DE19909746A1

DE19909746A1 - Doppelseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre und Verfahren zur Herstellung der Selben

Info

Publication number: DE19909746A1
Application number: DE19909746A
Authority: DE
Inventors: Akihiro Mihara; Yoichi Mera; Tadashi Mizohata; Katsushi Tokura
Original assignee: Futaba Corp
Current assignee: Futaba Corp
Priority date: 1998-03-12
Filing date: 1999-03-05
Publication date: 1999-09-16
Also published as: US6400073B1; TW445486B; KR100339071B1; KR19990077811A

Abstract

Es wird eine doppelseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre bereitgestellt, welche in der Lage ist, das Isolationsversagen und das Brechen von Verdrahtungsmustern zu reduzieren und welche in der Lage ist, eine Leuchteffizienz zu verbessern mittels Reduktion eines Verluststromes eine Anode. Ein Gehäuse 1 umfaßt ein Hecksubstrat 2 und ein Frontsubstrat 3, die einander gegenüberstehen und eine rahmenartige Seitenplatte, gedichtet zwischen den Substraten 2 und 3. Ein Verdrahtungsmuster 13 ist an der inneren Fläche des Frontsubstrates 3 gebildet. Ein transparenter Anodenleiter 14 ist mit dem Verdrahtungsmuster 13 verbunden bzw. geschaltet. Eine Phosphorlage 15 ist an dem Anodenleiter 14 gebildet. Eine Steuerelektrode 17 ist bei einer vorbestimmten Entfernung beabstandet von der Phosphorlage 15 angeordnet. Ein freiliegender Abschnitt des Verdrahtungsmusters 13 an dem Frontsubstrat 3 ist mit einem transparenten und isolierenden SiO¶2¶-Film 19 beschichtet.

Description

Die Erfindung betrifft eine doppelseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre, umfassend ein Gehäuse, welches Lumineszenz-Anzeigeabschnitte an jeweiligen Innenflächen von Front- und Hecksubstraten enthält, Kathoden zum emittieren von Elektronen und Steuerelektroden, sowie ein Verfahren zur Herstellung der zweiseitigen bzw. doppelseitigen Fluoreszenz-Anzeigeröhre.

Eine doppelseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre wurde bisher verwendet als Anzeigevorrichtung in unterschiedlichsten Feldern der Audioausstattung und dgl. Diese doppelseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre umfaßt ein Gehäuse, gebildet aus einander gegenüberstehenden Front- und Hecksubstraten und einer Seitenplatte, wobei das Gehäuse umfaßt: Lumineszenz-Anzeigeabschnitte bzw. lumineszierende Anzeige abschnitte, gebildet aus einer Phosphor-Lage und Anoden, an welchen die Phosphor- Lage niedergeschlagen bzw. gefällt ist; Kathoden zum emittieren von Elektronen; und Steuerelektroden, angeordnet zwischen den Lumineszenz-Anzeigeabschnitten und den Kathoden. Die doppelseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre ist bekannt als von den Typen: einem Typ der Röhre, in welchem zwei Lumineszenz-Anzeigeabschnitte von einer Substratseite des Gehäuses beobachtet werden; und dem anderen Typ an Röhre, bei welchem die Lumineszenz-Anzeigeabschnitte von den Substratseiten beobachtet werden.

Fig. 9 ist eine teilweise vergrößerte Seitenschnittansicht, welche ein Beispiel dieses Types an herkömmlicher Doppelflächen-Fluoreszenz-Anzeigeröhre zeigt.

Wie es in Fig. 9 gezeigt ist verfügt die doppelseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre über ein Gehäuse 1. Das Gehäuse 1 ist in der Art einer Schachtel angeordnet aus Heck- und Frontsubstraten 2 und 3, gebildet aus einem ebenen bzw. platten Material, wie z. B. transparentem Glas und einer Seitenplatte von dem die Front- und Hecksubstrate umgeben werden. Ein Verdrahtungsmuster 5, gebildet aus einem Aluminium-Dünnfilm bzw. aus einem dünnen Aluminiumfilm ist an der Innenfläche des Hecksubstrates 2 gebildet. Eine schwarze Isolationslage 7 bzw. eine Isolationslage 7 schwarzer Farbe mit einer Durchtrittsöffnung 6 ist an dem Verdrahtungsmuster 5 ausgebildet. Eine Anode 8 ist an dem Durchgangsloch bzw. der Durchtrittsöffnung 6 der isolierenden Lage 7 ausgebildet. Die Anode 8 ist mit dem Verdrahtungsmuster 5 über ein leitfähiges Material 9 verbunden mit dem die Durchtrittsöffnung 6 gefüllt ist. Eine Phosphorlage 10 ist an der Anode 8 gebildet wodurch ein heckseitiger Lumineszenz-Anzeigeabschnitt 11 gebildet wird. Ein Maschengitter 12 ist als Heckseiten-Steuerelektrode über dem heckseitigen Lumineszenz-Anzeigeabschnitt 11 bei einem vorbestimmten Abstand entfernt diesbezüglich angeordnet.

Andererseits sind streifenartige Verdrahtungsmuster 13, gebildet aus dem Aluminiumdünnfilm an der Innenfläche des Frontsubstrates 3 gebildet mit einem vorbestimmten Abstand dazwischen. Ein Teil des Verdrahtungsmuster 13 ist mit transparenten Anoden 14 verbunden. Eine Phosphorlage 15 ist an den Anoden 14 gebildet wodurch ein Frontseiten-Lumineszenz-Anzeigeabschnitt 16 gebildet wird. Ein Maschengitter 17 ist als Frontseitensteuerelektrode unter dem frontseitigen Lumineszenz-Anzeigeabschnitt 16 bei einer diesbezüglich vorbestimmten Entfernung beabstandet angeordnet. In dem Gehäuse 1 sind filamentartige Kathoden 18 zum emittieren von Elektronen zwischen den Maschengitter 12 und 17 angeordnet.

In der herkömmlichen doppelseitigen Fluoreszenz-Anzeigeröhre, gebildet wie oben beschrieben ist ein Raum herum um die Verdrahtungsmuster 13 und dessen Frontsubstrates 3 bereitgestellt. Es ist daher möglich von der Seite des Frontsubstrates 3 die Lumineszenz-Anzeigen von sowohl dem Heckseiten-Lumineszenz-Anzeigeabschnitt 11 an dem hinteren bzw. Hecksubstrat 2 und dem frontseitigen Lumineszenz- Anzeigeabschnitt 16 an der inneren Fläche des Frontsubstrates 3 zu beobachten. Somit sind die Verdrahtungsmuster 13 an der Seite des Frontsubstrates 3 freiliegend bzw. freigelegt. Dies stellt ein Problem dar, in dem leitfähige Verunreinigungen oder dgl., erzeugt in dem Herstellungsschritt an dem Raum zwischen dem Verdrahtungsmuster 13 anhaften. Als ein Ergebnis tritt ein Kurzschluß auf zwischen Drähten was wiederum zu Isolationsversagen führen kann. Insbesondere bewegen sich Funken, erzeugt beim elektrischen Verschweißen der Elektroden, ein Gitterfilm oder dgl. durch das Gehäuse 1 und haften an dem Raum zwischen den Verdrahtungsmustern 13 an. Hierdurch bedingt findet ein Kurzschluß statt zwischen den Verdrahtungsmustern 13 und resultiert zu dem Isolationsversagen oder dazu, daß die Verdrahtungsmuster 13 beschädigt und somit zerstört werden. Solch ein Problem kann leicht auftreten.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin eine doppelseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre bereitzustellen, die in der Lage ist das Isolationsversagen und das Brechen von Verdrahtungsmustern bedingt durch leitfähige Verunreinigungen oder dgl., erzeugt bei dem Herstellungsschritt zu reduzieren und welche in der Lage ist eine Leucht- bzw. Lumineszenzeffizienz bzw. einen Leuchtwirkungsgrad des Phosphor zu verbessern mittels Reduktion eines uneffektiven Stromes der Anode, sowie ein Verfahren zur Herstellung der doppelseitigen Fluoreszenz-Anzeigeröhre.

Um die obige Aufgabe zu lösen, wird gemäß einem ersten Gesichtspunkt der Erfindung eine Doppelflächen- bzw. doppelseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre bereitgestellt, umfassend: ein Gehäuse, gebildet aus zwei einander gegenüberstehenden Substraten, wobei die äußere Peripherie gedichtet ist, in welchem die jeweiligen inneren Flächen der Substrate einen Lumineszenz-Anzeigeabschnitt und ein Verdrahtungsmuster, verbunden mit dem Lumineszenz-Anzeigeabschnitt aufweisen, wobei ein freigelegter bzw. freiliegender Abschnitt des Verdrahtungsmusters bedeckt bzw. beschichtet ist mit einem transparenten isolierenden Film.

Gemäß einem zweiten Gesichtspunkt der Erfindung ist eine doppelseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre bereitgestellt, umfassend: ein Gehäuse, gebildet aus Heck- und Frontsubstraten, die einander gegenüberstehen und eine rahmenartige Seitenplatte, gedichtet zwischen den Heck- und Frontsubstraten, wobei eine innere Fläche des Hecksubstrates ein Verdrahtungsmuster aufweist, eine schwarze Isolationslage mit dem das Verdrahtungsmuster bedeckt bzw. beschichtet ist, eine Anode, angeordnet an der isolierenden bzw. Isolationslage, sowie verbunden mit dem Verdrahtungsmuster über ein Durchtrittsloch bzw. eine Durchgangsöffnung, eine Phosphorlage, angeordnet an der Anode, und eine Steuerelektrode, angeordnet bei einer vorbestimmten Entfernung beabstandet von der Phosphorlage; wobei eine innere Fläche bzw. inner Oberfläche das Frontsubstrates ein Verdrahtungsmuster aufweist, transparente Anoden, verbunden bzw. geschaltet mit dem Verdrahtungsmuster, eine Phosphorlage, angeordnet an den Anoden, sowie eine Steuerelektrode, angeordnet bei einer vorbestimmten Entfernung beabstandet von der Phosphorlage; und wobei Kathoden gestreckt angeordnet sind zwischen den Steuerelektroden, wobei ein freigelegter bzw. freiliegender Abschnitt des Verdrahtungsmusters an dem Frontsubstrat bedeckt bzw. beschichtet ist mit einem transparenten isolierenden Film.

Gemäß einem dritten Gesichtspunkt der Erfindung ist eine doppelseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre gemäß dem zweiten Gesichtspunkt bereitgestellt, wobei die gesamte Fläche des Frontsubstrates bedeckt bzw. beschichtet ist mit einem transparenten isolierenden Film, mit Ausnahme des Lumineszenz-Anzeigeabschnittes und einem internen Anschluß.

Gemäß einem vierten Gesichtspunkt der Erfindung ist eine doppelseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre gemäß dem ersten, zweiten oder dritten Gesichtspunkt bereitgestellt, bei welcher der isolierende Film einen SiO₂-Dünnfilm umfaßt.

Gemäß einem fünften Gesichtspunkt der Erfindung ist ein Verfahren angegeben zur Herstellung einer doppelseitigen Fluoreszenz-Anzeigeröhre, wobei die Röhre umfaßt ein Gehäuse, gebildet aus einander gegenüberstehenden Front- und Hecksubstraten und einer Seitenplatte, wobei das Gehäuse umfaßt: eine Innenfläche des Frontsubstrates mit einer Vielzahl von Lumineszenz-Anzeigeabschnitten, gebildet aus einer Phosphorlage und Anoden an welchen die Phosphorlage niedergeschlagen bzw. gefällt ist, einem Verdrahtungsmuster mit welchem die Vielzahl von Anoden verbunden bzw. geschaltet sind und einem internen Anschluß, verbunden bzw. geschaltet mit dem Verdrahtungsmuster; Kathoden zum emittieren von Elektronen; und eine Steuerelektrode, angeordnet zwischen den Lumineszenz-Anzeigeabschnitten und den Kathoden, wobei das Verfahren die Schritte umfaßt von: Milden der Anoden, des Verdrahtungsmusters, des internen Anschlusses und ersten Registermarkierungen an dem Frontsubstrat unter Verwendung eines ersten Mustergliedes mit einer Vielzahl von ersten Registermarkierungen deren Form eine Fehlausrichtungstoleranz darstellt bzw. wiedergibt, einen Pegel darstellend der erlaubt ist selbst wenn einer zweites Musterglied bzw. Musterungsglied fehlausgerichtet ist; und bilden eines transparenten isolierenden Filmes an dem Frontsubstrat unter Verwendung eines zweiten Mustergliedes bzw. Musterungsgliedes mit einer Vielzahl von zweiten Registermarkierungen, entsprechend zu den ersten Registermarkierungen, während die zweiten Registermarkierungen abgestimmt sind bezüglich den ersten Registermarkierungen, gebildet an dem Frontsubstrat innerhalb der Fehlausrichtungstoleranz.

Gemäß einem sechsten Gesichtspunkt der Erfindung können die ersten Registermarkierungen gebildet sein aus einer rechteckförmigen Markierung dessen Breite gleich ist zu der Fehlausrichtungstoleranz.

Gemäß einem siebten Gesichtspunkt der Erfindung kann die zweite Registermarkierung gebildet sein aus einer Markierung mit einem Freiraum, dessen Abmessung identisch ist mit einer äußeren Abmessung der ersten Registermarkierung.

Gemäß einen achten Gesichtspunkt der Erfindung das zweite Musterglied bzw. Musterungsglied in solch einer Weise gebildet sein, daß der isolierende Film an der inneren Fläche des Frontsubstrates gebildet wird mit Ausnahme des Lumineszenz- Anzeigeabschnittes und des internen Anschlusses.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nun anhand der Zeichnungen beschrieben.

Fig. 1 ist eine teilweise vergrößerte Seitenschnittansicht, eine Ausführungsform einer doppelseitigen Fluoreszenz-Anzeigeröhre gemäß der vorliegenden Erfindung zeigend.

Fig. 2 ist eine schematische Aufsicht der doppelseitigen Fluoreszenz- Anzeigeröhre gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Fig. 3 ist eine Aufrißansicht, teilweise im Schnitt der doppelseitigen Fluoreszenz- Anzeigeröhre gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Fig. 4 ist einen schematische Aufsicht einer Schablone, zur Verwendung in der Ausführungsform der Erfindung.

Fig. 5 ist einen schematische Aufsicht eines Schirmes bzw. Siebes zur Verwendung in der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Fig. 6 ist eine vergrößerte Aufsicht einer Registermarkierung zur Verwendung in der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Fig. 7 ist einen Darstellung einer Ausrichtung in der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Fig. 8 ist eine Funktion welche einen Vergleich zeigt bezüglich Transmittanz zwischen zwei Substraten: einem Substrat gehörend zu der doppelseitigen Fluoreszenz- Anzeigeröhre gemäß der vorliegenden Erfindung mit einem Verdrahtungsmuster das beschichtet bzw. bedeckt ist mit einem isolierenden Film und dem anderen Substrat, gehörend zu dem Stand der Technik mit dem Verdrahtungsmuster welches nicht bedeckt bzw. beschichtet ist mit dem isolierenden Film.

Fig. 9 ist eine teilweise vergrößerte Seitenschnittansicht, ein Beispiel einer doppelseitigen Fluoreszenz-Anzeigeröhre gemäß dem Stand der Technik zeigend.

Im dem Folgenden sind entsprechende Elemente zu den Elementen gemäß der doppelseitigen Fluoreszenz-Anzeigeröhre, in Fig. 9 gezeigt gemäß dem Stand der Technik mit entsprechenden Bezugszeichen versehen. Ein Basisaufbau der doppelseitigen Fluoreszenz-Anzeigeröhre gemäß dieser Ausführungsform entspricht im Aufbau der in Fig. 9 gezeigten. Die Merkmale dieser Ausführungsform werden maßgeblich folgend beschrieben.

Wie es in Fig. 1 gezeigt ist verfügt die doppelseitigen Fluoreszenz-Anzeigeröhre bzw. die zweiseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre dieser Ausführungsform über ein Box- bzw. schachtelartiges Gehäuse 1, gebildet aus einem isolierenden ebenen bzw. planaren bzw. platten Material, wie z. B. Glas. Das Gehäuse 1 ist aufgebaut aus einem Hecksubstrat 2 und einem transparenten Frontsubstrat 3, welche einander gegenüberstehen bei einer vorbestimmten Beabstandung und einer rahmenartigen Seitenplatte, sicher befestigt an der äußeren Peripherie der Substrate 2 und 3. Das Gehäuse 1 ist im Inneren mit einem Vakuum bereitgestellt.

Wie es in Fig. 1 dargestellt ist, ist ein Verdrahtungsmuster 5, gebildet aus einem Al-Dünnfilm bzw. aus einem dünnen Al-Film an einer inneren Fläche des Hecksubstrates 2 gebildet. Eine schwarze Isolationslage bzw. eine schwarze isolierende Lage 7 mit einer Durchtrittsöffnung bzw. einem Durchgangsloch 6 ist an dem Verdrahtungsmuster 5 ausgebildet. Eine Anode 8 ist an der Durchtrittsöffnung 6 der isolierenden Lage 7 gebildet. Die Anode 8 ist mit dem Verdrahtungsmuster 5 über ein leitfähiges Material 9 verbunden bzw. geschaltet, mit welchem die Durchtrittsöffnung 6 gefüllt ist. Eine Phosphorlage 10 ist an der Anode 8 gebildet wodurch ein heckseitiger bzw. Heckseitenlumineszenz-Anzeigeabschnitt 11 gebildet wird. Ein Maschengitter 12 ist als eine Heckseitensteuerelektrode über dem Heckseitenlumineszenz- Anzeigeabschnitt 11 bei einer vorbestimmten Entfernung beabstandet diesbezüglich angeordnet.

Wie es in Fig. 1 gezeigt ist sind Verdrahtungsmuster bzw. Drahtmuster bzw. Schaltmuster 13, gebildet aus dem Al-Dünnfilm an der inneren Fläche bzw. der inneren Oberfläche des Frontsubstrates 3 mit einem vorbestimmten Abstand dazwischen gebildet. Eine Teil des Verdrahtungsmusters 13 ist mit transparenten Anoden 14 verbunden. Die Anode 14 ist in solch einer Weise ausgebildet das ein Licht beispielhaft von einem Spalt emittiert wird, vorliegen zwischen streifenartigen Mustern gebildet aus dem Al-Dünnfilm. Eine Phosphorlage 15 ist an den Anoden 14 ausgebildet, wodurch ein Frontseitenlumineszenz-Anzeigeabschnitt 16 gebildet wird. Ein Maschengitter 17 ist als Frontseitensteuerelektrode unter dem Frontseitenlumineszenz-Anzeigeabschnitt 16 bei einer vorbestimmten Entfernung beabstandet diesbezüglich angeordnet. In dem Gehäuse 1 sind filamentartige Kathoden 18 gestreckt angeordnet zwischen den Maschengittern 12 und 17.

Das Verdrahtungsmuster 13 welches an dem Frontsubstrat 3 mit Ausnahme des Abschnittes mit dem Lumineszenz-Anzeigeabschnitt 16 gebildet ist ist mit einem transparenten isolierenden Film 19 bedeckt bzw. beschichtet. Ein pastenförmiges Material, welches erhalten ist mittels Mischen organischen SiO₂ und Lösungsmittel (z. B. Butylcarbinol und Acetat etc.) wird verwendet als isolierender Film 19, so das die Musterung einfach erzielt werden kann. Das Verdrahtungsmuster 13 wird bedeckt bzw. beschichtet mit dem isolierenden Film 19 aus (SiO₂)_n mittels eines Sol-Gelverfahrens in welchem das pastenartige Material an dem Verdrahtungsmuster 13 gebildet wird mittels Siebdrucken (im Folgenden einfach als drucken bezeichnet) und nachfolgendem sintern.

Obwohl der isolierende Film 19 verdampft bzw. aufgedampft an dem Verdrahtungsmuster werden kann ist es ineffizient und ebenfalls kostspielig die isolierenden Filme 19 nacheinander in einem Vakuumsystem zu verdampfen bzw. aufzudampfen. Bei dieser Ausführungsform ist der isolierende Film (SiO₂-Film) 19 daher mittels drucken gebildet. Wenn eine Filmdicke des erhaltenen isolierenden Films 19 zu dünn ist ist es schwierig das der isolierende Film 19 das Verdrahtungsmuster 13 bedeckt bzw. beschichtet. Wenn die Filmdicke zu dick ist wird seine Filmqualität beeinträchtigt was zu schlechter Anhaftung bzgl. dem Frontsubstrat 3 führt. Demzufolge müßte der isolierende Film 19 in solch einer Weise gebildet werden, daß er eine Dicke aufweist von etwa 0,1-0,5 mm. Obwohl diese Dicke größer ist als die Dicke des Filmes gebildet mittels verdampfen bzw. aufdampfen verfügt er über eine geringere Lichtabsorbtion und zeigte keinen nachteiligen Einfluß auf die Anzeige.

Fig. 2 ist eine schematische Aufsicht der doppelseitigen Fluoreszenz- Anzeigeröhre gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In Fig. 2 sind das Verdrahtungsmuster und ein externer Anschluß weggelassen, wobei die Anoden 14 zum Anzeigen von einer vierstelligen Zahl gezeigt sind, jeweils umfassend 7 Segmente, montiert an der inneren Fläche des Frontsubstrates 3 sowie eine erste Registermarkierung 103.

Fig. 3 ist eine Aufrißansicht, teilweise im Schnitt der doppelseitigen Fluoreszenz- Anzeigeröhre, welche in Fig. 2 dargestellt ist. In Fig. 3 sind die transparenten Anoden 14, jeweils umfassend 7 Segmente; die Verdrahtungsmuster 13; ein interner Anschluß 204, verbunden mit dem externen Anschluß (nicht gezeigt); die Phosphorlage 15; und der transparente bzw. durchsichtige isolierende Film 19, gebildet aus SiO₂ an der inneren Fläche des Frontsubstrates 3 gebildet. Die Anoden 14 und die Phosphorlage 15 bilden den Lumineszenz-Anzeigeabschnitt 16. Der isolierende Film 19 ist niedergeschlagen bzw. gefällt über dem Frontsubstrat 3 mit Ausnahme des internen Anschlusses 204 und des Lumineszenz-Anzeigeabschnittes 16. Wenn ein selbst stützendes Gitter verwendet wird ist der isolierende Film 19 gefällt bzw. niedergeschlagen an dem Frontsubstrat 3 mit Ausnahme des internen Anschlusses (nicht gezeigt) an welchem das Gitter gefällt bzw. niedergeschlagen bzw. angeordnet ist, sowie dem Anschluß 204 und dem Abschnitt 16. Da die Verdrahtungsmuster 13 somit bedeckt bzw. beschichtet sind mit dem isolierenden Film 19 ist es möglich einen Kurzschluß zwischen den Verdrahtungsmustern 13, bedingt durch einen Gitterfilm und/oder dergleichen zu verhindern bzw. zu hemmen.

Fig. 4 zeigt eine Schablone 301, welche verwendet wird als erstes Musterglied bzw. Musterungsglied zum bilden der Anoden 14 an dem Frontsubstrat 3. In Fig. 4 sind leitfähige Muster 301 für eine Vielzahl von Fluoreszenz-Anzeigeröhren an der Schablone 301 gebildet. Ein Muster 304 für die Anode 14 und die erste Registermarkierung 103 sind als leitfähige Muster 302 für jede Fluoreszenz- Anzeigeröhre bereitgestellt. Obwohl in Fig. 4 nicht gezeigt sind die Verdrahtungsmuster und das Muster für den internen Anschluß ebenfalls an der Schablone 301 ausgebildet.

Fig. 6(A) ist eine vergrößerte Ansicht, welche die Form der Registermarkierung 103 zeigt. In Fig. 6(A) ist die Registermarkierung 103 rechteckförmig. Die Registermarkierung 103 verfügt über einen quadratischen Freiraum 502 welcher in der Mitte eines quadratförmigen Leiterfällungsabschnitt 501 gebildet ist, dessen eine Seite b ist. Der Leiterfällungs- bzw. -niederschlagsabschnitt 501 ist ein Abschnitt an welchem das leitfähige Material zu fällen bzw. niederzuschlagen ist, entsprechend dem Abschnitt 501. Der Freiraum 502 ist ein Abschnitt an welchem das leitfähige Material nicht niedergeschlagen bzw. gefällt werden soll. Jede Seite des Leiterniederschlagsabschnittes 501 hat eine Breite a. Die Breite a repräsentiert eine Toleranz innerhalb welcher ein Problem, z. B. das die Anode 14 und der interne Anschluß mit dem isolierenden Film 19, dem freigelegten Verdrahtungsmuster etc. bedingt wurden nicht auftritt, selbst wenn der isolierende Film 19 fehlausgerichtet ist.

Die Anode 14, die Registermarkierung 103, das Verdrahtungsmuster 13 und der interne Anschluß 204 sind an den Frontsubstrat 3 durch den Al-Dünnfilm gefällt bzw. niedergeschlagen mittels Photolitography unter Verwendung der Schablone 301.

Andererseits zeigt Fig. 5 ein Sieb bzw. einen Schirm 401, welcher verwendet wird als zweites Muster bzw. Musterungsglied zum bilden des isolierenden Filmes 19 an dem Frontsubstrat 3. In Fig. 5 sind Isolationslagenmuster 402 für eine Vielzahl von Fluoreszenz-Anzeigeröhren an dem Sieb 401 gebildet. Das Isolationslagenmuster 402 für jede Fluoreszenz-Anzeigeröhre ist in solch einer Weise gebildet, das es an dem Frontsubstrat gedruckt bzw. aufgedruckt werden kann, mit Ausnahme der Anode 14 und dem internen Anschluß 204. Eine zweite Registermarkierung 403 ist ebenfalls bereitgestellt.

Fig. 6(B) ist eine vergrößerte Ansicht, die die Form der Registermarkierung 403 zeigt. In Fig. 6(B) ist die Registermarkierung 403 rechteckförmig. Die Registermarkierung 403 weist einen quadratischen Freiraum 504 auf welcher durch einen Isolationsfällungsabschnitt 503 umgeben ist und dessen eine Seite die selbe ist wie eine äußere Abmessung b der Registermarkierung 103. Der Isolationsfällungs- bzw. -niederschlagsabschnitt 503 ist ein Abschnitt an welchem ein isolierendes Material zu fällen bzw. niederzuschlagen ist, entsprechend dem Abschnitt 503. Der Freiraum 504 ist ein Abschnitt in welchem das isolierende Material nicht zu fällen bzw. niederzuschlagen ist.

Wenn der isolierende Film 19 und dem Frontsubstrat 3 mittels Verwendung des Siebes 401 gebildet wird so wird die Registermarkierung 403 des Siebes 401 angeordnet mittels in Übereinstimmung bringen mit der Registermarkierung 103, gebildet an dem Frontsubstrat 3. Der isolierende Film 19 wird überlappend aufgedruckt mittels Siebdrucken so das er gefällt bzw. niedergeschlagen wird an dem Frontsubstrat 3.

Fig. 7 ist eine teilweise Frontansicht zur Darstellung eines Verfahrens des Ausrichten des Siebes beim Überlappdrucken unter Verwendung des Siebes bzw. des Schirmes.

In Fig. 7 wird die Schablone zuerst verwendet um fällen bzw. niederzuschlagen der Registermarkierung 103 sowie der Anoden oder dergleichen, und zwar an der inneren Fläche des Frontsubstrates 3. Nachfolgend wird die Registermarkierung des Siebes in Übereinstimmung gebracht mit der Registermarkierung 103 wodurch eine Registermarkierung 601 wie auch der isolierende Film an dem Frontsubstrat 3 gefällt bzw. niedergeschlagen wird.

Fig. 7(A) zeigt beispielhaft das drucken bzw. bedrucken welches durchgeführt wird wenn das Sieb 401 in perfekter Ausrichtung vorliegt. Die Registermarkierung 103, gebildet an der inneren Fläche des Frontsubstrates 3, entsprechend zu der Registermarkierung 403 ist perfekt abgestimmt auf den Freiraum der gedruckten Registermarkierung 601, entsprechend der Registermarkierung. Unter dieser Bedingung ist der isolierende Film perfekt abgestimmt auf das leitende bzw. leitfähige Muster, wie z. B. die Anode und das Verdrahtungsmuster. Die doppelseitigen Fluoreszenz- Anzeigeröhre ist daher hergestellt, wobei der Kurzschluß davon abgehalten ist aufzutreten zwischen den Verdrahtungsmustern.

Fig. 7(B) und 7(C) zeigen beispielhaft die Registermarkierung 601 welche gebildet wird wenn das Sieb 401 fehlausgerichtet ist innerhalb der oben beschriebenen Toleranzpunkte. Fig. 7(B) zeigt beispielhaft die Registermarkierung 601 welche gebildet ist wenn das Sieb 401 nach rechts versetzt fehlausgerichtet ist. Fig. 7(C) zeigt beispielhaft die Registermarkierung 601 welche gebildet ist wenn das Sieb 401 nach links versetzt fehlausgerichtet ist.

In beiden der Fig. 7(B) und 7(C) erreicht die Registermarkierung 601 nicht das Innere bzw. die Innenseite eines Freiraumes 602 der Registermarkierung 103. Unter dieser Bedingung werden obwohl das leitfähige Muster, wie z. B. die Anode 14 und das Verdrahtungsmuster 18 sowie der isolierende Film 19 leicht fehlausgerichtet sind diese gebildet innerhalb der oben erwähnten Toleranz zur Fehlausrichtung. Die doppelflächige Fluoreszenz-Anzeigeröhre wird somit hergestellt wobei der Kurzschluß davon abgehalten ist aufzutreten zwischen den Verdrahtungsmustern 13.

Fig. 7(D) und 7(E) zeigen beispielhaft die Registermarkierung 601, welche gefällt ist wenn das Sieb 401 fehlausgerichtet ist außerhalb der oben beschriebenen Toleranz. Fig. 7(D) zeigt beispielhaft die Registermarkierung 601, welche gefällt bzw. niedergeschlagen wird wenn das Sieb 401 nach rechts fehlausgerichtet ist. Fig. 7(E) zeigt beispielhaft die Registermarkierung 601, welche gefällt bzw. niedergeschlagen wird wenn das Sieb 401 nach links fehlausgerichtet ist.

In beiden der Fig. 7(D) und 7(E) ist die Registermarkierung 601 gefällt bzw. niedergeschlagen während sie die Innenseite des Freiraumes 602 der Registermarkierung 103 erreicht. Unter dieser Bedingung sind das leitfähige Muster, wie z. B. die Anode 14 und das Verdrahtungsmuster 13 und der isolierende Film 19 fehlausgerichtet relativ außerhalb der Toleranz. Dieses verursachte Probleme, die darin bestehen, daß der Kurzschluß veranlaßt werden kann bedingt durch die frei liegenden Verdrahtungsmuster 13 oder darin, daß Licht unsauber emittiert wird von dem Lumineszenz-Anzeigeabschnitt 16, da die Anode 14 mit dem isolierenden Film 19 bedeckt bzw. beschichtet ist.

Dementsprechend wir der isolierende Film 19 gefällt bzw. niedergeschlagen mittels visueller Ausrichtung des Siebes 401 in solch einer Weise das eine Toleranz bereitgestellt werden kann wie in den Fig. 7(A) bis 7(C) gezeigt. Somit besteht die Möglichkeit die doppelseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre herzustellen wobei das Auftreten eines Kurzschlusses zwischen den Verdrahtungsmustern 13 verhindert bzw. gehemmt wird. Nachfolgend wird eine Beschreibung angegeben für den Schritt des Bildens des in Fig. 3 gezeigten Anzeigeabschnittes an der Seite des Frontsubstrates 3 in dem Verfahren zur Herstellung der doppelseitigen Fluoreszenz-Anzeigeröhre.

An der inneren Fläche des transparenten Glas-Frontsubstrates 3 werden das Verdrahtungsmuster 13, der interne Anschluß 204, verbunden mit dem Verdrahtungsmuster 13, die streifenartige oder maschenartige und somit transparente Anode 14, verbunden mit dem Verdrahtungsmuster 13 und die Registermarkierung 103 aus dem Al-Dünnfilm mittels Photolitography unter Verwendung der Schablone 301 gebildet. Nachfolgend wir die Phosphorlage 15 an der Anode 14 mittels Siebdrucken oder Elektrofällungen gefällt bzw. niedergeschlagen. Diese Lage wird gesintert und fixiert wodurch der Lumineszenz-Anzeigeabschnitt 16 gebildet wird.

Nachfolgend wird die Registermarkierung 403 das Siebes 401 visuell bzw. optisch abgestimmt auf die Registermarkierung 103 innerhalb der Toleranz zur Fehlausrichtung wodurch es positioniert wird. Das pastenartige Material, enthalten SiO₂ wird gebildet mittels Siebdrucken und nachfolgendem sintern und fixieren. Der Abschnitt mit Ausnahme des Lumineszenz-Anzeigeabschnittes 16 und des internen Anschlusses 204 wird somit bedeckt bzw. beschichtet mit dem isolierenden Film 19 wodurch Öffnungen gebildet werden entsprechend dem Lumineszenz-Anzeigeabschnitt 16 und dem interen Anschluß 204.

Die Steuerelektrode 17 wird nachfolgend bondiert bzw. verklebt mittels leitfähigem bzw. leitendem Klebstoff bzgl. einer internen Elektrode (nicht gezeigt) für die Steuerelektrode, gebildet an der inneren Fläche des Frontsubstrates 3, so daß sie angeordnet ist gegenüberliegend zu dem Lumineszenz-Anzeigeabschnitt 16, und zwar bei einer vorbestimmten Entfernung beabstandet diesbezüglich. Somit ist der Lumineszenz-Anzeigeabschnitt an der Seite des Frontsubstrates 3 fertiggestellt.

Nachfolgend werden das Frontsubstrat 3, das Hecksubstrat 2, in welchem der Lumineszenz-Anzeigeabschnitt gebildet ist, die Kathode 18, der externe Anschluß und die Seitenplatte zusammengebaut. Der Zusammenbau bzw. die Anordnung wird evakuiert/gedichtet und nachfolgend zusammengeführt, wodurch die doppelseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre fertiggestellt ist.

In der doppelseitigen Fluoreszenz-Anzeigeröhre gemäß dieser Ausführungsform ist der freiliegende bzw. freigelegte Abschnitt des Verdrahtungsmusters 13 an der Seite des Frontsubstrates 3 bedeckt bzw. beschichtet mit dem transparenten bzw. durchsichtigen isolierenden Film 19 oder insbesondere dem SiO₂-Film. Es ist somit möglich das Isolationsversagen zu reduzieren, bedingt durch leitende Verunreinigungen oder dergleichen, hergestellt in dem Herstellungsschritt was bisher als Problem erachtet wurde.

Dieser Einschluß wird weiterhin beschrieben. Die in Fig. 9 gezeigte Konstitution gemäß dem Stand der Technik mit dem freiliegenden Verdrahtungsmuster zeigt eine Rate an Isolationsversagen von 0,61%. Andererseits zeigt die Konstitution bzw. der Aufbau dieser Ausführungsform, in welcher der freiliegende bzw. freigelegte Abschnitt des Verdrahtungsmusters 13 bedeckt bzw. beschichtet ist mit dem isolierenden Film ein Isolationsversagen von 0%.

Die Wirkung wird beschrieben angesichts von Eigenschaften des doppelseitigen Fluoreszenz-Anzeigerohres. Wie es in Tabelle 1 gezeigt ist werden ein ein Anodenstrom und eine Leuchteffizienz angenommen als 100% wenn der SiO₂-Film nicht an dem freiliegenden Abschnitt des Verdrahtungsmusters gebildet ist. Der Aufbau dieser Ausführungsform, in welcher der freiliegende Abschnitt des Verdrahtungsmusters bedeckt bzw. beschichtet ist mit dem SiO₂-Film (isolierenden Film) kann Elektronen, emittiert von der Kathode davon abhalten mit dem Verdrahtungsmuster zu kollidieren bzw. auf dieses zu treffen. Demzufolge wird ein ineffektiver Strom bzw. ein Verluststrom der Anode um etwa 50% reduziert. Ferner wird auch die Leuchteffizienz des Phosphores verbessert.

Tabelle 1

Wie es in Fig. 8 gezeigt ist wird die Transmittanz um einige Prozent erhöht, selbst verglichen mit transparentem Glas welches das Verdrahtungsmuster aufweist welches nicht bedeckt bzw. beschichtet ist mit dem isolierenden Film (SiO₂).

In den oben erwähnten Ausführungsformen wurde die Fluoreszenz-Anzeigeröhre beschrieben mit den Lumineszenz-Anzeigeabschnitten gebildet an beiden der sich gegenüberstehenden Substrate (Heck- und Frontsubstrate 2 und 3). Die obige Ausbildung kann jedoch ebenfalls angewendet werden auf eine generelle Vakuumfluoreszenz-Anzeigeröhre (VFD) und andere Anzeigeeinrichtungen.

Wie sich deutlich aus der obigen Beschreibung ergibt wird erfindungsgemäß der freigelegte bzw. freiliegende Abschnitt des Verdrahtungsmusters an der Seite des Frontsubstrates bedeckt bzw. beschichtet mit dem transparenten bzw. durchsichtigen isolierenden Film. Somit ist es möglich das Isolationsversagen zu reduzieren, bedingt durch leitende bzw. leitfähige Verunreinigungen oder dgl., erzeugt in dem Herstellungsschritt, was bisher als Problem erachtet wurde. Des weiteren ist es möglich Elektronen, emittiert von der Kathode davon abzuhalten mit dem Verdrahtungsmuster zu kollidieren bzw. auf dieses zu treffen. Als ein Ergebnis kann der Verluststrom bzw. der uneffektive Strom der Anode reduziert werden wobei die Leuchteffizienz bzw. der Leuchtwirkungsgrad des Phosphor ebenfalls verbessert werden kann.

Ferner umfaßt das Verfahren zur Herstellung der doppelseitigen Fluoreszenz- Anzeigeröhre gemäß dieser Ausführungsform, wobei die Röhre umfaßt das Gehäuse 1 gebildet aus dem sich gegenüberstehenden Front- und Hecksubstraten 2 und 3 und der Seitenplatte, wobei das Gehäuse 1 aufweist: die Innenfläche des Frontsubstrates 3 mit einer Vielzahl von Lumineszenz-Anzeigeabschnitten 16, gebildet aus der Phosphorlage 15 und den Anoden 14 an welchen die Phosphorlage 15 gefällt bzw. niedergeschlagen ist, das Verdrahtungsmuster 13 mit dem eine Vielzahl von Anoden 14 verbunden sind und den internen Anschluß 204, verbunden dem Verdrahtungsmuster 13; die Kathoden 18 zum emittieren der Elektronen; und die Steuerelektrode 17, angeordnet zwischen den Lumineszenz-Anzeigeabschnitten 16 und den Kathoden 18 die Schritte von: Bilden der Anoden 14, des Verdrahtungsmusters 13, der internen Anschlüsse 204 und der ersten Registermarkierung 103 des leitfähigen bzw. leitenden Materiales an dem Frontsubstrat 3 unter Verwendung der Schablone 301 mit einer Vielzahl von ersten Registermarkierungen 103 deren Form die Fehlausrichtungstoleranz wiedergibt bzw. repräsentiert, welche einen Pegel darstellt der erlaubt ist selbst wenn das Sieb 401 fehlausgerichtet ist; und drucken des isolierenden Filmes 19 an dem Frontsubstrat 3 mittels transparentem isolierendem Material unter Verwendung des Siebes 401 mit einer Vielzahl von zweiten Registermarkierung 403, entsprechend dem Isolationslagenmuster 402 und der ersten Registermarkierung 103, während die zweiten Registermarkierungen 403 abgestimmt sind auf die ersten Registermarkierungen 103 innerhalb der Fehlausrichtungstoleranz. Somit kann das Verdrahtungsmuster 13 in geeigneter Weise bedeckt bzw. beschichtet werden mit dem isolierenden Film 19. Es ist daher möglich die doppelseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre herzustellen, bei welcher das Auftreten von Kurzschluß verhindert werden kann zwischen den Verdrahtungsmustern 13. Des weiteren ist es möglich die Öffnung des isolierenden Filmes 19 bei hoher Genauigkeit zu bilden und somit das Problem, wie z. B. Anzeigeversagen des Lumineszenz-Anzeigeabschnittes 16 zu reduzieren.

Die erste Registermarkierung 103 ist gebildet aus einer rechteckförmigen Markierung dessen Breite gleich ist zu der Fehlausrichtungstoleranz:, wodurch es möglich ist die Fehlausrichtung in zwei Richtungen senkrecht zueinander zu verhindern.

Des weiteren ist die zweite Registermarkierung 403 gebildet aus der Markierung mit einem Freiraum dessen Abmessung identisch ist mit der äußeren Abmessung der ersten Registermarkierung 103, wodurch die Ausrichtung vereinfacht wird.

Ferner ist das isolierende Lagenmuster bzw. das Muster der isolierenden Lage 402, gebildet an dem zweiten Muster bzw. Musterungsglied in solch einer Weise gebildet daß der isolierende Film 19 über dem Frontsubstrat 3 gebildet werden kann, mit Ausnahme des Lumineszenz-Anzeigeabschnittes 16 und des internen Anschlusses 204, wodurch weiterhin gesichert wird daß das Auftreten von Kurzschluß verhindert werden kann zwischen den Verdrahtungsmustern 13.

Es ist nicht immer nötig die Registermarkierung 103 und 403 für jede Fluoreszenz- Anzeigeröhre wie in den Fig. 4 und 5 gezeigt zu bilden. Eine Vielzahl von Registermarkierungen können an beliebigen Positionen gebildet sein, entsprechend der Schablone 301 und dem Sieb 401.

Claims

1. Doppelseitigen Fluoreszenz-Anzeigeröhre, umfassend:
ein Gehäuse, gebildet aus zwei sich gegenüberstehenden Substraten, dessen äußere Peripherie gedichtet ist,
wobei die jeweiligen inneren Flächen der Substrate einen Lumineszenz- Anzeigeabschnitt und ein mit dem Lumineszenz-Anzeigeabschnitt verbundenes Verdrahtungsmuster aufweisen,
wobei ein freiliegender Abschnitt des Verdrahtungsmusters mit einem transparenten isolierenden Film beschichtet ist.

2. Doppelseitigen Fluoreszenz-Anzeigeröhre, umfassend:
ein Gehäuse, gebildet aus sich gegenüberstehenden Heck- und Frontsubstraten und einer rahmenartigen Seitenplatte, gedichtet zwischen den Heck- und Frontsubstraten, wobei eine Innenfläche des Hecksubstrates aufweist ein Verdrahtungsmuster, eine schwarze isolierende Lage, mit der das Verdrahtungsmuster beschichtet ist, eine Anode, angeordnet an der isolierenden Lage und verbunden mit dem Verdrahtungsmuster über eine Durchtrittsöffnung, eine Phosphorlage, angeordnet an der Anode und eine Steuerelektrode, angeordnet bei einer vorbestimmten Entfernung beabstandet von der Phosphorlage,
eine Innenfläche des Frontsubstrates aufweist ein Verdrahtungsmuster, transparente Anoden die mit dem Verdrahtungsmuster verbunden sind, eine Phosphorlage, angeordnet an den Anoden und eine Steuerelektrode, angeordnet bei einer vorbestimmten Entfernung beabstandet von der Phosphorlage, und wobei Kathoden gestreckt angeordnet sind zwischen den Steuerelektroden,
wobei ein freiliegender Abschnitt des Verdrahtungsmusters an dem Frontsubstrat mit einem transparenten isolierenden Film beschichtet ist.

3. Doppelseitige Fluoreszenz-Anzeigeröhre nach Anspruch 2, bei welcher die gesamte Fläche des Frontsubstrates mit einem transparenten isolierenden Film beschichtet ist, mit Ausnahme des Lumineszenz-Anzeigeabschnittes und einem internen Anschluß.

4. Doppelseitigen Fluoreszenz-Anzeigeröhre nach Anspruch 1, 2 oder 3, bei welcher der isolierende Film einen SiO₂-Dünnfilm umfaßt.

5. Verfahren zur Herstellung einer doppelseitigen Fluoreszenz-Anzeigeröhre, wobei die Röhre umfaßt ein Gehäuse gebildet aus einander gegenüberstehenden Front- und Hecksubstraten und eine Seitenplatte, wobei das Gehäuse aufweist:
eine Innenfläche des Frontsubstrates mit einer Vielzahl von Lumineszenz- Anzeigeabschnitten, gebildet aus einer Phosphorlage und Anoden an welchen die Phosphorlage gefällt ist, einem Verdrahtungsmuster, mit dem die Vielzahl von Anoden verbunden ist und einem internen Anschluß, der mit dem Verdrahtungsmuster verbunden ist;
Kathoden zum emittieren von Elektronen;
eine Steuerelektrode angeordnet zwischen den Lumineszenz-Anzeigeabschnitten und den Kathoden,
wobei das Verfahren die Schritte umfaßt von:
Bilden der Anoden und des Verdrahtungsmusters, des internen Anschlusses und ersten Registermarkierungen an dem Frontsubstrat unter Verwendung eines ersten Musterungsgliedes mit einer Vielzahl von ersten Registermarkierungen, deren Form eine Fehlausrichtungstoleranz wiedergibt, die ein Pegel ist welcher erlaubt ist selbst wenn ein zweites Musterungsglied fehlausgerichtet ist;
Bilden eines transparenten isolierenden Filmes an dem Frontsubstrat unter Verwendung eines zweiten Musterungsgliedes mit einer Vielzahl von zweiten Registermarkierungen, entsprechend den ersten Registermarkierungen während die zweiten Registermarkierungen mit den an dem Frontsubstrat gebildeten Registermarkierungen abgestimmt sind, innerhalb der Fehlausrichtungstoleranz.

6. Verfahren nach Anspruch 5 bei welchem die ersten Registermarkierungen aus einer rechteckförmigen Markierung gebildet ist, deren Breite gleich ist zu der Fehlausrichtungstoleranz.

7. Verfahren nach Anspruch 6, bei welcher die zweite Registermarkierung gebildet ist aus einer Markierung mit einem Freiraum dessen Abmessung identisch ist zu einer äußeren Abmessung der ersten Registermarkierung.

8. Verfahren nach Anspruch 5, 6 oder 7, bei welcher das zweite Musterungsglied in solch einer Weise gebildet ist, daß der isolierende Film an der Innenfläche des Frontsubstrates gebildet wird mit Ausnahme des Lumineszenz-Anzeigeabschnittes und des internen Anschlusses.