JPH05146968A - ワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方法 - Google Patents
ワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方法Info
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- JPH05146968A JPH05146968A JP31669491A JP31669491A JPH05146968A JP H05146968 A JPH05146968 A JP H05146968A JP 31669491 A JP31669491 A JP 31669491A JP 31669491 A JP31669491 A JP 31669491A JP H05146968 A JPH05146968 A JP H05146968A
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- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、ワイヤソー用溝付きローラ及びその
取換方法に関し、切断されて形成されたウエーハのうね
りを低減することを目的とする。 【構成】切断用ワイヤ４０が巻掛けられるリング状の断
面Ｙ字形溝２６Ｃが金属製円柱外周面にピッチｐで形成
され、溝２６Ｃにポリウレタン２８がコーティングされ
ている。
取換方法に関し、切断されて形成されたウエーハのうね
りを低減することを目的とする。 【構成】切断用ワイヤ４０が巻掛けられるリング状の断
面Ｙ字形溝２６Ｃが金属製円柱外周面にピッチｐで形成
され、溝２６Ｃにポリウレタン２８がコーティングされ
ている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体インゴット等の
被加工物を切断してウエーハを形成するワイヤソーに用
いられ、ワイヤが巻掛けられるワイヤソー用溝付きロー
ラ及びその取換方法に関する。
被加工物を切断してウエーハを形成するワイヤソーに用
いられ、ワイヤが巻掛けられるワイヤソー用溝付きロー
ラ及びその取換方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、ワイヤソーに用いられる従来の
ローリング装置を示す。
ローリング装置を示す。
【０００３】このローリング装置１０は、溝付きローラ
２０と、溝付きローラ２０の両端部を回転自在に支持す
るローラ軸支装置３０ａ及び３０ｂとからなる。溝付き
ローラ２０は、鋳鉄（ＳＳ）製の大径軸２２の両端から
小径軸２４ａ及び２４ｂが突出し、大径軸２２にスリー
ブ２５が外嵌されている。スリーブ２５の外周面には、
リング状の溝２６が一定ピッチで形成されている。この
溝２６には、ピアノ線等のワイヤ４０が巻掛けられる。
スリーブ２５はワイヤ４０の寿命を長くするためのもの
であり、磨耗抵抗が大きくかつ弾力性のある合成樹脂で
形成されている。
２０と、溝付きローラ２０の両端部を回転自在に支持す
るローラ軸支装置３０ａ及び３０ｂとからなる。溝付き
ローラ２０は、鋳鉄（ＳＳ）製の大径軸２２の両端から
小径軸２４ａ及び２４ｂが突出し、大径軸２２にスリー
ブ２５が外嵌されている。スリーブ２５の外周面には、
リング状の溝２６が一定ピッチで形成されている。この
溝２６には、ピアノ線等のワイヤ４０が巻掛けられる。
スリーブ２５はワイヤ４０の寿命を長くするためのもの
であり、磨耗抵抗が大きくかつ弾力性のある合成樹脂で
形成されている。
【０００４】ローラ軸支装置３０ａは、ホルダ３２ａが
支持板３４ａに固定され、ホルダ３２ａ内に軸受け３６
ａが保持され、この軸受け３６ａに小径軸２４ａが嵌入
支持されている。ローラ軸支装置３０ｂは、ローラ軸支
装置３０ａと互いに同一構成であり、ホルダ３２ｂが支
持板３４ｂに固定され、ホルダ３２ｂ内に軸受け３６ｂ
が保持され、この軸受け３６ｂに小径軸２４ｂが嵌入支
持されている。
支持板３４ａに固定され、ホルダ３２ａ内に軸受け３６
ａが保持され、この軸受け３６ａに小径軸２４ａが嵌入
支持されている。ローラ軸支装置３０ｂは、ローラ軸支
装置３０ａと互いに同一構成であり、ホルダ３２ｂが支
持板３４ｂに固定され、ホルダ３２ｂ内に軸受け３６ｂ
が保持され、この軸受け３６ｂに小径軸２４ｂが嵌入支
持されている。
【０００５】被加工物４２は、例えば半導体インゴット
であって、そのオリエンテーションフラット面がワーク
ホルダ４４に接着され、ワークホルダ４４が不図示の機
構で昇降可能となっている。
であって、そのオリエンテーションフラット面がワーク
ホルダ４４に接着され、ワークホルダ４４が不図示の機
構で昇降可能となっている。
【０００６】上記構成において、被加工物４２を下降さ
せ、被加工物４２がワイヤ４０に接触すると、溝付きロ
ーラ２０が回転されてワイヤ４０がその線方向に走行さ
れ、また、砥粒を含む加工液が切断部付近のワイヤ４０
に流し当てられる。この状態で被加工物４２を下降させ
ると、ワイヤ４０で被加工物４２が切断され、多数枚の
ウエーハが同時に形成される。
せ、被加工物４２がワイヤ４０に接触すると、溝付きロ
ーラ２０が回転されてワイヤ４０がその線方向に走行さ
れ、また、砥粒を含む加工液が切断部付近のワイヤ４０
に流し当てられる。この状態で被加工物４２を下降させ
ると、ワイヤ４０で被加工物４２が切断され、多数枚の
ウエーハが同時に形成される。
【０００７】一回の切断に要する時間は例えば、直径５
インチのシリコン半導体インゴットで６時間である。こ
の間、切断条件を一定に保つことにより、ウエーハの面
精度を高くする必要がある。
インチのシリコン半導体インゴットで６時間である。こ
の間、切断条件を一定に保つことにより、ウエーハの面
精度を高くする必要がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ワイヤと被加
工物との間で発生する摩擦熱やローラ軸支装置の軸受で
発生する摩擦熱により、切断中に溝付きローラの温度が
変動して、熱膨張で溝ピッチｐが変動し、ウエーハにう
ねりが生じる。半導体集積回路の微細化が進んでいる今
日、ウエーハのうねりは、半導体装置の歩留まりを大き
く低下させる。
工物との間で発生する摩擦熱やローラ軸支装置の軸受で
発生する摩擦熱により、切断中に溝付きローラの温度が
変動して、熱膨張で溝ピッチｐが変動し、ウエーハにう
ねりが生じる。半導体集積回路の微細化が進んでいる今
日、ウエーハのうねりは、半導体装置の歩留まりを大き
く低下させる。
【０００９】本発明の目的は、このような問題点に鑑
み、切断されて形成されたウエーハのうねりを低減する
ことができるワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方
法を提供することにある。
み、切断されて形成されたウエーハのうねりを低減する
ことができるワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方
法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段及びその作用】本発明に係
るワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方法を、実施
例図中の対応する構成要素の符号を引用して説明する。
るワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方法を、実施
例図中の対応する構成要素の符号を引用して説明する。
【００１１】本第１発明のワイヤソー用溝付きローラで
は、例えば図１及び図２に示す如く、切断用ワイヤ４０
が巻掛けられるリング状の溝２６Ａが中実又は中空の金
属円柱２２Ａの外周面に所定ピッチｐで形成された溝付
きローラ２０Ａと、溝２６Ａにコーティングされた合成
樹脂２８とを備えている。
は、例えば図１及び図２に示す如く、切断用ワイヤ４０
が巻掛けられるリング状の溝２６Ａが中実又は中空の金
属円柱２２Ａの外周面に所定ピッチｐで形成された溝付
きローラ２０Ａと、溝２６Ａにコーティングされた合成
樹脂２８とを備えている。
【００１２】合成樹脂２８の熱膨張率は、普通、金属の
熱膨張率よりも１０倍程度大きいが、本発明のワイヤソ
ー用溝付きローラでは、合成樹脂２８が溝２６Ａにコー
ティングされているので、図１において、溝ピッチｐ
は、金属円柱２２Ａのみの熱膨張により定まり、大きな
熱膨張率を有する合成樹脂２８の熱膨張には影響されな
い。したがって、切断中に熱膨張で溝ピッチｐが変動す
ることによるウエーハのうねりを、低減することができ
る。
熱膨張率よりも１０倍程度大きいが、本発明のワイヤソ
ー用溝付きローラでは、合成樹脂２８が溝２６Ａにコー
ティングされているので、図１において、溝ピッチｐ
は、金属円柱２２Ａのみの熱膨張により定まり、大きな
熱膨張率を有する合成樹脂２８の熱膨張には影響されな
い。したがって、切断中に熱膨張で溝ピッチｐが変動す
ることによるウエーハのうねりを、低減することができ
る。
【００１３】図１において、溝２６Ａの深さをｈ、開き
角をφとすると、ｈを小さくしφを大きくすれば、切断
中にワイヤ４０が溝２６Ａから外れる。このワイヤ外れ
は、ワイヤ４０の直径ｐにも依存する。また、ｈ及びφ
の上限は、溝２６Ａのピッチｐにより制限される。溝ピ
ッチｐが小さい場合、溝の深さｈが制限されてワイヤ外
れが生じ易くなる。
角をφとすると、ｈを小さくしφを大きくすれば、切断
中にワイヤ４０が溝２６Ａから外れる。このワイヤ外れ
は、ワイヤ４０の直径ｐにも依存する。また、ｈ及びφ
の上限は、溝２６Ａのピッチｐにより制限される。溝ピ
ッチｐが小さい場合、溝の深さｈが制限されてワイヤ外
れが生じ易くなる。
【００１４】そこで、溝ピッチｐが小さい場合にワイヤ
外れが生じないようにするために、本第１発明の第１態
様では、例えば図４に示す如く、溝２６Ｂは、断面底部
がＶ字形であり、断面開口側壁面が金属円柱２２Ｂの外
周面と直角になっている。
外れが生じないようにするために、本第１発明の第１態
様では、例えば図４に示す如く、溝２６Ｂは、断面底部
がＶ字形であり、断面開口側壁面が金属円柱２２Ｂの外
周面と直角になっている。
【００１５】本第１発明の第２態様では、例えば図５に
示す如く、溝２６Ｃは、断面がＹ字形であり、合成樹脂
２８は、溝２６Ｃの底部に埋め込まれ、溝２６ＣのＶ字
形部斜面にコーティングされて、表面が略Ｖ字形になっ
ている。
示す如く、溝２６Ｃは、断面がＹ字形であり、合成樹脂
２８は、溝２６Ｃの底部に埋め込まれ、溝２６ＣのＶ字
形部斜面にコーティングされて、表面が略Ｖ字形になっ
ている。
【００１６】この構成の場合、合成樹脂２８の表面側底
面と溝底面との間の合成樹脂２８の厚さｔを容易に大き
くすることができるので、ワイヤ４０の張力変動の吸収
度が高くなる。これにより、切断されて形成されるウエ
ーハの面精度を向上させることができ、かつ、ワイヤ４
０の寿命をより長くすることができる。さらに、この厚
さｔが比較的大きいので、合成樹脂２８の寿命、すなわ
ち溝付きローラの取換寿命が長くなり、作業効率が向上
する。
面と溝底面との間の合成樹脂２８の厚さｔを容易に大き
くすることができるので、ワイヤ４０の張力変動の吸収
度が高くなる。これにより、切断されて形成されるウエ
ーハの面精度を向上させることができ、かつ、ワイヤ４
０の寿命をより長くすることができる。さらに、この厚
さｔが比較的大きいので、合成樹脂２８の寿命、すなわ
ち溝付きローラの取換寿命が長くなり、作業効率が向上
する。
【００１７】合成樹脂２８は、弾力性を有し、磨耗抵抗
が大きいものが好ましい。そこで、本第１発明の第３態
様では、合成樹脂２８として、このような性質を備えた
ポリウレタンを用いている。
が大きいものが好ましい。そこで、本第１発明の第３態
様では、合成樹脂２８として、このような性質を備えた
ポリウレタンを用いている。
【００１８】本第２発明のワイヤソー用溝付きローラ取
換方法では、例えば図３に示す如く、溝付きローラ１０
Ａ〜１０Ｂの金属円柱とワイヤ４０との間に電圧を印加
しておき、この金属円柱とワイヤ４０とが導通している
かどうかを判別し、その判別結果に基づいてワイヤソー
用溝付きローラを取り換える。
換方法では、例えば図３に示す如く、溝付きローラ１０
Ａ〜１０Ｂの金属円柱とワイヤ４０との間に電圧を印加
しておき、この金属円柱とワイヤ４０とが導通している
かどうかを判別し、その判別結果に基づいてワイヤソー
用溝付きローラを取り換える。
【００１９】これにより、合成樹脂２８の再コーティン
グ回数を必要最小限に抑えることができ、また、金属円
柱とワイヤ４０とが長時間接触するのを防止できるので
ワイヤ４０の寿命を長くすることができる。
グ回数を必要最小限に抑えることができ、また、金属円
柱とワイヤ４０とが長時間接触するのを防止できるので
ワイヤ４０の寿命を長くすることができる。
【００２０】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。
する。
【００２１】［第１実施例］図２は、ワイヤソーに用い
られる第１実施例のローリング装置１０Ａを示す。図１
は、ローリング装置１０Ａの溝付きローラ２０Ａの表面
部拡大図である。図６と同一構成要素には、同一符号を
付してその説明を省略する。
られる第１実施例のローリング装置１０Ａを示す。図１
は、ローリング装置１０Ａの溝付きローラ２０Ａの表面
部拡大図である。図６と同一構成要素には、同一符号を
付してその説明を省略する。
【００２２】溝付きローラ２０Ａは、金属製大径軸２２
の外周面にリング状の溝２６Ａが一定ピッチｐで形成さ
れている。溝２６Ａの断面は、Ｖ字形となっている。ま
た、大径軸２２Ａの外周面には合成樹脂２８がコーティ
ングされている。合成樹脂２８は、主に、溝２６Ａの面
で他の部分よりも厚くコーティングされている。
の外周面にリング状の溝２６Ａが一定ピッチｐで形成さ
れている。溝２６Ａの断面は、Ｖ字形となっている。ま
た、大径軸２２Ａの外周面には合成樹脂２８がコーティ
ングされている。合成樹脂２８は、主に、溝２６Ａの面
で他の部分よりも厚くコーティングされている。
【００２３】溝２６Ａの深さをｈ、開き角をφとする
と、ｈを小さくしφを大きくすれば、切断中にワイヤ４
０が溝２６Ａから外れる。このワイヤ外れは、ワイヤ４
０の直径ｄにも依存する。また、ｈ及びφの上限は、溝
２６Ａのピッチｐにより制限される。好ましい溝２６Ａ
の断面寸法は、例えば、ｄ＝０．１６ｍｍ、ｐ＝１．０
９ｍｍ対し、ｈ＝１．５７ｍｍ、φ＝５０°であり、ｄ
＝０．１６ｍｍ、ｐ＝０．５１ｍｍ対し、ｈ＝０．７３
ｍｍ、φ＝３５°である。
と、ｈを小さくしφを大きくすれば、切断中にワイヤ４
０が溝２６Ａから外れる。このワイヤ外れは、ワイヤ４
０の直径ｄにも依存する。また、ｈ及びφの上限は、溝
２６Ａのピッチｐにより制限される。好ましい溝２６Ａ
の断面寸法は、例えば、ｄ＝０．１６ｍｍ、ｐ＝１．０
９ｍｍ対し、ｈ＝１．５７ｍｍ、φ＝５０°であり、ｄ
＝０．１６ｍｍ、ｐ＝０．５１ｍｍ対し、ｈ＝０．７３
ｍｍ、φ＝３５°である。
【００２４】また、合成樹脂２８は、弾力性を有し、磨
耗抵抗が大きいもの、例えばポリウレタン、ポリプロピ
レン、テフロン等が好ましく、特にポリウレタンが好ま
しい。合成樹脂２８の溝斜面での厚さは、ポリウレタン
の場合、例えば０．２ｍｍである。
耗抵抗が大きいもの、例えばポリウレタン、ポリプロピ
レン、テフロン等が好ましく、特にポリウレタンが好ま
しい。合成樹脂２８の溝斜面での厚さは、ポリウレタン
の場合、例えば０．２ｍｍである。
【００２５】他の構成は、図６と同一である。
【００２６】図３に示す如く、互いに同一構成のローリ
ング装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃは、軸を互いに平行
にして配置され、これらの溝にワイヤ４０が巻掛けられ
ている。ローリング装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃは、
不図示の機構で連動回転される。
ング装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃは、軸を互いに平行
にして配置され、これらの溝にワイヤ４０が巻掛けられ
ている。ローリング装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃは、
不図示の機構で連動回転される。
【００２７】ワイヤ４０の始端側は、張力調節機構５０
を介してワイヤ巻取りドラム５２に巻掛けられている。
ワイヤ巻取りドラム５２は、軸受けを介して脚板５４に
支持され、ワイヤ巻取りドラム５２がトルクモータ５６
で回転駆動される。張力調節機構５０とワイヤ巻取りド
ラム５２との間のワイヤ４０の張力は、トルクモータ５
６に印加する電圧により調節され、張力調節機構５０と
ローリング装置１０Ｃとの間のワイヤ４０の張力は、張
力調節機構５０により一定に調節される。
を介してワイヤ巻取りドラム５２に巻掛けられている。
ワイヤ巻取りドラム５２は、軸受けを介して脚板５４に
支持され、ワイヤ巻取りドラム５２がトルクモータ５６
で回転駆動される。張力調節機構５０とワイヤ巻取りド
ラム５２との間のワイヤ４０の張力は、トルクモータ５
６に印加する電圧により調節され、張力調節機構５０と
ローリング装置１０Ｃとの間のワイヤ４０の張力は、張
力調節機構５０により一定に調節される。
【００２８】同様に、ワイヤ４０の終端側は、張力調節
機構５８を介してワイヤ巻取りドラム６０に巻掛けられ
ている。ワイヤ巻取りドラム６０は、軸受けを介して脚
板６２に軸支され、ワイヤ巻取りドラム６０がトルクモ
ータ６４で回転駆動される。ローリング装置１０Ｃと張
力調節機構５８の間のワイヤ４０の張力は、張力調節機
構５８により一定に調節され、張力調節機構５８とワイ
ヤ巻取りドラム６０との間のワイヤ４０の張力は、トル
クモータ６４に印加する電圧により調節される。
機構５８を介してワイヤ巻取りドラム６０に巻掛けられ
ている。ワイヤ巻取りドラム６０は、軸受けを介して脚
板６２に軸支され、ワイヤ巻取りドラム６０がトルクモ
ータ６４で回転駆動される。ローリング装置１０Ｃと張
力調節機構５８の間のワイヤ４０の張力は、張力調節機
構５８により一定に調節され、張力調節機構５８とワイ
ヤ巻取りドラム６０との間のワイヤ４０の張力は、トル
クモータ６４に印加する電圧により調節される。
【００２９】脚板５４と図２の支持板３４ａとの間に
は、直流電圧源７０、スイッチ７２及び抵抗器７４が配
線で直列接続されている。この支持板３４ａは、ローリ
ング装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃの各ローラ軸支装置
を介し各大径軸２２Ａに導通している。また、脚板５４
はワイヤ巻取りドラム５２を介しワイヤ４０に導通して
いる。抵抗器７４の端子間電圧は短絡判別回路７６に供
給され、短絡判別回路７６は、抵抗器７４の端子間電圧
が設定値以上になると、リセットスイッチ７７が押され
るまで出力を保持して、ブザー７８を鳴らし、かつ、短
絡を表示する表示灯８０を点灯させる。
は、直流電圧源７０、スイッチ７２及び抵抗器７４が配
線で直列接続されている。この支持板３４ａは、ローリ
ング装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃの各ローラ軸支装置
を介し各大径軸２２Ａに導通している。また、脚板５４
はワイヤ巻取りドラム５２を介しワイヤ４０に導通して
いる。抵抗器７４の端子間電圧は短絡判別回路７６に供
給され、短絡判別回路７６は、抵抗器７４の端子間電圧
が設定値以上になると、リセットスイッチ７７が押され
るまで出力を保持して、ブザー７８を鳴らし、かつ、短
絡を表示する表示灯８０を点灯させる。
【００３０】次に、上記の如く構成されたワイヤソーの
動作を説明する。
動作を説明する。
【００３１】被加工物４２が下降され、被加工物４２が
ワイヤ４０に接触され、溝付きローラ２０が回転されて
ワイヤ４０がその線方向に走行され、また、砥粒を含む
加工液がワイヤ４０に流し当てられる。この状態で被加
工物４２を下降させると、ラッピング作用により被加工
物４２が切断され、多数枚のウエーハが同時に形成され
る。
ワイヤ４０に接触され、溝付きローラ２０が回転されて
ワイヤ４０がその線方向に走行され、また、砥粒を含む
加工液がワイヤ４０に流し当てられる。この状態で被加
工物４２を下降させると、ラッピング作用により被加工
物４２が切断され、多数枚のウエーハが同時に形成され
る。
【００３２】大径軸２２Ａの外周面にコーティングされ
た合成樹脂２８は比較的薄いので、加工液をワイヤ４０
に流し当てることにより、大径軸２２Ａを従来よりも効
率よく冷却することができ、大径軸２２Ａの温度を従来
よりもより一定に保持することが容易となる。
た合成樹脂２８は比較的薄いので、加工液をワイヤ４０
に流し当てることにより、大径軸２２Ａを従来よりも効
率よく冷却することができ、大径軸２２Ａの温度を従来
よりもより一定に保持することが容易となる。
【００３３】また、合成樹脂２８の熱膨張率は、普通、
金属製大径軸２２Ａの熱膨張率よりも１０倍程度大きい
が、図１において、溝ピッチｐは、大径軸２２Ａのみの
熱膨張により定まり、大きな熱膨張率を有する合成樹脂
２８の熱膨張には影響されない。したがって、切断中に
熱膨張で溝ピッチｐが変動することにより、切断されて
形成されるウエーハのうねりを、従来よりも低減するこ
とができる。
金属製大径軸２２Ａの熱膨張率よりも１０倍程度大きい
が、図１において、溝ピッチｐは、大径軸２２Ａのみの
熱膨張により定まり、大きな熱膨張率を有する合成樹脂
２８の熱膨張には影響されない。したがって、切断中に
熱膨張で溝ピッチｐが変動することにより、切断されて
形成されるウエーハのうねりを、従来よりも低減するこ
とができる。
【００３４】切断回数が多数回となって、溝２６Ａの面
にコーティングされた合成樹脂２８が劣化し、ワイヤ４
０が大径軸２２Ａに接触すると、抵抗器７４の端子間に
電圧が加わり、これが設定値以上となって、短絡判別回
路７６によりブザー７８及び表示灯８０がオンにされ
る。作業者は、スイッチ７２をオフにし、かつ、リセッ
トスイッチ７７を押して、短絡判別回路７６の出力をオ
フにし、被加工物４２の切断が終了した後に、ローリン
グ装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃの溝付きローラ２０Ａ
を取り換える。そして、取り外した溝付きローラ２０Ａ
の合成樹脂２８を溶融剥離させ、再度合成樹脂２８を大
径軸２２Ａ上にコーティングして再使用に備える。
にコーティングされた合成樹脂２８が劣化し、ワイヤ４
０が大径軸２２Ａに接触すると、抵抗器７４の端子間に
電圧が加わり、これが設定値以上となって、短絡判別回
路７６によりブザー７８及び表示灯８０がオンにされ
る。作業者は、スイッチ７２をオフにし、かつ、リセッ
トスイッチ７７を押して、短絡判別回路７６の出力をオ
フにし、被加工物４２の切断が終了した後に、ローリン
グ装置１０Ａ、１０Ｂ及び１０Ｃの溝付きローラ２０Ａ
を取り換える。そして、取り外した溝付きローラ２０Ａ
の合成樹脂２８を溶融剥離させ、再度合成樹脂２８を大
径軸２２Ａ上にコーティングして再使用に備える。
【００３５】これにより、合成樹脂２８の再コーティン
グ回数を必要最小限に抑えることができ、また、金属製
大径軸２２Ａとワイヤ４０とが長時間接触するのを防止
できるのでワイヤ４０の寿命を長くすることができる。
グ回数を必要最小限に抑えることができ、また、金属製
大径軸２２Ａとワイヤ４０とが長時間接触するのを防止
できるのでワイヤ４０の寿命を長くすることができる。
【００３６】［第２実施例］上記第１実施例では、溝ピ
ッチｐが小さい場合、溝の深さｈが制限されてワイヤ外
れが生じ易くなる。そこで、本第２実施例では、溝付き
ローラ２０Ｂの外周面に形成されたリング状の溝２６Ｂ
の断面形状を、図４に示す如く、底部でＶ字形とし、開
口側壁面を外周面と直角にしている。
ッチｐが小さい場合、溝の深さｈが制限されてワイヤ外
れが生じ易くなる。そこで、本第２実施例では、溝付き
ローラ２０Ｂの外周面に形成されたリング状の溝２６Ｂ
の断面形状を、図４に示す如く、底部でＶ字形とし、開
口側壁面を外周面と直角にしている。
【００３７】また、合成樹脂２８を、溝２６Ｂ内のみコ
ーティングしており、隣合う溝２６Ｂの間の溝付きロー
ラ２０Ｂの外周面にはコーティングしていない。これに
より、加工液が直接この面に接し、冷却効果が第１実施
例の場合よりも高められ、かつ、大径軸２２Ｂの軸方向
に沿った温度分布を均一にすることができる。したがっ
て、切断されて形成されるウエーハのうねりを、第１実
施例の場合よりも低減することができる。
ーティングしており、隣合う溝２６Ｂの間の溝付きロー
ラ２０Ｂの外周面にはコーティングしていない。これに
より、加工液が直接この面に接し、冷却効果が第１実施
例の場合よりも高められ、かつ、大径軸２２Ｂの軸方向
に沿った温度分布を均一にすることができる。したがっ
て、切断されて形成されるウエーハのうねりを、第１実
施例の場合よりも低減することができる。
【００３８】他の点は、上記第１実施例と同一である。
【００３９】［第３実施例］図５は、第３実施例の溝付
きローラの表面部断面を、図１と対応させて示す。この
溝付きローラ２０Ｃは、金属製大径軸２２Ｃの外周面に
形成されたリング状の溝２６Ｃの断面形状がＹ字形とな
っており、溝２６Ｃは、開口側のＶ字部２６１と底側の
Ｕ字部２６２とからなる。Ｕ字部２６２には、合成樹脂
２８が埋め込まれている。
きローラの表面部断面を、図１と対応させて示す。この
溝付きローラ２０Ｃは、金属製大径軸２２Ｃの外周面に
形成されたリング状の溝２６Ｃの断面形状がＹ字形とな
っており、溝２６Ｃは、開口側のＶ字部２６１と底側の
Ｕ字部２６２とからなる。Ｕ字部２６２には、合成樹脂
２８が埋め込まれている。
【００４０】他の構成は、上記第２実施例と同一であ
る。
る。
【００４１】本第３実施例では、Ｕ字部２６２により、
合成樹脂２８の表面側の底面と、Ｕ字部２６２の底面と
の間の合成樹脂２８の厚さｔを容易に大きくすることが
できるので、ワイヤ４０に対する合成樹脂２８の弾性定
数は、第１実施例の場合よりも小さくなって、ワイヤ４
０の張力変動を吸収し易くなる。これにより、切断され
て形成されるウエーハの面精度を向上させることがで
き、かつ、ワイヤ４０の寿命をより長くすることができ
る。さらに、この厚さｔが第１実施例の場合よりも大き
いので、合成樹脂２８の寿命が第１実施例の場合よりも
長くなり、作業効率が向上する。
合成樹脂２８の表面側の底面と、Ｕ字部２６２の底面と
の間の合成樹脂２８の厚さｔを容易に大きくすることが
できるので、ワイヤ４０に対する合成樹脂２８の弾性定
数は、第１実施例の場合よりも小さくなって、ワイヤ４
０の張力変動を吸収し易くなる。これにより、切断され
て形成されるウエーハの面精度を向上させることがで
き、かつ、ワイヤ４０の寿命をより長くすることができ
る。さらに、この厚さｔが第１実施例の場合よりも大き
いので、合成樹脂２８の寿命が第１実施例の場合よりも
長くなり、作業効率が向上する。
【００４２】
【発明の効果】以上説明した如く、本第１発明に係るワ
イヤソー用溝付きローラでは、金属円柱外周面に形成さ
れた溝に合成樹脂がコーティングされているので、溝ピ
ッチは金属円柱のみの熱膨張により定まり、大きな熱膨
張率を有する合成樹脂の熱膨張には影響されず、したが
って、切断中に熱膨張で溝ピッチが変動することによる
ウエーハのうねりを低減することができるという優れた
効果を奏し、半導体装置の歩留まり向上に寄与するとこ
ろが大きい。
イヤソー用溝付きローラでは、金属円柱外周面に形成さ
れた溝に合成樹脂がコーティングされているので、溝ピ
ッチは金属円柱のみの熱膨張により定まり、大きな熱膨
張率を有する合成樹脂の熱膨張には影響されず、したが
って、切断中に熱膨張で溝ピッチが変動することによる
ウエーハのうねりを低減することができるという優れた
効果を奏し、半導体装置の歩留まり向上に寄与するとこ
ろが大きい。
【００４３】本第１発明の第１態様では、溝は、断面底
部がＶ字形であり、断面開口側壁面が金属円柱の外周面
と直角になっているので、溝ピッチが小さくてもワイヤ
外れが生じないようにすることができるという効果を奏
する。
部がＶ字形であり、断面開口側壁面が金属円柱の外周面
と直角になっているので、溝ピッチが小さくてもワイヤ
外れが生じないようにすることができるという効果を奏
する。
【００４４】本第１発明の第２態様では、溝は、断面が
Ｙ字形であり、合成樹脂は、溝の底部に埋め込まれ、溝
のＶ字形部斜面にコーティングされて、表面が略Ｖ字形
になっているので、合成樹脂の表面側底面と溝底面との
間の合成樹脂の厚さを容易に大きくすることができ、ワ
イヤに対する合成樹脂の弾性定数が小さくなって、ワイ
ヤの張力変動を吸収し易くなり、これにより、切断され
て形成されるウエーハの面精度を向上させることがで
き、かつ、ワイヤの寿命をより長くすることができ、さ
らに、該厚さが比較的大きいので、合成樹脂の寿命、す
なわち溝付きローラの取換寿命が長くなり、作業効率が
向上するという効果を奏する。
Ｙ字形であり、合成樹脂は、溝の底部に埋め込まれ、溝
のＶ字形部斜面にコーティングされて、表面が略Ｖ字形
になっているので、合成樹脂の表面側底面と溝底面との
間の合成樹脂の厚さを容易に大きくすることができ、ワ
イヤに対する合成樹脂の弾性定数が小さくなって、ワイ
ヤの張力変動を吸収し易くなり、これにより、切断され
て形成されるウエーハの面精度を向上させることがで
き、かつ、ワイヤの寿命をより長くすることができ、さ
らに、該厚さが比較的大きいので、合成樹脂の寿命、す
なわち溝付きローラの取換寿命が長くなり、作業効率が
向上するという効果を奏する。
【００４５】本第１発明の第３態様では、合成樹脂とし
てポリウレタンを用いているので、弾力性を有しかつ磨
耗抵抗が大きく、好ましい。
てポリウレタンを用いているので、弾力性を有しかつ磨
耗抵抗が大きく、好ましい。
【００４６】本第２発明のワイヤソー用溝付きローラ取
換方法では、溝付きローラの金属円柱とワイヤとの間に
電圧を印加しておき、この金属円柱とワイヤとが導通し
ているかどうかを判別し、その判別結果に基づいて溝付
きローラを取り換えるので、合成樹脂の再コーティング
回数を必要最小限に抑えることができ、また、金属円柱
とワイヤとが長時間接触するのを防止できるのでワイヤ
の寿命を長くすることができるという効果を奏する。
換方法では、溝付きローラの金属円柱とワイヤとの間に
電圧を印加しておき、この金属円柱とワイヤとが導通し
ているかどうかを判別し、その判別結果に基づいて溝付
きローラを取り換えるので、合成樹脂の再コーティング
回数を必要最小限に抑えることができ、また、金属円柱
とワイヤとが長時間接触するのを防止できるのでワイヤ
の寿命を長くすることができるという効果を奏する。
【図１】本発明の第１実施例の溝付きローラの表面部断
面図である。
面図である。
【図２】ローリング装置の一部断面正面図である。
【図３】ローリング装置が適用されたワイヤソーの全体
構成図である。
構成図である。
【図４】本発明の第２実施例の溝付きローラの表面部断
面図である。
面図である。
【図５】本発明の第３実施例の溝付きローラの表面部断
面図である。
面図である。
【図６】従来のローリング装置の一部断面正面図であ
る。
る。
１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ ローリング装置 ２０、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ 溝付きローラ ２２、２２Ａ、２２Ｂ、２０Ｃ 大径軸 ２４ａ、２４ｂ 小径軸 ２５ スリーブ ２６、２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ 溝 ２６１ Ｖ字部 ２６２ Ｕ字部 ２８ 合成樹脂 ３０ａ、３０ｂ ローラ軸支装置 ３２ａ、３２ｂ ホルダ ３４ａ、３４ｂ 支持板 ３６ａ、３６ｂ 軸受け ４０ ワイヤ ４２ 被加工物 ４４ ワークホルダ ５２、６０ ワイヤ巻取りドラム ５６、６４ トルクモータ ７０ 直流電圧源 ７２ スイッチ ７７ リセットスイッチ ７８ ブザー ８０ 表示灯
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木内 悦男 群馬県群馬郡群馬町足門762番地 三益半 導体工業株式会社内 (72)発明者 早川 和男 群馬県群馬郡群馬町足門762番地 三益半 導体工業株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 切断用ワイヤ（４０）が巻掛けられるリ
ング状の溝（２６Ａ〜２６Ｃ）が金属円柱（２２Ａ〜２
２Ｃ）の外周面に所定ピッチ（ｐ）で形成された回転軸
（２０Ａ〜２０Ｃ）と、 該溝にコーティングされた合成樹脂（２８）と、 を有することを特徴とするワイヤソー用溝付きローラ。 - 【請求項２】 前記溝（２６Ｂ）は、断面底部がＶ字形
であり、断面開口側壁面が前記金属円柱（２２Ｂ）の外
周面と直角になっていることを特徴とする請求項１記載
のワイヤソー用溝付きローラ。 - 【請求項３】 前記溝（２６Ｃ）は、断面がＹ字形であ
り、 前記合成樹脂（２８）は、該溝の底部（２６２）に埋め
込まれ、該溝のＶ字形部斜面にコーティングされて、表
面が略Ｖ字形になっていることを特徴とする請求項１記
載のワイヤソー用溝付きローラ。 - 【請求項４】 前記合成樹脂（２８）は、ポリウレタン
であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１つ
に記載のワイヤソー用溝付きローラ。 - 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれか１つに記載の
ワイヤソー用溝付きローラの前記金属円柱（２２Ａ〜２
２Ｃ）と前記ワイヤ（４０）との間に電圧を印加してお
き、該金属円柱と該ワイヤとが導通しているかどうかを
判別し、その判別結果に基づいて該ワイヤソー用溝付き
ローラを取り換えることを特徴とするワイヤソー用溝付
きローラ取換方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3316694A JP2840491B2 (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | ワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3316694A JP2840491B2 (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | ワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05146968A true JPH05146968A (ja) | 1993-06-15 |
| JP2840491B2 JP2840491B2 (ja) | 1998-12-24 |
Family
ID=18079864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3316694A Expired - Fee Related JP2840491B2 (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | ワイヤソー用溝付きローラ及びその取換方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2840491B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0788857A1 (fr) * | 1996-02-06 | 1997-08-13 | HAUSER, Charles | Dispositif de sciage par fil |
| EP0827798A1 (en) * | 1996-09-06 | 1998-03-11 | SHARP Corporation | A multi-wire saw |
| US5758633A (en) * | 1996-02-06 | 1998-06-02 | Hauser; Charles | Wire sawing device |
| US8020669B2 (en) | 2000-12-08 | 2011-09-20 | Kone Corporation | Elevator and traction sheave of an elevator |
| JP2013126704A (ja) * | 2011-12-19 | 2013-06-27 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 溝付きローラー及びこれを用いたワイヤーソー |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0274158U (ja) * | 1988-11-29 | 1990-06-06 | ||
| JPH0274160U (ja) * | 1988-11-29 | 1990-06-06 |
-
1991
- 1991-11-29 JP JP3316694A patent/JP2840491B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0274158U (ja) * | 1988-11-29 | 1990-06-06 | ||
| JPH0274160U (ja) * | 1988-11-29 | 1990-06-06 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0788857A1 (fr) * | 1996-02-06 | 1997-08-13 | HAUSER, Charles | Dispositif de sciage par fil |
| US5758633A (en) * | 1996-02-06 | 1998-06-02 | Hauser; Charles | Wire sawing device |
| US5910203A (en) * | 1996-02-06 | 1999-06-08 | Hct Shaping Systems Sa | Wire sawing device |
| EP0788858A3 (fr) * | 1996-02-06 | 2000-01-19 | HCT Shaping Systems SA | Dispositif de sciage par fil |
| EP0827798A1 (en) * | 1996-09-06 | 1998-03-11 | SHARP Corporation | A multi-wire saw |
| US8020669B2 (en) | 2000-12-08 | 2011-09-20 | Kone Corporation | Elevator and traction sheave of an elevator |
| US8069955B2 (en) | 2000-12-08 | 2011-12-06 | Kone Corporation | Elevator and traction sheave of an elevator |
| JP2013126704A (ja) * | 2011-12-19 | 2013-06-27 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 溝付きローラー及びこれを用いたワイヤーソー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2840491B2 (ja) | 1998-12-24 |
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