CN104797543A - 制造钛酸钡的方法和通过该方法制造的钛酸钡 - Google Patents

Abstract

提供一种制造草酸氧钛钡的方法、制造包含该草酸氧钛钡的钛酸钡的方法以及通过上述方法制造的草酸氧钛钡和钛酸钡。本发明的特征在于：在通过将氯化钡水溶液和氯化氧钛水溶液滴加到草酸水溶液来合成草酸氧钛钡时，调整包括合成温度和原料浓度等的合成条件。根据本发明，能够制造具有大比表面积的合成的草酸氧钛钡粉体，并且能够制造具有0.999至1.001的Ba/Ti摩尔比的钛酸钡。

Description

制造钛酸钡的方法和通过该方法制造的钛酸钡

技术领域

本发明涉及一种制造钛酸钡的方法和通过该方法制造的钛酸钡，更具体地，涉及一种从通过调整诸如滴加温度和反应物浓度等的合成条件制造的具有高比表面积的草酸氧钛钡粉体来制造具有0.999至1.001的Ba/Ti摩尔比的钛酸钡的方法。

背景技术

钛酸钡已经广泛地用作多层陶瓷电容器、正温度系数(PTC)陶瓷电容器和压电体等的原料。通常，已经通过固相反应，在高温下烧结二氧化钛(TiO₂)和碳酸钡(BaCO₃)来制备钛酸钡。根据近来朝着小尺寸且大容量(高介电常数组合物和薄且多层的电介质)、低温烧结、高频且高性能的多层陶瓷电容器(MLCC)的趋势，需要钛酸钡具有高纯度/同质性、小颗粒尺寸/高均匀性和非凝结性/高分散性等。作为能够满足这些需要的制造方法，液相合成法的需求正在增大。这样的液相合成法已经开发出例如水热合成法、共沉淀法(草酸盐合成法)和醇盐合成法，并且这些方法的使用一直迅速增加。

根据作为液相合成法中的一种类型的草酸盐合成法，将包含Ba离子和Ti离子的混合溶液加入到草酸中以使草酸氧钛钡化合物沉淀，然后对沉淀物进行干燥和煅烧以制备钛酸钡粉体。草酸氧钛钡(BaTiO₃(C₂O₄)₂·4H₂O)是钛酸钡(BaTiO₃)的前驱体。

作为制造钛酸钡的传统方法中的一种，为了使产品的性能稳定并且提高生产产量，草酸盐合成工艺包括对作为钛酸钡的前驱体的草酸氧钛钡进行陈化，以在合成钛酸钡的过程中生长成具有大约200μm尺寸的颗粒。然而，如果通过对具有大颗粒尺寸的草酸氧钛钡执行热处理制备钛酸钡，则在热处理过程中会形成过度聚集，因此作为最终产品的钛酸钡的质量会劣化。

发明内容

技术问题

本发明针对一种从通过调整诸如滴加温度和原料浓度等的合成条件制造的具有高比表面积(3m²/g至7m²/g)的草酸氧钛钡粉体来制造具有0.999至1.001的Ba/Ti摩尔比的钛酸钡的方法。

技术方案

根据本发明的第一示例性实施例，提供一种制造钛酸钡的方法，所述方法包括：制备氯化钡(BaCl₂)水溶液和氯化氧钛(TiOCl₂)水溶液(制备原料)；将氯化钡水溶液和氯化氧钛水溶液滴加到草酸溶液，以形成草酸氧钛钡沉淀物(滴加)；对包含草酸氧钛钡沉淀物的溶液进行陈化(陈化)；对草酸氧钛钡沉淀物进行洗涤和干燥(收集)；以及对收集的草酸氧钛钡沉淀物进行研磨，以得到草酸氧钛钡粉体(研磨)。这里，在以调整合成条件的方式收集的过程中收集的草酸氧钛钡具有3m²/g至7m²/g的比表面积，通过对研磨后得到的草酸氧钛钡煅烧制备的钛酸钡具有0.999至1.001的Ba/Ti摩尔比。

根据本示例性实施例的第一方面，可以在30℃至50℃的温度下执行滴加。在这种情况下，可以通过球磨执行研磨。此外，可以执行研磨直至草酸氧钛钡粉体的比表面积达到10m²/g。

根据本示例性实施例的第二方面，氯化钡(BaCl₂)水溶液的浓度可以在0.84mol/L至1.05mol/L的范围内，氯化氧钛(TiOCl₂)水溶液的浓度可以在0.8mol/L至1.0mol/L的范围内，草酸的浓度可以在1.9mol/L至2.3mol/L的范围内。在这种情况下，可以通过球磨执行研磨。此外，可以执行研磨直至草酸氧钛钡粉体的比表面积达到10m²/g。

根据本发明的第二示例性实施例，提供根据第一示例性实施例制备的草酸氧钛钡。

根据本发明的第三示例性实施例，提供一种制造通过对第二示例性实施例的草酸氧钛钡执行煅烧制备的钛酸钡的方法。可以在800℃至1000℃下执行煅烧。

根据本发明的第四示例性实施例，提供根据第三示例性实施例制造的钛酸钡。该钛酸钡可以具有0.999至1.001的Ba/Ti摩尔比。

有益效果

根据本发明，可以形成通过调整诸如滴加温度和反应物浓度等的合成条件制造的具有高比表面积(3m²/g至7m²/g)的草酸氧钛钡粉体，可以制造具有0.999至1.001的Ba/Ti摩尔比和均匀的颗粒分布的钛酸钡。

附图说明

图1是根据本发明的示例性实施例的制造草酸氧钛钡粉体的方法的流程图；

图2是示出根据示例1合成的草酸氧钛钡粉体的扫描电子显微照片；

图3是示出根据示例1研磨的草酸氧钛钡粉体的扫描电子显微照片；

图4示出根据示例1的钛酸钡的X射线衍射分析图像；

图5是示出根据示例1的钛酸钡的扫描电子显微照片；

图6是示出根据示例7合成的草酸氧钛钡粉体的扫描电子显微照片；

图7是示出根据对比示例1合成的草酸氧钛钡粉体的扫描电子显微照片；以及

图8是示出根据对比示例1研磨的草酸氧钛钡粉体的扫描电子显微照片。

具体实施方式

在下文中，将参照附图详细描述本发明的示例性实施例。可以以各种方式改变和修改示例性实施例，并且本发明的范围不限于下面解释的示例性实施例。此外，提供示例性实施例以向本领域技术人员更彻底地解释本发明。因此，为了更清楚地解释，会夸大附图中示出的元件的形状和尺寸，整个附图中，同样的附图标记指代同样的部件。

参照图1，根据本发明的第一示例性实施例，提供一种制造钛酸钡的方法，该方法包括：制备氯化钡(BaCl₂)水溶液和氯化氧钛(TiOCl₂)水溶液(制备原料)；将氯化钡水溶液和氯化氧钛水溶液滴加到草酸(oxalic acid)溶液，以形成草酸氧钛钡(barium titanyl oxalate)沉淀物(滴加)；对包含草酸氧钛钡沉淀物的溶液进行陈化(陈化)；对草酸氧钛钡沉淀物进行洗涤和干燥(收集)；对收集的草酸氧钛钡沉淀物进行研磨，以得到草酸氧钛钡粉体(研磨)。这里，在以调整合成条件的方式收集的过程中收集的草酸氧钛钡具有3m²/g至7m²/g的比表面积，并且通过对研磨后得到的草酸氧钛钡进行煅烧所制备的钛酸钡具有0.999至1.001的Ba/Ti摩尔比。

在下文中，首先将描述本示例性实施例的第一方面。本示例性实施例的第一方面涉及合成温度范围。

首先，可以制备氯化钡(BaCl₂)溶液和氯化氧钛(TiOCl₂)溶液(制备原料)。氯化钡(BaCl₂)溶液和氯化氧钛(TiOCl₂)溶液可以是使用水作为溶剂的水溶液。

通常，可以通过将BaCl₂·2H₂O溶解于水中来使用氯化钡水溶液。氯化钡水溶液的浓度可以在0.2mol/L至2.0mol/L的范围内。如果氯化钡水溶液的浓度小于0.2mol/L，则相对于氯化钡水溶液的体积，钛酸钡产率低，如果氯化钡水溶液的浓度大于2.0mol/L，则氯化钡会超过相对于水的溶解度的范围，因此氯化钡会沉淀。

可以通过在水中稀释四氯化钛(TiCl₄)，然后为了使其稳定化将盐酸(HCl)加入到其中来制备氯化氧钛水溶液。氯化氧钛水溶液的浓度可以在0.2mol/L至2.0mol/L的范围内。在这种情况下，如果将温度升高到40℃或更高，则氯化氧钛沉淀出固相氧化钛，因此会降低钛酸钡的Ba/Ti摩尔比。因此，温度需要保持为低于40℃。

然后，可以将氯化钡(BaCl₂)水溶液和氯化氧钛(TiOCl₂)水溶液滴加到草酸溶液，以形成草酸氧钛钡(BTO:BaTiO(C₂O₄)₂·4H₂O)沉淀物。在该工艺中，可以合成作为钛酸钡的前驱体的草酸氧钛钡。可以同时将氯化钡水溶液和氯化氧钛水溶液滴加到草酸溶液。具体地讲，可以通过使用高速注入喷嘴将包含氯化钡水溶液和氯化氧钛水溶液的混合溶液滴加到草酸(H₂C₂O₄)水溶液。可以在例如间歇式化学反应器中混合原料溶液。在滴加过程中，可以不断地搅拌溶液。搅拌可以促使氯化钡和氯化氧钛与草酸均匀地反应。

可以在30℃至50℃的温度下执行滴加。在这里，滴加温度意味着草酸水溶液的温度。如果滴加过程中的温度低于30℃，则氯化钡和氯化氧钛与草酸的反应无法发生。如果滴加过程中的温度高于50℃，则草酸会分解，并且会降低氯化钡和氯化氧钛与草酸的反应。在这种情况下，为了抑制沉淀，包含氯化钡水溶液和氯化氧钛水溶液的混合溶液需要保持在30℃或更低。

可以通过调整将原料溶液加入到反应器的速度(例如，将氯化钡水溶液和氯化氧钛水溶液滴加到草酸水溶液的速度)来控制合成时间。通过喷嘴将包含氯化钡水溶液和氯化氧钛水溶液的混合溶液注入并滴加到草酸水溶液可以耗时1至3小时。可以通过调整喷嘴的注入速度来实现这样的滴加时间。

可以由下面的反应式1来表示通过将氯化钡水溶液和氯化氧钛水溶液滴加到草酸水溶液来产生草酸氧钛钡(BaTiO(C₂O₄)₂·4H₂O)的工艺：

[反应式1]

BaCl₂·2H₂O+TiOCl₂+2H₂C₂O₄·2H₂O→BaTiO(C₂O₄)₂·4H₂O+4HCl

根据反应式1，氯化钡、氯化氧钛和草酸的摩尔比为1:1:2。然而，可以在实践中进一步地添加氯化氧钛的量和草酸的量。考虑到氯化钡的反应速率低，可以加入更多的氯化钡。关于草酸，考虑到一部分草酸会分解，可以加入更多的草酸。此外，可以使用比氯化钡水溶液或氯化氧钛水溶液更多的量的草酸水溶液。

之后，可以对包含草酸氧钛钡沉淀物的混合溶液进行陈化(陈化)。

可以通过使钡离子和钛离子与草酸反应来形成草酸氧钛钡。然而，会存在无法用于与草酸反应的钡离子和钛离子。随着在预定的时间内不断地搅拌，可以使用无法在反应中使用的钡离子和钛离子。

可以在70℃或以下进行陈化。合成草酸氧钛钡之后，通常，可以提高温度，然后可以进行陈化。如果陈化过程中的温度高于70℃，则草酸会分解，因此反应会降低。

同时，陈化时间几乎不影响钛酸钡的Ba/Ti摩尔比。因此，确定陈化温度之后，为了产率，在尽可能短的时间内执行陈化。

然后，可以对草酸氧钛钡沉淀物进行洗涤和干燥(收集)。

收集是指用于仅使固相草酸氧钛钡沉淀物分离的工艺。可以通过使用离心机或压滤机(filter press)使固相草酸氧钛钡结晶物从包含草酸氧钛钡的浆料中分离来执行收集。可以使用大量的水对收集的草酸氧钛钡沉淀物进行洗涤。

可以在400℃或更低的温度下对洗涤的草酸氧钛钡进行干燥，以除去洗涤溶液。干燥方法可以包括诸如烘箱干燥法、真空干燥法和冷冻干燥法等的各种方法。为了得到小颗粒尺寸和均匀的颗粒分布，在尽可能低的温度下在短时间内执行干燥工艺会是有利的。

草酸氧钛钡沉淀物的比表面积可以为3m²/g至7m²/g。优选地，草酸氧钛钡沉淀物的比表面积可以为4m²/g至6m²/g。如果草酸氧钛钡沉淀物的比表面积小于3m²/g，则钛酸钡的Ba/Ti摩尔比会小于0.999，如果草酸氧钛钡沉淀物的比表面积大于7m²/g，则钛酸钡的Ba/Ti摩尔比会大于1.001。如果钛酸钡的Ba/Ti摩尔比在0.999至1.001的范围之外，则通过使用钛酸钡制造的电子产品的介电特性会劣化。

之后，可以对收集的草酸氧钛钡沉淀物进行研磨，以得到草酸氧钛钡粉体(研磨)。通过自顶向下(top-down)方法可以得到具有期望的颗粒尺寸的草酸氧钛钡粉体。

作为研磨方法，可以使用湿磨法。在湿磨法中，草酸氧钛钡与预定的介质一起放入到诸如珠磨机、球磨机和磨碎机的湿式研磨机中，然后进行研磨。由于研磨粉体会根据研磨系统而变化，因此会需要适当地控制研磨时间。通过调整研磨时间，可以调整颗粒尺寸。

作为介质，可以使用诸如乙醇的有机介质或诸如去离子水的水。如果使用有机介质，则在研磨效率或颗粒尺寸控制方面可以是有利的，但是会增加成本。如果使用水，则可以简化工艺，因此可以降低成本。

如果使用水作为介质，则相对于1重量份的草酸氧钛钡，使用的水的量可以是1至10重量份。如果使用的水的量小于1重量份，则会增大粘性，因此会存在无研磨效果，如果使用的水的量大于10重量份，则相对于使用的水的量，草酸氧钛钡产率会低。

可以在400℃或更低的温度下对湿研磨的草酸氧钛钡进行干燥，以除去使用的介质。干燥温度不受具体限制，并且可以等于或高于介质的沸点，以蒸发并且除去使用的介质。结果，可以得到草酸氧钛钡粉体。

研磨后得到的草酸氧钛钡粉体可以具有10m²/g或更高的比表面积。

在下文中，将描述本示例性实施例的第二方面。本示例性实施例的第一方面涉及草酸氧钛钡的合成温度范围，本示例性实施例的第二方面涉及原料浓度范围而不考虑合成温度范围。

氯化钡(BaCl₂)水溶液的浓度可以在0.84mol/L至1.05mol/L的范围内，氯化氧钛(TiOCl₂)水溶液的浓度可以在0.8mol/L至1.0mol/L的范围内，草酸的浓度可以在1.9mol/L至2.3mol/L的范围内。如果原料的浓度低于下限，则会形成与低浓度相对应的较少反应起始点，因此会降低反应。

通常，氯化钡、氯化氧钛和草酸可以分别具有0.735mol/L、0.7mol/L和1.6mol/L的浓度，但是可以不限于此。可以进一步地增大原料的浓度。如果增大各原料的浓度，则可以提高原料之间的反应起始点，因此能够改善反应速率，并且能够最终减少处理时间。然而，氯化钡(BaCl₂)的浓度可以为1.05mol/L或更低，氯化氧钛(TiOCl₂)的浓度可以为1.0mol/L或更低，草酸的浓度可以为2.3mol/L或更低。如果原料的浓度在以上范围之外，则反应物浓度变得太高，因此会降低反应。

根据本发明的另一示例性实施例，提供一种制造通过对根据上述示例性实施例制备的草酸氧钛钡粉体执行煅烧而制备的钛酸钡的方法。

为了对干燥的草酸氧钛钡粉体进行煅烧，可以使用匣钵(Sagger)或托盘(Tray)作为加热炉，在这里，术语“匣钵”是指由耐火土制成的容器并且可以是例如具有方形底表面的六面体容器。

煅烧温度可以为800℃至1000℃。如果煅烧温度低于800℃，则几乎不形成钛酸钡，如果煅烧温度高于1000℃，则钛酸钡的颗粒会过度生长。加热速率可以为0.5℃/min至10℃/min。如果加热速率低于0.5℃/min，则会增加处理时间，因此会降低产率。如果加热速率高于10℃/min，则温度分布会根据位置变得不均匀，因此钛酸钡会具有不均匀的颗粒尺寸。

具体地讲，优选地，可以在950℃下执行煅烧2小时。

通过煅烧，在产生钛酸钡的同时，可以分离并且除去包含在草酸氧钛钡粉体中的杂质。即，可以除去过量的二氧化碳和存在于草酸氧钛钡晶体内的作为结晶水的水，并且还可以通过如下反应形成钛酸钡粉体。

[反应式2]

BaTiO(C₂O₄)₂·4H₂O→BaTiO(C₂O₄)₂+4H₂O

[反应式3]

BaTiO(C₂O₄)₂+1/2O₂→BaCO₃+TiO₂+2CO₂

[反应式4]

BaCO₃+TiO₂→BaTiO₃

煅烧后制备的钛酸钡可以具有0.999至1.001的Ba/Ti摩尔比。如果Ba/Ti摩尔比小于0.999或大于1.001，则通过使用钛酸钡制造的电子产品(诸如多层陶瓷电容器)的特性会劣化。

由于在钛酸钡颗粒之间发生缩颈，因此煅烧后制备的钛酸钡会聚集。为了使聚集的粉体分开，可以对钛酸钡进行研磨。作为研磨方法，有与预定的介质一起使用诸如珠磨机、磨碎机和球磨机的研磨机的湿磨法以及在不使用介质的情况下利用原料之间的碰撞或与研磨机(诸如喷射式研磨机和盘式研磨机)的摩擦力的干磨法。执行研磨以降低钛酸钡颗粒的聚集。执行湿磨工艺后，会额外地需要干燥工艺。如果不需要，则可以省略研磨。

当抑制缩颈时，为了对数百微米(μm)的传统前驱体进行研磨，需要在长时间内执行高强度的研磨工艺。在这种情况下，钛酸钡颗粒会破碎为许多细颗粒，因此颗粒分布和结晶度会劣化。然而，在本示例性实施例中制备的草酸氧钛钡的情况下，粒径比传统的情况小很多并且聚集的量显著地降低，因此能够降低研磨强度。结果，在无细颗粒的情况下，能够制备均匀的前驱体颗粒，并且能够改善特性。

根据本发明的另一示例性实施例，提供通过上述方法制造的钛酸钡，并且钛酸钡的Ba/Ti摩尔比可以在0.999至1.001的范围内。如果Ba/Ti摩尔比在以上范围内，则可以满足对通过使用该钛酸钡制造的多层陶瓷电容器的性能要求。

在下文中，将参照示例和对比示例更详细地描述本发明。

[合成温度的影响]

草酸氧钛钡和钛酸钡的合成

为了确认合成条件之中合成温度、陈化温度和陈化时间对合成后的草酸氧钛钡的比表面积和钛酸钡的Ba/Ti摩尔比的影响，如表1中所列，改变合成温度、陈化温度和陈化时间。

通过在4M³搪玻璃反应器中将氯化钡水溶液与氯化氧钛水溶液混合来制备混合水溶液。此外，在6M³反应器中制备草酸水溶液。

然后，通过使用全锥型喷嘴以2.5L/min的速度将混合水溶液喷射到草酸水溶液中。在喷嘴喷射过程中，使用隔膜泵以供应混合水溶液。在这种情况下，在通过搅拌器搅拌草酸水溶液的同时执行喷射。搅拌器的搅拌速度保持在150rpm。滴加混合水溶液2小时。

然后，混合物随着不断搅拌而陈化。结果，得到包含草酸氧钛钡的浆料并且完成陈化。

之后，通过离心机过滤草酸氧钛钡浆料，并且用大量的水对其进行洗涤直至洗涤液的pH达到4。在炉中在200℃的温度下对以这种方法得到的草酸氧钛钡干燥12小时。结果，得到固体的草酸氧钛钡。

通过使用球磨机对合成的草酸氧钛钡进行湿磨。使用3mm的陶瓷球作为球，使用水作为介质。转速为100rpm，执行球磨24小时。

在炉中，在200℃的温度下对以这种方法得到的草酸氧钛钡浆料干燥12小时。结果，得到草酸氧钛钡粉体。

在970℃下在常压中对制造的草酸氧钛钡粉体煅烧7小时。结果，得到钛酸钡粉体。

评价

测量制造的草酸氧钛钡粉体的比表面积，并测量通过对草酸氧钛钡粉体煅烧得到的钛酸钡粉体中的钡原子与钛原子的摩尔比(Ba/Ti)。其结果列在下面的表1中。

比表面积表示每单位重量的钛酸钡粉体的表面积，并且通过采用由Micromeritics制造的ASAP 2010系统的BET来测量比表面积。

通过采用由Philips制造的X射线荧光(XRF)光谱仪测量Ba/Ti摩尔比。

[表1]

参照表1，在对比示例1中，滴加温度为70℃，在示例1至示例3以及对比示例2和对比示例3中，滴加温度从20℃变化至80℃。在示例1至示例3中，滴加温度为30℃至50℃，合成后，草酸氧钛钡的比表面积在3m²/g至6m²/g的范围内，Ba/Ti摩尔比在0.999至1.001的范围内。同时，在对比示例2中，Ba/Ti摩尔比低于0.999，这是因为由于20℃的滴加温度过低导致钡离子和钛离子不与草酸很好地反应。在对比示例3中，Ba/Ti摩尔比低于0.999，这是因为由于滴加温度过高导致草酸分解，降低了钡离子和钛离子与草酸的反应。

参照示例4和示例5，能够确定的是，即使当改变陈化时间时，也不影响草酸氧钛钡和钛酸钡的特性。此外，能够确定的是，当研磨(磨碎)后的草酸氧钛钡的比表面积在10m²/g或更大时，钛酸钡的Ba/Ti摩尔比在0.999至1.001的范围内。

图2是示出根据示例1合成的草酸氧钛钡粉体的扫描电子显微照片。图3是示出根据示例1研磨的草酸氧钛钡粉体的扫描电子显微照片。图4示出根据示例1的钛酸钡的X射线衍射分析图像。图5是示出根据示例1的钛酸钡的扫描电子显微照片。图6是示出根据对比示例1合成的草酸氧钛钡粉体的扫描电子显微照片。图7是示出根据对比示例1研磨的草酸氧钛钡粉体的扫描电子显微照片。

[原料浓度的影响]

改变原料(氯化钡、氯化氧钛)的浓度而合成草酸氧钛钡和钛酸钡。以与评价合成温度的影响相同的方式执行评价。合成条件和评价结果列在表2中。

[表2]

参照表2，在对比示例4和对比示例5中，氯化钡和氯化氧钛的浓度比对比示例1低，合成的草酸氧钛钡的比表面积低于3m²/g，这是因为钡离子和钛离子没有与草酸很好地反应。

在具有高浓度的示例6和示例7中，氯化钡的含量为0.84mol至1.05mol，氯化氧钛的含量为0.8mol至1.0mol，草酸的含量为1.9mol至2.3mol，合成的草酸氧钛钡的比表面积在3m²/g至7m²/g的范围内，钛酸钡的Ba/Ti摩尔比在0.999至1.001的范围内。图8是示出根据示例7合成的草酸氧钛钡粉体的扫描电子显微照片。

在对比示例6中，钛酸钡的Ba/Ti摩尔比高于1.001，这是因为由于反应物浓度过高导致反应降低。

在此用于描述本发明的实施例的术语不意图限制本发明的范围。除非上下文另外清楚地表明，否则本发明的被称为单数的元件可以计为一个或更多个。此外，将理解的是，当在这里使用术语“包含”或“包括”时，表示存在陈述的特征、数字、步骤、操作、元件或组件，但不排除存在或添加一个或更多个其它特征、数字、步骤、操作、元件、组件或它们的组。本发明不限于以上描述的和在附图中示出的示例性实施例的任何方面。在不脱离如权利要求限定的本发明的技术精神和范围的情况下，本领域技术人员可以对示例性实施例作出各种替换、改变和修改。

Claims (9)

1.一种制造钛酸钡的方法，所述方法包括：

制备原料：制备氯化钡水溶液和氯化氧钛水溶液；

滴加：将所述氯化钡水溶液和所述氯化氧钛水溶液滴加到草酸溶液，以形成草酸氧钛钡沉淀物；

陈化：对包含所述草酸氧钛钡沉淀物的溶液进行陈化；

收集：对所述草酸氧钛钡沉淀物进行洗涤和干燥；以及

研磨：对收集的草酸氧钛钡沉淀物进行研磨，以得到草酸氧钛钡粉体，

其中，在收集过程中收集的草酸氧钛钡具有3m²/g至7m²/g的比表面积，从草酸氧钛钡制备的钛酸钡具有0.999至1.001的Ba/Ti摩尔比。

2.根据权利要求1所述的制造钛酸钡的方法，其中，在30℃至50℃的温度下执行所述滴加。

3.根据权利要求1所述的制造钛酸钡的方法，其中，所述氯化钡水溶液的浓度在0.84mol/L至1.05mol/L的范围内，所述氯化氧钛水溶液的浓度在0.8mol/L至1.0mol/L的范围内，所述草酸的浓度在1.9mol/L至2.3mol/L的范围内。

4.根据权利要求2或3所述的制造钛酸钡的方法，其中，通过球磨执行所述研磨。

5.根据权利要求2或3所述的制造钛酸钡的方法，其中，执行所述研磨直至草酸氧钛钡粉体的比表面积达到10m²/g。

6.根据权利要求1所述的制造钛酸钡的方法，其中，所述方法还包括：对权利要求1的草酸氧钛钡粉体进行煅烧。

7.根据权利要求6所述的制造钛酸钡的方法，其中，在800℃至1000℃下执行所述煅烧。

8.一种根据权利要求1至7中任一项所述的方法制造的钛酸钡。

9.根据权利要求8所述的钛酸钡，所述钛酸钡具有0.999至1.001的Ba/Ti摩尔比。