JP2840491B2 - ワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方法 - Google Patents
ワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方法Info
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- JP2840491B2 JP2840491B2 JP3316694A JP31669491A JP2840491B2 JP 2840491 B2 JP2840491 B2 JP 2840491B2 JP 3316694 A JP3316694 A JP 3316694A JP 31669491 A JP31669491 A JP 31669491A JP 2840491 B2 JP2840491 B2 JP 2840491B2
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- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体インゴット等の
被加工物を切断してウエーハを形成するワイヤソーに用
いられ、ワイヤが巻掛けられるワイヤソー用溝付きロー
ラ及びその取換方法に関する。
被加工物を切断してウエーハを形成するワイヤソーに用
いられ、ワイヤが巻掛けられるワイヤソー用溝付きロー
ラ及びその取換方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は、ワイヤソーに用いられる従来の
ローリング装置を示す。
ローリング装置を示す。
【０００３】このローリング装置１０は、溝付きローラ
２０と、溝付きローラ２０の両端部を回転自在に支持す
るローラ軸支装置３０ａ及び３０ｂとからなる。溝付き
ローラ２０は、鋳鉄（ＳＳ）製の大径軸２２の両端から
小径軸２４ａ及び２４ｂが突出し、大径軸２２にスリー
ブ２５が外嵌されている。スリーブ２５の外周面には、
リング状の溝２６が一定ピッチで形成されている。この
溝２６には、ピアノ線等のワイヤ４０が巻掛けられる。
スリーブ２５はワイヤ４０の寿命を長くするためのもの
であり、磨耗抵抗が大きくかつ弾力性のある合成樹脂で
形成されている。
２０と、溝付きローラ２０の両端部を回転自在に支持す
るローラ軸支装置３０ａ及び３０ｂとからなる。溝付き
ローラ２０は、鋳鉄（ＳＳ）製の大径軸２２の両端から
小径軸２４ａ及び２４ｂが突出し、大径軸２２にスリー
ブ２５が外嵌されている。スリーブ２５の外周面には、
リング状の溝２６が一定ピッチで形成されている。この
溝２６には、ピアノ線等のワイヤ４０が巻掛けられる。
スリーブ２５はワイヤ４０の寿命を長くするためのもの
であり、磨耗抵抗が大きくかつ弾力性のある合成樹脂で
形成されている。
【０００４】ローラ軸支装置３０ａは、ホルダ３２ａが
支持板３４ａに固定され、ホルダ３２ａ内に軸受け３６
ａが保持され、この軸受け３６ａに小径軸２４ａが嵌入
支持されている。ローラ軸支装置３０ｂは、ローラ軸支
装置３０ａと互いに同一構成であり、ホルダ３２ｂが支
持板３４ｂに固定され、ホルダ３２ｂ内に軸受け３６ｂ
が保持され、この軸受け３６ｂに小径軸２４ｂが嵌入支
持されている。
支持板３４ａに固定され、ホルダ３２ａ内に軸受け３６
ａが保持され、この軸受け３６ａに小径軸２４ａが嵌入
支持されている。ローラ軸支装置３０ｂは、ローラ軸支
装置３０ａと互いに同一構成であり、ホルダ３２ｂが支
持板３４ｂに固定され、ホルダ３２ｂ内に軸受け３６ｂ
が保持され、この軸受け３６ｂに小径軸２４ｂが嵌入支
持されている。
【０００５】被加工物４２は、例えば半導体インゴット
であって、そのオリエンテーションフラット面がワーク
ホルダ４４に接着され、ワークホルダ４４が不図示の機
構で昇降可能となっている。
であって、そのオリエンテーションフラット面がワーク
ホルダ４４に接着され、ワークホルダ４４が不図示の機
構で昇降可能となっている。
【０００６】上記構成において、被加工物４２を下降さ
せ、被加工物４２がワイヤ４０に接触すると、溝付きロ
ーラ２０が回転されてワイヤ４０がその線方向に走行さ
れ、また、砥粒を含む加工液が切断部付近のワイヤ４０
に流し当てられる。この状態で被加工物４２を下降させ
ると、ワイヤ４０で被加工物４２が切断され、多数枚の
ウエーハが同時に形成される。
せ、被加工物４２がワイヤ４０に接触すると、溝付きロ
ーラ２０が回転されてワイヤ４０がその線方向に走行さ
れ、また、砥粒を含む加工液が切断部付近のワイヤ４０
に流し当てられる。この状態で被加工物４２を下降させ
ると、ワイヤ４０で被加工物４２が切断され、多数枚の
ウエーハが同時に形成される。
【０００７】一回の切断に要する時間は例えば、直径５
インチのシリコン半導体インゴットで６時間である。こ
の間、切断条件を一定に保つことにより、ウエーハの面
精度を高くする必要がある。
インチのシリコン半導体インゴットで６時間である。こ
の間、切断条件を一定に保つことにより、ウエーハの面
精度を高くする必要がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ワイヤと被加
工物との間で発生する摩擦熱やローラ軸支装置の軸受で
発生する摩擦熱により、切断中に溝付きローラの温度が
変動して、熱膨張で溝ピッチｐが変動し、ウエーハにう
ねりが生じる。半導体集積回路の微細化が進んでいる今
日、ウエーハのうねりは、半導体装置の歩留まりを大き
く低下させる。
工物との間で発生する摩擦熱やローラ軸支装置の軸受で
発生する摩擦熱により、切断中に溝付きローラの温度が
変動して、熱膨張で溝ピッチｐが変動し、ウエーハにう
ねりが生じる。半導体集積回路の微細化が進んでいる今
日、ウエーハのうねりは、半導体装置の歩留まりを大き
く低下させる。
【０００９】本発明の目的は、このような問題点に鑑
み、切断されて形成されたウエーハのうねりを低減する
ことができるワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方
法を提供することにある。
み、切断されて形成されたウエーハのうねりを低減する
ことができるワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方
法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段及びその作用】本発明に係
るワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方法を、実施
例図中の対応する構成要素の符号を引用して説明する。
るワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方法を、実施
例図中の対応する構成要素の符号を引用して説明する。
【００１１】本第１発明のワイヤソー用溝付きローラで
は、例えば図１に示す如く、切断用ワイヤ４０が巻掛け
られる溝２６Ｂが金属円柱２２Ｂの外周面に所定ピッチ
ｐで形成された回転軸２０Ｂと、該溝にコーティングさ
れた合成樹脂２８とを有するワイヤソー用溝付きローラ
において、該合成樹脂２８は該溝２６Ｂ内のみにコーテ
ィングされ、該回転軸２０Ｂの隣合う溝の間の外周面は
金属面である。
は、例えば図１に示す如く、切断用ワイヤ４０が巻掛け
られる溝２６Ｂが金属円柱２２Ｂの外周面に所定ピッチ
ｐで形成された回転軸２０Ｂと、該溝にコーティングさ
れた合成樹脂２８とを有するワイヤソー用溝付きローラ
において、該合成樹脂２８は該溝２６Ｂ内のみにコーテ
ィングされ、該回転軸２０Ｂの隣合う溝の間の外周面は
金属面である。
【００１２】合成樹脂２８が溝２６Ｂ内のみコーティン
グされ、回転軸２０Ｂの隣合う溝の間の外周面が金属面
であるので、加工液が直接この金属面に接して、冷却効
果が高められ、回転軸２０Ｂの軸方向に沿った温度分布
がより均一になり、切断中に熱膨張で溝ピッチｐが変動
することによるウエーハのうねりを、低減することがで
きる。
グされ、回転軸２０Ｂの隣合う溝の間の外周面が金属面
であるので、加工液が直接この金属面に接して、冷却効
果が高められ、回転軸２０Ｂの軸方向に沿った温度分布
がより均一になり、切断中に熱膨張で溝ピッチｐが変動
することによるウエーハのうねりを、低減することがで
きる。
【００１４】本第１発明の第１態様では、例えば図１に
示す如く、溝２６Ｂは、断面底部がＶ字形であり、断面
開口側壁面が金属円柱２２Ｂの外周面と直角になってい
る。
示す如く、溝２６Ｂは、断面底部がＶ字形であり、断面
開口側壁面が金属円柱２２Ｂの外周面と直角になってい
る。
【００１５】本第１発明の第２態様では、例えば図４に
示す如く、切断用ワイヤ４０が巻掛けられる溝が金属円
柱の外周面に所定ピッチで形成された回転軸２０Ｃと、
該溝にコーティングされた合成樹脂２８と、を有するワ
イヤソー用溝付きローラにおいて、該溝２６Ｃは、断面
がＹ字形であり、該合成樹脂２８は、該溝の底部２６２
に埋め込まれ、該溝のＶ字形部斜面にコーティングされ
て、表面が略Ｖ字形になっている。
示す如く、切断用ワイヤ４０が巻掛けられる溝が金属円
柱の外周面に所定ピッチで形成された回転軸２０Ｃと、
該溝にコーティングされた合成樹脂２８と、を有するワ
イヤソー用溝付きローラにおいて、該溝２６Ｃは、断面
がＹ字形であり、該合成樹脂２８は、該溝の底部２６２
に埋め込まれ、該溝のＶ字形部斜面にコーティングされ
て、表面が略Ｖ字形になっている。
【００１６】この構成の場合、合成樹脂２８の表面側底
面と溝底面との間の合成樹脂２８の厚さｔを容易に大き
くすることができるので、ワイヤ４０の張力変動の吸収
度が高くなる。これにより、切断されて形成されるウエ
ーハの面精度を向上させることができ、かつ、ワイヤ４
０の寿命をより長くすることができる。さらに、この厚
さｔが比較的大きいので、合成樹脂２８の寿命、すなわ
ち溝付きローラの取換寿命が長くなり、作業効率が向上
する。
面と溝底面との間の合成樹脂２８の厚さｔを容易に大き
くすることができるので、ワイヤ４０の張力変動の吸収
度が高くなる。これにより、切断されて形成されるウエ
ーハの面精度を向上させることができ、かつ、ワイヤ４
０の寿命をより長くすることができる。さらに、この厚
さｔが比較的大きいので、合成樹脂２８の寿命、すなわ
ち溝付きローラの取換寿命が長くなり、作業効率が向上
する。
【００１７】合成樹脂２８は、弾力性を有し、磨耗抵抗
が大きいものが好ましい。そこで、本第１発明の第３態
様では、合成樹脂２８として、このような性質を備えた
ポリウレタンを用いている。
が大きいものが好ましい。そこで、本第１発明の第３態
様では、合成樹脂２８として、このような性質を備えた
ポリウレタンを用いている。
【００１８】本第２発明のワイヤソー用溝付きローラ取
換方法では、例えば図３に示す如く、溝付きローラ１０
Ａ〜１０Ｂの金属円柱とワイヤ４０との間に電圧を印加
しておき、この金属円柱とワイヤ４０とが導通している
かどうかを判別し、その判別結果に基づいてワイヤソー
用溝付きローラを取り換える。
換方法では、例えば図３に示す如く、溝付きローラ１０
Ａ〜１０Ｂの金属円柱とワイヤ４０との間に電圧を印加
しておき、この金属円柱とワイヤ４０とが導通している
かどうかを判別し、その判別結果に基づいてワイヤソー
用溝付きローラを取り換える。
【００１９】これにより、合成樹脂２８の再コーティン
グ回数を必要最小限に抑えることができ、また、金属円
柱とワイヤ４０とが長時間接触するのを防止できるので
ワイヤ４０の寿命を長くすることができる。
グ回数を必要最小限に抑えることができ、また、金属円
柱とワイヤ４０とが長時間接触するのを防止できるので
ワイヤ４０の寿命を長くすることができる。
【００２０】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。
する。
【００２１】［第１実施例］ 図２は、ワイヤソーに用いられる第１実施例のローリン
グ装置１０Ａを示す。図１は、ローリング装置１０Ａの
溝付きローラ２０Ｂの表面部拡大図である。図５と同一
構成要素には、同一符号を付してその説明を省略する。
グ装置１０Ａを示す。図１は、ローリング装置１０Ａの
溝付きローラ２０Ｂの表面部拡大図である。図５と同一
構成要素には、同一符号を付してその説明を省略する。
【００２２】溝付きローラ２０Ｂは、金属製大径軸２２
Ｂの外周面にリング状の溝２６Ｂが一定ピッチｐで形成
されている。溝２６Ｂの断面形状は、底部がＶ字形にさ
れ、開口側壁面が外周面と直角にされている。また、合
成樹脂２８を、溝２６Ｂ内のみコーティングしており、
隣合う溝２６Ｂの間の溝付きローラ２０Ｂの外周面には
コーティングしていない。
Ｂの外周面にリング状の溝２６Ｂが一定ピッチｐで形成
されている。溝２６Ｂの断面形状は、底部がＶ字形にさ
れ、開口側壁面が外周面と直角にされている。また、合
成樹脂２８を、溝２６Ｂ内のみコーティングしており、
隣合う溝２６Ｂの間の溝付きローラ２０Ｂの外周面には
コーティングしていない。
【００２４】合成樹脂２８は、弾力性を有し、磨耗抵抗
が大きいもの、例えばポリウレタン、ポリプロピレン、
テフロン等が好ましく、特にポリウレタンが好ましい。
合成樹脂２８の溝斜面での厚さは、ポリウレタンの場
合、例えば０．２ｍｍである。
が大きいもの、例えばポリウレタン、ポリプロピレン、
テフロン等が好ましく、特にポリウレタンが好ましい。
合成樹脂２８の溝斜面での厚さは、ポリウレタンの場
合、例えば０．２ｍｍである。
【００２５】他の構成は、図５と同一である。
【００２６】図３に示す如く、互いに同一構成のローリ
ング装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃは、軸を互いに平行
にして配置され、これらの溝にワイヤ４０が巻掛けられ
ている。ローリング装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃは、
不図示の機構で連動回転される。
ング装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃは、軸を互いに平行
にして配置され、これらの溝にワイヤ４０が巻掛けられ
ている。ローリング装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃは、
不図示の機構で連動回転される。
【００２７】ワイヤ４０の始端側は、張力調節機構５０
を介してワイヤ巻取りドラム５２に巻掛けられている。
ワイヤ巻取りドラム５２は、軸受けを介して脚板５４に
支持され、ワイヤ巻取りドラム５２がトルクモータ５６
で回転駆動される。張力調節機構５０とワイヤ巻取りド
ラム５２との間のワイヤ４０の張力は、トルクモータ５
６に印加する電圧により調節され、張力調節機構５０と
ローリング装置１０Ｃとの間のワイヤ４０の張力は、張
力調節機構５０により一定に調節される。
を介してワイヤ巻取りドラム５２に巻掛けられている。
ワイヤ巻取りドラム５２は、軸受けを介して脚板５４に
支持され、ワイヤ巻取りドラム５２がトルクモータ５６
で回転駆動される。張力調節機構５０とワイヤ巻取りド
ラム５２との間のワイヤ４０の張力は、トルクモータ５
６に印加する電圧により調節され、張力調節機構５０と
ローリング装置１０Ｃとの間のワイヤ４０の張力は、張
力調節機構５０により一定に調節される。
【００２８】同様に、ワイヤ４０の終端側は、張力調節
機構５８を介してワイヤ巻取りドラム６０に巻掛けられ
ている。ワイヤ巻取りドラム６０は、軸受けを介して脚
板６２に軸支され、ワイヤ巻取りドラム６０がトルクモ
ータ６４で回転駆動される。ローリング装置１０Ｃと張
力調節機構５８の間のワイヤ４０の張力は、張力調節機
構５８により一定に調節され、張力調節機構５８とワイ
ヤ巻取りドラム６０との間のワイヤ４０の張力は、トル
クモータ６４に印加する電圧により調節される。
機構５８を介してワイヤ巻取りドラム６０に巻掛けられ
ている。ワイヤ巻取りドラム６０は、軸受けを介して脚
板６２に軸支され、ワイヤ巻取りドラム６０がトルクモ
ータ６４で回転駆動される。ローリング装置１０Ｃと張
力調節機構５８の間のワイヤ４０の張力は、張力調節機
構５８により一定に調節され、張力調節機構５８とワイ
ヤ巻取りドラム６０との間のワイヤ４０の張力は、トル
クモータ６４に印加する電圧により調節される。
【００２９】脚板５４と図２の支持板３４ａとの間に
は、直流電圧源７０、スイッチ７２及び抵抗器７４が配
線で直列接続されている。この支持板３４ａは、ローリ
ング装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃの各ローラ軸支装置
を介し各大径軸２２Ｂに導通している。また、脚板５４
はワイヤ巻取りドラム５２を介しワイヤ４０に導通して
いる。抵抗器７４の端子間電圧は短絡判別回路７６に供
給され、短絡判別回路７６は、抵抗器７４の端子間電圧
が設定値以上になると、リセットスイッチ７７が押され
るまで出力を保持して、ブザー７８を鳴らし、かつ、短
絡を表示する表示灯８０を点灯させる。
は、直流電圧源７０、スイッチ７２及び抵抗器７４が配
線で直列接続されている。この支持板３４ａは、ローリ
ング装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃの各ローラ軸支装置
を介し各大径軸２２Ｂに導通している。また、脚板５４
はワイヤ巻取りドラム５２を介しワイヤ４０に導通して
いる。抵抗器７４の端子間電圧は短絡判別回路７６に供
給され、短絡判別回路７６は、抵抗器７４の端子間電圧
が設定値以上になると、リセットスイッチ７７が押され
るまで出力を保持して、ブザー７８を鳴らし、かつ、短
絡を表示する表示灯８０を点灯させる。
【００３０】次に、上記の如く構成されたワイヤソーの
動作を説明する。
動作を説明する。
【００３１】被加工物４２が下降され、被加工物４２が
ワイヤ４０に接触され、溝付きローラ２０Ｂが回転され
てワイヤ４０がその線方向に走行され、また、砥粒を含
む加工液がワイヤ４０に流し当てられる。この状態で被
加工物４２を下降させると、ラッピング作用により被加
工物４２が切断され、多数枚のウエーハが同時に形成さ
れる。
ワイヤ４０に接触され、溝付きローラ２０Ｂが回転され
てワイヤ４０がその線方向に走行され、また、砥粒を含
む加工液がワイヤ４０に流し当てられる。この状態で被
加工物４２を下降させると、ラッピング作用により被加
工物４２が切断され、多数枚のウエーハが同時に形成さ
れる。
【００３２】溝２６Ｂの断面形状が、底部でＶ字形にな
っており、かつ、開口側壁面が外周面と直角になってい
るので、溝ピッチｐが小さくてもワイヤ外れが生じ難く
なる。 隣合う溝２６Ｂの間の溝付きローラ２０Ｂの外周
面がコーティングされていないので、加工液をワイヤ４
０に流し当てることにより、加工液が直接このコーティ
ングされていない外周面に接し、大径軸２２Ｂを効率よ
く冷却することができ、大径軸２２Ｂの軸方向に沿った
温度分布を従来よりも均一にすることができ、したがっ
て、切断されて形成されるウエーハのうねりを従来より
も低減することができる。
っており、かつ、開口側壁面が外周面と直角になってい
るので、溝ピッチｐが小さくてもワイヤ外れが生じ難く
なる。 隣合う溝２６Ｂの間の溝付きローラ２０Ｂの外周
面がコーティングされていないので、加工液をワイヤ４
０に流し当てることにより、加工液が直接このコーティ
ングされていない外周面に接し、大径軸２２Ｂを効率よ
く冷却することができ、大径軸２２Ｂの軸方向に沿った
温度分布を従来よりも均一にすることができ、したがっ
て、切断されて形成されるウエーハのうねりを従来より
も低減することができる。
【００３３】また、合成樹脂２８の熱膨張率は、普通、
金属製大径軸２２Ｂの熱膨張率よりも１０倍程度大きい
が、図１において、溝ピッチｐは、大径軸２２Ｂのみの
熱膨張により定まり、大きな熱膨張率を有する合成樹脂
２８の熱膨張には影響されない。したがって、切断中に
熱膨張で溝ピッチｐが変動することにより、切断されて
形成されるウエーハのうねりを、従来よりも低減するこ
とができる。
金属製大径軸２２Ｂの熱膨張率よりも１０倍程度大きい
が、図１において、溝ピッチｐは、大径軸２２Ｂのみの
熱膨張により定まり、大きな熱膨張率を有する合成樹脂
２８の熱膨張には影響されない。したがって、切断中に
熱膨張で溝ピッチｐが変動することにより、切断されて
形成されるウエーハのうねりを、従来よりも低減するこ
とができる。
【００３４】切断回数が多数回となって、溝２６Ｂの面
にコーティングされた合成樹脂２８が劣化し、ワイヤ４
０が大径軸２２Ｂに接触すると、抵抗器７４の端子間に
電圧が加わり、これが設定値以上となって、短絡判別回
路７６によりブザー７８及び表示灯８０がオンにされ
る。作業者は、スイッチ７２をオフにし、かつ、リセッ
トスイッチ７７を押して、短絡判別回路７６の出力をオ
フにし、被加工物４２の切断が終了した後に、ローリン
グ装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃの溝付きローラ２０Ｂ
を取り換える。そして、取り外した溝付きローラ２０Ｂ
の合成樹脂２８を溶融剥離させ、再度合成樹脂２８を溝
２６Ｂの内面にコーティングして再使用に備える。
にコーティングされた合成樹脂２８が劣化し、ワイヤ４
０が大径軸２２Ｂに接触すると、抵抗器７４の端子間に
電圧が加わり、これが設定値以上となって、短絡判別回
路７６によりブザー７８及び表示灯８０がオンにされ
る。作業者は、スイッチ７２をオフにし、かつ、リセッ
トスイッチ７７を押して、短絡判別回路７６の出力をオ
フにし、被加工物４２の切断が終了した後に、ローリン
グ装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃの溝付きローラ２０Ｂ
を取り換える。そして、取り外した溝付きローラ２０Ｂ
の合成樹脂２８を溶融剥離させ、再度合成樹脂２８を溝
２６Ｂの内面にコーティングして再使用に備える。
【００３５】これにより、合成樹脂２８の再コーティン
グ回数を必要最小限に抑えることができ、また、金属製
大径軸２２Ｂとワイヤ４０とが長時間接触するのを防止
できるのでワイヤ４０の寿命を長くすることができる。
グ回数を必要最小限に抑えることができ、また、金属製
大径軸２２Ｂとワイヤ４０とが長時間接触するのを防止
できるのでワイヤ４０の寿命を長くすることができる。
【００３９】［第２実施例］図４は、本発明の第２ 実施例の溝付きローラの表面部断
面を、図１と対応させて示す。この溝付きローラ２０Ｃ
は、金属製大径軸２２Ｃの外周面に形成されたリング状
の溝２６Ｃの断面形状がＹ字形となっており、溝２６Ｃ
は、開口側のＶ字部２６１と底側のＵ字部２６２とから
なる。Ｕ字部２６２には、合成樹脂２８が埋め込まれて
いる。
面を、図１と対応させて示す。この溝付きローラ２０Ｃ
は、金属製大径軸２２Ｃの外周面に形成されたリング状
の溝２６Ｃの断面形状がＹ字形となっており、溝２６Ｃ
は、開口側のＶ字部２６１と底側のＵ字部２６２とから
なる。Ｕ字部２６２には、合成樹脂２８が埋め込まれて
いる。
【００４０】他の構成は、上記第１実施例と同一であ
る。
る。
【００４１】本第２実施例では、Ｕ字部２６２により、
合成樹脂２８の表面側の底面と、Ｕ字部２６２の底面と
の間の合成樹脂２８の厚さｔを容易に大きくすることが
できるので、ワイヤ４０に対する合成樹脂２８の弾性定
数は、第１実施例の場合よりも小さくなって、ワイヤ４
０の張力変動を吸収し易くなる。これにより、切断され
て形成されるウエーハの面精度を向上させることがで
き、かつ、ワイヤ４０の寿命をより長くすることができ
る。さらに、この厚さｔが第１実施例の場合よりも大き
いので、合成樹脂２８の寿命が第１実施例の場合よりも
長くなり、作業効率が向上する。
合成樹脂２８の表面側の底面と、Ｕ字部２６２の底面と
の間の合成樹脂２８の厚さｔを容易に大きくすることが
できるので、ワイヤ４０に対する合成樹脂２８の弾性定
数は、第１実施例の場合よりも小さくなって、ワイヤ４
０の張力変動を吸収し易くなる。これにより、切断され
て形成されるウエーハの面精度を向上させることがで
き、かつ、ワイヤ４０の寿命をより長くすることができ
る。さらに、この厚さｔが第１実施例の場合よりも大き
いので、合成樹脂２８の寿命が第１実施例の場合よりも
長くなり、作業効率が向上する。
【００４２】
【発明の効果】以上説明した如く、本第１発明に係るワ
イヤソー用溝付きローラでは、合成樹脂が溝内のみコー
ティングされ、回転軸の隣合う溝の間の外周面が金属面
であるので、加工液が直接この金属面に接して、冷却効
果が高められ、回転軸の軸方向に沿った温度分布がより
均一になり、切断中に熱膨張で溝ピッチが変動すること
によるウエーハのうねりを低減することができるという
優れた効果を奏し、半導体装置の歩留まり向上に寄与す
るところが大きい。
イヤソー用溝付きローラでは、合成樹脂が溝内のみコー
ティングされ、回転軸の隣合う溝の間の外周面が金属面
であるので、加工液が直接この金属面に接して、冷却効
果が高められ、回転軸の軸方向に沿った温度分布がより
均一になり、切断中に熱膨張で溝ピッチが変動すること
によるウエーハのうねりを低減することができるという
優れた効果を奏し、半導体装置の歩留まり向上に寄与す
るところが大きい。
【００４４】本第１発明の第２態様では、溝は、断面が
Ｙ字形であり、合成樹脂は、溝の底部に埋め込まれ、溝
のＶ字形部斜面にコーティングされて、表面が略Ｖ字形
になっているので、合成樹脂の表面側底面と溝底面との
間の合成樹脂の厚さを容易に大きくすることができ、ワ
イヤに対する合成樹脂の弾性定数が小さくなって、ワイ
ヤの張力変動を吸収し易くなり、これにより、切断され
て形成されるウエーハの面精度を向上させることがで
き、かつ、ワイヤの寿命をより長くすることができ、さ
らに、該厚さが比較的大きいので、合成樹脂の寿命、す
なわち溝付きローラの取換寿命が長くなり、作業効率が
向上するという効果を奏する。
Ｙ字形であり、合成樹脂は、溝の底部に埋め込まれ、溝
のＶ字形部斜面にコーティングされて、表面が略Ｖ字形
になっているので、合成樹脂の表面側底面と溝底面との
間の合成樹脂の厚さを容易に大きくすることができ、ワ
イヤに対する合成樹脂の弾性定数が小さくなって、ワイ
ヤの張力変動を吸収し易くなり、これにより、切断され
て形成されるウエーハの面精度を向上させることがで
き、かつ、ワイヤの寿命をより長くすることができ、さ
らに、該厚さが比較的大きいので、合成樹脂の寿命、す
なわち溝付きローラの取換寿命が長くなり、作業効率が
向上するという効果を奏する。
【００４５】本第１発明の第３態様では、合成樹脂とし
てポリウレタンを用いているので、弾力性を有しかつ磨
耗抵抗が大きく、好ましい。
てポリウレタンを用いているので、弾力性を有しかつ磨
耗抵抗が大きく、好ましい。
【００４６】本第２発明のワイヤソー用溝付きローラ取
換方法では、溝付きローラの金属円柱とワイヤとの間に
電圧を印加しておき、この金属円柱とワイヤとが導通し
ているかどうかを判別し、その判別結果に基づいて溝付
きローラを取り換えるので、合成樹脂の再コーティング
回数を必要最小限に抑えることができ、また、金属円柱
とワイヤとが長時間接触するのを防止できるのでワイヤ
の寿命を長くすることができるという効果を奏する。
換方法では、溝付きローラの金属円柱とワイヤとの間に
電圧を印加しておき、この金属円柱とワイヤとが導通し
ているかどうかを判別し、その判別結果に基づいて溝付
きローラを取り換えるので、合成樹脂の再コーティング
回数を必要最小限に抑えることができ、また、金属円柱
とワイヤとが長時間接触するのを防止できるのでワイヤ
の寿命を長くすることができるという効果を奏する。
【図１】本発明の第１実施例の溝付きローラの表面部断
面図である。
面図である。
【図２】ローリング装置の一部断面正面図である。
【図３】ローリング装置が適用されたワイヤソーの全体
構成図である。
構成図である。
【図４】本発明の第２実施例の溝付きローラの表面部断
面図である。
面図である。
【図５】従来のローリング装置の一部断面正面図であ
る。
る。
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ ローリング装置 ２０、２０Ｂ、２０Ｃ 溝付きローラ ２２、２２Ｂ、２０Ｃ 大径軸 ２４ａ、２４ｂ 小径軸 ２５ スリーブ ２６、２６Ｂ、２６Ｃ 溝 ２６１ Ｖ字部 ２６２ Ｕ字部 ２８ 合成樹脂 ３０ａ、３０ｂ ローラ軸支装置 ３２ａ、３２ｂ ホルダ ３４ａ、３４ｂ 支持板 ３６ａ、３６ｂ 軸受け ４０ ワイヤ ４２ 被加工物 ４４ ワークホルダ ５２、６０ ワイヤ巻取りドラム ５６、６４ トルクモータ ７０ 直流電圧源 ７２ スイッチ ７７ リセットスイッチ ７８ ブザー ８０ 表示灯
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 早川 和男 群馬県群馬郡群馬町足門762番地 三益 半導体工業株式会社内 (56)参考文献 実開 平２−74158（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−74160（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B24B 27/06
Claims (5)
- 【請求項１】 切断用ワイヤ（４０）が巻掛けられる溝
（２６Ｂ）が金属円柱（２２Ｂ）の外周面に所定ピッチ
（ｐ）で形成された回転軸（２０Ｂ）と、 該溝にコーティングされた合成樹脂（２８）と、 を有するワイヤソー用溝付きローラにおいて、 該合成樹脂は該溝内のみにコーティングされており、該
回転軸の隣合う溝の間の外周面は金属面であることを特
徴とするワイヤソー用溝付きローラ。 - 【請求項２】 前記溝（２６Ｂ）は、断面底部がＶ字形
であり、断面開口側壁面が前記金属円柱（２２Ｂ）の外
周面と直角になっていることを特徴とする請求項１記載
のワイヤソー用溝付きローラ。 - 【請求項３】 切断用ワイヤ（４０）が巻掛けられる溝
が金属円柱の外周面に所定ピッチで形成された回転軸
（２０Ｃ）と、 該溝にコーティングされた合成樹脂（２８）と、 を有するワイヤソー用溝付きローラにおいて、 該溝（２６Ｃ）は、断面がＹ字形であり、 該合成樹脂（２８）は、該溝の底部（２６２）に埋め込
まれ、該溝のＶ字形部斜面にコーティングされて、表面
が略Ｖ字形になっていることを特徴とするワイヤソー用
溝付きローラ。 - 【請求項４】 前記合成樹脂（２８）は、ポリウレタン
であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１つ
に記載のワイヤソー用溝付きローラ。 - 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれか１つに記載の
ワイヤソー用溝付きローラの前記金属円柱（２２Ｂ、２
２Ｃ）と前記ワイヤ（４０）との間に電圧を印加してお
き、該金属円柱と該ワイヤとが導通しているかどうかを
判別し、その判別結果に基づいて該ワイヤソー用溝付き
ローラを取り換えることを特徴とするワイヤソー用溝付
きローラ取換方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3316694A JP2840491B2 (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | ワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3316694A JP2840491B2 (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | ワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05146968A JPH05146968A (ja) | 1993-06-15 |
| JP2840491B2 true JP2840491B2 (ja) | 1998-12-24 |
Family
ID=18079864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3316694A Expired - Fee Related JP2840491B2 (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | ワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2840491B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100918980B1 (ko) * | 2000-12-08 | 2009-09-25 | 코네 코퍼레이션 | 엘리베이터 및 엘리베이터의 트랙션 시브 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH691037A5 (fr) * | 1996-02-06 | 2001-04-12 | Hct Shaping Systems Sa | Dispositif de sciage par fil. |
| CH691038A5 (fr) * | 1996-02-06 | 2001-04-12 | Hct Shaping Systems Sa | Dispositif de sciage par fil pour le découpe de tranches fines. |
| JP3273163B2 (ja) * | 1996-09-06 | 2002-04-08 | シャープ株式会社 | マルチワイヤソー |
| JP5672224B2 (ja) * | 2011-12-19 | 2015-02-18 | 住友金属鉱山株式会社 | 溝付きローラー及びこれを用いたワイヤーソー |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0520490Y2 (ja) * | 1988-11-29 | 1993-05-27 | ||
| JPH0274160U (ja) * | 1988-11-29 | 1990-06-06 |
-
1991
- 1991-11-29 JP JP3316694A patent/JP2840491B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100918980B1 (ko) * | 2000-12-08 | 2009-09-25 | 코네 코퍼레이션 | 엘리베이터 및 엘리베이터의 트랙션 시브 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05146968A (ja) | 1993-06-15 |
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