CN1121336A - 薄膜形成装置及薄膜形成方法 - Google Patents

Abstract

一种薄膜形成装置，包括：带有多个着墨孔的凹版辊(A)；没有刮墨片(B2)的向着墨孔内充填油墨的供墨装置(B)；在其印版滚筒表面上卷附有将上述凹版辊的油墨进行转移的弹性印版(7)的印刷辊(D)；以及具有印刷台(D)的印刷装置部，该印刷台固定有将印刷辊上的油墨进行转移的被印刷体(D2)。上述薄膜形成装置还设有：多关节机器人(6)；安装在上述多关节机器人的臂(60)上的实现上述弹性印版向上述印刷辊的安装或拆卸的动作、上述凹版辊印版滚筒表面的擦拭动作以及上述刮墨片的擦拭动作中的至少一项动作的印刷准备作业实施装置。

Description

发明名称 薄膜形成装置及薄膜形成方法

技术领域

本发明涉及一种形成液晶定向膜等供电子器件用的高分子薄膜图案的装置，例如，一种具有带多个着墨孔的凹版辊、向上述着墨孔内充填油墨的供油墨装置、在印版滚筒上有把上述凹版辊上的油墨转移到其上的弹性印版的印刷辊、固定着把上述印刷辊上的油墨转移到其上的被印刷体的印刷台、用于使上述凹版辊的上述着墨孔内确实地充填油墨而设置的刮墨片、以及具有作用于上述印刷辊和凹版辊的机器人的薄膜形成装置；并涉及使用该薄膜形成装置来形成薄膜的薄膜形成方法。更详细地说，本发明是涉及一种实现以下所述的至少任一项的薄膜形成装置和薄膜形成方法：

(1)一边在上述弹性印版整体上均匀地施加规定的张力地将其牵引，一边将弹性印版自动地安装到上述印刷辊印版滚筒上，然后形成薄膜；

(2)凹版辊的筒部表面(包含有着墨孔)的擦拭和/或干燥简单，并且使擦拭器以规定的接触压力自动地推压凹版辊，对凹版辊的筒部表面自动地均匀地擦拭和/或干燥后，形成薄膜；

(3)刮墨片的擦拭和/或干燥简单，并且用擦拭器以规定的夹持压力自动地夹持住刮墨片，对刮墨片自动地均匀地擦拭和/或干燥之后，形成薄膜。背景技术

过去的薄膜形成装置中，在印刷前，弹性印版的装卸、凹版辊与刮墨片的擦拭等印刷准备工作是由操作人员用手进行的。下面具体地说明这种作业。

在图31所示的上述薄膜形成装置中，为了把弹性印版安装在印刷辊印版滚筒上，首先要用人手和目视方法在弹性印版的多个位置上定出定位用记号，在印刷辊筒多个位置上定出基准记号，然后用手张紧弹性印版将其卷绕在印刷辊印版滚筒上。其后用手把安装在弹性印版两端上的印版夹持器悬挂固定在安装在印刷辊印版滚筒上的卡爪装置上。

然后，借助供油墨装置向凹版辊的多个着墨孔内充填油墨，把油墨从凹版辊转移到印刷辊的弹性印刷版上；再把油墨从印刷辊转移到固定在印刷台上的被印刷体上地进行印刷。

印刷后，为了从印刷辊印版滚筒上卸下弹性印版，还要用手把安装在弹性印版两端上的版夹持器从印刷辊筒的卡爪装置上卸下。

此外，在过去的薄膜形成装置中，通常是不能把凹版辊的着墨孔中所充填的油墨全部转移到印刷辊上的，凹版辊的着墨孔内残留有一部分油墨。如果就这样放置起来，残留的油墨就会干燥或硬化，成为油墨固态物而牢固地粘在着墨孔中。若使用这种有粘着物的凹版辊，则凹版辊中粘着的油墨会再次溶解到新油墨中，油墨固态物脱落并与供给凹版辊的新油墨混合，于是就成为用变质的油墨进行印刷的状况。此外，还由于粘在着墨孔内的油墨减少了着墨孔的容量，因而使得向印刷辊转移的油墨量少了该部分的数量。

迄今，对残留在凹版辊的着墨孔内的油墨已采用擦拭工序，但全是手工作业。即，先把浸透着溶解油墨的溶剂的擦拭器用手以一定接触压力压在凹版辊筒部表面上，在此状态下一面使凹版辊转动，一面使擦拭器沿凹版辊轴向移动。

然后，为了除去凹版辊筒表面上残留的溶剂等，再对凹版辊进行干燥。即，首先用手把喷出凹版辊干燥用气体的喷气装置与凹版辊筒表面之间保持一定距离，在此状态下一面向转动的凹版辊筒部表面喷气，一面转动凹版辊，并且用手使喷气装置沿凹版辊的轴向移动。

然后，再借助供油墨装置向凹版辊的多个着墨孔内充填油墨，把油墨从凹版辊转移到印刷辊的弹性印版上，并把油墨从印刷辊转移到固定在印刷台上的被印刷体上地进行印刷。

又由于刮墨片为板状，它安装在刮墨片支持杆上，而支持杆是安装在齿条上的(参见图27)。刮墨片擦刮转动的凹版辊印版滚筒表面，具有把油墨可靠地充填到凹版辊的着墨孔内并加以计量功能，因而若把附着油墨的刮墨片放置不顾，则油墨会干燥、硬化而形成油墨固态物而粘牢在刮墨片上，若使用这种有粘着物的刮墨片，则由于粘牢在刮墨片上的油墨会再度溶解在新油墨中，或油墨固态物脱落混入供给凹版辊的新油墨中，就形成用变质油墨进行印刷的状况。又由于粘着的油墨使刮墨片的前端变得凹凸不平，因而会造成擦拭不匀、不能对凹版辊的全体着墨孔进行确定的充填和计量。

迄今，虽然对刮墨片上附着的油墨进行擦拭，但全都是手工作业。即，首先用拿着浸透溶剂的擦拭器，以一定的夹持压力夹持着刮墨片，并在此状态下沿刮墨片长度方向移动擦拭器。

此后，为了除去残留在刮墨片上的溶剂，用手工作业对刮墨片进行干燥。即，用手使喷出刮墨片干燥用气体的喷气装置与刮墨片之间保持一定的距离，在向刮墨片表面喷出气体的同时用手沿刮墨片的长度方向移动喷气装置。

然后，用供油墨装置向凹版辊的多个着墨孔中充填油墨，把油墨从凹版辊转移到印刷辊的弹性印版上，并把油墨从印刷辊转移到固定于印刷台上的被印刷体上地进行印刷。

这种过去的薄膜形成装置存在着下述缺陷。

(1)由于弹性印版与印刷辊印版滚筒的定位、弹性印版的牵引、向卡爪装置的悬挂、弹性印版向印刷辊印版滚筒的安装和/或卸下、凹版辊的擦拭和干燥、刮墨片的擦拭和干燥的整个过程用人手进行之后再进行印刷，因此薄膜形成的效率非常低。

(2)由于人员出入，以便将弹性印版安装在印刷辊印版滚筒上和对凹版辊进行擦拭，来自人员自身或人衣服或地面上的尘埃等扬起而使周围的清净度变差。另外，由于用人手拿着弹性印版，要用附着有尘土或油的手抓住弹性印版，因此尘土或油等附着在弹性印版上，污染了弹性印版。

当将油墨从凹版辊向上述这种弹性印版转移时，尘埃、灰尘或油混入油墨中，变成混有异物变质的油墨。因此，在用这种油墨以形成例如液晶定向膜薄等高分子薄膜时，就会产生使绝缘性变差、膜厚和定向性不匀、膜的一部分有缺口、膜的性能变差等问题。

(3)由于是用人手一边牵引弹性印版，一边将其卷附在印刷辊印版滚筒上，在将弹性印版卷附在印刷辊印版滚筒的期间，要使弹性印版的整个宽度上达到有规定大小和规定方向的张力的状态是非常困难的。如果是极力注意去操作，就会在卷附的弹性印版整体上有过剩的张力或者未矫正折皱的情况下将弹性印版卷附在印刷辊印版滚筒上。其结果，就会使弹性印版或者以过剩的张力的状态卷附在印刷辊印版滚筒上，或者使弹性版以折皱或起伏的状态卷附在印刷辊印版滚筒上。

以这种状态使凹版辊与弹性印版接触时，凹版辊与弹性印版的接触压力以及弹性印版与被印刷体的接触压力变得不匀，油墨向被印刷体转移的量就会或多或少，在被印刷体上不能形成膜厚均匀的薄膜。为了不产生上述这种缺点，在用手工作业将弹性印版安装到印刷辊上时，即使是熟练操作者也要花费相当的时间，使薄膜形成效率变低。

(4)由于用手拿着擦拭器一边向凹版辊推压一边对凹版辊进行擦拭，因而在擦拭器以一定接触压力推压凹版辊并沿凹版辊的长度方向移动时，维持一定的接触压力是极其困难，接触压力会或强或弱。其结果，会出现擦拭得充分或不充分之处，就不会充分除去着墨孔内所粘牢的残留油墨。不能均匀地擦拭凹版辊的筒部表面。

当向未能充分擦拭的凹版辊内供油墨时，由于凹版辊上粘附的油墨与供给凹版辊的新油墨混合，因而当把油墨换成别的种类时，就会混合进另一种油墨。而且由于粘附的油墨不会向印刷辊转移而残留在着墨孔内，就使向印刷辊转移的油墨量减少该部分，在被印刷体上不会形成有充分膜厚的薄膜。

另外，由于当不充分、不均匀地擦拭油墨时，于是向着墨孔槽内充填油墨就有充得好的与充不到的，因此，向印刷辊转移的油墨量就不匀，因而就不能形成膜厚均匀的薄膜。这样，在形成例如液晶定向薄膜等高分子薄膜图案时，就会产生膜厚的均匀性变坏，造成显示不匀、从面降低薄膜性能等问题。

(5)由于用手拿着气体喷出装置来进行凹版辊的干燥工作，因而在气体喷出装置与凹版辊的筒部表面之间保持距离一定并沿凹版辊的轴向移动气体喷出装置时，很难保持一定的距离，距离或大或小。其结果就有干得充分之处与不充分之处，就不会均匀地干燥凹版辊的筒部表面。

在向未均匀干燥的凹版辊供油墨时，就会使擦拭用的溶剂等不纯物与供给凹版辊的新油墨混合。这样，使用这种油墨，例如在形成液晶定向膜等高分子薄膜图案时就使绝缘性下降，使膜厚不均与定向性不一致，就会发生使薄膜性能降低的问题。

(6)在使用塑料制的刮墨片的场合下，由于用手进行的擦拭作业中，指甲等硬的部分偶然触及刮墨片的前端而使之凹凸不平，因而就会造成擦拭不匀、不能正确可靠地对凹版辊的全部着墨孔进行充填与计量。

(7)由于是用手拿着擦拭器，在夹住刮墨片的同时进行擦拭，因而把擦拭器以一定接触压力压在刮墨片的前端上并沿刮墨片的长度方向上移动擦拭器时，维持上述的一定接触压力是极其困难的，接触压力会过强或过弱。其结果，会使刮墨片前端与擦拭器脱开而使前端擦拭不着、或使刮墨片与擦拭器过强的接触而弄破擦拭器，从而使工作性能变坏。此外，因人手会在刮墨片的前端受到擦伤，因而不有较高的危险性。

(8)由于用手拿着擦拭器，在夹住刮墨片的同时进行擦拭，因而在用擦拭器以一定夹持压力夹住刮墨片并沿刮墨片的长度方向移动擦拭器时，维持一定的夹持压力是极其困难的，夹持压力会或强或弱。其结果，会出现擦拭得充分或不充分之处，就不能充分除去刮墨片上所粘牢的残留油墨，不能均匀地擦拭刮墨片。

当用未能充分擦拭的刮墨片充填与计量油墨时，由于刮墨片上粘附的油墨与供给凹版辊的新油墨混合，因而当把油墨换成别的种类时，就会混合进另一种油墨。而且当刮墨片前端凹凸不平时，就会擦拭不均匀，不能向凹版辊的全部着墨孔中确实地充填油墨并予以计量。

另外，由于当不充分、不均匀地擦拭油墨时，粘附的油墨会使刮墨片前端形成凹凸状态，于是向着墨孔内充填就有充得好的与充不到的，由于向着墨孔内充填的油墨量就参差不一，因而就不能形成膜厚均匀的薄膜。这样，在例如形成液晶定向薄膜等高分子薄膜图案时，就会产生膜厚的均匀性变坏，造成显示不匀、从而降低薄膜性能等问题。

(9)由于用手拿着干燥用的喷气装置来进行刮墨片的干燥工作，因而在喷气装置与刮墨片之间保持距离一定并沿刮墨片的长度方向移动喷气装置时，很难保持一定的距离，距离或大或小。结果就有干燥得充分之处与不充分之处，就不能均匀地干燥刮墨片。

在使用未均匀干燥的刮墨片时，就会使擦拭用的溶剂等与供给凹版辊的新油墨混合。这样，使用这种油墨，例如在形成液晶定向膜等高分子薄膜图案时就使绝缘性下降，使膜厚不均匀与定向性不一致，就会发生使薄膜性能降低的问题。

因此，本发明的目的是提供一种能消除上述缺点，不用人手进行、而是自动地进行印刷准备作业的能提高薄膜性能与工作效率等的薄膜形成装置与薄膜形成方法。发明概述

为了达到上述目的，本发明按以下方式构成。

即，根据本发明的一种型式，薄膜形成装置包括：带有复数着墨孔的凹版辊；向着墨孔内充填油墨的供油墨装置；擦拭上述凹版辊的印版滚筒表面的刮墨片；在其印版滚筒上卷附有将上述凹版辊的油墨进行转移的弹性印版的印刷辊；以及具有印刷台的印刷装置部，印刷台固定有将印刷辊上的油墨进行转移的被印刷体；其中设有：

与上述印刷装置部邻接设置的多关节机器人；

安装在上述多关节机器人的臂上的实施将上述弹性印版向上述印刷辊的安装和拆卸的动作、擦拭上述凹版辊周面上的油墨的擦拭动作，以及擦拭上述刮墨片的擦拭部上的油墨的擦拭动作中的至少一项动作的印刷准备作业实施装置。

根据上述的构造，印刷准备作业就可以不经人手而自动化地进行，就能使薄膜的性能向上，并使作业效率提高。附图图面的简单说明

从下面结合附图对最佳实施例的说明中可以明了本发明的目的和特征。附图中：

图1是显示本发明薄膜形成装置的第一实施例的透视图；

图2显示上述薄膜形成装置的印刷装置部分的侧视说明图；

图3是显示上述薄膜形成装置的弹性印版自动装卸装置部分的说明图；

图4是显示上述薄膜形成装置的弹性印版自动装卸装置部分的说明图；

图5是显示上述薄膜形成装置的弹性印版自动装卸装置部分的说明图；

图6是显示上述薄膜形成装置的弹性印版自动装卸装置部分的说明图；

图7是显示上述薄膜形成装置的弹性印版自动装卸装置部分的说明图；

图8是显示上述薄膜形成装置的弹性印版自动装卸装置部分的变型实施例的主要部分的放大剖视图；

图9是图8的俯视图；

图10是图9中的弹性印版在牵引方向上进行调节时的俯视图；

图11是在本发明的薄膜形成方法的一个实施例中，用于弹性印版自动装卸的弹性印版和版夹持器的主要部分的放大视图；

图12是用过去的薄膜形成方法安装弹性印版时的弹性印版的状态的说明书；

图13是用本发明的薄膜形成方法的上述实施例将弹性印版无松弛地绷紧时的状态的说明图；

图14是用过去的薄膜形成方法安装弹性印版时的弹性印板的状态的说明图；

图15是用本发明的薄膜形成方法的上述实施例将弹性印版无松弛地绷紧时的状态的说明图；

图16是显示在上述薄膜形成装置中的固定卡爪装置、牵引卡爪装置、第1卡爪装置、第2卡爪装置的其它构造实例的图；

图17是对薄膜形成装置进行控制的回路部分的方框图；

图18是在本实施例的薄膜形成装置中，将弹性印版安装在印刷辊印版滚筒上时的流程图；

图19是显示本发明薄膜形成装置的第二实施例的透视图；

图20是显示上述第二实施例的薄膜形成装置的凹版辊自动擦拭装置部分的说明图；

图21是显示凹版辊自动擦拭装置部分的擦拭器夹持装置在接触凹版辊的印版滚筒表面的同时进行移动的轨迹的说明图；

图22是凹版辊自动擦拭装置的变型实施例的主要部分的放大剖视说明图；

图23是沿图22中X-X线的剖视图；

图24是在凹版辊自动擦拭装置部分上装有弹性印版自动装卸装置和刮墨片擦拭用擦拭器夹持装置的状态的模式图；

图25是显示本发明薄膜形成装置的第三实施例的透视图；

图26是上述薄膜形成装置的刮墨片自动擦拭装置部分的侧视图；

图27是图26的俯视图；

图28是上述薄膜形成装置的刮墨片自动擦拭装置部分的变型实施例的主要部分的放大侧视图；

图29是显示图28所示的刮墨片自动擦拭装置部分的上卡爪与下卡爪处于离开状态的正视图；

图30是显示图28所示的刮墨片自动擦拭装置部分的上卡爪与下卡爪相互接近状态的正视图；

图31是显示过去的薄膜形成装置的图。标号说明：

1-机械手本体，6-多关节机器人，7-弹性印版，10-轴承部，11-旋转导向件，12-凸轮随动件导向槽，13-V字部，60-臂，61-关节，62-机器人基台，70-前端，101-弹性印版自动装卸装置部，102-固定卡爪装置，103-牵引卡爪装置，104-弹性印版张力调节装置，105-机械手，108-印刷辊印版滚筒，121-卡爪本体，122-驱动部，123-把持部，130-旋转轴部，131-卡爪本体，133-牵引卡爪装置旋转中心，140-轴承体，144-凸轮随动件，145-轴承部，161-安装部，162-安装装置旋转中心，170-第1版夹持器，171-第2版夹持器，17 5-机械手用卡爪孔，1 7 6-印刷辊用卡爪孔，177-定位孔，180-第一卡爪装置，181-第2卡爪装置，A-凹版辊，B-供墨装置，B1-供油墨喷嘴，B2-刮墨片，B3-刮墨片支承杆，C-印刷辊，D-印刷台，D1-导向轨，D2-被印刷体，D30齿条，D4-小齿轮，E-基台，F-支承框，202-凹版辊擦拭用的擦拭器夹持装置，203-反向推向装置，204-气体喷出装置，205-机械手，208-擦拭器，210-支承部，211-固设部，215-安装体，220-擦拭器安装部，221-旋转轴部，223-推压面，224-擦拭器卡爪，230-反向力发生体，231-轴承体，232-导杆，233-止挡，235-支承部，236-轴承部，270-旋转轴，271-筒部表面，272-印刷辊，302-擦拭器夹持装置，303-反向推出装置，304-气体喷出装置，305-机械手，308-擦拭器，309-刮墨片夹持装置，320-擦拭器夹持器本体，321-卡爪装置，322-牵引力发生装置，323-气缸本体，324-转子轴，325-转子，330-弹簧，331-安装体，332-支承杆，333-支销，334-支销，340-上卡爪，341-支销，342-支销，350-下卡爪，351-支销，352-支销，353-气体喷出孔，361-杆，390-上刮墨片夹持器，391-下刮墨片夹持器。用于实施发明的最佳形态

在继续描述本发明之前，先指出，在所有附图的图面中，同一部品是用同一标号标示的。

下面参照附图说明本发明的第一实施例。

现将第一实施例的薄膜形成装置及薄膜形成方法的概要说明如下。

在第一实施例的薄膜形成装置及薄膜形成方法中，利用弹性印版自动装卸装置部，由装在多关节机器人的臂上的机械手进行弹性印版的装卸之后，在印刷装置部中，由于将薄膜形成在被印刷体上，能够将弹性印版自动地装在印刷辊的印版滚筒上；在印刷之后，也能够将弹性印版自动地卸下，因此，薄膜形成的一套全工序能够平稳地进行，薄膜形成的效率高。

而且，在弹性印版自动装置中，使气缸杆从弹性印版张力调节装置的气缸本体自动地前后移动，以调节机械手本体与牵引爪装置之间的距离大小，在自动调节弹性印版的张力的同时，将弹性印版安装在印刷辊印版滚筒之后，在印刷装置部，将薄膜形成在被印刷体上。

因此，在弹性印版即将被卷取到印刷辊印版滚筒上之前和被卷取的过程之中，即使成为在弹性印版上施加过剩的张力的状况，或者成为张力不足的松弛状况，利用弹性印版张力调节装置，可将作用在弹性印版上的张力自动矫正至预定的值，使预定大小的张力总是作用在弹性印版上。

其结果，弹性印版不致形成折皱或起伏的状态，而是清晰地装在印刷辊印版滚筒上。从而，在将墨转移至弹性印版，进而向被印刷体转移时，也不发生转移量偏差，在被印刷体上形成了膜厚均匀的薄膜。

具体来说如下面所述。

也就是说，该作用在弹性印版上的张力，是利用印刷辊印版滚筒的旋转使弹性印版拉伸的力与利用气缸的气缸杆使弹性印版逆方向拉伸的力合成而成的力。本发明的弹性印版自动装卸装置的机械手本体与牵引卡爪装置之间的距离的大小，随作用在该弹性印版上的张力的大小而自动地变化。

例如，在弹性印版被卷取至印刷辊印版滚筒的过程中，当机械手的移动比印刷辊印版滚筒的旋转还慢一些的时候，作用在弹性印版上的张力超过预定值，气缸杆从气缸本体后退，使弹性印版张力调节装置与牵引卡爪装置之间的距离变小。其结果，由于第1版夹持器与第2版夹持器的距离保持一定，作用在弹性印版的张力成为预定值。

反之，在弹性印版被卷取至印刷辊印版滚筒的过程中，当机械手的移动比印刷辊印版滚筒的旋转还早一些的时候，作用在弹性印版的张力变成比预定值小，为了收回变小的部分，气缸杆从气缸本体向前进，使弹性印版张力调节装置与牵引卡爪装置之间的距离变大。其结果，由于第一版夹持器与第2版夹持器之间的距离保持一定，作用在弹性印版上的张力成为预定值。

另外，在弹性印版自动装卸装置部分中，使弹性印版张力调节装置和/或牵引卡爪装置相对机械手本体旋转，利用牵引卡爪装置对弹性印版进行牵引角度大小的调节，使弹性印版在牵引方向上自动地调节，同时，在将弹性印版安装到印刷辊印版滚筒上之后，在印刷装置部分中，将薄膜形成在被印刷体上。

因此，在弹性印版即将被卷取到印刷辊印版滚筒之前和被卷取过程中，即使弹性印版的一部分发生折皱状况，利用弹性印版张力调节装置，可将弹性印版在牵引方向上自动地矫正，使弹性印版维持绷紧状态，其整体上受到均匀的张力。

其结果，弹性印版不形成折皱或起伏的状态，整齐地安装在印刷辊印版滚筒上。因此，在将墨转移至弹性印版，进而向被印刷体转移时，也不发生转移量的偏差，在被印刷体上形成了膜厚均匀的薄膜。

具体来说，如下面所述。

也就是说，利用牵引卡爪装置，将弹性印版在牵引方向上按照该弹性印版一部分上发生的折皱自动地进行调节。

例如，(A).弹性印版以弹性印版的第1版夹持器与第2版夹持器稍微不平行状态的所谓倾斜偏移的状态被牵引时，在弹性印版的一部分发生折皱而不绷紧的情况下(参照图12)，使牵引卡爪装置以牵引卡爪装置旋转轴为中心相对机械手本体仅仅向右旋转倾斜偏移的部分，使弹性印版成为绷紧的状态(参照图13)。

或者，(B).弹性印版以第2版夹持器不位于第1版夹持器的正面的状态的所谓平行偏移的状态被牵引时，在弹性印版的一部分发生折皱面不绷紧的情况下(参照图14)，使弹性印版张力调节装置以安装装置旋转轴为中心，相对机械手本体仅仅向右旋转必要的角度，使第1版夹持器与第2版夹持器成为平行(参照图10)，并使弹性印版成为绷紧的状态(参照图15)。

下面，首先说明第1实施例的薄膜形成装置的弹性印版自动装卸装置部分。

上述弹性印版自动装置101，如图1和图3所示，是将机械手105安装在多关节机器人6的臂60上构成的。

多关节机器人6是通用的工业用机器人，用关节61把多个臂60可水平、垂直地曲伸自如地连结在一起。即，多关节机器人6可以是水平多关节机器人、垂直型多关节机器人或正交型机器人。它具有在集结着多个臂60的臂群的一端安装着机械手105，另一端支撑在机器人基台62上的结构。关节61是用油压、水压或电机使臂60作多级或无级曲伸的驱动部分。机器人基台62是用油压、水压或电机，在垂直方向上多级或无级地驱动臂群的部分。

机械手105具有机机手本体1、固定卡爪装置102、牵引卡爪装置103以及弹性印版张力调节装置104(参见图1和图3)。

机械手本体1是有适当厚度的方形板状体，在其表面的中央部位固定设置着多关节机器人6的臂60，由多关节机器人6的臂60的驱动，可自由地上下左右移动并能以臂60为中心地转动。另外，在机械手本体1上，可设有如图8所示的安装装置140。

沿着圆周方向安装在圆筒形的印刷辊印版滚筒108上的弹性印版7，是由橡胶或尼龙系树脂等形成的软质版，可以是表面上以希望的图案形成凸部的凸版，也可以是凹版或平版。弹性印版7安装在印刷辊印版滚筒108上时，其周向两端由第1版夹持器170和第2版夹持器171保持住。第1版夹持器170或第2版夹持器171是在版夹持器的横向中心线两侧对称并列形成有机械手用卡孔175、印刷辊用卡孔176以及定位用卡孔177的构件(参见图11)。卷装在印刷辊印版滚筒108上的弹性印版7是印刷用版，在上述凸部的顶部上附着有印刷用墨，通过凸部与被印刷体的表面相接触将油墨转移而进行印刷。

如图1及图3至图7中所示，固定卡爪装置102上设有可保持弹性印版7的第1版夹持器170或解除保持的机构，固定卡爪装置102沿着机械手本体1的背面侧的一边固设。并且，固定卡爪装置102固定至机械手本体1上的方法不限于上述方法，也可以固设在后述的安装装置140上(参见图8-图10)。

作为固定卡爪装置102，如图3、图4等所示，其包括卡爪本体121和由在该卡爪本体121的表面露出的电磁铁(图中未示)构成的磁力式固定机构。利用该磁力式保持机构，使固定卡爪装置102的卡爪本体121接触弹性印版7的金属制的版夹持器，通过在上述电磁铁上发生磁力，将上述版夹持器保持在卡爪本体121上。在解除上述版夹持器的保持状态时，将上述电磁铁的磁力消除就可以了。

另外，作为其它的固定卡爪装置102，有的包括有真空吸附式固定机构，在与卡爪本体121的版夹持器相接的面上设有真空吸引孔(图中未示)。利用该真空吸附式固定机构，使固定卡爪装置102的卡爪本体121接触板夹持器，从真空吸引孔处真空吸引，将版夹持器保持在卡爪本体121上。解除保持状态时，停止真空吸引。

此外，作为其它的固定卡爪装置102，例如如图16所示那样，其包括卡爪本体121、装在卡爪本体121侧面上的驱动部122，以及用驱动部122在图示上下方向上驱动的断面为L字形的把持部123。在该种固定机构中，由驱动部122使把持部123上下动作，将弹性印版7的第7凸版夹持器170夹在卡爪本体121和把持部123之间，或者解除对其的把持。

牵引卡爪装置103设在位于机械手本体1的背面侧的上述固定卡爪装置102的对向位置，其包括对由固定卡爪装置102保持住的弹性印版7的第2版夹持器171进行保持或解除保持的机构。作为具体的机构，可采用与上述固定卡爪装置102相同的机构。另外，牵引卡爪装置103可以在沿着机械手本体1的背面的方向使与对面的固定卡爪102之间的距离伸长缩短的方向上伸缩移动，但是，作为用于该种移动以及用于牵引卡爪装置103到机械手本体1的安装的简易的机构，可以将牵引卡爪装置103直接安装到设在机械手本体1的背面的气缸的驱动轴的前端上(参见图1和图3—7)。并且，为了对牵引卡爪装置103相对机械手本体1的移动进行导向和协助，如图9所示，在机械手本体1的背面，在上述气缸的两侧设有导向装置147。该导向装置147具有与上述杆142同向延伸、其一端装在牵引卡爪装置103上的导向杆148，以及对该导向杆148的轴向往复移动进行导向的导向构件149。

另外，在图8和图9中，示出的是牵引卡爪装置103具有卡爪本体131和轴承体143的情况，其中揭示的不是将牵引卡爪装置103直接安装到气缸的驱动轴的前端上的那种构造，而是一种安装有轴承体143的更佳的实施例的机构。

弹性印版张力调节装置104配备有用于将机械手本体1与牵引卡爪装置103之间的距离进行伸缩的气缸或弹簧的可伸缩机构。该弹性印版张力调节装置104的一端固定在卡爪装置102上，另一端固定在牵引卡爪装置103上。

作为弹性印版张力调节装置104的其它具体构造，有如图8所示的由气缸本体141和杆142构成的构造。

安装置140，如图8和图9所示，是由方形板状体的安装部161和在该安装部161的表面的大致中央部分上突出的大致圆柱状的旋转轴部160构成的。该旋转轴部160伸入形成在机械手本体1的内部的凹状轴承部10，通过由滚柱轴承构成的旋转导向件11，可相对机械手本体1的底面水平旋转。因此，安装装置140在使弹性印版7不产生折皱的状态的方向上，可对弹性印版7进行牵引地随时旋转(参见图10)。并且，在机械手本体1的内部形成有直线滑动导向部分，该安装装置140也可以沿着上述直线滑动导向部分直线滑移。

另外，在安装部161的背面上，固定着固定卡爪装置102。

气缸本体141具有通过向气缸本体141内供给或排出空气而在气缸本体141轴向上伸缩移动的杆142，固设在安装装置140的安装部161的背面大致中央部位上，其方向与牵引卡爪装置103的延伸方向相垂直。

另外，在本实施例中，上述导向装置147也设置在安装部161的背面，位于气缸本体141的两侧。

气缸141的杆142的端部上安装着轴承体143。而轴承体143上安装着导向装置147的导向杆148的顶端部。轴承体143设有凸轮随动件144和轴承部145。另一方面，在与牵引卡爪装置103相对应的机械手本体1上形成有在上述杆142的伸缩方向上延伸的突出部14，在该突出部14上形成有比凸轮随动件144的直径还宽的可供凸轮随动件144滑动的凸轮随动件导向槽12(参见图9)。

轴承体143与气缸杆142的伸缩移动连动，在凸轮随动件导向槽12的长度方向的范围内(相当于图8和9中的左右方向的距离)，相对于固定卡爪装置102和安装装置140作远离方向和移近方向的直线运动。

而且，在安装装置140以安装装置旋转中心162为中心进行旋转时，该轴承体143与安装装置140成为一体，在凸轮随动件导向槽12的宽度方向的范围内(相当于图9中上下方向的距离)，相对于机械手本体1作轴旋转。轴承体143的直线移动和轴旋转可分别进行，也可同时进行。

而且，杆142向着气缸本体141侧后退，由于凸轮随动件144嵌入凸轮随动件导向槽12的V字形部13内，凸轮随动件144变成不能在凸轮随动件导向槽12的长度方向上移动，也不能在宽度方向上移动，其结果，就可以使轴承体143变成不能以安装装置旋转中心162为中心进行旋转。

在本实施例中，牵引卡爪装置103具有旋转轴部130、卡爪本体131以及轴承件143。旋转轴部130可旋转地嵌配在轴承体143的轴承部145内，变成可相对轴承体143的底面进行水平旋转。从而，牵引卡爪装置103可以在使弹性印版7不产生折皱的状态的方向上，对弹性印版7进行牵引地随时旋转(参见图10)。

在装有上述固定卡爪装置102，牵引卡爪装置103以及弹性印版张力调节装置104的机械手本体1的其它位置上，也可以安装凹版辊擦拭用的擦拭器夹持装置202和/或刮墨片擦拭用的擦拭器夹持装置302。

例如，凹版辊擦拭用的擦拭器夹持装置202，如图9和10所示那样，在与固定卡爪装置102和牵引卡爪装置103的连接线垂直的线上，经由反向推压装置203安装在机械手本体1或安装装置140上。有必要除去凹版辊着墨孔内残留的不需要的油墨时，将由浸透有溶剂等的无纺布等构成的擦拭器保持在凹版擦拭用的擦拭器夹持装置202上，使机械手本体1或安装装置140旋转90°，驱动多关节机器人6的臂60，对凹版辊的表面进行擦拭。反向推压装置203是利用弹簧或气缸等的反向力，将擦拭装置以一定的接触压力推压凹版辊的印版滚筒的装置。

此外，例如，刮墨片擦拭用的擦拭器夹持装置302，如图9和图10所示那样，在凹版辊擦拭用的擦拭器夹持装置202的对向位置上，经由反向推压装置303安装在机械手本体1或安装装置140上。有必要除去刮墨片上残留的不需要的油墨时，将由浸透有溶剂等的无纺布等构成的擦拭器保持在刮墨片的擦拭器夹持装置302上，使机械手本体1或安装装置140旋转90°，驱动多关节机器人6的臂60，对刮墨片的表面进行擦拭。反向推压装置303是利用弹簧或气缸等的反向力，将擦拭器以一定的接触压力接触刮墨片的顶端，以一定的夹持压力擦拭刮墨片的上下面的夹持装置。

另外，如图17所示，上述弹性印版自动装卸装置部，是由设在多关节机器人6上的控制装置185来控制其动作的。在控制装置185上，分别电气连接有多关节机器人6的臂60等的驱动部186、使牵引卡爪装置103动作的卡爪动作部187、弹性印版张力调节装置104的气缸141的杆142的驱动部189、刮墨片洗净时进行气体吹出动作的动作部190、刮墨片洗净时进行擦拭器的把持动作的动作部191、印刷辊擦拭时进行气体吹出动作的动作部192、以及印刷辊擦拭时时进行擦拭器的把持动作的动作部193。

另外，图17是后述的第2和第3实施例通用的附图，其中也记载着上述实施例中没有用到的构成部分。

下面说明本实施例中的薄膜形成装置的印刷装置部。

上述印刷装置部包括：具有多个着墨孔的凹版辊A，向着墨孔内充填油墨的供墨装置B，在印版滚筒上具有将凹版辊上的油墨进行转移的弹性印版的印刷辊C，固定有将印刷辊的油墨进行转移的被印刷体的印刷台D。

印刷装置部上的由长方形台构成的基台E的中间部位上形成支持框F，支持框F上可自由转动地支承着凹版辊A和印刷辊C。凹版辊A的上面配置供墨装置B。基台E上面配置有印刷台D。

凹版辊A的滚筒固定在旋转轴上，滚筒表面上有多个着墨孔。着墨孔的深度，例如，十至几十微米。滚筒以一定压力与印刷辊C印版滚筒的弹性印版的凸部相接。

供墨装置B中有供油墨喷嘴B1及刮墨片B2。上述供墨装置B在刮墨片的与凹版辊A相反的一侧的支持框的上端部位架设着一对导轨。导轨上面设有可自由移动的供墨体，同时使此供墨体的供油墨喷嘴B1在上述刮墨片的上方并沿凹版辊A的表面的上方延伸。上述供墨体通过图中未示出的电缆线等用电机或气缸驱动沿上述一对导轨前后移动，使刮墨片B2和凹版辊A接触的部分形成积存着油墨状态地从供油墨喷嘴B1向凹版辊A上供给油墨。油墨的粘性可以是例如数十到三万C.P.S.，由合成树脂或树脂初始体及溶剂的混合物组成。刮墨片B2是板状的，安装在装在支持框F上的刮墨片支持杆B3上，借助于使刮墨片支持杆B3的转动，刮墨片B2与凹版辊A的表面接触或者脱开。

从供油墨喷嘴B1供出的油墨，用刮墨片B2进行油墨的计量擦拭。这样，供墨装置B就把落在凹版辊A表面上的油墨扩展在凹版辊A表面上，充填在着墨孔中，在凹版辊A表面上形成高度均匀的油墨膜。

印刷辊C的滚筒固定在其转轴上，滚筒上可拆卸地装有由异丁橡胶等橡胶或尼龙系列树脂等合成树脂或感光橡胶或感光树脂等构成的软质弹性印版7。凹版辊A的油墨被转移到弹性印版7上。

基台E上载着印刷台D。在基台E的上面，在支持框F下方的印刷位置b与从支持框G下方移向被印刷体输入侧的被印刷体放置位置a与从支持框下方移向被印刷体输出侧的输出位置C之间的两侧上分别固定着导轨D1。印刷台D在基台E上沿导轨D1在a、b、c各个位置间移动。在基台E的被印刷体放置位置a上，被印刷体D2被放在印刷台D上，在基台E的印刷位置b上与印刷辊C接触，把印刷辊C的弹性印版7上的油墨转移到被印刷体D2上，由此进行印刷，在基台E的输出位置C上被印刷体D2被输出。

印刷台D上载放着板状的被印刷体D2，将被印刷体D2定位并保持此位置。在印刷台D的下面安装着与导轨D1平行的齿条D3。小齿轮D4与该齿条D3联动，其结构使得在该小齿轮D4正反向转动时印刷台D随齿条D3一起来回滑动地移动。

上述印刷装置部的动作用图17所示的印刷装置侧的控制装置194进行控制。而且控制装置194与控制装置185电气相连，在它们之间相互交换信号的同时对薄膜形成装置的全部动作进行控制。也可以不把控制装置185与控制装置194这样分别地设置，用一个控制装置加以构成。而且在控制装置194中，印刷辊的转动动作部195、印刷辊的第1卡爪装置180与第2卡爪装置181的驱动部196、凹版辊转动的驱动部197，刮墨片角度调节部198等各个部分是电气相连的。

下面说明本发明薄膜形成方法的一个实施例。

首先，利用弹性印版自动装卸装置部，将两端由第1版夹持器170与第2版夹持器171保持住的弹性印版7卷附在具有第1卡爪装置180和第2卡爪装置181的印刷辊印版滚筒108上。

第1版夹持器170或第2版夹持器171是在版夹持器的中心线两侧对称并列形成有机械手用卡孔175、印刷辊用卡孔176以及定位用卡孔172的构件(参见图11)。第1卡爪装置130和第2卡爪装置181，与在本实施例的弹性印版自动装卸装置部的固定卡爪装置102或牵引卡爪装置103的描述部分中的相同，有磁力式保持机构、真空吸附式保持机构等。

首先，将松弛状态的弹性印版7的第1版夹持器170和第2版夹持器171分别保持在本实施例的弹性印版自动装卸装置部的机械手105的固定卡爪装置102和牵引卡爪装置103上(参见图3)。

弹性印版7以松弛状态载置在弹性印版待机用齿条上，使保持弹性印版7两端的第1版夹持器170与第2版夹持器171之间的间隔，与机械手105的固定卡爪装置102与牵引卡爪装置103之间的间隔相等。

用固定卡爪装置102和牵引卡爪装置103来保持第1版夹持器170和第2版夹持器171，也可以借助上述磁力式保持机构、真空吸附式保持机构等来进行。

接着，通过驱动多关节机器人6的臂60，将弹性印版7的第1版夹持器170移动至印刷辊印版滚筒108的设置第1卡爪装置180的位置上。

臂60的驱动，是经由多关节机器人6的关节61使臂60适当屈伸，或者是使机器人基台62垂直移动来实现的。

接着，将弹性印版7的第1版夹持器170从机械手105的固定卡爪装置102交付给印刷辊印版滚筒108的第1卡爪装置180(参照图4和图18中的步骤1)。这种交付，当固定卡爪装置102和第1卡爪装置180是采用例如磁力式保持机构时，是由电磁铁的励磁和消磁来实现的。

将第1版夹持器170这样地保持在第1卡爪装置180上之后，将空气从供气源供给构成弹性印版张力调节装置104的气缸141，使气缸141的杆142处于全部伸出的状态(参见图18中的步骤2)。

在这种状态下，接着驱动多关节机器人6的臂60，使机械手105离开印刷辊印版滚筒108，对第1版夹持器170与第2版夹持器171之间的弹性印版7施加一定的张力(参见图5)。

离开时随着弹性印版7慢慢地张开，作用在弹性印版7上的张力变大，同时第2版夹持器171牵引弹性版7的力也变大。另一方面，由于作用在弹性印版7的张力使杆142向气缸141适当返回，根据该返回程度的空气压来对气缸141供给空气。因此，在弹性印版7上作用着适度张力以上的张力的情况下，按照该张力使杆142向气缸141内进，作用在弹性印版7上的张力减小了该部分。这样，在弹性印版7上作用着一定的张力。从以上的说明可以明白，作用在弹性印版7上的张力的大小，可以用向气缸141供给的空气的压力值来控制。另外，上述的适度的张力，是使弹性印版上不作用有过剩的张力，而且弹性印版7的全体或者一部分都没有折皱的适度大小值的张力。

另外，如图12所示，在弹性印版7的第1版夹持器170和第2版夹持器171处于微小地不平行的所谓倾斜偏移的状态而使弹性印版7如图示那样产生折皱时，使卡爪本体131以牵引卡爪装置旋转中心133为中心，相对于轴承体143向右或向左只旋转上述倾斜偏移部分，使第2版夹持器171倾斜，将弹性印版7的一部分的折皱除去，成为绷紧状态(参见图13)。

或者如图14所示，在第2版夹持器171处于不位于第1版夹持器170的正面的所谓平行偏移的状态而使弹性印版7的一部分如图示那样产生折皱时，通过使安装装置140以安装装置旋转中心162为中心，相对于机械手本体1向左只旋转必要的角度，并且，通过使卡爪本体131以牵引卡爪装置旋转中心133为中心，相对于轴承体143向右只旋转必要的角度，可使第1版夹持器170和第2版夹持器171成为平行，将弹性印版7的一部分的折皱除去，成为绷紧状态(参见图10和图15)。

这样，在将弹性印版7卷附在印刷辊印版滚筒108上之前，可使弹性印版7成为其上不产生过剩张力和折皱的状态。

接着，将印刷辊印版滚筒108沿着卷附弹性印版7的方向徐徐旋转，同时驱动多关节机器人6的臂60，使机械手105徐徐靠近印刷辊印版滚筒108，将弹性印版7的第2版夹持器171移动至印刷辊印版滚筒108的设置第2卡爪装置181的位置(参见图6、图7以及图18中的步骤3、步骤4)。这时，作用在上述的弹性印版7上的张力可由气缸141的杆142的伸缩移动来自动调节。在弹性印版卷附在印刷辊印版滚筒108的过程中，由于机械手105的移动比印刷辊印版滚筒108的旋转慢若干，在弹性印版7整体上有过剩的张力；或者，由于机械手105的移动比印刷印版滚筒108的旋转快若干，在弹性印版7整体上产生张力不足，在以上两种情况下，进行杆142的伸缩移动。在前一情况下，通过使杆142相对气缸141后退，过剩部分的张力得到缓和，在弹性印版7被卷附的过程中也可维持一定的张力。在后一情况下，通过使杆142从气缸142中伸出，消除弹性印版7的张力不足，在弹性印版被卷附的过程中也可维持一定的张力。

此外，在将弹性版7卷附到印刷辊印版滚筒108上时，在弹性印版7上施加一定的张力的状态被维持的同时，如上面所述，有时使安装装置140和/或卡爪本体131旋转以调节弹性印版7的牵引方向(参见图10)。

接着，将弹性印版7的第3版夹持器171从机械手105的牵引卡爪装置103交付给印刷辊印版滚筒108的第2卡爪装置181，完成了弹性印版7向印刷辊印版滚筒的安装(参见图7)。在将第2版夹持器171向第2卡爪装置181交付时，当牵引卡爪装置103和第2卡爪装置181是采用例如磁力式保持机构，要对设在牵引卡爪装置103和第2卡爪装置181上的电磁铁进行励磁和消磁。

如上所述，在弹性印版7安装到印刷辊印版滚筒108之后，用印刷装置部在被印刷体上形成薄膜。即，首先，用沿着凹版辊A的纵长方向进行往复移动的供油墨喷嘴B1向凹版辊A的表面上供油墨，再用刮墨片B2进行擦拭，向着墨孔内充填油墨并进行计量。

在使印刷台D从被印刷体载放的位置a移向输出位置C时，把被印刷体D2载放在印刷台D上之后，使印刷台D随齿条D3一起滑动，同时由于联动而使印刷台驱动轴转动，使印刷辊C与凹版辊A转动，即，在印刷辊D转动的同时使印刷台D经印刷位置b向输出位置C移动。此时凹版辊A上的油墨就转移到印刷辊C的弹性印版7的凸部上，进而使油墨转移到被印刷体D2上。

反之，在把印刷台D从输出位置C移向被印刷体载放位置A时，借助于离合装置等切断印刷辊c的转动以及与印刷台D滑动之间的联动，于是印刷台D就与印刷辊C的转动无关地从输出位置C经印刷位置b而移向被印刷体载放位置a。

下面说明本实施例的弹性印版拆卸方法。

在上述弹性印版的自动卸下方法中，用根据前述弹性印板的自动安装置方法，安装至印刷辊印版滚筒108上的弹性印版7在被印刷体上印刷之后，将其第1版夹持器170和第2版夹持器171由印刷辊印版滚筒108的第1卡爪装置180和第2卡爪装置181分别固定的弹性印版7交换至机械手105上。

首先，将弹性印版7的第2版夹持器171从卷附着弹性印版7的印刷辊印版滚筒108的第2卡爪装置181交换至机械手105的牵引卡爪装置103上，并且，在牵引卡爪装置103和第2卡爪装置181采用例如磁力式保持机构时，将第2版夹持器171从第2卡爪装置181向牵引卡爪装置103的交换动作，是由设在牵引卡爪装置103和第2卡爪装置181上的电磁铁的励磁和消磁实现的。

接着，将印刷辊印版滚筒108沿着弹性印版拆卸的方向旋转，同时驱动多关节机器人6的臂60，使机械手105的固定卡爪装置102的弹性印版7的第1版夹持器170的位置重合，然后，将弹性印版7的第1版夹持器170从印刷辊印版滚筒108的第1卡爪装置180交换至机械手105的固定卡爪装置102上，完成了弹性印版7从印刷辊印版滚筒108的拆卸。

本发明的薄膜形成装置和薄膜形成方法，由于具有以上的构造和作用，因此可收到以下的效果。

(1).由于向印刷辊印版滚筒替换弹性印版是用装在机器人上的机械手自动地进行的，然后进行印刷，因此节省劳力，薄膜形成效率非常高。

(2).由于无需人员出入将弹性印版安装到印刷辊印版滚筒上，不会使尘土等扬起，使周围的清洁度较佳。并且，由于用机械手自动地夹持弹性印版，不会使尘土垃圾附着在弹性印版上。因而完全不会污染弹性印版。

因此，即使将油墨从凹版辊转移到弹性印版上，也能够以纯的性质一定的油墨印刷到被印刷体上。例如，在液晶定向膜等高分子薄膜的印刷的场合，可使绝缘性和方向性良好、膜的一部分不破裂。

(3).由于一边使弹性印版上的张力由装在机器人上的机械手来自动调节，一边将弹性印版卷附在印刷辊印版滚筒上，在将弹性印版卷附在印刷辊印版滚筒的期间，容易使弹性印版的整个宽度维持施加一定大小的一定方向的张力的状态。因此，能够不产生过剩张力或折皱地卷附到印刷辊印版滚筒上，能够以没有折皱或起伏的状态将弹性印版安装到印刷辊印版滚筒上。

因此，使凹版辊与弹性印版之间的接触压力以及弹性印版与被印刷体之间的接触压力成为一定。从而，能够在被印刷体上省时间地形成膜厚均匀的薄膜，薄膜形成效率高。

下面参照附图说明本发明的第2实施例。

第2实施例的薄膜形成装置及薄膜形成方法概略说明如下。

在该第2实施例的薄膜形成装置和薄膜形成方法中，在凹版辊自动擦拭装置部中，用装在多关节机器人的臂上的机械手自动地进行凹版辊的擦拭和干燥。因此，在印刷装置部进行印刷工序的前后，能够对凹版自动地擦拭和干燥，薄膜形成的一系列工序可平滑地进行，因此效率高。

另外，在本发明的薄膜形成装置和薄膜形成方法中，利用凹版辊自动擦拭装置部的反向推压装置，能够使擦拭器总是以一定的接触压力推压凹版辊的滚筒表面。因此，由于凹版辊的擦拭和/或干燥充分和均匀地进行，异物不会混入薄膜，可形成膜厚均一的薄膜。

首先，说明本发明第2实施例的薄膜形成装置的凹版辊自动擦拭装置部。反向推压装置203相当于权利要求书中记载的推压装置，反向力发生体230相当于权利要求书中记载的推压力发生体。

如图19和图20所示，上述凹版自动擦拭装置部是把由机械手本体1和经由反向推压装置203安装在机械手本体1一端上的凹版辊擦拭用的擦拭器夹持装置202构成的机械手205安装在多关节机器人6的臂60上。

多关节机器人6与上述第1实施例中说明者相同。

机械手本体1与上述第1实施例中的相同，是方形板状体，在其上表面的中央部位固定设置着多关节机器人6的臂60，由多关节机器人6的臂60的驱动，使机械手205可在任意方向上移动(参见图19和图20)。如图22和图23所示，机械手205是固定在机械手本体1的一侧面上的臂状物，它包括：作为机械手本体1的安装部分的安装体21，设在安装体215的端部的反向推压装置203，以及装在反向推压装置203的端部的擦拭器夹持装置202。

擦拭器夹持装置202包括板状的擦拭器安装部220和可旋转地配合在后述的反向推压装置203的轴承体231中的旋转轴部221。擦拭器安装部220具有擦拭器208的推压面223。旋转轴部221嵌置在轴承体231的轴承部236内，使擦拭器夹持装置202可以以旋转轴部221为中心相对轴承体31旋转。

擦拭器安装部220上突设有擦拭器卡爪224，用于将擦拭器208保持在推压面223上或者解除保持。擦拭器卡爪24由例如树脂材料制成，靠其弹性力将擦拭器208保持在推压面223上。推压面可以是平面，也可以是沿着凹版辊A的滚筒部表面271的曲面的曲面。擦拭器208是浸透有可溶解油墨的溶剂的无纺布等。

擦拭器夹持装置202经由后述的反向推压装置203，在与机械手本体1之间推斥作用，将擦拭器208以一定的接触压力推压凹版辊A的滚筒表面271(参见图20、图22和图23)。

如图22和图23所示，反向推压装置203是具有弹簧或气缸(图中未示)等的产生推斥力的反向力发生体230的装置，用以在机械手本体1和擦拭器夹持装置202之间产生推斥力。靠该推斥力使擦拭器夹持装置202以一定的接触压力推压凹版辊A的印版滚筒表面。

本实施例的反向推压装置203包括：一端固定在机械手本体1上的安装体215，位于安装体215的另一端的轴承体231，以及在安装体215和轴承体231之间产生推斥力的反向力发生体230。在本实施例中，反向力发生体230是采用弹簧，该弹簧的两端部分别保持在设在安装体215另一端的凹状接受部210和设在轴承体231上的凹状接受部235之间。安装体215相对轴承体231的移动是由其一端埋设在轴承体231内、其另一端的部分可在安装体215内保持滑动的导杆232进行导向的。另外，在导杆232上设有止挡233，作为安装体215与轴承体231拉开的界限。

另外，在机械手205上，如图所示，也可以在擦拭器夹持装置202上合并设置将来自例如泵的凹版辊干燥用气体吹出的气体喷出装置204。凹版辊干燥用的气体是氮气等气体。气体喷出装置204是喷嘴气体喷出装置，安装在擦拭器夹持装置202的侧部。

在经由反向推压装置203安装着凹版辊擦拭用的擦拭器夹持装置202的机械手本体1的其它位置上，也可以安装弹性印版自动装卸装置101和/或刮墨片擦拭用的擦拭夹持装置302(图中未出)。

弹性印版自动装置101是具有上述第1实施例中说明的机构的装置，它安装在如图24中所示的设有弹性印版张力调节装置104的机械手本体1上。

另外，例如，如图24中所示，将刮墨片擦拭用的擦拭器夹持装置302在弹性印版自动装卸装置101的对向位置，经由反向推压装置303安装在机械手本体1上。在有必要除去刮墨片上残留的不需要的油墨时，将由浸透有溶剂等的无纺布等构成的擦拭器保持在刮墨片的擦拭器夹持装置302上，使机械手本体1旋转90°，驱动多关节机器人6的臂60以擦拭刮墨片的表面。反向推压装置303是利用弹簧或气缸等的推斥力，使擦拭器以一定的接触压力接触刮墨片的顶端，靠擦拭器以一定的夹紧压力夹紧刮墨片的上下面的装置。

下面说明本发明薄膜形成方法的一实施例。

首先，用凹版辊自动擦拭装置部，由擦拭器208将附着有不需要的油墨等的凹版辊A的筒部表面271自动地除去不需要的油墨。

凹版辊A是具有旋转轴270的圆柱形的陶瓷体或金属体，其筒部表面271上设有多个着墨孔。油墨注入该着墨孔中，再使该着墨孔中的油墨转移至与凹版辊A的印版滚筒相接配置的印刷辊C的表面上。

首先，将擦拭器208保持在凹版辊自动擦拭装置部的擦拭器夹持装置202的推压面223上。例如，可以用安装在擦拭器夹持装置202的擦拭器安装部220的侧部上的多个擦拭器卡爪224将擦拭器208固定住。擦拭器208是浸透有油墨的主溶剂、乙醇和丙酮等液体的无纺布，或什么也不浸的干燥的无纺布等。

接着，通过驱动多关节机器人6的臂60来移动擦拭器夹持装置202，使擦拭器208的推压面223以一定的接触压力推压凹版辊A的筒部表面271。

臂60的驱动，是经由多关节机器人6的关节61使臂60适当屈伸，或者是使机器人基台62垂直移动来实现的。

所谓一定的接触压力，是指将擦拭器208接触凹版辊A的筒部表面271，通过使凹版辊A旋转，使浸入擦拭器208的溶剂注入凹版辊A的筒部表面271的着墨孔内以将不需要的油墨充分溶解，进而用擦拭器208完全擦拭那样地接触时的压力。

接着，使凹版辊A旋转，同时将擦拭器208对凹版辊A的筒部表面271的上述接触压力维持下去，通过驱动多关节机器人6的臂60，使机械手205沿着凹版辊A的轴向移动。

当凹版辊A的筒部表面271的曲率变大，而保持在擦拭器夹持装置202上的擦拭器208是平面时，则凹版辊A的筒部表面271与擦拭器208成为线接触，其它部分浮起而不接触。当将擦拭器208的整个面不浮起地强制推压凹版辊A的印版滚筒表面上时，就会得到强接触压力的部分和弱接触压力的部分。这样，实质上，变成只有线接触部分或接触压力最大的部分进行油墨的擦拭，就会得到经常附着污染部分和不太附着的部分，不能够无浪费地使用擦拭器整个面，擦拭效率低。

在这种情况下，如图21所示，可以使机械手205的移动方向为相对轴向附加一定的角度的方向。这样，使擦拭器208与凹版辊A的线接触部分或接触压力最大的部分，在擦拭器208的整个面上普遍地移动，因此，擦拭器的整个面可以无浪费地使用，使擦拭效率提高。

另外，在用擦拭器208擦拭旋转着的凹版辊A的简部表面271的过程中，可以一边使擦拭器208相对凹版辊A的筒部表面271维持一定的接触压力，一边调节轴承体231与擦拭器夹持装置202之间形成的角度(参见图23)。

当擦拭器夹持装置202沿凹版辊A的印版滚筒移动的过程中，由于机械手205微小的偏移等，使擦拭器夹持装置202的推压面223与凹版辊A的印版滚筒表面271变成不平行，在倾斜的情况下，擦拭器夹持装置202的旋转随时进行。即，当擦拭器夹持装置202的推压面223相对凹版辊A的印版滚筒表面271倾斜时，擦拭器208的一部分从凹版辊A的印版滚筒表面271上浮，使凹版辊A的筒部表面271与擦拭器208不以均匀的接触压力相接触，就不会完全地进行擦拭。因此，根据该倾斜情况，使擦拭器夹持装置202以旋转轴部221为中心只旋转一定角度，使擦拭器夹持装置202的推压面223与凹版辊A的印版滚筒表面271成为平行的状态，就可以使擦拭器夹持装置202的推压面223与凹版辊A的印版滚筒表面271以无间隙的均匀接触压力互相接触。

接着，通过驱动多关节机器人6的臂60，将擦拭器208从凹版辊A的筒部表面271拉开，完成了凹版辊A的擦拭。

下面说明擦拭凹版辊A后的自动干燥方法。

首先，通过驱动多关节机器人6的臂60，使机械手205移动，处于从凹版辊A的筒部表面271有一定的距离的状态，移动本第2实施例的凹版辊自动擦拭装置部的凹版辊干燥用的气体喷出装置204。

臂60的驱动，是经由多关节机器人6的关节61使臂60适当地屈伸，或者是使机器人基台62垂直移动来实现的。

接着，使凹版辊A旋转，同时从凹版辊干燥用的气体喷出装置204喷出气体，通过驱动多关节机器人6，使气体喷出装置204沿着凹版辊A的轴向移动。

凹版辊A的旋转是以一定的旋转速度进行的，凹版辊A的旋转速度是依靠从气体喷出装置204喷出的气体的量和温度以及凹版辊A的在轴向上的移动速度等来设定的。例如，当从气体喷出装置204喷出的气体的量多时，或者是温度高时，又或者是气体喷出装置204的凹版辊A在轴向上的移动速度慢时等等，可以使凹版辊A旋转得比较快些。另外，当气体喷出装置204喷出的气体的量少时，或者是温度低时，又或者是气体喷出装置204的凹版辊A在轴向上的移动速度快时等等，可以使凹版辊A旋转得比较慢些。

擦拭和干燥凹版辊A之后，用印刷装置部在被印刷体上形成薄膜。另外，本形成方法与上述第1实施例的情况相同，故省略其说明。

本发明的薄膜形成装置和薄膜形成方法，由于具有以上的构造和作用，可收到下面所述的效果。

(1).由于无需人员出入进行凹版辊的擦拭，故无尘埃等扬起，使周围的清洁度较佳。而且，由于用机械手自动地保持擦拭器，故尘埃、灰尘不会附着在凹版辊上。从而不费劳力又完全不污染凹版辊，擦拭效率高，薄膜形成的效率也得到提高。

(2).在油墨中不会混入尘埃、灰尘或油，因此，在形成液晶定向膜等高分子薄膜图案时，薄膜上可得到所要求的绝缘性和定向性，可得到稳定的高性能的薄膜。

(3).由于用安装在多关节机器人的臂上的机械手一边推压擦拭器一边擦拭凹版辊，就能够以一定的接触压力将擦拭器推压至凹版辊上。另外，由于在维持一定的接触压力的情况下，臂沿着凹版辊的轴向的移动也能够自动地进行，就能够均匀地擦拭凹版辊的筒部表面。

因此，可以充分除去附着在着墨孔内的残留油墨。为此，可在被印刷体上形成膜厚十分均匀的薄膜。并且，可均匀地擦拭凹版辊的筒部表面。因此，不会发生向印刷辊的油墨转移量不匀的现象而使膜厚度变得均匀。因此，例如在形成液晶定向膜等高分子薄膜图案时，可使薄膜的膜厚均匀，可稳定地得到没有显示不匀的高性能的薄膜。

(4).由于用安装在多关节机器人上的机械手将凹版辊干燥用的气体自动地吹向凹版辊的筒部表面，在气体喷出装置与凹版辊的筒部表面之间的距离保持一定而使气体喷出装置沿凹版辊的轴向移动的过程中，可容易地自动地维持该一定的距离。因此，能均匀地干燥凹版辊的筒部表面，接下去的印刷工序可顺利地进行，使薄膜形成的效率得到提高。

Claims (23)

1.一种薄膜形成装置，包括：带有多个着墨孔的凹版辊(A)；设有刮墨片(B 2)的向着墨孔内充填墨的供油墨装置(B)；在其印版滚筒表上卷附有将上述凹版辊的油墨进行转移的弹性印版(7)的印刷辊(D)；以及具有印刷台(D)的印刷装置部，该印刷台固定有将印刷辊上的油墨进行转移的被印刷体(D2)；其特征在于，上述薄膜形成装置设有：

多关节机器人(6)；

安装在上述多关节机器人的臂(60)上的实现上述弹性印版向上述印刷辊的安装或拆卸的动作、上述凹版辊印版滚筒表面的擦拭动作以及上述刮墨片的擦拭动作中的至少一项动作的印刷准备作业实施装置。

2.根据权利要求1所述的薄膜形成装置，其特征在于，

上述准备作业实施装置是弹性印版自动装卸装置部(101)，其中设有：将固定在机械手(105)的机械手本体(1)的下侧一端上的弹性印版(7)的一端可自由装、卸地保持住的固定卡爪装置(102)，该机械手(105)安装在上述多关节机器人的臂的前端；与上述固定卡爪装置对向、在机械手本体的下侧的另一端可移动地配置、以将上述弹性印版的另一端可自由装卸地保持住的牵引卡爪装置(103)；以及固定在上述机械手本体的下侧并且支承着牵引卡爪装置、以调节固定卡爪装置与牵引卡爪装置之间的距离的弹性印版张力调节装置(104)；

上述多关节机器人设有控制上述弹性印版自动装卸装置部的动作的控制装置(185)。

3.根据权利要求2所述的薄膜形成装置，其特征在于，

上述机械手本体具有可相对该机械手本体平行移动地安装的安装装置(140)；

上述弹性印版张力调节装置是固设在上述安装装置背面上的气缸(141)；

上述牵引卡爪装置具有支承在上述气缸的杆的顶端上的轴承体(143)和可相对该轴承体的下面水平旋转地安装在上述轴承体上的卡爪本体(131)。

4.根据权利要求1所述的薄膜形成装置，其特征在于，

上述印刷准备作业实施装置是凹版辊自动擦拭装置部，其中设有：

对上述凹版辊印版滚筒表面进行擦拭的擦拭器(208)；保持上述擦拭器的擦拭器夹持装置(202)；将保持在安装于机械手(205)的机械手本体的一端上的上述擦拭器夹持装置内的上述擦拭器推压到上述凹版辊的印版滚筒表面上的推压装置(203)；该机械手是安装在上述多关节机器人的臂的前端；

上述多关节机器人设有控制上述凹版辊自动擦拭装置部的动作的控制装置(185)。

5.根据权利要求4所述的薄膜形成装置，其特征在于，上述凹版辊自动控拭装置部还设有凹版辊干燥用的气体喷出装置。

6.根据权利要求4所述的薄膜形成装置，其特征在于，上述推压装置设有：设在与上述擦拭器夹持装置的连接部分的轴承体(231)，其是随多关节机器人的臂的移动而移动，可相对上述擦拭器夹持装置旋转地支承着上述擦拭器夹持装置的轴承体；一端安装在上述机械手本体上的安装体(215)；设在上述安装体另一端上、相对于上述安装体将上述轴承体向凹版辊一侧推压的推压力发生体(30)。

7.根据权利要求5所述的薄膜形成装置，其特征在于，上述推压装置设有：设在与上述擦拭器夹持装置的连接部分的轴承体(231)，其是随多关节机器人的臂的移动而移动，可相对上述擦拭器夹持装置旋转地支承着上述擦拭器夹持装置的轴承体；一端安装在上述机械手本体上的安装体(215)；设在上述安装体另一端上、相对于上述安装体将上述轴承体向凹版辊一侧推压的推压力发生体(30)。

8.根据权利要求1所述的薄膜形成装置，其特征在于：

上述印刷准备作业实施装置是刮墨片自动擦拭装置部，其中设有擦拭上述刮墨片的擦拭器(308)、安装着上述擦拭器并通过该擦拭器夹持住上述刮墨片的擦拭器夹持装置(302)、以及把安装在上述多关节机器人的臂的前端上的机械手(305)的机械手本体一端上的上述擦拭器夹持装置压向刮墨片一侧的推压装置(303)；

上述多关节机器人上设有对上述刮墨片自动擦拭装置部的动作进行控制的控制装置(185)。

9.根据权利要求8所述的薄膜形成装置，其特征在于上述刮墨片自动擦拭装置部还设有刮墨片干燥用气体喷气装置(304)。

10.根据权利要求8所述的薄膜形成装置，其特征在于上述擦拭器夹持装置设有安装在上述推压装置上的擦拭器夹持体(320)；相对于该擦拭器夹持体可滑动地安装、把上述擦拭器保持住并使上述刮墨片的卡爪作开闭动作的有上卡爪(340)和下卡爪(350)的卡爪装置(321)；安装在上述卡爪装置上借助于产生由上述卡爪装置决定的对刮墨片的弹性把持力的把持力发生装置(322)；以及安装在上述擦拭器夹持体上、使上述卡爪装置沿着解除由卡爪装置确定的刮墨片把持的方向驱动的驱动装置(323，361)。

11.如权利要求9所述的薄膜形成装置，其特征在于上述擦拭器夹持装置设有安装在上述推压装置上的擦拭器夹持体(320)；相对于该擦拭器夹持体可滑动地安装、把上述擦拭器保持住使上述刮墨片的卡爪作开闭动作的有上卡爪(340)与下卡爪(350)的卡爪装置(321)；安装在上述卡爪装置上、产生由上述卡爪装置确定的对刮墨片的弹性把持力的把持力发生装置(322)；以及安装上述擦拭器夹持体上、使上述卡爪装置沿着解除由卡爪装置确定的刮墨片把持方向驱动的驱动装置(323、361)。

12.根据权利要求1所述的薄膜形成装置，其特征在于，上述准备作业实施装置包括：

弹性印版自动装卸装置(101)，其中设有：将固定在机械手(105)的机械手本体(1)的下侧一端上的弹性印版(7)的一端可自由装卸地保持的固定卡爪装置(102)，该机械手(105)安装在上述多关节机器人的臂的前端；与上述固定卡爪装置对向、在机械手本体的下侧的另一端可移动地配置、以将上述弹性印版的另一端可自由装卸地保持的牵引卡爪装置(103)；以及固定在上述机械手本体的下侧并且支承牵引卡爪装置、以调节固定卡爪装置与牵引卡爪装置之间的距离的弹性印版张力调节装置(104)；

凹版辊自动擦拭装置部，其中设有：对上述凹版辊印版滚筒表面进行擦拭的擦拭器(208)；保持上述擦拭器的擦拭器夹持装置(202)；保持在安装于机械手(205)的机械手本体的一端上的上述擦拭器夹持装置内以将上述擦拭器推压到上述凹版辊的的印版滚筒表面上的推压装置(203)，该机械手是安装在上述多关节机器人的臂的前端；

刮墨片自动擦拭装置部，其中设有擦拭上述刮墨片的擦拭器(308)；安装着上述擦拭器并通过该擦拭器夹持住上述刮墨片的擦拭器夹持(302)；以及把把安装在上述多关节机器人的臂的前端上的机械手(305)的机械手本体一端上的上述擦拭器夹持装置压向刮墨片一侧的推压装置(303)；

设在上述多关节机器人上的对上述弹性印版自动装卸装置部、上述凹版辊自动擦拭装置部及上述刮墨片自动擦拭装置部的动作进行控制的控制装置(185)。

13.一种薄膜形成方法，它是使用设置着带有多个着墨孔的凹版辊(A)、设有刮墨片(B2)的向着墨孔内充填油墨的供墨装置(B)、在印版滚筒表面上卷附着把上述凹版辊上的油墨转移到其上的弹性印版(7)的印刷辊(C)、以及具有固定着把印刷辊上的油墨转移到其上的被印刷体(D2)的印刷台(D)的印刷装置部、多关节机器人(6)以及安装在上述多关节机器人的臂(60)上的印刷准备作业实施装置的薄膜形成装置，在把弹性印版卷附在印刷辊印版滚筒表面上、并向凹版辊上的多个着墨孔中充填油墨之后，把油墨从上述凹版辊转移到上述印刷辊的上述弹性印版上，再把油墨从印刷辊转移到固定在印刷台上的被印刷体上，由此进行薄膜印刷的，其特征在于该薄膜形成方法包括：

用上述多关节机器人驱动上述印刷作业实施装置，进行上述弹性印版向上述印刷辊的安装工序或拆卸工序、上述凹版辊印版滚筒表面的擦拭工序以及上述刮墨片的擦拭工序中的至少一项工序的印刷准备作业实施工序。

14.根据权利要求13所述的薄膜形成方法，其特征在于，该方法包括以下工序：

使用包括有弹性印版自装卸装置部(101)和对设在上述多关节机器人上的上述弹性印版自动装卸装置部的动作进行控制的控制装置(185)的薄膜形成装置进行的上述印刷准备作业实施工序，其中上述弹性印版自动装卸部(101)设置着：将固定在安装于上述多关节机器人的臂的前端的机械手(105)的机械手本体(1)的下侧一端上的弹性印版(7)的一端可自由装卸地保持住的固定卡爪装置(102)、与上述固定卡爪装置对向、在机械手本体的下侧的另一端可移动地配置、以将上述弹性印版的另一端可自由装卸地保持住的牵引卡爪装置(103)，以及固定在上述机械手本体的下侧并且支承牵引卡爪装置、以调节固定卡爪装置与牵引卡爪装置之间的距离的弹性印版张力调节装置(104)；

将松弛状态的弹性印版的第1版夹持器和第2版夹持器分别用弹性印版自动装卸装置部的固定卡爪装置和牵引卡爪装置进行保持，接着，驱动多关节机器人的臂，使印刷辊印版滚筒的第1卡爪装置与弹性印版的第1版夹持器的位置重合，然后将弹性印版的第1版夹持器从机械手的固定卡爪装置交换至印刷辊印版滚筒的第1卡爪装置上的第1工序；

通过张力调节装置的驱动、多关节机器人的臂的驱动以及印刷辊印版滚筒向着卷附弹性印版的方向的驱动在弹性印版上施加规定的张力，一边维持上述的状态一边将弹性印版卷附在印刷辊印版滚筒表面上的第2工序；

将弹性印版的第2版夹持器移动至印刷辊印版滚筒的设置第2卡爪装置的位置，接着将弹性印版的第2版夹持器从机械手的牵引卡爪装置交换到印刷辊印版滚筒的第2卡爪装置上，完成了弹性印版向印刷辊印版滚筒表面的安装的第3工序。

15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，在上述第2工序中，当在第1版夹持器与第2版夹持器之间的弹性印版上施加张力之后，使弹性印版张力调节装置的气缸杆从气缸本体前后移动以维持弹性印版上施加着规定的张力的状态，并且，使弹性印版张力调节装置和/或牵引卡爪装置旋转以便调节弹性印版的牵引方向，同时驱动多关节机器人的臂，随着印刷辊印版滚筒的旋转使机械手徐徐移近印刷辊印版滚筒。

16.根据权利要求14所述的薄膜形成方法，其特征在于，将弹性印版的第2版夹持器从卷附着弹性印版的印刷辊印版滚筒的第2卡爪装置向机械手的牵引卡装置交换，接着，使印刷辊印版滚筒沿拆卸弹性印版的方向旋转，同时驱动多关节机器人的臂，使机械手的固定卡爪装置与弹性印版的第1版夹持器的位置重合，接着，将弹性印版夹持器从印刷辊印版滚筒的第1卡爪装置向机械手的固定卡爪装置交换，完成了弹性印版从印刷辊印版滚筒的拆卸。

17.根据权利要求15所述的薄膜形成方法，其特征在于，将弹性印版的第2版夹持器从卷附着弹性印版的印刷辊印版滚筒的第2卡爪装置向机械手的牵引卡装置交换，接着，使印刷辊印版滚筒沿拆卸弹性印版的方向旋转，同时驱动多关节机器人的臂，使机械手的固定卡爪装置与弹性印版的第1版夹持器的位置重合，接着，将弹性印版夹持器从印刷辊印版滚筒的第1卡爪装置向机械手的固定卡爪装置交换，完成了弹性印版从印刷辊印版滚筒的拆卸。

18.根据权利要求13所述的薄膜形成方法，其特征在于，上述印刷准备作业实施工序是使用包括有凹版辊自动擦拭装置部和对设在上述凹版辊自动擦拭装置部的动作进行控制的控制装置(185)的薄膜形成装置进行的，其中上述凹版辊自动擦拭装置部设置着：对上述凹版辊印版滚筒表面进行擦拭的擦拭器(208)、保持上述擦拭器的擦拭器夹持装置(202)以及将保持在安装于机械手(205)的机械手本体的一端上的上述擦拭器夹持装置内的上述擦拭器推压到上述凹版辊的印版滚筒表面上的推压装置(203)，该机械手是安装在上述多关节机器人的臂的前端；在上述印刷准备作业实施工序中，将擦拭器保持在凹版辊自动擦拭装置部的擦拭器夹持装置中，接着，通过驱动多关节机器人的臂，使擦拭器夹持装置移动，用推压装置将擦拭器以规定的接触压力推压着凹版辊的筒部表面，接着，使凹版辊旋转，同时维持着擦拭器对凹版辊的筒部表面的上述接触压力，通过驱动多关节机器人的臂，使机械手沿凹版辊的轴向移动以进行擦拭，接着，通过驱动多关节机器人的臂，使擦拭器拉离凹版辊的筒部表面。

19.根据权利要求18所述的薄膜形成方法，其特征在于，将擦拭器以所定的接触压力推压凹版辊的筒部表面之后，在使凹版辊旋转的同时，一边维持擦拭器对凹版辊的筒部表面的接触压力，一边使擦拭器夹持装置成为可转动状态，通过驱动多关节机器人的臂，使机械手沿着凹版辊的轴向移动。

20.根据权利要求18所述的薄膜形成方法，其特征在于，在使凹版辊旋转的同时，一面使气体从凹版辊干燥用的气体喷出装置喷出，通过驱动多关节机器人的臂，使气体喷出装置与机械手一起沿着凹版辊的轴向移动。

21.根据权利要求19所述的薄膜形成方法，其特征在于，在使凹版辊旋转的同时，一面使气体从凹版辊干燥用的气体喷出装置喷出，通过驱动多关节机器人的臂，使气体喷出装置与机械手一起沿着凹版辊的轴向移动。

22.根据权利要求13所述的薄膜形成方法，其特征在于，上述印刷准备作业实施工序是使用包括刮墨片自动擦拭装置部和设在上述多关节机器上人、对上述刮墨片自动擦拭装置部的动作进行控制的控制装置(185)的薄膜形成装置而实现的，其中刮墨片自动擦拭装置部设置着擦拭刮墨片的擦拭器(308)；安装着上述擦拭器并通过该擦拭器夹持上述刮墨片的擦拭器夹持装置(302)；安装在上述多关节机器人的臂的前端的机械手(305)的机械手本体一端上的把上述擦拭器夹持装置压向上述刮墨片一侧的推压装置(303)；而上述擦拭器夹持装置则设置有安装在上述推压装置上的擦拭器夹持体(320)；相对于该擦拭器夹持体可滑动地安装的、具有保持上述擦拭器并能进行上述刮墨片的卡爪的开闭作的上卡爪(340)与下卡爪(350)的卡爪装置(321)；安装在上述卡爪装置上、产生由上述卡爪装置确定的对刮墨片的弹性把持力的把持力发生装置(322)；以及安装在上述擦拭器夹持体上、使上述卡爪装置向解除由上述卡爪装置确定的对刮墨片把持的方向驱动的驱动装置(323，361)；在上述印刷准备作业实施工序中，通过驱动多关节机器人的臂，使擦拭器夹持装置移动到刮墨片的所定位置上，并使设在擦拭器夹持装置上的卡爪装置的上卡爪或下卡爪中至少一方的前端碰到上板夹持器或下板夹持器中至少一方的前端上；接着用把持力发生装置，由擦拭器把刮墨片夹住；接着，驱动多关节机器人的臂，使机械手沿着刮墨片的长度方向移动，对刮墨片进行擦拭，接着再驱动多关节机器人的臂，把擦拭器拉离刮墨片。

23.如权利要求22所述的薄膜形成方法，其特征在于从气体喷出装置中喷出气体，同时通过驱动多关节机器人的臂而使机械手和气体喷出装置一起沿刮墨片的长度方向移动。

Images