KR100286054B1 - 필름공급방법및장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 프린트배선판용 기판, 칼라필터용 기판, 플라즈마디스플레이용 기판 등의 기판 표면에 필름을 부착하기 위한 필르부착장치 등에 필름을 공급하는 방법 및 장치에 관한 것으로서, 지지필름위에 감광성수지층 및 칼라필름이 적층된 원반필름을 장치의 운전을 정지시키기 않고 연속적으로 박리하여 필름을 공급하며, 선행원반필름(12D)의 종단(12D)과 후행원반필름 선단(12E)의 투광성 지지필름(12A)에서 단면 점착테이프(56)에 의해 접속하고, 이 상태에서 보내오는 필름(12)의 커버필름(12C)을 상기 접속선 위치에서 상기 필로울러(90) 또는 후측 필로울러(92)에 감겨진 단면 점착테이프(96)를 주행시키면서 압접시켜서 커버필름(12C)을 접속선으로부터 박리하며, 그 다음 원반의 선단은 다른쪽의 필로울러(90) 또는 (92)에 감겨진 단면 점착테이프(96)에 의해서 박리하는 것을 특징으로 한다.

Description

필름공급방법 및 장치

제1도는 본 발명의 실시예에 따른 필름공급장치를 설치한 필름부착장치를 나타낸 개략측면도.

제2도는 제1도의 개략평면도.

제3도는 본 발명의 실시예에 따른 원반필름의 연속적 공급장치를 확대하여 도시한 단면도.

제4도는 제3도의 정면도.

제5도는 본 발명의 실시예에 따른 연속적공급장치에 있어서 어큐물레이터를 확대하여 도시한 개략측면도.

제6도는 본 발명의 실시예에 따른 필름공급장치의 주요부를 확대하여 도시한 개략측면도.

제7도는 본 발명의 실시예에 따른 필름공급장치의 주요부의 정면도.

제8도는 본 발명의 실시예에 따른 필름공급장치에 있어서 백업장치를 도시한 평면도.

제9도는 필름부착장치의 제어계를 도시한 블록도.

제10도는 본 발명장치에 의해 공급되는 필름을 확대하여 도시한 단면도.

제11도는 본 발명의 실시예에 따른 원반필름의 연속적 공급장치에 있어서 후행원반필름의 선단형성과정을 도시한 개략단면도.

제12도는 본 발명의 실시예에 따라 형성된 후행원반필름의 선단을 도시한 개략 단면도.

제13도는 본 발명의 실시예에 따라 형성된 후행원반필름의 선단을 박리한 상태를 도시한 개략 단면도.

제14도는 제 2 흡착면에 단면접착테이프를 흡착시킨 상태를 도시한 개략 단면도.

제15도는 본 발명의 실시예에 따른 연속적 공급장치에 있어서 필름접속 직전의 상태를 도시한 개략 단면도.

제16도는 본 발명의 실시예에 따른 연속적 공급장치에 있어서 선행원반필름 종단 형성과정을 도시한 개략단면도.

제17도는 본 발명의 실시예에 따른 연속적 공급장치에 있어서 선행원반필름의 종단 형성후의 상태를 도시한 개략 단면도.

제18도는 본 발명의 실시예에 따른 연속적 공급장치에 의해, 선행원반롤의 종단과 후행원반롤의 선단을 접속한 상태를 도시한 개략 단면도.

제19도는 선행원반필름과 후행원반필름의 다른 접속태양을 확대하여 도시한 단면도.

제20도는 본 발명의 실시예에 따른 연속적 공급장치에 있어서 편면점착테 이프의 누름수단의 다른 예를 나타낸 단면도.

제21도는 선행원반필름과 후행원반필름의 다른 접속태양을 확대하여 도시한 단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 필름공급장치 10 : 필름부착장치

10A : 하우징 12 : 필름

12A : 투광성지지필름 12B : 감광성수지층

12C : 커버필름 12D : 종단

13 : 필름경로 14 : 필름공급롤

14A : 감는 심 18 : 기판

18A : 필름부착면 19 : 반송라인

20 : 래미네이션롤 22 : 로터리컷터

22A : 회전날 22B : 고정날

23 : 연속적 공급장치 24 : 제 1 흡착장치

24A, 24B, 46A, 48A : 흡착면 24B, 46B, 48B : 흡착구멍

26 : 어큐물레이터 28 : 필로울러장치

30 : 교환롤반송대 30A : 수평대

30C : 지지포스트 32 : 가이드플레이트

32B : 경사가이드면 34 : 에어실런더

36 : 하우징측벽 38, 66 : 레일

40 : 후행필름공급롤 42 : 롤대

44 : 감는 심회수부 44A : 경사면

46 : 제 2 흡착장치 48 : 제 3 흡착장치

52 : 스핀들 54A, 54B : 가이드롤

56 : 편면점착테이프 56A : 비점착면

56B : 점착면 58 : 점착테이프공급장치

60 : 선단컷터 62 : 후단컷터

63 : 누름부재 64 : 구동장치

67 : 로터리엔코더 74 : 반전가열장치

80 : 반전반출장치 90 : 전측 필로울러

92 : 후측 필로울러 94 : 필로울러 구동장치

96 : 편면 점착테이프 98A : 전측 점착테이프 공급장치

98B : 후측 점착테이프 공급장치 100A : 전측 감기롤

100B : 후측 감기롤 102 : 백업장치

102A : 전측 백업 로울러 102B : 후측 백업 로울러

102D : 천칭 레버 104 : 제어장치

106A : 전측 미끄럼부재 106B : 후측 미끄럼부재

l14A : 전측 인출 프레임 114B : 후측 인출 프레임

본 발명은 프린트배선판용 기판, 칼라필터용 기판, 플라즈마 디스플레이용 기판 등의 기판 표면에 필름을 부착하기 위한 필름부착장치 등에 필름을 공급하는 방법 및 장치에 관한 것이다.

컴퓨터 등의 전자기기에 사용되는 프린트배선판의 제조과정에 있어서, 투광성지지필름(베이스필름: 통상은 폴리에스테르로 대표되는 수지필름)위에 감광성수지층이 형성되며, 동시에 이것이 커버필름에 의해서 덮여진 적층체필름을 커버필름을 벗겨 프린트배선용 기판 표면의 도전충에 부착한다. 그리고, 이후, 배선패턴 필름을 겹치고, 이 배선 패턴필름 및 상기 투광성 지지필름을 통해서 감광성수지층을 소정시간 노광한다. 계속해서, 투광성지지필름을 벗긴후, 노광된 감광성수지층을 현상하여 에칭마스크패턴을 형성하고, 이 후, 상기 도전충의 불필요한 부분을 에칭에 의해 제거하므로써 소정의 배선 패턴을 가진 프린트 배선판이 형성된다. 동일 패턴 형성은 액정패널에 있어서 칼라필터 및 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서 방전 셀의 장벽형성 등에 이용되고 있다.

상기와 같은 적층체필름을 부착하기 위한 필름부착장치는 필름공급롤에 장전되어 있는 연속필름(원반필름)을 반송수단에 의해 반송되어 오는 기판의 선단에 감광성수지층이 상기 기판측이 되도록 인도하고, 기판에 대해 근접 및 떨어져서 이동이 가능한 임시부착수단에 의해서 상기 기판의 선단에 임시부착한 후, 래미네이션롤에 의해 필름을 기판에 압착하면서 기판을 반송하도록 되어 있다.

기판으로의 필름압착부착은 부착길이가 기판 길이에 거의 대응한 길이가 되도록 실시되고 있으며, 그 길이가 되도록 공급필름은 필름임시부착수단 자체 또는 그 근방의 부재에 설치된 필름절단수단으로 절단된다. 커버필름은 임시부착수단의 앞 또는 뒤에서 벗겨진다.

다른 필름부착장치로서는, 간헐적으로 반송되어 오는 기판의 필름 부착면에 미리 커버필름을 벗긴 필름의 감광수지층측을 연속적으로 동기하여 반송하면서 부착한 후에, 인접하는 기판사이에서 필름을 절단하도록 한 연속당김이라고 칭해지는 것도 있다.

상기와 같은 적층체필름은 필름공급롤로부터 감겨져 공급되는 것이지만, 필름공급롤의 감는 길이는 유한하기 때문에 당연히 일정량 사용하고 나서 필름공급롤을 교환하지 않으면 안된다. 또한, 필름잔량이 매우 작아진 경우와 필름부착장치 본체에 공급하는 필름의 종류, 상표 등을 용도에 따라서 변경할 필요가 생긴 경우에도 필름공급롤을 교환하여 새로운 필름을 공급할 필요가 있다.

이 경우, 원반필름이 감겨져 있는 감는 심을 남겨진 원반필름과 함께 제거하여 새로운 필름 공급롤을 장전하게 된다.

종래, 이 교환은 선행하는 필름공급롤에 대해 교환해야 하는 시기가 오면, 필름부착장치를 정지시켜 선행필름 공급롤을 제거하고, 새로운 필름 공급롤에서 꺼낸 필름 선단을 필름분리부재, 텐션로울러로부터 필름공급경로의 각 로울러를 거쳐 래미네이션롤의 위치까지 수작업을 통해 설정할 필요가 있었다.

이때문에, 종래에는 예를들면 2시간에 되감기가 종료된 상하의 필름공급롤의 교환작업에 10분을 요하고, 실제 조업시간에 대한 이른바 준비 시간이 차지하는 비율이 매우 크고, 필름부착장치의 가동율을 저하시킬뿐만 아니라라인 전체의 효율도 저하시키는 문제점이 있었다.

이에 대해, 일본국 실개평 3-15131호 공보에 개시된 바와 같이, 필름의 교환을 단시간에 실시하도록 한 필름부착장치용 필름롤 유닛이 있지만, 이것은 필름공급롤, 커버필름 감기롤 및 가이드롤을 유닛화하여 동시에 교환하는 것으로, 새로운 필름의 선단을 수작업에 의해 세팅하는 공정은 생략할 수 없다. 또한, 필름롤의 중량이 클 때는 적용할 수 없다.

여기서, 최근 프린트배선 등의 기판의 회로정밀도가 향상되어 약간 먼지 등이 필름에 부착된 경우라도 불량품이 되어 버리기 때문에 청정공간, 예를들면 클린룸 내에 필름부착장치를 설치하고, 여기서 운전하는 경우가 많아지고 있다.

종래의 필름부착장치에 있어서는 필름공급롤의 교환을 할때마다 필름을 세팅하는 작업이 필요하며, 이 작업중에 먼지가 발생하기 쉽기 때문에, 크린룸내에서 운전하는 경우는 세팅 종료후, 먼지가 감소하기 까지 장치를 운전할 수 없어 능률적이지 못한 문제점이 있었다.

이에 대해, 공지되지는 않았지만, 필름공급롤의 교환을 장치의 운전을 정지하지않고 실시할 수 있고, 동시에 선행원반필름의 후단과 후행원반필름의 선단과의 접속을 자동적으로 실시할 수 있도록 한 필름부착장치에 대한 원반필름의 연속적 공급방법 및 장치가 제안되고 있다.

이것은 선행원반필름의 후단과 후행원반필름의 선단을 구비하여 이 접속선을 점착테이프에 의해 덮도록 접속하는 것이다.

이 경우, 도중에 커버필름을 박리하여 감기롤에 의해 감지 않으면 안된다. 상기 감기롤은 감기 최대 직경이 유한하며, 감는 양이 일정값에 도달하여 새로운 감기롤로 교환할 때는 당연히 장치의 운전을 정지시키지 않으면 안되므로 상기한 필름공급롤 교환시와 마찬가지로 장치의 가동율 및 라인 전체의 효율을 저하시키는 문제점이 있다.

본 발명은 상기 종래의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 선행원반필름의 후단에 후행원반필름의 선단이 접속되어 있는 경우도, 장치의 운전을 정지하지 않고 커버필름을 연속적 자동적으로 박리하여 감고, 또한 이 커버필름 감기 롤의 감는 양이 일정값 이상이 되었을 때, 장치의 운전을 정지하지 않고 새로운 감기 롤로 교환할 수 있도록 한 필름의 공급방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

특허청구범위 제 1 항의 발명은, 지지필름위에 감광성수지층 및 커버필름이 적층되어 이루어진 필름을 필름공급롤에서 인출하고, 동시에 상기 커버필름을 벗겨 보내는 필름공급방법에 있어서, 상기 필름공급롤로부터 인출한 필름의 종단을 다음 필름공급롤에서 인출한 필름의 선단에 상기 지지필름측에서 접속하여 연속적으로 보내고, 상기 접속된 필름의 커버필름측을 향해서 필름을 보내는 방향으로 떨어지게 배치되며, 각각에 필름을 보내는 방향으로 보낼 수 있는 점착테이프가 그 점착면을 외부측으로 하여 감겨진 전측 필로울러 및 후측 필로울퍼를, 상기 필름 공급로울러가 교환될때마다 상기 교환된 필름의 선단에 선택적으로 눌러 주행하는 점착테이프를 점착시킴으로써, 상기 선단으로부터 커버필름을 벗기고, 또한 상기 편면 점착테이프와 함께 감기도록 하여 상기 목적을 달성하는 것이다..

특허청구범위 제 2 항의 발명은 지지필름위에 감광성수지층 및 커버필름이 적층되어 이루어진 필름을 필름공급롤에서 인출하고, 동시에 상기 커버필름을 벗겨 필름경로를 따라서 보내는 필름공급장치에 있어서, 상기 필름공급롤에서 인출한 필 름의 종단을 필름경로위에서 다음 필름공급롤에서 인출한 필름의 선단에 상기 지지필름측에서 접속하는 필름접속수단과, 상기 필름경로를 따라서 필름의 커버필름을 향하며 필름을 보내는 방향으로 떨어져 배치된 전측 필로울러 및 후측 필로울러를 구비하여 이루어지며, 이 전측 필로울러 및 후측 필로울러가 상기 필름경로 위의 필름의 커버필름에 접촉가능한 접촉위치 및 비접촉이 되는 후퇴위치로 선택적으로 구동되는 필로울러장치와, 상기 전측 및 후측 필로울러의 각각에 점착면을 외부측으로 하여 감겨진 편면 점착테이프를 공급하는 전측 점착테이프 공급장치 및 후측 점착테이프 공급장치와, 상기 전측 및 후측 점착테이프를 점착하고 있는 커버필름과 함께 감는 전측 감기롤 및 후측 감기롤을 설치함으로써 상기 목적을 달성하는 것이다.

특허청구범위 제 3 항의 발명은 특허청구범위 제 2 항의 발명에 있어서, 상기 전측 필로울러, 상기 전측 점착테이프 공급장치 및 전측 감기롤을 전측 인출프레임에 지지하고, 상기 후측 필로울러, 상기 후측 점착테이프 공급장치 및 후측 감기롤은 후측 인출프레임에 지지하고, 이 전측 및 후측 인출 프레임을 상기 필름경로에 대해 직교하는 수평방향으로 별개로 이동자유롭게 하고, 상기 전측 및 후측 필로울러, 전측 및 후측 점착테이프공급장치, 전측 및 후측 감기롤을 상기 필름경로의 아래쪽 위치와 외부측으로 인출된 위치 사이에서 이동 가능하게 함으로써 상기 목적을 달성하는 것이다.

특허청구범위 제 4 항의 발명은 특허청구범위 제 2 항 또는 제 3 항의 발명에 있어서, 상기 전측 및 후측 필로울러에 대해, 상기 필름 경로를 사이에 두고 대향하여 배치되며, 상기 전측 또는 후측 필로울러가 상기 접촉위치로 구동될 때, 상기 전측 또는 후측 필로울러의 필름경로와의 접점 보다도 상류측으로 어긋난 위치에서, 상기 전측 또는 후측 필로울러 사이에서 상기 필름 및 편면 점착테이프를 전접할 수 있게 끼우는 전측 및 후측 백업 로울러를 구비한 백업장치를 설치한 것이다.

이하, 본 발명의 실시형태의 예를 도면을 참조하여 설명한다.

제1도 및 제2도에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시형태예에 따른 필름공급장치(1)를 포함하는 필름부착장치(10)는 제10도에 도시된 투광성지지필름(12A)위에 감광성수지층(12B) 및 커버필름(12C)이 적층되어 이루어진 연속된 필름(12)을, 필름공급롤(14)에서 인출하고, 상기 커버필름(12C)을 박리시켜, 반송수단에 의해 간헐적으로 소정간격으로 반송되어 오는 기판(18)의 하부 측면인 필름부착면(18A)측에 상기 감광성수지충(12B)측이 위치하도록 하여 래미네이션롤(20)에 의해 필름(12)을 기판(18)에 연속적으로 압착하면서 기판(18)을 반송하게 된 것이다. 필름(12)은 로터리컷터(22)에 의해 각 기판 사이의 위치에서 폭 방향으로 절단되며, 이것에 의해 각 기판(18)은 필름(12)이 압착된 상태에서 분리된다.

상기 필름공급롤(14)은 원반필름의 연속적 공급장치(23)에 의해 차례로 교환되며, 필름부착장치(10)에 대해 도중에 끊어지지 않고 필름(12)이 공급되도록 되어 있다.

상기 필름공급롤(14)에 감겨진 필름(12)은 제 1 흡착장치(24), 어큐물레이터(26)를 거쳐 필름공급장치(1)에 필로울러장치(28)에 의해 커버필름(12C)이 벗겨진 후, 상기 래미네이션롤(20)에 그 감광성수지층(12B)을 상부측으로 하여 연속적으로 공급되도록 되어 있다.

상기 연속적 공급장치(23)는 제3도에 확대하여 도시된 바와 같이, 상기 제 1 흡착장치(24)와, 어큐물레이터(26)(제1도 참조)와, 교환롤 반송대(30)와, 가이드플레이트(32)와, 상기 교환롤 반송대(30)의 일부인 수평대(30A)를 제1도 및 제3도에 있어서 좌우 방향으로 구동하는 에어실린더(34)를 포함하여 구성되어 있다.

상기 교환롤 반송대(30)는 필름부착장치(10)의 하우징(10A) 측벽에 장치한 상하 한쌍의 수평바(37)에, 수평인 상하 한쌍의 레일(38)를 통하여 제3도에 있어서 종이면과 직교하는 방향으로 수평으로 이동 자유롭게 지지되는 프레임(30B)을 구비하고 있다. 즉, 교환롤 반송대(30)는 필름부착장치(10)의 하우징(10A)으로부터 필름을 보내는 방향에 대해 측쪽으로 수평으로 인출될 수 있도록 되어 있다.

또한, 교환롤 반송대(30)는 제4도에 도시된 바와 같이, 프레임(30B)의 제4도에 있어서 좌우 바닥벽 내측에 레일(39)를 통하여 프레임(30B)에 대해 제3도에서 좌우방향으로 왕복운동 자유롭게 지지된 상기 수평대(30A)를 구비하고 있다. 이 수평대(30A)에는 교환용 후행 필름공급롤(40)을 얹어 설치하는 롤대(42)와, 감는 심 회수부(44)와, 제 2 흡착장치(46) 및 제 3 흡착장치(48)를 그 상부면 및 선단부에 구비하며, 동시에 상기 에어실린더(34)에 의해 제1도 및 제3도에 있어서 수평방향으로 왕복운동되도록 되어 있다 에어실린더(34)와 수평대(30A)는 레일(38)과 평행하고, 동시에 수평 걸어맞춤부(50)에 슬라이딩운동이 자유롭게 걸리며, 레일(38)을 따르는 수평대(30A)의 슬라이딩운동을 허용하는 상태로 제3도에 있어서 좌우방향으로 걸려 있다.

상기 롤대(42)는 스핀들(52)(제4도 참조)에 의해서 설정위치에 회전 자유롭게 지지되는 상기 필름공급롤(이하, 선행 필름 공급롤)(14)과 평행하고 동시에 수평으로 후행 필름 공급롤(40)을 얹어 설치하고, 또한 에어실린더(42A)에 의해서 상기 후행 필름공급롤(40)의 높이를 조정할 수 있도록 되어 있다.

상기 롤대(42)의 수평방향의 위치는 수평대(30A)가 에어실린더(34)에 의해서 제1도, 제3도에 있어서 좌측 방향으로 눌러져, 스트로크엔드가 되었을 때, 후행 필름 공급롤(40)의 중심이 스핀들(52)의 중심축선의 위치에 오도록 되어 있다.

스핀들(52)은 좌우 한쌍이며, 제4도에 도시된 바와 같이, 에어실린더(52A)에 의해 축선방향으로 진퇴 자유로운 상태에서 베어링(52B)에 의해 회전 자유롭게 지지되며, 돌출되었을 때 필름공급롤의 감는 심(14A)의 양 단에 걸어 맞추어 이것을 회전 자유롭게 지지하도록 되어 있다.

제4도의 좌측 스핀들(52)의 기단에는 회전 차광판(53A)이 설치되며, 이것을 광센서(53B)에 의해 검출함으로써 스핀들(52)이 회전하고 있는지 여부를 검출하도록 되어 있다. 또한, 우측의 스핀들(도시생략)에는 브레이크 동작을 실시하는 토르크모터(도시생략)가 설치되어 있다.

제3도에 도시된 바와 같이 상기 제 1 흡착장치(24)는 설정위치에 있는 선행필름 공급롤(14)에서 감겨진 필름(12)을 수직방향으로 안내하는 한쌍의 가이드롤 (54A, 54B) 사이에 배치되며, 이 가이드롤(54A, 54B) 사이에 필름(12)의 주행면과 평행하고 또 인접하여 동일 수직면상에 배치된 상하의 흡착면(24A, 24B)을 구비하고 있다. 이 흡착면(24A, 24B)에는 부압이 인가되는 다수의 흡착구멍(24C)이 형성 되어 있다.

상기 제 2 흡착장치(46)는 수평대(30A)위의 좌우 양단에 상기 프레임(30B)에 인접하여 수직으로 설치된 한쌍의 지지포스트(30C)의 상단에 실린더장치(47)를 통하여 설치되어 있다. 여기서, 상기 제 2 흡착장치(46)는 상기 제 1 흡착장치(24)의 흡착면(24A)과 동일 높이인 동시에 이것과 평행하게 대향하는 위치에 배치된, 흡착면(46A)을 구비하고 있다. 이 흡착면(46A)에는 부압이 인가되는 다수의 흡착구멍(46B)이 형성되어 있다.

또한, 상기 제 3 흡착장치(48)는 상기 제 2 흡착장치(46)의 흉착면(46A)의 하측 위치에서, 상기 지지포스트(30C) 사이에 뻗어난 지지바(30D)위에, 상기 흡착면(46A)에 대해 흡착면(48A)이 수직으로 연속하도록 설치되어 있다. 이 흡착면(48A)에는 부압이 인가되는 다수의 흡착구멍(48B)이 형성되어 있다.

또한, 상기 프레임(30B)에는 상기 제 2 흡착장치(46)의 흡착면(46A)에 대향하여 그 높이 방향 중간위치에서 상기 흡착면(46A)에 흡착된 필름을 수평인 동시에 폭방향으로 절단하기 위한 선단 컷터(60)가 설치되어 있다.

이 선단컷터(60)는 디스크컷터이며, 하우징(60A)내에 회전 자유롭게 지지되며, 이 하우징(60A)은 프레임(30B)의 좌우 기둥부 사이에 수평인 동시에 흡착면(46A)과 평행하게 뻗어난 가이드바(60B)에 슬라이딩운동 자유롭게 지지되며, 조작 노브(60C)에 의해 수동으로 왕복운동될 때, 흡착면(46A)에 흡착되어 있는 필름을 절단하는 것이다.

마찬가지로, 상기 제 1 흡착장치(24)에 있어서 흡착면(24A, 24B)에 대향하여 이것들의 경계 위치에서 상기 흡착면(24A, 24B)에 흡착되어 있는 필름을 수평인 동시에 폭 방향으로 절단하는 종단 컷터(62)가 설치되어 있다. 이 종단 컷터(62)는 디스크컷터로, 하우징(62A)내에 수용되며, 이 하우징(62A)은 로드레스 실린더(63)의 슬라이딩운동부(63A)에 연결되어(제20도 참조) 실린더내에 도입되는 공기에 의해 자성체(63B)가 이동할 때, 미끄럼운동부(63A)와 함께 흡착면(24A, 24B)의 경계선을 따라서 필름폭 방향으로 이동되며, 이것에 의해 종단 컷터(62)가 흡착면(24A, 24B)에 흡착되어 있는 필름(12)을 절단하도록 되어 있다.

상기 감는 심 회수부(44)는 상기 수평대(30A)의 레일(38)과 반대측의 선단의 폭방향 2군데에 상기 수평대(30A) 보다도 낮은 위치에서, 상부측이 개구된 단면 바켓형상으로 형성되며, 선단측은 비스듬히 상부 외부측으로 경사진 경사면(44A)이 되며, 경사면(44A)의 하부측에는 슬라이드 볼(44B)이 설치되어 있다.

상기 가이드플레이트(32)는 단면이 대략 L자형상이며, 한 단에 있어서, 상기 설정위치의 선행 필름 공급롤(14)과 평행하고, 동시에 이것 보다도 높은 위치에서 수평인 요동축(33)에 의해 연직면내에서 슬라이딩운동이 자유롭게 지지되어 있다.

이 가이드플레이트(32)는 구동장치(64)에 의해 요동축의(33) 회전으로 요동되는 것이며, 통상의 상태는 제3도에 실선으로 도시된 바와 같이, L자의 2부분이 수평 및 수직이 되고, 선행필름 공급롤(14)과 비접촉이 되는 후퇴위치가 되며, 이점 쇄선으로 도시된 바와 같이, 후퇴위치에서 반시계방향으로 대략 30° 요동되어 가이드위치가 되었을 때, 상기 감는 심 회수부(44)의 경사면(44A)에 연속되는 경사가이드면(32B)을 구성하도록 되어 있다. 이때, 경사가이드면(32B)은 필름공급롤(14)의 감는 심(14A) 양 단부의 외부둘레에 대략 접촉하는 위치가 되도록 되어 있다.

제3도의 도면부호 “66”은 상기 스핀들(52)을 필름공급롤(14)의 축심방향으로 이동시켜 그 위치조정을 실시하기 위한 레일, 제1도 및 제5도의 도면부호 “67” 은 어큐물레이터(26)의 출구측에 설치되어 필름공급롤로부터의 원반필름을 감는 양을 검출하기 위한 로러리엔코러를 각각 나타낸다.

상기 어큐물레이터(26)는 제5도에 도시된 바와 같이, 가이드롤(54B)의 하류측에 배치된 고정레일(26A)과, 가이드롤(54B)과 고정롤(26A) 사이의 위치에 배치되며, 레버(26B)에 의해 상하 이동되는 텐션롤(26C)과, 가이드롤(54B)에 외접하여 그 사이에 필름을 끼워 고정 가능한 핀치롤(26D)과, 이 핀치롤(26D)을 가이드롤(45B)에 대해 떨어져 접속시키는 액츄에이터(26F)를 구비하여 구성되며, 텐션롤(26C)이 레버(26B)에 의해 윗쪽으로 힘을 가해짐으로써 필름경로(13) 보다도 윗쪽으로 필름(12)을 들어올려 여기에 필름을 일정량 저장할 수 있게 되어 있다 레버(26B)는 웨이트(26E)에 의해서 시계방향으로 힘이 가해져 있다.

상기 로울러장치(28)는 제6도에 도시된 바와 같이, 상기 필름경로(13)의 하부측, 즉 커버필름(12C)에 대향한 위치에 필름 이동 방향으로 떨어져 배치된 전측 필로울러(90)와 후측 필로울러(92)와, 이 전측 필로울러(90) 및 후측 필로을러(92)를 지지함과 동시에 이것들을 상기 필름경로(13)위의 필름(12)의 커버필름(12C)에 접촉 가능한 접촉위치 및 비접촉이 되는 후퇴위치로 선택적으로 구동하는 필로울러 구동장치(94)를 구비하여 구성되어 있다.

상기 필로울러 구동장치(94)는 전측 및 후측 필로울러(90, 92)를 각각 일정범위로 요동 자유롭게 그 상단에 지지하는 레버(94A, 94B)와, 이 레버(94A, 94B)의 하단에 걸어 맞추어 상기 전측 및 후측 필로울러(90, 92)를 접촉위치 또는 후퇴위치로 구동하는 에어실린더(94C, 94D)를 구비하고 있다.

상기 전측 및 후측 필로울러(90, 92)에는, 전측 점착테이프 공급장치(98A) 및 후측 점착테이프 공급장치(98B)로부터 각각 감겨진 편면 점착테이프(96)가 그 점착면을 외부측으로 하여 감겨지도록 되어 있다.

상기 전측 및 후측 점착테이프공급장치(98A,98B)는 각각 제7도에 도시된 바와 같이, 외주에 오링부(97)을 구비한 테이프흘더(99)를 가지며, 이 테이프흘더(99) 의 오링부(97)에 떼어낼 수 있도록 압입된 테이프코일(95)로부터 편면 점착 테이프(96)를 감을 수 있도록 되어 있다.

또한, 상기 전측 및 후측 필로울러(90, 92)에 감겨진 후의 편면 점착테이프(96) 및 이것에 점착된 커버필름(12C)(상세하게는 후술)은 모두 전측 감기롤(100A) 및 후측 감기롤(100B)에 의해 각각 감겨지도록 되어 있다.

또한, 상기 필로울러장치(28)에 대해 필름경로(13)를 사이에 두고 그 윗쪽에 대향하는 위치에 백업장치(102)가 설치되어 있다. 이 백업장치(102)는 상기 전측 필로울러(90) 또는 후측 필로울러(92)가 상기 접촉위치로 구동될 때, 상기 전측 또는 후측 필로울러(90, 92)의 필름 경로(13)와의 접점 보다도 상류측으로 어긋난 위치에서 상기 전측 또는 후측 필로울러(90, 92)와의 사이에서 상기 필름(12) 및 전측, 후측 필로울러(90, 92)에 감겨진 편면 점착테이프(96)를 전접 자유롭게 끼우는 전측 및 후측 백업 로울러(102A, 102B)를 구비하고 있다.

또한, 상기 백업장치(102)는 전후방향이 상기 전측 및 후측 필로울러(90, 92) 사이의 위치에서 동시에 필름경로(13) 사이에 이것과 반대측에서 제8도에도 도시된 바와 같이, 그 긴 방향 중앙이 요동축(102C)에 의해 전후방향으로 요동 자유롭게 지지된 천칭 레버(102D)를 구비하며, 상기 전측 백업 로울러(102A) 및 후측 백업 로울러(102B)는 그 천칭레버(102D)의 전측 단 및 후측 단으로서, 각각 상기 접촉위치에 있는 전측 및 후측 필로울러(90, 92)를 누르는 것이 가능하게 지지되어 있다.

상기 천칭레버(102D)는 상기 요동축(102C)의 필름 폭방향의 한쪽 단에 설치된 피동레버(102E)를 통하여 에어실린더(102F)에 의해 요동되도록 되어 있다. 여기서, 천칭레버(102D)의 요동범위는 전측 및 후측 백업 로울러(102A, 102B)의 한쪽이 대응하는 전측 및 후측 필로울러(90, 92)를 누르는 것이 가능한 때 다른쪽이 필름경로(13)로부터 크게 윗쪽으로 떨어지도록 되어 있다. 또한, 천칭레버(102D)는 필름경로(13)와 평행할 때, 이것으로부터 윗쪽으로 떨어져, 전측 및 후측 백업로울러(102A, 102B)가 필름(12)과 간섭하지 않도록 되어 있다.

상기 필로울러 구동장치(94) 및 에어실린더(102F)는 제어장치(104)에 의해서 제어되는 것이며, 또한 상기 제어장치(104)는 상기 로터리엔코더(67)로부터의 신호가 입력되도록 되어 있다.

상기 제어장치(104)는 전측 필로울러(90) 또는 후측 필로울러(92)의 현재 커버필름(12C)에 접촉되어 있는 한쪽을 검지하고, 또한 상기 로터리에코더(67)로부터의 신호에 의해 선행필름과 후행필름의 접속선이 접속위치에서 상기 전측 또는 후측 필로울러(90, 92)의 위치에 도달하기 까지의 필름을 보내는 양을 산출하고, 동시에 후퇴위치에 있는 다른쪽의 필로울러에 상기 접속선이 접근했을 때, 상기 다른쪽의 필로울러를 상기 접속점의 직전에서 상기 접촉위치로 구동하고, 동시에 상기 한쪽의 필로울러를 커버필름(12C)과 비 접촉위치로 구동하도록 되어 있다.

또한, 이 때, 상기 에어실린더(102F)에 의해 상기 천칭레버(102D)를 요동시키고, 전측 및 후측 백업 로울러(102A, 102B)중, 필름(12C)에 비접촉상태인 백업로울러를 접촉위치로 구동된 전측 또는 후측 필로울러(90, 92)에 필름(12) 및 단면점착테이프(96)를 통하여 압접하도록 구동시키는 것이다.

또한, 상기 전측 및 후측 필로울러(90, 92)의 각각의 커버필름 이동방향의 하류측 근방위치에는 커버필름(12C)의 존재의 유무를 확인하는 광센서(103A, 103B)가 배치되며, 상기 제어장치(104)는 대응하는 전측 또는 후측 필로울러(90, 92)가 접촉위치에서 구동되고 나서, 일정시간내에 커버필름 검출신호가 입력되지 않았을 때, 박리할 때 실수로 필름을 보내는 것을 정지하도륵 되어 있다.

또한, 도면에 도시된 바와 같이, 상기 전측 및 후측 필로울러(90, 92)의 필름폭 방향으로 인접한 위치에, 상기 필름 경로(13)에 대해 상기 전측 및 후측 필로울러(90, 92)의 후퇴위치와 상기 필름경로(13)의 중간 높이 위치에 상기 편면 점착테이프(96)의 점착면에 비점착이 되는 미끄러운 면을 구비한 상기 전측 미끄럼부재(106A) 및 후측 미끄럼부재(106B)가 각각 설치되어 있다.

상기 전측 및 후측 감기 롤(100A, 100B)은 각각 모터(108)와, 이것에 의해 필름을 감는 방향으로 구동되는 지지 파이프(101)와, 커버필름(12C)을 감기위하여 이 지지파이프(101)에 벗기는 것이 가능하게 끼워 맞춰진 수지제 롤(103)로 구성되며, 상기 수지제 롤(103)은 필름(12)의 전체 폭 보다도 길게 형성되어 있다. 상기 모터(108)는 토르크모터이며, 항상 일정한 인장력으로 커버필름(12C) 및 단면 점착테이프(96)를 감을 수 있도록 되어 있다.

상기 지지파이프(101)의 선단(도면에 있어서 우측 단)에는 스프링(도시 생략)에 의해 탄력적으로 직경이 확대된 체크장치(101A)가 설치되며, 끼워맞춰진 수지제롤(103)을 내부직경으로부터 지지하도록 되어 있다.

도면의 부호 “110A”, “110B”는 전측 및 후측 필로울러(90, 92)를 통과한 단면 점착테이프(96) 및 이것에 점착되는 커버필름(12C)을 상기 전측 및 후측 감기롤(100A, 100B) 방향으로 상기 래미네이션롤(20)로 필름을 보내는 것과 동기하여 구동하기 위한 구동롤, 도면부호 “111A”, “111B”는 이것들을 구동하는 구동롤 모터를 각각 나타낸다.

또한, 이 구동롤(110A, 110B)과, 상기 전측 및 후측 필로울러(90, 92) 사이에는 단면 점착테이프(96)를 감을 때의 장력을 조정하기 위한 판 스프링에 의해서 지지된 중간 롤(l12A, l12B)이 각각 설치되어 있다.

상기 전측 및 후측 필로울러(90, 92) 및 이것들을 각각 구동하기 위한 레버(94A, 94B), 에어실린더(94C, 94D), 전측 및 후측 점착테이프 공급장치(98A, 98B), 전측 및 후측 미끄럼부재(106A, 106B), 중간 롤(112A, 112B)은 전측 및 후측에 대해 각각 3쌍이 별개의 전측 인출 프레임(114A) 및 후측 인출 프레임(114B)에 필름 폭 방향으로 일정간격으로 배치되며, 일체적으로 필름 폭방향으로 이동되도록 되어 있다.

또한, 상기 백업장치(102)에 있어서 전측 및 후측 백업 로울러(102A, 102B)는 필름폭방향으로 긴 1개이며, 전후 각 3셋트의 필로울러에 각각 동시에 눌러질 수 있도록 되어 있다. 마찬가지로, 상기 구동롤(110A, 110B) 및 전측 및 후측 감기롤(100A, 100B)도 각 1개이며, 3셋트의 단면 점착테이프와 이것에 점착한 필름(12)의 전체 폭에 접촉하도록 되어 있다.

상기 구동롤(110A, 100B)의 제6도에 있어서 전측(좌측) 근방에는 이 구동롤(110A, 110B)에 감기며, 동시에 감는 롤 방향으로 구동되는 커버필름(12C)의 전체 폭 보다도 긴 전측 및 후측 압압(押壓) 가이드롤(116A, 116B)이 각각 설치되어 있다.

이 전측 및 후측 압압 가이드롤(l16A, l16B)은 제6도에 확대하여 도시된 바와 같이, 그 긴 방향 양 단이 요동레버(118)를 통하여 요동축(118A)을 중심으로 요동 가능하게 지지되고, 또한 여러가지 다양한 스프링(l18B)에 의해 상기 구동롤(110A, 110B)에 압접하는 위치 및 이것으로부터 떨어진 위치에 각각 힘이 가해지도록 되어 있다.

여기서, 상기 전측 및 후측 구동롤(110A, 110B) 및 전측, 후측 압압 가이드롤(116A, 116B) 및 이것에 대응하여 설치된 요동레버(118), 요동축(118A), 사안스프링(118B)이 각각 전측 및 후측에서 대응하는 상기 전측 및 후측 프레임(114A, 114B)에 각각 얹어 설치되며, 상기 전측 및 후측 필로울러(90, 92) 등과 마찬가지로 필름 폭 방향으로 이동될 수 있도록 되어 있다.

도면의 부호 “120A”, “120B”는 상기 전측 및 후측 인출 프레임(114A, 114B)을 필름경로(13)의 아래쪽에서 그 폭방향 동시에 수평방향으로 출입시키기 위한 전측 슬라이드기구 및 후측 슬라이드기구를 나타낸다.

이 전측 및 후측 슬라이드기구(120A, 120B)는 각각 제 1 및 제 2 수평리니어가이드(121, 122)로 구성되며, 수평방향의 스트로크가 커지도록 하고 있다.

상기 전측 및 후측 인출 프레임(l14A, l14B)은 각각 별개로 필름부착장치(10)의 하우징(10A)으로부터 필름경로에 대해 측쪽으로 인출하고 또한 삽입할 수 있게 되며, 이것에 의해서, 필름부착장치(10)의 운전중에도 점착테이프 감기가 종료된 측을 인출하여 새로운 단면 점착테이프(96) 및 감기 롤을 부착하는 동시에 세팅할 수 있도록 되어 있다. 또한, 유지 보수 등을 할 때 양자를 동시에 인출할 수 있다.

제1도의 도면부호 “74”는 보온용 히터를 나타내며, 이 보온용 히터(74)는 필름부착장치(10)의 입구측에 배치된 반전(反轉)가열장치(69)내에 설치되며, 반전장치(도시생략)에 의해 반전하여 필름부착면(18A)이 아래를 향하게 되어 반송라인(19)을 따라서 보내온 기판(18)을 아래쪽으로부터 가열하여 필름부착에 최적인 온도로 하는 것이다. 또한, 제1도의 도면부호 “19A”는 반송롤을 나타내며, 래미네이션롤(20)에 의해서 필름(12)이 부착된 기판(18)을 제1도에 있어서 우측방향으로 반송하는 것이다.

상기 로터리컷터(22)는 회전날(22A)과 고정날(22B)로 구성되며, 각 기판(18) 사이의 위치에서 필름(12)을 그 폭방향으로 절단하는 것이다. 여기서, 회전날(22A)은 기판(18)의 반송라인(19)에 대해 상부측에, 동시에 고정날(22B)은 하부측에 각각 배치되며, 고정날(22A)은 제1도에 있어서 반시계방향으로 회전 구동되며, 이것에 의해서 필름(12)을 차올리는 것이 없도록 되어 있다. 만약, 회전날(22A)이 필름(12)을 통하여 기판(18)을 차올리면 기판(18)이 얇은 초자판과 같은 경우는 파손되어 버리는 경우가 있다.

상기 로터리엔코더(67)는 제어장치(104)에 그 카운트값을 출력하고, 또한 상기 제어장치(104)에 의해 제로로 설정되도록 되어 있다. 또한, 상기 제어장치(104)는 제9도에 도시된 바와 같이, 상기 로터리컷터(22)를 소정 타이밍으로 구동하는 신호를 출력하고, 동시에 상기 어큐물레이터(26)의 액츄에이터(26F)에 신호를 출력하여 핀치롤(26D)을 가이드롤(54B)에 압접시키고, 그 사이에 필름을 구속하도록 구동하고, 또한 후술하는 바와 같이 장치 각 부를 제어하도록 되어 있다.

제어장치(104)에 의해 상기 핀치롤(26D)을 구동하는 타이밍은 상기 로터리컷터(22)에 의한 필름절단 분리위치에서 어큐물레이터(26)로부터의 필름축적량이 최대일 때의 필름 경로 길이를 포함하는 상기 종단 컷터(62)에 의한 필름 종단 절단위치까지의 필름 길이가, 필름이 압착된 후의 기판(18) 사이의 필름 절단 예정 부분의 기판 반송방향 피치(P)의 정수의 배가 되는 때로 되어 있다. 반송방향 피치(P)는 기판(18)의 길이 및 압착후의 필름 기판(18)의 전후 단으로부터의 돌출량으로 산출한다.

제1도의 도면부호 “80”은 필름부착장치(10)의 출구측에 설치된 반전반출장치를 나타내며, 여기서는 필름(12)이 부착되어 반송롤(19A)에 의해 반송되어 온 기판(18)이 반전장치(81)에 의해서 회전축(81A)을 중심으로 180°반전되며, 필름(12) 측이 윗쪽으로 된 상태에서 반출장치(82)위에 옮겨 얹어지고, 상기 반출장치 (82)는 이것을 장치 외부로 반출하는 것이다.

여기서, 필름부착장치(10)는 입구측의 반전가열장치(74) 및 출구측 반전반출장치(80)에 대해, 라인측쪽으로 이동하여 인출되도록 기반측 레일(88)에 대해 이것을 상하에서 끼우는 이동차 바퀴롤(89)를 구비하며, 상기 기반측 레일(88)을 따라서 제2도에 있어서 아래쪽, 제1도에 있어서는 지면 바로 앞으로 인출될 수 있도록 되어 있다.

이 기반측 레일(88)을 따라서 인출되는 필름부착장치(10)의 하우징(10A)은 상기 래미네이션롤(20), 로터리컷터(22)와 함께 상기 연속적 공급장치(23) 및 필로울러 장치(28)를 안에 포함하고 있다.

또한, 전술한 바와 같이, 하우징(10A)에 대해 상기 연속적 공급장치(23), 필로울러장치(28)는 각각 독립하여 측쪽으로 인출할 수 있도록 되어 있다.

제1도의 도면부호 “124”는 하측의 래미네이션롤(20)의 입구측 근방위치에 배치되며, 커버필름(12C)이 박리된 필름(12)을 가이드하여, 상기 필름(12)의 상기 하부측의 래미네이션롤(20)로 감는 각도를 약 45°∼30°로 조정하기 위한 필름가이드를 나타낸다. 이것은 고온의 래미네이션롤(20)에 대한 필름(12)의 감는 각도가 크면, 열에 의한 영향을 받아 필름(12)이 기판(18)에 열압착된 상태에서 주름이 발생하는 것을 억제하는 것이다. 또한, 이 필름가이드(124)는 플레이트형상 또는 가이드롤형상이라도 좋다.

다음으로, 상기 필름공급장치(1)를 포함하는 필름부착장치(10)의 작용에 대해서 설명한다.

우선 연속적 공급장치(23)는 필름부착장치(10)의 운전중에, 그 교환롤 반송대(30)를 레일(38)을 따라서 라인 외부로 인출해 두고, 여기서 교환용 후행 필름 공급롤(40)을 롤대(42)에 얹어 설치하고, 이것으로부터 감기 시작한 필름(12)의 선단부를 제 2, 제 3 흡착장치(46, 48)의 흡착면(46A, 48A)에 흡착시켜 둔다(제11도 참조).

다음으로, 제12도에 도시된 바와 같이, 선단 컷터(60)를 수동으로 구동하고, 상기 흡착면(46A)에 의해 흡착시킨 상태의 필름(12)의 선단부를 흡착면(46A)의 높이 방향 중간위치에서 폭방향으로 절단하여 선단(12E)을 형성한다.

다음으로, 제13도에 도시된 바와 같이, 제 3 흡착장치(48)의 흡착면(48A)에 필름(12)을 흡착한 상태인 채, 상기 필름(12)을 선단(12E)으로부터 잡아당겨 제 2 흡착장치(46)의 흡착면(46A)에서 떨어지게 한다.

계속해서, 제14도에 도시된 바와 같이, 점착테이프 공급롤(도시생략)로부터 편면 점착테이프(56)를 인출하고, 그 비점착면(56A)을 상기 제 2 흡착장치(46)의 흡착면(46A)에 흡착시키고. 동시에 상기 편면 점착테이프(56)를 필름(12)과 같은 폭의 길이로 절단한다.

다음으로, 제15도에 도시된 바와 같이, 상기 떨어뜨린 필름(12)의 선단(12E)을 상기 흡착면(46A)에 흡착된 상태의 편면 점착테이프(56)의 점착면(56B)에 접착 한다. 따라서, 선단(12E)은 흡착면(46A)의 높이 방향 중간위치에 있어서 편면 점착테이프(56)의 점착면(56B)에 접착된 상태가 된다.

또한, 교환롤 반송대(30)를 인출했을 때, 미리 감는 심 회수부(44)내에 회수되어 있는 감는 심을 꺼내고, 다음으로 상기 교환롤 반송대(30)를 레일(38)을 따라서 하우징(10A)내에 밀어넣어 제15도에 도시된 상태로 세팅해 둔다.

선행 필름공급롤(14)로부터 원반필름을 감는 출량이 일정값 이상이 된 것을 로터리 엔코더(67)가 검출하면, 그 출력신호에 의거하여 제어장치(104)는 어류물레이터(26)에 레버(26B)를 제5도의 시계방향으로 구동하여(웨이트 26E의 구속을 해제한다) 텐션롤(26C)를 상행시켜 여기에 필름(12)을 감기 시작한다. 다음으로 핀치롤(26D)을 가이드롤(54B)에 압접시켜 필름(12)을 끼워 고정한다.

그 상태에서, 제 1 흡착장치(24)에 의해 필름(12)을 흡착하여 제16도에 도시된 바와 같이 종단 컷터(62)를 구동하고, 제17도에 도시된 바와 같이 필름(12)의 종단(12D)을 형성하면, 이 종단(12D)이 로터리컷터(22)에 의한 필름절단 예정 부분이 된다.

다음으로, 제16도에 도시된 바와 같이, 미리 가이드플레이트(32)를 도면의 반시계방향으로 대략 30°구동하여 이 경사 가이드면(32B)을 감는 심 회수부(44)의 경사면(44A)과 연속하는 가이드 위치에 설정해 두고, 스핀들(52)을 선행 필름 공급롤(14)에서 인출하면 감는 심(14A) 및 이것에 약간 감겨 있는 나머지 필름(12)이 낙하한다. 따라서, 스핀들(52)로부터 해방된 감는 심(14A)은 경사 가이드면(32B) 및 경사면(44A)을 따라서 안내되어 감는 심 회수부(44)내로 낙하한다.

이 때 흡착면(24B)측만의 부압을 해제하면, 감는 심(14A)이 낙하할 때, 종단 컷터(62)에 의해서 절단된 필름(12)의 필름 공급 롤(14) 측의 선단이 제 1 흡착장치(24)의 하부측의 흡착면(24B)으로부터 박리된다(제17도 참조).

계속해서, 가이드플레이트(32)를 제3도의 실선 위치로 되돌리고, 계속해서 에어실린더(34)에 의해 수평대(30A)를 제18도에 도시된 바와 같이 좌측 방향으로 압출하고, 후행 필름 공급롤(40)의 중심이 설정위치에 있어서 필름 공급롤 중심 위치가 되도록 한다.

이때, 제 2 흡착장치(46)에 흡착되어 있는 편면 점착테이프(56)의 점착면(56B)의 상반분이 상기 제 2 흡착장치(46)에 눌려져 제 1 흡착장치(24)에 흡착된 상태의 선행 원반필름(12)의 종단(12D)의 투광성 지지필름(12A) 측면에 접착된다. 여기서, 실린더장치(47)에 의해 제 2 흡착장치(46)를 제 1 흡착장치(24)에 눌러 부착하면, 접착이 더욱 견고하게 된다.

따라서, 선행 원반필름의 종단(12D) 및 후행 원반필름의 선단(12E)은 그 투광성지지필름(12A) 측면에 있어서, 한쌍의 단면 점착테이프(56)의 점착면(56B)에 긴방향으로 연속하여 접착되게 된다.

이 접착공정 사이에 필름(12)은 래미네이션롤(20)에 보내지며, 간헐적으로 반송되어 오는 기판(18)의 필름 부착면(18A)에 차례로 연속적으로 부착되지만, 그 사이에 필요한 필름은 상기 어큐물레이터(26)의 텐션롤(26C)이 하강함으로써 계속 보내진 필름에 의해 보급된다.

선행원반필름의 종단(12D)과 후행 원반필름의 선단(12E)과의 편면 점착테이프(56)를 통한 접속중에, 설정위치에서의 후행 필름 공급롤(40)이 스핀들(52)에 의해 회전 자유롭게 지지된다.

다음으로, 에어실린더(42A)에 의해 롤대(42)를 낮추고, 또한 에어실린더(34)에 의해 수평대(30A)를 제11도에 도시된 상태까지 되돌린 후, 교환롤 반송대(30)를 라인측쪽으로 인출하고, 상기 회수한 감는 심(14A)을 꺼내고, 또한 롤대(42)에 새로운 필름 공급롤을 얹어 상기한 바와 같이, 그 선단(12E)이 제 2 흡착장치(46)에 있어서 흡착면(46A)에 흡착된 편면 점착테이프(56)의 점착면(56B)에 접착된 상태에서 다시한번 교환롤 반송대(30)를 하우징(10A)내에 눌러 다음 필름공급롤 교환까지 대기시켜 둔다.

편면 점착테이프(56)에 의해서 접속된 선행원반필름의 종단(12D)과 후행원반필름 선단(12E)은 필름 경로(13)를 따라서 도면의 좌측 방향으로 보내져 상기 전측 필로울러(90) 또는 후측 필로울러(92)에 접근한다.

제19도의 S101에 도시된 바와 같이, 종단컷터(62)의 작동에 의해 스탠바이된 로터리엔코더(67)는 접속된 종단(12D)과 선단(12E)이 이동하기 시작하면, 필름을 보내는 양의 카운트를 개시한다(S102).

전측 및 후측 필로울러(90, 92)의 어느쪽이든 필로울러 구동장치(94)에 의해 커버필름(12C)과 접촉되어 있지만, 이것은 제어장치(104)에 검출되어 있고, 상기 제어장치(104)는 커버필름(12C)과 접촉하지 않은 측의 전측 도는 후측 필로울러(90) 또는 (92)에 상기 접속선이 접근한 것을 로터리엔코더(67)로부터의 출력신호에 의해서 검지한다(S103).

예를들면, 전측 필로울러(90)의 선행 원반필름의 커버필름(12C)과 접촉하고 있는 상태로 하면, 후측 필로울러(92)에 상기 필름의 접속선이 접근했을 때, 구동롤(110B) 및 후측 감기롤(100B)을 온(ON)시켜 에어실린더(94D)에 의해 레버(94B)를 통하여 후측 필로울러(92)를 윗쪽으로 구동시킨다(S104).

이때, 동시에 백업장치(102)에 있어서 후측 백업 로울러(102B)를 에어실린더에 의해 천칭레버(102D)를 요동함으로써 구동하고(S104), 접촉위치에 있는 후측 필로울러(92)와의 사이와 후측 백업 로울러(102B) 사이에서 필름(12)의 접속선 보다도 약 5mm 앞쪽을 끼운다. 한편, 에어실린더(94C)를 구동하여 전측 필로울러(90)를 후퇴위치로 구동시킨다.

이것에 의해, 전측 필로울러(90)는 전측 미끄럼부재(106A) 보다도 하측위치가 되기 때문에, 필름(12C)이 조금 밑으로 늘어져도, 상기 필름(12)이 전측 필로울러(90)의 감겨진 편면 점착테이프(96)에 접촉하여 점착해버리는 것이 방지된다.

상기와 같이, 후측 필로울러(92)와 후측 백업로울러(102B) 사이에서 편면점착테이프(96)과 함께 필름(12)를 끼우지만, 이 때, 후측 필로울러(92)에 대해, 후측 백업 로울러(102B)는 필름경로(13)의 됫쪽(도면에 있어서 우측방향)으로 약간 어긋난 상태에서 편면 점착테이프(96) 및 필름(12)을 끼우는 상태로 되어있다.

또한, 편면 점착테이프(96)는 구동롤(110B)에 의해 필름(12)을 보내는 속도와 등속으로 구동되어 후측 감기롤(100B)에 감겨져 있는 필름(12)의 접속선이 이동해 오면, 도면에 있어서 하부측의 커버필름(12C)측이 외부측으로 만곡하도록 구부러지기 때문에, 상기 커버필름(12C)이 절단선으로부터 벗겨지기 쉬워져 이것이 후측 필로울러(92)에 감겨져 주행하고 있는 편면 점착테이프(96)의 점착면에 접착하여 용이하게 벗겨지게 된다.

따라서, 후행 원반필름의 선단(12)으로부터 커버필름(12C)이 벗겨져, 이것이 편면 점착테이프(96)와 함께 구동롤(110B)과 후측 압압 가이드롤(l16B) 사이를 통과하여 후측 감기롤(100B)의 롤(103)에 감겨지게 된다.

또한, 커버필름(12C)이 벗겨진 필름(12)은 상기 필름 가이드(124)를 거쳐 래미네이션롤(20)내에 감겨져 여기에서 기판(18)의 필름부착면(18A)에 압착되게 된다.

후측 필로울러(92)가 접촉위치로 구동되었을 때, 필 종료 카운터(도시 생략)가 스타트하고(S105), 일정시간 후에 광센서(103B)가 커버필름(12C)의 유무를 검출한다(S108).

다음으로, 필종료 카운터의 카운트 업(S106)에 의해 후측 필로울러(92)는 필름경로(13)로부터 약간 하강된다(S107). 광센서(103B)에 의해 커버필름(12C)이 검출되지 않았을 때(S108N), 즉 박리 실패일 때는 바로 구동롤(110B) 및 후측 감기롤(100B)이 정지되며(S109), 검출되었을 때는 운전이 속행된다(S110).

상기한 바와 같이, 커버필름(12C)이 박리되어 있는 동안에 선행원반필름의 커버필름을 감는 것을 종료한 전측 감기 롤(100A)은 전측 인출 프레임(114)에 의해 외부측으로 인출되고, 지지파이프(101)에서 수지롤(103)을 감은 커버필름(12C) 및 단면 점착테이프(96)와 함께 떼어내고 새로운 수지롤(103)을 세팅한다.

이때, 전측 단면 점착테이프 공급장치(98A)에 있어서 단면 점착테이프의 테이프코일(95)도 새로운 것으로 교환하고, 여기에서부터 감겨진 편면 점착테이프(96)를 전측 필로울러(90)에 감고, 또한 중간롤(l12A)의 외부측에서 상기 구동롤(110A)과 전측 압압 가이드롤(l16A)과의 사이를 통과하여 새롭게 장착된 수지롤(103)에 선단을 감은 후, 전측 인출 프레임(l14A)을 필름 경로(13) 아래쪽의 위치에 눌러 세팅한다. 또한, 단면 점착테이프(96)를 새롭게 장착할 때는 상기 전측 압압 가이드롤(l16A)을 요동레버(118)에 의해서 도면에 있어서 시계방향으로 구동하여 구동롤(110A)과의 사이를 열어 여기에 편면 점착테이프(96)를 통과하게 한 후, 전측 압압 가이드롤(l16A)을 구동롤(110A)에 누르는 위치로 되돌린다.

상기와 같이 하여, 원반필름을 교환할때 마다 전측 또는 후측 인출 프레임(114A, 114B)을 인출하여 전측 또는 후측 점착테이프 공급장치에 있어서 단면 점착테이프 및 전측 또는 후측 감기 롤(100A, 100B)의 수지롤(103)을 교환한다.

또한, 상기 선행 원반필름 종단(12D)과 후행원반 필름 선단(12E)을 접속하는 단면 점착테이프(56)의 점착면(56B)은 제 2 흡착장치(46)에 의해서 선행 원반필름의 종단(12D)에 눌러 부착되는 것이지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라 예를들면 제20도에 도시된 바와 같이, 제 2 흡착장치(46)에 의해서 필름(12)의 종단(12D)과 선단(12E)이 접착된 상태에서 이것들을 제 1 흡착장치(24)의 흡착면(24A, 24B)에 눌러 부착하면서 필름 폭 방향으로 이동하는 압압 로울러 등의 누름부재(65)를 상기 종단컷터(62)에 설치하고, 이것에 의해 종단(12D)과 선단(12E)을 편면 점착테이프(56)에 강력하게 접착시키도록 해도 좋다. 이 경우, 종단컷터(62)는 후퇴 시켜둔다.

또한, 상기 장치에 있어서, 필름(12)은 미리 커버필름(12C)을 벗긴 상태에서 간헐적으로 반송되어 오는 기판(18)에 연속적으로 부착되는 것이지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 미리 필름을 절단하고, 이것을 임시부착부재에 의해 기판에 부착하는 필름부착장치, 미리 커버필름을 벗겨 기판 길이에 맞춰 절단하면서 기판에 부착하도록 한 필름부착장치 등도 포함하여 원반필름을 연속적으로 공급하는 경우에 적용되는 것이다

또한, 상기 장치에 있어서는 선행원반필름의 종단(12D)과 후행원반필름의 선단(12E)을 가지런히 잘라 투광성지지필름(12A)측에 있어서 편면 점착테이프(56)로 접착함으로써 접속한 것이지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니며, 예를들면, 제21도에 도시된 바와 같이, 선행원반필름의 후단의 커버필름(12C)측에 후행 원반필름의 선단을 겹친 상태에서 양자의 투광성 지지필름(12A)을 단면 점착테이프(56)에 의해 접속하도록 한 것이라도 좋다.

또한, 상기 장치에 있어서는, 전측 필로울러(90) 및 후측 필로울러(92)는 각각 필름 폭 방향으로 3개 배치되어 있지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라 2 개 또는 4개 이상의 필로울러를 필름 폭 방향으로 배치하거나 또는 필름 전체 폭에 걸쳐서 전후 각 1개의 필로울러를 배치하도록 해도 좋다. 이경우, 상기 필로울러에 감겨진 편면 점착테이프는 필로울러의 긴 방향(필름 폭방향)에 적절한 간격으로 복수개 배치해도 좋고, 또한 필름 전체 폭에 걸친 1개의 편면 점착테이프를 이용해도 좋다.

또한, 편면점착테이프(96)는 롤상태로 되어 있지만, 이 편면점착테이프(96)의 길이는 통상은 1개의 원반필름과 같은 정도로 하지만, 커버필름(12C)이 충분히 잡아당기는 힘에 견딜 수 있는 것이면 상기 편면 점착테이프(96)의 길이를 선행원반 필름과 후행원반필름의 접속선으로부터 일정범위로 접착하는 길이로 하여 커버필름이 감기는 롤에 어느정도 감겨진 후에는 편면 점착테이프를 이용하지 않고, 커버필름(12C)만을 잡아당김으로써 필름(12)에서 커버필름(12C)을 벗기도록 해도 좋다.

이경우에는 편면 점착테이프의 소모량을 저감시킬 수 있다. 또한, 감기롤에 의한 커버필름을 감는 형상을 안정시킬 수 있다.

또한, 상기 필름(12)은 감광성수지층(12B)이 투광성 지지필름(12A)에 적층된 것이지만, 이 투광성 지지필름(12A)은 반드시 빛을 투과하는 것이 아니라도, 예를들면 전자선, X선, 자외선 등을 투과하는 것으로 불투명이라도 좋다.

Claims (4)

1. 지지필름위에 감광성수지층 및 커버필름이 적층되어 이루어진 필름을 필름공급롤로부터 인출하고 동시에 상기 커버필름을 벗겨 송출하는 필름공급방법에 있어서, 상기 필름공급롤에서 인출한 필름의 종단을 다음 필름공급롤로부터 인출한 필름의 선단에 상기 지지필름측에서 접속하여 연속적으로 송출하고, 상기 접속된 필름의 커버필름측을 향하여 필름을 보내는 방향으로 떨어지게 배치되며, 각각에 필름을 보내는 방향으로 보낼 수 있는 점착테이프가 그 점착면을 외부측으로 하여 감겨진 전측 필로울러 및 후측 필로울러를 상기 필름공급롤이 교환될 때 마다, 상기 교환된 필름의 선단에 선택적으로 눌러 주행하는 점착테이프를 점착시킴으로써, 상기 선단으로부터 커버필름을 벗기고 이와 동시에 상기 편면 점착테이프와 함께 감는 것을 특징으로 하는 필름공급방법.
2. 지지필름위에 감광성수지층 및 커버필름이 적층되어 이루어진 필름을 필름공급롤에서 인출하고 동시에 상기 커버필름을 벗겨 필름경로를 따라서 송출하는 필름공급장치에 있어서, 상기 필름공급롤로부터 인출한 필름의 종단을 필름경로상에서 다음 필름 공급롤로부터 인출한 필름의 선단에 상기 지지필름측에서 접속하는 필름접속수단과, 상기 필름경로를 따라서 필름의 커버필름을 향해서 필름을 보내는 방향으로 떨어지게 배치된 전측 필로울러 및 후측 필로울러를 구비하여 이루어지며, 이 전측 필로울러 및 후측 필로울러가 상기 필름 경로상의 필름의 커버필름에 접촉 가능한 접촉위치 및 비접촉이 되는 후퇴위치로 선택적으로 구동되는 필로울러장치와, 상기 전측 및 후측 필로울러의 각각에 점착면을 외부측으로 하여 감겨진 편면 점착테이프를 공급하는 전측 점착테이프 공급장치 및 후측 점착테이프 공급장치와, 상기 전측 및 후측 점착테이프를 점착하고 있는 커버필름과 함께 감는 전측 감기롤 및 후측 감기롤을 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 필름공급장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 전측 필로울러, 상기 전측 점착테이프 공급장치 및 전측 감기롤은 전측 인출프레임에 지지되며, 상기 후측 필로울러, 상기 후측 점착테이프 공급장치 및 후측 감기롤은 후측 인출프레임에 지지되며, 상기 전측 및 후측 인출 프레임은 상기 필름경로에 대해 직교하는 수평방향으로 별개로 이동 자유롭게 되며, 상기 전측 및 후측 필로울러, 전측 및 후측 점착테이프 공급장치, 전측 및 후측 감기롤이 상기 필름경로의 아래쪽 위치와 외부측으로 인출된 위치 사이에서 이동가능하게 된 것을 특징으로 하는 필름공급장치.
4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 전측 및 후측 필로울러에 대해 상기 필름경로를 사이로 대향하여 배치되며, 상기 전측 또는 후측 필로울러가 상기 접촉위치에서 구동될 때, 상기 전측 또는 후측 필로울러의 필름경로와의 접점 보다도 상류측으로 어긋난 위치에서 상기 전측 또는 후측 필로울러 사이에서 상기 필름 및 편면 점착테이프를 전접 자유롭게 끼우는 전측 및 후측 백업롤을 구비한 백업장치를 설치한 것을 특징로 하는 필름공급장치.