KR100299653B1 - 액정마스크와,액정식레이저마커및이것을이용한각인방법 - Google Patents

Abstract

하나의 디자인을 복수의 블록으로 분할하여 각인할 때에, 각 블록의 맞춤면에 틈새가 발생하지 않도록 한다.

이를 위하여, 각인되는 디자인을 복수의 화소로 이루어지는 액정마스크에 표시하고, 이 액정마스크로부터 투과한 레이저광을 공작물에 조사하여 각인하는 액정식 레이저마커에 있어서,

최외주의 모부 또는 일부의 변의 화소의 치수가 내부의 화소와 다른 액정마스크를 구비하고, 또한, 하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하고, 각 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치가, 인접하는 블록(1)의 각인위치와, 상기 액정마스크의 치수가 다른 최외주의 상기 화소에 대응하는 부분의 소요길이만큼 중복하도록, 상기 각인위치를 제어하는 제어기(11)를 구비하였다. 또는, 모든 화소의 치수가 같은 액정마스크와, 각 블록(1)을 표시한 이 액정마스크에 의한 각인위치가, 인접하는 블록(1)의 각인위치와, 이 액정마스크의 최외주의 화소의 일부에 대응하는 부분의 소정길이만큼 중복하도록, 상기 각인위치를 제어하는 제어기(11)를 구비하여도 좋다.

Description

액정마스크와, 액정식 레이저마커 및 이것을 이용한 각인방법

레이저광을 반도체 패키지 등의 공작물의 표면에 조사하여 소정의 문자나 그림 등을 각인하는 레이저마커 중에서, 액정마스크를 사용한 이른바 액정식 레이저마커가 널리 사용되고 있다. 이 액정식 레이저마커는, 다음과 같이 해석하여 각인하는 것이다. 즉, 각인할 문자나 그림 등의 디자인을 예컨데 "0"을 무각인부로, "1"을 각인부의 도트정보로 변환하여 입력하고, 이 도트정보에 따라서 상기 디자인을 소정수의 화소를 갖는 액정마스크에 표시한다. 그리고 이 액정마스크에 레이저광을 입사하는 것에 의하여 상기 문자나 그림 등에 상당하는 화소가 레이저광을 투과하고, 이 투과레이저광이 공작물에 조사되어서 각인되도록 되어 있다. 따라서, 공작물상에서의 단위면적당 액정마스크의 화소수가 클수록 고분해능의 이른바 매끄러운 문자나 그림을 각인할 수 있게 된다.

종래의 액정식 레이저마커의 각인방법을 도 14∼도 17에 의하여 설명한다.

도 14는, 액정식 레이저마커의 일예를 표시한 구성개략도이다. 레이저발진기(21)는 예컨데 TAG 레이저발진기 등으로 구성되어 있고, Q스위치에 의하여 펄스발진이 가능하게 되어 있다. 제1편향기(23X),(23Y)는 레이저발진기(21)로부터 출사된 레이저광을 액정마스크(2)로 인도하고 액정마스크(2)상의 소정 XY방항에 이 레이저광을 편향하여 라스타(raster)주사시키는 것이다. 제1편향기(23X),(23Y)는 이간하여 설치된 X방향 편향기의 폴리곤밀러(23X)와, Y방향 편향기의 갈바노미터스캐너(23Y)로 되어있고, 폴리곤밀러(23X)의 회전에 의한 X축과 갈바노미터스캐너(23Y)의 회동에 의한 Y축은 직교하고 있다. 본 예의 폴리곤밀러(23X)는 수단계의 정속회전모드로 회전가능하게 되어 있고, 각인되는 공작물마다 적합한 모드가 선택된다.

그리고, 폴리곤밀러(23X)의 각면은 액정마스크(2)상에서의 X방향의 1행에 상당하도록 되어 있다. 또, 갈바노미터스캐너(23Y)는, 소정 단수의 미소 등편향각에서 작동하도록 되어 있고, 갈바노미터스캐너(23Y)로부터의 레이저광 수용점이 폴리곤밀러(23X)의 회전에 의하여 1면부터 다음의 면으로 바뀌는 사이에, 상기한 하나의 미소 편향각만큼 회전한 후 정지하도록 되어 있다. 이 갈바노미터스캐너(23Y)의 하나의 미소 편향각은, 액정마스크(2)에서의 Y방향의 개행(改行)에 상당하고 있다.

액정마스크(2)는 이른바 투과분산형 액정마스크라고 불리우는 것이며, 본 예에서는 예컨데 도 15에 표시하는 바와 같이 종횡으로 소정수의 액정이 도트(dot)매트릭스상으로 배치된 액정장치로 구성되어 있다. 액정마스크(2)를 구성하는 각 액정의 치수는 같게 하고 있다. 각 액정의 표리에는, 평행으로, 또한 표리간에서 서로 교차하도록 설치된 도시하지 않은 전극선이 설치되어 있다. 이 전극선에 의하여 소정 전압이 인가된 액정은 레이저광 투과상태로 되고, 상기 전압의 무인가부의 액정은 레이저광 산란상태로 된다. 따라서, 도트매트릭스상의 각 액정을 하나의 화소(3)로 하고, 디자인의 각인부를 "1"로, 무각인부를 "0"로 하여 변환한 도트정보를 이 액정마스크(2)상에 표시하는 것에 의하여, 상기 각인부에 상당하는 화소는 소정 전압이 인가되어서 레이저광을 투과시켜, 이 투과광에 의하여 공작물(30)이 각인된다. 이와 같이, 액정마스크(2)는, 외부로부터의 신호에 의하여 광을 각 액정을 투과 또는 차단시키도록 하는 일종의 광셔터로서 기능하는 액정장치이다.

제2편향기 (27X),(27Y)는, 상기 액정마스크(12)로부터 투과한 레이저광을 공작물(30)의 각인면에 인도하여, 공작물(30)상의 소정의 XY방향으로 레이저광을 편향하는 것이다. 제2편향기(27X),(27Y)는 이간하며 설치된 X방향 편향기의 갈바노미터스캐너(27X)와, Y방향 편향기의 렌즈계(27Y)로 되어 있고, 갈바노미터스캐너(27X)의 회동에 의한 X축과 렌즈계(27Y)의 평행이동에 의한 Y축은 직교하고 있다. 상기 액정마스크(2)의 투과레이저광은, X방향 편향용 갈바노미터스캐너(27X)와, 대물렌즈(28)와, Y방향 편향용 렌즈(27Y)를 거쳐서 공작물(30)에 이르고, 액정마스크(2)상에 표시된 디자인을 공작물(30)에 각인한다. Y방향 편향용 렌즈(27Y)는, 공작물(30)의 각인면에 따라서 이 렌즈(27Y)를 평행이동시키는 테이블(36)의 구멍내에 고정설치되어 있다.

그리고, AC모우터 등의 전동모우터로 구성되는 구동부(35)의 출력축이 링구조를 통하여 테이블(36)에 연결되므로서, 이 구동부에 의하여 테이블(36)을 평행이동시킨다. 제2편향기(27X),(27Y)는, 액정마스크(2)에 표시된 그림 등의 일회의 라스터주사가 완료할 때까지, 액정마스크(2)의 투과레이저광이 이 그림의 각인영역을 향하도록 정지하여 있다.

또, 제1편향기(23X),(23Y) 및 제2편향기(27X),(27Y)의 레이저광의 입사로 내에는, 각각의 집광광학계가 설치되어 있다. 이 집광광학계는, 각 편향기에서 입사광이 직경이 큰 비임으로 되고, 편향각을 가질 때, 이것을 집광시켜서 각인의 변형, 불균형, 레이저손실 등을 경감시킨다.

제1편향기(23X),(23Y)의 집광광학계는, 레이저발진기(21)와, 갈바노미터스캐너(23Y)의 사이의 릴레이렌즈(소위, 비임스플릿터)(22)와, 갈바노미터스캐너(23Y)와 폴리곤밀러(23X)의 사이의 릴레이렌즈(24)로 구성되어 있다.

릴레이렌즈(22)는 레이저발진기(21)로부터의 레이저광을 가로바노메이터스캐너(23Y)의 반사면상에 집광하고, 릴레이렌즈(24)는 갈바노미터스캐너(23Y)로부터의 편향광을 폴리곤밀러(23X)의 각면의 한 점에 집광한다.

이들에 의하여, 폴리곤밀러(23X)로부터 액정마스크(2)로의 라스타주사용 레이저광이 균일화되게 된다.

또한, 제2편향기(27X),(27Y)의 집광광학계는, 폴리곤밀러(23X)와 갈바노미터스캐너(27X)의 사이에서, 액정마스크(2)에 근접하게 배치한 릴레이렌즈(소위, 필드렌즈)(25)로 구성되어 있다.

이 릴레이렌즈(25)는, 폴리곤밀러(23X)로부터의 라스타주사광을 일단 평행광으로 바꾸고, 다음에 갈바노미터스캐너(27X)로 굴곡시킨다. 그리고, 릴레이렌즈(25)는, 도 14와 같이 액정마스크(2)의 입사측에 배치하는 것 이외에, 출사측에 배치하여도 좋고, 혹은 양측에 배치하여도 좋다.

제어기(11)는, 예컨데 마이크로컴퓨터 등을 주체로 하는 컴퓨터시스템으로 구성되어 있다. 제어기(11)는, 액정마스크(2), 폴리곤밀러(23X)의 구동부(32), 레이저발진기(21)의 Q스위치, 갈바노미터스캐너(23Y)의 구동부(31), 갈바노미터스캐너(27X)의 구동부(34), 렌즈(27Y)의 구동부(35) 등에 접속되어서, 이들을 제어하고 있다.

다음에 이상의 구성에 의한 작용을 설명한다.

도 16은, 각인할 디자인의 일 예를 타나내고 있다. 동도에 있어서의 디자인이 액정마스크(2)의 화소수에 비하여 큰 것인 경우, 이 디자인을 1회의 레이저광조사에 의하여 각인하면, 각인된 디자인의 문자나 선 등의 분해능이 거칠어져서 문자나 선이 매끄럽게 되지 않는 일이 발생한다. 이와 같은 때는, 같은 액정마스크를 사용하여 1회의 레이저광조사에 의하여 각인되는 디자인의 영역(이후, "블록"이라고 부름)을 가급적 축소하지 않으면 안된다.

예를 들면, 전체 디자인을 종횡 2분할하여 축소한 그림을 블록(1)으로 하고 있다. 그리고, 분할한 각 블록(1)에 상당하는 그림을 순차 액정마스크(2)에 표시하고, 이 그림에 상당하는 공작물(30)의 각인위치에 순차적으로 각인한다. 모든 분할된 블록(1)이 각인된 때에, 각 블록(1)이 합성되어서 전체 디자인의 각인이 완료한다.

먼저, Q스위치로 레이저발진기(21)의 발진강도를 떨어트린 상태로 하고, 분할된 블록(1) 중에서 하나의 블록(1)을 선택하고, 이 블록(1)의 그림을 "0" 또는 "1"의 도트정보로서 액정마스크(2) 상에 표시한다. 다음에, 제1편향기(23X),(23Y)를 라스타 개시위치로 구동시켜서 정지시킴과 아울러, 상기 선택된 블록(1)의 각인위치에 상당하는 각인영역에 제2편향기(27X),(27Y)를 구동시켜서 정지시킨다. 다음에, Q스위치로 레이저발진기(21)를 펄스발진시킴과 아울러, 제1편향기(23X),(23Y)에 의하여 액정마스크(2)상의 그림을 라스타주행시킨다. 이상에 의하여, 공작물(30)상에 하나의 선택된 블록(1)을 각인한다.

이상의 공정을 모든 분할된 블록(1)에 대하여 순차적으로 실행하고, 전체 디자인의 각인이 완료할 때까지 행한다.

종래는 이와 같이 하여 액정마스크(2)에 각 블록(1)의 그림(도면)을 표시하여 각인하였다. 이때 도 16과 같이 하나의 문자나 그림이 다른 블록(1)으로 분할되는 경우가 있고, 동일의 문자나 그림을 몇회로 분할하여 각인하지 않으면 안되었다.

그러나, 상기한 바와 같이 동일한 문자나 그림을 분할하여 각인하는 경우에는, 각 블록(1)의 맞춤면을 정확하게 일치시킬 필요가 있으나, 제2편형기(27X) (27Y)의 흔들림, 광학계 소자의 위치변동, 외부 잡음에 의한 제어신호의 변동 등에 의해서 이 맞춤면에 틈새가 생기는 때가 있다.

도 17은, 예컨데 도 16에서 문자(I)가 2분할되어 있는 예를 표시하고 있다. 도 17(a)는 블록(1)의 맞춤면이 일치한 상태에서 각인되고, 따라서 분할된 문자(1)가 정상으로 각인되어 있는 모양을 표시하고 있다. 또 도 17(b)는, 블록(1)의 맞춤면이 떨어진 상태에서 각인된 모양을 표시하고 있다. 도 17(b)에 표시하는바와 같이, 블록(1)의 맞춤면에 틈새가 생기면, 이 틈새에 레이저광의 미조사부가 발생하여, 문자나 그림이 끊어져 버리게 된다. 이 결과, 각인된 디자인의 시인성(視認性)이 좋지 않게되는 문제를 일으키게 된다.

본 발명은 액정마스크를 사용한 액정식 레이저마커 및 이것을 이용한 각인방법에 관한 것이다.

도 1은, 본 발명에 관한 제1실시예의 액정마스크의 일 예를 표시한다.

도 2와 도 3은, 본 발명에 관한 제1실시예의 액정마스크의 다른 예를 표시한다.

도 4는, 본 발명에 관한 제1실시예의 블록분할방법의 일 예를 표시한다.

도 5는, 본 발명에 관한 제1실시예의 블록분할방법의 다른 예를 표시한다.

도 6은, 본 발명에 관한 제1실시예의 각인위치의 일 예를 표시한다.

도 7은, 본 발명에 관한 제1실시예의 각인위치의 다른 예를 표시한다.

도 8은, 본 발명에 관한 제1실시예의 액정마스크에 의한 각인 중복 예를 표시한다.

도 9는, 본 발명에 관한 제1실시예의 각인위치의 다른 예를 표시한다.

도 10은, 본 발명에 관한 제1실시예의 각인위치의 다른 예를 표시한다.

도 11은, 본 발명에 관한 제1실시예의 액정마스크에 의한 각인 중복부의 다른 예를 표시한다.

도 12는, 본 발명에 관한 제2실시예의 블록분할방법 및 각인위치의 예를 표시한다.

도 13은, 본 발명에 관한 제2실시예의 블록분할방법 및 각인위치의 다른 예를 표시한다.

도 14는, 레이저마커의 일 예를 나타내는 구성도이다.

도 15는, 액정마스크의 일 예를 나타내는 개략도이다.

도 16은, 종래기술에 관한 블록의 분할 예를 표시하는 개략도이다.

도 17A와 도 17B는, 종래기술에 있어서의 블록 맞춤면의 틈새의 설명도이다.

- 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 -

(1) … 블록 (2),(2a),(2b),(2c) … 액정마스크

(3) … 화소 (11) … 제어기

(21) … 레이저발진기 (22),(24),(25) … 릴레이렌즈

(23X),(23Y) … 제1편향기 (27X),(27Y) … 제2편향기

(28) … 대물렌즈 (30) … 공작물

(31),(32),(34),(35) … 구동부 (36) … 테이블

(E) … 액정마스크의 통상화소의 세로방향 길이

(E1) … 액정마스크의 큰 화소의 세로방향 길이

(F) … 액정마스크의 통상화소의 가로방향 길이

(F1) … 액정마스크의 큰 화소의 가로방향 길이

(L1) … (E1)과 (E)의 차 (L2)…(F1)과 (F)의 차

(L3) … 인접하는 블록의 세로방향 중복부의 길이

(L4) … 인접하는 블록의 가로방향 중복부의 길이

본 발명은, 상기의 문제점에 착안하여 이루어진 것이며, 하나의 디자인을 복수의 블록으로 분할하여 각인할 때에, 각 블록의 맞춤면에 틈새가 발생하지 않게 한 액정마스크, 액정식레이저마커 및 각인방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

상기의 목적을 달성하기 위해, 청구항 1에 기재된 발명은, 복수의 화소로 이루어지고, 이들 화소에 공작물에 각인하는 디자인을 표시하고, 또한 레이저광을 입사하는 것에 의하여, 이 레이저광을 디자인을 표시한 각 화소를 투과하게 하여 공작물에 각인하는 액정식 레이저마커에 탑재하는 액정마스크에 있어서,

상기 복수의 화소 중에서 최외주의 전부 또는 일부의 면의 화소가, 치수가 내부의 화소와 다른 액정장치를 이용한 액정마스크이다.

또, 청구항 4에 기재된 발명은, 복수의 화소로 이루어지는 액정마스크에 공작물에 각인하는 디자인을 표시하고, 이 액정마스크에 레이저광을 입사하여, 액정마스크를 투과한 이 레이저광을 공작물에 조사하여 각인하는 액정식 레이저마커에 있어서, 최외주의 모두 또는 일부의 변의 화소의 치수가 내부의 화소와 다른 액정마스크를 구비한 것을 특징으로 하고 있다.

그리고, 청구항 10에 기재된 발명은, 복수의 화소로 이루어지는 액정마스크에 공작물에 각인하는 디자인을 표시하고, 이 액정마스크에 레이저광을 입사하여, 액정마스크를 투과한 이 레이저광을 공작물에 조사하여 각인하는 각인방법에 있어서, 상기 액정마스크의 최외주의 모두 또는 일부의 화소의 치수를 내부의 화소와 다른 치수로 하고, 최외주의 광학계의 비뚤어짐을 방지하여 각인하는 방법으로 하고 있다.

청구항 1, 4, 10에 기재된 발명에 의하면, 최외주의 모두 또는 일부의 변의 화소의 치수가 내부의 화소와 다른 액정장치를 액정마스크로서 사용한다.

하나의 디자인을 복수의 블록으로 분할하고, 각 블록을 이 액정마스크에서 각인할 때에, 상기 치수가 다른 화소부에 대응하는 부분에서 각 블록의 각인위치가 중복하도록 한다. 이때, 상기 제2변향기(27X),(27Y)의 흔들림, 광학계 소자의 위치변동, 외부 잡음에 의한 제어신호의 변동 등을 고려하여, 상기 화소의 치수 크기를 설정하면, 블록의 맞춤면에 틈새가 생기지 않고, 미각인부분이 없게 하는 것이 가능하게 된다. 이에 의하여, 디자인을 분할하여 각인하여도 시인성이 양호한 각인으로 된다. 또, 이 액정마스크에 의하여 각인시에 최외주에서 나오기 쉬운 렌즈 등의 광학계의 비뚤어짐에 대응하는 것이 가능하게 된다.

청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 4에 기재된 액정식 레이저마커에 있어서, 하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하고, 이중의 하나의 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치가, 이 블록(1)에 인접하는 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치와, 상기 액정마스크의 내부의 화소와 치수가 다른 최외주의 상기 화소에 대응하는 부분의 소정길이만큼 중복하도록 상기 각인위치를 제어하는 제어기(11)를 구비한 구성으로 하고 있다.

또, 청구항 11에 기재된 발명은, 청구항 10에 기재된 각인방법에 있어서, 하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하고, 이중의 하나의 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치를, 이 블록(1)에 인접하는 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치와, 상기 액정마스크의 내부의 화소화치수가 다른 최외주의 상기 화소에 대응하는 부분의 소정길이만큼 중복시켜서 각인하는 방법으로 하고 있다.

청구항 5, 11에 기재된 발명에 의하면, 제어기에 의해서, 하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하고, 각 블록(1)을 표시한 액정마스크에 의한 각인위치가, 인접하는 블록(1)의 각인위치와, 치수가 다른 최외주의 화소에 대응하는 부분의 소정길이만큼 중복하도록 상기 각인위치를 제어한다. 이때, 액정마스크나 레이저광의 위치결정 정밀도의 불균형을 고려하여 상기 중복하는 화소의 소정의 중복량을 설정하면, 공작물의 맞춤면에 틈새가 생기지 않고, 미각인부분이 없게 하는 것이 가능하게 된다. 이에 의하여, 디자인을 분할하여 각인하여도 시인성이 양호한 각인을 할 수 있고, 적극적으로 다수의 블록으로 분할하여 각인하는 것이 가능하게 된다.

따라서, 고분해능(각인의 매끄럼도)으로의 대응이 용이하게 되고, 또, 액정마스크의 소형화에 의한 레이저마커의 소형화나 비용절감이 가능하게 된다.

청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 액정마스크에 있어서, 최외주의 상하방향 또는 좌우방향으로 대향하는 변의 화소는, 적어도 상하방향 또는 좌우방향의 어느 한쪽방향의 치수가 내부의 화소와 다른 것을 특징으로 하고 있다.

또, 청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 5에 기재된 액정식 레이저마커에 있어서, 상기 액정마스크가, 최외주의 상하방향 또는 좌우방향에 대향하는 변의 화소의 적어도 상하방향 또는 좌우방향의 어느 한쪽방향의 치수가 내부의 화소와 다른 액정마스크이고, 또한, 상기 제어기(11)는, 하나의 디자인을 복수의 블록으로 분할하고, 이중의 하나의 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치가, 이 블록(1)에 인접하는 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치와, 상기 액정마스크의 내부의 화소와 치수가 다른 상기 대향하는 변의 화소에 대응하는 부분의 소정길이만큼 중복하도록 상기 각인위치를 제어하는 것을 특징으로 하고 있다.

또, 청구항 12에 기재된 발명은, 복수의 화소로 이루어지는 액정마스크에 공작물에 각인하는 디자인을 표시하고, 이 액정마스크에 레이저광을 입사하여, 액정마스크를 투과한 이 레이저광을 공작물에 조사하여 각인하는 각인방법에 있어서, 상기 액정마스크의 최외주의 상하방향 또는 좌우방향에 대응하는 변의 화소의 적어도 상하방향 또는 좌우방향의 어느 한쪽방향의 치수를 내부의 화소와 다른 치수로 하고, 또한 하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하고, 이중의 하나의 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치를 이 블록(1)에 인접하는 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치와, 상기 액정마스크의 내부의 화소와 치수가 다른 최외주의 상하방향 또는 좌우방향에 대향하는 변의 상기 화소에 대응하는 부분의 소정길이만큼 중복시켜서 각인하는 방법으로 하고 있다.

청구항 2, 6, 12에 기재된 발명에 의하면, 최외주의 상하방향 또는 좌우방향에 대향하는 변의 화소의 적어도 상하방향 또는 좌우방향의 어느 한쪽방향의 치수가 내부의 화소와 다른 액정마스크를 사용하고, 각 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치가, 인접하는 블록(1)의 각인위치와, 상기 내부의 화소와 치수가 다른 화소에 대응하는 부분의 소정길이만큼 중복하도록 상기 각인위치를 제어기에 의해서 제어한다. 이에 의하여, 디자인을 분할하여 각인하여도 시일성이 양호한 각인을 할 수 있고, 적극적으로 다수의 블록으로 분할하여 각인하는 것이 가능하게 된다. 또, 한쪽 방향으로 긴 디자인을 길이방향으로 분할하여 각인한 경우, 각인된 전체 디자인의 사이즈가 원래의 디자인의 사이즈보다 변화하는 일이 없고, 치수정밀도의 좋은 각인이 가능하게 된다.

청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 액정마스크에 있어서, 최외주의 상하방향에 대응하는 변의 어느 한쪽, 또는 좌우방향에 대응하는 변의 어느 한쪽의 화소는, 적어도 상하방향 또는 좌우방향의 어느 한쪽방향의 치수가 내부의 화소와 다른 것을 특징으로 하고 있다.

또, 청구항 7에 기재된 발명은, 청구항 5에 기재된 액정식 레이저마커에 있어서, 상기 액정마스크가, 최외주의 상하방향에 대응하는 변의 어느것인가 한쪽, 또는 좌우방향에 대응하는 변의 어느 한쪽의 화소의 적어도 상하방향 또는 좌우방향의 어느 한쪽방향의 치수가 내부의 화소와 다른 액정마스크이고, 또한 상기제어기(11)는, 하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하고, 이중의 하나의 블록(1)을 표시한 상기 액적마스크에 의한 각인위치가, 이 블록(1)에 인접하는 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치와, 상기 액정마스크의 내부의 화소와 치수가 다른 상기 대향하는 변의 어느 한쪽의 화소에 대응하는 부분의 소정길이만큼 중복하도록 상기 각인위치를 제어하는 것을 특징으로 하고 있다.

또, 청구항 13에 기재된 발명은, 복수의 화소로 이루어지는 액정마스크에 공작물에 각인하는 디자인을 표시하고, 이 액정마스크에 레이저광을 입사하여, 액정마스크를 투과한 이 레이저광을 공작물에 조사하여 각인하는 각인방법에 있어서,

상기 액정마스크의 최외주의 상하방향에 대응하는 변의 어느 것인가 한쪽, 또는 좌우방향에 대응하는 변의 어느 한쪽의 화소의 적어도 상하방향 또는 좌우방향의 어느 한쪽방향의 치수를 내부의 화소와 다른 치수로 하고, 또한 하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하고, 이중의 하나의 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치를, 이 블록(1)에 인접하는 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치와, 상기 액정마스크의 내부의 화소와 치수가 다른 최외주의 상하방향에 대응하는 변의 어느 한쪽, 또는 좌우방향에 대응하는 변의 어느 한쪽의 상기 화소에 대응하는 부분의 소정길이만큼 중복시켜서 각인하는 방법으로 하고 있다.

청구항 3, 7, 13에 기재된 발명에 의하면, 최외주의 상하방향에 대향하는 변의 어느 한쪽, 또는 좌우방향에 대향하는 변의 어느 한쪽의 화소의 적어도 상하방향 또는 좌우방향의 어느 한쪽방향의 치수가 내부의 화소와 다른 액정마스크를 사용하고, 각 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치가, 인접하는 블록(1)의 각인위치와, 상기 내부의 화소와 치수가 다른 화소에 대응하는 부분의 소정길이만큼 중복하도록 상기 각인위치를 제어기에 의해서 제어한다.

이에 의하여, 디자인을 분할하여 각인하여도 시인성이 양호한 각인이 되고, 적극적으로 다수의 블록으로 분할하여 각인하는 것이 가능케 된다. 또, 한쪽 방향으로 긴 디자인을 길이방향으로 분할하여 각인하는 경우에도, 각인된 전체 디자인의 사이즈가 원래의 디자인의 사이즈보다 변화하는 일이 없고, 치수정밀도가 좋은 각인이 가능하게 된다.

청구항 8에 기재된 발명은, 복수의 화소로 이루어지는 액정마스크에 공작물에 각인하는 디자인을 표시하고, 이 액정마스크에 레이저광을 입사하여, 액정마스크를 투과한 이 레이저광을 공작물에 조사하여 각인하는 액정식 레이저마커에 있어서,

하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하고, 이중의 하나의 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치가, 이 블록(1)에 인접하는 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치와, 이 액정마스크의 최외주의 화소의 일부에 대응하는 부분의 소정길이만큼 중복하도록 상기 각인위치를 제어하는 제어기(11)를 구비하는 구성으로 되어 있다.

또, 청구항 14에 기재된 발명은, 복수의 화소로 이루어지는 액정마스크에 공작물에 각인하는 디자인을 표시하고, 이 액정마스크에 레이저광을 입사하여, 액정마스크를 투과한 이 레이저광을 공작물에 조사하여 각인하는 각인방법에 있어서,

하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하고, 이중의 하나의 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치를, 이 블록(1)에 인접하는 블록을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치와, 상기 액정마스크의 최외주의 화소의 일부에 대응하는 부분의 소정길이만큼 중복시켜서 각인하는 방법으로 하고 있다.

청구항 8, 14에 기재된 발명에 의하면, 각 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치가, 인접하는 블록(1)의 각인위치와, 상기 대향하는 변의 어느 한쪽의 화소에 대응하는 부분의 소정길이만큼 중복하도록, 상기 각인위치를 제어기에 의해서 제어한다.

이에 의하여, 액정마스크의 각 화소의 치수가 모두 같은 경우에도, 상기 제2편향기(27X),(27Y)의 흔들림, 광학계 소자의 위치변동, 외부 잡음에 의한 제어신호의 변동 등을 고려하여 상기의 중복량을 설정하면, 블록의 맞춤면에 틈새가 생기지 않고 미각인부분을 없게 하는 것이 가능하게 된다. 이에 의하여, 디자인을 분할하여 각인하여도 시인성이 양호한 각인을 할 수 있고, 적극적으로 다수의 블록으로 분할하여 각인하는 것이 가능하게 된다.

따라서, 고분해능(각인의 매끄럼도)으로의 대응이 용이하게 되고, 또, 액정마스크의 소형화에 의한 레이저마커장치의 소형화나 비용절감이 가능하게 된다.

청구항 9에 기재된 발명은, 청구항 8에 기재된 액정식 레이저마커에 있어서, 상기 액정마스크에 의한 각인위치를 중복시키는 소정길이가, 최외주의 화소의 도트(dot)단위인 것을 특징으로 하고 있다.

또, 청구항 15에 기재된 발명은, 청구항 14에 기재된 각인방법에 있어서, 상기액정마스크에 의한 각인위치를 중복시키는 소정길이가, 최외주의 화소의 도트단위인 것을 특징으로 하고 있다.

청구항 9, 15에 기재된 발명에 의하면, 액정마스크의 최외주의 화소의 일부를 도트단위로 겹쳐서 각인한다. 이에 의하여, 디자인을 분할하여 각인하여도 시인성이 양호한 각인이 되고, 적극적으로 다수의 블록으로 분할하여 각인하는 것이 가능하게 된다. 따라서 고분해능(각인의 매끄럼움)으로의 대응이 용이하게 되고, 또, 액정마스크이 소형화에 의한 레이저마커장치의 소형화나 비용절감이 가능하게 된다.

본 발명의 제1실시예에 관한 액정마스크, 액정식 레이저마커 및 이것을 이용한 각인방법을, 도 1∼도 11에 따라서 설명한다. 본 실시예는, 액정마스크(2)의 최외주의 모두 또는 일부의 화소의 치수를 다른 화소보다 크게 한 액정마스크(2a,2b,2c)를 사용한 예를 표시하고 있다. 여기에서, 본 실시예의 구성은, 예컨데 도 14에서 표시한 구성과 같아도 좋다.

도 1∼도 3은, 본 실시예에서 사용되는 각 액정마스크(2a,2b,2c)의 예를 나타내고 있다. 각 액정마스크(2a,2b,2c)는 종래와 마찬가지로 외부로부터의 신호에 의하여 광을 각 액정을 투과 또는 차단시키도록 하는 일종의 광셔터로서 기능하는 액정장치로 구성되어 있다.

도 1은, 액정마스크의 최외주의 4변중에서 1변만에, 치수가 이외의 화소와 다른 화소를 가지는 액정마스크(2a)의 예를 표시하고 있다. 도 2는, 액정마스크의 최외주의 4변중에서 2쌍의 대향하는 변의 어느 한쪽만에, 치수가 이외의 화소와 다른 화소를 가지는 액정마스크(2b)의 예를 표시하고 있다. 또, 도 3은, 액정마스크의 최외주의 4변의 모두에, 치수가 이외의 화소와 다른 화소를 가지는 액정마스크(2c)의 예를 표시하고 있다. 이들 도면에서는, 최외주의 화소의 치수가 다른 화소보다도 큰 경우를 표시하고 있다. 여기에서, 각 액정마스크(2a),(2b),(2c)의 종횡의 길이를 각각(A),(B)로 한다.

상기의 치수가 큰 회소의 세로방향의 길이(E1)는 다른 화소의 세로방향의 길이(E)보다 소정길이(L1)만큼 길고, 또, 큰 화소의 가로방향의 길이(F1)는, 다른 화소의 가로방향의 길이(F)보다 소정길이(L2)만큼 긴 구성으로 되어 있다. 또 길이(L1) 및 길이(L2)는(따라서, 상기의 세로방향의 길이(E1) 및 가로방향의 길이(F1)는) 상술한 바와 같은 제2편향기(27X),(27Y)의 흔들림, 광학계 소자의 위치변동, 외부 잡음에 의한 제어신호의 변동 등에 의한 상기 맞춤면의 틈새의 최대치를 고려하여, 틈새가 생기지 않도록 하는 소정길이로 하고 있다.

한편, 각인되는 디자인은, 복수의 블록에 서로 중복부가 없도록 분할된다. 도 4는, 하나의 디자인을 길이방향으로 복수의 블록(1)으로 분할한 예를 표시하고 있다. 또, 도 5는 하나의 디자인을 종횡으로 복수의 블록(1)으로 분한한 예를 표시하고 있다.

각 블록(1)은, 사용하는 액정마스크(2)의 분해능(화소수에 상당한다)에 의하여 문자나 그림등이 매끄럽게 각인되도록 하는 크기로 설정된다. 이때, 인접하는 블록의 맞춤면은 중복하지 않도록 분할된다.

다음에 이와 같은 구성에 의한 작용을 설명한다.

도 6은, 도 4에 표시하는 바와같이, 디자인을 길이방향으로 분할한 경우에 있어서, 예컨데, 도 1에 표시하는 것 같은 상하 또는 좌우방향의 어느 한쪽방향으로 대향하는 변의 어느 것인가 한쪽만의 화소를 크게한 액정마스크(2a)를 사용하여 각인할 때의 각인위치를 나타내고 있다. 제어기(11)는, 상기 길이방향으로 분할된 각 블록(1)을 액정마스크(2a)상에 표시하고, 제1평향기(23X),(23Y) 각각의 구동부(32),(31)에 지령을 출력하여 레이저광을 액정마스크(2a)상에 라스터주사시킨다. 그리고, 제2편향기(27X),(27Y)는, 각인위치가 상기 표시된 블록(1)에 상당하는 각인영역을 향하도록, 제어기(11)에 의하여 위치결정이 제어된다.

이때, 각인위치는, 인접하는 블록(1)끼리가 액정마스크(2a)의 상기 소정길이(L1)에 대응하는 부분만큼 세로방향으로 중복하도록 위치결정이 제어된다.

또, 도 7은, 도 5에 표시하는 바와 같이, 디자인을 종횡으로 분할한 경우에 있어서, 예컨데 도 2에 표시한 것과 같은 상하 및 좌우방향으로 함께 대향하는 변의 어느 한쪽만의 화소를 크게한 액정마스크(2b)를 사용하여 각인할 때의 각인위치를 표시하고 있다. 제어기(11)는, 상기 종횡으로 분할된 각 블록(1)을 액정마스크(2b)상에 표시하고, 제1편향기(23X),(23Y)의 각각의 구동부(32),(31)에 지령을 출력하여 레이저광을 액정마스크(26)상에 라스타주사시킨다. 그리고, 제2편향기(27X) ,(27Y)는 각인위치가 상기 표시된 블록(1)에 상당하는 각인영역을 향하도록, 제어기(11)에 의하여 위치결정이 제어된다. 이때, 각인위치는, 인접하는 블록(1)끼리가 액정마스크(26)의 상기 소정길이(21)에 대응하는 부분만큼 세로방향으로 중복하도록, 그리고 액정마스크(26)의 상기 소정길이(L2)에 대응하는 부분만큼 가로방향으로 중복하도록 위치결정이 제어된다.

여기에서 인접하는 블록(1)끼리의 중복에 있어서, 도 8에 따라서 상세하게 설명한다.

도 8은, 액정마스크(2a),(2b)를 사용하는 경우의 각 액정마스크에 의한 각인위치의 중복부를 나타내고 있다. 세로방향으로 겹치는 경우에 있어서, 예컨데, 액정마스크(2a)에서는, 하나의 블록(1)을 표시한 액정마스크의 최하부 화소의 길이(E1) 중에서 하단측의 소정길이(L1)에 대응하는 부분이 인접하는 블록(1)을 표시한 액정마스크의 최상부 화소의 길이(E)의 일부와 겹치도록, 각인위치가 제어된다. 마찬가지로, 가로방향으로 겹치는 경우에 있어서도, 예컨데 액정마스크(2b)에서는, 하나의 블록(1)을 표시한 액정마스크의 최우부 화서의 길이(F1) 중에서 우단측의 소정길이(L2)에 대응하는 부분이 인접하는 블록(1)을 표시한 액정마스크의 최좌부 화소의 길이(F)의 일부와 겹치도록 각인위치가 제어된다.

한편, 예컨데 도 3에서 표시하는 것 같은 대향하는 변의 화소의 치수가 다른 화소보다 큰 액정마스크(2c)를 사용한 경우에는, 도 9 또는 도 10과 같이 각인위치가 위치결정된다. 도 9는, 도 4에 표시한 바와 같이 디자인을 길이방향으로 분할한 경우에 있어서의 각인위치를 나타내고, 또 도 10은 도 5에 표시한 바와 같이 디자인을 종횡으로 분할한 경우에 있어서의 각인위치를 나타내고 있다. 그리고 길이방향으로 분할하는 경우에는, 상하방향 또는 좌우방향의 어느 한쪽의 대향하는 변의 화소가 크도록 하는 액정마스크이어도 좋다. 제어기(11)는, 상기 길이방향으로 혹은 종횡으로 분할된 각 블록(1)을 액정마스크(2c)상에 표시하고, 제1편향기(23X), (23Y)에 의하여 레이저광을 액정마스크(2c)상에 라스타주사시킨다. 그리고, 제2편향기(27X),(27Y)는, 각인위치가 상기 표시된 블록(1)에 상당하는 각인영역을 향하도록 위치결정이 제어된다. 이때, 각인위치는, 인접하는 블록(1)끼리가 액정마스크(2c)의 상기 소정길이(L1)의 2배의 길이(2·L1)에 대응하는 부분만큼 세로방향으로 중복하도록 그리고, 액정마스크(2c)의 상기 소정길이(L2)의 2배의 길이(2·L2)에 대응하는 부분만큼 가로방향으로 중복하도록 위치결정이 제어된다.

여기에서 인접하는 블록(1)끼리의 중복부에 대하여, 도 11에 따라서 상세하게 설명한다.

도 11은, 액정마스크(2c)에 의한 각인위치의 중복부를 나타내고 있다. 세로방향으로 겹치는 경우에 있어서, 하나의 블록(1)을 표시한 액정마스크의 최하부 화소의 길이(E1) 중에서 하단측의 소정길이(2·L1)에 대응하는 부분이, 인접하는 블록(1)을 표시한 액정마스크의 최상부 화소의 길이(E) 중에서 상단측의 소정길이(2, L1)의 부분과 겹치도록 각인위치가 제어된다.

또, 마찬가지로, 가로방향으로 겹치는 경우에 있어서도, 하나의 블록(1)을 표시한 액정마스크의 최우부 화소의 길이(F) 중에서 우단측의 소정길이(2, L2)에 대응하는 부분이, 인접하는 블록(1)을 표시한 액정마스크의 최좌부 화소의 좌단측의 소정길이(2·L2)의 부분과 겹치도록 각인위치가 제어된다.

그리고, 지금까지의 설명에서는, 최외주의 화소의 내에서, 치수가 이외의 것과 다른 화소의 세로방향의 길이(E1)는, 이외의 화소의 세로방향의 길이(E)보다 소정길이(L1)만큼 길게 하고 있으나, 이에 한정되지 않고 길이(E)보다 짧게, 예컨데 소정길이(L1)(다만, L1＜E)로 하여도 좋다. 혹은, 대향하는 변의 한쪽의 화소는 길이(E1),(길이(E)보다 소정길이 (L1)만큼 길다)로 하고, 다른쪽의 화소는 길이(L1)(다만 L1＜E)로 하여도 좋다.

여기에서도, 인접하는 블록(1)끼리의 중복은, 도 8 및 도 11와 마찬가지로 하여 행하여진다. 즉, 대향하는 변의 어느 한쪽 회소의 치수가 이외의 것과 다른(길이(E1) 또는 길이(L1)) 경우는, 하나의 블록(1)을 표시한 액정마스크의 이 대향하는 변의 화소의 소정길이(L1)에 대응하는 부분을 인접하는 블록(1)과 중복시킨다.

마찬가지로, 대응하는 변의 화소의 치수가 이외의 것과 다른 것과 다른 경우는, 하나의 블록(1)을 표시한 액정마스크의 대향하는 변의 화소의 소정길이(2·L1)에 대응하는 부분을 인접하는 블록(1)과 중복시킨다.

또 마찬가지로, 치수가 이외의 것과 다른 화소의 가로방향의 길이(F)는, 다른 화소의 가로방향의 길이(F) 보다 소정길이(L2)만큼 길게하고 있으나, 이에 한정되지 않고, 길이(F) 보다 짧게, 예컨대, 소정길이(L2)(다만 L2＜F)로 하여도 좋다. 혹은, 대향하는 변의 한쪽의 화소는 길이(F1)(길이(F) 보다 소정길이(L2)만큼 길다)로 하고, 다른 쪽의 화소는 길이(L2)(다만 L2＜F)로 하여도 좋다.

이 때도, 인접하는 블록(1)끼리의 중복부는, 도 8 및 도 11와 동일하게 한다.

이와 같은 구성으로 함으로서, 제2편향기(27X),(27Y)의 흔들림, 광학계 소자의 위치변동, 외부 잡음에 의한 제어신호의 변동 등이 있더라도, 각 블록(1)의 맞춤면이 확실하게 겹처져서 틈새가 없어진다.

이 결과, 각인되는 그림 내에 이 틈새에 의한 레이저 광의 미조사부가 없어지고, 전체 디자인의 시인성이 양호하게 된다. 또, 하나의 디자인을 길이방향으로 복수의 블록(1)으로 분할해서 각인하여도, 각인된 그림의 길이방향 길이는 당초 디자인의 길이방향 길이와 동일하게 할 수가 있다.

따라서, 이와 같은 레이저마커에서의 각인에 있어서 수율이 좋아지고 생산성이 향상된다.

또, 각 블록(1)은 중복부가 없도록 분할되어 있어도, 미리 각인영역의 중복부가 예정되어 있으므로, 이 중복부의 길이의 허용범위 내에서 각 블록의 각인위치의 제어정밀도를 높일 필요가 없어진다. 또한, 각 블록의 맞춤면의 틈새가 생기지 않게 됨으로서, 적극적으로 다수의 블록으로 분할하여 각인하는 것이 가능하게 된다.

따라서, 고분해능(각인의 매끄럼도)이 요구될 때는, 요구되는 분해능을 만족하도록 각 블록을 작게하는 것이 가능하게 되고, 고분해능으로의 대응이 용이하게 되었다. 또, 사용하는 액정마스크의 화소수를 작게하여 액정마스크를 소형화할 수 있으므로, 본 레이저마커장치의 소형화나 비용절감이 가능하게 된다.

다음에, 제2실시예에 대하여 설명한다. 본 실시예에서는, 액정마스크로서 도 15에서 표시하는 각 화소(3)의 치수가 동일한 액정마스크(2)를 사용하고 있다.

또, 본 실시예의 구성은, 예컨대, 도 14의 구성과 같은 것으로 한다.

도 12 및 도 13은, 본 실시예에 있어서 하나의 디자인을 각각 길이방향 및 종횡으로 복수의 블록(1)으로 분할한 예를 나타내고 있다. 동도면에 표시하듯이, 인접하는 각 블록(1)의 세로방향 및 가로방향의 맞춤면은, 각각 소정길이(L3),(L4)의 중복부를 설치하고 있다. 이 소정길이(L3),(L4)는, 제2편향기(27X),(27Y)의 흔들림, 광학계 소자의 위치변동, 외부 잡음에 의한 제어신호의 변동 등에 의한 상기 맞춤면의 틈새의 최대치를 고려하여, 틈새가 생기지 않도록 설정한다.

또, 각 블록(1)은, 사용하는 액정마스크(2)의 분해능(화소수에 상당한다)에 의하여 문자나 그림 등이 매끄럽게 각인되도록 하는 크기로 설정된다.

다음에, 이와 같은 구성에 의한 작용을 설명한다.

도 12에 표시하는 바와 같이 디자인을 길이방향으로 분할한 경우는, 각인위치는 이하와 같이 제어된다. 제어기(11)는, 길이방향으로 분할된 각 블록(1)을 액정마스크(2) 상에 표시하고, 제1편향기(23X),(23Y)에 의하여 레이저광을 액정마스크(2) 상에 라스타주사시킨다.

그리고, 제2편향기(27X),(27Y)는, 각인위치가 상기 표시된 블록(1)에 상당하는 각인영역을 향하도록, 제어기(11)에 의하여 위치결정이 제어된다.

이 때, 각인위치는, 인접하는 블록(1) 끼리가 상기 소정길이(L3)만큼 세로방향으로 중복하도록 위치결정이 제어한다.

또, 도 13에 표시하는 바와 같이, 디자인을 종횡으로 분할한 경우에는, 제어기(11)는, 이 분할된 각 블록(1)을 액정마스크(2)상에 표시하고, 제1편향기(23X), (23Y)에 의하여 레이저광을 액정마스크(2)상에 라스타주사시킨다.

그리고, 제2편향기(27X),(27Y)는, 각인위치가 상기 표시된 블록(1)에 상당하는 각인영역을 향하도록, 제어기(11)에 의하여 위치결정이 제어한다. 이 때, 각인위치는, 인접하는 블록(1)끼리가 소정길이(L3)만큼 세로방향으로 중복하도록, 그리고, 상기 소정길이(L4)만큼 가로방향으로 중복하도록 위치결정이 제어된다.

그리고, 각 블록(1)의 중복부의 길이(L3) 및 (L4)는, 예컨대, 액정마스크(2)의 화소단위(도트단위)의 크기로 설정하여도 좋다. 또는, 1화소의 크기보다도 작은 길이로 설정하여도 좋다.

이와 같은 구성으로 함으로서, 제2편향기(27X), (27Y)의 흔들림, 광학계 소자의 위치변동, 외부 잡음에 의한 제어신호의 변동 등이 있더라도, 각 블록(1)의 맞춤면이 확실하게 겹처져서 틈새가 없어진다. 이 결과, 각인되는 그림 내에 이 틈새에 의한 레이저 광의 미조사 부분이 없어지고, 전체 디자인의 시인성이 양호하게 된다. 또, 하나의 디자인을 길이방향으로 복수의 블록(1)으로 분할하여 각인하여도, 각인된 그림의 길이방향 길이는 당초 디자인의 길이방향 길이와 동일하게 할 수가 있다. 따라서, 이와 같은 레이저마커에서의 각인에 있어서 수율이 좋아지고, 생산성이 향상된다.

또, 미리 각 블록의 중복부가 예정되게 함으로서, 이 중복부의 길이의 허용범위 내에서 각 블록의 각인위치의 제어정밀도를 높일 필요가 없어진다.

또한, 각 블록의 맞춤면의 틈새가 생기지 않게 되므로, 적극적으로 다수의 블록으로 분할하여 각인하는 것이 가능하게 된다.

따라서, 고분해능(각인의 매끄럼도)이 요구될 때는, 요구되는 분해능을 만족하도록 각 블록을 작게하는 것이 가능하고, 고분해능으로의 대응이 용이하게 된다. 또, 사용하는 액정마스크의 화소수를 적게하여 액정마스크를 소형화할 수 있으므로, 본 레이저마커장치의 소형화나 비용절감이 가능하게 된다.

본 발명은, 하나의 디자인을 복수의 블록으로 분할하여 각인할때에, 각 블록의 맞춤면에 틈새가 생기지 않게 함으로서, 문자나 그림이 끊어지지 않고, 각인된 디자인의 시인성이 좋은 액정마스크, 액정식 레이저마커 및 이것을 이용한 각인방법으로서 유용하다.

Claims (15)

1. 복수의 화소로 이루어지고, 공작물에 각인하는 디자인을 이들 화소에 표시하며, 또한 레이저광을 입사하여 디자인을 표시한 각 화소를 레이저광으로 투과시켜 공작물에 각인하는 액정식 레이저마커에 탑재하는 액정마스크에 있어서: 상기 복수의 화소 중에서 최외주의 모든 변(A,B,A,B) 또는 일부의 변의 화소의 치수가 내부의 나머지 화소와 다른 액정장치를 이용한 것을 특징으로 하는 액정마스크.
2. 제1항에 있어서, 상기 최외주의 4 변(A,B,A,B)중 상하 대향변(B,B) 또는 좌우 대향변(A,A)의 화소의 치수(E1,E1 또는 F1,F1)가 내부의 화소와 다르게 되어 있는 것을 특징으로 하는 액정마스크.
3. 제1항에 있어서, 최외주의 상하 대향변중의 한 변(B) 및 좌우 대향변중의 한 변(A)의 어느 한변(A 또는 B) 또는 양변(A,B)의 화소의 치수(E1,F1)가 내부의 화소와 다르게 되어 있는 것을 특징으로 하는 액정마스크.
4. 복수의 화소로 이루어지는 액정마스크에 공작물에 각인하는 디자인을 표시하고, 이 액정마스크에 레이저광을 입사하여, 액정마스크를 투과한 이 레이저광을 공작물에 조사하여 각인하는 액정식 레이저마커에 있어서: 최외주의 모든 변(A,B,A,B) 또는 일부의 변의 화소의 치수가 내부의 화소와 다른 액정마스크를 구비한 것을 특징으로 하는 액정식 레이저마커.
5. 제4항에 있어서, 하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하고, 그중 하나의 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치가 이 블록(1)에 인접하는 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치와, 상기 액정마스크의 내부의 화소와 차이가 나는 최외주의 화소의 길이(L1 또는 L2)만큼 중복하도록 상기 각인 위치를 제어하는 제어기(11)를 구비한 것을 특징으로 하는 액정식 레이저마커.
6. 제5항에 있어서, 상기 액정마스크는 최외주의 상하 대향변(B,B) 또는 좌우 대향변(A,A) 화소의 치수(E1,E1 또는 F1,F1)가 내부의 화소와 다른 액정마스크이고; 상기 제어기(11)는 하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하며, 그중 하나의 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치는 이 블록(1)에 인접하는 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치와, 상기 액정마스크 내부화소의 치수와 차이가 나는 상기 대향변의 화소의 길이만큼 중복하도록 상기 각인위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 액정식 레이저마커.
7. 제5항에 있어서, 상기 액정마스크는 최외주의 상하 대향변중의 한 변(B) 및 좌우 대향변중의 한 변(A) 둘다(A,B) 또는 그 중 하나(A 또는 B)의 치수(E1 또는 F1)가 내부의 화소와 다른 액정마스크이고; 상기 제어기(11)는 하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하며, 그중 하나의 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치는 이 블록(1)에 인접하는 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치와, 상기 액정마스크 내부 화소의 치수와 차이가 나는 상기 대향변의 한 변의 화소의 길이만큼 중복하도록 상기 각인위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 액정식 레이저마커.
8. 치수가 동일한 복수의 화소로 이루어지는 액정마스크에 공작물에 각인하는 디자인을 표시하고, 이 액정마스크에 레이저광을 입사하고 액정마스크를 투과한 레이저광을 공작물에 조사하여 각인하는 액정식 레이저마커에 있어서: 하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하고, 그중 하나의 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치는 이 블록(1)에 인접하는 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치와, 이 액정마스크의 최외주의 화소의 일부에 대응하는 부분의 길이(L3 또는 L4)만큼 중복하도록 상기 각인위치를 제어하는 제어기(11)를 구비한 것을 특징으로 하는 액정식 레이저마커.
9. 제8항에 있어서, 상기 액정마스크에 의한 각인위치를 중복시키는 소정길이가 최외주의 화소의 도트단위인 것을 특징으로 하는 액정식 레이저마커.
10. 복수의 화소로 이루어지는 액정마스크에 공작물에 각인하는 디자인을 표시하고, 이 액정마스크에 레이저광을 입사하여, 액정마스크를 투과한 이 레이저광을 공작물에 조사하여 각인하는 각인방법에 있어서, 상기 액정마스크의 최외주의 모두 또는 일부의 화소의 치수를 내부의 화소와 다른 치수로 하고, 최외주의 광학계의 비뚤어짐을 방지하여 각인하는 것을 특징으로 하는 각인방법.
11. 제10항에 있어서, 하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하고, 이중의 하나의 블록(11)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치를, 이 블록(1)에 인접하는 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치와, 상기 액정마스크의 내부의 화소와 치수가 다른 최외주의 상기 화소에 대응하는 부분의 소정길이만큼 중복시켜서 각인하는 것을 특징으로 하는 각인방법.
12. 복수의 화소로 이루어지는 액정마스크에 공작물에 기인하는 디자인을 표시하고, 이 액정마스크에 레이저광을 입사하고 액정마스크를 투과한 레이저광을 공작물에 조사하여 각인하는 각인방법에 있어서: 상기 액정마스크의 최외주의 상하 대향변(B,B) 또는 좌우 대향변(A,A)의 화소의 치수(E1,E1 또는 F1,F1)를 내부의 화소와 다른 치수로 하고, 하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하며, 그중 하나의 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치를 이 블록(1)에 인접하는 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치와, 상기 액정마스크의 내부의 화소와 치수가 다른 최외주의 상하 대향변이나 좌우 대향변의 상기 화소에 대응하는 부분의 길이만큼 중복시켜 각인하는 것을 특징으로 하는 각인방법.
13. 복수의 화소로 이루어지는 액정마스크에 공작물에 각인하는 디자인을 표시하고, 이 액정마스크에 레이저광을 입사하고 액정마스크를 투과한 레이저광을 공작물에 조사하여 각인하는 각인방법에 있어서: 상기 액정마스크의 최외주의 상하 대향변의 한 변(B) 및 좌우 대향변의 한 변(A) 둘다 또는 그중 하나의 화소의 치수(E1 또는 F1)를 내부의 화소와 다른 치수로 하고, 하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하며, 그중 하나의 블록(1)을 표시한 상기 마스크에 의한 각인위치를 이 블록(1)에 인접하는 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치와, 상기 액정마스크의 내부의 화소와 치수가 다른 최외주의 상하 대향변의 일방 또는 좌우 대향변의 일방의 상기 화소에 대응하는 부분의 길이만큼 중복시켜 각인하는 것을 특징으로 하는 각인방법.
14. 치수가 동일한 복수의 화소로 이루어지는 액정마스크에 공작물에 각인하는 디자인을 표시하고, 이 액정마스크에 레이저광을 입사하며, 액정마스크를 투과한 레이저광을 공작물에 조사하여 각인하는 각인방법에 있어서: 하나의 디자인을 복수의 블록(1)으로 분할하고, 그중 하나의 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치를 이 블록(1)에 인접하는 블록(1)을 표시한 상기 액정마스크에 의한 각인위치와, 상기 액정마스크의 최외주의 화소의 일부에 대응하는 부분의 길이(L3 또는 L4)만큼 중복시켜 각인하는 것을 특징으로 하는 각인방법.
15. 제14항에 있어서, 상기 액정마스크에 의한 각인위치를 중복시키는 소정길이가, 최외주의 화소의 도트단위인 것을 특징으로 하는 각인방법.