KR100210523B1 - 박막형성장치 및 박막형성방법 - Google Patents

Abstract

다수의 잉크셀을 갖춘 凹판롤과, 닥터 블레이드(B2)를 구비하여 잉크셀내에 잉크를 충전하는 잉크공급수단(B), 상기 凹판롤의 잉크셀이 전이되는 탄성판(7)이 판동체 표면에 둘러 감겨지는 인쇄롤(C) 및, 인쇄롤의 잉크가 전이되는 피인쇄체(D2)를 고정하는 인쇄테이블(D)을 갖춘 인쇄장치부를 구비한 박막형성장치로 되어, 다관절로보트(6)와 상기 다관절로보트의 아암(60)에 부착되어 상기 인쇄롤로의 상기 탄성판의 부착 및 또는 분해동작 및, 상기 凹판롤판 동체 표면에 있어서의 잉크의 불식동작 및/또는 건조동작 및, 상기 닥터 블레이드의 잉크의 불식동작 및/또는 건조동작의 적어도 한 동작을 수행하는 인쇄준비작업 실시수단을 구비한다.

Description

[발명의 명칭]

박막형성장치 및 박막형성방법

[발명의 상세한 설명]

[기술분야]

본 발명은 액정배향막 등 전자부품에 이용하는 고분자 박막패턴을 형성하는 장치로서, 예컨대 다수의 잉크셀을 갖춘 凹판롤과, 상기 잉크셀내에 잉크를 충전하는 잉크공급수단, 상기 凹판롤의 잉크가 전이되는 탄성판을 판동체에 갖춘 인쇄롤, 상기 인쇄롤의 잉크가 전이되는 피인쇄체를 고정하는 인쇄테이블, 상기 凹판롤의 상기 잉크셀내에 잉크를 확실하게 충전하기 위한 닥터 블레이드 및, 상기 인쇄롤 및 凹판롤에 대해 작용하는 로보트를 갖춘 박막형성장치 및 이 박막형성장치를 사용하여 박막을 형성하는 박막형성방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 본 발명은

(i) 소정의 장력이 상기 탄성판 전체에 균일하게 걸리도록 탄성판을 당기면서 상기 인쇄롤판 동체에 탄성판을 자동적으로 부착한 후, 박막형성을 하는 것,

(ii) 凹판롤의 동체부 표면(잉크셀을 포함)의 불식 또는/및 건조가 간단하며, 게다가 와이퍼를 자동적으로 소정의 접촉압력으로 凹판롤에 누르고, 판롤의 동체부 표면을 자동적으로 균일하게 불식 또는/및 건조 한 후, 박막형성을 하는 것,

(iii) 닥터 블레이드의 불식 또는/및 건조가 간단하며, 게다가 와이퍼에 의해 자동적으로 소정의 삽입압력으로 닥터 블레이드를 끼워 넣고, 닥터 블레이드를 자동적으로 균일하게 불식 또는/및 건조한 후, 박막형성을 하는 것 중에 적어도 어느 하나를 수행할 수 있는 박막형성장치 및 박막형성방법에 관한 것이다.

[배경기술]

종래의 박막형성장치는 인쇄 전에 탄성판의 부착 및 분해하는 凹판롤이나 닥터 블레이드의 불식 등의 인쇄준비작업을 작업자가 손으로 수행하고 있었다. 이 작업을 다음에 구체적으로 설명한다.

제31도에 나타낸 상기 박막형성장치에 있어서, 탄성판을 인쇄롤판동체에 부착하기 위해서는, 먼저 탄성판의 복수의 부분에 설치된 위치결정용 마크와, 인쇄롤판 동체의 복수의 부분에 설치된 기준마크를 사람의 손과 눈으로 위치를 결정하고, 탄성판을 사람의 손으로 당겨서 인쇄롤판 동체에 둘러 감는다. 그 후, 탄성판의 양단에 부착된 판홀더를 인쇄롤판 동체에 부착된 척수단에 사람의 손으로 걸어서 고정한다.

다음에 잉크공급수단에 의해 凹판롤의 다수의 잉크셀내에 잉크를 충전하고, 凹판롤로부터 인쇄롤의 탄성판에 잉크를 전이하며, 인쇄롤로부터 인쇄테이블에 고정된 피인쇄체에 잉크를 전이하여 인쇄를 수행한다.

또한, 인쇄 후 탄성판을 인쇄롤판 동체로부터 분해하기 위해서는, 탄성판의 양단에 부착된 판홀더를 인쇄롤판 동체의 척수단으로부터 사람의 손으로 제거한다.

또한, 종래의 박막형성장치에 있어서는, 통상 凹판롤의 잉크셀내에 충전된 잉크의 전체가 인쇄롤에 전이되지 않고, 凹판롤의 잉크셀내에 일부 잉크가 잔류한다. 이대로 방치하면, 잔류한 잉크가 건조 또는 경화하여 잉크고정물로 되어 잉크셀내에 달라붙어 버린다. 달라붙은 채로 凹판롤을 사용하면, 凹판롤에 달라붙은 잉크가 새로운 잉크에 다시 용해하거나, 잉크고형물이 탈락하여, 凹판롤에 공급된 새로운 잉크에 섞여 버리기 때문에, 변질한 잉크로 인쇄를 수행하게 된다. 또한, 잉크셀내에 달라붙은 잉크에 의해 잉크셀용량이 감소하므로, 인쇄롤로의 잉크전이량이 그 만큼 적어진다.

그래서, 종래부터 凹판롤의 잉크셀내에 잔류한 잉크를 불식하고 있지만, 모두 수작업으로 수행하고 있다. 즉, 먼저 잉크를 녹이는 용제를 스며들게 한 와이퍼를 凹판롤의 동체부 표면에 소정의 접촉압력으로 되도록 사람의 손으로 누르고, 누른 그대로의 상태로 凹판롤을 회전시키면서 凹판롤의 축방향에 따라 이동시키고 있다.

다음에, 凹판롤의 동체부 표면에 잔류하는 용제 등을 제거하기 위해 凹판롤을 건조시키고 있다. 즉, 먼저 사람의 손에 의해 凹판롤 건조용 기체를 분출하는 기체분출수단과 凹판롤의 동체 표면과의 사이에 소정의 거리를 둔 상태로 하여, 회전하는 凹판롤의 동체 표면에 흡착시키면서 凹판롤을 회전시켜서 사람의 손에 의해 凹판롤의 축방향에 따라 이동시키고 있다.

이어, 잉크공급장치에 의해 凹판롤의 다수의 잉크셀내에 잉크를 충전하고, 凹판롤로부터 인쇄롤의 탄성판에 잉크를 전이하며, 인쇄롤로부터 인쇄테이블에 고정된 피인쇄체에 잉크를 전이하여 인쇄를 수행한다.

더욱이, 또 닥터 블레이드는 판상체(板狀體)로 래크에 부착된 닥터 블레이드 지지봉에 부착되어 있다(제27도 참조). 닥터 블레이드는 회전하는 凹판롤의 판동체 표면을 긁어 내어 凹판롤의 잉크셀내에 잉크를 확실하게 충전하고 계량하는 기능을 갖춘 것이므로, 잉크가 부착된 닥터 블레이드를 방치해 두면, 잉크가 건조 또는 경화하여 잉크고정물로 되어 닥터 블레이드에 달라붙어버린다. 달라붙은 채로 닥터 블레이드를 사용하면, 닥터 블레이드에 달라붙은 잉크가 새로운 잉크에 다시 용해 하거나, 잉크고형물이 탈락하여 凹판롤에 공급된 새로운 잉크에 섞여져 버리기 때문에, 변질한 잉크로 인쇄를 수행하게 된다. 또, 달라붙은 잉크에 의해 닥터 블레이드의 선단이 凹凸로 되므로 불식불균일이 생기고 凹판롤의 모든 잉크셀에 확실한 충전계량을 할 수 없다.

그래서, 종래부터 닥터 블레이드에 붙은 잉크를 불식하고 있지만, 모든 수작업으로 수행하고 있다. 결국, 먼저 용제를 스며 들게 한 와이퍼를 사람의 손에 들고서 닥터 블레이드를 소정의 삽입압력으로 끼워 넣고, 끼워 넣은 그대로의 상태에서 닥터 블레이드의 긴 쪽 방향에 따라 이동시키고 있다.

다음에, 닥터 블레이드에 잔류하는 용제를 제거하기 위해 닥터 블레이드를 수작업으로 건조시키고 있다. 즉, 닥터 블레이드 건조용 기체를 분출하는 기체분출수단을 사람으로 손으로 닥터 블레이드와 기체분출수단간에 소정의 거리를 둔 상태로 하여, 닥터 블레이드의 표면에 기체를 흡착시키면서 사람의 손으로 닥터 블레이드의 긴쪽 방향에 따라 이동시키고 있다.

이어, 잉크공급장치에 의해 凹판롤의 다수의 잉크셀에 잉크를 충전하고, 凹판롤로부터 인쇄롤의 탄성판에 잉크를 전이하며, 인쇄롤로부터 인쇄테이블로 고정된 피인쇄체에 잉크를 전이하여 인쇄를 수행한다.

이와 같은 종래의 박막형성장치에는 다음과 같은 문제점이 있었다.

(1) 탄성판과 인쇄롤판 동체와의 위치결정을 위해, 탄성판을 당기어 척수단에 걸고, 탄성판의 인쇄롤판 동체로의 부착 또는/및 분해하여 凹판롤의 불식 및 건조, 닥터 블레이드의 불식 및 건조 전체를 사람으로 손으로 수행한 후, 인쇄를 수행하기 때문에, 박막형성의 효율이 비정상적으로 악화한다.

(2) 탄성판을 인쇄롤판 동체에 부착하기 위해, 凹판롤을 불식하기 때문에 닥터 블레이드를 불식하기 위해 사람이 출입하기 때문에 사람 자신이나 사람의 의복이나 지면으로부터 티끌이나 먼지 등이 솟아 올라 주위의 청정도가 좋지 않다. 또한 탄성판을 사람의 손으로 들기 때문에, 먼지나 기름이 묻은 손으로 탄성판을 들게 된다. 따라서, 먼지나 기름이 탄성판에 부착되어 탄성판이 오염된다.

이와 같은 탄성판에 凹판롤로부터 잉크를 전이하면, 먼지나 기름이 잉크에 섞여 버리고, 이물질이 섞여서 변질한 잉크로 되어 버린다. 이 때문에 이와 같은 잉크를 사용하여 예컨대, 액정배향막 등의 고분자 박막을 형성하는 경우는 절연성이 저하하기 때문에 막 두께 불균일이나 배향 불균일로 되어, 막의 일부가 부족하기도 하여 박막의 기능이 저하 해 버린다는 문제가 발생한다.

(3) 탄성판을 사람의 손으로 당기면서 인쇄롤판 동체에 둘러 감기 때문에, 탄성판을 인쇄롤판 동체에 둘러 감고 있는 동안에 탄성판의 전체 폭에 도달하여 소정의 크기에서 소정의 방향으로 장력이 걸리는 상태로 하는 것은 비정상적인 것으로 곤란하다. 주의를 다하지 않고 작업하게 되면, 둘러 감는 탄성판 전체에 걸리는 과도한 장력이나 느슨함을 교정하지 못한 채로 탄성판이 인쇄롤판 동체에 둘러 감겨지게 된다. 그 결과, 탄성판에 과도한 장력이 걸린 상태 그대로 인쇄롤판 동체에 부착되기도 하고, 탄성판이 주름진 상태인 체로 인쇄롤판 동체에 부착되어 버리게 된다.

이와 같은 상태에서 凹판롤과 탄성판을 접촉시키면, 凹판롤과 탄성판과의 접촉압력 및 탄성판과 피인쇄체와의 접촉압력이 불균일하게 되고, 피인쇄체에 잉크의 전이량의 많게 되거나 적게될 수 있으며, 피인쇄체에 균일한 막 두께의 박막을 형성할 수 없다. 이와 같은 결점이 생기지 않도록 탄성판을 인쇄롤에 수작업으로 부착하도록 하면, 열연자(熱練者)에서도 상당한 시간을 요하게 되어, 박막형성의 효율이 작아지게 된다.

(4) 와이퍼를 사람의 손으로 들어 凹판롤에 누르고 凹판롤의 축방향에 와이퍼를 이동시키는 동안, 소정의 접촉압력을 유지하는 것은 극히 곤란하게 되어, 접촉압력이 강하게 되거나 약하게 되어 버린다. 이 결과, 불식이 충분한 부분과 불충분한 부분이 생겨 종료하고, 잉크셀내에 달라붙은 잔류잉크 등을 충분히 제거하기 어렵다. 또한, 凹판롤의 동체부 표면을 균일하게 불식할 수 없다.

충분하게 불식할 수 없는 凹판롤에 잉크를 공급하면, 凹판롤에 달라붙은 잉크가 凹판롤에 공급된 새로운 잉크에 섞여 버리기 때문에, 잉크를 별도의 종류로 교환 할 때마다 다른 종류의 잉크가 혼합되게 된다. 또한, 달라붙은 잉크는 인쇄롤에는 전이되지 않게 잉크셀내에 남기 때문에, 인쇄롤로의 잉크의 전이량이 그 만큼 작게 되어, 피인쇄체에 충분한 막 두께의 박막이 형성되지 않는다.

또한, 충분히 균일하게 잉크를 불식하게 하지 않으면, 잉크셀내에 잉크가 잘 들어가는 부분과 잘 들어가지 않는 부분이 생기고, 그 때문에 인쇄롤의 잉크의 전이량에 불균일이 발생하여 막두께가 균일하게 되지 않는다. 따라서, 예컨대 액정배향막 등의 고분자박막패턴을 형성하는 경우에는 막 두께의 균일성을 요하게 되고, 표시 불균일을 일으키며, 박막의 기능이 저하하는 문제가 발생한다.

(5) 기체분출수단을 사람의 손으로 들고 凹판롤의 건조를 수행하기 때문에, 기체분출수단과 凹판롤의 동체부 표면간에 소정의 거리를 두고 凹판롤의 축방향으로 기체분출수단을 이동시키고 있는 동안, 소정의 거리를 유지하는 것은 극히 곤란하게 되어, 거리가 크게 되기도 하고 작게 되기도 한다. 그 결과, 건조가 충분한 부분과 불충분한 부분 등이 생기게 되어 버려, 凹판롤의 동체부 표면을 균일하게 건조할 수 없다.

균일하게 건조할 수 없는 凹판롤에 잉크를 공급하면, 凹판롤에 공급된 새로운 잉크에 불식에 이용된 용재 등이 불순물로서 섞여버린다. 이 때문에 이와 같은 잉크를 이용하여 예컨대, 액정배향막 등의 고분자박막패턴을 형성하는 경우에는 절연성이 저하하기도 하고, 막 두께 불균일이나 배향 불균일을 일으키기 때문에 박막의 기능이 저하하는 문제가 발생한다.

(6) 플라스틱제의 닥터 블레이드를 사용하는 경우, 사람의 손에 의한 불식작업중에 손톱 등의 딱딱한 부분을 잘못하여 닥터 블레이드의 선단에 닿게 하면, 닥터 블레이드의 선단이 凹凸로 되므로, 불식 불균일이 생기고, 凹판롤 전체의 잉크셀에 정확하면서도 확실하게 충전계량을 할 수 없다.

(7) 와이퍼를 사람의 손으로 들고 닥터 블레이드를 끼워 넣으면서 불식하기 때문에, 와이퍼를 닥터 블레이드의 선단에 소정의 접촉압력으로 눌러 닥터 블레이드의 긴쪽 방향으로 와이퍼를 이동시키고 있는 동안, 소정의 접촉압력을 유지하는 것은 극히 곤란하여, 접촉압력이 강해지기도 하고 약해지기도 해 버린다. 이 결과, 닥터 블레이드의 선단과 와이퍼가 떨어져 버려 닥터 블레이드의 선단이 불식되지 않거나, 닥터 블레이드의 선단과 와이퍼가 파괴되기도 하기 때문에, 작업성이 나쁘다. 또한, 닥터 블레이드의 선단에 사람의 손이 스쳐서 부상하기도 하기 때문에 위험성이 높다.

(8) 와이퍼를 사람의 손으로 들어 닥터 블레이드를 끼워 넣으면서 불식하기 때문에, 와이퍼에 의해 소정의 삽입압력으로 닥터 블레이드를 끼워 넣고, 닥터 블레이드의 긴쪽 방향으로 이동시키고 있는 동안, 소정의 삽입압력을 유지하는 것이 극히 곤란하여 삽입압력이 강해지기도 하고 약해지기도 해 버린다. 그 결과 불식이 충분한 부분과 불충분한 부분이 생겨 버려 닥터 블레이드에 달라붙은 잔류잉크를 충분히 제거할 수 없다. 또한, 닥터 블레이드를 균일하게 불식할 수 없다.

충분히 불식할 수 없는 닥터 블레이드로 잉크를 충전계량하면, 닥터 블레이드에 달라붙은 잉크가 凹판롤에 공급된 새로운 잉크에 섞여 버리므로, 잉크를 다른 종류로 교환할 때마다 다른 종류의 잉크가 혼합되게 된다. 또한 닥터 블레이드의 선단이 凹凸로 된 경우에는 불식 불균일이 생기고, 凹판롤 전체의 잉크셀에 확실하게 충전계량을 할 수 없다.

또한, 충분하고 균일하게 잉크를 불식해 두지 않으면, 달라붙은 잉크에 의해 닥터 블레이드의 선단이 凹凸로 되므로, 잉크셀내에 잉크를 잘 충전할 수 있는 부분과 충전할 수 없는 부분이 생기고, 그 때문에 잉크셀내로의 충전량에 불균일이 발생하여 막두께가 균일하게 되지 않는다. 따라서, 예컨대 액정배향막 등의 고분자 박막패턴을 형성하는 경우에는, 막 두께의 균일성이 악화되어 표시불균일을 야기시킴으로써 박막의 기능이 저하하는 문제가 발생한다.

(9) 건식용 기체분출수단을 사람의 손으로 들고 닥터 블레이드의 건조를 수행하기 때문에, 기체분출수단과 닥터 블레이드간에 소정의 거리를 두고 닥터 블레이드의 긴쪽 방향으로 기체분출수단을 이동시키고 있는 동안, 일정한 거리를 유지하는 것은 극히 곤란하여 거리가 커지기도 하고 작아지기도 한다. 그 결과, 건조가 충분한 부분과 불충분한 부분이 생겨 버려 닥터 블레이드를 균일하게 건조할 수 없다.

균일하게 건조할 수 없는 닥터 블레이드를 사용하면, 불식에 이용한 용제등이 凹판롤에 공급된 새로운 잉크에 섞여 버린다. 그 때문에, 이와 같은 잉크를 이용하여 예컨대, 액정배향막 등의 고분자 박막패턴을 형성하는 경우에는, 절연성이 저하하거나 막두께 불균일이나 배향 불균일을 일으키기 때문에, 박막의 기능이 저하하는 문제가 발생한다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기와 같은 결점을 해소하고, 인쇄준비작업을 사람의 손을 거치지 않고 자동화함으로써 박막의 기능향상 및 작업효율의 향상을 도모할 수 있는 박막형성장치 및 박막형성방법을 제공하는 것이다.

[발명의 개시]

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 다음과 같이 구성한다.

즉, 본 발명의 하나의 실시예에 의하면, 다수의 잉크셀을 갖추는 凹판롤과, 잉크셀내에 잉크를 충전하는 잉크공급수단과, 상기 凹판롤의 판동체 표면을 불식하는 닥터 블레이드, 상기 凹판롤의 잉크가 전이되는 턴성판이 판동체에 둘러 감겨지는 인쇄롤 및, 인쇄롤의 잉크가 전이되는 피인쇄체를 고정하는 인쇄테이블을 갖추는 인쇄장치부를 구비하는 박막형성장치에 있어서, 상기 인쇄장치부에 인접하여 설치되는 다관절로보트와, 상기 다관절로보트의 아암에 부착되어 상기 인쇄롤로의 상기 탄성판의 부착 및 분해동작, 상기 凹판롤 주면에 있어서 잉크의 불식동작 및, 상기 닥터 블레이드에 있어서 잉크의 불식동작을 적어도 한동작을 수행하는 인쇄준비작업 실시수단을 구비하도록 구성한다.

상기의 구성에 의하면, 인쇄준비작업을 사람의 손을 이용하지 않고 자동화할 수 있고, 박막의 기능향상 및 작업효율의 향상 등을 도모 할 수 있다.

[도면의 간단한 설명]

본 발명의 목적과 특징은 첨부된 도면에 대해 바람직한 실시예에 관련된 다음의 기술로부터 분명하게 된다. 본 도면에 있어서는,

제1도는 본 발명의 박막형성장치의 제1실시예를 나타내는 사시도.

제2도는 상기 박막형성장치의 인쇄장치부를 나타내는 측면설명도.

제3도는 상기 박막형성장치의 탄성판 작동부착 및 분해장치부를 나타내는 설명도.

제4도는 상기 박막형성장치의 탄성판 작동부착 및 분해장치부를 나타내는 설명도.

제5도는 상기 박막형성장치의 탄성판 작동부착 및 분해장치부를 나타내는 설명도.

제6도는 상기 박막형성장치의 탄성판 작동부착 및 분해장치부를 나타내는 설명도.

제7도는 상기 박막형성장치의 탄성판 작동부착 및 분해장치부를 나타내는 설명도.

제8도는 상기 박막형성장치의 탄성판 작동부착 및 분해장치부의 변형예의 요부확대 단면 설명도.

제9도는 제8도의 상면도.

제10도는 제9도에 있어서 탄성판의 인장방향을 조절하고 있는 부분의 상면도.

제11도는 본 발명의 박막형성방법의 제1실시예에 있어서, 탄성판 자동부착 및 분해하여 사용하는 탄성판과 판홀더의 요부를 확대한 도면.

제12도는 종래의 박막형성방법에서, 탄성판을 부착하고 있는 경우의 탄성판의 상태의 설명도.

제13도는 본 발명의 박막형성방법의 상기 실시예에서 느슨함이 없게 되도록 탄성판을 핀으로 펼친 상태의 설명도.

제14도는 종래의 박막형성방법에서, 탄성판을 부착하고 있는 경우의 탄성판의 상태의 설명도.

제15도는 본 발명의 박막형성방법의 상기 실시예에서 느슨함이 없게 되도록 탄성판을 핀으로 펼친 상태의 설명도.

제16도는 상기 박막형성장치에 있어서 고정척수단, 인장척수단, 제1척수단 및 제2척수단의 다른 구성을 나타내는 도면.

제17도는 박막형성장치의 제어를 수행하는 회로부분의 블록도.

제18도는 본 실시예의 박막형성장치에 있어서, 인쇄롤판 동체에 탄성판을 부착한 경우의 흐름도.

제19도는 본 발명의 박막형성장치의 제2실시예를 나타내는 사시도.

제20도는 상기 제2실시예의 박막형성장치의 凹판롤 자동불식장치부를 나타내는 설명도.

제21도는 凹판롤 자동불식장치부의 와이퍼홀더수단이 凹판롤의 판 동체표면을 접촉하면서 이동하는 궤적을 나타내는 설명도.

제22도는 凹판롤 자동불식장치의 변형예의 요부확대 단면 설명도.

제23도는 제22도의 X-X선 단면도.

제24도는 凹판롤 자동불식장치부에 탄성판 자동부착 및 분해수단과 닥터 블레이드 불식용 와이퍼홀더수단이 부착되어진 상태의 모식도.

제25도는 본 발명의 박막형성장치의 제3실시예를 나타내는 사시도.

제26도는 상기 박막형성장치의 닥터 블레이드 자동불식장치부를 나타내는 설명 측면도.

제27도는 제26도의 상면도.

제28도는 상기 박막형성장치의 닥터 블레이드 자동불식장치부의 변형예의 요부확대 측면 설명도.

제29도는 제28도에 나타낸 닥터 블레이드 자동불식장치부의 상부척과 하부척이 이간(籬間)한 상태를 나타내는 도면.

제30도는 제28도에 나타낸 닥터 블레이드 자동불식장치부의 상부척과 하부척이 접근한 상태를 나타내는 정면도.

제31도는 종래의 박막형성장치를 나타내는 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 핸드본체 6 : 다관절로보트

7 : 탄성판 10 : 축받침부

11 : 회전가이드 12 : 캠 추종가이드홈

13 : V자부 60 : 아암

61 : 관절 62 : 로보트기대(基臺)

70 : 선단(先端) 101 : 탄성판 자동부착 및 분해장치부

102 : 고정척수단 103 : 인장척수단

104 : 탄성판 장력조절수단 105 : 핸드

108 : 인쇄롤판 동체 121 : 척본체

122 : 구동부 123 : 파지부(把持部)

130 : 회전축부 131 : 척본체

133 : 인장척수단 회전중심 140 : 회전축부

141 : 에어실린더본체 142 : 로드

143 : 축받침체 144 : 캠 추종

145 : 축받침부 161 : 부착부

162 : 부착수단 회전중심 170 : 제1판홀더

171 : 제2판홀더 175 : 핸드용 척구멍

176 : 인쇄롤용 척구멍 177 : 위치결정구멍

180 : 제1척수단 181 : 제2척수단

A : 凹판롤 B : 잉크공급수단

B1 : 잉크공급노즐 B2 : 닥터 블레이드

B3 : 닥터 블레이드 지지봉 C : 인쇄롤

D : 인쇄테이블 D1 : 안내레일

D2 : 피인쇄체 D3 : 래크

D4 : 지지틀 202 : 凹판롤 불식용 와이퍼홀더수단

203 : 반발누름수단 204 : 기체분출수단

205 : 핸드 208 : 와이퍼

210 : 받침부 211 : 고정설치부

215 : 부착체 220 : 와이퍼부착부

221 : 회전축부 223 : 누름면

224 : 와이퍼척 230 : 반발력발생체

231 : 축받침체 232 : 가이드로드

233 : 스토퍼 235 : 받침부

236 : 축받침부 270 : 회전축

271 : 동체부 표면 272 : 인쇄롤

302 : 와이퍼홀더수단 303 : 반발누름수단

304 : 기체분출수단 305 : 핸드

308 : 와이퍼 309 : 블레이드홀더수단

320 : 와이퍼홀더본체 321 : 척수단

322 : 파지력 발생수단 323 : 에어실린더본체

324 : 회전자축 325 : 회전자

330 : 스프링 331 : 부착체

332 : 부착로드 333 : 걸림핀

334 : 걸림핀 340 : 상부척

341 : 걸림핀 342 : 걸림핀

350 : 하부척 351 : 걸림핀

352 : 걸림핀 353 : 기체분출구멍

361 : 로드 390 : 상부 블레이드홀더

391 : 하부 블레이드홀더

[발명을 실시하기 위한 최적의 형태]

본 발명의 기술(記述)을 계속하기 전에, 첨부한 도면에 있어서 동일한 부품에 대해서는 동일한 참조부호를 나타낸다.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 제1실시예를 설명한다.

제1실시예에 있어서, 박막형성장치 및 박막형성방법의 개요를 설명한다.

이 제1실시예의 박막형성장치 및 박막형성방법에서는, 탄성판 자동부착 및 분해장치부에서 다관절로보트의 아암에 부착된 핸드를 이용하여 탄성판의 부착 및 분해를 수행 한 후, 인쇄장치부에서 피인쇄체에 박막을 형성하기 때문에, 인쇄롤판 동체를 자동적으로 부착 할 수 있고, 인쇄 후에도, 자동적으로 탄성판을 분해할 수 있으며, 그 때문에 박막형성의 일련의 전체공정을 스무드하게 수행할 수 있기 때문에, 박막형성의 효율이 좋게 된다.

또한, 탄성판 자동부착 및 분해장치부에서, 탄성판 장력조절수단의 에어실린더본체로부터 로보트를 자동적으로 전후 이동시켜서 핸드 본체와 인장척수단과의 거리의 대소(大小)조절을 수행하지 않고, 탄성판의 장력을 자동적으로 조절하면서, 탄성판을 인쇄롤판 동체에 부착한 후, 인쇄장치부에서 피인쇄체에 박막을 형성한다.

따라서, 탄성판이 인쇄롤판 동체에 둘러 감겨지기 직전 및 둘러 감겨질 때에, 탄성판에 과도한 장력이 걸린 상태로 되었어도, 또는 장력이 만족하지 않게 느슨해진 상태로 되었어도, 탄성판 장력조절수단에 의해 탄성판에 걸리는 장력이 소정의 값에 자동적으로 교정되기 때문에, 소정의 크기의 장력이 탄성판에 항상 걸리게 된다.

그 결과, 탄성판은 주름진 상태로 되지 않고, 개끗한 모양으로 인쇄롤판 동체에 설치된다. 따라서, 탄성판에 잉크를 전이하고, 더욱이 피인쇄체에 전이해도, 전이량의 차이는 발생시키지 않으며, 피인쇄체에 균일한 막두께의 박막을 형성할 수 있다.

구체적으로는 다음과 같이 한다.

결국, 탄성판에 걸리는 장력은 인쇄롤판 동체의 회전에 의해 탄성판을 당기는 힘과 에어실린더의 로드에 의해 탄성판을 반대로 인장하는 힘이 합성되는 힘으로 된다. 본 발명의 탄성판 자동부착 및 분해장치의 핸드본체와 인장척수단과의 거리의 대소는 이 탄성판에 걸리는 장력의 대소에 대해서 자동적으로 변화한다.

예컨대, 탄성판이 인쇄롤판 동체에 둘러 감겨지고 있는 가장 중간에, 핸드의 이동이 인쇄롤판 동체의 회전보다도 약간 늦게된 경우는, 탄성판에 걸리는 장력이 소정의 값을 초과하여 에어실린더본체에 로드가 후퇴하고, 탄성판 장력조절수단과 인장척수단과의 거리를 작게 한다. 그 결과 제1판홀더와 제2판홀더와의 거리가 일정하게 유지되기 때문에, 탄성판에 걸리는 장력이 소정의 값으로 된다.

반대로, 탄성판이 인쇄롤판 동체에 둘러 감겨지고 있는 중에 핸드의 이동이 인쇄롤판 동체의 회전보다도 약간 늦게된 경우는, 탄성판에 걸리는 장력이 소정의 값보다 작게 되고, 작게된 부분을 만회하기 위해 에어실린더본체로부터 로드가 전진하고, 탄성판 장력조절수단과 인장척수단과의 거리를 크게 한다. 그 결과, 제1판홀더와 제2판홀더와의 거리가 일정하게 유지되기 때문에, 탄성판에 걸리는 장력이 소정의 값으로 된다.

또한, 탄성판 자동부착 및 분해장치부에서 탄성판 장력조절수단 또는/및 인장척수단을 본체에 대해 회전시키고, 인장척수단에 의해 탄성판을 당기는 각도의 대소의 조절을 수행하지 않고, 탄성판을 당기는 방향을 자동적으로 조절하면서 탄성판을 인쇄롤판 동체에 부착한 후, 인쇄장치부에서 피인쇄체에 박막을 형성한다.

따라서, 탄성판이 인쇄롤판 동체에 둘러 감겨지기 직전 및 둘러 감겨지는 가장 중간에 탄성판의 일부에 느슨함이 발생하는 상황이 되었어도, 탄성판 장력조절수단에 의해 탄성판을 인장하는 방향을 자동적으로 교정하고, 탄성판 전체에 균일하게 장력이 걸리도록, 핀으로 펼친 상태로 유지된다.

그 결과, 탄성판은 주름진 상태로 되지 않고, 개끗한 모양으로 인쇄롤판 동체에 부착된다. 따라서, 탄성판에 잉크를 전이하고, 더욱이 피인쇄체에 전이해도 전이량의 차는 발생시키지 않는다. 피인쇄체에 균일한 막두께의 박막을 형성할 수 있다.

구체적으로는 다음과 같이 한다.

결국, 인장척수단에 의해 탄성판을 당기는 방향은 이 탄성판의 일부에 발생하는 느슨함에 대해서 자동적으로 조절되는 것이다.

예컨대, 탄성판이 (A)탄성판의 제1판홀드와 제2판홀드가 미묘하게 평행하지 않은 상태, 이른바 경사가 어긋난 상태로 당겨지지 않으면, 탄성판의 일부에 느슨함이 발생 해 버려, 핀으로 펼쳐지지 않은 경우(제12도 참조)는 인장척수단이 핸드본체에 대해 인장척수단 회전축을 중심으로 경사가 어긋난 부분만 우측으로 회전되고, 탄성판이 핀으로 펼친 상태로 된다(제13도 참조).

또는, 탄성판이 (B) 제1판홀더의 정면에 제2판홀더가 위치하지 않는 상태, 이른바 평행이 어긋난 상태로 당겨지지 않으면, 탄성판의 일부에 느슨함이 생겨버려, 핀으로 펼쳐지지 않은 경우(제14도 참조)는, 탄성판 길이조절수단이 핸드본체에 대해 부착수단 회전축을 중심으로 필요한 각도만 좌측으로 회전시키게 된다. 더욱이, 인장척수단이 탄성판 장력조절수단의 축받침에 대해 인장척수단 회전축을 중심으로 필요한 각도만 우측으로 회전시키게 되고, 제1판홀더와 제2판홀더가 평행하게 되어(제10도 참조), 탄성판이 핀으로 펼친 상태로 된다(제15도 참조).

우선, 제1실시예의 박막형성장치의 탄성판 자동부착 및 분해장치부를 설명한다.

상기 탄성판 자동부착 및 분해장치부(101)는 제1도 및 제3도에 나타낸 바와 같이 핸드(105)가 다관절로보트(6)의 아암(60)에 부착되어 있는 것이다.

다관절로보트(6)는 범용되고 있는 산업용 로보트로 복수의 아암(60)이 관절(61)을 매개로 수평 수직으로 굴곡이 자유롭게 연결되어 있다. 즉, 다관절로보트(6)는 수평 다관절로보트와 수직형 다관절로보트 또는 직교형 로보트로도 좋다. 복수의 아암(60)이 모인 아암군의 일단에는 핸드(105)가 부착되고, 타단은 로보트 기대(62)에 지탱되고 있는 구조인 것이다. 관절(61)은 유압이나 수압 또는 모터에 의해, 다단계 또는 무단계로 아암(60)을 굴곡시켜서 구동시키는 부분이다. 로보트 기대(62)는 유압이나 수압 또는 모터에 의해 아암군을 수직방향으로 다단계 또는 무단계로 구동시키는 부분이다.

핸드(105)는 핸드본체(1)와 고정척수단(102), 인장척수단(103) 및 탄성판 장력조절수단(104)을 갖춘다(제1도 및 제3도 참조).

핸드본체(1)는 적절한 두께를 갖춘 방형상(方形狀)의 판체(板體)로 그 표면의 중앙부에 다관절로보트(6)의 아암(60)이 고정되게 설치되고, 다관절로보트(6)의 아암(60)의 구동에 의해 상하좌우 및 아암(60)을 중심으로 한 회전 등 자유롭게 이동가능하게 된다. 핸드본체(1)에는 제8도에 나타낸 부착수단(140)을 구비할 수 있다.

원통형 인쇄롤판 동체(108)의 판 동체 표면에 둘레방향에 따라 부착되는 탄성판(7)은 고무나 나이론계의 수지 등으로 이루어지는 연질의 판으로, 표면에 원하는 패턴으로 凸부가 형성된 凸판으로도 좋게 하고, 凹판 또는 평판으로도 좋다. 탄성판(7)은 인쇄롤판 동체(108)에 부착된 경우, 그 둘레방향의 양단은 제1판홀더(170)와 제2판홀더(171)에 의해 유지된다. 제1판홀더(170)나 제2판홀더(171)는 핸드용 척구멍(175)과, 인쇄롤용 척구멍(176), 위치결정용 척구멍(177)이 판홀더의 횡중심선에 대해 나란히 형성된 부재(部材)이다(제11도 참조). 인쇄롤판 동체(108)에 둘러 감겨진 탄성판(7)은, 상기 凸부의 상단부에 인쇄용 잉크가 부착되고, 피인쇄체의 표면에 凸부가 접촉함으로써, 잉크를 전이시켜서 인쇄하는 인쇄용 판이다.

고정척수단(102)은 제1도 및 제3도로부터 제7도에 나타낸 바와 같이 탄성판(7)의 제1판홀더(170)를 유지하기도 하고 유지를 해제하기도 할 수 있는 기구를 구비한 것으로 핸드본체(1)의 이면(裏面)측으로 되어 핸드본체(1)의 한변에 따라 고정되게 설치된다. 더욱, 고정척수단(102)의 핸드본체(1)로의 고정방법은 상기 기술한 것으로 제한되는 것은 아니고, 다음에 기술하는 부착수단(140)에 고정되어 있어도 좋다(제8도 내지 제10도 참조).

고정척수단(102)으로서는 제3도 및 제4도 등에 나타낸 바와 같이, 척본체(121)와 이 척본체(121)의 표면에 노출한 전자석(나타내지 않음)으로 이루어지는 자력식 고정기구를 구비한다. 이 자력식 유지기구에서는 고정척수단(102)의 척본체(121)를 탄성판(7)의 금속제 판홀더에 접촉시켜서 상기 전자석에 자력을 발생시키는 것으로, 척본체(121)로 상기 기판홀더를 유지한다. 상기 판홀더의 유지를 해제할 때는 상기 전자석의 자력을 소멸시키면 된다.

또한, 다른 고정척수단(102)으로서는 척본체(121)의 판홀더와 접하는 면에 진공흡인구멍(나타내지 않음)을 설치한 진공흡착식 고정기구를 구비한 것이다. 이 진공흡착식 고정기구에서는 고정척수단(102)의 척본체(121)를 판홀더에 접촉시켜서, 진공흡인구멍으로부터 진공흡인하여 판홀더를 척본체(121)에 유지한다. 유지를 해제할 때에는 진공흡인을 중지한다.

더욱이, 다른 고정척수단(102)으로서는, 예컨대 제16도에 나타낸 바와 같이 척본체(121)와 척본체(121)의 측면에 부착된 구동부(122)와, 구동부(122)로 도시하는 상하방향으로 구동되는 L자형의 단면을 갖추는 파지부(123)를 구비한다. 이와 같은 고정기구에서는 구동부(122)로 파지부(123)을 상하로 움직이게 하고, 탄성판(7)의 제1凸판홀더(170)를 척본체(121)와 파지부(123)로 끼움, 또는 파지를 해제한다.

인장척수단(103)은 핸드본체(1)의 이면측으로 되어 상기 기술한 고정척수단(102)에 대향하여 설치되는 것이기 때문에, 고정척수단(102)으로 유지되는 탄성판(7)이 제2판홀더(171)의 유지 또는 유지의 해제를 수행하는 기구를 구비한다. 구체적인 기구로서는 상기 기술한 고정척수단(102)과 동일한 기구를 채용한다. 또, 인장척수단(103)은 핸드본체(1)의 이면에 따른 방향으로 대면하는 고정척수단(102)간의 거리를 신축(伸縮)하는 방향으로 신축이동되지만, 이와 같은 신축이동 및 인장척수단(103)의 핸드본체(1)로의 부착을 위한 간단한 기구로서는 핸드본체(1)의 이면에 설치된 에어실린더의 구동축의 선단에 인장척수단(103)을 직접 부착할 수 있다(제1도, 제3도 내지 제7도 참조). 더욱, 핸드본체(1)에 대해 인장척수단(103)의 이동을 안내 및 보조하기 위해, 제9도에 나타낸 바와 같이 핸드본체(1)의 이면에는 상기 에어실린더의 양측에 안내수단(147)이 설치된다. 안내수단(147)은 상기 로드(142)와 같은 방향으로 연재하여 일단이 인장척수단(103)에 부착되는 안내로드(148)와 이 안내로드(148)의 축방향으로의 왕복이동을 가이드 하는 안내부재(149; 案內部材)를 갖춘다.

더욱, 제8도 내지 제9도에는, 인장척수단(103)으로서 척본체(131)와 축받침체(143)를 갖추는 경우를 나타내고 있으며, 에어실린더의 구동축의 선단에 인장척수단(103)을 직접 부착하는 구조로는 아니고, 축받침체(143)를 부착한 보다 양호한 실시예에 있어서의 기구를 개시하고 있다.

탄성판 장력조절수단(104)은 핸드본체(1)와 인장척수단(103)간의 거리를 신축하기 위해, 에어실린더나 스프링 등의 신축가능한 기구를 구비하는 것으로, 탄성판 장력조절수단(104)의 일단을 고정척수단(102)에 고정하고, 다른 단을 인장척수단(103)에 고정한다.

탄성판 장력조절수단(104)의 별도의 구체적인 구성으로서는, 제8도에 나타낸 바와 같이 에어실린더본체(141)와 로드(142)로 이루어지는 구성이 있다.

부착수단(140)은 제8도 및 제9도에 나타낸 바와 같이, 방(方)형상의 판체인 부착부(161)와 부착부(161) 표면의 거의 중앙부에 돌출하는 거의 원주상의 회전축부(160)로부터 구성된다. 회전축부(160)는 핸드본체(1)의 내부에 형성된 凹형상의 축받침부(10)에 진입하여, 콜로축받침으로 이루어지는 회전가이드(11)를 매개로 핸드본체(1)의 아랫면에 대해 수평회전이 가능하게 되어 있다. 따라서, 부착수단(140)은 탄성판(7)에 느슨함이 발생하지 않은 상태로 되는 방향으로 탄성판(7)을 늘릴 수 있도록 수시로 회전한다(제10도 참조). 더욱이, 핸드본체(1)의 내부에 직선 슬라이드가이드를 형성하여, 탄성판수단(140)이 상기 직선 슬라이드 가이드를 따라 직선적으로 슬라이드 이동하도록 해도 좋다.

또, 부착부(161)의 이면에는 고정척수단(102)이 고정된다. 에어실린더본체(141)는 에어실린더본체(141)내로의 에어의 공급, 분출에 의해 에어실린더본체(141)의 축방향에 신축이동하는 로드(142)를 갖추게 하며, 부착수단(140)의 부착부(161) 이면의 거의 중앙부에 인장척수단(103)의 연계방향에 대해 수직방향으로 고정되게 설치되어 있다.

또, 본 예에 있어서, 상기 기술한 안내수단(147)도 부착부(161)의 이면으로 에어실린더본체(141)의 양측에 설치된다.

에어실린더본체(141)의 로드(142)의 단부에는 축받침체(143)가 부착된다. 또, 축받침체(143)에는 147의 안내로드(148)의 선단부도 부착된다. 축받침체(143)는 캠 추종( 144)과 축받침부(145)를 구비하고 있다. 한편, 인장척수단(103)에 대응하여, 핸드본체(1)에는 상기 로드(142)의 신축방향에 연재하는 돌출부(14)가 형성되며, 돌출부(14)로는 캠 추종(144)의 직경보다도 폭이 넓게 되어 캠 추종(144)이 접동(摺動)가능한 캠 추종가이드홈(12)이 형성되어 있다(제9도 참조).

축받침체(143)는 에어실린더의 로드(142)의 신축이동에 연동하여, 캠 추종가이드홈(12)의 긴 방향의 범위내(제8도 및 제9도로 말하면, 좌우방향의 거리에 상당한다.)에 고정척수단(102) 및 부착수단(140)에 대해 먼 방향과 가까운 방향의 직선이동을 하도록 되어 있다.

또한, 축받침체(143)은 부착수단(140)이 부착수단 회전중심(162)을 중심으로 회전할 때에 부착수단(140)과 일체로 되어, 캠 추종가이드(12)의 폭방향의 범위내(제9도에서 말하면, 아래 방향의 거리에 상당한다.)에 핸드본체(1)에 대해 축회전을 한다. 축받침체(143)는 직선이동과 축회전을 다르게 수행하는 것도 동시에 수행할 수 있다.

또한, 로드(142)가 에어실린더본체(141)측으로 후퇴하고, 캠 추종(144)이 캠 추종가이드홈(12)의 V자부(13)에 끼워 넣음으로써, 캠 추종(144)이 캠 추종가이드홈(12)의 긴 방향으로도, 폭방향에도 이동할 수 있게 되며, 그 결과 축받침체(143)가 부착수단 회전중심(162)을 중심으로 하여 회전할 수 있도록 할 수도 있다.

본 실시예에 있어서는, 인장척수단(103)은 회전축부(130)와 척본체(131) 및 축받침체(143)를 갖춘다. 회전축부(130)는 축받침체(143)의 축받침부(145)에 회전 가능하게 후퇴하게 되어, 축받침체(143)의 아랫면에 대해 수평회전가능하게 되어 있다. 따라서, 인장척수단(103)은 탄성판(7)에 느슨함이 생기지 않는 상태로 되는 방향에 탄성판(7)을 당길 수 있도록 수시로 회전한다(제10도 참조).

상기 고정척수단(102)과, 인장척수단(103) 및 탄성판 장력조절수단(104)이 부착되어 있는 핸드본체(1)의 별도의 개소(箇所)에는 凹판롤 불식용 와이퍼홀더수단(202) 또는/및 닥터 블레이드 불식용 와이퍼홀더수단(302)이 부착되어 있어도 좋다.

凹판롤 불식용 와이퍼홀더수단(202)은 예컨대, 제9도 및 제10도에 나타낸 바와 같이, 고정척수단(102) 및 인장척수단(103)을 잇는 선과 직교하는 선상에 반발누름수단(203)을 매개로 핸드본체(1) 또는 부착수단(140)에 부착된다. 凹판롤의 잉크셀에 잔류한 불필요한 잉크를 제거할 필요가 생길 때, 凹판롤 불식용 와이퍼홀더수단(202)에 용제 등을 투입하여 부직포(不織布) 등으로 이루어지는 와이퍼를 유지시키고, 핸드본체(1) 또는 부착수단(140)을 90°회전시켜서 다관절로보트(6)의 아암(60)을 구동시켜서 凹판롤의 표면을 불식한다. 반발누름수단(203)은 스프링이나 에어실린더 등의 반발력을 이용하여, 소정의 접촉압력으로 凹판롤의 판동체에 와이퍼가 눌러지도록 하는 수단이다.

또한 닥터 블레이드 불식용 와이퍼홀더수단(302)은 예컨대, 제9도 및 제10도에 나타낸 바와 같이, 凹판롤 불식용 와이퍼홀더수단(202)에 대향하는 위치에 반발누름수단(303)을 매개로 핸드본체(1) 또는 부착수단(140)에 부착된다. 닥터 블레이드에 잔류한 불필요한 잉크를 제거할 필요가 생길 때, 닥터 블레이드의 와이퍼홀더수단(302)에 용제 등을 투입하여 부직포 등으로 이루어지는 와이퍼를 유지시키고, 핸드본체(1) 또는 부착수단(140)을 90°회전시키며, 다관절로보트(6)의 아암(60)을 구동시켜서 닥터 블레이드의 표면을 불식한다. 반발누름수단(303)은 스프링이나 에어실린더 등의 반발력을 이용하여, 소정의 접촉압력으로 닥터 블레이드의 선단에 와이퍼를 접촉시키고, 소정의 삽입압력으로 닥터 블레이드의 상하면을 와이퍼에 의해 끼우는 수단이다.

다욱, 상기 기술한 바와 같은 탄성판 자동부착 및 분해장치부는, 제17도에 나타낸 다관절로보트(6)에 구비하는 제어장치(185)로 동작제어된다. 제어장치(185)에는 다관절로보트(6)의 아암(60) 등의 구동부(186)와 인장척수단(103)을 동작시키는 척동작부(187), 탄성판 장력조절수단(104)의 에어실린더(142)의 로드(142)의 구동부(189), 닥터 블레이드의 세정의 경우의 기체분출동작을 수행하는 동작부(190), 닥터 블레이드의 세정의 경우의 와이퍼의 파지동작을 수행하는 동작부(191) 및, 凹판롤의 불식의 경우 기체분출동작을 수행하는 동작부(192), 凹판롤의 불식의 경우 와이퍼의 파지동작을 수행하는 동작부(193)의 각각이 전기적으로 접속되어 있다.

더욱이, 제17도는 다음에 기술하는 제2 및 제3의 각 실시예에도 공통의 도면이고, 상기 기술한 실시예에서는 사용하지 않은 구성부분도 기재되어 있다.

실시예에 있어서, 박막형성장치의 인쇄장치부를 설명한다.

상기 인쇄장치부는 다수의 잉크셀을 갖추는 凹판롤(A)과 잉크셀내에 잉크를 충전하는 잉크공급수단(B), 凹판롤의 잉크가 전이되는 탄성판을 판동체에 갖추는 인쇄롤(C), 인쇄롤의 잉크가 전이도는 피인쇄체를 고정하는 인쇄테이블(D)로 이루어진다.

인쇄장치부는 장방형대로 이루어지는 기대(E)의 중앙부에 지지틀(F)이 형성되고, 지지틀(F)에는 凹판롤(A) 및 인쇄롤이 자유롭게 회전하도록 지지되어 있다. 또한 凹판롤(A)의 상부에는 잉크공급수단(B)이 배치된다. 기대(1)위에는 인쇄테이블(D)이 배치되어 있다.

凹판롤(A)은 회전축에 동체부가 고정되고, 동체부의 표면에 다수의 잉크셀을 구비하고 있다. 잉크셀은 예컨대, 깊이 10~수10㎛의 것이다. 동체부는 인새롤(C)판 동체의 탄성판의 凸부에 일정한 압력으로 접하고 있다.

잉크공급수단(B)은 잉크공급노즐(B1)과 닥터 블레이드(B2)로 이루어진다. 상기 잉크공급수단(B)은 닥터 블레이드의 凹판롤(A)과는 반대측의 지지틀 상단부에 한쌍의 레일을 가설한다. 이 레일상에는 잉크공급체를 이동자제로 구비함과 더불어, 이 잉크공급체의 잉크노즐(B1)을 상기 닥터의 윗쪽으로, 또한 凹판롤(A)의 표면 윗쪽으로 연장시키고 있다. 상기 잉크공급체는 도시하지 않은 와이어 등을 매개로 모터 또는 에어실린더의 구동에 의해, 상기 한쌍의 레일을 따라 전후로 동작하여, 닥터 블레이드(B2)와 凹판롤(A)이 접촉한 부분에 잉크가 쌓이도록 잉크공급노즐(B1)로부터 凹판롤(A)에 잉크를 공급한다. 잉크는 예컨대, 점성이 수10~30,000c.p.s정도의 것이고, 합성수지 또는 수지전구체(前驅體) 및 용제의 혼합물로 이루어진다. 닥터 블레이드(B2)는 판상체로서 지지틀(F)에 부착된 닥터 블레이드 지지봉(B3)에 부착되어 있다. 닥터 블레이드 지지봉(B3)을 회전시킴으로써 닥터 블레이드(B2)가 凹판롤(A)의 표면에 접촉하기도 하고 떨어지기도 한다.

잉크공급노즐(B1)로부터 공급된 잉크는 닥터 블레이드(B2)에 의해 잉크의 계량충전이 수행된다. 이렇게 하여, 잉크공급수단(B)은 凹판롤(A)의 표면상에 떨어진 잉크를 凹판롤(A) 표면으로 넓혀, 잉크를 잉크셀내에 충전시켜, 凹판롤(A) 표면에 균일성이 높은 잉크의 막을 형성한다.

인쇄롤(C)은 그 회전축에 동체부가 고정되고, 동체부에는 부틸고무 등의 고무 혹은 나이론계 수지 등의 합성수지 또는 감광성 고무 혹은 감광성 수지 등으로 이루어지는 연질제의 탄성판(7)이 부착되기도 하고, 분해되기도 한다. 탄성판(7)에 凹판롤(A)의 잉크가 전이된다.

인쇄테이블(D)은 기대(E)상에 재치(載置)되어 있다. 기대(E)의 윗면에는 지지틀(F) 아랫쪽의 인쇄위치(b)와 지지틀(F) 아랫쪽으로부터 피인쇄체 반입측으로 떨어진 피인쇄체 재치위치(a)와 지지틀 아래쪽으로부터 피인쇄체 반출측으로 떨어진 반출위치(c)간의 양측에 각각 안내레일(D1)이 고정되어 있다. 인쇄테이블(D)은 기대(E)상에서 안내레일을 따라 각 위치(a·b·c)간을 이동한다. 기대(E)의 피인쇄체 재치위치(a)에서 인쇄테이블에 피인쇄체(D2)가 실리고, 기대(E)의 인쇄위치(b)에서 인쇄롤(C)에 접촉하여, 인쇄롤(C)의 탄성판(7)의 잉크를 인쇄체(D2)상에 전이시켜 인쇄형성하고, 기대(E)의 반출위치(c)에서 인쇄체(D2)가 반출된다.

인쇄테이블(D)은 그 윗면에 판상의 피인쇄체(D2)를 재치하고, 피인쇄체(D2)의 위치를 결정하여 이것을 유지한다. 또한, 인쇄테이블(D)의 하단면에는 안내레일(D1)에 대해 평행한 래크(D3)가 부착되어 있다. 이 래크(D3)에는 피니온(D4)이 연동하게 되고, 이 피니온(D4)의 정역회전에 의해 인쇄테이블(D)이 래크(D3)와 더불어 왕복 슬라이드 이동하도록 구성되어 있다.

더욱이, 상기 기술한 인쇄장치부의 동작은 제17도에 나타낸 인쇄장치측의 제어장치(194)로 제어된다. 또, 제어장치(194)는 제어장치(185)와 전기적으로 접속되어 있고, 이것들은 서로 정보교환을 하면서 박막형성장치 전체의 동작제어를 수행한다. 더욱이, 제어장치(185)와 제어장치(194)는 이와 같이 별도의 것으로 되어 1개의 제어장치로 구성하는 경우도 있다. 또, 제어장치(194)에는 인쇄롤의 회전 동작부(195), 인쇄롤에 있어서의 제1척수단(180) 및 제2척수단(181)의 구동부(196), 凹판롤의 회전 구동부(197), 닥터 블레이드의 각도조정부(198)의 각각의 구성부분이 전기적으로 접속되어 있다.

발명에 있어서 박막형성방법의 제1실시예를 설명한다.

먼저, 탄성판 자동부착 및 분해장치부에서 제1판홀더(170)와 제2판홀더(171)에 의해 양단이 잡혀진 탄성판(7)을 제1척수단(180)과 제2척수단(181)을 갖춘는 인쇄롤판 동체(108)에 둘러 감긴다.

제1판홀더(170)나 제2판홀더(171)로서는, 핸드용 척구멍(175)과, 인쇄롤용 척구멍(176) 및, 위치결정용 척구멍(172)이 판홀더의 중심에 대해 대칭적으로 나란히 형성된 부재이다(제11도 참조). 제1척수단(180)과 제2척수단(181)로서는, 본 실시예의 탄성판 자동부착 및 분해장치부의 고정척수단(102)이나 인장척수단(103)의 부분으로 기술한 것과 동일한 자력식 유지기구, 진공흡착식 유지기구 등이다.

우선, 느슨해진 상태의 탄성판(7)의 제1판홀더(170) 및 제2판홀더(171)를 본 실시예의 탄성판 자동부착 및 분해장치부의 핸드(105)의 고정척수단(102)과 인장척수단(103)으로 각각 유지시킨다(제3도 참조).

탄성판(7)은 그 양단을 잡고 있는 제1판홀더(170)와 제2판홀더(171)와의 간격이 핸드(105)의 고정척수단(102)과 인장척수단(103)과의 간격과 동일하게 되도록 느슨하게 한 상태로 탄성판 대기용 래크상에 재치된다.

고정척수단(102)과 인장척수단(103)으로 제1판홀더(170) 및 제2판홀더(171)를 유지하는 것은 상기한 자력식 유지기구, 진공흡착식 유지기구 등에 의해 수행되어도 좋다.

다음에, 다관절로보트(6)의 아암(60)을 구동시킴으로써, 인쇄롤판 동체(108)의 제1척수단(180)이 설치된 위치에 탄성판(7)의 제1판홀더(170)를 이동시킨다.

아암(60)의 구동은 다관절로보트(6)의 관절(61)을 매개로 아암(60)을 적당하게 굽히게 하고, 또는 로보트기대(62)를 수직이동시키기도 하여 수행한다.

다음에, 핸드(105)의 고정척수단(102)으로부터 인쇄롤판 동체(108)의 제1척수단(180)에 탄성판(7)의 제1판홀더(170)를 수도(受渡)시킨다(제4, 제18도의 단계(1) 참조). 이 수도는 고정척수단(102) 및 제1척수단(180)으로서 예컨대, 자력식 유지기구를 채용한 경우에는 전자석의 여자 및 소자(消磁)로 이행한다.

이와 같이 하여 제1척수단(180)에 제1판홀더(170)을 유지 한 후, 탄성판 장력조절수단(104)을 구성하는 에어실린더(141)로 에어공급원에서 공기를 공급하고, 에어실린더(141)의 로드(142)를 모두 나가게 한 상태로 한다(제18도의 단계(2) 참조).

이와 같은 상태에 있어서 다음에 다관절로보트(6)의 아암(60)을 구동시킴으로써, 핸드(105)를 인쇄롤판 동체(108)로부터 이간시켜 제1판홀더(170)와 제2판홀더(171)간의 탄성판(7)에 소정의 장력을 인가한다(제5도 참조).

이간시켜 탄성판(7)이 서서히 펼쳐지게 함에 따라, 탄성판(7)에 걸리는 장력이 크게 됨과 더불어 제2판홀더(171)가 탄성판(7)에 당겨지도록 힘이 크게되게 된다. 한편, 에어실린더(141)에는 탄성판(7)에 작용하는 장력에 의해 로드(142)가 에어실린더(141)내에 적당량 되돌아오는 정도의 공기압에 의해 공기가 공급되어 있다. 따라서, 적당한 정도의 장력이상의 장력이 탄성판(7)에 작용한 경우에는 그 장력에 대해 로드(142)가 에어실린더(141)내에 끌어들이고, 탄성판에 작용하는 장력은 그의 부분을 감한다. 이와 같이 하여 탄성판(7)에는 일정한 장력이 작용하게 된다.

이상 설명으로부터 명확해지도록, 탄성판(7)에 작용하는 장력의 대소는 에어실린더(141)에 공급하는 공기의 압력치에 의해 제어할 수 있다. 더욱이, 상기 기술한 적당한 정도인 장력과는 탄성판(7)에 과도한 장력이 걸리지 않고, 게다가 탄성판(7) 전체 또는 일부가 잡히지 않는 적당한 정도인 크기의 값의 장력인 것이다.

또한, 제12도에 나타낸 바와 같이, 탄성판(7)의 제1판홀더(170)와 제2판홀더(171)가 미소로 평행하지 않은 소위 경사가 어긋난 상태로 되면, 탄성판(7)에 나타낸 바와 같은 느슨함이 생기는 경우에는 척본체(131)가 축받침체(143)에 대해 인장척수단 회전중심(133)을 중심으로 하여, 상기 경사가 어긋난 부분의 우측 또는 좌측으로 회전하여 제2판홀더(171)가 경사지고, 탄성판(7)의 일부의 느슨함을 얻을 수가 있고, 비트와 긴 상태로 된다(제13도 참조).

또는, 제14도에 나타낸 바와 같이, 제1판홀더(170)의 정면에 제2판홀더(171)가 위치가 위치하지 않은 이른바 평행이 어긋난 상태로 하게 되면, 탄성판(7)의 일부에 도시한 바와 같은 느슨함이 생기는 경우는 부착수단(140)이 핸드본체(1)에 대해 부착수단 회전중심(162)을 중심으로 필요한 각도만 좌로 회전하고, 더욱이 척본체(131)가 죽받침체(143)에 대해 인장척수단 회전중심(133)으로 필요한 각도만 우측으로 회전하는 것으로, 제1판홀더(170)와 제2판홀더(171)가 평행으로 되고, 탄성판(7)의 일부의 느슨함이 얻어져서 핀으로 펼쳐진 상태로 된다(제10도, 제15도 참조).

이와 같이 하여, 인쇄롤판 동체(108)에 탄성판(7)을 둘러 감겨지기 전에 탄성판(7)에는 과도한 장력이나 느슨함이 생기지 않는 상태로 된다.

다음에, 탄성판(7)을 둘러 감는 방향으로 인쇄롤판동체(108)을 서서히 회전시킴과 더불어 다관절로보트(6)의 아암(60)을 구동시켜 핸드(105)를 인쇄롤판 동체(108)에 서서히 근접되어, 인쇄롤판 동체(108)의 제2척수단(108)이 설치된 위치까지 탄성판(7)의 제2판홀더(171)를 이동시킨다(제6도, 제7도 제18도의 단계(3, 4) 참조). 더욱, 이 때 상기 기술한 바와 같이 탄성판(7)에 작용하는 장력은 에어실린더(141)의 로드(142)의 신축이동에 의해 자동적으로 조절된다. 로드(142)의 신축이동은 탄성판(7)이 인쇄롤판 동체(108)에 둘러 감겨진 가장 중간에 핸드(105)의 이동이 인쇄롤판 동체(108)의 회전보다도 약간 지연됨으로써, 탄성판(7) 전체에 과도한 장력이 걸리기도 하고, 또는 핸드(105)의 이동이 인쇄롤판 동체(108)의 회전보다도 약간 빠르게 됨으로써, 탄성판(7) 전체에 장력의 부족이 생기는 경우에 수행하게 된다. 전자의 경우는, 에어실린더(141)에 대해 로드(142)가 후퇴함으로써, 장력의 과도한 부분이 완화되기 때문에, 탄성판(7)이 둘러 감겨지는 가장 중간에도 소정의 장력이 유지된다. 후자의 경우는, 에어실린더(141)로부터 로드(142)가 전진함으로써, 탄성판(7)의 장력이 부족이 없게 되기 때문에, 탄성판(7)이 둘러 감기는 가장 중간에도 소정의 장력이 유지된다.

또한, 탄성판(7)이 인쇄롤판 동체(108)에 둘러 감겨질 때, 탄성판(7)에 소정의 간격을 인가한 상태를 유지함과 더불어 상기 기술한 바와 같이 부착수단(140) 또는/및 척본체(131)가 회전하여, 탄성판(7)의 당기는 방향이 조절되는 경우도 있다.(제10도 참조).

다음에, 핸드(105)의 인장척수단(103)으로부터 인쇄롤판 동체(108)의 제2척수단(181)에 탄성판(7)의 제2판홀더(171)를 수도시켜, 탄성판(7)의 인쇄롤판 동체(108)로의 부착을 종료한다(제7도 참조). 더욱, 제2척수단(181)으로의 제2판홀더(171)의 수도는 인장척수단(103) 및 제2척수단(181)이 예컨대 자력식 유지기구를 채용하는 경우에는 인장척수단(103) 및 제2척수단(181)을 구비하는 전자석의 여자 및 소자로 이행한다.

이상과 같이 하여, 탄성판(7)이 인쇄롤판 동체(108)에 부착된 후, 인쇄장치에서 피인쇄체에 박막을 형성한다. 결국, 우선 凹판롤(A)의 긴쪽 방향에 주복(住復)이동하는 잉크공급노즐(B1)에 의해 凹판롤(A)의 표면에 잉크가 공급되어, 결국 닥터 블레이드(B2)에 의해 불식이 수행하게 되어, 잉크를 잉크셀내에 충전 및 계량한다.

인쇄테이블(D)을 피인쇄체 재치위치(a)로부터 반출위치(c)로 이동시키는 경우에는 인쇄테이블(D)상에 피인쇄체(D2)를 재치한 후, 인쇄테이블(D)이 래크(D3)와 더불어 슬라이드 이동하여, 동시에 인쇄테이블 구동샤프트의 회전에 연동하여, 인쇄롤(C) 및 凹판롤(A)이 회전한다. 결국, 인쇄롤(C)의 회전에 동기하고, 인쇄테이블(D)이 인쇄위치(b)를 경유하여, 반출위치(c)로 이동한다. 이 때, 凹판롤(A)상의 잉크는 인쇄롤(C)의 탄성판(7)의 凸부상에 전이하여, 더욱 잉크는 피인쇄체(D2)로 전이한다.

반대로, 인쇄테이블(D)을 반출위치(c)로부터 피인쇄체 전치위치(a)로 이동시키는 경우에는, 클러치장치 등에 의해 인쇄롤(C)의 회전과 인쇄테이블(D)의 슬라이드 이동과의 연동이 절단되어, 인쇄롤(C)의 회전에 관계없이 인쇄테이블(D)이 반출위치(c)로부터 인쇄위치(b)를 경유하여, 피인쇄체 반출위치(a)로 이동한다.

본 실시예에 있어서 탄성판 자동부착방법을 설명한다.

상기 탄성판 자동부착하는 방법은, 상기 탄성판 자동부착방법에 의해 인쇄롤판 동체(108)로 부착된 탄성판(7)을 이용하여 피인쇄체에 인쇄한 후, 제1판홀더(170)과 제2판홀더(171)가 인쇄롤판 동체(108)의 제1척수단(180)과 제2척수단(181)에 의해 각각 고정된 탄성판(7)을 핸드(105)에 수도하는 방법이다.

우선, 탄성판(7)이 둘러 감긴 인쇄롤판 동체(108)의 제2척수단(181)로부터 핸드(105)의 인장척수단(103)에 탄성판(7)의 제2판홀더(171)를 수도시킨다. 더욱, 제2판홀더(171)를 제2척수단(181)로부터 인장척수단(103)으로 수도하는 동작은 인장척수단(103) 및 제2척수단(181)이 예컨대 자력식 유지기구를 채용하는 경우에는, 인장척수단(103) 및 제2척수단(181)에 구비하는 전자석의 여자 및 소자로 수행한다.

다음에, 탄성판(7)이 떨어지는 방향으로 인쇄롤판 동체(108)를 회전시킴과 더불어, 다관절로보트(6)의 아암(60)을 구동시켜, 핸드(105)의 고정척수단(102)과 탄성판(7)의 제1판홀더(170)의 위치를 합하고, 다음에 인쇄롤판 동체(108)의 제1척수단(180)으로부터 핸드(105)의 고정척수단(102)에 탄성판(7)의 제1판홀더(170)를 수도시켜 인쇄롤판 동체(108)로부터의 탄성판(7)의 분해를 종료한다.

본 발명의 박막형성장치 및 박막형성방법은 이상과 같은 구성 및 작용 등으로 다음과 같은 효과를 나타낸다.

(1) 탄성판의 인쇄롤판 동체로의 바꿈을 로보트에 부착된 핸드로 자동적으로 수행된 후, 인쇄를 수행하기 때문에, 수간(手間)이 걸리지 않고, 박막형성의 효율이 비상(非常)으로 좋다.

(2) 탄성판을 인쇄롤판 동체에 부착하기 위해, 사람이 출입하지 않기 때문에, 티끌이나 먼지 등이 솟아 오르지 않아 주위의 청정도가 좋게 된다. 또한, 탄성판을 핸드가 자동적으로 잡기 때문에 티끌이나 먼지 등이 탄성판에 부착되지 않는다. 따라서, 탄성판은 실제로 오염되지 않는다.

따라서, 탄성판에 凹판롤로부터 잉크를 전이해도 순수한 설정의 일정한 잉크로 피인쇄체에 인쇄를 수행할 수 있다. 예컨대, 액정배향막 등의 고분자박막의 인쇄의 경우에는 절연성이나 배향이 양호하여, 막의 일부에 결함이 생기지 않는다.

(3) 탄성판에 걸리는 장력을 로보트에 부착된 핸드로 자동적으로 조절하면서 탄성판을 인쇄롤판 동체에 둘러 감기 때문에, 탄성판을 인쇄롤판 동체에 둘러 감겨 있는 동안 탄성판의 전체 폭에 도달하여, 소정의 크기로 소정의 방향에 장력이 걸리는 상태를 유지함이 용이할 수 있다. 따라서, 과도한 장력이나 느슨함이 발생하게 되는 인쇄롤판 동체에 둘러 감길 수 있고, 주름이나 물결상태가 아닌 상태로 탄성판을 인쇄롤판 동체에 부착할 수 있다.

따라서, 凹판롤과 탄성판과의 접촉압력 및, 탄성판과 피인쇄체와의 접촉압력이 일정하게 된다. 따라서, 피인쇄체에 균일한 막두께의 박막을 시간을 필요로하지 않고 형성할 수 있어, 박막형성의 효율이 좋게 된다.

다음에, 이하 도면을 참조하면서 본 발명의 제2실시예를 설명한다.

제2실시예에 있어서 박막형성장치 및 박막형성방법의 개요를 이하에 설명한다.

이 제2실시예의 박막형성장치와 박막형성방법으로는 凹판롤 자동불식장치부에서, 다관절로보트의 아암에 부착된 핸드를 이용하여 凹판롤의 불식 및 건조를 자동적으로 수행한다. 따라서, 인쇄장치부에서 수행하는 인쇄공정의 전후에서 凹판롤을 자동적으로 불식 및 건조할 수 있고, 박막형성의 일련이 전공정을 스무드하게 수행하기 때문에 박막형성의 효율이 좋게 된다.

또한, 본 발명의 박막형성장치와 박막형성방법에서는 凹판롤 자동불식장치부의 반발누름수단에 의해 와이퍼를 더욱 소정의 접촉압력으로 凹판롤의 동체부 표면에 누를 수 있다. 따라서, 凹판롤의 불식 또는/및 건조가 충분함과 동시에 균일하게 수행하기 때문에 박막으로의 이물질이 유입되지 않게 되고, 균일한 막두께의 박막이 형성된다.

우선, 본 제2실시예의 박막형성장치의 凹판롤 자동불식장치부를 설명한다. 더욱, 반발누름수단(203)은 청구의 범위에 기재하는 누름수단에 상당하고, 반발력발생체(230)는 청구의 범위에 기재하는 누름압력발생체에 상당한다.

상기 凹판롤 자동불식장치부는 제19도 및 제20도에 나타낸 바와 같이, 핸드본체(1)와 핸드본체(1)의 일단에 반발누름수단(203)을 매개로 부착된 凹판롤 불식용 와이퍼홀더수단(202)으로 이루어지는 핸드(205)가 다관절로보트(6)의 아암(60)에 부착되어져 있다.

다욱이, 다관절로보트(6)는 상기 기술한 제1실시예로 설명한 것과 동일하게 된다.

더욱이, 핸드본체(1)는 상기 기술한 제1실시예와 동일하게 방형상의 판체이고, 그 윗표면의 거의 중앙부로 다관절로보트(6)의 아암(60)에 고정되어 설치되어 있으며, 다관절로보트(6)의 아암(60)의 구동에 의해 핸드(205)가 임의의 방향으로 이동할 수 있게 된다(제19도 및 제20도 참조). 핸드(205)는 제22도 및 제23도에 나타낸 바와 같이, 핸드본체(1)의 한쪽 측면에 고정되어 설치되는 아암상의 것이고, 핸드본체(1)로의 부착부분인 부착제(215)의 단부에 구비하는 반발누름수단(203)과 반발누름수단(203)의 단부에 부착되는 와이퍼홀더수단(202)을 구비한다.

와이퍼홀더수단(202)은 판형상의 와이퍼부착부(220)와 후술하는 반발누름수단(203)의 축받침체(231)를 회전 가능하게 계합(係合)하는 회전축부(221)를 구비한다. 와이퍼부착부(220)는 와이퍼(208)의 누름면(223)을 갖추고 있다. 회전축부(221)는 축받침체(231)의 축받침부(236)에 끼워 넣게 되며, 와이퍼홀더수단(202)이 축받침체(31)에 대해 회전축부(221)를 중심으로 회전하도록 되어 있다.

와이퍼부착부(220)에는 누름면(223)에 와이퍼(208)을 유지하기도 하고 유지를 해제하기도 하기 위한 와이퍼척(224)이 돌출되어 있다. 이 와이퍼척(224)은 예컨대, 수지재료로 이루어져, 그 탄성력에 의해 누름면(223)으로 와이퍼(208)를 유지한다. 더욱, 누름면은 평면으로도 좋게 하고, 凹판롤(A)의 동체부 표면(271)의 곡면에 따르는 곡면으로도 좋다. 또, 와이퍼(208)로서는 잉크를 용해하는 용제를 혼합시킨 부칙포 등이다.

또, 와이퍼홀더수단(202)은 후술하는 반발누름수단(203)을 매개로 함으로써, 핸드본체(1)와의 사이에서 반발하여, 와이퍼(208)를 凹판롤의 동체표면(271)에 소정의 접촉압력으로 누르는 것이다(제20도, 제22도, 제23도 참조).

반발누름수단(203)은 제22도 및 제23도에 나타낸 바와 같이, 핸드본체(1)와 와이퍼홀더수단(202)간에 반발력을 발생시키기 위해, 스프링이나 에어실린더(도시하지 않음) 등의 반발력을 발생하는 반발력발생체(230)을 갖추는 것이다. 이 반발력에 의해 와이퍼홀더수단(202)이 凹판롤(A)의 판 동체 표면에 소정의 접촉압력으로 눌러지게 된다.

본 실시예에 있어서 반발누름수단(203)은, 핸드본체(1)에 일단이 고정되는 부착체(215)와 부착체(215)의 타단에 위치하는 축받침체(231)와, 부착체(215)와, 축받침체(231)간의 반발력을 발생시키는 반발력발생체(230)을 구비한다. 더욱, 반발력발생체(230)로서 본 실시예에서는 스프링을 사용하고, 이 스프링은 부착체(215)의 타단에 설치된 凹상의 받침부(210)과 축받침체(231)에 설치된 凹상의 받침부(235)의 각각에 상기 스프링의 각각의 단부가 유지된다. 또, 부착체(215)에 대해 축받침체(231)의 이동은, 일단이 축받침체(231)에 매설되어 다른 방향의 부분이 부착체(215)내에 활동 가능하게 유지되는 가이드로드(232)에 의해 안내된다. 더욱, 스프링의 반발력에 의해 부착체(215)와 축받침체(231)가 따로따로 되지 않도록, 가이드로드(232)에는 스토퍼(233)를 설치하여 부착체(215)와 축받침체(231)가 떨어지는 한계가 설치되어 있다.

또, 핸드(205)에는 도시한 바와 같이 예컨대, 펌프로부터 凹판롤 건조용 기체를 취출하는 기체분출수단(204)이 와이퍼홀더수단(202)에 병설되어 있어도 좋다. 凹판롤(A) 건조용 기체로서는 질소 등의 기체가 있다. 기체분출수단(204)은 노즐 등의 기체분출장치이고, 와이퍼홀더수단(202)의 측부에 부착되어 있다.

반발누름수단(203)을 매개로 凹판롤 불식용 와이퍼홀더수단(202)이 부착되어 있는 핸드본체(1)의 별도의 개소에 탄성판 자동부착 및 분해장치부(101) 또는/및 닥터 블레이드 불식용 와이퍼홀더수단(302)이 부착되어 있어도 좋다(도시하지 않음).

탄성판 자동부착 및 분해수단(101)은, 상기 기술한 제1실시예로 설명한 기구를 갖추는 것이고, 제24도에 나타낸 바와 같이 탄성판 장력조절수단(104)을 구비하는 핸드본체(1)에 부착되어 있다.

또한, 닥터 블레이드 불식용 와이퍼홀더수단(302)은 예컨대, 제24도에 나타낸 바와 같이 탄성판 자동부착 및 분해장치부(101)의 대향하는 위치에 반발누름수단(303)을 매개로, 핸드본체(1)에 부착된다. 닥터 블레이드에 잔류한 불필요한 잉크를 제거할 필요가 샐길 때, 닥터 블레이드의 와이퍼홀더수단(302)에 용제 등을 혼합시켜 부직포 등으로 이루어지는 와이퍼를 유지시키고, 핸드본체(1)를 90°회전시키며, 다관절로보트(6)의 아암(60)을 구동시켜, 닥터 블레이드의 표면을 불식한다. 반발누름수단(303)은 스프링이나 에어실린더 등의 반발력을 이용하여, 소정의 접촉압력으로 닥터 블레이드의 선단에 와이퍼를 접촉시켜, 소정의 삽입압력으로 닥터 블레이드의 상하면이 와이퍼에 의해 삽입되도록 하는 수단이다.

본 발명에 있어서 박막형성방법의 제1실시예를 설명한다.

우선 凹판롤 자동불식장치부에서 불필요한 잉크 등이 부착된 凹판롤(A)의 동체부 표면(271)을 와이퍼(208)로 불식하여, 불필요한 잉크를 자동적으로 제거한다.

凹판롤(A)은 회전축(270)을 갖추는 원주형의 세라믹체나 금속제이고, 그 동체부 표면(271)에 다수의 잉크셀을 구비한 것이다. 이 잉크셀의 중간에 잉크가 유입하고, 凹판롤(A)의 판동체에 접하여, 배치되는 인쇄롤(C)의 표면에 잉크셀의 중간에 잉크를 전이시키는 것이다.

우선, 凹판롤 자동불식장치부의 와이퍼홀더수단(202)의 누름면(223)에 와이퍼(208)를 유지시킨다. 예컨대, 와이퍼홀더수단(202)의 와이퍼부착부(220)의 측부에 부착된 복수의 와이퍼척(224)에서 와이퍼(208)를 고정하면 좋다. 와이퍼(208)는 잉크의 주용제나 알콜, 아세톤 등의 액체를 혼합시킨 부직포나 아무것도 혼합시키지 않은 건조한 부직포 등을 사용할 수 있다.

다음에, 다관절로보트(6)의 아암(60)을 구동시킴으로써, 와이퍼홀더수단(202)을 이동시켜, 凹판롤(A)의 동체부 표면(271)에 와이퍼(208)의 누름면(223)을 소정의 접촉압력으로 누른다.

아암(60)의 구동은, 다관절로보트(6)의 관절(61)을 매개로 아암(60)을 적당히 굽히기도 하고, 또는 로보트기대(62)를 수직이동시키기도 하여 수행한다.

소정의 접촉압력과는 와이퍼(208)를 凹판롤(A)의 동체부 표면(271)에 접촉시키고, 凹판롤(A)을 회전시킴으로써, 와이퍼(208)에 혼합시킨 용제가 凹판롤(A)의 동체부 표면(271)의 잉크셀내에 들어간 불필요한 잉크를 충분히 용해하여, 더욱 와이퍼(208)에 의해 완전하게 식취(式取)되도록 접촉한 때의 압력이다.

다음에, 凹판롤(A)을 회전시킴과 더불어, 凹판롤(A)의 동체부 표면(271)에 대해 와이퍼(208)의 상기 접촉압력을 유지하면서, 다관절로보트(6)의 아암(60)을 구동시킴으로써, 핸드(205)를 凹판롤(A)의 축방향에 따라 이동시킨다.

凹판롤(A)의 동체부 표면(271)의 곡률이 크게 되어 와이퍼홀더수단(202)에 유지한 와이퍼(208)가 평면이면, 凹판롤(A)의 동체부표면(271)과 와이퍼(208)는 선접촉으로 되고, 그의 다른 부분은 떨어져서 접촉하지 않게 된다. 와이퍼(208)의 전면이 떨어지지 않도록 凹판롤(A)의 판동체 표면에 강하게 눌러지도록 하면, 강한 접촉압력의 부분과 약한 접촉압력의 부분이 생기게 되기도 한다. 그렇게 되면, 실질적으로 선접촉하고 있는 부분 또는 접촉압력이 최대의 부분만으로 잉크를 불식하고 있는 것으로 되고, 오염이 많이 부착하는 부분과 그다지 부착하지 않은 부분이 생겨, 와이퍼 전면이 쓸데없게 되고 사용할 수 없게 되어 불식효율이 나쁘다.

이와 같은 경우에는, 제21도에 나타낸 바와 같이 핸드(205)를 이동시키는 방향을 축방향에 대해 일정한 각도를 정한 방향으로 이동시키면 좋다. 이렇게 함으로써, 와이퍼(208)를 凹판롤(A)과의 선접촉하고 있는 부분 또는 선접촉압력이 최대로 되는 부분이 와이퍼(208)의 전면을 고르게 이동하게 되기 때문에, 와이퍼 전면을 유용하게 사용할 수 있어, 불식효율이 좋게 된다.

또한, 와이퍼(208)로 회전하는 凹판롤(A)의 동체부 표면(271)을 불식하고 있는 가장 중간에 凹판롤(A)의 동체부 표면(271)에 대해 와이퍼(208)의 소정의 접촉압력을 유지하면서, 축받침체(231)와 와이퍼홀더수단(202)이 이루는 각도를 조절시켜도 좋다(제23도 참조).

와이퍼홀더수단(202)의 회전은, 와이퍼홀더수단(202)이 凹판롤(A)의 판동체를 이동하고 있는 가장 중간에 핸드(205)의 미소한 흔들림 등에 의해 와이퍼홀더수단(202)의 누름면(223)과 凹판롤(A)의 판동체 표면(271)이 평행하게 되지 않아, 경사 준 경우 등에 수시로 수행된다. 결국, 와이퍼홀더수단(202)의 누름면(223)이 凹판롤(A)의 판동체 표면(271)에 대해 경사를 주어 버리면, 와이퍼(208)의 일부가 凹판롤(A)의 판동체표면(271)으로부터 부상해 버리고, 凹판롤(A)의 동체부표면(271)과 와이퍼(208)가 균일한 접촉압력으로 접촉하지 않게 되어 버리고, 개끗한 모양으로 불식할 수 없게 된다. 그래서 그 경사에 대해 와이퍼홀더수단(202)을 회전축부(221)중심에 소정 각도만 회전시킴으로써, 와이퍼홀더수단(202)의 누름면(223)과 凹판롤(A)의 판동체 표면(271)이 평행한 상태로 되도록 하여, 와이퍼홀더수단(202)의 누름면(223)과 凹판롤(A)의 판동체면(271)을 틈이 없게 균일한 접촉압력으로 접촉시킬 수 있다.

다음에, 다관절로보트(6)의 아암(60)을 구동시킴으로써, 凹판롤(A)의 동체부 표면(271)으로부터 와이퍼(208)를 떼어놓아, 凹판롤(A)의 불식을 종료한다.

凹판롤(A)을 불식한 후의 자동건조방법을 설명한다.

우선, 다관절로보트(6)의 아암(60)을 구동시킴으로써, 핸드(205)를 이동시켜, 凹판롤(A)의 동체부 표면(271)으로부터 소정의 거리를 둔 상태로 하여, 본 제2실시예의 凹판롤(A) 자동불식장치부의 凹판롤 건조용 기체분출수단(204)을 이동시킨다.

아암(60)의 구동은, 다관절로보트(6)의 관절(61)을 매개로 아암(60)을 적당히 굽히기도 하고, 또는 로보트기대(62)를 수직이동시키기도 하여 수행한다.

다음에, 凹판롤(A)을 회전시킴과 더불어, 凹판롤 건조용 기체분출수단(204)으로부터 기체를 분출시키면서, 다관절로보트(6)를 구동시킴으로써, 기체분출수단(204)을 凹판롤(A)의 축방향에 따라 이동시킨다.

凹판롤(A)의 회전은 일정한 회전속도로 회전시킨다. 凹판롤(A)의 회전속도는 기체분출수단(204)로부터 분출시키는 기체의 양이나 온도, 凹판롤(A)의 축방향으로의 이동의 속도 등에 의존하여 설정된다. 예컨대, 기체분출수단(204)로부터 분출되는 기체의 양이 많을 때, 또는 온도가 높을 때, 또는 기체분출수단(204)의 凹판롤(A)의 축방향으로의 이동속도가 늦을 때 등은 凹판롤(A)의 회전을 비교적 빠르게 하면 좋다. 또한, 기체분출수단(204)으로부터 분출되는 기체의 양이 작을 때, 또는 온도가 낮을 때, 또는 기체분출수단(204)의 凹판롤(A)의 축방향으로의 이동속도가 빠를 때는 凹판롤(A)의 회전을 비교적 늦게 하면 좋다.

凹판롤(A)이 불식 및 건조된 후, 인쇄장치에서 피인쇄체에 박막을 형성한다. 더욱, 본 형성방법은 상기 기술한 제1실시예의 경우와 동일하기 때문에 설명은 생략한다.

본 발명의 박막형성장치와 박막형성방법은 이상과 같은 구성 및 작용 등으로 다음과 같은 효과를 나타낸다.

(1) 凹판롤(A)을 불식하기 위해 사람이 출입할 필요가 없기 때문에, 티끌이나 먼지 등이 솟아 오르지 않아 주위의 청정도가 좋게 된다. 와이퍼를 핸드가 자동적으로 잡기 때문에, 티끌이나 먼지 등이 凹판롤(A)에 부착하지 않는다. 따라서, 수간이 걸리지 않음과 더불어 凹판롤(A)도 모두 오염되지 않기 때문에, 불식효율이 좋아 박막형성의 효율도 좋게 된다.

(2) 티끌이나 먼지 등이 잉크에 섞여버리지 않고, 그 때문에 예컨대, 액정배향막 등의 고분자박막패턴을 형성할 때는 박막에 소정의 절연성이나 배향성능이 얻어지는 등, 고성능의 박막이 안정하게 얻어진다.

(3) 와이퍼를 다관절로보트의 아암에 부착된 핸드로 자동적으로 누르면서 凹판롤(A)을 불식하기 때문에, 와이퍼를 凹판롤(A)과 소정의 접촉압력으로 누를 수 있다. 또, 소정의 접촉압력을 유지한채로 아암을 凹판롤(A)의 축방향으로 이동시키는 것도 자동적으로 할 수 있기 때문에, 凹판롤(A)의 동체부 표면을 균일하게 불식할 수 있다.

따라서, 잉크셀내에 달라붙은 잔류잉크 등을 충분히 제거할 수 있다. 이 때문에 피인쇄체에 충분한 막두께의 박막을 형성할 수 있다. 또, 凹판롤(A)의 동체부 표면을 균일하게 불식 할 수 있다. 이 때문에, 인쇄롤의 잉크의 전이량에 불균일이 발생하지 않아 막두께가 균일하게 된다. 따라서, 예컨대 액정배향막 등의 고분자박막패턴을 형성할 때는 박막의 막두께가 균일하게 형성할 수 있고, 표시불균일이 발생하지 않는 등, 고기능의 박막이 안정하게 얻어진다.

(4) 다관절로보트에 부착된 핸드로, 凹판롤(A) 건조용 기체를 자동적으로 凹판롤(A)의 동체부 표면에 둘러 감겨지기 때문에, 기체분출수단과 凹판롤(A)의 동체부 표면간의 거리를 소정의 거리로 하여, 凹판롤(A)의 축방향에 기체분출수단을 이동시키고 있는 동안, 소정의 거리를 유지하는 것도 자동적으로 용이하게 할 수 있다. 따라서, 凹판롤(A)의 동체부 표면을 균일적으로 건조할 수 있고, 다음의 인쇄공정이 스무드하게 수행되어, 박막형성이 효율이 좋게 된다.

이하, 도면을 참조해서 본 발명의 제3실시예를 설명한다.

우선, 제3실시예의 박막형성장치의 닥터 블레이드 자동불식장치부를 설명한다. 더욱, 반발누름수단(303)은 청구의 범위에 기재한 누름수단에 상당하고, 에어실린더본체(323) 및 로드(361)는 청구의 범위에 기재한 구동수단에 상당한다.

상기 닥터 블레이드 자동불식장치부는 제25도와 제26도에 나타난 바와 같이 핸드본체(1)와, 헤드본체(1)의 일단에 반발누름수단(303)을 매개로 부착된 凹판롤 불식용 와이퍼수단(302)으로 이루어진 핸드(305)가 다관절로보트(6)의 아암(60)에 부착되어 있다. 더욱, 핸드본체(1)와 다관절로보트(6)에 대해서는 상술한 각 실시예에서 설명한 것과 동일한 것이다.

반발누름수단(303)은 핸드본체(1)와 후술하는 와이퍼홀더수단(302)의 와이퍼홀더본체(320)간에 반발을 발생시키 위해 스프링(330)을 구비한 반발력을 발생하는 수단으로 이루어진 것이다. 핸드본체(1)가 닥터블레이드(B2)측으로 이동하여 상기 반발력이 작용함으로써 와이퍼홀더수단(302)은 닥터블레이드(B2)에 소정의 접촉압으로 눌려진다.

구체적으로 본 실시예에 있어서는, 제28도에 나타난 바와 같이, 반발누름수단(303)은 핸드본체(1)의 한 측면에 일단이 고정되는 부착체(331)와, 이 부착체(331)를 관통하는 부착로드(332), 부착체(331)에 고정되는 걸림핀(333) 및 부착로드(332)의 일단에 고정되는 걸림핀(334)의 각각에 단부를 계합(係合)하는 스프링(330)을 구비한다. 또, 부착로드(332)의 타단은 와이퍼홀더본체(320)의 배면에 고정된다.

와이퍼홀더수단(302)은 척수단(321)으로 와이퍼(308)를 끼워 넣음으로써 와이퍼(308)를 지지하거나 그 지지를 해제할 수 있는 기구를 구비한 것이다. 와이퍼홀더수단(302)은 반발누름수단(303)을 매개로 함으로써 핸드본체(1)와의 사이에서 서로 반발하여 와이퍼(308)를 닥터블레이드(B2)의 선단에 소정의 접촉압력으로 누르는 것이다(제27도, 제28도). 와이퍼(308)는 용제 등을 스며들게 한 부직포 등으로 이루어진다.

구체적으로 본 실시예에 있어서 와이퍼홀더수단(302)은 제28도, 제29도 등에 나타난 바와 같이, 와이퍼홀더본체(320)와, 와이퍼홀더본체(320)에 돌출하여 설치된 에어실린더본체(323), 와이퍼홀더본체(320)의 정면측에 지지되는 동시에 접동가능한 상부척(340) 및 하부척(350)을 갖추는 척수단(321), 와이퍼홀더본체(320)의 배면과 정면을 통과하는 회전자축(324)에 있어서의 상기 정면측단부에 회전가능하게 부착되는 판상체로서 상부척(340)에 돌출하여 설치된 걸림핀(342) 및 하부척(350)에 돌출된 걸림핀(352)에 당접(當接)하는 회전자(325)를 구비한다.

또, 상부척(340)은 상부(344), 하부(343), 상부(344)와 하부(343)을 연결하는 측부(345)로 이루어진 C자형의 평면형상을 이루고, 상부(344)에는 걸림핀(341)이 돌출하여 설치되며, 측부(345)에는 상기 걸림핀(342)이 돌출하여 설치된다. 하부척(350)은 중간부(354), 하부(355) 및 중간부(354)와 하부(355)를 연결하는 측부(356)로 이루어지는 역 F자형 평면형상을 이루고, 중간부(354)에는 걸림핀(351)이 돌출하여 설치된다. 이들 상부척(340) 및 하부척(350)은 와이퍼홀더본체(320)에 대해 각각 상하 역방향으로 이동하는 것이다.

걸림핀(341) 및 걸림핀(351)에는 파지력 발생수단(322)을 구성하는 스프링(360)의 각 단부가 계합되고, 상부척(340)의 하부(346)와 하부척(350)의 하부(355)는 서로 서로 끌어당겨져 근접하도록 스프링(360)에 의해 부세된다. 또, 에어실린더본체(323)의 로드(361)의 선단은 회전자(325)의 일단에 당접하고, 로드(361)의 상하이동에 의해 상부척(340)의 하부(346)와 하부척(350)의 하부(355)는 개폐동작이 이루어진다. 더욱, 상부척(340)의 하부(346)와 하부척(350)의 하부(355)에 와이퍼(308)를 끼운다.

에어실린더의 로드(361)와 상부척(340) 및 하부척(350)의 동작관계를 설명한다. 에어실린더의 로드(361)가 전진(도면에 있어서의 하방향으로의 실표시 방향으로 진행함)하면, 회전자(325)의 측부가 눌려져 회전자(325)는 회전자축(324)을 중심으로 해서 실표시에 나타난 바와 같이 시계방향으로 회전하여 회전자(325)의 일단에 당접하는 하부척(350)의 걸림핀(352)을 매개로 하부척(350) 전체를 아래방향으로 이동시킨다. 또, 회전자(325)는 상기 시계방향의 회전에 의해 회전자(325)의 타단부에 당접하는 상부척(340)의 걸림핀(342)을 매개로 상부척(340) 전체를 위방향으로 이동시킨다. 그 결과, 상부척(340)의 하부(346)와 하부척(350)의 하부(355)가 이간하여 상부척(340)과 하부척(350)이 열린 상태로 된다(제29도 참조). 반대로, 상부척(340)과 하부척(350)이 열린 상태로 부터 에어실린더본체(323)에 대해 로드(361)가 후퇴(도면에 있어서의 상방향으로의 실제 표시방향으로 진행함)하면, 스프링(360)에 의해 상부척(340)의 걸림핀(341)과 하부척(350)의 걸림핀(351)이 끌어 당겨진다. 그 결과, 상부척(340)의 하부(346)와 하부척(350)의 하부(355)가 근접하여 상부척(340)과 하부척(350)이 닫힌 상태로 된다.

핸드(305)에는 기체분출수단(304)이 와이퍼홀더수단(302)에 병설되어 있어도 된다.

기체분출수단(304)은 와이퍼홀더수단(302)의 측부에 아래방향으로 기체를 분출하는 노즐과 위방향으로 질소 등의 기체를 분출하는 노즐이 한쌍으로 되어 부착되어 있어도 된다(제27도 및 제30도 참조). 또는, 상기 척수단(321)의 상부척(340)의 하부(346)의 아랫면과 하부척(350)의 하부(355)의 상면에 기체분출구멍(353)을 설치해 두어도 된다(제29도 참조).

반발누름수단(303)을 매개로 닥터블레이드 불식용 와이퍼홀더수단(302)이 부착되어 있는 핸드본체(1)의 다른 부분에 탄성판 자동부착수단 또는/및 凹판롤 불식용 와이퍼홀더수단(202)이 부착되어 있어도 된다.

탄성판 자동부착수단은 상술한 제1실시예에 따른 것으로, 제29도 및 제30도에 나타난 바와 같이, 예컨대 고정척수단(102) 및 인장척수단(103) 및 탄성판 장력조절수단(104)으로 이루어지고, 핸드본체(1)의 아랫면에 고정척수단(102)과 탄성판 장력조절수단(104)이 고정되게 설치되고, 탄성판 장력조절수단(104)에 의해 인장척수단(103)과 핸드본체(1)의 간격이 조절된다.

凹판롤 불식용 와이퍼홀더수단(202)은 상술한 제2실시예에 따른 것으로, 제27도에 나타난 바와 같이 반발누름수단(203)을 매개로 핸드본체(1) 또는 와이퍼홀더본체(320)에 부착된다.

본 실시예의 박막형성장치의 인쇄장치부는 상술한 제1 및 제2실시예의 경우와 동일하게 동작한다. 따라서, 설명은 생략한다.

이 제3실시예의 박막형성방법을 설명한다.

닥터블레이드(B2)는 상부 블레이드홀더(390) 및 하부 블레이드홀더(391)로 이루어지는 한쌍의 블레이드홀더수단(309)에 의해 유지되어 있다.

우선, 닥터블레이드 자동불식장치부의 상부척(340)과 하부척(350)으로 이루어지는 와이퍼홀더수단(302)에 와이퍼(308)를 유지시킨다.

결국, 에어실린더(323)에 대해 로드(361)를 전진시켜 상부척(340)의 하부(346)와 하부척(350)의 하부(355)를 적당하게 이간시켜 와이퍼(308)를 단면 ゴ자형으로서 상부척(340)의 하부(346)와 하부척(350)의 하부(355)간에 유지시켜도 된다(제28도 참조).

다음에, 다관절로보트(6)의 아암(60)을 구동시킴으로써, 닥터블레이드(B2)의 소정위치에 와이퍼홀더수단(302)을 구동시켜 상부척(340) 또는 하부척(350) 중 적어도 한쪽의 선단을 상부블레이드홀더(390) 또는 하부블레이드홀더(391) 중 적어도 한쪽의 선단에 마주치게 한다(제28도 참조).

아암(60)의 구동은 다관절로보트(6)의 관절(61)을 매개로 아암(60)을 적당하게 구부려 넓히거나, 또는 로보트기대(62)를 수직 이동시키거나 하여 행한다.

다음에, 파지력 발생수단(322)에 따라 상부척(340)과 하부척(350)을 끌어 당기려고 하는 힘으로, 상부척(340)과 하부척(350)으로 와이퍼(308)로 닥터블레이드(B2)를 끼워 넣는다(제28도 참조).

결국, 우선 에어실린더본체(323)에 로드(361)를 후진시키면, 상부척(340)과 하부척(350)은 스프링(360)에 의해 항상 끌어당기려고 하는 힘이 걸려있기 때문에, 와이퍼(308)를 유지하고 있는 상부척(340)의 하부(346)와 하부척(350)의 하부(355)가 근접해서 닥터블레이드(B2)를 끼워 넣는다.

다음에, 다관절로보트(6)의 아암(60)을 구동시킴으로써 핸드(305)를 닥터블레이드(B2)의 진쪽방향(제27도 참조)에 따라 이동시킨다(제27도 참조).

다음에, 다관절로보트(6)의 아암(60)을 구동시킴으로써, 닥터블레이드(B2)로부터 와이퍼(308)를 떼어 내어 닥터블레이드(B2)의 불식을 완료한다.

닥터블레이드(B2)를 불식한 후의 자동건조방법을 설명한다.

우선, 척수단(321)으로부터 와이퍼(308)를 떼어 낸다. 상부척(340)의 하부(345)의 아랫면 및 하부척(350)의 하부(355)의 윗면의 기체분출구멍(343, 353)으로부터 닥터블레이드 건조용 기체를 분출시킨다.

다음에, 기체를 분출시키면서 다관절로보트를 구동시킴으로써 핸드(305)를 닥터블레이드(B2)의 긴쪽방향에 따라 이동시킨다.

아암(60)의 구동은 다관절로보트(6)의 관절(61)을 매개로 아암(60)을 적당하게 구부려 넓히거나, 또는 로보트기대(62)를 수직 이동시키거나 하여 행한다.

닥터블레이드(B2)가 불식/건조된 후, 인쇄장치부에서 피인쇄체에 박막을 형성한다. 더욱이, 이 형성방법은 상술한 제1 및 제2실시예에 있어서의 경우와 동일하기 때문에 설명은 생략한다.

이 실시예의 박막형성장치와 박막형성방법은 이상과 같은 구성 및 작용이므로 다음과 같은 효과를 발휘한다.

(1) 다관절로보트의 핸드로 닥터블레이드를 불식하기 위해 사람이 출입할 필요가 없기 때문에, 사람이 출입하는 경우에 비해 티끌이나 먼지 등이 솟아오르지 않아 주위의 청정도가 좋게 된다. 또한, 와이퍼를 핸드가 자동적으로 들기 때문에 티끌이나 먼지가 닥터블레이드에 부착하지 않는다. 따라서, 품이 들지 않으면서 닥터블레이드는 전혀 오염되지 않아 불식효율이 좋고 인쇄 효율도 좋아진다.

(2) 상술한 바와 같이 청정도가 향상함으로써, 티끌이나 먼지나 기름이 잉크에 섞여 버리는 일이 없다. 그 때문에, 예컨대 액정배향막 등의 고분자박막패턴을 형성할 때는 박막에 원하는 절연성이나 배향성능이 얻어지는 등, 고기능의 박막을 안정하게 얻을 수 있다.

(3) 다관절로보트의 아암에 부착된 핸드의 반발누름수단에 의해 닥터블레이드에 와이퍼를 누르면서 불식한다.

따라서, 조작자가 손으로 불식하는 경우에 비해 닥터블레이드의 선단이 와이퍼에 의해 항상 소정의 접촉압으로 눌려 소정의 접촉압을 유지한 채 닥터블레이드의 긴쪽방향으로 와이퍼를 이동시키는 것을 자동적으로 용이하게 할 수 있다. 그 결과, 닥터블레이드의 선단과 와이퍼가 떨어지는 일이 없이 닥터블레이드의 선단이 깨끗하게 불식되어 불식효율이 좋고, 인쇄효율도 좋아진다. 또한, 닥터블레이드의 선단과 와이퍼가 강하게 접촉하는 일이 없어 와이퍼가 파괴되거나 닥터블레이드의 선단에 사람의 손이 스처 부상하지도 않기 때문에, 안전성이 높다.

(4) 다관절로보트를 사용해서 닥터블레이드를 불식하기 위해 사람이 출입하지 않고, 다관절로보트의 핸드로 자동적으로 정확하게 닥터블레이드를 불식하기 때문에, 플라스틱제의 닥터블레이드를 사용하는 경우에도 조작자가 불식하는 경우에 고려되는 잘못해서 손톱 등의 딱딱한 물건이 닥터블레이드의 선단에 닿는 일이 없다. 따라서, 선단이 이그러지거나 움푹 패이기도 해서 닥터블레이드의 선단이 凹凸로 되는 일이 없고, 긁힌 자국이 생기지 않아 凹판롤의 모든 잉크셀에 균일하게 충전계량을 할 수 있다.

(5) 다관절로보트의 아암에 부착된 핸드의 와이퍼홀더수단으로 와이퍼를 유지하고, 와이퍼홀더수단의 파지력발생수단에 의해 와이퍼로 닥터블레이드를 끼워 넣으면서 자동적으로 불식하기 때문에, 상기 파지력발생수단을 구성하는 스프링에 의해 인장상태에서 닥터블레이드가 와이퍼에 의해 삽입되어 조작자가 손으로 불식하는 경우에 비해 일정한 삽입을 할 수 있다. 또한, 일정한 삽입상태를 유지한 채 닥터블레이드의 긴쪽방향에 와이퍼를 이동시키는 것도 자동적으로 할 수 있기 때문에, 닥터블레이드를 거의 균일하게 불식할 수 있다. 따라서, 조작자가 손으로 불식하는 경우에 비해 凹판롤의 잉크셀내에 불균일이 없이 충전계량을 할 수 있어 그 결과, 인쇄롤로의 잉크의 전이량에 불균일이 발생하지 않아 막두께가 균일하게 된다. 예컨대, 액정배향막 등의 고분자박막패턴을 형성하는 경우에는 표시 불균일을 일으키지 않는 등 고기능의 박막을 안정하게 얻을 수 있다.

(6) 다관절로보트에 부착된 핸드에 부착된 와이퍼홀더수단에 기체분출수단을 설치했기 때문에, 상기 기체분출수단으로부터 기체를 자동적으로 닥터블레이드의 표면에 취부되면서 닥터블레이드의 긴쪽방향에 기체분출수단을 이동시키고 있는 동안 기체분출수단과 닥터블레이드의 거리를 안정하게 유지하는 일도 자동적으로 용이하게 할 수 있다. 따라서, 닥터블레이드의 표면을 균일하게 건조할 수 있어 다음의 인쇄공정이 스무드하게 이루어져 박막형성의 효율이 좋게 된다.

Claims (25)

1. 다수의 잉크셀을 갖춘 凹판롤(A)과, 닥터 블레이드(B2)를 구비하여 잉크셀내에 잉크를 충전하는 잉크공급수단(B), 상기 凹판롤(A)의 잉크가 전이되는 탄성판(7)이 판동체 표면에 둘러 감겨지는 인쇄롤(C) 및, 인쇄롤의 잉크가 전이되는 피인쇄체(D2)를 고정하는 인쇄테이블(D)을 갖춘 인쇄장치부를 구비한 박막형성장치에 있어서, 다관절로보트(6)와, 상기 다관절로보트의 아암(60)에 부착되어 상기 인쇄롤로의 상기 탄성판의 부착동작 또는 분해동작과, 상기 凹판롤판 동체 표면의 불식동작 및, 상기 닥터 블레이드의 불식동작의 적어도 한 동작을 수행하는 인쇄준비작업 실시수단을 구비한 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 인쇄준비작업 실시수단이 수행하는 동작에서, 상기 인쇄롤로의 상기 탄성판의 부착동작 또는 분해동작은, 상기 탄성판의 장력을 조절하면서 수행하는 상기 인쇄롤로의 탄성판 부착동작 또는 분해동작인 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 준비작업 실시수단은 상기 다관절로보트의 아암의 선단에 부착된 핸드(105)의 핸드본체(1)의 아래측의 일단에 고정되게 설치되는 탄성판(7)의 일단을 자유롭게 착탈하도록 유지하는 고정척수단(102)과, 상기 고정척수단에 대해 핸드본체의 아래측의 타단에 이동이 가능하게 배치되어, 상기 탄성판의 타단을 자유롭게 착탈하도록 유지하는 인장척수단(103) 및, 상기 핸드본체의 아래측에 고정되고 동시에 인장척수단을 지지하여 고정척수단과 인장척수단간의 거리를 조절하는 탄성판 장력조절수단(104)을 구비하는 탄성판 자동부착 및 분해장치부(101)로 이루어지고, 상기 다관절로보트는, 상기 탄성판 자동부착 및 분해장치부의 동작제어를 수행하는 제어장치(185)를 구비한 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 핸드본체는 이 핸드본체의 아랫면에 대해 평행하게 이동이 가능하게 부착되는 부착수단(140)을 갖추고, 상기 탄성판 장력조절수단은, 상기 부착수단의 이면에 고정되게 설치된 에어실린더(141)로 이루어지며, 상기 인장척수단은, 상기 에어실린더의 로드의 선단에 지지되는 축받침체(143)와, 이 축받침체의 아랫면에 대해 수평회전이 가능하게 상기 축받침체에 부착되는 척본체(131)를 갖추는 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 인쇄준비작업 실시수단은 상기 凹판롤 판동체 표면의 불식을 수행하는 와이퍼(208)와, 상기 와이퍼를 유지하는 와이퍼홀더수단(202) 및, 상기 다관절로보트의 아암의 선단에 부착된 핸드(205)의 핸드본체의 일단에 부착되어 상기 와이퍼홀더수단에 유지된 상기 와이퍼를 상기 凹판롤의 판동체 표면에 누르는 누름수단(203)을 구비한 凹판롤 자동불식장치부로 이루어지고, 상기 다관절로보트는, 상기 凹판롤 자동불식장치부의 동작제어를 수행하는 제어장치(185)를 구비한 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 凹판롤 자동불식장치부는 凹판롤 건조용 기체분출수단을 더욱 구비한 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
7. 제5항에 있어서, 상기 누름수단은 상기 와이퍼홀더수단과의 연결부분에 설치되는 축받침체(231)로 이루어져, 다관절로보트의 아암의 이동에 의해 이동하는 상기 와이퍼홀더수단에 대해 회전가능하게 상기 와이퍼홀더수단을 지지하는 축받침체와, 상기 핸드본체에 일단이 부착되는 부착체(215) 및, 상기 부착체의 타단에 설치되어 상기 부착체에 대해 상기 축받침체를 凹판롤측으로 누르는 누름압력발생체(230)를 구비한 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
8. 제6항에 있어서, 상기 누름수단은 상기 와이퍼홀더수단과의 연결부분에 설치되는 축받침체(231)로 되어 다관절로보트의 아암의 이동에 의해 이동하는 상기 와이퍼홀더수단에 대해 회전이 가능하게 상기 와이퍼홀더수단을 지지하는 축받침체와, 상기 핸드본체에 일단이 부착되는 부착체(215) 및, 상기 부착체의 타단에 설치되어 상기 부착체에 대해 상기 축받침체를 凹판롤측으로 누르는 누름압력발생체(230)를 구비한 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 인쇄준비작업 실시수단은 상기 닥터 블레이드의 불식을 수행하는 와이퍼(308)와, 상기 와이퍼가 부착되어 이 와이퍼를 매개로 상기 닥터 블레이드를 끼우는 와이퍼홀더수단(302) 및, 상기 다관절로보트의 아암의 선단에 부착된 핸드(305)의 핸드본체의 일단에 부착되어 상기 와이퍼홀더수단을 닥터 블레이드측으로 누르는 누름수단(303)을 구비한 닥터 블레이드 자동불식장치부로 이루어지고, 상기 다관절로보트는, 상기 닥터 블레이드 자동불식장치부의 동작제어를 수행하는 제어장치(185)를 구비한 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 닥터 블레이드 자동불식장치는 닥터 블레이드 건조용 기체분출수단(304)을 더욱 갖추는 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
11. 제9항에 있어서, 상기 와이퍼홀더수단은 상기 누름수단에 부착되는 와이퍼홀더본체(320)와, 이 와이퍼홀더본체에 대해 접동가능하게 부착되어 상기 와이퍼를 유지함과 동시에 상기 닥터 블레이드의 척개시동작을 수행하는 상부척(340) 및 하부척(350)을 갖추는 척수단(321), 상기 척수단에 부착되어 상기 척수단에 의해 닥터 블레이드의 탄성적인 파지력을 발생하는 파지력발생수단(322) 및, 상기 와이퍼홀더본체에 부착되어 상기 척수단에 의해 닥터 블레이드의 파지를 해제하는 방향으로 상기 척수단을 구동하는 구동수단(323, 361)을 구비한 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
12. 제10항에 있어서, 상기 와이퍼홀더수단은 상기 누름수단에 부착되는 와이퍼홀더본체(320)와, 이 와이퍼홀더본체에 대해 접동가능하게 부착되어 상기 와이퍼를 유지함과 동시에 상기 닥터 블레이드의 척개폐 동작을 수행하는 상부척(340) 및 하부척(350)을 갖추는 척수단(321), 상기 척수단에 부착되어 상기 척수단에 의해 닥터 블레이드의 탄성적인 파지력을 발생하는 파지력 발생수단(322) 및, 상기 와이퍼홀더본체에 부착되어 상기 척수단에 의해 닥터 블레이드의 파지를 해제하는 방향으로 상기 척수단을 구동하는 구동수단(323, 361)을 구비한 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
13. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 준비작업 실시수단은 상기 다관절로보트의 아암의 선단에 부착된 핸드(105)의 핸드본체(1)의 아래측의 일단에 고정되어 탄성판(7)의 일단을 자유롭게 착탈하도록 유지하는 고정척수단(102)과, 상기 고정척수단에 대해 핸드본체의 아래측의 타단에 이동이 가능하게 배치되어 상기 탄성판의 타단을 자유롭게 착탈하도록 유지하는 인장척수단(103) 및, 상기 핸드본체의 아래측에 고정되고 동시에 인장척수단을 지지하여 고정척수단과 인장척수단간의 거리를 조절하는 탄성판 장력조절수단(104)을 구비하는 탄성판 자동부착 및 분해장치부(101)로 이루어지고, 상기 凹판롤판 동체 표면의 불식을 수행하는 와이퍼(208)와, 상기 와이퍼를 유지하는 와이퍼홀더수단(202) 및, 상기 다관절로보트의 아암의 선단에 부착된 핸드(205)의 핸드본체의 일단에 부착되어 상기 와이퍼홀더수단에 유지된 상기 와이퍼를 상기 凹판롤의 판동체 표면에 누르는 누름수단(203)을 구비한 凹판롤(A) 자동불식장치로 이루어지고, 상기 닥터 블레이드의 불식을 수행하는 와이퍼(308)와, 상기 와이퍼가 부착되고 이 와이퍼를 매개로 상기 닥터 블레이드를 끼우는 와이퍼홀더수단(302) 및, 상기 다관절로보트의 아암의 선단에 부착된 핸드(305)의 핸드본체의 일단에 부착되어 상기 와이퍼홀더수단을 닥터 블레이드측으로 누르는 누름수단(303)을 구비한 닥터 블레이드 자동불식장치부로 이루어지며, 상기 다관절로보트에 구비되는 상기 탄성판 자동부착 및 분해장치부와, 상기 凹판롤 자동불식장치부 및 상기 닥터 블레이드 자동불식장치부의 동작제어를 수행하는 제어장치(185)를 구비한 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
14. 다수의 잉크셀을 갖추는 凹판롤(A)과, 닥터 블레이드(B2)를 구비하여 잉크셀내에 잉크를 충전하는 잉크공급수단(B), 상기 凹판롤(A)의 잉크가 전이되는 탄성판(7)이 판동체 표면에 둘러 감겨지는 인쇄롤(C), 인쇄롤의 잉크가 전이되는 피인쇄체(D2)를 고정하는 인쇄테이블(D)을 갖춘 인쇄장치부, 다관절로보트(6) 및, 상기 다관절로보트의 아암(60)에 부착된 인쇄준비작업 실시수단을 구비한 박막형성장치를 사용하여 인쇄롤판 동체 표면에 탄성판을 둘러 감아서 凹판롤(A)의 복수의 잉크셀에 잉크를 충전한 후, 상기 凹판롤로부터 상기 인쇄롤에 있어서의 상기 탄성판에 잉크를 충전하여 인쇄롤로부터 인쇄테이블에 고정된 피인쇄체에 잉크를 전이하여 박막인쇄를 수행하는 박막형성방법에 있어서, 상기 다관절로보트로 상기 인쇄준비작업 실시수단을 구동하여 상기 인쇄롤로의 상기 탄성판의 부착공정 또는 분해공정과, 상기 凹판롤(A)동체 표면의 불식공정 및, 상기 닥터 블레이드의 불식공정의 적어도 한 공정을 수행하는 인쇄준비작업 실시공정을 구비한 것을 특징으로 하는 박막형성방법.
15. 제14항에 있어서, 상기 인쇄준비작업 실시수단이 수행하는 동작에서, 상기 인쇄롤로의 상기 탄성판의 부착동작 또는 분해동작은, 상기 탄성판의 장력을 조절하면서 수행하는 상기 인쇄롤로의 탄성판 부착동작 및 분해동작인 것을 특징으로 하는 박막형성방법.
16. 제14항 또는 제15항에 있어서, 상기 다관절로보트의 아암의 선단에 부착된 핸드(105)의 핸드본체(1)의 아래측의 일단에 고정되어 탄성판(7)의 일단을 자유롭게 착탈하도록 유지하는 고정척수단(102)과, 상기 고정척수단에 대향하여 핸드본체의 아래측의 타단으로 이동가능하게 배치되어 상기 탄성판의 타단을 자유롭게 착탈하도록 유지하는 인장척수단(103), 상기 핸드본체의 아래측에 고정됨과 동시에 인장척수단을 지지하여 고정척수단과 인장척수단간의 거리를 조절하는 탄성판 장력조절수단(104)을 구비한 탄성판 자동부착 및 분해장치부(101) 및, 상기 다관절로보트에 구비되어 상기 탄성판 자동부착 및 분해장치부의 동작을 수행하는 제어장치부(185)를 구비한 박막형성장치를 사용하여 실행하는 상기 인쇄준비작업 실시공정은, 느슨해진 상태의 탄성판의 제1판홀더 및 제2판홀더를 탄성판 자동부착 및 분해장치부의 고정척수단과 인장척수단에 각각 유지시키고, 다음에 다관절로보트의 아암을 구동시킴으로써, 인쇄롤판 동체의 제1척수단과 탄성판의 제1판홀더의 위치의 합함을 수행하고, 다음에 핸드의 고정척수단으로부터 인쇄롤판 동체의 제1척수단에 탄성판의 제1판홀더를 수도함을 수행하는 제1공정과, 장력조절수단의 구동과, 다관절로보트의 아암의 구동, 탄성판을 둘러 감는 방향으로의 인쇄롤판 동체의 구동에 의해 탄성판에 소정의 장력을 인가한 상태를 유지하면서 인쇄롤판 동체 표면으로 탄성판을 둘러 감도록 이행하는 제2공정 및, 인쇄롤판 동체의 제2척수단이 설치된 위치에 탄성판의 제2판홀더를 이동시키고, 다음에 핸드의 인장척수단으로부터 인쇄롤판 동체의 제2척수단에 탄성판의 제2판홀더를 수도시켜 탄성판의 인쇄롤판 동체 표면으로의 부착을 종료하는 제3공정을 구비한 것을 특징으로 하는 박막형성방법.
17. 제16항에 있어서, 상기 제2공정은 제1판홀더와 제2판홀더간의 탄성판에 소정의 장력을 인가한 후, 탄성판 장력조절수단의 에어실린더본체로부터 로드를 전후로 이동시켜 탄성판에 소정의 장력이 인가된 상태를 유지하고, 동시에 탄성판 장력조절수단 및/또는 인장척수단을 회전시켜서 탄성판의 인장하는 방향을 조절하면서 다관절로보트의 아암을 구동시킴으로써, 인쇄롤판 동체의 회전에 반하여 핸드를 인쇄롤판 동체에 서서히 근접시켜가는 것을 특징으로 하는 박막형성방법.
18. 제16항에 있어서, 탄성판이 둘러 감겨진 인쇄롤판 동체의 제2척수단으로부터, 핸드인장척수단에 탄성판의 제2판홀더를 수도시키고, 다음에 탄성판이 빠지는 방향으로 인쇄롤판 동체를 회전시킴과 더불어 다관절로보트의 아암을 구동시켜서 핸드의 고정척수단과 탄성판의 제1판홀더의 위치를 합하고, 다음에 인쇄롤판 동체의 제1척수단으로부터 핸드의 고정척수단에 탄성판의 제1판홀더를 수도시켜 인쇄롤판 동체로부터 탄성판의 분해를 종료하는 것을 특징으로 하는 박막형성방법.
19. 제17항에 있어서, 탄성판이 둘러 감은 인쇄롤판 동체의 제2척수단으로부터, 핸드의 인장척수단에 탄성판의 제2판홀더를 수도시키고, 다음에 탄성판이 빠지는 방향으로 인쇄롤판 동체를 회전시킴과 더불어 다관절로보트의 아암을 구동시켜 핸드의 고정척수단과 탄성판의 제1판홀더의 위치를 합하고, 다음에 인쇄롤판 동체의 제1척수단으로부터 핸드의 고정척수단에 탄성판의 제1판홀더를 수도시켜 인쇄롤판 동체로부터 탄성판의 분해를 종료하는 것을 특징으로 하는 박막형성방법.
20. 제14항 또는 제15항에 있어서, 상기 凹판롤판 동체 표면의 불식을 수행하는 와이퍼(208)와, 상기 와이퍼를 유지하는 와이퍼홀더수단(202), 상기 다관절로보트의 아암의 선단에 부착된 핸드(205)의 핸드본체의 일단에 부착되어 상기 와이퍼홀더수단에 유지된 상기 와이퍼를 상기 凹판롤의 판동체 표면에 누르는 누름수단(203)을 구비한 凹판롤(A) 자동불식장치부 및, 상기 다관절로보트에 구비되어 상기 凹판롤 자동불식장치부의 동작제어를 수행하는 제어장치부(185)를 구비한 박막형성장치를 사용하여 실행하는 상기 인쇄준비작업 실시공정은, 凹판롤 자동불식장치부의 와이퍼홀더수단에 와이퍼를 유지시키고, 다음에 다관절로보트의 아암을 구동시킴으로써, 와이퍼홀더수단을 이동시켜 누름수단에 의해 凹판롤(A)의 동체부 표면에 소정의 접촉압력으로 와이퍼를 누르고, 다음에 凹판롤을 회전시킴과 더불어 凹판롤의 동체부 표면에 대해 와이퍼의 상기 접촉압력을 유지하면서 다관절로보트의 아암을 구동시킴으로써 핸드를 凹판롤(A)의 축방향에 따라 이동시켜서 불식을 수행하고, 다음에 다관절로보트의 아암을 구동시킴으로써 凹판롤의 동체부 표면으로부터 와이퍼를 떼어놓는 것을 특징으로 하는 박막형성장치.
21. 제20항에 있어서, 凹판롤(A)의 동체부 표면에 소정의 접촉압력으로 와이퍼를 누른 후, 凹판롤을 회전시킴과 더불어 凹판롤의 동체부 표면에 대해 와이퍼의 접촉압력을 유지하면서 와이퍼홀더수단을 회전가능하도록 하면서 다관절로보트의 아암을 구동시킴으로써, 핸드를 凹판롤의 축방향에 따라 이동시키는 것을 특징으로 하는 박막형성방법.
22. 제20항에 있어서, 凹판롤을 회전시킴과 더불어 凹판롤 건조용 기체분출수단으로부터 기체를 분출시키면서 다관절로보트의 아암을 구동시킴으로써, 핸드와 더불어 기체분출수단을 凹판롤의 축방향에 따라 이동시키는 것을 특징으로 하는 박막형성방법.
23. 제21항에 있어서, 凹판롤을 회전시킴과 더불어 凹판롤 건조용 기체분출수단으로부터 기체를 분출시키면서 다관절로보트의 아암을 구동시킴으로써, 핸드와 더불어 기체분출수단을 凹판롤의 축방향에 따라 이동시키는 것을 특징으로 하는 박막형성방법.
24. 제14항 또는 제15항에 있어서, 닥터 블레이드의 불식을 수행하는 와이퍼(308)와, 상기 와이퍼가 부착되어 이 와이퍼를 매개로 상기 닥터 블레이드를 끼우는 와이퍼홀더수단(302), 상기 다관절로보트의 아암의 선단에 부착된 핸드(305)의 핸드본체의 일단에 부착되어 상기 와이퍼홀더수단을 닥터 블레이드측으로 누르는 누름수단(303)을 구비한 닥터 블레이드 자동불식장치부 및, 상기 다관절로보트에 구비되어 상기 닥터 블레이드 자동불식장치부의 동작제어를 수행하는 제어장치(185)를 구비하고, 상기 와이퍼홀더수단은 상기 누름수단에 부착되어진 와이퍼홀더본체(320)와, 이 와이퍼홀더본체에 대해 접동가능하게 부착되어 상기 와이퍼를 유지함과 동시에 상기 닥터 블레이드의 척개시동작을 수행하는 상부척(340) 및 하부척(350)을 갖추는 척수단(321), 상기 척수단에 부착되어 상기 척수단에 의해 닥터 블레이드의 탄성적인 파지력을 발생하는 파지력발생수단(322) 및, 상기 와이퍼홀더본체에 부착되어 상기 척수단에 의해 닥터 블레이드의 파지를 해제하는 방향으로 상기 척수단을 구동하는 구동수단(323, 361)을 구비한 박막형성장치를 사용하여 실행하는 상기 인쇄준비작업 실시공정은, 다관절로보트의 아암을 구동시킴으로써, 닥터 블레이드의 소정위치에 와이퍼홀더수단을 이동시켜 와이퍼홀더수단에 구비하는 척수단의 상부척 또는 하부척의 적어도 한쪽의 선단을 상부 블레이드홀더 또는 하부 블레이드홀더의 적어도 한쪽의 선단에 맞추고, 다음에 파지력 발생수단에 의해 와이퍼로 닥터 블레이드를 삽입시키며, 다음에 다관절로보트의 아암을 구동시킴으로써 핸드를 닥터 블레이드의 긴쪽 방향에 따라 이동시켜 닥터 블레이드의 불식을 수행하고, 다음에 다관절로보트의 아암을 구동시킴으로써 닥터 블레이드로부터 와이퍼를 떼어놓음을 수행하는 것을 특징으로 하는 박막형성방법.
25. 제24항에 있어서, 기체분출수단으로부터 기체를 분출시키면서 다관절로보트의 아암을 구동시킴으로써, 핸드와 더불어 기체분출수단을 닥터 블레이드의 긴쪽방향에 따라 이동시키는 것을 특징으로 하는 박막형성방법.