KR0173533B1 - 다이어프램밸브 - Google Patents

Abstract

금속제의 다이어프램에 의해 밀봉을 행하도록 한 다이어프램 밸브에 있어서, 금속제의 다이어프램의 내구성 향상을 도모하는데 목적이 있다.

유입통로(1a), 유출통로(1b), 오목형상의 밸브실(1c) 및 밸브시이트(1d)를 보유하는 몸체(1)와, 밸브실(1c)의 기밀을 유지함과 아울러 밸브시이트(1d)에 간접적 또는 직접적으로 약간 떨어져 있는 금속제의 메인다이어프램(2)과, 메인다이어프램(2)의 외부가장자리를 몸체(2) 사이에 끼워져서지지하는 보닛(4)과, 메인다이어프램(2)을 탄성변형시킨 스템(5)을 구비한 다이어프램밸브에 있어서, 상기한 메인다이어프램(2)의 윗면 측에, 외부가장자리측이 상하방향으로 탄성 변형가능한 금속제의 서브다이어프램(3)을 배치설계하고, 그 서브다이어프램(3)은, 그 중앙부측이 메인다이어프램(2)의중앙부측으로 고착되어 있음과 아울러, 메인다이어프램(2)이 탄성변형한 경우에 그윗면 측에 맞닿아서 메인다이어프램(2)의 휘어짐을 받치도록 구성한다.

Description

다이어프램밸브

제1도는 본 발명의 제1실시예에 관한 다이어프램밸브의 종단면도이다.

제2도는 제1실시예에 관한 다이어프램밸브의주요부의 확대 종단면도이다.

제3도는 제1실시예에 관한 다이어프램밸브의 각 다이어프램과 디스크와의용접장소의 확대 종단면도이다.

제4도는 서브다이어프램의 확대 평면도이다.

제5도는 메인다이어프램 및 서브다이어프램이 탄성변형한 상태의주요부의 확대 종단면도이다.

제6도는 본 발명의 제2실시예에 관한 다이어프램밸브의 주요부의 확대 종단면도이다.

제7도는 서브다이어프램을 여러 개의 금속판으로 구성한 경우의 제2도와 동일한 모양의 확대 종단면도이다.

제8도는 다이렉트형의 다이어프램밸브에 본 발명을 적용한 경우의 제2도와 동일한 모양의 확대 종단면도이다.

제9도는 종래의 다이어프램밸브의 종단면도이다.

제10도는 종래의 다이어프램밸브의 다이어프램이 탄성변형한 상태의 주요부의 확대 종단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 몸체(body) 1a : 유입통로

1b : 유출통로 1c : 밸브실

1d : 밸브시이트 2 : 메인다이어프램

3 : 서브다이어프램 3b : 슬릿

4 : 보닛 5 : 스템

본 발명은, 예를 들면 반도체 제조공장이나 원자력발전소, 의약·식품 제조설비등의 유체관로 사이에 설치되는 다이어프램밸브에관한 것으로, 특히 금속제 다이어프램의 내구성 향상을 가능하게 하는 다이어프램밸브에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체제조공장 등의 고순도가스를 취급하는 관로에서는, 금속제 다이어프램에 의한 밀봉을 행하기 위해서 다이어프램밸브가 많이 사용되어지고 있다.

종래에는, 이러한 종류의 다이어프램밸브에 관해서는, 예를 들면 일본국 실개평 6-80958호 공보에 발표되어진 구조의 다이어프램밸브(디스크형 다이어프램밸브)가 알려져 있다.

즉, 상기한 다이어프램밸브는, 제9도에 표시된 바와 같이, 유입통로(20a), 유출통로(20b), 밸브실(20c) 및 밸브시이트(20d)를 보유하는 몸체(20)와, 몸체(20)에 여러 개의 볼트와 넛트(21)를 통해서 부착된 보닛(22)과, 보닛(22)에 자유자재로 올리고 내리수 있게 나사를 체결해서 지지된 스템(23)과, 스템(23)의 상단부에부착된 핸들(24)과, 스템(23)의 하단부에 자유자재로 회전하도록 결합된 밸브버튼(25)과, 밸브버튼(25)에 녹여 붙인 디스크(26)와, 디스크(26)에 파킹버튼(27)을 통하여 부착된 디스크파킹(28)과, 스템(23)에 끼워 넣어진 베어링금구(29)와, 외부 가장자리가 개스켓(30)을 통하여 몸체(20)와 보닛(22)의 사이에 끼워져서 지지됨과 아울러, 내부가장자리가 밸브버튼(25)과 베어링금구(29)의 사이에 끼워지는 밸브버튼(25) 및 베어링금구(29)에 녹여 붙인 금속제의 다이어프램(31)으로 구성되어 있다.

이 다이어프램밸브는, 벨브버튼(25) 및 베어링금구(29)의 내부둘레의 가장자리부와 금속제의 다이어프램(31)의 내부둘레의 가장자리부를 전둘레를 걸쳐서 용접하여 이들 3가지(밸브버튼(25), 베어링금구(29), 금속제의 다이어프램(31))를 고착하여 일체화하기 위해서, 금속제 다이어프램(31)의 내부가장자리 부분에서의 유체의 누설을 확실하게 방지할 수 있는, 우수한 이점을 가지고 있는 것이다.

그런데, 상기한 다이어프램밸브에 있어서는, 제10도에 표시한 바와 같이 다이어프램(31)이 아래쪽으로 탄성변형 경우에 그 휘어짐을 베어링금구(29)가 받치도록 되어있기 때문에, 다이어프램(31)의 굴곡의 경우에 발생하는 휘어짐 응력이 용접부에 직접 걸리는 것을 방지하도록 되어 있다.

그러나, 상기한 베어링금구(29)가 강체로 되어 있기 때문에, 다이어프램(31)이 탄성변형해서 베어링금구(29)의 아래면 측에 맞닿은 경우에는 그 다이어프램(31)이 무리하게 변형되어진 것이다. 그 결과, 다이어프램(31)에 무리한 응력이 걸리게 되고, 다이어프램밸브를 여러 차례 반복해서 작동시키면, 다이어프램(31)에 균열이 일어나서 다이어프램(31)의 사용연수를 단축시키는 곤란함이 있었다.

특히, 금속제의 다이어프램(31)은, 두께가 0.1mm∼0.2mm 정도의 매우 얇은 금속판(예를 들면 스테인레스 스틸판)으로 형성되기 때문에, 상기한 문제가 보다 한층 조장되어지고 있다.

본 발명은, 상기한 문제점을 해결하기 위하여 창작된 것이고, 그 목적은, 금속제의 다이어프램의 내구성 향상을 도모하도록 한 다이어프램밸브를 제공하는 데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 다이어프램밸브는, 유입통로(1a) 및 유출통로(1b)에 연결하여 통하는 오목형상의 밸브실의 낮은 면에 밸브시이트(1d)를 설치한 몸체(1)와, 밸브실(1c)안에 밸브시이트(1d)와 마주 보도록 배치설계하고, 밸브실(1c)의 기밀을 유지함과 아울러 상하방향으로 탄성변형하여 밸브시이트에 간접적 또는 직접적으로 약간 떨어져 있는 금속제의 메인다이어프램(2)이, 몸체(1)에 고정되고, 메인다이어프램(2)의 외부가장자리를 몸체(1)의 사이로 끼워서 유지하는 보닛(4)과 , 보닛(4)에 자유자재로 올리고 내릴수 있도록 삽입해서 지지되고, 메인다이어프램(2)을 탄성변형시킨 스템(5)을 구비하고, 상기한 메인다이어프램(2)의 윗면 측에, 외부가장자리측이 상하방향으로 탄성변형이 가능한 금속제의 서브다이어프램(3)을 배치설계하고, 그 서브다이어프램(3)은, 그 중앙부측이 메인다이어프램(2)의 중앙부측에 고착됨과 아울러, 메인다이어프램(2)이 탄성변형한 경우에 그 윗면 측에 맞닿아서 메인다이어프램(2)의 휘어짐을 받치도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또, 상기한 서브다이어프램(3)의 외부가장자리에, 균일한 각도로 방사되는 형상의슬릿(3b)을 형성해도 좋다.

또한, 서브다이어프램(3)을, 여러 개의 금속판을 포개어 쌓은 것으로 구성해도 좋다.

스템(5)을 아래로 내리면, 메인다이어프램(2)의 중앙부가 아래방향으로 눌려서 점차 탄성변형해서 행한다. 이것에 따라 서브다이어프램(3)의 아래면이 메인다이어프램(2)의 위면에 점차 맞닿게 되고, 메인다이어프램(2)의 휘어짐을 서브다이어프램(3)이 받치는 것으로 된다. 이 경우, 서브다이어프램(3)의 외부가장자리가 위쪽 측으로 점차 탄성변형해서 행하기 때문에, 메인다이어프램(2)이 무리하게 변형되어지는 것도 아니다. 그 결과, 메인다이어프램(2)에 무리한 응력이 걸리는 것도아니고, 메인다이어프램(2)의 사용연수가 길어지게 된다.

그리고, 스템(5)을 일정 스트로크만큼 아래로 내리면, 메인다이어프램(2)이 간접적 또는 직접적으로 밸브시이트(1d)에 맞닿게 되고, 유입통로(1a)와 유출통로(1b)의 사이를 폐쇄하는 것으로 된다.

한편, 스템(5)을 위로 올리면, 이것에 따라 메인다이어프램(2)이 그 탄성력 등에 의해 처음 형태로 차츰 복원해서 행함과 아울러, 서브다이어프램(3)도 그 탄성력에의해 처음의 형태로 차츰 복원해서 행한다.

[실시예]

이하, 본 발명의 실시예를 도면에 의거해서 상세하게 설명한다.

제1도는 본 발명의 제1실시예에 관한 다이어프램밸브의 종단면도이고, 이 다이어프램밸브는, 몸체(1), 금속제의 메인다이어프램(2), 금속제의 서브다이어프램(3), 보닛(4), 스템(5), 핸들(6) 및 디스크(7) 등으로 구성되고, 메인다이어프램(2)에 있어서 밸브실(1c)을 밀봉하도록 한 것이다.

또, 제1도에 의해서, (8)은 메인다이어프램(2)과 보닛(4)의 사이에 설치되는 보닛인서트, (9)는 디스크(7)에 끼워서 붙인 시이트, (10)은 보닛(4)과 스템(5)의 사이를 밀봉하는0링, (11)은 개폐표시판, (12)는 명판, (13)은 고정용 나사로 되어있다.

상기한 몸체(1)는, 스테인레스 스틸강철 등의 금속제에 의한 대게 프로펠라형상으로 형성되어 있고, 양측에는 유입통로(1a) 및 유출통로(1b)가, 위부분에는 각 통로(1a,1b)로 연결하여 통하는 위쪽이 개방된 오목형상의 밸브실(1c)이 여러 가지 형상으로 형성되어있다. 또, 밸브실(1c)의 낮은 면은, 테이퍼형상으로 형성되어있고, 유입통로(1a)의 개구근방 부분이 밸브시이트(1d)로 되어 있다. 또한, 밸브실(1c)의 내부 둘레면에는 메인다이어프램(2)의 외부가장자리가 장치되는 단부(1e)가 형성되어 있음과 아울러, 그단부의 위쪽에는 보닛(4)의 체결되는 암나사부(1f)가 형성되어 있다.

상기한 금속제의 메인다이어프램(2)은, 스테인레스 스틸강철(예를 들면 SUS316L), 인코넬(각각의 상표)등에 의한 중앙부가 위쪽으로 팽출한 그릇을 엎은 형상으로 형성된 매우 얇은 금속판(예를 들면 두께 : 0.1㎜∼0.2㎜정도)을 여러 개 포개어 쌓은 것에 의해 구성되어 있고, 그 중앙부에는 뒤에서 진술하는 디스크(7)의 축부(7b)가 삽입되는 부착구멍(2a)이 형성되어있다. 이 메인다이어프램(2)의 외부가장자리는, 몸체(1)의 단부(1e)에 장치되어 있고, 몸체(1)에 체결한 보닛(4)을 몸체(1)측으로 부착한 것에 의해서, 몸체(1)의 단부(1e)와 보닛(4)의 아래쪽에 배치 설계한 보닛인서트(8)의 사이에 기밀상태로 끼워져서 지지되어있다.

또, 메인다이어프램(2)의 개수는 유체의 압력에 의해 결정되어지고, 고압유체의 경우에는 적층 개수가 증가한다.

상기한 금속제의 서브다이어프램(3)은, 스테인레스 스틸강철(예를 들면 SUS316L), 인코넬(각각의 상표) 등에 의한 중앙부가 아래쪽으로 팽출(彭出)한 그릇형상으로 형성된 매우 얇은 금속판(예를들면 : 0.1㎜∼0.2㎜ 정도)으로 형성되어 있다. 이 서브다이어프램(3)은, 메인다이어프램(2)의윗면 측에 배치설계되는 메인다이어프램(2)의 휘어짐을 받치는 것이다. 또, 서브다이어프램(3)의 중앙부에는, 뒤에서 진술하는 디스크(7)의 축부(7b)가 삽입되는 부착구멍(3a)이 형성되어있고, 그 부착구멍(2a)은 메인다이어프램(2)의 부착구멍(2a)과 동일한 내경으로 설정되어 있다. 또한, 서브다이어프램(3)의 외부가장자리에는, 제4도에서 표시한 바와같이 서브다이어프램(3)의 휘어진 상태나 탄성력을 조정하기 위해서 균일한 각도로 방사되는 형상의 슬릿(3b)(본 실시예에는 4개의 슬릿(3b)이 형성되어 있다.

또, 서브다이어프램(3)에 형성하는 슬릿(3b)의 개수, 두께, 폭, 형태 등은 서브다이어프램(3)이 메인다이어프램(2)의 휘어짐을 받치는 경우에, 서브다이어프램(3)의 외부가장자리가 위쪽 측으로 탄성 변형되고, 또한 메인다이어프램(2)에 무리한 응력이 작용하지 않도록 선정되어 있다.

상기한 보닛(4)은, 스테인레스 스틸강철 등의 금속제에의한 대개 통형상으로 형성되어 있고, 그 바깥둘레면에는 몸체(1)에 결합하는 숫나사부(4a)가 형성되어 있음과 아울러, 그 내부 둘레면에는 스템(5)에 결합하는 암나사부(4b)가 형성되어 있다. 이 보닛(4)은, 그 숫나사부(4a)를 몸체(1)의 암나사부(1f)에 체결하고, 몸체(1)측으로 체결하는 것으로, 몸체(1)에 고정된다. 이 경우, 메인다이어프램(2)의 외부가장자리를 몸체(1)의 사이에 기밀상태로 끼워져서 지지하는 것으로 된다.

상기한 스템(5)은, 스테인레스 스틸강철등의 금속제에 의한 단부착물의 축형상으로 형성되어 있고, 그 바깥둘레면에는 보닛(4)의 암나사부(4b)에 결합하는 숫나사부(5a)가 형성되어 있다. 이 스템(5)은, 보닛(4b)의 암나사부(4b)에 자유자재로 회전가능하고 또한 자유자재로 올리고 내릴수 있게 나사가 끼워져 있고, 그 위 끝부분에는 고정용 나사(13)를 통해서 핸들(6)이 부착되어 있다. 또, 스템(5)의 아래끝부분에는 뒤에 진술하는 디스크(7)의 연결부(7c)가 자유자재로 회전가능하고, 또한 축선방향으로 많이 움직이는 것이 불가능하게 끼워진 전환밸브(5b)가 형성되어 있다.

상기한 디스크(7)는, 스테인레스 스틸강철 등의 금속제에 의한 단면형상이 대략 역T자형으로 형성되어 있고, 아래면의 밸브시이트(1d)에서 약간 떨어져 있는 고리 형상의 시이트(9)를 장착한 큰 지름의 원반형상의 시이트부(7a)와, 시이트부(7a)의 윗면 중앙부에 연결되는 메인다이어프램(2) 및 서브다이어프램(3)의 각 부착구멍(2a, 3a)에 맞닿은 상태로 삽입됨과 아울러 위 끝부분에 숫나사부(7d)를 형성한 축부(7b)와, 축부(7b)의 숫나사부(7d)에 체결해서 스템(5)의 절단부(5b)에 자유자재로 회전가능하고 또한 축선방향으로 많이 움직이는 것이 불가능하게끼워진 대략 원반형상의 연결부(7c)로 이루어진다.

또한, 디스크(7)의 축부(7b)의 바깥 둘레면에서 또한 시이트부(7a) 위면에서 일정한 거리만큼 떨어진 간격에는 메인다이어프램(2) 및 서브다이어프램(3)의 각 내부가장자리에 장치되는 단부(7e)가 형성되어있다.

그리고, 상기한 메인다이어프램(2) 및 서브다이어프램(3)의 각 내부 가장자리 끝과 디스크(7)의 축부(7b)는, 용접(W)에 의해 고착하여 일체화되어 있다. 즉, 제2도 및 제3도에 표시한 바와 같이, 디스크(7)의 축부(7b)를 각 다이어프램(2, 3)의 아래면 측에서 부착구멍(2a, 3a)으로 삽입해서축부(7b)에 형성한 단부(7e)를 메인다이어프램(2)의 내부가장자리끝 아래면에 맞닿게 하고 이 맞닿은 부분(메인다이어프램(2) 및 서브다이어프램(3)의 각 내부가장자리끝과축부(7b)의 단부(7e)부분)을 위방향에서 전자빔용접에 의해전 둘레를 걸쳐서 용접(W)되어 이 3가지를 고착하여 일체화하고 있다.

또, 전자빔용접의 용접조건은, 용접결함을 발생시키는 것이 아니고 각 다이어프램(2, 3) 과 디스크(7)를 확실하게 용접하고, 또한 각 다이어프램(2, 3)이나 디스크(7)에 변형이나 비뚤어짐이 발생하지 않도록 선정되어 있는 것은 물론이다.

이 전자빔용접은, ① 용접해서 들어오는 열이 적어서 용접부의 변형이나 비뚤어짐이 적고, 근원 재료의 열영향이 적다. ② 용접부의 폭이 좁아서 정밀용접이 가능하다. ③ 서로 융합되는 정도가 심해서 두꺼운 물건의 용접이 가능하다는 것 등의 이점이 있고, 상기한 용접에 썩 알맞은 것이다.

그리고, 상기한 다이어프램밸브에 있어서는, 핸들(6)의 회전조작에 의해 스템(5)을 아래로 내리면, 디스크(7)도 점차 아래로 내려짐과 아울러, 이것에 따라서 메인다이어프램(2)의 중앙부가 아래쪽으로 점차 탄성변형하게 된다.

메인다이어프램(2)의 중앙부가 아래쪽으로 점차 탄성변형함에 따라서, 서브다이어프램(3)의 아래면이 그 내부 둘레면측에서 메인다이어프램(2)의 위면으로 점차 맞닿게 되고, 메인다이어프램(2)의 휘어짐을 서브다이어프램(3)이 받치는 것으로 된다(제5도참조). 이것에 의해, 메인다이어프램(2)의 굴곡의 경우에 발생하는 휘어짐 응력이 용접부에 직접걸림을 방지하는 것이 가능함과 아울러, 메인다이어프램(2)으로 가파른 휘어짐이 발생하는 것을 방지하는 것이 가능하다. 또, 서브다이어프램(3)이 메인다이어프램(2)의 휘어짐을 받치면, 그서브다이어프램(3)의 외부가장자리가위방향으로 점차 탄성변형되어진다. 이것에 의해, 서브다이어프램(2)에 무리한 응력이걸리는 것도 아니다.

그 결과, 메인다이어프램(2)의 용접부에 큰 응력이 걸리기도하고, 메인다이어프램(2)의 다른 부분에 무리한 응력이 걸리지 않기도 해서, 메인다이어프램(2)의 사용연수가 길어지는 것으로 된다.

그리고, 스템(5)을 일정스트로크만큼 아래로 내리면, 디스크(7)에 설치된 시이트(9)가 밸브시이트(1d)에 맞닿게 되서, 유입통로(1a)와 유출통로(1b)의 사이를 폐쇄하는 것으로 된다.

또, 메인다이어프램(2)의 변위량은, 그릇을 엎은 형상의 메인다이어프램(2)의 중앙부가 아래쪽으로 탄성변형하지 않도록 선정되어 있다.

한편, 핸들(6)의 회전조작에 의해 스템(5)을 위로 올리면,디스크(7)도 점차 위로 올려짐과 아울러, 이것에 따라 메인다이어프램(2)이 그 탄성력에 의해서 처음의 형태로 점차 복원되어진다. 이것에 의해, 시이트(9)가 밸브시이트(1d)에서 떨어져있고, 유입통로(1a)와 유출통로(1b)의 사이를 개방하는 것으로 된다.

또, 메인다이어프램(2)의 복원에 따라서, 서브다이어프램(3)도 그 탄성력에 의해 처음의 형태로 점차 복원되어진다.

또, 상기한 실시예의 다이어프램밸브에 있어서는, 메인다이어프램(2)의 내부가장자리 끝을, 디스크(7)의 축부(7b) 또는 시이트부(7a)에서 위방향으로 떨어진 위치(단부(7e)부분)에 고착하도록 하기 위해서, 메인다이어프램(2)의 아래면과 디스크(7) 윗면의 사이에 유체가 밀려 들어가도록 폭이 좁은 간격이 형성되어지는 것도 아니다. 그 결과, 가스의 치환성의 대폭으로 향상하는 것으로 된다.

또, 이 다이어프램밸브는, 각 다이어프램(2)과 디스크(7)의 축부(7b)를 서브다이어프램(3)의 위쪽측에서 용접(W)하여 이들을 고착하여 일체화하도록 하기위해서, 용접시에 발생한 금속성분 등이 유체에 접촉하는 부분(예를 들면 금속제 다이어프램(2)의 내면 등)에 부착되어지는 것도 아니다. 그 결과 다이어프램밸브안을 흐르는 유체의 순도가 저하하는 것을 방지하는 것이 가능하다. 그러나, 용접도 1회로 완료되어서, 작업능률의 향상을 도모한다.

제6도는 본 발명의 제2실시예에 관한 다이어프램밸브의 주요부의 확대단면도이고, 이 다이어프램밸브는, 상기한 제1실시예의 다이어프램밸브의 변형예를 표시한 것이고, 메인다이어프램(2) 및 서브다이어프램(3)의 내부가장자리 끝을 축부(7b)의 단부(7e)와 연결부(7c)의 하단면으로 끼우고, 이 끼운 부분(각 다이어프램(2, 3)의 내부가장자리 끝과 축부(7b)의 단부(7e)부분과 연결부(7c)의 하단부분)을 위쪽 및 아래쪽의 양면에서 전자빔용접에 의해 전 둘레에 걸쳐서 용접(W)해서 이들 3가지 (각 다이어프램(2, 3)의 내부가장자리 끝과 축부(7b)의 단부(7e)부분과 연결부(7c)의 하단부분)를 고착하여 일체화한 것이다. 그 다른 구성은 상기한 제1실시예의 다이어프램밸브와 동일한 기구로 만들어서 구성되어 있다.

또, 제6도에 있어서, (1)은 몸체, (1a)는 유입통로, (1b)는 유출통로, (1c)는 밸브실, (1d)는 밸브시이트, (1e)는 단부, (1f)는 암나사부, (4)는 보닛, (4a)는 숫나사부, (4b)는 암나사부, (5)는 스템, (5a)는 숫나사부, (5b)는 절단부, (8)은 보닛인서트, (9)는 시이트로 되어 있다.

이 다이어프램밸브도, 상기한 제1실시예의 다이어프램밸브와 동일한 형태의 작용효과를 나타내는 것이 가능하다. 특히, 이 다이어프램밸브는, 각 다이어프램(2, 3)과 디스크(7)의 용접시에 각 다이어프램(2, 3)의 내부가장자리를 축부(7b)의 단부(7e)와 연결부(7c)의 아래면 끝에 끼우는 것이 가능하기 때문에, 용접작업을 간단하게 행하게 된다.

상기한 각 실시예에 있어서는, 메인다이어프램(2)을 여러 개의 매우 얇은 금속판으로 구성한 것이, 메인다이어프램(2)을 1개의 얇은 금속판으로 구성하도록 해도 좋다.

이 경우에도, 상기한 동일한 형태의 작용효과를 나타내는 것이 가능하다.

상기한 각 실시예에 있어서는, 서브다이어프램(3)에 4개의 슬릿(3b)을 형성한 것이, 슬릿(3,b)의 수나 길이, 형태 등은 상기한 실시예로 한정되는 것은 아니고, 사용하는 메인다이어프램(2)의 재질이나 탄성변형량 등에 따라 필요한 휘어진 상태를 발휘하는 것이 가능하지 않으면 어떠해도 좋다. 또, 서브다이어프램(3)의 슬릿(3b)을 생략하도록 해도 좋다.

상기한 각 실시예에 있어서는, 서브다이어프램(3)을 1개의 매우얇은 금속판에 의해 형성한 것이, 다른 실시예에 있어서는, 제7도에 표시하도록 여러 개의 매우 얇은 금속판을 포개어 쌓는 것에 의해 서브다이어프램(3)을 형성하도록 해도 좋다.

상기한 각 실시예에 있어서는, 각 다이어프램의 중앙부에 디스크(7)의 축부(7b)를 삽입해서 각 다이어프램(2, 3)의 내부 가장자리끝과 축부(7b)를 용접에 의해 고착하여 일체화하도록 한 것이, 다른 실시예에 있어서는, 다이렉트형 다이어프램밸브에 본 발명을 적용하도록 해도 좋다.

즉, 제8도에 표시한 바와 같이, 밸브실(1c)안에 밸브시이트(1d)에서 직접 약간 떨어져 있도록 배치 설계한 그릇을 엎은 모양의 다이어프램밸브(2)의 윗면측 중앙부에, 그릇모양의 서브다이어프램(3)의 중앙부를 용접에 의해 고착하여 일체화하고, 메인다이어프램(2)의 휘어짐을 서브다이어프램(3)으로 받치도록 해도 좋다. 또, 제8도에 있어서, (1a)는 유입통로, (1b)는 유출통로, (1e)는 단부, (1f)는 암나사부, (4)는 보닛, (4a)는 숫나사부, (5)는 스템, (8)은 보닛인서트, (14)는 각 다이어프램(2, 3)을 아래 방향으로 누르는 다이어프램 버튼으로 되어 있다.

상기한 각 실시예에 있어서는, 스템(5)을 수동으로 올리고 내리도록 한 것이, 스템(5)을 유체압실린더 등의 액츄에이터(도면표시생략)을 사용해서 자동으로 올리고 내리도록 해도 좋다.

상기한 각 실시예에 있어서는, 각 다이어프램(2, 3)과 디스크(7)를 전자빔용접에 의해 고착하여 일체화하도록 한 것이, 다른 용접(예를 들면 레이저용접등)에의해 각 다이어프램(2, 3)과 디스크를 고착하여 일체화하도록 해도 좋다.

위에서 상술한 바와 같이 본 발명의 다이어프램밸브는, 밸브시이트에 간접적 또는 직접적으로 약간 떨어져 있는 금속제의 메인다이어프램의 윗면 측에, 외부가장자리측이 상하방향으로 탄성변형이 가능한 금속제의 서브다이어프램을 배치설계하고, 메인다이어프램의 휘어짐을 상기한 서브다이어프램으로 받치도록 구성하기 때문에, 메인다이어프램의 휘어짐을 서브다이어프램이 받치는 경우에 그 서브다이어프램의 외부가장자리가 위쪽으로 점차 탄성변형한 것으로 된다. 그결과, 메인다이어프램에 무리한 응력이 걸리는 것도 아니고, 메인다이어프램의 사용연수가 길어지게 된다.

또, 서브다이어프램의 외부가장자리에 균일한 각도로 방사되는 슬릿을 형성하기도 하고, 서브다이어프램을 여러 개의 금속판을 포개어 쌓는 것으로 구성한 경우에는, 서브다이어프램의 휘어진 상태를 임의로 조정하는 것이 가능하고, 사용하는 메인다이어프램의 재질이나 탄성력 등에 따른 것으로 하는 것이 가능하고, 매우 좋아지는 형편이다.

Claims (4)

1. 유입통로(1a) 및 유출통로(1b)에 연결하여 통하는 오목형상의 밸브실(1c)의 낮은면에 밸브시이트(1d)를 설치한 몸체(1)와, 밸브실(1c)내로 밸브시이트(1d)와 마주보도록 배치설계되고, 밸브실(1c)의 기밀을 유지함과 아울러 상하방향으로 탄성 변형해서 밸브시이트(1d)에 간접적 또는 직접적으로 약간 떨어져 있는 금속제의 메인다이어프램(2)과, 몸체(1)가 고정되고, 메인다이어프램(2)의 외부가장자리를 몸체(1)의 사이에 끼워져서 지지하는 보닛(4)과, 보닛(4)으로 자유자재로 올리고 내릴 수 있게 삽입지지되고, 메인다이어프램(2)을 탄성변형시키는 스템(5)을 구비한 다이어프램밸브에 있어서, 상기한 메인다이어프램(2)의 윗면 측에, 외부가장자리측이 상하방향으로 탄성변형가능한 금속제의 서브다이어프램(3)을 배치 설계하고, 상기한 서브다이어프램(3)은, 그중아부측이 메인다이어프램(2)의 중앙부측으로 고착되어 있음과 아울러, 메인다이어프램(2)이 탄성변형한 경우에 그윗면 측에 맞닿아서 메인다이어프램(2)의 위어짐을 받치도록 구성되어 있고, 상기한 서브다이어프램(3)의 외부가장자리에, 균일한 각도로 방사되는 슬릿(3b)을 형성한 것을 특징으로 하는 다이어프램 밸브.
2. 제1항에 있어서, 메인다이어프램(2)과 서브다이어프램(3)의 어느 것이든 한쪽 또는 양쪽을 여러 개의 금속판을 포개어 쌓는 것으로 구성한 것을 특징으로 하는 다이어프램밸브.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 메인다이어프램(2)과서브다이어프램(3)의 중앙에 여러 개의 부착구멍(2a)과 부착구멍(3a)을 형성하고, 또한 디스크(7)의 축부(7b)를 상기한 부착구멍(2a) 및 부착구멍(3a)으로 삽입시켜, 메인다이어프램(2)과 서브다이어프램(3)의 내부가장자리끝을 축부(7b)의 바깥둘레 면으로 전자빔용접법 또는 레이저용접법에 의해 용접하도록한 다이어프램 밸브.
4. 제3항에 있어서, 디스크(7)의 축부(7b)의 바깥둘레 면에 단부(7e)를 형성하고, 메인다이어프램(2)과 서브다이어프램(3)의 내부가장자리끝과 단부(7e)의 근방을 용접하도록 한 다이어프램 밸브.