JP3300467B2 - 薄膜形成装置と薄膜形成方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、所定の張力が弾性版
全体に均一にかかるように弾性版を引張りながら、印刷
ロール版胴に弾性版を自動的に取付けた後、薄膜形成を
することができる薄膜形成装置と薄膜形成方法に関す
る。

【０００２】液晶配向膜など電子部品に用いる高分子薄
膜パターンを形成する装置として、たとえば、多数のイ
ンキセルを有する凹版ロールと、インキセル内にインキ
を充填するインキ供給手段と、凹版ロールのインキが転
移される弾性版を版胴に有する印刷ロールと、印刷ロー
ルのインキが転移される被印刷体を固定する印刷テーブ
ルと、凹版ロールのインキセル内にインキを確実に充填
するためのドクターブレードとからなる薄膜形成装置が
ある。

【０００３】

【従来の技術】前記薄膜形成装置において、弾性版を印
刷ロール版胴に取付けるには、まず、弾性版の複数箇所
に設けられた位置決め用トンボマークと、印刷ロール版
胴の複数箇所に設けられた基準マークとを人の手と目で
位置決めし、弾性版を人の手で引張って印刷ロール版胴
に巻付ける。その後、弾性版の両端に取付けられた版ホ
ルダーを印刷ロール版胴に取付けられたチャック手段に
人の手で引掛けて固定する。つぎに、インキ供給手段に
よって、凹版ロールの多数のインキセル内にインキを充
填し、凹版ロールから印刷ロールの弾性版にインキを転
移し、印刷ロールから印刷テーブルに固定された被印刷
体にインキを転移して印刷を行なう。また、印刷後、弾
性版を印刷ロール版胴から取外すには、弾性版の両端に
取付けられた版ホルダーを印刷ロール版胴のチャック手
段から人の手で取外す。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の技術は、つぎの
ような問題点があった。 （１）弾性版と印刷ロール版胴との位置決め、弾性版の
引張り、チャック手段への引掛け、弾性版の印刷ロール
版胴への取付けまたは／および取外しの全てを人の手で
行なった後、印刷を行なうので、薄膜形成の効率が非常
に悪い。

【０００５】（２）弾性版を印刷ロール版胴に取付ける
ために人が出入りするので、人自身や人の衣服や地面か
ら塵やほこりなどが舞い立ち周囲の清浄度がよくない。
また、弾性版を人の手で持つので、ゴミや油が付いた手
で弾性版をつかむことになる。よって、塵やほこりやゴ
ミや油が弾性版に付着し、弾性版が汚れる。このような
弾性版に凹版ロールからインキを転移すると、塵やほこ
りやゴミや油がインキに混じってしまい、異物が混入し
たり変質したインキとなってしまう。そのため、このよ
うなインキを用いて、たとえば、液晶配向膜などの高分
子薄膜を形成する場合には、絶縁性が低下したり、膜厚
ムラや配向ムラをおこしたり、膜の一部が欠けたりし
て、薄膜の機能が低下してしまうという問題が発生す
る。

【０００６】（３）弾性版を人の手で引張りながら、印
刷ロール版胴に巻付けるので、弾性版を印刷ロール版胴
に巻付けている間、弾性版の全幅にわたって所定の大き
さで所定の方向に張力がかかった状態にすることは非常
に困難である。極力注意を払って作業しなければ、巻付
ける弾性版全体にかかる過剰な張力やたるみを矯正でき
ないまま、弾性版が印刷ロール版胴に巻付けられること
になる。その結果、弾性版に過剰な張力がかかった状態
のままで印刷ロール版胴に取付けられたり、弾性版がし
わや波打ちの状態のままで印刷ロール版胴に取付けられ
てしまうことになる。このような状態で凹版ロールと弾
性版とを接触させると、凹版ロールと弾性版との接触
圧、および、弾性版と被印刷体との接触圧がムラにな
り、被印刷体にインキの転移量の多いところと少ないと
ころとができ、被印刷体に均一な膜厚の薄膜を形成でき
ない。このような欠点が生じないように、弾性版を印刷
ロールに手作業で取付けようとすると、熟練者でも相当
の時間を要することとなり、薄膜形成の効率が低くな
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明の薄膜形成装置
は、以上の目的を達成するために、第１版ホルダーと第
２版ホルダーとによって両端がつかまれた弾性版を、第
１チャック手段と第２チャック手段とを有する印刷ロー
ル版胴に巻付けた後、印刷を行なう薄膜形成装置におい
て、ハンド本体と、ハンド本体の一方に配置された固定
チャック手段と、ハンド本体の他方に配置された引張チ
ャック手段と、印刷ロールのチャック手段に固定された
第１版ホルダーと、引張りチャック手段に固定された第
２版ホルダーとの間の距離を調節する弾性版張力自動調
節手段とからなるハンドが、多関節ロボットのアームに
取付けられた弾性版自動取付け取外し装置部と、多数の
インキセルを有する凹版ロールと、インキセル内にイン
キを充填するインキ供給手段と、凹版ロールのインキが
転移される弾性版を版胴に有する印刷ロールと、印刷ロ
ールのインキが転移される被印刷体を固定する印刷テー
ブルとからなる印刷装置部とからなるように構成した。

【０００８】この発明の薄膜形成方法は、第１版ホルダ
ーと第２版ホルダーとによって両端がつかまれた弾性版
を、第１チャック手段と第２チャック手段とを有する印
刷ロール版胴に巻付けた後、印刷を行なう薄膜形成方法
において、たるんだ状態の弾性版の第１版ホルダーおよ
び第２版ホルダーを、この発明に係る弾性版自動取付け
取外し装置部の固定チャック手段と引張チャック手段と
で各々保持させ、つぎに、多関節ロボットのアームを駆
動させることによって、印刷ロール版胴の第１チャック
手段が設けられた位置に弾性版の第１版ホルダーを移動
させ、つぎに、ハンドの固定チャック手段から印刷ロー
ル版胴の第１チャック手段に、弾性版の第１版ホルダー
を受渡しさせ、つぎに、多関節ロボットのアームを駆動
させることによって、ハンドを印刷ロール版胴から離間
させて、第１版ホルダーと第２版ホルダーとの間の弾性
版に所定の張力を加え、つぎに、弾性版を巻取る方向に
印刷ロール版胴を徐々に回転させるとともに、弾性版張
力自動調節手段のエアーシリンダー本体に対してロッド
を前後移動させて、弾性版に所定の張力を加えた状態を
維持させながら、多関節ロボットのアームを駆動させる
ことによって印刷ロール版胴の回転に伴ってハンドを印
刷ロール版胴に徐々に近付けさせ、印刷ロール版胴の第
２チャック手段が設けられた位置まで弾性版の第２版ホ
ルダーを移動させ、つぎに、ハンドの引張チャック手段
から印刷ロール版胴の第２チャック手段に、弾性版の第
２版ホルダーを受渡しさせ、弾性版の印刷ロール版胴へ
の取付けを完了し、つぎに、印刷装置部によって、被印
刷体に印刷を行なうように構成した。

【０００９】この発明の薄膜形成方法は、この発明の薄
膜形成方法により被印刷体に印刷した後、弾性版が巻付
いた印刷ロール版胴の第２チャック手段から、ハンドの
引張チャック手段に、弾性版の第２版ホルダーを受渡し
させ、つぎに、弾性版が外れる方向に印刷ロール版胴を
回転させるとともに、多関節ロボットのアームを駆動さ
せて、ハンドの固定チャック手段と、弾性版の第１版ホ
ルダーの位置とを合わせ、つぎに、印刷ロール版胴の第
１チャック手段からハンドの固定チャック手段に、弾性
版の第１版ホルダーを受渡しさせ、印刷ロール版胴から
弾性版の取外しを完了するように構成した。

【００１０】

【作用】この発明の薄膜形成装置および薄膜形成方法で
は、弾性版自動取付け取外し装置部で、多関節ロボット
のアームに取付けたハンドを用いて弾性版の取付け取外
しを行なった後、印刷装置部で、被印刷体に薄膜を形成
するので、印刷ロール版胴に弾性版を自動的に取付ける
ことができ、印刷後も、自動的に弾性版を取外すことが
でき、そのため、薄膜形成の一連の全工程をスムーズに
行なえるので薄膜形成の効率がよくなる。

【００１１】また、請求項２の薄膜形成装置および請求
項４の薄膜形成方法の構成では、弾性版自動取付け取外
し装置部で、弾性版張力自動調節手段のエアーシリンダ
ー本体からロッドを自動的に前後移動させて、ハンド本
体と引張チャック手段との距離の大小の調節を行ない、
弾性版の張力を自動的に調節しながら、弾性版を印刷ロ
ール版胴に取付けた後、印刷装置部で、被印刷体に薄膜
を形成する。したがって、弾性版が印刷ロール版胴に巻
取られる直前および巻取られている最中に、弾性版に過
剰な張力が加わる状況になっても、あるいは、張力が足
りずにたるむ状況になっても、弾性版張力自動調節手段
によって、弾性版にかかる張力が所定の値に自動的に矯
正されるので、所定の大きさの張力が弾性版に常時かか
るようになる。その結果、弾性版はしわや波打ちした状
態とはならず、きれいに印刷ロール版胴に取付けられ
る。よって、弾性版にインキを転移し、さらに被印刷体
に転移しても、転移量に差は発生せず、被印刷体に均一
な膜厚の薄膜が形成できる。

【００１２】具体的には、次のようにする。つまり、弾
性版にかかる張力は、印刷ロール版胴の回転によって弾
性版を引張る力とエアーシリンダーのロッドにより弾性
版を逆に引張る力とが合成された力である。この発明の
弾性版自動取付け取外し装置のハンド本体と引張チャッ
ク手段との距離の大小は、この弾性版にかかる張力の大
小に応じて自動的に変化する。たとえば、弾性版が印刷
ロール版胴に巻取られている最中に、ハンドの移動が印
刷ロール版胴の回転よりも若干遅くなった場合は、弾性
版にかかる張力が所定の値を越え、エアーシリンダー本
体にロッドが後退し、弾性版張力自動調節手段と引張チ
ャック手段との距離を小さくする。その結果、第１版ホ
ルダーと第２版ホルダーとの距離が一定に保たれるた
め、弾性版にかかる張力が所定の値となる。逆に、弾性
版が印刷ロール版胴に巻取られている最中に、ハンドの
移動が印刷ロール版胴の回転よりも若干早くなった場合
は、弾性版にかかる張力が所定の値より小さくなり、小
さくなった分を取戻すため、エアーシリンダー本体から
ロッドが前進し、弾性版張力自動調節手段と引張チャッ
ク手段との距離を大きくする。その結果、第１版ホルダ
ーと第２版ホルダーとの距離が一定に保たれるため、弾
性版にかかる張力が所定の値となる。

【００１３】また、請求項２の薄膜形成装置、請求項５
の薄膜形成方法の構成では、弾性版自動取付け取外し装
置部で、弾性版張力自動調節手段または／および引張チ
ャック手段をハンド本体に対して回転させて、引張チャ
ック手段によって弾性版を引張る角度の大小の調節を行
ない、弾性版を引張る方向を自動的に調節しながら、弾
性版を印刷ロール版胴に取付けた後、印刷装置部で、被
印刷体に薄膜を形成する。したがって、弾性版が印刷ロ
ール版胴に巻取られる直前および巻取られている最中
に、弾性版の一部にたるみが発生する状況になっても、
弾性版張力自動調節手段によって、弾性版を引張る方向
を自動的に矯正し、弾性版全体に均一に張力がかかるよ
うにピンと張った状態に維持される。その結果、弾性版
はしわや波打ちした状態とはならず、きれいに印刷ロー
ル版胴に取付けられる。よって、弾性版にインキを転移
し、さらに被印刷体に転移しても、転移量に差は発生せ
ず、被印刷体に均一な膜厚の薄膜が形成できる。

【００１４】具体的には、次のようにする。つまり、引
張チャック手段によって弾性版を引張る方向は、この弾
性版の一部に発生するたるみに応じて、自動的に調節さ
れることになる。たとえば、弾性版が（Ａ）弾性版の第
１版ホルダーと第２版ホルダーとが微妙に平行でない状
態いわゆる傾斜ズレした状態で引張らないと、弾性版の
一部にたるみが生じてしまってピンと張れない場合（図
１２（ａ）参照）は、引張チャック手段が、ハンド本体
に対して引張チャック手段回転軸を中心に傾斜ズレ分だ
け右に回転され、弾性版がピンと張った状態となる（図
１２（ｂ）参照）。あるいは、弾性版が（Ｂ）第１版ホ
ルダーの正面に第２版ホルダーが位置しない状態いわゆ
る平行ズレした状態で引張らないと、弾性版の一部にた
るみが生じてしまってピンと張れない場合（図１２
（ｃ）参照）は、弾性版張力自動調節手段が、ハンド本
体に対して取付け手段回転軸を中心に必要角度だけ左に
回転させられる。さらに、引張チャック手段が、弾性版
張力自動調節手段の軸受け体に対して引張チャック手段
回転軸を中心に必要角度だけ右に回転させられ、第１版
ホルダーと第２版ホルダーとが平行になり（図１０参
照）、弾性版がピンと張った状態となる（図１２（ｄ）
参照）。

【００１５】

【実施例】以下図面を参照しながら、この発明の実施例
を説明する。まず、この発明の薄膜形成装置の弾性版自
動取付け取外し装置部を説明する。この発明の弾性版自
動取付け取外し装置部は、図１および図３に示すよう
に、ハンド５が、多関節ロボット６のアーム６０に取付
けられているものである。多関節ロボット６は、汎用さ
れている産業用ロボットであり、複数のアーム６０が関
節６１を介して水平、垂直に屈曲自在につながってい
る。すなわち、多関節ロボット６は、水平多関節ロボッ
ト、垂直型多関節ロボットあるいは直交型ロボットでも
よい。複数のアーム６０が集まったアーム群の一端には
ハンド５が取付けられ、他端はロボット基台６２に支え
られている構造のものである。関節６１は、油圧や水圧
あるいはモーターによって、多段階あるいは無段階にア
ーム６０を屈曲させて駆動させる部分である。ロボット
基台６２は、油圧や水圧あるいはモーターによってアー
ム群を垂直方向に多段階あるいは無段階に駆動させる部
分である。

【００１６】ハンド５は、ハンド本体１と、固定チャッ
ク手段２と、引張チャック手段３と、弾性版張力自動調
節手段４とからなっている（図１、図３参照）。

【００１７】ハンド本体１は、多関節ロボット６のアー
ム６０に固設されており、多関節ロボット６のアーム６
０の駆動によって、ハンド５が自由に移動できるように
したものである。

【００１８】弾性版７は、ゴムやナイロン系の樹脂など
からなる軟質の版であり、表面に所望のパターンで凸部
が形成された凸版でもよいし、凹版あるいは平版でもよ
い。弾性版７は、その両端が第１版ホルダー７０と第２
版ホルダー７１とによって、つかまれたものである。第
１版ホルダー７０や第２版ホルダー７１は、ハンド用チ
ャック孔７００、印刷ロール用チャック孔７０１、位置
決め用チャック孔７０２が、版ホルダーの横中心線に対
して対称的に並んで形成された部材である（図１１参
照）。弾性版７は、円柱形の印刷ロール版胴８に巻付け
られ、前記凸部の頂部に印刷用のインキが付着され、被
印刷体の表面に凸部が接触することによって、インキを
転移させ印刷する印刷用の版である。

【００１９】固定チャック手段２は、弾性版７の第１版
ホルダー７０を保持したり保持を解除したりすることが
できる機構を備えたものである。固定チャック手段２
は、ハンド本体１に固設されていてもよいし（図１、図
３〜図７参照）、後述する弾性版張力自動調節手段４の
一構成要素である取付け手段４０に固設されていてもよ
い（図８〜図１０参照）。

【００２０】固定チャック手段２としては、チャック本
体２１と、チャック本体２１から前後移動が可能な鈎形
状のチャック爪とからなるチャック式保持機構を備えた
ものがある（図示せず）。このチャック式固定機構で
は、チャック本体２１を弾性版７の版ホルダーに接触さ
せ、チャック本体２１の一部とチャック爪とを版ホルダ
ーのハンド用チャック孔７００（図１１参照）に突入さ
せ、突入した状態のままでチャック爪の鈎の部分でハン
ド用チャック孔７００の内壁を引掛け、チャック爪の鈎
の部分とチャック本体２１とで版ホルダーを挟み込み、
固定チャック手段２で版ホルダーを保持する。保持を解
除するときは、チャック爪の鈎の部分をハンド用チャッ
ク孔７００の内壁から外す。

【００２１】また、他の固定チャック手段２としては、
チャック本体２１と、表面に露出した電磁石とからなる
磁力式固定機構を備えたものがある（図示せず）。この
磁力式保持機構では、固定チャック手段２のチャック本
体２１を金属製の版ホルダーに接触させ、電磁石に磁力
を発生させ、固定チャック手段２で版ホルダーを保持す
る。保持を解除するときは、電磁石の磁力を消滅させ
る。また、他の固定チャック手段２としては、チャック
本体２１の版ホルダーと接する面に真空吸引孔を設けた
真空吸着式固定機構を備えたものがある（図示せず）。
この真空吸着式固定機構では、固定チャック手段２のチ
ャック本体２１を版ホルダーに接触させ、真空吸引孔か
ら真空吸引して、版ホルダーをチャック本体２１に保持
する。保持を解除するときは、真空吸引を止める。

【００２２】引張チャック手段３は、固定チャック手段
２と同様に、弾性版７の第２版ホルダー７１を保持した
り保持を解除したりすることができる機構を備えたもの
である。引張チャック手段３は、ハンド本体１との距離
が適宜調節できるように、後述する弾性版張力自動調節
手段４の一構成要素であるエアーシリンダーのロッド４
２の先端に直接固設されていてもよい（図１、図３〜図
７参照）。あるいは、後述する適宜の軸受け体４３など
の回転手段を介して設けられていてもよい（図８〜図１
０参照）。

【００２３】弾性版張力自動調節手段４は、ハンド本体
１と引張チャック手段３との間の距離を、長くしたり短
くしたりするために、エアーシリンダーやスプリングな
どの伸び縮みできる機構を備えたものであり、弾性版張
力自動調節手段４の一端を固定チャック手段２に固定
し、他端を引張チャック手段３に固定する。

【００２４】弾性版張力自動調節手段４の別の具体的な
構成としては、図８に示すように、取付け手段４０とエ
アーシリンダー本体４１とロッド４２と軸受け体４３と
からなる構成がある。

【００２５】この場合、取付け手段４０は、回転軸部４
００と取付け部４０１とからなっており、回転軸部４０
０は、ハンド本体１の内部に形成された軸受け部１０に
嵌め込まれ、回転ガイド１１に沿って軸回転し、ハンド
本体１の下面に対し水平回転可能となっている。したが
って、取付け手段４０は、弾性版７がピンと張られる状
態となるような方向に、弾性版７を引張ることができる
ように随時回転する（図１０参照）。ハンド本体１の内
部に直線スライドガイドを形成し、取付け手段４０が直
線スライドガイドに沿って、直線スライド移動するよう
にしてもよい。

【００２６】エアーシリンダー本体４１は、エアーシリ
ンダー本体４１内へのエアーの吸入、吹出しによって、
エアーシリンダー本体４１に対して前後移動するロッド
４２を有しており、取付け手段４０の取付け部４０１の
下面に固設されている。

【００２７】軸受け体４３は、カムフォロア４３１と軸
受け部４３２とからなっており、ロッド４２の先端に固
設されている。カムフォロア４３１は、カムフォロア４
３１の径よりも、幅広となるようにハンド本体１に形成
されたカムフォロアガイド溝１２に入り込んでいる（図
９参照）。

【００２８】軸受け体４３は、エアーシリンダーのロッ
ド４２の前後移動に連動して、カムフォロアガイド溝１
２の長さ方向の範囲内（図８および図９でいうと左右方
向の距離に相当する。）で、固定チャック手段２および
取付け手段４０に対して遠ざかる向きと近づく向きの直
線移動をするようになっている。また、軸受け体４３
は、取付け手段４０が取付け手段回転軸４０２を中心と
して回転するときに取付け手段４０と一体となって、カ
ムフォロアガイド１２の幅方向の範囲内（図９でいうと
上下方向の距離に相当する。）で、ハンド本体１に対し
て軸回転をする。軸受け体４３は、直線移動と軸回転と
を別々に行なうことも同時に行なうこともできる。ま
た、ロッド４２がエアーシリンダー本体４１側に後退
し、カムフォロア４３１がカムフォロアガイド溝１２の
Ｖ字部１３に嵌まり込むことによって、カムフォロア４
３１がカムフォロアガイド溝１２の長さ方向にも幅方向
にも移動できなくなり、その結果、軸受け体４３が、取
付け手段回転軸４０２を中心として回転できなくなるよ
うにすることもできる。

【００２９】引張チャック手段３は、回転軸部３０とチ
ャック本体３１とからなっており、回転軸部３０は、軸
受け体４３の軸受け部４３２に嵌め込まれ、軸回転し、
軸受け体４３の下面に対し水平回転可能となっている。
したがって、引張チャック手段３は、弾性版７がピンと
張られる状態となるような方向に、弾性版７を引張るこ
とができるように随時回転する（図１０参照）。

【００３０】前記固定チャック手段２、引張チャック手
段３および弾性版張力自動調節手段４が取付けられてい
るハンド本体１の別の箇所に、凹版ロール払拭用のワイ
パーホルダー手段９０または／およびドクターブレード
払拭用のワイパーホルダー手段９１が取付けられていて
もよい。凹版ロール払拭用のワイパーホルダー手段９０
は、たとえば、図９および図１０に示すように、固定チ
ャック手段２および引張チャック手段３を結ぶ線と直交
する線上に、反発押当て手段９１を介して、ハンド本体
１あるいは取付け手段４０に取付けられる。凹版ロール
のインキセルに残留した不要なインキを除去する必要が
生じたとき、凹版ロール払拭用のワイパーホルダー手段
９０に溶剤などを侵み込ませた不織布などからなるワイ
パー８を保持させ、ハンド本体１あるいは取付け手段４
０を９０゜回転させ、多関節ロボット６のアーム６０を
駆動させて凹版ロールの表面を払拭する。反発押当て手
段９１は、スプリングやエアーシリンダーなどの反発力
を利用して、所定の接触圧で凹版ロールの版胴にワイパ
ーが押当てられるようにする手段である。

【００３１】また、ドクターブレード払拭用のワイパー
ホルダー手段９２は、たとえば、図９および図１０に示
すように．凹版ロール払拭用のワイパーホルダー手段９
０の対向する位置に、反発押当て手段９３を介して、ハ
ンド本体１あるいは取付け手段４に取付けられる。ドク
ターブレードに残留した不要なインキを除去する必要が
生じたとき、ドクターブレードのワイパーホルダー手段
９２に溶剤などを侵み込ませた不織布などからなるワイ
パーを保持させ、ハンド本体１あるいは取付け手段４０
を９０゜回転させ、多関節ロボット６のアーム６０を駆
動させてドクターブレードの表面を払拭する。反発押当
て手段９３は、スプリングやエアーシリンダーなどの反
発力を利用して、所定の接触圧でドクターブレードの先
端にワイパーを接触させ、所定の挟込み圧でドクターブ
レードの上下面をワイパーによって挟込む手段である。

【００３２】この発明の薄膜形成装置の印刷装置部を説
明する。この発明の印刷装置部は、多数のインキセルを
有する凹版ロールＡと、インキセル内にインキを充填す
るインキ供給手段Ｂと、凹版ロールのインキが転移され
る弾性版を版胴に有する印刷ロールＣと、印刷ロールの
インキが転移される被印刷体を固定する印刷テーブルＤ
とからなる。

【００３３】印刷装置部は、長方形台からなる基台Ｅの
中央部に支持枠Ｆが形成され、支持枠Ｆには、凹版ロー
ルＡおよび印刷ロールＣが回転自在に支持されている。
また、凹版ロールＡの上部には、インキ供給手段Ｂが配
置される。基台１上面には印刷テーブルＤが配置されて
いる。

【００３４】凹版ロールＡは、回転軸に胴部が固定さ
れ、胴部の表面に多数のインキセルを備えている。イン
キセルは、たとえば深さ10〜数10μｍのものである。胴
部は、印刷ロールＣ版胴の弾性版の凸部に一定の圧力で
接している。

【００３５】インキ供給手段Ｂは、インキ供給ノズルＢ
１とドクターブレードＢ２とからなる。ドクターブレー
ドＢ２と凹版ロールＡとが接触した部分にインキがたま
るように、インキ供給ノズルＢ１から凹版ロールＡにイ
ンキが供給される。インキは、たとえば、粘性が数10〜
30,000c.p.s.程度のものであり、合成樹脂または樹脂前
駆体および溶剤の混合物からなる。ドクターブレードＢ
２は、板状体であり、支持枠Ｆに取付けられたドクター
ブレード支持棒Ｂ３に取付けられている。ドクターブレ
ード支持棒Ｂ３を回転させることによって、ドクターブ
レードＢ２が、凹版ロールＡの表面に接触したり離れた
りする。インキ供給ノズルＢ１から供給されたインキ
は、ドクターブレードＢ２によりインキの計量かきとり
が行われる。このようにして、インキ供給手段Ｂは、凹
版ロールＡの表面上に落とされたインキを凹版ロールＡ
表面に広げ、インキをインキセル内に充填させ、凹版ロ
ールＡ表面に均一性の高いインキの膜を形成する。

【００３６】印刷ロールＣは、その回転軸に胴部が固定
され、胴部には、ブチルゴムなどのゴムもしくはナイロ
ン系樹脂などの合成樹脂または感光性ゴムもしくは感光
性樹脂などからなる軟質製の弾性版７が、取付けられた
り取外されたりする。弾性版７に凹版ロールＡのインキ
が転移される。

【００３７】印刷テーブルＤは基台Ｅの上に載置されて
いる。基台Ｅの上面には、支持枠Ｆ下方の印刷位置ｂと
支持枠Ｆ下方から被印刷体搬入側へ離れた被印刷体載置
位置ａと支持枠下方から被印刷体搬出側へ離れた搬出位
置ｃの間の両側にそれぞれ案内レールＤ１が固定されて
いる。印刷テーブルＤは、基台Ｅの上で案内レール沿い
に各位置ａ・ｂ・ｃ間を移動する。基台Ｅの被印刷体載
置位置ａで印刷テーブルＤに被印刷体Ｄ２が載せられ、
基台Ｅの印刷位置ｂで印刷ロールＣに接触して印刷ロー
ルＣの弾性版７のインキを被印刷体Ｄ２上に転移させて
印刷形成し、基台Ｅの搬出位置ｃで被印刷体Ｄ２が搬出
される。印刷テーブルＤは、その上面に板状の被印刷体
Ｄ２を載置し、被印刷体Ｄ２の位置を決めてこれを保持
する。また、印刷テーブルＤの下端面には、案内レール
Ｄ１に対して平行なラックＤ３が取り付けられている。
このラックＤ３にはピニオンＤ４が連動しており、この
ピニオンＤ４の正逆回転により印刷テーブルＤがラック
Ｄ３とともに往復スライド移動するように構成されてい
る。

【００３８】この発明の薄膜形成方法を説明する。ま
ず、弾性版自動取付け取外し装置部で、第１版ホルダー
７０と第２版ホルダー７１とによって両端がつかまれた
弾性版７を、第１チャック手段８０と第２チャック手段
８１とを有する印刷ロール版胴８に巻付ける。第１版ホ
ルダー７０や第２版ホルダー７１としては、ハンド用チ
ャック孔７００、印刷ロール用チャック孔７０１、位置
決め用チャック孔７０２が、版ホルダーの中心に対して
対称的に並んで形成された部材である（図１１参照）。
第１チャック手段８０と第２チャック手段８１として
は、この発明の弾性版自動取付け取外し装置部の固定チ
ャック手段２や引張チャック手段３のところで述べたも
のと同様のチャック式保持機構や磁力式保持機構、真空
吸着式保持機構などがある。

【００３９】まず、たるんだ状態の弾性版７の第１版ホ
ルダー７０および第２版ホルダー７１を、この発明の弾
性版自動取付け取外し装置部のハンド５の固定チャック
手段２と引張チャック手段３とで各々保持させる（図３
参照）。弾性版７は、その両端をつかんでいる第１版ホ
ルダー７０と第２版ホルダー７１との間隔が、ハンド５
の固定チャック手段２と引張チャック手段３との間隔と
同じになるようにたるませた状態で、弾性版待機用のラ
ック上に載置される。

【００４０】固定チャック手段２と引張チャック手段３
とで第１版ホルダー７０および第２版ホルダー７１を保
持するのは、前記したチャック式保持機構や磁力式保持
機構、真空吸着式保持機構などによって行なうとよい。
チャック式保持機構による場合は、第１版ホルダー７０
および第２版ホルダー７１に形成されたハンド用チャッ
ク孔７００（図１１参照）に、チャック本体２１、３１
の一部とチャック爪とを突入させ、チャック爪をハンド
用チャック孔７００の内壁に引掛けて、チャック本体２
１、３１とチャック爪とで版ホルダーを挟込むようにす
ることによって、固定チャック手段２および引張チャッ
ク手段３で第１版ホルダー７０および第２版ホルダー７
１を保持する。

【００４１】つぎに、多関節ロボット６のアーム６０を
駆動させることによって、印刷ロール版胴８の第１チャ
ック手段８０が設けられた位置に弾性版７の第１版ホル
ダー７０を移動させる。アーム６０の駆動は、多関節ロ
ボット６の関節６１を介してアーム６０を適宜屈伸させ
てたり、あるいは、ロボット基台６２を垂直移動させた
りして行なう。

【００４２】つぎに、ハンド５の固定チャック手段２か
ら印刷ロール版胴８の第１チャッ手段８０に、弾性版７
の第１版ホルダー７０を受渡しさせる（図４参照）。第
１チャック手段８０としてチャック式保持機構を適用し
た場合の受渡しを説明する。まず、第１版ホルダー７０
と第１チャック手段８０とを所定の位置関係で接触さ
せ、印刷ロール版胴８の２箇所に設けられた位置決めピ
ン（図示せず）を、第１版ホルダー７０の位置決め孔７
０２に突入させるとともに、第１チャック手段８０のチ
ャック爪を、第１版ホルダー７０に形成された印刷ロー
ル用チャック孔７０１に突入させる。つぎに、第１版ホ
ルダー７０のハンド用チャック孔７００からハンド５の
固定チャック手段２のチャック爪を外し、その後、第１
チャック手段８０のチャック爪の鈎の部分を、第１版ホ
ルダー７０に形成された印刷ロール用チャック孔７０１
の内壁に引掛けることによって、第１版ホルダー７０と
第１チャック手段８０とを固定させる。

【００４３】つぎに、多関節ロボット６のアーム６０を
駆動させることによって、ハンド５を印刷ロール版胴８
から離間させて、第１版ホルダー７０と第２版ホルダー
７１との間の弾性版７に所定の張力を加える（図５参
照）。離間させて弾性版７が徐々にピンと張ってくるに
したがって、弾性版７にかかる張力が大きくなるととも
に、第２版ホルダー７１が弾性版７に引張られる力が大
きくなってくる。張力が大きくなってきた分、シリンダ
ー本体に対してロッド４２を所定長さ分後退させて、弾
性版７に所定の値の張力がかかった状態とする。所定の
値の張力とは、弾性版７に過剰な張力がかからず、か
つ、弾性版７全体あるいは一部がたるんでもいない適度
な大きさの値の張力のことである。

【００４４】弾性版７に張力がかかった状態で、第１版
ホルダー７０の印刷ロール用チャック孔７０１の内壁に
引掛かっている第１チャック手段８０のチャック爪の力
を緩め、引張チャック手段３によって加えられている張
力によって、位置決めピンを第１版ホルダー７０の位置
決め孔７０２の内壁に突当たらせて、位置決めを完了
し、再び第１チャック手段８０のチャック爪で第１版ホ
ルダー７０の印刷ロール用チャック孔７０１の内壁を引
掛けて、第１版ホルダー７０と第１チャック手段８０と
を固定させる。

【００４５】この時点で、弾性版７の両端をつかんでい
る２つの版ホルダーのうち、第１版ホルダー７０は印刷
ロール版胴８に固定され、第２版ホルダー７１はハンド
５に固定された状態となる。

【００４６】また、弾性版７を（Ａ）弾性版７の第１版
ホルダーと第２版ホルダーとが微妙に平行でないいわゆ
る傾斜ズレにしないとピンと張った状態にできない場合
（図１２（ａ）参照）は、引張チャック手段３が、ハン
ド本体１に対して引張チャック手段回転軸４３３を中心
に傾斜ズレ分だけ右あるいは左に回転され、第２版ホル
ダー７１が傾斜し、弾性版７の一部のたるみがとれて、
ピンと張った状態となる（図１２（ｂ）参照）。あるい
は、弾性版７を（Ｂ）第１版ホルダーの正面に第２版ホ
ルダーが位置しないいわゆる平行ズレした状態で引張ら
ないと、弾性版７の一部にたるみが生じてしまってピン
と張れない場合（図１２（ｃ）参照）は、取付け手段４
０が、ハンド本体１に対して取付け手段回転軸４０２を
中心に必要角度だけ左に回転され、さらに、引張チャッ
ク手段３が、弾性版張力自動調節手段４の軸受け体４３
に対して引張チャック手段回転軸４３３を中心に必要角
度だけ右に回転され、第１版ホルダー７０と第２版ホル
ダー７１とが平行となり、弾性版７の一部のたるみがと
れて、ピンと張った状態となる（図１０、図１２（ｄ）
参照）。

【００４７】この時点で、印刷ロール版胴８に弾性版７
を巻付ける前に、弾性版７は過剰な張力やたるみのない
状態となる。

【００４８】つぎに、弾性版７を巻付ける方向に印刷ロ
ール版胴８を徐々に回転させるとともに、弾性版張力自
動調節手段４のエアーシリンダー本体４１に対してロッ
ド４２を前後移動させて、弾性版７に所定の張力を加え
た状態を維持しながら、多関節ロボット６のアーム６０
を駆動させることによって印刷ロール版胴８の回転に伴
ってハンド５を印刷ロール版胴８に徐々に近付け、印刷
ロール版胴８の第２チャック手段８１が設けられた位置
まで弾性版７の第２版ホルダー７１を移動させる（図
６、図７参照）。ロッド４２の前後移動は、弾性版７が
巻付けられる最中に、ハンド５の移動が印刷ロール版胴
８の回転よりも若干遅くなることによって、弾性版７全
体に過剰な張力がかかったり、あるいは、ハンド５の移
動が印刷ロール版胴８の回転よりも若干早くなることに
よって、弾性版７全体に張力の不足が生じる場合に行な
われる。前者の場合は、エアーシリンダー本体４１に対
してロッド４２が後退することによって張力の過剰分が
緩和されるので、弾性版７が巻付けけられる最中にも所
定の張力が維持される。後者の場合は、エアーシリンダ
ー本体４１からロッド４２が前進することによって弾性
版７の張力の不足が無くなるので、弾性版７が巻取られ
る最中にも所定の張力が維持される。

【００４９】また、弾性版７が巻付けられる最中に、弾
性版７に所定の張力を加えた状態を維持するとともに、
弾性版張力自動調節手段４または／および引張チャック
手段３を回転させて弾性版７の引張り方向を調節させな
がら行なうようにしてもよい（図１０参照）。弾性版張
力自動調節手段４または／および引張チャック手段３の
回転は、弾性版７が巻付けられる最中に、ハンド５の微
妙なブレなどによって（Ａ）第１版ホルダー７０と第２
版ホルダー７１とが平行でない状態いわゆる微妙な傾斜
ズレの状態が発生した場合、あるいは、ハンド５の微妙
なブレなどによって（Ｂ）第１版ホルダー７０と第２版
ホルダー７１とが平行に位置ズレする状態いわゆる平行
ズレの状態が発生した場合などに随時行なわれる。
（Ａ）または／および（Ｂ）のようなズレが発生した場
合の、弾性版張力自動調節手段４または／および引張チ
ャック手段３の回転は、弾性版７を巻付ける前に弾性版
７に所定の張力を加えたときと同じ要領で回転させる。

【００５０】つぎに、ハンド５の引張チャック手段３か
ら印刷ロール版胴８の第２チャック手段８１に、弾性版
７の第２版ホルダー７１を受渡しさせ、弾性版７の印刷
ロール版胴８への取付けを完了する（図７参照）。第２
チャック手段８１としてチャック式保持機構を適用した
場合の受渡しを説明する。まず、第２版ホルダー７１と
第２チャック手段８１とを所定の位置関係で接触させ、
印刷ロール版胴８の２箇所に設けられた第２チャック手
段８１のチャック爪を、第２版ホルダー７１に形成され
た印刷ロール用チャック孔７０１に突入させる。つぎ
に、第２版ホルダー７１のハンド用チャック孔７００か
らハンド５の引張チャック手段３のチャック爪を外し、
その後、第２チャック手段８１のチャック爪の鈎の部分
を、第２版ホルダー７１に形成された印刷ロール用チャ
ック孔７０１の内壁に引掛けることによって、第２版ホ
ルダー７１と第２チャック手段８１とを固定させ、チャ
ック爪をハンド用チャック孔７００から抜取り、受渡し
を完了する。

【００５１】チャック爪をハンド用チャック孔７００か
ら抜取る際、弾性版張力自動調節手段４によって引張チ
ャック手段３の位置をつぎのように移動させることがで
きる。第２版ホルダー７１と第２チャック手段８１とが
固定された後、第２版ホルダー７１のハンド用チャック
孔７００からハンド５の引張チャック手段３を抜取ると
きは、通常、エアーシリンダー本体４１から前進する向
きに力がかかった状態のままである。この状態のまま、
ハンド用チャック孔７００から引張チャック手段３を抜
取ると、第２版ホルダー７１のハンド用チャック孔７０
０の内壁と、ハンド用チャック孔７００に差し込まれて
いる引張チャック手段３のチャック爪とが、押しつけあ
った状態のまま強く擦れ合いながら抜取られることにな
る。弾性版張力自動調節手段４に取付けられたロッド４
２は、エアーシリンダー本体４１内へのエアーの吸入、
吹出しによって、（１）エアーシリンダー本体４１から
前進する向きに力がかかる状態、（２）エアーシリンダ
ー本体４１に後退する向きに力がかかる状態、（３）外
部から加わる力のなすがままに追従して前進する向きに
でも後退する向きにでも移動可能なフリーな状態の３つ
の状態をとることが可能である。

【００５２】そこで、第２版ホルダー７１のハンド用チ
ャック孔７００からハンド５の引張チャック手段３を抜
取るときには、エアーシリンダーのロッド４２を前記
（３）のフリーな状態にする。こうすると、外部の力と
して弾性版７の張力がかかっているから、ロッド４２は
エアーシリンダー本体４１の方向に自然に後退し、ハン
ド用チャック孔７００の内壁と引張チャック手段３のチ
ャック爪とが、押しつけあった状態を脱するように、第
２版ホルダー７１が移動する。その結果、強く擦れ合う
ことなく、第２版ホルダー７１のハンド用チャック孔７
００からハンド５の引張チャック手段３を抜取ることが
でき、擦れによる塵の発生が抑さえられる。

【００５３】弾性版７が印刷ロール版胴８に取付けられ
た後、印刷装置部で被印刷体に薄膜を形成する。つま
り、まず、凹版ロールＡの長手方向に往復移動するイン
キ供給ノズルＢ１により、凹版ロールＡの表面にインキ
が供給され、つぎにドクターブレードＢ２によりかきと
りが行なわれ、インキをインキセル内に充填および計量
する。

【００５４】印刷テーブルＤを被印刷体載置位置ａから
搬出位置ｃへ移動させる場合には、印刷テーブルＤ上
に、被印刷体Ｄ２を載置した後、印刷テーブルＤがラッ
クＤ３とともにスライド移動し、同時に印刷テーブル駆
動シャフトの回転に連動して、印刷ロールＣおよび凹版
ロールＡが回転する。つまり、印刷ロールＣの回転に同
期して印刷テーブルＤが印刷位置ｂを経て搬出位置ｃへ
移動する。このとき、凹版ロールＡ上のインキは印刷ロ
ールＣの弾性版７の凸部上に転移し、さらにインキは被
印刷体Ｄ２に転移する。

【００５５】逆に、印刷テーブルＤを搬出位置ｃから被
印刷体載置位置ａへ移動させる場合には、クラッチ装置
などにより印刷ロールＣの回転と、印刷テーブルＤのス
ライド移動との連動が切断され、印刷ロールＣの回転に
関係なく、印刷テーブルＤが搬出位置ｃから印刷位置ｂ
を経て被印刷体載置位置ａへ移動する。

【００５６】この発明の弾性版自動取外し方法を説明す
る。この発明の弾性版自動取外し方法は、前記弾性版自
動取付け方法により印刷ロール版胴８へ取付けた弾性版
７を用いて被印刷体に印刷した後、第１版ホルダー７０
と第２版ホルダー７１とが、印刷ロール版胴８の第１チ
ャック手段８０と第２チャック手段８１とによって各々
固定された弾性版７を、ハンド５に受渡す方法である。

【００５７】まず、弾性版７が巻付いた印刷ロール版胴
８の第２チャック手段８１から、ハンド５の引張チャッ
ク手段３に、弾性版７の第２版ホルダー７１を受渡しさ
せる。引張チャック手段３としてチャック式保持機構を
適用した場合の受渡しを説明する。まず、引張チャック
手段３と第２版ホルダー７１とを所定の位置関係で接触
させ、引張チャック手段３のチャック爪を、第２版ホル
ダー７１のハンド用チャック孔７００に突入させる。つ
ぎに、ハンド用チャック孔７００の内壁に、第２チャッ
ク手段８１のチャック爪の鈎の部分を引掛けることによ
って、エアーシリンダーのロッド５２を前記（３）のフ
リーな状態にし、引張チャック手段３と第２版ホルダー
７１とを固定させる。その後、第２版ホルダー７１の印
刷ロール用チャック孔７０１から印刷ロール版胴８の第
２チャック手段８１のチャック爪を外し、多関節ロボッ
ト６のアーム６０を上方に駆動させて、チャック爪を印
刷ロール用チャック孔７０１から抜取り、受渡しを完了
する。

【００５８】つぎに、弾性版７が外れる方向に印刷ロー
ル版胴８を回転させるとともに、多関節ロボット６のア
ーム６０を駆動させて、ハンド５の固定チャック手段２
と、弾性版７の第１版ホルダー７０の位置とを合わせ、
つぎに、印刷ロール版胴８の第１チャック手段８０から
ハンド５の固定チャック手段２に、弾性版７の第１版ホ
ルダー７０を受渡しさせ、印刷ロール版胴８からの弾性
版７の取り外しを完了する。固定チャック手段２として
チャック式保持機構を適用した場合の受渡しを説明す
る。まず、固定チャック手段２と第１版ホルダー７０と
を所定の位置関係で接触させ、固定チャック手段２のチ
ャック爪を、第１版ホルダー７０のハンド用チャック孔
７００に突入させる。つぎに、第１チャック手段８０の
チャック爪の鈎の部分を、ハンド用チャック孔７００の
内壁に引掛けることによって、固定チャック手段２と第
１版ホルダー７０とを固定させる。その後、第１版ホル
ダー７０の印刷ロール用チャック孔７０１から印刷ロー
ル版胴８の第１チャック手段８０のチャック爪を外し、
チャック爪を印刷ロール用チャック孔７０１から抜取
り、受渡しを完了する。

【００５９】

【発明の効果】この発明の薄膜形成装置および薄膜形成
方法は、以上のような構成および作用なのでつぎのよう
な効果を奏する。 （１）弾性版の印刷ロール版胴への取替えを、ロボット
に取付けられたハンドで自動的に行なった後、印刷を行
なうので、手間がかからず、薄膜形成の効率が非常によ
い。

【００６０】（２）弾性版を印刷ロール版胴に取付ける
ために人が出入りしないので、塵やほこりなどが舞い立
たず、周囲の清浄度がよくなる。また、弾性版をハンド
が自動的に持つので、塵やほこりやゴミが弾性版に付着
しない。よって、弾性版は全く汚れない。したがって、
弾性版に凹版ロールからインキを転移しても、純粋で性
質の一定したインキで被印刷体に印刷を行なうことがで
きる。たとえば、液晶配向膜などの高分子薄膜の印刷の
場合には、絶縁性や配向が良好で、膜の一部が欠けたり
しない。

【００６１】（３）弾性版にかかる張力をロボットに取
付けられたハンドで自動的に調節しながら、弾性版を印
刷ロール版胴に巻付けるので、弾性版を印刷ロール版胴
に巻付けている間、弾性版の全幅にわたって所定の大き
さで所定の方向に張力をかけた状態を維持することが容
易にできる。よって、過剰な張力やたるみが発生するこ
となく印刷ロール版胴に巻付けることができ、しわや波
打ち状態のない状態で弾性版を印刷ロール版胴に取付け
ることができる。したがって、凹版ロールと弾性版との
接触圧、および、弾性版と被印刷体との接触圧が一定と
なる。よって、被印刷体に均一な膜厚の薄膜を時間を要
さずに形成でき、薄膜形成の効率がよくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の薄膜形成装置の一実施例を示す斜視
図である。

【図２】この発明の薄膜形成装置の印刷装置部の一実施
例を示す側面説明図である。

【図３】この発明の薄膜形成装置の弾性版自動取付け取
外し装置部の一実施例を示す断面説明図である。

【図４】この発明の薄膜形成装置の弾性版自動取付け取
外し装置部の一実施例を示す断面説明図である。

【図５】この発明の薄膜形成装置の弾性版自動取付け取
外し装置部の一実施例を示す断面説明図である。

【図６】この発明の薄膜形成装置の弾性版自動取付け取
外し装置部の一実施例を示す断面説明図である。

【図７】この発明の薄膜形成装置の弾性版自動取付け取
外し装置部の一実施例を示す断面説明図である。

【図８】この発明の薄膜形成装置の弾性版自動取付け取
外し装置部の別の一実施例の要部拡大断面説明図であ
る。

【図９】図８の上面図である。

【図１０】図９において、弾性版の引張方向を調節して
いるところの上面図である。

【図１１】この発明の薄膜形成方法の弾性版自動取付け
取外しで用いる弾性版と版ホルダーの要部拡大上説明図
である。

【図１２】（ａ）は、従来の薄膜形成方法で、弾性版を
取付けているときの弾性版の状態の説明図であり、
（ｂ）は、この発明の薄膜形成方法で、たるみがなくな
るように弾性版をピン張った状態の説明図である。ま
た、（ｃ）は従来の薄膜形成方法で、弾性版を取付けて
いるときの弾性版の状態の説明図であり、（ｄ）は、こ
の発明の薄膜形成方法で、たるみがなくなるように弾性
版をピン張った状態の説明図である。

【符号の説明】

１ ハンド本体 １０ 軸受け部 １１ 回転ガイド １２ カムフォロアガイド溝 １３ Ｖ字部 ２ 固定チャック手段 ２１ チャック本体 ３ 引張チャック手段 ３０ 回転軸部 ３１ チャック本体 ４ 弾性版張力自動調節手段 ４０ 取付け手段 ４００ 回転軸部 ４０１ 取付け部 ４０２ 取付け手段回転軸 ４１ エアーシリンダー本体 ４２ ロッド ４３ 軸受け体 ４３１ カムフォロア ４３２ 軸受け部 ４３３ 引張チャック手段回転軸 ５ ハンド ６ 多関節ロボット ６０ アーム ６１ 関節 ６２ ロボット基台 ７ 弾性版 ７０ 第１版ホルダー ７１ 第２版ホルダー ７００ ハンド用チャック孔 ７０１ 印刷ロール用チャック孔 ７０２ 位置決め孔 ８ 印刷ロール版胴 ８０ 第１チャック手段 ８１ 第２チャック手段 ９０ 凹版ロール払拭用のワイパーホルダー手段 ９１ 反発押当て手段 ９２ ドクターブレード払拭用のワイパーホルダー手段 ９３ 反発押当て手段 Ａ 凹版ロール Ｂ インキ供給手段 Ｃ 印刷ロール Ｄ 印刷テーブル Ｂ１ インキ供給ノズル Ｂ２ ドクターブレード Ｂ３ ドクターブレード支持棒 Ｄ１ 案内レール Ｄ２ 被印刷体 Ｄ３ ラック Ｄ４ ピニオン Ｅ 基台 Ｆ 支持枠

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 平４−9736（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B41F 27/12 B41F 17/14

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１版ホルダーと第２版ホルダーとによ
   って両端がつかまれた弾性版を、第１チャック手段と第
   ２チャック手段とを有する印刷ロール版胴に巻付けた
   後、印刷を行なう薄膜形成装置において、 ハンド本体と、ハンド本体の一方に配置された固定チャ
   ック手段と、ハンド本体の他方に配置された引張チャッ
   ク手段と、印刷ロールのチャック手段に固定された第１
   版ホルダーと、引張りチャック手段に固定された第２版
   ホルダーとの間の距離を調節する弾性版張力自動調節手
   段とからなるハンドが、多関節ロボットのアームに取付
   けられた弾性版自動取付け取外し装置部と、多数のイン
   キセルを有する凹版ロールと、インキセル内にインキを
   充填するインキ供給手段と、凹版ロールのインキが転移
   される弾性版を版胴に有する印刷ロールと、印刷ロール
   のインキが転移される被印刷体を固定する印刷テーブル
   とからなる印刷装置部とからなることを特徴とする薄膜
   形成装置。
2. 【請求項２】 ハンドの弾性版張力自動調節手段が、ハ
   ンド本体の下面に対し水平回転またはスライド移動可能
   に取付けられた取付け手段と、取付け手段の下面に固設
   されたエアーシリンダー本体と、エアーシリンダー本体
   に対して前後に移動させてハンド本体と引張チャック手
   段との間の距離を調節するロッドと、ロッドの先端に取
   付けられ引張チャック手段の回転を軸受する軸受け体と
   からなるとともに、引張チャック手段が、軸受け体に対
   し水平回転可能に取付けられている請求項１記載の薄膜
   形成装置。
3. 【請求項３】 前記固定チャック手段、引張チャック手
   段および弾性版張力自動調節手段が取付けられているハ
   ンド本体あるいは取付け手段の別の箇所に、凹版ロール
   払拭用のワイパーホルダー手段または／およびドクター
   ブレード払拭用のワイパーホルダー手段が取付けられて
   いる請求項２記載の薄膜形成装置。
4. 【請求項４】 第１版ホルダーと第２版ホルダーとによ
   って両端がつかまれた弾性版を、第１チャック手段と第
   ２チャック手段とを有する印刷ロール版胴に巻付けた
   後、印刷を行なう薄膜形成方法において、たるんだ状態
   の弾性版の第１版ホルダーおよび第２版ホルダーを、請
   求項２〜請求項３のいずれかに記載の弾性版自動取付け
   取外し装置部の固定チャック手段と引張チャック手段と
   で各々保持させ、つぎに、多関節ロボットのアームを駆
   動させることによって、印刷ロール版胴の第１チャック
   手段が設けられた位置に弾性版の第１版ホルダーを移動
   させ、つぎに、ハンドの固定チャック手段から印刷ロー
   ル版胴の第１チャック手段に、弾性版の第１版ホルダー
   を受渡しさせ、つぎに、多関節ロボットのアームを駆動
   させることによって、ハンドを印刷ロール版胴から離間
   させて、第１版ホルダーと第２版ホルダーとの間の弾性
   版に所定の張力を加え、つぎに、弾性版を巻取る方向に
   印刷ロール版胴を徐々に回転させるとともに、弾性版張
   力自動調節手段のエアーシリンダー本体に対してロッド
   を前後移動させて、弾性版に所定の張力を加えた状態を
   維持させながら、多関節ロボットのアームを駆動させる
   ことによって印刷ロール版胴の回転に伴ってハンドを印
   刷ロール版胴に徐々に近付けさせ、印刷ロール版胴の第
   ２チャック手段が設けられた位置まで弾性版の第２版ホ
   ルダーを移動させ、つぎに、ハンドの引張チャック手段
   から印刷ロール版胴の第２チャック手段に、弾性版の第
   ２版ホルダーを受渡しさせ、弾性版の印刷ロール版胴へ
   の取付けを完了し、つぎに、印刷装置部によって、被印
   刷体に印刷を行なうことを特徴とする薄膜形成方法。
5. 【請求項５】 第１版ホルダーと第２版ホルダーとの間
   の弾性版に所定の張力を加えた後、弾性版張力自動調節
   手段のエアーシリンダー本体からロッドを前後移動させ
   て弾性版に所定の張力を加えた状態を維持し、かつ、弾
   性版張力自動調節手段または／および引張チャック手段
   を回転させて弾性版の引張り方向を調節させながら、多
   関節ロボットのアームを駆動させることによって印刷ロ
   ール版胴の回転に伴ってハンドを印刷ロール版胴に徐々
   に近付けさせ、印刷ロール版胴の第２チャック手段が設
   けられた位置まで弾性版の第２版ホルダーを移動させる
   請求項４記載の薄膜形成方法。
6. 【請求項６】 請求項４あるいは請求項５記載の薄膜形
   成方法により、被印刷体に印刷した後、弾性版が巻付い
   た印刷ロール版胴の第２チャック手段から、ハンドの引
   張チャック手段に、弾性版の第２版ホルダーを受渡しさ
   せ、つぎに、弾性版が外れる方向に印刷ロール版胴を回
   転させるとともに、多関節ロボットのアームを駆動させ
   て、ハンドの固定チャック手段と、弾性版の第１版ホル
   ダーの位置とを合わせ、つぎに、印刷ロール版胴の第１
   チャック手段からハンドの固定チャック手段に、弾性版
   の第１版ホルダーを受渡しさせ、印刷ロール版胴から弾
   性版の取外しを完了することを特徴とする薄膜形成方
   法。