KR100303052B1 - 범프형성장치및방법 - Google Patents

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쓰요시 다카타
히로시 하지
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모리시타 요이찌
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Abstract

범프형성방법 및 장치에 있어서, 모세관 공구로부터 연장되는 와이어의 하단부에 토치를 접근시켜 볼을 형성하고 나서, 제1클램퍼로 와이어를 지지하여 모세관 공구를 하강시키고, 모세관 공구의 중앙구멍의 하단부에 볼을 삽입한다. 그 다음, 와이어가 하강하지 않도록 제1클램퍼로 와이어가 지지되고, 모세관 공구의 하강으로 절단된다. 또한, 모세관 공구는 더욱 하강되고, 볼은 공작물의 전극에 압착되어 볼을 전극에 본딩하여 범프가 형성된다. 범프로부터 돌출된 테일은 압착지그를 테일쪽으로 가압하여 압착되어 범프 높이를 균일하게 한다. 이에 의해, 볼이 전극에 견고히 본딩되고, 볼과 전극 사이의 접합면은 손상되지 않는다.

Description

범프형성장치 및 방법
본 발명은 공작물(workpiece) 전극상에 범프를 형성하는 범프형성장치 및 방법에 관한 것이다.
IC칩과 같은 공작물의 전극에 범프(bump, 즉 돌출전극)를 형성하는 방법으로서 와이어 본딩(wire bonding) 기술을 사용하는 방법이 공지되어 있다. 통상적인 범프형성방법은 아래에 기술된다.
제19(a)도, 제19(b)도, 제19(c)도 및 제19(d)도와 제20도는 통상적인 범프형성방법을 나타낸 설명도이다. 제19(a)도에 도시되어 있는 바와 같이, 와이어(2)의 하단부에 토치(torch)(3)를 접근시켜 와이어(2)의 하단부와 토치(3) 사이에 스파크를 발생시킴으로써, 볼(4)은 모세관 공구(capillary tool)(1)로부터 연장된 와이어(2)의 하단부에 형성된다. 도면부호 5는 와이어(2)를 지지하기 위하여 모세관 공구(1)의 위에 위치되는 제1클램퍼를 나타내고, 도면부호 6은 와이어(2)에 장력을 주기 위하여 제1클램퍼(5)위에 위치되는 제2클램퍼를 나타낸다.
제19(b)도에 나타낸 바와 같이, 볼(4)은 모세관 공구(1)를 하강시킴으로써, 공작물(7)의 전극에 압착된다. 도면부호 8은 공작물(7)이 설치되는 베이스를 나타낸다. 그런 후, 제19(c)도에 나타낸 바와 같이, 와이어(2)(혹은 테일(tail)이라 함)는 모세관 공구(1)를 약간 상승시켜 모세관 공구(1)의 하단부로부터 다음 볼 형성에 필요한 길이만큼 유도되어 연장된 후, 제1클램퍼(5)에 의해 고정적으로 유지된다.
그런 후, 제19(d)도에 도시되어 있는 바와 같이, 와이어(2)를 지지시키면서 제1클램퍼(5) 및 모세관 공구(1)를 상승시켜 와이어(2)를 볼(4) 바로 위에서 절단함으로써 일련의 동작은 완료되어, 범프(4)가 공작물(7)의 전극상에 형성된다.
제20도는, 볼(4)을 공작물(7)의 전극상에 본딩한 다음, 제19(c)도에 도시된 단계에서와 같이 제1클램퍼(5)로 와이어(2)를 지지하여 와이어(2)를 상승시키면서 와이어(2)를 절단하는 상태를 확대한 것이다. 도면부호 a는 절단선을 나타내고, 1a는 와어어(2)가 삽입되는 모세관 공구(1)의 중앙구멍을 나타낸다. 와이어(2)를 상승시킴으로써, 와이어(2)는 볼(4) 바로 위의 절단선(a)에서 강제적으로 절단된다. 이 경우, 볼(범프)(4)과 공작물(7)의 전극(7a) 사이의 접합면에서 큰 인장 응력이 발생된다. 따라서, 볼(범프)(4)이 전극(7a)으로부터 쉽게 떨어져, 볼(범프)(4)과 전극(7a) 사이의 접합면이 쉽게 손상될 수 있다는 문제점이 있다. 제20도에서, 볼(4)의 하부에 있는 검은 부분은 손상을 받은 부분이다.
따라서, 본 발명의 목적은 와이어의 하단부를 공작물의 전극에 단단히 본딩하여, 볼(범프)과 전극 사이의 접합면이 손상되는 것을 방지할 수 있도록 한 범프형성장치 및 범프형성방법을 제공하는데 있다.
제1도는 본 발명의 실시예에 따른 범프형성장치의 측면도.
제2도는 본 발명의 실시예에 따른 범프형성장치의 부분 사시도.
제3도 내지 제16도는 본 발명의 범프형성방법의 공정도.
제17도는 본 발명의 실시예에 따른 범프형성방법의 공정에서 와이어를 절단하는 경우 모세관 공구(capillary tool)의 부분 확대 단면도.
제18도는 본 발명의 다른 실시예에 따른 범프형성방법의 공정도.
제19(a)도 내지 제19(d)도는 종래의 범프형성방법의 공정도.
제20도는 종래의 범프형성방법의 공정의 부분 확대도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 칩 10a : 전극
11 : 본딩아암 12 : 모세관 공구
12a : 중앙구멍 13 : 와이어
13' : 테일 14 : 볼
15 : 스윙아암 16 : 베어링
17 : 핀 18 : 베이스
19 : 롤러 20 : 캠
21 : 탄성스프링 22 : 모터
23 : 바 24 : 핀
25 : 액츄에이터 26 : 제2클램퍼
27 : 클램프부 28 : 제1클램퍼
29 : 액추에이터 30 : 클램프부
31 : 축 33 : 받침대
35 : 압전소자 36 : 토치
37 : 원통 38 : 로드
39, 39' : 압착판 40 : 받침대
41 : 가열기
따라서, 본 발명의 범프형성장치는, 와이어를 중앙구멍에 삽입하는 모세관공구, 모세관 공구를 전단부에서 지지하는 본딩아암, 본딩아암을 통해 모세관 공구를 수직으로 이동시키는 수직이동기구, 모세판 공구 위쪽에 설치되어, 와이어를 지지하는 제1클램퍼, 상기 모세관 공구 위쪽에 설치된 클램프부를 구비하떠, 모세관 공구와 일체적으로 수직 이동하고, 수직으로 슬라이드 가능하게 와이어를 지지하는 제2클램퍼, 모세관 공구의 중앙구멍으로부터 유도되어 하방으로 연장되는 와이어의 하단부에 스파크로 볼을 형성하는 토치 및, 제2클램퍼와 모세관 공구 사이의 간격을 변경시키는 간격변경수단을 포함한다.
또한, 본 발명의 범프형성방법은, 모세관 공구의 중앙구멍에 삽입되어 하방으로 연장되는 와이어의 하단부에 토치를 접근시켜 와이어의 하단부와 토치 사이에 스파크를 발생시켜 와이어의 하단부에 볼을 형성하는 단계, 볼이 공작물에 접근하면 클램퍼로 상기 와이어를 고정하여 하강을 방지하고 이 상태에서 상기 모세관 공구를 좀더 하강시켜 모세관 공구에 의해 와이어로부터 볼을 강제적으로 절단시켜 분리하는 단계 및, 모세관 공구를 더욱 하강시켜 공작물의 전극에 볼을 압착하여 전극상에 볼을 본딩하는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명의 범프형성방법은, 모세관 공구의 중앙구멍에 삽입되어 하방으로 연장되는 와이어의 하단부에 토치를 접근시켜 와이어의 하단부와 토치 사이에 스파크를 발생시켜 와이어의 하단부에 볼을 형성하는 단계, 모세관 공구를 하강시킴으로써 공작물의 전극에 볼을 접근시키는 단계, 볼이 공작물에 접근하면 클램퍼로 상기 와이어를 고정하여 하강을 방지하고 이 상태에서 상기 모세관 공구를 좀더하강시켜 모세관 공구에 의해 와이어로부터 볼을 강제적으로 절단시켜 분리하는 단계, 모세관 공구를 더욱 하강시켜 공작물의 전극에 대해 볼을 압착하여 전극상에 볼을 본딩하는 단계와, 모세관 공구를 상승시켜 모세관 공구의 하단부로부터 와이어의 하단부를 끌어내는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명의 범프형성방법은, 모세관 공구의 중앙구멍에 삽입되어 하방으로 연장되는 와이어의 하단부에 볼을 형성하는 단계, 볼이 공작물에 접근하면 클램퍼로 상기 와이어를 고정하여 하강을 방지하고 이 상태에서 상기 모세관 공구를 좀더 하강시켜 모세관 공구에 의해 와이어로부터 볼을 강제적으로 절단시켜 분리하는 단계, 모세관 공구를 더욱 하강시켜 공작물의 전극에 대해 볼을 압착하여 전극상에 볼을 본딩하는 단계와, 압착 지그(jig)에 의해 공작물의 전극에 본딩된 볼의 상측을 압착하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따르면, 와이어의 하단부에 있는 볼을 공작물의 전극에 본딩하기 전에 와이어를 절단하고 나서, 공작물의 전극에 볼을 압착하여 전극에 볼을 본딩함으로써, 볼(공작물)의 하단부가 손상되지 않고 볼이 전극에 견고히 본딩되어 범프가 형성될 수 있다. 또한, 압착지그에 의해 범프의 상측을 압착함으로써, 범프로부터 돌출되는 테일이 압착되어 범프의 상측의 높이가 일정하게 될 수 있다.
이하, 본 발명의 일실시예를 첨부도면을 참조하여 기술한다. 제1도는 본 발명의 일실시예에 따른 범프형성장치의 측면도이고, 제2도는 범프형성장치의 부분 사시도이다. 제3도 내지 제16도는 공정의 순서대로 도시된 범프형성 공정도이다. 또한, 제17도는 범프형성공정에서 와이어가 절단될 때 모세관 공구의 부분 확대 단면도이다.
먼저, 범프형성장치의 전체구조를 제1도와 제2도를 참조하여 기술한다. 제1도에서, 도면부호 11은 혼(horn)(본딩아암)을 나타내고, 모세관 공구(12)가 혼의 전단부에 지지된다. 모세관 공구(12)는 중공 원통체이고, 와이어(13)는 상기 공구(12)의 중앙구멍(12a)에 삽입된다(제17도 참조). 초음파발생기(34)가 혼(11)의 기부(root)에 설치된다. 상향 장력이 도시되지 않은 장력 기구에 의해 와이어(13)에 일정하게 인가된다.
혼(11)은 핀(17)을 중심으로 수직으로 진동될 수 있도록 스윙아암(15)과 일체적으로 베어링(16)에 결합된다. 도면부호 18은 베어링(16)의 베이스를 나타낸다.
롤러(19)는 스윙아암(15)의 후단부에 결합된다. 롤러(19)는 캠(20)과 접촉한다. 도면부호 21은 롤러(19)를 캠(20)에 접촉되게 하는 탄성스프링을 나타낸다. 모터(22)가 구동되어 캠(20)이 회전하면 스윙아암(15)과 혼(11)은 핀(17)에 대해 일체적으로 수직으로 진동하여, 모세관 공구(12)가 수직으로 이동한다 즉, 롤러(19), 캠(20), 스프링(21) 및 모터(22)는 혼(11)과 모세관 공구(12)를 수직으로 이동시키는 수직이동기구 역할을 한다. 수직이동기구로서, 선형 모터 또는 음성코일(voice coil)을 사용하는 것이나, 볼 나사형 이송기구를 사용하는 것이 있을 수 있다.
바(bar:23)는 스윙아암(15)의 전단부에서 핀(24)에 수직으로 회전 가능하게 결합된다. 액추에이터(25)는 바(23)의 전단부에 설치된다. 제2도에서, 액추에이터(25)는 좌,우 한쌍의 제2클램퍼(26)를 지지한다. 클램프부(27)는 제각기 제2클램퍼(26)의 내면에 설치된다. 액추에이터(25)가 구동되면, 제2클램퍼(26)는 개폐된다.
제2클램퍼(26)가 폐쇄되는 동안, 클램프부(27)는 와이어(13)를 가볍게 지지한다.
와이어(13)가 지지되는 동안, 와이어는 그의 길이방향(수직방향)으로 슬라이드할 수 있다. 특히, 클램프부(27)는, 와이어(13)가 지지되는 동안 수직으로 슬라이드할 수 있도록 사용되고, 펠트(felt) 또는 탄성수지와 같은 탄성재료로 구성될 수 있다.
제1도에서, 바(23)의 후단부는 압전(piezoelectric)소자(35)를 통해 스윙아암(15)의 상측에 결합된다. 압전소자(35)는 전압이 인가되면 수축하는 특성을 가진다. 따라서, 압전소자(35)가 수축하면, 바(23)는 핀(24)에 대해 수직으로 진동한다. 즉, 압전소자(35)는 모세관 공구(12)와 제2클램퍼(26) 사이의 간격을 변경시키는 간격변경수단으로서 역할한다. 따라서, 제2클램퍼(26)에 의해 와이어를 지지하여 간격변경수단에 의해 모세관 공구(12)를 제2클램퍼(26)에 접근시킴으로써, 와이어(13)의 테일의 신장(extension)(모세관 공구(12)의 하단부로부터 와이어(13)의 하단부를 소정의 길이만큼 끌어내기 위한 동작)이 행해진다. 모터(20)가 구동되어 스윙아암(15)이 수직으로 진동하면, 바(23)는 혼(11)과 일체적으로 진동하고, 제2클램퍼(26)는 모세관 공구(12)와 일체적으로 수직 이동한다.
제2도에서, 제2클램퍼(26) 위에는 제1클램퍼(28)가 설치된다. 제1클램퍼(28)는 액추에이터(29)에 의해 지지되는데, 제1클램퍼(28)는 액추에이터(29)가 와이어(13)를 지지하거나 해제하도록 구동되면 개폐된다. 제1클램퍼(28)의 내면에 제각기 설치된 클램프부(30)는 와이어(13)를 견고히 지지하도록 스테인레스 스틸과 같은 강성부재로 만들어진다. 액추에이터(29)는 축(31)에 고정된다. 제19도에 도시된 바와 같이, 종래에는 제1클램퍼 위에 제2클램퍼가 설치된다. 그러나, 본 발명의 범프 형성장치의 경우에는 제2클램퍼(26)가 제1클램퍼(28)의 아래에 설치되고, 상기 클램프부(27)가 제2클램퍼(26)에 설치된다. 따라서, 상기 특징적인 구조에 의해 후술하는 볼(14)을 모세관 공구(12)의 중앙구멍(12a)의 하단부에 맞추어 볼을 지지하고, 와이어(13)의 테일을 끌어낼 수 있다.
도면부호 36은 토치를 나타낸다. 토치(36)의 전단부를 모세관 공구(12)의 하단부로부터 연장되는 와이어(13)의 하단부에 접근시킴과 동시에, 토치(36)에 고전압을 인가시킴으로써, 토치(36)의 전단부와 와이어(13)의 하단부 사이에 스파크가 발생되어, 볼(14)이 와이어(13)의 하단부에 형성된다. 도면부호 10은 받침대(33)상에 설치되는 공작물로서 역할하는 칩을 나타낸다(제1도). 제2도에 도시된 바와 같이, 다수의 전극(10a)이 칩(10)상에 형성되고, 아래에서 기술되는 바와 같이 이들 전극(10a)상에 범프(14)가 형성된다.
범프형성장치는 상기에서 기술된 바와 같이 구성된다. 이하, 범프형성방법을 제3도 내지 제17도를 참조하여 기술한다. 먼저, 제3도에 도시된 바와 같이, 모세관 공구(12)를 칩(10)상에 위치시키면서 모세관 공구(12)를 와이어(13)의 하단부에 접근시킨 후, 제4도에 도시된 바와 같이 토치(36)와 와이어(13)의 하단부 사이에서 스파크를 발생시킴으로써, 모세관 공구(12)의 중앙구멍(12a)의 내측 직경보다 큰 외측 직경을 가지는 볼(14)이 와이어(13)의 하단부에 형성된다. 제3도와 제4도에 도시된 단계의 경우에는 제2클램퍼(26) 및 제1클램퍼(28) 양자 모두가 폐쇄되어 와어어(13)를 지지 한다.
다음에, 제1클럼퍼(28)가 개방되어 지지상태를 해제하고(제5도), 다음에 모터(22)가 구동되어 스윙아암(15)을 수직으로 진동시킨다. 다음에, 모세관 공구(12) 및 제2클램퍼(26)가 칩(10)을 향해 하강한다(제6도). 이 경우에, 압전소자(35)가 구동되어 제2클램퍼(26)가 모세관 공구(12)에 대해 상대적으로 상승하여, 제2클램퍼(26) 및 모세관 공구(12) 사이의 간격을 증가시킨다. 제2클램퍼(26)의 동작은 후에 수행되는 와이어(13)의 테일을 끌어내는 단계의 준비동작으로서, 제2클램퍼(26)가 테일 끌어내기 단계에서 와이어(13)를 지지함으로써 모세관 공구(12)에 접근할 수 있다.
또한, 제2클램퍼(26)의 동작에 따라서 와이어(13)도 모세관 공구(12)에 대해 상대적으로 상승하여, 볼(14)이 모세관 공구(12)의 중앙구멍(12a)내에 맞추어진다(제7도).
다음에, 볼(14)이 공작물(10)에 접근하면 제1클램퍼(28)는 폐쇄되어, 와이어(13)가 하강하는 것을 방지한다(제8도). 모세관 공구(12)가 상기 상태보다 아래로 더욱 하강하면, 와이어(13)가 제1클램퍼(28)에 의해 하강되지 않기 때문에 볼(14)은 모세관 공구(12)에 의해 와이어(13)로부터 강제적으로 분리된다(제9도). 물론, 상기 강제적인 분리는, 제1클램퍼(28)로 와이어(13)를 견고히 지지하여 와이어(13)를 상승시킴으로써 수행될 수 있다. 모세관 공구(12)를 와이어(13)의 볼(14)에 대해 상대적으로 하강시키는 것이 중요하다.
제17도는 상기 분리시에 모세관 공구(12)의 하단부 근처의 부분의 확대 단면도이다. 제4도에 도시된 단계에서, 볼(14)은 스파크에 의해 와이어(13)의 하단부에 형성된다. 스파크시에, 와이어(13)의 하단부의 근처는 내부전류로 인한 주울 열(Joule heat)로 인해 고온으로 가열된다. 볼(14)은 고온으로 인해 용해된 와이어(13)로 형성된다. 와이어(13)의 하단부의 근처가 고온으로 가열되기 때문에 이의 조직이 약해진다. 따라서, 장력이 와이어(13)에 인가되면, 와이어(13)는 제17도에 도시된 볼(14) 바로 위의 부분에서 절단된다. 또한, 제6도와 제7도에 도시된 단계에서 기술된 바와 같이, 볼(14)은 중앙구멍(12a)의 하단부에 맞춤으로써 지지된다.
다음에, 제10도에 도시된 바와 같이, 모세관 공구(12)는 하강하여, 볼(14)을 칩(10)의 전극(10a)에 압착하여 볼을 전극에 본딩한다. 다음에, 제1클램퍼(28)가 개방된 다음에, 모세관 공구(12) 및 제2클램퍼(26)가 일체적으로 상승한다(제11도 및 제12도). 이에 의해 범프(볼)(14)가 칩(10)의 전극(10a)상에 형성된다 이 경우, 와이어(13)는 또한 제2클램퍼(26)에 의해 지지되기 때문에 상승된다.
다음에, 제1클램퍼(28)가 개방되면서 혼(11)과는 무관하게 제2클램퍼(26)만이 하강하면, 모세관 공구(12)의 하단부로부터 와이어(13)의 하단부를 끌어냄으로써 와이어(13)의 테일은 끌어내어진다(제13도 및 제14도). 다음에, 제1클램퍼(28)가 폐쇄되기 때문에, 제3도에 도시된 초기 상태로 되돌아간다. 따라서, 범프형성동작이 완료된다. 제2도에 도시된 바와 같이, 많은 전극(10a)들이 칩(10)상에 있다. 따라서, 칩(10)에 대해 상기 동작을 반복함으로써 범프(14)는 전극(10a)상에 연속적으로 형성된다. 제13도와 제14도에 도시된 단계에서, 초음파발생기(34)를 구동하여 모세관 공구(12)를 초음파 진동시키면, 모세관 공구(12)의 하단부로부터 와이어(13)를 연장시키는 것이 쉽다.
테일(13')(와이어(13)의 절단된 부분)은 공작물(10)에 본딩된 범프(14)의 상측으로부터 쉽게 돌출된다(제13도 참조) 따라서, 제16도에 도시된 바와 같이, 테일(13')은 범프(14)의 높이를 균일하게 하기 위하여 압착된다. 제16도에서, 도면부호 37은 압착지그로서 역할하는 원통을 나타내고, 압착판(39)은 원통의 로드(38)의 하단부에 설치된다. 따라서, 로드(38)를 돌출시켜 압착판(39)을 하강시킴으로써, 압착판(39)이 테일(13')을 압착한다. 이 경우에, 양호하게도 공작물(10)이 설치된 받침대(40)에 가열기(41)를 수납하여 가열기(41)의 열로 공작물(10) 및 테일(13)을 가열함으로써 테일(13)은 보다 쉽게 압착된다. 이 경우에, 압착지그로 받침대(33)상의 테일(13')을 압착할 때 받침대(33)에 가열기를 설치할 필요가 있다.
제18도는 본 발명의 다른 실시예에 따른 범프형성 공정도이다. 제16도의 경우에, 범프(14)상의 테일(13')은 압착판(39)에 의해 차례로 압착된다. 그러나, 제18도에서, 공작물(70)에 본딩된 다수의 범프(14)상의 테일(13')은 큰 압착판(39)으로 동시에 압착된다. 또한, 이 경우에, 가열기로 공작물(10) 및 테일(13')을 가열하는 것이 바람직하다. 제16도 또는 제18도에 도시된 테일(13')을 압착하는 단계는 제15도에 도시된 단계가 완료된 후면 어느 때라도 좋다.
본 발명에 따르면, 와이어의 하단부에 있는 볼이 공작물의 전극에 본딩되기전에 와이어를 절단하고, 그런 다음에 볼을 전극에 압착하여 본딩한다. 따라서, 볼(범프)과 공작물 사이의 접합면이 손상되지 않아, 볼(범프)이 공작물의 전극에 견고히 본딩될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 범프가 볼(범프)과 공작물의 전극 사이의 접합면을 손상시키지 않고 형성될 수 있어, 압착지그로 범프의 상측을 압착함으로써 범프의 높이가 균일하게 될 수 있다.

Claims (8)

  1. 와이어를 중앙구멍에 삽입하는 모세관 공구, 상기 모세관 공구를 전단부에서 지지하는 본딩아암, 상기 본딩아암을 통해 상기 모세관 공구를 수직으로 이동시키는 수직이동기구, 상기 모세관 공구 위쪽에 설치되어, 와이어를 지지하는 제1클램퍼, 상기 모세관 공구 위쪽에 설치된 클램프부를 구비하며, 상기 모세관 공구와 일체적으로 수직 이동하고, 와이어를 수직으로 슬라이드 가능하게 지지하는 제2클램퍼, 상기 모세관 공구의 중앙구멍으로부터 하방으로 연장되는 와이어의 하단부에 스파크로 볼을 형성하는 토치 및, 상기 제2클램퍼와 상기 모세관 공구 사이의 간격을 변경시키고, 볼을 본딩한 후, 와이어를 삽입한 제2클램퍼를 모세관 공구측으로 접근시킴으로써 모세관 공구의 하단부로부터 와이어를 끌어내는 간격변경수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 범프형성 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 모세관 공구는 전극에 볼을 압착함으로써 공작물의 전극에 상기 형성된 볼을 본딩시키는 것을 특징으로 하는 범프형성장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 공작물의 전극에 본딩된 상기 볼을 압착시키는 압착지그를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 범프형성장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 압착지그는 다수의 상기 본딩된 볼을 동시에 압착할 수 있는 것을 특징으로 하는 범프형성장치.
  5. 모세관 공구의 중앙구멍에 삽입되어 하방으로 연장되는 와이어의 하단부에 토치를 접근시켜, 상기 와이어의 하단부와 상기 토치 사이에 스파크를 발생시킴으로써 와이어의 하단부에 볼을 형성하는 단계, 볼이 공작물에 접근하면 클램퍼로 상기 와이어를 고정하여 하강을 방지하고 이 상태에서 상기 모세관 공구를 좀더 하강시켜 모세관 공구에 의해 와이어로부터 볼을 강제적으로 절단시켜 분리하는 단계 및 상기 모세관 공구를 더욱 하강시켜, 상기 공작물의 전극에 볼을 압착하여 전극에 볼을 본딩하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 범프형성방법.
  6. 모세관 공구의 중앙구멍에 삽입되어 하방으로 연장되는 와이어의 하단부에 토치를 접근시켜, 상기 와이어의 하단부와 상기 토치 사이에 스파크를 발생시킴으로써 와이어의 하단부에 볼을 형성하는 단계, 상기 모세관 공구를 하강시킴으로써 공작물의 전극에 상기 볼을 접근시키는 단계, 볼이 공작물에 접근하면 클램퍼로 상기 와이어를 고정하여 하강을 방지하고 이 상태에서 상기 모세관 공구를 좀더 하강시켜 모세관 공구에 의해 와이어로부터 볼을 강제적으로 절단시켜 분리하는 단계, 상기 모세관 공구를 더욱 하강시켜, 상기 공작물의 전극에 상기 볼을 압착하여 전극에 볼을 본딩하는 단계 및, 상기 모세관 공구를 상승시켜, 상기 모세관 공구의 하단부로부터 상기 와이어의 하단부를 끌어내는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 범프형성방법.
  7. 모세관 공구의 중앙구멍에 삽입되어 하방으로 연장되는 와이어의 하단부에 볼을 형성하는 단계, 볼이 공작물에 접근하면 클램퍼로 상기 와이어를 고정하여 하강을 방지하고 이 상태에서 상기 모세관 공구를 좀더 하강시켜 모세관 공구에 의해 와이어로부터 볼을 강제적으로 절단시켜 분리하는 단계, 상기 모세관 공구를 더욱 하강시켜, 상기 공작물의 전극에 상기 볼을 압착하여 전극에 볼을 본딩하는 단계 및, 압착지그로 상기 공작물의 전극면에 상기 본딩된 볼의 상측을 압착하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 범프형성방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 본딩된 다수의 볼은 상기 압착단계에서 압착되는 것을 특징으로 하는 범프형성방법.
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