KR100339071B1

KR100339071B1 - 양면발광형 형광표시관 및 그의 제조방법

Info

Publication number: KR100339071B1
Application number: KR1019990008225A
Authority: KR
Inventors: 미히라아키히로; 메라요이치; 미조하타다다시; 도쿠라가츠시
Original assignee: 니시무로 아츠시; 후다바 덴시 고교 가부시키가이샤
Priority date: 1998-03-12
Filing date: 1999-03-12
Publication date: 2002-05-31
Also published as: DE19909746A1; KR19990077811A; TW445486B; US6400073B1

Abstract

(과제) 배선패턴의 절연불량이나 단선을 감소하고, 양극의 무효전류를 감소시켜 발광효율의 향상을 도모한다.

(해결수단) 외위기(1)는 대면하는 배면기판(2)과 전면기판(3) 사이에 테두리모양의 측면판을 봉착하여 구성된다. 배면기판(2)의 내면에는 배선패턴(5)이 형성되고, 배선패턴(5)을 덮도록 절연층(7)이 형성되고, 배선패턴(5)에 접속되는 양극전극(8)이 절연층(7) 상에 형성되고, 양극전극(8) 상에 형광체층(10)이 형성되고, 형광체층(10)으로부터 소정간격 떨어져 제어전극(12)이 설치된다. 전면기판(3)의 내면에는 배선패턴(13)이 형성되고, 배선패턴(13)에 투광성의 양극전극(14)이 접속되고, 양극전극(14) 상에 형광체층(15)이 형성되고, 형광체층(15)으로부터 소정간격 떨어져 제어전극(17)이 설치된다. 전면기판(3)에 있어서 패턴(13)의 노출부분은, 투광성 및 절연성을 갖는 SiO₂막(19)으로 피복된다.

Description

양면발광형 형광표시관 및 그의 제조방법{DOUBLE-FACED FLUORESCENT DISPLAY TUBE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은, 전면기판 및 배면기판의 내면에 발광표시부를 가짐과 동시에, 전자를 방출하는 음극전극과, 제어전극을 외위기내에 배열설치하여 이루는 양면발광형 표시관 및 그의 제조방법에 관한 것이다.

종래부터, 형광체층 및 상기 형광체층이 피착된 양극전극으로 이루어지는 발광표시부와, 전자를 방출하는 음극전극과, 상기 발광표시부와 상기 음극전극 사이에 배열설치된 제어전극을 대향하여 배열설치된 전면기판 및 배면기판 또 측면판에 의하여 구성된 외위기내에 배열설치한 양면발광형 형광표시관이, 오디오기기 등의 각종 분야에서 표시장치로서 사용되고 있다. 양면발광형 형광표시관으로서는, 외위기의 한쪽 기판측에서 2개의 발광표시부를 관찰하는 형과, 각각의 기판측에서 발광표시부를 관찰하는 형이 알려져 있다.

도 9는 이 종류의 종래의 양면발광형 형광표시관의 일례를 도시하는 부분확대 측단면도이다.

도 9에 도시하는 바와 같이, 양면발광형 형광표시관은, 각각 투광성을 갖는 글라스 등의 판재로 이루어지는 배면기판(2)과, 전면기판(3)과, 배면기판 및 전면기판의 주위를 둘러싸는 측면판을 상자모양으로 조립하여 구성되는 외위기(1)를 갖고 있다. 배면기판(2)의 내면에는, 알루미늄 박막에 의한 배선패턴(5)이 형성되어 있다. 배선패턴(5) 위에는 스루홀(6)을 갖는 흑색의 절연층(7)이 형성되어 있다. 절연층(7)의 스루홀(6) 위에는 양극전극(8)이 형성되어 있고, 스루홀(6)에 충전된 도전재(9)를 통하여 배선패턴(5)과 접속되어 있다. 양극전극(8) 위에는 형광체층(10)이 형성되어 있고, 배면측의 발광표시부(11)를 구성하고 있다. 배면측의 발광표시부(11)의 상방에는 소정간격을 두고, 배면측의 제어전극으로서의 메시그리드 (12)가 배열설치되어 있다.

한편, 전면기판(3)의 내면에는, 알루미늄 박막에 의한 줄무늬상의 배선패턴 (13)이 소정간격으로 형성되어 있다. 이 배선패턴(13)의 일부는 투광성을 갖는 양극전극(14)에 접속되어 있다. 양극전극(14) 상에는 형광체층(15)이 형성되어 있고,전면측의 발광표시부(16)를 구성하고 있다. 전면측의 발광표시부(16)의 하방에는 소정간격을 두고 전면측의 제어전극으로서의 메시그리드(17)가 배열설치되어 있다. 외위기(1)내에는, 메시그리드(12, 17) 사이에 전자를 방출하기 위한 필라멘트 모양의 음극전극(18)이 팽팽하게 설치되어 있다.

그런데, 상기와 같이 구성되는 종래의 양면발광형 형광표시관에서는, 전면기판(3)의 배선패턴(13) 주위에 공간을 형성하고, 전면기판(3) 측에서 배면기판(2) 상의 배면측의 발광표시부(11) 및 전면기판(3) 내면의 전면측의 발광표시부(16)의 양쪽의 발광표시를 관찰할 수 있도록 하고 있다. 이 때문에 전면기판(3) 측의 배선패턴(13)이 노출되어 구성 되어 있고, 제조공정중에 발생하는 도전성 이물질 등이 상기 배선패턴(13) 사이에 부착되고, 배선판을 단락시켜 절연불량이 발생하는 문제가 있었다. 구체적으로는, 전극을 전기용접하는 경우에 발생한 스파크의 부스러기나 게터막 등이 외위기(1)내를 이동하여 배선패턴(13) 사이에 부착되면, 배선패턴 (13) 사이가 단락하여 절연불량을 초래하거나 배선패턴(13)이 파손하여 단선이 되는 문제가 발생하기 쉽다.

여기서, 본 발명은 상기 문제점에 비추어서 이루어진 것으로, 제조공정중의 도전성 이물질 등에 의한 배선패턴의 절연불량이나 단선을 감소시켜, 양극의 무효전류를 감소시켜 형광체의 발광효율을 향상시킬 수 있는 양면발광형 형광표시관 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

도 1은 본 발명에 의한 양면발광형 형광표시관의 일 실시형태를 도시하는 부분확대 측단면도,

도 2는 본 발명의 실시형태에 관한 양면발광형 형광표시관의 개략평면도,

도 3은 본 발명의 실시형태에 관한 양면발광형 형광표시관의 부분 정단면도,

도 4는 본 발명의 실시형태로 사용하는 마스크의 개략평면도,

도 5는 본 발명의 실시형태로 사용하는 스크린의 개략평면도,

도 6은 본 발명의 실시형태로 사용하는 위치맞춤 마스크의 확대평면도,

도 7은 본 발명의 실시형태에 있어서, 위치맞춤을 행하는 경우의 설명도,

도 8은 배선패턴을 절연막으로 덮는 본 발명에 의한 양면발광형 형광표시관의 기판과, 배선패턴을 절연막으로 덮지 않는 종래의 기판과의 투과율의 비교를 도시하는 도면,

도 9는 종래의 양면발광형 형광표시관의 일례를 도시하는 부분확대 측단면도.

(과제를 해결하기 위한 수단)

상기 목적을 달성하기 위하여, 청구항 1의 발명은, 서로 대면하는 2매의 기판간의 외주부가 봉착된 외위기를 갖고, 상기 기판의 각각의 내면에는 발광표시부와 그 발광표시부에 접속된 배선패턴을 갖는 양면발광형 형광표시관에 있어서,

상기 배선패턴의 노출부분을, 투광성을 갖는 절연막에 의하여 피복한 것을 특징으로 한다.

청구항 2의 발명은, 서로 대면하는 배면기판과 전면기판 사이에 테두리 형태의 측면판을 봉착한 외위기를 갖고, 상기 배면기판의 내면에는 배선패턴과, 상기 배선패턴을 덮는 흑색의 절연층과, 상기 절연층상에 설치되어서 상기 배선패턴에 스루홀 접속된 양극전극과, 상기 양극전극상에 설치되는 형광체층과, 상기 형광체층으로부터 소정간격 떨어져서 설치되는 제어전극을 갖고, 상기 전면기판의 내면에는 배선패턴과, 상기 배선패턴에 접속된 투광성의 양극전극과, 상기 양극전극상에 설치되는 형광체층과, 상기 형광체층으로부터 소정간격 떨어져서 설치되는 제어전극을 갖고, 상기 제어전극간에 음극전극이 설치되는 양면발광형 형광표시관에 있어서,

상기 전면기판에 있어서의 상기 배선패턴의 노출부분을, 투광성을 갖는 절연막에 의하여 피복한 것을 특징으로 한다.

청구항 3의 발명은 청구항 2에 기재된 양면발광형 형광표시관에 있어서, 상기 발광표시부 및 내부단자를 제외하고, 상기 전면기판의 전면을 투광성을 갖는 절연막에 의하여 피복한 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 4의 발명은 청구항 제 1 항 내지 제 3 항의 양면발광형 형광표시관에 있어서, 상기 절연막은 SiO₂박막으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또, 청구항 5의 발명은 전면기판내면에 형광체층 및 상기 형광체층이 피착된 양극전극으로 이루어지는 복수의 발광표시부와, 상기 복수의 양극전극을 접속하는 배선패턴과, 상기 배선패턴에 접속된 내부단자를 배열설치함과 동시에, 전자를 방출하는 음극전극과, 상기 발광표시부와 상기 음극전극 사이에 배열설치된 제어전극을 대향하여 배열설치된 상기 전면기판 및 배면기판과 측면판에 의하여 구성된 외위기내에 구비하여 이루는 양면발광형 형광표시관의 제조방법에 있어서,

제 2의 패턴형성부재가 위치어긋남이 생기더라도 허용되는 범위인 위치어긋남 허용범위를 나타내는 형상의 복수의 제 1 위치맞춤마크가 형성된 제 1 패턴형성부재를 사용하여, 상기 전면기판에 상기 양극전극, 배선패턴, 내부단자및 제 1 위치맞춤마크를 형성하는 단계와,

상기 제 1 위치맞춤마크에 대응하는 위치에 복수의 제 2 위치맞춤마크가 형성된 제 2 패턴형성부재를 사용하여, 상기 전면기판에 형성된 상기 제 1 위치맞춤마크의 상기 위치어긋남 허용범위내에 상기 제 2 위치맞춤마크를 정합시킨 상태에서, 상기 전면기판에 투광성의 절연막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 6 기재된 발명에 있어서는 상기 제 1 위치맞춤마크를, 상기 위치어긋남 허용범위를 폭으로 하는 口자 모양의 마크에 의하여 형성하여도 좋다.

또, 청구항 7 기재된 발명에 있어서는, 상기 제 2 위치맞춤마크를 상기 제 1의 마크의 외형과 동일치수의 여백부를 갖는 마크에 의하여 형성하여도 좋다.

더욱더, 청구항 8 기재된 발명에 있어서는, 상기 제 2 패턴형성부재는 상기 발광표시부 및 내부단자를 제외하고, 상기 전면기판내면에 상기 절연층을 형성하도록 구성하여도 좋다.

(발명의 실시형태)

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 설명한다. 더욱이 이하의 각 도면에 있어서는, 도 9에 도시하는 종래의 양면발광형 형광표시관과 동일부분에는, 동일부호를 붙이고 있다. 또 본 실시형태에 관한 양면발광형 형광표시관의 기본구성은 도 9에 도시하는 구성과 동일하고, 이하, 주로 본 실시형태에 있어서 특징부분에 대하여 설명한다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 본 실시형태의 양면발광형 형광표시관은 글라스 등의 절연성의 판재로 이루어지는 상자모양의 외위기(1)를 갖고 있다. 외위기(1)는, 배면기판(2)과 투광성을 갖는 전면기판(3)을 소정간격을 두고 대향배치하고, 그 외주부분에 테두리모양의 측면판이 고착되어 조립되어 있고, 내부가 진공상태로계속 유지되어 있다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 배면기판(2)의 내면에는 알루미늄박막에 의한 배선패턴이 형성되어 있다. 배선패턴(5) 상에는, 스루홀(6)을 갖는 흑색의 절연층(7)이 형성되어 있다. 절연층(7)의 스루홀(6) 상에는 양극전극(8)이 형성되어 있다. 양극전극(8)은 스루홀(6)에 충전된 도전재(9)를 통하여 배선패턴(5)과 접속되어 있다. 양극전극(8) 상에는 형광체층(10)이 형성되어 있고, 배면측의 발광표시부(11)를 구성하고 있다. 배면측의 발광표시부(11)의 상방에는 소정간격을 두고 배면측의 제어전극으로서의 메시그리드(12)가 배열설치되어 있다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 전면기판(3)의 내면에는, 알루미늄박막에 의한 배선패턴(13)이 소정간격 걸러서 형성되어 있다. 양극전극(14)은 예를 들면 알루미늄박막에 의한 줄무늬 모양의 패턴의 간격부로부터 발광을 방사하도록 구성되어 있다. 양극전극(14) 상에는 형광체층(15)이 형성되어 있고, 전면측의 발광표시부(16)를 구성하고 있다. 전면측의 발광표시부(16)의 하방에는 소정간격을 두고, 전면측의 제어전극으로서의 메시그리드(17)가 배열설치되어 있다. 외위기(1)내에는 메시그리드 (12, 17) 사이에 필라멘트 모양의 음극전극(18)이 팽팽하게 설치되어 있다.

전면기판(3)의 발광표시부(16)가 형성된 부분 이외의 배선패턴(13)은 투광성을 갖는 절연막(19)에 의하여 덮여져 있다. 이 절연막(19)으로서는, 용이하게 패턴닝할 수 있도록, 유기 SiO₂와 용제(예를 들면 부틸카르비놀과 아세테이트 등)을 혼합한 페이스트 모양의 재료가 사용된다. 그리고, 상기 페이스트 상태 재료를 스크린 인쇄법(이하, 인쇄법이라 함)으로 배선패턴(13) 상에 형성한 후에 소성하는 졸·겔 법에 의하여, (SiO₂)_n의 절연막(19)이 배선패턴(13) 상에 피복형성된다.

더욱이, 상기 절연막(19)은 증착에 의하여 피복형성하는 것도 가능하지만, 하나씩 진공계에 넣어 행하는 것은 효율이 나쁘고, 생산비도 들게 된다.

그래서, 본 실시형태에서는, 인쇄법에 의하여 절연막(SiO₂막)(19)을 형성하고 있다. 얻어지는 절연막(19)의 두께는 지나치게 얇으면 배선패턴(13)을 덮기 어렵고, 지나치게 두꺼우면 막질이 열화하여 전면기판(3)과의 밀착성이 나빠지기 때문에 약 0.1∼0.5㎛로 형성된다. 이 값은 증착에 의하여 형성한 경우보다도 두껍게 되지만, 광흡수가 적고, 표시에 대한 악영향도 없다.

도 2는 본 발명의 다른 실시형태에 관한 양면발광형 형광표시관의 개략평면도로, 배선패턴이나, 외부단자는 생략하여 그려져 있고, 전면기판(3)의 내면에 개재된 7 세그먼트 구성의 4자리 숫자를 표시하는 양극전극(14) 및 제 1 위치맞춤마크(103)를 도시하고 있다.

도 3은, 도 2에 도시하는 양면발광형 형광표시관의 정면부분 단면도이다. 도 3에 있어서, 전면기판(3)의 내면에는 7 세그먼트를 구성하는 투광성의 양극전극 (14), 배선패턴(13), 외부단자(도시하지 않음)에 접속되는 내부단자(204), 형광체층(15), SiO₂에 의하여 형성된 투광성의 절연막(19)이 형성되어 있다. 양극전극(14) 및 형광체층(15)은 발광표시부(16)를 구성하고 있다. 절연막(19)은 내부단자(204) 및 발광표시부(16)를 제외하고, 전면기판(3)의 전면에 피착형성되어 있다. 또 자립형 그리드를 사용하는 경우에는 상기 그리드를 피착하는 내부단자(도시하지 않음)도 제외하여 절연막(19)이 피착형성된다. 이로서, 배선패턴(13)이 절연막(19)에 의하여 피복되므로, 게터막 등에 의한 배선패턴(13)간의 단락의 발생을 억제할 수가 있다.

도 4는, 전면기판(3)에 양극전극(14) 등을 형성하기 위한 제 1의 패턴형성부재로서의 마스크(301)를 도시하는 도면이다. 도 4에 있어서, 마스크(301)에는 복수의 형광표시관용의 도전패턴(302)이 형성되어 있고, 각 형광표시관용의 도전패턴 (302)으로서, 양극전극(14)용의 패턴(304) 및 제 1의 위치맞춤마크(103)가 설치되어 있다. 더욱이, 도 4에는 도시하지 않았지만, 배선패턴 및 내부단자의 패턴도 형성되어 있다.

도 6a는 위치맞춤마크(103)의 형상을 도시하는 확대도이다. 도 6a에 있어서, 위치맞춤마크(103)는 口자상으로 형성되어 있고, 한변이 b인 정4각형상의 도전부재 피착부(501)의 중앙에 정4각형상의 여백부(502)가 형성되어서 구성되어 있다. 도전부재 피착부(501)는 이에 대응하여 도전재료가 피착형성되는 부분이고 또, 여백부(502)는 도전재료가 피착형성되지 않는 부분이다. 도전부재 피착부(501)의 각변은, 폭 a이다. 상기 폭 a는, 절연막(19)이 위치어긋남이 생겨서 형성되더라도, 절연막(19)에 의한 양극전극(14)이나 내부단자의 피복이나, 배선패턴의 노출 등의 문제가 생기지 않는 허용범위를 표시하고 있다.

양극전극(14), 위치맞춤마크(103), 배선패턴(13) 및 내부단자(204)는 상기 마스크(301)를 사용하여 포토리소그래피의 수법에 의하여 알루미늄 박막에 의하여 전면기판(3)에 피착형성된다.

한편, 도 5는, 전면기판(3)에 절연막(19)을 형성하는 제 2의 패턴형성부재로서의 스크린(401)을 도시하는 도면이다. 도 5에 있어서 스크린(401)에는, 복수의 형광표시관용의 절연층 패턴(402)이 형성되어 있고, 각 형광표시관의 절연층 패턴(402)은, 양극전극(14) 및 내부단자(204)를 제외하고, 전면에 인쇄할 수 있는 패턴으로 형성되어 있다. 또 제 2의 위치맞춤마크(403)가 설치되어 있다.

도 6b는 위치맞춤마크(403)의 형상을 도시하는 확대도이다. 도 6b에 있어서, 위치맞춤마크(403)는 口자 상태로 형성되어 있고, 절연재료 피착부(503)에 둘러쌓여, 한변이 위치맞춤마크(103)의 외형치수 b와 동일하게 형성된 정4각형상의 여백부(504)를 갖는 구성을 하고있다. 절연재료 피착부(503)는, 이에 대응하여 절연재료가 피착형성되는 부분이고, 또, 여백부(504)는, 절연재료가 피착형성되지 않는 부분이다.

스크린(401)을 사용하여 전면기판(3)에 절연막(19)을 형성하는 경우에는, 스크린(401)의 위치맞춤마크(403)를 전면기판(3)에 형성된 위치맞춤마크(103)에 정합시켜 배치하고, 스크린인쇄법에 의하여 절연막(19)을 겹침인쇄하여, 피착형성한다.

도 7은, 스크린을 사용하여 겹침인쇄하는 경우에, 스크린의 위치맞춤방법을 설명하기 위한 부분정면도이다.

도 7에 있어서, 우선, 마스크를 사용하여 전면기판(3)의 내면에 양극전극 등과 함께, 위치맞춤마크(103)를 피착형성한다. 다음에, 스크린의 위치맞춤마크를 위치맞춤마크(103)에 정합시켜, 절연막과 함께, 위치맞춤마크(601)를 피착형성한다.

도 7a는 스크린(401)의 위치맞춤이 완전히 정합된 상태에서 인쇄를 행한 예이고, 위치맞춤마크(303)에 대응하여 전면기판(3) 내면에 형성된 위치맞춤마크 (103)가 위치맞춤마크에 대응하여 인쇄된 위치맞춤마크(601)의 여백부에 완전히 일치하여 형성되어 있다. 이 상태에서는, 양극전극이나 배선패턴 등의 도전패턴과 절연막이 완전히 정합한 위치에 형성된다. 따라서, 배선패턴의 단락의 발생을 억제한 양면발광형 형광표시관이 형성된다.

도 7b, 7c는 스크린(401)이 상기 허용범위내에서 위치어긋남이 생겨서 배치된 상태에서 위치맞춤마크(601)가 형성된 예이다. 도 7b는 스크린(401)이 우방향으로 위치어긋난 상태에서 행해진 예이고, 도 7c는 스크린(401)이 좌방향으로 위치어긋난 상태에서 행해진 예를 도시하고 있다.

도 7b, 7c의 어느 것에 있어서도, 위치맞춤마크(601)는 위치맞춤마크(103)의 여백부(602)내에는 도달하지 않는 상태에서 형성되어 있다. 이 상태에서는, 양극전극(14)이나, 배선패턴(13) 등의 도전패턴과 절연막(19)의 위치가 약각 어긋나지만 상기의 위치어긋남의 허용범위내에서 형성된다. 따라서, 배선패턴(13)의 단락의 발생을 억제한 양면발광형 형광표시관이 형성된다.

도 7d 및 7e는 스크린(401)이 상기 허용범위를 초과하여 위치어긋난 상태에서 위치맞춤마크(601)가 피착형성된 예이다. 도 7d는 스크린(401)이 우방향으로 위치어긋난 상태에서 행해진 예이고, 도 7e는 스크린(401)이 좌방향으로 위치어긋난 상태에서 행해진 예를 도시하고 있다.

도 7d, 7e의 어느 것에 있어서도 위치맞춤마크(601)는, 위치맞춤마크(103)의 여백부(602)내에 도달한 상태에서 피착형성되어 있다. 이 상태에서는, 양극전극(14)이나 배선패턴(13) 등의 도전패턴과 절연막(19)이 상대적으로 허용범위를 초과하여 어긋난 위치에 형성된다. 이 경우, 배선패턴(13)이 노출하여 단락이 생기거나, 절연막(19)이 양극전극(14)을 덮어서 형성되어, 발광표시부(16)가 적정하게 발광하지 않는 등의 좋지 않는 경우가 생긴다.

따라서, 절연막(19)을 형성하는 경우에, 도 7a∼7c의 허용범위내로 되도록, 육안으로 스크린(401)의 위치맞춤을 행하여, 절연막(19)을 피착형성하도록 한다면, 배선패턴(13)의 단락을 억제한 양면발광형 형광표시관을 제조할 수가 있다.

다음에, 양면발광형 형광표시관에 있어서, 도 3에 도시하는 전면기판(3) 측의 표시부를 형성하는 경우의 제조방법에 대하여 설명한다.

투광성을 갖는 글라스제의 전면기판(3)의 내면에 마스크(301)를 사용하여 포토리소그래피의 수법에 의하여 알루미늄 박막으로, 배선패턴(13), 배선패턴(13)에 접속된 내부단자(204), 배선패턴(13)에 접속된 줄무늬 상태 또는 메시상태로 형성하여 투광성을 갖게 한 양극전극(14) 및 위치맞춤마크(103)를 형성한다.

다음에, 스크린 인쇄법이나 전착법에 의하여 양극전극(14) 상에 형광체층 (15)을 피착형성하고, 이를 소성, 고착시켜 발광표시부(16)를 형성한다.

계속하여, 육안으로 스크린(401)의 위치맞춤마크(403)가 위치맞춤마크 (103)의 위치어긋남 허용범위내에 들도록 정합시켜 배치하고, SiO₂를 포함하는 페이스트 재료를 인쇄법으로 형성하고, 소성, 고착시킨다. 이로서, 발광표시부(16) 및 내부단자(204) 이외의 부분에 절연막(19)에 의하여, 피복되어, 발광표시부(16) 및 내부단자(204)에 대응하는 개구가 형성된다.

그후, 발광표시부(16)에 대향하여 소정간격을 두고, 전면기판(3)의 내면에 형성된 제어전극용의 내부전극(도시하지 않음)에 도전성 접착제에 의하여 제어전극 (17)을 접속하여, 전면기판(3) 측의 발광표시부가 완성한다.

그후, 전면기판(3), 발광표시부가 형성된 배면기판(2), 음극전극(18), 외부단자 및 측면판을 맞붙이고, 배기하여 봉한 후, 게터에 의해 처리하고, 양면발광형 형광표시관이 완성된다.

이와 같이, 본 실시형태에 의한 양면발광형 형광표시관에서는, 전면기판 (3) 측의 배선패턴(13)의 노출부분이 투광성을 갖는 절연막(19), 구체적으로는 SiO₂막으로 피복된 구성이므로, 종래에 문제가 되었던 제조공정중의 도전성 이물질 등에 의한 절연불량을 감소할 수가 있다.

더욱더, 그 효과에 대하여 설명하면, 도 9에 도시하는 종래의 배선패턴이 노출된 구성에서는 0.61%의 절연불량율을 나타내는데 대하여, 본 실시형태의 배선패턴(13)의 노출부분을 절연막(19)으로 피복한 구성에서는, 절연불량율이 0%로 되었다.

양면발광형 형광표시관의 특성에서 볼 때, 아래의 표 1에 표시하는 바와 같이, 배선패턴의 노출부분에 SiO₂막을 형성하고 있지 않을때의 애노드전류 및 발광효율을 각각 100%로 하면, 본 실시형태의 배선패턴의 노출부분을 SiO₂막(절연막)으로 피복한 구성에서는, 음극전극으로부터 방출된 전자가 배선패턴에 방사충돌하는 것을 방지할 수가 있고, 양극의 무효전류가 50% 정도 감소하고, 형광체의 발광효율도향상하였다.

	애노드전류	발광효율
SiO₂막 없음	100%	100%
SiO₂막 있음	54%	174%

투과율에 관하여는, 도 8에 도시하는 바와 같이, 배선패턴이 절연막(SiO₂막)으로 덮여져 있지 않는 맨글라스와 비교하더라도 몇 % 향상하였다.

그런데, 상술한 실시형태에서는, 대향하는 기판(배면기판(2)과 전면기판(3))의 양방에 발광표시부가 형성된 형광표시관을 예로 하여 설명하였지만, 상기 구성은 일반의 발광표시관(VFD)이나 기타의 표시소자에 적용할 수도 있다.

이상의 설명에서 명백히 밝힌 바와 같이, 본 발명에 의하면, 전면기판측의 배선패턴의 노출부분이 투광성을 갖는 절연막으로 피복된 구성이므로, 종래 문제로 되어 있던 제조공정중의 도전성 이물질 등에 의한 절연불량을 감소할 수가 있다. 게다가 음극전극으로부터 방출된 전자가 배선패턴에 방사충돌하는 것을 막고, 양극의 무효전류가 감소하여, 형광체의 발광효율도 향상시킬 수가 있다.

또, 본 실시형태에 관한 양면발광형 형광표시관의 제조방법은, 전면기판 (3)의 내면에, 형광체층(15) 및 형광체층(15)이 피착된 양극전극(14)으로 이루어지는 복수의 발광표시부(16)와, 복수의 양극전극(14)를 접속하는 배선패턴(13)과, 배선패턴(13)에 접속된 내부단자(204)를 배열설치함과 동시에, 전자를 방출하는 음극전극(18)과, 발광표시부(16)와 음극전극(18) 사이에 배열설치된 제어전극(17)을 대향하여 배열설치된 전면기판(3) 및 배면기판(2)과 측면판에 의하여 구성된 외위기 (1)내에 구비하여 이루는 양면발광형 형광표시관의 제조방법에 있어서, 스크린 (401)이 위치어긋남이 생기더라도 허용되는 범위인 위치어긋남 허용범위를 나타내는 형상의 복수의 제 1 위치맞춤마크(103)가 형성된 마스크(301)를 사용하여, 전면기판(3)에 도전성재료에 의하여 양극전극(14), 배선패턴(13), 내부단자(204) 및 제 1의 위치맞춤마크(103)를 형성하는 단계과, 절연층패턴(402) 및 상기 제 1 위치맞춤마크(103)에 대응하는 위치에, 복수의 제 2 위치맞춤마크(403)가 형성된 스크린(401)을 사용하여, 제 1 위치맞춤마크(103)의 상기 위치어긋남 허용범위내에 제 2 위치맞춤마크(403)를 정합시킨 상태에서, 투광성의 절연재료에 의하여 전면기판(3)에 절연막(19)을 인쇄하는 단계을 포함하는 것을 특징으로 하고 있으므로, 배선패턴(13)을 절연막(19)에 의하여 적정하게 피복할 수 있고, 배선패턴(13)간의 단락이 발생하는 것을 억제하는 것이 가능한 양면발광형 형광표시관을 제조할 수가 있다. 또, 절연막(19)의 개구부를 정밀도가 좋게 형성할 수가 있고, 발광표시부 (16)의 표시불량 등의 문제를 감소할 수가 있다.

상기 제 1 위치맞춤마크(103)를 상기 위치어긋남 허용범위를 폭으로 하는 口자형태의 마크에 의하여 형성함으로서, 직교하는 2방향의 위치어긋남을 방지할 수가 있다.

또, 상기 제 2 위치맞춤마크(403)를 제 1 위치맞춤마크(103)의 외형과 동일치수의 여백부를 갖는 마크에 의하여 형성함으로서, 위치맞춤이 용이하게 된다.

더욱더, 상기 제 2 패턴형성부재에 형성된 절연층패턴(402)을, 상기 발광표시부(16) 및 내부단자(204)를 제외하는 전면에 절연막(19)을 형성할 수 있도록 구성하면, 배선패턴(13)의 단락의 발생을 보다 확실히 억제하는 것이 가능하게 된다.

더욱이, 반드시 도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이 위치맞춤마크(103, 403)를 각 형광표시관마다 형성할 필요는 없고, 마스크(301) 및 스크린(401)에 대응하는 어느 한곳의 위치에, 각각 복수개의 위치맞춤마크를 형성하면 된다.

Claims

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전면기판내면에 형광체층 및 상기 형광체층이 피착된 양극전극으로 이루어지는 복수의 발광표시부와, 상기 복수의 양극전극을 접속하는 배선패턴과, 상기 배선패턴에 접속된 내부단자를 배열설치함과 동시에, 전자를 방출하는 음극전극과, 상기 발광표시부와 상기 음극전극 사이에 배열설치된 제어전극을, 대향하여 배열설치된 상기 전면기판 및 배면기판과 측면판에 의하여 구성된 외위기내에 구비하여 이루는 양면발광형 형광표시관의 제조방법에 있어서,

제 2 패턴형성부재가 위치어긋남이 생기더라도 허용되는 범위인 위치어긋남 허용범위를 나타내는 형상의 복수의 제 1 위치맞춤마크가 형성된 제 1 패턴형성부재를 사용하여, 상기 전면기판에 상기 양극전극, 배선패턴, 내부단자 및 제 1 위치맞춤마크를 형성하는 단계, 및

상기 제 1 위치맞춤마크에 대응하는 위치에 복수의 제 2 위치맞춤마크가 형성된 제 2 패턴형성부재를 사용하여, 상기 전면기판에 형성된 상기 제 1 위치맞춤마크의 상기 위치어긋남 허용범위내에 상기 제 2 위치맞춤마크를 정합시킨 상태에서, 상기 전면기판에 투광성을 갖는 절연막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 양면발광형 형광표시관의 제조방법
제 5 항에 있어서, 상기 제 1 위치맞춤마크는 상기 위치어긋남 허용범위를 폭으로 하는 口자 형태의 마크에 의하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 양면발광형 형광표시관의 제조방법.
제 6 항에 있어서, 상기 제 2 위치맞춤마크는 상기 제 1 마크의 외형과 동일치수의 여백부를 갖는 마크에 의하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 양면발광형 형광표시관의 제조방법.
제 5 항 내지 제 7 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 2 패턴형성부재는, 상기 발광표시부 및 내부단자를 제외하고, 상기 전면기판내면에 상기 절연막을 형성하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 양면발광형 형광표시관의 제조방법.