KR100360118B1 - 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법 - Google Patents

옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법에 관한 것이며, 그 목적하는 바는 옥살레이트법에 의해 파우더 제조시 열분해 후, 1차분쇄, 하소, 2차분쇄를 거침으로써, 품질이 우수한 파우더가 얻어지고, 또한 생산성, 가격측면에서 우수한 파우더제조방법을 제공하고자 하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 염화바륨수용액과 염화티탄수용액을 옥살산 수용액에 첨가하여 바륨티탄산옥살레이트(BTO)를 침전시킨 후, 에이징하고 세척, 여과, 건조하여 바륨티탄산옥살레이트 파우더를 제조하는 단계; 제조된 티탄산바륨파우더를 열분해한 후, 1차분쇄하여 미립의 파우더를 제조하는 단계; 및 상기 미립의 파우더를 하소한 후, 2차 분쇄하는 단계를 포함하는 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법에 관한 것을 그 요지로 한다.

Description

옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법{A Method for Preparing Barium Titanate Powder by Oxalate Synthesis}
본 발명은 강유전체, 압전체 등 여러분야에 사용되는 페롭스카이트형 산화물 분말, 특히 티탄산바륨계 분말을 옥살레이트법에 의해 제조하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 티탄산바륨(BaTiO3)파우더는 강유전체로서 페라이트와 함께 전자세라믹스의 중요한 구성재료로, 세라믹 콘덴서, PTC(정특성써미스터) 및 압전체등의 원료로서 광범위하게 사용되고 있다.
이러한 티탄산바륨파우더는 종래에는 산화티탄과 탄산바륨을 고상반응에 의해 합성시켜 제조하였지만, 최근 MLCC의 소형대용량화(고유전율조성, 유전체 박층화 및 고적층화), 저온소성화, 고주파화, 고성능화 등에 따라, 티탄산바륨파우더는 고순도/조성균일성, 미립/입도균일성, 비응집성/고분산성 등이 요구되고 있으며, 이러한 특성을 만족할 수 있는 파우더 제조방법으로 액상합성법의 수요가 증가하고 있다. 상기 액상합성법으로 예를들면 수열합성법, 공침법(옥살레이트법), 알콕사이드법(졸겔법)등이 개발되어 그 사용이 급증하고 있다.
특히, 액상합성법중에서 옥살레이트법은 Ba과 Ti이온이 함유된 혼합용액에 옥살산을 첨가하여 바륨티탄옥살레이트(BTO) 화합물로 침전시킨 후 이것을 건조, 열분해하여 티탄산바륨파우더를 제조하는 방법으로, 공정이 단순하고 원료비와 설비투자비가 싸다는 장점이 있어 가장 먼저 상용화되었으나, 파우더 조성(Ba/Ti) 및 입도제어가 어렵고 열분해시 입자간에 강한 응결체를 형성하여 분쇄후 입자가 파쇄상으로 되며, 미분쇄된 입자가 잔존하여 혼합/성형시 분산성이 좋지 않고 소결시 소결성이 좋지 않고 비정상결정립이 생성되기 쉬운 문제점이 있다. 또한 입자간의 강한 응결로 인하여 입자를 크게 키울수 없으며 결정성도 나빠 MLCC B특성용으로는 적합하지 않으므로 최근에는 MLCC의 박층화, 고적층화 추세에 따라 수열합성법으로 제조한 파우더로 대체되고 있는 실정이다. 그러나, 수열합성법은 분체 특성적인 장점에도 불구하고 합성공정이 복잡하고 오토클레이브를 사용하므로 생산성이 좋지않으며, 파우더 가격이 비싸기 때문에 MLCC의 가격 경쟁력을 높이기 위해서는 합성공정이 단순하고 가격이 저렴한 파우더 합성법의 개발이 필요하다.
기존의 옥살레이트법의 제조공정은 도 1과 같이 나타낼 수 있다. 염화바륨과 염화티탄 수용액을 Ba:Ti비가 1:1이 되도록 혼합하고, 여기에 옥살산(Oxalic acid)을 첨가하면 바륨티탄옥살레이트[BTO, BaTiO(C2O4)2·4H2O]가 하기식 1과 같은 반응에 의해 침전되는데, 이를 잘 세척한 후 여고, 건조하여 800-900℃에서 열분해하여 하기식 2-4의 과정을 거쳐 티탄산바륨파우더를 얻는다.
BaCl2+ TiCl4+ (COOH)2→ BaTiO(C2O4)2·4H2O
BaTiO(C2O4)2·4H2O → BaTiO(C2O4)2+ 4H2O
BaTiO(C2O4)2+ 1/2O2→ BaCO3+ TiO2+ CO +2CO2
BaCO3+ TiO2→ BaTiO3
하지만, 이 방법은 파우더 조성(Ba/Ti) 및 입도제어가 어렵고 열분해시 입자간에 강한 응결체를 형성하여 분쇄후 입자가 파쇄상으로 되며, 미분쇄된 입자가 잔존하여 혼합/성형시 분산성이 좋지 않고 소결시 소결성이 좋지 않고 비정상결정립이 생성되기 쉬운 문제점이 있다. 또한, 입자간의 강한 응결체 형성으로 인하여 입자를 크게 키울수 없으며 결정성도 나빠서 MLCC B특성용으로는 적합하지 않은 문제점도 있다.
이에 본 발명자들은 상기 문제점들을 해결하기 위해 연구와 실험을 거듭하고 그 결과에 근거하여 본 발명을 제안하게 된 것으로, 본 발명은 옥살레이트법에 의해 파우더 제조시 열분해 후, 1차분쇄, 하소, 2차분쇄를 거침으로써, 품질이 우수한 파우더가 얻어지고, 또한 생산성, 가격측면에서 우수한 티탄산바륨계 파우더 제조방법을 제공하고자 하는데, 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨분말 제조 공정도
도 2는 본 발명의 방법에 의한 티탄산바륨분말 제조 공정도
도 3(a-d)는 본 발명에 의해 얻어진 분말의 하소후 SEM사진 및 분쇄후 SEM사진
도 4(a-d)는 기존방식에 의해 얻어진 분말의 하소후 SEM사진 및 분쇄후 SEM사진
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 염화바륨수용액과 염화티탄수용액을 옥살산 수용액에 첨가하여 바륨티탄산옥살레이트(BTO)를 침전시킨 후, 에이징하고 세척, 여과, 건조하여 바륨티탄산옥살레이트 파우더를 제조하는 단계; 제조된 티탄산바륨파우더를 열분해한 후, 1차분쇄하여 미립의 파우더를 제조하는 단계; 및 상기 미립의 파우더를 하소한 후, 2차 분쇄하는 단계를 포함하는 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법에 관한 것이다.
이하, 본 발명을 상세히 설명한다.
본 발명에서는 염화바륨수용액과 염화티탄수용액을 옥살산 수용액에 첨가하여 바륨티탄산옥살레이트(BTO)를 침전시킨 후, 에이징하고 세척, 여과, 건조하여 바륨티탄산옥살레이트 파우더를 제조하는 과정을 거친다.
상기 염화바륨 수용액은 보통 BaCl2·2H2O를 물에 녹여 사용하는데, 바람직한 농도범위는 0.2-2.0mol/l이다.
상기 염화티탄 수용액은 보통 TiCl4용액을 희석하여 사용하는데, 바람직한 농도범위는 0.2-2.0mol/l이다.
상기 염화바륨 수용액과 상기 염화티탄 수용액은 염화바륨과 염화티탄의 몰비가 1-1.5으로 되도록 하는 것이 바람직하다.
상기 옥살산 수용액은 0.2-5.0mol/l의 농도를 갖는 것을 사용하는 것이 바람직하며, 상기 옥살산과 상기 염화티탄의 몰비는 1-3.0인 것이 바람직하다. 또한, 상기 옥살산 수용액은 온도가 50-100℃인 것을 사용하는 것이 바람직하고, 이러한 온도범위에서는 교반속도가 10-1000rpm/min인 것이 바람직하다.
상기 염화바륨 수용액과 염화티탄수용액은 상기 옥살산에 투입하는데, 이들은 미리 섞어서 투입하는 것이 바람직하며, 그 첨가속도는 1-50ml/l인 것이 바람직하다.
상기 에이징은 1-100시간 정도 행하는 것이 바람직하다.
상기 건조는 50-200℃정도에서 행하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에서는 상기 제조된 티탄산바륨파우더를 열분해하는 과정을 거치며, 상기 열분해 후, Ba 또는/및 Ti의 자리에 치환되는 원소를 함유하는 첨가제를 혼합하는 과정을 거칠 수도 있다.
상기 열분해는 가열속도를 2-10℃/min정도로 하는 것이 바람직하고, 유지온도는 600-1000℃정도로 하는 것이 바람직하다.
상기 Ba자리에 치환되는 원소는 예를들면, Sr, Ca, Mg, Pb 중에서 선택된 것을 사용할 수 있고, 또한 이들을 2종이상 선택하여 사용할 수 있다. 이같은 원소의 투입은 산화물, 탄산화물, 수산화물 등의 형태로 1차분쇄전에 투입하는 것도 가능하다.
상기 Ti자리에 해당하는 원소는 예를들면, Zr, Hf, Sn 중에서 선택된 것을 사용할 수 있고, 또한 이들을 2종이상 선택하여 사용할 수 있다. 이같은 원소의 투입은 산화물, 탄산화물, 수산화물 등의 형태로 1차분쇄전에 투입하는 것도 가능하다.
또한, 본 발명에서는 상기 혼합물을 1차분쇄하여 미립의 파우더를 제조하는 과정, 및 상기 미립의 파우더를 하소한 후, 2차 분쇄하는 과정을 거친다.
상기 1차 분쇄 및 2차 분쇄는 그 분쇄방식이 예를들면, 비드밀, 볼밀, 플라너터리밀 등의 강제교반 습식분쇄방식으로 행할 수 있고, 볼의 크기는 0.2-5.0mm인 것이 바람직하고, 분쇄시간은 10-300분 행하는 것이 바람직하다. 상기 1차 분쇄에 의해 얻어진 입자의 평균입경은 0.1-0.3μm인 것이 바람직하다. 상기 2차 분쇄에 의해 얻어진 입자의 평균입경은 0.2-1.0μm인 것이 바람직하다.
상기 하소는 800-1200℃의 온도에서 행하는 것이 바람직하다.
한편, 상기한 바와같은 본 발명의 파우더 제조공정을, 도 1과 같은 종래공정과 비교하기 위해 도 2에 간략하게 나타내었다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다.
실시예
(발명예 1)
Ti 0.5몰, Ba/Ti가 1.1몰인 BaCl2와 TiCl4혼합용액을 농도 2.0몰, 용액온도 80℃ 옥살산 수용액에 5ml/분의 속도로 격렬하게 교반하면서 첨가하여 침전시킨 후, 1일 동안 에이징하였다.
에이징하여 얻어진 침전용액을 순수로 잘 세척한 후 오븐에서 100℃로 3시간 건조하여 BTO파우더를 제조하였다. 이 BTO파우더를 전기로에 5℃/분 속도로 850℃에서 열분해한 후, 플라너터리밀(볼크기 2.0mm)로 30분, 180분 1차 분쇄하였다. 이를 다시 전기로에서 1050℃로 하소한 후 플라너터리밀 (볼크기 2.0mm)로 30분 동안?? 2차 분쇄, 건조하여 티탄산바륨파우더 샘플 ⓐ, ⓑ를 제조하였다.
이 파우더의 분체 및 유전체(X7R332, 1300℃소결)특성을 측정하여 하기 표1에 나타내었다. 또한, 하소 및 분쇄 후 파우더 조직을 도 3에 나타내었는데, 도 3(a)는샘플 ⓐ의 하소후 조직이고, 도 3(b)는 샘플 ⓐ의 분쇄후 조직이고, 도 3(c)는 샘플 ⓑ의 하소후 조직이고, 도 3(d)는 샘플 ⓑ의 분쇄후 조직이다.
하기 표1 및 도 3에서 알 수 있는 바와같이, 특성이 기존방식에 의해 것에 비하여 우수하였으며, 하소후 입자사이에 넥(Neck)을 형성하여 분쇄시 이 넥부분이 쉽게 끊어지므로 입자모양이 구형이며 입도 분포가 균일하고 미분쇄상이 적게 잔조함을 알 수 있었다.
(비교예)
상기 발명예1에서 제조한 BTO파우더를 전기로에서 5℃/분 속도로 850℃, 1050℃에서 열분해하여 플라너터리밀(볼크기 2.0mm)로 60분 동안 분쇄, 건조하여 티탄산바륨파우더 샘플 ①,②를 제조하였다.
이 파우더의 분체 및 유전체(X7R332, 1300℃소결)특성을 측정하여 하기 표1에 나타내었다. 또한, 하소 및 분쇄 후 파우더 조직을 도 4에 나타내었는데, 도 4(a)는 샘플 ①의 하소후 조직이고, 도 4(b)는 샘플 ①의 분쇄후 조직이고, 도 4(c)는 샘플 ②의 하소후 조직이고, 도 4(d)는 샘플 ②의 분쇄후 조직이다.
하기 표1 및 도 4에서 알 수 있는 바와같이, 발명예 1에서 제조한 파우더에 비하여 유전특성이 떨어지고 하소후 입자간의 강한 응결체 형성으로 인하여 분쇄후의 입자형상이 파쇄상이며 입도분포도 균일하지 않았다.
특성 샘플ⓐ 샘플ⓑ 샘플① 샘플②
공정 열분해:850℃1차분쇄:30분하소:1050℃2차분쇄:30분 열분해:850℃1차분쇄:180분하소:1050℃2차분쇄:30분 열분해:850℃분쇄:60분 열분해:1050℃분쇄:60분
분체특성 평균입경(μm) 0.5 0.4 0.25 0.8
비표면적(m2/g) 1.90 2.66 3.94 1.30
입도분포(μm) 0.37,0.80,1.44 0.31,0.71,1,28 0.10,0.55,4.19 0.13,1.21,4.52
결정화도 4.66 2.51 2.06 5.5
Ba/Ti몰 0.999 0.999 0.999 0.999
BaTiO3순도(wt%) 99.9 99.9 99.9 99.9
유전특성(X7R332) 상온유전율 3101 3050 3682 3042
유전손실(%) 0.81 0.80 1.42 2.51
온도계수(%) -4.51~5.75 -2.87~3.45 -27.6~10.2 -10.7~21.1
소결밀도(g/cm3) 5.77 5.80 5.61 5.55
절연저항(1011Ω) 5.3 4.2 2.8 1.3
비고 발명예 발명예 비교예 비교예
상기 표1에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 의한 실시예에 비해, 종래 방법에 의한 비교예는 유전손실, 온도계수, 소결밀도에서 열악한 것으로 나타났다. 즉, 비교예는 일반적인 스팩(Spec)인 유전손실 1.0%이하, 온도계수 ±15이내, 소결밀도 5.7g/cm3에 미달되었다.
(발명예 2)
상기 발명예 1에서 제조한 BTO파우더를 전기로에서 5℃/분 속도로 850℃에서 열분해한 후, 여기에 Ba/(Ba+Ca)=0.95, Ti/(Ti+Zr)=0.95, (Ba+Ca)/(Ti+Zr)=1.003의 조성이 되도록, BaCO3, CaCO3와 ZrO2를 첨가하였다. 이것을 플라너터리밀(볼크기 2.0mm)로 180분 동안 1차분쇄한 후, 전기로에서 1050℃로 하소한 후 플라너터리밀(볼크기 2.0mm)로 30분동안 2차 분쇄, 건조하여 0.5μm의 균일한 구상입자의 BCTZ복합 파우더(Ba0.95Ba0.05)1.003(Ti0.95Zr0.05)O3를 제조하였다. 제조한 파우더의 특성을 측정한 결과 매우 우수하였다.
상술한 바와같은 본 발명에 의하면, 티탄산바륨파우더의 Ba/Ti를 1.000±0.002로 재현성있게 제어할 수 있고, 또한, 입자형상이 구형이고 입도가 균일하며 응결체(Hard Aggromerate) 형성이 적은 파우더를 제조할 수 있어, 이로인하여 입자크기를 크게할 수 있어 MLCC F특성 뿐만아니라 B특성에 적용할 수 있고, 또한, 1차분쇄전에 첨가제를 혼합함으로서 복합페롭스카이트 티탄산바륨계 파우더, 예를 들어, BTZ, BCTZ, BSCTZ 등을 손쉽게 제조할 수 있고, 또한, 수열합성법이나 졸겔법등 다른 액상합성법에 비하여 제조공정이 간단하고 원료비 및 설비투자비가 적게 들어 생산성 및 수율이 좋아 파우더를 싸게 제조할 수 있는 효과가 제공된다.

Claims (17)

  1. 염화바륨수용액과 염화티탄수용액을 옥살산 수용액에 첨가하여 바륨티탄산옥살레이트(BTO)를 침전시키는 단계;
    상기 침전된 바륨티탄산옥살레이트를 에이징하고 세척, 여과, 건조하여 바륨티탄산옥살레이트 분말을 마련하는 단계;
    상기 바륨티탄산옥살레이트 분말을 600 - 1000℃에서 열분해하는 단계;
    상기 열분해된 바륨티탄산옥살레이터 파우더가 미립상 분말로 형성되도록 1차 분쇄하는 단계;
    상기 미립상 분말을 800 - 1200 ℃에서 하소하는 단계; 및,
    상기 2차 하소된 결과물을 2차 분쇄하여 최종적인 티탄산 바륨계 산화물 분말 단계를 포함하는 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 염화바륨 수용액의 농도가 0.2-2.0mol/l인 것을 특징으로 하는 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 염화티탄 수용액의 농도가 0.2-2.0mol/l인 것을 특징으로 하는 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 염화바륨과 염화티탄의 몰비가 1-1.5인 것을 특징으로 하는 옥살레이트법에의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 옥살산 수용액의 농도가 0.2-5.0mol/l인 것을 특징으로 하는 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 옥살산과 상기 염화티탄의 몰비가 1-3.0인 것을 특징으로 하는 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 옥살산 수용액의 온도가 50-100℃이고, 교반속도는 10-1000rpm/min인 것을 특징으로 하는 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 염화바륨 수용액과 염화티탄수용액의 첨가속도가 1-50ml/l인 것을 특징으로 하는 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 에이징 시간이 1-100시간인 것을 특징으로 하는 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 건조는 50-200℃에서 행해지는 것임을 특징으로 하는 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 열분해 단계에서 상기 열분해 온도에 도달하기 위한 가열속도가 2-10℃/min인 것을 특징으로 하는 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 바륨티탄산옥살레이트 분말을 열분해한 후, Ba 또는/및 Ti의 자리에 치환되는 원소를 함유하는 첨가제를 혼합하는 것을 특징으로 하는 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 Ba 자리에 치환되는 원소는 Sr, Ca, Mg, Pb 중에서 선택된 1종 또는 2종이상인 것임을 특징하는 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 Ti 자리에 치환되는 원소는 Ti, Zr, Hf, Sn 중에서 선택된 1종 또는 2종이상인 것임을 특징하는 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법
  15. 제 12 항 내지 제 14 항 중 어느 한항에 있어서,
    상기 첨가제는 산화물, 탄산화물, 수산화물, 염화물, 질산화물의 형태인 것을 특징으로 하는 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 1, 2차 분쇄는 크기가 0.2-5.0mm인 볼을 이용하여 10-300분 행하는 강제교반 습식방식에 의한 것임을 특징으로 하는 옥살레이트법에 의한 티탄산바륨계 산화물 분말 제조방법
  17. 삭제
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100921352B1 (ko) * 2009-03-12 2009-10-15 한화석유화학 주식회사 미립 티탄산바륨계 분말의 제조방법
WO2010104358A2 (ko) * 2009-03-12 2010-09-16 한화석유화학 주식회사 미립 티탄산바륨계 분말

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW527321B (en) * 2000-08-09 2003-04-11 Samsung Electro Mech A method for producing barium titanate based powders by oxalate process
KR100414832B1 (ko) * 2001-02-22 2004-01-13 삼성전기주식회사 고품질 티탄산바륨계 파우더의 제조방법
KR20030006867A (ko) * 2001-07-16 2003-01-23 김 승 원 액상법에 의한 배기 가스 센서용 미세 분말의 제조방법
KR100435534B1 (ko) * 2001-07-31 2004-06-10 삼성전기주식회사 티탄산바륨의 제조방법
KR100434883B1 (ko) * 2001-08-14 2004-06-07 삼성전기주식회사 티탄산바륨계 파우더의 제조방법
JP4684657B2 (ja) * 2005-01-07 2011-05-18 日本化学工業株式会社 蓚酸バリウムチタニル粉末の製造方法及びチタン系ペロブスカイト型セラミック原料粉末の製造方法
KR101426345B1 (ko) * 2007-01-29 2014-08-07 삼성전기주식회사 옥살레이트 공정에 의한 티탄산바륨 분말의 제조방법 및 그방법에 의하여 제조된 티탄산바륨 분말
KR101606932B1 (ko) * 2009-04-29 2016-03-28 삼성전기주식회사 옥살레이트 공정에 의한 티탄산바륨 분말의 제조방법 및 그 방법에 의하여 제조된 티탄산바륨 분말
CN104797543A (zh) * 2012-11-30 2015-07-22 三星电机株式会社 制造钛酸钡的方法和通过该方法制造的钛酸钡
CN112824324A (zh) * 2019-11-21 2021-05-21 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种高结晶度钛酸亚锡及其合成方法与应用

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR880013821A (ko) * 1986-10-18 1988-12-22 이반 밀라 레너 바륨 티타네이트(BaTio₃)의 제조방법
JPH03103323A (ja) * 1989-09-14 1991-04-30 Tdk Corp シュウ酸チタニルバリウム粒子の製造方法
KR950000566A (ko) * 1993-06-08 1995-01-03 우덕창 티탄산바륨의 제조방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR880013821A (ko) * 1986-10-18 1988-12-22 이반 밀라 레너 바륨 티타네이트(BaTio₃)의 제조방법
KR950013072B1 (en) * 1986-10-18 1995-10-24 Philips Nv Process for the preparation of barium titanate batio3
JPH03103323A (ja) * 1989-09-14 1991-04-30 Tdk Corp シュウ酸チタニルバリウム粒子の製造方法
KR950000566A (ko) * 1993-06-08 1995-01-03 우덕창 티탄산바륨의 제조방법

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100921352B1 (ko) * 2009-03-12 2009-10-15 한화석유화학 주식회사 미립 티탄산바륨계 분말의 제조방법
WO2010104358A2 (ko) * 2009-03-12 2010-09-16 한화석유화학 주식회사 미립 티탄산바륨계 분말
WO2010104358A3 (ko) * 2009-03-12 2011-01-27 한화석유화학 주식회사 미립 티탄산바륨계 분말
US20110318583A1 (en) * 2009-03-12 2011-12-29 Hanwha Chemical Corporation Fine Barium Titanate Powder
US8367206B2 (en) 2009-03-12 2013-02-05 Hanwha Chemical Corporation Fine barium titanate powder

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