KR100253612B1 - 비기체 소스로부터의 화학 증기를 반도체 처리 유닛에 공급하는 일체화된 통합형 화학 증기 전송 장치 및 모듈 - Google Patents

비기체 소스로부터의 화학 증기를 반도체 처리 유닛에 공급하는 일체화된 통합형 화학 증기 전송 장치 및 모듈 Download PDF

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Abstract

반도체 가공을 위해 액체 공급원으로부터 공급된 액체를 기화시키도록 가열되는 저장기(44)를 구비한 통합식 모듈(11)이 개시된다. 저장기로부터의 증기 유동을 제어하는 배합 밸브(21) 및 차단 밸브(20)은 밸브(20,21)의 간단한 전도 가열을 위해 모듈(11)상에 장착된다. 커패시터스 압력계(19) 또한 모ㅠㄹ(11)사에 장착되며 자에 가열요소(64A,64B)르르 갖는다. 증기의 응축은 사라지고 연속적인 성능과 증기의 응축은 사라지고 연속적인 성능과 확실성이 성취된다.

Description

[발명의 명칭]
비기체 소스로부터의 화학 증기를 반도체 처리 유닛에 공급하는 일체화된 통합형 화학 증기 전송 장치 및 모듈
[발명의 상세한 설명]
[발명의 배경]
본 발명은 반도체 웨이퍼 처리 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 말하면 액체 소스(liquid source)로부터의 화학 증기를 공급하는 화학 증기 전송 장치에 관한 것이다.
많은 반도체 웨이퍼 처리 공정은 반도체 웨이퍼를 처리함에 있어서 하나 이상의 반도체 웨이퍼가 배치되어 있는 가공 챔버 내로 많은 종류의 기체를 공급하는 것을 필요로 한다. 전형적으로, 소스로서의 이들 기체는 가압 탱크 내에서, 예컨대 질소, 산소, 수소, 아르신 등의 기체 상태로 존재한다. 그러나, 일부의 공정은 소스가 액체인 기체를 이용한다. 그 액체는 가열되어 증기로 전환되어 가공 챔버 내로 유입된다.
이제까지의 액체 소스를 사용하는 전송 장치는 액체 소스로부터의 화학 증기를 발생시키기 위하여 기포 발생 유닛 또는 가열되는 저장조를 사용했었다. 기포 발생 유닛에서는, 질소와 같은 불활성 기체가 액체 소스를 통해서 기포가 되어 불활성 기체와 함께 화학 물질의 분자를 운반한다. 액체는 가열된 저장조에서 가열되어 소스인 화학 물질을 기화시킨다.
이러한 전송 장치에 있어서, 밸브와, 압력 및 질량 유량 제어기(mass flow controller), 화학 증기가 통과하는 피이드 라인(feed line)과 같은 분리된 유닛은 기포 발생 유닛 또는 저장조 유닛과 처리 챔버와의 사이에 연결되어 있다. 이들 분리된 유닛들 각각은 가열될 수도 있다. 어떤 경우에도, 이와 같이 복잡한 전송 장치에는 문제가 발생한다. 즉, 이 전송 장치가 가열되어 있지 않거나 또는 불충분하게 가열된 경우에 결로(結露) 현상이 발생하게 되며, 이에 따라 신뢰도가 결여되고, 또한 성능의 일관성도 문제가 된다.
또한, 이들 전송 장치의 질량 유량 제어기는 제한된 성능을 갖는다. 이들 질량 유량 제어기는 유량을 감지하기 위해 가열된 바이패스 센서(bypass sensor)를 사용하기 때문에, 70℃ 이상의 온도에서 작동하기가 어렵다. 이 바이패스 센서는 두 개의 부분으로 구성된다. 제1부분은 기체를 가열하는 (전기) 저항 가열벽을 구비한다. 제2 부분은 가열되지 않으며, 제1부분에서 가열된 기체의 온도를 측정한다. 바이패스로 도입하는 기체와 바이패스를 나오는 기체와의 온도차가 측정되어 기체의 유량이 결정된다. 기체의 온도가 70℃ 이상일 경우, 온도차가 매우 작기 때문에, 오늘날의 질량 유량 제어기로는 기체 유량을 결정하기에 곤란하다. 또한, 가열되지 않은 제2 부분은 결로 문제의 원인이 된다.
본 발명은 액체 소스로부터 처리 챔버로 화학 증기를 전송하는 것과 관련된 많은 문제점들을 해결하거나 실질적으로 경감시킨다. 본 발명에 따른 장치는 일체화되어, 오늘날의 전송 장치의 복잡도의 문제가 회피된다. 성능의 일관성 및 신뢰도는 오늘날의 장치들에 비해 훨씬 개선된다. 또한, 본 발명은 심지어 고체 소스에도 적용할 수 있다.
[발명의 개요]
본 발명은 액체 소스로부터, 내부에 반도체 웨이퍼 처리 챔버를 구비한 처리 유닛으로 증기를 전송하는 일체화된 통합형 화학 증기 전송 장치를 제공한다. 이 전송 장치는 하우징을 구비하고, 이 하우징은 그것을 처리 유닛에 장착할 수 있도록 하는 장착 수단을 갖춘 그 하우징을 구비한다. 하우징은 내부에 저장조를 형성하며, 이 저장조는 하우징이 상기 처리 장치에 장착된 경우에 소스 및 처리 챔버에 연결된다. 저장조는 소스로부터의 액체를 수용한다. 하우징 내의 저장조는 가열 요소에 의해 가열되어 그 저장조 내의 액체가 증기로 변하게 된다. 상기 저장조로부터 처리 챔버까지의 증기의 유동 경로에 있는 밸브가 증기의 전송을 제어한다.
저장조로부터 처리 챔버까지의 증기의 유동 특성을 감지하는 센서, 예를 들면 처리 챔버 내의 압력 또는 저장조로부터 처리 챔버까지의 증기의 질량 유량을 감지하기 위한 센서는 증기의 전송을 제어하기 위한 피드백 제어 경로(feedback control path)를 제공한다.
또한, 본 발명은 반도체 웨이퍼의 처리를 위한 액체 소스로부터 화학 증기를 효과적이고도 효율적으로 전송하는 전송 장치를 제공한다. 이 전송 장치는 처리 유닛과 증기 공급 모듈을 구비한다. 처리 유닛은 반도체 웨이퍼용 처리 챔버를 형성하는 하우징, 기체 유입구, 이 기체 유입구에 연결되어 기체를 상기 처리 챔버로 공급하는 기체 공급 채널, 그리고 상기 처리 챔버로 부터 기체를 제거하기 위한 진공 채널을 구비한다.
[도면의 간단한 설명]
본 발명은 첨부된 도면을 참조하여 이하의 상세하고 구체적인 실시예의 설명을 읽으면 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
제1도는 본 발명에 따른 화학 증기 전송 장치의 전체적인 개략도이고,
제2a도는 본 발명에 따른 일체로 된 통합형 화학 증기 전송 모듈을 부분적으로 단면으로 도시한 측면도이고,
b도는 제2a도에 도시된 모듈을 부분적으로 단면으로 도시한 다른 방향에서의 측면도이며,
제3a도는 제2a도 및 제2b도에 도시된 화학 증기 전송 모듈에 장착된 커패시턴스 압력계(capacitance manometer) 및 그 부속품의 개략적인 측면도이고,
b도는 a도에 도시된 압력계의 저면도이며,
c도는 a도에 도시된 압커패시턴스 압력계용 가열 요소의 평면도이고,
제4도는 제1도에 도시된 화학 증기 전송 장치의 처리 챔버의 측면도이며,
제5도는 제2도에 도시된 처리 챔버용 기체 공급 채널의 평면도이며,
제6도는 제1도에 도시된 화학 증기 전송 장치의 처리 유닛에 화학 증기 전송 모듈을 장착하는 방법을 보여주는 연직 방향 단면도이고,
제7도는 세개의 기체 공급 채널을 구비한 모듈의 변형예를 개략적으로 보여주는 도면이며,
제8도는 기체 유동 센서를 구비하는 모듈의 변형예를 보여주는 개략도이다.
[바람직한 실시예의 상세한 설명]
제1도에는 본 발명에 따른 화학 증기 공급 시스템의 일실시예로서 반도체 처리 장치가 개략적으로 예시되어 있다. 제1도에 도시된 시스템에서 공급되는 화학물질은 시릴화 작용제(silylation agent)이다.
시릴화 작용제는 반도체 처리시에 사용되는 액체 소스의 한 종류이다. 이 시릴화 작용제는 높은 해상도를 필요로 하는 진보된 반도체 공정에서 사용되기 시작했다. 반도체의 처리에 있어서, 감광제(photoresist) 층이 반도체 웨이퍼 상에 도포되고, 임의의 광 패턴에 노광(露光)된 후에, 이 감광제를 현상해야 한다. 감광제의 현상시의 시릴화 처리에, 감광제 층이 단지 최상층에서만 노출되어도 된다. 이에 의해, 큰 초점 깊이를 사용하지 않고도, 보다 짧은 파장에서 큰 개구수(開口數)로 포토리소그래피(photolithography)를 행할 수 있게 된다. 처리중에 반도체 웨이퍼 상에 "인쇄되는"회로 배선의 높은 해상도가 보장된다.
시릴화를 위해 시릴화 작용제는 가열되어야 하며, 그 결과로 생성된 증기는 정확한 압력 및 온도로 처리 챔버로 공급되어야만 한다. 전술한 바와 같이, 시릴화 작용제를 시릴화 하기 위한 오늘날의 전송 장치는 작용제의 액체 소스에 연결된 저장조에 의해 형성된다. 저장조는 가열되며, 증기는 피이드 라인을 통해 처리 챔버로 공급된다.
이러한 전송 장치는 작동중에 유지하기가 매우 어렵다. 작용제의 결로(結露) 현상을 피하기 위해, 피이드 라인은 가공 챔버와 저장조 사이의 다양한 부속품과 함께 가열되어야만 한다. 그럼에도 불구하고, 결로 현상은 여전히 문제가 된다. 또한, 전송 장치 내의 다양한 지점에서 불균일하게 가열되므로, 시릴화 작용제 증기를 정확한 온도 및 압력으로 처리 챔버로 공급하기가 매우 어렵다.
시릴화 작용제에 대한 이러한 문제점을 해결하기 위하여, 제1도에 도시된 전송 장치는 일체화된 통합형의 화학 물질 전송 모듈(11)을 구비하고, 이 전송 모듈은 반도체 웨이퍼가 처리중 배치되는 처리 챔버를 구비한 처리 유닛(10)에 부착된다. 화학 물질 전송 모듈(11)은 화학 증기를 액체 상태인 화학 물질 소스(12)로부터 처리 챔버로 공급한다.
진공 펌프(14)는 밸브(23, 24)를 통해 처리 챔버로부터 기체를 제거하는데, 이들 밸브는 처리 챔버 내의 진공을 유지한다. 진공 펌프(14)는 또한 유출물 처리 유닛(도시 않됨) 및 오일 여과 장치 유닛(15)에 접속되어 펌프 오일로부터 불순물을 제거한다.
또한, 질소 소스(13)는 밸브(25) 및 유량계(27)를 거쳐 처리 챔버로 질소를 공급한다. 밸브(25)는 처리 챔버가 진공 상태로부터 대기압 상태로 상승한 경우에, 처리 챔버에 N2가 역충전되는 것을 돕는다. 질소 소스(13)는 또한 밸브(26)을 거쳐 진공 펌프(14)에 연결된다. 진공 펌프(14)로 공급되는 펌프 오일을 제거하여 시릴화 작용제와 같은 불순물이 오일에 흡수되는 것을 감소시킨다. 마지막으로, 질소 소스(13)는 액체 소스(12)에 연결되어 액체 소스(12)를 가압함으로써 액체를 화학 물질 전송 모듈(11)로 공급한다. 체크 밸브(28)가 질소 공급원(13)으로 액체가 역류하는 것을 방지한다.
처리 챔버 내의 압력을 모니터하기 위해, 처리 유닛(10)에 부착되어 있는 커패시턴스 압력계(18)가 처리 챔버에 연결된다. 커패시턴스 압력계(18)는 전자제어 유닛(17)에 연결되고, 이 전자 제어 유닛은 화학 물질 전송 모듈(11) 내의 압력 프로포셔닝 밸브(proportioning pressure valve)(21)에 연결된다.
화학 물질 전송 모듈(11)은 이 모듈(11)에 일체적으로 장착된 차단 밸브, 액체 재충전 밸브(22)와 차단 밸브를 통해 액체 소스(12)로부터 유입되는 액체 화학 물질을 수용하는 저장조를 구비한다. 저장조는 가열되어 상기 액체를 화학 증기로 변화시키며, 이 증기는 저장조로부터 챔버 피이드 밸브(20), 차단 밸브, 그리고 프로포셔닝 밸브(21)를 통과하게 된다. 두 개의 밸브, 즉 프로포셔닝 밸브(21)와 재충전 밸브(22)도 또한 화학 물질 전송 모듈(11)에 일체적으로 장착된다. 전자 제어 유닛(17)으로부터의 신호에 응답하여, 프로포셔닝 밸브(21)는 처리 챔버에 다소의 화학 증기를 공급함으로써 처리 챔버 내의 압력을 제어하게 된다. 화학 물질 전송 모듈(11)은 저장조 내의 화학 증기의 압력을 정확히 모니터하기 위한 커패시턴스 압력계(19)를 구비한다.
제2a도 및 제2b도는 화학 물질 전송 모듈(11)의 구조를 보다 상세하게 보여주고 있다. 제2a도에 도시된 바와 같이, 화학 물질 전송 모듈(11)은 스테인레스강으로 제조된 상부 하우징 유닛(41A)과 하부 하우징 유닛(41B)을 구비한다. 제2b도에 도시된 바와 같이, 작동을 위해 하우징 유닛(41A,41B)은 볼트(45)에 의해 서로 고정적으로 결합된다.
하부 하우징 유닛(41B)에는, 점선으로 윤곽이 도시된 액체 저장조(44)가 형성된다. 하부 하우징 유닛(41B)에 장착된 진공 부속품(52)은 저장조(44)에 연결되어 있다. 이 외에도, 모든 부속품들은 액체 또는 증기의 누설을 방지하도록 기밀되어 있다는 것을 유의해야 한다. 부속품(52)은, 예컨대 모델명 4V1P4K11ACSS로서 알라바마 헌츠빌에 소재한 파커 하나핀(Parker Hannafin)사에 의해 제조된 액체 재충전 밸브(22)에 연결되며, 이 재충전 밸브(22)는 재충전라인에 의해 액체 소스(12)에 연결된다. 재충전 밸브(22)는 화학 물질 전송 모듈(11)과 일체로서, 부속품(52) 및 재충전 라인과 함께 액체 공급 채널을 형성한다.
상부 하우징 유닛(41A)에는 프로포셔닝 밸브(21), 챔버 피이드 밸브(20),커패시턴스 압력계(19) 및 액체 수준 센서(43)가 장착된다. 액체 수준 센서(43)는 나사식(NPT) 부속품(53)에 의해 하우징(41A)에 장착된다. 예컨대, 미시간주 포트 휴론에 소재한 게넬코(Genelco)사에 의해 모델명 511S로서 제조되는 액체 수준 센서(43)는 재충전 밸브(22)가 저장조(44)를 액체가 충전된 상태로 유지할 수 있도록 저장조(44)의 액체의 수준을 결정한다.
예컨대, 메사츄세츠 주, 월밍텅에 소재하는 에드워즈 하이 배큠 (Edwards High Vacuum)사에 의해 모델 622B로 제조되는 커패시턴스 압력계(19)는, 예컨대 알라바마주, 헌츠빌에 소재한 파커 하나핀(Parker Hannafin)사에 의해 8BVSS 모델로 제조된느 부속품(59)에 의해 상부 하우징 유닛(41a)에 부착된다. 커패시턴스 압력게(19)는 압력을 체크하여 저장조(44)로부터 기화되는 액체의 압력을 정밀하게 측정한다.
프로포셔닝 밸브(21)는 예컨대, 캘리포니아주, 산호세에 소재하는 피에프디(PED)사에 의해 제조되는 내화학(耐化學) 밀봉체 및 고온 작동 코일을 구비한 일반적인 모델이다. 프로포셔닝 밸브(21)는 저장조(44)로부터의 기체의 통과를 제어하도록 부속품(61)에 의해 상부 하우징 유닛(41A)에 장착된다. 부속품(61)은 또한 부속품(60)에 접속되며, 이 부속품(60)도 또한 상부 하우징 유닛(41A)에 장착된다. 부속품(60)은, 예컨대 모델명 KIT2173 으로 파커 하나핀사에 의해 제조되는 챔버 피이드 밸브(20)를 유지함으로써 저장조(44)로부터의 기체 통로가 개폐될 수 있게 된다. 유출구(62)를 갖는 부속품(61)은 처리 유닛(10)에 화학 물질 전송 모듈(11)이 장착되면, 처리 유닛(10)의 처리 챔버에 부착된 기체 유입구에 직접적으로 연결되는 유출구(69)를 구비한다. 부속품(61, 60)은 저장조(44)로부터 처리 챔버의 유입구까지 기체 채널을 형성한다.
또한, 상부 하우징 유닛(41A) 내에는 두 개의 저항 가열형 로드 히터(42)(제2b도에 단면으로 도시됨)가 길이 방향으로 장착되어 있다. 일리노이주, 시카고에 소재한 더블유. 더블유, 그레인거(W. W. Grainger)사에 의해 제조되는 로드 히터(rod heaters)가 상부 하우징 유닛(41A) 내에서 길이 방향으로 천공된 1/4인치 직경의 구멍 내에 삽입된다. 전류가 공급되면 저항 가열형 로드 히터(42)는 상부 하우징 유닛(41A), 하부 하우징 유닛(41B) 및 저장조(44) 내의 액체를 가열하게 된다.
로드 히터(42)로부터의 열 에너지를 증가시킬 부가적인 가열을 위해, 압전 변환기도 또한 하우징 유닛(41A,41B)에 장착될 수 있다. 600∼1800 KHz 범위에서 작동되는 압전 변환기로부터의 음파 에너지는 저장조(44)와 이 저장조(44)에 출입하는 액체 및 증기에 또 다른 가열원을 제공한다.
하우징(41)에 밀접하게 설치되는 챔버 피이드 밸브(20), 프로포셔닝 밸브(21), 그리고 커패시턴스 압력계(19)는 상부 하우징 유닛(41A)에 직접 장착되기 때문에 이들은 열전도에 의해 가열된다. 이러한 배치는 저장조 (44)로부터 전송되는 가열된 증기의 바람직하지못한 결로 현상을 유발할 수 있는 방열 냉각(放熱冷却)(heat sink)을 회피한다. 또한, 압력계(19)와 압력계(18) 중 어느 하나 또는 양자 모두 또한 효과적으로 가열되도록 설계된다. 이들 압력계는 그것들의 감지 영역과 부속품을 분리시키는 샤프트를 구비한다. 본 발명에서는, 제3a도 및 제3b도에 도시되어 있는 바와 같이, 압력계(19)의 감지 구역이 부속품(59)에 직접적으로 접속되도록 샤프트가 배제된다. 두 개의 가열 요소, 즉 원통형 압력계(19)의 감지 구역(제3a도 내지 빗금친 구역)의 둘레에 감긴 일방의 가열 요소(64A) 및 (제3b도의 압력계 저면도에 도시된 바와 같이) 부속품(59) 둘레의 원형의 감지 구역(63)에 부착된 타방의 가열 요소(64B)가 압력계(19)를 가열한다. 이들 가열 요소는 실리콘 고무 절연재에 매설된 가열 포일(foil)로 형성된다. 이들 가열 요소는 제3c도에 도시되어 있는 바와 같은 형상이지만, 가열 요소(64A)가 압력계(18,19)의 커버 둘레에 감길수 있도록 유연성이 있다. 상기 가열 요소들은 미조리주 세인트 루이스시에 소재한 와트로우 일렉트릭(Watlow Electric)사에 의해 제조된다.
오늘날의 많은 반도체 처리 장치와 같이, 제1도의 전자 제어 유닛(17)은 모델명 80386 SX로서 캘리포니아주, 산타클라라에 소재한 인텔사에 의해 제조되는 마이크로프로세서를 구비하는데, 이 마이크로프로세서는 공지된 프로그래밍 기술에 의해서 화학 물질 전송 모듈(11)의 기능을 제어한다. 또한, 밸브 및 센서들로부터의 모든 전기적 접속이 도면에 모두 도시되어 있지는 않다.
마이크로프로세서는 압력계(18)의 피이드백 신호에 의해 프로포셔닝 밸브(20)(그리고 그것의 가열)을 제어하여 처리 챔버(39)를 요망하는 압력에 유지한다. 마이크로프로세서는 또한 가열 로드(42)를 통해 저장조(44)의 온도를 제어하여 화학 물질 전송 모듈(11) 내의 증기를 요망되는 온도 및 압력에 유지하며, 액체 수준 센서(43)로부터의 피이드 백 제어 신호를 기초로, 재충전 밸브(22)를 통한 저장조(44)로의 액체의 재공급을 제어한다. 전자 제어 유닛(17)은 아래에서 설명되는 바와 같이, 다른 센서에 접속되어 화학 물질 전송 모듈(11)로부터 처리 챔버로의 증기 흐름을 제어할 수 있다는 것을 주목해야 한다.
제4도는 제1도의 처리 유닛(10)내에 있는 처리 챔버(39)를 부분적으로 측 단면도이다. 처리 챔버(39)는 일반적으로 하나의 반도체 웨이퍼(35)를 수용하는 형상 및 치수로 되어 있다. 처리 챔버(39)는 상부 하우징 판(31A)과 하부 하우징 판(31B)에 의해서 형성된다. 이들 하우징 판(31A,31B)은 스테인레스강으로 제조된다.
처리 챔버(39)는 견고하게 체결된 두개의 하우징 판(31A,31B) 사이에 형성된다. 반도체 웨이퍼가 처리를 위해 장착되는 지점에서, 처리 챔버는 1∼2 인치(2.54∼5.08cm)의 높이를 갖는다. 처리 챔버(39)의 길이(그리고 폭)는 8인치 웨이퍼에 대하여, 즉 200mm의 직경의 웨이퍼에 대하여, 약 11인치(27.94cm) 정도를 갖는다. 따라서, 처리 챔버(39)의 총 체적은 약 5∼10 입방 인치(81.94∼163.88㎤)로서 작게 형성된다. 하부 하우징 판(31B)의 상부 모서리 둘레에 있는 고무 부싱(38)은 이들 하우징 판(31A,31B)이 서로 고정적으로 결합되어 있는 경우, 작동중에 처리 챔버(39)가 밀봉되는 것을 보장한다.
상부 하우징 판(31A)은 수개의 기체 채널(36)을 구비하는 데, 이들은 처리 챔버(39) 내의 에이퍼를 위한 진공 척의 일부이다. 채널(36)은 진공원에 접속되어, 작동중 열전달을 위하여 웨이퍼를 견고하게 소정 위치에 유지한다. 히터 유닛(32A)도 또한 하우징 판(31A)의 상부에 장착된다. 상기 히터 유닛(32A)은 저항 가열식 코일에 의해 형성된다.
하부 하우징 판(31B)은 기체 공급 채널(33)을 구비하며, 이 기체 공급 채널은 공급 채널(51)에 의해 기체 유입구(40)에서 상호 접속된다. 기체 공급 채널(33)은, 아래에서 설명되는 바와 같이, 중심축(50) 둘레에 원형 패턴을 형성한다. 하우징 판 (31B)의 저부에 장착된 것은 저항 가열식 코일에 의해 형성된 또 다른 히터 유닛(32B)이다.
임의의 반응 기체가 처리중의 반도체 웨이퍼에 균일하게 공급되는 것은 매우 중요하다. 제5도에 도시된 바와 같이, 개바된 기체 공급 채널(33)은 위에서 보면 하부 하우징 판(31B)에서 중심축(50) 둘레에 방사상으로 분포된다. 기체 공급 채널(33)은 중심축(50)으로부터 연장하는 4개의 반경 방향 채널(33A) 구비하며, 이들 반경 방향 채널은 중심축(50)을 중심으로 한 등간격의 원형 채널(33B)과 교차한다. 처리 유닛(10)의 작동시, 공급된 증기는 화학 물질 전송 모듈(11)의 유출구(62)로부터 기체 유입구(40)로 유입된다. 증기는 공급 채널(51)을 거쳐서 중심축(50)으로부터 반경 방향 채널(33A)로 유입되어 원형 채널(33B)로 분배된다.
기화된 시릴화 작용제의 경우, 반경 방향 채널(33A)에 대해서는 깊이가 약 0.25 인치(0.64cm), 폭이 약 0.40 인치(1.02cm)인 단면의 채널이, 그리고 원형 채널(33B)에 대해서는 반경 방향 공간이 약 1.0 인치(2.54cm)인 채널이 증기를 분배하는 데에 매우 우수하게 작용하는 것으로 밝혀졌다.
기체 공급 채널(33)과 처리 챔버(39) 사이에는 두개의 원형 판(34)이 있으며, 이들 판은 개방된 기체 공급 채널(33) 위의 원형 슬롯(51)에 끼워진다. 제4도에는 두개의 원형 판이 단일의 판(34)으로 도시되어 있다. 이들 원형 판(34)은 기체 분산 기능을 수행한다. 따라서, 이하에서는 이들 판을 "기체 분산 판" 이라고도 칭한다. 기체 공급 채널(33) 바로 위에 위치되는 기체 분산 판은 외측으로 통하는, 즉 중심축(50)으로부터 일정 간격을 두고 배치되는 패턴으로 천공된 0.030인치(0.76mm) 직경의 복수 개의 구멍을 갖는다. 이러한 형태로, 동일한 양의 기체가 처리 챔버(39)의 단위 체적으로 전송된다. 상기 기체 분산 판은 통상 스테인레스강으로 제조된다.
전술한 두 기체 분산 판(34)의 배치에 대하여 구체적으로 서열하면, 제1 기체 분산 판의 위에 제2 기체 분산 판이 위치된다. 제2 기체 분산 판은 제1 기체 분산 판보다 한층 더 좁은 기체 공급 채널(33)로부터의 기체를 분산시킨다. 제2 기체 분산 판은 금속, 스테인레스강 또는 다공성 흑연으로 형성되며, 육안으로 보이는 구멍은 없다. 그럼에도 불구하고, 기체는 제2 기체 분산 판을 통과할 수 있다. 따라서, 채널(33)로부터 유입되는 기체 증기는 제1 기체 분산 판에 의해 분배되고, 제2 기체 분산 판을 통해 처리 챔버(39)로 누설된다.
처리 챔버 내의 소정 위치에 반도체 웨이퍼(35)를 유지하기 위하여, 웨이퍼 홀더(37)가 사용된다. 처리중에, 웨이퍼(35)는 기체 분배 채널(33)에 대하여 하방을 향하여 배치된다. 일단 상부 하우징 판(31A)이 폐쇄되면, 웨이퍼는 소정 위치에 유지되며 진공 채널(36)에 의해 상부 하우징 판(31A)과 접촉된다.
제6도는 웨이퍼(35)를 구비한 처리 챔버(39)의 평면도로서, 화학 물질 전송 모듈(11)을 처리 유닛(10)에 접속하는 방법을 개략적으로 보여주고 있다. 화학 물질 전송 모듈(11)의 하우징은 볼트로 처리 유닛(10)의 하우징에 체결되며, 이로써 유출구(62)는 처리 챔버에 부착된 기체 유입구(40)에 밀봉 접속된다.
압력계(18)는 웨이퍼(35)가 탑재된 처리 챔버(39) 내의 압력을 측정하며, 밸브(23)는 증기를 챔버(39)로부터 제거하고, 밸브(25)는 질소 공급원(13)으로부터의 질소 유동을 제어한다. 또한, 상기 도면에서 처리 챔버(39)는 두 개의 화학 물질 전송 모듈(11)에 접속되어 있다. 두 개의 화학 물질 전송 모듈(11)은 각각 다른 액체 소스에 접속됨으로써 처리 챔버(39) 내에서 다양한 처리 공정을 수행할 수 있게 한다.
작동에 있어서, 제1도에 되시되어 있는 화학 증기 전송 장치는 (헥사메틸디실라잔) HMDS, (헥사메틸시클로트리실라잔) HMCTS, (트리메틸시릴디메틸아민) TMSDMA, (트리메틸시릴디에틸아민) TMSDEA, (디메틸시릴디메틸아민) DMSDMA, (비스(디스메틸시릴) 메틸아민) B(DMS)DAM, 및 (비스(디메틸시릴) 메틸아민) B(DMS)MA 등과 같은 시릴화 작용제에 대해 효과적으로 작동된다. 질량 유량을 제어하는 화학 물질 전송 유닛(11)은 시릴화 작용제를 25∼100℃의 범위로 가열한다.
처리 유닛(10)에 일체적으로 장착된 화학 물질 전송 모듈(11) 및 그 처리 챔버(39)에 의해 피이드 라인은 제거되게 된다. 더 이상 결로의 문제가 발생되지 않으며 시릴화 작용제는 정확한 온도 및 압력으로 처리 챔버(39)로 공급될 수 있다. 여러 가지 장점 중에서, 특히 본 발명은 피이드 라인을 가열하여 그것을 정확한 온도를 유지시키거나, 또는 각 구성 부품을 일체로 접속하여 각 구성 부품을 개별적으로 가열해야 할 필요에 따라 야기되는 복잡화의 문제를 회피한다.
또한, 작용제들은 처리 챔버(39) 내의 웨이퍼 상에 균일하게 분배된다.
시릴화 작용제 외에, 본 발명은 에칭과 다른 확산에 사용되는 다른 액체 유기 실란(organosilanes) 및 기타의 다른 액체 소스들이 사용될 수 있다. 그 일례로는 반도체 웨이퍼상에 규소 유리를 피복하기 위해 사용되는 (테트라에틸옥시실란) TEOS가 있다. TEOS 증기는 시릴화 작용제 증기 보다 훨씬 높은 유량으로 처리 챔버(39) 및 반도체 웨이퍼로 전송된다. 예를 들자면, TEOS에 대한 전형적인 유량은 초당 1∼60 cc 임에 반해, 시릴화 작용제의 유량은 초당 0.1∼1 cc 이다. 따라서, 작동시의 TEOS 증기 유량은 더 중요해진다.
TEOS의 사용시, 화학 물질 전송 모듈(11)은 설명된 압력 제어기로서의 동작으로부터 질량 유량 제어기로서의 동작으로 동작이 변경된다. 화학 물질 전송 모듈(11)은 전술한 바와 동일하게, 프로포셔닝 밸브(21)와 그 부속품과의 사이에 유량 센서를 구비하며, 제8도에 모식적으로 도시된 바와 같이 유출구(62)가 처리 챔버의 기체 공급 유입구에 부가된다. 제1도의 전자 제어 유닛(17)은 변형되게 된다. 전술한 바와 같이, 전자 제어 유닛(17)의 마이크로프로세서는 화학 증기 전송 모듈(11)의 온도, 커패시턴스 압력계(19)의 온도 및 저장조(44)의 재충전 작동을 제어하게 된다. 그러나, 마이크로프로세서는 압력계(18)로부터의 피이드백 신호보다는 유동 센서(65)로부터의 피이드백 신호에 응답하여, 기화된 TEOS 의 흐름을 압력 프로포셔닝 밸브(21)로 제어한다.
그러나, 전술한 바와 같이, 질량 유량 제어기(그리고 그 센서)는 일반적으로 70℃ 이상의 온도에서 작동하기가 어렵다. 작동시, 화학 증기 전송 모듈(11)은 저장조(44)를 185℃의 최대 온도까지 가열하여 액체 TEOS를 기화 상태로 만든다. 다른 작용제들은 보다 높은 온도를 필요로 할 수도 있다. 압력계(19)에 부가되어 질량 유량 제어기로서 보다 양호하게 작동하도록, 제2 압력계가 밸브(21)와 유출구(62)사이에 접속될 수 있다. 전자 제어 유닛(17)의 마이크로프로세서를 사용하여, 유출구(62)를 거치는 저장조(44)로부터의 유량은 두개의 압력계가 감지한 압력차에 의해 계산될 수 있다. 계산된 값을 기초로, 밸브(21)는 전자 제어 유닛(17)으로부터의 신호에 의해 제어되어 증기의 흐름을 제어한다.
제7도는 질량 유량 제어기의 확장된 범위에 대한 화학 증기 전송 모듈(11)의 변형례를 보여준다. 이 변형에 있어서, 세개의 기체 채널들이 모듈 내의 가열된 저장소와 처리 챔버에 부착된 기체 유출구 사이에 형성된다. 제7도에서, 차단 밸브(72) 및 수준 센서(73)는 전술한 바와 같이 변형된 모듈(81)내의 저장조에 담겨 있는 액체의 수준을 제어한다. 커패시턴스 압력계(79)는 저장조의 압력을 측정한다. 저장조에 3개의 기체 채널이 접속되는데, 이들 기체 채널 각각은 2개씩의 차단 밸브(71A와 72A, 71B와 72B, 71C와 72C)와 그 각각의 부속품(도시 생략) 사이에 압력 프로포셔닝 밸브(70A∼70C)에 의해 형성된다. 차단 밸브(72A∼72C)용 부속품의 유출구들은, 제2 압력계(78) 및 그 부속품(도시되지 않음)에 접속되고, 나아가 처리 챔버로의 기체 유입구에 직접 접속되도록 유출구(82)를 구비한 유출구 부속품(83)에 접속된다.
차단 밸브(71A∼71C, 72A∼72C)는 작동시 한 번에 하나씩의 기체 채널을 개방시키도록 작동된다. 각 기체 채널은 두 개의 차단 밸브를 구비하여, 기체 채널로의 어떠한 역류도 방지하도록 각각의 비작동 채널을 분리시킨다.
세 개의 기체 채널은 변형된 .모듈에 대하여 세개의 다른 유량 범위를 허용한다. 전형적으로, 압력 프로포셔닝 밸브의 제어하에 있는 단일 채널은 증기 유량이 10 단위에 걸쳐 작동되도록, 즉 유량이 1 유동 단위(flow unit)로 부터, 예를 들면 20 유동 단위까지 변화될 수 있도록 작동될 수 있다. 세 개의 채널에서, 각 압력 프로포셔닝 밸브(70A∼70C)의 증기 유량이 3개의 10단위 또는 그 이상으로 확장될 수 있도록 교정가능하다. 전술한 바와 같이, 두 개의 압력계는 선택된 채널의 유량을 결정할 수 있도록 압력 편차를 제공한다. 변형된 모듈은 질량 유량 제어기로서 뿐만 아니라, 확대된 작동 범위를 갖는 압력 제어기로서도 동작할 필요가 있다는 것에 주목하라.
압력계(78,79)가 모든 작동 조건에 대하여 압력을 측정할 수 없는 그러한 본질적으로 다른 압력에서 채널들이 작동한다면, 모듈(81)은 한 쌍의 압력계가 각 채널의 압력 프로포셔닝 밸브(70A∼70C)의 양측에 위치되도록 변형될 수 있다. 압력계는 각 채널에 대한 조건 하에서 작동되도록 교정된다.
또 다른 변형은 질량 유량 제어기로서 작동하는 모듈에 통기공(通氣孔)을 부가하는 것이다. 채널에서 유출구에 도달되기 전의 위치에 배치되는 절환(切換) 밸브가 처리 챔버로의 유출구를 통과하거나 또는 통기공을 통과하는 모듈의 가열된 저장조로부터의 증기의 흐름을 제어한다. 통기공이 없으면, 증기는 챔버 피이드 밸브(20)이 개방되는 즉시 처리 챔버 내로 유입된다. 이러한 초기 상태 하에서, 질량 유량은 바람직하지 못한다. 통기공 및 절환 밸브는 통기공을 통한 초기의 증기 유량이 안정되고 바람직한 유량으로 조절될 수 있게 한다. 이후 절환 밸브가 작동되고, 증기 유동은 모듈의 유출구를 통해 이동되어 처리 챔버로 유입된다.
이와 같이 작동 조건의 융통성이 있으면, 본 발명은 액체 소스를 갖는 많은 화학적 처리 공정에 사용될 수 있다. 에칭 처리에 있어서의 카본 테트라클로라이드는 본 발명에 이용될 수 있으며, 도핑 처리는 본 발명에 의해 실행될 수 있다. 본 발명은 최초에는 고체인 화학 물질 소스라도 처리할 수 있다. 고체 소스는 고체 화학 물질이 액화되어, 그 화학 물질 액체가 본 발명의 일체화된 .모듈로 이송될 수 있게 가열될 수 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하였지만, 이에 대한 다양한 대체물, 수정물과 균등물도 이용될 수 있다. 또한, 본 발명은 전술한 실시예들을 적당하게 변형함으로써 동등하게 적용할 수 있음이 분명하다. 따라서, 이상의 설명은 첨부된 청구 범위의 한계로서 정해지는 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 해석하지 말아야 한다.

Claims (40)

  1. 액체 소스(12)로부터 내부에 반도체 웨이퍼 처리용 처리 챔버(30)를 갖춘 처리 유닛(10)으로 화학 증기를 전송하는 일체화된 통합형 화학 증기 전송 장치로서, 장착 수단(61)을 구비하고, 이 장착 수단에 의해 상기 처리 유닛에 장착되는 하우징(41); 상기 액체 소스(12)로부터의 액체를 수용하는 저장조(44)로서, 상기 하우징(41)에 의해 형성되어 상기 하우징이 상기 처리 유닛에 장착되면 상기 액체 소스(12) 및 상기 처리 챔버(30)에 접속되는 그 저장조(44); 상기 저장조 내의 액체가 증기로 변환되도록 상기 하우징 내의 저장조를 가열하는 가열 수단(42); 그리고 상기 저장조(44)로부터 상기 처리 챔버까지의 상기 증기의 공급을 제어하는 상기 하우징 내의 제어 수단(21,22,20)을 구비하며, 상기 액체 소스(12)로부터 상기 처리 챔버(30)로 증기를 제어 가능하게 공급하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 저장조(44)로부터 상기 처리 챔버(30)로 공급되는 상기 증기의 특성을 감지하는 감지 수단(43)을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제어 수단은 상기 처리 챔버로의 증기의 공급이 상기 감지된 특성에 의해 제어되도록 상기 감지 수단(43)에 접속되는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제어 수단은 상기 저장조와 상기 처리 챔버와의 사이에 연결된 제1밸브(21)를 구비하며, 이 제1밸브는 상기 저장조로부터 상기 처리 챔버(30)까지의 증기의 흐름을 조절하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1밸브(21)는 프로포셔닝 밸브(proportioning valve)로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  6. 제3항에 있어서, 상기 감지 수단(43)은 상기 처리 챔버 내의 압력을 감지하는 압력 감지 수단(19)을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  7. 제3항에 있어서, 상기 감지 수단(43)은 상기 저장조로부터 상기 처리 챔버로 공급되는 상기 증기의 흐름을 감지하는 유동 감지 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 유동 감지 수단은 상기 저장조로부터 상기 처리 챔버로의 상기 증기의 흐름을 따라 두 지점 사이의 압력차를 측정하여 유량을 결정하는 측정 수단(78,79)을 구비하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 하우징 내에, 상기 저장조에 수용된 액체의 양을 감지하는 감지 수단(43)을 또한 구비하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 액체의 양을 감지하는 감지 수단(43)은 상기 저장조에 수용된 상기 액체의 수준을 측정하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 하우징 내에 제2 밸브(22)를 추가로 구비하며, 이 밸브는 상기 액체 소스와 상기 저장조 사이에 접속되고, 또한 상기 감지 수단에 결합되며, 상기 제2 밸브는 상기 소스로부터의 액체가 상기 저장조 내에 유지되도록 상기 저장조에 수용된 상기 액체의 양에 응답하여 작동하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  12. 제1항에 있어서, 상기 하우징 내에 제3 밸브(20)를 추가로 구비하며, 이 제3 밸브는 상기 저장조와 상기 처리 챔버 사이에 접속되어 상기 저장조로부터 상기 처리 챔버로의 증기를 차단할 수 있는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  13. 제1항에 있어서, 상기 저장조를 가열하는 가열 수단은 상기 하우징 내에 장착된 저항 가열식 로드(42)를 구비하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  14. 액체 소스(12)로부터의 화학 증기를 유입구를 통해 반도체 웨이퍼 처리 유닛(10)의 처리 챔버(39)로 공급하는 일체화된 통합형 화학 증기 전송 모듈로서, 상기 액체 소스로부터의 액체를 수용하는 저장조(44)를 형성하는 하우징(41); 상기 액체 소스에 접속시키기 위해, 상기 저장조를 공급 유입구에 접속시키는 공급 채널; 상기 저장조를 유출구에 접속하는 기체 채널(33); 상기 유출구가 상기 처리 챔버 유입구에 접속되도록 상기 하우징(41)을 상기 처리 유닛에 .장착하는 장착 수단(61); 하우징 내에서, 상기 저장조 내의 액체가 기화될 수 있도록 상기 저장조를 가열하는 가열 수단(42); 그리고 상기 기체 채널(33)에 접속되어, 상기 저장조로부터 상기 처리 챔버로의 증기의 공급을 제어하는 상기 하우징 내의 제어 수단(21,22,20)을 구비하며, 상기 액체 소스로부터 상기 처리 챔버로 증기를 제어 가능하게 공급하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  15. 제14항에 있어서, 상기 저장조(44)로부터 상기 처리 챔버(30)로 공급되는 상기 증기의 특성을 감지하는 감지 수단(43)을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  16. 제15항에 있어서, 상기 제어 수단은 상기 처리 챔버로의 증기의 공급이 상기 감지된 특성에 의해 제어되도록 상기 감지 수단(43)에 접속되는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제어 수단은 상기 저장조와 상기 처리 챔버와의 사이에 연결된 제1밸브(21)를 구비하며, 이 제1밸브는 상기 저장조로부터 상기 처리 챔버까지의 증기의 흐름을 조절하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  18. 제17항에 있어서, 상기 제1밸브(21)는 프로포셔닝 밸브로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  19. 제16항에 있어서, 상기 감지 수단(43)은 상기 처리 챔버 내의 압력을 감지하는 압력 감지 수단(19)을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  20. 제16항에 있어서, 상기 감지 수단은 상기 기체 채널을 통한 상기 증기의 흐름을 감지하는 유동 감지 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  21. 제20항에 있어서, 상기 유동 감지 수단은 상기 저장조로부터 상기 처리 챔버로의 상기 증기의 흐름을 따라 두 지점 사이의 압력차를 측정하여 유량을 결정하는 측정 수단(78,79)을 구비하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  22. 제14항에 있어서, 상기 하우징 내에, 상기 저장조에 수용된 액체의 양을 감지하는 감지 수단(43)을 또한 구비하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  23. 제22항에 있어서, 상기 액체의 양을 감지하는 감지 수단(43)은 상기 저장조에 수용된 상기 액체의 수준을 측정하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  24. 제22항에 있어서, 상기 하우징 내에 제2 밸브(22)를 추가로 구비하며, 이 제2 밸브는 상기 공급 채널에 접속되고, 또한 상기 소스로부터의 액체가 상기 저장조 내에 유지되도록 상기 저장조에 수용된 상기 액체의 양에 응답하여 작동하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  25. 제14항에 있어서, 상기 하우징 내에 제3 밸브(20)를 추가로 구비하며, 이 제3 밸브는 상기 저장조와 상기 처리 챔버 사이에 접속되어 상기 저장조로부터 상기 처리 챔버로의 증기를 차단할 수 있는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  26. 제14항에 있어서, 상기 저장조를 가열하는 가열 수단은 상기 하우징 내에 장착된 저항 가열식 로드(42)를 구비하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  27. 제14항에 있어서, 상기 저장조를 상기 유출구에 연결하는 제2 기체 채널을 또한 구비하며, 각 기체 채널은 다른 조건하에서 작동할 수 있는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  28. 제27항에 있어서, 상기 각 기체 채널은 한 쌍의 차단 밸브(71A∼72C)와, 그 채널에 연결된 한 쌍의 차단 밸브 사이의 프로포셔닝 밸브(70A∼70C)를 구비하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  29. 제28항에 있어서, 각 기체 채널은 상기 프로포셔닝 밸브의 양쪽에 접속된 한 쌍의 압력계(78.79)를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  30. 제14항에 있어서, 상기 기체 채널에 접속된 통기공 및 절환 밸브를 구비하며, 상기 절환 밸브는 증기를 상기 통기공 또는 상기 유출구를 통해 상기 증기를 선택적으로 공급하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 모듈.
  31. 반도체 웨이퍼의 처리를 위하여 액체 소스(12)로부터의 화학 증기를 공급하는 화학 증기 전송 장치로서, 반도체 웨이퍼용 처리 챔버(39)를 형성하는 하우징을 구비하는 처리 유닛(10)과; 상기 처리 유닛의 하우징 내의 기체 유입구(40)와; 상기 기체 유입구에 접속되어, 기체를 상기 처리 챔버로 공급하는 하우징 내의 복수 개의 기체 공급 채널(33); 상기 처리 챔버로부터 기체를 제거하기 위한 복수개의 진공 채널(36); 그리고 화학 증기의 액체 소스 및 처리 유닛에 접속된 모듈(11)을 구비하며, 상기 모듈은 상기 처리 유닛(10)의 하우징(39)에 장착되고, 상기 액체 소스로부터의 액체를 수용하기 위한 저장조(44)를 형성하는 모듈 하우징(41)과, 상기 저장조를 가열하여 상기 액체로부터 화학 증기를 발생시키는 가열 수단(42), 그리고 상기 기체 유입구에 접속되어 상기 화학 증기를 상기 기체 유입구 및 처리 챔버로 공급하는 전송 수단(21)을 구비하며, 상기 액체 소스로부터의 화학 증기는 상기 반도체 웨이퍼용 처리 챔버로 공급되는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  32. 제31항에 있어서, 상기 처리 챔버는 한 번에 한 개의 반도체 웨이퍼(35)를 수용하는 크기 및 형상을 취하며, 상기 반도체 웨이퍼는 중심축을 갖는 원형 형상으로서 상기 중심축에 대해 수직인 두 개의 대향하는 주표면을 구비하며, 상기 기체 공급 채널(33)은 상기 처리 챔버로 개방되고, 상기 중심축을 중심으로 한 원형 패턴으로 상호 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  33. 제32항에 있어서, 상기 모듈 하우징은 제1 하우징 판(31A)과 제2 하우징 판(31B)을 구비하며, 상기 처리 챔버는 이 처리 챔버와 수직인 상기 중심축에 대하여 수직으로 상기 제1 하우징 판과 제2 하우징 판 사이에 형성되며, 상기 기체 유입구 및 기체 공급 채널(33)은 상기 제1 하우징 판에 내장되고, 상기 기체 유입구(40)는 상기 중심축을 따라 상기 기체 공급 채널에 연결되는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  34. 제33항에 있어서, 상기 기체 공급 채널은 상기 중심축(50)에 대해 반경 방향으로 다수의 채널(33A)을 구비하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  35. 제34항에 있어서, 상기 반경 방향 채널(33A)은 0.25인치×0.40인치의 반원형 횡단면을 갖는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  36. 제34항에 있어서, 상기 기체 공급 채널(33)은 상기 중심축을 중심으로 하는 다수의 원형 채널(33B)로서 구성되며, 상기 반경방향 채널(33A)과 교차되는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  37. 제36항에 있어서, 상기 원형 채널들은 중심축(450)을 중심으로 서로에 대해 반경 방향으로 0.75 인치씩 간격을 두고 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  38. 제36항에 있어서, 상기 원형 채널은 3인치의 직경을 갖는 직사각 횡단면을 갖는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  39. 제34항에 있어서, 상기 기체 공급 채널 상부에 제1 판(34)을 추가로 구비하며, 이 제1 판은 상기 기체 공급 채널(33)로부터 처리 챔버(39) 속으로 기체를 분산하기 위한 다수의 구멍을 구비하는 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
  40. 제39항에 있어서, 상기 제1 판의 상부에 제2 판을 추가로 구비하며, 이 제2 판은 상기 기체 공급 채널로부터 처리 챔버로 기체를 분산할 수 있도록 다공성인 것을 특징으로 하는 화학 증기 전송 장치.
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