CN105142836A - 包括有槽滑轮的线锯 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及具有更长寿命的滑轮的线锯。滑轮在其线支撑表面中具有凹部，当线围绕滑轮旋转时，随着线中张紧力的增大或减小，该凹部使得线支撑表面与线一起伸展并收缩。

Description

包括有槽滑轮的线锯
技术领域
本发明涉及线锯，该线锯尤其用于切割坚硬的脆性材料、利用金刚石线和滑轮(也被称为线引导构件)、特别适用于该线、具有比传统滑轮更长的寿命。本发明还涉及在该线锯中使用的滑轮或线引导构件。线锯尤其适用于切割例如蓝宝石、硼、石英、玻璃、稀土金属等材料。
背景技术
例如在太阳能电池或半导体工业中使用的晶片由硅树脂块(也称为块料或锭)或其它合适的材料(例如蓝宝石)切断。设置采用金属线和磨料的线切割装置以用于所述切割。如今，使用固定磨料将晶片切割成越来越多个，这意味着磨料直接附装到金属线。不考虑所使用的切割元件，这种线也被称为金刚石线。
线锯包括例如线锯、引导线锯的滑轮、形成线网的线导辊(后两者都被称为线引导构件)作为组成部件。所有这些线引导构件可以在不同的时间并在不同的位置处支撑线、驱动线、使线减速、或引导线或者其任意组合。通常，仅存在形成线网的一根引导线，该线网可以包括允许在并行的时间内多次切割的几个到几千个平行线段或者仅包含一根或几根线，例如用于切成块料并且切成正方体。还已知大量的线环路，尽管这并不常用。通常，在线锯中有两个线导辊，但是具有两个以上的导辊的实施例也是现有技术所公知的。
所有线引导构件遭受磨损并且需要定期更换。由于切割线或锯线必须由滑轮引导通过线锯，所以它们也经受切割线(具有固定磨料)的切割作用并且因此以不期望的速率磨损。
在线导辊之间，一般用25牛顿(Newton)使线张紧，但是也使用高达200N或者更高的张紧力。因此，施加在线引导构件上的法向力可能相当大。
JP2006255841公开了具有非常坚硬的能经受线的研磨动作的表面的滑轮。这通过在线引导凹槽的外周表面上形成耐磨构件来实现。耐磨构件使用比线引导凹槽的表面更硬的材料。
如果金刚石线与这样的滑轮一起使用，理想上，表面将必须比线本身上的金刚石更硬或者几乎与金刚石(或所用的其它磨料(例如，碳化硅))一样硬，以有效地减少磨损的速率。清楚的是，对于将金刚石作为磨料的线而言，这会是不可能的或至少非常昂贵。此外，用坚硬层涂覆滑轮是昂贵的。此外，使引导表面坚硬会磨损线。
JP2003326450公开了可比较的技术方案，现在使用具有0.5-30μm的平均粒径的硬颗粒来使槽更耐磨。同样，由于该颗粒就像金刚石线的颗粒被施加到金属芯那样必须被施加到凹槽，所以该技术方案不是经济有效的。同样，线由于凹槽的硬度而磨损。
JPH03281119A不涉及使用线锯切割晶片的领域并且示出使用具有较大切割元件的切割线的线锯。该元件适应设置在线引导构件中的凹槽。由于切割元件不接触滑轮的支撑表面并且接触支撑表面的线具有更小的研磨动作，所以这样滑轮不受附装到线的磨料的研磨动作的损害。当切割所述硅时，不能使用以规则的方式彼此相邻放置的这样大的切割元件或者甚至很小的切割元件，这是由于这将极大地影响切割物体的质量并且失去极其昂贵的材料。此外，由于小的磨料将必须单独放置，所以这样的线的成本会太高。
在线锯使用浆料(线上没有固定磨料)的情况下，线的切割动作没有问题并且滑轮不像适用于固定磨料的滑轮那么快地磨损，其中，固定磨料由滑轮的表面支撑。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术的这些问题，并提供用于成本经济的、用于具有固定磨料的线的、具有更长寿命的滑轮。
该目的是通过线锯实现的，该线锯包括具有固定切割元件的切割线，用于在第一线轴和第二线轴之间引导切割线的至少一个线引导构件，线引导构件可旋转地安装到线锯的框架部以便能够围绕轴线旋转，至少一个线引导构件包括线支撑表面，其中，设置至少两个槽或凹部，在至少两个槽或凹部之间限定线支撑表面的中间部分，具有与中间部分相同的长度的切割线的线部包括多个切割元件。
中间部分的长度沿圆周方向测量，即沿由线引导构件支撑的切割线的轴向方向。
第一线轴和第二线轴可以分别是提供新的切割线的线轴和收集用完的切割线的线轴。在切割过程中，线可以在这些线轴或任何中间线轴之间来回移动。线引导构件也将被称为滑轮或线导辊。线锯的其它部件是本领域中所公知的并将不在此进行说明。
限定中间部分的凹部可具有任何形式或形状。它们只需要在切割线位于线支撑表面上的区域中划分中间部分(参见图7a)。它们可以延伸经过线支撑表面的部分宽度或全部宽度(见图7b)或者是(盲)孔或在该表面的凹陷。重要的是，该槽限定承载线并具有支撑线的端部的中间部分。端部(主要)可以随线伸展或收缩，从而防止滑轮磨损，如将解释如下。
线部是在任何给定的时间内(也就是在切割期间)线的延伸经过中间部分的任何线段。它随后通常用于切割(其旋转通过线锯)。
线支撑表面是线引导构件的线接触表面，即线引导构件的与切割线接触的表面。
优选地，形成线支撑表面的材料、优选衬套的材料是均匀材料，优选不具有孔、空隙、腔或空穴，从而避免线支撑表面的不规则和不确定的磨损。
优选地，线锯是晶片切片线锯，其中，优选切割线形成线网或块料切片线锯。
优选地，根据本发明的线引导构件用在湿式切割加工中，即使用切割液体或浆料。
如参照附图所述的，在线支撑表面中设置凹部或槽将使得调节线引导构件的材料以适应线的伸展(滑轮使线加速)或收缩(滑轮使线减速)，伸展和收缩是线中的在滑轮之前或之后的张紧力变化的结果。
由于切割线具有附装到它的磨料，线引导构件和线之间的任何移位造成研磨或切割动作。
理想的是，线引导构件具有圆形线支撑表面，正如通常的滑轮。优选线引导构件可拆卸地安装到线锯，使得它易于更换。线锯中的滑轮通常具有能够支撑线的多个切向凹槽。一旦一个凹槽被磨损，可以使用相邻的凹槽，使得可以不经常更换滑轮。对于本发明的线引导装置来说，只要其形成滑轮，这也是可能的。槽可以延伸经过多个这样的切向凹槽，每个凹槽可以具有其本身的槽或者某些凹槽可以不具有槽。滑轮可以结合其任何组合。
本发明的线引导构件可用于将线引导到线网(例如，由线导辊形成)或切割部或者形成线网或切割部本身。由于滑轮遭受最多的磨损，所以优选本发明用于驱动滑轮或使滑轮减速。
优选这些槽围绕线支撑表面均匀地分布，对于这些槽而言，两个相邻槽之间的距离几乎相等。
优选槽沿着使与轴向方向(线引导构件的旋转轴线方向)成的角度不超过30度的方向上延伸，优选不超过10度。甚至更优选槽大致沿线引导构件的旋转轴线的方向延伸。槽也可以具有V型、U型或任何其它形状。
优选的是，中间部分的长度小于30mm，优选小于10mm，甚至更优选小于5mm，长度定义为该部分的线支撑表面沿线运行的方向上的长度，或者换句话说，为绕着由线支撑表面支撑的线的长度的长度。使中间部分较小给予其所需的灵活性以适应线的伸展和收缩。甚至更优选中间部分是切割元件之间的平均距离的至少100倍，优选至少1.000倍，甚至更优选至少10.000倍大，切割元件之间的平均距离被定义为在线的代表长度上所测量的单位长度的线上的元件的数量。
在另一个实施例中，中间部分的长度比切割元件之间的平均距离大至少20倍，优选至少200倍，甚至更优选至少2.000倍。
如上所述，具有中间部分的长度的切割线包含多个切割元件，优选具有中间部分的长度的一段切割线包含至少100个、优选大于1.000、甚至更优选大于10.000个切割元件。通过这样做，中间部分保持合理的大小，以便它们仍然可以支撑由线施加于其上的法向力。
进一步优选凹部的长度小于10mm，优选小于5mm，甚至更优选小于2mm，现在利用假想的(然而不再存在)线支撑表面像定义中间部分的长度一样定义该长度。使凹部较小使得线运行平稳，同时仍然允许中间部分的端部进行所需要的伸展和收缩。
甚至更优选凹部的宽度比切割元件(如上所定义)之间的在切割线的轴向上的平均距离宽至少10倍，优选至少100倍，甚至更优选至少1.000倍。在凹部中具有多个切割元件(也就是说，10个、优选大于50个、甚至更优选大于200个切割元件)，因此，在切割元件之间将会有足够的自由伸展或收缩的线，而不被(刚性)切割元件阻挡。
优选至少一个中间部分、优选所有中间部分比滑轮的没有槽的粘着区(否则具有相同的功能，由相同的材料制成等)的长度短(沿线支撑表面测量)，也就是说，短20％，更优选短40％或甚至更优选短50％以上。换句话说，中间部分覆盖的角度(360°/槽数，假设槽平均分布)应该比粘着区的角度小。如果中间部分足够短，则不会发生打滑(粘着区覆盖了整个中间部分)并且线将在槽中发生伸展和收缩，而不损害线承载表面或线。此外，在粘着区中，线不会相对于滑轮移动，因此也避免了研磨动作。如果中间部分比粘着区更小，则不会发生相对移动。粘着区和滑动区取决于滑轮之前和之后的线速度、施加的张紧力以及用于线和滑轮的材料。将参照附图表达粘着区和滑动区。
优选地，由凹部的长度划分的中间部分的长度小于25mm，优选小于10mm，甚至更优选小于2mm。
切割元件可大致小于线直径。切割线的直径通常为50至450μm(芯和支架(mantel)的直径，不包括切割元件)。切割元件的范围通常为5至100μm。优选地，切割元件的平均直径比线的直径小至少2倍、甚至更优选比线的直径小至少5倍。切割元件通常以非周期的方式分布在线的整个表面。此外，切割元件可随机分布。切割元件可以平均地或者沿任何方向并以任何形状以结构化的方式分布在线上。线例如可以包括没有或者具有很少的利用许多切割元件进行的切割元件划分(在线的轴向上)区域的区域，以收集来自切割室的废料并且从切口处运送该废料。线通常具有由钢或(纤维强化)聚合物制成的芯以及由铜、镍或其组合制成的用于保持金刚石的通常为约20μm厚的支架。
优选地，切割元件比切割线的直径小并且优选以非周期的方式分布在切割线的表面上，并且优选多个切割元件布置在切割线的一个横截面中。
优选地，磨粒的平均距离(如上所述以及参照图4)小于100μm，优选小于10μm，甚至更优选小于1μm。这些平均颗粒距离特别适用于切割坚硬的脆性材料。
优选地，线引导构件包含芯和形成线支撑表面的衬套，衬套优选由比芯更软的材料制成。使衬套的材料较软将使得中间部分偏移更加容易，而线引导构件作为整体仍保持稳定。为了保持中间部分的偏移较小，中间部分不应太大，见上文。滑轮芯可以由更硬的材料(例如，金属(铝)或纤维强化聚合物)制成。
优选地，槽或凹部在衬套内终止，即，它们不会继续深入到线引导构件的芯中。此外，它们可以一路延伸经过衬套而不进入芯。以这样的方式，只需调整根据本发明的具有槽或凹部的衬套，其中通常的芯可以无需调整。
衬套可以由聚合物(例如聚氨酯)制成，并且可以具有从50至800MPa的杨氏模量。
优选本发明的滑轮具有至少10个、优选至少20个、甚至更优选至少100个凹部。优选本发明的线引导构件的直径小于1.000mm，优选小于600mm，甚至更优选小于400mm。
优选地，该线引导构件选自由滑轮和线导辊组成的组。
优选地，槽或凹部可以大于0.5mm深，优选大于1mm深，甚至更优选大于2mm深，以保证线容纳表面的临近其端部处的良好柔韧性，该深度从线支撑表面沿着朝向线引导构件的旋转轴线(径向)的方向测量。
优选地，槽或凹部只向线支撑表面开口，即，它们形成为盲孔。以这种方式，线引导构件的机械特性、特别是刚度不会受到槽或凹部的不利影响。此外，衬套保持较坚固，以便更易于对其进行处理，例如当更换它时。
优选地，槽或凹部的深度小于3cm，优选小于1.5cm，该深度从支撑表面沿着朝向旋转轴线(径向)方向测量。线引导构件的机械特性、优选刚度不会受到这样的槽或凹部的不利影响。
优选地，线引导构件没有流体导管，该导管将对线引导构件的机械性能产生不利的影响并使其过于复杂。
优选地，线引导构件没有沿着或者朝向引导构件的周围区域延伸的导管。周围区域是靠近线支撑表面的区域。因此，支撑表面的机械性能不会受到不利的影响。
优选地，线引导部件具有少于6个流体管道。
本发明的线引导构件可用作被驱动、用于减速或者具有非常小的旋转摩擦的滑轮、线导辊或任何其它引导元件。优选地，线引导构件是形成线锯的线网的线导辊。
线锯及线锯的一个(或多个)线引导元件和/或线导辊和切割线可以被看作是一系统。因此，本发明还涉及包括根据前述任一项实施例的线锯和固定磨料切割线的系统。
本发明还涉及根据本发明用于对晶片进行切片的线锯的用途，其中优选线锯的切割线形成线网。
附图说明
本发明的其它实施例将在附图中和从属权利要求中示出。附图中所示的实施例是本发明的示例，并且不以任何方式限制本发明。附图标记列表构成本发明的一部分。现在参照附图对本发明进行详细地说明。在附图中：
图1示出线锯的一部分。
图2示出围绕滑轮的最大卷绕角与线的张紧力之间的关系。
图3示出粘着区和滑动区中的张紧力分布。
图4示出具有固定磨料的切割线(也被称为金刚石线)段。
图5示出本发明的由一种材料制成的滑轮的实施例。
图6示出本发明的带衬套的滑轮的实施例。
图7示出线支撑表面中的凹部的两个实施例的俯视图。
具体实施方式
将参照示例性实施例描述本发明并且除如所附权利要求所限定的之外，本发明并不限于特定的线锯或其零部件。本发明的实施例可以与各种方法和系统一起使用。在权利要求的范围内可以以各种方式实施本发明对于本领域的技术人员来说是显而易见的。所示的与附图相关的所有特征准用于如权利要求中所述的本发明。
如本文所使用的，不定冠词(“一”，“一个”)表示存在至少一个引用项，并且术语“多个”或“多根”表示存在多于一个引用项。
图1示出从现有技术中已知的线锯1的示例。根据本发明的线锯可以包括两个、三个或甚至更多个线导辊(其中的每一者(如每个滑轮)都可以具有驱动器)，并且适于在并行的时间内切割一个或多个工件。省略与本发明不相关的部件。图1示出框架部31，线引导构件或滑轮可转动地安装到框架部。线引导构件或滑轮可以被直接或间接地(例如，滑轮15)安装到线锯1的框架部。所示的线锯用于切割晶片。此外，仅具有用于切割的、可以彼此平行或彼此不平行地延伸的一根或若干根线的线锯也是本发明的一部分。这样的线锯可用于裁剪、切成块料、切成正方形等。线锯可以包括贯穿将被切割的工件的一根单线，或者可以具有能够形成环状的多根线。线锯可适用于切割硬质材料，如硅、蓝宝石、硼、石英、玻璃、石材、陶瓷、稀土金属等。
线锯1的主要部件是由各自的驱动器5、6驱动的具有切割线2的第一线轴和第二线轴3、4。切割线2从这些线轴延伸到由线导辊24保持的用于切割工件8的线网7或切割区。未示出后者是如何安装的。在本实施例中，线网7由驱动器9驱动。张紧装置11(也称为张紧调整装置)设置为使线2张紧。驱动器6连接到用于控制线2的运动和张紧力以及工件8的运动并且因此切割动作等的控制器10。未示出附装工件的工作台。控制器10还控制该工作台的运动。
由多个线引导构件或滑轮12，13，14，15，16在线轴3、4之间引导线。不是所有的滑轮都带有附图标记，但是以下说明适用于所有滑轮。
滑轮全部用于引导切割线2。通常，线2在滑轮的不同侧具有不同的张紧力。对于从动滑轮(所示的没有驱动装置的滑轮)而言尤其如此。
在图2中，在滑轮17的左侧，线受到第一张紧力T1。在右侧，第二张紧力等于T2。如上所述，T1和T2不必相等。这就是所谓的绞盘效应(capstaneffect)。由于滑轮加速或者由于滑轮减速，张紧力差可由滑轮上的旋转摩擦造成。绞盘方程描述最大张紧力差ΔTM＝T2-T1＝eμβ Max，其中μ为摩擦系数并且βMax为用弧度表示的最大卷绕角度，在该最大卷绕角度处不发生滑动：粘着区。
线的速度只在卷绕角部分处增大或降低：所谓的滑动区。在粘着区，不发生滑动并且线和滑轮的速度相同。线只在滑动区伸展。这在图3中示出。围绕滑轮的弯曲“路径”的厚度表示线的张紧力。在粘着区之前以及在滑动区之后的速度分别表示为v1和v2。滑轮(＝支撑表面)的圆周速度等于线在粘着区的速度。
如果滑轮将力矩施加到线或者线将力矩施加到滑轮，一侧的张紧力增大或减小。例如，T1变为T2＝T1-M/R。R是滑轮的半径。
结果发现，在线锯机床中使用金刚石切割线的滑轮的磨损主要是由于线在滑动区打滑。滑动区延伸的超过βslip的角度由ln(T2/T1)/μ给出。
图4示出具有固定磨料或切割元件20的金刚石线2(也被称为切割线2)的一部分。线2由芯或芯线18和支架19制成，支架保持作为切割元件20的金刚石。线2的制造与本发明不相关。可以使用具有或不具有现有技术中已知结构(结构线)的包括固定磨料的任何其它线。所示的线段具有24个附装到其前表面的金刚石。假设在背面上也具有相同的数量，该线在金刚石之间的平均距离d(如本文中所使用的)为48除以L。
图5示出本发明的具有半径R的滑轮17的实施例的一部分。滑轮支撑具有固定磨料20的线2。沿滑轮17的线支撑表面22设置槽21(也被称为凹槽、凹部或缺口)，在该情况下，槽延伸经过滑轮17的整个宽度。在实施例中，槽21分布在滑轮17的承载线2的全部(360°)线支撑表面或外周表面22。每α度，通常每3°至30°设置新槽21。线2只位于滑轮17的一部分(360°的一部分)。滑轮围绕它的旋转轴线A旋转。未示出滑轮与其下部部件的安装。中间部分27具有长度1并且在30°角的范围内或者通常在全部长度的范围内支撑线部。
图6示出本发明的具有衬套23的滑轮的实施例。在该实施例中，在衬套23中设置槽21。或者，滑轮17的芯25可以具有附加槽(衬套仍然具有可以不贯穿衬套的整个宽度的槽)或者槽可以延伸经过衬套到达滑轮。
在图5和图6中，可以清楚地看出，线2中的金刚石20比滑轮17中的槽21隔得更近，这意味着在两个槽之间存在多个切割元件。为了清楚起见，将这些金刚石绘制得特别大并且隔开得特别远。
从图5和图6可以清楚地看出，线支撑表面22是线引导构件17的线接触表面，即线引导构件17的与切割线2相接触的表面。
图1中所示的各个滑轮12，13，14，15，16(以及没有附图标记的滑轮)可以由本发明的滑轮代替。每个滑轮可以由不同材料制成并且具有按其功能调整的不同的槽类型和尺寸。甚至线导辊24可受益于轴向槽或凹槽。线导辊也被认为是线引导构件或滑轮。
滑轮的衬套23可以具有适用于保持线2的任何横截面。衬套可以具有V形或平底形的用于保持线2的一个或多个槽。US5907988中示出某些适用的凹槽形状。
槽21以下面两种方式防止线引导滑轮的磨损：
当线2移动经过槽21时，线自由伸展并且它可以在不在线支撑表面22上进行摩擦从而磨损表面的情况下自由延伸。
此外，如果由中间部分27支撑的线部伸展，中间部分27可以自由地调整其形状以适应该伸展。此外，因为中间部分在其端部28和29不再受到约束，所以中间部分27可以在线2伸展的方向上伸展和/或弯曲。注意，一旦中间部分27不再支撑伸展线2，其就会返回到其松弛状态。因此，根据本发明，至多围绕线引导构件旋转不超过270°是有利地，优选围绕线引导构件旋转不超过180°并且甚至更优选地围绕线引导构件旋转不超过约120°。
相同的论证适用于线2的收缩。中间部分27可以沿线2收缩的方向收缩和弯曲。当线移动经过槽21时，线自由收缩。
图7示出两个顶视图的一部分(沿垂直于线引导构件17的旋转轴线的方向看)。在图7a中，槽21并不延伸经过滑轮17的整个(轴向)宽度，但仍界定线支撑表面22的保持线2的中间部分27(被支撑的线下方的凹槽之间的部分)。端部28，29可以按期偏移。图7b示出延伸经过滑轮17的整个宽度的槽21。
本发明并不限于所示的实施例。其单个或多个组合是可能的。其它变型对于领域的技术人员将是显而易见的并且被认为落在权利要求所制定的本发明的范围内。上述说明书中所述的、尤其针对附图而言的单独特征可以彼此结合以形成其它实施例和/或用于权利要求所述的内容以及说明书的其它部分。
附图标记列表
1线锯
2具有固定磨料的切割线(也被称为金刚石线)
3用于切割线的第一线轴
4用于切割线的第二线轴
5驱动器
6驱动器
7线网
8工件
9驱动器
10张紧装置
11驱动器
12滑轮
13滑轮
14滑轮
15滑轮
16滑轮
17滑轮
18线芯
19线架
20固定磨料(也被称为金刚石或切割元件)
21凹部、槽或凹槽
22滑轮的线支撑表面
23滑轮衬套
24线导辊
25滑轮芯
26松紧调整装置
27中间部分
28端部
29端部
30支撑线部的范围
31线锯1的框架部
α两个相邻凹部或槽之间的角度
ΔTM最大张紧力差
βMax用弧度表示的最大卷绕角
A滑轮的转动轴线
d金刚石线上两个磨粒之间的距离
l中间部分的长度
L图4所示的线段的长度
M滑轮在线上施加的力矩或者线在滑轮上施加的力矩
T1第一拉力
T2第二张紧力
R滑轮的半径
W切割线的直径

Claims (23)

1.一种线锯(1)，其包括具有固定切割元件(20)的切割线(2)、用于在第一线轴(3)和第二线轴(4)之间引导所述切割线(2)的至少一个线引导构件(17)，所述线引导构件(17)可旋转地安装到所述线锯(1)的框架部(31)以便能够围绕轴线(A)旋转，所述至少一个线引导构件(17)包括线支撑表面(22)，其中，设置至少两个槽或凹部(21)，在所述至少两个槽或凹部之间限定所述线支撑表面(22)的具有长度(1)的中间部分(27)，其特征在于，具有与中间部分(27)相同的长度(1)的所述切割线(2)的线部(30)包括多个切割元件(20)。
2.根据权利要求1所述的线锯，其特征在于，所述中间部分(27)的长度(1)小于30mm，优选小于10mm，甚至更优选小于5mm。
3.根据权利要求1或2所述的线锯，其特征在于，所述中间部分(27)的长度(1)比所述切割元件(20)之间的平均距离(d)大至少20倍，优选地大至少200倍，甚至更优选地大至少2.000倍。
4.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，具有中间部分(27)的长度(1)的一段切割线(2)包括至少100个、优选大于1.000个、甚至更优选大于10.000个切割元件(20)。
5.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，所述凹部(21)的长度小于10mm，优选小于5mm，甚至更优选小于2mm。
6.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，所述凹部(21)的宽度比所述切割元件(20)之间的在所述切割线(2)的轴向上的平均距离(d)宽至少10倍，优选至少100倍，甚至更优选至少1.000倍。
7.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，至少一个中间部分(27)、优选所有的中间部分(27)的长度(1)比所述线引导构件(17)的没有槽或凹部(21)的粘着区的长度短至少20％，优选短至少40％，或者甚至更优选短50％以上。
8.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，所述切割元件(20)小于所述切割线(2)的直径(W)，并且优选以非周期的方式分布在所述切割线(2)的表面上，并且优选多个切割元件(20)放置在所述切割线(2)的一个横截面中。
9.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，所述切割线(2)的所述切割元件(20)是磨粒，所述磨粒彼此之间的距离小于100μm，优选小于10μm，甚至更优选小于1μm。
10.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，所述线引导构件(17)包括芯(25)和形成所述线支撑表面(22)的衬套(23)，所述衬套(23)优选由比芯(25)软的材料制成。
11.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，设置至少10个、优选至少20个、甚至更优选至少100个凹部(21)。
12.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，所述线引导构件(17)的直径小于1000mm，优选小于600mm，甚至更优选小于400mm。
13.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，所述线引导构件(17)选自由滑轮(12，13，14，15，16)和线导辊(24)组成的组。
14.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，形成所述线支撑表面(22)的材料、优选地所述衬套(23)的材料为均匀的材料，优选为不具有孔、空隙、腔或空穴的固体材料。
15.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，所述槽或凹部(21)终止于所述衬套(23)内。
16.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，所述槽或凹部(21)大于0.5mm深，优选大于1mm深，甚至更优选大于2mm深，所述深度从所述支撑表面(22)沿着朝向所述线引导构件(17)的所述旋转轴线(A)的方向测量。
17.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，所述槽或凹部(21)形成为盲孔，所述盲孔仅向所述线支撑表面(22)开口。
18.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，所述槽或凹部(21)的深度小于3cm，优选小于1.5cm，所述深度从所述线支撑表面(22)沿着朝向所述旋转轴线(A)的方向测量。
19.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，所述线引导构件(17)没有流体导管或者所述线引导构件(17)没有沿着或朝向所述线引导构件(17)的周围区域延伸的导管。
20.根据前述任一项权利要求所述的线锯，其特征在于，所述线锯(1)是晶片切片线锯，其中，所述切割线(2)形成线网或块料切片线锯。
21.一种包括根据前述任一项权利要求所述的线锯(1)和固定磨料切割线(2)的系统。
22.一种在根据权利要求1至20中任一项所述的线锯或根据权利要求21所述的系统中所使用的线引导构件(17)。
23.一种根据权利要求1至20中任一项所述的线锯的使用，用于切割晶片，其中，优选地所述线锯(1)的所述切割线形成线网。
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