KR100272652B1 - 기판처리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판을 수납하는 카셋의 이동 거리를 작게 할 수 있으며,카셋의 자동반송장치의 배치를 용이하게 할 수 있는 기판처리장치에 관한 것으로, 본 발명은 기판반송부(18)와 처리부(12)가 상하로 적층되어 배치되고, 기판수입부(10)와 기판배출부(14)가 인접한 위치에 상하 2단으로 배치된다.

기판수입부(10)에 반입된 카셋으로부터 취출된 기판(20)은 기판수수 수단(22a)을 통해 기판반송부(18)에 받아들여져서 기판반송부(18)의 타단까지 반송되고, 기판반송부(18)의 타단에서 반송방향이 180도 변경된 후에 처리부(12)에 투입된다. 처리부(12)에서 반송되면서 소정의 처리가 이루어진 기판(20)은 기판수수 수단(22b)을 통해 기판배출부(14)에 배출되어 카셋에 수납되며, 기판배출부(14)로부터 다음 공정으로 반송된다.

Description

기판처리장치

본 발명은 기판처리장치, 특히 액정표시장치 제조용 장치에 있어서 현상공정, 에칭공정, 박리공정 등의 왯 처리부에 사용되는 기판처리장치에 관한 것이다.

종래부터 액정표시장치(LCD) 등을 제조하는 장치에 있어서, 기판상에 포토레지스트막을 형성하거나, 그 포토레지스터막을 노광하여 현상한 후에 에칭을 행하거나 혹은 포토레지스트막을 박리하는 공정을 위해 기판처리장치가 사용되고 있다. 제5도에는 이와 같은 기판처리장치의 예가 도시되어 있다.

제5도에 도시된 바와 같이 종래에는 미처리 기판을 받아들이고, 장치에 투입하기 위한 기판수입부(10)와 기판수입부(10)가 받아들인 미처리 기판을 소정의 공정에 의거해서 처리하는 처리부(12)와 처리가 끝난 기판을 장치밖으로 배출하는 기판배출부(14)가 직선상으로 배열되어 있었다.

또, 기판은 카셋에 수납되어 전공정으로부터 기판수입부(10)까지 운반되며, 기판처리장치에서 소정의 처리가 이루어진 후, 기판배출부(14)로부터 다시 카셋에 수납되어 다음 공정으로 운반되어 간다.

이와 같은 기판은 최근 대형화되고 있으며, 상술한 기판이 수납된 카셋을 사람 손에 의해 운반하는 일은 적어지고 있다. 그 대신 카셋을 자동반송장치(AGV)에 의해 기판수입부(10)까지 운반해 들이거나 기판배출부(14)로부터 운반해내고 있다. 따라서, 기판처리장치를 설치하는 크린 룸내에서는 기판처리장치의 배치에 맞춰 이 AGV의 궤도(16) 배치를 결정할 필요가 있다.

그러나, 상술한 처리부(12)의 내용은 포토레지스트막의 형성공정이거나, 이 노광공정이거나 혹은 현상, 에칭, 박리 등의 왯 처리공정이므로, 그 길이는 실시되는 처리공정에 따라 다르다. 따라서, 기판수입부(10)와 기판배출부(14)의 위치는 처리부(12)의 길이에 따라 장치마다 다르다.

또, 기판수입부(10) 및 기판배출부(14)는 각각 처리부(12)의 양단 즉 기판처리장치의 양단부에 배치되어 있다.

이 때문에 상기 종래의 기판처리장치에서는 제5도에 도시된 바와 같이, 장치의 길이에 따라 AGV의 궤도(16)를 복잡한 형태로 배치할 필요가 있어서 크린 룸내의 AGV의 배치가 곤란해진다는 문제가 있었다.

또한, 상술한 바와 같이 기판수입부(10)와 기판배출부(14)가 기판처리장치의 양단에 배치되어 있음으로써, 이들 사이에 기판을 수납하는 카셋을 이동시키기 위해서는 AGV의 궤도를 길게 할 필요가 있는데, 이 때문에 크린 룸내의 면적중 다른 장치를 설치할 수 있는 유효 면적이 감소된다는 문제도 있었다.

본 발명은 상기 종래의 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 기판을 수납하는 카셋의 이동 거리를 작게 할 수 있고, 카셋의 자동반송장치 배치를 용이하게 할 수 있는 기판처리장치를 제공하는 데 있다.

제1도는 본 발명에 관한 기판처리장치의 일실시 형태의 구성도이다.

제2도는 본 발명에 관한 기판처리장치의 다른 실시형태의 구성도이다.

제3도는 제2도에 관한 기판처리장치에 사용되는 기판을 직립상태와 수평상태사이에서 전회(轉回)시키는 장치의 예를 도시한 구성도이다.

제4도는 본 발명에 관한 기판처리장치의 또다른 실시형태의 구성도이다.

제5도는 종래의 기판처리장치의 배치예를 도시한 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 기판수입부 12 : 처리부

14 : 기판배출부 16 : 궤도

18 : 기판반송부 20 : 기판

22a,22b : 기판수수부 24 : 세로반송롤러

26 : 전회롤러 28 : 수평반송롤러

30 : 엘리베이터

상기 목적을 달성하기 위해 본원의 제1발명은 미처리 기판을 받아들이는 기판수입부와, 상기 기판수입부가 받아들인 미처리 기판을 반송하면서 소정의 처리를 행하는 처리부와, 상기 처리부와 상하에 일체적으로 배치되고, 상기 처리부에 의해 처리된 기판을 배출하는 기판배출부와, 상기 처리부와 상하 2단으로 배설되고, 상기 기판수입부로부터 받아들인 기판을 기판배출부까지 반송하는 경로를 상기 처리부와 함께 형성하는 기판반송부를 포함하며, 상기 기판수입부와 상기 기판배출부가 일체적으로 배치된 것을 특징으로 한다.

또, 제2발명은 제1발명의 기판처리장치에 있어서, 기판반송부가 기판을 수평상태인 채로 반송하는 것을 특징으로 한다.

또, 제3발명은 제1발명의 기판처리장치에 있어서, 기판반송부가 기판을 수직으로 세운 상태에서 반송하는 것을 특징으로 한다.

또, 제4발명은 제1발명 내지 제3발명중 어느 하나의 기판처리장치에 있어서, 기판수입부 및 기판배출부에 처리부 및 기판반송부 사이에서 기판의 수수를 행하는 기판수수 수단이 접속되어 있는 것을 특징으로 한다.

또, 제5발명은 제4발명의 기판처리장치에 있어서, 기판수수 수단은 상기 기판수입부 및 상기 기판배출부에 공통으로 1대 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

또, 제6발명은 제1발명에서 제3발명증 어느 하나의 기판처리장치가 기판수입부 및 기판배출부를 같은 쪽에 배치되도록 다수대 나란히 사용되는 것을 특징으로 한다.

상기 각 발명에 의하면, 기판수입부와 기판배출부가 일체적으로 배치되어있으므로, 기판을 수납하는 카셋의 이동 거리를 짧게 할 수 있다. 또, AGV의 배치도 간략화할 수 있다.

이하 본 발명의 바람직한 실시형태를 도면에 의거해서 설명한다.

제1도에는 본 발명에 관한 기판처리장치의 평면도가 도시되며, 제5도에 도시된 종래예와 동일부재에는 동일부호를 붙이고 그 설명은 생략한다.

제1도에서 기판수입부(10)가 기판을 반송하기 위한 기판반송부(18)의 일단에 접속되어 있으며, 이 기판반송부(18)의 타단은 처리부(12)의 입구에 접속되어 있다. 또, 처리부(12)의 출구쪽은 기판배출부(14)에 접속되어 있다. 기판반송부(18)는 처리부(12)의 입구쪽에 접속된 부분이 직각으로 구부러져 있다. 이와 같은 구성으로 함으로써 기판반송부(18)와 처리부(12)를 평행하게 배치할 수 있음과 동시에, 기판반송부(18)에 기판을 투입하는 기판수입부(10)와, 처리부(12)로부터 나온 기판을 취출하는 기판배출부(14)를 서로 인접한 위치에 일체적으로 배치하는 것이 가능해진다.

상술한 본 실시형태에서 기판(20)은 기판수입부(10)에서 카셋(도시생략)으로부터 취출되고, 기판수입부(10)와 기판반송부(18) 사이에서 기판수수를 행하는 기관수수부(22a)를 통해 기판반송부(18)에 건네어진다.

기판반송부(18)에서는, 기판(20)은 반송롤 등에 의해 수평상태를 유지한 채로 반송되어 나가며, 기판반송부(18)의 단부에서 그 반송방향이 90도 변경되고, 처리부(12)에 들어가기 바로 전에 다시 그 반송방향이 90도 변경되어 당초부터 180도 반송방향이 바뀌어서 처리부(12)에 투입된다.

그 후, 기판(20)은 처리부(12)내에서 도시한 화살표 방향으로 반송되면서 소정의 처리가 가해지며, 기판수수 수단(22b)을 통해 기판배출부(14)에 배출된다. 여기서, 처리부(12)는 예를 들면 기판(20)을 화살표방향으로 반송하는 다수의 반송롤러와, 그 반송롤러에 의해 반송되는 기판의 상부면 혹은 상하 양면쪽으로 현상액, 에칭액, 박리액 등 소정의 처리액을 공급하는 다수의 스프레이 노즐을 가진다.

이상 설명한 바와 같이, 처리부(12)와 기판반송부(18)에 의해 기판수입부(10)가 받아들인 기판(20)을 기판배출부(14)까지 반송하는 경로가 형성되어 있다.

또, 상술한 실시형태에서는 기판수입부(10)는 기판반송부(18)에, 기판배출부(14)가 처리부(12)에 각각 접속되어 있으나, 이것을 반대로 해서 기판수입부(10)를 처리부(12)에, 기판배출부(14)를 기판반송부(18)에 각각 접속하여 기판(20)의 반송방향을 반대로 할 수도 있다.

상술한 바와 같은 본 실시형태에 관한 기판처리장치에 있어서는, 기판수입부(10) 및 기판배출부(14)가 서로 인접한 위치에 일체적으로 배설되어 있다. 이와 같은 기판처리장치를 제1도에 도시된 바와 같이 다수대 늘어놓아도 각각의 기판수입부(10), 기판배출부(14)가 모두 장치의 같은 쪽이 되도록 배치할수 있다. 이 때문에, 자동반송장치(AGV)의 궤도(16)를 직선적으로 배치할 수 있어서 그 배치가 용이해지는 것은 물론, 궤도(16)의 길이를 단축하는 것도 가능해진다.

또, 기판수입부(10)와 기판배출부(14)가 인접되어 있으므로, 제5도에 도시된 종래예에 비해 비워진 카셋의 이동 거리를 짧게 할 수 있으며, 기판처리장치 주변부에서의 사람이나 물건의 이동이 없어져서 장치 환경을 개선할 수도 있다.

또, 처리택트가 긴 장치에 있어서는 제1도에 도시된 기판수수 수단(22a)(22b)을 1대로 하여, 기판수입부(10) 및 기판배출부(14)에서 이 1대의 기판수수 수단을 공용시키는 것도 가능하다. 이에 따라 기판수수 수단의 설치비용을 낮출 수 있다.

제2도에는 본 발명에 관한 기판처리장치의 또 다른 실시형태가 도시되어 있다. 제2도에서 제1도에 도시된 실시형태와 다른 점은 기판반송부(18)가 기판(20)을반송할 때 기판(20)을 수직으로 세워서, 즉 직립시켜서 반송하는 것이다. 이와 같은 구성에 의해 제2도에 도시된 바와 같이 기판반송부(18)의 설치면적을 보다 작게 할 수 있다.

제3도에는 직립시킨 기판(20)을 수평으로 하거나, 또는 수평 기판(20)을 직립시킨 장치의 예가 도시되어 있다. 제3도에는 평면도가 도시되어 있으며, 직립한 상태에서 반송되어 온 기판(20)이 수평상태로 되어 배출되는 예가 도시되어 있다.

제3도에 있어서는 세로반송롤러(24)에 의해 직립한 상태에서 반송되어 온 기판(20)을 수평방향으로 전회시키는 6개의 전회롤러(26)가 배설되어 있으며, 이것에 의해 기판(20)이 수평방향으로 전회된다. 수평방향으로 된 기판(20)은 수평반송롤러(28)에 의해 소정의 방향으로 수평상태로 이동된다.

또, 상기와는 반대로 수평상태에서 반송되어 온 기판(20)을 직립상태로 전회시켜 배출하는 것은 이상에 설명한 동작과 반대의 동작에 의해 실현할 수 있다.

또, 이상에 설명한 세로반송롤러(24), 전회롤러(26), 수평반송롤러(28)는 도시하지 않은 구동장치에 의해 각각 이동된다. 따라서, 전회롤러(26)에서는 기판(20)의 방향을 직립과 수평 사이에서 전회할 경우, 이 도시하지 않은 구동수단도 전회롤러(26)와 함께 전회동작을 한다.

제3도에 도시된 예에 있어서는 기판(20)의 반송방향이 180도 변경되어, 당초의 반송방향과는 반대방향으로 배출되는 구성으로 되어 있으나, 이것들은 롤러의 배치에 의해 반송방향으로 바꾸지 않고 기판의 방향만 바꾸는 것도 가능하다. 예를들면 제2도에 도시된 기판처리장치에 있어서는, 기판반송부(18)에 있어서 기판수입부(10)로부터 받아들여진 기판(20)이 그 입구 부근에서 먼저 수평상태에서 직립상태로 전회되지만, 이 경우에는 기판의 반송방향은 바뀌지 않고 동일방향으로 진행한다. 한편, 처리부(12)에 투입되기 직전에는 기판이 직립상태에서 수평상태로 전회됨과 동시에 그 반송방향도 180도 바뀌고 있다. 제3도에 도시된 장치에서는 상기 어떤 경우에도 각 롤러의 배치를 변경함으로써 대응 가능하다.

제4도에는 본 발명에 관한 기판처리장치의 또 다른 실시형태가 도시된다. 제4도에서는 기판처리장치를 가로방향에서 본 도면이 도시되어 있다. 제4도에 도시된 바와 같이, 본 실시형태는 처리부(12)와 기판반송부(18)가 상하로 적층되여 배치되어 있으며, 이와 함께 기판수입부(10) 및 기판배출부(14)도 상하 2단으로 배치되어 있다.

기판반송부(18)에 의해 반송되어 온 기판(20)은 엘리베이터(30)에 의해 상측방향으로 틀어올려져서 처리부(12)에 투입된다. 이와 같은 구성에 의해 기판의 반송방향이 상술한 2가지 실시형태와 마찬가지로 180도 변경되게 되며, 이에 따라 기판수입부(10)와 기판배출부(14)가 상하로 인접하며 일체적으로 배치되게 된다.

상술한 엘리베이터(30)는 기판반송부(18)로부터 받아들인 기판(20)을 들어올려서 처리부(12)로 투입할 수 있는 구성이면 특별히 한정은 되지 않고, 공지된 장치를 이용할 수 있다.

기판반송부(18)와 처리부(12)를 상하로 적층하여 배치함으로써 본 실시형태에 관한 기판처리장치에서는 그 설치면적을 좀더 감소시킬 수 있다.

이상 설명해 온 각 실시형태에 있어서는, 모두 기판수입부(10) 및 기판배출부(14)를 어느 것이나 기판처리장치의 한쪽에 설치할 수 있으므로, 다수대의 기판처리장치를 늘어놓고 제조공정을 조립한 경우에도 AGV의 궤도(16)가 복잡한 배치가 되는 경우는 없다. 이 때문에, 본 실시형태에 관한 기판처리장치에서는 다수대의 장치를 늘어놓고 사용하는 경우에 특히 바람직하다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 기판수입부와 기판배출부가기판처리장치의 같은 쪽에 일체적으로 배치되어 있으므로, 자동반송장치의 궤도배치를 직선적으로 할 수 있어서 배치가 용이하고, 자동반송장치의 궤도 길이도 짧게 할 수 있다. 또, 기판수입부와 기판배출부가 인접되어 있으므로, 기판을 수납하는 카셋의 이동거리를 짧게 할 수도 있다.

Claims (6)

1. 미처리 기판을 수납한 카세트를 받아들여 이 카세트로부터 기판을 1매씩 취하는 기판수입부와, 상기 기판수입부에서 취한 미처리 기판을 반송하면서 소정의 처리를 행하는 처리부와, 상기 처리부에 의해 처리된 기판을 카세트에 수납하여 배출하는 기판배출부와 상기 처리부와 접속되고, 상기 기판수입부로부터 취한 기판을 기판배출부까지 반송하는 경로를 상기 처리부와 함께 형성하는 기판반송부를 포함하며, 상기 기판수압부와 상가 기판배출부는 인접하여 설치되어 있고, 상기 처리부와 상기 기판반송부로 구성되는 기판의 반송경로는 도중에서 상하로 적충되도록 반대로 반송방향이 180도 변경되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 기판반송부는 기판을 수평상태인 채로 반송하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
3. 미처리 기판을 수납한 카세트를 받아들여 이 카세트로부터 기판을 1매씩 취출하는 기판수입부와, 상기 기판수입부에서 취한 미처리 기판을 반송하면서 소정의 처리를 행하는 처리부와, 상기 처리부에 의해 처리된 기판을 카세트에 수납하여 배출하는 기판배출부와, 상기 처리부와 접속되고, 상기 기판수입부로부터 취한 기판을 기판배출부까지 반송하는 경로를 상기 처리부와 함께 형성하는 기판반송부를 포함하며, 상기 기판수입부와 상기 기판배출부는 인접하여 설치되어 있고, 상기 처리부와 상기 기판반송부로 구성되는 기판의 반송경로는 도중에서 수평면 내에서 반대로 반송방향이 180도 변경되어 있고, 상기 기판반송부는 기판을 세워 반송하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판수입부 및 상기 기판배출부에는 상기 처리부 및 상기 기판반송부 사이에서 기판의 수수를 행하는 기판수수 수단이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 기판수수 수단은 상기 기판수입부 및 상기 기판배출부에 공통으로 1대 배설되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판수입부 및 상기 기판배출부를 같은 쪽에 배치되도록 다수대 나란히 사용되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.

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