KR100253946B1

KR100253946B1 - 멀티와이어 톱

Info

Publication number: KR100253946B1
Application number: KR1019970038639A
Authority: KR
Inventors: 준조우 와쿠다
Original assignee: 마찌다 가쯔히꼬; 샤프 가부시키가이샤
Priority date: 1996-09-06
Filing date: 1997-08-13
Publication date: 2000-04-15
Also published as: JPH1080855A; KR19980024142A; DE69711520D1; JP3273163B2; TW434093B; DE69711520T2; EP0827798A1; US5906192A; EP0827798B1

Abstract

멀티와이어 톱에서, 각 와이어 가이드는 외형이 원통형이고, 원주방향으로 분리되며 축방향으로 일체로 형성된 부채꼴 모양 부분들로 구성된다. 와이어 가이드에 제공된 각 부채꼴 모양 부분은 그의 외주면상에 와이어 가이드의 축방향을 따라 평행하게 원주방향으로 연장하는 와이어 안내홈들을 가지며, 다른 그룹의 부채꼴 모양 부분들에 대해 교대로 배열된 일 그룹의 부채꼴 모양 부분들이 상기 다른 그룹의 부채꼴 모양 부분들보다 원주방향 바깥쪽으로 더 돌출되어, 외형이 원통형인 인벨로프를 형성한다.

Description

멀티와이어 톱

본 발명은 피가공물을 박판 또는 웨이퍼로 절단하도록 사용되는 멀티와이어톱에 관한 것으로서, 더 구체적으로는 멀티와이어 톱에 사용되는 와이어 가이드 구조에 관한 것이다.

멀티와이어 톱은 실리콘 인고트, 수정, 석영 등의 원통형 또는 블록형상을 갖는 피가공물을 웨이퍼들로 절단하는 경우에 사용되는 절단장치들중 하나로서, 연마 입자가 부착된채 평행하게 배열되어 고속으로 주행하는 와이어의 열들에 대해 압축되는 피가공물을 다수의 웨이퍼들로 절단하는 것으로 알려져 있다. 이러한 타입의 멀티와이어 톱은 도1에 개략적으로 도시된 구조를 가지며, 와이어(21)를 공급 및 권취하는 공급측 및 회수측 스풀(22,23), 외형이 원통형이고 서로 평행하게 배열된 3개의 와이어 가이드(24), 및 스풀들(22,23)과 상부측 와이어 가이드(24)사이에 배치된 공급측 및 회수측 풀리(25,26)를 포함한다. 도1에서는, 3개의 와이어 가이드들(24)이 사용되지만, 2개 또는 4개의 와이어 가이드를 가진 멀티와이어톱도사용되는 것으로 알려져 있다.

멀티와이어 톱에 사용되는 각 와이어 가이드(24)는 그의 외주면에 와이어 가이드(24)의 축방향을 따라 일정 간격으로 서로 평행하게 형성된 원주방향으로 연장하는 다수의 와이어 안내홈들(27)을 가진다. 공급 풀리(25)에 의해 공급 스풀(22)에서 공급되는 와이어(21)는 와이어 가이드(24)를 가로질러 인장되며 와이어는 와이어 가이드(24)의 각 와이어 안내홈 둘레에 감겨서, 회수 스풀(23)에 의해 회수풀리(26)를 통해 권취된다. 각 와이어 가이드(24)의 외주면은 우레탄의 피복재료(28)에 의해 피복된다.

멀티와이어 톱의 하부에 배치된 한쌍의 와이어 가이드들(24) 사이로 인장되어 고속으로 주행하는 평행하게 배열된 와이어(21) 열에는 연마액 공급 노즐(29)에서의 연마액이 드롭-와이즈(drop-wise), 즉 떨어뜨려지는 형태로 공급된다. 피가공물(30)은 연마 입자가 부착된 와이어(21) 열에 대해 압압된다. 따라서, 와이어(21)열에 대해 압축된 피가공물(30)이 연속되는 와이어(21) 열들 사이의 각각의 공간 간격들에 대응하는 두께를 가진 다수의 웨이퍼들로 분할될 수 있다. 와이어(21) 열들 사이의 공간 간격, 또는 각 와이어 가이드(24)상의 와이어 안내홈들(27) 사이의 공간 피치는 소정 두께를 갖는, 피가공물(30)의 다수의 박판 피스들이 얻어지도록 미리 조정될 수 있다.

상기한 구성의 종래의 멀티와이어 톱은 다음의 결점을 가진다. 첫째, 하나 당 약 60kg의 중량을 갖는 와이어 가이드(24)가 그의 외주면, 즉 피복면(28)상에 다수의 평행한 와이어 안내홈들(27)을 갖는 상태로 형성될 필요가 있다. 그러한 홈 기계 가공작업은 상당한 시간과 노동을 필요로 하며 비용을 상승시키게 된다.

또한, 와이어(21)가 와이어 가이드(24)의 외주면에 형성된 와이어 안내홈(27)내에서 고속으로 주행하므로, 불가피하게 와이어 안내홈(27)이 마모 또는 손상된다. 이러한 손상에 의해, 인접한 와이어 안내홈들(27) 사이의 공간 간격이 변화되어, 피가공물(30)의 절단 정확도를 유지하기가 어렵게 된다. 또한, 피가공물(30)의 절단 정확도가 떨어지면, 무거운 와이어 가이드(24)가 교체되어야 한다. 이 교체 작업 또한 시간과 노동력을 많이 필요로 하며 비용을 상승시키게 된다.

상기한 결점을 고러한 본 발명에서는, 와이어 가이드의 홈들에 대한 기계 가공 공정 및 그의 교체 작업에 필요한 시간과 노동력 및 비용을 줄일 수 있고 피가공물의 가공 정밀도를 유지할 수 있는 멀티와이어 톱을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

상기 목적을 달성하도록, 본 발명에서는 다음의 구성들을 가진다. 본 발명의 제1양태에 따르면, 멀티와이어 톱은: 서로 평행하게 배열되며, 각각 외형이 원통형으로 되어 있고, 원주방향으로 분리되며 축방향으로 일체로 형성된 부채꼴 모양 부분들로 구성된 다수의 와이어가이드를 포함하는 멀티와이어 톱에 있어서, 상기 와이어 가이드에 제공되는 각 부채꼴 모양 부분은 와이어 가이드의 축방향을 따라 평행하게 외주면상에서 원주방향으로 연장하는 와이어 안내홈들을 가지며, 다른 그룹의 부채꼴 모양 부분들에 대해 교대로 배치된 일 그룹의 부채꼴 모양 부분들이 상기 다른 그룹의 부채꼴 모양 부분들보다 더 외측으로 돌출되어, 외형이 원통형으로 된 인벨로프를 형성하도록 구성된다.

본 발명의 제2양태에 따르면, 상기 제1특징을 가진 멀티와이어 톱의 상기 각 부채꼴 모양 부분의 외주면이 고분자 경질 우레탄 또는 세라믹으로 구성된 피복재료로 피복되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제3양태에 따르면, 상기 제1특징을 가진 멀티와이어 톱은, 각 와이어 가이드의 부채꼴 모양 부분의 외주면에 서로 평행하게 형성된 와이어 안내홈들 사이의 간격이 동일한 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제4양태에 따르면, 상기 제2특징을 가진 멀티와이어 톱은, 각 와이어 가이드의 부채꼴 모양 부분의 외주면에 서로 평행하게 형성된 와이어 안내홈들 사이의 간격이 동일한 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제5양태에 따르면, 상기 제1특징을 가진 멀티와이어 톱은, 상기 와이어 가이드의 일 그룹의 부채꼴 모양 부분들의 외주면에 서로 평행하게 형성된 와이어 안내홈들 사이의 간격이 다른 그룹의 안내홈들 사이의 간격과 다른 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제6양태에 따르면, 상기 제2특징을 가진 멀티와이어 톱은, 상기 와이어 가이드의 일 그룹의 부채꼴 모양 부분들의 외주면에 서로 평행하게 형성된 와이어 안내홈들 사이의 간격이 다른 그룹의 안내홈들 사이의 간격과 다른 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제7양태에 따르면, 상기 제1특징을 가진 멀티와이어 톱은, 각 와이어 가이드에 제공된 상기 부채꼴 모양 부분들이 그의 외주면에 와이어 가이드의 축방향을 따라 공간 간격이 서로 다른 상태로 형성되어 평행하게 배열된 원형홈들을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제8양태에 따르면, 상기 제1특징을 가진 멀티와이어 톱은, 각 와이어 가이드에 제공된 상기 부채꼴 모양 부분들은 와이어 가이드의 축방향으로 미끄럼가능하게 분리될 수 있도록 고정되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제9양태에 따르면, 상기 제1특징을 가진 멀티와이어 톱은, 각 와이어 가이드에 제공된 중앙 축이 순환하는 냉각제에 의해 냉각되는 것을 특징으로 한다.

도1은 본 발명의 실시예 및 종래의 형태에 따른 멀티와이어 톱의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 사시도.

도2는 종래의 형태에 따른 멀티와이어 톱의 주요부 구조를 나타낸 일부 파단 사시도.

도3은 본 발명의 형태에 따른 멀티와이어가 구비된 와이어 가이드의 주요부구성을 나타낸 일부 파단 사시도; 및

도4는 본 발명의 와이어 가이드의 변형예를 나타낸 사시도이다.

이하, 본 발명의 실시예들을 도면들을 참조하여 설명한다.

도3은 본 발명의 실시예에 따른 멀티와이어 톱에 제공되는 와이어 가이드의 주요부 구조를 나타낸 사시도로서, 와이어 가이드 부분이 단축되어 있다. 도4는 변형된 와이어 가이드의 예를 나타낸다. 도1은 본 발명의 실시예에 따른 멀티와이어 톱의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 설명도이다. 도면들에서, 참조부호(1)는 와이어 가이드를 나타낸다. 상기 멀티와이어 톱의 전체 구조는 와이어 가이드를 제외하면 종래 구조와 기본적으로 동일하므로, 멀티와이어 톱의 전체 구조는 종래의 것과 동일한 구조를 가진 도1을 기본으로 하여 설명된다. 도3 및 4에서, 동일 부품들 또는 대응하는 부품들은 동일 참조부호로 나타낸다.

이 실시예에 따른 멀티와이어 톱은 실리콘 인고트, 수정, 석영 등의 피가공물(30)을 절단하도록 사용되는 절단기이다. 상기 멀티와이어 톱은 피가공물(30), 예컨대 100mm 스퀘어(square) x 320mm 길이의 실리콘 인고트를 다수의 실리콘 웨이퍼들로 절단한다 절단중에, 피가공물은 연마입자가 부착된, 평행하게 배열된 고속주행중의 와이어(21) 열에 대해 300μm/min 정도의 속도로 공급되어 압축된다. 상기 멀티와이어 톱은 직경 약 180μm의 와이어(21)의 공급 및 권취를 행하는 공급측 및 회수측 스풀(22,23), 원통형 외형 구조를 가지며 서로 평행하게 배열된 3개의 와이어 가이드(1), 상부 와이어 가이드(1) 및 스풀(22,23) 사이에 배치된 공급측 및 회수측 풀리(25,26), 및 하부에 위치한 한쌍의 와이어 가이드들(1) 사이에서 인장되어 10m/min의 고속으로 주행하는 와이어(21) 열에 대해 오일 및 연마 입자로된 연마액(슬러리)을 떨어뜨려 공급하는 연마액 공급노즐을 갖는다. 도1에서, 3개의 와이어 가이드(1)가 사용되지만, 2 또는 4개의 와이어 가이드를 가진 멀티 와이어 톱도 종래의 형태에서와 동일하게 사용될 수 있다.

이 경우에, 와이어 가이드(1)는 도3에 도시된 바와같이, 전체외형이 원통형이고, 예컨대 외경이 200mm, 길이가 400mm이며, 약 300mm정도의 공간 간격을 두고 서로 평행하게 배열되어 있다. 각 와이어 가이드(1)는 각각 그의 축방향으로 일체로 형성된 8개의 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)로 원주방향으로 분할된다. 상기 부채꼴 모양 부분들은 중앙축(2)상에 장착된다. 더 구체적으로, 상기 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)은 각각 중앙축(2)의 축선에 대해 거의 45도의 중앙각의 각도범위내에 있는 단면 형상을 가지도록 되어 있으며, 인접한 부채꼴 모양 부분들(3a,3b) 사이에는 중앙축(2)의 축선에 대해 약 5도 정도로 설정된 사잇각을 갖는 간격(S)이 설치되어 있다. 이 실시예에서는, 8개의 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)이 반경방향으로 배열되어 와이어 가이드(1)를 구성하고 있지만, 8개보다 많거나 또는 작은 갯수의 부채꼴 모양부분들을 이용하여 와이어 가이드(1)를 구성할 수 있으며, 따라서 상기 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)은 8개로 제한되지 않는다.

각 와이어 가이드(1)를 구성하는 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)은 고분자 우레탄 등의 경질 우레탄 또는 세라믹 등의 코팅 재료로 된 소정 두께의 피복면(4)을 가진다. 각 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)은 그의 외주면에 와이어 가이드(1)의 원주방향을 따라 와이어 가이드(1)의 축방향으로 560μm의 간격으로 평행하게 형성된 다수의 와이어 안내홈(5)을 가진다. 일반적으로, 와이어 안내홈(5)의 단면은 V자형이다. 또한, 인접한 와이어 안내홈들(5) 사이의 공간 간격은 560μm로 설정되지만, 상기 간격은 피가공물(30)에서 절단될 박판들의 두께에 따라 정해진다. 홈 피치가 560μm인 상태에서 직경 180μm의 와이어(21)를 이용하는 경우의 세팅은, 350μm±40μm의 두께를 갖는 실리콘 웨이퍼가 제조될 때 채용된다. 상기한 형태에서는, 와이어 가이드(1)가 다수의 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)로 구성되므로, 와이어 가이드(1)로부터 각각의 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)을 개별적으로 분리하여 홈가공작업을 실행할 수 있다. 또한, 각각의 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)이 그의 외주면에 형성된 경질 우레탄 또는 세라믹 등의 피복 재료로 된 피복면(4)을 가지므로, 와이어(21)가 고속으로 주행되더라도 피복 재료가 제공되어 있어서 쉽게 마모 및 손상받지 않는다.

와이어 가이드(1)를 구성하는 각각의 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)은 유압 실린더(6)를 통해 중앙축(2)상에 설치되어 서로 인접하게 배치된 일 그룹의 부채꼴모양 부분들(3a,3b)중, 예컨대 부분(3a)이 유압 실린더(6)의 전진 동작에 의해 다른 부분(3b)보다 더 원주방향 외측으로 돌출됨으로써, 전체 외형이 원통형으로 된 인벨로프(M)를 형성한다. 부채꼴 모양 부분(3a)이 인벨로프(M)를 형성하도록 이용되는 경우, 먼저 와이어 가이드(1)가 정지된 상태에서, 모든 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)이 돌출된후, 비사용시에는, 부채꼴 모양 부분들(3a)만 돌출된채 남겨두고 부채꼴 모양 부분들(3b)을 철회시킨다. 이 경우에, 상기 부채꼴 모양 부분(3a)이 나머지 부채꼴 모양 부분(3b)보다 더 외측으로 돌출되어, 인벨로프(M)를 형성한다. 상기 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)과 와이어 가이드(1)의 중앙측(2) 사이에 삽입된 유압 실린더(6)의 진/퇴 동작이 변화될 때, 부채꼴 모양 부분(3a)이 철회 또는 하강된 다음 부채꼴 모양 부분들(3b)이 상기 부채꼴 모양 부분들(3a)보다 더 외측으로 돌출됨으로써, 상기 다른 부채꼴 모양 부분들(3b)이 동일 형상을 가진 인벨로프(M)를 형성하게 된다.

상기 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)은 교대로 돌출되도록 구성됨으로써, 와이어(21)가 교대로 배치되는 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)의 일 그룹, 또는 서로 인접한 부채꼴 모양 부분들(3a) 또는 (3b)에 의해 와이어 가이드들(1) 사이에서 인장될 수 있다. 이 경우에, 다른 그룹의 부채꼴 모양 부분(3b)보다 일 그룹의 부채꼴 모양부분(3a)을 외측으로 더 돌출시키기 위해 중앙축(2)과 각 부채꼴 모양 부분들(3a,3b) 사이에 삽입되는 진퇴 기구는 유압 실린더(6)로 제한되지 않고, 공기압 실린더, 스크류, 링크 또는 다른 기계적 수단을 이용하는 임의의 다른 진/퇴 기구들을 채용할 수 있다.

상기한 형태에서는, 각 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)의 외주면에 형성된 와이어 안내홈들(5) 사이의 공간 간격이 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)에 관계없이 모두 동일하게 설정된다. 이러한 형태에서는, 와이어(21)가 휘감겨 인장되어 있는 와이어 가이드(1)의 인벨로프(M)를 형성하는 부채꼴 모양 부분(3a)의 와이어 안내홈(5)이 실리콘 인고트 등의 피가공물의 절단중에 마모 또는 손상되더라도, 부채꼴 모양부분(3a)의 그룹을 퇴진시키고 다른 그룹의 부채꼴 모양 부분(3b)을 돌출시킴으로써 동일 작업 조건하에서 절단 작업을 계속할 수 있다. 실험적 결과에 의하면, 560μm의 공간 간격을 가진 부채꼴 모양 부분(3a)의 그룹상에 형성된 와이어 안내홈(5)을 가진 와이어 가이드(1)를 둘러싼 채로 인장되어 있는 와이어(21)에 의해 절단 작업이 실행되는 경우에, 평균 두께 341μm인 실리콘 웨이퍼가 얻어진다. 동일간격으로 형성된 와이어 안내홈(5)을 가진 다른 그룹의 부채꼴 모양 부분(3b)이 사용될 때, 평균 두께 347μm인 실리콘 웨이퍼가 얻어졌다. 양쪽 결과는 모두 목표 두께 범위, 즉 350μm ± 40μm내에 포함되어 이러한 구성으로써 충분한 효과를 제공한다.

또한, 일 그룹의 부채꼴 모양 부분(3a)상의 와이어 안내홈(5)의 공간 피치를 다른 그룹의 부채꼴 모양 부분(3b)상의 와이어 안내홈(5)의 공간 피치와 다르게 할수 있다. 이러한 구성이 채용될 때, 일 그룹의 부채꼴 모양 부분들(3a) 또는 (3b)을 선택하여 와이어 가이드(1)의 각 인벨로프(M)를 형성함에 의해, 실리콘 인고트의 절단 두께를 훨씬 용이하게 변화시킬 수 있다. 또한, 와이어 가이드(1)의 축방향을 따라 다른 간격으로 형성된 와이어 안내홈(5)을 가지도록 각 그룹의 부채꼴모양 부분들(3a,3b)을 형성할 수 있다. 이러한 구성에 의해, 단일 실리콘 인고트로부터 다른 두께를 갖는 웨이퍼들로 절단할 수 있게 된다.

다음, 본 발명의 다른 실시예에 따른 멀티와이어 톱에 제공된 와이어 가이드(1)의 변형예를 도4를 참조하여 설명한다. 도3에 도시된 와이어 가이드(1)에서, 와이어 가이드(1)를 구성하는 다수의 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)이 각각 상기 부분들과 중앙축(2) 사이에 삽입된 유압 실린더(6)로써 중앙축(2)에 고정되지만, 그 구성예는 상기한 바로 제한되지 않는다. 도4에 도시된 바와같이, 와이어 가이드(1)의 중앙축(2)에 고정된 유압 실린더(6)상에 한쌍의 안내부재들(7)이 서로 평행하게 미리 제공되어, 각 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)이 안내부재(7)를 따라 와이어 가이드(1)의 축방향으로 미끌어짐에 의해 개별적으로 분리될 수 있게 고정될 수 있다. 이 경우, 상기 한쌍의 안내 부재(7)는 하나의 부채꼴 모양 부분(3a) 또는 (3b)을 고정시키도록 이용되지만, 이러한 구성으로 제한되지 않는다. 당연하게도, 도시되지는 않았지만, 각 부채꼴 모양 부분(3a,3b)에 단일 안내 부재와 결합되는 포크형 부분들이 제공되는 분리가능한 결합 형태로 구성될 수 있다.

상기 형태에서는, 와이어 가이드(1)가 정지될 때, 다운 위치에 있고 따라서 와이어(21)가 인장되어 있지 않은 부채꼴 모양 부분들(3a,3b)을 와이어 가이드(1)의 축방향을 따라 외부로 빼낼 수 있다. 그 결과, 마모 또는 손상된 임의의 부채꼴모양 부분들(3a,3b)을 용이하게 대체할 수 있다.

상기한 간격으로 형성된 와이어 안내홈(5)을 가진 일 그룹의 부채꼴 모양 부분(3a)이 대체된 후 상기 멀티와이어 톱을 이용하여 절단 작업이 실행될 때, 평균두께 343μm의 웨이퍼가 얻어진다. 또한, 도3 및 도4에 도시된 와이어 가이드(1)의 중앙축(2)의 축방향을 따라 통과 구멍(8)을 형성하여 그 통과 구멍(8)을 통해 물 등의 냉각제를 순환시킬 수 있다. 이 경우, 와이어 가이드(1)의 중앙축(2)이 순환 냉각제에 의해 냉각되므로, 냉각제를, 예컨대 25℃의 온도로 조절함에 의해 절단중에 피복 재료의 열발생 및 열팽창을 방지할 수 있다.

상기한 바와같이, 본 발명의 제1및 제2특징을 갖는 멀티와이어 톱에 따르면, 홈을 기계적으로 가공하도록 와이어 가이드로부터 부채꼴 모양 부분들을 개별적으로 분리할 수 있고, 피복 재료의 특성 때문에 와이어가 고속으로 주행되더라도쉽게 마모 및 손상받지 않는다. 그 결과, 홈가공 작업에 필요한 시간과 노력은 물론 비용도 절감할 수 있다. 또한, 이 특징은 절단 정확도의 유지 및 향상을 위해서도효과적이다.

본 발명의 제3 및 제4특징을 가진 멀티와이어 톱에 따르면, 각 와이어 가이드의 부채꼴 모양 부분들의 외주면에 평행하게 형성된 와이어 안내 홈들 사이의 공간 간격이 동일하게 설정된다. 따라서, 일 그룹의 부채꼴 모양 부분들의 와이어안내홈이 마모 또는 손상되더라도, 상기 그룹의 부채꼴 모양 부분들이 철회된 다음 다른 그룹의 부채꼴 모양 부분들이 돌출되어 계속적으로 동일 조건하에서 피가공물의 절단 작업을 실행할 수 있다. 제5 및 제6특징을 갖는 멀티와이어 톱에 따르면, 일 그룹의 부채꼴 모양 부분들의 외주면에 평행하게 형성된 와이어 안내홈들 사이의 공간 간격이 다른 그룹의 부채꼴 모양 부분들에 대한 간격들과 다르게 되어 있으므로, 인벨로프를 형성하는 일 그룹의 부채꼴 모양 부분들을 선택함에 의해 피가공물의 절단 두께를 용이하게 변화시킬 수 있다.

제7특징을 갖는 멀티와이어 톱에 따르면, 부채꼴 모양 부분들의 외주면에 형성된 원형 홈들의 공간 간격이 와이어 가이드의 축방향을 따라 서로 다르게되며, 이로써 단일 피가공물로부터 다른 두께를 가진 다수의 박판들을 제조할 수 있다. 또한, 제8특징에 따르면, 각각의 부채꼴 모양 부분이 와이어 가이드의 축방향을 따라 미끄럼가능하게 분리될 수 있도록 고정됨으로써, 와이어 가이드의 축방향 외측으로 상기 부채꼴 모양 부분을 끌어 당김으로써 각 부채꼴 모양 부분들을 대체할 수 있다. 따라서, 무거운 전체의 와이어 가이드를 교체할 필요가 없으므로, 대체 작업시의 노동력을 크게 감소시킬 수 있다. 마지막으로, 제9특징의 멀티와이어 톱에 따르면, 각 와이어 가이드가 그의 중앙축을 통하여 순환하는 냉각제에 의해 냉각되므로, 절단중의 피복 재료의 열발생 및 열팽창을 억제할 수 있다.

Claims

서로 평행하게 배열되며, 각각 원통형 외형을 가지며, 원주방향으로는 떨어져 있고 축방향으로는 일체로 되어 있는 부채꼴 모양 부분들로 구성된 다수의 와이어 가이드를 포함하는 멀티와이어 톱에 있어서, 상기 와이어 가이드에 제공되는 각 부채꼴 모양 부분은 그의 외주면상에 와이어 가이드의 축방향을 따라 평행하게 원주방향으로 연장하는 와이어 안내홈들을 가지며, 다른 그룹의 부채꼴 모양 부분들에 대해 교대로 배치된 일 그룹의 부채꼴 모양 부분들이 상기 다른 그룹의 부채꼴 모양 부분들보다 원주방향 바깥쪽으로 더 돌출되어, 외형이 원통형으로 된 인벨로프를 형성하는 것을 특징으로 하는 멀티와이어 톱.
제1항에 있어서, 상기 각 부채꼴 모양 부분의 외주면은 고분자 경질 우레탄 또는 세라믹으로 구성된 피복재료로 피복되는 것을 특징으로 하는 멀티와이어 톱.
제1항에 있어서, 각 와이어 가이드의 부채꼴 모양 부분의 외주면에 서로 평행하게 형성된 와이어 안내홈들 사이의 간격이 동일한 것을 특징으로 하는 멀티와이어 톱.
제2항에 있어서, 각 와이어 가이드의 부채꼴 모양 부분의 외주면에 서로 평행하게 형성된 와이어 안내홈들 사이의 간격이 동일한 것을 특징으로 하는 멀티와이어 톱.
제1항에 있어서, 상기 와이어 가이드의 일 그룹의 부채꼴 모양 부분들의 외주면에 서로 평행하게 형성된 와이어 안내홈들 사이의 간격이 다른 그룹의 부채꼴 모양 부분들에 형성된 안내홈들 사이의 간격과 다른 것을 특징으로 하는 멀티와이어 톱.
제2항에 있어서, 상기 와이어 가이드의 일 그룹의 부채꼴 모양 부분들의 외주면에 서로 평행하게 형성된 와이어 안내홈들 사이의 간격이 다른 그룹의 부채꼴 모양 부분들에 형성된 안내홈들 사이의 간격과 다른 것을 특징으로 하는 멀티와이어 톱.
제1항에 있어서, 각 와이어 가이드에 제공된 상기 부채꼴 모양 부분들은 그의 외주면에 상기 와이어 가이드의 축방향을 따라 공간 간격이 서로 다른 상태로 형성되어 평행하게 배열된 원형 홈들을 갖는 것을 특징으로 하는 멀티와이어 톱.
제1항에 있어서, 각 와이어 가이드에 제공된 상기 부채꼴 모양 부분들은 각각의 상기 부채꼴 모양 부분이 와이어 가이드의 축방향으로 미끄럼가능하게 분리될 수 있도록 고정되는 것을 특징으로 하는 멀티와이어 톱.
제1항에 있어서, 각 와이어 가이드에 제공된 중앙 축이 순환하는 냉각제에 의해 냉각되는 것을 특징으로 하는 멀티와이어 톱.