JP2001174096A - 温調装置用熱交換装置 - Google Patents
温調装置用熱交換装置Info
- Publication number
- JP2001174096A JP2001174096A JP35774199A JP35774199A JP2001174096A JP 2001174096 A JP2001174096 A JP 2001174096A JP 35774199 A JP35774199 A JP 35774199A JP 35774199 A JP35774199 A JP 35774199A JP 2001174096 A JP2001174096 A JP 2001174096A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- heat exchange
- plate
- plates
- side heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 34
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 27
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 21
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 230000003811 curling process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/10—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects
- H10N10/13—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects characterised by the heat-exchanging means at the junction
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
- F28D9/00—Heat-exchange apparatus having stationary plate-like or laminated conduit assemblies for both heat-exchange media, the media being in contact with different sides of a conduit wall
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
- F28D9/00—Heat-exchange apparatus having stationary plate-like or laminated conduit assemblies for both heat-exchange media, the media being in contact with different sides of a conduit wall
- F28D9/0062—Heat-exchange apparatus having stationary plate-like or laminated conduit assemblies for both heat-exchange media, the media being in contact with different sides of a conduit wall the conduits for one heat-exchange medium being formed by spaced plates with inserted elements
- F28D9/0075—Heat-exchange apparatus having stationary plate-like or laminated conduit assemblies for both heat-exchange media, the media being in contact with different sides of a conduit wall the conduits for one heat-exchange medium being formed by spaced plates with inserted elements the plates having openings therein for circulation of the heat-exchange medium from one conduit to another
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F3/00—Plate-like or laminated elements; Assemblies of plate-like or laminated elements
- F28F3/08—Elements constructed for building-up into stacks, e.g. capable of being taken apart for cleaning
- F28F3/086—Elements constructed for building-up into stacks, e.g. capable of being taken apart for cleaning having one or more openings therein forming tubular heat-exchange passages
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
- F28D21/00—Heat-exchange apparatus not covered by any of the groups F28D1/00 - F28D20/00
- F28D2021/0019—Other heat exchangers for particular applications; Heat exchange systems not otherwise provided for
- F28D2021/0077—Other heat exchangers for particular applications; Heat exchange systems not otherwise provided for for tempering, e.g. with cooling or heating circuits for temperature control of elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Heat-Exchange Devices With Radiators And Conduit Assemblies (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンパクトでありながら流体への伝熱面積を
大きくとることができ、熱交換の効率がよく、ニーズに
合わせ伝熱面積を簡単に増減でき、製作コストが安い、
温調装置用熱交換器を提供する。 【解決手段】 板状の熱交換板２，３と複数のサーモモ
ジュール４Ａとを交互に重ねて積層構造とし、前記熱交
換板はラビリンス構造の流路が形成された流路形成板５
を薄いシェル７でくるんだ構造とし、前記シェルは流体
が流入する流入穴及び前記ラビリンス構造の流路を通過
した流体が流出する流出穴を有し、前記サーモモジュー
ルとしてはペルチェ素子が用いられる。
大きくとることができ、熱交換の効率がよく、ニーズに
合わせ伝熱面積を簡単に増減でき、製作コストが安い、
温調装置用熱交換器を提供する。 【解決手段】 板状の熱交換板２，３と複数のサーモモ
ジュール４Ａとを交互に重ねて積層構造とし、前記熱交
換板はラビリンス構造の流路が形成された流路形成板５
を薄いシェル７でくるんだ構造とし、前記シェルは流体
が流入する流入穴及び前記ラビリンス構造の流路を通過
した流体が流出する流出穴を有し、前記サーモモジュー
ルとしてはペルチェ素子が用いられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体関連製造装
置等において、パイプ等の流路を流れる浸蝕性流体（例
えば、現像液やフォトレジスト等の金属イオンの流入を
嫌う液体）を冷却または加熱することにより温度調節す
るための温調装置等に用いられる熱交換器に関するもの
である。
置等において、パイプ等の流路を流れる浸蝕性流体（例
えば、現像液やフォトレジスト等の金属イオンの流入を
嫌う液体）を冷却または加熱することにより温度調節す
るための温調装置等に用いられる熱交換器に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】浸蝕性流体を温調する装置として、図１
０に示すようにペルチェ素子を用いたものがある。図１
０に示す温調装置では、管路４４を流れる浸蝕性流体と
熱交換する熱容量の大きい熱交換ブロック４２の表面に
サーモモジュールとしてのペルチェ素子４１を密着固定
し、該ペルチェ素子４１の熱交換ブロック４２とは反対
側に熱移送手段４３を密着固定して、該ペルチェ素子４
１の動作制御により上記浸蝕性流体を目標温度に温調し
ている。
０に示すようにペルチェ素子を用いたものがある。図１
０に示す温調装置では、管路４４を流れる浸蝕性流体と
熱交換する熱容量の大きい熱交換ブロック４２の表面に
サーモモジュールとしてのペルチェ素子４１を密着固定
し、該ペルチェ素子４１の熱交換ブロック４２とは反対
側に熱移送手段４３を密着固定して、該ペルチェ素子４
１の動作制御により上記浸蝕性流体を目標温度に温調し
ている。
【０００３】上記温調装置では、ペルチェ素子４１の吸
熱側（すなわち、冷却面側）に熱交換ブロック４２を配
設し、ペルチェ素子４１の放熱側（すなわち、加熱面
側）に熱移送手段４３を配設しているので、管路４４を
流れる浸蝕性流体は熱交換ブロック４２を介してペルチ
ェ素子４１により冷却されるとともに、浸蝕性流体から
放出された熱はペルチェ素子４１の放熱側に移動し、熱
移送手段４３内の管路４５を流れる冷却水に伝熱される
ことにより放熱される。
熱側（すなわち、冷却面側）に熱交換ブロック４２を配
設し、ペルチェ素子４１の放熱側（すなわち、加熱面
側）に熱移送手段４３を配設しているので、管路４４を
流れる浸蝕性流体は熱交換ブロック４２を介してペルチ
ェ素子４１により冷却されるとともに、浸蝕性流体から
放出された熱はペルチェ素子４１の放熱側に移動し、熱
移送手段４３内の管路４５を流れる冷却水に伝熱される
ことにより放熱される。
【０００４】しかし、上記従来の温調装置では、ペルチ
ェ素子４１からの冷熱は熱交換ブロック４２内の管路４
４を介して管路４４を流れる浸蝕性流体に伝熱され、ペ
ルチェ素子４１からの放熱は熱移送手段４３内の管路４
５を介して管路４５を流れる冷却水に伝熱されるため、
ペルチェ素子４１の吸熱側及び放熱側ともに伝熱面積を
大きくとることができず、熱交換の効率が低いという問
題があった。したがって、サーモモジュールに与えられ
る放熱側と吸熱側の温度差の有効利用が図れず、熱交換
器が大型化したり、電力の有効利用ができない、といっ
た問題があった。また、伝熱面積の変更は、製作後はも
ちろん、製作前であっても設計変更が必要になり、ニー
ズに合わせて伝熱面積を簡単に増減することができなか
った。さらに、従来の温調装置では、熱交換ブロック４
２内の管路４４や熱移送手段４３内の管路４５を介して
管路内を流れる流体に伝熱していたため、熱交換器の製
作コストが高いという問題があった。
ェ素子４１からの冷熱は熱交換ブロック４２内の管路４
４を介して管路４４を流れる浸蝕性流体に伝熱され、ペ
ルチェ素子４１からの放熱は熱移送手段４３内の管路４
５を介して管路４５を流れる冷却水に伝熱されるため、
ペルチェ素子４１の吸熱側及び放熱側ともに伝熱面積を
大きくとることができず、熱交換の効率が低いという問
題があった。したがって、サーモモジュールに与えられ
る放熱側と吸熱側の温度差の有効利用が図れず、熱交換
器が大型化したり、電力の有効利用ができない、といっ
た問題があった。また、伝熱面積の変更は、製作後はも
ちろん、製作前であっても設計変更が必要になり、ニー
ズに合わせて伝熱面積を簡単に増減することができなか
った。さらに、従来の温調装置では、熱交換ブロック４
２内の管路４４や熱移送手段４３内の管路４５を介して
管路内を流れる流体に伝熱していたため、熱交換器の製
作コストが高いという問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、コン
パクトでありながら流体への伝熱面積を大きくとること
ができ、熱交換の効率がよく、ニーズに合わせ伝熱面積
を簡単に増減でき、製作コストが安い、温調装置用熱交
換器を提供することにある。
パクトでありながら流体への伝熱面積を大きくとること
ができ、熱交換の効率がよく、ニーズに合わせ伝熱面積
を簡単に増減でき、製作コストが安い、温調装置用熱交
換器を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明に係る温調装置用熱交換器は、板状の熱交換
板と熱板とを重ねて積層構造とし、前記熱交換板はラビ
リンス構造の流路が形成された流路形成板をシェルでく
るんだ構造となっており、前記流路形成板は、多数の開
口を有する２枚以上の薄板を、隣り合う各薄板の一つの
開口が他方の薄板の隣接する二つの開口と互いに一部重
なるようにして積層することにより、前記ラビリンス構
造の流路が形成されており、前記シェルは流体が流入す
る流入穴及び前記ラビリンス構造の流路を通過した流体
が流出する流出穴を有していることを特徴とするもので
ある。
め、本発明に係る温調装置用熱交換器は、板状の熱交換
板と熱板とを重ねて積層構造とし、前記熱交換板はラビ
リンス構造の流路が形成された流路形成板をシェルでく
るんだ構造となっており、前記流路形成板は、多数の開
口を有する２枚以上の薄板を、隣り合う各薄板の一つの
開口が他方の薄板の隣接する二つの開口と互いに一部重
なるようにして積層することにより、前記ラビリンス構
造の流路が形成されており、前記シェルは流体が流入す
る流入穴及び前記ラビリンス構造の流路を通過した流体
が流出する流出穴を有していることを特徴とするもので
ある。
【０００７】本発明に係る温調装置用熱交換器において
は、前記熱交換板のシェルを、薄い金属板の周囲をカー
リング加工により密封して形成するのが望ましく、ま
た、サーモモジュールからなる熱板を挟む２枚の熱交換
板のうちの一方を吸熱側熱交換板、他方を放熱側熱交換
板とし、該吸熱側熱交換板及び放熱側熱交換板はにサー
モモジュールを間に挟んで交互に重ねた多層構造を持た
せるのが適切である。
は、前記熱交換板のシェルを、薄い金属板の周囲をカー
リング加工により密封して形成するのが望ましく、ま
た、サーモモジュールからなる熱板を挟む２枚の熱交換
板のうちの一方を吸熱側熱交換板、他方を放熱側熱交換
板とし、該吸熱側熱交換板及び放熱側熱交換板はにサー
モモジュールを間に挟んで交互に重ねた多層構造を持た
せるのが適切である。
【０００８】また、本発明に係る温調装置用熱交換器に
おいては、前記吸熱側熱交換板及び放熱側熱交換板がそ
れぞれ２枚以上あり、前記シェルの流入穴及び流出穴
は、前記吸熱側熱交換板同士、あるいは放熱側熱交換板
同士で、それぞれ熱交換板の間に挟み込まれた共通のヘ
ッダに接続されているものとすることができ、さらに、
前記吸熱側熱交換板及び放熱側熱交換板がそれぞれ３枚
以上あり、前記シェルの流入穴及び流出穴は、前記吸熱
側熱交換板同士、あるいは放熱側熱交換板同士で、それ
ぞれ共通のヘッダに接続され、前記ヘッダは、前記熱交
換板の流入穴または流出穴に液密に嵌合した状態で前記
熱交換板の間に挟まれて固定され、前記ヘッダが嵌合し
ていない前記熱交換板の流入穴または流出穴には、前記
吸熱側熱交換板同士、あるいは放熱側熱交換板同士で、
それぞれの流入穴または流出穴を流体が通るように接続
する接続配管が液密に嵌合されているものとすることが
できる。
おいては、前記吸熱側熱交換板及び放熱側熱交換板がそ
れぞれ２枚以上あり、前記シェルの流入穴及び流出穴
は、前記吸熱側熱交換板同士、あるいは放熱側熱交換板
同士で、それぞれ熱交換板の間に挟み込まれた共通のヘ
ッダに接続されているものとすることができ、さらに、
前記吸熱側熱交換板及び放熱側熱交換板がそれぞれ３枚
以上あり、前記シェルの流入穴及び流出穴は、前記吸熱
側熱交換板同士、あるいは放熱側熱交換板同士で、それ
ぞれ共通のヘッダに接続され、前記ヘッダは、前記熱交
換板の流入穴または流出穴に液密に嵌合した状態で前記
熱交換板の間に挟まれて固定され、前記ヘッダが嵌合し
ていない前記熱交換板の流入穴または流出穴には、前記
吸熱側熱交換板同士、あるいは放熱側熱交換板同士で、
それぞれの流入穴または流出穴を流体が通るように接続
する接続配管が液密に嵌合されているものとすることが
できる。
【０００９】また、本発明に係る温調装置用熱交換器
は、前記熱交換板の、サーモモジュールからなる熱板を
挟む一方が吸熱側熱交換板、他方が放熱側熱交換板であ
り、該吸熱側熱交換板及び放熱側熱交換板は熱板を間に
挟んで交互に重ねた多層構造であり、該吸熱側熱交換板
及び放熱側熱交換板はそれぞれ１枚以上あることを特徴
とするものである。
は、前記熱交換板の、サーモモジュールからなる熱板を
挟む一方が吸熱側熱交換板、他方が放熱側熱交換板であ
り、該吸熱側熱交換板及び放熱側熱交換板は熱板を間に
挟んで交互に重ねた多層構造であり、該吸熱側熱交換板
及び放熱側熱交換板はそれぞれ１枚以上あることを特徴
とするものである。
【００１０】また、本発明に係る温調装置用熱交換器
は、前記吸熱側熱交換板及び放熱側熱交換板がそれぞれ
２枚以上あり、前記シェルの流入穴及び流出穴が、前記
吸熱側熱交換板同士、あるいは放熱側熱交換板同士で、
それぞれ共通のヘッダに接続されていることを特徴とす
るものである。
は、前記吸熱側熱交換板及び放熱側熱交換板がそれぞれ
２枚以上あり、前記シェルの流入穴及び流出穴が、前記
吸熱側熱交換板同士、あるいは放熱側熱交換板同士で、
それぞれ共通のヘッダに接続されていることを特徴とす
るものである。
【００１１】上記構成を有する温調装置用熱交換器にお
いては、流路形成板におけるラビリンス構造の流路を、
多数の開口を有する２枚以上の薄板を隣り合う各薄板の
一つの開口が他方の薄板の隣接する二つの開口と互いに
一部重なるようにして積層することにより形成し、その
流路形成板を薄いシェルでくるんで熱交換板を形成して
いるので、熱交換板のラビリンス構造の流路を流れる流
体がシェル壁の内面側に流出するときには、常にそのシ
ェル壁の伝熱面に衝突し、混合・攪拌されることによ
り、流体とシェル壁の伝熱面との間で熱が効率よく、し
かも万遍なく伝達されるばかりでなく、ラビリンス構造
により伝熱面積が増大し、大幅に伝熱効率が高められ
る。
いては、流路形成板におけるラビリンス構造の流路を、
多数の開口を有する２枚以上の薄板を隣り合う各薄板の
一つの開口が他方の薄板の隣接する二つの開口と互いに
一部重なるようにして積層することにより形成し、その
流路形成板を薄いシェルでくるんで熱交換板を形成して
いるので、熱交換板のラビリンス構造の流路を流れる流
体がシェル壁の内面側に流出するときには、常にそのシ
ェル壁の伝熱面に衝突し、混合・攪拌されることによ
り、流体とシェル壁の伝熱面との間で熱が効率よく、し
かも万遍なく伝達されるばかりでなく、ラビリンス構造
により伝熱面積が増大し、大幅に伝熱効率が高められ
る。
【００１２】更に、本発明の温調装置用熱交換器によれ
ば、板状の熱交換板と複数のサーモモジュールとを交互
に重ねて積層構造としているため、簡単に熱交換板の数
を変えることができ、したがって、ニーズに合わせて伝
熱量を簡単に増減することができる。また、前記流路形
成板は、多数の開口を有する前記薄板を、隣り合う各薄
板の開口の位置が互いに一部重なるようにして積層する
ことによりラビリンス構造の流路を形成しているため、
ラビリンス構造の流路をもつ流路形成板を簡単、かつ安
価に製造することができる。
ば、板状の熱交換板と複数のサーモモジュールとを交互
に重ねて積層構造としているため、簡単に熱交換板の数
を変えることができ、したがって、ニーズに合わせて伝
熱量を簡単に増減することができる。また、前記流路形
成板は、多数の開口を有する前記薄板を、隣り合う各薄
板の開口の位置が互いに一部重なるようにして積層する
ことによりラビリンス構造の流路を形成しているため、
ラビリンス構造の流路をもつ流路形成板を簡単、かつ安
価に製造することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る温調装置用
熱交換器の一実施例の縦断面図である。本発明に係る温
調装置用熱交換器１は、板状の熱交換板２，３と、複数
のサーモモジュール４Ａによって形成される熱板４とを
交互に重ねて積層構造としている。すなわち、前記熱交
換板２，３は、サーモモジュール４Ａからなる熱板４を
挟む一方が吸熱側熱交換板２、他方が放熱側熱交換板３
であり、該吸熱側熱交換板２及び放熱側熱交換板３は同
じ構造をしており、サーモモジュール４Ａを間に挟んで
交互に重ねられた該吸熱側熱交換板２及び放熱側熱交換
板３はそれぞれ１枚以上設けて、図示のように多層構造
にすることができる。前記熱交換板２，３は後述するラ
ビリンス構造の流路６が形成された流路形成板５を薄い
金属板のシェル７でくるんだ構造となっており、前記シ
ェル７は、流体が流入する流入穴８及び前記ラビリンス
構造の流路を通過した流体が流出する流出穴９（図２参
照）を有している。前記熱板４は、サーモモジュールに
限るものではなく、加熱または冷却を行う任意の板状部
材を用いることができる。サーモモジュール４Ａとして
は、通常、ペルチェ素子が用いられる。
熱交換器の一実施例の縦断面図である。本発明に係る温
調装置用熱交換器１は、板状の熱交換板２，３と、複数
のサーモモジュール４Ａによって形成される熱板４とを
交互に重ねて積層構造としている。すなわち、前記熱交
換板２，３は、サーモモジュール４Ａからなる熱板４を
挟む一方が吸熱側熱交換板２、他方が放熱側熱交換板３
であり、該吸熱側熱交換板２及び放熱側熱交換板３は同
じ構造をしており、サーモモジュール４Ａを間に挟んで
交互に重ねられた該吸熱側熱交換板２及び放熱側熱交換
板３はそれぞれ１枚以上設けて、図示のように多層構造
にすることができる。前記熱交換板２，３は後述するラ
ビリンス構造の流路６が形成された流路形成板５を薄い
金属板のシェル７でくるんだ構造となっており、前記シ
ェル７は、流体が流入する流入穴８及び前記ラビリンス
構造の流路を通過した流体が流出する流出穴９（図２参
照）を有している。前記熱板４は、サーモモジュールに
限るものではなく、加熱または冷却を行う任意の板状部
材を用いることができる。サーモモジュール４Ａとして
は、通常、ペルチェ素子が用いられる。
【００１４】そして、前記サーモモジュール４Ａの動作
制御により前記吸熱側熱交換板２内を流れる浸蝕性流体
を目標温度に温調し、浸食性流体からの熱はサーモモジ
ュールの加熱面側の放熱側熱交換板３に伝熱され、放熱
側熱交換板３内を流れる冷却液に放熱される。図１〜図
４に示す実施例では、該吸熱側熱交換板２及び放熱側熱
交換板３はそれぞれ２枚ずつあり、前記シェル７の流入
穴８及び流出穴９は、前記吸熱側熱交換板２同士、ある
いは放熱側熱交換板３同士で、それぞれ共通のヘッダ３
１，３２，３３，３４に接続されている。前記ヘッダ３
１，３２あるいは前記ヘッダ３３，３４は、前記熱交換
板の流入穴または流出穴に液密に嵌合されると共に、前
記吸熱側熱交換板２，２あるいは前記放熱側熱交換板
３，３の間に挟まれて固定され、それにより前記吸熱側
熱交換板２，２あるいは前記放熱側熱交換板３，３はヘ
ッダを介して互いに結合される。
制御により前記吸熱側熱交換板２内を流れる浸蝕性流体
を目標温度に温調し、浸食性流体からの熱はサーモモジ
ュールの加熱面側の放熱側熱交換板３に伝熱され、放熱
側熱交換板３内を流れる冷却液に放熱される。図１〜図
４に示す実施例では、該吸熱側熱交換板２及び放熱側熱
交換板３はそれぞれ２枚ずつあり、前記シェル７の流入
穴８及び流出穴９は、前記吸熱側熱交換板２同士、ある
いは放熱側熱交換板３同士で、それぞれ共通のヘッダ３
１，３２，３３，３４に接続されている。前記ヘッダ３
１，３２あるいは前記ヘッダ３３，３４は、前記熱交換
板の流入穴または流出穴に液密に嵌合されると共に、前
記吸熱側熱交換板２，２あるいは前記放熱側熱交換板
３，３の間に挟まれて固定され、それにより前記吸熱側
熱交換板２，２あるいは前記放熱側熱交換板３，３はヘ
ッダを介して互いに結合される。
【００１５】前記ヘッダ３１，３２，３３，３４は同じ
構造であるため、前記吸熱側熱交換板２に取り付けられ
る流入ヘッダ３１だけを例に取りその構造を詳述する。
流入ヘッダ３１には、管周壁３１ａによって形成される
流体の流出入用の通路穴３１ｃと、上記管周壁３１ａと
直交する筒状壁３１ｂによって形成され、内部に上記流
路穴３１ｃと直交してそれに連通する貫通穴３１ｄとが
設けられ、前記筒状壁３１ｂの両端にはそれぞれ環状突
部３１ｅが設けられ、該環状突部３１ｅは前記熱交換板
２，２の流入穴８，８に嵌合され、それによりヘッダ３
１が前記熱交換板２，２の間に挟まれて固定されてい
る。また、前記環状突部３１ｅの周囲には環状凹部３１
ｆが設けられ、該環状凹部３１ｆにはＯリングからなる
パッキングが装填され、前記吸熱側熱交換板２と前記流
入ヘッダ３１とを液密に取り付けている。
構造であるため、前記吸熱側熱交換板２に取り付けられ
る流入ヘッダ３１だけを例に取りその構造を詳述する。
流入ヘッダ３１には、管周壁３１ａによって形成される
流体の流出入用の通路穴３１ｃと、上記管周壁３１ａと
直交する筒状壁３１ｂによって形成され、内部に上記流
路穴３１ｃと直交してそれに連通する貫通穴３１ｄとが
設けられ、前記筒状壁３１ｂの両端にはそれぞれ環状突
部３１ｅが設けられ、該環状突部３１ｅは前記熱交換板
２，２の流入穴８，８に嵌合され、それによりヘッダ３
１が前記熱交換板２，２の間に挟まれて固定されてい
る。また、前記環状突部３１ｅの周囲には環状凹部３１
ｆが設けられ、該環状凹部３１ｆにはＯリングからなる
パッキングが装填され、前記吸熱側熱交換板２と前記流
入ヘッダ３１とを液密に取り付けている。
【００１６】図２は、図１のＡ−Ａ断面図であり、矢印
で示すようにヘッダ３１から流入穴８を通って熱交換板
２へ流入してきた流体は、前記ラビリンス構造の流路を
図２において右方向へ流れ、熱交換板２の右端の開口１
７，２０の部分で方向転換して左方向へ戻り、流出穴９
を通ってヘッダ３２から流出する。図３は図１のＢ−Ｂ
矢視図、図４は図１のＣ−Ｃ矢視図であり、図３には前
記吸熱側熱交換板２の間に挟まれた流入側ヘッダ３１お
よび流出側ヘッダ３２が図示されており、図４には前記
放熱側熱交換板３の間に挟まれた流入側ヘッダ３３およ
び流出側ヘッダ３４が図示されている。
で示すようにヘッダ３１から流入穴８を通って熱交換板
２へ流入してきた流体は、前記ラビリンス構造の流路を
図２において右方向へ流れ、熱交換板２の右端の開口１
７，２０の部分で方向転換して左方向へ戻り、流出穴９
を通ってヘッダ３２から流出する。図３は図１のＢ−Ｂ
矢視図、図４は図１のＣ−Ｃ矢視図であり、図３には前
記吸熱側熱交換板２の間に挟まれた流入側ヘッダ３１お
よび流出側ヘッダ３２が図示されており、図４には前記
放熱側熱交換板３の間に挟まれた流入側ヘッダ３３およ
び流出側ヘッダ３４が図示されている。
【００１７】図５は前記熱交換板２の平面図であり、中
心線の上半分は前記流路形成板５を構成する薄板１１
（図７）を透視しており、中心線の下半分は前記流路形
成板５を構成する別の薄板１２（図８）を透視してい
る。図６は、図５の正面断面図であり、前記薄板１１，
１２はそれらが交互に重ねられ３層の積層構造になって
おり、該積層された薄板１１，１２，１１により前記流
路形成板５が形成されている。
心線の上半分は前記流路形成板５を構成する薄板１１
（図７）を透視しており、中心線の下半分は前記流路形
成板５を構成する別の薄板１２（図８）を透視してい
る。図６は、図５の正面断面図であり、前記薄板１１，
１２はそれらが交互に重ねられ３層の積層構造になって
おり、該積層された薄板１１，１２，１１により前記流
路形成板５が形成されている。
【００１８】図７及び図８は、ラビリンス構造の流路形
成板を構成する薄板１１及び１２の具体的構成を示して
いる。この流路形成板を構成する薄板１１，１２は、そ
の長さ方向及び幅方向にわたって多数の開口１３，１４
を有し、更に図の右端側には幅方向に長い１つの開口１
７，２０をそれぞれ有すると共に、左端側には前記シェ
ル７の流入穴８及び流出穴９に接続される流入開口１
５，１８及び流出開口１６，１９をそれぞれ有してい
る。前記開口１３と１４は、シェル７の内面に接する薄
板１１の開口１３を大きくして、シェル７内面と流体と
の接触面積を大きくするのが望ましいが、図１からわか
るように、少なくとも多数の開口を有する２枚以上の薄
板１１，１２を、隣り合う各薄板１１，１２の一つの開
口が他方の薄板の隣接する二つの開口と互いに一部重な
るようにして積層している。したがって、それらの薄板
１１，１２からなる流路形成板５を薄いシェル７でくる
んで熱交換板を形成すると、ラビリンス構造の流路を流
れる流体がシェル壁の内面側に流出するときには、常に
そのシェル壁の伝熱面に衝突し、混合・攪拌されること
により、流体とシェル壁の電熱面との間で熱が効率よ
く、しかも万遍なく伝達され、大幅に伝熱効率が高めら
れる。
成板を構成する薄板１１及び１２の具体的構成を示して
いる。この流路形成板を構成する薄板１１，１２は、そ
の長さ方向及び幅方向にわたって多数の開口１３，１４
を有し、更に図の右端側には幅方向に長い１つの開口１
７，２０をそれぞれ有すると共に、左端側には前記シェ
ル７の流入穴８及び流出穴９に接続される流入開口１
５，１８及び流出開口１６，１９をそれぞれ有してい
る。前記開口１３と１４は、シェル７の内面に接する薄
板１１の開口１３を大きくして、シェル７内面と流体と
の接触面積を大きくするのが望ましいが、図１からわか
るように、少なくとも多数の開口を有する２枚以上の薄
板１１，１２を、隣り合う各薄板１１，１２の一つの開
口が他方の薄板の隣接する二つの開口と互いに一部重な
るようにして積層している。したがって、それらの薄板
１１，１２からなる流路形成板５を薄いシェル７でくる
んで熱交換板を形成すると、ラビリンス構造の流路を流
れる流体がシェル壁の内面側に流出するときには、常に
そのシェル壁の伝熱面に衝突し、混合・攪拌されること
により、流体とシェル壁の電熱面との間で熱が効率よ
く、しかも万遍なく伝達され、大幅に伝熱効率が高めら
れる。
【００１９】また、前記薄板１１，１２における開口１
７，２０の長さは、幅方向に多数設けられた開口１３，
１４の全域をカバーする長さであり、しかも開口２０は
開口１７と開口１３を連通させるように形成されてい
て、開口１７，２０により流体の方向転換流路が形成さ
れる。前記熱交換板のシェル７の密閉方法としては、金
属板の溶接、ロー付けにより行うこともできるが、缶詰
の縁のシール方法であるカーリング加工により密封する
のが好ましい。前記熱交換板のシェル７の密閉方法とし
てカーリング加工を用いると、前記熱交換板を安価に製
造できる。また、前記シェル７の材料としてはステンレ
ス鋼が用いられ、前記流路形成板を構成する薄板１１，
１２の材料としては、ステンレス鋼ばかりでなく、ポリ
エチレン、ポリプロプレン等のプラスチックも用いるこ
とができるが、必ずしもこの材用に限定されるものでは
ない。
７，２０の長さは、幅方向に多数設けられた開口１３，
１４の全域をカバーする長さであり、しかも開口２０は
開口１７と開口１３を連通させるように形成されてい
て、開口１７，２０により流体の方向転換流路が形成さ
れる。前記熱交換板のシェル７の密閉方法としては、金
属板の溶接、ロー付けにより行うこともできるが、缶詰
の縁のシール方法であるカーリング加工により密封する
のが好ましい。前記熱交換板のシェル７の密閉方法とし
てカーリング加工を用いると、前記熱交換板を安価に製
造できる。また、前記シェル７の材料としてはステンレ
ス鋼が用いられ、前記流路形成板を構成する薄板１１，
１２の材料としては、ステンレス鋼ばかりでなく、ポリ
エチレン、ポリプロプレン等のプラスチックも用いるこ
とができるが、必ずしもこの材用に限定されるものでは
ない。
【００２０】前記熱交換板２は薄いシェル７でくるまれ
ているが、薄いシェルであっても、サーモモジュールか
らなる熱板を組み付ける際に熱板で流路形成板に押さえ
つけられるため流体圧に耐えることができ、シェルは薄
いため熱抵抗も小さい。更に、前記流路形成板５は、前
記薄板１１及び１２を隣り合う各薄板の開口の位置が互
いに一部重なるようにして積層することによりラビリン
ス構造の流路を形成しているため、その流路を流れる流
体は、シェル壁の伝熱面に衝突して混合・攪拌され、流
体の混合・攪拌により熱交換効率の良い伝熱が行われる
熱交換板を簡単な構造のものとして得ることができる。
ているが、薄いシェルであっても、サーモモジュールか
らなる熱板を組み付ける際に熱板で流路形成板に押さえ
つけられるため流体圧に耐えることができ、シェルは薄
いため熱抵抗も小さい。更に、前記流路形成板５は、前
記薄板１１及び１２を隣り合う各薄板の開口の位置が互
いに一部重なるようにして積層することによりラビリン
ス構造の流路を形成しているため、その流路を流れる流
体は、シェル壁の伝熱面に衝突して混合・攪拌され、流
体の混合・攪拌により熱交換効率の良い伝熱が行われる
熱交換板を簡単な構造のものとして得ることができる。
【００２１】図９は、本発明に係る温調装置用熱交換器
の他の実施例を示す縦断面図であり、この実施例では、
該吸熱側熱交換板２及び放熱側熱交換板３がそれぞれ３
枚ずつある点を除き、基本的には図１に示す実施例と同
様な構成である。したがって、図９においては、図１に
示すものと同じ構成部品は同じ符号を付与している。そ
して、図９に示す実施例では、吸熱側熱交換板２及び放
熱側熱交換板３はそれぞれ３枚ずつあるが、熱交換板の
数が増えたからと言ってそれに応じてヘッダの数を増す
必要はない。すなわち、前記吸熱側熱交換板２の間に挟
まれた流入側ヘッダ３１及び流出側ヘッダ３２はそれぞ
れ１つずつであり、前記３枚の吸熱側熱交換板２の流入
穴８及び流出穴９は、それぞれ共通の流入側ヘッダ３１
及び流出側ヘッダ３２に接続される。同様に、前記放熱
側熱交換板３の間に挟まれた流入側ヘッダ３３及び流出
側ヘッダ３４もそれぞれ１つずつであり、前記３枚の放
熱側熱交換板３の流入穴８及び流出穴９は、それぞれ共
通の流入側ヘッダ３３及び流出側ヘッダ３４に接続され
る。
の他の実施例を示す縦断面図であり、この実施例では、
該吸熱側熱交換板２及び放熱側熱交換板３がそれぞれ３
枚ずつある点を除き、基本的には図１に示す実施例と同
様な構成である。したがって、図９においては、図１に
示すものと同じ構成部品は同じ符号を付与している。そ
して、図９に示す実施例では、吸熱側熱交換板２及び放
熱側熱交換板３はそれぞれ３枚ずつあるが、熱交換板の
数が増えたからと言ってそれに応じてヘッダの数を増す
必要はない。すなわち、前記吸熱側熱交換板２の間に挟
まれた流入側ヘッダ３１及び流出側ヘッダ３２はそれぞ
れ１つずつであり、前記３枚の吸熱側熱交換板２の流入
穴８及び流出穴９は、それぞれ共通の流入側ヘッダ３１
及び流出側ヘッダ３２に接続される。同様に、前記放熱
側熱交換板３の間に挟まれた流入側ヘッダ３３及び流出
側ヘッダ３４もそれぞれ１つずつであり、前記３枚の放
熱側熱交換板３の流入穴８及び流出穴９は、それぞれ共
通の流入側ヘッダ３３及び流出側ヘッダ３４に接続され
る。
【００２２】前記ヘッダ３１，３２及びヘッダ３３，３
４は、図１〜図４に示した実施例と同様に、前記熱交換
板の流入穴８または流出穴９に液密に嵌合されると共
に、前記吸熱側熱交換板２、２あるいは前記放熱側熱交
換板３，３の間に挟まれて固定されるが、前記ヘッダが
嵌合していない前記熱交換板の流入穴８または流出穴９
には、前記吸熱側熱交換板２同士、あるいは放熱側熱交
換板３同士で、それぞれの流入穴８または流出穴９を流
体が通るように接続する接続配管３５，３７が液密に嵌
合され、それにより前記吸熱側熱交換板２，２あるいは
前記放熱側熱交換板３，３は接続配管を介して互いに結
合される。図示を省略している流出穴９についても同構
造の接続配管が用いられる。
４は、図１〜図４に示した実施例と同様に、前記熱交換
板の流入穴８または流出穴９に液密に嵌合されると共
に、前記吸熱側熱交換板２、２あるいは前記放熱側熱交
換板３，３の間に挟まれて固定されるが、前記ヘッダが
嵌合していない前記熱交換板の流入穴８または流出穴９
には、前記吸熱側熱交換板２同士、あるいは放熱側熱交
換板３同士で、それぞれの流入穴８または流出穴９を流
体が通るように接続する接続配管３５，３７が液密に嵌
合され、それにより前記吸熱側熱交換板２，２あるいは
前記放熱側熱交換板３，３は接続配管を介して互いに結
合される。図示を省略している流出穴９についても同構
造の接続配管が用いられる。
【００２３】前記接続配管３５，３７の両端部はその周
壁が段になっており、その段部にはＯリングからなるパ
ッキングが装填され、前記吸熱側熱交換板２と前記接続
配管とを液密に取り付けている。図９に示す実施例で
は、吸熱側熱交換板２及び放熱側熱交換板３はそれぞれ
３枚ずつとしたが、吸熱側熱交換板２及び放熱側熱交換
板３をそれぞれ４枚以上とする場合でも、前記接続配管
の数を増やすだけで簡単に対応できる。そして、図９に
示す実施例では、前記吸熱側熱交換板２，２及び放熱側
熱交換板３，３をヘッダ及び接続配管を介してそれぞれ
互いに結合させ、全体として１つの温調装置用熱交換器
とすることができるから、簡単かつ安価に伝熱面積を増
大させることができる。
壁が段になっており、その段部にはＯリングからなるパ
ッキングが装填され、前記吸熱側熱交換板２と前記接続
配管とを液密に取り付けている。図９に示す実施例で
は、吸熱側熱交換板２及び放熱側熱交換板３はそれぞれ
３枚ずつとしたが、吸熱側熱交換板２及び放熱側熱交換
板３をそれぞれ４枚以上とする場合でも、前記接続配管
の数を増やすだけで簡単に対応できる。そして、図９に
示す実施例では、前記吸熱側熱交換板２，２及び放熱側
熱交換板３，３をヘッダ及び接続配管を介してそれぞれ
互いに結合させ、全体として１つの温調装置用熱交換器
とすることができるから、簡単かつ安価に伝熱面積を増
大させることができる。
【００２４】
【発明の効果】以上に詳述したように、本発明の温調装
置用熱交換器によれば、熱交換板がラビリンス構造の流
路が形成された流路形成板を薄いシェルでくるんだ構造
となっているため、シェルの熱抵抗が小さく、熱交換板
のラビリンス構造の流路を流れる流体が、シェル壁の伝
熱面に衝突し混合・攪拌されることにより、大幅に伝熱
効率を高めることができる。更に、本発明の温調装置用
熱交換器によれば、板状の熱交換板と複数のサーモモジ
ュールからなる熱板とを交互に重ねて積層構造としてい
るため、簡単に熱交換板の数を変えることができ、した
がって、ニーズに合わせて伝熱面積を簡単に増減するこ
とができる。また、前記流路形成板においては、前記複
数枚の薄板を隣り合う各薄板の開口の位置が互いに一部
重なるようにして積層することによりラビリンス構造の
流路を形成しているため、ラビリンス構造の流路をもつ
流路形成板を簡単、かつ、安価に製造することができ
る。
置用熱交換器によれば、熱交換板がラビリンス構造の流
路が形成された流路形成板を薄いシェルでくるんだ構造
となっているため、シェルの熱抵抗が小さく、熱交換板
のラビリンス構造の流路を流れる流体が、シェル壁の伝
熱面に衝突し混合・攪拌されることにより、大幅に伝熱
効率を高めることができる。更に、本発明の温調装置用
熱交換器によれば、板状の熱交換板と複数のサーモモジ
ュールからなる熱板とを交互に重ねて積層構造としてい
るため、簡単に熱交換板の数を変えることができ、した
がって、ニーズに合わせて伝熱面積を簡単に増減するこ
とができる。また、前記流路形成板においては、前記複
数枚の薄板を隣り合う各薄板の開口の位置が互いに一部
重なるようにして積層することによりラビリンス構造の
流路を形成しているため、ラビリンス構造の流路をもつ
流路形成板を簡単、かつ、安価に製造することができ
る。
【００２５】更に、本発明の温調装置用熱交換器に用い
られる熱交換板は、吸熱側熱交換板と放熱側熱交換板の
構造が同じであるため、前記熱交換板の製造コストを下
げることができ、また、前記吸熱側熱交換板及び放熱側
熱交換板の２枚以上を、それぞれ共通のヘッダに接続で
きるため、熱交換板同士をヘッダだけで接続するという
簡単な構造で熱交換板に流体を供給することができ、温
調装置用熱交換器の製造コストを下げることができる。
られる熱交換板は、吸熱側熱交換板と放熱側熱交換板の
構造が同じであるため、前記熱交換板の製造コストを下
げることができ、また、前記吸熱側熱交換板及び放熱側
熱交換板の２枚以上を、それぞれ共通のヘッダに接続で
きるため、熱交換板同士をヘッダだけで接続するという
簡単な構造で熱交換板に流体を供給することができ、温
調装置用熱交換器の製造コストを下げることができる。
【図１】本発明に係る温調装置用熱交換器の一実施例を
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ矢視図である。
【図４】図１のＣ−Ｃ矢視図である。
【図５】本発明の熱交換器で用いられる熱交換板の平面
図である。
図である。
【図６】図５の正面断面図である。
【図７】流路形成板を構成する薄板１１の具体的構成を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図８】流路形成板を構成する別の薄板１２の具体的構
成を示す平面図である。
成を示す平面図である。
【図９】本発明に係る温調装置用熱交換器の他の実施例
を示す縦断面図である。
を示す縦断面図である。
【図１０】（イ）及び（ロ）は従来の装置を示す図で、
（イ）は（ロ）におけるＤ−Ｄ断面図、（ロ）は（イ）
におけるＥ−Ｅ断面図である。
（イ）は（ロ）におけるＤ−Ｄ断面図、（ロ）は（イ）
におけるＥ−Ｅ断面図である。
１ 温調装置用熱交換 ２，３ 熱交換板 ４ 熱板 ４Ａ サーモモジュール ５ 流路形成板 ６ 流路 ７ シェル １１，１２ 薄板 １３〜２０ 開口 ３１〜３４ ヘッダ ３５，３７ 接続配管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｋ 7/20 Ｈ０５Ｋ 7/20 Ｓ
Claims (5)
- 【請求項１】板状の熱交換板と熱板とを重ねて積層構造
とし、前記熱交換板はラビリンス構造の流路が形成され
た流路形成板をシェルでくるんだ構造となっており、前
記流路形成板は、多数の開口を有する２枚以上の薄板
を、隣り合う各薄板の一つの開口が他方の薄板の隣接す
る二つの開口と互いに一部重なるようにして積層するこ
とにより、前記ラビリンス構造の流路が形成されてお
り、前記シェルは流体が流入する流入穴及び前記ラビリ
ンス構造の流路を通過した流体が流出する流出穴を有し
ている温調装置用熱交換器。 - 【請求項２】前記熱交換板のシェルは、薄い金属板の周
囲をカーリング加工により密封して形成されている請求
項１記載の温調装置用熱交換器。 - 【請求項３】サーモモジュールからなる熱板を挟む２枚
の熱交換板のうちの一方が吸熱側熱交換板、他方が放熱
側熱交換板であり、該吸熱側熱交換板及び放熱側熱交換
板はサーモモジュールを間に挟んで交互に重ねた多層構
造であり、該吸熱側熱交換板及び放熱側熱交換板はそれ
ぞれ１枚以上である請求項１または２に記載の温調装置
用熱交換器。 - 【請求項４】前記吸熱側熱交換板及び放熱側熱交換板が
それぞれ２枚以上あり、前記シェルの流入穴及び流出穴
は、前記吸熱側熱交換板同士、あるいは放熱側熱交換板
同士で、それぞれ熱交換板の間に挟み込まれた共通のヘ
ッダに接続されている請求項３記載の温調装置用熱交換
器。 - 【請求項５】前記吸熱側熱交換板及び放熱側熱交換板が
それぞれ３枚以上あり、前記シェルの流入穴及び流出穴
は、前記吸熱側熱交換板同士、あるいは放熱側熱交換板
同士で、それぞれ共通のヘッダに接続され、前記ヘッダ
は、前記熱交換板の流入穴または流出穴に液密に嵌合し
た状態で前記熱交換板の間に挟まれて固定され、前記ヘ
ッダが嵌合していない前記熱交換板の流入穴または流出
穴には、前記吸熱側熱交換板同士、あるいは放熱側熱交
換板同士で、それぞれの流入穴または流出穴を流体が通
るように接続する接続配管が液密に嵌合されている、請
求項３記載の温調装置用熱交換器。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35774199A JP3479477B2 (ja) | 1999-12-16 | 1999-12-16 | 温調装置用熱交換装置 |
| TW089124098A TW538227B (en) | 1999-12-16 | 2000-11-14 | Heat exchanger for temperature regulator |
| US09/713,195 US6615590B1 (en) | 1999-12-16 | 2000-11-16 | Heat exchanger for temperature control |
| CNB001352717A CN1153939C (zh) | 1999-12-16 | 2000-12-08 | 调温装置用热交换装置 |
| GB0030523A GB2359617B (en) | 1999-12-16 | 2000-12-14 | Heat exchanger for temperature control |
| KR10-2000-0076296A KR100388321B1 (ko) | 1999-12-16 | 2000-12-14 | 온도조절장치용 열교환장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35774199A JP3479477B2 (ja) | 1999-12-16 | 1999-12-16 | 温調装置用熱交換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001174096A true JP2001174096A (ja) | 2001-06-29 |
| JP3479477B2 JP3479477B2 (ja) | 2003-12-15 |
Family
ID=18455689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35774199A Expired - Fee Related JP3479477B2 (ja) | 1999-12-16 | 1999-12-16 | 温調装置用熱交換装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6615590B1 (ja) |
| JP (1) | JP3479477B2 (ja) |
| KR (1) | KR100388321B1 (ja) |
| CN (1) | CN1153939C (ja) |
| GB (1) | GB2359617B (ja) |
| TW (1) | TW538227B (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002372335A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-26 | Smc Corp | 熱交換器及びそれを用いた熱交換装置 |
| CN102128519A (zh) * | 2011-04-22 | 2011-07-20 | 王增福 | 半导体制热制冷装置 |
| JP2015119193A (ja) * | 2010-09-10 | 2015-06-25 | 株式会社東芝 | 熱電変換素子フレーム |
| US9175886B2 (en) | 2012-12-26 | 2015-11-03 | Hyundai Motor Company | Heat exchanger having thermoelectric element |
| CN106643235A (zh) * | 2016-12-08 | 2017-05-10 | 沈阳航空航天大学 | 一种间壁式热交换器及其制作方法 |
| JP2021032501A (ja) * | 2019-08-26 | 2021-03-01 | 株式会社ティラド | プレート積層型熱交換器 |
Families Citing this family (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB0100357D0 (en) * | 2001-01-06 | 2001-02-14 | Chart Heat Exchangers Ltd | Heat exchanger/chemical reactor |
| KR100623527B1 (ko) * | 2005-05-23 | 2006-09-13 | 주식회사 대우일렉트로닉스 | 냉·난방 겸용 폐열회수환기장치 |
| JP5035719B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2012-09-26 | Ｓｍｃ株式会社 | 薬液用熱交換器及びそれを用いた薬液用温度調節装置 |
| WO2009036077A1 (en) | 2007-09-10 | 2009-03-19 | Amerigon, Inc. | Operational control schemes for ventilated seat or bed assemblies |
| KR20100111726A (ko) * | 2008-02-01 | 2010-10-15 | 아메리곤 인코포레이티드 | 열전 소자용 응결 센서 및 습도 센서 |
| CN101825409B (zh) * | 2010-04-06 | 2012-02-15 | 华南理工大学 | 一种具有发电结构的板式换热器 |
| JP5229344B2 (ja) * | 2011-03-18 | 2013-07-03 | 株式会社豊田自動織機 | 熱交換器 |
| WO2012145262A1 (en) * | 2011-04-19 | 2012-10-26 | Modine Manufacturing Company | Heat exchanger |
| US9685599B2 (en) | 2011-10-07 | 2017-06-20 | Gentherm Incorporated | Method and system for controlling an operation of a thermoelectric device |
| US9989267B2 (en) | 2012-02-10 | 2018-06-05 | Gentherm Incorporated | Moisture abatement in heating operation of climate controlled systems |
| DE102012211259A1 (de) * | 2012-06-29 | 2014-01-02 | Behr Gmbh & Co. Kg | Thermoelektrische Temperiereinheit |
| DE102012222635A1 (de) * | 2012-12-10 | 2014-06-12 | Behr Gmbh & Co. Kg | Wärmeübertrager, insbesondere für ein Kraftfahrzeug |
| FR3000187B1 (fr) * | 2012-12-21 | 2019-08-16 | Valeo Systemes Thermiques | Echangeur de chaleur, notamment pour fluide refrigerant circulant dans un vehicule automobile |
| US9662962B2 (en) | 2013-11-05 | 2017-05-30 | Gentherm Incorporated | Vehicle headliner assembly for zonal comfort |
| DE112015000816T5 (de) | 2014-02-14 | 2016-11-03 | Gentherm Incorporated | Leitfähiger, konvektiver klimatisierter Sitz |
| JP2016017737A (ja) * | 2014-07-07 | 2016-02-01 | 現代自動車株式会社Ｈｙｕｎｄａｉｍｏｔｏｒ Ｃｏｍｐａｎｙ | Ｔｅｄ熱交換器 |
| CN105276854B (zh) * | 2014-07-23 | 2017-11-17 | 武汉商学院 | 液态半导体制冷换热模块和大功率液态半导体制冷换热器 |
| US11857004B2 (en) | 2014-11-14 | 2024-01-02 | Gentherm Incorporated | Heating and cooling technologies |
| EP3726594B1 (en) | 2014-11-14 | 2022-05-04 | Gentherm Incorporated | Heating and cooling technologies |
| US11639816B2 (en) | 2014-11-14 | 2023-05-02 | Gentherm Incorporated | Heating and cooling technologies including temperature regulating pad wrap and technologies with liquid system |
| US20200035898A1 (en) | 2018-07-30 | 2020-01-30 | Gentherm Incorporated | Thermoelectric device having circuitry that facilitates manufacture |
| JP2022511801A (ja) | 2018-11-30 | 2022-02-01 | ジェンサーム インコーポレイテッド | 熱電調整システム及び方法 |
| US11152557B2 (en) | 2019-02-20 | 2021-10-19 | Gentherm Incorporated | Thermoelectric module with integrated printed circuit board |
| KR20230091609A (ko) | 2021-12-16 | 2023-06-23 | (주)바이저 | 판형 열교환기 |
Family Cites Families (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA615322A (en) * | 1961-02-28 | Olin Mathieson Chemical Corporation | Heat exchange structure | |
| CA526493A (en) * | 1956-06-19 | John W. Brown, Jr. | Heat exchanger | |
| US1353018A (en) * | 1917-09-28 | 1920-09-14 | White Frost Refrig Erator Comp | Water-cooler for refrigerators |
| FR29315E (fr) * | 1924-06-13 | 1925-07-24 | C Ad Hubert | Construction cellulaire constituée par des éléments amovibles, en forme de plaques, applicable aux échangeurs de chaleur |
| US1795774A (en) * | 1927-07-21 | 1931-03-10 | Revere Copper & Brass Inc | Radiator for high-pressure systems |
| GB424629A (en) * | 1934-07-05 | 1935-02-26 | Fred Hepworth | Improvements in and connected with plate heat exchange apparatus applicable to the cooling of the lubricating oil of automobile engines |
| US2354865A (en) * | 1941-01-17 | 1944-08-01 | Gen Motors Corp | Refrigerating apparatus |
| US2566310A (en) * | 1946-01-22 | 1951-09-04 | Hydrocarbon Research Inc | Tray type heat exchanger |
| US2591878A (en) * | 1948-09-22 | 1952-04-08 | Gen Motors Corp | Oxygen regenerator |
| US3327776A (en) * | 1965-10-24 | 1967-06-27 | Trane Co | Heat exchanger |
| GB1142092A (en) * | 1966-02-25 | 1969-02-05 | App Bau Mylau Veb | Improvements in or relating to heat transfer units |
| DE2905732C2 (de) * | 1979-02-15 | 1985-07-11 | Interliz Anstalt, Vaduz | Platten-Wärmetauscher |
| US4249597A (en) * | 1979-05-07 | 1981-02-10 | General Motors Corporation | Plate type heat exchanger |
| US4258785A (en) * | 1980-02-08 | 1981-03-31 | Borg-Warner Corporation | Heat exchanger interplate fitting |
| DE3142028A1 (de) * | 1981-10-23 | 1983-05-05 | Süddeutsche Kühlerfabrik Julius Fr. Behr GmbH & Co KG, 7000 Stuttgart | Oelkuehler |
| US4484622A (en) * | 1982-04-27 | 1984-11-27 | The Garrett Corporation | Integral header heat exchanger |
| JPS59129392A (ja) * | 1983-01-10 | 1984-07-25 | Nippon Denso Co Ltd | 熱交換器 |
| EP0167993B1 (de) | 1984-07-12 | 1988-06-01 | Fischbach GmbH & Co.KG Verwaltungsgesellschaft | Aus Platten aufgebauter Wärmetauscher |
| US4592414A (en) * | 1985-03-06 | 1986-06-03 | Mccord Heat Transfer Corporation | Heat exchanger core construction utilizing a plate member adaptable for producing either a single or double pass flow arrangement |
| GB2251679B (en) | 1989-05-04 | 1993-12-15 | Secretary Trade Ind Brit | Heat exchangers |
| US5143241A (en) | 1991-05-23 | 1992-09-01 | Szymanski John M | Can seal |
| JP2814868B2 (ja) * | 1992-06-17 | 1998-10-27 | 三菱電機株式会社 | プレート型熱交換器及びその製造方法 |
| JPH0694386A (ja) * | 1992-09-14 | 1994-04-05 | Sanden Corp | 熱交換器 |
| FR2702829A1 (fr) * | 1993-02-04 | 1994-09-23 | France Etat Armement | Installation thermo-électrique. |
| FR2706024B1 (fr) * | 1993-06-04 | 1995-08-11 | Deficis Expl Brevets Alain | Dispositif de production de froid utilisant l'effet peltier, destiné à transmettre des frigories à partir de l'énergie fournie par une source électrique autonome basse tension. |
| FR2728666A1 (fr) * | 1994-12-26 | 1996-06-28 | Valeo Thermique Habitacle | Echangeur de chaleur a trois fluides d'encombrement reduit |
| IT1277154B1 (it) | 1995-01-27 | 1997-11-04 | Diana Giacometti | Scambiatore di calore e di materia a piastre piane. |
| US5564276A (en) * | 1995-02-24 | 1996-10-15 | United Defense, L.P. | Micro-climate conditioning unit |
| JP3952325B2 (ja) | 1997-06-10 | 2007-08-01 | Ｓｍｃ株式会社 | 高速薄板冷却装置 |
| DE19733455B4 (de) | 1997-08-02 | 2012-03-29 | Curamik Electronics Gmbh | Wärmetauscheranordnung sowie Kühlsystem mit wenigstens einer derartigen Wärmetauscheranordnung |
| EP0952017A3 (en) | 1998-04-22 | 2002-01-23 | Climcon A/S | A heat exchanger device for an air conditioning system |
| GB2338293B (en) | 1998-06-12 | 2001-10-10 | Chart Marston Ltd | Heat exchanger |
-
1999
- 1999-12-16 JP JP35774199A patent/JP3479477B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-11-14 TW TW089124098A patent/TW538227B/zh not_active IP Right Cessation
- 2000-11-16 US US09/713,195 patent/US6615590B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-12-08 CN CNB001352717A patent/CN1153939C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2000-12-14 GB GB0030523A patent/GB2359617B/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-12-14 KR KR10-2000-0076296A patent/KR100388321B1/ko active IP Right Grant
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002372335A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-26 | Smc Corp | 熱交換器及びそれを用いた熱交換装置 |
| JP2015119193A (ja) * | 2010-09-10 | 2015-06-25 | 株式会社東芝 | 熱電変換素子フレーム |
| CN102128519A (zh) * | 2011-04-22 | 2011-07-20 | 王增福 | 半导体制热制冷装置 |
| US9175886B2 (en) | 2012-12-26 | 2015-11-03 | Hyundai Motor Company | Heat exchanger having thermoelectric element |
| CN106643235A (zh) * | 2016-12-08 | 2017-05-10 | 沈阳航空航天大学 | 一种间壁式热交换器及其制作方法 |
| CN106643235B (zh) * | 2016-12-08 | 2018-07-27 | 沈阳航空航天大学 | 一种间壁式热交换器及其制作方法 |
| JP2021032501A (ja) * | 2019-08-26 | 2021-03-01 | 株式会社ティラド | プレート積層型熱交換器 |
| JP7323975B2 (ja) | 2019-08-26 | 2023-08-09 | 株式会社ティラド | プレート積層型熱交換器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6615590B1 (en) | 2003-09-09 |
| KR20010062408A (ko) | 2001-07-07 |
| KR100388321B1 (ko) | 2003-06-25 |
| CN1153939C (zh) | 2004-06-16 |
| CN1299950A (zh) | 2001-06-20 |
| JP3479477B2 (ja) | 2003-12-15 |
| TW538227B (en) | 2003-06-21 |
| GB2359617A (en) | 2001-08-29 |
| GB0030523D0 (en) | 2001-01-31 |
| GB2359617B (en) | 2002-06-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3479477B2 (ja) | 温調装置用熱交換装置 | |
| JP5142987B2 (ja) | 複数の流体の熱交換器 | |
| JP4127859B2 (ja) | ３つの熱交換流体のためのプレート式熱交換器 | |
| JP6211357B2 (ja) | 車両用熱交換器 | |
| CN111316057B (zh) | 多流体热交换器 | |
| JP5882179B2 (ja) | 外部マニホルドを備えた内部熱交換器 | |
| WO2000022364A1 (fr) | Echangeur thermique a plaques | |
| JP2017003250A (ja) | カン型熱交換器 | |
| JP3998592B2 (ja) | 流体温度調節装置 | |
| US20080190594A1 (en) | Heat Exchanger Device for Rapid Heating or Cooling of Fluids | |
| JP2002164490A (ja) | 積層冷却器 | |
| US20230168044A1 (en) | A heat exchanger comprising a plate package and a hollow manifold | |
| JP4334965B2 (ja) | プレート式熱交換器 | |
| JP2006125652A (ja) | 熱交換器 | |
| JP2000337784A (ja) | 三液用プレート式熱交換器 | |
| JP2009192140A (ja) | プレート式熱交換器 | |
| TWI797511B (zh) | 熱交換器 | |
| JP2000220971A (ja) | プレート式熱交換器 | |
| KR101917155B1 (ko) | 간접방식 맞춤형 고효율 열교환기 및 그 제조방법 | |
| JP7431719B2 (ja) | パワーデバイス用冷却器 | |
| US11965700B2 (en) | Heat exchanger for cooling multiple fluids | |
| JP2005308232A (ja) | 熱交換器 | |
| JPH0616301Y2 (ja) | オイルクーラ | |
| JP2003314976A (ja) | 熱交換器 | |
| JP2022181052A (ja) | 面接触型熱交換器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3479477 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081003 Year of fee payment: 5 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091003 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101003 Year of fee payment: 7 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111003 Year of fee payment: 8 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121003 Year of fee payment: 9 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131003 Year of fee payment: 10 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |