KR100280080B1

KR100280080B1 - 처리장치

Info

Publication number: KR100280080B1
Application number: KR1019950029784A
Authority: KR
Inventors: 미조사키겐고
Original assignee: 다카시마 히로시; 도오교오에레구토론큐우슈우가부시끼가이샤; 히가시 데쓰로; 동경 엘렉트론주식회사
Priority date: 1994-09-13
Filing date: 1995-09-13
Publication date: 2001-03-02
Also published as: JPH0883833A; US5695562A; JP3249309B2; TW346638B; KR960012295A

Abstract

본 발명은, 피처리체에 대하여 도포, 현상처리를 행하기 위한 처리장치에 관한 것으로, 여러개의 판형상의 피처리체를 상하방향으로 간격을 가지고 거의 수평으로 수납하고, 피처리체의 받아넘기는 입구를 이루는 앞면과, 측면부는 빛의 투과부를 가지는 측면을 가지는 적어도 1개의 캐리어를 얹어놓기 위한 캐리어 얹어놓는 부와, 상기 캐리어 내의 피처리체를 순차적으로 꺼내어서 처리 유니트에 받아넘기기 위해서, 적어도 진퇴가 자유롭고 상기 캐리어 얹어놓는 부에 대하여 상대적으로 승강이 자유롭게 구성된 피처리체 유지부재를 구비한 반송기구와, 이 반송기구에, 상기 피처리체의 일부를 수평방향으로 사이에 끼워서 대향하도록 설치되고, 상기 캐리어 얹어놓는 부 위의 캐리어 내의 각 단에서의 피처리체의 유무를 검출하기 위한 한 쌍의 광학적 검출수단으로 이루어진 것이다.

Description

처리장치

제1도는, 본 발명의 한 실시예에 관계되는 처리장치가 적용된 도포·현상처리장치의 일부를 나타낸 사시도,

제2도는, 제1도에 나타낸 장치의 피처리기판 반송기구의 사시도,

제3도는, 제1도에 나타낸 장치에 있어서 맵핑을 행하고 있는 상태를 나타낸 평면도,

제4도는, 제1도에 나타낸 장치의 캐리어 얹어놓는 부 위의 위치맞춤부재를 나타낸 평면도,

제5도는, 제1도에 나타낸 장치의 캐리어 얹어놓는 부 위의 위치맞춤부재를 나타낸 사시도,

제6도는, 제1도에 나타낸 장치의 위치맞춤부재를 작동시키는 에어실린더의 에어배관을 나타낸 도이다.

제7도는, 제1도에 나타낸 도포·현상처리장치의 전체의 개관을 나타낸 사시도,

제8도는, 종래의 도포·현상처리장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

2 : 캐리어 얹어놓는 부 3 : 피처리체 반송기구

6,6a : 메인 아암 7a,7b : 위치맞춤부재

11 : 캐리어 얹어놓는 부 12 : 반송기구

13 : 반송부 본체 14 : 핀셋

15 : 발광 및 수광부 16 : 거울

17 : 메인아암 21 : 지지대

31 : 회전축 32 : 반송부 본체

33 : 승강부 34 : 모터

35 : Y방향 이동기구 36 : 이동부

41 : 핀셋 42,43 : 아암

51 : 아암 52 : 제 1 광학적 검출수단

53 : 제 2 광학적 검출수단 53a : 광로

61 : 반송로 71 : 수평면부

72 : L자형부 73a,73b : 에어 실린더

74 : 에어 공급원 75,76 : 에어 공급관

81 : 브러시 세정부 82 : 제트수 세정부

83 : 도포장치 84 : 어드히젼 처리부

85 : 냉각 처리부 A : 반출입 유니트

B : 처리 유니트 B1 : 세정부

B2 : 어드히젼 처리부 B3 : 냉각 처리부

B4 : 도포 처리부 B5 : 가열 처리부

B6 : 현상 처리부 C : 캐리어

D : 처리부 G : 유리기판

본 발명은, 피처리체에 대하여 예를 들면 도포, 현상처리를 행하기 위한 처리장치에 관한 것이다.

일반적으로, 액정표시 디스 플레이(LCD)장치의 제조공정에 있어서는, LCD기판(유리기판) 위에 예를 들면 ITO(Indium Tin Oxide)의 얇은 막과 전극 패턴 등을 형성하고 있다. 이 형성 때문에, 반도체 제조공정에 있어서 이용되는 것과 같은 포토 리소그래피기술을 이용하여 회로패턴 등을 축소하여 포토레지스트에 전사하고, 이것을 현상처리하는 일련의 처리를 하고 있다. 이와 같은 처리를 행하기 위해서, LCD기판상의 금속/절연 얇은 막 위에 레지스트액을 도포하고, 노광후의 LCD기판을 현상하는 도포·현상처리장치와, 이 도포·현상처리장치에 연결된 노광장치가 크린 룸 내에 설치되어 있다.

이하에 종래의 도포·현상처리장치를 제 8 도를 참조하면서 설명한다.

이 처리장치는, 유리기판(G)의 반출입 포트를 이루는 반출입 유니트(A)와 처리 유니트(B)로 구성되어 있다. 반출입 유니트(A)는, 유리기판(G)을 수납하기 위한 캐리어(C)를 예를 들면 4개 나란히 위에 얹어놓기 위한 캐리어 얹어놓는 부(11)와, 캐리어(C) 내의 유리기판(G)을 처리 유니트(B)와의 사이에 받아넘기기 위한 반송기구(12)를 구비하고 있다. 캐리어(C)는, 여러개의 유리기판(G)을 선반형상으로 수납하도록 틀체로 구성되고, 각 유리기판(G)의 네 모퉁이와 주변의 소정장소를 유지하고 있다.

반송기구(12)는, Y, Z, θ방향으로 이동이 자유로운 반송부 본체(13)에 기판반송용인 핀셋(14)을 진퇴가 자유롭게(X방향으로 이동이 자유롭게)설치되어 있고, 핀셋(14)을 캐리어(C)내에 진입시켜서 캐리어(C)와의 사이에 유리기판(G)의 받아넘김을 행한다. 받아넘길 때에는 캐리어(C)의 각 단에서의 유리기판(G)의 유무를 제어계측으로 파악하고 있는 것이 필요하므로, 캐리어 얹어놓는 부(11)측과 반송기구(12)측으로 분할하여 맵핑 센서가 설치되어 있다. 즉 반송부 본체(13)의 앞면부에는 발광 및 수광부(15)가 부착되어 있고, 또한, 캐리어 얹어놓는 부(11)에서의 각 캐리어(C)의 측방향에는, 발광 및 수광부(15)로부터의 빛을 발광 및 수광부(15)를 향하여 반사하기 위해서 캐리어(C)의 높이에 따른 세로로 긴 거울(16)이 고정 배치되어 있고, 이들 발광 및 수광부(15) 및 거울(16)에 의해서 맵핑 센서가 구성되어 있다. 이 맵핑 센서는, 반송부 본체(13)를 캐리어(C)의 윗끝단으로부터 아래끝단까지의 레벨을 승강하여 스캔(scan)함으로써, 유리기판(G)이 수납되어 있는 단에 있어서는 그 유리기판(G)에 의해서 광로가 차단되므로, 캐리어(C) 내의 각 단의 유리기판(G)의 유무를 검출하는 역할을 다하는 것이다.

반송기구(12)는, 소정의 캐리어(C) 내에 대향하는 위치로 이동된 후, 이미 상술한 바와 같이 하여 맵핑을 행하고, 캐리어(C) 내로부터 1매씩 유리기판(G)을 꺼내어서 처리 유니트(B)의 메인 아암(17)으로 받아 넘긴다. 메인 아암(17)은, 수취한 유리기판(G)을 각 처리부로 반송하고, 예를 들면 세정부(B1), 어드히젼 처리부(B2), 냉각 처리부(B3), 도포 처리부(B4) 및 가열 처리부(B5)를 순차적으로 반송하고, 유리기판(G)의 표면에 레지스트막이 도포 형성된다. 또한 도면 중 현상처리부(B6)는 노광후의 유리기판(G)에 대하여 현상처리를 행하는 부분이다.

상술한 장치는 다음과 같은 문제가 있다.

반송기구(13)와 메인 아암(17) 등의 각 부의 조정을 하기 위해서 캐리어(C)를 수작업으로 얹어놓는 부(11)에 두는 경우가 있다. 캐리어(C)간에 세로로 긴 거울(16)이 고정되어 설치되어 있기 때문에 작업하기가 어렵고, 캐리어(C) 또는 작업원이 거울(16)에 닿게 되면, 각도조정을 하지 않을 수 없었다. 또한 거울(16)에 닿은 것을 깨닫지 못하고 그 각도가 어긋나 버리는 경우에는, 그 후 정확한 맵핑을 행할 수 없고, 캐리어(C) 내의 텅빈 단에 대하여도 유리기판(G)이 있는 것이라고 인식하여 반송동작을 행하는 등, 유리기판(G)의 받아넘김을 정확하게 행할 수 없다는 문제도 있다.

또한 AGV(자동반송 로보트)에 의해서 외부와 캐리어 얹어놓는 부(11)와의 사이에 캐리어(C)를 반송하는 경우, AGV의 반송 정밀도에 대응하여 얹어놓는 부(11)에서의 캐리어(C)의 얹어놓는 위치에 오차가 발생하므로, 얹어놓는 위치가 일정하다고 할 수 없고, 그 얹어놓는 위치가 반송기구(12)측로부터 요구되는 허용범위를 어긋나 있으면 유리기판(G)의 수취실패 등의 문제가 발생한다. 한편 이것을 피하기 위해서 AGV의 반송 정밀도를 높이려고 하면, 제어가 매우 어렵게 되어버린다.

본 발명의 목적은, 캐리어 내의 각 단의 피처리기판의 유무를 정확하게 검출할 수 있고, 피처리기판의 받아넘김을 정확하게 행할 수 있는 처리장치를 제공하는 것이다.

[실시예]

제 1 도는 본 발명을 도포·현상처리장치에 적용한 실시예를 나타낸 도이고, 이 도포·현상처리장치는, 판형상의 피처리체 예를 들면 LCD에 이용되는 유리기판의 반출입 유니트(A)와, 피처리체에 대하여 도포·현상처리를 행하는 처리 유니트(B)를 구비하고 있다. 반출입 유니트(A)는, 유리기판(G)을 수납하는 캐리어(C)를 예를 들면 4개직렬로 나란히 얹어놓기 위한 캐리어 얹어놓는 부(2)와, 캐리어(C) 내의 유리기판(G)을 처리 유니트(B)와의 사이에 받아넘기기 위한 피처리체 반송기구(3)를 가지고 있다.

상기 캐리어 얹어놓는 부(2)에는 캐리어(C)의 바닥면을 지지하는 한 쌍의 지지대(21)가 캐리어(C)의 바닥면 좌우 양 테두리를 따라서 평행하게 설치되어 있다. 캐리어(C)는, 여러개 예를 들면 25매의 사각형상의 유리기판(G)(제 1 도에서는 편의상 1매만 기재되어 있다)을 선반형상으로 수납하도록 틀체에 의해서 구성됨과 동시에, 각 유리기판(G)의 네 모퉁이와 주변의 소정장소를, 틀체에 형성된 홈부에 의해서 유지하고 있고, 앞면부(제 1 도에서는 반송기구 3측)이 피처리기판의 받아넘기는 입구로 되어 있다.

상기 반송기구(3)는, 제 2 도에 상세하게 나타낸 바와 같이, θ방향으로 이동이 자유로운(Z축주위에 회전이 자유로운) 회전축(31)위에 반송부 본체(32)를 가진다. 이 회전축(31)은, 승강부(33)에 의해서 승강하는 모터(34)에 의해서 θ방향으로 회전될 수 있고, 또한 승강부(33)는 Y방향 이동기구(35)에 의해서 Y방향으로 이동이 가능하다. 따라서 반송부 본체(32)는 Y, Z, θ방향으로 이동할 수 있다. 반송부 본체(32) 위에는, 예를 들면 이 중에 조립된 벨트기구 등에 의해서 반송부 본체(32)의 표면을 따라서 진퇴가 자유로운(X방향으로 이동이 자유로운) 이동부(36)가 설치되어 있고, 이 이동부(36)의 앞면에는, 피처리체 유지부재, 예를 들면 유리기판(G)의 아래면을 진공흡착 등에 의해서 유지하기 위한 핀셋(41)이 수평으로 돌출하여 설치되어 있다.

상기 이동부(36)의 양측에는, 각각 좌우에 신장하고 직각으로 굽어서 앞쪽으로 신장해 있는 아암(42,43)이 설치되어 있다. 이들 아암(42,43)은, 이동부(36) 내의 구동부에 의해서 서로 연이어 작동하여서 Y방향으로 개폐할 수 있도록(서로 붙이고 뗄 수 있도록) 구성되어 있다. 아암(42,43)의 앞끝단부 윗면에는 캐리어(C) 내의 유리기판의 양측 테두리를 사이에 끼워 눌러서 유리기판(G) 방향을 교정하기 위한 누름용 롤러(R)가 회전이 가능하게 설치되어 있다.

상기 반송부 본체(32)의 한 쪽(좌측)에는, 도면에서는 보이지 않는 에어 실린더 등의 구동부에 의해서, 진퇴가 자유로운(X방향으로 이동이 가능한) L자형의 아암(51)이 설치되어 있고, 이 아암(51)은, 반송부 본체(32)가 캐리어 얹어놓는 부(2) 위에 세트된 캐리어(C)에 대향한 위치에 있을 때에 전진되고, 그 캐리어(C)의 좌측면부 바깥측의 위치로 신장하도록 구성되어 있다. 그리고 이 아암(51)의 앞끝단부 윗면에는, 제 1 광학적 검출수단(이 실시예에서는 거울)(52)이 설치되는 한편, 반송부 본체(32)의 앞면부(이 실시예에서는 중심으로 부터 우측에 위치해 있으나 중심부근이어도 좋다)에는 제 2 광학적 검출수단(이 실시예에서는, 발광 다이오드와 발광 트랜지스터와 같은 발광소자 및 포토 다이오드와 포토트랜지스터와 같은 수광소자를 조합시켜서 이루어진 발광 및 수광부 또는 포토 커플러)(53)가 설치되어 있다. 이들 발광 및 수광부(53) 및 거울(52)은, 동일수평면형상에 위치하고, 아암(51)이 신장한 상태에 있을 때에 발광 및 수광부(53)의 발광부로부터의 빛이 거울(52)로 반사되어서 발광 및 수광부(53)의 수광부로 되돌아 오도록 위치설정되어 있다. 즉, 발광 및 수광부(53)로부터 사출된 빛이 유리기판(G)에 앞면으로부터 소정각도를 가지고 입사하고, 측면으로부터 사출되고, 거울(52)로 반사되며, 다시 유리기판(G)에 측면으로부터 입사하고, 앞면으로부터 사출되어서 발광 및 수광부(53)에서 빛을 받도록, 수광부(53) 및 거울(52)은 설정되어 있다. 이와 같이, 상기 발광·반사광의 광로(53a)(제 3 도)는 유리기판(G)의 수평면과 거의 평행하게 되고, 유리기판(G)의 측면 및 앞면과 소정각도를 가지고 있다. 이 결과, 유리기판에 의해서 빛이 일부 흡수되므로, 유리기판이 없는 경우와 비교하여, 발광 및 수광부(53)의 수광 광량이 적어진다(발광 및 수광부(53)로부터의 사출광의 광량이 적을 때에는 수광량은 0에 가깝게 된다). 이와 같이 수광량이 많고, 적고, 또는 유무에 의해서 유리기판의 유무를 검출할 수 있다. 이들 발광 및 수광부(53) 및 거울(52)은, 캐리어(C) 내의 유리기판(G)의 맵핑(각 단에 유리기판(G)이 있는지 없는지 등을 조사하는 것)을 행하기 위한 맵핑을 이루는 한 쌍의 광학적 검출수단을 구성하고 있다.

상기 처리 유니트는, 나중에 처리 유니트의 전체에 대하여 설명하나, 유리기판(G)의 표면에 레지스트액을 도포하기 위해서 필요한 도포처리부와, 패턴노광후에 현상을 행하는 현상처리부 등의 각 처리부(제 1 도에서는 처리부를 D의 부호를 붙이고 있다)를 가지며, 각 처리부(D)는, 처리 유니트의 중앙을 전후에 달리는 기판반송용 메인아암(6)의 반송로(61)의 양측에 배치되어 있다. 메인아암(6)은, 반송기구(3)와 소정의 처리부(D)와의 사이 및 각 처리부(D) 사이에서의 피처리기판의 받아넘김을 행하기 위한 것이고, X, Y, Z, θ방향으로 이동할 수 있도록 구성되어 있다.

다음으로 상술한 실시예의 작용에 대하여 설명한다. 먼저 유리기판(G)을 예를 들면 25매 수납한 캐리어(C)가 외부로부터 예를 들면 자동반송 로보트에 의해서 또는 오퍼레이터에 의해서 캐리어 얹어놓는 부(2)의 지지대(21) 위에, 앞면 개구부를 처리 유니트(B)측을 향하여 얹어놓는다. 다음으로, 반송기구(3)의 반송부 본체(32)를 상기 캐리어(C)의 정면에 위치시키고, 맵핑을 행한다. 즉, 제 3 도에 나타낸 바와 같이 아암(51)을 캐리어(C)의 측면부 바깥측을 따라서 전진시켜서 신장위치로 가져온다. 이 결과, 거울(52)과 발광 및 수광부(53)와의 사이에 광로(53a)가 형성된다.

이 상태에서, 캐리어(C)의 최상단의 높이위치로부터 최하단의 높이위치까지의 사이를(또는, 그 반대를) 광로가 스캔하도록 반송부 본체(32)를 승강시키면, 캐리어(C)의 측면부는 틀체(CF)가 존재하지 않는 부분은 개구상태이므로, 유리기판(G)이 없는 단에 있어서는 발광 및 수광부(53)로부터의 빛이, 거울(52)로 반사하여 발광 및 수광부(53)로 되돌아가나, 유리기판(G)이 있는 단에 있어서는, 유리기판(G)에 의해서 광로가 차단되므로 발광 및 수광부(53)에서는 수광할 수 없다. 이 발광 및 수광부(53)로부터의 출력신호는 제어계로 보내어지고, 여기에서 발광 및 수광부(53)의 수광의 유무의 신호와, 사전에 입력된 25매의 유리기판의 위치정보에 의거하여, 캐리어(C) 내의 어느 단에 유리기판(G)이 수납되어 있는지를 파악할 수 있고, 반송기구(3)에 대하여 캐리어(C) 내의 텅빈단에 대하여 접근하는 문제가 없도록 제어할 수 있다.

그 후, 반송기구(3)에 의해서 캐리어(C) 내로부터 유리기판(G)을 순차적으로 꺼내어서, 처리 유니트(B)의 메인아암(6)에 받아건낸다. 유리기판(G)을 꺼내는 것에 대해서는, 반송기구(3)의 이동부(36)를 전진시켜서 핀셋(41)을 상하로 배열된 유리기판(G)사이에 진입시키고, 먼저 아암(42,43)을 폐쇄방향으로 작동시켜서 누름롤러(R)에 의해서 유리기판(G)을 양측으로부터 사이에 끼워서 누르고 이에 의해서 유리기판(G)의 방향을 소정의 방향에 맞춘다. 이어서 이동부(36)를 상승하여 핀셋(41)에 의해서 유리기판(G)을 떠올려서 유지하고, 그 후 핀셋(41)을 후퇴시켜서 캐리어(C) 내로부터 유리기판(G)을 1매 꺼낸다. 그러한 후 유리기판(G)은 반송기구(3)로부터 메인아암(6)으로 받아넘겨지고, 후술하는 바와 같이, 도포, 노광, 현상처리된다.

이와 같은 실시예에 의하면, 캐리어(C) 내의 유리기판(G)의 맵핑시에, 반송기구(3)의 아암(51)을 연장하고, 아암(51) 위의 거울(52)과 반송부 본체(32)측의 발광 및 수광부(53)에 의해서 광로를 형성하고, 이 광로의 차단의 유무에 의해서 각 단의 유리기판(G)의 유무를 검출하고 있기 때문에, 캐리어(C)를 캐리어 얹어놓는 부(2)에 두거나 캐리어 얹어놓는 부(2)로부터 옮겨내는 경우, 예를 들면 캐리어(C)의 반송을 자동화하고 있는 경우에는 관리유지시에 수작업으로 캐리어(C)를 반출입하는 경우, 또는 캐리어 얹어놓는 부(2)의 지지대(21)의 조정 등을 행하는 경우에, 캐리어 얹어놓는 부(2) 위에 거울이 존재하지 않으므로 작업하기 쉽고, 또한 캐리어(C)와 작업원의 신체의 일부가 거울에 접촉할 우려가 없고, 따라서 광로가 어긋나지 않으므로 맵핑을 확실하게 행할 수 있고, 유리기판(G)의 받아넘김을 정확하게 행할 수 있다.

상기 장치에 있어서, 제 1 광학적 검출수단(52)을 포토 카프러로 구성하고, 제 2 광학적 검출수단(53)을 거울로 구성하여도 좋다. 또한, 제 1 광학적 검출수단(52)을 발광소자와 수광소자 중 어느 한 쪽으로 구성하고, 제 2 광학적 검출수단(53)을 다른 한 쪽으로 구성하여, 발광소자로부터 사출된 빛을 수광소자로 수광하도록 하여도 좋다. 제 2 광학검출수단(53)은, 예를 들면 아암(51)과 같은 아암을 반송부 본체(32)의 다른 측에도 설치하고, 이 아암에 설치하여도 좋다. 그러나, 유리기판이 대형이거나 얇아지면 질수록, 무게에 의해서 유리기판은 중심부가 휘어지고 이 휘어진 부분을 광로가 통과하면 오동작의 우려도 발생하므로, 대형/ 얇은 유리기판의 경우에는 실시예와 같이, 기판의 모퉁이부를 광로가 가로지르도록 검출수단을 설치하는 것이 바람직하다.

상기 캐리어 얹어놓는 부(2)는, 이하에 설명하는 바와 같이 구성하는 것이 바람직하다.

제 4 도 및 제 5 도에 나타낸 바와 같이, 1쌍의 지지대(21) 위에는, 캐리어(C)의 바닥면의 네 모퉁이 중 한 쪽의 대각선방향으로 대향하는 두 모퉁이를 지지한다. 위치맞춤수단을 이루는 1쌍의 위치맞춤부재(7a,7b)가 설치되어 있다. 각 위치맞춤부재(7a 또는 7b)는, 캐리어(C)의 바닥면을 지지하는 직사각형의 판으로 이루어진 수평면부(71)와, 이 수평면부(71)로 수직으로 세워서 설치되고, 캐리어(C)의 각부(자세하게는 틀재의 각부)에 적합하고, X방향을 따른 내면과 Y방향을 따른 내면을 구비하여 L자형으로 형성된 판으로 이루어진 L자형부(72)를 가진다. 이들 판(71,72)은 캐리어(C)와의 마찰로 먼지가 발생하지 않도록 예를 들면 불소수지에 의해서 형성되어 있다.

이들 위치맞춤부재(7a,7b)는, 지지대(21) 윗면을 따라서, 상기 캐리어의 대각선방향으로 이동이 가능하게 지지대에 설치되어 있다. 이 위치맞춤부재의 대각선방향으로의 이동이 가이드수단이 바람직하게는 설치되어 있다. 이 가이드수단은, 예를 들면, 지지대(21)의 윗면에 대각선방향으로 이어지도록 형성된 홈 또는 슬롯과, 위치맞춤부재의 바닥면에, 이 홈 또는 슬롯 중에 삽입되도록 형성된 돌출부에 의해서 구성될 수 있다. 지지대(21)에는, 에어 실린더(73a)(73b)가 설치되고, 이 에어 실린더(73a,73b)의 피스톤이 위치맞춤부재에 접속되어 있다. 이 결과, 에어 실린더(73a,73b)에 의해서 제 4 도의 화살표로 나타낸 바와 같이 L자형부의 양 내면에서 형성되는 각도(90도)를 2등분하는 방향, 즉 X축, Y축으로 이루어진 좌표계의 45도 방향으로 위치맞춤부재(7a,7b)가 이동될 수 있다. 에어 실린더(73a,73b)는, 제 6 도에 나타낸 바와 같이 공통의 에어 공급원(74)에 접속된 전진용의 에어 공급관(75) 및 후퇴용의 에어 공급관(76)을 각각 분기하고, 그 분기관의 분기끝단이 접속되어 있다. 따라서, 전진용의 에어 공급관(75) 또는 후퇴용의 에어 공급관(76)에 에어를 공급하면 에어 실린더(73a,73b)가 같은 압력의 에어로 동시에 작동하여, 즉 서로 연이어 작동하여, 위치맞춤부재(7a,7b)가 제 4 도의 화살표 방향을 따라서 동시에 안쪽 또는 바깥쪽으로 이동된다.

상기 지지대(21) 위에는, 캐리어(C)의 바닥면의 네 모퉁이 중 다른 두 모퉁이를 위치맞춤부재(7a)(7b)의 수평면부(71)와 같은 높이레벨로 지지하도록, 수평지지면을 가지는 예를 들면 불소수지로 이루어진 고정대(77)가 부착되어 있다.

이와 같이 캐리어 얹어놓는 부(2)에 위치맞춤부재(7a,7b)를 설치함으로써, 캐리어(C)가 다음과 같이 위치맞춤될 수 있다.

캐리어(C)가 예를 들면 자동반송 로보트에 의해서 외부로부터 캐리어 얹어놓는 부(2)의 지지대(21) 위에 받아넘겨지면, 캐리어(C)는, 자동반송 로보트의 반송정밀도에 대응한 위치결정 정밀도로 바닥면 네 모퉁이가 각각 위치맞춤부재(7a,7b)의 수평면부(71) 및 고정대(77) 위에 지지된다.

이어서 에어 실린더(73a,73b)를 작동시켜서, 위치맞춤부재(7a,7b)를 동시에 제 4 도의 화살표방향을 따라서 안쪽으로 이동시켜서 캐리어를 대각선방향으로 사이에 끼워 둔다, 이에 의해서 캐리어(C)는 X방향, Y방향으로 눌러진다. 즉 캐리어의 중심위치 및 방향이 소정의 위치로부터 어긋나 있으면, 위치맞춤부재(7a,7b)의 수직인 내면에 의해서 안내되면서 위치가 수정되고, 위치맞춤부재(7a,7b)에 의해서 끼워져 넣어진 위치에 수속하여 정지한다. 따라서 이 위치가 반송기구(3)에 의해서 받아넘김 위치가 되도록 사전에 설정해 둠으로써, 캐리어(C)는 위치맞춤부재(7a,7b)에 의해서 고정밀도의 위치맞춤이 행하여진다.

이와 같이 구성하면, 예를 들면 자동반송 로보트에 의해서 캐리어(C)를 반송하는 경우, 얹어놓는 오차가 포함되나, 캐리어(C)를 놓은 후 자동적으로 위치맞춤되므로 반송기구에 의해서 유리기판(G)의 받아넘김을 확실하게 행할 수 있고, 또한 자동반송 로보트에 대하여 높은 얹어놓는 정밀도를 요구하지 않아도 된다. 또한 수작업으로 캐리어(C)를 놓는 경우에도 정확하게 위치맞춤하지 않고 어느 정도 러프(rough)에 두어도 좋으므로 작업하기 쉽다.

그리고 상술한 실시예에서는, 한 쌍의 위치맞춤부재(7a,7b)를 연이어 작동시키고 있으나, 한 쪽을 고정하여도 좋다. 단 한 쪽을 고정하면 다른 쪽의 가동부분의 스트로크가 커지므로, 지지대(21)가 커지고, 파티클이 발생하기 쉬워지고, 따라서 연이어 작동하는 형으로 하는 것이 바람직하다. 또한 연이어 작동하는 형으로 하는 경우, 에어 실린더에 한정되지 않고 벨트와 피니온, 락기구 등의 동기기구를 이용하여도 좋으나, 상술한 바와 같이 에어 실린더를 이용하여 공통의 에어 공급원에서 작동시키면 구성이 간단하고, 유리하다.

또한 본 발명에서는 상술한 바와 같이 캐리어(C)를 직접 위치맞춤하는 대신에, 캐리어(C)를 얹어놓는 얹어놓는 대를 설치하고, 이 얹어놓는 대를 움직이게 하는 위치맞춤수단을 이용하여, 얹어놓는 대를 통해서 캐리어(C)의 위치맞춤을 행하여도 좋다. 이 경우 예를 들면 캐리어(C)의 X, Y의 위치를 검출하는 센서 예를 들면 여러개의 광학적 센서를 설치해 두고, 그 센서의 신호에 의거하여 위치맞춤수단을 제어하는 등의 수법을 채용할 수 있다. 이 경우, 캐리어(C)는 얹어놓는 대 위를 이동하지 않으므로, 마찰로 먼지가 발생하고 캐리어(C)에 부착하지 않는다.

다음으로, 캐리어 반송수단인 자동반송 로보트(통상 AGV등이라고 한다)와 도포·현상장치를 조합한 시스템의 각 부의 배치 및 처리의 흐름에 대하여 제 7 도를 참조하면서 간단하게 설명한다.

캐리어 얹어놓는 부(2) 및 피처리기판 반송기구(3)는, 도면에서는 생략되어 있으나, 이미 상술한 바와 같이 위치맞춤부재, 맵핑 센서가 조립되어 있다. 부호 62는 자동반송 로보트를 나타내고, 아암(63)에 의해서 캐리어(C)를 캐리어 얹어놓는 부(2)와의 사이에 받아넘기도록 구성되어 있다.

처리전의 유리기판은, 반송기구(3)에 의해서 캐리어(C) 내로부터 꺼내어져서 메인아암(6)으로 받아넘겨지고, 먼저 브러시 세정부(81) 내로 반송된다. 이 브러시 세정부(81) 내에서 브러시 세정된 유리기판은 필요에 따라서 계속해서 제트수 세정부(82) 내에서 고압제트수에 의해서 세정된다. 이 후, 유리기판은, 어드히젼 처리부(84)에서 소수화처리가 행하여지고, 냉각처리부(85)에서 냉각된 후, 도포장치(83)에서 포토 레지스트막 즉 감광막이 도포형성된다. 그리고, 이 포토 레지스트가 가열처리부(86)에서 가열되어 프리 베이킹 처리가 행하여진 후, 이 장치의 우측에 배치된 도시하지 않은 노광장치에서 소정의 패턴이 노광된다. 그리고, 노광후의 유리기판은 메인아암(6a)을 통해서 현상처리부(87) 내로 반송되고, 현상액에 의해서 현상된 후, 처리후의 유리기판은 메인 아암(6) 및 반송기구(3)를 통해서 예를 들면 원래의 캐리어(C) 내로 되돌아간다.

이상에 있어서 본 발명에서는 피처리기판으로서 LCD판넬용의 유리기판에 한정되지 않고, 유리 마스크, 프린트기판, 반도체 웨이퍼 등이어도 좋다.

본 발명에 의하면, 캐리어 내의 각 단에서의 피처리기판의 유무를 검출하기 위한 한 쌍의 광학적 검출수단을 피처리기판 반송기구에 설치하고 있기 때문에, 수작업으로 캐리어를 캐리어 얹어놓는 부에 놓는 경우에 작업하기 쉽고, 광학적 검출수단에 접촉할 우려가 없으므로 광학적 검출수단의 조정이 어긋나지 않고, 확실하게 맵핑을 할 수 있다.

또한 캐리어 얹어놓는 부에 캐리어 또는 얹어놓는 대의 위치맞춤을 행하기 위한 위치맞춤수단을 설치하고 있으므로, 캐리어 반송기구에 의해서 캐리어의 받아넘김을 행하는 경우에도, 피처리기판 반송기구에 의해서 확실하게 캐리어에 대하여 피처리기판의 받아넘김을 행할 수 있고, 수작업으로 캐리어를 놓을 경우에도 편리하다.

Claims

여러개의 판형상의 피처리체를 상하방향으로 간격을 가지고 거의 수평으로 수납하고, 피처리체의 받아넘기는 입구를 이루는 앞면과, 측면부는 빛의 투과부를 가지는 측면을 가지는 적어도 1개의 캐리어를 얹어놓기 위한 캐리어 얹어놓는 부와, 상기 캐리어 내의 피처리체를 순차적으로 꺼내어서 처리 유니트에 받아넘기기 위해서, 적어도 진퇴가 자유롭고 상기 캐리어 얹어놓는 부에 대하여 상대적으로 승강이 자유롭게 구성되고, 피처리체를 유지하기 위한 유지부재 및 상기 유지부재를 지지하기 위한 반송부 본체 및 상기 반송부 본체로부터 상기 캐리어 외부의 캐리어의 상기 측면을 따라 연장됨으로써 상기 측면의 상기 빛의 투과부를 마주하는 지지부를 가지는 아암을 포함하는 반송기구와, 하나는 반송부 본체에 제공되고 다른 하나는 아암의 지지부에 의해 지지되어 서로 상기 빛의 투과부와 수평 방향으로 피처리체의 한부분을 통하여 마주하는 한 쌍의 광학적 검출수단을 포함하여 구성되고, 상기 반송기구는 상기 한 쌍의 광학적 검출수단을 이동하기 위하여 수직으로 이동됨으로써 상기 캐리어 얹어놓는 부 위의 상기 캐리어의 연속적인 단에 있는 판 같은 피처리체의 유무를 연속적으로 검지하는 처리장치.
제1항에 있어서, 상기 아암은 상기 반송부 본체에 설치되어, 이 본체에 대하여 상대적으로 상기 캐리어의 한 쪽을 따라서 진퇴할 수 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
제2항에 있어서, 상기 한 쪽의 광학검출수단은, 거울과 포토 커프러 중 한 쪽의 광학부품을 가지며, 다른 쪽의 광학검출수단은 다른 쪽의 광학부품을 가지며, 이 포토 커프러로부터 사출된 빛은 거울에 반사되어 포토 커프러에 수광되는 것을 특징으로 하는 처리장치.
제2항에 있어서, 상기 한 쪽의 광학검출수단은, 발광소자와 수광소자와의 한 쪽 광학소자를 가지며, 다른 쪽의 광학검출수단은 다른 쪽의 광학소자를 가지며, 이 발광소자로부터 사출된 빛은 수광소자에 수광된 것을 특징으로 하는 처리장치.
제1항에 있어서, 상기 캐리어 얹어놓는 부 위의 캐리어를 위치맞춤하기 위한 위치맞춤수단을 더 가지는 것을 특징으로 하는 처리장치.
제5항에 있어서, 상기 위치맞춤수단은, 캐리어 얹어놓는 부 위의 캐리어를, 캐리어의 대각선방향의 양측으로부터 안내하여 위치맞춤을 하기 위해서 서로 대향하여 설치된 한 쌍의 위치맞춤부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
제6항에 있어서, 상기 캐리어의 바닥면부는 각형이고, 한 쌍의 위치맞춤부재는, 서로 접근하도록, 캐리어 또는 얹어놓는 대가 서로 대향하는 각부를 안내하고, 그 각부에 적합한 형상에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 처리장치.
제7항에 있어서, 한 쌍의 위치맞춤부재를 서로 반대방향에 동시에 이동시키는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 처리장치.
제8항에 있어서, 상기 이동수단은, 1쌍의 위치맞춤부재에 각각 접속된 에어 실린더와, 이들 에어 실린더에 동시에 에어를 공급하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 처리장치.
제1항에 있어서, 단지 상기 한쌍의 광학검출수단이 상기 캐리어에 저장된 피처리체의 존부를 검지하기 위하여 이용되는 것을 특징으로 하는 처리장치.
제1항에 있어서, 상기 유지부재는, 상기 피처리체 보다 좁은 폭을 가지고 피처리체를 지지함으로써 피처리체의 측면부가 그의 측면측으로부터 돌출되는 연장된 판을 포함하고, 상기 장치는 상기 연장된 판 위에 피처리체를 위치맞춤하는 위치맞춤수단을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
제11항에 있어서, 상기 위치맞춤수단은 상기 연장된 판 위에 배치된 피처리체의 측면끝단면을 누르기 위한 한 쌍의 누름부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
제12항에 있어서, 각각의 상기 누름부재는, 반송기구로부터 피처리체의 측면끝단면을 따라 연장되는 지지아암 및 지지아암 위에 회전 가능하게 지지되고 상기 연장된 판 위에 배치된 피처리체의 측면끝단면을 누르는 외면을 가지는 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리장치.
제1항에 있어서, 상기 한 쌍의 광학검출수단의 상기 한 쪽은, 상기 반송부 본체에 반송부 본체의 중심선으로부터 치우친 위치에 그리고 상기 캐리어의 측면으로부터 떨어진 상기 중심선에 대한 방향으로 위치되는 것을 특징으로 하는 처리장치.