KR100301060B1 - 웨이퍼 프로빙 장비 및 이를 이용한 웨이퍼 검사용 니들 교정방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 프로빙 장비 및 이를 이용한 웨이퍼 검사용 니들 교정 방법에 관한 것으로서, 웨이퍼를 테스트하기 위한 다수개의 니들들이 설치된 프로브 카드가 장착되는 웨이퍼 프로브 프로빙 장비에 있어서, 상기 웨이퍼가 놓이는 웨이퍼 척, 상기 웨이퍼 척을 고정시키며 수평 및 상하로 이동하는 웨이퍼 척 받침대, 상기 웨이퍼 척 받침대 위에 설치되며 상기 다수개의 니들들을 개별적으로 접촉하는 니들 척, 상기 웨이퍼 척 받침대 위에 설치되며 상기 다수개의 니들들의 위치를 파악하는 카메라, 및 상기 카메라로부터 상기 니들들의 위치를 나타내는 데이터를 받아서 상기 니들 척 및 상기 웨이퍼 척의 이동을 제어하는 콘트롤러를 구비하고, 상기 니들 척은 도전성을 갖는 신호선, 및 상기 신호선을 둘러싸는 쉴드선을 구비함으로써 웨이퍼 검사용 니들을 개별적으로 접촉할 수 있다.

Description

웨이퍼 프로빙 장비 및 이를 이용한 웨이퍼 검사용 니들 교정 방법{Wafer Probing System and Wafer Probing Needle Calibrating Method Using Those}
본 발명은 웨이퍼를 검사하는 웨이퍼 프로빙 장비에 관한 것으로서, 특히 웨이퍼 검사용 니들들이 장착된 웨이퍼 프로빙 장비 및 이를 이용한 웨이퍼 검사용 니들 교정 방법에 관한 것이다.
웨이퍼에는 다수개의 집적 회로 칩들이 형성된다. 집적 회로 칩들의 특성을 측정하기 위해서는 집적 회로 칩들을 테스트 장비에 전기적으로 연결시켜야 한다. 집적 회로 칩들은 매우 작기 때문에 테스트 장비를 직접 연결할 수가 없다. 그래서, 다수개의 니들(needle)들이 설치된 프로브 카드(Probe Card)를 테스트 장비에 연결한 다음 상기 니들들을 집적 회로 칩들의 패드들에 접촉시켜서 집적 회로 칩들의 특성을 측정하게 된다. 이 때, 테스트 장비와 다수개의 니들들은 다수개의 신호선들을 통해서 연결된다. 다수개의 신호선들은 기본적으로 신호 전달 특성이 모두 동일해야 하지만, 실질적으로는 다른 경우가 많다. 왜냐하면, 신호선들의 제작 과정에서 신호선들의 특성이 다르게 형성될 수가 있기 때문이다. 집적 회로 칩들에 사용되는 신호는 매우 예민하기 때문에 신호선들의 특성이 다르면 테스트 장비로부터 출력되는 신호들이 니들들에 도달되는 시간이 신호선마다 달라지게 된다. 그렇게 되면, 집적 회로 칩의 특성을 정확하게 측정할 수가 없다. 때문에 집적 회로 칩들의 특성을 정확하게 측정하기 위해서는 신호선들의 특성을 정확하게 측정하여 테스트 장비로부터 니들들에 인가되는 신호들을 그에 맞추어서 조정하면 된다. 이것을 신호들을 교정(calibration)한다고 한다. 그런데, 현재는 웨이퍼 프로빙 장비에 구비되는 웨이퍼 척에 웨이퍼를 얹어놓은 상태에서 니들들을 모두 집적 회로 칩들의 패드들에 접촉시키는 방법밖에는 없다. 그렇기 때문에 테스트 장비에서 각 니들에서 도달되는 신호들의 파형을 정확하게 교정할 수가 없다.
따라서, 본 발명이 이루고자하는 기술적 과제는 웨이퍼 검사용 니들들을 하나씩 접촉할 수 있는 웨이퍼 프로빙 장비를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자하는 다른 기술적 과제는 웨이퍼 검사용 니들들에 인가되는 신호들을 정확하게 교정하는 웨이퍼 검사용 니들 교정 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 웨이퍼 프로빙(probing) 시스템의 측단면을 개략적으로 도시한 도면.
도 2a 및 도 2b는 각각 상기 도 1에 도시된 웨이퍼 척 받침대 및 웨이퍼 척 받침대를 제어하는 장치들의 평면 및 측면을 개략적으로 도시한 도면들.
도 3은 상기 도 1에 도시된 니들 척(Needle Chuck)을 확대 도시한 도면.
도 4a 및 도 4b는 도 1에 도시된 니들들에 각각 웨이퍼 척 위에 놓인 웨이퍼와 니들 척이 접촉된 상태를 도시한 도면들.
도 5는 니들들에 인가되는 신호들을 도시한 도면.
도 6은 신호들이 니들들에 도달하는 시간을 측정하는 방법을 설명하기 위하여 도시한 도면.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 프로빙 장비의 측단면을 개략적으로 도시한 도면.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사용 니들 교정 방법을도시한 흐름도.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명은,
다수개의 니들들이 설치된 프로브 카드가 장착되는 웨이퍼 프로브 프로빙 장비에 있어서, 상기 다수개의 니들들을 개별적으로 접촉하는 니들 척, 상기 다수개의 니들들의 위치를 파악하는 카메라, 상기 카메라로부터 상기 니들들의 위치에 대한 데이터를 받아서 상기 니들 척을 이동시키는 이동 수단, 및 상기 니들 척과 카메라 및 이동 수단을 이동시키는 받침대를 구비하고, 상기 니들 척은 도전성을 갖는 신호선, 및 상기 신호선을 둘러싸는 쉴드선을 구비하는 웨이퍼 프로빙 장비를 제공한다.
바람직하기는, 상기 이동 수단은 상기 니들 척을 수직 상태로 유지시키는 니들 척 받침대, 회전하면서 상기 니들 척 받침대를 상하로 이동시키는 수직 레일, 상기 수직 레일을 회전시키는 모터, 및 상기 모터를 제어하는 니들 척 콘트롤러를 구비한다.
바람직하기는 또한, 상기 니들 척의 높이는 상기 웨이퍼 척의 높이보다 낮으며, 상기 쉴드선은 접지된다.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명은 또한,
웨이퍼를 테스트하기 위한 다수개의 니들들이 설치된 프로브 카드가 장착되는 웨이퍼 프로브 프로빙 장비에 있어서, 상기 웨이퍼가 놓이는 웨이퍼 척, 상기 웨이퍼 척을 고정시키며 수평 및 상하로 이동하는 웨이퍼 척 받침대, 상기 웨이퍼 척 받침대 위에 설치되며 상기 다수개의 니들들을 개별적으로 접촉하는 니들 척, 상기 웨이퍼 척 받침대 위에 설치되며 상기 다수개의 니들들의 위치를 파악하는 카메라, 및 상기 카메라로부터 상기 니들들의 위치를 나타내는 데이터를 받아서 상기 니들 척 및 상기 웨이퍼 척의 이동을 제어하는 콘트롤러를 구비하고, 상기 니들 척은 도전성을 갖는 신호선, 및 상기 신호선을 둘러싸는 쉴드선을 구비하는 웨이퍼 프로빙 장비를 제공한다.
바람직하기는, 상기 니들 척의 높이는 상기 웨이퍼 척의 높이보다 낮으며, 상기 쉴드선은 접지된다.
상기 다른 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명은,
웨이퍼를 검사하기 위한 다수개의 니들들이 설치된 프로브 카드, 도전성을 가지며 상기 다수개의 니들들을 개별적으로 접촉하며 상하 및 수평으로 이동되는니들 척, 상기 프로브 카드에 전기적으로 연결되며 소정 신호를 발생하는 신호 발생기 및 상기 니들 척에 전기적으로 연결되며 신호의 크기 및 타이밍을 측정하는 계측기를 구비하여 상기 니들들에 인가되는 신호들을 교정하는 웨이퍼 검사용 니들 교정 방법에 있어서,
상기 다수개의 니들들의 위치를 파악한 다음 상기 다수개의 니들들 중 하나를 선택하고 상기 선택된 니들에 상기 니들 척을 접촉시키는 니들 척 접촉 단계, 상기 신호 발생기로부터 출력되는 소정 신호를 상기 프로브 카드를 통하여 상기 선택된 니들에 인가하는 신호 인가 단계, 상기 계측기를 이용하여 상기 니들 척을 통해 전송되는 신호의 크기 및 타이밍을 측정하는 신호 측정 단계, 및 상기 니들 척 접촉 단계, 상기 신호 인가 단계 및 상기 신호 측정 단계를 상기 다수개의 니들들에 대해 반복 실행한 후 상기 니들들에 도달되는 신호들을 교정하는 교정 단계를 포함하는 웨이퍼 검사용 니들 교정 방법을 제공한다.
바람직하기는, 상기 니들 척 접촉 단계에서 상기 니들들의 위치는 카메라를 이용하여 파악한다.
상기 본 발명에 의하여 웨이퍼 검사용 니들에 인가되는 신호를 정확하게 교정할 수 있다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써,본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로빙 장비의 측단면을 개략적으로 도시한 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 웨이퍼 검침 시스템은 본체(105), 프로브 카드(111), 웨이퍼 척(Wafer Chuck)(121), 웨이퍼 척 받침대(131), 서브 척(Sub-Chuck)(141) 및 카메라(151)를 구비한다.
웨이퍼 척(121) 위에 웨이퍼(181)가 놓여진다. 웨이퍼(181)에는 다수개의 집적 회로 칩들이 형성되어있다. 웨이퍼 척(121)은 웨이퍼 척 받침대(131) 위에 설치된다. 도 2a 및 도 2b에 웨이퍼 척 받침대(131)를 제어하는 장치들이 도시되어있다. 도 2를 참조하면, 웨이퍼 척 받침대(131)는 X축 레일들(211,212) 위에 설치되며 X축 레일들(211,212)에 의해 X축으로 이동한다. X축 레일(211)은 나사식으로 형성되어있다. X축 레일들(211,212)은 레일 지지대들(221,222)에 의해 수평으로 고정된다. 레일 지지대(221)에는 스텝 모터(231)가 설치되어있어서 X축 레일(211)을 회전시킨다. X축 레일(211)이 회전함에 따라 웨이퍼 척 받침대(131)가 X축으로 이동한다. 레일 지지대들(221,222)은 Y축 레일들(241,242)에 설치되며 Y축 레일들(241,242)에 의해 Y축으로 이동한다. Y축 레일(241)의 일단에 스텝 모터(251)가 설치되어있다. 스텝 모터(251)는 Y축 레일(241)을 회전시키며, Y축 레일(241)이 회전함에 따라 레일 지지대들(221,222)이 X축으로 이동한다. 스텝 모터들(231,251)에는 콘트롤러(261)가 연결되어있으며, 콘트롤러(261)에 의해 스텝 모터들(231,251)이 구동한다. 콘트롤러(261), 레일 지지대들(221,222)은 주받침대(271) 위에 설치된다. 주 받침대(271)는 모터(미도시)에 의해 상하로 이동할 수가 있다. 웨이퍼 척 받침대(131)와 레일 지지대들(221,222)의 이동 방향은 웨이퍼 프로빙 장비(도 1의 101)의 구조 및 특성에 따라 서로 바뀔 수도 있다.
프로브 카드(111)는 웨이퍼 척(121)의 상부에 위치한다. 프로브 카드(111)에는 다수개의 니들들(161)이 설치된다. 다수개의 니들들(161)은 웨이퍼 테스트시에 집적 회로 칩의 패드들에 접촉된다. 카메라(151)는 웨이퍼 척 받침대(131) 위에 설치되며 프로브 카드(111)에 설치된 니들들(161)을 촬영하여 콘트롤러(261)로 전송한다. 콘트롤러(261)는 상기 촬영된 영상 데이터를 분석하여 니들들(161)의 위치를 파악하여 웨이퍼(181) 또는 서브 척(141)이 정확하게 상기 니들들(161)에 접촉되게 한다. 카메라(151)는 웨이퍼 척 받침대(131) 위에 설치된다. 따라서, 카메라(151)는 웨이퍼 척(121)과 함께 상하 좌우로 이동한다.
서브 척(141)은 니들 척(171) 및 이동 수단(173,175,177,179)을 구비한다. 니들 척(171)은 도 3에 상세히 도시되어있다. 니들 척(171)은 신호선(311)과 신호선(311)을 둘러싸는 쉴드(shield)선(321)으로 구성된다. 쉴드선(321)은 접지된다. 신호선(311)은 니들(161)과 접촉되는 부분으로서 일단의 일부가 노출되어있다. 그 이유는 신호선(311)의 굵기를 가늘게 함으로써 신호선(311)이 니들(161)에 접촉될 때 인접한 니들에 신호선(311)이 접촉되는 것을 방지하기 위함이다. 신호선(311)의 직경(L1)은 니들들(161) 사이의 거리보다 작으며, 집적 회로 칩의 패드의 한 변의 길이와 유사하게 한다. 집적 회로 칩의 패드의 4변의 길이는 일반적으로 동일하다. 따라서, 테스트되는 집적 회로 칩의 패드들의 크기가 작아지면 신호선(311)의 직경도 작아진다. 니들 척(171)의 높이는 웨이퍼 척(121)의 높이보다 낮다. 그래야만 웨이퍼 테스트시에 니들 척(171)은 프로브 카드(111)에 의해 손상을 받지 않게 된다.
이동 수단(173,175,177,179)은 니들 척 받침대(173), 수직 레일(175), 니들 척 콘트롤러(177) 및 모터(179)를 구비한다. 니들 척(171)은 니들 척 받침대(173)에 설치되며 움직이지 않도록 고정된다. 니들 척 받침대(173)는 수직 레일(175)에 연결되며 수직 레일(175)이 회전함에 따라 상하로 이동한다. 수직 레일(175)에는 모터(179), 예컨대 스텝 모터가 부착되어 있어서 수직 레일(175)을 회전시킨다. 모터(179)는 니들 척 콘트롤러(177)에 의해 제어된다. 니들 척 콘트롤러(177)는 콘트롤러(도 2의 261)에 포함될 수도 있다.
도 4a 및 도 4b에 각각 웨이퍼(181)와 니들 척(171)이 니들들(161)에 접촉된 상태가 도시되어있다. 도 4a와 도 4b에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 척(121)위에 놓여진 웨이퍼(181)를 테스트하고자 할 경우에는 웨이퍼 척 받침대(131)를 수평으로 이동시켜서 웨이퍼 척(121)을 프로브 카드(111)와 상하로 일치시킨 다음 웨이퍼 척 받침대(131)를 위로 올려서 선택된 집적 회로 칩의 패드들을 니들들(161)에 접촉시킨다. 니들 척(171)을 니들들(161)에 접촉시키고자 할 경우에는 웨이퍼 척 받침대(131)를 수평으로 이동시켜서 니들 척(171)을 프로브 카드(111)와 상하로 일치시킨 다음 니들 척 받침대(173)를 위로 올려서 신호선(311)을 선택된 니들(161)에 접촉시킨다. 신호선(311)은 한번에 하나의 니들(161)과 접촉된다.
집적 회로 칩을 테스트하기 위하여 테스트 장비(도 6의 611)로부터니들들(161)에 신호들을 인가할 때, 상기 신호들이 니들들(161)에 도달하는 시간은 동일해야 한다. 그런데, 도 5에 도시된 바와 같이 신호들(A0∼A3)이 니들들(161)에 도달하는 시간이 다를 수가 있다. 그러면, 테스트 장비(도 6의 611)는 집적 회로 칩의 특성을 정확하게 테스트할 수가 없다. 집적 회로 칩의 특성을 정확하게 테스트하기 위하여 신호들(A0∼A3)이 니들들(161)에 도달하는 시간을 동일하게 맞추어 주어야 한다. 이 때, 테스트 장비(도 6의 611)로부터 출력되어 니들들(161)에 가장 늦게 도달하는 신호(A1)를 기준으로 다른 신호들(A0,A2,A3)을 조금씩 지연시킴으로써 모든 신호들(A0∼A3)이 니들들(161)에 동일한 시간에 도달하도록 교정한다.
니들들(161)에 인가되는 신호들을 교정하기 위해서는 도 6에 도시된 바와 같이 테스트 장비(611)와 웨이퍼 검사용 장비(101)를 전기적으로 연결한다. 테스트 장비(611)는 신호 발생기(621)와 계측기(631)를 구비한다. 신호 발생기(621)는 프로브 카드(111)에 전기적으로 연결되고, 계측기(631)는 니들 척(171)에 전기적으로 연결된다. 니들들(161)에 인가되는 신호들을 교정하기 위해서는 먼저 니들 척(171)을 위로 올려서 니들 척(171)을 하나의 니들(161)에 접촉시킨다. 이 상태에서 신호 발생기(621)는 신호를 발생하여 프로브 카드(111)를 통하여 상기 하나의 니들(161)에 인가한다. 이 때, 계측기(631)는 니들 척(171)을 통하여 신호를 수신하고 수신된 신호가 신호 발생기(621)에서 출력되어 계측기(631)에 도달하는데 걸리는 시간을 측정한다. 이와 동일한 방식으로 프로브 카드(111)에 설치된 모든 니들들(161)에 신호들을 인가하고 상기 신호들이 계측기(631)에 도달하는 시간들을 측정한다. 테스트 장비(611)는 상기 신호들이 니들들(161)을 통하여 계측기(631)에 도달하는시간을 모두 비교하고 그 중에 가장 늦은 신호를 기준하여 다른 신호들을 교정한다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 웨이퍼 검사용 장비의 측단면을 개략적으로 도시한 도면이다. 도 7을 참조하면, 니들 척(171)이 웨이퍼 척 받침대(131) 위에 설치된다. 니들 척(171)을 니들(161)에 접촉시키기 위해서는 웨이퍼 척 받침대(131)와 고정 장치(도 2b의 271)를 수평 및 상하로 이동시킨다. 이렇게 함으로써 도 1에 도시된 이동 수단(173,175,177)이 필요없게 된다. 기타 동작은 도 1에 설명한 바와 같다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 검사용 니들 교정 방법을 도시한 흐름도이다. 도 8을 참조하여 도 1에 도시된 웨이퍼 검사용 니들들에 도달되는 신호들의 교정 방법을 설명하기로 한다. 니들 척 접촉 단계(811)에서 먼저, 카메라(151)를 이용하여 다수개의 니들들(161)의 위치를 파악한다. 이어서 다수개의 니들들(161) 중 하나를 선택하고 웨이퍼 척 받침대(131)와 니들 척(171)을 이동시켜서 상기 선택된 니들에 신호선(311)을 접촉시킨다. 신호 인가 단계(821)에서 신호 발생기(631)는 소정 신호를 출력하여 프로브 카드(111)로 전달한다. 그러면 상기 소정 신호는 프로브 카드(111)의 내부 회로를 통하여 상기 선택된 니들로 전달된다.
신호 측정 단계(831)에서 계측기(621)를 이용하여 상기 선택된 니들에 접촉된 니들 척(311)을 통해 전송되는 신호의 타이밍을 측정한다. 신호 교정 단계(841)에서 니들 척(171)을 옆으로 이동하여 다른 니들에 접촉시킨 다음 상기 다른 니들에 신호를 인가하고 이를 측정한다. 이와 같은 방법으로 모든 니들(161)에 신호를 인가하고 인가된 신호를 계측기(621)에서 측정하고 이들을 비교 분석한 다음 가장 늦은 신호에 맞추어 다른 신호들을 교정한다. 필요할 경우, 니들들(161)에 인가되는 신호들의 전압 및 전류도 측정하여 조정할 수가 있다.
이와 같이 교정이 완료된 상태에서 웨이퍼의 집적 회로 칩들을 테스트하게 되면 집적 회로 칩들의 특성이 정확하게 테스트될 수 있다.
도면과 명세서에서 최적 실시예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 니들 척(171)을 웨이퍼 프로브 카드(111)에 설치된 니들들(161)에 하나씩 접촉시켜서 니들들(161)에 인가되는 신호들을 교정할 수 있다. 이에 따라 각 니들(161)에서 출력되는 신호의 파형, 각 니들(161)의 교정 상태, 각 니들(161)에 흐르는 전류 및 전압 등을 검사할 수가 있어서, 집적 회로 칩의 특성을 정확하게 측정할 수 있다.

Claims (11)

  1. 다수개의 니들들이 설치된 프로브 카드가 장착되는 웨이퍼 프로브 프로빙 장비에 있어서,
    상기 다수개의 니들들을 개별적으로 접촉하는 니들 척;
    상기 다수개의 니들들의 위치를 파악하는 카메라;
    상기 카메라로부터 상기 니들들의 위치에 대한 데이터를 받아서 상기 니들 척을 이동시키는 이동 수단; 및
    상기 니들 척과 카메라 및 이동 수단을 이동시키는 받침대를 구비하고,
    상기 니들 척은
    도전성을 갖는 신호선; 및
    상기 신호선을 둘러싸는 쉴드선을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로빙 장비.
  2. 제1항에 있어서, 상기 신호선의 직경은 상기 니들들 사이의 거리보다 작은 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로빙 장비.
  3. 제1항에 있어서, 상기 이동 수단은
    상기 니들 척을 수직 상태로 유지시키는 니들 척 받침대;
    회전하면서 상기 니들 척 받침대를 상하로 이동시키는 수직 레일;
    상기 수직 레일을 회전시키는 모터; 및
    상기 모터를 제어하는 니들 척 콘트롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로빙 장비.
  4. 제3항에 있어서, 상기 모터는 스텝 모터인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로빙 장비.
  5. 제1항에 있어서, 상기 니들 척의 높이는 상기 웨이퍼 척의 높이보다 낮은 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로빙 장비.
  6. 제1항에 있어서, 상기 쉴드선은 접지되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로빙 장비.
  7. 웨이퍼를 테스트하기 위한 다수개의 니들들이 설치된 프로브 카드가 장착되는 웨이퍼 프로브 프로빙 장비에 있어서,
    상기 웨이퍼가 놓이는 웨이퍼 척;
    상기 웨이퍼 척을 고정시키며 수평 및 상하로 이동하는 웨이퍼 척 받침대;
    상기 웨이퍼 척 받침대 위에 설치되며 상기 다수개의 니들들을 개별적으로 접촉하는 니들 척;
    상기 웨이퍼 척 받침대 위에 설치되며 상기 다수개의 니들들의 위치를 파악하는 카메라; 및
    상기 카메라로부터 상기 니들들의 위치를 나타내는 데이터를 받아서 상기 니들 척 및 상기 웨이퍼 척의 이동을 제어하는 콘트롤러를 구비하고,
    상기 니들 척은
    도전성을 갖는 신호선; 및
    상기 신호선을 둘러싸는 쉴드선을 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로빙 장비.
  8. 제7항에 있어서, 상기 니들 척의 높이는 상기 웨이퍼 척의 높이보다 낮은 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로빙 장비.
  9. 제7항에 있어서, 상기 쉴드선은 접지되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로빙 장비.
  10. 웨이퍼를 검사하기 위한 다수개의 니들들이 설치된 프로브 카드, 도전성을 가지며 상기 다수개의 니들들을 개별적으로 접촉하며 상하 및 수평으로 이동되는 니들 척, 상기 프로브 카드에 전기적으로 연결되며 소정 신호를 발생하는 신호 발생기 및 상기 니들 척에 전기적으로 연결되며 신호의 크기 및 타이밍을 측정하는 계측기를 구비하여 상기 니들들에 인가되는 신호들을 교정하는 웨이퍼 검사용 니들 교정 방법에 있어서,
    상기 다수개의 니들들의 위치를 파악한 다음 상기 다수개의 니들들 중 하나를 선택하고 상기 선택된 니들에 상기 니들 척을 접촉시키는 니들 척 접촉 단계;
    상기 신호 발생기로부터 출력되는 소정 신호를 상기 프로브 카드를 통하여 상기 선택된 니들에 인가하는 신호 인가 단계;
    상기 계측기를 이용하여 상기 니들 척을 통해 전송되는 신호의 크기 및 타이밍을 측정하는 신호 측정 단계; 및
    상기 니들 척 접촉 단계, 상기 신호 인가 단계 및 상기 신호 측정 단계를 상기 다수개의 니들들에 대해 반복 실행한 후 상기 니들들에 도달되는 신호들을 교정하는 교정 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 니들 교정 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 니들 척 접촉 단계에서 상기 니들들의 위치는 카메라를 이용하여 파악하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 니들 교정 방법
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