KR100293497B1

KR100293497B1 - 프린팅마스크세척장치및방법

Info

Publication number: KR100293497B1
Application number: KR1019970050936A
Authority: KR
Inventors: 도시아키 야마우찌; 겐 다카하시; 다카오 나이토; 고지 미쓰시로; 구라야스 하마자키; 가즈에 오카노우에; 가즈미 이시모토
Original assignee: 모리시타 요이찌; 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤
Priority date: 1996-10-02
Filing date: 1997-10-02
Publication date: 2001-09-17
Also published as: KR19980032509A; EP0838979B1; DE69726240D1; JPH10100388A; DE69726240T2; EP0838979A1; US5976269A; JP3272612B2

Abstract

세척 페이퍼를 통해 마스크의 뒷면에 접촉하는 주요 제거부는 공기 흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구 뒤에 설치되어, 세척 페이퍼가 마스크의 뒷면에 부착된 납땜 페이스트와, 흡입구를 통한 흡입에 의해 마스크의 개구로부터 배출된 납땜 페이스트 모두를 제거할 수 있도록 함으로써, 마스크에 적층된 납땜 페이스트는 높은 제거 효율로 제거될 수 있다.

Description

프린팅 마스크 세척장치 및 방법(PRINTING MASK CLEANING APPARATUS AND METHOD)

본 발명은 프린트되는 표면상에서 예를 들어, 납땜 페이스트(solder paste), 전도체 페이스트(conductor paste) 또는 절연체 페이스트(insulator paste)와 같은 각종의 프린팅 재료를 프린트 및 코팅하는데 사용된 프린팅 마스크를 세척하는 장치 및 방법에 관한 것이다.

지금까지, 전자 회로 기판의 제조에서, 칩 소자 등의 전자 소자를 프린트 기판에 납땜하기 위한 납땜 페이스트를 사용하는 것이 일반적인 관례이다. 납땜 페이스트 프린터(solder paste printer)는 납땜 페이스트를 소망된 패턴으로 프린트 및 코팅하는 데 사용되고 있다.

종래에, 납땜 페이스트 프린팅(solder paste printing)은 하기에서 설명되는 방법 및 장치를 사용해서 행해진다. 도 15 및 16에서, 도면 번호 1은 프린트 기판, 2는 납땜 페이스트(4)가 프린트되는 랜드(land), 3은 납땜 레지스트(solder resist), 5는 납땜 페이스트(4)가 소망하는 대로 랜드(2) 상에 프린트될 수 있도록 하는 패턴의 개구(6)로써 형성된 금속 마스크, 7은 마스크(5)의 표면(5a)상에서 선형적으로 이동할 수 있는 프린트용 고무롤러(printing squeegee)를 나타낸다. 프린트 기판(1) 상에서 납땜 페이스트(4)를 프린트하는 것은, 마스크(5)를 프린트 기판(1)상에 겹치도록 위치 설정하고, 적정한 프린팅 압력하에서 고무롤러(7)가 마스크(5)와 접촉된 상대에서 고무롤러(7)를 선형적으로 이동함으로써, 마스크(5) 상에 코팅된 납땜 페이스트(4)가 마스크(5)의 개구(6)에 채워지도록 하고, 그 다음에, 프린트 기판(1)으로부터 마스크(5)가 이격되도록 하여, 마스크(5)를 통해 프린트 기판(1) 상에 납땜 페이스트(4)를 프린트 및 코팅함에 의하여 행해진다.

이러한 납땜 페이스트 프린팅이 연속적으로 행해지면, 도 16에 도시했듯이, 납땜 페이스트(4)가 마스크(5)의 뒷면(5b)에 부착되어 적층된다. 그러므로, 통상, 마스크(5)의 뒷면(5b)에 부착된 납땜 페이스트(4)를 제거할 수 있도록 하기 위하여, 도 17에 도시된 바와 같은 세척기(9)가 프린터에 설치되어 있다. 이 도면에서, 도면 번호 10은 세척 고무롤러, 11은 세척 페이퍼, 12는 세척 페이퍼 공급부, 그리고 13은 세척 페이퍼 테이크-업(take-up)을 나타낸다.8은 마스크 프레임(mask frame)이다.

납땜 페이스트(4)를 제거하기 위한 이러한 세척기(9)의 동작은 다음의 방법으로 행해진다. 우선, 세척기(9)는 전체적으로 위치 I로 이동되고 세척 고무롤러(10)는 세척 페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)과 접촉할 때까지 위로 올려진다. 이런 상태를 유지하면서, 세척기(9)는 위치 Ⅱ를 향해 이동된다. 세척기(9)가 위치 Ⅱ로 이동되었을 때, 세척 고무롤러(10)는 낮추어지고, 그 다음에, 세척페이퍼 테이크-업(13)이 세척을 수행했던 세척 페이퍼(11)를 테이크-업하게 되고, 이에 따라, 새로운 세척 페이퍼(11)는 세척 페이퍼 공급부(12)로부터 공급된다. 계속해서, 세척 고무롤러(10)는 다시 올려지고 세척기(9)는 상기 설명된 바와 동일한 방법으로 위치 Ⅱ로부터 위치 Ⅰ을 향해 이동된다. 세척기(9)가 위치Ⅰ로 이동되면, 세척 고무롤러는 낮추어지고 세척기(9)는 초기 위치로 되돌아오며, 그 후에 납땜제거 동작이 완료된다.

최근에는, 도 18에 예시된 바와 같이, 세척기(9)의 상기 설명된 구성에 더하여, 공기 제트 메카니즘(14)에 연결된 공기 제트부(15) 및 공기 흡입 메카니즘(16)에 연결된 공기 흡입부(17)를 갖는 세척 수단을 포함하는 세척기(30)가 제안되었다. 18로 도시된 것은 공기 흡입부(17)에 구비된 필터(filter)이다.

이러한 세척기(30)를 갖는 세척 동작에서는, 공기 제트부(15) 및 공기 흡입부(17)가 위치 Ⅰ로 이동되고, 공기 제트부(15)는 낮추어지고 공기 흡입부(17)는 올려져서 그 각 전단(front end)이 접촉부(20, 21)에서 마스크(5)와 접촉하게 된다.

공기 흡입부(17)의 접촉부(20, 21)는 세척 페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)에 접촉하여, 접촉부를 통해 흡입구(17a) 안으로 공기가 유입하는 것을 방지하고, 마스크(5)의 개구(6)를 통해서만 공기가 흡입구(17a)로 흡입되도록 한다. 이 상태를 유지하면서, 공기 제트부(15) 및 공기 흡입부(17)는 마스크(5)를 따라 위치Ⅱ를 향해 동시에 이동됨으로써, 개구(6) 내부 및 마스크(5)의 뒷면(5b)에 부착된 납땜 페이스트(4)를 제거한다. 즉, 공기 흡입 메카니즘(16)에 연결된 공기 흡입부(17)는 세척 페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)과 접촉하게 되고, 공기 흡입부(17)에 대응하여 공기 제트부(15)는 마스크(5)의 뒷면(5b)과 접촉하게 된다. 공기 제트부(15)로부터의 공기 제트 및 공기 흡입부(17)에 의한 흡입으로써, 마스크(5)의 개구(6) 내부 및 그 주위에 부착된 납땜 페이스트(4)는 분산되거나 마스크(5)의 뒷면(5b)을 향해 유출된다. 그리하여, 납땜 페이스트(4)의 분산된 파편은 세척 페이퍼(11)에 수집되고, 세척기(30)가 위치 Ⅰ로부터 위치 Ⅱ로 이동할 때에는, 뒷면(5b)에 부착된 납땜 페이스트(4)의 유출 파편이 접촉부(20)에서 세척 페이퍼(11)에 수집된다. 개구(6)에 부착된 납땜 페이스트(4)의 파편 제거가 이렇게 완료된 후, 공기 제트 메카니즘(14)에 의한 공기 제트 및 공기 흡입 메카니즘(16)에 의한 공기 흡입은 정지된다. 그 다음에, 공기 제트부(15)는 올려지고, 공기 흡입부(17)는 낮추어진다. 그 후에, 세척기는 그 초기 상태로 복귀하게 되어, 그 세척 동작이 완료된다.

공기 제트 및 공기 흡입의 단계를 포함하는 이러한 세척방법은, 도 17에 예시된 세척 방법에 비해, 마스크(5)의 개구 내부 및 그 내주면에 부착된 납땜 페이스트(4)가 제거될 수 있어서, 납땜 페이스트(4)에 대한 제거 효율을 향상시킬 수 있다고 하는 잇점을 가진다.

그러나, 상기 설명된 세탁기(30)에서, 마스크(5)의 뒷면(5b)에 접촉하는 공기 흡입부(17)의 접촉부(20, 21)는, 상기 설명된 바와 같이, 개구(6)를 통해서만 흡입구(17a)로의 공기 흡입이 이루어지게 하기 위하여, 단지 흡입구(17a)를 형성하기 위한 것이다. 이에 따라, 종래 기술에서는 마스크(5)의 뒷면(5b)이 접촉부(20, 21)에 의해 적극적으로 세척된다고 하는 기술적 개념이 없었다. 그러므로, 도 19A에 도시한 바와 같이, 세척기(30)의 이동방향에서 보이는 접촉부(20, 21)의 스팬(span)Ⅲ은 각각 1mm이하로 되도록 설계된다. 세척기(30)에서, 세척기(30)의 이동방향에서 보이는 흡입구(17a)의 스팬Ⅳ은 3mm이다. 도 19A, 19B 및 19C에서, 공기 제트부(15)는 도시되지 않는다.

그러므로, 종래 기술의 구조의 세척기(30)에서는, 마스크(5)에 접촉하는 접촉부(20, 21)의 면적은 작다. 이에 다라, 도 19A 내지 도 19C에 도시된 바와 같이, 위치 Ⅰ로부터 위치 Ⅱ를 향해 공기 흡입부(17)가 이동함에 따라, 마스크(5)의 뒷면(5b)과 접촉부(20, 21) 사이에 끼여 있는 세척 페이퍼(11)의 이러한 부분(11a, 11b)의 표면 및 그 인접부분은 납땜 페이스트(4)의 덩어리로써 쉽게 덮여버린다. 이렇게 납땜 페이스트(4)로 덮여버린 세척 페이퍼(11)에서는, 마스크(5)의 뒷면(5b)에 부착된 납땜 페이스트(4)의 덩어리를 수집하는 것이 불가능하여, 세척 동작의 완료 후에도, 마스크(5)의 뒷면(5b) 및 개구(6)에 일부의 납땜 페이스트(4)가 제거되지 않은 채로 남아 있는 결과로 된다. 이것은 그 뒤의 프린팅 공정에서, 판누락 효과(off-plate effect) 및 납땜 볼 브릿지(solder ball bridge)를 포함하는 상기 언급된 프린팅 불량이 발생한다고 하는 문제점을 가진다. 도 19A∼19C에서는, 납땜 페이스트(4)가 더욱 정확하게 예시되어서, 납땜 페이스트(4)에 포함되는 구형상의 납땜 입자(spherical solder particle)가 확대된 크기로 도시되어 있다.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것이므로, 본 발명의 목적은 세척시작 위치로부터 세척 완료 위치까지의 전체 세척 작업 범위에 걸쳐, 높은 제거 효율로 납땜 페이스트와 같은 프린팅 재료를 세척할 수 있는 세척방법 및 장치를 제공하는 것이다.

제1도는 본 발명의 제1실시예를 나타내는 세척장치의 구성을 도시하는 도면.

제2a, 2b, 및 2c는 제1도에 도시된 세척장치에 의해 부착된 납땜 페이스트가 제거되는 과정을 순차적인 순서로 설명하는 도면.

제3도는 제1도의 세척장치의 변형된 예의 구성을 도시하는 도면.

제4도는 본 발명의 제2실시예를 나타내는 세척장치의 구성을 도시하는 도면.

제5도는 제4도에 도시된 세척장치의 변형된 예의 구성을 도시하는 도면.

제6도는 제4도에 도시된 세척장치의 세척 노즐(cleaning nozzle)의 투시도.

제7도는 제6도에 도시된 세척 노즐의 변형된 예를 도시하는 투시도.

제8도는 제6도에 도시된 세척 노즐의 다른 변형된 예를 도시하는 투시도.

제9도는 제6도에 도시된 세척 노즐의 또 다른 변형된 예를 도시하는 투시도.

제10도는 제6도에 도시된 세척 노즐의 다른 변형된 예를 도시하는 투시도.

제11도는 제6도에서 라인 IX-IX을 따라 얻어진 단면도.

제12도는 제8도에서 라인 X-X을 따라 얻어진 단면도.

제13도는 주요 및 보조 제거부의 접촉 폭 및 제거 효율간의 관계를 도시하는 그래프.

제14도는 흡입구의 개구 폭, 흡입력 및 제거 효율간의 관계를 도시하는 그래프.

제15도는 납땜 페이스트가 마스크를 사용해서 보드상에 프린트되는 방법을 도시하는 단면도.

제16도는 프린팅후 마스크가 보드로부터 이탈될 때 보이는 마스크 및 보드를 도시하는 도면.

제17도는 종래의 세척장치의 구성을 도시하는 도면.

제18도는 종래의 다른 세척장치의 구성을 도시하는 도면.

제19a, 19b, 및 19c는 제18도에 도시된 세척장치에 의해 부착된 납땜 페이스트가 제거되는 과정을 순차적인 순서로 설명하는 도면.

상기 및 다른 특징을 수행함에 있어서, 본 발명의 제1태양에 따르면, 개구를 통해 프린트할 표면에 프린팅 재료를 프린트할 때 프린팅 마스크를 이용하여 프린팅 동작이 행해진 후에, 소정 패턴의 개구가 형성된 프린팅 마스크를 세척하는 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고,

상기 프린팅 마스크 세척장치는,

프린트할 표면에 접촉하는 프린팅 마스크의 뒷면에 대해 세척 동작 동안 세척시트를 통해 접촉한 상태로 이동 가능하고, 프린팅 마스크의 뒷면에 대향하여 열려 있는 흡입구를 가지며, 그 이동방향에 직교하는 방향으로 연장해 있는 흡입부와;

프린팅 마스크의 개구 내부에 부착된 프린팅 재료가 상기 뒷면을 향해 배출될 수 있도록 하기 위해, 상기 흡입부가 세척시트를 통해 프린팅 마스크의 뒷면에 접촉한 상태로 상기 개구 및 흡입부의 흡입구를 통해 가스를 흡입하는 진공 장치와,

상기 흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구의 개구 뒤에 설치되고, 세척 동작 동안 프린팅 마스크의 귓면에 대하여 압력 접촉(pressure contact)한 상태로 흡입부의 이동방향으로 이동 가능하여, 상기 프린팅 마스크의 뒷면에 부착된 프린팅 재료 및, 흡입을 통해 개구로부터 배출된 프린팅 재료 덩어리를 세척시트에 닦아내는 주요 제거부를 포함한다.

본 발명의 제2특징에 따르면, 제1특징에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 장치의 이동방향에서 측정되는 주요 제거부의 스팬(span)은 5mm 이상이다.

본 발명의 제3특징에 따르면, 제1특징 또는 제2특징에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 상기 주요 제거부는 흡입부와 일체형으로 형성된다.

본 발명의 제4특징에 따르면, 제1특징 내지 제3특징 중 어느 하나에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구의 개구 앞에 설치되고, 세척 동작 동안 프린팅 마스크의 뒷면에 대하여 압력 접촉한 상태로 흡입부의 이동방향으로 이동 가능하여, 프린팅 마스크의 뒷면에 부착된 프린팅 재료를 세척시트에 닦아내는 보조 제거부를 더 포함한다.

본 발명의 제5특징에 따르면, 제4특징에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 흡입부의 이동방향에서 보이는 주요 제거부의 스팬(span)이 보조 제거부의 그것보다 더 크다.

본 발명의 제6특징에 따르면, 제4특징 또는 제5특징에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 흡입부의 이동방향에서 보이는 주요 제거부 및 보조 제거부의 결합 스팬(combined span)이 5 mm이상이다.

본 발명의 제7특징에 따르면, 제4특징 내지 제6특징 중 어느 하나에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 주요 제거부 및 보조 제거부가 흡입부와 일체형으로 형성된다.

본 발명의 제8특징에 따르면, 제1특징 내지 제7특징 중 어느 하나에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 흡입부의 흡입구의 개구 면적은 흡입하에서 흡입구를 통과하는 가스의 유량(flow rate)과 흐름 속도(flow velocity)를 곱한 값이 최대로 되는 면적이다.

본 발명의 제9특징에 따르면, 제1특징 내지 제8특징 중 어느 하나에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 흡입부는 흡입부의 이동방향에 배열된 복수의 흡입구와, 흡입부의 이동방향에서 보이는 각 흡입구의 개구 앞뒤에 구비된 제거부를 포함한다.

본 발명의 제10특징에 따르면, 제1특징 내지 제9특징 중 어느 하나에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 흡입부의 흡입구는 흡입부의 길이를 따라 엇갈리게(staggered) 배열되고, 제거부는 흡입부의 이동방향에서 보이는 각 흡입구의 개구 앞뒤에 설치된다.

본 발명의 제11특징에 따르면, 제1특징 내지 제10특징 중 어느 하나에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 세척시트를 통해 프린팅 마스크의 뒷면에 접촉하는 흡입부의 표면은 흡입부의 길이를 따라 볼록 형태로 구부러져 있다.

본 발명의 제12특징에 따르면, 제1특징 내지 제11특징 중 어느 하나에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 세척시트는 흡입부의 이동에 대하여 상대적으로 이동 가능하다.

본 발명의 제13특징에 따르면, 제4특징 내지 제12특징 중 어느 하나에서 설명된 프린팅 마스크 장치가 제공되고, 여기서, 프린팅 마스크의 뒷면에서 흡입부의 왕복 이동을 위하여, 주요 제거부 및 보조 제거부는 흡입부의 이동방향을 따라 대략 동일한 길이를 갖도록 형성되고, 보조 제거부는 프린팅 마스크의 뒷면에 부착된 프린팅 재료 및 흡입을 통해 개구로부터 배출된 프린팅 재료 덩어리를 세척시트에 닦아내는 주요 제거부와 거의 동일한 기능을 수행한다.

본 발명의 제14특징에 따르면, 개구를 통해 프린트할 표면에 프린팅 재료를 프린트할 때 프린팅 마스크를 이용하여 프린팅 동작이 수행된 후에, 소정 패턴의 개구가 형성된 프린팅 마스크를 세척하는 프린팅 마스크 세척방법이 제공되고, 프린트할 표면에 접촉하는 프린팅 마스크의 뒷면에 대해 세척 동작 동안 세척시트를 통해 접촉한 상태로 이동 가능하고, 프린팅 마스크의 뒷면에 대향하여 열려 있는 흡입구를 가지며, 그 이동방향에 직교하는 방향으로 연장해 있는 흡입부와;

프린팅 마스크의 개구 내부에 부착된 프린팅 재료가 상기 뒷면을 향해 배출될 수 있도록 하기 위해, 상기 흡입부가 세척시트를 통해 프린팅 마스크의 뒷면에 접촉한 상태로 상기 개구 및 흡입부의 흡입구를 통해 가스를 흡입하는 진공 장치를 포함하는 프린팅 마스크 세척장치를 이용하여 세척 동작이 수행되며,

상기 방법은,

흡입에 의해 프린팅 마스크의 개구 내부에 부착된 프린팅 재료가 뒷면에 배

출되도록 한 후에,

흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구의 개구 뒤에 배치되고, 세척 동작동안 프린팅 마스크의 뒷면에 대하여 압력 접촉한 상태로 흡입부의 이동방향으로 이동 가능한 주요 제거부에 의해, 프린팅 마스크의 뒷면에 부착된 프린팅 재료 및, 흡입에 의해 개구로부터 배출된 프린팅 재료를 세척시트에 닦아내는 것을 포함한다.

본 발명의 제15특징에 따르면, 제14특징에서 설명된 프린팅 마스크 세척방법이 제공되고, 여기서, 프린팅 마스크의 개구 내부에 부착된 프린팅 재료가 프린팅 마스크의 뒷면으로 배출되기 전에, 흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구의 개구앞에 설치되고, 세척 동작 동안 프린팅 마스크의 뒷면에 대하여 압력 접촉한 상태로 흡입부의 이동방향으로 이동 가능한 보조 제거부에 의하여, 뒷면에 부착된 프린팅 재료는 세척시트에 닦아내어진다.

본 발명의 제16특징에 따르면, 제15특징에서 설명된 프린팅 마스크 세척방법이 제공되고, 여기서, 흡입부의 이동방향에서 보이는 주요 제거부의 스팬이 흡입부의 이동방향에서 보이는 보조 제거부의 길이보다 더 크다.

본 발명의 제17특징에 따르면, 제14특징 내지 제16특징에서 설명된 프린팅 마스크 세척방법이 제공되고, 여기서, 흡입부는 흡입부의 이동방향에 배열된 복수의 흡입구와, 흡입구의 이동방향에서 보이는 각 흡입구의 개구 앞뒤에 설치된 제거부를 포한한다.

본 발명의 제18특징에 따르면, 제14특징 내지 제17특징에서 설명된 프린팅 마스크 방법이 제공되고, 여기서, 흡입부의 흡입구는 흡입부의 길이를 따라 엇갈리게 배열되고, 제거부는 흡입부의 이동방향에서 보이는 각 흡입구의 개구 앞뒤에 설치된다.

본 발명의 상기 및 다른 특징은 첨부 도면을 참고로 양호한 실시예와 결부시켜 얻어진 다음의 설명으로부터 명백해진다.

본 발명의 설명을 진행하기 전에, 첨부한 도면 전체에 걸쳐 동일한 부품은 동일한 도면 번호로 나타내어진다.

이제, 본 발명의 일실시예로서, 프린팅 마스크를 세척하는 세척장치 및 방법이 도면을 참고로 설명된다. 도면에서, 동일하거나 비슷한 기능을 수행하는 소자 부품은 같은 도면 번호로 나타내어 있다. 상기 세척방법은 상기 세척장치에 의해 행해진다. 각종 실시예에서, 프린트 기판은 하나의 예(example)로서 프린트할 표면으로 사용되지만, 거기에 제한되지 않는다. 이와 유사하게, 프린팅 재료러서 납땜 페이스트가 예시되나, 프린팅 재료는 그것으로 제한되지 않는다. 전도체 페이스트 및 절연체 페이스트와 같은 각종의 다른 프린팅 재료가 사용될 수 있다.

각 실시예에서 사요된 프린팅 마스크(5)는 스테인레스 강철로 제조되고 0.14mm의 두께를 갖는다. 마스크(5)에 형성된 각 개구(6)는 0.15mm의 폭 및 1.4mm의 길이를 갖는 긴 슬롯 형태를 갖는다. 납땜 페이스트(4)에 포함된 납땜 파티클(solder particle)은 10 내지 30㎛의 파티클 크기(particle size)를 갖는다. 세척시트의 한 예로서, 세척 페이퍼(11)는 0.5mm 내지 1mm의 두께를 갖는 솜으로된 부직포(nonwoven cotton fabric)이다.

[제 1 실시예]

이미 언급된 바와 같이, 종래 기술의 세척기(30)의 공기 흡입부(17)의 접촉부(20, 21)는 마스크(5)의 뒷면(5b)이 적극적으로 세척된다고 하는 기술적 개념을 포함하지 않는다. 제1실시예의 세척장치(101)에서는, 도 1에 도시된 바와 같이, 세척장치(101)의 이동방향 V에서 보이는 공기 흡입부(17)의 흡입구 뒤에, 적극적으로 마스크(5)의 뒷면(5b)을 세척하기 위한 주요 제거부(111)가 공기 흡입부(17)와는 별도로 구비된다.

주요 제거부(111)는 이동방향 V에 대해 직교하는 방향으로 연장해 있는 공기 흡입부(17)의 길이를 따라 연장해 있는 기다란 판 형태의 부재이고, 공기 흡입부(17)의 접촉부(20, 21)와 같은 재료로 제도된다. 주요 제거부(111)는 공기 흡입 메카니즘(16), 공기 흡입부(17), 세척 페이퍼 공급부(12), 세척 페이퍼 테이크-업(13) 등을 이동시키는 가동 캐리지(121)에 설치될 수 있다. 그러므로, 마스크(5)의 뒷면(5b)에 대해 눌러지고, 가공 캐리지9121)가, 구동 유니트(122) 또는 예를 들어 모터에 의해 이동방향 V로 이동하도록 구동될 때, 공기 흡입부(17)등과 함께 이동방향 V로 이동된다.

이동방향 V에서 보이는 주요 제거부(111)의 접촉부(111a)의 스팬(span)은, 도 13에 예시된 바와 같이, 세척 페이퍼(11)에 의해 마스크(5)의 뒷면(5b)으로부터 납땜 페이스트(4)를 제거함에 있어서의 90% 이상의 제거 효율이 달성할 목표일 때에, 5 mm이상이다. 도 13으로부터 명백하듯이, 스팬이 약 30mm보다 더 크면, 제거효율의 개선은 거의 기대할 수 없다. 그러므로 스팬이 최대로 약 40 mm까지 인 것이 바람직하다. 도 13의 제거 효율 측정과 관련하여, 공기 흡입부(17)가 공기 흡입을 행하면서, 주요 제거부(111)는 위치Ⅰ(이하에서는 "세척 시작 위치"라 함)로부터 위치Ⅱ(이하에서는 "세척 완료 위치"라 함)까지 마스크(5)의 뒷면(5b) 상에서 편도이동한다고 가정된다.

제1실시예의 세척장치(101)에서는, 종래 기술에서 사용된 바와 같은 공기 제트부(15)가 구비되어 있지 않다.

제1실시예의 세척장치(101)의 동작이 하기에서 설명된다.

납땜 페이스트를 이용하여 프린트 기판 위에 소망된 패턴으로 납땜 페이스트 프린팅이 이루어진 후, 세척장치(101) 전체는 세척 시작 위치 Ⅰ로 이동한다. 공기 흡입부(17) 및 주요 제거부(111)는 프린팅 마스크(5)를 향해 상승하고, 세척 페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)에 압력 접촉한다. 그 다음에, 공기 흡입 메카니즘(16)은 마스크(5)의 개구(6)를 통해 공기 흡입을 시작한다. 이 상태를 유지하면서, 세척 장치(101)가 설치된 가동 캐리지(121)는 구동 유니트(122)에 의해 작동되어 세척 완료 위치 Ⅱ를 향해 이동방향 V으로 이동하고, 마스크(5)의 개구(6) 내부 및 뒷면(5b)에 부착된 납땜 페이스트(4)를 제거한다.

즉, 도 2A에 도시된 바와 같이, 상기 설명된 공기 흡입에 의해 마스크(5)의 개구(6) 내부로부터 마스크(5)의 뒷면(5b)을 향해 배출된 납땜 페이스트(4)와, 뒷면(5b)에 부착된 납땜 페이스트(4)는, 공기 흡입부(17)의 접촉부(20)와 뒷면(5b)사이에 위치되는 세척 페이퍼(11)의 부분 Ⅵ에 부착할 것이다. 그러나, 이미 언급 했듯이, 이동방향 Ⅴ에서 보이는 접촉부(20)의 스팬은 1 mm이므로, 세척 페이퍼(11)의 부분Ⅵ은 납땜 페이스트(4)로 포함된 상태로 되어서, 도 2B에 도시했듯이, 닦아 내지 않은 납땜 페이스트(112) 찌꺼기가 생긴다.

그러나, 주요 제거부(111)가 이동방향 Ⅴ에서 보이는 공기 흡입부(17)의 공기 흡입구(17a) 뒤에 구비되기 때문에, 도 2C에 도시된 바와 같이, 주요 제거부(111)와 마스크(5)의 뒷면(5b) 사이에 위치되는 세척 페이퍼(11)의 부분 Ⅶ에 의해 닦아내지 않은 납땜 페이스트(112)는 다시 한번 닦아내어진다. 본 실시에의 세척장치를 개선시키기 위해 행해진 테스트 결과에 의해, 공기 흡입부(17)의 공기 흡입구(17a)의 단부(edge)(17b)로부터 이동방향 Ⅴ에 대한 반대 방향으로 약 2 mm의 거리내에 위치하는 영역은 세척 페이퍼(11)가 납땜 페이스트(4)로써 쉽게 포화되는 영역이고, 상기 단부(17b)로부터 이동방향에 반대로 2 mm 이상 떨어져 있는 영역은 납땜 페이스트(4)를 닦아내기에 충분한 영역이라는 것이 확인된다. 그러므로, 제1실시예에서는, 이동방향 Ⅴ에서 보이는 주요 제거부(111)의 스팬이 상기 언급했듯이 적어도 5 mm로 되도록 설계된다. 주요 제거부(111)의 스팬이 15 mm 내지 25 mm인 경우에, 주요 제거부(111)를 구비하지 않으며 공기 흡입부(17)의 접촉부(20)의 스팬이 2 mm인 종래 기술의 장치에 비해, 제거 효율에 있어서 약 10% 개선될 수 있다.

세척장치(101)가 세척 완료 위치 Ⅱ로 이동하면, 공기 흡입 메카니즘(16)에의한 공기 흡입이 정지되고, 공기 흡입부(17) 및 주요 제거부(111)는 낮추어진다. 이 때, 모터(123)가 구동되어 세척 페이퍼 테이크-업(13)을 작동시켜 더러운 세척페이퍼를 감도록 하고, 새로운 세척 페이퍼가 세척 페이퍼 공급부(12)로부터 공급된다. 계속해서, 세척장치(101)는 구동 유니트(122)에 의해 세척 시작 위치 Ⅰ로 복귀하게 되고, 마스크(5)에 대한 세척 동작은 완료된다.

위와 같이, 제1실시예에 따른 세척장치(101)에서는, 여기에 설치된 주요 제거부(101)에 의해, 세척 시작 위치 Ⅰ로부터 세척 완료 위치 Ⅱ까지의 전범위에 걸쳐 높은 제거율로써 마스크(5) 상에 밀착된 납땜 페이스트(4)를 제거할 수 있다.

다음으로, 세척장치(102)의 더 양호한 형태가 도 3에 예시되어 있으며, 여기서, 보조 제거부(113)는 세척장치(101)의 이동방향 V에서 보이는 공기 흡입부(17)의 흡입구(17a) 앞에 구비되어 있다. 주요 제거부(111)와 마찬가지로, 보조 제거부(113)는 이동방향 V에 대해 직교하는 방향으로 연장해 있는 공기 흡입부(17)의 길이를 따라 연장해 있는 기다란 판형 부재(elongate plate-like member)이고, 가동 캐리지(121) 상에 설치되어 있으며, 주요 제거부(111)와 동일한 재료로 제조된다. 그러므로, 마스크(5)의 뒷면(5b)을 세척하는 공정 동안, 보조 제거부(113)의 접촉부(113a)는 세척 페이퍼(11)를 통해 뒷면(5b)에 대해 눌러지고, 가동 캐리지(121)가 이동방향 V으로 이동함에 따라 공기 흡입부(17) 등과 함께 이동방향 V으로 이동 한다.

이동방향 V에서 보이는 보조 제거부(113)의 접촉부(113a)의 스팬은 도 3에 도시된 바와 같이 이동방향 Ⅴ에서 보이는 주요 제거부(111)의 접촉부(111a)의 그것보다 더 짧아지게 할 수 있다. 그에 대한 이유는 보조 제거부(113)가 이동방향 Ⅴ에서 보이는 흡입구(17a)의 앞에 배치되기 때문에, 마스크(5)의 개구(6)로부터 배출된 납땜 페이스트(4)를 수집하지 않고, 마스크(5)의 뒷면(5b)에 부착된 납땜 페이스트(4)만을 세척 페이퍼(11)에 수집하기 위한 것이기 때문이다.

이와 같이, 보조 제거부(113) 및 주요 제거부(111) 양자가 설치되는 경우에, 보조 제거부(113)의 접촉부(113a)의 스팬은 이동방향 Ⅴ에서 보이는 주요 제거부(111)의 접촉부(111a)의 그것보다 더 짧아질 수 있다. 또한, 이미 언급된 바와 같이, 주요 제거부(111)의 스팬은 2 mm이상이어야 할 필요가 있다. 그러므로, 주요 제거부(111) 및 보조 제거부(113)의 결합 스팬(combined span)은 적어도 5 mm일 수 있다. 예를 들어, 주요 제거부(111)의 스팬은 3 mm이상이고, 보조 제거부(113)의 스팬은 2 mm이상으로 할 수 있다. 세척장치(102)가 세척 시작 위치 Ⅰ 및 세척 완료 위치 Ⅱ 사이에서 왕복하는 경우에는, 주요 제거부(111)와 보조 제거부(113)를 서로 구별하는 것은 더 이상 필요치 않으므로, 주요 제거부(111) 및 보조 제거부(113)는 동일한 스팬으로 할 수 있다.

이와 같이, 주요 제거부(111)에 더하여 보조 제거부9113)를 이렇게 설치함으로써, 마스크(5)의 뒷면(5b)에 부착한 납땜 페이스트(4)의 일부을 수집하는 것이 가능하여, 제거 효율이 증대된다.

[제 2 실시예]

제1실시예의 상기 설명된 세척장치(101, 102)에서는, 주요 제거부(111), 또는 주요 제거부(111) 및 보조 제거부(113)가 공기 흡입부(17)와는 별도로 설치된다. 제2실시예의 세척장치는, 공기 흡입부(17)와 일체형으로 형성된 주요 제거부(111)를 갖거나 공기 흡입부(17)와 일체형으로 형성된 주요 제거부(111) 및 보조제거부(113)의 조합(combination)을 갖는 세척 노즐(cleaning nozzle)(131)을 포함한다. 도 4에 도시된 세척장치(103)는 세척 시작 위치 Ⅰ 및 세척 완료 위치 Ⅱ 사이에서 왕복 이동하는 형태이다. 그러므로, 세척 노즐(131)은 주요 제거부(111) 및 보조 제거부(113)가 공기 흡입부(17)와 일체형으로 형성되는 형태이고, 이에 따라, 주요 제거부(111) 및 보조 제거부(113)는 세척장치의 이동방향에서 보이는 동일한 스팬이다.

이러한 세척 노즐(131)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 왕복 이동방향 Ⅷ에 직교하는 마스크(5)의 폭 방향에 있으며, 마스크(5)의 폭과 대략 동일한 길이로써 연장해 있는 기다란 판형 부재이고, 그 중앙부에는 세척 노즐(131)의 길이를 따라 연장해 있는 평면에 기다란 슬롯 형상의 흡입구(132)가 형성되어 있다. 흡입구(132)는 공기 흡입 메카니즘(16)에 연결되어 있다. 이러한 구조의 세척 노즐(131)에서는, 세척장치(103)의 왕복 이동방향 Ⅷ에서 흡입구(132)의 앞뒤에 위치하는 접촉부(133 및 134)가 주요 제거부(111) 및 보조 제거부(113)에 각각 대응한다. 왕복 이동방향 Ⅷ에서 보이는 접촉부(133 및 134)의 결합 스팬(combined span)은 이미 언급했듯이 적어도 5 mm로 되도록 설정될 수 있다.

흡입구(132)의 왕복 이동방향 Ⅷ에서 보이는 흡입구(132)의 개구폭 XI는 다음의 방법으로 결정된다. 흡입구의 면적은 흡입구를 통과하는 흡입 공기의 유량(flow rate)에 흡입구를 통과하는 흡입 공기 흐름의 속도를 곱한 값이 최대화되도록 설정된다. 더욱 상세하게는, 공기 송풍(air blow)의 힘 F를 표현하는 관계식으로서, 다음의 수식 : F = P × Q × V/g 이 공지되어 있다. 이 수식에서, P는 유체의 밀도(fluid density)를 나타내고, Q는 유체의 유량(flow rate)을 나타내고, Ⅴ는 유체 흐름의 속도를 나타내고, g는 중력 가속도를 나타낸다. 상기 관계는 흡입력을 표현할 때 또한 응용 가능하다. 상기 수식에 의해 표현된 힘 F가 최대화되는 흡입구 면적을 갖는 흡입구는 마스크(5)의 개구(6) 내부 및 그 뒷면(5b)에 부착된 납땜 페이스트(4)의 파티클(particle)을 흡입 및 제거하기 위한 최대의 힘을 생산할 수 있다.

이러한 이론적 견해를 토대로 해서, 도 14에 도시했듯이, 흡입구의 개구 폭 XI, 흡입력, 및 납땜 페이스트(4)에 대한 제거 효율 사이의 관계에 대한 측정이 이루어진다. 도 14로부터 명백하듯이, 제거 효율 및 흡입력 F의 값은 세척 노즐의 흡입구의 개구 폭 XI이 6 mm일 때 최대로 된다. 그러므로, 본 실시예에서는, 세척 노즐(131)의 흡입구(132)의 개구 폭 XI은 6 mm로 설정된다. 그러나, 개구 폭 XI이 5 mm 내지 9 mm인 경우에도 비슷한 효과가 얻어질 수 있다.

이러한 세척 노즐(131)을 구비한 세척장치(103)의 동작 방식은 상기 설명된, 예컨대 세척장치(102)의 경우와 동일하다. 그러므로, 그 설명은 생략된다.

또한, 세척장치(103)는 도 18에 도시된 공기 제트 메카니즘(14)에 연결되는 공기 제트부(15)를 포함할 수도 있다. 이러한 장치는 도 5에 세척장치(104)로서 도시되어 있다. 이 경우에, 세척 노즐(131)의 접촉부(133, 134)에 대해 공기 제트부(15)가 누름으로써 접촉부(133, 134)에서 납땜 페이스트(4)의 더욱 효과적인 제거를 용이하게 할 수 있도록, 공기 제트부(15)는 세척 노즐(131)의 접촉부(133, 134)의 두께에 대응하는 벽 두께를 가지는 것이 바람직하다. 이하에서 설명되는 각종 세척 노즐도 공기 제트 메카니즘(14)을 갖는 공기 제트부(15)를 포함할 수 있다.

세척 노즐의 변형된 예는 아래에서 설명될 것이다.

도 7에 도시했듯이, 세척 노즐의 길이를 따라 평행으로 연장해 있는 2개의 흡입구(132a, 132b)를 갖는 세척 노즐(135)을 구성하는 것이 가능하다. 흡입구(132a, 132b)의 개구 폭 XI은 예를 들어 6 mm이다.

이러한 세척 노즐(135)에서는, 상기 왕복 이동방향 Ⅷ에서 보이는 각각의 흡입구(132a, 132b) 앞뒤에 위치하는 접촉부(135a, 135b, 135c) 중에서, 접촉부(135b)는 항상 주요 제거부(111)에 대응하고, 접촉부(135a, 135c)는 경우에 따라 주요 제거부(111) 또는 보조 제거부(113)에 대응한다. 이와 같이 상기 왕복 이동 경로Ⅷ를 따라 2개의 흡입구가 설치됨으로써, 흡입구(132a, 132b)의 바로 뒤에 주요 제거부(111)에 대응하는 하나의 접촉부가 위치하게 된다. 그러므로, 왕복 이동방향 Ⅷ에서 보이는 세척 노즐(135)의 각 접촉부(135a, 135b, 135c)의 스팬은 세척 노즐(131)의 경우보다 더 짧게 제조될 수 있다. 따라서, 세척 노즐(135)에서는, 왕복 이동방향 Ⅷ에서 보이는 접촉부(135a, 135b, 135c)의 각각의 스팬 전체는 5 mm이상, 약 40 mm이하로 할 수 있다.

이와 같이 2개의 흡입구(132a, 132b)를 구비하는 것은 주요 제거부(111)에 대응하는 2개의 접촉부가 진행 방향에 구비된다는 것을 의미한다. 그러므로, 세척 노즐(135)은 세척 노즐(131)에 비해 납땜 페이스트(4)의 제거를 더욱 증대시킬 수 있다.

세척 노즐(135)에서는, 흡입구(132a, 132b) 각각이 세척 노즐(135)의 길이방향을 따라 직선으로써 연속적으로 연장해 있다. 또한, 도 8에 도시했듯이, 흡입구(137)가 서로 엇갈리게 되어 있고, 길이 방향을 따라 소정 간격으로 놓여 있는 흡입구(137)를 갖는 세척 노즐(136)을 구성하는 것이 가능하다. 세척 노즐(136)은 왕복 이동경로 Ⅷ를 따라 배열된 2개의 흡입구(137)를 갖는다. 각 흡입구(137)의 개구 폭 XI는 이미 언급했듯이 6 mm이다.

흡입구(137)가 엇갈리게 배열되는 이유가 아래에서 설명된다. 즉, 세척 노즐이 연질 재료(soft material), 예를 들어 "두라콘(duracon)"으로 제조되는 경우, 도 7에 도시된 세척 노즐(135)에서는, 흡입구(132a) 및 흡입구(132b) 사이의 접촉부(135b)의 폭이 좁아서 세척 노즐의 강도 부족이 생기고, 마스크(5)의 뒷면(5b)과 접촉부(135b)가 세척 페이퍼(11)를 통해 서로 접촉하게 되지 않을 가능성이 있다.

그러므로, 흡입구를 엇갈리게 배열함으로써, 세척 노즐이 강도 부족이 생기는 것을 방지하므로, 세척 페이퍼(11)를 통해 세척 노즐과 뒷면(5b) 사이의 적극적인 접촉을 확실히 할 수 있다. 용어 "두라콘"은 폴리아세탈(polyacetal)에 대한 공통 명칭이다.

상기 설명된 세척 노즐(131, 135, 136)에서는, 흡입구(132, 137)가 평면도에서 기다란 슬롯 형상(elongated slot configuration)을 가지지만, 도 9에 도시된 바와 같이, 흡입구(139)로서 평면도에서 원형이 될 수도 있다. 세척 노즐(138)은 엇갈리게 배열된 이러한 흡입구(139)를 갖는다. 세척 노즐(138)에서, 흡입구(139)쌍은 왕복 이동경로 Ⅷ를 따라 배열되어 있다. 각 흡입구(139)는 3 내지 5 mm의 직경이다.

또한, 도 10에 예시했듯이, 세척 노즐(140)은 세척 페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)과 접촉하는 접촉표면(141)이 세척 노즐(140)의 길이를 따라 볼록하게 구부러지도록 하는 형상을 가질 수도 있다. 구부러진 접촉 표면(141)을 갖는 세척 노즐(140)이 사용되는 경우에, 세척 동작 동안, 세척 노즐(140)이 세척 페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)에 접촉할 때, 마스크(5)는 접촉 표면(141)을 따라 오목 형태로 강제적으로 구부러진다. 이에 따라, 세척 페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)과 세척 노즐(140)의 접촉 표면(141) 사이의 접촉을 증대시키는 것이 가능하여, 납땜 페이스트(4)에 대한 제거율(removal ratio)을 더욱 증대시킬 수 있다.

세척 노즐(140)은 세척 노즐(131)에서와 같이 단일 흡입구를 갖는 형태이지만, 세척 노즐(135, 136 또는 138)에 형성된 바와 같은 그러한 흡입구를 갖는 형태로 될 수도 있다.

앞선 설명에서는, 세척 노즐(131, 135, 136, 138, 140) 각각이 왕복 이동 형태의 세척장치에 사용되는 것으로 가정된다. 그러나, 이러한 세척 노즐은 세척 시작위치 Ⅰ로부터 세척 완료위치 Ⅱ까지의 편도 이동(one way travel)에 적용되는 형태의 세척장치에 사용될 수도 있다. 세척장치가 편도 이동용으로 설계되는 경우에, 예를 들어 세척 노즐(131)은, 도 11에 도시된 바와 같이, 흡입구(132)의 앞과 뒤에 위치된 접촉부(133, 134)의 접촉 표면(133a, 134a)이 세척 페이퍼(11)와의 접촉을 위해 각각 이동방향에 반대인 방향으로 약간 위쪽으로 향하게 경사지도록 할 수도 있다. 또한, 예를 들어 세척 노즐(136)은, 도 12에 도시된 바와 같이, 세척 노즐(136)의 접촉 표면(136a)이 이동방향에 반대인 방향으로 그 전체가 약간 위쪽으로 향하게 경사지도록 구성될 수도 있다.

세척 페이퍼(11)와의 접촉 표면이 이동방향에 반대인 방향으로 약간 위쪽으로 향하게 경사지도록 세척 노즐을 구성함으로써, 세척 동작동안 세척 노즐이 세척페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)에 대해 눌러질 때 세척 노즐의 누르는 힘이 이동방향에 반대인 방향으로 점차 증가되는 것을 기대할 수 있다. 이것은 세척 노즐이 납땜 페이스트(4)를 더욱 효과적으로 닦아낼 수 있도록 한다.

상기 설명된 세척장치(101, 102, 103, 104)에서는, 세척 페이퍼(11)에 의한 납땜 페이스트(4)의 제거가 완료되고, 공기 흡입부(17) 및 제거부(111, 113), 또는 세척 노즐(131)이 낮추어지고 난 후에, 모터(123)에 의해 세척 페이퍼 테이크-업(13)이 구동되어 더러운 세척 페이퍼(11)를 테이크-업(take-up)하고 새로운 세척 페이퍼를 공급한다. 그러나, 세척 동작은 이러한 동작 모드로 제한되지 않는다. 세척 페이퍼(11)가 마스크(5)의 뒷면(5b)과 접촉하고 있는 세척 과정동안, 세척 페이퍼 테이크-업(13)이 모터(123)에 의해 작동되어 세척 페이퍼(11)를 테이크업하면서, 세척장치가 이동될 수도 있다. 이와 같은 동작을 통해, 제거부(111, 113) 또는 세척 노즐(131) 등의 접촉부(133, 134)와, 마스크(5)의 뒷면(5b) 사이에 끼여 있는 세척 페이퍼의 부분에 오염이 없는 새로운 세척 페이퍼(11)를 공급하는 것이 가능 하므로, 마스크(5)로부터 보다 높은 제거 효율(removal efficiency)로 납땜 페이스트(4)를 제거할 수 있다.

세척 페이퍼 테이크-업(13)에 의해 세척 페이퍼(11)를 테이크-업하기 위한 타이밍(timing)은, 예를 들어, 세척 노즐(131)이 세척 페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)과 접촉을 유지하면서 이동할 때에는 항상 세척 페이퍼(11)가 테이크-업 될 수 있도록 설정될 수도 있고, 또는 세척 장치가 일정 거리를 이동할 때마다 이러한 테이크-업이 이루어지도록 설정될 수도 있다.

이상 설명된 바와 같이, 세척장치용 본 발명의 제1실시예 및 세척방법용 제2 실시예에 따르면, 흡입구를 갖는 흡입부의 이동방향에서 볼 때, 주요 제거부는 흡입구의 개구 뒤에 설치되어 프린팅 마스크의 개구 및 뒷면에 부착된 프린팅 재료를 제거함으로써, 마스크에 부착된 프린팅 재료는 보다 높은 제거 효율로 세척될 수 있다. 그러므로, 세척 후의 프린팅 공정 동안, 판-누락 효과 및 납땜 볼 브릿지와 같은 프린팅 불량의 발생이 방지될 수 있다.

명세서, 특허청구의 범위, 도면, 및 요약서를 포함하는 1996.10.2일자로 출원된 일본특허출원 제8-261660호의 개시된 사항 전부는 참고로 여기에 포함된다.

본 발명은 첨부 도면을 참고하여 양호한 실시예와 관련해서 충분히 설명되었지만, 각종 변경 및 변형이 당해 기술분야에 숙련된 자에게는 명백하다는 것을 알아야 한다. 이러한 변경 및 변형은 특허 청구의 범위에서 벗어나지 않는다면 첨부된 청구 범위에서 정의된 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.

Claims

개구를 통해 프린트할 표면에 프린팅 재료(4)를 프린트할 때 프린팅 마스크를 이용하여 프린팅 동작이 행해진 후에, 소정 패턴의 개구(6)가 형성된 프린팅 마스크(5)를 세척하는 프린팅 마스크 세척장치에 있어서,

상기 프린팅 마스크 세척장치는,

프린트할 표면에 접촉하는 프린팅 마스크의 뒷면(5b)에 대해 세척 동작 동안 세척시트(11)를 통해 접촉한 상태로 이동 가능하고, 프린팅 마스크의 뒷면에 대향하여 열려 있는 흡입구(17a)를 가지며, 그 이동방향에 직교하는 방향으로 연장해 있는 흡입부(17)와;

프린팅 마스크의 개구 내부에 부착된 프린팅 재료가 상기 뒷면을 향해 배출될 수 있도록 하기 위해, 상기 흡입부가 세척시트를 통해 프린팅 마스크의 뒷면에 접촉한 상태로 상기 개구 및 흡입부의 흡입구를 통해 가스를 흡입하는 진공 장치(16)와,

상기 흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구의 개구 뒤에 설치되고, 세척 동작 동안 프린팅 마스크의 뒷면에 대하여 압력 접촉(pressure contact)한 상태로 흡입부의 이동방향으로 이동 가능하여, 상기 프린팅 마스크의 뒷면에 부착된 프린팅 재료 및, 흡입을 통해 개구로부터 배출된 프린팅 재료 덩어리를 세척시트에 닦아내는 주요 제거부(111)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.
제1항에 있어서, 장치의 이동방향에서 측정되는 주요 제거부의 스팬(span)은 5 mm이상인 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 주요 제거부는 흡입부와 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.
제1항 내지 제2항 중 어느 하나에 있어서, 상기 흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구의 개구 앞에 설치되고, 세척 동작 동안 프린팅 마스크의 뒷면에 대하여 압력 접촉한 상태로 흡입부의 이동방향으로 이동 가능하여, 프린팅 마스크의 뒷면에 부착된 프린팅 재료를 세척시트에 닦아내는 보조 제거부(113)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.
제4항에 있어서, 흡입부의 이동방향에서 보이는 주요 제거부의 스팬은 보조 제거부의 그것보다 더 큰 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.
제4항에 있어서, 흡입부의 이동방향에서 보이는 주요 제거부 및 보조 제거부의 결합 스팬은 5 mm이상인 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.
제4항에 있어서, 주요 제거부 및 보조 제거부는 흡입부와 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.
제1항 내지 제2항 중 어느 하나에 있어서, 흡입부의 흡입구의 개구 면적은 흡입하에서 흡입구를 통과하는 가스의 유량과 흐름 속도를 곱한 값이 최대로 되는 면적인 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.
제1항 내지 제2항 중 어느 하나에 있어서, 흡입부는 흡입부의 이동방향에 배열된 복수의 흡입구와, 흡입부의 이동방향에서 보이는 각 흡입구의 개구 앞뒤에 구비된 제거부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.
제1항 내지 제2항 중 어느 하나에 있어서, 흡입부의 흡입구는 흡입부의 길이를 따라 엇갈리게 배열되고, 제거부는 흡입부의 이동방향에서 보이는 각 흡입구의 개구 앞뒤에 설치되는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.
제1항 내지 제2항 중 어느 하나에 있어서, 세척시트를 통해 프린팅 마스크의 뒷면에 접촉하는 흡입부의 표면은 흡입부의 길이를 따라 볼록 형태로 구부러져 있는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.
제1항 내지 제2항 중 어느 하나에 있어서, 세척시트는 흡입부의 이동에 대하여 상대적으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.
제4항에 있어서, 프린팅 마스크의 뒷면에서 흡입부의 왕복 이동을 위하여, 주요 제거부 및 보조 제거부는 흡입부의 이동방향을 따라 대략 동일한 길이를 갖도록 형성되고, 보조 제거부는 프린팅 마스크의 뒷면에 부착된 프린팅 재료 및 흡입을 통해 개구로부터 배출된 프린팅 재료 덩어리를 세척시트에 닦아내는 주요 제거부와 대략 동일한 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.
개구를 통해 프린트할 표면에 프린팅 재료(4)를 프린트할 때 프린팅 마스크를 이용하여 프린팅 동작이 수행된 후에, 소정 패턴의 개구(6)가 형성된 프린팅 마스크(5)를 세척하는 프린팅 마스크 세척방법에 있어서,

프린트할 표면에 접촉하는 프린팅 마스크의 뒷면(5b)에 대해 세척 동작 동안 세척시트(11)를 통해 접촉한 상태로 이동 가능하고, 프린팅 마스크의 뒷면에 대향하여 열려 있는 흡입구(17a)를 가지며, 그 이동방향에 직교하는 방향으로 연장해 있는 흡입부와;

프린팅 마스크의 개구 내부에 부착된 프린팅 재료가 상기 뒷면을 향해 배출될 수 있도록 하기 위해, 상기 흡입부가 세척시트를 통해 프린팅 마스크의 뒷면에 접촉한 상태로 상기 개구 및 흡입부의 흡입구를 통해 가스를 흡입하는 진공 장치(16)를 포함하는 프린팅 마스크 세척장치를 이용하여 세척 동작이 수행되며,

상기 방법은,

흡입에 의해 프린팅 마스크의 개구 내부에 부착된 프린팅 재료가 뒷면에 배출되도록 한 후에,

흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구의 개구 뒤에 배치되고, 세척 동작동안 프린팅 마스크의 뒷면에 대하여 압력 접촉한 상태로 흡입부의 이동방향으로 이동 가능한 주요 제거부(111)에 의해, 프린팅 마스크의 뒷면에 부착된 프린팅 재료 및, 흡입에 의해 개구로부터 배출된 프린팅 재료를 세척시트에 닦아내는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척방법.
제14항에 있어서, 프린팅 마스크의 개구 내부에 부착된 프린팅 재료가 프린팅 마스크의 뒷면으로 배출되기 전에, 흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구의 개구 앞에 설치되고, 세척 동작 동안 프린팅 마스크의 뒷면에 대하여 압력 접촉한 상태로 흡입부의 이동방향으로 이동 가능한 보조 제거부(113)에 의하여, 뒷면에 부착된 프린팅 재료는 세척시트에 닦아내어지는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척방법.
제15항에 있어서, 흡입부의 이동방향에서 보이는 주요 제거부의 스팬은 흡입부의 이동방향에서 보이는 보조 제거부의 길이보다 더 큰 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척방법.
제14항 내지 제16항 중 어느 하나에 있어서, 흡입부는 흡입부의 이동방향에 배열된 복수의 흡입구와, 흡입부의 이동방향에서 보이는 각 흡입구의 개구 앞뒤에 설치된 제거부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척방법.
제14항에 있어서, 흡입부의 흡입구는 흡입부의 길이를 따라 엇갈리게 배열되고, 제거부는 흡입부의 이동방향에서 보이는 각 흡입구의 개구 앞뒤에 설치되는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척방법.