ、変調度
も高くなる。
【0052】誘電体層1bの厚さは、好ましくは0.5
〜40nm、より好ましくは0.8〜30nmである。ただ
し、誘電体層1bを窒化ケイ素から構成する場合には、
高温・高湿環境下で保存したときの剥離を防ぐために、
5nm未満、特に4nm以下とすることが好ましい。また、
誘電体層1bを窒化ゲルマニウムやZnS−SiO2
ら構成する場合には、高温・高湿環境下で保存しても剥
離は生じないので、バリア性を高くするために、5〜4
0nm、特に5〜30nmとすることが好ましい。また、誘
電体層1bを酸化クロムから構成する場合には、厚さを
10nm以下とすることが好ましい。誘電体層1bが薄す
ぎても厚すぎても、オーバーライト可能回数の向上が不
十分となる。
【0053】また、第1誘電体層の厚さ(t1)に対す
る誘電体層1bの厚さ(t1b)の比(t1b/t1)は、
好ましくは0.5以下、より好ましくは0.4以下であ
る。誘電体層1bの厚さが上記した好ましい範囲内であ
っても、t1b/t1が大きすぎるとオーバーライト可能
回数の向上が不十分となる。
【0054】第2誘電体層32の厚さは、10〜50n
m、好ましくは13〜35nmである。第2誘電体層をこ
のような厚さとすることにより冷却速度が速くなるの
で、記録マークのエッジが明瞭となってジッターが小さ
くなる。また、このような厚さとすることにより、変調
度を高くすることができる。
【0055】第2誘電体層32を2層構造とする場合、
誘電体層2aの厚さは好ましくは2〜15nm、より好ま
しくは3〜10nmである。誘電体層2aが薄すぎると、
誘電体層2aを設けることによる効果が不十分となる。
一方、誘電体層2aが厚すぎると、高パワーで記録する
場合に、誘電体層2aから記録層4へのZnやSの拡散
の影響が大きくなる。なお、第2誘電体層の厚さ
(t2)に対する誘電体層2aの厚さ(t2a)の比(t
2a/t2)は、通常、0.5程度以下とすることが好ま
しい。
【0056】硫化亜鉛を含有する誘電体層には、0〜1
000℃においてその硫化物生成標準自由エネルギーが
ZnS生成標準自由エネルギーより低い元素(以下、金
属元素Aという)を含有させることが好ましい。誘電体
層中に金属元素Aを含有させることにより、繰り返しオ
ーバーライトの際に誘電体層からのSやZnの遊離を抑
制することができ、これによりジッター増大を防ぐこと
ができるので、オーバーライト可能回数を増やすことが
できる。
【0057】金属元素Aとしては、Ce、Ca、Mg、
Sr、BaおよびNaの少なくとも1種を用いることが
好ましく、硫化物生成標準自由エネルギーが小さいこと
から、Ceを用いることが特に好ましい。例えば300
Kでは、ZnS生成標準自由エネルギーは約−230kJ
/mol、CeS生成標準自由エネルギーは約−540kJ/m
ol、CaS生成標準自由エネルギーは約−510kJ/mo
l、MgS生成標準自由エネルギーは約−390kJ/mo
l、SrS生成標準自由エネルギーは約−500kJ/mo
l、BaS生成標準自由エネルギーは約−460kJ/mo
l、Na2S生成標準自由エネルギーは約−400kJ/mol
である。
【0058】誘電体層中において、全金属元素に対する
金属元素Aの比率は、2原子%未満、好ましくは1.5
原子%以下、より好ましくは1.3原子%以下である。
金属元素Aの比率が高すぎると、繰り返しオーバーライ
ト時のジッター増大抑制効果が実現しない。なお、金属
元素Aの添加による効果を十分に実現するためには、金
属元素Aの比率を好ましくは0.01原子%以上、より
好ましくは0.03原子%以上とする。全金属元素中の
金属元素Aの比率は、蛍光X線分析やEPMA(電子線
プローブX線マイクロアナリシス)などにより測定する
ことができる。なお、誘電体層中における全金属量を求
める際には、Si等の半金属も加えるものとする。
【0059】誘電体層中において、金属元素Aは、単
体、硫化物、酸化物、フッ化物等のいずれの形態で存在
していてもよい。
【0060】各誘電体層は、スパッタ法や蒸着法等の気
相成長法により形成することが好ましく、特にスパッタ
法により形成することが好ましい。誘電体層1bを形成
する場合には、例えば窒化ケイ素および/または窒化ゲ
ルマニウムをターゲットするスパッタ法を用いてもよ
く、Siおよび/またはGeをターゲットとして窒素含
有雰囲気中でスパッタを行う反応性スパッタ法を用いて
もよい。
【0061】なお、スパッタ法を用いて傾斜組成構造の
誘電体層を形成する場合、例えば、複数のターゲットを
用いる多元スパッタ法を利用し、成膜初期から終期にか
けて、各ターゲットへ投入するパワーの比を段階的また
は連続的に変化させればよい。
【0062】誘電体層中に上記金属元素Aを含有させる
ためには、様々な方法を利用することができる。例え
ば、金属元素AがCeである場合には、Ce単体やCe
2からなるチップを、誘電体層の主成分となる主ター
ゲット上に載せたものをターゲットとして用いてもよ
く、主ターゲット中にCeO2やその他のCe化合物と
して含有させてもよい。また、金属元素AとしてCaや
Mgを用いる場合、上記主ターゲット上にCaOやMg
Oからなるチップを載せてターゲットとしてもよいが、
これらには潮解性があるので、好ましくない。したがっ
て、この場合には、CaF2やMgF2からなるチップを
主ターゲット上に載せてターゲットとすることが好まし
い。金属元素AとしてSr、Ba、Naなどを用いる場
合も、潮解性の点で、酸化物チップよりもフッ化物チッ
プを用いるほうが好ましい。また、Ca、Mg、Sr、
Ba、Naは、酸化物やこれ以外の化合物として主ター
ゲット中に含有させて用いてもよい。なお、主ターゲッ
トには、ZnS−SiO2などのような複合ターゲット
を用いてもよく、主ターゲットとしてZnSとSiO2
とをそれぞれ単独で用いるような多元スパッタ法を利用
してもよい。
【0063】ところで、記録層にAgおよび/またはA
uを添加すると結晶化速度が遅くなり、これらを添加し
ない場合に比べ消去しにくくなる。媒体の熱的設計を変
更することなく結晶化速度の低下を抑えるためには、第
2誘電体層に窒素および/または酸素を導入することが
好ましい。窒素および/または酸素は、少なくとも記録
層との界面付近に導入すればよいが、第2誘電体全体に
導入してもよい。なお、導入による悪影響が少ないこと
から、窒素を導入することがより好ましい。
【0064】第2誘電体層に窒素および/または酸素を
導入する方法は特に限定されず、例えば、第2誘電体層
をスパッタ法により形成する際に、形成開始前または形
成開始と同時に雰囲気中にN2および/またはO2を導入
し、形成開始直後に、これらのガスの導入を中止する方
法、形成開始前または形成開始と同時に雰囲気中にN2
および/またはO2を導入し、形成開始直後に、これら
のガスの濃度を低下させる方法、形成しているあいだ、
連続してN2および/またはO2を導入する方法、などを
利用することが好ましい。また、これらの方法のほか、
記録層をスパッタ法により形成する際に、雰囲気中にN
2および/またはO2を導入しながら形成し、形成終了直
前にこれらのガスの濃度を高くする方法、記録層形成
後、N2および/またはO2を含む雰囲気中で放電処理を
施してから第2誘電体層を形成する方法、などを用いて
もよい。また、上記方法の2種以上を併用してもよい。
【0065】第2誘電体層に窒素および/または酸素を
導入する際に用いるガス(以下、導入ガスという)は特
に限定されない。例えば、O2以外の酸化性ガス、具体
的には、NO2等のNOxで表される化合物のガスなども
用いることができる。
【0066】第2誘電体層をスパッタ法により形成する
場合に、Ar等の不活性ガスと導入ガスとの混合ガスを
導入する際の流量比[導入ガス/(Ar+導入ガス)]
は、5〜40%とすることが好ましい。
【0067】また、誘電体層に上記金属元素Aを含有さ
せる場合にも、好ましくはArとO2との混合雰囲気中
でスパッタを行う。スパッタ時のO2導入は、金属元素
A単体からなるチップを上記主ターゲット上に載せてス
パッタを行う場合に特に有効であるが、金属元素Aの化
合物からなるチップを主ターゲットに載せたり、主ター
ゲットに金属元素Aの化合物を含有させたりする場合に
も有効である。この場合のスパッタ雰囲気中へのO2
導入量を、Ar等の不活性ガスとO2との流量比[O2
(Ar+O2)]で表すと、この流量比は5〜40%で
あることが好ましい。O2導入量が多すぎると、記録パ
ワーは低下するが消去パワーは変化しないため、消去パ
ワーマージンが極度に狭くなってしまい、好ましくな
い。
【0068】記録層4 本発明では、Ge−Sb−Te系組成の記録層に、Ag
および/またはAu、好ましくはAgまたはAuを添加
する。Ag+Auの含有率は、0.2〜2.5原子%
(2.5原子%を含まず)、好ましくは0.5〜2.0
原子%である。Ag単独の場合の好ましい含有率も同様
であるが、Au単独の場合には、好ましくは0.2〜
1.0原子%である。添加元素の含有率が低すぎると、
記録層の偏析を抑制する効果が不十分となり、本発明の
効果が実現しない。一方、添加元素の含有率が高すぎる
と、結晶化速度が低くなりすぎて、オーバーライトが不
可能となる。
【0069】記録層の組成(原子比)を 式I (GeaSbbTe1-a-b1-cc で表わしたとき、好ましくは 0.08≦a≦0.25、 0.20≦b≦0.40、 0.002≦c<0.025 である。なお、Mは、AgおよびAuの少なくとも1種
である。
【0070】上記式Iにおいてaが小さすぎると、記録
マークが結晶化しにくくなり、消去率が低くなってしま
う。aが大きすぎると、多量のTeがGeと結合するこ
とになり、その結果、Sbが析出して記録マークが形成
しにくくなる。
【0071】式Iにおいてbが小さすぎると、Teが多
くなりすぎるために高温での保存時に記録マークが結晶
化しやすくなって、信頼性が低くなってしまう。bが大
きすぎると、Sbが析出して記録マークが形成しにくく
なる。
【0072】式Iにおけるcの限定理由、すなわちAg
+Auの比率の限定理由は、前述したとおりである。
【0073】記録層の組成は、EPMAやX線マイクロ
アナリシス、ICPなどにより測定することができる。
【0074】記録層の厚さは、14〜50nmであること
が好ましい。記録層が薄すぎると結晶相の成長が困難と
なり、相変化に伴なう反射率変化が不十分となる。一
方、記録層が厚すぎると、反射率および変調度が低くな
ってしまう。
【0075】記録層の形成は、スパッタ法により行うこ
とが好ましい。スパッタ条件は特に限定されず、例え
ば、複数の元素を含む材料をスパッタする際には、合金
ターゲットを用いてもよく、ターゲットを複数個用いる
多元スパッタ法を用いてもよい。
【0076】反射層5 反射層の材質は特に限定されないが、通常、Al、A
u、Ag、Pt、Cu、Ni、Cr、Ti等の単体ある
いはこれらの1種以上を含む合金などの高反射率金属か
ら構成すればよい。反射層の厚さは、30〜300nmと
することが好ましい。厚さが前記範囲未満であると十分
な反射率が得られにくくなる。また、前記範囲を超えて
も反射率の向上は小さく、コスト的に不利になる。反射
層は、スパッタ法や蒸着法等の気相成長法により形成す
ることが好ましい。
【0077】保護層6 保護層は、耐擦傷性や耐食性の向上のために設けられ
る。この保護層は種々の有機系の物質から構成されるこ
とが好ましいが、特に、放射線硬化型化合物やその組成
物を、電子線、紫外線等の放射線により硬化させた物質
から構成されることが好ましい。保護層の厚さは、通
常、0.1〜100μm程度であり、スピンコート、グ
ラビア塗布、スプレーコート、ディッピング等、通常の
方法により形成すればよい。
【0078】接着層 接着層を構成する接着剤は特に限定されず、例えば、ホ
ットメルト型接着剤、紫外線硬化型接着剤、常温硬化型
接着剤等のいずれであってもよく、粘着剤であってもよ
い。
【0079】図3、図4の構成(吸収率補正構造) 図3および図4に、本発明が適用される光記録媒体の他
の構成例を示す。本明細書では、これらの光記録媒体を
吸収率補正構造の媒体という。以下、吸収率補正構造を
選択する理由を説明する。
【0080】相変化型光記録媒体では、結晶−非結晶間
の反射率の違いを利用するため、記録マーク以外の領域
(結晶状態)における光吸収率(Ac)と記録マーク
(非結晶状態)における光吸収率(Aa)とが異なるこ
とが多く、一般にAc<Aaとなっている。なお、Ac
およびAaは、いずれも記録再生用レーザー光の波長に
おける値である。このため、オーバーライト領域が結晶
であったか非結晶であったかによって記録感度および消
去率が異なることになる。この結果、オーバーライトに
よって形成される記録マークに長さおよび幅のばらつき
が生じて、ジッターが大きくなり、エラーとなることも
ある。高密度化のために記録マークの両端に情報を担持
させるマークエッジ記録を行っている場合には、記録マ
ークの長さの変動の影響を受けやすいため、エラーがさ
らに多くなってしまう。
【0081】この問題を解決するためには、AcをAa
に近づけることが好ましい。具体的には、好ましくはA
c/Aa≧0.9とし、さらに好ましくはAc/Aa≧
1とし、最も好ましくは、潜熱の影響を考慮してAc/
Aa>1とすることが望ましい。このためには、記録層
やそれを挟んで設けられる誘電体層の厚さを制御すれば
よいが、通常の構造の媒体では、Ac/Aaを大きくし
ていくと記録マーク以外の領域における媒体からの反射
率(Rc)と記録マークにおける媒体からの反射率(R
a)との差が小さくなって、C/Nが低くなるという問
題が生じてしまう。
【0082】このような事情から、例えば特開平8−1
24218号公報では、基体上に第1誘電体層、記録
層、第2誘電体層、反射層、第3誘電体層、紫外線硬化
樹脂層を順に積層した構成の光学情報記録媒体におい
て、Ac>Aaとし、反射層として透過性の極薄金属
膜、SiまたはGeを用い、第3誘電体層として屈折率
が1.5より大きな誘電体を用いる旨の提案がなされて
いる。光透過性の反射層と高屈折率の第3誘電体層とを
設けることにより、Rc−Raを大きく保ったままAc
/Aaを上記範囲とすることが可能となる。
【0083】なお、AcおよびAaは、記録層、誘電体
層、反射層等の各層の光学定数と記録再生用レーザー光
の波長とから、算出することができる。
【0084】図3および図4にそれぞれ示す光記録媒体
は、反射層5を上記特開平8−124218号公報に記
載された反射層と同様な構成とし、反射層5と保護層6
との間に第3誘電体層33を設けた片面記録型媒体であ
る。この構成においても、図1に示す片面記録型媒体と
同様に、2枚を接着して両面記録型媒体としたり、保護
基体を接着したりしてもよい。
【0085】図3および図4において反射層5は、光透
過率が高い極薄の金属層から構成されるか、記録・再生
波長が含まれる近赤外から赤外域にかけての透過性が高
いSiやGe等から構成されることが好ましい。反射層
の厚さは、記録層の記録マーク以外の領域と記録マーク
との間での吸収率差を補正できるように適宜決定すれば
よい。反射層の好ましい厚さ範囲は構成材料によって大
きく異なるので、構成材料に応じて厚さを適宜決定すれ
ばよい。例えばAu等の金属を用いる場合には、反射層
の厚さを好ましくは40nm以下、より好ましくは10〜
30nmとし、SiまたはGeを用いる場合には、反射層
の厚さを好ましくは80nm以下、より好ましくは30〜
70nmとする。反射層が薄すぎるとC/Nの低下を招
き、反射層が厚すぎると前述した吸収率補正効果が不十
分となる。
【0086】反射層を金属から構成する場合、Auまた
はAu合金が好ましい。Au合金としては、Auを主成
分とし、Al、Cr、Cu、Ge、Co、Ni、Mo、
Ag、Pt、Pd、Ta、Ti、BiおよびSbの少な
くとも1種を含むものが好ましい。
【0087】この反射層も、スパッタ法や蒸着法等の気
相成長法により形成することが好ましい。
【0088】反射層5上に必要に応じて設けられる第3
誘電体層33は、好ましくは保護層6よりも屈折率の高
い材料から構成する。このような第3誘電体層を設ける
ことにより、前記特開平8−124218号公報記載の
発明と同様に、記録マークとそれ以外の領域との間の反
射率差を大きく保ったまま、前記Ac/Aaを大きくす
ることができる。
【0089】第3誘電体層の構成材料は特に限定され
ず、他の誘電体層の説明において挙げた各種誘電体から
選択すればよいが、好ましくは硫化亜鉛および酸化ケイ
素を主成分にする。
【0090】第3誘電体層の厚さは、好ましくは30〜
120nm、より好ましくは40〜90nmである。第3誘
電体層が薄すぎると信号出力が低くなってしまい、厚す
ぎると、隣接トラックの信号が消去される現象(クロス
イレーズ)が生じてしまう。
【0091】上記したようにAcとAaとを制御する構
造では、通常、透明基板の下側から照射される記録再生
用レーザー光は透過し、反射層側から出射される。この
ときの透過率、すなわち入射光に対する透過光の比率
は、通常、1%程度以上、特に3%程度以上である。な
お、この透過率は、透明基板上に無機層だけが存在する
状態で測定した値である。すなわち、図3および図4の
構成では保護層6を除いた状態であり、記録層、誘電体
層、反射層等の無機層間での多重反射の結果としての透
過率を意味する。なお、この透過率は、分光光度計で測
定することができる。測定する領域は特に限定されず、
結晶質部であっても非晶質部であってもよいが、通常
は、グルーブの存在しない結晶質領域(ミラー部)で測
定すればよい。
【0092】図3および図4にそれぞれ示す光記録媒体
において、基体2、記録層4および保護層6は、図1お
よび図2にそれぞれ示す光記録媒体と同様な構成とすれ
ばよい。ただし、記録層4の好ましい厚さは、10〜5
0nmである。
【0093】吸収率補正構造の媒体における第1誘電体
層31の構成および第2誘電体層32の構成は特に限定
されないが、オーバーライト可能回数をさらに多くする
ためには、各誘電体層を以下に説明する構成とすること
が好ましい。
【0094】第1誘電体層31は、前述した反射型構造
の媒体の説明における第1誘電体層と同じ構成とするこ
とが好ましい。
【0095】第2誘電体層32は、単層構造(図3参
照)としてもよく、必要に応じて積層構造(図4参照)
としてもよい。いずれの場合でも、第2誘電体層32の
記録層4に接して存在する領域、すなわち、図3では第
2誘電体層32全体、図4では誘電体層2aを、好まし
くは、窒化ゲルマニウムおよび/または窒化ケイ素を主
成分とするか、希土類酸化物を主成分とするか、酸化ケ
イ素を主成分とするか、硫化亜鉛および酸化ケイ素を主
成分とするものとし、より好ましくは、窒化ゲルマニウ
ムおよび/または窒化ケイ素を主成分とするか、硫化亜
鉛および酸化ケイ素を主成分とするものとし、さらに好
ましくは、窒化ゲルマニウムまたは窒化ケイ素から構成
する。ただし、上記領域の主成分を硫化亜鉛および酸化
ケイ素とする場合には、酸化ケイ素含有率を好ましくは
40モル%以上、より好ましくは40〜80モル%、さ
らに好ましくは40〜60モル%とする。酸化ケイ素含
有率が低すぎると、記録層へのZnやSの拡散の影響が
大きくなる。一方、酸化ケイ素含有率が高すぎると、初
期化やオーバーライトの際に第2誘電体層に剥離が生じ
やすくなる。
【0096】第2誘電体層32に用いる希土類元素は特
に限定されず、例えばCe、La、Y、Pr、Nd、P
m、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、T
m、Yb、Lu等の少なくとも1種を用いればよいが、
好ましくはCe、La、Yの少なくとも1種を用いる。
【0097】図4において誘電体層2a上に設けられる
誘電体層2bの組成は特に限定されないが、通常、硫化
亜鉛および酸化ケイ素を主成分とするものとすればよ
い。その場合の酸化ケイ素含有率は特に限定されない
が、好ましくは2〜40モル%(40モル%を含まず)
とする。
【0098】第2誘電体層32の厚さは、10〜50n
m、好ましくは13〜35nmである。第2誘電体層をこ
のような厚さとすることにより冷却速度が速くなるの
で、記録マークのエッジが明瞭となってジッターが小さ
くなる。また、このような厚さとすることにより、変調
度を高くすることができる。なお、第2誘電体層中にお
いて記録層に接して存在する前記領域(例えば図4にお
ける誘電体層2a)の厚さは、好ましくは1nm以上、よ
り好ましくは5nm以上である。前記領域が薄すぎると、
バリア層としての効果が不十分となる。
【0099】記録再生方法 本発明の光記録媒体へのオーバーライトは、従来の相変
化型光記録媒体へのオーバーライトと同様にして行うこ
とができる。ただし、前述した反射型構造の媒体におい
ては、好ましくは、オーバーライトに使用するレーザー
ビームの変調パターンを次に説明するものとする。
【0100】反射型構造の媒体に対し好ましく使用され
るレーザービームの変調パターンを、図5(a)および
図5(b)に示す。図5(a)は、3T信号記録用の変
調パターン(記録パルスパターン)であり、図5(b)
は、11T信号記録用の変調パターンである。各図にお
いて、横方向は時間、縦方向はレーザービームのパワー
レベルである。なお、各図には、3Tおよび11TのN
RZI信号パターンを併記してある。
【0101】これらの変調パターンにおけるパワーレベ
ルは、PP(ピークパワー)と、PPよりも低いPB1(バ
イアスパワー1)と、PB1よりも低いPB2(バイアスパ
ワー2)との3段階である。記録パワーをパルス変調す
ることは従来も行われているが、その場合には、記録パ
ルスのボトム値は消去パワーであるPB1となっていた。
これに対し、このパターンの特徴は、記録パルスを、ピ
ーク値PP、ボトム値PB 2とし、かつ最終パルス照射後
に、パワーレベルをいったんボトム値PB2まで低下させ
た後、消去パワーレベルであるPB1に戻すことである。
記録パルスをこのようなパターンとすることにより、記
録密度を高くした場合でも記録マークの形状が歪みにく
くなり、ジッターの増大を抑えることができる。
【0102】PP、PB1およびPB2は、記録層の組成や
媒体の線速度などによっても異なるが、通常、それぞれ
9〜12mW、4〜6mWおよび0〜2mWの範囲内から選択
される。なお、吸収率補正構造の媒体における記録パワ
ーおよび消去パワーも、通常、それぞれ9〜12mWおよ
び4〜6mWの範囲から選択される。
【0103】本発明の光記録媒体にオーバーライトを行
う際に、レーザービームに対する記録層の線速度は特に
限定されないが、記録層を上記組成とした場合には、線
速度は、通常、0.8〜20m/s程度、好ましくは1.
2〜16m/sである。
【0104】上記組成の記録層を有する光記録媒体で
は、書き換えおよび再生に用いる光を、広い波長域、例
えば100〜5000nmの範囲から自在に選択できる。
【0105】
【実施例】以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明
をさらに詳細に説明する。
【0106】実施例1(反射型構造) 射出成形によりグルーブ(幅0.74μm、深さ65n
m、ピッチ1.48μm)を同時形成した直径120mm、
厚さ0.6mmのディスク状ポリカーボネート基体2の表
面に、第1誘電体層31、記録層4、第2誘電体層3
2、反射層5および保護層6を以下に示す手順で形成
し、図1または図2に示す構成を有する光記録ディスク
サンプルとした。
【0107】第1誘電体層31を構成する各誘電体層の
組成および厚さを、表1に示す。なお、単層構成の第1
誘電体層の組成および厚さについては、表1の誘電体層
1aの欄に示してある。各誘電体層のうち、ZnS−S
iO2からなるものは、Ar雰囲気中においてスパッタ
法により形成し、Si34またはGe34からなるもの
は、それぞれSiまたはGeのターゲットを用い、窒素
を含有するAr雰囲気中において反応性スパッタ法によ
り形成した。
【0108】記録層4は、Ar雰囲気中において、ター
ゲットにGe2Sb2Te5(原子比)とAgまたはAu
とを用い、スパッタ法により形成した。なお、比較のた
めに、AgおよびAuのいずれも添加しない記録層も形
成した。記録層中のAgまたはAuの含有率および記録
層の厚さを、表1に示す。
【0109】第2誘電体層32を構成する各誘電体層の
組成および厚さを、表1に示す。なお、単層構成の第2
誘電体の組成および厚さについては、表1の誘電体層2
aの欄に示してある。誘電体層2aの欄に示したもの
は、ターゲットにZnS−SiO2を用いてAr+N2
囲気中でスパッタ法により形成した。流量比[N2
(Ar+N2)]は、18%とした。ただし、記録層に
AgおよびAuのいずれも添加しなかった場合には、ス
パッタの際の雰囲気を純Arとした。誘電体層2bは、
Ar雰囲気中でスパッタ法により形成した。
【0110】反射層5は、Ar雰囲気中においてスパッ
タ法により形成した。ターゲットにはAl−1.7原子
%Crを用いた。反射層の厚さは150nmとした。
【0111】保護層6は、紫外線硬化型樹脂をスピンコ
ート法により塗布後、紫外線照射により硬化して形成し
た。硬化後の保護層厚さは5μm であった。
【0112】このようにして作製した各サンプルの記録
層を、バルクイレーザーを用いて固相で初期化した。初
期化後の記録層の結晶粒径は、約100nmであった。次
いで、各サンプルを光記録媒体評価装置(波長638n
m、開口率NA=0.6、線速度6m/s)に載せ、以下の
記録パルスを用いて、繰り返しオーバーライトにおける
特性評価を行った。
【0113】記録パルス パルスパターン:図5(a)、図5(b)に例示される
パターン、 記録パワー(ピークパワー):11.0mW、 消去パワー(バイアスパワー1):5.0mW、 ボトムパワー(バイアスパワー2):0.5mW
【0114】なお、オーバーライトは、以下の2方法で
行った。第1の方法は、光記録媒体評価装置における通
常のオーバーライト方法であり、記録マークを完全に重
ねるための書き込みタイミング制御を行わなかったもの
である。第2の方法は、第1の方法に比べ、実際の光デ
ィスク駆動装置におけるオーバーライトパターンに近
く、かつ、より厳しい評価が可能な方法であり、記録マ
ークが完全に重なるようにタイミングを制御しながら、
同一の信号パターンをオーバーライトする方法である。
【0115】第1の方法および第2の方法のそれぞれに
おけるオーバーライト可能回数を、表1に示す。なお、
この実施例におけるオーバーライト可能回数は、ジッタ
ーが13%以下に収まる最大のオーバーライト回数であ
る。
【0116】
【表1】
【0117】表1から、本発明の効果が明らかである。
すなわち、AgまたはAuを所定量添加した本発明のサ
ンプルでは、第1の方法においても第2の方法において
もオーバーライト可能回数は十分な値となっている。こ
れに対し、記録層にAgまたはAuを添加せず、かつ誘
電体層が本発明における好ましい構成となっていないサ
ンプルNo.17では、第1の方法においてもオーバーラ
イト可能回数は約1000回にすぎない。また、誘電体
層は本発明における好ましい構成としたが記録層にAg
またはAuを添加しなかったサンプルNo.18は、第1
の方法ではオーバーライトが10万回以上可能であった
が、第2の方法では約60回と少なくなっている。な
お、記録層のAg含有率が高すぎるサンプルNo.19で
は、消去が不可能であった。
【0118】実施例2(反射型構造) 各層を表2に示す構成としたほかは実施例1のサンプル
と同様にして、光記録ディスクサンプルを作製した。な
お、Cr23からなる誘電体層は、Cr23をターゲッ
トしてAr雰囲気中でスパッタ法により形成した。ま
た、サンプルNo.20の第2誘電体層32は、ターゲッ
トにZnS−SiO2を用いてAr+N2雰囲気中でスパ
ッタ法により形成した。流量比[N2/(Ar+N2)]
は、18%とした。
【0119】なお、Si34からなる誘電体層の熱伝導
率は10W/mK、ZnS(85モル%)−SiO2(15
モル%)からなる誘電体層の熱伝導率は0.6W/mKであ
った。この熱伝導率は、各誘電体層形成の際と同じ条件
で基板表面に形成した厚さ1μmの誘電体膜について、
迅速熱伝導率計(Kemtherm QTM-500)により測定した結
果である。この迅速熱伝導率計による計測方法は、QT
M法と呼ばれるもので、熱伝導率が既知である基材の表
面に加熱線と熱電対とを配置したプローブを用い、この
プローブの前記表面に測定対象を密着させて測定する方
法である。具体的には、厚さ1μmの前記誘電体膜を形
成した基板と、前記誘電体膜を形成しない基板とについ
てそれぞれ測定を行い、これらの結果から前記誘電体膜
の熱伝導率を求めた。
【0120】これらのサンプルを実施例1と同様にして
初期化した後、特性評価を行った。結果を表2に示す。
【0121】
【表2】
【0122】表2の各サンプルでは、表1のサンプルと
同様に優れた特性が得られていることがわかる。
【0123】実施例3(吸収率補正構造) 射出成形によりグルーブ(幅0.60μm、深さ50n
m、ピッチ1.20μm)を同時形成した直径120mm、
厚さ0.6mmのディスク状ポリカーボネート基体2の表
面に、第1誘電体層31、記録層4、第2誘電体層3
2、反射層5、第3誘電体層33および保護層6を以下
に示す手順で形成し、図3に示す構成を有する光記録デ
ィスクサンプルとした。
【0124】第1誘電体層31および第2誘電体層32
を構成する各誘電体層の組成および厚さを、表3に示
す。なお、第1誘電体層を単層構成とした場合の組成お
よび厚さについては、表3の誘電体層1aの欄に示して
あり、第2誘電体層を単層構成とした場合の組成および
厚さについては、表3の誘電体層2aの欄に示してあ
る。各誘電体層の形成方法は、実施例1と同様とした。
【0125】記録層4は、Ar雰囲気中において、ター
ゲットにGe2Sb2Te5(原子比)とAgとを用いた
スパッタ法により形成した。記録層中のAgの含有率お
よび記録層の厚さを、表3に示す。なお、比較のため
に、Agを添加しない記録層も形成した。
【0126】反射層5は、Ar雰囲気中においてスパッ
タ法により形成した。ターゲットにはSiを用いた。反
射層の厚さは50nmとした。
【0127】第3誘電体層33は、Ar雰囲気中におい
てスパッタ法により形成した。ターゲットには、ZnS
(85モル%)−SiO2(15モル%)を用いた。第
3誘電体層の厚さは60nmとした。
【0128】保護層6は、実施例1と同様にして形成し
た。
【0129】このようにして作製した各サンプルの記録
層を、バルクイレーザーを用いて固相で初期化した。初
期化後の記録層の結晶粒径は、約100nmであった。初
期化後、保護層6を除いた状態で基体2側から波長68
0nmのレーザー光を照射し、ミラー部(結晶質)におけ
る透過率を分光光度計で測定したところ、5%以上であ
った。なお、各サンプルの波長680nmにおけるAc/
Aaは、0.9以上となる。次いで、各サンプルを光記
録媒体評価装置(波長680nm、開口率NA=0.6)
に載せ、1−7RLL信号を繰り返しオーバーライト
し、特性評価を行った。線速度は、表3のサンプルNo.
25では12m/sとし、サンプルNo.26では14m/sと
した。記録パワーは10mW、消去パワーは5mWとした。
なお、オーバーライトに際しては、実施例1で用いた第
1の方法と同様に、記録マークを完全に重ねるための書
き込みタイミング制御は行わなかった。各サンプルのオ
ーバーライト可能回数を、表3に示す。この実施例にお
けるオーバーライト可能回数は、ビットエラーレート
(BER)が5.0×10-7以下に収まる最大のオーバ
ーライト回数である。
【0130】
【表3】
【0131】表3に示される結果から、吸収率補正構造
の媒体においても本発明の効果が実現することがわか
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光記録媒体(反射型構造)の構成例を
示す部分断面図である。
【図2】本発明の光記録媒体(反射型構造)の構成例を
示す部分断面図である。
【図3】本発明の光記録媒体(吸収率補正構造)の構成
例を示す部分断面図である。
【図4】本発明の光記録媒体(吸収率補正構造)の構成
例を示す部分断面図である。
【図5】(a)および(b)は、本発明の光記録媒体
(反射型構造)のオーバーライトに使用されるレーザー
ビームの変調パターンを示すグラフである。
【符号の説明】
2 基体 31 第1誘電体層 32 第2誘電体層 33 第3誘電体層 4 記録層 5 反射層 6 保護層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G11B 7/24 535 G11B 7/24 535H

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基体上に相変化型の記録層を有し、この
    記録層が、Ge、SbおよびTeを主成分とし、Agお
    よびAuの少なくとも1種を合計で0.2〜2.5原子
    %(2.5原子%を含まず)含有する光記録媒体。
  2. 【請求項2】 記録層の下側および上側にそれぞれ記録
    層と接する第1誘電体層および第2誘電体層を有し、第
    2誘電体層上に金属からなる反射層を有し、 第1誘電体層が、基体側に誘電体層1aを、記録層側に
    誘電体層1bをそれぞれ含み、 誘電体層1aが硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成分と
    し、 誘電体層1bが窒化ケイ素および/または窒化ゲルマニ
    ウムを主成分とするか、酸化ケイ素を主成分とするか、
    硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成分とするか、酸化クロ
    ムを主成分とするものであり、 誘電体層1bが硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成分とす
    るとき、これらをそれぞれZnSおよびSiO2に換算
    して求めた酸化ケイ素含有率[SiO2/(ZnS+S
    iO2)]が40モル%以上であり、 第2誘電体層が、硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成分と
    するか、酸化ケイ素を主成分とするか、希土類酸化物を
    主成分とするか、窒化ゲルマニウムを主成分とする請求
    項1の光記録媒体。
  3. 【請求項3】 記録層の下側および上側にそれぞれ記録
    層と接する第1誘電体層および第2誘電体層を有し、第
    2誘電体層上に金属からなる反射層を有し、 第1誘電体層が、基体側に誘電体層1aを、記録層側に
    誘電体層1bをそれぞれ含み、 誘電体層1aが硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成分と
    し、 誘電体層1bが窒化ケイ素および/または窒化ゲルマニ
    ウムを主成分とするか、酸化ケイ素を主成分とするか、
    硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成分とするか、酸化クロ
    ムを主成分とするものであり、 誘電体層1bが硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成分とす
    るとき、これらをそれぞれZnSおよびSiO2に換算
    して求めた酸化ケイ素含有率[SiO2/(ZnS+S
    iO2)]が40モル%以上であり、 第2誘電体層が、記録層側に誘電体層2aを、反射層側
    に誘電体層2bをそれぞれ含み、 誘電体層2aが、硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成分
    し、かつ、誘電体層2bが、酸化ケイ素または希土類酸
    化物を主成分とするか、 誘電体層2aが、窒化ケイ素および/または窒化ゲルマ
    ニウムを主成分とするか、酸化クロムを主成分とし、か
    つ、誘電体層2bが、誘電体層2aよりも熱伝導率の低
    い誘電体材料を主成分とする請求項1の光記録媒体。
  4. 【請求項4】 誘電体層1bの厚さが0.5〜40nmで
    ある請求項2または3の光記録媒体。
  5. 【請求項5】 誘電体層1bが、窒化ケイ素を主成分と
    し、かつ、厚さが0.5〜5nm(ただし5nmを含まず)
    である請求項3の光記録媒体。
  6. 【請求項6】 硫化亜鉛および酸化ケイ素をそれぞれZ
    nSおよびSiO2に換算して酸化ケイ素含有率[Si
    2/(ZnS+SiO2)]を求めたとき、誘電体層1
    aの酸化ケイ素含有率が2〜40モル%(40モル%を
    含まず)である請求項2〜5のいずれかの光記録媒体。
  7. 【請求項7】 記録層の下側および上側にそれぞれ記録
    層と接する第1誘電体層および第2誘電体層を有し、 記録再生光波長における媒体の光吸収率を、記録層の結
    晶質部でAcとし、非結晶質部でAaとしたとき、 Ac/Aa≧0.9 であり、 第1誘電体層が、基体側に誘電体層1aを、記録層側に
    誘電体層1bをそれぞれ含み、 誘電体層1bが、窒化ゲルマニウムおよび/または窒化
    ケイ素を主成分とし、 誘電体層1aが、硫化亜鉛および酸化ケイ素を主成分と
    し、 第2誘電体層のうち少なくとも記録層に接して存在する
    領域が、窒化ゲルマニウムおよび/または窒化ケイ素を
    主成分とするか、希土類酸化物を主成分とするか、酸化
    ケイ素を主成分とするか、硫化亜鉛および酸化ケイ素を
    主成分とするものであり、前記領域が硫化亜鉛および酸
    化ケイ素を主成分とするものである場合、硫化亜鉛およ
    び酸化ケイ素をそれぞれZnSおよびSiO2に換算し
    て求めた酸化ケイ素含有率[SiO2/(ZnS+Si
    2)]が40モル%以上である請求項1の光記録媒
    体。
  8. 【請求項8】 誘電体層1bの厚さが0.5〜40nmで
    ある請求項7の光記録媒体。
  9. 【請求項9】 誘電体層1bが、窒化ケイ素を主成分と
    し、かつ、厚さが0.5〜5nm(ただし5nmを含まず)
    である請求項7の光記録媒体。
  10. 【請求項10】 硫化亜鉛および酸化ケイ素をそれぞれ
    ZnSおよびSiO2に換算して酸化ケイ素含有率[S
    iO2/(ZnS+SiO2)]を求めたとき、誘電体層
    1aの酸化ケイ素含有率が2〜40モル%(40モル%
    を含まず)である請求項7〜9のいずれかの光記録媒
    体。
  11. 【請求項11】 第2誘電体層上に反射層を有し、この
    反射層が、金属から構成された厚さ40nm以下のもので
    あるか、SiまたはGeから構成された厚さ80nm以下
    のものである請求項7〜10のいずれかの光記録媒体。
  12. 【請求項12】 反射層上に第3誘電体層を有する請求
    項11の光記録媒体。
  13. 【請求項13】 記録層の平均結晶粒径が20〜150
    nmである請求項1〜12のいずれかの光記録媒体。
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