KR100293497B1 - Printing mask cleaning device and method - Google Patents

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가즈에 오카노우에
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모리시타 요이찌
마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤
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Abstract

세척 페이퍼를 통해 마스크의 뒷면에 접촉하는 주요 제거부는 공기 흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구 뒤에 설치되어, 세척 페이퍼가 마스크의 뒷면에 부착된 납땜 페이스트와, 흡입구를 통한 흡입에 의해 마스크의 개구로부터 배출된 납땜 페이스트 모두를 제거할 수 있도록 함으로써, 마스크에 적층된 납땜 페이스트는 높은 제거 효율로 제거될 수 있다.The main removal section, which contacts the back of the mask via the cleaning paper, is installed behind the inlet, which is visible in the direction of movement of the air inlet, so that the cleaning paper is discharged from the opening of the mask by the solder paste attached to the back of the mask and suction through the inlet. By making it possible to remove all the solder paste, the solder paste laminated on the mask can be removed with high removal efficiency.

Description

프린팅 마스크 세척장치 및 방법(PRINTING MASK CLEANING APPARATUS AND METHOD)PRINTING MASK CLEANING APPARATUS AND METHOD

본 발명은 프린트되는 표면상에서 예를 들어, 납땜 페이스트(solder paste), 전도체 페이스트(conductor paste) 또는 절연체 페이스트(insulator paste)와 같은 각종의 프린팅 재료를 프린트 및 코팅하는데 사용된 프린팅 마스크를 세척하는 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention is an apparatus for cleaning printing masks used to print and coat various printing materials, such as solder paste, conductor paste or insulator paste, on the surface to be printed. And to a method.

지금까지, 전자 회로 기판의 제조에서, 칩 소자 등의 전자 소자를 프린트 기판에 납땜하기 위한 납땜 페이스트를 사용하는 것이 일반적인 관례이다. 납땜 페이스트 프린터(solder paste printer)는 납땜 페이스트를 소망된 패턴으로 프린트 및 코팅하는 데 사용되고 있다.Until now, in the manufacture of electronic circuit boards, it is common practice to use solder paste for soldering electronic devices such as chip devices to printed boards. Solder paste printers are being used to print and coat solder paste in a desired pattern.

종래에, 납땜 페이스트 프린팅(solder paste printing)은 하기에서 설명되는 방법 및 장치를 사용해서 행해진다. 도 15 및 16에서, 도면 번호 1은 프린트 기판, 2는 납땜 페이스트(4)가 프린트되는 랜드(land), 3은 납땜 레지스트(solder resist), 5는 납땜 페이스트(4)가 소망하는 대로 랜드(2) 상에 프린트될 수 있도록 하는 패턴의 개구(6)로써 형성된 금속 마스크, 7은 마스크(5)의 표면(5a)상에서 선형적으로 이동할 수 있는 프린트용 고무롤러(printing squeegee)를 나타낸다. 프린트 기판(1) 상에서 납땜 페이스트(4)를 프린트하는 것은, 마스크(5)를 프린트 기판(1)상에 겹치도록 위치 설정하고, 적정한 프린팅 압력하에서 고무롤러(7)가 마스크(5)와 접촉된 상대에서 고무롤러(7)를 선형적으로 이동함으로써, 마스크(5) 상에 코팅된 납땜 페이스트(4)가 마스크(5)의 개구(6)에 채워지도록 하고, 그 다음에, 프린트 기판(1)으로부터 마스크(5)가 이격되도록 하여, 마스크(5)를 통해 프린트 기판(1) 상에 납땜 페이스트(4)를 프린트 및 코팅함에 의하여 행해진다.Conventionally, solder paste printing is performed using the method and apparatus described below. 15 and 16, reference numeral 1 denotes a printed substrate, 2 denotes a land on which the solder paste 4 is printed, 3 denotes a solder resist, and 5 denotes a land as desired. 2) A metal mask formed as an opening 6 of the pattern to be printed on 2, 7 represents a printing squeegee that can be linearly moved on the surface 5a of the mask 5. Printing the solder paste 4 on the printed board 1 positions the mask 5 to overlap on the printed board 1, and the rubber roller 7 contacts the mask 5 under an appropriate printing pressure. By linearly moving the rubber roller 7 at the counterpart, the solder paste 4 coated on the mask 5 is filled in the opening 6 of the mask 5, and then the printed substrate ( The mask 5 is spaced apart from 1), thereby printing and coating the solder paste 4 on the printed board 1 via the mask 5.

이러한 납땜 페이스트 프린팅이 연속적으로 행해지면, 도 16에 도시했듯이, 납땜 페이스트(4)가 마스크(5)의 뒷면(5b)에 부착되어 적층된다. 그러므로, 통상, 마스크(5)의 뒷면(5b)에 부착된 납땜 페이스트(4)를 제거할 수 있도록 하기 위하여, 도 17에 도시된 바와 같은 세척기(9)가 프린터에 설치되어 있다. 이 도면에서, 도면 번호 10은 세척 고무롤러, 11은 세척 페이퍼, 12는 세척 페이퍼 공급부, 그리고 13은 세척 페이퍼 테이크-업(take-up)을 나타낸다.8은 마스크 프레임(mask frame)이다.When such solder paste printing is performed continuously, as shown in Fig. 16, the solder paste 4 is attached to the back surface 5b of the mask 5 and laminated. Therefore, in general, in order to be able to remove the solder paste 4 attached to the rear surface 5b of the mask 5, a washing machine 9 as shown in Fig. 17 is provided in the printer. In this figure, reference numeral 10 denotes a cleaning rubber roller, 11 cleaning paper, 12 cleaning paper supply, and 13 cleaning paper take-up. 8 is a mask frame.

납땜 페이스트(4)를 제거하기 위한 이러한 세척기(9)의 동작은 다음의 방법으로 행해진다. 우선, 세척기(9)는 전체적으로 위치 I로 이동되고 세척 고무롤러(10)는 세척 페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)과 접촉할 때까지 위로 올려진다. 이런 상태를 유지하면서, 세척기(9)는 위치 Ⅱ를 향해 이동된다. 세척기(9)가 위치 Ⅱ로 이동되었을 때, 세척 고무롤러(10)는 낮추어지고, 그 다음에, 세척페이퍼 테이크-업(13)이 세척을 수행했던 세척 페이퍼(11)를 테이크-업하게 되고, 이에 따라, 새로운 세척 페이퍼(11)는 세척 페이퍼 공급부(12)로부터 공급된다. 계속해서, 세척 고무롤러(10)는 다시 올려지고 세척기(9)는 상기 설명된 바와 동일한 방법으로 위치 Ⅱ로부터 위치 Ⅰ을 향해 이동된다. 세척기(9)가 위치Ⅰ로 이동되면, 세척 고무롤러는 낮추어지고 세척기(9)는 초기 위치로 되돌아오며, 그 후에 납땜제거 동작이 완료된다.The operation of this cleaner 9 for removing the solder paste 4 is performed in the following manner. First, the washer 9 is moved to position I as a whole and the cleaning rubber roller 10 is lifted up until it comes in contact with the back surface 5b of the mask 5 via the cleaning paper 11. Keeping this state, the washer 9 is moved towards position II. When the washer 9 has been moved to position II, the cleaning rubber roller 10 is lowered, and then the cleaning paper take-up 13 takes up the cleaning paper 11 on which the cleaning was performed. Thus, fresh wash paper 11 is supplied from the wash paper supply 12. Subsequently, the washing rubber roller 10 is raised again and the washing machine 9 is moved from position II toward position I in the same manner as described above. When the washer 9 is moved to position I, the cleaning rubber roller is lowered and the washer 9 returns to the initial position, after which the desoldering operation is completed.

최근에는, 도 18에 예시된 바와 같이, 세척기(9)의 상기 설명된 구성에 더하여, 공기 제트 메카니즘(14)에 연결된 공기 제트부(15) 및 공기 흡입 메카니즘(16)에 연결된 공기 흡입부(17)를 갖는 세척 수단을 포함하는 세척기(30)가 제안되었다. 18로 도시된 것은 공기 흡입부(17)에 구비된 필터(filter)이다.Recently, as illustrated in FIG. 18, in addition to the above-described configuration of the washer 9, an air jet 15 connected to the air jet mechanism 14 and an air intake connected to the air intake mechanism 16 ( A washer 30 has been proposed comprising a washing means with 17). Shown at 18 is a filter provided in the air intake 17.

이러한 세척기(30)를 갖는 세척 동작에서는, 공기 제트부(15) 및 공기 흡입부(17)가 위치 Ⅰ로 이동되고, 공기 제트부(15)는 낮추어지고 공기 흡입부(17)는 올려져서 그 각 전단(front end)이 접촉부(20, 21)에서 마스크(5)와 접촉하게 된다.In this washing operation with the cleaner 30, the air jet 15 and the air intake 17 are moved to position I, the air jet 15 is lowered and the air intake 17 is raised to Each front end is brought into contact with the mask 5 at the contacts 20, 21.

공기 흡입부(17)의 접촉부(20, 21)는 세척 페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)에 접촉하여, 접촉부를 통해 흡입구(17a) 안으로 공기가 유입하는 것을 방지하고, 마스크(5)의 개구(6)를 통해서만 공기가 흡입구(17a)로 흡입되도록 한다. 이 상태를 유지하면서, 공기 제트부(15) 및 공기 흡입부(17)는 마스크(5)를 따라 위치Ⅱ를 향해 동시에 이동됨으로써, 개구(6) 내부 및 마스크(5)의 뒷면(5b)에 부착된 납땜 페이스트(4)를 제거한다. 즉, 공기 흡입 메카니즘(16)에 연결된 공기 흡입부(17)는 세척 페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)과 접촉하게 되고, 공기 흡입부(17)에 대응하여 공기 제트부(15)는 마스크(5)의 뒷면(5b)과 접촉하게 된다. 공기 제트부(15)로부터의 공기 제트 및 공기 흡입부(17)에 의한 흡입으로써, 마스크(5)의 개구(6) 내부 및 그 주위에 부착된 납땜 페이스트(4)는 분산되거나 마스크(5)의 뒷면(5b)을 향해 유출된다. 그리하여, 납땜 페이스트(4)의 분산된 파편은 세척 페이퍼(11)에 수집되고, 세척기(30)가 위치 Ⅰ로부터 위치 Ⅱ로 이동할 때에는, 뒷면(5b)에 부착된 납땜 페이스트(4)의 유출 파편이 접촉부(20)에서 세척 페이퍼(11)에 수집된다. 개구(6)에 부착된 납땜 페이스트(4)의 파편 제거가 이렇게 완료된 후, 공기 제트 메카니즘(14)에 의한 공기 제트 및 공기 흡입 메카니즘(16)에 의한 공기 흡입은 정지된다. 그 다음에, 공기 제트부(15)는 올려지고, 공기 흡입부(17)는 낮추어진다. 그 후에, 세척기는 그 초기 상태로 복귀하게 되어, 그 세척 동작이 완료된다.The contacts 20, 21 of the air intake 17 contact the backside 5b of the mask 5 via the cleaning paper 11 to prevent air from entering the inlet 17a through the contacts, Only through the opening 6 of the mask 5 is the air sucked into the inlet 17a. While maintaining this state, the air jet portion 15 and the air intake portion 17 are simultaneously moved along the mask 5 toward the position II, so that the inside of the opening 6 and the back surface 5b of the mask 5 are moved. The attached solder paste 4 is removed. That is, the air inlet 17 connected to the air intake mechanism 16 comes into contact with the rear surface 5b of the mask 5 through the cleaning paper 11 and corresponds to the air intake 17. 15 comes into contact with the back surface 5b of the mask 5. By inhalation by air jets and air intakes 17 from the air jets 15, the solder paste 4 adhered in and around the opening 6 of the mask 5 is dispersed or the mask 5. It flows toward the back side 5b of the. Thus, the dispersed debris of the solder paste 4 is collected in the washing paper 11, and when the cleaner 30 moves from position I to position II, the outflow debris of the solder paste 4 attached to the back surface 5b. It is collected in the washing paper 11 at this contact portion 20. After the debris removal of the solder paste 4 attached to the opening 6 is thus completed, the air intake by the air jet mechanism 14 and the air intake by the air intake mechanism 16 are stopped. Then, the air jet 15 is raised and the air intake 17 is lowered. Thereafter, the washing machine returns to its initial state, and the washing operation is completed.

공기 제트 및 공기 흡입의 단계를 포함하는 이러한 세척방법은, 도 17에 예시된 세척 방법에 비해, 마스크(5)의 개구 내부 및 그 내주면에 부착된 납땜 페이스트(4)가 제거될 수 있어서, 납땜 페이스트(4)에 대한 제거 효율을 향상시킬 수 있다고 하는 잇점을 가진다.This cleaning method comprising the step of air jet and air intake, in comparison with the cleaning method illustrated in FIG. 17, the solder paste 4 attached to the inside of the opening of the mask 5 and the inner circumferential surface thereof can be removed, so that soldering This has the advantage that the removal efficiency with respect to the paste 4 can be improved.

그러나, 상기 설명된 세탁기(30)에서, 마스크(5)의 뒷면(5b)에 접촉하는 공기 흡입부(17)의 접촉부(20, 21)는, 상기 설명된 바와 같이, 개구(6)를 통해서만 흡입구(17a)로의 공기 흡입이 이루어지게 하기 위하여, 단지 흡입구(17a)를 형성하기 위한 것이다. 이에 따라, 종래 기술에서는 마스크(5)의 뒷면(5b)이 접촉부(20, 21)에 의해 적극적으로 세척된다고 하는 기술적 개념이 없었다. 그러므로, 도 19A에 도시한 바와 같이, 세척기(30)의 이동방향에서 보이는 접촉부(20, 21)의 스팬(span)Ⅲ은 각각 1mm이하로 되도록 설계된다. 세척기(30)에서, 세척기(30)의 이동방향에서 보이는 흡입구(17a)의 스팬Ⅳ은 3mm이다. 도 19A, 19B 및 19C에서, 공기 제트부(15)는 도시되지 않는다.However, in the washing machine 30 described above, the contact portions 20, 21 of the air intake portion 17 contacting the rear surface 5b of the mask 5 are only through the opening 6, as described above. In order to allow air intake to the inlet 17a, only the inlet 17a is formed. Accordingly, in the prior art, there is no technical concept that the back surface 5b of the mask 5 is actively washed by the contact portions 20 and 21. Therefore, as shown in Fig. 19A, the span III of the contact portions 20, 21 seen in the moving direction of the washing machine 30 are each designed to be 1 mm or less. In the washing machine 30, the span IV of the suction port 17a seen in the moving direction of the washing machine 30 is 3 mm. 19A, 19B and 19C, the air jet 15 is not shown.

그러므로, 종래 기술의 구조의 세척기(30)에서는, 마스크(5)에 접촉하는 접촉부(20, 21)의 면적은 작다. 이에 다라, 도 19A 내지 도 19C에 도시된 바와 같이, 위치 Ⅰ로부터 위치 Ⅱ를 향해 공기 흡입부(17)가 이동함에 따라, 마스크(5)의 뒷면(5b)과 접촉부(20, 21) 사이에 끼여 있는 세척 페이퍼(11)의 이러한 부분(11a, 11b)의 표면 및 그 인접부분은 납땜 페이스트(4)의 덩어리로써 쉽게 덮여버린다. 이렇게 납땜 페이스트(4)로 덮여버린 세척 페이퍼(11)에서는, 마스크(5)의 뒷면(5b)에 부착된 납땜 페이스트(4)의 덩어리를 수집하는 것이 불가능하여, 세척 동작의 완료 후에도, 마스크(5)의 뒷면(5b) 및 개구(6)에 일부의 납땜 페이스트(4)가 제거되지 않은 채로 남아 있는 결과로 된다. 이것은 그 뒤의 프린팅 공정에서, 판누락 효과(off-plate effect) 및 납땜 볼 브릿지(solder ball bridge)를 포함하는 상기 언급된 프린팅 불량이 발생한다고 하는 문제점을 가진다. 도 19A∼19C에서는, 납땜 페이스트(4)가 더욱 정확하게 예시되어서, 납땜 페이스트(4)에 포함되는 구형상의 납땜 입자(spherical solder particle)가 확대된 크기로 도시되어 있다.Therefore, in the washer 30 of the prior art structure, the area of the contact parts 20 and 21 which contact the mask 5 is small. Accordingly, as shown in FIGS. 19A to 19C, as the air intake 17 moves from position I to position II, between the back surface 5b of the mask 5 and the contacts 20, 21. The surface of these portions 11a, 11b of the cleaning paper 11 sandwiched between and adjacent portions thereof is easily covered with a lump of solder paste 4. In the cleaning paper 11 covered with the solder paste 4 in this way, it is impossible to collect the lumps of the solder paste 4 adhered to the back surface 5b of the mask 5, and even after the cleaning operation is completed, the mask ( This results in some solder paste 4 remaining unremoved in the back surface 5b and opening 6 of 5). This has the problem that in the subsequent printing process, the above-mentioned printing defects occur, including an off-plate effect and a solder ball bridge. 19A to 19C, the solder paste 4 is more accurately illustrated, so that spherical solder particles contained in the solder paste 4 are shown in an enlarged size.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것이므로, 본 발명의 목적은 세척시작 위치로부터 세척 완료 위치까지의 전체 세척 작업 범위에 걸쳐, 높은 제거 효율로 납땜 페이스트와 같은 프린팅 재료를 세척할 수 있는 세척방법 및 장치를 제공하는 것이다.Since the present invention is intended to solve this problem, an object of the present invention is to provide a cleaning method capable of cleaning printing materials such as solder paste with high removal efficiency over the entire cleaning operation range from the cleaning start position to the cleaning completion position; To provide a device.

제1도는 본 발명의 제1실시예를 나타내는 세척장치의 구성을 도시하는 도면.1 is a diagram showing the configuration of a washing apparatus according to a first embodiment of the present invention.

제2a, 2b, 및 2c는 제1도에 도시된 세척장치에 의해 부착된 납땜 페이스트가 제거되는 과정을 순차적인 순서로 설명하는 도면.2a, 2b, and 2c illustrate a sequential order of removing the solder paste attached by the cleaning apparatus shown in FIG.

제3도는 제1도의 세척장치의 변형된 예의 구성을 도시하는 도면.3 shows a configuration of a modified example of the cleaning device of FIG.

제4도는 본 발명의 제2실시예를 나타내는 세척장치의 구성을 도시하는 도면.4 is a diagram showing the configuration of a washing apparatus according to a second embodiment of the present invention.

제5도는 제4도에 도시된 세척장치의 변형된 예의 구성을 도시하는 도면.FIG. 5 shows a configuration of a modified example of the washing apparatus shown in FIG.

제6도는 제4도에 도시된 세척장치의 세척 노즐(cleaning nozzle)의 투시도.6 is a perspective view of a cleaning nozzle of the cleaning device shown in FIG.

제7도는 제6도에 도시된 세척 노즐의 변형된 예를 도시하는 투시도.FIG. 7 is a perspective view showing a modified example of the cleaning nozzle shown in FIG.

제8도는 제6도에 도시된 세척 노즐의 다른 변형된 예를 도시하는 투시도.FIG. 8 is a perspective view showing another modified example of the cleaning nozzle shown in FIG.

제9도는 제6도에 도시된 세척 노즐의 또 다른 변형된 예를 도시하는 투시도.9 is a perspective view showing another modified example of the cleaning nozzle shown in FIG.

제10도는 제6도에 도시된 세척 노즐의 다른 변형된 예를 도시하는 투시도.FIG. 10 is a perspective view showing another modified example of the cleaning nozzle shown in FIG.

제11도는 제6도에서 라인 IX-IX을 따라 얻어진 단면도.FIG. 11 is a sectional view taken along the line IX-IX in FIG.

제12도는 제8도에서 라인 X-X을 따라 얻어진 단면도.FIG. 12 is a sectional view taken along the line X-X in FIG.

제13도는 주요 및 보조 제거부의 접촉 폭 및 제거 효율간의 관계를 도시하는 그래프.FIG. 13 is a graph showing the relationship between the contact width and the removal efficiency of primary and secondary removals.

제14도는 흡입구의 개구 폭, 흡입력 및 제거 효율간의 관계를 도시하는 그래프.14 is a graph showing the relationship between the opening width, suction force, and removal efficiency of the suction port.

제15도는 납땜 페이스트가 마스크를 사용해서 보드상에 프린트되는 방법을 도시하는 단면도.Fig. 15 is a sectional view showing how the solder paste is printed on the board using a mask.

제16도는 프린팅후 마스크가 보드로부터 이탈될 때 보이는 마스크 및 보드를 도시하는 도면.FIG. 16 shows the mask and board visible when the mask is detached from the board after printing.

제17도는 종래의 세척장치의 구성을 도시하는 도면.17 is a view showing the configuration of a conventional washing apparatus.

제18도는 종래의 다른 세척장치의 구성을 도시하는 도면.18 is a view showing the configuration of another conventional washing apparatus.

제19a, 19b, 및 19c는 제18도에 도시된 세척장치에 의해 부착된 납땜 페이스트가 제거되는 과정을 순차적인 순서로 설명하는 도면.19A, 19B, and 19C illustrate, in sequential order, the process of removing the solder paste attached by the cleaning apparatus shown in FIG.

상기 및 다른 특징을 수행함에 있어서, 본 발명의 제1태양에 따르면, 개구를 통해 프린트할 표면에 프린팅 재료를 프린트할 때 프린팅 마스크를 이용하여 프린팅 동작이 행해진 후에, 소정 패턴의 개구가 형성된 프린팅 마스크를 세척하는 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고,In carrying out the above and other features, according to the first aspect of the present invention, a printing mask in which an opening of a predetermined pattern is formed after a printing operation is performed using a printing mask when printing a printing material on a surface to be printed through the opening. There is provided a printing mask cleaning device for washing,

상기 프린팅 마스크 세척장치는,The printing mask cleaning device,

프린트할 표면에 접촉하는 프린팅 마스크의 뒷면에 대해 세척 동작 동안 세척시트를 통해 접촉한 상태로 이동 가능하고, 프린팅 마스크의 뒷면에 대향하여 열려 있는 흡입구를 가지며, 그 이동방향에 직교하는 방향으로 연장해 있는 흡입부와;It is movable in contact with the cleaning sheet during the cleaning operation with respect to the back side of the printing mask in contact with the surface to be printed, has an inlet opening open opposite the back side of the printing mask, and extends in a direction perpendicular to the direction of movement thereof. A suction part;

프린팅 마스크의 개구 내부에 부착된 프린팅 재료가 상기 뒷면을 향해 배출될 수 있도록 하기 위해, 상기 흡입부가 세척시트를 통해 프린팅 마스크의 뒷면에 접촉한 상태로 상기 개구 및 흡입부의 흡입구를 통해 가스를 흡입하는 진공 장치와,In order to allow the printing material attached to the inside of the opening of the printing mask to be discharged toward the back side, the suction part inhales gas through the opening of the opening and the suction part while the suction part contacts the back side of the printing mask through the cleaning sheet. With a vacuum device,

상기 흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구의 개구 뒤에 설치되고, 세척 동작 동안 프린팅 마스크의 귓면에 대하여 압력 접촉(pressure contact)한 상태로 흡입부의 이동방향으로 이동 가능하여, 상기 프린팅 마스크의 뒷면에 부착된 프린팅 재료 및, 흡입을 통해 개구로부터 배출된 프린팅 재료 덩어리를 세척시트에 닦아내는 주요 제거부를 포함한다.A printing attached to the back side of the printing mask, which is installed behind the opening of the suction port visible in the direction of movement of the suction part, and is movable in the direction of movement of the suction part in a pressure contact with respect to the rear surface of the printing mask during the cleaning operation. The material and a main removal portion for wiping the cleaning sheet of mass of printing material discharged from the opening through suction.

본 발명의 제2특징에 따르면, 제1특징에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 장치의 이동방향에서 측정되는 주요 제거부의 스팬(span)은 5mm 이상이다.According to a second aspect of the invention, there is provided a printing mask cleaning apparatus as described in the first aspect, wherein the span of the main removal portion measured in the direction of movement of the apparatus is at least 5 mm.

본 발명의 제3특징에 따르면, 제1특징 또는 제2특징에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 상기 주요 제거부는 흡입부와 일체형으로 형성된다.According to a third aspect of the invention, there is provided a printing mask cleaning apparatus as described in the first or second aspect, wherein the main removal portion is formed integrally with the suction portion.

본 발명의 제4특징에 따르면, 제1특징 내지 제3특징 중 어느 하나에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구의 개구 앞에 설치되고, 세척 동작 동안 프린팅 마스크의 뒷면에 대하여 압력 접촉한 상태로 흡입부의 이동방향으로 이동 가능하여, 프린팅 마스크의 뒷면에 부착된 프린팅 재료를 세척시트에 닦아내는 보조 제거부를 더 포함한다.According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a printing mask cleaning apparatus as described in any one of the first to third features, wherein the printing mask is installed in front of the opening of the suction port visible in the moving direction of the suction portion, and the printing mask during the cleaning operation. It is further movable in the direction of movement of the suction portion in a pressure contact with respect to the back of the, further comprises an auxiliary removal unit for wiping the printing material attached to the back of the printing mask on the cleaning sheet.

본 발명의 제5특징에 따르면, 제4특징에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 흡입부의 이동방향에서 보이는 주요 제거부의 스팬(span)이 보조 제거부의 그것보다 더 크다.According to a fifth aspect of the invention, there is provided a printing mask cleaning apparatus as described in the fourth aspect, wherein the span of the main removal portion seen in the direction of movement of the suction portion is larger than that of the auxiliary removal portion.

본 발명의 제6특징에 따르면, 제4특징 또는 제5특징에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 흡입부의 이동방향에서 보이는 주요 제거부 및 보조 제거부의 결합 스팬(combined span)이 5 mm이상이다.According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a printing mask cleaning apparatus as described in the fourth or fifth aspect, wherein a combined span of the main removal portion and the auxiliary removal portion visible in the direction of movement of the suction portion is provided. It is more than 5mm.

본 발명의 제7특징에 따르면, 제4특징 내지 제6특징 중 어느 하나에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 주요 제거부 및 보조 제거부가 흡입부와 일체형으로 형성된다.According to a seventh aspect of the present invention, there is provided the printing mask cleaning apparatus described in any one of the fourth to sixth aspects, wherein the main removal portion and the auxiliary removal portion are integrally formed with the suction portion.

본 발명의 제8특징에 따르면, 제1특징 내지 제7특징 중 어느 하나에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 흡입부의 흡입구의 개구 면적은 흡입하에서 흡입구를 통과하는 가스의 유량(flow rate)과 흐름 속도(flow velocity)를 곱한 값이 최대로 되는 면적이다.According to an eighth aspect of the invention, there is provided a printing mask cleaning apparatus as described in any one of the first to seventh aspects, wherein the opening area of the inlet of the inlet is the flow rate of gas passing through the inlet under inhalation. The area obtained by multiplying the rate by the flow velocity is maximum.

본 발명의 제9특징에 따르면, 제1특징 내지 제8특징 중 어느 하나에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 흡입부는 흡입부의 이동방향에 배열된 복수의 흡입구와, 흡입부의 이동방향에서 보이는 각 흡입구의 개구 앞뒤에 구비된 제거부를 포함한다.According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a printing mask cleaning apparatus as described in any one of the first to eighth aspects, wherein the suction portion includes a plurality of suction ports arranged in a moving direction of the suction portion, and a moving direction of the suction portion. It includes a removal portion provided before and after the opening of each suction port shown in the.

본 발명의 제10특징에 따르면, 제1특징 내지 제9특징 중 어느 하나에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 흡입부의 흡입구는 흡입부의 길이를 따라 엇갈리게(staggered) 배열되고, 제거부는 흡입부의 이동방향에서 보이는 각 흡입구의 개구 앞뒤에 설치된다.According to a tenth aspect of the present invention, there is provided a printing mask cleaning apparatus as described in any one of the first to ninth aspects, wherein the intake port of the intake section is staggered along the length of the intake section, and the removal section It is provided before and after the opening of each suction port as seen in the moving direction of the suction part.

본 발명의 제11특징에 따르면, 제1특징 내지 제10특징 중 어느 하나에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 세척시트를 통해 프린팅 마스크의 뒷면에 접촉하는 흡입부의 표면은 흡입부의 길이를 따라 볼록 형태로 구부러져 있다.According to an eleventh aspect of the present invention, there is provided a printing mask cleaning apparatus as described in any one of the first to tenth aspects, wherein the surface of the suction portion contacting the back side of the printing mask through the cleaning sheet is the length of the suction portion. Bent in convex form along

본 발명의 제12특징에 따르면, 제1특징 내지 제11특징 중 어느 하나에서 설명된 프린팅 마스크 세척장치가 제공되고, 여기서, 세척시트는 흡입부의 이동에 대하여 상대적으로 이동 가능하다.According to a twelfth aspect of the present invention, there is provided a printing mask cleaning apparatus described in any one of the first to eleventh features, wherein the cleaning sheet is relatively movable relative to the movement of the suction portion.

본 발명의 제13특징에 따르면, 제4특징 내지 제12특징 중 어느 하나에서 설명된 프린팅 마스크 장치가 제공되고, 여기서, 프린팅 마스크의 뒷면에서 흡입부의 왕복 이동을 위하여, 주요 제거부 및 보조 제거부는 흡입부의 이동방향을 따라 대략 동일한 길이를 갖도록 형성되고, 보조 제거부는 프린팅 마스크의 뒷면에 부착된 프린팅 재료 및 흡입을 통해 개구로부터 배출된 프린팅 재료 덩어리를 세척시트에 닦아내는 주요 제거부와 거의 동일한 기능을 수행한다.According to a thirteenth aspect of the present invention, there is provided a printing mask device as described in any one of the fourth to twelfth features, wherein the main removal portion and the auxiliary removal portion are provided for the reciprocating movement of the suction portion on the back side of the printing mask. It is formed to have approximately the same length along the moving direction of the suction part, and the auxiliary removing part has almost the same function as the main removing part for wiping the cleaning sheet of printing material attached to the back side of the printing mask and the printing material mass discharged from the opening through suction. Do this.

본 발명의 제14특징에 따르면, 개구를 통해 프린트할 표면에 프린팅 재료를 프린트할 때 프린팅 마스크를 이용하여 프린팅 동작이 수행된 후에, 소정 패턴의 개구가 형성된 프린팅 마스크를 세척하는 프린팅 마스크 세척방법이 제공되고, 프린트할 표면에 접촉하는 프린팅 마스크의 뒷면에 대해 세척 동작 동안 세척시트를 통해 접촉한 상태로 이동 가능하고, 프린팅 마스크의 뒷면에 대향하여 열려 있는 흡입구를 가지며, 그 이동방향에 직교하는 방향으로 연장해 있는 흡입부와;According to a fourteenth aspect of the present invention, there is provided a printing mask cleaning method for cleaning a printing mask in which an opening of a predetermined pattern is formed after a printing operation is performed by using a printing mask when printing a printing material on a surface to be printed through the opening. Provided, moveable in contact with the cleaning sheet during the cleaning operation with respect to the back side of the printing mask in contact with the surface to be printed, having an inlet opening opposite the back side of the printing mask, and perpendicular to the direction of movement thereof A suction unit extending in the range of the suction unit;

프린팅 마스크의 개구 내부에 부착된 프린팅 재료가 상기 뒷면을 향해 배출될 수 있도록 하기 위해, 상기 흡입부가 세척시트를 통해 프린팅 마스크의 뒷면에 접촉한 상태로 상기 개구 및 흡입부의 흡입구를 통해 가스를 흡입하는 진공 장치를 포함하는 프린팅 마스크 세척장치를 이용하여 세척 동작이 수행되며,In order to allow the printing material attached to the inside of the opening of the printing mask to be discharged toward the back side, the suction part inhales gas through the opening of the opening and the suction part while the suction part contacts the back side of the printing mask through the cleaning sheet. The cleaning operation is performed using a printing mask cleaning device including a vacuum device,

상기 방법은,The method,

흡입에 의해 프린팅 마스크의 개구 내부에 부착된 프린팅 재료가 뒷면에 배Printing material attached inside the opening of the printing mask by suction is placed on the back

출되도록 한 후에,After letting it go out,

흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구의 개구 뒤에 배치되고, 세척 동작동안 프린팅 마스크의 뒷면에 대하여 압력 접촉한 상태로 흡입부의 이동방향으로 이동 가능한 주요 제거부에 의해, 프린팅 마스크의 뒷면에 부착된 프린팅 재료 및, 흡입에 의해 개구로부터 배출된 프린팅 재료를 세척시트에 닦아내는 것을 포함한다.A printing material attached to the back side of the printing mask, by a main removal portion disposed behind the opening of the inlet port visible in the direction of movement of the suction part and movable in the direction of movement of the suction part in pressure contact with respect to the back side of the printing mask during the cleaning operation; And wiping the printing material discharged from the opening by suction into the cleaning sheet.

본 발명의 제15특징에 따르면, 제14특징에서 설명된 프린팅 마스크 세척방법이 제공되고, 여기서, 프린팅 마스크의 개구 내부에 부착된 프린팅 재료가 프린팅 마스크의 뒷면으로 배출되기 전에, 흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구의 개구앞에 설치되고, 세척 동작 동안 프린팅 마스크의 뒷면에 대하여 압력 접촉한 상태로 흡입부의 이동방향으로 이동 가능한 보조 제거부에 의하여, 뒷면에 부착된 프린팅 재료는 세척시트에 닦아내어진다.According to a fifteenth aspect of the present invention, there is provided the printing mask cleaning method described in the fourteenth aspect, wherein, before the printing material attached to the inside of the opening of the printing mask is discharged to the back side of the printing mask, The printing material attached to the backside is wiped off the cleaning sheet by an auxiliary removal portion which is installed in front of the opening of the visible suction port and which is movable in the direction of movement of the suction portion in pressure contact with respect to the backside of the printing mask during the cleaning operation.

본 발명의 제16특징에 따르면, 제15특징에서 설명된 프린팅 마스크 세척방법이 제공되고, 여기서, 흡입부의 이동방향에서 보이는 주요 제거부의 스팬이 흡입부의 이동방향에서 보이는 보조 제거부의 길이보다 더 크다.According to a sixteenth aspect of the present invention, there is provided a printing mask cleaning method described in the fifteenth aspect, wherein the span of the main removal portion seen in the direction of movement of the suction portion is greater than the length of the auxiliary removal portion seen in the direction of movement of the suction portion. Big.

본 발명의 제17특징에 따르면, 제14특징 내지 제16특징에서 설명된 프린팅 마스크 세척방법이 제공되고, 여기서, 흡입부는 흡입부의 이동방향에 배열된 복수의 흡입구와, 흡입구의 이동방향에서 보이는 각 흡입구의 개구 앞뒤에 설치된 제거부를 포한한다.According to a seventeenth aspect of the present invention, there is provided a printing mask cleaning method described in the fourteenth to sixteenth aspects, wherein the suction portion includes a plurality of suction ports arranged in the moving direction of the suction portion, and angles seen in the moving direction of the suction opening. Include removals installed before and after the opening of the inlet.

본 발명의 제18특징에 따르면, 제14특징 내지 제17특징에서 설명된 프린팅 마스크 방법이 제공되고, 여기서, 흡입부의 흡입구는 흡입부의 길이를 따라 엇갈리게 배열되고, 제거부는 흡입부의 이동방향에서 보이는 각 흡입구의 개구 앞뒤에 설치된다.According to an eighteenth aspect of the present invention, there is provided a printing mask method as described in the fourteenth to seventeenth aspects, wherein the intake portions of the intake portion are staggered along the length of the intake portion, and the removal portion is viewed from the direction of movement of the intake portion. It is installed before and after the opening of the suction port.

본 발명의 상기 및 다른 특징은 첨부 도면을 참고로 양호한 실시예와 결부시켜 얻어진 다음의 설명으로부터 명백해진다.These and other features of the present invention will become apparent from the following description taken in conjunction with the preferred embodiments with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 설명을 진행하기 전에, 첨부한 도면 전체에 걸쳐 동일한 부품은 동일한 도면 번호로 나타내어진다.Before proceeding with the description of the present invention, like parts are designated by like reference numerals throughout the accompanying drawings.

이제, 본 발명의 일실시예로서, 프린팅 마스크를 세척하는 세척장치 및 방법이 도면을 참고로 설명된다. 도면에서, 동일하거나 비슷한 기능을 수행하는 소자 부품은 같은 도면 번호로 나타내어 있다. 상기 세척방법은 상기 세척장치에 의해 행해진다. 각종 실시예에서, 프린트 기판은 하나의 예(example)로서 프린트할 표면으로 사용되지만, 거기에 제한되지 않는다. 이와 유사하게, 프린팅 재료러서 납땜 페이스트가 예시되나, 프린팅 재료는 그것으로 제한되지 않는다. 전도체 페이스트 및 절연체 페이스트와 같은 각종의 다른 프린팅 재료가 사용될 수 있다.Now, as an embodiment of the present invention, a cleaning apparatus and method for cleaning a printing mask is described with reference to the drawings. In the drawings, device components that perform the same or similar functions are denoted by the same reference numerals. The washing method is performed by the washing apparatus. In various embodiments, a printed board is used as the surface to print as one example, but is not limited thereto. Similarly, soldering paste is illustrated as the printing material, but the printing material is not limited thereto. Various other printing materials can be used, such as conductor pastes and insulator pastes.

각 실시예에서 사요된 프린팅 마스크(5)는 스테인레스 강철로 제조되고 0.14mm의 두께를 갖는다. 마스크(5)에 형성된 각 개구(6)는 0.15mm의 폭 및 1.4mm의 길이를 갖는 긴 슬롯 형태를 갖는다. 납땜 페이스트(4)에 포함된 납땜 파티클(solder particle)은 10 내지 30㎛의 파티클 크기(particle size)를 갖는다. 세척시트의 한 예로서, 세척 페이퍼(11)는 0.5mm 내지 1mm의 두께를 갖는 솜으로된 부직포(nonwoven cotton fabric)이다.The printing mask 5 used in each embodiment is made of stainless steel and has a thickness of 0.14 mm. Each opening 6 formed in the mask 5 has a long slot form having a width of 0.15 mm and a length of 1.4 mm. Solder particles included in the solder paste 4 have a particle size of 10 to 30 μm. As an example of the cleaning sheet, the cleaning paper 11 is a nonwoven cotton fabric having a thickness of 0.5 mm to 1 mm.

[제 1 실시예][First Embodiment]

이미 언급된 바와 같이, 종래 기술의 세척기(30)의 공기 흡입부(17)의 접촉부(20, 21)는 마스크(5)의 뒷면(5b)이 적극적으로 세척된다고 하는 기술적 개념을 포함하지 않는다. 제1실시예의 세척장치(101)에서는, 도 1에 도시된 바와 같이, 세척장치(101)의 이동방향 V에서 보이는 공기 흡입부(17)의 흡입구 뒤에, 적극적으로 마스크(5)의 뒷면(5b)을 세척하기 위한 주요 제거부(111)가 공기 흡입부(17)와는 별도로 구비된다.As already mentioned, the contacts 20, 21 of the air intake 17 of the washer 30 of the prior art do not include the technical concept that the backside 5b of the mask 5 is actively cleaned. In the washing apparatus 101 of the first embodiment, as shown in FIG. 1, behind the inlet of the air intake 17 seen in the moving direction V of the washing apparatus 101, the back surface 5b of the mask 5 is actively. ) Is provided separately from the air inlet 17.

주요 제거부(111)는 이동방향 V에 대해 직교하는 방향으로 연장해 있는 공기 흡입부(17)의 길이를 따라 연장해 있는 기다란 판 형태의 부재이고, 공기 흡입부(17)의 접촉부(20, 21)와 같은 재료로 제도된다. 주요 제거부(111)는 공기 흡입 메카니즘(16), 공기 흡입부(17), 세척 페이퍼 공급부(12), 세척 페이퍼 테이크-업(13) 등을 이동시키는 가동 캐리지(121)에 설치될 수 있다. 그러므로, 마스크(5)의 뒷면(5b)에 대해 눌러지고, 가공 캐리지9121)가, 구동 유니트(122) 또는 예를 들어 모터에 의해 이동방향 V로 이동하도록 구동될 때, 공기 흡입부(17)등과 함께 이동방향 V로 이동된다.The main removing part 111 is an elongate plate-like member extending along the length of the air intake 17 extending in the direction orthogonal to the moving direction V, and the contact portions 20, 21 of the air intake 17. It is drafted with the same material. The main removal unit 111 may be installed in the movable carriage 121 for moving the air suction mechanism 16, the air suction unit 17, the cleaning paper supply unit 12, the cleaning paper take-up 13, and the like. . Therefore, when the processing carriage 9121 is pressed against the rear surface 5b of the mask 5 and driven to move in the moving direction V by the driving unit 122 or a motor, for example, the air intake 17 Together with the movement direction V.

이동방향 V에서 보이는 주요 제거부(111)의 접촉부(111a)의 스팬(span)은, 도 13에 예시된 바와 같이, 세척 페이퍼(11)에 의해 마스크(5)의 뒷면(5b)으로부터 납땜 페이스트(4)를 제거함에 있어서의 90% 이상의 제거 효율이 달성할 목표일 때에, 5 mm이상이다. 도 13으로부터 명백하듯이, 스팬이 약 30mm보다 더 크면, 제거효율의 개선은 거의 기대할 수 없다. 그러므로 스팬이 최대로 약 40 mm까지 인 것이 바람직하다. 도 13의 제거 효율 측정과 관련하여, 공기 흡입부(17)가 공기 흡입을 행하면서, 주요 제거부(111)는 위치Ⅰ(이하에서는 "세척 시작 위치"라 함)로부터 위치Ⅱ(이하에서는 "세척 완료 위치"라 함)까지 마스크(5)의 뒷면(5b) 상에서 편도이동한다고 가정된다.The span of the contact 111a of the main removal portion 111 seen in the moving direction V is solder paste from the back surface 5b of the mask 5 by the cleaning paper 11, as illustrated in FIG. When removal efficiency (90% or more in removing (4)) is a goal to be achieved, it is 5 mm or more. As is apparent from Fig. 13, when the span is larger than about 30 mm, improvement in removal efficiency is hardly expected. Therefore, it is desirable that the span be up to about 40 mm. In connection with the removal efficiency measurement of FIG. 13, while the air intake unit 17 performs air intake, the main removal unit 111 is moved from position I (hereinafter referred to as "cleaning start position") to position II (hereafter " It is assumed to be one-way moved on the back side 5b of the mask 5 up to " cleaning completed position "

제1실시예의 세척장치(101)에서는, 종래 기술에서 사용된 바와 같은 공기 제트부(15)가 구비되어 있지 않다.In the washing apparatus 101 of the first embodiment, the air jet part 15 as used in the prior art is not provided.

제1실시예의 세척장치(101)의 동작이 하기에서 설명된다.The operation of the washing apparatus 101 of the first embodiment is described below.

납땜 페이스트를 이용하여 프린트 기판 위에 소망된 패턴으로 납땜 페이스트 프린팅이 이루어진 후, 세척장치(101) 전체는 세척 시작 위치 Ⅰ로 이동한다. 공기 흡입부(17) 및 주요 제거부(111)는 프린팅 마스크(5)를 향해 상승하고, 세척 페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)에 압력 접촉한다. 그 다음에, 공기 흡입 메카니즘(16)은 마스크(5)의 개구(6)를 통해 공기 흡입을 시작한다. 이 상태를 유지하면서, 세척 장치(101)가 설치된 가동 캐리지(121)는 구동 유니트(122)에 의해 작동되어 세척 완료 위치 Ⅱ를 향해 이동방향 V으로 이동하고, 마스크(5)의 개구(6) 내부 및 뒷면(5b)에 부착된 납땜 페이스트(4)를 제거한다.After the solder paste printing is performed on the printed board in the desired pattern using the solder paste, the entire cleaning apparatus 101 moves to the cleaning start position I. The air intake 17 and main remover 111 rise toward the printing mask 5 and are in pressure contact with the back surface 5b of the mask 5 via the cleaning paper 11. The air intake mechanism 16 then starts air intake through the opening 6 of the mask 5. While maintaining this state, the movable carriage 121 in which the cleaning device 101 is installed is operated by the drive unit 122 to move in the moving direction V toward the cleaning completed position II, and the opening 6 of the mask 5 is provided. The solder paste 4 attached to the inner and rear surfaces 5b is removed.

즉, 도 2A에 도시된 바와 같이, 상기 설명된 공기 흡입에 의해 마스크(5)의 개구(6) 내부로부터 마스크(5)의 뒷면(5b)을 향해 배출된 납땜 페이스트(4)와, 뒷면(5b)에 부착된 납땜 페이스트(4)는, 공기 흡입부(17)의 접촉부(20)와 뒷면(5b)사이에 위치되는 세척 페이퍼(11)의 부분 Ⅵ에 부착할 것이다. 그러나, 이미 언급 했듯이, 이동방향 Ⅴ에서 보이는 접촉부(20)의 스팬은 1 mm이므로, 세척 페이퍼(11)의 부분Ⅵ은 납땜 페이스트(4)로 포함된 상태로 되어서, 도 2B에 도시했듯이, 닦아 내지 않은 납땜 페이스트(112) 찌꺼기가 생긴다.That is, as shown in Fig. 2A, the solder paste 4 discharged from the inside of the opening 6 of the mask 5 toward the rear surface 5b of the mask 5 by the above described air suction, and the rear surface ( The solder paste 4 attached to 5b) will attach to the part VI of the cleaning paper 11 located between the contact 20 and the backside 5b of the air intake 17. However, as already mentioned, since the span of the contact portion 20 seen in the moving direction V is 1 mm, the part VI of the cleaning paper 11 is contained in the solder paste 4, so as shown in FIG. Undesired solder paste 112 residue is produced.

그러나, 주요 제거부(111)가 이동방향 Ⅴ에서 보이는 공기 흡입부(17)의 공기 흡입구(17a) 뒤에 구비되기 때문에, 도 2C에 도시된 바와 같이, 주요 제거부(111)와 마스크(5)의 뒷면(5b) 사이에 위치되는 세척 페이퍼(11)의 부분 Ⅶ에 의해 닦아내지 않은 납땜 페이스트(112)는 다시 한번 닦아내어진다. 본 실시에의 세척장치를 개선시키기 위해 행해진 테스트 결과에 의해, 공기 흡입부(17)의 공기 흡입구(17a)의 단부(edge)(17b)로부터 이동방향 Ⅴ에 대한 반대 방향으로 약 2 mm의 거리내에 위치하는 영역은 세척 페이퍼(11)가 납땜 페이스트(4)로써 쉽게 포화되는 영역이고, 상기 단부(17b)로부터 이동방향에 반대로 2 mm 이상 떨어져 있는 영역은 납땜 페이스트(4)를 닦아내기에 충분한 영역이라는 것이 확인된다. 그러므로, 제1실시예에서는, 이동방향 Ⅴ에서 보이는 주요 제거부(111)의 스팬이 상기 언급했듯이 적어도 5 mm로 되도록 설계된다. 주요 제거부(111)의 스팬이 15 mm 내지 25 mm인 경우에, 주요 제거부(111)를 구비하지 않으며 공기 흡입부(17)의 접촉부(20)의 스팬이 2 mm인 종래 기술의 장치에 비해, 제거 효율에 있어서 약 10% 개선될 수 있다.However, since the main removing section 111 is provided behind the air inlet 17a of the air intake section 17 seen in the moving direction V, the main removing section 111 and the mask 5 as shown in Fig. 2C. The solder paste 112, which has not been wiped out by the portion 의 of the cleaning paper 11 located between the back surfaces 5b, is wiped again. According to the test results performed to improve the washing apparatus of the present embodiment, a distance of about 2 mm from the edge 17b of the air inlet 17a of the air inlet 17 in the direction opposite to the moving direction V The area located within is the area where the cleaning paper 11 is easily saturated with the solder paste 4, and the area away from the end 17b by at least 2 mm opposite the moving direction is sufficient to wipe off the solder paste 4. Is confirmed. Therefore, in the first embodiment, the span of the main removing portion 111 seen in the moving direction V is designed to be at least 5 mm as mentioned above. In the case of the span of the main removal section 111 of 15 mm to 25 mm, the device of the prior art does not have the main removal section 111 and the span of the contact section 20 of the air intake section 17 is 2 mm. In comparison, about 10% improvement in removal efficiency can be achieved.

세척장치(101)가 세척 완료 위치 Ⅱ로 이동하면, 공기 흡입 메카니즘(16)에의한 공기 흡입이 정지되고, 공기 흡입부(17) 및 주요 제거부(111)는 낮추어진다. 이 때, 모터(123)가 구동되어 세척 페이퍼 테이크-업(13)을 작동시켜 더러운 세척페이퍼를 감도록 하고, 새로운 세척 페이퍼가 세척 페이퍼 공급부(12)로부터 공급된다. 계속해서, 세척장치(101)는 구동 유니트(122)에 의해 세척 시작 위치 Ⅰ로 복귀하게 되고, 마스크(5)에 대한 세척 동작은 완료된다.When the washing apparatus 101 moves to the washing completed position II, the air suction by the air suction mechanism 16 is stopped, and the air suction unit 17 and the main removing unit 111 are lowered. At this time, the motor 123 is driven to operate the cleaning paper take-up 13 to wind up the dirty cleaning paper, and new cleaning paper is supplied from the cleaning paper supply 12. Subsequently, the cleaning device 101 is returned to the cleaning start position I by the drive unit 122, and the cleaning operation on the mask 5 is completed.

위와 같이, 제1실시예에 따른 세척장치(101)에서는, 여기에 설치된 주요 제거부(101)에 의해, 세척 시작 위치 Ⅰ로부터 세척 완료 위치 Ⅱ까지의 전범위에 걸쳐 높은 제거율로써 마스크(5) 상에 밀착된 납땜 페이스트(4)를 제거할 수 있다.As described above, in the washing apparatus 101 according to the first embodiment, the mask 5 has a high removal rate over the entire range from the washing start position I to the washing completion position II by the main removing unit 101 installed therein. The solder paste 4 in close contact with the phase can be removed.

다음으로, 세척장치(102)의 더 양호한 형태가 도 3에 예시되어 있으며, 여기서, 보조 제거부(113)는 세척장치(101)의 이동방향 V에서 보이는 공기 흡입부(17)의 흡입구(17a) 앞에 구비되어 있다. 주요 제거부(111)와 마찬가지로, 보조 제거부(113)는 이동방향 V에 대해 직교하는 방향으로 연장해 있는 공기 흡입부(17)의 길이를 따라 연장해 있는 기다란 판형 부재(elongate plate-like member)이고, 가동 캐리지(121) 상에 설치되어 있으며, 주요 제거부(111)와 동일한 재료로 제조된다. 그러므로, 마스크(5)의 뒷면(5b)을 세척하는 공정 동안, 보조 제거부(113)의 접촉부(113a)는 세척 페이퍼(11)를 통해 뒷면(5b)에 대해 눌러지고, 가동 캐리지(121)가 이동방향 V으로 이동함에 따라 공기 흡입부(17) 등과 함께 이동방향 V으로 이동 한다.Next, a better form of the washing apparatus 102 is illustrated in FIG. 3, where the auxiliary removing portion 113 is an inlet 17a of the air intake portion 17 seen in the moving direction V of the washing apparatus 101. ) In front of it. Like the main removal section 111, the secondary removal section 113 is an elongate plate-like member extending along the length of the air intake section 17 extending in the direction orthogonal to the moving direction V. It is provided on the movable carriage 121, and is manufactured from the same material as the main removal part 111. As shown in FIG. Therefore, during the process of cleaning the back surface 5b of the mask 5, the contact portion 113a of the auxiliary removing portion 113 is pressed against the back surface 5b through the cleaning paper 11, and the movable carriage 121 is pressed. Moves in the movement direction V together with the air intake unit 17 as the movement in the movement direction V.

이동방향 V에서 보이는 보조 제거부(113)의 접촉부(113a)의 스팬은 도 3에 도시된 바와 같이 이동방향 Ⅴ에서 보이는 주요 제거부(111)의 접촉부(111a)의 그것보다 더 짧아지게 할 수 있다. 그에 대한 이유는 보조 제거부(113)가 이동방향 Ⅴ에서 보이는 흡입구(17a)의 앞에 배치되기 때문에, 마스크(5)의 개구(6)로부터 배출된 납땜 페이스트(4)를 수집하지 않고, 마스크(5)의 뒷면(5b)에 부착된 납땜 페이스트(4)만을 세척 페이퍼(11)에 수집하기 위한 것이기 때문이다.The span of the contact portion 113a of the auxiliary removing portion 113 seen in the moving direction V can be made shorter than that of the contact portion 111a of the main removing portion 111 seen in the moving direction V as shown in FIG. 3. have. The reason for this is that the auxiliary removing part 113 is disposed in front of the suction port 17a seen in the moving direction V, so that the solder paste 4 discharged from the opening 6 of the mask 5 is not collected and the mask ( This is because only the solder paste 4 attached to the back surface 5b of 5) is collected in the cleaning paper 11.

이와 같이, 보조 제거부(113) 및 주요 제거부(111) 양자가 설치되는 경우에, 보조 제거부(113)의 접촉부(113a)의 스팬은 이동방향 Ⅴ에서 보이는 주요 제거부(111)의 접촉부(111a)의 그것보다 더 짧아질 수 있다. 또한, 이미 언급된 바와 같이, 주요 제거부(111)의 스팬은 2 mm이상이어야 할 필요가 있다. 그러므로, 주요 제거부(111) 및 보조 제거부(113)의 결합 스팬(combined span)은 적어도 5 mm일 수 있다. 예를 들어, 주요 제거부(111)의 스팬은 3 mm이상이고, 보조 제거부(113)의 스팬은 2 mm이상으로 할 수 있다. 세척장치(102)가 세척 시작 위치 Ⅰ 및 세척 완료 위치 Ⅱ 사이에서 왕복하는 경우에는, 주요 제거부(111)와 보조 제거부(113)를 서로 구별하는 것은 더 이상 필요치 않으므로, 주요 제거부(111) 및 보조 제거부(113)는 동일한 스팬으로 할 수 있다.As such, when both the auxiliary removing unit 113 and the main removing unit 111 are installed, the span of the contact portion 113a of the auxiliary removing unit 113 is the contact portion of the main removing unit 111 seen in the moving direction V. FIG. It can be shorter than that of 111a. Also, as already mentioned, the span of the main removal section 111 needs to be at least 2 mm. Therefore, the combined span of the primary removal portion 111 and the secondary removal portion 113 may be at least 5 mm. For example, the span of the main removal unit 111 may be 3 mm or more, and the span of the auxiliary removal unit 113 may be 2 mm or more. In the case where the washing apparatus 102 reciprocates between the washing start position I and the washing completion position II, it is no longer necessary to distinguish the main removing portion 111 and the auxiliary removing portion 113 from each other, so that the main removing portion 111 And the auxiliary removing unit 113 can be the same span.

이와 같이, 주요 제거부(111)에 더하여 보조 제거부9113)를 이렇게 설치함으로써, 마스크(5)의 뒷면(5b)에 부착한 납땜 페이스트(4)의 일부을 수집하는 것이 가능하여, 제거 효율이 증대된다.In this manner, by providing the auxiliary removing unit 9113 in addition to the main removing unit 111, it is possible to collect a part of the solder paste 4 attached to the rear surface 5b of the mask 5, thereby increasing the removal efficiency. do.

[제 2 실시예]Second Embodiment

제1실시예의 상기 설명된 세척장치(101, 102)에서는, 주요 제거부(111), 또는 주요 제거부(111) 및 보조 제거부(113)가 공기 흡입부(17)와는 별도로 설치된다. 제2실시예의 세척장치는, 공기 흡입부(17)와 일체형으로 형성된 주요 제거부(111)를 갖거나 공기 흡입부(17)와 일체형으로 형성된 주요 제거부(111) 및 보조제거부(113)의 조합(combination)을 갖는 세척 노즐(cleaning nozzle)(131)을 포함한다. 도 4에 도시된 세척장치(103)는 세척 시작 위치 Ⅰ 및 세척 완료 위치 Ⅱ 사이에서 왕복 이동하는 형태이다. 그러므로, 세척 노즐(131)은 주요 제거부(111) 및 보조 제거부(113)가 공기 흡입부(17)와 일체형으로 형성되는 형태이고, 이에 따라, 주요 제거부(111) 및 보조 제거부(113)는 세척장치의 이동방향에서 보이는 동일한 스팬이다.In the above-described washing apparatuses 101 and 102 of the first embodiment, the main removing section 111, or the main removing section 111 and the auxiliary removing section 113 are provided separately from the air intake section 17. As shown in FIG. The cleaning device of the second embodiment has a main removal part 111 integrally formed with the air intake part 17 or a main removal part 111 and the auxiliary removal part 113 formed integrally with the air intake part 17. And a cleaning nozzle 131 with a combination. The washing device 103 shown in FIG. 4 is in the form of reciprocating between the washing start position I and the washing completion position II. Therefore, the cleaning nozzle 131 has a form in which the main removing unit 111 and the auxiliary removing unit 113 are integrally formed with the air suction unit 17, and thus, the main removing unit 111 and the auxiliary removing unit ( 113 is the same span seen in the direction of movement of the cleaning device.

이러한 세척 노즐(131)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 왕복 이동방향 Ⅷ에 직교하는 마스크(5)의 폭 방향에 있으며, 마스크(5)의 폭과 대략 동일한 길이로써 연장해 있는 기다란 판형 부재이고, 그 중앙부에는 세척 노즐(131)의 길이를 따라 연장해 있는 평면에 기다란 슬롯 형상의 흡입구(132)가 형성되어 있다. 흡입구(132)는 공기 흡입 메카니즘(16)에 연결되어 있다. 이러한 구조의 세척 노즐(131)에서는, 세척장치(103)의 왕복 이동방향 Ⅷ에서 흡입구(132)의 앞뒤에 위치하는 접촉부(133 및 134)가 주요 제거부(111) 및 보조 제거부(113)에 각각 대응한다. 왕복 이동방향 Ⅷ에서 보이는 접촉부(133 및 134)의 결합 스팬(combined span)은 이미 언급했듯이 적어도 5 mm로 되도록 설정될 수 있다.This cleaning nozzle 131 is an elongated plate-shaped member which extends in the width direction of the mask 5 orthogonal to the reciprocation movement direction 로써, and extends about the same length as the width of the mask 5, as shown in FIG. In the center portion thereof, an elongated slot-shaped suction port 132 is formed in a plane extending along the length of the washing nozzle 131. Inlet 132 is connected to an air intake mechanism 16. In the cleaning nozzle 131 having such a structure, the contact portions 133 and 134 located in front of and behind the suction port 132 in the reciprocating movement direction 의 of the washing apparatus 103 are the main removing portion 111 and the auxiliary removing portion 113. Corresponds to each. The combined span of the contacts 133 and 134 visible in the reciprocating direction Ⅷ can be set to be at least 5 mm as already mentioned.

흡입구(132)의 왕복 이동방향 Ⅷ에서 보이는 흡입구(132)의 개구폭 XI는 다음의 방법으로 결정된다. 흡입구의 면적은 흡입구를 통과하는 흡입 공기의 유량(flow rate)에 흡입구를 통과하는 흡입 공기 흐름의 속도를 곱한 값이 최대화되도록 설정된다. 더욱 상세하게는, 공기 송풍(air blow)의 힘 F를 표현하는 관계식으로서, 다음의 수식 : F = P × Q × V/g 이 공지되어 있다. 이 수식에서, P는 유체의 밀도(fluid density)를 나타내고, Q는 유체의 유량(flow rate)을 나타내고, Ⅴ는 유체 흐름의 속도를 나타내고, g는 중력 가속도를 나타낸다. 상기 관계는 흡입력을 표현할 때 또한 응용 가능하다. 상기 수식에 의해 표현된 힘 F가 최대화되는 흡입구 면적을 갖는 흡입구는 마스크(5)의 개구(6) 내부 및 그 뒷면(5b)에 부착된 납땜 페이스트(4)의 파티클(particle)을 흡입 및 제거하기 위한 최대의 힘을 생산할 수 있다.The opening width XI of the intake port 132 seen in the reciprocating direction 방향 of the intake port 132 is determined by the following method. The area of the inlet is set such that the value of the flow rate of the inlet air passing through the inlet is multiplied by the speed of the inlet air flow through the inlet. More specifically, the following formula: F = P × Q × V / g is known as a relational expression for expressing the force F of air blow. In this formula, P denotes the fluid density, Q denotes the flow rate of the fluid, V denotes the velocity of the fluid flow, and g denotes the acceleration of gravity. This relationship is also applicable when expressing suction force. An inlet having an inlet area in which the force F expressed by the above formula is maximized sucks and removes particles of the solder paste 4 attached to the inside of the opening 6 of the mask 5 and to the rear surface 5b thereof. Can produce the maximum force to do so.

이러한 이론적 견해를 토대로 해서, 도 14에 도시했듯이, 흡입구의 개구 폭 XI, 흡입력, 및 납땜 페이스트(4)에 대한 제거 효율 사이의 관계에 대한 측정이 이루어진다. 도 14로부터 명백하듯이, 제거 효율 및 흡입력 F의 값은 세척 노즐의 흡입구의 개구 폭 XI이 6 mm일 때 최대로 된다. 그러므로, 본 실시예에서는, 세척 노즐(131)의 흡입구(132)의 개구 폭 XI은 6 mm로 설정된다. 그러나, 개구 폭 XI이 5 mm 내지 9 mm인 경우에도 비슷한 효과가 얻어질 수 있다.Based on this theoretical view, as shown in Fig. 14, a measurement is made on the relationship between the opening width XI of the suction port, the suction force, and the removal efficiency for the solder paste 4. As is apparent from Fig. 14, the values of the removal efficiency and the suction force F are maximized when the opening width XI of the suction port of the washing nozzle is 6 mm. Therefore, in the present embodiment, the opening width XI of the suction port 132 of the washing nozzle 131 is set to 6 mm. However, similar effects can be obtained even when the opening width XI is 5 mm to 9 mm.

이러한 세척 노즐(131)을 구비한 세척장치(103)의 동작 방식은 상기 설명된, 예컨대 세척장치(102)의 경우와 동일하다. 그러므로, 그 설명은 생략된다.The manner of operation of the washing apparatus 103 with such washing nozzle 131 is the same as that of the washing apparatus 102 described above. Therefore, the description is omitted.

또한, 세척장치(103)는 도 18에 도시된 공기 제트 메카니즘(14)에 연결되는 공기 제트부(15)를 포함할 수도 있다. 이러한 장치는 도 5에 세척장치(104)로서 도시되어 있다. 이 경우에, 세척 노즐(131)의 접촉부(133, 134)에 대해 공기 제트부(15)가 누름으로써 접촉부(133, 134)에서 납땜 페이스트(4)의 더욱 효과적인 제거를 용이하게 할 수 있도록, 공기 제트부(15)는 세척 노즐(131)의 접촉부(133, 134)의 두께에 대응하는 벽 두께를 가지는 것이 바람직하다. 이하에서 설명되는 각종 세척 노즐도 공기 제트 메카니즘(14)을 갖는 공기 제트부(15)를 포함할 수 있다.The cleaning device 103 may also include an air jet 15 connected to the air jet mechanism 14 shown in FIG. 18. Such a device is shown as cleaning device 104 in FIG. 5. In this case, the air jet 15 is pressed against the contacts 133, 134 of the cleaning nozzle 131 to facilitate more effective removal of the solder paste 4 from the contacts 133, 134, The air jet portion 15 preferably has a wall thickness corresponding to the thickness of the contact portions 133, 134 of the cleaning nozzle 131. Various cleaning nozzles described below may also include an air jet 15 having an air jet mechanism 14.

세척 노즐의 변형된 예는 아래에서 설명될 것이다.Modified examples of cleaning nozzles will be described below.

도 7에 도시했듯이, 세척 노즐의 길이를 따라 평행으로 연장해 있는 2개의 흡입구(132a, 132b)를 갖는 세척 노즐(135)을 구성하는 것이 가능하다. 흡입구(132a, 132b)의 개구 폭 XI은 예를 들어 6 mm이다.As shown in Fig. 7, it is possible to construct a washing nozzle 135 having two inlets 132a, 132b extending in parallel along the length of the washing nozzle. The opening width XI of the suction ports 132a and 132b is, for example, 6 mm.

이러한 세척 노즐(135)에서는, 상기 왕복 이동방향 Ⅷ에서 보이는 각각의 흡입구(132a, 132b) 앞뒤에 위치하는 접촉부(135a, 135b, 135c) 중에서, 접촉부(135b)는 항상 주요 제거부(111)에 대응하고, 접촉부(135a, 135c)는 경우에 따라 주요 제거부(111) 또는 보조 제거부(113)에 대응한다. 이와 같이 상기 왕복 이동 경로Ⅷ를 따라 2개의 흡입구가 설치됨으로써, 흡입구(132a, 132b)의 바로 뒤에 주요 제거부(111)에 대응하는 하나의 접촉부가 위치하게 된다. 그러므로, 왕복 이동방향 Ⅷ에서 보이는 세척 노즐(135)의 각 접촉부(135a, 135b, 135c)의 스팬은 세척 노즐(131)의 경우보다 더 짧게 제조될 수 있다. 따라서, 세척 노즐(135)에서는, 왕복 이동방향 Ⅷ에서 보이는 접촉부(135a, 135b, 135c)의 각각의 스팬 전체는 5 mm이상, 약 40 mm이하로 할 수 있다.In such a washing nozzle 135, among the contact portions 135a, 135b, 135c located in front of and behind the respective suction openings 132a, 132b seen in the reciprocating movement direction 접촉, the contact portion 135b is always connected to the main removing portion 111. Correspondingly, the contact portions 135a and 135c correspond to the main removing portion 111 or the auxiliary removing portion 113 as the case may be. In this way, two suction ports are provided along the reciprocating movement path, so that one contact part corresponding to the main removing part 111 is positioned immediately behind the suction ports 132a and 132b. Therefore, the span of each contact 135a, 135b, 135c of the cleaning nozzle 135 seen in the reciprocating direction Ⅷ can be made shorter than in the case of the cleaning nozzle 131. Therefore, in the washing nozzle 135, the entire span of each of the contact portions 135a, 135b, 135c seen in the reciprocating movement direction Ⅷ can be 5 mm or more and about 40 mm or less.

이와 같이 2개의 흡입구(132a, 132b)를 구비하는 것은 주요 제거부(111)에 대응하는 2개의 접촉부가 진행 방향에 구비된다는 것을 의미한다. 그러므로, 세척 노즐(135)은 세척 노즐(131)에 비해 납땜 페이스트(4)의 제거를 더욱 증대시킬 수 있다.Thus, having two suction ports 132a and 132b means that two contact portions corresponding to the main removal portion 111 are provided in the advancing direction. Therefore, the cleaning nozzle 135 can further increase the removal of the solder paste 4 compared to the cleaning nozzle 131.

세척 노즐(135)에서는, 흡입구(132a, 132b) 각각이 세척 노즐(135)의 길이방향을 따라 직선으로써 연속적으로 연장해 있다. 또한, 도 8에 도시했듯이, 흡입구(137)가 서로 엇갈리게 되어 있고, 길이 방향을 따라 소정 간격으로 놓여 있는 흡입구(137)를 갖는 세척 노즐(136)을 구성하는 것이 가능하다. 세척 노즐(136)은 왕복 이동경로 Ⅷ를 따라 배열된 2개의 흡입구(137)를 갖는다. 각 흡입구(137)의 개구 폭 XI는 이미 언급했듯이 6 mm이다.In the washing nozzle 135, each of the inlets 132a and 132b extends continuously in a straight line along the longitudinal direction of the washing nozzle 135. In addition, as shown in FIG. 8, it is possible to configure the washing nozzle 136 having the suction ports 137 staggered from each other and having the suction ports 137 spaced at predetermined intervals along the longitudinal direction. The cleaning nozzle 136 has two inlets 137 arranged along the reciprocating path VII. The opening width XI of each inlet 137 is 6 mm as already mentioned.

흡입구(137)가 엇갈리게 배열되는 이유가 아래에서 설명된다. 즉, 세척 노즐이 연질 재료(soft material), 예를 들어 "두라콘(duracon)"으로 제조되는 경우, 도 7에 도시된 세척 노즐(135)에서는, 흡입구(132a) 및 흡입구(132b) 사이의 접촉부(135b)의 폭이 좁아서 세척 노즐의 강도 부족이 생기고, 마스크(5)의 뒷면(5b)과 접촉부(135b)가 세척 페이퍼(11)를 통해 서로 접촉하게 되지 않을 가능성이 있다.The reason why the inlets 137 are staggered is explained below. That is, when the cleaning nozzle is made of a soft material, for example "duracon", in the cleaning nozzle 135 shown in Figure 7, between the inlet 132a and the inlet 132b There is a possibility that the width of the contact portion 135b is narrow, resulting in insufficient strength of the cleaning nozzle, and the back surface 5b of the mask 5 and the contact portion 135b do not come into contact with each other through the cleaning paper 11.

그러므로, 흡입구를 엇갈리게 배열함으로써, 세척 노즐이 강도 부족이 생기는 것을 방지하므로, 세척 페이퍼(11)를 통해 세척 노즐과 뒷면(5b) 사이의 적극적인 접촉을 확실히 할 수 있다. 용어 "두라콘"은 폴리아세탈(polyacetal)에 대한 공통 명칭이다.Therefore, by staggering the suction ports, the cleaning nozzles prevent the lack of strength from occurring, thereby ensuring positive contact between the cleaning nozzles and the back surface 5b through the cleaning paper 11. The term "duracone" is a common name for polyacetal.

상기 설명된 세척 노즐(131, 135, 136)에서는, 흡입구(132, 137)가 평면도에서 기다란 슬롯 형상(elongated slot configuration)을 가지지만, 도 9에 도시된 바와 같이, 흡입구(139)로서 평면도에서 원형이 될 수도 있다. 세척 노즐(138)은 엇갈리게 배열된 이러한 흡입구(139)를 갖는다. 세척 노즐(138)에서, 흡입구(139)쌍은 왕복 이동경로 Ⅷ를 따라 배열되어 있다. 각 흡입구(139)는 3 내지 5 mm의 직경이다.In the above described cleaning nozzles 131, 135, 136, the inlets 132, 137 have an elongated slot configuration in plan view, but as shown in FIG. 9, in the plan view as the inlet 139. It may be circular. The cleaning nozzle 138 has these inlets 139 staggered. In the cleaning nozzle 138, the pair of inlet ports 139 is arranged along the reciprocating path Ⅷ. Each inlet 139 is 3 to 5 mm in diameter.

또한, 도 10에 예시했듯이, 세척 노즐(140)은 세척 페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)과 접촉하는 접촉표면(141)이 세척 노즐(140)의 길이를 따라 볼록하게 구부러지도록 하는 형상을 가질 수도 있다. 구부러진 접촉 표면(141)을 갖는 세척 노즐(140)이 사용되는 경우에, 세척 동작 동안, 세척 노즐(140)이 세척 페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)에 접촉할 때, 마스크(5)는 접촉 표면(141)을 따라 오목 형태로 강제적으로 구부러진다. 이에 따라, 세척 페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)과 세척 노즐(140)의 접촉 표면(141) 사이의 접촉을 증대시키는 것이 가능하여, 납땜 페이스트(4)에 대한 제거율(removal ratio)을 더욱 증대시킬 수 있다.In addition, as illustrated in FIG. 10, the cleaning nozzle 140 has a contact surface 141 contacting the rear surface 5b of the mask 5 through the cleaning paper 11 such that the cleaning nozzle 140 is convex along the length of the cleaning nozzle 140. It may have a shape to bend. In the case where the cleaning nozzle 140 having the curved contact surface 141 is used, when the cleaning nozzle 140 contacts the rear surface 5b of the mask 5 through the cleaning paper 11, during the cleaning operation, The mask 5 is forcibly bent in a concave shape along the contact surface 141. Thereby, it is possible to increase the contact between the back surface 5b of the mask 5 and the contact surface 141 of the cleaning nozzle 140 via the cleaning paper 11, so that the removal rate for the solder paste 4 ( The removal ratio can be further increased.

세척 노즐(140)은 세척 노즐(131)에서와 같이 단일 흡입구를 갖는 형태이지만, 세척 노즐(135, 136 또는 138)에 형성된 바와 같은 그러한 흡입구를 갖는 형태로 될 수도 있다.The cleaning nozzle 140 is in the form of having a single inlet as in the cleaning nozzle 131, but may be in the form of having such an inlet as formed in the cleaning nozzle 135, 136 or 138.

앞선 설명에서는, 세척 노즐(131, 135, 136, 138, 140) 각각이 왕복 이동 형태의 세척장치에 사용되는 것으로 가정된다. 그러나, 이러한 세척 노즐은 세척 시작위치 Ⅰ로부터 세척 완료위치 Ⅱ까지의 편도 이동(one way travel)에 적용되는 형태의 세척장치에 사용될 수도 있다. 세척장치가 편도 이동용으로 설계되는 경우에, 예를 들어 세척 노즐(131)은, 도 11에 도시된 바와 같이, 흡입구(132)의 앞과 뒤에 위치된 접촉부(133, 134)의 접촉 표면(133a, 134a)이 세척 페이퍼(11)와의 접촉을 위해 각각 이동방향에 반대인 방향으로 약간 위쪽으로 향하게 경사지도록 할 수도 있다. 또한, 예를 들어 세척 노즐(136)은, 도 12에 도시된 바와 같이, 세척 노즐(136)의 접촉 표면(136a)이 이동방향에 반대인 방향으로 그 전체가 약간 위쪽으로 향하게 경사지도록 구성될 수도 있다.In the foregoing description, it is assumed that each of the cleaning nozzles 131, 135, 136, 138, 140 is used in the cleaning device of the reciprocating type. However, this cleaning nozzle may be used in a cleaning device of the type applied to one way travel from the cleaning start position I to the cleaning completion position II. In the case where the cleaning device is designed for one-way movement, for example, the cleaning nozzle 131 is the contact surface 133a of the contacts 133, 134 located in front of and behind the inlet 132, as shown in FIG. 11. , 134a may be inclined slightly upwards in a direction opposite to the moving direction, respectively, for contact with the cleaning paper 11. Also, for example, the cleaning nozzle 136 may be configured such that, as shown in FIG. 12, the contact surface 136a of the cleaning nozzle 136 is inclined slightly upward in its entirety in a direction opposite to the moving direction. It may be.

세척 페이퍼(11)와의 접촉 표면이 이동방향에 반대인 방향으로 약간 위쪽으로 향하게 경사지도록 세척 노즐을 구성함으로써, 세척 동작동안 세척 노즐이 세척페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)에 대해 눌러질 때 세척 노즐의 누르는 힘이 이동방향에 반대인 방향으로 점차 증가되는 것을 기대할 수 있다. 이것은 세척 노즐이 납땜 페이스트(4)를 더욱 효과적으로 닦아낼 수 있도록 한다.By constructing the cleaning nozzle such that the contact surface with the cleaning paper 11 is inclined slightly upward in the direction opposite to the moving direction, the cleaning nozzle is directed through the cleaning paper 11 to the rear surface 5b of the mask 5 during the cleaning operation. It can be expected that the pressing force of the cleaning nozzle gradually increases in the direction opposite to the direction of movement when pressed against. This allows the cleaning nozzle to wipe the solder paste 4 more effectively.

상기 설명된 세척장치(101, 102, 103, 104)에서는, 세척 페이퍼(11)에 의한 납땜 페이스트(4)의 제거가 완료되고, 공기 흡입부(17) 및 제거부(111, 113), 또는 세척 노즐(131)이 낮추어지고 난 후에, 모터(123)에 의해 세척 페이퍼 테이크-업(13)이 구동되어 더러운 세척 페이퍼(11)를 테이크-업(take-up)하고 새로운 세척 페이퍼를 공급한다. 그러나, 세척 동작은 이러한 동작 모드로 제한되지 않는다. 세척 페이퍼(11)가 마스크(5)의 뒷면(5b)과 접촉하고 있는 세척 과정동안, 세척 페이퍼 테이크-업(13)이 모터(123)에 의해 작동되어 세척 페이퍼(11)를 테이크업하면서, 세척장치가 이동될 수도 있다. 이와 같은 동작을 통해, 제거부(111, 113) 또는 세척 노즐(131) 등의 접촉부(133, 134)와, 마스크(5)의 뒷면(5b) 사이에 끼여 있는 세척 페이퍼의 부분에 오염이 없는 새로운 세척 페이퍼(11)를 공급하는 것이 가능 하므로, 마스크(5)로부터 보다 높은 제거 효율(removal efficiency)로 납땜 페이스트(4)를 제거할 수 있다.In the above-described cleaning apparatuses 101, 102, 103, 104, the removal of the solder paste 4 by the cleaning paper 11 is completed, and the air intake portion 17 and the removal portions 111, 113, or After the cleaning nozzle 131 is lowered, the cleaning paper take-up 13 is driven by the motor 123 to take up the dirty cleaning paper 11 and supply new cleaning paper. . However, the cleaning operation is not limited to this mode of operation. During the cleaning process in which the cleaning paper 11 is in contact with the back surface 5b of the mask 5, the cleaning paper take-up 13 is operated by the motor 123 to take up the cleaning paper 11, The cleaning device may be moved. Through this operation, there is no contamination in the portion of the cleaning paper sandwiched between the contact portions 133 and 134 such as the removing portions 111 and 113 or the cleaning nozzle 131 and the back surface 5b of the mask 5. Since it is possible to supply fresh cleaning paper 11, the solder paste 4 can be removed from the mask 5 with a higher removal efficiency.

세척 페이퍼 테이크-업(13)에 의해 세척 페이퍼(11)를 테이크-업하기 위한 타이밍(timing)은, 예를 들어, 세척 노즐(131)이 세척 페이퍼(11)를 통해 마스크(5)의 뒷면(5b)과 접촉을 유지하면서 이동할 때에는 항상 세척 페이퍼(11)가 테이크-업 될 수 있도록 설정될 수도 있고, 또는 세척 장치가 일정 거리를 이동할 때마다 이러한 테이크-업이 이루어지도록 설정될 수도 있다.The timing for take-up of the cleaning paper 11 by the cleaning paper take-up 13 is such that, for example, the cleaning nozzle 131 makes the back side of the mask 5 through the cleaning paper 11. The cleaning paper 11 may be set to be always take-up when moving while maintaining contact with 5b, or may be set such that the take-up is made whenever the cleaning apparatus moves a certain distance.

이상 설명된 바와 같이, 세척장치용 본 발명의 제1실시예 및 세척방법용 제2 실시예에 따르면, 흡입구를 갖는 흡입부의 이동방향에서 볼 때, 주요 제거부는 흡입구의 개구 뒤에 설치되어 프린팅 마스크의 개구 및 뒷면에 부착된 프린팅 재료를 제거함으로써, 마스크에 부착된 프린팅 재료는 보다 높은 제거 효율로 세척될 수 있다. 그러므로, 세척 후의 프린팅 공정 동안, 판-누락 효과 및 납땜 볼 브릿지와 같은 프린팅 불량의 발생이 방지될 수 있다.As described above, according to the first embodiment of the present invention for the cleaning device and the second embodiment for the cleaning method, when viewed in the moving direction of the suction part having the suction port, the main removal part is installed behind the opening of the suction port, By removing the printing material attached to the openings and the backside, the printing material attached to the mask can be cleaned with higher removal efficiency. Therefore, during the printing process after cleaning, occurrence of printing defects such as a plate-missing effect and a solder ball bridge can be prevented.

명세서, 특허청구의 범위, 도면, 및 요약서를 포함하는 1996.10.2일자로 출원된 일본특허출원 제8-261660호의 개시된 사항 전부는 참고로 여기에 포함된다.All of the disclosures of Japanese Patent Application No. 8-261660, filed on January 1, 1996, including the specification, claims, drawings, and abstract, are incorporated herein by reference.

본 발명은 첨부 도면을 참고하여 양호한 실시예와 관련해서 충분히 설명되었지만, 각종 변경 및 변형이 당해 기술분야에 숙련된 자에게는 명백하다는 것을 알아야 한다. 이러한 변경 및 변형은 특허 청구의 범위에서 벗어나지 않는다면 첨부된 청구 범위에서 정의된 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.While the present invention has been fully described in connection with the preferred embodiments with reference to the accompanying drawings, it is to be understood that various changes and modifications will be apparent to those skilled in the art. Such changes and modifications are to be understood as falling within the scope of the invention as defined in the appended claims unless they depart therefrom.

Claims (18)

개구를 통해 프린트할 표면에 프린팅 재료(4)를 프린트할 때 프린팅 마스크를 이용하여 프린팅 동작이 행해진 후에, 소정 패턴의 개구(6)가 형성된 프린팅 마스크(5)를 세척하는 프린팅 마스크 세척장치에 있어서,In the printing mask cleaning apparatus for cleaning the printing mask (5) in which the opening (6) of the predetermined pattern is formed after a printing operation is performed by using a printing mask when printing the printing material (4) on the surface to be printed through the opening. , 상기 프린팅 마스크 세척장치는,The printing mask cleaning device, 프린트할 표면에 접촉하는 프린팅 마스크의 뒷면(5b)에 대해 세척 동작 동안 세척시트(11)를 통해 접촉한 상태로 이동 가능하고, 프린팅 마스크의 뒷면에 대향하여 열려 있는 흡입구(17a)를 가지며, 그 이동방향에 직교하는 방향으로 연장해 있는 흡입부(17)와;It has a suction port 17a which is movable in contact with the back surface 5b of the printing mask in contact with the surface to be printed through the cleaning sheet 11 during the cleaning operation and is open to face the back side of the printing mask. A suction part 17 extending in a direction orthogonal to the moving direction; 프린팅 마스크의 개구 내부에 부착된 프린팅 재료가 상기 뒷면을 향해 배출될 수 있도록 하기 위해, 상기 흡입부가 세척시트를 통해 프린팅 마스크의 뒷면에 접촉한 상태로 상기 개구 및 흡입부의 흡입구를 통해 가스를 흡입하는 진공 장치(16)와,In order to allow the printing material attached to the inside of the opening of the printing mask to be discharged toward the back side, the suction part inhales gas through the opening of the opening and the suction part while the suction part contacts the back side of the printing mask through the cleaning sheet. The vacuum device 16, 상기 흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구의 개구 뒤에 설치되고, 세척 동작 동안 프린팅 마스크의 뒷면에 대하여 압력 접촉(pressure contact)한 상태로 흡입부의 이동방향으로 이동 가능하여, 상기 프린팅 마스크의 뒷면에 부착된 프린팅 재료 및, 흡입을 통해 개구로부터 배출된 프린팅 재료 덩어리를 세척시트에 닦아내는 주요 제거부(111)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.A printing attached to the rear side of the printing mask, installed behind the opening of the suction port visible in the direction of movement of the suction part, and movable in the direction of movement of the suction part in a pressure contact with respect to the back side of the printing mask during the cleaning operation; And a main removal portion (111) for wiping the material and the printing material mass discharged from the opening through suction to the cleaning sheet. 제1항에 있어서, 장치의 이동방향에서 측정되는 주요 제거부의 스팬(span)은 5 mm이상인 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.The printing mask cleaning apparatus according to claim 1, wherein a span of the main removal portion measured in the moving direction of the apparatus is 5 mm or more. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 주요 제거부는 흡입부와 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.3. The printing mask cleaning apparatus according to claim 1 or 2, wherein the main removal portion is formed integrally with the suction portion. 제1항 내지 제2항 중 어느 하나에 있어서, 상기 흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구의 개구 앞에 설치되고, 세척 동작 동안 프린팅 마스크의 뒷면에 대하여 압력 접촉한 상태로 흡입부의 이동방향으로 이동 가능하여, 프린팅 마스크의 뒷면에 부착된 프린팅 재료를 세척시트에 닦아내는 보조 제거부(113)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.The method according to any one of claims 1 to 2, which is provided in front of the opening of the suction port visible in the moving direction of the suction part, and is movable in the moving direction of the suction part in pressure contact with respect to the back side of the printing mask during the cleaning operation. And a second removing unit (113) for wiping the printing material attached to the back of the printing mask to the cleaning sheet. 제4항에 있어서, 흡입부의 이동방향에서 보이는 주요 제거부의 스팬은 보조 제거부의 그것보다 더 큰 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.5. The printing mask cleaning apparatus according to claim 4, wherein the span of the main removal portion seen in the direction of movement of the suction portion is larger than that of the auxiliary removal portion. 제4항에 있어서, 흡입부의 이동방향에서 보이는 주요 제거부 및 보조 제거부의 결합 스팬은 5 mm이상인 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.5. The printing mask cleaning apparatus according to claim 4, wherein the combined span of the main removing portion and the auxiliary removing portion seen in the moving direction of the suction portion is 5 mm or more. 제4항에 있어서, 주요 제거부 및 보조 제거부는 흡입부와 일체형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.5. The printing mask cleaning apparatus according to claim 4, wherein the main removal portion and the auxiliary removal portion are formed integrally with the suction portion. 제1항 내지 제2항 중 어느 하나에 있어서, 흡입부의 흡입구의 개구 면적은 흡입하에서 흡입구를 통과하는 가스의 유량과 흐름 속도를 곱한 값이 최대로 되는 면적인 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.The printing mask cleaning apparatus according to any one of claims 1 to 2, wherein the opening area of the suction port of the suction unit is an area where a product of the flow rate and the flow rate of the gas passing through the suction port under suction is maximized. 제1항 내지 제2항 중 어느 하나에 있어서, 흡입부는 흡입부의 이동방향에 배열된 복수의 흡입구와, 흡입부의 이동방향에서 보이는 각 흡입구의 개구 앞뒤에 구비된 제거부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.The printing according to any one of claims 1 to 2, wherein the suction unit includes a plurality of suction ports arranged in the moving direction of the suction unit, and a removal unit provided before and after the opening of each suction port seen in the moving direction of the suction unit. Mask cleaner. 제1항 내지 제2항 중 어느 하나에 있어서, 흡입부의 흡입구는 흡입부의 길이를 따라 엇갈리게 배열되고, 제거부는 흡입부의 이동방향에서 보이는 각 흡입구의 개구 앞뒤에 설치되는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.The printing mask cleaning apparatus according to any one of claims 1 to 2, wherein the suction ports of the suction unit are staggered along the length of the suction unit, and the removal unit is provided before and after the opening of each suction port visible in the moving direction of the suction unit. . 제1항 내지 제2항 중 어느 하나에 있어서, 세척시트를 통해 프린팅 마스크의 뒷면에 접촉하는 흡입부의 표면은 흡입부의 길이를 따라 볼록 형태로 구부러져 있는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.The printing mask cleaning apparatus according to any one of claims 1 to 2, wherein the surface of the suction portion contacting the rear surface of the printing mask through the cleaning sheet is bent in a convex shape along the length of the suction portion. 제1항 내지 제2항 중 어느 하나에 있어서, 세척시트는 흡입부의 이동에 대하여 상대적으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.The printing mask cleaning apparatus according to any one of claims 1 to 2, wherein the cleaning sheet is movable relative to the movement of the suction unit. 제4항에 있어서, 프린팅 마스크의 뒷면에서 흡입부의 왕복 이동을 위하여, 주요 제거부 및 보조 제거부는 흡입부의 이동방향을 따라 대략 동일한 길이를 갖도록 형성되고, 보조 제거부는 프린팅 마스크의 뒷면에 부착된 프린팅 재료 및 흡입을 통해 개구로부터 배출된 프린팅 재료 덩어리를 세척시트에 닦아내는 주요 제거부와 대략 동일한 기능을 수행하는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척장치.5. The printing apparatus according to claim 4, wherein the main removal portion and the auxiliary removal portion are formed to have approximately the same length along the moving direction of the suction portion for reciprocating movement of the suction portion on the back side of the printing mask, and the auxiliary removal portion is printed on the back side of the printing mask. A printing mask cleaning device, characterized in that it performs approximately the same function as the main removal unit for wiping the printing material mass discharged from the opening through the material and the suction onto the cleaning sheet. 개구를 통해 프린트할 표면에 프린팅 재료(4)를 프린트할 때 프린팅 마스크를 이용하여 프린팅 동작이 수행된 후에, 소정 패턴의 개구(6)가 형성된 프린팅 마스크(5)를 세척하는 프린팅 마스크 세척방법에 있어서,After the printing operation is performed using the printing mask when printing the printing material 4 on the surface to be printed through the opening, the printing mask cleaning method for cleaning the printing mask 5 in which the opening 6 of a predetermined pattern is formed. In 프린트할 표면에 접촉하는 프린팅 마스크의 뒷면(5b)에 대해 세척 동작 동안 세척시트(11)를 통해 접촉한 상태로 이동 가능하고, 프린팅 마스크의 뒷면에 대향하여 열려 있는 흡입구(17a)를 가지며, 그 이동방향에 직교하는 방향으로 연장해 있는 흡입부와;It has a suction port 17a which is movable in contact with the back surface 5b of the printing mask in contact with the surface to be printed through the cleaning sheet 11 during the cleaning operation and is open to face the back side of the printing mask. A suction part extending in a direction orthogonal to the moving direction; 프린팅 마스크의 개구 내부에 부착된 프린팅 재료가 상기 뒷면을 향해 배출될 수 있도록 하기 위해, 상기 흡입부가 세척시트를 통해 프린팅 마스크의 뒷면에 접촉한 상태로 상기 개구 및 흡입부의 흡입구를 통해 가스를 흡입하는 진공 장치(16)를 포함하는 프린팅 마스크 세척장치를 이용하여 세척 동작이 수행되며,In order to allow the printing material attached to the inside of the opening of the printing mask to be discharged toward the back side, the suction part inhales gas through the opening of the opening and the suction part while the suction part contacts the back side of the printing mask through the cleaning sheet. The cleaning operation is performed using the printing mask cleaning device including the vacuum device 16, 상기 방법은,The method, 흡입에 의해 프린팅 마스크의 개구 내부에 부착된 프린팅 재료가 뒷면에 배출되도록 한 후에,After inhalation causes the printing material attached inside the opening of the printing mask to be discharged to the back side, 흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구의 개구 뒤에 배치되고, 세척 동작동안 프린팅 마스크의 뒷면에 대하여 압력 접촉한 상태로 흡입부의 이동방향으로 이동 가능한 주요 제거부(111)에 의해, 프린팅 마스크의 뒷면에 부착된 프린팅 재료 및, 흡입에 의해 개구로부터 배출된 프린팅 재료를 세척시트에 닦아내는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척방법.It is disposed behind the opening of the printing mask by a main removing part 111 which is disposed behind the opening of the suction port visible in the direction of movement of the suction part and is movable in the direction of movement of the suction part in pressure contact with respect to the back side of the printing mask during the cleaning operation. And cleaning the printing material and the printing material discharged from the opening by suction to the cleaning sheet. 제14항에 있어서, 프린팅 마스크의 개구 내부에 부착된 프린팅 재료가 프린팅 마스크의 뒷면으로 배출되기 전에, 흡입부의 이동방향에서 보이는 흡입구의 개구 앞에 설치되고, 세척 동작 동안 프린팅 마스크의 뒷면에 대하여 압력 접촉한 상태로 흡입부의 이동방향으로 이동 가능한 보조 제거부(113)에 의하여, 뒷면에 부착된 프린팅 재료는 세척시트에 닦아내어지는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척방법.15. The printing material according to claim 14, wherein the printing material attached inside the opening of the printing mask is installed in front of the opening of the suction port visible in the moving direction of the suction portion before being discharged to the rear surface of the printing mask, and is in pressure contact with the back surface of the printing mask during the cleaning operation. And a printing material attached to the rear surface by the auxiliary removing unit 113 which is movable in the moving direction of the suction unit in one state, and is wiped off the cleaning sheet. 제15항에 있어서, 흡입부의 이동방향에서 보이는 주요 제거부의 스팬은 흡입부의 이동방향에서 보이는 보조 제거부의 길이보다 더 큰 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척방법.16. The method of claim 15, wherein the span of the primary removal portion seen in the direction of movement of the suction portion is greater than the length of the secondary removal portion seen in the direction of movement of the suction portion. 제14항 내지 제16항 중 어느 하나에 있어서, 흡입부는 흡입부의 이동방향에 배열된 복수의 흡입구와, 흡입부의 이동방향에서 보이는 각 흡입구의 개구 앞뒤에 설치된 제거부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척방법.The printing mask according to any one of claims 14 to 16, wherein the suction part includes a plurality of suction ports arranged in the moving direction of the suction part, and a removal part provided before and after the opening of each suction port seen in the moving direction of the suction part. How to wash. 제14항에 있어서, 흡입부의 흡입구는 흡입부의 길이를 따라 엇갈리게 배열되고, 제거부는 흡입부의 이동방향에서 보이는 각 흡입구의 개구 앞뒤에 설치되는 것을 특징으로 하는 프린팅 마스크 세척방법.The printing mask cleaning method according to claim 14, wherein the suction ports of the suction unit are staggered along the length of the suction unit, and the removal unit is installed before and after the opening of each suction port visible in the moving direction of the suction unit.
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