KR100388321B1 - 온도조절장치용 열교환장치 - Google Patents

온도조절장치용 열교환장치 Download PDF

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KR100388321B1
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Abstract

소형임에도 불구하고 유체로의 전열면적을 크게 할 수 있고, 열교환의 효율이 우수하고, 필요에 따라 전열면적을 간단하게 증감할 수 있고, 제작비용이 저렴한 온도조절장치용 열교환장치를 제공한다. 판상의 열교환판(2, 3)과 복수의 서모모듈(4A)을 교대로 겹쳐 적층구조로 하고, 상기 열교환판은 래버린스(labyrinth)구조의 유로가 형성된 유로형성판(5)을 얇은 셸(7)로 둘러싼 구조로 하고, 상기 셸은 유체가 유입하는 유입구멍 및 상기 래버린스구조의 유로를 통과한 유체가 유출하는 유출구멍을 구비하고, 상기 서모모듈로서는 펠티에소자(peltier element)가 이용된다.

Description

온도조절장치용 열교환장치{HEAT EXCHANGER FOR TEMPERATURE CONTROL}
본 발명은 반도체관련제조장치 등에 있어서, 파이프 등의 유로를 흐르는 침식성 유체(예를 들면, 현상액이나 포트레지스트 등의 금속이온의 유입을 꺼리는 액체)를 냉각 또는 가열함으로써 온도조절하기 위한 온도조절장치 등에 이용되는 열교환장치에 관한 것이다.
침식성 유체를 온도조절하는 장치로서, 도 10에 도시되어 있듯이 펠티에소자를 이용한 것이 있다.
도 10에 도시된 온도조절장치에서는, 관로(管路)(44)를 흐르는 침식성유체와 열교환하는 열용량이 큰 열교환블록(42)의 표면에 서모모듈로서의 펠티에소자(41)를 밀착고정하고, 상기 펠티에소자(41)의 열교환블록(42)과는 반대측에 열이송수단 (43)을 밀착고정해서, 상기 펠티에소자(41)의 동작제어에 의해 상기 침식성유체를 목표온도로 온도조절하고 있다.
상기 온도조절장치에서는, 펠티에소자(41)의 흡열측(즉, 냉각면측)에 열교환블록(42)을 설치하고, 펠티에소자(41)의 방열측(즉, 가열면측)에 열이송수단(43)을 설치하고 있으므로, 관로(44)를 흐르는 침식성 유체는 열교환블록(42)을 통해 펠티에소자(41)에 의해 냉각되는 동시에, 침식성유체로부터 방출된 열은 펠티에소자 (41)의 방열측으로 이동하고, 열이송수단(43)안의 관로(45)를 흐르는 냉각수에 전열됨으로써 방열된다.
그러나, 상기 종래의 온도조절장치에서는, 펠티에소자(41)로부터의 냉열(冷熱)은 열교환블록(42) 내의 관로(44)를 통해 관로(44)를 흐르는 침식성유체에 전열되고, 펠티에소자(41)로부터의 방열(放熱)은 열이송수단(43) 내의 관로(45)를 통해 관로(45)를 흐르는 냉각수에 전열되므로, 펠티에소자(41)의 흡열측 및 방열측 모두 전열면적을 크게 할 수 없고, 열교환의 효율이 낮다는 문제가 있었다.
따라서, 서모모듈에 부여되는 방열측과 흡열측의 온도차의 유효한 이용이 도모되지 않고, 열교환장치가 대형화하거나, 전력의 유효한 이용을 할 수 없다는 문제가 있었다.
또, 전열면적의 변경은 제작후는 물론, 제작전에서도 설계변경이 필요하게 되고, 필요에 따라 전열면적을 간단하게 증감할 수 없었다.
그리고, 종래의 온도조절장치에서는, 열교환블록(42)안의 관로(44)나 열이송수단(43)안의 관로(45)를 통해 관로안을 흐르는 유체에 전열하고 있으므로, 열교환장치의 제작비용이 높다라는 문제가 있었다.
본 발명의 과제는 소형임에도 불구하고 유체로의 전열면적을 크게 할 수 있고, 열교환의 효율이 우수하고, 필요에 따라 전열면적을 간단하게 증감할 수 있고, 제작비용이 저렴한 온도조절장치용 열교환장치를 제공하는 데에 있다.
도 1은 본 발명에 따른 온도조절장치용 열교환장치의 일실시예를 도시한 종단면도이다.
도 2는 도 1의 A-A선의 단면도이다.
도 3은 도 1의 B-B선측에서 본 도면이다.
도 4는 도 1의 C-C선측에서 본 도면이다.
도 5는 본 발명의 열교환장치에서 이용되는 열교환판의 평면도이다.
도 6은 도 5의 정면측 단면도이다.
도 7은 유로형성판을 구성하는 박판(11)의 구체적 구성을 도시한 평면도이다.
도 8은 유로형성판을 구성하는 다른 박판(12)의 구체적 구성을 도시한 평면도이다.
도 9는 본 발명에 따른 온도조절장치용 열교환장치의 다른 실시예를 도시한 종단면도이다.
도 10의 (a) 및 (b)는 종래장치를 도시한 도면으로서, (a)는 (b)에 있어서의 D-D선의 단면도이고, (b)는 (a)에 있어서의 E-E선의 단면도이다.
(부호의 설명)
1-----온도조절장치용 열교환장치 2, 3-----열교환판
4-----열판 4A------서모모듈
5-----유로형성판 6-----유로
7-----셸 11, 12-----박판
13∼20----개구 31∼34-----헤더
35, 37-----접속배관
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 온도조절장치용 열교환장치는, 판상의 복수의 흡열측 열교환판, 복수의 방열측 열교환판 및 복수의 열판을 겹쳐 적층구조로 하고, 상기 흡열측 및 방열측 열교환판은 래버린스구조의 유로가 형성된 유로형성판을 셸로 둘러싼 구조로 되어 있고, 상기 유로형성판은 복수의 개구를 갖는 2장 이상의 박판을, 인접하는 각 박판의 하나의 개구가 다른 쪽의 박판의 인접하는 두 개의 개구와 서로 일부 겹치도록 해서 적층함으로써, 상기 래버린스구조의 유로가 형성되어 있고, 상기 셸은 유체가 유입하는 유입구멍 및 상기 래버린스구조의 유로를 통과한 유체가 유출하는 유출구멍을 가지고 있고, 상기 각 흡열측 열교환판은 열교환장치의 길이방향 중 한쪽 방향을 향하여 돌출하고, 상기 방열측 열교환판은 열교환장치의 길이방향 중 다른 방향을 향하여 돌출하고, 상기 열교환장치의 일단측에서는, 2 개의 흡열측 열교환판의 단부 사이에 유입용 헤더와 유출용 헤더가 나란히 부착되어 있고, 열교환장치의 타단측에서는 2개의 방열측 열교환판의 단부 사이에 유입용 헤더와 유출용 헤더가 나란히 부착되어 있으며, 상기 각 헤더는 관의 가장자리벽에 의해 형성되는 통로구멍과, 상기 통로구멍과 직교하고 통로구멍과 연통하며 상기 헤더의 양측의 흡열측 및 방열측 열교환판 내의 상기 유로에 통하는 관통구멍을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명에 따른 온도조절장치용 열교환장치에 있어서는, 상기 흡열측 및 방열측 열교환판의 셸은 얇은 금속판의 주위를 컬링가공에 의해 밀봉하여 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또, 서모모듈로 이루어진 열판을 사이에 둔 2장의 열교환판 중 한 쪽을 흡열측 열교환판, 다른 쪽을 방열측 열교환판으로 하고, 상기 흡열측 열교환판 및 방열측 열교환판에 서모모듈을 사이에 끼워 교대로 겹친 다층구조를 갖게 한 것이 적절하다.
또, 본 발명에 따른 온도조절장치용 열교환장치에 있어서는, 상기 흡열측열교환판 및 방열측 열교환판이 각각 2장이상이고, 상기 셸의 유입구멍 및 유출구멍은 상기 흡열측 열교환판들의 사이, 또는 방열측 열교환판들의 사이에서 각각 열교환판들 사이에 끼워넣어진 공통의 헤더에 접속되어 있는 것으로 할 수 있다.또한, 상기 흡열측 열교환판 및 방열측 열교환판이 각각 3장이상이고, 일부의 흡열측 열교환판과 일부의 방열측 열교환판에 있어서 셀의 유입구멍 및 유출구멍에 각각 상기 헤더가 접속되고, 상기 일부를 제외한 나머지 흡열측 열교환판 및 방열측 열교환판의 유입구멍들의 사이 또는 유출구멍들의 사이는 접속배관에 의해 접속되어 있는 것으로 할 수 있다.
또, 본 발명에 따른 온도조절장치용 열교환장치는 상기 열교환판의 서모모듈로 이루어진 열판을 끼운 한 쪽이 흡열측 열교환판, 다른 쪽이 방열측 열교환판이고, 상기 흡열측 열교환판 및 방열측 열교환판은 열판을 사이에 끼워 교대로 겹친 다층구조이고, 상기 흡열측 열교환판 및 방열측 열교환판은 각각 1장이상인 것을 특징으로 하는 것이다.
또, 본 발명에 따른 온도조절장치용 열교환장치는 상기 흡열측 열교환판 및 방열측 열교환판이 각각 2장이상이 존재하고, 상기 셸의 유입구멍 및 유출구멍이 상기 흡열측 열교환판들의 사이, 또는 방열측 열교환판들의 사이에서 각각 공통의 헤더에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
상기 구성을 갖는 온도조절장치용 열교환장치에 있어서는, 유로형성판에 있어서의 래버린스구조의 유로를, 다수의 개구를 갖는 2장이상의 박판을 인접하는 각 박판의 하나의 개구가 다른 쪽의 박판의 인접하는 두 개의 개구와 서로 일부 겹치도록 해서 적층함으로써 형성하고, 상기 유로형성판을 얇은 셸로 둘러싸서 열교환판을 형성하고 있으므로, 열교환판의 래버린스구조의 유로를 흐르는 유체가 셸벽의 내면측으로 유출할 때에는, 항상 그 셸벽의 전열면에 충돌하고, 혼합·교반되는 것에 의해, 유체와 셸벽의 전열면과의 사이에서 열이 효율적으로 구석구석까지 전달될 뿐만 아니라, 래버린스구조에 의해 전열면적이 증대하고, 대폭적으로 전열효율이 향상된다.
그리고, 본 발명의 온도조절장치용 열교환장치에 의하면, 판상의 열교환판과 복수의 서모모듈을 교대로 겹쳐 적층구조로 하고 있으므로, 간단하게 열교환판의 수를 바꿀 수 있고, 따라서, 필요에 따라 전열량을 간단하게 증감할 수 있다.
또, 상기 유로형성판은 다수의 개구를 갖는 상기 박판을 인접하는 각 박판의 개구의 위치가 서로 일부 겹치도록 해서 적층함으로써 래버린스구조의 유로를 형성하고 있으므로, 래버린스구조의 유로를 갖는 유로형성판을 간단하고, 저렴하게 제조할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 온도조절장치용 열교환장치의 일실시예의 종단면도이다.
본 발명에 따른 온도조절장치용 열교환장치(1)는 판상의 열교환판(2, 3)과, 복수의 서모모듈(4A)에 의해 형성되는 열판(4)을 교대로 겹쳐 적층구조로 하고 있다.
즉, 상기 열교환판(2, 3)은 서모모듈(4A)로 이루어진 열판(4)을 사이에 끼운 한 쪽이 흡열측 열교환판(2), 다른 쪽이 방열측 열교환판(3)이고, 상기 흡열측 열교환판(2) 및 방열측 열교환판(3)은 동일한 구조를 이루고 있고, 서모모듈(4A)을 사이에 두고 교대로 겹쳐진 상기 흡열측 열교환판(2) 및 방열측 열교환판(3)은 각각 1장이상 설치되고, 도시한 바와 같이 다층구조로 할 수 있다.
상기 열교환판(2, 3)은 후술하는 래버린스구조의 유로(6)가 형성된 유로형성판(5)을 얇은 금속판의 셸(7)로 둘러싼 구조로 되어 있고, 상기 셸(7)은 유체가 유입하는 유입구멍(8) 및 상기 래버린스구조의 유로를 통과한 유체가 유출하는 유출구멍(9)(도 2 참조)을 갖고 있다. 상기 열판(4)은 서모모듈에 한정되는 것은 아니고, 가열 또는 냉각을 행하는 임의의 판상부재를 이용할 수 있다. 서모모듈(4A)로서는 통상, 펠티에소자가 이용된다.
그리고, 상기 서모모듈(4A)의 동작제어에 의해 상기 흡열측 열교환판(2)내부를 흐르는 침식성 유체를 목표온도로 온도조절하고, 침식성 유체로부터의 열은 서모모듈의 가열면측의 방열측 열교환판(3)에 전달되고, 방열측 열교환판(3)내부를 흐르는 냉각액으로 방열된다.
도 1 내지 도 4에 도시된 실시예에서는, 상기 흡열측 열교환판(2) 및 방열측 열교환판(3)은 각각 2장씩이고, 상기 셸(7)의 유입구멍(8) 및 유출구멍(9)은 상기 흡열측 열교환판(2)들 사이, 또는 방열측 열교환판(3)들 사이에서 각각 공통의 헤더 (31, 32, 33, 34)에 접속되어 있다.
상기 헤더(31, 32) 또는 상기 헤더(33, 34)는 상기 열교환판의 유입구멍 또는 유출구멍에 유체밀봉식으로 끼워맞춰지는 동시에, 상기 흡열측 열교환판(2, 2)들의 사이 또는 상기 방열측 열교환판(3, 3)들의 사이에 끼워져 고정되고, 그것에 의해 상기 흡열측 열교환판(2, 2) 또는 상기 방열측 열교환판(3, 3)은 헤더를 통해 서로 결합된다.
상기 헤더(31, 32, 33, 34)는 동일한 구조이므로, 상기 흡열측 열교환판(2)에 부착되는 유입용 헤더(31)만을 예로 들어 그 구조를 상술한다.
유입용 헤더(31)에는 관의 가장자리벽(31a)에 의해 형성되는 유체의 유출입용 통로구멍(31c)과, 상기 관의 가장자리벽(31a)과 직교하는 통 형상의 벽(31b)에 의해 형성되고, 내부에 상기 통로구멍(31c)과 직교하고 통로구멍과 연통하는 관통구멍(31d)이 형성되고, 상기 통 형상의 벽(31b)의 양단에는 각각 환형 돌출부(31e)가 설치되고, 상기 환형 돌출부(31e)는 상기 열교환판(2, 2)의 유입구멍(8, 8)에 끼워맞춰지고, 돌출부(31e)에 의해 헤더(31)가 상기 열교환판(2, 2)들의 사이에 끼워져서 고정되어 있다.
또, 상기 환형 돌출부(31e)의 주위에는 환형 오목부(31f)가 설치되고, 상기 환형 오목부(31f)에는 O링으로 이루어진 패킹이 장착되고, 상기 흡열측 열교환판(2)과 상기 유입용 헤더(31)를 유체밀봉식으로 부착하고 있다.
도 2는 도 1의 A-A선의 단면도이고, 화살표로 나타내듯이, 헤더(31)로부터 유입구멍(8)을 통해 열교환판(2)으로 유입해 온 유체는, 상기 래버린스구조의 유로를 도 2의 장치의 우측방향(즉, 장치의 길이방향)으로 흐르고, 열교환판(2)의 우측단의 개구(17, 20)의 부분에서 방향전환하여 좌측으로 되돌아오고, 유출구멍(9)을 통해 유출용 헤더(32)로부터 유출된다.
도 3은 도 1의 B-B선에서 본 도면이고, 도 4는 도 1의 C-C선에서 본 도면이다. 도 3에는 상기 흡열측 열교환판(2)들의 사이에 끼워진 유입용 헤더(31) 및 유출용 헤더(32)가 도시되어 있고, 도 4에는 상기 방열측 열교환판(3)들의 사이에 끼워진 유입용 헤더(33) 및 유출용 헤더(34)가 도시되어 있다.
도 5는 상기 열교환판(2)의 평면도이고, 중심선의 상반부는 상기 유로형성판 (5)을 구성하는 박판(11)(도 7)을 투시하고 있고, 중심선의 하반부는 상기 유로형성판(5)을 구성하는 다른 박판(12)(도 8)을 투시하고 있다.
도 6은 도 5의 정면측 단면도이고, 상기 박판(11, 12)은 이들이 교대로 겹쳐져 3층의 적층구조로 되어 있고, 상기 적층된 박판(11, 12, 11)에 의해 상기 유로형성판(5)이 형성되어 있다.
도 7 및 도 8은 래버린스구조의 유로형성판을 구성하는 박판(11, 12)의 구체적 구성을 나타내고 있다. 상기 유로형성판을 구성하는 박판(11, 12)은 그 길이방향 및 폭방향에 걸쳐 다수의 개구(13, 14)를 구비하고, 또한 도면의 우단측에는 폭방향으로 긴 한 개의 개구(17, 20)를 각각 갖는 동시에, 좌단측에는 상기 셸(7)의 유입구멍(8) 및 유출구멍(9)에 접속되는 유입개구(15, 18) 및 유출개구(16, 19)를 각각 구비하고 있다. 상기 개구(13, 14)는 셸(7)의 내면에 접하는 박판(11)의 개구(13)를 크게 해서, 셸(7)내면과 유체와의 접촉면적을 크게 하는 것이 바람직하지만, 도 1에서 알 수 있듯이, 적어도 다수의 개구를 갖는 2장이상의 박판(11, 12)을 서로 인접하는 각 박판(11, 12)의 한 개의 개구가 다른 쪽의 박판의 인접하는 두 개의 개구와 서로 일부 겹치도록 해서 적층하고 있다.
따라서, 이들 박판(11, 12)으로 이루어진 유로형성판(5)을 얇은 셸(7)로 둘러싸서 열교환판을 형성하면, 래버린스구조의 유로를 흐르는 유체가 셸 벽의 내면측으로 유출할 때에는, 항상 그 셸 벽의 전열면에 충돌하여, 혼합·교반됨으로써 유체와 셸벽의 전열면과의 사이에서 열이 효율적으로 구석구석까지 전달되어 대폭적으로 전열효율이 향상된다.
또, 상기 박판(11, 12)에 있어서의 개구(17, 20)의 길이는 폭방향으로 다수 설치된 개구(13, 14)의 전체영역을 커버하는 길이이고, 또한 개구(20)는 개구(17)와 개구(13)를 관통시키도록 형성되어 있어, 개구(17, 20)에 의해 유체의 방향전환유로가 형성된다.
상기 열교환판의 셸(7)의 밀폐방법으로서는, 금속판의 용접, 납땜에 의해 행할 수도 있지만, 통조림의 가장자리의 시일방법인 컬링가공에 의해 밀봉하는 것이 바람직하다.
상기 열교환판의 셸(7)의 밀폐방법으로서 컬링가공을 이용하면, 상기 열교환판을 저렴하게 제조할 수 있다.
또, 상기 셸(7)의 재료로서는 스테인레스강이 이용되고, 상기 유로형성판을 구성하는 박판(11, 12)의 재료로서는, 스텐레스강뿐만 아니라, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 플라스틱도 이용할 수 있지만, 반드시 이 재료에 한정되는 것은 아니다.
상기 열교환판(2)은 얇은 셸(7)로 둘러싸여져 있지만, 얇은 셸이라도, 서모모듈로 이루어진 열판을 조립할 때에 열판에 의해 유로형성판에 밀착되므로 유체압에 견딜 수 있고, 셸이 얇기 때문에 열저항도 작다.
또한, 상기 유로형성판(5)은 상기 박판(11, 12)을 서로 인접하는 각 박판의 개구의 위치가 서로 일부 겹치도록 해서 적층함으로써 래버린스구조의 유로를 형성하고 있으므로, 그 유로를 흐르는 유체는 셸벽의 전열면에 충돌해서 혼합·교반되고, 유체의 혼합·교반에 의해 열교환효율이 우수한 전열이 행해지는 열교환판을 간단한 구조로 얻을 수 있다.
도 9는 본 발명에 따른 온도조절장치용 열교환장치의 다른 실시예를 도시한 종단면도이고, 본 실시예에서는 상기 흡열측 열교환판(2) 및 방열측 열교환판(3)이 각각 3장씩인 점을 제외하고, 기본적으로는 도 1에 도시한 실시예와 동일한 구성이다.
따라서, 도 9에 있어서는 도 1에 도시된 것과 동일한 구성부품은 같은 부호를 부여하고 있다.
그리고, 도 9에 도시한 실시예에서는, 흡열측 열교환판(2) 및 방열측 열교환판(3)은 각각 3장씩이지만, 열교환판의 수가 증가했다고 해서 그것에 따라 헤더의 수를 늘릴 필요는 없다.
즉, 상기 흡열측 열교환판(2)들의 사이에 끼워진 유입용 헤더(31) 및 유출용 헤더(32)는 각각 1개씩이고, 상기 3장의 흡열측 열교환판(2)의 유입구멍(8) 및 유출구멍(9)은 각각 공통의 유입용 헤더(31) 및 유출용 헤더(32)에 접속된다.
마찬가지로, 상기 방열측 열교환판(3)들의 사이에 끼워진 유입용 헤더(33) 및 유출용 헤더(34)도 각각 1개씩이고, 상기 3장의 방열측 열교환판(3)의 유입구멍(8) 및 유출구멍(9)은 각각 공통의 유입용 헤더(33) 및 유출용 헤더(34)에 접속된다.
상기 헤더(31, 32) 및 헤더(33, 34)는 도 1 내지 도 4에 도시한 실시예와 마찬가지로, 상기 열교환판의 유입구멍(8) 또는 유출구멍(9)에 유체밀봉식으로 끼워맞춰지는 동시에, 상기 흡열측 열교환판(2, 2) 또는 상기 방열측 열교환판(3, 3)들의 사이에 끼워져서 고정되지만, 상기 헤더가 끼워맞춰져 있지 않은 상기 열교환판의 유입구멍(8) 또는 유출구멍(9)에는 상기 흡열측 열교환판(2)들의 사이, 또는 방열측 열교환판(3)들의 사이에서 각각의 유입구멍(8) 또는 유출구멍(9)을 유체가 지나도록 접속하는 접속배관(35, 37)이 유체밀봉식으로 끼워맞춰지고, 그것에 의해 상기 흡열측 열교환판(2, 2) 또는 상기 방열측 열교환판(3, 3)은 접속배관을 통해 서로 결합된다. 도시를 생략하고 있는 유출구멍(9)에 대해서도 동일구조의 접속배관이 이용된다.
상기 접속배관(35, 37)의 양 단부는 그 가장자리벽이 계단으로 되어 있고, 그 계단부에는 O링으로 이루어진 패킹이 장착되고, 상기 흡열측 열교환판(2)과 상기 접속배관을 유체밀봉식으로 부착하고 있다.
도 9에 나타낸 실시예에서는 흡열측 열교환판(2) 및 방열측 열교환판(3)은 각각 3장씩으로 했지만, 흡열측 열교환판(2) 및 방열측 열교환판(3)을 각각 4장이상으로 하는 경우에도 상기 접속배관의 수를 늘리는 것만으로 간단하게 대응할 수 있다.
그리고, 도 9에 도시한 실시예에서는 상기 흡열측 열교환판(2, 2) 및 방열측 열교환판(3, 3)을 헤더 및 접속배관을 통해 각각 서로 결합시키고 전체적으로 한 개의 온도조절장치용 열교환장치로 할 수 있으므로, 간단하고 저렴하게 전열면적을 증대시킬 수 있다.
이상으로 상술한 바와 같이, 본 발명의 온도조절장치용 열교환장치에 의하면, 열교환판이 래버린스구조의 유로가 형성된 유로형성판을 얇은 셸로 둘러싼 구조로 되어 있으므로, 셸의 열저항이 작고, 열교환판의 래버린스구조의 유로를 흐르는 유체가 셸벽의 전열면에 충돌하여 혼합·교반됨으로써 대폭적으로 전열효율을 높일 수 있다.
또한, 본 발명의 온도조절장치용 열교환장치에 의하면, 판상의 열교환판과 복수의 서모모듈로 이루어진 열판을 교대로 겹쳐 적층구조로 하고 있으므로, 간단하게 열교환판의 수를 바꿀 수 있고, 따라서, 필요에 따라 전열면적을 간단하게 증감할 수 있다. 또한, 상기 유로형성판에 있어서는, 상기 복수의 박판을 서로 인접하는 각 박판의 개구의 위치가 서로 일부 겹치도록 해서 적층함으로써 래버린스구조의 유로를 형성하고 있으므로, 래버린스구조의 유로를 갖는 유로형성판을 간단하고 저렴하게 제조할 수 있다.
그리고, 본 발명의 온도조절장치용 열교환장치에 이용되는 열교환판은 흡열측 열교환판과 방열측 열교환판의 구조가 동일하므로, 상기 열교환판의 제조비용을 낮출 수 있고, 또, 상기 흡열측 열교환판 및 방열측 열교환판의 2장이상을 각각 공통의 헤더에 접속할 수 있으므로, 열교환판들의 사이를 헤더만으로 접속하는 간단한 구조로 열교환판에 유체를 공급할 수 있고, 온도조절장치용 열교환장치의 제조비용을 낮출 수 있다.

Claims (5)

  1. 판상의 복수의 흡열측 열교환판, 복수의 방열측 열교환판 및 복수의 열판을 겹쳐 적층구조로 하고,
    상기 흡열측 및 방열측 열교환판은 래버린스구조의 유로가 형성된 유로형성판을 셸로 둘러싼 구조로 되어 있고,
    상기 유로형성판은 복수의 개구를 갖는 2장 이상의 박판을, 인접하는 각 박판의 하나의 개구가 다른 쪽의 박판의 인접하는 두 개의 개구와 서로 일부 겹치도록 해서 적층함으로써, 상기 래버린스구조의 유로가 형성되어 있고,
    상기 셸은 유체가 유입하는 유입구멍 및 상기 래버린스구조의 유로를 통과한 유체가 유출하는 유출구멍을 가지고 있고,
    상기 각 흡열측 열교환판은 열교환장치의 길이방향 중 한쪽 방향을 향하여 돌출하고, 상기 방열측 열교환판은 열교환장치의 길이방향 중 다른 방향을 향하여 돌출하고,
    상기 열교환장치의 일단측에서는, 2 개의 흡열측 열교환판의 단부 사이에 유입용 헤더와 유출용 헤더가 나란히 부착되어 있고, 열교환장치의 타단측에서는 2개의 방열측 열교환판의 단부 사이에 유입용 헤더와 유출용 헤더가 나란히 부착되어 있으며,
    상기 각 헤더는 관의 가장자리벽에 의해 형성되는 통로구멍과, 상기 통로구멍과 직교하고 통로구멍과 연통하며 상기 헤더의 양측의 흡열측 및 방열측 열교환판 내의 상기 유로에 통하는 관통구멍을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 온도조절장치용 열교환장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 흡열측 및 방열측 열교환판의 셸은 얇은 금속판의 주위를 컬링가공에 의해 밀봉하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 온도조절장치용 열교환장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 흡열측 열교환판 및 방열측 열교환판이 각각 3장이상이고, 일부의 흡열측 열교환판과 일부의 방열측 열교환판에 있어서 셀의 유입구멍 및 유출구멍에 각각 헤더가 접속되고, 상기 일부를 제외한 나머지 흡열측 열교환판 및 방열측 열교환판의 유입구멍들의 사이 또는 유출구멍들의 사이는 접속배관에 의해 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 온도조절장치용 열교환장치.
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