JP2008536693A - 材料転写用ピン - Google Patents
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Abstract
Description
粘着性を有するフラックス剤を塗布するためのピンであって、
長手方向に軸を有し、基部及びこの基部と相対向する側に設けられた端部を有するシャフトと、
前記シャフトの長手方向に配置され、前記シャフトの基部へ向けて第1の円周部から第2の狭小化された円周部へ向かって傾斜した第1のテーパー形状部とを具え、
前記第1のテーパー形状部の傾斜角度が、前記フラックス剤が前記基部へ向かって前記シャフト上を移動するのを少なくとも部分的に防止するように決定したことを特徴とする、ピンに関する。
前記第1のテーパー形状部と前記シャフトの前記基部との間に位置する、前記シャフトの長手方向軸上に設けられ、前記シャフトの前記端部へ向けて第3の円周部から第4の狭小化された円周部へ向かって傾斜した第2のテーパー形状部を具えることを特徴とする。
長手方向に軸を有し、基部及びこの基部と相対向する側に設けられた端部を有するシャフトと、
前記シャフトの長手方向に配置され、前記シャフトの基部へ向けて第1の円周部から第2の狭小化された円周部へ向かって傾斜した第1のテーパー形状部とを具え、
前記第1のテーパー形状部の傾斜角度が、約0.5−60度の範囲にあることを特徴とする、ピンに関する。
長手方向に軸を有し、基部及びこの基部と相対向する側に設けられた端部を有するシャフトと、
前記シャフトの長手方向に配置され、前記シャフトの基部へ向けて第1の円周部から第2の狭小化された円周部へ向かって傾斜した第1のテーパー形状部とを具えるピンを開示する。
支持体と、
前記支持体に装着された複数のピンのアレイとを具え、
前記ピンは、長手方向に軸を有し、基部及びこの基部と相対向する側に設けられた端部を有するシャフトと、前記シャフトの長手方向に配置され、前記シャフトの基部へ向けて第1の円周部から第2の狭小化された円周部へ向かって傾斜した第1のテーパー形状部とを具えることを特徴とする、フラックスインプリント装置に関する。
前記ピンは、長手方向に軸を有し、基部及びこの基部と相対向する側に設けられた端部を有するシャフトと、前記シャフトの長手方向に配置され、前記シャフトの基部へ向けて第1の円周部から第2の狭小化された円周部へ向かって傾斜した第1のテーパー形状部とを具え、
(a)前記ピンのアレイをフラックス剤に接触させる工程と、
(b)前記フラックス剤を前記ピンの少なくとも前記第1のテーパー形状部に付着させるとともに、前記ピンのアレイを前記フラックス剤から離隔する工程と、
(c)前記ピンの前記端部を基板上に接触させることによって、前記基板上に前記フラックス剤を付着させる工程と、
を具えることを特徴とする、フラックス剤のインプリント方法に関する。
(a)前記ピンのアレイをフラックス剤に接触させる工程と、
(b)前記フラックス剤を前記ピンの少なくとも前記第1のテーパー形状部に付着させるとともに、前記ピンのアレイを前記フラックス剤から離隔する工程と、
(c)前記ピンの前記端部を基板上に接触させることによって、前記基板上に前記フラックス剤を付着させる工程と、
を具える。
Claims (40)
- 粘着性を有するフラックス剤を塗布するためのピンであって、
長手方向に軸を有し、基部及びこの基部と相対向する側に設けられた端部を有するシャフトと、
前記シャフトの長手方向に配置され、前記シャフトの基部へ向けて第1の円周部から第2の狭小化された円周部へ向かって傾斜した第1のテーパー形状部とを具え、
前記第1のテーパー形状部の傾斜角度が、前記フラックス剤が前記基部へ向かって前記シャフト上を移動するのを少なくとも部分的に防止するように決定したことを特徴とする、ピン。 - 前記第1のテーパー形状部と前記シャフトの前記基部との間に位置する、前記シャフトの長手方向軸上に設けられ、前記シャフトの前記端部へ向けて第3の円周部から第4の狭小化された円周部へ向かって傾斜した第2のテーパー形状部を具えることを特徴とする、請求項1に記載のピン。
- 使用に際し、前記第1のテーパー形状部の前記傾斜角度によって、前記シャフト上を前記基部に向けて前記フラックス剤が移動するのを部分的に防止することを特徴とする、請求項1に記載のピン。
- 使用に際し、前記第1のテーパー形状部及び前記第2のテーパー形状部間の相対的な傾斜角度によって、前記シャフト上を前記第1のテーパー形状部を超えて前記フラックス剤が移動するのを部分的に防止することを特徴とする、請求項2に記載のピン。
- 前記第1のテーパー形状部と前記シャフトの前記端部との間に位置する、前記シャフトの長手方向軸上に設けられた第3のテーパー形状部を具えることを特徴とする、請求項1に記載のピン。
- 前記第3のテーパー形状部は、前記シャフトの前記基部へ向けて、第5の円周部から第6の狭小化された円周部へ向かって傾斜していることを特徴とする、請求項5に記載のピン。
- 前記第3のテーパー形状部の前記第6の円周部は、前記第1のテーパー形状部の前記第2の円周部よりも小さいことを特徴とする、請求項6に記載のピン。
- 前記第1のテーパー形状部の前記第1の円周部は、前記第3のテーパー形状部の前記第5の円周部よりも大きいことを特徴とする、請求項6に記載のピン。
- 前記第1のテーパー形状部の前記第2の円周部は、前記第2のテーパー形状部の前記第4の円周部と同一であることを特徴とする、請求項2に記載のピン。
- 前記第1のテーパー形状部の傾斜角度と、前記第2のテーパー形状部の傾斜角度とは同一であることを特徴とする、請求項2に記載のピン。
- 前記第1のテーパー形状部の傾斜角度と、前記第2のテーパー形状部の傾斜角度とは、互いに異なることを特徴とする、請求項2に記載のピン。
- 前記第2のテーパー形状部の傾斜角度は、前記第1のテーパー形状部の傾斜角度よりも小さいことを特徴とする、請求項2に記載のピン。
- 前記第2のテーパー形状部の傾斜角度は、約0.5−40度、約0.5−35度、約0.5−30度、約0.5−25度、約0.5−20度、約0.5−15度、約0.5−10度、約0.5−5度、約0.75−40度、約1−40度、約1.5−40度、約2−40度、及び約2−5度の範囲の群から選ばれる範囲内であることを特徴とする、請求項2に記載のピン。
- 前記第1のテーパー形状部の傾斜角度は、約0.5−60度、約0.5−50度、約0.5−40度、約0.5−35度、約0.5−30度、約0.5−25度、約0.5−20度、約0.5−15度、約0.5−10度、約0.5−5度、約0.75−60度、約1−60度、約1.5−60度、約2−60度、及び約2−5度の範囲の群から選ばれる範囲内であることを特徴とする、請求項1に記載のピン。
- 前記ピンの前記端部は、摩耗部を具えることを特徴とする、請求項1に記載のピン。
- 前記第1のテーパー形状部、前記第2のテーパー形状部及び前記第3のテーパー形状部は、前記シャフトと一体となって構成されていることを特徴とする、請求項5に記載のピン。
- 基板上にフラックス剤をインプリントするための、フラックスインプリント装置であって、
支持体と、
前記支持体に装着された複数のピンのアレイとを具え、
前記ピンは、長手方向に軸を有し、基部及びこの基部と相対向する側に設けられた端部を有するシャフトと、前記シャフトの長手方向に配置され、前記シャフトの基部へ向けて第1の円周部から第2の狭小化された円周部へ向かって傾斜した第1のテーパー形状部とを具えることを特徴とする、フラックスインプリント装置。 - 前記ピンは、前記第1のテーパー形状部と前記シャフトの前記基部との間に位置する、前記シャフトの長手方向軸上に設けられ、前記シャフトの前記端部へ向けて第3の円周部から第4の狭小化された円周部へ向かって傾斜した第2のテーパー形状部を具えることを特徴とする、請求項17に記載のフラックスインプリント装置。
- 使用に際し、前記第1のテーパー形状部の前記傾斜角度によって、前記シャフト上を前記基部に向けて前記フラックス剤が移動するのを部分的に防止することを特徴とする、請求項17に記載のフラックスインプリント装置。
- 使用に際し、前記第1のテーパー形状部及び前記第2のテーパー形状部間の相対的な傾斜角度によって、前記シャフト上を前記第1のテーパー形状部を超えて前記フラックス剤が移動するのを部分的に防止することを特徴とする、請求項18に記載のフラックスインプリント装置。
- 前記支持体と前記アレイを構成する前記ピンの前記基部との間において、付勢手段を具えることを特徴とする、請求項17に記載のフラックスインプリント装置。
- 前記付勢手段は少なくとも一つのバネであることを特徴とする、請求項21に記載のフラックスインプリント装置。
- 前記ピンは、前記第1のテーパー形状部と前記シャフトの前記端部との間に位置する、前記シャフトの長手方向軸上に設けられた第3のテーパー形状部を具えることを特徴とする、請求項17に記載のフラックスインプリント装置。
- 前記第3のテーパー形状部は、前記シャフトの前記基部へ向けて、第5の円周部から第6の狭小化された円周部へ向かって傾斜していることを特徴とする、請求項23に記載のフラックスインプリント装置。
- 前記第3のテーパー形状部の前記第5の円周部は、前記第1のテーパー形状部の前記第1の円周部よりも小さいことを特徴とする、請求項24に記載のフラックスインプリント装置。
- 前記第1のテーパー形状部の前記第2の円周部は、前記第2のテーパー形状部の前記第4の円周部と同一であることを特徴とする、請求項18に記載のフラックスインプリント装置。
- 前記第1のテーパー形状部の傾斜角度と、前記第2のテーパー形状部の傾斜角度とは同一であることを特徴とする、請求項18に記載のフラックスインプリント装置。
- 前記第1のテーパー形状部の傾斜角度と、前記第2のテーパー形状部の傾斜角度とは、互いに異なることを特徴とする、請求項18に記載のフラックスインプリント装置。
- 前記第2のテーパー形状部の傾斜角度は、前記第1のテーパー形状部の傾斜角度よりも小さいことを特徴とする、請求項18に記載のフラックスインプリント装置。
- 前記第2のテーパー形状部の傾斜角度は、約0.5−40度、約0.5−35度、約0.5−30度、約0.5−25度、約0.5−20度、約0.5−15度、約0.5−10度、約0.5−5度、約0.75−40度、約1−40度、約1.5−40度、約2−40度、及び約2−5度の範囲の群から選ばれる範囲内であることを特徴とする、請求項18に記載のフラックスインプリント装置。
- 前記第1のテーパー形状部の傾斜角度は、約0.5−60度、約0.5−50度、約0.5−40度、約0.5−35度、約0.5−30度、約0.5−25度、約0.5−20度、約0.5−15度、約0.5−10度、約0.5−5度、約0.75−60度、約1−60度、約1.5−60度、約2−60度、及び約2−5度の範囲の群から選ばれる範囲内であることを特徴とする、請求項17に記載のフラックスインプリント装置。
- 前記ピンの前記端部は、摩耗部を具えることを特徴とする、請求項17に記載のフラックスインプリント装置。
- 前記第1のテーパー形状部、前記第2のテーパー形状部及び前記第3のテーパー形状部は、前記シャフトと一体となって構成されていることを特徴とする、請求項23に記載のフラックスインプリント装置。
- 支持体、及び支持体に装着された複数のピンのアレイを具えたフラックスインプリント装置を用いたフラックス剤のインプリント方法であって、
前記ピンは、長手方向に軸を有し、基部及びこの基部と相対向する側に設けられた端部を有するシャフトと、前記シャフトの長手方向に配置され、前記シャフトの基部へ向けて第1の円周部から第2の狭小化された円周部へ向かって傾斜した第1のテーパー形状部とを具え、
(a)前記ピンのアレイをフラックス剤に接触させる工程と、
(b)前記フラックス剤を前記ピンの少なくとも前記第1のテーパー形状部に付着させるとともに、前記ピンのアレイを前記フラックス剤から離隔する工程と、
(c)前記ピンの前記端部を基板上に接触させることによって、前記基板上に前記フラックス剤を付着させる工程と、
を具えることを特徴とする、フラックス剤のインプリント方法。 - 前記ピンのアレイを前記フラックス剤に接触させる工程は、前記ピンのアレイを前記フラックス剤中に挿入する工程を具えることを特徴とする、請求項34に記載のフラックス剤のインプリント方法。
- 前記基板上に前記フラックス剤を付着させる工程は、前記基板上に前記ピンを圧接する工程を具えることを特徴とする、請求項34に記載のフラックス剤のインプリント方法。
- 前記ピンのアレイを前記基板から離隔する工程を具えることを特徴とする、請求項34に記載のフラックス剤のインプリント方法。
- 請求項34に記載の方法で付着させるフラックス剤。
- 前記第1のテーパー形状部と前記第3のテーパー形状部との間に位置する、前記シャフトの長手方向軸上に設けられた第4のテーパー形状部を具えることを特徴とする、請求項5に記載のピン。
- 前記第4のテーパー形状部は、前記シャフトの前記端部へ向けて、第7の円周部から第8の狭小化された円周部へ向かって傾斜していることを特徴とする、請求項39に記載のピン。
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