JP5919480B2

JP5919480B2 - Screen printer and screen mask cleaning device

Info

Publication number: JP5919480B2
Application number: JP2013076557A
Authority: JP
Inventors: 内田　英樹; 英樹内田; 萬谷　正幸; 正幸萬谷; 政昭徳永
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2013-04-02
Filing date: 2013-04-02
Publication date: 2016-05-18
Anticipated expiration: 2033-04-02
Also published as: CN203831935U; JP2014200933A

Description

本発明は、スクリーンマスクを介して基板にクリーム半田等のペーストを印刷するスクリーン印刷機、及びスクリーンマスクの下面に付着したペーストを除去するスクリーンマスクのクリーニング装置に関するものである。 The present invention relates to a screen printer that prints paste such as cream solder on a substrate via a screen mask, and a screen mask cleaning device that removes paste adhered to the lower surface of the screen mask.

電子部品実装工程において、基板上にクリーム半田や導電性ペースト等のペーストを印刷する方法としてスクリーン印刷が用いられている。この方法は、印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられた可撓性のスクリーンマスクを基板の下面に当接させ、スクリーンマスク上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、パターン孔を介して基板上にペーストを印刷するものである。 In an electronic component mounting process, screen printing is used as a method for printing paste such as cream solder or conductive paste on a substrate. In this method, a flexible screen mask provided with a pattern hole according to a part to be printed is brought into contact with the lower surface of the substrate, a paste is supplied onto the screen mask, and a squeegee is slid to form a pattern hole. The paste is printed on the substrate via

印刷作業時においては、スクリーンマスクの下面側に印刷部位からはみ出したペーストが付着し、又は基板上に完全に転写されなかったペーストがパターン孔に残留するなどの汚損が発生する。このようなペーストによる汚損は後続の基板への正常な印刷を妨げるため、印刷作業時における所定のタイミングでこれらのペーストを除去するためのクリーニングを行う必要がある。そのため、シート状の拭き取り材を介して上面が水平な細長形状の吸引ノズルによってスクリーンマスクを下方から一定量持ち上げ、この状態で拭き取り材を押し当てながら摺動させることによりスクリーンマスクの下面をクリーニングするクリーニング装置が提供されている（例えば特許文献１参照）。 At the time of the printing operation, the paste that protrudes from the printing portion adheres to the lower surface side of the screen mask, or the paste such as the paste that has not been completely transferred onto the substrate remains in the pattern hole. Such contamination by paste hinders normal printing on subsequent substrates, and therefore it is necessary to perform cleaning for removing these pastes at a predetermined timing during the printing operation. Therefore, the lower surface of the screen mask is cleaned by lifting the screen mask by a certain amount from below by means of an elongated suction nozzle whose upper surface is horizontal through a sheet-like wiping material, and sliding while pressing the wiping material in this state. A cleaning device is provided (see, for example, Patent Document 1).

特開平１０−１９３５７７号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-193577

良好なクリーニング作業を実現するため、吸引ノズルを上昇させてスクリーンマスクを持ち上げる際には両部材の間に高い密着性が要求される。しかしながら、このようなスクリーンマスクを吸引ノズルによって下方から持ち上げようとした場合、吸引ノズルの長手方向における両端の角部のみが接触した状態のままスクリーンマスクを持ち上げてしまうといった事態が発生し得る。かかる場合、スクリーンマスクの下面と吸引ノズルの上面との間には隙間が生じてマスクプレートの下面に付着したペーストを十分に除去することができないという問題が生じていた。 In order to realize a good cleaning operation, high adhesion is required between the two members when the suction nozzle is raised to lift the screen mask. However, when such a screen mask is lifted from below by the suction nozzle, a situation may occur in which the screen mask is lifted while only the corners at both ends in the longitudinal direction of the suction nozzle are in contact with each other. In such a case, there is a problem that a gap is formed between the lower surface of the screen mask and the upper surface of the suction nozzle, and the paste attached to the lower surface of the mask plate cannot be sufficiently removed.

そこで本発明は、スクリーンマスクの下面に付着したペーストを確実に除去することができるスクリーン印刷機及びスクリーンマスクのクリーニング装置を提供することを目的とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a screen printing machine and a screen mask cleaning device that can reliably remove paste adhered to the lower surface of the screen mask.

請求項１記載の本発明は、パターン孔が形成された可撓性のスクリーンマスクの下面に基板を当接させ、前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させることにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機であって、前記スクリーンマスクの下面に付着したペーストをクリーニングペーパーによって除去するスクリーンマスクのクリーニング装置を備え、前記スクリーンマスクのクリーニング装置は、前記クリーニングペーパーを前記スクリーンマスクに押し付ける押し付け面を有するクリーニングヘッドと、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクに対して昇降させるヘッド昇降機構とを備え、前記押し付け面は、両側から中央に向かうにしたがって盛り上がる凸部を有し、且つ前記クリーニングヘッドに着脱自在に取り付けられる押し付け部材の上面に形成されており、前記押し付け部材は弾性の素材からなり、前記押し付け部材を前記クリーニングヘッドに固定する固定手段をさらに備え、前記固定手段による前記押し付け部材の押さえ量を変化させることによって、前記押し付け面のサイズを変更する。 According to the first aspect of the present invention, the substrate is brought into contact with the lower surface of the flexible screen mask in which the pattern hole is formed, and the squeegee is slid on the screen mask, thereby allowing the substrate to pass through the pattern hole. A screen printing machine for printing a paste, comprising: a screen mask cleaning device for removing paste adhered to a lower surface of the screen mask by a cleaning paper, wherein the screen mask cleaning device uses the cleaning paper as the screen mask. a cleaning head having a pressing surface pressing, the a head lifting mechanism for raising and lowering the cleaning head relative to the screen mask, the pressing surface have a convex portion which bulges toward both sides in the center, and the cleaning He The pressing member is formed on an upper surface of a pressing member that is detachably attached to the pressing member, the pressing member is made of an elastic material, and further includes a fixing unit that fixes the pressing member to the cleaning head. The size of the pressing surface is changed by changing the pressing amount .

また請求項３記載の本発明は、パターン孔が形成された可撓性のスクリーンマスクの下面に基板を当接させ、前記スクリーンマスク上でスキージを摺動させることによって前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機に備えられ、前記スクリーンマスクの下面に付着したペーストをクリーニングペーパーによって除去するスクリーンマスクのクリーニング装置であって、前記クリーニングペーパーを前記スクリーンマスクに押し付ける押し付け面を有するクリーニングヘッドと、前記クリーニングヘッドを前記スクリーンマスクに対して昇降させるヘッド昇降機構とを備え、前記押し付け面は、両側から中央に向かうにしたがって盛り上がる凸部を有し、且つ前記クリーニングヘッドに着脱自在に取り付けられる押し付け部材の上面に形成されており、前記押し付け部材は弾性の素材からなり、前記押し付け部材を前記クリーニングヘッドに固定する固定手段をさらに備え、前記固定手段による前記押し付け部材の押さえ量を変化させることによって、前記押し付け面のサイズを変更する。 According to a third aspect of the present invention, the substrate is brought into contact with the lower surface of the flexible screen mask in which the pattern hole is formed, and the squeegee is slid on the screen mask so that the substrate is interposed through the pattern hole. A screen mask cleaning device that is provided in a screen printing machine for printing paste on a screen and removes the paste adhering to the lower surface of the screen mask with a cleaning paper, and has a pressing surface that presses the cleaning paper against the screen mask. comprising a head and a head lifting mechanism for raising and lowering the cleaning head relative to the screen mask, the pressing surface have a convex portion which bulges toward both sides in the center, and detachably attached to the cleaning head Pushed The pressing member is made of an elastic material, and further includes fixing means for fixing the pressing member to the cleaning head, and the pressing amount of the pressing member by the fixing means is changed. To change the size of the pressing surface .

本発明によれば、押し付け面は、両側から中央に向かうにしたがって盛り上がる凸部を有するので、スクリーンマスクの下面と押し付け面との間に隙間が生じる事態を防止してスクリーンマスクとノズルの密着性を向上させ、その結果、スクリーンマスクの下面に付着するペーストを確実にクリーニングペーパーに付着させて除去することができる。 According to the present invention, since the pressing surface has a convex portion that rises from both sides toward the center, it is possible to prevent the occurrence of a gap between the lower surface of the screen mask and the pressing surface, and the adhesion between the screen mask and the nozzle. As a result, the paste adhering to the lower surface of the screen mask can be reliably adhered to the cleaning paper and removed.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図The side view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図The front view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図The top view of the screen printer in one embodiment of the present invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the screen printer in one embodiment of this invention （ａ）本発明の一実施の形態におけるクリーニングユニットの平面図（ｂ）本発明の一実施の形態におけるクリーニングユニットの側面図(A) Top view of the cleaning unit in one embodiment of the present invention (b) Side view of the cleaning unit in one embodiment of the present invention （ａ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するノズルの平面図（ｂ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するノズルの断面図(A) (c) Top view of the nozzle which comprises the cleaning unit in one embodiment of this invention (b) (d) Sectional drawing of the nozzle which comprises the cleaning unit in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するノズルの斜視図(A) (b) The perspective view of the nozzle which comprises the cleaning unit in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図(A) (b) (c) Operation explanatory diagram of the screen printer in one embodiment of the present invention （ａ）本発明のその他の実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するノズルの平面図（ｂ）本発明のその他の実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するノズルの断面図(A) Plan view of a nozzle constituting a cleaning unit in another embodiment of the present invention (b) Cross-sectional view of a nozzle constituting a cleaning unit in another embodiment of the present invention （ａ）（ｂ）本発明のその他の実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するノズルの斜視図（ｃ）本発明のその他の実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するノズルの断面図(A) (b) The perspective view of the nozzle which comprises the cleaning unit in other embodiment of this invention (c) Sectional drawing of the nozzle which comprises the cleaning unit in other embodiment of this invention 本発明のその他の実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するノズルの断面図Sectional drawing of the nozzle which comprises the cleaning unit in other embodiment of this invention. （ａ）（ｂ）本発明のその他の実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するクリーニングヘッドの斜視図(A) (b) The perspective view of the cleaning head which comprises the cleaning unit in other embodiment of this invention. （ａ）本発明のその他の実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するノズルの平面図（ｂ）（ｃ）本発明のその他の実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するノズルの断面図(A) Top view of nozzle constituting a cleaning unit in another embodiment of the present invention (b) (c) Cross-sectional view of a nozzle constituting a cleaning unit in another embodiment of the present invention （ａ）本発明のその他の実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するノズルの平面図（ｂ）本発明のその他の実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するノズルの正面図（ｃ）本発明のその他の実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するノズルの斜視図（ｄ）本発明のその他の実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するノズルの正面図(A) Plan view of nozzles constituting a cleaning unit in another embodiment of the present invention (b) Front view of nozzles constituting a cleaning unit in another embodiment of the present invention (c) Other view of the present invention The perspective view of the nozzle which comprises the cleaning unit in embodiment. (D) The front view of the nozzle which comprises the cleaning unit in other embodiment of this invention. （ａ）本発明のその他の実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するノズルの平面図（ｂ）本発明のその他の実施の形態におけるクリーニングユニットを構成するノズルの断面図(A) Plan view of a nozzle constituting a cleaning unit in another embodiment of the present invention (b) Cross-sectional view of a nozzle constituting a cleaning unit in another embodiment of the present invention

本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。まず図１、図２及び図３を参照して、スクリーン印刷機の構造を説明する。図１において、スクリーン印刷機は基板位置決め部１の上方にスクリーン印刷部１１を配設して構成されている。基板位置決め部１はＹ軸テーブル２、Ｘ軸テーブル３及びθ軸テーブル４を段積みし、更にその上に第１のＺ軸テーブル５、第２のＺ軸テーブル６を組み合わせて構成されている。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. First, the structure of the screen printer will be described with reference to FIGS. 1, 2, and 3. FIG. In FIG. 1, the screen printing machine is configured by disposing a screen printing unit 11 above a substrate positioning unit 1. The substrate positioning unit 1 is configured by stacking a Y-axis table 2, an X-axis table 3 and a θ-axis table 4, and further combining a first Z-axis table 5 and a second Z-axis table 6 thereon. .

第１のＺ軸テーブル５の構成を説明する。θ軸テーブル４の上面に設けられた水平なベースプレート４ａの上面側には、同様に水平なベースプレート５ａが昇降ガイド機構（図示省略）によって昇降自在に保持されている。ベースプレート５ａは、複数の送りねじ５ｃをモータ５ｂによってベルト５ｄを介して回転駆動する構成のＺ軸昇降機構によって昇降する。 The configuration of the first Z-axis table 5 will be described. Similarly, on the upper surface side of the horizontal base plate 4 a provided on the upper surface of the θ-axis table 4, the horizontal base plate 5 a is held up and down by an elevating guide mechanism (not shown). The base plate 5a is moved up and down by a Z-axis lifting mechanism configured to rotationally drive a plurality of feed screws 5c through a belt 5d by a motor 5b.

ベースプレート５ａには垂直フレーム５ｅが立設されており、垂直フレーム５ｅの上端部には基板搬送機構８が保持されている。基板搬送機構８は基板搬送方向（図１において紙面垂直方向であるＸ方向）に平行に配設された２条の搬送レールを備えており、これらの搬送レールによって印刷対象の基板１０の両端部を支持して搬送する。第１のＺ軸テーブル５を駆動することにより、基板搬送機構８によって保持された状態の基板１０を、基板搬送機構８とともに後述するスクリーン印刷部１１に対して昇降させることができる。図２、図３に示すように、基板搬送機構８は上流側（図２、図３において左側）および下流側に延出し、上流側から搬入された基板１０は基板搬送機構８によって搬送され、さらに基板位置決め部１によって位置決めされる。そして後述するスクリーン印刷部１１によって印刷が行われた後の基板１０は、基板搬送機構８によって下流側に搬出される。 A vertical frame 5e is erected on the base plate 5a, and a substrate transport mechanism 8 is held at the upper end of the vertical frame 5e. The substrate transport mechanism 8 includes two transport rails arranged in parallel to the substrate transport direction (the X direction perpendicular to the paper surface in FIG. 1), and both end portions of the substrate 10 to be printed by these transport rails. It supports and conveys. By driving the first Z-axis table 5, the substrate 10 held by the substrate transport mechanism 8 can be moved up and down together with the substrate transport mechanism 8 with respect to a screen printing unit 11 described later. As shown in FIGS. 2 and 3, the substrate transport mechanism 8 extends to the upstream side (left side in FIGS. 2 and 3) and the downstream side, and the substrate 10 carried from the upstream side is transported by the substrate transport mechanism 8. Further, the substrate is positioned by the substrate positioning unit 1. Then, the substrate 10 after being printed by the screen printing unit 11 described later is carried out downstream by the substrate transport mechanism 8.

第２のＺ軸テーブル６の構成を説明する。基板搬送機構８とベースプレート５ａの中間には、水平なベースプレート６ａが昇降ガイド機構（図示省略）に沿って昇降自在に配設されている。ベースプレート６ａは、複数の送りねじ６ｃをモータ６ｂによってベルト６ｄを介して回転駆動する構成のＺ軸昇降機構によって昇降する。ベースプレート６ａの上面には、上面に基板１０を保持する下受け面が設けられた基板下受部７が配設されている。 The configuration of the second Z-axis table 6 will be described. A horizontal base plate 6a is disposed between the substrate transport mechanism 8 and the base plate 5a so as to be movable up and down along a lifting guide mechanism (not shown). The base plate 6a is moved up and down by a Z-axis lifting mechanism configured to rotationally drive a plurality of feed screws 6c through a belt 6d by a motor 6b. On the upper surface of the base plate 6a, there is disposed a substrate lower receiving portion 7 having a lower receiving surface for holding the substrate 10 on the upper surface.

第２のＺ軸テーブル６を駆動することにより、基板下受部７は基板搬送機構８に保持された状態の基板１０に対して昇降する。そして基板下受部７の下受け面が基板１０の下面に当接することにより、基板下受部７は基板１０を下面側から支持する。基板搬送機構８の上面にはクランプ機構９が配設されている。クランプ機構９は、左右対向して配置された２つのクランプ部材９ａを備えており、一方側のクランプ部材９ａを駆動機構９ｂによって進退させることにより、基板１０を両側からクランプして固定する。 By driving the second Z-axis table 6, the substrate receiving unit 7 moves up and down with respect to the substrate 10 held by the substrate transport mechanism 8. The substrate receiving portion 7 supports the substrate 10 from the lower surface side when the lower receiving surface of the substrate lower receiving portion 7 contacts the lower surface of the substrate 10. A clamp mechanism 9 is disposed on the upper surface of the substrate transport mechanism 8. The clamp mechanism 9 includes two clamp members 9a that are arranged opposite to each other on the left and right sides, and the substrate 10 is clamped and fixed from both sides by moving the clamp member 9a on one side forward and backward by the drive mechanism 9b.

次に、スクリーン印刷部１１について説明する。図１及び図２において、マスク枠１２ａには可撓性を有するスクリーンマスク１２が展張されており、またスクリーンマスク１２には基板１０において印刷対象となる電極１０ａの形状・位置（図３参照）に対応して、複数のパターン孔１２ｂが形成されている。このスクリーンマスク１２上には、ペースト供給機構（図示省略）によってクリーム半田や導電性ペースト等のペーストＰが供給される。 Next, the screen printing unit 11 will be described. 1 and 2, a flexible screen mask 12 is extended on the mask frame 12 a, and the shape and position of the electrode 10 a to be printed on the substrate 10 (see FIG. 3). A plurality of pattern holes 12b are formed corresponding to the above. A paste P such as cream solder or conductive paste is supplied onto the screen mask 12 by a paste supply mechanism (not shown).

スクリーンマスク１２上にはスキージユニット１３が配設されている。スキージユニット１３は、水平なプレート１４にスキージ１６を昇降させるスキージ昇降機構１５を配設した構成となっている。スキージ昇降機構１５を駆動することによりスキージ１６は昇降し、スクリーンマスク１２の上面に当接する。 A squeegee unit 13 is disposed on the screen mask 12. The squeegee unit 13 has a configuration in which a squeegee raising / lowering mechanism 15 for raising and lowering the squeegee 16 is disposed on a horizontal plate 14. By driving the squeegee lifting mechanism 15, the squeegee 16 moves up and down and comes into contact with the upper surface of the screen mask 12.

図２において、縦フレーム２５上に配置されたブラケット２６上にはガイドレール２７がＹ方向に配設されており、ガイドレール２７にスライド自在に嵌合したスライダ２８は、プレート１４の両端に結合されている。これにより、スキージユニット１３はＸ方向と直交するＹ方向にスライド自在となっている。プレート１４は、ナット３０、送りねじ２９および送りねじ２９を回転駆動するスキージ移動用モータ（図示省略）より成るスキージ移動手段によりＹ方向に水平移動する。 In FIG. 2, a guide rail 27 is disposed in the Y direction on a bracket 26 disposed on the vertical frame 25, and a slider 28 slidably fitted on the guide rail 27 is coupled to both ends of the plate 14. Has been. Thereby, the squeegee unit 13 is slidable in the Y direction orthogonal to the X direction. The plate 14 is horizontally moved in the Y direction by a squeegee moving means comprising a nut 30, a feed screw 29, and a squeegee moving motor (not shown) that rotationally drives the feed screw 29.

図１において、スクリーンマスク１２の下方にはカメラヘッドユニット１７及びスクリーンマスク１２のクリーニング装置としてのクリーニングユニット１８が配設されている。本実施の形態においては、カメラヘッドユニット１７とクリーニングユニット１８はＸ軸テーブル１９（図２参照）に装着されてＹ方向に一体的に移動する構成となっている。なお、クリーニングユニット１８については後に詳しく説明する。 In FIG. 1, a camera head unit 17 and a cleaning unit 18 as a cleaning device for the screen mask 12 are disposed below the screen mask 12. In the present embodiment, the camera head unit 17 and the cleaning unit 18 are mounted on an X-axis table 19 (see FIG. 2) and integrally move in the Y direction. The cleaning unit 18 will be described in detail later.

カメラヘッドユニット１７は、基板１０を上方から撮像するための基板認識カメラ１７ａと、スクリーンマスク１２を下面側から撮像するためのマスク認識カメラ１７ｂとを備えている。カメラヘッドユニット１７をＹ方向に水平移動させることによって基板１０とスクリーンマスク１２の認識を同時に行うことができる。 The camera head unit 17 includes a substrate recognition camera 17a for imaging the substrate 10 from above, and a mask recognition camera 17b for imaging the screen mask 12 from the lower surface side. The substrate 10 and the screen mask 12 can be simultaneously recognized by moving the camera head unit 17 horizontally in the Y direction.

図２において、縦フレーム２５上にはガイドレール３１がＹ方向に配設されており、ガイドレール３１にスライド自在に嵌合したスライダ３２は、Ｘ軸テーブル１９にブラケット１９ａを介して結合されている。これにより、Ｘ軸テーブル１９はＹ方向にスライド自在となっている。Ｘ軸テーブル１９は、ナット３４、送りねじ３３および送りねじ３３を回転駆動する移動用モータ（図示省略）より成るＹ軸移動機構２０によりＹ方向に水平移動する。このようにＸ軸テーブル１９及びＹ軸移動機構２０は、カメラヘッドユニット１７及びクリーニングユニット１８を一体的に水平移動させるユニット移動機構を構成する。 In FIG. 2, a guide rail 31 is disposed on the vertical frame 25 in the Y direction, and a slider 32 slidably fitted to the guide rail 31 is coupled to the X-axis table 19 via a bracket 19a. Yes. Thereby, the X-axis table 19 is slidable in the Y direction. The X-axis table 19 is horizontally moved in the Y direction by a Y-axis moving mechanism 20 including a nut 34, a feed screw 33, and a moving motor (not shown) that rotationally drives the feed screw 33. As described above, the X-axis table 19 and the Y-axis moving mechanism 20 constitute a unit moving mechanism that horizontally moves the camera head unit 17 and the cleaning unit 18 integrally.

カメラヘッドユニット１７による基板１０やスクリーンマスク１２の認識を行わず、またクリーニングユニット１８によるクリーニングを行わないときには、図４（ａ）に示すように、カメラヘッドユニット１７、クリーニングユニット１８はともに基板位置決め部１の上方から側方に退避する。そして各ユニットによる所定の動作を実行する際には、図４（ｂ）に示すように、カメラヘッドユニット１７及びクリーニングユニット１８をスクリーンマスク１２の下方に進出させる（矢印ａ）。 When the substrate 10 and the screen mask 12 are not recognized by the camera head unit 17 and the cleaning by the cleaning unit 18 is not performed, the camera head unit 17 and the cleaning unit 18 are both positioned as shown in FIG. Retreat from the top of the part 1 to the side. When a predetermined operation is performed by each unit, the camera head unit 17 and the cleaning unit 18 are advanced below the screen mask 12 (arrow a) as shown in FIG. 4B.

次に、スクリーン印刷部１１による印刷動作について説明する。なお、スクリーン印刷機を構成する各機構は、当該スクリーン印刷機に備えられた処理演算機能を有する制御部（図示省略）によって作動制御される。まず基板搬送機構８によって基板１０が印刷位置に搬入されると、制御部は第２のＺ軸テーブル６を駆動して基板下受部７を上昇させ、基板１０の下面を下受けする。そしてこの状態で基板位置決め部１を駆動して基板１０をスクリーンマスク１２に対して位置合わせする。この後、制御部は第１のＺ軸テーブル５を駆動して基板１０を基板搬送機構８とともに上昇させてスクリーンマスク１２の下面に当接させ、次いで基板１０をクランプ機構９によってクランプする。これにより、スキージユニット１３によるスキージングにおいて、基板１０の水平位置が固定される。そしてこの状態で、制御部はペーストＰが供給されたスクリーンマスク１２上でスキージ１６を摺動させることにより、パターン孔１２ｂを介して基板１０にペーストＰを印刷する。 Next, the printing operation by the screen printing unit 11 will be described. In addition, each mechanism which comprises a screen printing machine is operation-controlled by the control part (illustration omitted) which has the process calculation function with which the said screen printing machine was equipped. First, when the substrate 10 is carried into the printing position by the substrate transport mechanism 8, the control unit drives the second Z-axis table 6 to raise the substrate receiving unit 7 to receive the lower surface of the substrate 10. In this state, the substrate positioning unit 1 is driven to align the substrate 10 with the screen mask 12. Thereafter, the control unit drives the first Z-axis table 5 to raise the substrate 10 together with the substrate transport mechanism 8 to contact the lower surface of the screen mask 12, and then clamp the substrate 10 by the clamp mechanism 9. Thereby, the horizontal position of the board | substrate 10 is fixed in the squeegeeing by the squeegee unit 13. In this state, the control unit prints the paste P on the substrate 10 through the pattern holes 12b by sliding the squeegee 16 on the screen mask 12 to which the paste P is supplied.

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機は、パターン孔１２ｂが形成された可撓性のスクリーンマスク１２の下面に基板１０を当接させ、スクリーンマスク１２上でスキージ１６を摺動させることによりパターン孔１２ｂを介して基板１０にペーストＰを印刷する機能を有する。 As described above, in the screen printing machine according to the present embodiment, the substrate 10 is brought into contact with the lower surface of the flexible screen mask 12 in which the pattern holes 12b are formed, and the squeegee 16 is slid on the screen mask 12. As a result, the paste P is printed on the substrate 10 through the pattern holes 12b.

次に、図５、図６及び図７を参照してクリーニングユニット１８（スクリーンマスク１２のクリーニング装置）の構造を説明する。図５（ｂ）は、図５（ａ）に示すクリーニングユニット１８のＡ−Ａ断面を示している。また図６（ｂ）、（ｄ）は、図６（ａ）、（ｃ）に示すノズル２１のＢ−Ｂ断面、Ｃ−Ｃ断面をそれぞれ示している。クリーニングユニット１８はスクリーンマスク１２の下面をクリーニングする機能を有しており、水平なユニットベース１８ａに未使用のクリーニングペーパー２３を巻回したペーパーロール２２Ａと、使用済みのクリーニングペーパーを巻回したペーパーロール２２Ｂの間に、Ｘ方向に伸びたクリーニングヘッドとしての細長形状のノズル２１を配設した構成となっている。以下、Ｘ方向を「長手方向」と称し、長手方向と直交するＹ方向を「幅方向」と称する。 Next, the structure of the cleaning unit 18 (screen mask 12 cleaning device) will be described with reference to FIGS. FIG. 5B shows an AA cross section of the cleaning unit 18 shown in FIG. FIGS. 6B and 6D respectively show a BB cross section and a CC cross section of the nozzle 21 shown in FIGS. 6A and 6C. The cleaning unit 18 has a function of cleaning the lower surface of the screen mask 12, and includes a paper roll 22A in which an unused cleaning paper 23 is wound around a horizontal unit base 18a, and a paper in which used cleaning paper is wound. Between the rolls 22B, an elongated nozzle 21 is disposed as a cleaning head extending in the X direction. Hereinafter, the X direction is referred to as “longitudinal direction”, and the Y direction orthogonal to the longitudinal direction is referred to as “width direction”.

ユニットベース１８ａに立設された支持ブラケット１８ｂ、１８ｃには、ペーパーロール２２Ａ、２２Ｂをそれぞれ貫通するロール支持軸４０Ａ、４０Ｂが軸支される。支持ブラケット１８ｃにはロール支持軸４０Ｂと同軸位置にモータ４１が配置されており、ロール支持軸４０Ｂにはカップリング部材４２を介してモータ４１の回転軸が結合されている。モータ４１を駆動することにより、ロール支持軸４０Ｂが巻き取り方向に回転して、クリーニングペーパー２３がペーパーロール２２Ｂに巻き取られる。これによりペーパーロール２２Ａからクリーニングペーパー２３が引き出され、引き出されたクリーニングペーパー２３はガイドローラ３５によって導かれてノズル２１の上面を周回し、ペーパーロール２２Ｂに回収される。 Roll support shafts 40A and 40B penetrating the paper rolls 22A and 22B are pivotally supported by the support brackets 18b and 18c erected on the unit base 18a. A motor 41 is disposed on the support bracket 18c at a position coaxial with the roll support shaft 40B. A rotation shaft of the motor 41 is coupled to the roll support shaft 40B via a coupling member 42. By driving the motor 41, the roll support shaft 40B rotates in the winding direction, and the cleaning paper 23 is wound around the paper roll 22B. As a result, the cleaning paper 23 is drawn from the paper roll 22A, and the drawn cleaning paper 23 is guided by the guide roller 35, circulates around the upper surface of the nozzle 21, and is collected by the paper roll 22B.

図５（ｂ）及び図７（ａ）、（ｂ）において、ノズル２１の下面には長手方向に伸びた板状のプレート５３が固着しており、ノズル２１の下面から長手方向に延出した両側の所定箇所には孔部５３ａが形成されている。また、ノズル２１の長手方向における両側の下方位置には、ヘッド（ノズル）昇降機構３６が配設されている（図８も併せて参照）。ヘッド昇降機構３６は上下方向に突没自在なロッド３６ａを有しており、孔部５３ａを介してネジ（図示省略）をロッド３６ａの上端部に螺合させることによって、ノズル２１とヘッド昇降機構３６を結合させることができる。 5B, 7A, and 7B, a plate-like plate 53 extending in the longitudinal direction is fixed to the lower surface of the nozzle 21, and extends from the lower surface of the nozzle 21 in the longitudinal direction. Holes 53a are formed at predetermined locations on both sides. In addition, head (nozzle) elevating mechanisms 36 are disposed at lower positions on both sides in the longitudinal direction of the nozzle 21 (see also FIG. 8). The head elevating mechanism 36 has a rod 36a that can protrude and retract in the vertical direction. By screwing a screw (not shown) into the upper end of the rod 36a through the hole 53a, the nozzle 21 and the head elevating mechanism are arranged. 36 can be combined.

ヘッド昇降機構３６を駆動することにより、ノズル２１（クリーニングヘッド）はスクリーンマスク１２に対して昇降する（矢印ｂ）。図５（ｂ）に示す通常状態では、ノズル２１は下降状態にある。そして、スクリーンマスク１２の下面を清掃するクリーニング時には、ヘッド昇降機構３６を駆動してノズル２１を上昇させ、クリーニングペーパー２３をスクリーンマスク１２の下面に押し付ける。 By driving the head lifting mechanism 36, the nozzle 21 (cleaning head) moves up and down with respect to the screen mask 12 (arrow b). In the normal state shown in FIG. 5B, the nozzle 21 is in the lowered state. When cleaning the lower surface of the screen mask 12, the head lifting mechanism 36 is driven to raise the nozzle 21 and press the cleaning paper 23 against the lower surface of the screen mask 12.

図６（ａ）、（ｂ）において、ノズル２１の上面には長手方向の長さをＬ１とし、幅方向の長さをＷ１とし、上下方向の高さ（深さ）をＨ１とした溝部２１ａが形成されている。この溝部２１ａの底面には真空吸引機構３７（図５（ｂ）参照）と連通した吸引口２１ｂが所定の範囲に亘って複数形成されている。また、溝部２１ａの底面の長手方向における両側の位置には、吸引口２１ｂが形成されていない水平部２１ｃが長手方向に長さＬ２に亘って形成されている。この水平部２１ｃの中央部には、複数（２つ）のネジ穴２１ｄが長手方向に所定のピッチで形成されている。 6 (a) and 6 (b), the upper surface of the nozzle 21 has a groove portion 21a in which the length in the longitudinal direction is L1, the length in the width direction is W1, and the height (depth) in the vertical direction is H1. Is formed. A plurality of suction ports 21b communicating with the vacuum suction mechanism 37 (see FIG. 5B) are formed on the bottom surface of the groove 21a over a predetermined range. In addition, horizontal portions 21c where the suction ports 21b are not formed are formed in the longitudinal direction over the length L2 at positions on both sides in the longitudinal direction of the bottom surface of the groove portion 21a. A plurality (two) of screw holes 21d are formed at a predetermined pitch in the longitudinal direction at the center of the horizontal portion 21c.

図６（ｃ）、（ｄ）及び図７（ａ）、（ｂ）において、溝部２１ａには長手方向に伸びた弾性の素材（例えばスポンジや低反発ゴム）からなる２つの緩衝部材５０，５０がそれぞれ溝部２１ａの縁部に沿った状態で着脱自在に装着される。緩衝部材５０の幅方向の長さＷ２は、Ｗ１＞Ｗ２＋Ｗ２となるように設定されている。したがって、２つの緩衝部材５０，５０を溝部２１ａに装着した場合、両部材の間には平面視して幅方向に長さＷ３（＝Ｗ１−Ｗ２×２）の隙間が生じる。これにより、隙間Ｗ３から吸引口２１ｂの少なくとも一部を露出させ、クリーニングペーパー２３の吸引を阻害しないようになっている。また、ネジ穴２１ｄは隙間Ｗ３に位置するよう形成されている。なお、吸引口２１ｂに替えて長手方向に伸びた１つの吸引口を溝部２１ａの底面に形成するようにしてもよい。 6 (c), 6 (d), 7 (a) and 7 (b), the groove portion 21a has two buffer members 50, 50 made of an elastic material (for example, sponge or low resilience rubber) extending in the longitudinal direction. Are detachably mounted in a state along the edge of the groove 21a. The length W2 in the width direction of the buffer member 50 is set to satisfy W1> W2 + W2. Therefore, when the two buffer members 50 are mounted in the groove portion 21a, a gap having a length W3 (= W1-W2 × 2) is generated in the width direction between the two members in plan view. Thereby, at least a part of the suction port 21b is exposed from the gap W3, and the suction of the cleaning paper 23 is not hindered. The screw hole 21d is formed so as to be positioned in the gap W3. Instead of the suction port 21b, one suction port extending in the longitudinal direction may be formed on the bottom surface of the groove 21a.

図６（ｄ）及び図７（ａ）において、緩衝部材５０は薄肉部５０ａと本体部（厚肉部）５０ｂから成る。薄肉部５０ａは、本体部５０ｂの長手方向における両側に水平部２１ｃと対応する長さＬ２に亘ってそれぞれ形成されている。また、その高さ（厚み）は溝部２１ａの高さＨ１よりも低く設定されている。 In FIG. 6D and FIG. 7A, the buffer member 50 includes a thin portion 50a and a main body portion (thick portion) 50b. The thin portion 50a is formed on both sides in the longitudinal direction of the main body portion 50b over a length L2 corresponding to the horizontal portion 21c. The height (thickness) is set lower than the height H1 of the groove 21a.

緩衝部材５０をノズル２１に固定するには、板状部材としての薄いプレート５１を複数（ここでは２つ）用意し、薄肉部５０ａを水平部２１ｃとプレート５１によって上下から挟み込む。プレート５１には複数（２つ）の孔部５１ａ（図７（ａ）参照）が２つのネジ穴２１ｄと等ピッチで形成されており、薄肉部５０ａを挟み込んだ状態でネジ５２をネジ穴２１ｄに孔部５１ａを介して螺合させる。このようにして緩衝部材５０をノズル２１に固定した状態において、プレート５１とネジ５２は溝部２１ａ内に収容される（図６（ｄ）参照）。上記構成において、プレート５１及びネジ５２は、緩衝部材５０をノズル２１に固定する固定手段となっている。 In order to fix the buffer member 50 to the nozzle 21, a plurality (two in this case) of thin plates 51 as plate-like members are prepared, and the thin portion 50 a is sandwiched between the horizontal portion 21 c and the plate 51 from above and below. A plurality of (two) hole portions 51a (see FIG. 7A) are formed in the plate 51 at the same pitch as the two screw holes 21d, and the screws 52 are screwed into the screw holes 21d with the thin-walled portion 50a sandwiched therebetween. And are screwed together through the hole 51a. In the state where the buffer member 50 is fixed to the nozzle 21 in this way, the plate 51 and the screw 52 are accommodated in the groove 21a (see FIG. 6D). In the above configuration, the plate 51 and the screw 52 serve as a fixing unit that fixes the buffer member 50 to the nozzle 21.

図６（ｄ）に示すように、本体部５０ｂの上面は緩衝部材５０をノズル２１に装着した状態において、長手方向と直交する方向からみて両側から中央に向かうにしたがって緩やかに盛り上がり（図６（ｄ）に示す矢印ｃ）、さらに所定の位置からノズル２１の上面よりも上方に突出している。すなわち、本体部５０ｂの上面はその中央位置を頂部５０ｃとした凸形状（緩やかな曲面形状）となっている。そして、本体部５０ｂの上面のうちノズル２１の上面から上方に突出した突出面５０ｄと、突出面５０ｄを避けたノズル２１の両側の上面２１ｅは、クリーニングペーパー２３をスクリーンマスク１２に押し付ける押し付け面となっている。また押し付け面の一部は、ノズル２１（クリーニングヘッド）に着脱自在に取り付けられる押し付け部材としての緩衝部材５０の上面に形成されている。 As shown in FIG. 6D, the upper surface of the main body 50b gradually rises from both sides toward the center when viewed from the direction orthogonal to the longitudinal direction when the buffer member 50 is attached to the nozzle 21 (FIG. The arrow c) shown in d) further protrudes above the upper surface of the nozzle 21 from a predetermined position. That is, the upper surface of the main body 50b has a convex shape (gradual curved surface shape) with the central position at the top 50c. A protruding surface 50d that protrudes upward from the upper surface of the nozzle 21 out of the upper surface of the main body 50b, and an upper surface 21e on both sides of the nozzle 21 that avoids the protruding surface 50d are a pressing surface that presses the cleaning paper 23 against the screen mask 12. It has become. A part of the pressing surface is formed on the upper surface of a buffer member 50 as a pressing member that is detachably attached to the nozzle 21 (cleaning head).

本実施の形態におけるクリーニングユニット１８は以上のような構成から成り、次に図８を参照してクリーニング動作について説明する。なお、各機構の作動制御は前述したスクリーン印刷機に備えられた制御部によってなされる。また、便宜上、図８ではクリーニングペーパー２３の図示を省略する（図８（ｃ）に示す部分拡大図のみ図示する）。図８は、スクリーン印刷を終えた後のスクリーン印刷機の正面図（一部）を示している。以下に説明するクリーニング動作は、スクリーン印刷後のスクリーンマスク１２の下面に付着したペーストＰや、基板１０上に完全に転写されずにパターン孔１２ｂに残留したペーストＰの除去を目的とする。 The cleaning unit 18 in the present embodiment is configured as described above. Next, the cleaning operation will be described with reference to FIG. The operation control of each mechanism is performed by a control unit provided in the screen printing machine described above. For the sake of convenience, the illustration of the cleaning paper 23 is omitted in FIG. 8 (only a partially enlarged view shown in FIG. 8C is shown). FIG. 8 shows a front view (part) of the screen printing machine after screen printing is completed. The purpose of the cleaning operation described below is to remove the paste P adhering to the lower surface of the screen mask 12 after screen printing or the paste P remaining in the pattern hole 12b without being completely transferred onto the substrate 10.

まず図８（ａ）に示すように、制御部はクリーニングユニット１８を退避位置からスクリーンマスク１２の下方に移動（矢印ｄ）させて位置合わせを行う（ＳＴ１：位置合わせ工程）。具体的には、スクリーンマスク１２の中心を垂直に通る線分Ｔ上にノズル２１の中央位置、すなわち緩衝部材５０の上面の頂部５０ｃが位置するようにクリーニングユニット１８を位置合わせする。 First, as shown in FIG. 8A, the control unit moves the cleaning unit 18 from the retracted position to the lower side of the screen mask 12 (arrow d) to perform alignment (ST1: alignment process). Specifically, the cleaning unit 18 is aligned so that the center position of the nozzle 21, that is, the top portion 50 c of the upper surface of the buffer member 50, is located on a line segment T passing through the center of the screen mask 12.

次に図８（ｂ）に示すように、制御部はノズル２１を上昇させて（矢印ｅ１）、クリーニングペーパー２３を介して緩衝部材５０の上面をスクリーンマスク１２の下面に当接させる。そして図８（ｃ）に示すように、制御部はノズル２１をさらに上昇させることによって（矢印ｅ２）、押し付け面を介してクリーニングペーパー２３をスクリーンマスク１２の下面に押し付けながらスクリーンマスク１２を所定の高さまで持ち上げる（ＳＴ２：押し付け工程）。 Next, as shown in FIG. 8B, the control unit raises the nozzle 21 (arrow e 1) and brings the upper surface of the buffer member 50 into contact with the lower surface of the screen mask 12 through the cleaning paper 23. Then, as shown in FIG. 8C, the control unit further raises the nozzle 21 (arrow e2), and presses the cleaning mask 23 against the lower surface of the screen mask 12 through the pressing surface, thereby moving the screen mask 12 to a predetermined level. Lift to height (ST2: pressing process).

ここで、スクリーンマスク１２と緩衝部材５０の当接について詳しく説明する。ノズル２１を上昇させたとき、まずスクリーンマスク１２と最も距離が近い緩衝部材５０の頂部５０ｃがクリーニングペーパー２３を介してスクリーンマスク１２の下面中央に当接する。そしてノズル２１をさらに上昇させると、緩衝部材５０の突出面５０ｄの形状（緩曲面）に倣ってスクリーンマスク１２が撓み、下面中央から両側に向かって順次当接しながら持ち上げられる。 Here, the contact between the screen mask 12 and the buffer member 50 will be described in detail. When the nozzle 21 is raised, first, the top portion 50 c of the buffer member 50 that is the closest to the screen mask 12 contacts the center of the lower surface of the screen mask 12 through the cleaning paper 23. When the nozzle 21 is further raised, the screen mask 12 bends in accordance with the shape (slowly curved surface) of the protruding surface 50d of the buffer member 50, and is lifted while sequentially abutting from the center of the lower surface toward both sides.

すなわち、上面に緩やかな曲面を有する緩衝部材５０を用いてスクリーンマスク１２を持ち上げることで、スクリーンマスク１２の下面と緩衝部材５０の上面との間には隙間が生じず、クリーニングペーパー２３を介して緩衝部材５０及びノズル２１の押し付け面の全体をスクリーンマスク１２の下面に密着させることができる（図８（ｃ）参照）。また、経時劣化等によりスクリーンマスク１２の下面に生じた凹凸を緩衝部材５０の表面で吸収することができ、スクリーンマスク１２とノズル２１の密着性を向上させることができる。 That is, by lifting the screen mask 12 using the buffer member 50 having a gently curved surface on the upper surface, no gap is formed between the lower surface of the screen mask 12 and the upper surface of the buffer member 50, and the cleaning paper 23 is interposed therebetween. The entire pressing surface of the buffer member 50 and the nozzle 21 can be brought into close contact with the lower surface of the screen mask 12 (see FIG. 8C). In addition, unevenness generated on the lower surface of the screen mask 12 due to deterioration with time or the like can be absorbed by the surface of the buffer member 50, and the adhesion between the screen mask 12 and the nozzle 21 can be improved.

スクリーンマスク１２を所定の高さまで持ち上げたならば、制御部は真空吸引機構３７を作動させることにより吸引口２１ｂを介してスクリーンマスク１２の下面を吸引する。そして、吸引を維持しつつクリーニングペーパー２３をスクリーンマスク１２の下面に押し付けた状態で、ノズル２１をクリーニング方向（Ｙ方向）に水平移動させる。これにより、スクリーンマスク１２の下面やパターン孔１２ｂに付着するペーストＰはクリーニングペーパー２３に拭き取り除去（すなわちクリーニング）される（ＳＴ３：ペースト除去工程）。このように、Ｘ軸テーブル１９及びＹ軸移動機構２０より成るユニット移動機構は、クリーニングユニット１８を水平移動させることによりノズル２１をスクリーンマスク１２の下面においてクリーニング方向へ移動させるノズル移動手段となっている。 When the screen mask 12 is lifted to a predetermined height, the control unit sucks the lower surface of the screen mask 12 through the suction port 21b by operating the vacuum suction mechanism 37. Then, with the cleaning paper 23 pressed against the lower surface of the screen mask 12 while maintaining suction, the nozzle 21 is moved horizontally in the cleaning direction (Y direction). Thereby, the paste P adhering to the lower surface of the screen mask 12 and the pattern hole 12b is wiped away (that is, cleaned) by the cleaning paper 23 (ST3: paste removal step). As described above, the unit moving mechanism including the X-axis table 19 and the Y-axis moving mechanism 20 serves as nozzle moving means for moving the nozzle 21 in the cleaning direction on the lower surface of the screen mask 12 by horizontally moving the cleaning unit 18. Yes.

なお、緩衝部材５０及びノズル２１の押し付け面は、前述のとおりクリーニングペーパー２３を介してスクリーンマスク１２の下面と良好に密着しているので、クリーニングペーパー２３をスクリーンマスク１２の下面に押し付けた状態を維持したままクリーニングを行うことができる。その結果、スクリーンマスク１２の下面やパターン孔１２ｂに付着するペーストＰをクリーニングペーパーに確実に付着させて除去することができる。 Since the pressing surfaces of the buffer member 50 and the nozzle 21 are in good contact with the lower surface of the screen mask 12 through the cleaning paper 23 as described above, the state where the cleaning paper 23 is pressed against the lower surface of the screen mask 12 is maintained. Cleaning can be performed while maintaining. As a result, the paste P adhering to the lower surface of the screen mask 12 and the pattern hole 12b can be reliably adhered to the cleaning paper and removed.

以上説明したように、本実施の形態におけるクリーニングユニット１８は、スクリーンマスク１２の下面に付着したペーストＰをクリーニングペーパー２３によって拭き取って除去する機能を有する。また、緩衝部材５０はノズル２１を構成する一つの要素として用いられる。そして、ノズル２１（クリーニングヘッド）は、クリーニングペーパー２３をスクリーンマスク１２に押し付ける押し付け面を有する第１の押し付け部材となっており、緩衝部材５０は同様にスクリーンマスク１２に押し付ける押し付け面を有する第２の押し付け部材となっている。 As described above, the cleaning unit 18 in the present embodiment has a function of removing the paste P adhering to the lower surface of the screen mask 12 by wiping with the cleaning paper 23. Further, the buffer member 50 is used as one element constituting the nozzle 21. The nozzle 21 (cleaning head) serves as a first pressing member having a pressing surface that presses the cleaning paper 23 against the screen mask 12, and the buffer member 50 similarly has a pressing surface that presses against the screen mask 12. It is a pressing member.

また、ノズル２１の押し付け面は、両側から中央（ノズル２１の上面の所定の位置から中央側）に向かうにしたがって盛り上がった形状の凸部（緩やかな曲面）を有する。換言すれば、ノズル２１の押し付け面は、ノズル２１の上昇によってクリーニングペーパー２３を介してスクリーンマスク１２を下方から押し上げる際、当該スクリーンマスク１２の下面の略中央から側方に向かって順次当接する形状を有している。 The pressing surface of the nozzle 21 has a convex portion (gradual curved surface) that rises from both sides toward the center (from a predetermined position on the upper surface of the nozzle 21 toward the center). In other words, the pressing surface of the nozzle 21 is configured such that when the screen mask 12 is pushed up from below through the cleaning paper 23 as the nozzle 21 rises, the surface of the nozzle 21 sequentially comes into contact from the approximate center of the lower surface of the screen mask 12 to the side. have.

また本実施の形態においては、プレート５１のサイズを変更することによって緩衝部材５０の押し付け面の長手方向における長さを変更することができる。図９（ａ）、（ｂ）は、プレート５１の長手方向の長さＬ２よりもＬ３だけ長いプレート５１Ａを用いて緩衝部材５０をノズル２１に固定した例を示している。弾性の素材から成る緩衝部材５０は外からの押圧を受けることによって変形する。したがって、緩衝部材５０をプレート５１Ａによって上方から押し付けた際、押圧が作用した部分は押し潰される。そしてこの状態でネジ５２を介して固定することにより、押し付け面（突出面５０ｄ）の長手方向における長さを変更したノズル２１が完成する。このように、様々なサイズの板状部材を用いて緩衝部材５０の押さえ量を変化させることによって、緩衝部材５０の押し付け面のサイズを変更することができる。これにより、スクリーンマスク１２の下面のクリーニング範囲に応じて緩衝部材５０の押し付け面のサイズを変更することができる。 In the present embodiment, the length of the pressing surface of the buffer member 50 in the longitudinal direction can be changed by changing the size of the plate 51. FIGS. 9A and 9B show an example in which the buffer member 50 is fixed to the nozzle 21 using a plate 51A that is longer than the length L2 of the plate 51 in the longitudinal direction by L3. The buffer member 50 made of an elastic material is deformed by receiving a pressure from the outside. Therefore, when the buffer member 50 is pressed from above by the plate 51A, the portion on which the pressure is applied is crushed. In this state, the nozzle 21 is completed by changing the length of the pressing surface (protruding surface 50d) in the longitudinal direction by fixing via the screw 52. Thus, the size of the pressing surface of the buffer member 50 can be changed by changing the pressing amount of the buffer member 50 using plate members of various sizes. Thereby, the size of the pressing surface of the buffer member 50 can be changed according to the cleaning range of the lower surface of the screen mask 12.

また、図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、緩衝部材５０とは形状が異なる緩衝部材６０を用いてもよい。すなわち、緩衝部材６０は長手方向における全体の厚み（高さ）が一定となっており、且つノズル２１に装着した状態においてその全体がノズル２１の上面よりも上方に突出している。つまり、緩衝部材６０には緩衝部材５０の薄肉部５０ａに相当する部位が形成されていない。また、緩衝部材６０の上面の中央部には長手方向に沿って伸びた開口部６０ａが形成されている。吸引口２１ｂの一部はこの開口部６０ａから露出し、これによりスクリーンマスク１２を下方から吸引する。 Further, as shown in FIGS. 10A, 10 B, and 10 C, a buffer member 60 having a shape different from that of the buffer member 50 may be used. That is, the entire thickness (height) of the buffer member 60 in the longitudinal direction is constant, and the whole of the buffer member 60 protrudes above the upper surface of the nozzle 21 when mounted on the nozzle 21. In other words, the buffer member 60 is not formed with a portion corresponding to the thin portion 50a of the buffer member 50. Further, an opening 60 a extending along the longitudinal direction is formed at the center of the upper surface of the buffer member 60. A part of the suction port 21b is exposed from the opening 60a, thereby sucking the screen mask 12 from below.

緩衝部材６０の上面を緩やかな曲面形状とするには、前述したプレート５１を２つ用いる。すなわち、緩衝部材６０の両側を水平部２１ｃとプレート５１によって上下から挟み込み、プレート５１によって緩衝部材６０を水平部２１ｃに押し付ける。プレート５１によって押し付けられた緩衝部材６０の部位は押し潰され、この状態で開口部６０ａを介してネジ５２をネジ穴２１ｄに螺合させる。これにより緩衝部材６０の上面を、両側から中央に向かうにしたがって緩やかに盛り上がり、さらに所定の位置からノズル２１の上面よりも上方に突出した緩やかな曲面に成型することができる。なお、緩衝部材６０の両側をテープ（図示省略）によって押し潰しながら当該テープをノズル２１に巻き付けて固定するようにしてもよい。 In order to make the upper surface of the buffer member 60 into a gently curved shape, the two plates 51 described above are used. That is, both sides of the buffer member 60 are sandwiched from above and below by the horizontal portion 21 c and the plate 51, and the buffer member 60 is pressed against the horizontal portion 21 c by the plate 51. The portion of the buffer member 60 pressed by the plate 51 is crushed, and in this state, the screw 52 is screwed into the screw hole 21d through the opening 60a. As a result, the upper surface of the buffer member 60 can be gently swelled from both sides toward the center, and further formed into a gently curved surface that protrudes above the upper surface of the nozzle 21 from a predetermined position. In addition, you may make it wind the said tape around the nozzle 21 and fix it, pressing both sides of the buffer member 60 with a tape (illustration omitted).

また、緩衝部材５０に替えて図１１に示す１つの緩衝部材７０を用いてもよい。この緩衝部材７０は、薄肉部７０ａと本体部７０ｂから成る。本体部７０ｂの上面は、緩衝部材７０をノズル２１に装着した状態において、長手方向と直交する方向からみて両側から中央に向かうにしたがって緩やかに盛り上がり（隆起し）、且つ所定の位置からノズル２１の上面よりも上方に突出した隆起部７０ｃと、隆起部７０ｃの中央側における終端７０ｃ１から水平方向に伸びた水平部７０ｄによって構成される。換言すれば、緩衝部材７０は本体部７０ｂの上面の両端の角部を曲加工したものであって、押し付け面の一部を水平に成型して成る。緩衝部材７０をこのように成型することで、緩衝部材７０の両端の角部のみが接触した状態のままスクリーンマスク１２を持ち上げ、スクリーンマスク１２と緩衝部材７０との間に隙間が発生するといった事態を抑制することができる。 Further, one buffer member 70 shown in FIG. 11 may be used instead of the buffer member 50. The buffer member 70 includes a thin portion 70a and a main body portion 70b. The upper surface of the main body 70b gently rises (raises) from both sides toward the center when viewed from the direction orthogonal to the longitudinal direction when the buffer member 70 is mounted on the nozzle 21, and the upper surface of the nozzle 21 from a predetermined position. A raised portion 70c protruding upward from the upper surface and a horizontal portion 70d extending in the horizontal direction from a terminal end 70c1 on the center side of the raised portion 70c. In other words, the buffer member 70 is formed by bending corners at both ends of the upper surface of the main body 70b, and is formed by horizontally molding a part of the pressing surface. By molding the buffer member 70 in this way, the screen mask 12 is lifted while only the corners at both ends of the buffer member 70 are in contact with each other, and a gap is generated between the screen mask 12 and the buffer member 70. Can be suppressed.

以下、本発明を応用したその他の実施の形態について説明する。なお、既に説明した部材と同一のものには同じ符号を付し、その説明を説明する。図１２（ａ）、（ｂ）は、ノズル２１に替えて吸引口が形成されていないクリーニングヘッド２１Ａを用いた例を示す。すなわち、クリーニングヘッド２１Ａの上面には溝部２１Ａａが形成されており、この溝部２１Ａａに１つの緩衝部材８０が装着される。なお、溝部２１Ａａの下面には吸引口が形成されていないため、緩衝部材８０に吸引口の一部を露出させるための開口部を設ける必要はない。 Hereinafter, other embodiments to which the present invention is applied will be described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same thing as the already demonstrated member, and the description is demonstrated. 12A and 12B show an example using a cleaning head 21A in which a suction port is not formed in place of the nozzle 21. FIG. That is, a groove 21Aa is formed on the upper surface of the cleaning head 21A, and one buffer member 80 is attached to the groove 21Aa. Since no suction port is formed on the lower surface of the groove portion 21Aa, it is not necessary to provide an opening for exposing a part of the suction port to the buffer member 80.

緩衝部材８０の幅方向の長さは溝部２１Ａａの幅方向の長さと略同一であり、緩衝部材５０と同様に薄肉部８０ａと本体部８０ｂから成る（各部位の具体的な形状は緩衝部材５０の薄肉部５０ａと本体部５０ｂと同一であるため、説明を省略する）。薄肉部８０ａには上下方向に貫通した複数（２つ）の孔部８０ｃが形成されている。緩衝部材８０をクリーニングヘッド２１Ａに固定するには、プレート５１Ａを複数（２つ）用意し、薄肉部８０ａを溝部２１Ａａの上面とプレート５１Ａによって上下から挟み込む。プレート５１Ａには孔部８０ｃと等ピッチで形成された複数（２つ）の孔部５１Ａａが形成されており、溝部２１Ａａに同じく孔部８０ｃと等ピッチで形成されたネジ穴２１Ａｂに、孔部８０ｃ，５１Ａａを介してネジ５２Ａを螺合させる。 The length in the width direction of the buffer member 80 is substantially the same as the length in the width direction of the groove 21Aa, and is composed of a thin-walled portion 80a and a main body portion 80b like the buffer member 50 (the specific shape of each part is the buffer member 50). The thin-walled portion 50a and the main body portion 50b are the same as the thin-walled portion 50a and the description thereof is omitted). A plurality of (two) holes 80c penetrating in the vertical direction are formed in the thin portion 80a. In order to fix the buffer member 80 to the cleaning head 21A, a plurality (two) of plates 51A are prepared, and the thin portion 80a is sandwiched from above and below by the upper surface of the groove portion 21Aa and the plate 51A. The plate 51A is formed with a plurality (two) of holes 51Aa formed at the same pitch as the holes 80c, and the screw holes 21Ab formed at the same pitch as the holes 80c are formed in the grooves 21Aa. The screw 52A is screwed through 80c and 51Aa.

クリーニングヘッド２１Ａを用いてクリーニングを行う際には、クリーニングヘッド２１Ａを上昇させることによってクリーニングペーパー２３をスクリーンマスク１２の下面に押し付け、この状態でスクリーンマスク１２を所定の高さまで持ち上げる。そして、クリーニング方向にクリーニングヘッド２１Ａを移動させることによってスクリーンマスク１２の下面に付着したペーストＰを拭き取って除去する。すなわち、ここでのクリーニングはスクリーンマスク１２の下面の吸引が行われないが、クリーニングヘッド２１Ａとスクリーンマスク１２との間の密着性は本実施の形態と同様に良好なものとなる。 When cleaning is performed using the cleaning head 21A, the cleaning paper 23 is pushed against the lower surface of the screen mask 12 by raising the cleaning head 21A, and in this state, the screen mask 12 is lifted to a predetermined height. And the paste P adhering to the lower surface of the screen mask 12 is wiped off by moving the cleaning head 21A in the cleaning direction. That is, in this cleaning, the lower surface of the screen mask 12 is not sucked, but the adhesion between the cleaning head 21A and the screen mask 12 is good as in the present embodiment.

次に、図１３（ａ）、（ｂ）は、緩衝部材５０に替えて、アルミニウム等の金属性の材料からなる当接部材９０（押し付け部材）をノズル２１Ｂに装着した例を示している。ノズル２１Ｂの上面には長手方向の長さをＬ４とし、幅方向の長さをＷ４とし、上下方向の高さ（深さ）をＨ２とした溝部２１Ｂａが形成されている。この溝部２１ａの底面には、真空吸引機構（図示省略）と連通した吸引口２１Ｂｂが長手方向に伸びて形成されている。 Next, FIGS. 13A and 13B show an example in which a contact member 90 (pressing member) made of a metallic material such as aluminum is attached to the nozzle 21 B instead of the buffer member 50. On the upper surface of the nozzle 21B, there is formed a groove 21Ba in which the length in the longitudinal direction is L4, the length in the width direction is W4, and the height (depth) in the vertical direction is H2. A suction port 21Bb communicating with a vacuum suction mechanism (not shown) is formed on the bottom surface of the groove 21a so as to extend in the longitudinal direction.

溝部２１Ｂａには、長手方向に伸びた２つの当接部材９０，９０がそれぞれ溝部２１Ｂａの縁部に沿った状態で着脱自在に装着され、当接部材９０は薄肉部９０ａと本体部９０ｂから成る（形状は緩衝部材５０の薄肉部５０ａと本体部５０ｂと同一である）。当接部材９０をノズル２１Ｂに固定するには、薄肉部９０ａに形成された孔部（図示省略）を介してネジ５２Ｂを溝部２１Ｂａに形成されたネジ穴（図示省略）に螺合させる。このようにして当接部材９０をノズル２１Ｂに固定した状態において、ネジ５２Ｂは溝部２１Ｂａ内に収容される。 Two contact members 90, 90 extending in the longitudinal direction are detachably attached to the groove portion 21Ba along the edge of the groove portion 21Ba, and the contact member 90 includes a thin portion 90a and a main body portion 90b. (The shape is the same as the thin portion 50a and the main body portion 50b of the buffer member 50). In order to fix the contact member 90 to the nozzle 21B, the screw 52B is screwed into a screw hole (not shown) formed in the groove 21Ba through a hole (not shown) formed in the thin portion 90a. In this state where the contact member 90 is fixed to the nozzle 21B, the screw 52B is accommodated in the groove 21Ba.

また、図１３（ｃ）は本体部９０ｂの上面に厚みの薄い弾性の素材からなる緩衝部材９１を、本体部９０ｂの上面の形状に倣わせて貼り付けた例を示している。これによれば、前述のとおりスクリーンマスク１２の下面の凹凸を緩衝部材９１の表面で吸収することができ、スクリーンマスク１２とノズル２１Ｂの密着性が向上する。 FIG. 13C shows an example in which a buffer member 91 made of an elastic material having a small thickness is attached to the upper surface of the main body 90b so as to follow the shape of the upper surface of the main body 90b. According to this, as described above, the unevenness of the lower surface of the screen mask 12 can be absorbed by the surface of the buffer member 91, and the adhesion between the screen mask 12 and the nozzle 21B is improved.

次に、図１４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は突出部１００をノズルの上面に形成した例を示している。すなわち、ノズル２１Ｃの上面には長手方向の縁部に沿って伸びる２つの突出部１００，１００が形成されている。この突出部１００の幅方向の長さＷ５は、ノズル２１Ｃの幅方向の長さをＷ６とした場合、Ｗ６＞Ｗ５×２となるように設定される。また、ノズル２１Ｂの上面であって突出部１００，１００の間には、真空吸引機構（図示省略）と連通し、且つ長手方向に伸びた吸引口２１Ｃａが形成されている。 Next, FIGS. 14A, 14 B, and 14 C show examples in which the protruding portion 100 is formed on the upper surface of the nozzle. That is, two protrusions 100, 100 extending along the edge in the longitudinal direction are formed on the upper surface of the nozzle 21C. The length W5 in the width direction of the protrusion 100 is set so that W6> W5 × 2 when the length in the width direction of the nozzle 21C is W6. Further, a suction port 21Ca that communicates with a vacuum suction mechanism (not shown) and extends in the longitudinal direction is formed between the protrusions 100 and 100 on the upper surface of the nozzle 21B.

突出部１００の上面は、長手方向と直交する方向からみて所定の位置から中央に向かうにしたがって緩やかに盛り上がっており（矢印ｆ）、上面の中央位置を頂部１００ａとした凸形状（緩やかな曲面）を成している。すなわちこの例では、突出部１００を含むノズル２１Ｃの上面が、クリーニングペーパー２３をスクリーンマスク１２に押し付ける押し付け面となっているとともに、ノズル２１Ｃが押し付け部材となっている。なお、ノズル２１Ｃの長手方向における両端部から中央に向かうにしたがって緩やかに盛り上がるように突出部１００Ａを形成してもよい（図１４（ｄ）参照）。また、突出部１００の上面に図１３（ｃ）で示したものと同様の厚みの薄い緩衝部材（図示省略）を貼り付けてもよい。 The upper surface of the protrusion 100 gently rises from a predetermined position toward the center as viewed from the direction orthogonal to the longitudinal direction (arrow f), and has a convex shape (gradual curved surface) with the center position of the upper surface as the top 100a. Is made. That is, in this example, the upper surface of the nozzle 21 C including the protruding portion 100 is a pressing surface that presses the cleaning paper 23 against the screen mask 12, and the nozzle 21 C is a pressing member. In addition, you may form protrusion part 100A so that it may rise gently as it goes to the center from the both ends in the longitudinal direction of nozzle 21C (refer FIG.14 (d)). Moreover, you may affix the thin buffer member (illustration omitted) similar to what was shown in FIG.13 (c) on the upper surface of the protrusion part 100. FIG.

次に、図１５（ａ）、（ｂ）は１つのスクリーンマスク１２を用いて２枚の基板１０にペーストＰを同時にスクリーン印刷する形態のスクリーン印刷機に対応したノズル２１Ｄを示している。すなわち、ノズル２１Ｄの上面には溝部２１Ｄａが形成されている。この溝部２１Ｄａの底面の中央と両側の各位置には水平部（図示省略）が形成されているとともに、各水平部の間における溝部２１Ｄａの底面には長手方向に伸びた吸引口２１Ｄｂが形成されている。 Next, FIGS. 15A and 15B show a nozzle 21 D corresponding to a screen printing machine in which paste P is simultaneously screen-printed on two substrates 10 using one screen mask 12. That is, the groove 21Da is formed on the upper surface of the nozzle 21D. A horizontal portion (not shown) is formed at each position on the center and both sides of the bottom surface of the groove portion 21Da, and a suction port 21Db extending in the longitudinal direction is formed on the bottom surface of the groove portion 21Da between the horizontal portions. ing.

溝部２１Ｄａには長手方向に伸びた弾性の素材からなる緩衝部材１１０，１１０がそれぞれ溝部２１Ｄａの縁部に沿った状態で着脱自在に装着される。この緩衝部材１１０は薄肉部１１０ａと本体部１１０ｂから成り、薄肉部１１０ａは水平部と対応する位置に複数形成されている（これらの詳細な説明は省略する）。 Buffer members 110, 110 made of an elastic material extending in the longitudinal direction are detachably mounted in the groove portion 21Da in a state along the edge of the groove portion 21Da. The buffer member 110 includes a thin portion 110a and a main body portion 110b, and a plurality of the thin portions 110a are formed at positions corresponding to the horizontal portion (the detailed description thereof is omitted).

緩衝部材１１０をノズル２１Ｄに固定するには、プレート５１Ｄを複数（３つ）用意し、薄肉部１１０ａを水平部とプレート５１Ｄによって挟み込む。この状態で、プレート５１Ｄに形成された孔部（図示省略）を介してネジ５２Ｄを水平部に形成されたネジ穴（図示省略）に螺合させる。なお、プレート５１Ｄのサイズを変更することによって本体部１１０ｂの押し付け面をクリーニング範囲に適したサイズに変更することができる。 In order to fix the buffer member 110 to the nozzle 21D, a plurality of (three) plates 51D are prepared, and the thin portion 110a is sandwiched between the horizontal portion and the plate 51D. In this state, the screw 52D is screwed into a screw hole (not shown) formed in the horizontal portion through a hole (not shown) formed in the plate 51D. Note that the pressing surface of the main body 110b can be changed to a size suitable for the cleaning range by changing the size of the plate 51D.

以上のように、本発明は様々な実施の形態が存在するが、これまで説明したものに限定されるものではない。要は、クリーニングヘッドの押し付け面が、両側から中央に向かうにしたがって盛り上がる凸部（緩やかな曲面形状）を有していればよい。 As described above, various embodiments of the present invention exist, but the present invention is not limited to those described so far. In short, it is only necessary that the pressing surface of the cleaning head has a convex portion (gradual curved surface shape) that rises from both sides toward the center.

また、ノズルに備えられる押し付け部材の数は１又は２以上であってもよい。また、ノズルの溝部に水平部を設けず吸引口にネジを螺合させて緩衝部材をノズルに固定させるようにしてもよく、押し付け部材をクリーニングヘッドに固定するための手段は任意である。また、一つのノズル昇降機構を用いてノズルの昇降を行うようにしてもよい。さらに、クリーニングユニットをカメラヘッドユニットと分離させて独立して移動させるようにしてもよい。 Further, the number of pressing members provided in the nozzle may be 1 or 2 or more. Further, the buffer member may be fixed to the nozzle by screwing a screw into the suction port without providing a horizontal portion in the groove portion of the nozzle, and means for fixing the pressing member to the cleaning head is arbitrary. Moreover, you may make it raise / lower a nozzle using one nozzle raising / lowering mechanism. Further, the cleaning unit may be moved separately from the camera head unit.

本発明によれば、スクリーンマスクの下面に付着したペーストを確実にクリーニングペーパーに付着させて除去することができ、基板にクリーム半田や導電性ペースト等のペーストを印刷するスクリーン印刷の分野に有用である。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the paste adhering to the lower surface of a screen mask can be reliably made to adhere to a cleaning paper and can be removed, and it is useful in the field of screen printing which prints pastes, such as cream solder and an electrically conductive paste, on a board | substrate. is there.

１０基板
１２スクリーンマスク
１２ｂパターン孔
１６スキージ
１８クリーニングユニット（スクリーンマスクのクリーニング装置）
２１，２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄノズル
２１Ａクリーニングヘッド
２１ｂ吸引口
２１ｅ上面（押し付け面）
２３クリーニングペーパー
３６ヘッド昇降機構
５０，６０，７０，８０，１１０緩衝部材（押し付け部材）
５０ｄ突出面（押し付け面）
９０当接部材（押し付け部材）
１００突出部
Ｐペースト 10 Substrate 12 Screen mask 12b Pattern hole 16 Squeegee 18 Cleaning unit (screen mask cleaning device)
21, 21B, 21C, 21D Nozzle 21A Cleaning head 21b Suction port 21e Upper surface (pressing surface)
23 Cleaning paper 36 Head lifting mechanism 50, 60, 70, 80, 110 Buffer member (pressing member)
50d Protruding surface (pressing surface)
90 Contact member (pressing member)
100 Protrusion P Paste

Claims

A screen printing machine for printing a paste on a substrate through the pattern hole by bringing the substrate into contact with the lower surface of a flexible screen mask having a pattern hole and sliding a squeegee on the screen mask. A screen mask cleaning device for removing the paste attached to the lower surface of the screen mask with a cleaning paper,
The screen mask cleaning device comprises:
A cleaning head having a pressing surface for pressing the cleaning paper against the screen mask;
A head lifting mechanism that lifts and lowers the cleaning head relative to the screen mask,
The pressing surfaces may have a convex portion which bulges toward both sides in the center, are and formed on the upper surface of the pressing member removably attached to said cleaning head,
The pressing member is made of an elastic material,
A fixing means for fixing the pressing member to the cleaning head;
A screen printing machine characterized in that the size of the pressing surface is changed by changing the pressing amount of the pressing member by the fixing means .

The screen printing machine according to claim 1, wherein the cleaning head is a nozzle having a suction port.

A screen printing machine that prints paste on the substrate through the pattern hole by bringing the substrate into contact with the lower surface of the flexible screen mask in which the pattern hole is formed and sliding the squeegee on the screen mask. A screen mask cleaning device that removes the paste adhered to the lower surface of the screen mask with a cleaning paper,
A cleaning head having a pressing surface for pressing the cleaning paper against the screen mask;
A head lifting mechanism that lifts and lowers the cleaning head relative to the screen mask,
The pressing surfaces may have a convex portion which bulges toward both sides in the center, are and formed on the upper surface of the pressing member removably attached to said cleaning head,
The pressing member is made of an elastic material,
A fixing means for fixing the pressing member to the cleaning head;
A screen mask cleaning apparatus , wherein the pressing surface is changed in size by changing a pressing amount of the pressing member by the fixing means .

4. The screen mask cleaning apparatus according to claim 3 , wherein the cleaning head is a nozzle having a suction port.